JP2006006058A

JP2006006058A - Single spindle robot

Info

Publication number: JP2006006058A
Application number: JP2004181385A
Authority: JP
Inventors: Makoto Kamogawa; 良加茂川; Takashi Kaieda; 隆海江田
Original assignee: Yamaha Motor Co Ltd
Current assignee: Yamaha Motor Co Ltd
Priority date: 2004-06-18
Filing date: 2004-06-18
Publication date: 2006-01-05
Anticipated expiration: 2024-06-18
Also published as: JP4514112B2

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a single spindle robot in which a coil can be cooled efficiently while preventing power performance from deteriorating due to an eddy current. SOLUTION: The single spindle robot comprises a slider 14 supported reciprocally by a linear guide 13, and a movable coil type linear motor 15 having a rod-like stator 22 penetrating a coil 21 incorporated in the slider 14. The coil 21 is bonded to the slider 14 with epoxy resin 54 impregnating the gap between the coil 21 and the inner surface of the slider 14. A plurality of fins 61 are protruded from the inner surface of the slider 14. COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、可動コイル形リニアモータを動力源としてスライダを往復動させる単軸ロボットに関するものである。 The present invention relates to a single-axis robot that reciprocates a slider using a moving coil linear motor as a power source.

従来のこの種の単軸ロボットとしては、例えば特許文献１に開示されたものがある。この特許文献１に示された単軸ロボットは、水平方向に延びる１本の棒状のステータと、このステータが貫通するコイルとを有するリニアモータを動力源として構成されている。前記コイルは、前記ステータの軸線方向に移動自在に構成されたスライダに収納されている。 As this type of conventional single-axis robot, there is one disclosed in Patent Document 1, for example. The single-axis robot shown in Patent Document 1 is configured with a linear motor having a single bar-shaped stator extending in the horizontal direction and a coil passing through the stator as a power source. The coil is housed in a slider configured to be movable in the axial direction of the stator.

前記スライダは、内部に前記コイルが固定されるとともに、被駆動部材を取付けるためのステージが上端部に設けられている。
従来の単軸ロボットに用いるスライダは、例えば図１４に示すように形成されている。図１４において、符号１で示すものは、従来の単軸ロボット用スライダの本体部分を示す。このスライダ本体１は、アルミニウム合金によって所定の形状に成形されたもので、上端部に前記ステージ（図示せず）を取付けるための取付座２が形成されるとともに、中心部に断面円形の貫通穴３が穿設されている。この貫通穴３の内部には、リニアモータ用のコイル４が接着されている。 In the slider, the coil is fixed inside, and a stage for attaching a driven member is provided at an upper end portion.
A slider used in a conventional single-axis robot is formed, for example, as shown in FIG. In FIG. 14, reference numeral 1 denotes a main body portion of a conventional slider for a single axis robot. The slider body 1 is formed into a predetermined shape using an aluminum alloy, and has a mounting seat 2 for mounting the stage (not shown) at the upper end portion, and a through-hole having a circular cross section at the center portion. 3 is drilled. Inside the through hole 3, a coil 4 for a linear motor is bonded.

前記コイル４は、円筒状に形成され、前記貫通穴３内にその中心線に沿って一列に並ぶ状態で複数嵌合されている。また、このコイル４は、前記貫通穴３の穴壁面との間に充填された合成樹脂５によってスライダ本体１に接着されている。この接着用の合成樹脂５は、所望の接着強度を有する他に、スライダ本体１とコイル４とを確実に絶縁することができるものが使用されている。 The coil 4 is formed in a cylindrical shape, and a plurality of coils 4 are fitted in the through hole 3 in a line along the center line. The coil 4 is bonded to the slider body 1 with a synthetic resin 5 filled between the through wall 3 and the wall surface of the hole. As the bonding synthetic resin 5, a resin that can reliably insulate the slider body 1 and the coil 4 is used in addition to having a desired bonding strength.

図１４において、コイル４の中空部内に位置する符号６で示すものはステータである。このステータ６は、パイプ７の内部に複数の円筒状の永久磁石８を嵌合することによって形成され、軸心部を貫通する固定用ボルト９によってステータ用支持部材（図示せず）に固定されている。
なお、本出願人は、本明細書に記載した先行技術文献情報で特定される先行技術文献以外には、本発明に密接に関連する先行技術文献を出願時までに見付け出すことはできなかった。
特開平１０−３１３５６６号公報（第２−３頁、図２） In FIG. 14, what is indicated by reference numeral 6 located in the hollow portion of the coil 4 is a stator. The stator 6 is formed by fitting a plurality of cylindrical permanent magnets 8 inside a pipe 7 and is fixed to a stator support member (not shown) by fixing bolts 9 penetrating the shaft center portion. ing.
In addition, the applicant could not find prior art documents closely related to the present invention by the time of filing other than the prior art documents specified by the prior art document information described in this specification. .
Japanese Patent Laid-Open No. 10-313566 (page 2-3, FIG. 2)

上述したように構成された従来の単軸ロボットは、作動時に発熱するコイル４の冷却が問題になっていた。これは、コイル４から発生する熱は、接着用の合成樹脂５を介してスライダ本体１に伝導され、このスライダ本体１から大気中に放散するからである。すなわち、従来の単軸ロボットにおいては、金属に較べて熱伝導率が小さい合成樹脂５からなる合成樹脂層がコイル４とスライダ本体１との間に介在されており、熱伝達経路の熱抵抗が大きくなるために、コイル４の冷却を向上させるためには限界があった。なお、このような問題を解消するためには、スライダ本体１を前記貫通穴３の内面がコイル４の外周面に近接するように形成し、合成樹脂層の厚みを薄く形成することが考えられる。 In the conventional single-axis robot configured as described above, cooling of the coil 4 that generates heat during operation has been a problem. This is because the heat generated from the coil 4 is conducted to the slider body 1 through the bonding synthetic resin 5 and is dissipated from the slider body 1 into the atmosphere. That is, in a conventional single-axis robot, a synthetic resin layer made of a synthetic resin 5 having a thermal conductivity smaller than that of a metal is interposed between the coil 4 and the slider body 1 so that the heat resistance of the heat transfer path is reduced. Due to the increase in size, there is a limit in improving the cooling of the coil 4. In order to solve such a problem, it is considered that the slider body 1 is formed so that the inner surface of the through hole 3 is close to the outer peripheral surface of the coil 4 and the thickness of the synthetic resin layer is reduced. .

しかし、このような構成を採ると、スライダ本体１とステータ６との間隔が狭くなることに起因して作動時に導電性を有する材料からなるスライダ本体１の内部に渦電流が生じてしまう。このようにスライダ本体１内に渦電流が発生すると、動作速度に比例する大きさをもつ制動力が作用する。このため、スライダ本体１の前記内面をコイル４に接近させると、単軸ロボットとしての性能が低下するという新たな問題が発生する。 However, when such a configuration is adopted, an eddy current is generated inside the slider body 1 made of a conductive material during operation due to a narrow interval between the slider body 1 and the stator 6. Thus, when an eddy current is generated in the slider body 1, a braking force having a magnitude proportional to the operation speed is applied. For this reason, when the inner surface of the slider body 1 is brought close to the coil 4, a new problem that the performance as a single-axis robot deteriorates occurs.

本発明はこのような問題を解消するためになされたもので、渦電流によって動力性能が低下することを防ぎながら、コイルを効率よく冷却することができる単軸ロボットを提供することを目的とする。 The present invention has been made to solve such a problem, and an object of the present invention is to provide a single-axis robot capable of efficiently cooling a coil while preventing power performance from being deteriorated by eddy current. .

この目的を達成するために、本発明に係る単軸ロボットは、リニアガイドと、このリニアガイドと同一方向に配置された棒状のステータと、この棒状のステータが貫通するコイルと、このコイルを内蔵しリニアガイドに往復動自在に支持されたスライダ本体とを備え、このスライダ本体の内面と前記コイルとの間に含浸させた合成樹脂によって前記コイルと前記スライダ本体とを一体化して構成されるスライダが、前記コイルと棒状のステータからなる可動コイル形リニアモータにより往復駆動される単軸ロボットにおいて、前記スライダ本体の内面に複数のフィンを突設したものである。 In order to achieve this object, a single-axis robot according to the present invention includes a linear guide, a rod-shaped stator disposed in the same direction as the linear guide, a coil through which the rod-shaped stator passes, and a built-in coil. And a slider body supported reciprocally by a linear guide, and the coil and the slider body are integrated by a synthetic resin impregnated between the inner surface of the slider body and the coil. However, in a single-axis robot that is driven reciprocally by a moving coil linear motor composed of the coil and a rod-shaped stator, a plurality of fins project from the inner surface of the slider body.

請求項２に記載した発明に係る単軸ロボットは、請求項１に記載した発明に係る単軸ロボットにおいて、フィンをコイルの中心部を指向しかつスライダの移動方向に延びるように形成したものである。 The single-axis robot according to the invention described in claim 2 is the single-axis robot according to the invention described in claim 1, wherein the fin is formed so as to be directed toward the center of the coil and extend in the moving direction of the slider. is there.

請求項３に記載した発明に係る単軸ロボットは、請求項１または請求項２に記載した発明に係る単軸ロボットにおいて、リニアガイドと前記棒状のステータを開口を設けたケース内に収納し、前記開口に外方からこの開口を塞ぐ可撓性のシャッターを設け、前記スライダに前記シャッターを開口から外方に遊離させるガイド部を設けることにより前記スライダを前記シャッターの開口からの遊離部と前記ケースとの開放空間を介してケース内からケース外に延在させるようにしたものである。 A single-axis robot according to the invention described in claim 3 is the single-axis robot according to claim 1 or 2, wherein the linear guide and the rod-shaped stator are housed in a case having an opening, The opening is provided with a flexible shutter that closes the opening from the outside, and the slider is provided with a guide portion that releases the shutter outward from the opening, whereby the slider is separated from the opening from the opening of the shutter. It extends from the case to the outside of the case through an open space with the case.

請求項４に記載した発明に係る単軸ロボットは、請求項３に記載した発明に係る単軸ロボットにおいて、前記ケースの内部空間を前記スライダによって二つに仕切るとともに、前記スライダ本体の外面にスライダの移動方向に延びるフィンを突設したものである。 A single-axis robot according to a fourth aspect of the present invention is the single-axis robot according to the third aspect of the present invention, wherein the internal space of the case is divided into two by the slider, and a slider is formed on the outer surface of the slider body. The fins extending in the moving direction are projected.

請求項５に記載した発明に係る単軸ロボットは、請求項４に記載した発明に係る単軸ロボットにおいて、ケース内の二つの空間のうち少なくとも一方の空間をケースの外に連通させたものである。 The single-axis robot according to the invention described in claim 5 is the single-axis robot according to the invention described in claim 4, wherein at least one of the two spaces in the case communicates with the outside of the case. is there.

本発明によれば、スライダにおけるコイル接着用合成樹脂と接する部位の表面積が増大する。このため、前記合成樹脂とスライダとの接着部分の面積、言い換えれば熱伝達部分の面積が増大するから熱抵抗が低減され、コイルを放熱によって効率よく冷却することができる。
本発明に係る単軸ロボットにおいては、スライダのフィンと、スライダにおける前記フィンの基部に隣接する壁部分とのうち、渦電流が発生し易いのは前記壁部分である。この壁部分は、ステータとの距離が相対的に長くなるから、この壁部分内で発生する渦電流は小さくなる。
したがって、本発明に係る単軸ロボットは、スライダで渦電流が発生することがないか、発生したとしても小さく抑えることができることから高性能で、しかもコイルを充分に冷却することができる。 According to the present invention, the surface area of the portion in contact with the coil-bonding synthetic resin in the slider is increased. For this reason, since the area of the bonding portion between the synthetic resin and the slider, in other words, the area of the heat transfer portion increases, the thermal resistance is reduced, and the coil can be efficiently cooled by heat radiation.
In the single-axis robot according to the present invention, it is the wall portion that easily generates eddy current among the fins of the slider and the wall portion adjacent to the base of the fin in the slider. Since the distance between the wall portion and the stator is relatively long, the eddy current generated in the wall portion is small.
Therefore, the single-axis robot according to the present invention does not generate eddy current in the slider, or can suppress it even if it occurs, so that it has high performance and can sufficiently cool the coil.

請求項２記載の発明によれば、フィンは、スライダの移動方向（ステータの磁束に対して垂直な方向）の断面積が相対的に小さくなるように形成される。このため、この発明によれば、フィンで発生する渦電流を可及的小さく抑えることができるから、コイルの放熱性を向上させながら、単軸ロボットの動力性能（加速能力、最高速度など）を向上させることができる。 According to the second aspect of the present invention, the fin is formed so that the cross-sectional area in the moving direction of the slider (direction perpendicular to the magnetic flux of the stator) is relatively small. Therefore, according to the present invention, the eddy current generated in the fin can be suppressed as small as possible, so that the power performance (acceleration capability, maximum speed, etc.) of the single-axis robot is improved while improving the heat dissipation of the coil. Can be improved.

請求項３記載の発明によれば、スライダをケース外に突出させるためにケースに形成される開口をシャッターによって塞ぐことができるから、前記開口からケース内に異物が入ることをシャッターによって確実に防ぐことができる。 According to the third aspect of the present invention, since the opening formed in the case can be closed by the shutter so that the slider protrudes outside the case, the shutter reliably prevents foreign matter from entering the case from the opening. be able to.

請求項４記載の発明によれば、スライダ本体がケース内を一方から他方へ移動することによって、ケース内の空気がスライダ本体とケースとの間の隙間を通って前記他方から一方へ流れる。この空気は、スライダ本体の外面に突設されたフィンに沿い、一部がフィンに接触する状態で流れる。
このため、スライダ本体に伝達されたコイルの熱がスライダ本体の外に効率よく放熱されるようになる。 According to the fourth aspect of the present invention, the slider body moves from one side to the other in the case, so that the air in the case flows from the other side to the one side through the gap between the slider body and the case. This air flows along the fin protruding from the outer surface of the slider body, and a part of the air contacts the fin.
For this reason, the heat of the coil transmitted to the slider body is efficiently radiated to the outside of the slider body.

請求項５記載の発明によれば、スライダの往復動によるポンプ作用によってケース内を換気することができるから、換気を行うためのファンを使用することなく、ケース内の温度を外気温度に保つことができる。このため、コスト低減を図りながら、ケース内を適温に保つことができる単軸ロボットを提供することができる。 According to the fifth aspect of the present invention, since the inside of the case can be ventilated by the pump action by the reciprocating motion of the slider, the temperature inside the case is kept at the outside temperature without using a fan for ventilating. Can do. For this reason, it is possible to provide a single-axis robot that can keep the inside of the case at an appropriate temperature while reducing costs.

（第１の実施の形態）
以下、本発明に係る単軸ロボットの一実施の形態を図１ないし図１０によって詳細に説明する。
図１は本発明に係る単軸ロボットの平面図、図２は同じく側面図、図３は単軸ロボットの要部を拡大して示す断面図である。図４はスライダの断面図、図５はスライダ本体とシール部材との接続部分を示す断面図、図６はシール部材を示す図で、同図（ａ）は正面図、同図（ｂ）は底面図である。図７はスライダ本体を示す図で、同図（ａ）は正面図、同図（ｂ）は側面図、同図（ｃ）は底面図、同図（ｄ）は（ｂ）図におけるＤ−Ｄ線断面図、同図（ｅ）は（ｂ）図におけるＥ−Ｅ線断面図である。図８はスライダのステータ貫通部を拡大して示す断面図、図９はコイルの結線図、図１０はスライダの組立方法を説明するための斜視図である。 (First embodiment)
Hereinafter, an embodiment of a single-axis robot according to the present invention will be described in detail with reference to FIGS.
FIG. 1 is a plan view of a single-axis robot according to the present invention, FIG. 2 is a side view of the same, and FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view showing a main part of the single-axis robot. 4 is a cross-sectional view of the slider, FIG. 5 is a cross-sectional view showing a connection portion between the slider main body and the seal member, FIG. 6 is a view showing the seal member, FIG. 4 (a) is a front view, and FIG. It is a bottom view. 7A and 7B are views showing the slider body. FIG. 7A is a front view, FIG. 7B is a side view, FIG. 7C is a bottom view, and FIG. The D line sectional view and the figure (e) are EE line sectional views in (b) figure. FIG. 8 is an enlarged cross-sectional view showing the stator through portion of the slider, FIG. 9 is a connection diagram of the coil, and FIG. 10 is a perspective view for explaining the slider assembling method.

これらの図において、符号１１で示すものは、この実施の形態による単軸ロボットを示す。このロボット１１は、図１〜図４に示すように、水平な一方向（以下、この方向を前後方向という）に延びるケース１２と、このケース１２内に設けられたリニアガイド１３と、このリニアガイド１３と同一方向に配置された棒状のステータ２２と、この棒状のステータ２２が貫通する環状のコイル２１と、このコイル２１を内蔵しリニアガイド１３に往復動自在に支持されたスライダ本体５１とを備え、このスライダ本体５１と前記コイル２１とを一体化して構成されたスライダ１４が可動コイル形リニアモータ１５により往復駆動されるものである。前記スライダ１４は、図３および図４に示すように、前記コイル２１を内蔵しかつステータ２２が貫通するスライダ本体５１と、このスライダ本体５１の上端部に取付けられたテーブル５２とから構成されている。 In these drawings, the reference numeral 11 indicates a single-axis robot according to this embodiment. As shown in FIGS. 1 to 4, the robot 11 includes a case 12 extending in a horizontal direction (hereinafter, this direction is referred to as a front-rear direction), a linear guide 13 provided in the case 12, and a linear guide 13. A rod-shaped stator 22 disposed in the same direction as the guide 13, an annular coil 21 through which the rod-shaped stator 22 passes, and a slider main body 51 that incorporates this coil 21 and is reciprocally supported by the linear guide 13 , And the slider 14 formed by integrating the slider body 51 and the coil 21 is reciprocally driven by the movable coil linear motor 15. As shown in FIGS. 3 and 4, the slider 14 is composed of a slider body 51 containing the coil 21 and through which the stator 22 penetrates, and a table 52 attached to the upper end of the slider body 51. Yes.

前記リニアモータ１５は、前記スライダ本体５１内に設けられた後述する複数の環状のコイル２１と、これらのコイル２１の中心部を遊嵌状態で貫通する前記ステータ２２と、前記コイル２１の近傍に配設されたコイル結線用基板２３などによって構成されている。前記基板２３の配線回路は、リード線２４（図４参照）によってロボット用制御装置２５（図２参照）に接続されている。前記リード線２４は、後述するスライダ１４の上部から側方に延び、図１および図２に示すように、前記ケース１２の側部に設けられたチェーン式ケーブル保持部材２６の内部を通ってケース１２の外に導出されている。 The linear motor 15 includes a plurality of annular coils 21 (described later) provided in the slider main body 51, the stator 22 penetrating through the center of these coils 21 in a loosely fitted state, and the vicinity of the coils 21. The coil connection board 23 and the like are provided. The wiring circuit of the substrate 23 is connected to the robot controller 25 (see FIG. 2) by a lead wire 24 (see FIG. 4). The lead wire 24 extends laterally from an upper portion of a slider 14 to be described later, and passes through the inside of a chain type cable holding member 26 provided on the side portion of the case 12 as shown in FIGS. 1 and 2. 12 is derived outside.

前記ケース１２は、前記前後方向に延びる細帯状に形成された底板３１（図３および図４参照）と、この底板３１の両側部に取付けられた一対の側壁部材３２，３２と、前記底板３１の長手方向の両端部に取付けられた前壁部材３３および後壁部材（図示せず）とによって上方に向けて開口する箱状に形成されている。 The case 12 includes a bottom plate 31 (see FIGS. 3 and 4) formed in a narrow strip extending in the front-rear direction, a pair of side wall members 32 and 32 attached to both sides of the bottom plate 31, and the bottom plate 31. The front wall member 33 and the rear wall member (not shown) attached to both ends in the longitudinal direction are formed in a box shape that opens upward.

この実施の形態によるケース１２の上端部の開口１２ａは、ステンレス鋼によって細長い膜状に形成されたシャッター３４によって上方から覆われている。このシャッター３４は、ケース１２内に塵埃や異物が入るのを防止するためのもので、後述するスライダ１４の挿通路３５（図４参照）内に挿通された状態で前記前壁部材３３と前記後壁部材とに固定されている。この実施の形態によるシャッター３４は、前記側壁部材３２の上端面に上方から接触し、上方へ容易に撓むことができるように構成されている。ケース１２の内部には、前記シャッター３４によってケース上端部の開口１２ａが覆われることにより、前記スライダ１４の前方と後方とに閉空間３６，３７（図３参照）が形成される。 The opening 12a at the upper end of the case 12 according to this embodiment is covered from above by a shutter 34 formed in a thin film shape with stainless steel. The shutter 34 is for preventing dust and foreign matter from entering the case 12. The shutter 34 is inserted into an insertion path 35 (see FIG. 4) of the slider 14 to be described later and the front wall member 33. It is fixed to the rear wall member. The shutter 34 according to this embodiment is configured to come into contact with the upper end surface of the side wall member 32 from above and bend easily upward. Inside the case 12, the opening 34 a at the upper end of the case is covered with the shutter 34, thereby forming closed spaces 36 and 37 (see FIG. 3) in front and rear of the slider 14.

前記底板３１の上面には、図３および図４に示すように、前記リニアガイド１３が設けられている。このリニアガイド１３は、底板３１に固定された１本のレール部材４１と、このレール部材４１の上に図示していない軸受によって移動自在に支持された２個のスライド部材４２とから構成されている。この軸受は、ボール循環式軸受が平行に複数条設けられたもので、スライダ本体５１側に設けられている。
前記前壁部材３３は、図３に示すように、前記ステータ２２の前端部を支持し、前記後壁部材は、図示してはいないが、前記ステータ２２の後端部を支持している。 As shown in FIGS. 3 and 4, the linear guide 13 is provided on the upper surface of the bottom plate 31. The linear guide 13 is composed of one rail member 41 fixed to the bottom plate 31 and two slide members 42 supported on the rail member 41 by a bearing (not shown) so as to be movable. Yes. In this bearing, a plurality of ball circulation bearings are provided in parallel, and are provided on the slider body 51 side.
As shown in FIG. 3, the front wall member 33 supports the front end portion of the stator 22, and the rear wall member supports the rear end portion of the stator 22 (not shown).

前記ステータ２２は、図３および図４に示すように、前記前壁部材３３と後壁部材とによって両端部が支持されたパイプ４３と、このパイプ４３の内部に嵌入された複数の永久磁石４４とによって構成されている。これらの永久磁石４４は、円筒状に形成されており、同じ極性の磁極が互いに対向する状態でパイプ４３内に嵌合されている。この実施の形態においては、これらの永久磁石４４は、軸心部を貫通する固定用ボルト４５によって軸線方向の両側から挟圧され、所定の位置に固定されている。 As shown in FIGS. 3 and 4, the stator 22 includes a pipe 43 supported at both ends by the front wall member 33 and the rear wall member, and a plurality of permanent magnets 44 fitted into the pipe 43. And is composed of. These permanent magnets 44 are formed in a cylindrical shape, and are fitted in the pipe 43 with magnetic poles having the same polarity facing each other. In this embodiment, these permanent magnets 44 are clamped from both sides in the axial direction by fixing bolts 45 penetrating the shaft center portion, and are fixed at predetermined positions.

前記スライダ１４のテーブル５２は、この実施の形態による単軸ロボット１１が駆動する被駆動部材（図示せず）を取付けるためのものである。このテーブル５２は、前記シャッター３４をケース１２の開口１２ａから外方（上方）に遊離させるガイド部５２ａを備えている。このガイド部５２ａは、図３に示すように、上方に向けて凸になる凸曲面が形成され、この凸曲面にシャッター３４の下面が摺接する状態でスライダ本体５１の上面に取付けられている。このガイド部５２ａによってシャッター３４が上方に遊離させられることにより、シャッター３４の両側端とケース１２との間に開放空間が形成される。テーブル５２には、図４に示すように、前記開放空間を通る開放空間通過部５２ｂが形成されている。この開放空間通過部５２ｂは、一方がケース１２内のスライダ本体５１の上面に接続され、他方が被駆動部材取付用の取付座５２ｃとして形成されている。テーブル５２における取付座５２ｃとなる部位は、前記側壁部材３２の上面との間に微小なクリアランスを有する状態で側方に延設されている。クリアランスが微小であることにより、異物が外方からケース１２内に侵入するのを防いでいる。 The table 52 of the slider 14 is for attaching a driven member (not shown) driven by the single-axis robot 11 according to this embodiment. The table 52 includes a guide portion 52a that releases the shutter 34 outward (upward) from the opening 12a of the case 12. As shown in FIG. 3, the guide portion 52 a has a convex curved surface that protrudes upward, and is attached to the upper surface of the slider body 51 with the lower surface of the shutter 34 in sliding contact with the convex curved surface. By releasing the shutter 34 upward by the guide portion 52 a, an open space is formed between both side ends of the shutter 34 and the case 12. As shown in FIG. 4, the table 52 has an open space passage 52 b that passes through the open space. One of the open space passage portions 52b is connected to the upper surface of the slider main body 51 in the case 12, and the other is formed as a mounting seat 52c for mounting a driven member. The portion of the table 52 that becomes the mounting seat 52c extends laterally with a small clearance between the upper surface of the side wall member 32. The minute clearance prevents foreign matter from entering the case 12 from the outside.

前記テーブル５２の上端部には、保護カバー５２ｄが取付けられている。この保護カバー５２ｄとテーブル５２の上面との間に、上述したシャッター３４が挿通する前記挿通路３５が形成されている。また、テーブル５２の上端部であって、前記ガイド部５２ａ前方と後方には、シャッター３４を前記側壁部材３２の上面（開口１２ａの開口縁部）に密着させるためのローラ５３が設けられている。スライダ１４が移動するときにもシャッター３４によってスライダ１４の前後のケース１２の上端開口が閉塞された状態を保つことができる。また、開放空間通過部５２ｂをテーブル５２に設けることにより、シャッター３４を上方へ遊離させた結果生じた開放空間が略塞がれ、テーブル５２とケース１２との間は小さな隙間とされることにより、ケース１２内を外方に対して略密閉状態とすることができる。 A protective cover 52 d is attached to the upper end of the table 52. Between the protective cover 52d and the upper surface of the table 52, the insertion passage 35 through which the shutter 34 described above is inserted is formed. In addition, rollers 53 are provided at the upper end of the table 52 at the front and rear of the guide portion 52a so that the shutter 34 is in close contact with the upper surface of the side wall member 32 (opening edge portion of the opening 12a). . Even when the slider 14 moves, the shutter 34 can keep the upper end opening of the case 12 before and after the slider 14 closed. Further, by providing the open space passage 52b on the table 52, the open space generated as a result of releasing the shutter 34 upward is substantially blocked, and a small gap is formed between the table 52 and the case 12. The inside of the case 12 can be substantially sealed with respect to the outside.

前記スライダ本体５１は、アルミニウム合金を材料として所定の形状に成形されており、図４および図７に示すように、下方へ向けて開放する断面コ字状に形成され、内部に前記複数のコイル２１がエポキシ樹脂５４によって固着されている。詳述すると、このスライダ本体５１は、例えば図７（ａ）に示すように、互いに対向する一対の側板５５，５６と、これらの側板５５，５６の上端部どうしを接続する上板５７とが一体に形成されており、内部に前記コイル２１が取付けられた状態で前記リニアガイド１３の二つのスライド部材４２の上面に固定されている。前記両側板５５，５６の下端部の一端側（前端側）と他端側（後端側）には、図７（ｃ）に示すように、前記スライド部材４２に載せて固定するための取付座５８が形成されている。また、前記両側板５５，５６におけるスライダ本体５１の両端側の内面には、図５および図７（ｃ），（ｄ）に示すように、後述するシール部材５９が嵌合する凹溝６０が上下方向に延びるように形成されている。 The slider body 51 is formed into a predetermined shape using an aluminum alloy as a material, and as shown in FIGS. 4 and 7, the slider body 51 is formed in a U-shaped cross section that opens downward, and the plurality of coils are disposed inside. 21 is fixed by an epoxy resin 54. More specifically, as shown in FIG. 7A, for example, the slider main body 51 includes a pair of side plates 55 and 56 facing each other, and an upper plate 57 that connects upper end portions of the side plates 55 and 56 to each other. It is integrally formed, and is fixed to the upper surfaces of the two slide members 42 of the linear guide 13 with the coil 21 attached inside. As shown in FIG. 7 (c), mounting for mounting on the slide member 42 is fixed to one end side (front end side) and the other end side (rear end side) of the lower end portions of the side plates 55 and 56. A seat 58 is formed. Further, as shown in FIGS. 5 and 7C and 7D, a concave groove 60 into which a seal member 59 to be described later is fitted is formed on the inner surfaces of the both sides of the slider body 51 in the both side plates 55 and 56. It is formed to extend in the vertical direction.

また、このスライダ本体５１の内面と両側板５５，５６の外面には、スライダ１４の移動方向に延びる複数のフィン６１，６２が一体に形成されている。スライダ本体５１の内側のフィン６１は、図４に示すように、前記コイル２１の中心（ステータ２２の軸心）を指向するように、スライダ本体５１の内面に突設されている。一方、外面側のフィン６２は、側方に向けて水平に突出するように前記外面に突設されている。 A plurality of fins 61 and 62 extending in the moving direction of the slider 14 are integrally formed on the inner surface of the slider body 51 and the outer surfaces of the side plates 55 and 56. As shown in FIG. 4, the fins 61 inside the slider body 51 protrude from the inner surface of the slider body 51 so as to be directed to the center of the coil 21 (the axis of the stator 22). On the other hand, the fin 62 on the outer surface side is provided on the outer surface so as to protrude horizontally toward the side.

このスライダ本体５１の内側の横幅（図４において左右方向の幅）は、スライダ本体５１のコイル２１の外径より大きくなるように形成されている。一方、このスライダ本体５１の外側の横幅は、前記ケース１２の内部にスライダ本体５１を収容させた状態で両側板５５，５６のフィン６２の先端がケース１２の側壁部材３２，３２に接近するように形成されている。このように形成されたスライダ本体５１をケース１２内のリニアガイド１３に取付けることによって、スライダ本体５１がケース１２内を長手方向の一端側と他端側とに区画する実質的な区画壁として機能するようになる。 The inner width of the slider body 51 (width in the left-right direction in FIG. 4) is formed to be larger than the outer diameter of the coil 21 of the slider body 51. On the other hand, the width of the outside of the slider body 51 is such that the tips of the fins 62 of the side plates 55 and 56 approach the side wall members 32 and 32 of the case 12 in a state where the slider body 51 is accommodated inside the case 12. Is formed. By attaching the slider body 51 formed in this way to the linear guide 13 in the case 12, the slider body 51 functions as a substantial partition wall that partitions the case 12 into one end side and the other end side in the longitudinal direction. To come.

スライダ本体５１内に設けられた複数（この実施の形態では１２個）のコイル２１は、それぞれ円環状に形成されている。これらのコイル２１の内径は、前記ステータ２２の外径より大きくなるように形成されている。また、これらのコイル２１は、図９中にＣ１〜Ｃ１２として示すように、いわゆるＵ線と共通線Ａとに接続される第１群に属するもの（Ｃ１，Ｃ４，Ｃ７およびＣ１０）と、いわゆるＷ線と共通線Ａとに接続される第２群に属するもの（Ｃ２，Ｃ５，Ｃ８およびＣ１１）と、いわゆるＶ線と共通線Ａとに接続される第３群に属するもの（Ｃ３，Ｃ６，Ｃ９およびＣ１２）とに分けられ、スライダ１４の移動方向に所定の順序で並べられている。 A plurality (12 in this embodiment) of coils 21 provided in the slider body 51 are each formed in an annular shape. The inner diameters of these coils 21 are formed to be larger than the outer diameter of the stator 22. Further, these coils 21 include those belonging to the first group (C1, C4, C7 and C10) connected to the so-called U line and the common line A, as shown as C1 to C12 in FIG. Those belonging to the second group (C2, C5, C8 and C11) connected to the W line and the common line A and those belonging to the third group (C3, C6) connected to the so-called V line and the common line A , C9 and C12) and arranged in a predetermined order in the moving direction of the slider 14.

これらのコイルＣ１〜Ｃ１２が並ぶ順序は、第１群に属するコイル２１と、第２群に属するコイル２１と、第３群に属するコイル２１とがこの順序で並び、かつこれらの第１群〜第３群のコイル２１を一組としてこの組が複数一列に並ぶように設定されている。これらのコイル２１は、図９に示すように、いわゆるスター結線によって配線されており、Ｕ相（第１群）と、Ｗ相（第２群）と、Ｖ相（第３群）の各相において、それぞれ４個のコイル２１が直列に接続され、全相が互いに接続されている。図９において、符号Ｓはコイル２１の開始端を示し、Ｅはコイル２１の終端を示す。なお、Ｕ線、Ｖ線、Ｗ線および各コイル２１の共通線Ａは、それぞれ制御装置２５に接続されている。また、これらのコイル２１は、図３に示すように、Ｕ相のコイル２１と、Ｗ相のコイル２１と、Ｖ相のコイル２１とからなる１組のコイル２１の軸線方向の長さと、ステータ２２内のそれぞれの永久磁石４４の１個分の磁石全長と一致するように形成されている。 The order in which the coils C1 to C12 are arranged is such that the coil 21, which belongs to the first group, the coil 21, which belongs to the second group, and the coil 21, which belongs to the third group, are arranged in this order. The third group of coils 21 is set as one set, and the set is arranged in a plurality of rows. As shown in FIG. 9, these coils 21 are wired by so-called star connection, and each phase of the U phase (first group), the W phase (second group), and the V phase (third group). In FIG. 4, four coils 21 are connected in series, and all phases are connected to each other. In FIG. 9, symbol S indicates the start end of the coil 21, and E indicates the end of the coil 21. The U line, the V line, the W line, and the common line A of each coil 21 are connected to the control device 25, respectively. Further, as shown in FIG. 3, these coils 21 include an axial length of a pair of coils 21 including a U-phase coil 21, a W-phase coil 21, and a V-phase coil 21, and a stator. 22 is formed so as to coincide with the total length of one of the permanent magnets 44 in the magnet 22.

これらのコイル２１のリードは、図３および図４に示すように、コイル２１の近傍に配設されたコイル結線用基板２３に半田付けされ、この基板２３を介してＵ線、Ｖ線、Ｗ線および共通線Ａに接続されている。これらの配線は、前記リード線２４としてスライダ１４の外に導出され、制御装置２５に接続されている。 As shown in FIGS. 3 and 4, the leads of these coils 21 are soldered to a coil connection board 23 disposed in the vicinity of the coil 21, and U lines, V lines, W The line and the common line A are connected. These wires are led out of the slider 14 as the lead wires 24 and connected to the control device 25.

前記第１〜第３群のコイル２１は、前記制御装置２５によって位相が１２０°異なる交流電流が供給されることにより、ステータ２２の軸線方向に推力を発生させる。スライダ１４は、この推力によって前後方向に移動する。前記推力の大きさは、前記交流電流のピーク値に相関し、スライダ１４の移動速度は、前記交流電流の周波数に相関する。制御装置２５は、スライダ１４に設けられたリニアセンサ（図示せず）によって検出された位置情報に基づいてスライダ１４の位置を確認しながら、前記ピーク値および前記周波数を制御する。制御装置２５は、例えばスライダ１４を停止させる場合は、制動力が発生するように、ＵＶＷ線に供給する電流を制御し、制動力を発生させる必要がない場合には、全ての群（第１群〜第３群）の電流値を０とする。 The coils 21 of the first to third groups generate thrust in the axial direction of the stator 22 by being supplied with alternating current having a phase difference of 120 ° by the control device 25. The slider 14 moves in the front-rear direction by this thrust. The magnitude of the thrust is correlated with the peak value of the alternating current, and the moving speed of the slider 14 is correlated with the frequency of the alternating current. The control device 25 controls the peak value and the frequency while confirming the position of the slider 14 based on position information detected by a linear sensor (not shown) provided on the slider 14. For example, when the slider 14 is stopped, the control device 25 controls the current supplied to the UVW line so that the braking force is generated. The current value of group (group 3) is set to zero.

これらのコイル２１を前記スライダ本体５１内に取付けるための前記エポキシ樹脂５４は、スライダ本体５１内の所定位置にコイル２１が位置決めされている状態で液状のものをスライダ本体５１内に注入し、その後、加熱することにより硬化させる。このときの液状のエポキシ樹脂５４の粘度は、コイル２１の素線どうしの間に含浸するように設定されている。このように流動性が高い液状のエポキシ樹脂５４を断面コ字状のスライダ本体５１の内部に貯留するためには、コ字状の開放部分が上方を指向するようにスライダ本体５１を上下方向に反転させ、このスライダ本体５１の前後方向の両端部にいわゆる堰となるシール部材５９（図３および図５参照）を取付ける。このシール部材５９は、エポキシ樹脂５４を貯留するためばかりではなく、スライダ本体５１内に嵌合することにより、樹脂注入時にコイル２１をスライダ本体５１内に位置決めするためにも使用している。 The epoxy resin 54 for mounting these coils 21 in the slider main body 51 is injected into the slider main body 51 in a liquid state with the coil 21 positioned at a predetermined position in the slider main body 51, and thereafter And cured by heating. The viscosity of the liquid epoxy resin 54 at this time is set so as to be impregnated between the strands of the coil 21. In order to store the liquid epoxy resin 54 having high fluidity in the slider body 51 having a U-shaped cross section, the slider body 51 is vertically moved so that the U-shaped open portion is directed upward. The seal member 59 (see FIGS. 3 and 5) serving as a weir is attached to both ends of the slider body 51 in the front-rear direction. The seal member 59 is used not only for storing the epoxy resin 54 but also for positioning the coil 21 in the slider main body 51 during resin injection by fitting in the slider main body 51.

この実施の形態によるシール部材５９は、合成樹脂によって所定の形状に成形され、図３、図５および図６に示すように、フランジ６３とボス６４とが一体に形成されている。前記フランジ６３は、外縁部分が全域にわたってスライダ本体５１の前記凹溝６０に嵌合するように形成されている。また、このフランジ６３の下端部には、図３および図６（ｂ）に示すように、前記コイル結線用基板２３を取付けるための取付座６５が形成されている。 The seal member 59 according to this embodiment is molded into a predetermined shape by a synthetic resin, and a flange 63 and a boss 64 are integrally formed as shown in FIGS. 3, 5, and 6. The flange 63 is formed so that the outer edge portion fits into the concave groove 60 of the slider body 51 over the entire area. Further, as shown in FIGS. 3 and 6B, a mounting seat 65 for mounting the coil connection board 23 is formed at the lower end of the flange 63.

前記ボス６４は、フランジ６３からスライダ本体５１の外側へ向けて突出するように形成されており、製造工程においてエポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂の注入時に流出するのを防止するためのものであり、熱硬化後においては図３および図８に示すように、コイル側と外側とを画成するための仕切壁６４ａが形成されるとともに、内部に樹脂ベアリング６６が取付けられている。前記仕切壁６４ａには、コイル２１の内径と同径の貫通孔６４ｂが穿設されている。前記樹脂ベアリング６６は、鍔６６ａを有する円筒状に形成されており、前記ボス６４に外側から嵌合された状態で前記鍔の移動を規制する固定用ねじ６７（図３参照）によって、ボス６４に外れることがないように固定されている。図８に示すように、この樹脂ベアリング６６の内径Ｄ１は、ステータ２２のパイプ４３の外径Ｄ２より大きく、かつコイル２１の内径Ｄ３より小さくなるように形成されている。このように樹脂ベアリング６６をシール部材５９に取付けることにより、スライダ１４のステータ２２に対する位置が例えばリニアガイド１３内の摺動または転動部分の磨耗などにより変化したときには、樹脂ベアリング６６の内周面がステータ２２の外周面に接触する。このため、このような場合であっても、コイル２１の内周面がステータ２２に接触することがなく、コイル２１の素線の絶縁膜がステータ２２との接触により破れて絶縁不良を起こすことを防ぐことができる。 The boss 64 is formed so as to protrude from the flange 63 toward the outside of the slider main body 51, and prevents the boss 64 from flowing out during injection of a thermosetting resin such as an epoxy resin in the manufacturing process. After thermosetting, as shown in FIGS. 3 and 8, a partition wall 64a for defining the coil side and the outside is formed, and a resin bearing 66 is attached inside. A through hole 64b having the same diameter as the inner diameter of the coil 21 is formed in the partition wall 64a. The resin bearing 66 is formed in a cylindrical shape having a flange 66a, and is fixed to the boss 64 by a fixing screw 67 (see FIG. 3) for restricting the movement of the flange while being fitted to the boss 64 from the outside. It is fixed so that it will not come off. As shown in FIG. 8, the inner diameter D 1 of the resin bearing 66 is formed to be larger than the outer diameter D 2 of the pipe 43 of the stator 22 and smaller than the inner diameter D 3 of the coil 21. By attaching the resin bearing 66 to the seal member 59 in this way, when the position of the slider 14 relative to the stator 22 changes due to, for example, sliding in the linear guide 13 or wear of a rolling part, the inner peripheral surface of the resin bearing 66. Comes into contact with the outer peripheral surface of the stator 22. For this reason, even in such a case, the inner peripheral surface of the coil 21 does not come into contact with the stator 22, and the insulation film of the strands of the coil 21 is broken by contact with the stator 22, causing poor insulation. Can be prevented.

ここで、コイル２１をスライダ本体５１にエポキシ樹脂５４によって接着し固定する方法を図１０によって説明する。なお、図１０に示す各部材の形状は、理解を容易にするために簡略化してあり、実際の形状とは相違する。
スライダ本体５１にコイル２１を装着するためには、先ず、図１０（ａ）に示すように、断面円形のロッド７１とストッパー７２とからなる治具７３に円筒状の絶縁フィルム７４を嵌合させ、次いで、同図（ｂ）に示すように、前記絶縁フィルム７４の外周面に前記一方のシール部材５９を嵌合させる。前記絶縁フィルム７４は、ロッド７１が後述するコイル２１に接着することを防ぐためのものである。この状態で、シール部材５９と絶縁フィルム７４の境界部分に液状のシール剤を塗布しておく。このシール剤としては、例えばエポキシ樹脂５４と同等の材料やあるいはシリコン系樹脂を主成分とする材料のものを使用する。 Here, a method of adhering and fixing the coil 21 to the slider body 51 with the epoxy resin 54 will be described with reference to FIG. In addition, the shape of each member shown in FIG. 10 is simplified for easy understanding, and is different from the actual shape.
In order to attach the coil 21 to the slider body 51, first, as shown in FIG. 10A, a cylindrical insulating film 74 is fitted into a jig 73 composed of a rod 71 having a circular cross section and a stopper 72. Then, as shown in FIG. 4B, the one sealing member 59 is fitted to the outer peripheral surface of the insulating film 74. The insulating film 74 is for preventing the rod 71 from adhering to the coil 21 described later. In this state, a liquid sealant is applied to the boundary portion between the seal member 59 and the insulating film 74. As this sealing agent, for example, a material equivalent to the epoxy resin 54 or a material mainly composed of a silicon-based resin is used.

その後、図１０（ｃ）に示すように、複数のコイル２１を前記治具７３のロッド７１（絶縁フィルム７４の外周部）に嵌合させる。このとき、各コイル２１のリードは、予めコイル結線用基板２３に半田付けしておく。前記ロッド７１の外径は、絶縁フィルム７４の厚みを加えた状態で、コイル２１の内径と、シール部材５９の前記貫通孔６４ｂの孔径と同径になるように形成されている。このため、このロッド７１にコイル２１とシール部材５９とを嵌合させることによって、シール部材５９とコイル２１とを同一軸線上に位置付けることができる。 Thereafter, as shown in FIG. 10C, the plurality of coils 21 are fitted to the rod 71 of the jig 73 (the outer peripheral portion of the insulating film 74). At this time, the lead of each coil 21 is soldered to the coil connection board 23 in advance. The outer diameter of the rod 71 is formed to be the same as the inner diameter of the coil 21 and the hole diameter of the through hole 64b of the seal member 59 with the thickness of the insulating film 74 added. For this reason, the sealing member 59 and the coil 21 can be positioned on the same axis line by fitting the coil 21 and the sealing member 59 to the rod 71.

コイル２１をロッド７１に装着した後、図１０（ｄ）に示すように、他方のシール部材５９を前記ロッド７１に嵌合させ、このシール部材５９と絶縁フィルム７４との境界部分に前記液状のシール剤を塗布し、両端側に位置する二つのシール部材５９に前記基板２３を取付用ねじ２３ａによって固定する。しかる後、図１０（ｅ）に示すように、スライダ本体５１の開口部分に前記二つのシール部材５９をそれぞれ嵌合させる。このシール部材５９がスライダ本体５１内に嵌合することにより、全てのコイル２１がスライダ本体５１の仮想軸心（ステータ２２の軸心）と同一軸線上に位置付けられる。 After the coil 21 is attached to the rod 71, as shown in FIG. 10D, the other seal member 59 is fitted to the rod 71, and the liquid material is formed at the boundary between the seal member 59 and the insulating film 74. A sealing agent is applied, and the substrate 23 is fixed to the two sealing members 59 located on both ends by mounting screws 23a. Thereafter, as shown in FIG. 10E, the two seal members 59 are fitted into the opening portions of the slider body 51, respectively. When the seal member 59 is fitted into the slider main body 51, all the coils 21 are positioned on the same axis as the virtual axis of the slider main body 51 (the axis of the stator 22).

次に、スライダ本体５１をその開口部が上方を指向する状態として前記開口部内に液状のエポキシ樹脂５４を注入する。この注入行程では、コイル結線用基板２３をエポキシ樹脂５４内に埋没させる。
このようにエポキシ樹脂５４をスライダ本体５１内に注入した後、この熱硬化性のエポキシ樹脂５４を硬化させるために、スライダ本体５１を加熱炉（図示せず）などに装填する。そして、前記エポキシ樹脂５４を加熱して硬化させ、冷却後に前記治具７３をスライダ本体５１側から引抜いて取外す。このように治具７３を取外した後、樹脂ベアリング６６を両シール部材５９に取付けることによって、スライダ本体５１が完成する。このスライダ本体５１は、前記ステージ５２が取付けられた後に前記ステータ２２が挿通され、このステータ２２とともにケース１２に装着される。 Next, the liquid epoxy resin 54 is injected into the opening with the slider body 51 in a state where the opening is directed upward. In this injection step, the coil connection substrate 23 is buried in the epoxy resin 54.
After injecting the epoxy resin 54 into the slider body 51 in this way, the slider body 51 is loaded into a heating furnace (not shown) or the like in order to cure the thermosetting epoxy resin 54. Then, the epoxy resin 54 is heated and cured, and after cooling, the jig 73 is pulled out from the slider body 51 side and removed. After removing the jig 73 in this manner, the slider main body 51 is completed by attaching the resin bearing 66 to the both seal members 59. The slider main body 51 is inserted into the case 12 together with the stator 22 after the stage 52 is attached.

上述したように構成された単軸ロボット１１においては、スライダ１４内のコイル２１に制御装置２５によって所定の交流電流が供給されることにより、スライダ１４がリニアガイド１３に沿って前後方向に移動する。この移動時、すなわち、コイル２１が通電されるときにはコイル２１が発熱する。
コイル２１の熱の大部分は、エポキシ樹脂５４を介してスライダ本体５１に伝導され、このスライダ本体５１内を内側から外側へ伝導した後にスライダ本体５１の外表面からケース１２内に放散する。この実施の形態によるスライダ本体５１は、内面に複数のフィン６１が突設されているから、フィンが設けられていない場合に較べるとエポキシ樹脂５４と接する部位の表面積が増大する。 In the single-axis robot 11 configured as described above, a predetermined alternating current is supplied to the coil 21 in the slider 14 by the control device 25, so that the slider 14 moves in the front-rear direction along the linear guide 13. . During this movement, that is, when the coil 21 is energized, the coil 21 generates heat.
Most of the heat of the coil 21 is conducted to the slider main body 51 through the epoxy resin 54, and is conducted from the inner side to the outer side inside the slider main body 51 and then dissipated from the outer surface of the slider main body 51 into the case 12. Since the slider main body 51 according to this embodiment has a plurality of fins 61 protruding from the inner surface, the surface area of the portion in contact with the epoxy resin 54 is increased as compared with the case where the fins are not provided.

このため、この単軸ロボット１１においては、前記エポキシ樹脂５４とスライダ１４との接着部分の面積、言い換えれば熱伝達部分の面積が増大するから、熱抵抗が低減され、コイル２１の熱がエポキシ樹脂５４を介してスライダ本体５１に伝わり易くなる。この結果、この単軸ロボット１１のコイル２１は、従来の単軸ロボットのコイルに較べて冷却され易くなる。 For this reason, in this single-axis robot 11, since the area of the bonded portion between the epoxy resin 54 and the slider 14, in other words, the area of the heat transfer portion is increased, the thermal resistance is reduced and the heat of the coil 21 is transferred to the epoxy resin. It becomes easy to be transmitted to the slider main body 51 via 54. As a result, the coil 21 of the single axis robot 11 is more easily cooled than the coil of the conventional single axis robot.

この実施の形態による単軸ロボット１１は、スライダ本体５１が導電性を有する材料によって形成されているために、スライダ１４が移動するときにスライダ本体５１内に微弱ながらも渦電流が発生する。スライダ本体５１の内面に突設された前記フィン６１と、スライダ本体５１における前記フィン６１の基部に隣接する壁部分のうち、渦電流が発生し易いのは壁部分である。この壁部分は、ステータ２２との距離が相対的に長くなるから、この壁部分内で発生する渦電流は相対的に小さくなる。また、前記フィン６１は、スライダ１４の移動方向の断面積が相対的に小さくなるように形成されているから、このフィン６１で発生する渦電流を無視できるように小さく抑えることができる。
したがって、この実施の形態による単軸ロボット１１は、スライダ１４（スライダ本体５１）で渦電流が発生することがないか、発生したとしても小さく抑えることができる。 In the single-axis robot 11 according to this embodiment, since the slider main body 51 is made of a conductive material, an eddy current is generated in the slider main body 51 although it is weak when the slider 14 moves. Of the fin 61 projecting from the inner surface of the slider body 51 and the wall portion adjacent to the base of the fin 61 in the slider body 51, it is the wall portion where eddy current is likely to occur. Since the distance between the wall portion and the stator 22 is relatively long, the eddy current generated in the wall portion is relatively small. In addition, since the fin 61 is formed so that the cross-sectional area in the moving direction of the slider 14 is relatively small, the eddy current generated in the fin 61 can be suppressed to be negligible.
Therefore, the single-axis robot 11 according to this embodiment does not generate eddy current in the slider 14 (slider main body 51) or can suppress it even if it occurs.

さらに、この実施の形態による単軸ロボット１１は、スライダ本体５１によってケース１２内が前方と後方とに仕切られているから、スライダ１４がケース１２内を例えば前方から後方へ移動することによって、ケース１２内の空気がスライダ本体５１とケース１２との間の隙間を通って前記後方から前方へ流れる。この空気は、スライダ本体５１の外面に突設されたフィン６２に沿い、一部がこのフィン６２に接触する状態で流れる。このため、スライダ本体５１に伝達されたコイル２１の熱をフィン６２によってスライダ本体５１の外に効率よく放熱することができる。スライダ本体５１は鋳造により形成してもよいが、フィン６１およびフィン６２を長手方向に形成しているので、フィン形状を設けた口金型からの押し出し棒を切断することにより価格を抑えて形成すると良い。 Further, in the single-axis robot 11 according to this embodiment, the inside of the case 12 is partitioned into the front and the rear by the slider main body 51, so that the slider 14 moves in the case 12 from the front to the rear, for example. The air in the air flows through the gap between the slider body 51 and the case 12 from the rear to the front. The air flows along the fins 62 protruding from the outer surface of the slider main body 51, and a part of the air is in contact with the fins 62. For this reason, the heat of the coil 21 transmitted to the slider body 51 can be efficiently radiated to the outside of the slider body 51 by the fins 62. Although the slider body 51 may be formed by casting, since the fin 61 and the fin 62 are formed in the longitudinal direction, if the extrusion bar from the die having a fin shape is cut, the price can be reduced. good.

加えて、この実施の形態による単軸ロボット１１は、前記スライダ１４がケース１２内を一端側と他端側とに区画する実質的な区画壁として機能するから、スライダ本体５１が前進したときに前方に位置する気室（閉空間３６）の空気が圧縮されるようになり、この気室内の空気の一部が例えばケース１２の側板５５，５６とシャッター３４との間の隙間を通ってケース１２外に排出される。この場合、ケース１２に異物の吸入を阻止するチャンバーが途中に設けられた換気管（図示せず）をケース１２内の少なくとも一方の気室設けることにより、この換気管を通ってケース１２内と外が連通することになる。このため、この構成を採ることにより、スライダ本体５１がケース１２内で往復することによるポンプ作用によってケース１２内を換気することができ、換気を行うためのファンを使用することなく、ケース１２内の温度を外気温度に保つことができる。 In addition, the single-axis robot 11 according to this embodiment functions as a substantial partition wall in which the slider 14 partitions the inside of the case 12 into one end side and the other end side. The air in the air chamber (closed space 36) located in front is compressed, and a part of the air in the air chamber passes through the gap between the side plates 55 and 56 of the case 12 and the shutter 34, for example. 12 is discharged outside. In this case, a ventilation pipe (not shown) provided with a chamber for preventing the inhalation of foreign matter in the case 12 is provided in at least one air chamber in the case 12 so that the inside of the case 12 passes through the ventilation pipe. The outside will communicate. For this reason, by adopting this configuration, the inside of the case 12 can be ventilated by the pump action caused by the slider body 51 reciprocating in the case 12, and the inside of the case 12 can be obtained without using a fan for ventilation. Can be kept at the outside temperature.

なおさらに、この実施の形態における単軸ロボットにおいては、シール部材５９を外形円筒状とすることなく異形形状とすることで、スライダ本体５１内部の空間を大きく取り、渦電流による動作抵抗を小さくすることができた。また、シール部材５９の外形を円筒状でなく異形形状としており、コイル２１、２１‥‥と絶縁フィルム７４との間で使用している液状シールを、シール部品５９の外形部とスライダ本体５１との間でも使用している。シール部材５９の外縁には液状シールのシール性を確実なものとするために段を設けている。しかし、シール性の向上のためには段つき形状を採る方法のほかに、溝を設けても良い。 Still further, in the single-axis robot in this embodiment, the seal member 59 is formed in a deformed shape instead of an outer cylindrical shape, so that the space inside the slider body 51 is made larger and the operating resistance due to the eddy current is reduced. I was able to. Further, the outer shape of the seal member 59 is not a cylindrical shape but an irregular shape, and the liquid seal used between the coils 21, 21... Also used between. A step is provided on the outer edge of the seal member 59 to ensure the sealing performance of the liquid seal. However, in order to improve the sealing performance, a groove may be provided in addition to the stepped shape method.

また、この実施の形態におけるスライダ本体５１は全長にわたってコの字状断面を採用しており、絶縁フィルム７４、シール部材５９およびコイル結線用基板２３のスライダ本体５１内への組付け作業性が良い。特に、スライダ本体５１へコイル２１、２１‥‥を組込む前に結線作業をすることができ、作業性および製品信頼性が向上する。 In addition, the slider body 51 in this embodiment has a U-shaped cross section over its entire length, and the workability of assembling the insulating film 74, the seal member 59, and the coil connection board 23 into the slider body 51 is good. . In particular, the wiring work can be performed before the coils 21, 21... Are assembled into the slider body 51, thereby improving workability and product reliability.

この実施の形態における単軸ロボットにおいては、シール部材５９に樹脂ベアリング６６を嵌合保持させるようにしているので、コイル２１の中心穴のセンター軸と樹脂ベアリング６６の中心軸を完全に一致させることができる。これにより、樹脂ベアリング６６の機能を十分に果たすことができるとともに、下記する第２の実施の形態のベアリングホルダ９２を使用しておらず、部品点数を減らすことができる。本実施の形態では、シール部材５９の外縁に設けた段つき形状をスライダ本体５１の溝に嵌合させることで、下記する第２の実施の形態のストッパープレート９１をも廃止している。また、樹脂ベアリング６６の内周に周方向に複数箇所、長手方向の縦溝を形成しており、スライダ１４の移動に伴い、スライダ本体５１がケース１２内で往復することによるポンプ作用により、ステータ２２の外周と樹脂ベアリング６６内周の間のクリアランスおよび縦溝、ステータ２２外周と絶縁フィルム７４内周の間のクリアランスを通り、ケース１２内の空気が往復流動し、コイル２１、２１‥‥を冷却することができる。 In the single-axis robot in this embodiment, since the resin bearing 66 is fitted and held on the seal member 59, the center axis of the center hole of the coil 21 and the center axis of the resin bearing 66 are completely matched. Can do. Thereby, the function of the resin bearing 66 can be sufficiently achieved, and the bearing holder 92 of the second embodiment described below is not used, and the number of parts can be reduced. In the present embodiment, the stepped shape provided on the outer edge of the seal member 59 is fitted into the groove of the slider main body 51, thereby eliminating the stopper plate 91 of the second embodiment described below. Further, a plurality of longitudinal longitudinal grooves are formed in the inner circumference of the resin bearing 66, and the stator main body is pumped by the slider body 51 reciprocating in the case 12 as the slider 14 moves. Through the clearance between the outer periphery of the resin 22 and the inner periphery of the resin bearing 66 and the clearance between the outer periphery of the stator 22 and the inner periphery of the insulating film 74, and the air in the case 12 reciprocates, and the coils 21, 21,. Can be cooled.

（第２の実施の形態）
本発明に係る単軸ロボットは図１１ないし図１３に示すように構成することができる。
図１１は単軸ロボットの他の実施の形態を示す縦断面図、図１２はスライダの横断面図、図１３はスライダ本体を示す図で、同図（ａ）は平面図、同図（ｂ）は側面図、同図（ｃ）は背面図、同図（ｄ）は（ｂ）図におけるＤ−Ｄ線断面図、同図（ｅ）は（ｂ）図におけるＥ−Ｅ線断面図である。これらの図において、前記図１〜図１０によって説明したものと同一もしくは同等の部材については、同一符号を付し詳細な説明を適宜省略する。 (Second Embodiment)
The single-axis robot according to the present invention can be configured as shown in FIGS.
11 is a longitudinal sectional view showing another embodiment of the single-axis robot, FIG. 12 is a transverse sectional view of the slider, FIG. 13 is a view showing the slider main body, FIG. 11 (a) is a plan view, and FIG. ) Is a side view, FIG. 10C is a rear view, FIG. 10D is a sectional view taken along line DD in FIG. 9B, and FIG. 9E is a sectional view taken along line EE in FIG. is there. In these drawings, members that are the same as or equivalent to those described with reference to FIGS.

この実施の形態による単軸ロボット１１のケース１２は、図１２に示すように、上方に向けて開放する断面コ字状に形成されて前後方向に延びるベースブロック８１と、このベースブロック８１の両側部に取付けられた一対のカバー８２，８２とから構成されている。前記ベースブロック８１の両側部の上面には、リニアガイド１３のレール部材４１がそれぞれ固定されている。これらのレール部材４１に移動自在に支持された一対のスライド部材４２は、横方向に延びるプレート８３によって互いに接続されている。このプレート８３は、スライダ本体５１の上端部に取付けられ、テーブル５２を支持している。また、このプレート８３の上面には、前後方向に延びる複数の放熱用フィン８４が立設されている。 As shown in FIG. 12, the case 12 of the single-axis robot 11 according to this embodiment includes a base block 81 that is formed in a U-shaped cross section that opens upward and extends in the front-rear direction, and both sides of the base block 81. It is comprised from a pair of cover 82,82 attached to the part. Rail members 41 of the linear guide 13 are fixed to the upper surfaces of both side portions of the base block 81, respectively. A pair of slide members 42 movably supported by these rail members 41 are connected to each other by a plate 83 extending in the lateral direction. The plate 83 is attached to the upper end portion of the slider main body 51 and supports the table 52. A plurality of heat radiation fins 84 extending in the front-rear direction are provided on the upper surface of the plate 83.

この実施の形態によるスライダ本体５１は、前記プレート８３から下方に延び、前記ベースブロック８１の凹部８５内に挿入されている。このスライダ本体５１は、図１３に示すように、前後方向（スライダ１４の移動方向）の端部８６，８６を除く中央部分８７が上方に向けて開放する断面コ字状に形成されている。前記両端部８６は、図１３（ｂ）に示すように、このスライダ本体５１の両側板５５，５６の上端部どうしを接続するクロスメンバ８８が設けられており、図１３（ｅ）に示すように、閉じた断面形状となるように形成されている。すなわち、この実施の形態によるスライダ本体５１は、第１の実施の形態で示したスライダ本体に較べると剛性が高く、相対的に大型に形成することが可能な構成が採られている。前記中央部分８７、すなわちスライダ本体開口５１ａの長さＬは、コイル２１、２１‥‥の全長より長くなるように形成されている。 The slider main body 51 according to this embodiment extends downward from the plate 83 and is inserted into the recess 85 of the base block 81. As shown in FIG. 13, the slider main body 51 is formed in a U-shaped cross section in which a central portion 87 excluding end portions 86, 86 in the front-rear direction (the moving direction of the slider 14) opens upward. As shown in FIG. 13B, the both end portions 86 are provided with cross members 88 for connecting the upper end portions of both side plates 55 and 56 of the slider body 51, as shown in FIG. 13E. Further, it is formed to have a closed cross-sectional shape. That is, the slider main body 51 according to this embodiment has a higher rigidity than the slider main body shown in the first embodiment and can be formed in a relatively large size. The length L of the central portion 87, that is, the slider body opening 51a is formed to be longer than the entire length of the coils 21, 21.

前記クロスメンバ８８が設けられた前記両端部８６は、円形孔８９｛図１３（ｃ）参照｝が穿設され、この円形孔８９内に、円環状に形成されたシール部材５９（図１１参照）が嵌合されている。このスライダ本体５１は、前記シール部材５９と両側板５５，５６とによって囲まれた空間内にコイル２１とコイル結線用基板２３とが配設されるとともに、エポキシ樹脂５４が充填されている。前記基板２３は、スライダ本体５１の上端部に形成された取付座９０｛図１４および図１３（ａ），（ｄ）参照｝に取付用ねじ２３ａ（図１１参照）によって取付けられている。 The both end portions 86 provided with the cross member 88 are formed with circular holes 89 {see FIG. 13 (c)}, and seal members 59 (see FIG. 11) formed in an annular shape in the circular holes 89. ) Is fitted. In the slider main body 51, the coil 21 and the coil connection substrate 23 are disposed in a space surrounded by the seal member 59 and both side plates 55 and 56, and an epoxy resin 54 is filled. The substrate 23 is attached to a mounting seat 90 {see FIG. 14 and FIGS. 13 (a) and 13 (d)} formed on the upper end portion of the slider body 51 with a mounting screw 23a (see FIG. 11).

この実施の形態において、コイル２１をスライダ本体５１内の所定の位置に取付けるためには、第１の実施の形態を採るときと同様に治具７３を使用して行う。すなわち、スライダ本体５１にコイル２１を取付けるためには、先ず、前記治具７３に絶縁フィルム７４と、二つのシール部材５９，５９と、複数のコイル２１，２１‥‥とを装填することによってコイル組立体を形成する。 In this embodiment, in order to attach the coil 21 to a predetermined position in the slider main body 51, the jig 73 is used as in the case of the first embodiment. That is, in order to attach the coil 21 to the slider main body 51, first, the insulating film 74, the two seal members 59, 59, and the plurality of coils 21, 21,. An assembly is formed.

次に、前記コイル組立体をスライダ本体５１の一方の円形孔８９に外側から挿入するとともに、スライダ本体５１内で軸線方向に平行移動させ、前端部のシール部材５９と後端部のシール部材５９とをスライダ本体５１の両端部の８６，８６の円形孔８９にそれぞれ嵌合させる。この状態で、図１１に示すように、スライダ本体５１の前端面と後端面とに外周にＯリングを装着したストッパープレート９１と、樹脂ベアリング６６を有するベアリングホルダ９２とを取付ける。前記ストッパープレート９１は、樹脂ベアリング６６の移動を規制するためのものである。その後、各コイル２１のリード線をコイル結線用基板２３に半田付けする。この基板２３には、制御装置２５からのＵ，Ｖ，Ｗおよび共通線Ａを予め結線しておく。前記半田付けは、各コイル２１の両端（図９において符号Ｓ，Ｅで示す両端）をそれぞれ前記基板上の所定端子部に接続することによって行う。この半田付け作業が終了することにより、図９に示す回路が構成される。次に、前記基板２３をスライダ本体開口５１ａからスライダ本体５１内に挿入して固定し、液状のエポキシ樹脂５４をスライダ本体５１内に注入する。このエポキシ樹脂５４を加熱することにより硬化させた後に治具７３を取外す。 Next, the coil assembly is inserted into one circular hole 89 of the slider main body 51 from the outside, and is translated in the axial direction within the slider main body 51 so as to seal the front end seal member 59 and the rear end seal member 59. Are fitted into circular holes 89 of 86 and 86 at both ends of the slider body 51, respectively. In this state, as shown in FIG. 11, a stopper plate 91 having an O-ring attached to the outer periphery of the front end surface and the rear end surface of the slider body 51 and a bearing holder 92 having a resin bearing 66 are attached. The stopper plate 91 is for restricting the movement of the resin bearing 66. Thereafter, the lead wire of each coil 21 is soldered to the coil connection board 23. U, V, W and a common line A from the control device 25 are connected to the substrate 23 in advance. The soldering is performed by connecting both ends (both ends indicated by symbols S and E in FIG. 9) of each coil 21 to predetermined terminal portions on the substrate. When this soldering operation is completed, the circuit shown in FIG. 9 is configured. Next, the substrate 23 is inserted and fixed into the slider body 51 from the slider body opening 51 a, and a liquid epoxy resin 54 is injected into the slider body 51. After the epoxy resin 54 is cured by heating, the jig 73 is removed.

なお、図１３におけるスライダ本体開口５１ａの長手方向長さＬが、装着する全てのコイル２１、２１‥‥の全長、および基板２３の長手方向長さより長い場合には、上述した第１の実施の形態と一部同じようにスライダ１４を形成する。すなわち、治具７３を互いに脱着可能な３ピースで形成し、中央のピースに絶縁フィルム７４、複数のコイル２１、２１‥‥とを装填してコイル組立体を形成し、Ｕ、Ｖ、Ｗおよび共通線Ａが結線された基板２３へ各コイル２１の両端を半田付けし、コイル組立体と基板２３を一緒にスライダ本体開口５１ａからスライダ本体５１内に挿入し、基板２３をスライダ本体５１に固定する。 When the longitudinal length L of the slider body opening 51a in FIG. 13 is longer than the total length of all the coils 21, 21... To be attached and the longitudinal length of the substrate 23, the first embodiment described above is used. The slider 14 is formed in the same way as the form. That is, the jig 73 is formed of three pieces that can be attached to and detached from each other, and an insulating film 74 and a plurality of coils 21, 21... Both ends of each coil 21 are soldered to the substrate 23 to which the common line A is connected, and the coil assembly and the substrate 23 are inserted together into the slider body 51 from the slider body opening 51a, and the substrate 23 is fixed to the slider body 51. To do.

その後、中央のピースの両側から、外周にＯリングを取付けたシール部材５９と、樹脂ベアリング６６を有し外周にＯリングを取付けたベアリングホルダ９２とを装着した端部ピースをそれぞれ組付け、ストッパープレート９１をスライダ本体５１に取付ける。その後からエポキシ樹脂５４をスライダ本体内に注入し、その後加熱硬化する。中央のピース、両側のピースからなる治具７３を除去して、スライダ１４を完成させる。シール部材５９とベアリングホルダ９２を円形孔８９に嵌合させることと、ストッパープレート９１を取付けることで、コイル２１のスライダ本体５１に対する位置決めができる。 Thereafter, from both sides of the central piece, end pieces each fitted with a seal member 59 having an O-ring attached to the outer periphery and a bearing holder 92 having a resin bearing 66 and an O-ring attached to the outer periphery are assembled to each of the stoppers. The plate 91 is attached to the slider body 51. Thereafter, the epoxy resin 54 is injected into the slider body and then heated and cured. The slider 73 is completed by removing the jig 73 composed of the central piece and the pieces on both sides. By fitting the seal member 59 and the bearing holder 92 into the circular hole 89 and attaching the stopper plate 91, the coil 21 can be positioned with respect to the slider body 51.

また、スライダ本体開口５１ａの長手方向長さＬが、装着する全てのコイル２１、２１と両シール部材５９との全長より長い場合には、治具７３を互いに脱着可能な３ピースで形成し、中央のピースに絶縁フィルム７４、複数のコイル２１、２１‥‥、両シール部材５９とを装填してコイル組立体を形成し、コイル組立体を一緒にスライダ本体開口５１ａからスライダ本体５１内に挿入し、樹脂ベアリング６６を有し、外周にＯリングを取付けたベアリングホルダ９２を装着した端部ピースをそれぞれ組付け、ストッパープレート９１をスライダ本体５１に取付ける。 Further, when the length L in the longitudinal direction of the slider body opening 51a is longer than the total length of all the coils 21 and 21 to be mounted and both the seal members 59, the jig 73 is formed of three pieces that can be attached to and detached from each other. An insulating film 74, a plurality of coils 21, 21,..., And both seal members 59 are loaded on the central piece to form a coil assembly, and the coil assembly is inserted into the slider body 51 together from the slider body opening 51a. Then, end pieces each having a resin bearing 66 and a bearing holder 92 having an O-ring attached to the outer periphery are assembled, and the stopper plate 91 is attached to the slider body 51.

このうえで、Ｕ、Ｖ、Ｗおよび共通線Ａが結線され、各コイル２１の両端が半田付けされた基板２３も、スライダ本体開口５１ａからスライダ本体５１内に挿入し固定し、エポキシ樹脂５４をスライダ本体内に注入し、その後加熱硬化する。基板２３をスライダ本体開口５１ａからスライダ本体５１内に挿入しない場合には、エポキシ樹脂５４をスライダ本体内に注入し、その後加熱硬化した後、Ｕ、Ｖ、Ｗおよび共通線Ａが結線された基板２３へ各コイル２１の両端を半田付けする。 In addition, U, V, W and common line A are connected, and substrate 23 to which both ends of each coil 21 are soldered is also inserted into slider body 51 from slider body opening 51a and fixed, and epoxy resin 54 is attached. It is poured into the slider body and then heated and cured. When the substrate 23 is not inserted into the slider main body 51 from the slider main body opening 51a, the epoxy resin 54 is injected into the slider main body and then cured by heating, and then the U, V, W and common line A are connected to each other. 23, both ends of each coil 21 are soldered.

前記スライダ本体５１におけるエポキシ樹脂５４が充填される部分の内面は、図１２に示すように、ステータ２２の軸線方向から見てコイル２１と同心円状に形成され、複数のフィン６１が突設されている。これらのフィン６１は、コイル２１の中心部を指向しかつスライダ１４の移動方向に延びるように形成されている。また、この実施の形態においても、スライダ本体５１の外面に複数の放熱用フィン６２が立設されている。
この実施の形態で示したようにスライダ１４を構成しても第１の実施の形態を採る場合と同等の効果を奏する。 As shown in FIG. 12, the inner surface of the slider body 51 where the epoxy resin 54 is filled is formed concentrically with the coil 21 when viewed from the axial direction of the stator 22, and has a plurality of fins 61 protruding therefrom. Yes. These fins 61 are formed so as to be directed toward the center of the coil 21 and extend in the moving direction of the slider 14. Also in this embodiment, a plurality of heat radiation fins 62 are erected on the outer surface of the slider body 51.
Even if the slider 14 is configured as shown in this embodiment, the same effect as that obtained when the first embodiment is adopted can be obtained.

上述した各実施の形態ではケース１２のシャッター３４と側板５５との間に形成される隙間によりケース１２内が少しずつ換気される例を示したが、ケース１２の前壁部材３３と後壁部材の少なくとも一方にケース１２の内外を連通する連通管（図示せず）を設け、この連通管を用いてケース１２内の換気を行うこともできる。また、本発明に係る単軸ロボット１１は、上述したようにスライダ１４の移動に依存する換気装置を装備する他に、電動ファンによって強制的にケース１２内を換気する換気装置を装備することができる。この構成を採る場合は、ケース１２内の温度が予め定めた温度を上回ったときに電動ファンによって換気を行うことができる。これらの連通管や換気装置には、外部の塵埃のケース１２内への侵入を防止するフィルタを設ける。 In each of the above-described embodiments, an example in which the inside of the case 12 is ventilated little by little by a gap formed between the shutter 34 and the side plate 55 of the case 12 is shown. However, the front wall member 33 and the rear wall member of the case 12 are shown. A communication pipe (not shown) that communicates the inside and the outside of the case 12 may be provided on at least one of the casings 12 and the inside of the case 12 may be ventilated using the communication pipe. Further, the single-axis robot 11 according to the present invention may be equipped with a ventilator that forcibly ventilates the inside of the case 12 with an electric fan, in addition to the ventilator that depends on the movement of the slider 14 as described above. it can. When this configuration is adopted, ventilation can be performed by the electric fan when the temperature in the case 12 exceeds a predetermined temperature. These communication pipes and ventilators are provided with a filter that prevents external dust from entering the case 12.

上述した各実施形態においては、コイル２１をエポキシ樹脂５４にスライダ本体５１に固定する例を示したが、この樹脂材料としては、エポキシ樹脂に限定されることはなく、耐熱性、絶縁性および機械的強度の条件を満たすものであれば、どのようなものでも用いることができる。また、図１２に示すように、テーブル５２のプレート８３への接続部に断熱材９３を介装し、テーブル５２にコイル２１の熱が伝達されることを防止するようにすると良い。 In each of the above-described embodiments, the example in which the coil 21 is fixed to the slider main body 51 on the epoxy resin 54 has been described. However, the resin material is not limited to the epoxy resin, and heat resistance, insulation, and machine Any material can be used as long as it satisfies the requirements of the mechanical strength. In addition, as shown in FIG. 12, a heat insulating material 93 is interposed in the connection portion of the table 52 to the plate 83 to prevent the heat of the coil 21 from being transmitted to the table 52.

本発明に係る単軸ロボットの平面図である。It is a top view of the single axis robot concerning the present invention. 本発明に係る単軸ロボットの側面図である。It is a side view of the single axis robot concerning the present invention. 単軸ロボットの要部を拡大して示す縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view which expands and shows the principal part of a single axis robot. スライダの横断面図である。It is a cross-sectional view of a slider. スライダ本体とシール部材との接続部分を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the connection part of a slider main body and a sealing member. シール部材を示す図である。It is a figure which shows a sealing member. スライダ本体を示す図である。It is a figure which shows a slider main body. スライダのステータ貫通部を拡大して示す断面図である。It is sectional drawing which expands and shows the stator penetration part of a slider. コイルの結線図である。It is a connection diagram of a coil. スライダの組立方法を説明するための斜視図である。It is a perspective view for demonstrating the assembly method of a slider. 単軸ロボットの他の実施の形態を示す縦断面図である。It is a longitudinal section showing other embodiments of a single axis robot. スライダの横断面図である。It is a cross-sectional view of a slider. スライダ本体を示す図である。It is a figure which shows a slider main body. 従来の単軸ロボットのスライダの断面図である。It is sectional drawing of the slider of the conventional single axis robot.

Explanation of symbols

１１…単軸ロボット、１２…ケース、１３…リニアガイド、１４…スライダ、１５…可動コイル形リニアモータ、２１…コイル、２２…ステータ、４４…永久磁石、５１…スライダ本体、５２…テーブル、５４…エポキシ樹脂、６１，６２…フィン。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 ... Single axis robot, 12 ... Case, 13 ... Linear guide, 14 ... Slider, 15 ... Moving coil type linear motor, 21 ... Coil, 22 ... Stator, 44 ... Permanent magnet, 51 ... Slider main body, 52 ... Table, 54 ... epoxy resin, 61, 62 ... fins.

Claims

A linear guide, a rod-shaped stator disposed in the same direction as the linear guide, a coil through which the rod-shaped stator penetrates, and a slider body that is built in and reciprocally supported by the linear guide; A slider constituted by integrating the coil and the slider body by a synthetic resin impregnated between the inner surface of the slider body and the coil is reciprocated by a movable coil linear motor comprising the coil and a rod-shaped stator. In the driven single-axis robot, a plurality of fins protrude from the inner surface of the slider body.

The single-axis robot according to claim 1, wherein the fin is formed so as to be directed toward the center of the coil and extend in the moving direction of the slider.

The single-axis robot according to claim 1 or 2, wherein the linear guide and the rod-shaped stator are housed in a case provided with an opening, and a flexible shutter is provided in the opening to close the opening from the outside. By providing the slider with a guide part for releasing the shutter outward from the opening, the slider extends from the inside of the case to the outside through the open space between the opening from the opening of the shutter and the case. A single-axis robot characterized by

4. The single-axis robot according to claim 3, wherein the internal space of the case is divided into two by the slider, and a fin extending in the moving direction of the slider projects from the outer surface of the slider body.

The single-axis robot according to claim 4, wherein at least one of the two spaces in the case communicates with the outside of the case.