JP2006047254A - Electron-beam tube - Google Patents

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容平 山田
Masanori Yamaguchi
真典 山口
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electron-beam tube for suppressing the heat generation of a window at the center region of a window member at the center side in the axial direction of a filament, preventing fracture in a window at the center region of the window member, and unifying the output of electron beams radiated from each window. <P>SOLUTION: In the electron-beam tube 1, a strip of filaments 3a for emitting electrons are arranged linearly inside a vacuum vessel 2 , and the window member 24 for forming the windows 24a for transmitting electrons emitted from the filaments 3a along the axis of the filaments. In the electron-beam tube 1, a plurality of through holes H are formed on the filaments 3a, and surface area per unit area of the filaments is smaller toward the center side as compared with both the sides in the axial direction of the filaments. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

この発明は、半導体ウエハのレジストの硬化や各種印刷物のインクの乾燥等に利用される電子ビームを用いた真空型の電子ビーム管に関するものであり、特に、電子ビーム管の電子を透過する窓に係わるものである。   The present invention relates to a vacuum type electron beam tube using an electron beam used for curing a resist of a semiconductor wafer, drying ink of various printed materials, and the like. It is related.

従来の電子ビーム管は、特開２００１−５９９００号公報に記載されている構造であり、図１を用いて説明する。
電子ビーム管１は、真空容器２と、この真空容器２の内部に設けられた電子ビーム発生器３とから成る。
電子ビーム発生器３は、フィラメント３ａとフィラメント３ａを挟むように一対のグリッド３ｂを有している。このグリッド３ｂは、熱せられたフィラメント３ａから放出された電子を、後述する窓部材２４方向に向けて電子ビームの形状を整える電子レンズの役目を果たすものである。
真空容器２は、例えば、パイレックスガラス（登録商標）から成る有底円筒状の容器本体２１と、この容器本体２１の前方開口を覆うように設けられた蓋部材２２とから成り、その内部は真空に保たれる。 A conventional electron beam tube has a structure described in Japanese Patent Laid-Open No. 2001-59900, and will be described with reference to FIG.
The electron beam tube 1 includes a vacuum vessel 2 and an electron beam generator 3 provided inside the vacuum vessel 2.
The electron beam generator 3 has a pair of grids 3b so as to sandwich the filament 3a and the filament 3a. The grid 3b serves as an electron lens that adjusts the shape of an electron beam by directing electrons emitted from the heated filament 3a toward a window member 24 described later.
The vacuum container 2 includes a bottomed cylindrical container body 21 made of, for example, Pyrex glass (registered trademark), and a lid member 22 provided so as to cover the front opening of the container body 21. To be kept.

蓋部材２２には、電子ビーム発生器３の直線状のフィラメント３ａから放射された電子が通過する電子ビーム通過孔２３が形成されており、その電子ビーム通過孔２３を密閉するように窓部材２４が設けられている。
上記において、電子ビーム通過孔２３は、例えば、横方向（図１で左右方向）に細長い長方形状とされている。 The lid member 22 is formed with an electron beam passage hole 23 through which electrons emitted from the linear filament 3a of the electron beam generator 3 pass, and the window member 24 is sealed so as to seal the electron beam passage hole 23. Is provided.
In the above, the electron beam passage hole 23 has, for example, a rectangular shape elongated in the lateral direction (left-right direction in FIG. 1).

また、窓部材２４は、例えば、全厚５００μｍのシリコンウエハを材料として、これをエッチング処理により薄膜化して矩形状のフィラメント３ａから放射された電子を透過する窓２４ａを形成したものであり、その窓２４ａの厚さは、例えば３μｍ程度であって、複数横方向（図１の左右方向）に並んで形成されている。なお、図１中、窓２４ａは機能を説明するために模式的に示すのであり、後述する図７の窓の数と異なって示されているものである。
そして、これらの隣接する窓２４ａ間には、厚さ１００〜５００μｍ程度の補強用の梁２４ｂが残留する形で形成されている。 Further, the window member 24 is formed, for example, by using a silicon wafer having a total thickness of 500 μm as a material, and forming a window 24a that transmits electrons emitted from the rectangular filament 3a by thinning the silicon wafer by etching. The thickness of the window 24a is about 3 μm, for example, and is formed side by side in a plurality of lateral directions (left and right directions in FIG. 1). In FIG. 1, the window 24a is schematically shown for explaining the function, and is shown differently from the number of windows in FIG.
A reinforcing beam 24b having a thickness of about 100 to 500 μm remains between the adjacent windows 24a.

図５（イ）は、フィラメント３ａのみ取り出した説明図であり、フィラメント３ａは直線状であり、その両端は給電用リード３１に接続された構造になっている。
図５（ロ）は、図５（イ）に示す矢印方向である電子ビーム出射方向からフィラメント３ａを見た平面図であり、フィラメント３ａは幅広の帯状体である。 FIG. 5A is an explanatory view showing only the filament 3a taken out. The filament 3a is linear, and both ends thereof are connected to the power supply lead 31. FIG.
FIG. 5B is a plan view of the filament 3a viewed from the electron beam emitting direction that is the arrow direction shown in FIG.

図６は、図１中、矢印Ａ方向から見た窓部材２４の説明図であって、窓２４ａは、全て同じ形状であって、図５（ロ）に示すフィラメント軸Ｘ−Ｘに沿うように等間隔で複数形成されている。なお、２４ｂは隣接する窓間に存在する梁である。
特開２００３−２４２９３０公報 FIG. 6 is an explanatory view of the window member 24 as viewed from the direction of arrow A in FIG. 1. The windows 24a are all the same shape, and are along the filament axis XX shown in FIG. Are formed at equal intervals. Reference numeral 24b denotes a beam existing between adjacent windows.
JP 2003-242930 A

このような電子ビーム管は、フィラメント３ａが図５（ロ）に示すように、幅広の帯状体であり、グリッド３ｂによる電子レンズ作用で発生する収差によって、フィラメントの中央領域Ａから出射された電子が、図６中窓部材２４の中央領域Ａに飛んで行くことになり、また、フィラメントの端部領域Ｂにおいても中央領域Ａに近い位置から出射された電子が、図６中窓部材２４の中央領域Ａに飛んで行くことになる。   In such an electron beam tube, the filament 3a is a wide band-like body as shown in FIG. 5B, and electrons emitted from the central region A of the filament due to the aberration generated by the electron lens action by the grid 3b. 6 will fly to the central region A of the window member 24 in FIG. 6, and the electrons emitted from the position close to the central region A also in the filament end region B of the window member 24 in FIG. It will fly to the center area A.

つまり、窓部材２４では、中央領域Ａの方が端部領域Ｂに比べ飛んでくる電子の量が多くなり、結果的に、窓部材２４の中央領域Ａの温度が、窓部材２４の端部領域Ｂに比べ温度が高くなるものである。
この結果、窓部材２４の中央領域Ａが熱によって破損し、窓が破れるという問題があった。 That is, in the window member 24, the amount of electrons flying in the central region A is larger than that in the end region B. As a result, the temperature of the central region A of the window member 24 is changed to the end portion of the window member 24. The temperature is higher than that in the region B.
As a result, there is a problem that the central region A of the window member 24 is damaged by heat and the window is torn.

本発明は、上記の事情に基づいてなされたものであって、窓部材の中央領域に飛んでくる電子の量を減らすことにより、窓部材中央領域における窓の発熱を抑制して、窓部材中央領域の窓の破損を防止することができる電子ビーム管を提供することにある。   The present invention has been made based on the above circumstances, and by reducing the amount of electrons flying to the central region of the window member, the heat generation of the window in the central region of the window member is suppressed, and the center of the window member An object of the present invention is to provide an electron beam tube capable of preventing the window of the region from being damaged.

本願発明の電子ビーム管は、真空容器の内部に電子を放出する帯状のフィラメントが直線状に配置され、当該フィラメントから放出された電子を透過する窓がフィラメント軸に沿って形成された窓部材を有する電子ビーム管において、
前記フィラメントは、複数の貫通孔が形成され、フィラメントの単位面積あたりの表面積が、フィラメントの幅方向において両端側より中央側の方が小さくなっていることを特徴とする。
特に、前記貫通孔は、全て同一形状であって、フィラメントの幅方向において中央側に貫通孔が密に存在し、フィラメントの幅方向において両端側に貫通孔が粗に存在していることを特徴とする。
或いは、貫通孔は、フィラメントの幅方向において中央側に位置する貫通孔の開口面積が一番大きく、フィラメントの幅方向において両端側に向かうにつれて、順次貫通孔の開口面積が小さくなっていることを特徴とする。 The electron beam tube of the present invention comprises a window member in which a strip-like filament that emits electrons is arranged linearly inside a vacuum vessel, and a window that transmits electrons emitted from the filament is formed along the filament axis. Having an electron beam tube,
The filament is characterized in that a plurality of through holes are formed, and the surface area per unit area of the filament is smaller on the center side than on both ends in the filament width direction.
In particular, all the through holes have the same shape, the through holes are densely present on the center side in the filament width direction, and the through holes are roughly present on both ends in the filament width direction. And
Alternatively, the through hole has the largest opening area of the through hole located at the center side in the width direction of the filament, and the opening area of the through hole gradually decreases toward both ends in the width direction of the filament. Features.

本発明の電子ビーム管によれば、フィラメント幅方向の中央側である窓部材中央領域における窓の発熱を抑制して、窓部材中央領域の窓の破損を防止するとともに、各窓から放射される電子ビーム出力が均一化されたものとなる。   According to the electron beam tube of the present invention, the heat generation of the window in the window member central region, which is the central side in the filament width direction, is suppressed, and the window in the window member central region is prevented from being damaged and radiated from each window. The electron beam output becomes uniform.

本発明の電子ビーム管は、図１に示す電子ビーム管とフィラメントを除く構造は同じであり、図１を用いて本発明の電子ビーム管の基本構造を説明する。   The electron beam tube of the present invention has the same structure as the electron beam tube shown in FIG. 1 except for the filament, and the basic structure of the electron beam tube of the present invention will be described with reference to FIG.

電子ビーム管１は、真空容器２１の内部に電子を放出するフィラメント３ａが直線状に配置され、フィラメント３ａから放射された電子を透過する窓２４ａが後述するフィラメント軸Ｘ−Ｘに沿って複数個形成された窓部材２４を有している。   In the electron beam tube 1, filaments 3a that emit electrons are linearly arranged inside a vacuum vessel 21, and a plurality of windows 24a that transmit electrons emitted from the filaments 3a are arranged along a filament axis XX, which will be described later. The window member 24 is formed.

図２は、本発明の電子ビーム管のフィラメントのみ取り出した説明図であり、フィラメントを電子ビーム出射方向から見た平面図である。
フィラメント３ａは、タングステン製であり、幅１．２ｍｍ、長さ２５ｍｍ、厚み０．０２ｍｍの幅広の帯状体である。 FIG. 2 is an explanatory view showing only the filament of the electron beam tube of the present invention, and is a plan view of the filament as seen from the electron beam emitting direction.
The filament 3a is made of tungsten, and is a wide strip having a width of 1.2 mm, a length of 25 mm, and a thickness of 0.02 mm.

そして、フィラメント３ａは、フィラメント軸Ｘ−Ｘに位置する部分にのみ複数の貫通孔Ｈが形成されている。貫通孔Ｈは直径０．３ｍｍの孔である。
この結果、フィラメントの単位面積あたりの表面積は、フィラメントの幅方向であるＹ−Ｙ方向において、両端側より中央側の方が小さくなっている。
つまり、グリッド３ｂの電子レンズの収差によって電子が窓部材２４の中央領域Ａに集まる傾向にあるが、フィラメントの幅方向であるＹ−Ｙ方向において、中央側の位置にフィラメントが存在しない部分があるので、フィラメント３ａの中央領域Ａから出射される電子の量を減らすことができ、結果的に、窓部材２４の中央領域Ａに飛んでくる電子の量を、フィラメントに貫通孔Ｈがない場合に比べ、小さくすることができる。
フィラメント３ａは、具体的には、図２中、フィラメント３ａは、フィラメントの幅方向（Ｙ−Ｙ方向）において中央側である中央領域Ａの幅は０．４ｍｍ、フィラメントの幅方向（Ｙ−Ｙ方向）において両端側である端部領域Ｂの幅は０．４ｍｍであり、貫通孔Ｈの大きさを調整することにより、フィラメント３ａの中央領域Ａでは単位面積１００ｍｍ２あたりの表面積は３６〜９８mm２であり、端部領域Ｂでは単位面積１００ｍｍ２あたりの表面積は１００ｍｍ２である。 In the filament 3a, a plurality of through holes H are formed only in a portion located on the filament axis XX. The through hole H is a hole having a diameter of 0.3 mm.
As a result, the surface area per unit area of the filament is smaller at the center than at both ends in the YY direction, which is the width direction of the filament.
That is, electrons tend to gather in the central region A of the window member 24 due to aberration of the electron lens of the grid 3b, but there is a portion where the filament does not exist at the central position in the YY direction which is the width direction of the filament. Therefore, the amount of electrons emitted from the central region A of the filament 3a can be reduced. As a result, the amount of electrons flying to the central region A of the window member 24 can be reduced when the through-hole H is not present in the filament. In comparison, it can be made smaller.
Specifically, in FIG. 2, the filament 3a has a width of the central region A, which is the central side in the filament width direction (YY direction), of 0.4 mm, and the filament width direction (YY The width of the end region B on both sides in the direction) is 0.4 mm, and by adjusting the size of the through hole H, the surface area per unit area 100 mm 2 in the central region A of the filament 3a is 36 to 98 mm. 2 and in the end region B, the surface area per unit area of 100 mm 2 is 100 mm 2 .

よって、図６に示す窓部材の中央領域Ａに飛んでくる電子の量をＡｅ、端部領域Ｂに飛んでくる電子の量をＢｅとすると、それぞれの電子の量の比、Ａｅ／Ｂｅの値を小さくでき、従来のフィラメントに貫通孔が無い場合に比べ、窓部材の中央領域Ａの温度上昇を抑制することができ、窓部材の窓の破損を防止することができる。
また、窓部材の中央領域Ａと窓部材の端部領域Ｂに飛んでくる電子の量が差が小さくなり、窓部材から出射される電子ビームが均一化される。 Therefore, when the amount of electrons flying to the central region A of the window member shown in FIG. 6 is Ae and the amount of electrons flying to the end region B is Be, the ratio of the amount of each electron, Ae / Be The value can be reduced, and the temperature rise in the central region A of the window member can be suppressed as compared with the case where the conventional filament has no through hole, and the window of the window member can be prevented from being damaged.
Further, the difference in the amount of electrons flying to the central area A of the window member and the end area B of the window member is reduced, and the electron beam emitted from the window member is made uniform.

図３は、本発明の電子ビーム管の他のフィラメント構造を示す説明図であり、フィラメントを電子ビーム出射方向から見た平面図である。   FIG. 3 is an explanatory view showing another filament structure of the electron beam tube of the present invention, and is a plan view of the filament as seen from the electron beam emission direction.

フィラメント３ａは、タングステン製であり、幅１．２ｍｍ、長さ２５ｍｍ、厚み０．０２ｍｍの幅広の帯状体である。   The filament 3a is made of tungsten, and is a wide strip having a width of 1.2 mm, a length of 25 mm, and a thickness of 0.02 mm.

そして、貫通孔Ｈは全て同一形状の直径０．１ｍｍの孔であり、フィラメントの幅方向（Ｙ−Ｙ方向）において中央側であるフィラメント３ａの中央領域Ａに貫通孔が密に存在し、フィラメントの幅方向（Ｙ−Ｙ方向）において両端側であるフィラメント３ａの端部領域Ｂに貫通孔が粗に存在している。   The through holes H are all holes having the same shape and a diameter of 0.1 mm, and the through holes are densely present in the central region A of the filament 3a which is the central side in the filament width direction (Y-Y direction). Through-holes are roughly present in the end region B of the filament 3a on both ends in the width direction (Y-Y direction).

この結果、フィラメントの単位面積あたりの表面積は、フィラメントの幅方向であるＹ−Ｙ方向において、両端側より中央側の方が小さくなっており、フィラメントの幅方向であるＹ−Ｙ方向において、中央側の位置にフィラメントが存在しない部分が多くある状態になっている。
つまり、グリッド３ｂの電子レンズの収差によって電子が窓部材２４の中央領域Ａに集まる傾向にあるが、フィラメントの幅方向であるＹ−Ｙ方向において、フィラメントの単位面積あたりの表面積が両端側より中央側の方で小さくなっているので、フィラメント３ａの中央領域Ａから出射される電子の量を減らすことができ、結果的に、窓部材２４の中央領域Ａに飛んでくる電子の量を、フィラメントに貫通孔Ｈがない場合に比べ、小さくすることができる。
フィラメント３ａは、具体的には、図３中、フィラメント３ａの中央領域ＡのＹ−Ｙ方向における幅は０．４ｍｍ、端部領域Ｂの幅は０．４ｍｍであり、貫通孔Ｈの大きさを調節したり離間距離を調節して、フィラメント３ａの中央領域Ａでは単位面積１００ｍｍ２あたりの表面積は２５〜８９ｍｍ２であり、端部領域Ｂでは単位面積あたりの表面積は６２〜９６ｍｍ２である。 As a result, the surface area per unit area of the filament is smaller in the center side than the both ends in the YY direction which is the width direction of the filament, and in the YY direction which is the width direction of the filament. There are many portions where the filament does not exist at the side position.
That is, electrons tend to collect in the central region A of the window member 24 due to the aberration of the electron lens of the grid 3b, but the surface area per unit area of the filament is centered from both ends in the YY direction, which is the width direction of the filament. Since it is smaller on the side, the amount of electrons emitted from the central region A of the filament 3a can be reduced. As a result, the amount of electrons flying to the central region A of the window member 24 is reduced. Compared to the case where there is no through hole H, the size can be reduced.
Specifically, in FIG. 3, the filament 3a has a width in the YY direction of the central region A of the filament 3a of 0.4 mm, a width of the end region B of 0.4 mm, and the size of the through hole H. In the central region A of the filament 3a, the surface area per unit area 100 mm 2 is 25 to 89 mm 2 , and in the end region B, the surface area per unit area is 62 to 96 mm 2 . .

よって、図６に示す窓部材の中央領域Ａに飛んでくる電子の量をＡｅ、端部領域Ｂに飛んでくる電子の量をＢｅとすると、それぞれの電子の量の比、Ａｅ／Ｂｅの値を小さくでき、従来のフィラメントに貫通孔が無い場合に比べ、窓部材の中央領域Ａの温度上昇を抑制することができ、窓部材の窓の破損を防止することができる。
また、窓部材の中央領域Ａと窓部材の端部領域Ｂに飛んでくる電子の量が差が小さくなり、窓部材から出射される電子ビームが均一化される。 Therefore, when the amount of electrons flying to the central region A of the window member shown in FIG. 6 is Ae and the amount of electrons flying to the end region B is Be, the ratio of the amount of each electron, Ae / Be The value can be reduced, and the temperature rise in the central region A of the window member can be suppressed as compared with the case where the conventional filament has no through hole, and the window of the window member can be prevented from being damaged.
Further, the difference in the amount of electrons flying to the central area A of the window member and the end area B of the window member is reduced, and the electron beam emitted from the window member is made uniform.

図４は、本発明の電子ビーム管の他のフィラメント構造を示す説明図であり、フィラメントを電子ビーム出射方向から見た平面図である。   FIG. 4 is an explanatory view showing another filament structure of the electron beam tube of the present invention, and is a plan view of the filament as seen from the electron beam emitting direction.

フィラメント３ａは、タングステン製であり、幅１．２ｍｍ、長さ２５ｍｍ、厚み０．０２ｍｍの幅広の帯状体である。   The filament 3a is made of tungsten, and is a wide strip having a width of 1.2 mm, a length of 25 mm, and a thickness of 0.02 mm.

そして、フィラメント３ａには形状の異なる貫通孔が複数形成され、フィラメントの幅方向（Ｙ−Ｙ方向）において中央側であるフィラメント３ａの中央領域Ａの中心に位置する貫通孔Ｈ１（直径０．２ｍｍ）が一番開口面積が大きく、フィラメントの幅方向（Ｙ−Ｙ方向）において両端側に向かうにつれて、順次に貫通孔Ｈ２（直径０．０８ｍｍ）、Ｈ３（直径０．０２ｍｍ）の開口面積が小さくなるものである。   A plurality of through-holes having different shapes are formed in the filament 3a, and a through-hole H1 (diameter 0.2 mm in diameter) located at the center of the central region A of the filament 3a that is the center side in the filament width direction (Y-Y direction). ) Has the largest opening area, and the opening areas of the through-holes H2 (diameter 0.08 mm) and H3 (diameter 0.02 mm) are successively smaller toward the both ends in the width direction of the filament (Y-Y direction). It will be.

つまり、グリッド３ｂの電子レンズの収差によって電子が窓部材２４の中央領域Ａに集まる傾向にあるが、フィラメントの幅方向であるＹ−Ｙ方向において、フィラメントの単位面積あたりの表面積が両端側より中央側の方で小さくなっているので、フィラメント３ａの中央領域Ａから出射される電子の量を減らすことができ、結果的に、窓部材２４の中央領域Ａに飛んでくる電子の量を、フィラメントに貫通孔Ｈがない場合に比べ、小さくすることができる。
フィラメント３ａは、具体的には、図４中、フィラメント３ａの中央領域ＡのＹ−Ｙ方向における幅は０．４ｍｍ、端部領域の幅は０．４ｍｍであり、貫通孔Ｈの大きさを調節したり離間距離を調節して、フィラメント３ａの中央領域Ａでは単位面積１００ｍｍ２あたりの表面積は５６〜９２ｍｍ２であり、端部領域Ｂでは単位面積あたりの表面積は８０〜９９ｍｍ２である。 That is, electrons tend to collect in the central region A of the window member 24 due to the aberration of the electron lens of the grid 3b, but the surface area per unit area of the filament is centered from both ends in the YY direction, which is the width direction of the filament. Since it is smaller on the side, the amount of electrons emitted from the central region A of the filament 3a can be reduced. As a result, the amount of electrons flying to the central region A of the window member 24 is reduced. Compared to the case where there is no through hole H, the size can be reduced.
Specifically, the filament 3a has a width in the YY direction of the central region A of the filament 3a of 0.4 mm and a width of the end region of 0.4 mm in FIG. In the central region A of the filament 3a, the surface area per unit area 100 mm 2 is 56 to 92 mm 2 , and in the end region B, the surface area per unit area is 80 to 99 mm 2 .

よって、図６に示す窓部材の中央領域Ａに飛んでくる電子の量をＡｅ、端部領域Ｂに飛んでくる電子の量をＢｅとすると、それぞれの電子の量の比、Ａｅ／Ｂｅの値を小さくでき、従来のフィラメントに貫通孔が無い場合に比べ、窓部材の中央領域Ａの温度上昇を抑制することができ、窓部材の窓の破損を防止することができる。
また、窓部材の中央領域Ａと窓部材の端部領域Ｂに飛んでくる電子の量が差が小さくなり、窓部材から出射される電子ビームが均一化される。 Therefore, when the amount of electrons flying to the central region A of the window member shown in FIG. 6 is Ae and the amount of electrons flying to the end region B is Be, the ratio of the amount of each electron, Ae / Be The value can be reduced, and the temperature rise in the central region A of the window member can be suppressed as compared with the case where the conventional filament has no through hole, and the window of the window member can be prevented from being damaged.
Further, the difference in the amount of electrons flying to the central area A of the window member and the end area B of the window member is reduced, and the electron beam emitted from the window member is made uniform.

電子ビーム管の説明図である。It is explanatory drawing of an electron beam tube. 本発明の電子ビーム管のフィラメントの説明図である。It is explanatory drawing of the filament of the electron beam tube of this invention. 本発明の電子ビーム管の他のフィラメントの説明図である。It is explanatory drawing of the other filament of the electron beam tube of this invention. 本発明の電子ビーム管の他のフィラメントの説明図である。It is explanatory drawing of the other filament of the electron beam tube of this invention. 従来の電子ビーム管のフィラメントの説明図である。It is explanatory drawing of the filament of the conventional electron beam tube. 電子ビーム管の窓部材の説明図である。It is explanatory drawing of the window member of an electron beam tube.

符号の説明Explanation of symbols

１ 電子ビーム管
２ 真空容器
２１ 容器本体
２２ 蓋部材
２３ 電子ビーム通過孔
２４ 窓部材
２４ａ 窓
２４ｂ 梁
３ 電子ビーム発生器
３ａ フィラメント
３１ 給電用リード
1 Electron Beam Tube 2 Vacuum Container 21 Container Body 22 Lid Member 23 Electron Beam Passing Hole 24 Window Member 24a Window 24b Beam 3 Electron Beam Generator 3a Filament 31 Feed Lead

Claims (3)

真空容器の内部に電子を放出する帯状のフィラメントが直線状に配置され、当該フィラメントから放出された電子を透過する窓がフィラメント軸に沿って形成された窓部材を有する電子ビーム管において、
前記フィラメントは、複数の貫通孔が形成され、フィラメントの単位面積あたりの表面積が、フィラメントの幅方向において両端側より中央側の方が小さくなっていることを特徴とする電子ビーム管。 In an electron beam tube having a window member in which a belt-like filament that emits electrons is arranged linearly inside a vacuum vessel, and a window that transmits electrons emitted from the filament is formed along the filament axis.
The electron beam tube according to claim 1, wherein the filament has a plurality of through holes, and a surface area per unit area of the filament is smaller at the center than at both ends in the width direction of the filament. 前記貫通孔は、全て同一形状であって、フィラメントの幅方向において中央側に貫通孔が密に存在し、フィラメントの幅方向において両端側に貫通孔が粗に存在していることを特徴とする請求項１に記載の電子ビーム管。 All the through holes have the same shape, and the through holes are densely present on the center side in the width direction of the filament, and the through holes are coarsely present on both end sides in the width direction of the filament. The electron beam tube according to claim 1. 前記貫通孔は、フィラメントの幅方向において中央側に位置する貫通孔の開口面積が一番大きく、フィラメントの幅方向において両端側に向かうにつれて、順次貫通孔の開口面積が小さくなっていることを特徴とする請求項１に記載の電子ビーム管。
The through-hole has the largest opening area of the through-hole located at the center side in the filament width direction, and the opening area of the through-holes gradually decreases toward both ends in the filament width direction. The electron beam tube according to claim 1.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2008237380A (en) * 2007-03-26 2008-10-09 Shibuya Kogyo Co Ltd Electron beam sterilizer
JP2013536554A (en) * 2010-08-26 2013-09-19 テトラ ラバル ホールデイングス エ フイナンス ソシエテ アノニム Configuration of control grid for electron beam generator

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