JP2006003331A - Testing device and testing method - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To easily pursue a cause when a header pattern indicating the start of a test is not detected. <P>SOLUTION: This testing device for determining the quality of a tested device, based on a comparison result of an output pattern sequence output sequentially from a terminal of the testing device with an expected valued pattern sequence to be compared with the output pattern sequence, is provided with a header pattern detecting part for detecting whether the output pattern sequence consistent with a header pattern sequence is output from the tested device or not, an expected value comparing part for comparing the output pattern sequence output from the tested device following to the header pattern sequence with the expected valued pattern sequence, when the header pattern sequence is detected, and a selection-writing part for storing the comparison result by the expected value comparing part in a failure memory, when the output pattern sequence consistent with the header pattern sequence is detected, and for storing the output pattern sequence output from the tested device in the failure memory, when the output pattern sequence consistent with the header pattern sequence is not detected. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、試験装置及び試験方法に関する。特に、本発明は、被試験デバイスから試験の開始を示すヘッダパターンが出力された場合に、その後に出力される出力パターンについての良否判断を開始する試験装置及び試験方法に関する。   The present invention relates to a test apparatus and a test method. In particular, the present invention relates to a test apparatus and a test method for starting pass / fail judgment for an output pattern output after a header pattern indicating the start of a test is output from a device under test.

試験装置は、試験対象となる被試験デバイス(DUT: Device Under Test)の試験を、試験プログラムに基づいて行う。具体的には、試験装置は、試験プログラムの命令をメモリから順次読み出して実行する。そして、試験装置は、各命令に対応付けられた試験パターンをメモリから読み出して、被試験デバイスの各端子に出力する。その結果出力された出力パターンは、被試験デバイスが出力すべき予め定められた期待値パターンと比較される。
現時点で先行する文献公知発明の存在を把握していないので、その記載を省略する。
The test apparatus performs a test of a device under test (DUT) to be tested based on a test program. Specifically, the test apparatus sequentially reads out and executes test program instructions from the memory. Then, the test apparatus reads a test pattern associated with each command from the memory and outputs it to each terminal of the device under test. The output pattern output as a result is compared with a predetermined expected value pattern to be output by the device under test.
Since the existence of the prior art known in the literature is not grasped at present, the description is omitted.

被試験デバイスによっては、出力パターン列の出力が開始されるタイミングが定まっていない場合がある。このため、出力パターン列の先頭を示す予め定められたヘッダパターン列を、被試験デバイスに出力させる方法が考えられる。即ちこの方法によると、試験装置は、ヘッダパターン列が検出された場合に、そのヘッダパターンに続いて出力される出力パターン列を、期待値パターン列と比較する。しかしながら、被試験デバイスの障害等の理由により、ヘッダパターン列と一致する出力パターン列の検出に失敗する場合がある。この場合、従来は、ヘッダパターン列の検出に失敗した原因を解析するのは困難であった。   Depending on the device under test, the timing at which the output of the output pattern sequence is started may not be determined. For this reason, a method of causing the device under test to output a predetermined header pattern string indicating the head of the output pattern string is conceivable. That is, according to this method, when a header pattern sequence is detected, the test apparatus compares an output pattern sequence output subsequent to the header pattern with an expected value pattern sequence. However, detection of an output pattern sequence that matches the header pattern sequence may fail due to a failure of the device under test. In this case, conventionally, it has been difficult to analyze the cause of failure in detecting the header pattern sequence.

そこで本発明は、上記の課題を解決することのできる試験装置及び試験方法を提供することを目的とする。この目的は特許請求の範囲における独立項に記載の特徴の組み合わせにより達成される。また従属項は本発明の更なる有利な具体例を規定する。   Accordingly, an object of the present invention is to provide a test apparatus and a test method that can solve the above-described problems. This object is achieved by a combination of features described in the independent claims. The dependent claims define further advantageous specific examples of the present invention.

上記課題を解決するために、本発明の第1の形態においては、被試験デバイスの端子から順次出力される出力パターン列と、出力パターン列と比較されるべき期待値パターン列との比較結果に基づいて、被試験デバイスの良否を判定する試験装置であって、予め定められたヘッダパターン列と一致する出力パターン列が被試験デバイスから出力されるか否かを検出するヘッダパターン検出部と、ヘッダパターン列と一致する出力パターン列が検出された場合に、ヘッダパターン列と一致する当該出力パターン列に続いて被試験デバイスから出力される出力パターン列を、期待値パターン列と比較する期待値比較部と、ヘッダパターン列と一致する出力パターン列が検出された場合に、期待値比較部による比較結果をフェイルメモリに格納し、ヘッダパターン列と一致する出力パターン列が検出されなかった場合に、被試験デバイスの出力パターン列をフェイルメモリに格納する選択書込部とを備える試験装置を提供する。   In order to solve the above problem, in the first embodiment of the present invention, the comparison result between the output pattern sequence sequentially output from the terminal of the device under test and the expected value pattern sequence to be compared with the output pattern sequence is used. Based on a test apparatus that determines whether the device under test is good or bad, and a header pattern detection unit that detects whether an output pattern sequence that matches a predetermined header pattern sequence is output from the device under test; When an output pattern string that matches the header pattern string is detected, an expected value that compares the output pattern string output from the device under test following the output pattern string that matches the header pattern string with the expected value pattern string When the comparison unit and an output pattern sequence that matches the header pattern sequence are detected, the comparison result by the expected value comparison unit is stored in the fail memory, When the output pattern sequence matching the Ddapatan column is not detected, to provide a test apparatus and a selective writing unit for storing the output pattern sequence of the device under test to the fail memory.

また、ヘッダパターン列の検出開始を指示する検出開始命令を含む複数の命令を、命令サイクル毎に順次実行する命令実行部を更に備え、選択書込部は、検出開始命令が実行された場合に、被試験デバイスから出力される出力パターンをフェイルメモリに順次書き込む出力パターン書込処理を開始し、ヘッダパターン列と一致する出力パターン列が検出された場合に、出力パターン書込処理を停止して期待値比較部による比較結果をフェイルメモリに順次格納する処理を開始してもよい。
また、選択書込部は、ヘッダパターン列と一致する出力パターン列が検出されない場合に、検出開始命令が実行されてから予め定められた命令サイクル数が経過するまでに被試験デバイスから出力された出力パターン列を、フェイルメモリに格納してもよく、予め定められた命令サイクル数経過後に出力された出力パターン列をフェイルメモリに格納しなくてもよい。
In addition, it further includes an instruction execution unit that sequentially executes a plurality of instructions including a detection start instruction instructing the start of detection of the header pattern sequence for each instruction cycle, and the selective writing unit is configured to execute the detection start instruction Start the output pattern writing process that sequentially writes the output pattern output from the device under test to the fail memory. If an output pattern string that matches the header pattern string is detected, stop the output pattern writing process. Processing for sequentially storing the comparison results by the expected value comparison unit in the fail memory may be started.
In addition, the selective writing unit outputs from the device under test until a predetermined number of instruction cycles elapses after the detection start instruction is executed when an output pattern string that matches the header pattern string is not detected. The output pattern sequence may be stored in the fail memory, or the output pattern sequence output after the elapse of a predetermined number of instruction cycles may not be stored in the fail memory.

本発明の第2の形態においては、被試験デバイスの端子から順次出力される出力パターン列と、出力パターン列と比較されるべき期待値パターン列との比較結果に基づいて、被試験デバイスの良否を判定する試験方法であって、予め定められたヘッダパターン列と一致する出力パターン列が被試験デバイスから出力されるか否かを検出するヘッダパターン検出段階と、ヘッダパターン列と一致する出力パターン列が検出された場合に、ヘッダパターン列と一致する当該出力パターン列に続いて被試験デバイスから出力される出力パターン列を、期待値パターン列と比較する期待値比較段階と、ヘッダパターン列と一致する出力パターン列が検出された場合に、期待値比較段階における比較結果をフェイルメモリに格納し、ヘッダパターン列と一致する出力パターン列が検出されなかった場合に、被試験デバイスの出力パターン列をフェイルメモリに格納する選択書込段階とを備える試験方法を提供する。   In the second embodiment of the present invention, the quality of the device under test is determined based on the comparison result between the output pattern sequence sequentially output from the terminal of the device under test and the expected value pattern sequence to be compared with the output pattern sequence. A header pattern detection stage for detecting whether an output pattern string that matches a predetermined header pattern string is output from the device under test, and an output pattern that matches the header pattern string An expected value comparison stage for comparing the output pattern sequence output from the device under test with the expected value pattern sequence following the output pattern sequence that matches the header pattern sequence when the sequence is detected; When a matching output pattern sequence is detected, the comparison result in the expected value comparison stage is stored in the fail memory, and the header pattern sequence When the match output pattern sequence is not detected, to provide a test method and a selective writing step of storing the output pattern sequence of the device under test to the fail memory.

なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。   The above summary of the invention does not enumerate all the necessary features of the present invention, and sub-combinations of these feature groups can also be the invention.

本発明によれば、試験の開始を示すヘッダパターンが検出されなかった場合に、その原因を追究しやすくすることができる。   According to the present invention, when the header pattern indicating the start of the test is not detected, it is possible to easily investigate the cause.

以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではなく、また実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。   Hereinafter, the present invention will be described through embodiments of the invention. However, the following embodiments do not limit the invention according to the scope of claims, and all combinations of features described in the embodiments are included. It is not necessarily essential for the solution of the invention.

図1は、試験装置10の構成を示す。試験装置10は、1又は複数の端子を備えるDUT100を試験する試験装置であり、メインメモリ102と、セントラルパターン制御部112と、複数のチャネルブロック130とを備える。   FIG. 1 shows the configuration of the test apparatus 10. The test apparatus 10 is a test apparatus that tests the DUT 100 including one or a plurality of terminals, and includes a main memory 102, a central pattern control unit 112, and a plurality of channel blocks 130.

メインメモリ102は、DUT100の試験プログラムを格納し、試験プログラムを実行した結果DUT100が出力する出力パターンを記録する。メインメモリ102は、命令メモリ104と、複数の試験パターンメモリ106と、複数の期待値パターンメモリ108と、デジタルキャプチャメモリ110とを有する。   The main memory 102 stores the test program of the DUT 100 and records an output pattern output from the DUT 100 as a result of executing the test program. The main memory 102 includes an instruction memory 104, a plurality of test pattern memories 106, a plurality of expected value pattern memories 108, and a digital capture memory 110.

命令メモリ104は、試験プログラムに含まれる各命令を格納する。複数の試験パターンメモリ106のそれぞれは、DUT100の各端子に対応して設けられ、各命令に対応付けて、当該命令を実行する命令サイクル期間中に用いる試験パターン列を各端子毎に格納する。   The instruction memory 104 stores each instruction included in the test program. Each of the plurality of test pattern memories 106 is provided corresponding to each terminal of the DUT 100, and stores a test pattern string used during an instruction cycle period for executing the instruction in association with each instruction for each terminal.

ここで試験パターン列は、命令サイクル期間中にDUT100の端子に対して順次出力するべき複数の試験パターンを含む。例えば、試験装置10が1命令サイクル当たり32ビットの信号をDUT100に対して出力する場合、試験パターンメモリ106は、各命令に対応付けて、1命令サイクル期間中に出力する32ビットの信号に対応する32個の試験パターンからなる試験パターン列を格納する。   Here, the test pattern sequence includes a plurality of test patterns to be sequentially output to the terminals of the DUT 100 during the instruction cycle. For example, when the test apparatus 10 outputs a 32-bit signal per instruction cycle to the DUT 100, the test pattern memory 106 corresponds to each instruction and corresponds to a 32-bit signal output during one instruction cycle. A test pattern sequence consisting of 32 test patterns is stored.

複数の期待値パターンメモリ108のそれぞれは、DUT100の各端子に対応して設けられ、各命令に対応付けて、当該命令を実行する命令サイクル期間中に用いる期待値パターン列を格納する。ここで、期待値パターン列は、命令サイクル期間中にDUT100の端子から順次出力される複数の出力パターンと順次比較されるべき複数の期待値パターンを含む。デジタルキャプチャメモリ110は、試験プログラムを実行した結果DUT100が出力する出力パターンを記録する。   Each of the plurality of expected value pattern memories 108 is provided corresponding to each terminal of the DUT 100, and stores an expected value pattern sequence used during an instruction cycle period for executing the instruction in association with each instruction. Here, the expected value pattern sequence includes a plurality of expected value patterns to be sequentially compared with a plurality of output patterns sequentially output from the terminals of the DUT 100 during the instruction cycle. The digital capture memory 110 records an output pattern output from the DUT 100 as a result of executing the test program.

以上において、命令メモリ104、複数の試験パターンメモリ106、複数の期待値パターンメモリ108、及び/又はデジタルキャプチャメモリ110は、メインメモリ102を構成する別個のメモリモジュールに分割して設けられてもよく、同一のメモリモジュール内の異なる記憶領域として設けられてもよい。   In the above, the instruction memory 104, the plurality of test pattern memories 106, the plurality of expected value pattern memories 108, and / or the digital capture memory 110 may be provided by being divided into separate memory modules that constitute the main memory 102. These may be provided as different storage areas in the same memory module.

セントラルパターン制御部112は、メインメモリ102及び複数のチャネルブロック130に接続され、DUT100の各端子に共通の処理を行う。セントラルパターン制御部112は、パターンリストメモリ114と、ベクタ生成制御部116と、セントラルキャプチャ制御部120と、パターンリザルトメモリ122とを有する。   The central pattern control unit 112 is connected to the main memory 102 and the plurality of channel blocks 130 and performs processing common to each terminal of the DUT 100. The central pattern control unit 112 includes a pattern list memory 114, a vector generation control unit 116, a central capture control unit 120, and a pattern result memory 122.

パターンリストメモリ114は、試験プログラムのメインルーチンや各サブルーチンのそれぞれについて、命令メモリ104における当該ルーチンの開始/終了アドレス、試験パターンメモリ106における試験パターンの開始アドレス、期待値パターンメモリ108における期待値パターンの開始アドレス等を格納する。ベクタ生成制御部116は本発明に係る命令実行部の一例であり、命令サイクル毎に、DUT100の試験プログラムに含まれる命令を順次実行する。より具体的には、ベクタ生成制御部116は、各ルーチン毎に、開始アドレスから終了アドレスまでの各命令をパターンリストメモリ114から順次読み出して、順次実行する。   The pattern list memory 114 stores the start / end address of the routine in the instruction memory 104, the start address of the test pattern in the test pattern memory 106, and the expected value pattern in the expected value pattern memory 108 for each of the main routine and each subroutine of the test program. Stores the start address, etc. The vector generation control unit 116 is an example of an instruction execution unit according to the present invention, and sequentially executes instructions included in the test program of the DUT 100 for each instruction cycle. More specifically, the vector generation control unit 116 sequentially reads out each instruction from the start address to the end address from the pattern list memory 114 and executes them sequentially for each routine.

セントラルキャプチャ制御部120は、DUT100の各端子毎の良否判定結果を各チャネルブロック130から受けて、各ルーチン毎のDUT100の良否判定結果を集計する。パターンリザルトメモリ122は、各ルーチン毎のDUT100の良否判定結果を格納する。   The central capture control unit 120 receives the pass / fail judgment results for each terminal of the DUT 100 from each channel block 130 and totals the pass / fail judgment results of the DUT 100 for each routine. The pattern result memory 122 stores the quality determination result of the DUT 100 for each routine.

複数のチャネルブロック130のそれぞれは、DUT100の各端子に対応して設けられる。各チャネルブロック130は、チャネルパターン生成部140と、タイミング生成部160と、ドライバ170と、コンパレータ180とを有する。   Each of the plurality of channel blocks 130 is provided corresponding to each terminal of the DUT 100. Each channel block 130 includes a channel pattern generation unit 140, a timing generation unit 160, a driver 170, and a comparator 180.

チャネルパターン生成部140は、当該端子の試験に用いる試験パターン列又は期待値パターン列を生成し、DUT100の出力パターン列及び期待値パターン列の比較を行う。チャネルパターン生成部140は、シーケンシャルパターン生成部142と、フォーマット制御部144と、シーケンシャルパターン生成部146と、ハント・コンペア部148と、フェイルキャプチャ制御部150と、フェイルキャプチャメモリ152とを含む。   The channel pattern generation unit 140 generates a test pattern sequence or an expected value pattern sequence used for testing the terminal, and compares the output pattern sequence and the expected value pattern sequence of the DUT 100. The channel pattern generation unit 140 includes a sequential pattern generation unit 142, a format control unit 144, a sequential pattern generation unit 146, a hunt / compare unit 148, a fail capture control unit 150, and a fail capture memory 152.

シーケンシャルパターン生成部142は、実行するルーチンに対応して出力すべき試験パターン列の開始アドレスを、ベクタ生成制御部116から受信する。そして、シーケンシャルパターン生成部142は、各命令サイクルに対応して当該開始アドレスから順に試験パターンメモリ106から試験パターン列を読み出して、順次フォーマット制御部144へ出力する。フォーマット制御部144は、試験パターン列を、ドライバ170を制御するためのフォーマットに変換する。   The sequential pattern generation unit 142 receives from the vector generation control unit 116 the start address of the test pattern sequence to be output corresponding to the routine to be executed. Then, the sequential pattern generation unit 142 reads the test pattern sequence from the test pattern memory 106 in order from the start address corresponding to each instruction cycle, and sequentially outputs it to the format control unit 144. The format control unit 144 converts the test pattern sequence into a format for controlling the driver 170.

シーケンシャルパターン生成部146は、実行するルーチンに対応して、期待値パターン列の開始アドレスをベクタ生成制御部116から受信する。そして、シーケンシャルパターン生成部146は、各命令サイクルに対応して当該開始アドレスから順に期待値パターンメモリ108から期待値パターンを読み出して、順次ハント・コンペア部148及びフェイルキャプチャ制御部150へ出力する。ハント・コンペア部148は、コンパレータ180を介してDUT100が出力した出力パターン列を入力し、期待値パターン列と比較する。ここでハント・コンペア部148は、DUT100から出力されるタイミングが不定の出力パターン列については、DUT100から特定のヘッダパターン列が出力されたことを条件として期待値パターン列との比較を開始するハント機能を有してよい。この場合、ハント・コンペア部148は、ヘッダパターン列に一致する出力パターン列の検出を開始する検出開始命令が実行されたことを条件として、ヘッダパターン列の検出を開始してもよい。   The sequential pattern generation unit 146 receives the start address of the expected value pattern sequence from the vector generation control unit 116 corresponding to the routine to be executed. Then, the sequential pattern generation unit 146 reads the expected value pattern from the expected value pattern memory 108 in order from the start address corresponding to each instruction cycle, and sequentially outputs the expected value pattern to the hunt / compare unit 148 and the fail capture control unit 150. The hunt compare unit 148 inputs the output pattern sequence output from the DUT 100 via the comparator 180 and compares it with the expected value pattern sequence. Here, the hunt compare unit 148 starts the comparison with the expected value pattern string on the condition that a specific header pattern string is output from the DUT 100 for the output pattern string output from the DUT 100 at an indefinite timing. It may have a function. In this case, the hunt / compare unit 148 may start detection of the header pattern sequence on condition that a detection start instruction for starting detection of an output pattern sequence that matches the header pattern sequence is executed.

フェイルキャプチャ制御部150は、DUT100の出力パターン列及び期待値パターン列の一致/不一致の情報をハント・コンペア部148から受けて、当該端子についてのDUT100の良否判定結果を生成する。フェイルキャプチャメモリ152は、ハント・コンペア部148によるハント処理の結果や期待値と不一致となった出力パターンの値等を含むフェイル情報を格納する。   The fail capture control unit 150 receives information on match / mismatch between the output pattern sequence of the DUT 100 and the expected value pattern sequence from the hunt compare unit 148, and generates a pass / fail judgment result of the DUT 100 for the terminal. The fail capture memory 152 stores fail information including the result of hunt processing by the hunt / compare unit 148, the value of the output pattern that does not match the expected value, and the like.

タイミング生成部160は、ドライバ170が試験パターン列内の各試験パターンを出力するタイミング、及び、コンパレータ180がDUT100の出力パターンを取り込むタイミングを生成する。ドライバ170は、タイミング生成部160により指定されたタイミングにおいて、チャネルパターン生成部140内のフォーマット制御部144により出力される各試験パターンをDUT100へ出力する。コンパレータ180は、タイミング生成部160により指定されたタイミングにおいて、DUT100の端子から出力された出力パターンを取得し、チャネルブロック130内のハント・コンペア部148及びデジタルキャプチャメモリ110へ供給する。   The timing generation unit 160 generates a timing at which the driver 170 outputs each test pattern in the test pattern sequence, and a timing at which the comparator 180 takes in the output pattern of the DUT 100. The driver 170 outputs each test pattern output from the format control unit 144 in the channel pattern generation unit 140 to the DUT 100 at the timing specified by the timing generation unit 160. The comparator 180 acquires the output pattern output from the terminal of the DUT 100 at the timing specified by the timing generation unit 160 and supplies the output pattern to the hunt / compare unit 148 and the digital capture memory 110 in the channel block 130.

なお、チャネルパターン生成部140は、以上に示したシーケンシャルパターン生成部142及びシーケンシャルパターン生成部146を別個に設ける構成に代えて、シーケンシャルパターン生成部142及びシーケンシャルパターン生成部146の機能を有する共通のシーケンシャルパターン生成部を備える構成を採ってもよい。   Note that the channel pattern generation unit 140 has a function of the sequential pattern generation unit 142 and the sequential pattern generation unit 146 instead of the configuration in which the sequential pattern generation unit 142 and the sequential pattern generation unit 146 described above are separately provided. A configuration including a sequential pattern generation unit may be employed.

図2は、ハント・コンペア部148の構成を示す。ハント・コンペア部148は、ヘッダパターン検出部200と、アラインメント部210と、期待値比較部220と、選択書込部230とを有する。ヘッダパターン検出部200は、被試験デバイス100から出力された出力パターン列をコンパレータ180から入力する。そして、ヘッダパターン検出部200は、ベクタ生成制御部116から受けた信号に基づいて、ヘッダパターン列に一致する出力パターン列の検出開始を指示する検出開始命令が実行されたか否かを判断する。検出開始命令が実行された場合に、ヘッダパターン検出部200は、予め定められたヘッダパターン列と一致する出力パターン列が被試験デバイス100から出力されるか否かを検出する。   FIG. 2 shows the configuration of the hunt / compare unit 148. The hunt / compare unit 148 has a header pattern detection unit 200, an alignment unit 210, an expected value comparison unit 220, and a selective writing unit 230. The header pattern detection unit 200 inputs the output pattern sequence output from the device under test 100 from the comparator 180. Then, based on the signal received from the vector generation control unit 116, the header pattern detection unit 200 determines whether or not a detection start instruction for instructing the start of detection of the output pattern sequence that matches the header pattern sequence has been executed. When the detection start instruction is executed, the header pattern detection unit 200 detects whether or not an output pattern sequence that matches a predetermined header pattern sequence is output from the device under test 100.

ヘッダパターン検出部200は、ヘッダパターン列を検出した場合に、ヘッダパターン列の検出を開始してからヘッダパターン列が検出されるまでに経過した時間に基づいて、出力パターン列の出力タイミングを調節するパラメータをアラインメント部210に設定する。例えば、ヘッダパターン検出部200は、出力パターン列を遅延させる遅延量をアラインメント部210に設定してもよい。この遅延量を適切に設定することにより、出力パターン列及び期待値パターン列を同期させることができる。   When the header pattern sequence is detected, the header pattern detection unit 200 adjusts the output timing of the output pattern sequence based on the time elapsed from the start of detection of the header pattern sequence until the header pattern sequence is detected. The parameter to be set is set in the alignment unit 210. For example, the header pattern detection unit 200 may set a delay amount for delaying the output pattern sequence in the alignment unit 210. By appropriately setting the delay amount, the output pattern sequence and the expected value pattern sequence can be synchronized.

アラインメント部210は、被試験デバイス100から出力された出力パターン列をコンパレータ180から入力する。そして、アラインメント部210は、入力した出力パターン列を、ヘッダパターン検出部200により設定された遅延量だけ遅延させて、期待値比較部220及び選択書込部230に送る。期待値比較部220は、ヘッダパターン列と一致する出力パターン列が検出された場合に、ヘッダパターン列と一致するその出力パターン列に続いて被試験デバイス100から出力される出力パターン列を、期待値パターン列と比較する。ここで、ヘッダパターン列と一致する出力パターン列に続く出力パターン列とは、ヘッダパターン列と一致するその出力パターン列に連続して出力される出力パターンのみならず、ヘッダパターン列と一致するその出力パターン列の出力後に他のパターンが出力された後に出力される出力パターンを含む。   The alignment unit 210 inputs the output pattern sequence output from the device under test 100 from the comparator 180. Then, the alignment unit 210 delays the input output pattern sequence by the delay amount set by the header pattern detection unit 200 and sends it to the expected value comparison unit 220 and the selective writing unit 230. When an output pattern sequence that matches the header pattern sequence is detected, the expected value comparison unit 220 expects an output pattern sequence that is output from the device under test 100 following the output pattern sequence that matches the header pattern sequence. Compare with value pattern sequence. Here, the output pattern sequence that follows the output pattern sequence that matches the header pattern sequence is not only the output pattern that is output continuously from the output pattern sequence that matches the header pattern sequence, but also that that matches the header pattern sequence. It includes an output pattern that is output after another pattern is output after the output pattern string is output.

選択書込部230は、ヘッダパターン列と一致する出力パターン列が検出された場合に、期待値比較部220から入力した比較結果をフェイルキャプチャ制御部150に送る。これにより、選択書込部230は、ヘッダパターン列と一致する出力パターン列が検出された場合に、期待値比較部220による比較結果をフェイルキャプチャメモリ152に格納することができる。   The selective writing unit 230 sends the comparison result input from the expected value comparison unit 220 to the fail capture control unit 150 when an output pattern sequence that matches the header pattern sequence is detected. Thereby, the selective writing unit 230 can store the comparison result by the expected value comparison unit 220 in the fail capture memory 152 when an output pattern sequence that matches the header pattern sequence is detected.

一方、選択書込部230は、ヘッダパターン列と一致する出力パターンが検出されていない場合に、アラインメント部210から入力した出力パターンをフェイルキャプチャ制御部150に送る。これにより、選択書込部230は、ヘッダパターン列と一致する出力パターン列が検出されなかった場合に、被試験デバイス100の出力パターン列をフェイルキャプチャメモリ152に格納することができる。   On the other hand, the selective writing unit 230 sends the output pattern input from the alignment unit 210 to the fail capture control unit 150 when an output pattern that matches the header pattern sequence is not detected. Thus, the selective writing unit 230 can store the output pattern sequence of the device under test 100 in the fail capture memory 152 when an output pattern sequence that matches the header pattern sequence is not detected.

図3は、ハント・コンペア部148によりヘッダパターン列が検出される処理のタイミングを示す。ベクタ生成制御部116は、複数の命令の各々を、命令実行段階と、比較段階とを含む複数の段階のパイプラインにより実行する。より具体的には、命令実行段階において、ベクタ生成制御部116は、ヘッダパターン列の検出開始を指示する検出開始命令を含む複数の命令を、命令サイクル毎に順次実行する。例えば、ベクタ生成制御部116は、検出開始命令、命令2、及び、命令3をこの順に順次実行し、最後に検出終了命令を実行する。   FIG. 3 shows the timing of processing in which the hunt / compare unit 148 detects the header pattern sequence. The vector generation control unit 116 executes each of the plurality of instructions through a pipeline of a plurality of stages including an instruction execution stage and a comparison stage. More specifically, in the instruction execution stage, the vector generation control unit 116 sequentially executes a plurality of instructions including a detection start instruction instructing the start of detection of the header pattern sequence for each instruction cycle. For example, the vector generation control unit 116 sequentially executes the detection start instruction, the instruction 2 and the instruction 3 in this order, and finally executes the detection end instruction.

そして、シーケンシャルパターン生成部146は、複数の命令の各々について、当該命令に対応する期待値パターンを期待値パターンメモリ108から順次読み出す。例えば、シーケンシャルパターン生成部146は、検出開始命令に対応する期待値パターン1と、命令2に対応する期待値パターン2と、命令3に対応する期待値パターン3とを順次読み出す。ここで、比較段階は命令実行段階より後に実行されるので、比較段階において期待値パターン列が参照されるタイミングは、命令実行段階において対応する命令が実行されるタイミングより遅れる。   Then, the sequential pattern generation unit 146 sequentially reads the expected value pattern corresponding to the instruction for each of the plurality of instructions from the expected value pattern memory 108. For example, the sequential pattern generation unit 146 sequentially reads the expected value pattern 1 corresponding to the detection start command, the expected value pattern 2 corresponding to the command 2, and the expected value pattern 3 corresponding to the command 3. Here, since the comparison stage is executed after the instruction execution stage, the timing at which the expected value pattern sequence is referred to in the comparison stage is delayed from the timing at which the corresponding instruction is executed in the instruction execution stage.

比較段階において、コンパレータ180は、DUT100の端子から出力された出力パターンを取得し、ハント・コンペア部148へ供給する。例えば、ハント・コンペア部148は、出力パターン1を取得し、途中を一部省略して、ヘッダパターン列、出力パターンN、及び、出力パターンN+1を順次取得する。   In the comparison stage, the comparator 180 acquires the output pattern output from the terminal of the DUT 100 and supplies it to the hunt compare unit 148. For example, the hunt / compare unit 148 acquires the output pattern 1, omits a part of the middle, and sequentially acquires the header pattern string, the output pattern N, and the output pattern N + 1.

検出開始命令が実行されてからヘッダパターン列が検出されるまでの間には、アラインメント部210は、出力パターン列を遅延させる遅延量の設定を受けていないので、取得した出力パターン列を、遅延させることなく選択書込部230に出力する。これを受けて、選択書込部230は、フェイルキャプチャ制御部150に指示して、出力パターン列をフェイルキャプチャメモリ152に書き込む。このように、選択書込部230は、検出開始命令が実行された場合に、被試験デバイス100から出力される出力パターンをフェイルキャプチャメモリ152に順次書き込む出力パターン書込処理を開始する。   Since the alignment unit 210 has not received a delay amount setting for delaying the output pattern sequence from when the detection start instruction is executed until the header pattern sequence is detected, the acquired output pattern sequence is delayed. The data is output to the selective writing unit 230 without being performed. In response to this, the selective writing unit 230 instructs the fail capture control unit 150 to write the output pattern sequence to the fail capture memory 152. Thus, the selective writing unit 230 starts the output pattern writing process for sequentially writing the output patterns output from the device under test 100 to the fail capture memory 152 when the detection start command is executed.

ここで、好ましくは、選択書込部230は、ヘッダパターン列と一致する出力パターン列が検出されない場合に、検出開始命令が実行されてから予め定められた命令サイクル数が経過するまでに被試験デバイス100から出力された出力パターン列のみをフェイルキャプチャメモリ152に格納する。即ち、選択書込部230は、当該命令サイクル数経過後に出力された出力パターン列をフェイルキャプチャメモリ152に格納しない。これにより、ヘッダパターン列が検出されない原因追究に役立つパターンのみを効率的に保存できる。これに代えて、選択書込部230は、ヘッダパターン列と一致する出力パターン列が検出されない場合に、検出開始命令が実行されてから検出終了命令が実行されるまでの期間中に出力される、全ての出力パターン列をフェイルキャプチャメモリ152に格納し続けてもよい。   Here, preferably, the selective writing unit 230, when an output pattern sequence that matches the header pattern sequence is not detected, until the predetermined number of instruction cycles elapses after the detection start command is executed. Only the output pattern sequence output from the device 100 is stored in the fail capture memory 152. That is, the selective writing unit 230 does not store the output pattern string output after the instruction cycle number has elapsed in the fail capture memory 152. As a result, it is possible to efficiently save only the patterns that are useful for investigating the cause where the header pattern sequence is not detected. Instead, the selective writing unit 230 is output during a period from when the detection start instruction is executed until when the detection end instruction is executed when an output pattern string that matches the header pattern string is not detected. All output pattern sequences may continue to be stored in the fail capture memory 152.

一方、ヘッダパターン検出部200は、ヘッダパターン列と一致する出力パターン列を検出した場合に、期待値パターン及び出力パターンの読み出しのタイミングを一致させるべく、所定の遅延量をアラインメント部210に設定する。この結果、アラインメント部210は、ヘッダパターン列に続いて被試験デバイス100から出力される出力パターン列を遅延させて、期待値パターン列の出力のタイミングと一致させる。   On the other hand, when the header pattern detection unit 200 detects an output pattern sequence that matches the header pattern sequence, the header pattern detection unit 200 sets a predetermined delay amount in the alignment unit 210 in order to match the read timing of the expected value pattern and the output pattern. . As a result, the alignment unit 210 delays the output pattern sequence output from the device under test 100 following the header pattern sequence, and matches the output timing of the expected value pattern sequence.

これを受けて、期待値比較部220は、ヘッダパターン列と一致する出力パターン列に続いて被試験デバイスから出力される出力パターン列を、期待値パターン列と比較する。この場合、選択書込部230は、フェイルキャプチャ制御部150に指示して、期待値比較部220による比較結果をフェイルキャプチャメモリ152に格納する。このように、選択書込部230は、ヘッダパターン列と一致する出力パターン列が検出された場合に、出力パターン書込処理を停止して期待値比較部220による比較結果をフェイルキャプチャメモリ152に順次格納する処理を開始する。
なお、フェイルキャプチャメモリ152は、ヘッダパターン列が検出された場合であっても、検出以前に出力された出力パターン列を消去せずに保持し続けてもよいし、検出以前に出力された出力パターン列を比較結果により上書きしてもよい。
In response to this, the expected value comparison unit 220 compares the output pattern sequence output from the device under test with the output pattern sequence that matches the header pattern sequence with the expected value pattern sequence. In this case, the selective writing unit 230 instructs the fail capture control unit 150 to store the comparison result by the expected value comparison unit 220 in the fail capture memory 152. As described above, when an output pattern sequence that matches the header pattern sequence is detected, the selective writing unit 230 stops the output pattern writing process and sends the comparison result by the expected value comparison unit 220 to the fail capture memory 152. The process of sequentially storing is started.
Note that the fail capture memory 152 may continue to hold the output pattern sequence output before the detection without erasing even when the header pattern sequence is detected, or the output output before the detection. The pattern string may be overwritten with the comparison result.

以上、図3によれば、試験装置10は、ヘッダパターン列が検出されるまでの間には、出力パターン列をフェイルキャプチャメモリ152に書き込むと共に、ヘッダパターン列が検出された場合には、出力パターン列及び期待値パターン列の比較結果をフェイルキャプチャメモリ152に書き込む。これにより、ヘッダパターンが検出されない場合に、その原因を解析しやすくすることができる。また、ヘッダパターン列が検出された場合には、フェイルキャプチャメモリ152の記憶容量を有効に活用できる。   As described above, according to FIG. 3, the test apparatus 10 writes the output pattern sequence to the fail capture memory 152 until the header pattern sequence is detected, and outputs the output pattern sequence when the header pattern sequence is detected. The comparison result between the pattern sequence and the expected value pattern sequence is written into the fail capture memory 152. Thereby, when the header pattern is not detected, the cause can be easily analyzed. Further, when a header pattern sequence is detected, the storage capacity of the fail capture memory 152 can be effectively utilized.

以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。   As mentioned above, although this invention was demonstrated using embodiment, the technical scope of this invention is not limited to the range as described in the said embodiment. It will be apparent to those skilled in the art that various modifications or improvements can be added to the above-described embodiment. It is apparent from the scope of the claims that the embodiments added with such changes or improvements can be included in the technical scope of the present invention.

図1は、試験装置10の構成を示す。FIG. 1 shows the configuration of the test apparatus 10. 図2は、ハント・コンペア部148の構成を示す。FIG. 2 shows the configuration of the hunt / compare unit 148. 図3は、ハント・コンペア部148によりヘッダパターン列が検出される処理のタイミングを示す。FIG. 3 shows the timing of processing in which the hunt / compare unit 148 detects the header pattern sequence.

符号の説明Explanation of symbols

10 試験装置
100 被試験デバイス
102 メインメモリ
104 命令メモリ
106 試験パターンメモリ
108 期待値パターンメモリ
110 デジタルキャプチャメモリ
112 セントラルパターン制御部
114 パターンリストメモリ
116 ベクタ生成制御部
120 セントラルキャプチャ制御部
122 パターンリザルトメモリ
130 チャネルブロック
140 チャネルパターン生成部
142 シーケンシャルパターン生成部
144 フォーマット制御部
146 シーケンシャルパターン生成部
148 ハント・コンペア部
150 フェイルキャプチャ制御部
152 フェイルキャプチャメモリ
160 タイミング生成部
170 ドライバ
180 コンパレータ
200 ヘッダパターン検出部
210 アラインメント部
220 期待値比較部
230 選択書込部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Test apparatus 100 Device under test 102 Main memory 104 Instruction memory 106 Test pattern memory 108 Expected value pattern memory 110 Digital capture memory 112 Central pattern control unit 114 Pattern list memory 116 Vector generation control unit 120 Central capture control unit 122 Pattern result memory 130 Channel block 140 Channel pattern generation unit 142 Sequential pattern generation unit 144 Format control unit 146 Sequential pattern generation unit 148 Hunt / compare unit 150 Fail capture control unit 152 Fail capture memory 160 Timing generation unit 170 Driver 180 Comparator 200 Header pattern detection unit 210 Alignment Unit 220 expected value comparison unit 230 selective writing unit

Claims (4)

被試験デバイスの端子から順次出力される出力パターン列と、前記出力パターン列と比較されるべき期待値パターン列との比較結果に基づいて、前記被試験デバイスの良否を判定する試験装置であって、
予め定められたヘッダパターン列と一致する出力パターン列が前記被試験デバイスから出力されるか否かを検出するヘッダパターン検出部と、
前記ヘッダパターン列と一致する出力パターン列が検出された場合に、前記ヘッダパターン列と一致する当該出力パターン列に続いて前記被試験デバイスから出力される出力パターン列を、前記期待値パターン列と比較する期待値比較部と、
前記ヘッダパターン列と一致する出力パターン列が検出された場合に、前記期待値比較部による比較結果をフェイルメモリに格納し、前記ヘッダパターン列と一致する出力パターン列が検出されなかった場合に、前記被試験デバイスの出力パターン列を前記フェイルメモリに格納する選択書込部と
を備える試験装置。
A test apparatus for determining pass / fail of the device under test based on a comparison result between an output pattern sequence sequentially output from a terminal of the device under test and an expected value pattern sequence to be compared with the output pattern sequence. ,
A header pattern detector that detects whether or not an output pattern sequence that matches a predetermined header pattern sequence is output from the device under test;
When an output pattern sequence that matches the header pattern sequence is detected, an output pattern sequence that is output from the device under test following the output pattern sequence that matches the header pattern sequence is the expected value pattern sequence. An expected value comparison unit to be compared;
When an output pattern sequence that matches the header pattern sequence is detected, the comparison result by the expected value comparison unit is stored in a fail memory, and when an output pattern sequence that matches the header pattern sequence is not detected, A test apparatus comprising: a selective writing unit that stores an output pattern sequence of the device under test in the fail memory.
前記ヘッダパターン列の検出開始を指示する検出開始命令を含む複数の命令を、命令サイクル毎に順次実行する命令実行部を更に備え、
前記選択書込部は、前記検出開始命令が実行された場合に、前記被試験デバイスから出力される出力パターンを前記フェイルメモリに順次書き込む出力パターン書込処理を開始し、前記ヘッダパターン列と一致する出力パターン列が検出された場合に、前記出力パターン書込処理を停止して前記期待値比較部による比較結果を前記フェイルメモリに順次格納する処理を開始する
請求項1記載の試験装置。
A plurality of instructions including a detection start instruction for instructing the start of detection of the header pattern sequence, further comprising an instruction execution unit that sequentially executes every instruction cycle;
The selective writing unit starts an output pattern writing process for sequentially writing output patterns output from the device under test to the fail memory when the detection start instruction is executed, and matches the header pattern sequence 2. The test apparatus according to claim 1, wherein when the output pattern sequence to be detected is detected, the output pattern writing process is stopped, and the process of sequentially storing the comparison result by the expected value comparison unit in the fail memory is started.
前記選択書込部は、前記ヘッダパターン列と一致する出力パターン列が検出されない場合に、前記検出開始命令が実行されてから予め定められた命令サイクル数が経過するまでに前記被試験デバイスから出力された出力パターン列を、前記フェイルメモリに格納し、前記予め定められた命令サイクル数経過後に出力された出力パターン列を前記フェイルメモリに格納しない
請求項2記載の試験装置。
The selective writing unit outputs from the device under test when a predetermined number of instruction cycles elapses after the detection start instruction is executed when an output pattern string that matches the header pattern string is not detected. The test apparatus according to claim 2, wherein the output pattern string that has been output is stored in the fail memory, and the output pattern string that is output after the predetermined number of instruction cycles has elapsed is not stored in the fail memory.
被試験デバイスの端子から順次出力される出力パターン列と、前記出力パターン列と比較されるべき期待値パターン列との比較結果に基づいて、前記被試験デバイスの良否を判定する試験方法であって、
予め定められたヘッダパターン列と一致する出力パターン列が前記被試験デバイスから出力されるか否かを検出するヘッダパターン検出段階と、
前記ヘッダパターン列と一致する出力パターン列が検出された場合に、前記ヘッダパターン列と一致する当該出力パターン列に続いて前記被試験デバイスから出力される出力パターン列を、前記期待値パターン列と比較する期待値比較段階と、
前記ヘッダパターン列と一致する出力パターン列が検出された場合に、前記期待値比較段階における比較結果をフェイルメモリに格納し、前記ヘッダパターン列と一致する出力パターン列が検出されなかった場合に、前記被試験デバイスの出力パターン列を前記フェイルメモリに格納する選択書込段階と
を備える試験方法。
A test method for determining pass / fail of the device under test based on a comparison result between an output pattern sequence sequentially output from a terminal of the device under test and an expected value pattern sequence to be compared with the output pattern sequence. ,
A header pattern detection stage for detecting whether or not an output pattern sequence matching a predetermined header pattern sequence is output from the device under test;
When an output pattern sequence that matches the header pattern sequence is detected, an output pattern sequence that is output from the device under test following the output pattern sequence that matches the header pattern sequence is the expected value pattern sequence. An expected value comparison stage to compare;
When an output pattern sequence that matches the header pattern sequence is detected, the comparison result in the expected value comparison stage is stored in a fail memory, and when an output pattern sequence that matches the header pattern sequence is not detected, And a selective writing step of storing an output pattern string of the device under test in the fail memory.
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