JP2006038782A - Semiconductor integrated circuit - Google Patents

Semiconductor integrated circuit Download PDF

Info

Publication number
JP2006038782A
JP2006038782A JP2004222776A JP2004222776A JP2006038782A JP 2006038782 A JP2006038782 A JP 2006038782A JP 2004222776 A JP2004222776 A JP 2004222776A JP 2004222776 A JP2004222776 A JP 2004222776A JP 2006038782 A JP2006038782 A JP 2006038782A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
data
address
stored
storage
memory
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2004222776A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hiroshi Sato
洋 佐藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Rohm Co Ltd
Original Assignee
Rohm Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Rohm Co Ltd filed Critical Rohm Co Ltd
Priority to JP2004222776A priority Critical patent/JP2006038782A/en
Publication of JP2006038782A publication Critical patent/JP2006038782A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)
  • For Increasing The Reliability Of Semiconductor Memories (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a semiconductor integrated circuit capable of reducing its size for analyzing defective cause of built-in memories, as well as shortening the analysis time for the cause of defective built-in memories. <P>SOLUTION: An address data generating section 5 writes test data in each object address of RAM 1 to 4. A verification section 7 reads out data actually stored in each object address of RAM 1 to 4, to compare each memorized datum with the test data as expected values. When a difference between stored data and the test data exists, a preserved data generating section 8 preserves the preserved data, which include the data indicating the content of difference, the data indicating which RAMs correspond to the RAM containing the occurred difference, and the data indicating object addresses, to a housing domain of the preserved data prepared in the RAM1. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、LSI(Large Scale Integration)等の半導体集積回路(以下、ICという)に関し、特にRAM(Random Access Memory)等の内蔵メモリを検査するためのBIST(Built In Self Test)回路を有するICに関する。   The present invention relates to a semiconductor integrated circuit (hereinafter referred to as an IC) such as an LSI (Large Scale Integration), and in particular, an IC having a BIST (Built In Self Test) circuit for inspecting a built-in memory such as a RAM (Random Access Memory). About.

内部に比較的大きな記憶容量を有するRAMを備えたSOC(System On a Chip)等のICにおいては、通常、そのRAMを自ら検査するためのBIST回路が備えられている。   In an IC such as an SOC (System On a Chip) having a RAM having a relatively large storage capacity, a BIST circuit for inspecting the RAM is usually provided.

図7は、従来のBIST回路を備えたICの構成ブロック図である。IC100は、アドレス・データ生成部101と、RAM102と、照合部103と、セレクタ104と、を備えている。   FIG. 7 is a block diagram showing the configuration of an IC having a conventional BIST circuit. The IC 100 includes an address / data generation unit 101, a RAM 102, a collation unit 103, and a selector 104.

RAM102の検査時においては、「RAM102のテスト」を示す信号が外部よりセレクタ104に与えられ、アドレス・データ生成部101に接続されているバス121がRAM102に接続される。そして、アドレス・データ生成部101は、RAM102の検査の対象となるアドレス(対象アドレス)を示すアドレス信号、所定のテストデータを示す信号、及びライト信号をセレクタ104を介してRAM102に与えることにより、RAM102の対象アドレスにテストデータを書き込む。   At the time of the inspection of the RAM 102, a signal indicating “test of the RAM 102” is given from the outside to the selector 104, and the bus 121 connected to the address / data generation unit 101 is connected to the RAM 102. Then, the address / data generation unit 101 gives an address signal indicating an address (target address) to be inspected in the RAM 102, a signal indicating predetermined test data, and a write signal to the RAM 102 via the selector 104. Test data is written to the target address in the RAM 102.

尚、検査ではなく、RAM102が通常に使用される時(通常使用時)は、CPU(Central Processing Unit;不図示)等からのアドレス信号/データ信号を伝送するバス120がセレクタ104を介してRAM102に接続され、それらのアドレス信号/データ信号がRAM102に与えられる(通常入力)。また、RAM1〜4からのデータは、前記CPU等に与えられる。   When the RAM 102 is not used for inspection but is normally used (during normal use), the bus 120 for transmitting an address signal / data signal from a CPU (Central Processing Unit; not shown) or the like is connected via the selector 104 to the RAM 102. These address signals / data signals are supplied to the RAM 102 (normal input). Data from the RAMs 1 to 4 is given to the CPU or the like.

その後、照合部103は、その対象アドレスに実際に記憶されているデータ(記憶データ)をRAM102から読み出し、その実際の記憶データとアドレス・データ生成部101から与えられた期待値としてのテストデータとを照合する。   After that, the collation unit 103 reads the data (stored data) actually stored at the target address from the RAM 102, the actual storage data and the test data as the expected value given from the address / data generation unit 101, Is matched.

このアドレス・データ生成部101によるテストデータの書き込み及び照合部103による照合をRAM102の全アドレスを対象として繰り返し行い、照合部103は、全アドレスにおいて記憶データと期待値とが一致している場合はIC100の外部端子(不図示)にRAM102に不良がないことを示す信号を出力する一方、1つでも不一致がある場合はRAM102が不良であることを示す信号を出力する。   The writing of test data by the address / data generation unit 101 and the collation by the collation unit 103 are repeated for all addresses in the RAM 102, and the collation unit 103 determines that the stored data matches the expected value at all addresses. A signal indicating that there is no defect in the RAM 102 is output to an external terminal (not shown) of the IC 100, while a signal indicating that the RAM 102 is defective is output if there is any mismatch.

RAM102が不良であるか否かを示すこれらの信号は、IC100の外部に設けたれた検査用機器(汎用ロジックテスタ等;不図示)に与えられる。このようにして、IC100に内蔵されたRAM102の良/不良が検査される。   These signals indicating whether or not the RAM 102 is defective are given to an inspection device (general-purpose logic tester or the like; not shown) provided outside the IC 100. In this way, the quality of the RAM 102 built in the IC 100 is checked.

ICの製造歩留まりを向上させるためには、不良品となったICの不良原因を解析(不良箇所を特定;即ち、RAM102のどのアドレスのどのビットが不良箇所であるかを特定)する必要がある。例えば、特定アドレスの特定ビットばかりが不良になることが解析により分かれば、「ICのパターン形成用のマスクの特定の部分に傷があるのではないか」等の歩留まり改善のための情報が得られるからである。   In order to improve the IC manufacturing yield, it is necessary to analyze the cause of the defective IC (identify the defective part; that is, specify which bit of which address in the RAM 102 is the defective part). . For example, if analysis reveals that only a specific bit at a specific address is defective, information for yield improvement such as “Is there a scratch on a specific part of an IC pattern forming mask” is obtained. Because it is.

図7のIC100において、不良箇所を特定する際には、RAM102の記憶データを外部の検査用機器(不図示)が読み出すことができるように、セレクタ104を制御してアドレスバス、データバス等を切り換える(これにより、アドレスバス122がセレクタ104を介してRAM102に接続される)。そして、外部よりアドレス信号を与えてRAM102の全アドレスの記憶内容を外部に読み出すことにより、RAM102のどのアドレスのどのビットが不良であるのか、即ち不良箇所を特定する。   In the IC 100 of FIG. 7, when specifying a defective part, the selector 104 is controlled so that the data stored in the RAM 102 can be read by an external inspection device (not shown), and the address bus, data bus, etc. (The address bus 122 is thereby connected to the RAM 102 via the selector 104). Then, an address signal is given from the outside to read out the stored contents of all addresses in the RAM 102 to identify which bit of which address in the RAM 102 is defective, that is, the defective part.

通常、不良アドレス(不良ビットを含むアドレス)が全アドレスに占める割合は、ごく僅か(例えば、数万分の1)である。しかしながら、図7の従来構成例においては、RAM102の不良箇所を特定するために、即ち、どのアドレスのどのビットが不良であるのかを特定するために、RAM102の全アドレスの記憶データを外部に読み出して検証する必要がある。このため、解析時間が長くなってしまうという問題(以下、「問題点1」ということがある)があった。この解析時間の長時間化は、ICの開発及び製造コストの増大を招く。   Normally, the ratio of defective addresses (addresses including defective bits) to all addresses is very small (for example, 1 / tens of thousands). However, in the conventional configuration example of FIG. 7, in order to specify a defective portion of the RAM 102, that is, to specify which bit of which address is defective, the stored data of all addresses of the RAM 102 is read out to the outside. Need to be verified. For this reason, there is a problem that analysis time becomes long (hereinafter, sometimes referred to as “Problem 1”). This long analysis time leads to an increase in IC development and manufacturing costs.

また、IC100の動作速度(例えば、動作クロックが200MHz)が如何に高速であっても、RAM102の記憶データの読み出し速度は検査用機器の動作速度(例えば、動作クロックが40MHz。通常、ICの動作速度より遅いことが多い)で制限されることになる。従って、検査用機器の動作速度が低速である場合、解析時間は非常に長くなってしまう。   Further, no matter how fast the operation speed of the IC 100 (for example, the operation clock is 200 MHz), the reading speed of the stored data in the RAM 102 is the operation speed of the inspection device (for example, the operation clock is 40 MHz. It is often slower than the speed). Therefore, when the operation speed of the inspection device is low, the analysis time becomes very long.

デジタルカメラ等に用いられる画像処理用等のICには、複数のRAM(例えば、数10個)が内蔵されていることも多いが、その場合には、どのRAMのどのアドレスのどのビットに不良であるのかを特定する必要がある。ところが、ICに含まれるRAMが複数であっても、各RAMにアクセスしているデータバスやアドレスバスに接続される外部端子は1セットしかないのが通常である(なぜなら、RAMごとに外部端子を設けているとICが大きくなってしまうから)ため、1つ1つのRAMごとに順番に上述の解析を行う必要が生じる。例えば、図7のようにRAMが1つしかない場合の解析時間が0.1秒必要であったとすると、100個のRAMが設けられたICにおいては、解析時間が10秒も必要となってくる。従って、複数のRAMを備えたICにおいては、上記問題点1は、非常に顕著なものとなる。   In many cases, an image processing IC used in a digital camera or the like has a plurality of RAMs (for example, several tens), and in that case, which bit of which address of which RAM is defective. It is necessary to specify whether it is. However, even if there are a plurality of RAMs included in the IC, there is usually only one set of external terminals connected to the data bus or address bus accessing each RAM (because each RAM has an external terminal). Therefore, it is necessary to perform the above analysis in order for each RAM. For example, if an analysis time of 0.1 second is required when there is only one RAM as shown in FIG. 7, an analysis time of 10 seconds is required in an IC provided with 100 RAMs. come. Therefore, in the IC having a plurality of RAMs, the above problem 1 becomes very remarkable.

また、不良箇所を特定するためには、上述したように、外部の検査用機器がRAM102の記憶データを読み出せるようにする必要があり、その読み出しのための配線領域及びセレクタ(図7のセレクタ104)が必要となってくるが、ICに複数のRAMが備えられている場合は、RAMの個数分のセレクタ(セレクタ104のような3つのバスを切り換えるためのセレクタ)が必要となると共に、そのセレクタに接続するための配線量が膨大になってくる。つまり、メモリ(RAM)の不良原因の解析用の回路規模が非常に大きなものとなってしまうという問題(以下、「問題点2」ということがある)がある。   In addition, in order to specify a defective portion, it is necessary that an external inspection device can read out the data stored in the RAM 102 as described above, and a wiring area and a selector for the reading (the selector in FIG. 7). 104) is required, but when the IC includes a plurality of RAMs, selectors for the number of RAMs (selectors for switching three buses such as the selector 104) are required. The amount of wiring for connecting to the selector becomes enormous. That is, there is a problem that the circuit scale for analyzing the cause of the failure of the memory (RAM) becomes very large (hereinafter, sometimes referred to as “problem 2”).

本発明は、上記の点に鑑み、内蔵メモリの不良原因の解析時間を短縮することができる
半導体集積回路(IC)を提供することを目的とする。また、本発明は、内蔵メモリの不良原因解析用の回路規模を小さくすることができる半導体集積回路を提供することを目的とする。
An object of the present invention is to provide a semiconductor integrated circuit (IC) that can shorten the analysis time of a cause of a failure of a built-in memory. Another object of the present invention is to provide a semiconductor integrated circuit capable of reducing the circuit scale for analyzing the cause of failure of the built-in memory.

上記目的を達成するために本発明に係る半導体集積回路は、データの読み書きが可能なメモリと、前記メモリの所定の対象アドレスに所定のデータを書き込むアドレス・データ生成部と、前記アドレス・データ生成部による書き込みによって前記対象アドレスに実際に記憶されたデータを前記メモリから読み出し、その実際の記憶データと前記所定のデータが相違する場合、その相違内容を表すデータと前記対象アドレスを表すデータとを含む保存データを前記メモリに設けられた保存データ格納領域に保存する照合結果保存制御部と、を備えたことを特徴とする。   In order to achieve the above object, a semiconductor integrated circuit according to the present invention includes a memory capable of reading and writing data, an address / data generation unit for writing predetermined data to a predetermined target address of the memory, and the address / data generation When the data actually stored at the target address by writing by the unit is read from the memory, and the actual stored data is different from the predetermined data, the data indicating the difference and the data indicating the target address are And a collation result storage control unit for storing the stored data in a storage data storage area provided in the memory.

これにより、保存データ格納領域に格納された小容量の保存データを読み出すだけで、不良箇所の特定(不良原因の解析)、即ち、どのアドレスのどのビットに不良があるかの特定ができるようになる。従って、不良原因の解析時間が大幅に短縮され、半導体集積回路の開発及び製造コストの削減にも寄与する。   As a result, it is possible to identify a defective part (analysis of the cause of the defect), that is, to identify which bit of which address has a defect by simply reading out a small amount of stored data stored in the storage data storage area. Become. Therefore, the failure cause analysis time is greatly shortened, which contributes to the development of semiconductor integrated circuits and the reduction of manufacturing costs.

データの読み書きが可能な複数のメモリと、各メモリの所定の対象アドレスに所定のデータを書き込むアドレス・データ生成部と、前記アドレス・データ生成部による書き込みよって各対象アドレスに実際に記憶されたデータを各メモリから読み出して、各対象アドレスの実際の記憶データと前記所定のデータが相違するかをメモリ毎に判断し、何れかの記憶データが前記所定のデータと相違する場合は、その相違内容を表すデータと相違の生じているメモリが何れのメモリであるかを表すデータと前記対象アドレスを表すデータとを含む保存データを前記複数のメモリの何れか1つのメモリに設けられた保存データ格納領域に保存する照合結果保存制御部と、を備えたことを特徴とする。   A plurality of memories capable of reading and writing data, an address / data generation unit for writing predetermined data to a predetermined target address of each memory, and data actually stored at each target address by writing by the address / data generation unit Is read from each memory, it is determined for each memory whether the actual storage data of each target address is different from the predetermined data, and if any storage data is different from the predetermined data, the difference contents Stored data stored in any one of the plurality of memories is stored data including data indicating which memory is different from the data indicating the data and data indicating the target address. And a collation result storage control unit for storing in the area.

これにより、保存データ格納領域に格納された小容量の保存データを読み出すだけで、不良箇所の特定、即ち、どのメモリのどのアドレスのどのビットに不良があるかの特定ができるようになる。従って、不良原因の解析時間が大幅に短縮され、半導体集積回路の開発及び製造コストの削減にも寄与する。   As a result, it is possible to specify a defective portion, that is, which bit of which address of which memory is defective, by simply reading out a small amount of stored data stored in the storage data storage area. Therefore, the failure cause analysis time is greatly shortened, which contributes to the development of semiconductor integrated circuits and the reduction of manufacturing costs.

また、複数のメモリの何れか1つのメモリにのみアクセスすれば不良原因の解析ができるため、従来のようなセレクタ(セレクタ104のような3つのバスを切り換えるためのセレクタ)をメモリの個数分、用意する必要はないし、メモリの個数分の配線領域を確保する必要もない。つまり、不良解析用の回路規模を大幅に削減することができる。   In addition, since the cause of failure can be analyzed by accessing only one of a plurality of memories, a conventional selector (selector for switching three buses such as the selector 104) is provided for the number of memories. There is no need to prepare, and it is not necessary to secure as many wiring areas as the number of memories. That is, the circuit scale for failure analysis can be greatly reduced.

また、例えば、前記保存データ格納領域への前記保存データの保存処理を行う前に、前記保存データ格納領域に不良領域が存在しないかを判断し、不良領域がある場合、前記照合結果保存制御部は前記不良領域を避けて前記保存データを保存するようにするとよい。   Further, for example, before performing the process of storing the stored data in the stored data storage area, it is determined whether there is a defective area in the stored data storage area, and if there is a defective area, the verification result storage control unit May store the stored data while avoiding the defective area.

これにより、正確な保存データを前記保存データ格納領域に格納することができる。   Thereby, accurate storage data can be stored in the storage data storage area.

また、例えば、前記保存データには、前記不良領域が存在するアドレスに関する情報が含まれているようにすればよい。   Further, for example, the stored data may include information regarding an address where the defective area exists.

これにより、保存データ格納領域に不良領域が存在していても、外部の検査用機器等は、保存データ格納領域中のどのアドレスに保存データが格納されているかを正確に知ることができる。   Thereby, even if a defective area exists in the storage data storage area, an external inspection device or the like can accurately know at which address in the storage data storage area the storage data is stored.

また、具体的には、前記相違内容を表すデータは、前記所定のデータと対応付けられたデータ又は前記所定のデータと前記記憶データとから構成される。   Specifically, the data representing the content of the difference includes data associated with the predetermined data or the predetermined data and the stored data.

また、前記保存データ格納領域が設けられたメモリを不揮発性メモリとしてもよい。   The memory provided with the storage data storage area may be a nonvolatile memory.

これにより、上記半導体集積回路が電気機器に組み込まれた後であっても、保存データを用いることが可能となる。そして、保存データを参照すれば、メモリの不良箇所を避けてデータの読み書きを行うといったことが可能となるため、メモリ中に多少の不良箇所が存在しても、メモリは正常に動作する。つまり、これによって半導体集積回路の製造時の歩留まりが向上する。   As a result, the stored data can be used even after the semiconductor integrated circuit is incorporated into an electrical device. By referring to the stored data, it is possible to read and write data while avoiding the defective portion of the memory. Therefore, even if there are some defective portions in the memory, the memory operates normally. In other words, this improves the yield in manufacturing the semiconductor integrated circuit.

上述した通り、本発明に係る半導体集積回路によれば、内蔵メモリの不良原因の解析時間を大幅に短縮することができる。また、メモリの不良原因解析用の回路規模を小さくすることができる。   As described above, according to the semiconductor integrated circuit of the present invention, it is possible to greatly reduce the analysis time of the cause of the built-in memory failure. Further, the circuit scale for analyzing the cause of failure of the memory can be reduced.

以下、本発明に係る半導体集積回路(IC)の実施の形態につき、図面を参照して説明する。図1は、本発明の実施の形態に係るICの構成ブロック図である。   Embodiments of a semiconductor integrated circuit (IC) according to the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a configuration block diagram of an IC according to an embodiment of the present invention.

IC10は、データの読み書きが可能なメモリとしてのRAM1、2、3及び4と、RAM1〜4の夫々にRAM1〜4を検査するためのアドレス信号、データ信号及び制御信号(ライト信号等)を与えるアドレス・データ生成部5と、照合結果保存制御部6と、から概略構成される。照合結果保存制御部6は、RAM1〜4の夫々の記憶データを読み出して、その記憶データとアドレス・データ生成部5が書き込んだデータとを照合する(一致/不一致を判断する)照合部7と、照合部7の照合結果を入力し、RAM1〜4に不良があった場合(記憶データとテストデータに相違があった場合)、その不良内容を表すデータを生成すると共にそのデータを保存データとしてRAM1に格納する保存データ生成部8と、RAM1、2、3、4に夫々接続されるバスを切り換えるためのセレクタ31、32、33、34と、から構成されている。   The IC 10 gives address signals, data signals, and control signals (write signals, etc.) for inspecting the RAMs 1 to 4 to the RAMs 1, 2, 3, and 4 as the memories capable of reading and writing data, and the RAMs 1 to 4. The address / data generation unit 5 and the collation result storage control unit 6 are roughly configured. The collation result storage control unit 6 reads the stored data in each of the RAMs 1 to 4 and collates the stored data with the data written by the address / data generation unit 5 (determines matching / mismatching). When the collation result of the collation unit 7 is input and there is a defect in the RAMs 1 to 4 (when there is a difference between the stored data and the test data), data representing the content of the defect is generated and the data is stored as data The storage data generation unit 8 stored in the RAM 1 and selectors 31, 32, 33, and 34 for switching the buses connected to the RAMs 1, 2, 3, and 4, respectively.

RAM1〜4の検査時においては、「RAM1〜4のテスト」を示す信号が外部よりセレクタ31、32、33及び34に与えられ、アドレス・データ生成部5に接続されているバス21(p(pは3以上の整数)本の信号線から成る)がRAM1、2、3、4に接続される。これにより、アドレス・データ生成部5は、RAM1、2、3、4の夫々にRAM1〜4を検査するためのアドレス信号、データ信号及び制御信号(ライト信号等)を与えることが可能となる。   When the RAMs 1 to 4 are inspected, a signal indicating “tests for RAM 1 to 4” is given from the outside to the selectors 31, 32, 33, and 34, and the bus 21 (p ( p is an integer of 3 or more) (consisting of a number of signal lines) is connected to the RAM 1, 2, 3, 4. As a result, the address / data generation unit 5 can supply address signals, data signals, and control signals (write signals, etc.) for inspecting the RAMs 1 to 4 to the RAMs 1, 2, 3, and 4, respectively.

検査ではなく、RAM1、2、3、4が通常に使用される時(通常使用時)は、CPU(不図示)等からのアドレス信号/データ信号を伝送するバス20(q(qは3以上の整数)本の信号線から成る)が、セレクタ31、32、33、34を介して、RAM1、2、3、4に接続され、それらのアドレス信号/データ信号がRAM1、2、3、4に与えられる(通常入力)。また、RAM1〜4からのデータは、前記CPU等に与えられる(通常出力)。   When the RAMs 1, 2, 3, 4 are normally used (in normal use) instead of the inspection, the bus 20 (q (q is 3 or more) for transmitting an address signal / data signal from a CPU (not shown) or the like. Are connected to the RAMs 1, 2, 3, and 4 through the selectors 31, 32, 33, and 34, and their address / data signals are stored in the RAMs 1, 2, 3, and 4, respectively. (Usually input). Data from the RAMs 1 to 4 is given to the CPU or the like (normal output).

RAM1〜4の夫々は、16ビットから成るデータ(1ワード)を4キロワード(4096ワード)分、記憶できるものとする。RAM1〜4の夫々の最下位アドレスを16進数表示で000hとし、最上位アドレスを16進数表示でFFFhとして、以下の説明を行う。   Each of the RAMs 1 to 4 can store data (1 word) consisting of 16 bits for 4 kilowords (4096 words). The following explanation will be given by assuming that the lowest address of each of the RAMs 1 to 4 is 000h in hexadecimal notation and the highest address is FFFh in hexadecimal notation.

(図2;検査の動作フローチャート)
図1のIC10において、RAM1〜4の夫々に不良ビット(不良セル)が存在しないかを検査する動作(RAM1〜4の検査時の動作)を、図2のフローチャートを用いて説明する。
(Fig. 2: Flow chart of inspection operation)
In the IC 10 of FIG. 1, an operation for inspecting whether or not there is a defective bit (defective cell) in each of the RAMs 1 to 4 (operation during the inspection of the RAMs 1 to 4) will be described with reference to the flowchart of FIG.

まず、ステップS1において、アドレス・データ生成部5は、検査の対象のアドレス(対象アドレス)を初期値の000hとする。続くステップS2において、アドレス・データ生成部5は、RAM1〜4の夫々の対象アドレスに予め定められたテストデータ(例えば、5555h)を書き込む。   First, in step S1, the address / data generation unit 5 sets the address to be inspected (target address) to an initial value of 000h. In subsequent step S2, the address / data generation unit 5 writes predetermined test data (for example, 5555h) to each target address of the RAMs 1 to 4.

ステップS2を終えて移行するステップS3において、照合部7は、アドレス・データ生成部5による書き込み(ステップS2)によってRAM1〜4の夫々の対象アドレスに実際に記憶されたデータをRAM1〜4の夫々から読み出し、後述するステップS4に移行する。   In step S3, which is shifted to after finishing step S2, the collation unit 7 writes the data actually stored in the respective target addresses of the RAMs 1 to 4 by the writing by the address / data generation unit 5 (step S2). The process proceeds to step S4 described later.

照合部7には、ステップS3にて読み出された記憶データの期待値として、ステップS2でRAM1〜4の各対象アドレスに書き込まれたテストデータがアドレス・データ生成部5から与えられている。そして、ステップS4において、照合部7は、ステップS3にて読み出された各対象アドレス(RAM1〜4の夫々の対象アドレス)の実際の記憶データ(実際に記憶されたデータ)とアドレス・データ生成部5から与えられた期待値としてのテストデータとをRAM毎に照合する(相違している否かを判断する)。   The collation unit 7 is provided with test data written to the target addresses of the RAMs 1 to 4 in step S2 from the address / data generation unit 5 as the expected value of the storage data read in step S3. In step S4, the collation unit 7 generates actual storage data (actually stored data) and address / data generation of each target address (respective target addresses in the RAMs 1 to 4) read in step S3. The test data as the expected value given from the unit 5 is collated for each RAM (determining whether or not they are different).

ステップS4において、各対象アドレスの記憶データが、全てテストデータと一致していると判断された場合は(ステップS4のOK)、ステップS5に移行する。ステップS5において、照合部7は、各対象アドレスに不良がないことを示す信号(例えば、ハイレベルの信号)を、保存データ生成部8とIC10の外部に接続される検査用機器(汎用ロジックテスタ等;不図示)とに与えて、後述するステップS9に移行する。   If it is determined in step S4 that the stored data of each target address is consistent with the test data (OK in step S4), the process proceeds to step S5. In step S5, the collation unit 7 sends a signal (for example, a high level signal) indicating that there is no defect in each target address to an inspection device (general-purpose logic tester) connected to the outside of the saved data generation unit 8 and the IC 10. Etc .; not shown) and the process proceeds to step S9 described later.

一方、ステップS4において、各対象アドレスの記憶データが、1つでもテストデータと相違していると判断された場合は(ステップS4のNG)、ステップS6に移行する。ステップS6において、照合部7は、RAM1〜4の何れかの対象アドレスに不良があることを示す信号(例えば、ローレベルの信号)を、保存データ生成部8とIC10の外部に接続される検査用機器(不図示)とに与えて、後述するステップS7に移行する。   On the other hand, if it is determined in step S4 that at least one stored data of each target address is different from the test data (NG in step S4), the process proceeds to step S6. In step S <b> 6, the collation unit 7 checks that a signal (for example, a low level signal) indicating that there is a defect in any of the target addresses in the RAMs 1 to 4 is connected to the outside of the saved data generation unit 8 and the IC 10. To the device (not shown), and the process proceeds to step S7 to be described later.

保存データ生成部8には、ステップS4において照合の対象となった対象アドレス(初期値は000h)を示すアドレス信号及びテストデータを示すデータ信号がアドレス・データ生成部5から与えられていると共に、各対象アドレスの記憶データもRAM1〜4の夫々から与えられている。そして、ステップS7において、保存データ生成部8は、与えられた対象アドレス、テストデータ及び各対象アドレスの記憶データに基づいて、RAM1〜4の不良内容を表す保存データを生成し、後述するステップS8に移行する。この保存データの詳細については、後述する。   The stored data generation unit 8 is provided with an address signal indicating a target address (initial value is 000h) and a data signal indicating test data, which are subjected to collation in step S4, from the address / data generation unit 5. The storage data of each target address is also given from each of RAM1-4. In step S7, the saved data generation unit 8 generates saved data representing the failure contents of the RAMs 1 to 4 based on the given target address, test data, and storage data of each target address, and will be described later in step S8. Migrate to Details of the stored data will be described later.

ステップS8において、保存データ生成部8は、ステップS7で生成した保存データをRAM1に設けられた保存データ格納領域1aに保存する。この際、保存データ生成部8が保存データを保存データ格納領域1aに格納することができるように、セレクタ31が制御される。ここで、RAM1の記憶領域の配分を図3に示す。RAM1において、全アドレス領域000h〜FFFhの内の、F00h〜FFFhの領域は、保存データ格納用に確保された保存データ格納領域1aとなっている。ステップS8において、保存データは、この保存データ格納領域1aの上位アドレス側から保存される。勿論、下位アドレス側から保存するようにしてもよい。   In step S <b> 8, the saved data generation unit 8 saves the saved data generated in step S <b> 7 in the saved data storage area 1 a provided in the RAM 1. At this time, the selector 31 is controlled so that the saved data generation unit 8 can store the saved data in the saved data storage area 1a. Here, the allocation of the storage area of the RAM 1 is shown in FIG. In the RAM 1, the area from F00h to FFFh among all the address areas 000h to FFFh is a saved data storage area 1a reserved for storing saved data. In step S8, the saved data is saved from the higher address side of the saved data storage area 1a. Of course, it may be stored from the lower address side.

また、後述の説明にて明らかになるが、保存データ格納領域1a(F00h〜FFFh)に不良領域(不良ビットが存在する領域)が存在しないかどうかの検査が、図2の動作の前(保存データの保存処理を行う前)に別途行われており、保存データ生成部8は、保存データ格納領域1a中の不良領域に対応するアドレスを自身の内部レジスタ(不図示)に記憶している。そして、ステップS8において、保存データ生成部8は、保存データ格納領域1a中の不良領域を避けて(不良アドレスを避けて)保存データを保存する。これにより、正確な保存データが保存データ格納領域1aに格納される。   Further, as will be apparent from the following description, the inspection of whether or not there is a defective area (area where a defective bit exists) in the stored data storage area 1a (F00h to FFFh) is performed before the operation of FIG. The storage data generation unit 8 stores an address corresponding to the defective area in the storage data storage area 1a in its own internal register (not shown). In step S8, the saved data generation unit 8 saves the saved data by avoiding the defective area in the stored data storage area 1a (avoids the defective address). As a result, accurate saved data is stored in the saved data storage area 1a.

前述したステップS5を終えて移行する、又はステップS8を終えて移行するステップS9においては、対象アドレス(初期値は000h)が検査対象の最終アドレスと一致しているかが判断される。RAM1〜4の夫々には、000hからFFFhまでのアドレスがあるので、検査対象の最終アドレスはFFFhとなる。   In step S9, the process proceeds after step S5 described above or the process proceeds after step S8, it is determined whether the target address (initial value is 000h) matches the final address to be inspected. Since each of the RAMs 1 to 4 has addresses from 000h to FFFh, the final address to be inspected is FFFh.

対象アドレス=FFFhが成立しない場合は(ステップS9のNo)、ステップS10に移行して、対象アドレスの更新が行われる。具体的には、対象アドレスを1だけインクリメントする(1だけ増加させる)。尚、この際、テストデータを異なるデータに更新してもよい(例えば、555hからAAAhに更新)。   When the target address = FFFh is not established (No in step S9), the process proceeds to step S10, and the target address is updated. Specifically, the target address is incremented by 1 (increased by 1). At this time, the test data may be updated to different data (for example, updated from 555h to AAAh).

そして、ステップS10を終えると、前述したステップS2に移行し、更新された対象アドレスを検査の対象として再度ステップS2〜S10の処理が行われる。   When step S10 is completed, the process proceeds to step S2 described above, and the processes of steps S2 to S10 are performed again using the updated target address as the inspection target.

全てのアドレスに対してステップS2〜S10の処理が行われると、ステップS9において、対象アドレス=FFFhが成立し(ステップS9のYes)、後述するステップ11に移行する。また、ステップS9の判定が肯定(ステップS9のYes)となった後、ステップS11に移行する前にテストデータを更新して(例えば、555hからAAAhに更新)ステップS1に戻り、再度ステップS2〜S10の処理を繰り返した上で、ステップS11に移行するようにしてもいい。   When the processes of steps S2 to S10 are performed for all addresses, the target address = FFFh is established in step S9 (Yes in step S9), and the process proceeds to step 11 described later. Further, after the determination in step S9 becomes affirmative (Yes in step S9), the test data is updated (for example, updated from 555h to AAAh) before proceeding to step S11, and the process returns to step S1, and steps S2 to S2 are performed again. After the process of S10 is repeated, the process may move to step S11.

尚、対象アドレスがF00h〜FFFhのとき、RAM1についてはステップS2〜ステップS8の処理は行われない。RAM1のF00h〜FFFhの領域は、保存データを格納する保存データ格納領域1aとして確保されるものであるため、テストデータの書き込み(ステップS2)を行うべきではないからである。従って、RAM1についてはアドレス000h〜EFFhが図2の動作における検査対象領域となり、RAM2〜4については全アドレス(000h〜FFFh)が図2の動作における検査対象領域となる。   Note that when the target address is F00h to FFFh, the processing of steps S2 to S8 is not performed for the RAM 1. This is because the area from F00h to FFFh in the RAM 1 is reserved as the saved data storage area 1a for storing the saved data, and therefore test data should not be written (step S2). Therefore, for RAM 1, addresses 000h to EFFh are inspection target areas in the operation of FIG. 2, and for RAMs 2 to 4, all addresses (000h to FFFh) are inspection target areas in the operation of FIG.

例えば、アドレス・データ生成部5のライト信号を出力する端子(不図示)と、RAM1のライト入力端子(書き込み動作を制御するための端子;不図示)との間にスリーステートバッファ(不図示)を設け、対象アドレスがF00h〜FFFhの時にステップS2の処理を行う際には、RAM1のライト入力端子にアドレス・データ生成部5からのライト信号(例えば、ローレベル信号)が加わらないように上記スリーステートバッファを制御すればいい。   For example, a three-state buffer (not shown) between a terminal (not shown) for outputting a write signal of the address / data generator 5 and a write input terminal (terminal for controlling a write operation; not shown) of the RAM 1 When the process of step S2 is performed when the target address is F00h to FFFh, the write signal (for example, a low level signal) from the address / data generation unit 5 is not applied to the write input terminal of the RAM 1. Control the three-state buffer.

ステップS11においては、RAM1〜4の検査対象領域に不良アドレス(不良ビットを含むアドレス)があったか否かが判断される。ステップS11に移行するまでに一度もステップS6の処理を行わなかった場合(ステップS11のNo)、照合部7は全ての検査対象領域に不良がないことを示す信号(例えば、ハイレベルの信号)を、外部に接続される検査用機器に与える一方(ステップS12)、ステップS11に移行するまでに一度でもステップS6の処理を行った場合、照合部7は検査対象領域に不良があることを示す信号(例えば、ローレベルの信号)を、外部に接続される検査用機器に与える(ステップS13)。これらの信号により、RAM1〜4に不良領域が存在するか否かが判断可能となる。ステップS12又はステップS13を終えると、図2の検査動作は終了する。   In step S11, it is determined whether or not there are defective addresses (addresses including defective bits) in the inspection target areas of the RAMs 1 to 4. When the process of step S6 has not been performed once before shifting to step S11 (No in step S11), the collation unit 7 indicates that all the inspection target areas are free of defects (for example, a high level signal). Is supplied to an inspection device connected to the outside (step S12), and if the process of step S6 is performed even once before moving to step S11, the collation unit 7 indicates that the inspection target area is defective. A signal (for example, a low level signal) is given to an inspection device connected to the outside (step S13). With these signals, it is possible to determine whether or not there is a defective area in the RAMs 1 to 4. When step S12 or step S13 is completed, the inspection operation in FIG. 2 ends.

(図4;保存データ格納領域の検査)
次に、図2の動作の前に別途行われるRAM1の保存データ格納領域1aの検査について、図4のフローチャートを用いて説明する。
(Fig. 4: Inspection of storage data storage area)
Next, the inspection of the storage data storage area 1a of the RAM 1 that is separately performed before the operation of FIG. 2 will be described with reference to the flowchart of FIG.

まず、ステップS21において、アドレス・データ生成部5は、検査の対象のアドレス(対象アドレス)を初期値のF00hとする。続くステップS22において、アドレス・データ生成部5は、RAM1の対象アドレスに予め定められたテストデータ(例えば、5555h)を書き込む。   First, in step S21, the address / data generation unit 5 sets an address to be inspected (target address) to an initial value F00h. In subsequent step S <b> 22, the address / data generator 5 writes predetermined test data (for example, 5555h) at the target address of the RAM 1.

ステップS22を終えて移行するステップS23において、照合部7は、アドレス・データ生成部5による書き込み(ステップS22)によってRAM1の対象アドレスに実際に記憶されたデータをRAM1から読み出し、後述するステップS24に移行する。   In step S23, which is shifted to after step S22, the collation unit 7 reads data actually stored in the target address of the RAM 1 from the RAM 1 by writing by the address / data generation unit 5 (step S22), and proceeds to step S24 described later. Transition.

照合部7には、ステップS23にて読み出されたデータの期待値として、ステップS22でRAM1の対象アドレスに書き込まれたテストデータがアドレス・データ生成部5から与えられている。そして、ステップS24において、照合部7は、ステップS23にて読み出された対象アドレスの実際の記憶データ(実際に記憶されたデータ)とアドレス・データ生成部5から与えられた期待値としてのテストデータとを照合する。   The collation unit 7 is given test data written in the target address of the RAM 1 in step S22 from the address / data generation unit 5 as an expected value of the data read in step S23. In step S24, the collation unit 7 tests the actual storage data (actually stored data) of the target address read in step S23 and the expected value given from the address / data generation unit 5. Match data.

ステップS24において、対象アドレスの記憶データがテストデータと一致していると判断された場合は(ステップS24のOK)、後述するステップS26に移行する。   If it is determined in step S24 that the stored data at the target address matches the test data (OK in step S24), the process proceeds to step S26 described later.

一方、ステップS24において、対象アドレスの記憶データがテストデータと相違していると判断された場合は(ステップS24のNG)、ステップS25に移行し、保存データ生成部8は、その対象アドレスを不良アドレスとして自身の内部レジスタ(不図示)に記憶する。尚、保存データ生成部8には、ステップS24において照合の対象となった対象アドレス(初期値はF00h)を示すアドレス信号がアドレス・データ生成部5から与えられている。   On the other hand, if it is determined in step S24 that the storage data of the target address is different from the test data (NG in step S24), the process proceeds to step S25, and the saved data generation unit 8 determines that the target address is defective. It is stored in its own internal register (not shown) as an address. Note that the stored data generation unit 8 is provided with an address signal indicating the target address (initial value is F00h) subjected to collation in step S24 from the address / data generation unit 5.

前述したステップS24又はS25を終えて移行するステップS26においては、対象アドレス(初期値はF00h)が検査対象の最終アドレスと一致しているかが判断される。RAM1の保存データ格納領域1aはアドレスF00hからFFFhまでであるので、検査対象の最終アドレスはFFFhとなる。   In step S26 which moves after finishing step S24 or S25 described above, it is determined whether the target address (initial value is F00h) matches the final address to be inspected. Since the storage data storage area 1a of the RAM 1 is from addresses F00h to FFFh, the final address to be inspected is FFFh.

対象アドレス=FFFhが成立しない場合は(ステップS26のNo)、ステップS27に移行して、対象アドレスの更新が行われる。具体的には、対象アドレスを1だけインクリメントする。尚、この際、テストデータを異なるデータに更新してもよい(例えば、555hからAAAhに更新)。   When the target address = FFFh is not satisfied (No in step S26), the process proceeds to step S27, and the target address is updated. Specifically, the target address is incremented by 1. At this time, the test data may be updated to different data (for example, updated from 555h to AAAh).

そして、ステップS27を終えると、前述したステップS22に移行し、更新された対象アドレスを検査の対象として再度ステップS22〜S27の処理が行われる。   When step S27 is completed, the process proceeds to step S22 described above, and the processes of steps S22 to S27 are performed again using the updated target address as the inspection target.

保存データ格納領域1aに含まれる全てのアドレスに対してステップS22〜S27の処理が行われると、ステップS26において、対象アドレス=FFFhが成立し(ステップS26のYes)、後述するステップ28に移行する。また、ステップS26の判定が肯定(ステップS26のYes)となった後、ステップS28に移行する前にテストデータを更新して(例えば、555hからAAAhに更新)ステップS21に戻り、再度ステップS22〜S27の処理を繰り返した上で、ステップS28に移行するようにしてもいい。   When the processing of steps S22 to S27 is performed for all addresses included in the saved data storage area 1a, the target address = FFFh is established in step S26 (Yes in step S26), and the process proceeds to step 28 described later. . In addition, after the determination in step S26 is affirmative (Yes in step S26), the test data is updated (for example, updated from 555h to AAAh) before the process proceeds to step S28, and the process returns to step S21, and again from steps S22 to S22. After the process of S27 is repeated, the process may move to step S28.

ステップS28においては、RAM1の保存データ格納領域1a(図4の動作における検査対象領域)に不良アドレスがあったか否かが判断される。ステップS28に移行するまでに一度もステップS25の処理を行わなかった場合(ステップS28のNo)、照合部7は保存データ格納領域1aに不良がないことを示す信号(例えば、ハイレベルの信号)を、外部に接続される検査用機器に与える一方(ステップS29)、ステップS28に移行するまでに一度でもステップS25の処理を行った場合は、照合部7は保存データ格納領域1aに不良があることを示す信号(例えば、ローレベルの信号)を、外部に接続される検査用機器に与える(ステップS30)。これらの信号により、保存データ格納領域1aに不良領域が存在するか否かが判断可能となる。ステップS29又はステップS30を終えると、図4の検査動作は終了する。   In step S28, it is determined whether or not there is a defective address in the stored data storage area 1a of the RAM 1 (the inspection target area in the operation of FIG. 4). If the process of step S25 has never been performed before the process proceeds to step S28 (No in step S28), the collation unit 7 indicates that there is no defect in the stored data storage area 1a (for example, a high level signal). Is supplied to the inspection device connected to the outside (step S29), and if the process of step S25 is performed even once before moving to step S28, the collation unit 7 has a defect in the stored data storage area 1a. A signal indicating this (for example, a low level signal) is given to an inspection device connected to the outside (step S30). From these signals, it is possible to determine whether or not there is a defective area in the stored data storage area 1a. When step S29 or step S30 is finished, the inspection operation of FIG. 4 is finished.

(図5;保存データの内容)
図5は、図2のステップS7の処理において生成される保存データの内容を示したものである。1つの保存データは、第1ワード、第2ワード及び第3ワードの3つのワード(1ワードは16ビット)から構成されている。第1ワードには、不良アドレス(不良ビットが存在するアドレス)、即ち、ステップS7に至った時における対象アドレス(12ビットデータ;ADD[11:0])が格納される。
(Figure 5: Contents of stored data)
FIG. 5 shows the contents of the stored data generated in the process of step S7 of FIG. One stored data is composed of three words (a word is 16 bits), a first word, a second word, and a third word. The first word stores a defective address (address where a defective bit exists), that is, a target address (12-bit data; ADD [11: 0]) at the time of reaching step S7.

第3ワードには、検査プログラム番号(6ビットデータ;PROG[5:0])が格納される。この検査プログラム番号は、アドレス・データ生成部5がRAM1〜4の夫々に書き込む(ステップS2)テストデータと対応付けられており、検査プログラム番号を特定すれば検査用機器はテストデータが何であるかを判断可能となっている。勿論、検査プログラム番号に代えて、テストデータを直接保存データに格納するようにしてもいい(但し、その場合は、1つ保存データに4ワードが必要になる)。   The third word stores the inspection program number (6-bit data; PROG [5: 0]). This inspection program number is associated with the test data that the address / data generator 5 writes to each of the RAMs 1 to 4 (step S2). If the inspection program number is specified, what is the test data for the inspection device? Can be determined. Of course, instead of the inspection program number, the test data may be directly stored in the stored data (in this case, 4 words are required for one stored data).

第3ワードには、更にステップS4にて不良ビットが存在していると判断されたRAMがRAM1〜4の何れであるかを示すRAM番号(2ビットデータ:RAMID[1:0])が格納される。不良ビットが存在していると判断されたRAMが、RAM1である場合、RAMID[1:0]=「00」(2進数表示)となり、RAM2、3、4である場合、RAMID[1:0]は夫々、「01」、「10」、「11」(2進数表示)となる。また、第2ワードから第3ワードにかけて、不良ビットのあると判断された対象アドレスの実際の記憶データ(16ビットデータ:DATA[15:0])が格納される。   In the third word, a RAM number (2-bit data: RAMID [1: 0]) indicating which of the RAMs 1 to 4 is determined as having a defective bit in step S4 is stored. Is done. RAMID [1: 0] = “00” (binary display) when the RAM determined to have a defective bit is RAM1, RAMID [1: 0] ] Are “01”, “10”, and “11” (binary number display), respectively. Further, actual storage data (16-bit data: DATA [15: 0]) of the target address determined to have a defective bit is stored from the second word to the third word.

例えば、図2のステップS2にてアドレス・データ生成部5がプログラム番号1に対応するテストデータ5555hを各対象アドレスA00hに書き込み、ステップS3にて照合部7に読み出されたRAM1、2、3、4の記憶データが、夫々5555h、5555h、5554h、5555hであった場合を考える。その場合に作成される保存データでは、不良アドレス(ADD[11:0])がA00h、記憶データDATA[15:0]が5554h、検査プログラム番号PROG[5:0]が01h、不良ビットが存在していると判断されたRAM番号RAMID[1:0]が「10」(2進数表示)となる。   For example, the address / data generation unit 5 writes the test data 5555h corresponding to the program number 1 to each target address A00h in step S2 of FIG. 2, and the RAM 1, 2, 3 read to the collation unit 7 in step S3. Suppose that the stored data of 4 are 5555h, 5555h, 5554h, and 5555h, respectively. In the saved data created in that case, the defective address (ADD [11: 0]) is A00h, the storage data DATA [15: 0] is 5554h, the inspection program number PROG [5: 0] is 01h, and there is a defective bit. The RAM number RAMID [1: 0] determined to be “10” is “10” (binary display).

上述したように、図2のステップS4にて、検査の対象アドレスに不良がある(テストデータと実際の記憶データに相違がある)と一度でも判断された場合、ステップS13に移行して不良の存在が外部の検査用機器(不図示)に知らされる。不良の存在を知った検査用機器(不図示)は、IC10に設けられたアドレス入力用端子及び制御信号用入力端子(双方不図示)、並びにセレクタ(不図示)等を介してRAM1にアドレス信号及び制御信号(リード信号)を与え、IC10に設けられたデータ出力用端子(不図示)を介して保存データ格納領域1aに格納された保存データを読み出す。   As described above, in step S4 of FIG. 2, when it is determined even once that there is a defect in the inspection target address (the test data and the actual storage data are different), the process proceeds to step S13 and the defect is detected. Existence is notified to an external inspection device (not shown). An inspection device (not shown) that knows the existence of a defect sends an address signal to the RAM 1 via an address input terminal and a control signal input terminal (both not shown) provided in the IC 10 and a selector (not shown). Then, a control signal (read signal) is given, and the stored data stored in the stored data storage area 1a is read out via a data output terminal (not shown) provided in the IC 10.

この保存データには、上述したように、テストデータ(又はテストデータと対応付けられた検査プログラム番号)と不良アドレス(図2のステップS4にて、実際の記憶データがテストデータと相違すると判断されたアドレス)の記憶データとから構成されるテストデータと記憶データとの相違内容を表すデータの他、その不良アドレス及び不良が存在しているRAM番号が含まれているため、検査用機器は保存データ格納領域1aに格納された小容量の保存データを読み出すだけで、不良箇所の特定(不良原因の解析)、即ち、どのRAMのどのアドレスのどのビットに不良があるかの特定が完了する。これにより、不良原因の解析時間(不良箇所を特定するための時間)が大幅に短縮される(従来、問題となっていた上記「問題点1」が解消される)。   As described above, in the stored data, it is determined that the test data (or the inspection program number associated with the test data) and the defective address (in step S4 in FIG. 2), the actual stored data is different from the test data. In addition to the data representing the difference between the test data and the stored data composed of the stored data at the address), the inspection device stores the defective address and the RAM number where the defect exists. By simply reading a small amount of stored data stored in the data storage area 1a, the identification of the defective part (analysis of the cause of the defect), that is, the identification of which bit of which address of which RAM is defective is completed. Thereby, the analysis time of the cause of failure (time for specifying the defective portion) is greatly shortened (the “problem 1” which has been a problem in the past is solved).

また、従来の複数RAMを内蔵したICにおいては、全てのRAMの記憶データを外部に読み出す必要があったため、RAMの個数分のセレクタやRAMの個数分の配線領域を確保する必要があった。一方、図1のIC10においては、外部の検査用機器は、RAM1にのみアクセスすれば不良箇所の特定ができるため、従来例のようなセレクタ(図7のセレクタ104のような3つのバスを切り換えるためのセレクタ)をメモリの個数分、用意する必要はないし、RAMの個数分の配線領域を確保する必要もない。つまり、不良解析用の回路規模を大幅に削減することができる(従来、問題となっていた上記「問題点2」が解消される)。   In addition, in a conventional IC incorporating a plurality of RAMs, it is necessary to read out the stored data of all the RAMs, and therefore it is necessary to secure a selector corresponding to the number of RAMs and a wiring area corresponding to the number of RAMs. On the other hand, in the IC 10 of FIG. 1, since an external inspection device can specify a defective portion by accessing only the RAM 1, a selector as in the conventional example (switching three buses such as the selector 104 of FIG. 7) is switched. Therefore, it is not necessary to prepare selectors for the number of memories, and it is not necessary to secure wiring areas for the number of RAMs. That is, the circuit scale for failure analysis can be greatly reduced (the above “problem 2” which has been a problem is solved).

また、保存データの第1ワード〜第3ワードにかけて、保存データ格納領域1a中の不良領域が保存データ格納領域1a中のどのアドレスに存在するかを表すデータ(6ビットデータ;INC[5:0])が格納されている。図2のステップS11にて、検査対象領域に不良があると判断された場合(ステップS11のYes)、外部の検査用機器は保存データ格納領域1a中に記憶されているデータを読み出すことになるが、検査用機器は上記のデータINC[5:0]を参照することで、保存データが保存データ格納領域1aのどのアドレスに保存されているかを知ることができる。   Further, data (6-bit data; INC [5: 0) indicating in which address in the stored data storage area 1a the defective area in the stored data storage area 1a exists from the first word to the third word of the stored data. ]) Is stored. When it is determined in step S11 in FIG. 2 that the inspection target area is defective (Yes in step S11), the external inspection device reads data stored in the saved data storage area 1a. However, by referring to the data INC [5: 0], the inspection device can know at which address in the storage data storage area 1a the storage data is stored.

図6は、図2及び図4の動作後における上記データINC[5:0]の一例を示すものである。この例においては、図4の動作で保存データ格納領域1a中のアドレスFF2h、FF3h、FF4h、FF5h及びFF9hが不良アドレスであると判断されている。そして、図4に示す保存データ格納領域1aを検査する動作の後、図2に示す動作によって、RAM1〜4の何れかに4つの不良アドレスがあることが発見されたとする。   FIG. 6 shows an example of the data INC [5: 0] after the operations of FIG. 2 and FIG. In this example, it is determined that the addresses FF2h, FF3h, FF4h, FF5h, and FF9h in the stored data storage area 1a are defective addresses in the operation of FIG. Then, after the operation of inspecting the stored data storage area 1a shown in FIG. 4, it is assumed that there are four defective addresses in any of the RAMs 1 to 4 by the operation shown in FIG.

この場合、1つめの保存データAは、RAM1のアドレスFFDh〜FFFhに格納される。アドレスFFFh、FFEh、FFDhが、夫々保存データAの第1ワード、第2ワード、第3ワードに対応している(図5参照)。同様に、保存データ格納領域1a中の不良アドレスを避けつつ、保存データB、C、Dが、夫々RAM1のアドレスFFAh〜FFCh、アドレスFF6h〜FF8h、アドレスFEFh〜FF1hに格納される。   In this case, the first saved data A is stored in the addresses FFDh to FFFh of the RAM 1. The addresses FFFh, FFEh, and FFDh correspond to the first word, the second word, and the third word of the stored data A, respectively (see FIG. 5). Similarly, the stored data B, C, and D are stored in the addresses FFAh to FFCh, addresses FF6h to FF8h, and addresses FEFh to FF1h of the RAM 1, respectively, while avoiding defective addresses in the stored data storage area 1a.

保存データAのINC[5:0]は、2進数表示で「000000」(10進数表示で「0」)となっており、次の保存データBが保存データAの下位アドレス側に隙間なく保存されていることを示している。保存データBのINC[5:0]は、2進数表示で「000001」(10進数表示で「1」)となっており、次の保存データCが保存データBの下位アドレス側に1つのアドレスを空けて保存されていることを示している。保存データCのINC[5:0]は、2進数表示で「000100」(10進数表示で「4」)となっており、次の保存データDが保存データCの下位アドレス側に4つのアドレスを空けて保存されていることを示している。保存データDのINC[5:0]は、2進数表示で「000000」(10進数表示で「0」)となっており、次に保存される保存データが保存データDの下位アドレス側に隙間なく保存されていることを示している(しかしながら、この例では保存データDの次に保存される保存データはない)。   INC [5: 0] of the stored data A is “000000” in binary number display (“0” in decimal number display), and the next stored data B is stored in the lower address side of the stored data A without any gap. It has been shown. INC [5: 0] of the stored data B is “000001” in binary number display (“1” in decimal number display), and the next stored data C is one address on the lower address side of the stored data B. Indicates that the file is saved. INC [5: 0] of the stored data C is “000100” in binary notation (“4” in decimal notation), and the next stored data D has four addresses on the lower address side of the stored data C. Indicates that the file is saved. INC [5: 0] of the stored data D is “000000” in binary number display (“0” in decimal number display), and the stored data to be stored next has a gap at the lower address side of the stored data D. (However, in this example, there is no saved data to be saved next to the saved data D).

即ち、INC[5:0]は、次に保存される保存データが幾つのアドレスを空けて保存されているかを示すポインタとして機能する。このようなデータINC[5:0]を各保存データに設けるようにすることで、外部の出荷用検査機器は、保存データA、B、C及びDが保存データ格納領域1aのどのアドレスに保存されているかを知ることができる。   That is, INC [5: 0] functions as a pointer that indicates how many addresses are stored in the storage data to be stored next. By providing such data INC [5: 0] in each saved data, the external shipping inspection device saves the saved data A, B, C and D in any address of the saved data storage area 1a. You can know what is being done.

尚、保存データの第1ワード、第2ワード及び第3ワードの夫々には、誤り検出のためのデータ(2ビットデータ:CRC)が設けられている(図5参照)。   Note that error detection data (2-bit data: CRC) is provided in each of the first word, the second word, and the third word of the stored data (see FIG. 5).

<<その他、変形等>>
上述の実施形態では、ICに内蔵されるRAMの数は4つであるが、RAMの数は幾つでも本発明は適用可能である。内蔵RAMの数が1つであっても、本発明は適用可能であるが、内蔵RAMの数が増えれば増えるほど、本発明を適用したことによる効果は増大する。尚、内蔵RAMの数が1つの場合、保存データには不良ビットが存在していると判断されたRAMが何れのRAMであるかを示すRAM番号(RAMID[1:0];図5参照)は不要である。
<< Other, deformation, etc. >>
In the above-described embodiment, the number of RAMs built in the IC is four, but the present invention can be applied to any number of RAMs. The present invention can be applied even if the number of built-in RAMs is one, but the effect of applying the present invention increases as the number of built-in RAMs increases. When the number of built-in RAMs is one, the RAM number (RAMID [1: 0]; see FIG. 5) indicating which RAM is the RAM that is determined to have a defective bit in the stored data. Is unnecessary.

また、RAM1の保存データ格納領域1aは、RAM1〜4の不良箇所を特定するために用いられるものであるため、RAM1〜4が電気機器に組み込まれて通常に使用される際には、基本的に必要のないものである。従って、RAM1〜4が電気機器に組み込まれて通常に使用される際には、保存データ格納領域1aも通常に読み書きされる領域となる。   Further, since the storage data storage area 1a of the RAM 1 is used to identify defective portions of the RAMs 1 to 4, when the RAMs 1 to 4 are normally used by being incorporated in an electric device, the storage data storage area 1a is basically used. It is not necessary to. Therefore, when the RAMs 1 to 4 are incorporated in an electric device and used normally, the storage data storage area 1a is also an area that is normally read and written.

しかしながら、RAM1を不揮発性メモリとし、検査時において保存データ格納領域1aに保存された保存データを、電気機器に組み込まれた後も保存データ格納領域1aに格納し続けるようにしてもよい。このようにしておくと、RAM1〜4にデータの読み書きを行うCPU等(メモリ使用部)は、RAM1の保存データ格納領域1aに格納されている保存データを参照することにより、RAM1〜4の不良箇所を避けてデータの読み書きを行うことが可能となる。   However, the RAM 1 may be a non-volatile memory, and the storage data stored in the storage data storage area 1a at the time of inspection may be continuously stored in the storage data storage area 1a even after being incorporated in an electrical device. In this way, a CPU or the like (memory use unit) that reads / writes data from / to the RAMs 1 to 4 refers to the stored data stored in the stored data storage area 1a of the RAM 1, thereby causing defects in the RAMs 1 to 4. It is possible to read and write data while avoiding locations.

通常、RAM1〜4中に不良箇所が1つでも存在していた場合、IC10を電気機器に組み込むことはできないが、上記のようにRAM1を不揮発性メモリとし、RAM1〜4の不良箇所を避けてデータの読み書きを行うようにすれば、RAM1〜4中に多少の不良箇所が存在しても、RAM1〜4は正常に動作する。つまり、これによってIC10の製造時の歩留まりが向上する。   Normally, if there is even one defective portion in the RAMs 1 to 4, the IC 10 cannot be incorporated into an electrical device. However, as described above, the RAM 1 is a non-volatile memory, and the defective portions of the RAMs 1 to 4 are avoided. If data is read and written, the RAMs 1 to 4 operate normally even if there are some defective parts in the RAMs 1 to 4. In other words, this improves the yield when the IC 10 is manufactured.

(本発明の別の表現)
また、本発明は、以下のように表現することもできる。
データの読み書きが可能なメモリと、
前記メモリの第1対象アドレス、第2対象アドレス、・・・、第n対象アドレス(n;2以上の整数)に、夫々第1データ、第2データ、・・・、第nデータを書き込むアドレス・データ生成部と、
前記アドレス・データ生成部による書き込みよって第1対象アドレス、第2対象アドレス、・・・、第n対象アドレスの夫々に実際に記憶されたデータを前記メモリから読み出し、
第1対象アドレスの実際の記憶データと前記第1データが相違するとき、その相違内容を表すデータと前記第1対象アドレスを表すデータとを含む保存データを前記メモリに設けられた保存データ格納領域に保存し、
第2対象アドレスの実際の記憶データと前記第2データが相違するとき、その相違内容を表すデータと前記第2対象アドレスを表すデータとを含む保存データを前記保存データ格納領域に保存し、・・・、
第n対象アドレスの実際の記憶データと前記第nデータが相違するとき、その相違内容を表すデータと前記第n対象アドレスを表すデータとを含む保存データを前記保存データ格納領域に保存する照合結果保存制御部と、
を備えたことを特徴とする半導体集積回路(以下、「別表現1」という)。
(Another expression of the present invention)
The present invention can also be expressed as follows.
Memory that can read and write data,
Address for writing the first data, the second data,..., The nth data to the first target address, the second target address,..., The nth target address (n; an integer of 2 or more), respectively. A data generator,
Reading the data actually stored in each of the first target address, the second target address,..., The nth target address by writing by the address / data generation unit from the memory,
When the first storage data is different from the actual storage data of the first target address, the storage data storage area provided in the memory includes storage data including data indicating the difference and data indicating the first target address Save to
When the actual data stored at the second target address is different from the second data, the storage data including the data indicating the difference and the data indicating the second target address is stored in the storage data storage area;・ ・,
When the actual data stored at the nth target address is different from the nth data, the collation result stores the stored data including the data indicating the difference and the data indicating the nth target address in the stored data storage area A storage control unit;
A semiconductor integrated circuit (hereinafter referred to as “another expression 1”).

更に、本発明は、以下のように表現することもできる。
データの読み書きが可能な複数のメモリと、
各メモリの第1対象アドレス、第2対象アドレス、・・・、第n対象アドレス(n;2以上の整数)に、夫々第1データ、第2データ、・・・、第nデータを書き込むアドレス・データ生成部と、
前記アドレス・データ生成部による書き込みよって各メモリの第1対象アドレス、第2対象アドレス、・・・、第n対象アドレスの夫々に実際に記憶されたデータを各メモリから読み出し、
各メモリの第1対象アドレスの実際の記憶データと前記第1データとの間に相違があるとき、その相違内容を表すデータと相違の生じているメモリが何れのメモリであるかを表すデータと前記第1対象アドレスを表すデータとを含む保存データを、前記複数のメモリの何れか1つのメモリに設けられた保存データ格納領域に保存し、
各メモリの第2対象アドレスの実際の記憶データと前記第2データとの間に相違があるとき、その相違内容を表すデータと相違の生じているメモリが何れのメモリであるかを表すデータと前記第2対象アドレスを表すデータとを含む保存データを、前記保存データ格納領域に保存し、・・・、
各メモリの第n対象アドレスの実際の記憶データと前記第nデータとの間に相違があるとき、その相違内容を表すデータと相違の生じているメモリが何れのメモリであるかを表すデータと前記第n対象アドレスを表すデータとを含む保存データを、前記保存データ格納領域に保存する照合結果保存制御部と、
を備えたことを特徴とする半導体集積回路(以下、「別表現2」という)。
Furthermore, the present invention can also be expressed as follows.
Multiple memories that can read and write data,
Address for writing first data, second data,..., N-th data to the first target address, second target address,..., N-th target address (n: integer of 2 or more) of each memory, respectively. A data generator,
The data actually stored in each of the first target address, the second target address,..., The nth target address of each memory by writing by the address / data generation unit is read from each memory,
When there is a difference between the actual storage data of the first target address of each memory and the first data, the data indicating the content of the difference and the data indicating which memory is different Storing storage data including data representing the first target address in a storage data storage area provided in any one of the plurality of memories;
When there is a difference between the actual storage data of the second target address of each memory and the second data, the data indicating the difference contents and the data indicating which memory is different Storing storage data including data representing the second target address in the storage data storage area;
When there is a difference between the actual storage data of the nth target address of each memory and the nth data, the data indicating the contents of the difference and the data indicating which memory is different A verification result storage control unit that stores storage data including data representing the nth target address in the storage data storage area;
A semiconductor integrated circuit (hereinafter referred to as “another expression 2”).

上記「別表現1」及び「別表現2」における第1データ、第2データ、・・・、第nデータは、夫々に任意の値を取りうる。従って、第1データ、第2データ、・・・、第nデータは、夫々互いに異なっていてもいいし、一部が一致していてもいい。また、全部が一致していてもいい。   The first data, the second data,..., The nth data in the “other expression 1” and “other expression 2” can take arbitrary values. Accordingly, the first data, the second data,..., The nth data may be different from each other, or a part thereof may be matched. Moreover, all may be in agreement.

本発明によれば、メモリの不良原因の解析時間を短くすることができ、また不良原因解析用の回路規模を縮小することができる。従って、本発明は、BIST回路を備えた半導体集積回路(IC)として、SOC(System On a Chip)等に好適である。また、本発明を適用すれば低コスト化及び小型化が実現されるため、携帯電話機及びPHS(Personal Handyphone System)等の低コスト化や小型化が望まれる移動体通信機、並びにパーソナルコンピュータに代表される情報処理機器等、様々な電気機器に本発明は好適である。特に、内蔵メモリの数が増えれば増えるほど本発明の効果は顕著となるため、多数のメモリが内蔵されることが多い画像処理用のIC(デジタルカメラ等に用いられる)に本発明は好適である。   According to the present invention, it is possible to shorten the analysis time of the cause of failure of the memory and reduce the circuit scale for failure cause analysis. Therefore, the present invention is suitable for an SOC (System On a Chip) or the like as a semiconductor integrated circuit (IC) provided with a BIST circuit. Further, if the present invention is applied, cost reduction and miniaturization are realized. Therefore, representative examples of mobile communication devices such as mobile phones and PHS (Personal Handyphone System) and miniaturization and personal computers are desired. The present invention is suitable for various electric devices such as information processing devices. In particular, the effect of the present invention becomes more remarkable as the number of built-in memories increases. Therefore, the present invention is suitable for an image processing IC (used in a digital camera or the like) that often includes a large number of memories. is there.

本発明の実施形態に係るICの構成ブロック図である。1 is a configuration block diagram of an IC according to an embodiment of the present invention. 図1のICの動作を説明するためのフローチャートである。2 is a flowchart for explaining the operation of the IC of FIG. 1. 図1のRAMの記憶領域の配分を示す図である。It is a figure which shows allocation of the memory area of RAM of FIG. 図1のICの動作を説明するためのフローチャートである。2 is a flowchart for explaining the operation of the IC of FIG. 1. 図2の動作において保存される保存データの内容を示したものである。FIG. 3 shows the contents of stored data stored in the operation of FIG. 2. 図2の動作において保存される保存データの内容を示したものである。FIG. 3 shows the contents of stored data stored in the operation of FIG. 2. 従来のICの構成ブロック図である。It is a block diagram of a conventional IC.

符号の説明Explanation of symbols

1、2、3、4 RAM
5 アドレス・データ生成部
6 照合結果保存制御部
7 照合部
8 保存データ生成部
31、32、33、34 セレクタ
10 IC
1a 保存データ格納領域
1, 2, 3, 4 RAM
5 Address / Data Generation Unit 6 Verification Result Storage Control Unit 7 Verification Unit 8 Storage Data Generation Unit 31, 32, 33, 34 Selector 10 IC
1a Storage data storage area

Claims (7)

データの読み書きが可能なメモリと、
前記メモリの所定の対象アドレスに所定のデータを書き込むアドレス・データ生成部と、
前記アドレス・データ生成部による書き込みによって前記対象アドレスに実際に記憶されたデータを前記メモリから読み出し、その実際の記憶データと前記所定のデータが相違する場合、その相違内容を表すデータと前記対象アドレスを表すデータとを含む保存データを前記メモリに設けられた保存データ格納領域に保存する照合結果保存制御部と、
を備えたことを特徴とする半導体集積回路。
Memory that can read and write data,
An address / data generator for writing predetermined data to a predetermined target address of the memory;
When the data actually stored at the target address is read from the memory by writing by the address / data generation unit, and the actual storage data is different from the predetermined data, the data indicating the difference and the target address A collation result storage control unit that stores storage data including data representing data in a storage data storage area provided in the memory;
A semiconductor integrated circuit comprising:
データの読み書きが可能な複数のメモリと、
各メモリの所定の対象アドレスに所定のデータを書き込むアドレス・データ生成部と、
前記アドレス・データ生成部による書き込みよって各対象アドレスに実際に記憶されたデータを各メモリから読み出して、各対象アドレスの実際の記憶データと前記所定のデータが相違するかをメモリ毎に判断し、何れかの記憶データが前記所定のデータと相違する場合は、その相違内容を表すデータと相違の生じているメモリが何れのメモリであるかを表すデータと前記対象アドレスを表すデータとを含む保存データを前記複数のメモリの何れか1つのメモリに設けられた保存データ格納領域に保存する照合結果保存制御部と、
を備えたことを特徴とする半導体集積回路。
Multiple memories that can read and write data,
An address / data generator for writing predetermined data to a predetermined target address of each memory;
The data actually stored in each target address by writing by the address / data generation unit is read from each memory, and it is determined for each memory whether the actual storage data of each target address is different from the predetermined data, If any of the stored data is different from the predetermined data, the storage includes data indicating the content of the difference, data indicating the memory in which the difference occurs, and data indicating the target address A verification result storage control unit for storing data in a storage data storage area provided in any one of the plurality of memories;
A semiconductor integrated circuit comprising:
前記保存データ格納領域への前記保存データの保存処理を行う前に、前記保存データ格納領域に不良領域が存在しないかを判断し、不良領域がある場合、前記照合結果保存制御部は前記不良領域を避けて前記保存データを保存する
ことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の半導体集積回路。
Before performing the process of storing the stored data in the stored data storage area, it is determined whether or not there is a defective area in the stored data storage area. If there is a defective area, the verification result storage control unit 3. The semiconductor integrated circuit according to claim 1, wherein the storage data is stored while avoiding the above.
前記保存データには、前記不良領域が存在するアドレスに関する情報が含まれている
ことを特徴とする請求項3に記載の半導体集積回路。
4. The semiconductor integrated circuit according to claim 3, wherein the stored data includes information regarding an address where the defective area exists.
前記相違内容を表すデータは、前記所定のデータと対応付けられたデータ又は前記所定のデータと前記記憶データとから構成される
ことを特徴とする請求項1〜請求項4の何れかに記載の半導体集積回路。
5. The data representing the content of the difference includes data associated with the predetermined data or the predetermined data and the storage data. Semiconductor integrated circuit.
前記保存データ格納領域が設けられたメモリは不揮発性メモリである
ことを特徴とする請求項1〜請求項5の何れかに記載の半導体集積回路。
6. The semiconductor integrated circuit according to claim 1, wherein the memory in which the storage data storage area is provided is a nonvolatile memory.
請求項1〜請求項6の何れかに記載の半導体集積回路を備えたことを特徴とする電気機器。   An electrical apparatus comprising the semiconductor integrated circuit according to claim 1.
JP2004222776A 2004-07-30 2004-07-30 Semiconductor integrated circuit Pending JP2006038782A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004222776A JP2006038782A (en) 2004-07-30 2004-07-30 Semiconductor integrated circuit

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004222776A JP2006038782A (en) 2004-07-30 2004-07-30 Semiconductor integrated circuit

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2006038782A true JP2006038782A (en) 2006-02-09

Family

ID=35903921

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004222776A Pending JP2006038782A (en) 2004-07-30 2004-07-30 Semiconductor integrated circuit

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2006038782A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8365027B2 (en) 2008-12-03 2013-01-29 Fujitsu Limited Processor and method for controlling storage-device test unit

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8365027B2 (en) 2008-12-03 2013-01-29 Fujitsu Limited Processor and method for controlling storage-device test unit

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8201037B2 (en) Semiconductor integrated circuit and method for controlling semiconductor integrated circuit
US7937630B2 (en) Semiconductor memory and method for testing the same
US6876591B2 (en) Integrated circuit with self-test device for an embedded non-volatile memory and related test method
US5923600A (en) Semiconductor device and test method and apparatus for semiconductor device
US20050182997A1 (en) Semiconductor device with memory and method for memory test
US9256505B2 (en) Data transformations to improve ROM yield and programming time
KR100843208B1 (en) Semiconductor chip package and method of testing the same
US11726895B2 (en) Semiconductor device
US8082477B2 (en) Method of memory build-in self-test
US7791967B2 (en) Semiconductor memory device and method of testing the same
US6715117B2 (en) Method of testing a semiconductor memory device
US8365027B2 (en) Processor and method for controlling storage-device test unit
JP2007272982A (en) Semiconductor storage device and its inspection method
JP2006038782A (en) Semiconductor integrated circuit
JP2006120250A (en) Semiconductor device and test method therefor
KR100632338B1 (en) Semiconductor device and test method thereof
JP2003297100A (en) Semiconductor device
JP2007280546A (en) Semiconductor test equipment and semiconductor device testing method
KR100630716B1 (en) Semiconductor memory device capable of writing a versatile pattern data and method for testing the same
US11837311B2 (en) Integrated circuit, memory and operation method of memory
JP2004333246A (en) Semiconductor device
US7403437B2 (en) ROM test method and ROM test circuit
US9287010B1 (en) Repair system for semiconductor apparatus and repair method using the same
JPH11288598A (en) Test device for semiconductor memory
JP2006079678A (en) Memory test circuit and memory test method