JP2006038484A

JP2006038484A - Voltage current generator

Info

Publication number: JP2006038484A
Application number: JP2004214559A
Authority: JP
Inventors: Hiroshi Mizota; 浩志溝田
Original assignee: Yokogawa Electric Corp
Current assignee: Yokogawa Electric Corp
Priority date: 2004-07-22
Filing date: 2004-07-22
Publication date: 2006-02-09
Anticipated expiration: 2024-07-22
Also published as: JP4352401B2

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To attain a voltage current generator of the reduced number of component items capable of outputting a precise voltage to a tested object. <P>SOLUTION: The present invention provides an improved voltage current generator provided with a plurality of cards having a DA converter with an output ranged determined by a reference voltage, and for imparting an output from the DA converter in each of the cards to the tested object. This generator is provided with a reference voltage distributing part for generating a reference voltage using the reference voltage of the tested object as a reference, and a reference voltage generation part provided in every of the cards, and for generating the reference voltage from a reference voltage of the reference voltage distributing part, using the reference voltage of the reference voltage distributing part as a reference, to be output to the DA converter. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、リファレンス電圧により出力範囲が決まるＤＡ変換器の出力を、被試験対象に与える電圧電流発生装置に関し、詳しくは、少ない部品点数で、被試験対象に高精度な電圧を出力する電圧電流発生装置に関するものである。 The present invention relates to a voltage / current generator that provides an output of a DA converter whose output range is determined by a reference voltage to an object to be tested, and more specifically, a voltage current that outputs a highly accurate voltage to the object to be tested with a small number of parts. It relates to a generator.

半導体試験システム（いわゆるＩＣテスタ）では、被試験対象（以下、ＤＵＴ（Device Under Test）と略す）を精度良く試験するために、ＤＵＴに高精度な電圧を与える必要がある。従って、高精度な電圧を出力する電圧電流発生装置がＩＣテスタ内に設けられる（例えば、特許文献１、特許文献２参照）。 In a semiconductor test system (so-called IC tester), it is necessary to apply a highly accurate voltage to a DUT in order to accurately test a device under test (hereinafter abbreviated as DUT (Device Under Test)). Therefore, a voltage / current generator that outputs a highly accurate voltage is provided in the IC tester (see, for example, Patent Document 1 and Patent Document 2).

図３は、従来のＩＣテスタにおける電圧電流発生装置の構成を示した図である。図３において、ＤＵＴ１は、試験されるＩＣであり、テストヘッド（図示せず）のパフォーマンスボード２上に設置される。また、ＤＵＴ１は、入出力用の複数のピンのうち、所定のピンＰｇが信号線Ｌｆを介して、ＩＣテスタ全体の基準電位となるグランドに接続され、大電流が流れる。 FIG. 3 is a diagram showing a configuration of a voltage / current generator in a conventional IC tester. In FIG. 3, DUT 1 is an IC to be tested, and is installed on a performance board 2 of a test head (not shown). In the DUT 1, a predetermined pin Pg among a plurality of input / output pins is connected to the ground serving as the reference potential of the entire IC tester via the signal line Lf, and a large current flows.

高精度電圧電流発生モジュール３は、ＩＣテスタ本体に設けられ、複数のカード４を有する。カード４は、高精度基準電圧生成部５、リファレンス電圧生成部６、ＤＡ変換器７、ロウ側アンプ部８、加算アンプ部９、ハイ側アンプ部１０を有し、ＤＵＴ１に所定の電圧、電流を出力する。なお、各カード４からＤＵＴ１の各ピンに電圧が出力されるが、図３中では、１個のみ図示している。 The high-accuracy voltage / current generating module 3 is provided in the IC tester main body and has a plurality of cards 4. The card 4 includes a high-precision reference voltage generation unit 5, a reference voltage generation unit 6, a DA converter 7, a low-side amplifier unit 8, an addition amplifier unit 9, and a high-side amplifier unit 10, and a predetermined voltage and current are supplied to the DUT 1. Is output. A voltage is output from each card 4 to each pin of DUT 1, but only one is shown in FIG.

高精度基準電圧生成部５は、高精度な基準電圧を出力する。リファレンス電圧生成部６は、高精度基準電圧生成部５の基準電圧からリファレンス電圧を生成する。ＤＡ変換器７は、リファレンス電圧生成部６からのリファレンス電圧によって出力範囲（いわゆる、±ＦｕｌｌＳｃａｌｅ：フルスケール）が設定され、制御線から入力されるデジタル信号をアナログ信号に変換した電圧を出力する。なお、高精度基準電圧生成部５、リファレンス電圧生成部６、ＤＡ変換器７は、自身が設けられるモジュール３内のグランドを基準電位としている。 The high-precision reference voltage generation unit 5 outputs a high-precision reference voltage. The reference voltage generation unit 6 generates a reference voltage from the reference voltage of the high accuracy reference voltage generation unit 5. The DA converter 7 has an output range (so-called ± Full Scale: full scale) set by the reference voltage from the reference voltage generator 6, and outputs a voltage obtained by converting a digital signal input from the control line into an analog signal. . The high-accuracy reference voltage generation unit 5, the reference voltage generation unit 6, and the DA converter 7 use the ground in the module 3 in which they are provided as a reference potential.

ロウ側アンプ部８は、ロウ側信号線Ｌｓを介してＤＵＴ１のピンＰｇと接続される。なお信号線Ｌｓは、ピンＰｇの電圧をモニタするための経路であり、ロウ側アンプ部８が高入力インピーダンスなので、電流はほとんど流れない。 The row side amplifier unit 8 is connected to the pin Pg of the DUT 1 through the row side signal line Ls. The signal line Ls is a path for monitoring the voltage of the pin Pg, and since the low-side amplifier unit 8 has a high input impedance, almost no current flows.

加算アンプ部９は、ＤＡ変換器７の出力とロウ側アンプ部８の出力とを加算する。ハイ側アンプ部１０は、所望の電圧増幅を行なうと共に電流バッファであり、信号線Ｈｆ、信号線Ｈｓを介してＤＵＴ１の所定のピンＰｈに接続される。そして、ハイ側アンプ部１０は、信号線Ｈｆを介して所望の電圧をＤＵＴ１に出力し、ハイ側信号線Ｈｓを介してピンＰｈの電圧をセンシングする。また、ロウ側アンプ部８の出力を基準とし、加算アンプ部９からの出力を補正し、高精度な電圧をＤＵＴ１に与える。なお、信号線Ｈｆは大電流が流れ、信号線ＨｓはピンＰｈの電圧をモニタする経路であり、電流はほとんど流れない The addition amplifier unit 9 adds the output of the DA converter 7 and the output of the row side amplifier unit 8. The high-side amplifier unit 10 performs desired voltage amplification and is a current buffer, and is connected to a predetermined pin Ph of the DUT 1 through the signal line Hf and the signal line Hs. The high-side amplifier unit 10 outputs a desired voltage to the DUT 1 through the signal line Hf, and senses the voltage at the pin Ph through the high-side signal line Hs. Further, with reference to the output of the low-side amplifier unit 8, the output from the addition amplifier unit 9 is corrected, and a highly accurate voltage is applied to the DUT 1. A large current flows through the signal line Hf, and the signal line Hs is a path for monitoring the voltage at the pin Ph, so that almost no current flows.

このような装置の動作を説明する。
高精度基準電圧生成部５が、モジュール３内のグランドを基準電位とし、基準電圧を生成し、リファレンス電圧生成部６に出力する。そして、リファレンス電圧生成部６が、モジュール３内のグランドを基準電位とし、基準電圧からＤＡ変換器７や図示しないその他の回路用のリファレンス電圧を各種生成する。さらに、ＤＡ変換器７が、リファレンス電圧に基づく出力範囲で、制御線からのデジタル信号をアナログ信号に変換し加算アンプ部９に出力する。 The operation of such an apparatus will be described.
The high-precision reference voltage generation unit 5 uses the ground in the module 3 as a reference potential, generates a reference voltage, and outputs the reference voltage to the reference voltage generation unit 6. Then, the reference voltage generation unit 6 uses the ground in the module 3 as a reference potential, and generates various reference voltages for the DA converter 7 and other circuits (not shown) from the reference voltage. Further, the DA converter 7 converts the digital signal from the control line into an analog signal within the output range based on the reference voltage, and outputs the analog signal to the addition amplifier unit 9.

一方、ＤＵＴ１は、信号線Ｌｆによってシステムのグランドに接続されているが、信号線ＬｆはＤＵＴ１の大電流が流れるため電圧降下が発生する。通常、グランドに接続される信号線Ｌｆは、カード４それぞれからＤＵＴ１に入力される電流全てのリターンとなるため大電流（数アンペア）が流れる。従って、システムのグランドの基準電位と、ＤＵＴ１の基準電位（ピンＰｇの電圧）が異なる。当然、モジュール内の基準電位とＤＵＴ１の基準電位も厳密には異なっている。 On the other hand, the DUT 1 is connected to the system ground by the signal line Lf, but a voltage drop occurs in the signal line Lf because a large current flows through the DUT 1. Usually, a large current (several amperes) flows through the signal line Lf connected to the ground because it returns all the currents input to the DUT 1 from the respective cards 4. Therefore, the reference potential of the system ground is different from the reference potential of DUT 1 (the voltage at pin Pg). Naturally, the reference potential in the module and the reference potential of the DUT 1 are also strictly different.

そこで、信号線Ｌｓを介してロウ側アンプ部８が、ＤＵＴ１の基準電位をセンシングする。そして、加算アンプ部９が、ＤＡ変換器７の出力とロウ側アンプ部８の出力とを加算し、信号線Ｌｆでの電圧降下で生ずる基準電位の誤差分を補正する。 Therefore, the low-side amplifier unit 8 senses the reference potential of the DUT 1 via the signal line Ls. Then, the addition amplifier unit 9 adds the output of the DA converter 7 and the output of the low-side amplifier unit 8 to correct an error in the reference potential caused by the voltage drop on the signal line Lf.

さらに、加算アンプ部９の出力を、ハイ側アンプ部１０が補正を行なってＤＵＴ１に信号線Ｈｆを介して出力する。つまり、信号線Ｈｆには大電流（数ミリアンペア〜数アンペア）が流れ、ハイ側の経路となる信号線Ｈｆにも電圧降下が発生し誤差が生じるので、ＤＵＴ１のピンＰｈそばからの電位をハイ側アンプ部１０が信号線Ｈｓを介してセンシングし、出力を補正する。 Further, the high-side amplifier unit 10 corrects the output of the addition amplifier unit 9 and outputs it to the DUT 1 via the signal line Hf. That is, a large current (several milliamperes to several amperes) flows through the signal line Hf, and a voltage drop also occurs in the signal line Hf serving as the high-side path, resulting in an error. Therefore, the potential from the pin Ph of the DUT 1 is increased. The side amplifier unit 10 senses via the signal line Hs and corrects the output.

特開平９−２３０９４６号公報JP-A-9-230946 特開平７−３３３２４９号公報JP-A-7-333249

このように、２つの補正（加算アンプ部９が信号線Ｌｆで生ずる誤差を補正し、ハイ側アンプ部１０が信号線Ｈｆで生ずる誤差の補正）を行なうことによって、高精度な電圧をＤＵＴ１に与えている。 As described above, by performing two corrections (the addition amplifier unit 9 corrects an error generated in the signal line Lf and the high-side amplifier unit 10 corrects an error generated in the signal line Hf), a high-accuracy voltage is applied to the DUT 1. Giving.

しかしながら、高精度な電圧を出力する高精度基準電圧生成部５、基準電位の誤差を補正する加算アンプ部９のそれぞれを各カード４ごとに設ける必要があり、部品点数が増えるという問題があった。 However, it is necessary to provide each of the cards 4 with a high-accuracy reference voltage generation unit 5 that outputs a high-accuracy voltage and an addition amplifier unit 9 that corrects an error in the reference potential, which increases the number of components. .

そこで本発明の目的は、少ない部品点数で、被試験対象に高精度な電圧を出力する電圧電流発生装置を実現することにある。 Accordingly, an object of the present invention is to realize a voltage / current generator that outputs a highly accurate voltage to a test object with a small number of parts.

請求項１記載の発明は、
リファレンス電圧により出力範囲が決まるＤＡ変換器を有するカードを複数枚設け、各カードのＤＡ変換器の出力を被試験対象に与える電圧電流発生装置において、
前記被試験対象の基準電位を基準とした基準電圧を生成する基準電圧分配部と、
前記カードごとに設けられ、前記基準電圧分配部の基準電位を基準とし、前記基準電圧分配部の基準電圧から前記リファレンス電圧を生成し、前記ＤＡ変換器に出力するリファレンス電圧生成部と
を設けたことを特徴とするものである。 The invention according to claim 1
In a voltage / current generator that provides a plurality of cards each having a DA converter whose output range is determined by a reference voltage, and gives the output of the DA converter of each card to a test object,
A reference voltage distribution unit for generating a reference voltage based on the reference potential of the test object;
A reference voltage generator provided for each card, generating a reference voltage from a reference voltage of the reference voltage distribution unit based on a reference potential of the reference voltage distribution unit, and outputting the reference voltage to the DA converter; It is characterized by this.

請求項２記載の発明は、請求項１記載の発明において、
基準電圧分配部は、
前記被試験対象の基準電位が入力されるロウ側アンプ部と、
このロウ側アンプ部が出力する電位を基準として、基準電圧を生成する基準電圧生成部と
を有することを特徴とするものである。
請求項３記載の発明は、請求項１または２記載の発明において、
前記ＤＡ変換器から被試験対象への経路の間に設けられ、経路にて発生する電圧降下分を補正するハイ側アンプ部を設けたことを特徴とするものである。
請求項４記載の発明は、請求項１〜３のいずれかに記載の発明において、
前記ＤＡ変換器の出力に基づいて動作する被試験対象の試験を行なう半導体試験システムに用いたことを特徴とするものである。 The invention according to claim 2 is the invention according to claim 1,
The reference voltage distribution unit
A low-side amplifier unit to which the reference potential to be tested is input;
And a reference voltage generation unit that generates a reference voltage with reference to the potential output from the low-side amplifier unit.
The invention according to claim 3 is the invention according to claim 1 or 2,
A high-side amplifier is provided between the DA converter and the path to be tested, and corrects a voltage drop generated in the path.
The invention according to claim 4 is the invention according to any one of claims 1 to 3,
The present invention is characterized in that it is used in a semiconductor test system for performing a test on an object to be tested that operates based on an output of the DA converter.

本発明によれば、以下のような効果がある。
請求項１〜４によれば、基準電圧分配部が、被試験対象の基準電位を基準として基準電圧を生成し、各カードに分配する。そして、各カードのリファレンス電圧生成部が、基準電圧分配部の基準電位を基準としてリファレンス電圧を生成する。これにより、各カードごとに基準電圧を生成する回路や、装置全体の基準電位と被試験対象の基準電位との誤差分を補正する加算アンプ部を設けなくとも、被試験対象の基準電位の変動に追従したリファレンス電圧を生成できる。従って、少ない部品点数で、被試験対象に高精度な電圧を出力することができる。さらに、部品点数が減少するので、各カードの小型化、部品配置の制約が緩和される。 The present invention has the following effects.
According to the first to fourth aspects, the reference voltage distribution unit generates a reference voltage based on the reference potential of the test object and distributes the reference voltage to each card. Then, the reference voltage generation unit of each card generates a reference voltage based on the reference potential of the reference voltage distribution unit. This makes it possible to change the reference potential of the device under test without providing a circuit that generates a reference voltage for each card or an addition amplifier that corrects the error between the reference potential of the entire device and the reference potential of the device under test. A reference voltage that follows can be generated. Therefore, it is possible to output a highly accurate voltage to the test object with a small number of parts. Furthermore, since the number of parts is reduced, the size reduction of each card and the restrictions on the parts arrangement are alleviated.

請求項３によれ、ハイ側アンプ部が、被試験対象への経路における電圧降下分の誤差分をセンシングして補正するので、被試験対象に大電流が出力されても高精度な電圧を印加することができる。 According to the third aspect, the high-side amplifier section senses and corrects the error of the voltage drop in the path to the test object, so that a high-accuracy voltage is applied even if a large current is output to the test object. can do.

請求項４によれば、被試験対象に対して高精度な電圧を印加することができるので、精度良く被試験対象を試験することができる。 According to the fourth aspect, since a highly accurate voltage can be applied to the object to be tested, the object to be tested can be tested with high accuracy.

以下図面を用いて本発明の実施の形態を説明する。
図１は、本発明の一実施例を示す構成図である。ここで、図３と同一のものは同一符号を付し、説明を省略する。また、ＤＡ変換器７に接続される制御線の図示も省略する。図１において、基準電圧分配部１１が、モジュール３とは別のモジュールとして、信号線Ｌｓの経路上に新たに設けられる。基準電圧分配部１１は、ロウ側アンプ部１２、高精度基準電圧生成部１３を有し、ＤＵＴ１の基準電位を基準とした基準電圧を生成する。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of the present invention. Here, the same components as those in FIG. Further, illustration of a control line connected to the DA converter 7 is also omitted. In FIG. 1, the reference voltage distribution unit 11 is newly provided on the path of the signal line Ls as a module different from the module 3. The reference voltage distribution unit 11 includes a low-side amplifier unit 12 and a high-accuracy reference voltage generation unit 13 and generates a reference voltage based on the reference potential of the DUT 1.

ロウ側アンプ部１２は、入力側が信号線Ｌｓを介してＤＵＴ１のピンＰｇと接続され、ＤＵＴ１の基準電位が入力される。また、出力側が各カード４のロウ側アンプ部８の入力側に接続される。なお、ロウ側アンプ部１２は、ロウ側アンプ部８と同様に、高入力インピーダンスであり、信号線Ｌｓには、電流がほとんど流れない。高精度基準電圧生成部１３は、ロウ側アンプ部１２が出力する電位（つまり、ＤＵＴ１の基準電位）を基準とした基準電圧を生成し、出力する。 The low-side amplifier unit 12 is connected to the pin Pg of the DUT 1 via the signal line Ls on the input side, and receives the reference potential of the DUT 1. The output side is connected to the input side of the row side amplifier unit 8 of each card 4. Note that the low-side amplifier unit 12 has a high input impedance like the low-side amplifier unit 8, and hardly any current flows through the signal line Ls. The high-accuracy reference voltage generation unit 13 generates and outputs a reference voltage based on the potential output from the low-side amplifier unit 12 (that is, the reference potential of the DUT 1).

カード４においては、高精度基準電圧生成部５、加算アンプ部９が取り外され、リファレンス電圧生成部６の代わりに、リファレンス電圧生成部１４が設けられる。このリファレンス電圧生成部１４は、各カード４ごとに設けられる。 In the card 4, the high-precision reference voltage generation unit 5 and the addition amplifier unit 9 are removed, and a reference voltage generation unit 14 is provided instead of the reference voltage generation unit 6. The reference voltage generation unit 14 is provided for each card 4.

リファレンス電圧生成部１４は、ロウ側アンプ部８を介して入力される基準電圧分配部１１の基準電位を基準とし、高精度基準電圧生成部１３が出力する基準電圧からリファレンス電圧を生成し、ＤＡ変換器７に出力する。 The reference voltage generation unit 14 generates a reference voltage from the reference voltage output from the high-precision reference voltage generation unit 13 using the reference potential of the reference voltage distribution unit 11 input via the low-side amplifier unit 8 as a reference. Output to the converter 7.

このような装置の動作を説明する。
信号線Ｌｓを介してロウ側アンプ部１２が、ＤＵＴ１の基準電位（つまり、ピンＰｇの電圧）をセンシングする。そして、高精度基準電圧生成部１３が、ロウ側アンプ部１２が出力する電位を基準とした基準電圧を生成し、各カード４のリファレンス電圧生成部１４に出力する。 The operation of such an apparatus will be described.
The low-side amplifier unit 12 senses the reference potential of the DUT 1 (that is, the voltage at the pin Pg) via the signal line Ls. The high-accuracy reference voltage generation unit 13 generates a reference voltage based on the potential output from the low-side amplifier unit 12 and outputs the reference voltage to the reference voltage generation unit 14 of each card 4.

そして、カード４のロウ側アンプ部８が、基準電圧分配部１１のロウ側アンプ部１２からの基準電位をリファレンス電圧生成部１４、ハイ側アンプ部１０に出力する。 Then, the low-side amplifier unit 8 of the card 4 outputs the reference potential from the low-side amplifier unit 12 of the reference voltage distribution unit 11 to the reference voltage generation unit 14 and the high-side amplifier unit 10.

リファレンス電圧生成部１４が、基準電圧分配部１１のロウ側アンプ部１２から出力される電位を基準とし、高精度基準電圧生成部１３の基準電圧からリファレンス電圧（±Ｖｒ）を生成し、ＤＡ変換器７に出力する。 The reference voltage generation unit 14 generates a reference voltage (± Vr) from the reference voltage of the high-accuracy reference voltage generation unit 13 using the potential output from the low-side amplifier unit 12 of the reference voltage distribution unit 11 as a reference, and DA conversion To the device 7.

そしてＤＡ変換器７が、リファレンス電圧生成部１４からのリファレンス電圧（±Ｖｒ）によって出力範囲が設定され、図示しない制御線から入力されるデジタル信号をアナログ信号に変換した電圧をハイ側アンプ部１０に直接出力する。 The output range of the DA converter 7 is set by the reference voltage (± Vr) from the reference voltage generation unit 14, and a voltage obtained by converting a digital signal input from a control line (not shown) into an analog signal is a high-side amplifier unit 10. Output directly to.

さらに、ハイ側アンプ部１０が、ＤＵＴ１のピンＰｈそばからの電位を信号線Ｈｓを介してセンシングし、ＤＡ変換器７からの出力を補正して信号線Ｈｆを介してＤＵＴ１のピンＰｈに電圧を印加する。 Further, the high-side amplifier unit 10 senses the potential from the pin Ph of the DUT 1 through the signal line Hs, corrects the output from the DA converter 7 and applies a voltage to the pin Ph of the DUT 1 through the signal line Hf. Apply.

続いて、ＤＡ変換器７の出力を図２を用いて説明する。図２は、ＤＡ変換器７の出力範囲を設定するリファレンス電圧の変位を示した図である。図２に示すように、モジュール３のグランドの電位とＤＵＴ１の基準電位が同じ場合、リファレンス電圧生成部１４が生成するリファレンス電圧は（＋Ｖｒ＝＋Ｒｅｆ），（−Ｖｒ＝−Ｒｅｆ）となる。 Next, the output of the DA converter 7 will be described with reference to FIG. FIG. 2 is a diagram showing the displacement of the reference voltage that sets the output range of the DA converter 7. As shown in FIG. 2, when the ground potential of the module 3 and the reference potential of the DUT 1 are the same, the reference voltages generated by the reference voltage generation unit 14 are (+ Vr = + Ref) and (−Vr = −Ref).

そして、ＤＵＴ１の基準電位が＋側にΔｖ１変動すると、リファレンス電圧生成部１４が生成するリファレンス電圧は（＋Ｖｒ＝＋Ｒｅｆ’＝＋Ｒｅｆ＋ΔＶ１），（−Ｖｒ＝−Ｒｅｆ’＝−Ｒｅｆ＋ΔＶ１）となる。ただし、（ΔＶ１∝Δｖ１）である。 When the reference potential of the DUT 1 fluctuates by Δv1 to the + side, the reference voltage generated by the reference voltage generation unit 14 becomes (+ Vr = + Ref ′ = + Ref + ΔV1), (−Vr = −Ref ′ = − Ref + ΔV1). However, (ΔV1ＶΔv1).

逆に、ＤＵＴ１の基準電位が−側にΔｖ２変動すると、リファレンス電圧生成部１４が生成するリファレンス電圧は（＋Ｖｒ＝＋Ｒｅｆ’’＝＋Ｒｅｆ−ΔＶ２），（−Ｖｒ＝−Ｒｅｆ’’＝−Ｒｅｆ−ΔＶ２）となる。ただし、（ΔＶ２∝Δｖ２）である。 On the other hand, when the reference potential of the DUT 1 fluctuates by Δv2 on the − side, the reference voltage generated by the reference voltage generation unit 14 is (+ Vr = + Ref ″ = + Ref−ΔV2), (−Vr = −Ref ″ = − Ref− ΔV2). However, (ΔV2∝Δv2).

すなわち、ＤＡ変換器７の出力範囲を設定するリファレンス電圧（±Ｖｒ）が、ＤＵＴ１の基準電位の動きに追従するので、ＤＡ変換器７の出力もＤＵＴ１の基準電位の動きに追従する。 That is, since the reference voltage (± Vr) that sets the output range of the DA converter 7 follows the movement of the reference potential of the DUT 1, the output of the DA converter 7 follows the movement of the reference potential of the DUT 1.

このように、基準電圧分配部１１が、ＤＵＴ１の基準電位を基準として基準電圧を生成し、各カード４に分配する。そして、各カード４のリファレンス電圧生成部１４が、基準電圧分配部１１の基準電位を基準としてリファレンス電圧を生成する。これにより、図３に示すように、各カード４ごとに高精度基準電圧生成部５や加算アンプ部９を設けなくとも、ピンＰｇにおける電圧の変動に追従したリファレンス電圧を生成できる。従って、少ない部品点数で、ＤＵＴ１に高精度な電圧を出力することができる。さらに、部品点数が減少するので、各カード４の小型化、部品配置の制約が緩和される。 In this way, the reference voltage distribution unit 11 generates a reference voltage based on the reference potential of the DUT 1 and distributes the reference voltage to each card 4. Then, the reference voltage generation unit 14 of each card 4 generates a reference voltage with reference to the reference potential of the reference voltage distribution unit 11. As a result, as shown in FIG. 3, it is possible to generate a reference voltage following the voltage fluctuation at the pin Pg without providing the high-accuracy reference voltage generation unit 5 and the addition amplifier unit 9 for each card 4. Therefore, a highly accurate voltage can be output to the DUT 1 with a small number of parts. Furthermore, since the number of parts is reduced, the size of each card 4 and the restrictions on the parts arrangement are eased.

また、ハイ側アンプ部１０が、信号線Ｈｆの電圧降下によって生ずる誤差分を、信号線Ｈｓを介してセンシングして補正するので、ＤＵＴ１に大電流が出力されても高精度な電圧を印加することができる。従って、ＤＵＴ１の試験を精度良く行なうことができる。 Further, since the high-side amplifier unit 10 senses and corrects an error caused by the voltage drop of the signal line Hf through the signal line Hs, a high-accuracy voltage is applied even if a large current is output to the DUT 1. be able to. Therefore, the test of DUT 1 can be performed with high accuracy.

なお、本発明はこれに限定されるものではなく、以下のようなものでもよい。
図１に示す装置において、ＤＡ変換器７の出力をハイ側アンプ部１０が補正して出力する構成を示したが、ハイ側アンプ部１０を設けなくともよい。 In addition, this invention is not limited to this, The following may be sufficient.
In the apparatus shown in FIG. 1, the high-side amplifier unit 10 corrects and outputs the output of the DA converter 7. However, the high-side amplifier unit 10 may not be provided.

また、モジュール３に複数のカード４を設ける構成を示したが、カード４は１枚でもよい。 Moreover, although the structure which provides the several card | curd 4 in the module 3 was shown, the card | curd 4 may be one.

また、モジュール３を１個だけ設ける構成を示したが、モジュール３は何個設けてもよい。 In addition, although the configuration in which only one module 3 is provided is shown, any number of modules 3 may be provided.

また、カード４にＤＡ変換器７を１個だけ設ける構成を示したが、何個設けてもよく、各ＤＡ変換器７ごとにリファレンス電圧生成部１４を設けてもよい。 In addition, although the configuration in which only one DA converter 7 is provided on the card 4 is shown, any number of DA converters 7 may be provided, and a reference voltage generation unit 14 may be provided for each DA converter 7.

さらに、高精度電圧電流発生装置をＩＣテスタに用いる構成を示したが、装置単体または他のシステムで用いてもよい。すなわち、ＤＡ変換器７の出力範囲が外部からのリファレンス電圧によって設定され、ＤＡ変換器７の出力を被試験対象に与えるシステムに用いてもよい。 Furthermore, although the configuration in which the high-accuracy voltage / current generator is used for the IC tester has been shown, the apparatus may be used alone or in another system. That is, the output range of the DA converter 7 may be set by a reference voltage from the outside, and the output of the DA converter 7 may be used for a system that gives the test object.

本発明の一実施例を示した構成図である。It is the block diagram which showed one Example of this invention. 図１に示す装置におけるリファレンス電圧の変位を示した図である。It is the figure which showed the displacement of the reference voltage in the apparatus shown in FIG. 従来の電源電流発生装置をＩＣテスタに用いた構成を示した図である。It is the figure which showed the structure which used the conventional power supply current generator for IC tester.

Explanation of symbols

１ＤＵＴ１
４カード
７ＤＡ変換器
１０ハイ側アンプ部
１１基準電圧分配部
１２ロウ側アンプ部
１３高精度基準電圧生成部
1 DUT1
4 card 7 DA converter 10 high side amplifier unit 11 reference voltage distribution unit 12 low side amplifier unit 13 high precision reference voltage generation unit

Claims

In a voltage / current generator that provides a plurality of cards each having a DA converter whose output range is determined by a reference voltage, and gives the output of the DA converter of each card to a test object,
A reference voltage distribution unit for generating a reference voltage based on the reference potential of the test object;
A reference voltage generator provided for each card, generating a reference voltage from a reference voltage of the reference voltage distribution unit based on a reference potential of the reference voltage distribution unit, and outputting the reference voltage to the DA converter; A voltage-current generator characterized by that.

The reference voltage distribution unit
A low-side amplifier unit to which the reference potential to be tested is input;
2. The voltage / current generator according to claim 1, further comprising a reference voltage generation unit that generates a reference voltage with reference to a potential output from the low-side amplifier unit.

3. A voltage / current generator according to claim 1, further comprising a high-side amplifier provided between a path from the DA converter to a test object and correcting a voltage drop generated in the path. apparatus.

4. The voltage / current generator according to claim 1, wherein the voltage / current generator is used in a semiconductor test system that performs a test of an object to be tested that operates based on an output of the DA converter.