JP2006003174A - Method for inspecting optical film - Google Patents

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鈴木  啓介
Takuya Matsumoto
卓也 松本
Toyokazu Ogasawara
豊和 小笠原
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for inspecting an optical film to accurately inspect its defects owing to thickness nonuniformity. <P>SOLUTION: This method is for inspecting an optical film 1 including a liquid crystal film 2 made by hybrid-nematically orienting liquid crystal. The optical film 1 is illuminated with light from a light source 20 through a polarization plate 18a to inspect an element 29. The element 29 is made by layering a liquid crystal film 31 and a polarization plate 18b, with the crystal film 31 made by hybrid-nematically orienting liquid crystal. The element 29 is disposed so that the crystal film 31 is directed to the optical film 1 side and that an orientation axis 43 of the crystal film 31 is non-parallel to an orientation axis 42 of the crystal film 2. In this event, a non-defective portion and a defective portion can be made to differ from each other in phase difference when the light from the light source 20 passes through the polarization plate 18a and the optical film 1, and contrast can be given between the non-defective portion and the defective portion. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、液晶をハイブリッドネマチック配向させた液晶フィルムを含む光学フィルムの検査方法に関する。   The present invention relates to a method for inspecting an optical film including a liquid crystal film in which liquid crystal is hybrid nematically aligned.

TFT(Thin Film Transistor)液晶ディスプレイにおいては、その表示特性改善のために、液晶をハイブリッドネマチック配向させた液晶フィルム、いわゆるNHフィルム、が用いられるようになっている。このようなNHフィルムを含む光学フィルムは、NHフィルムに欠陥が存在すると、TFT液晶ディスプレイの表示特性に悪影響を与える。このため、NHフィルムを含む光学フィルムについて欠陥の検査を行い、欠陥が多い光学フィルムについては事前に排除しておくことが必要である。   In a TFT (Thin Film Transistor) liquid crystal display, a liquid crystal film in which liquid crystal is hybrid nematically oriented, a so-called NH film, is used to improve the display characteristics. An optical film including such an NH film adversely affects the display characteristics of the TFT liquid crystal display when a defect exists in the NH film. For this reason, it is necessary to inspect the optical film including the NH film for defects and to eliminate the optical film having many defects in advance.

しかし、NHフィルムを含む光学フィルムについての欠陥検査方法は、本発明者らの知る限りでは知られていない。   However, a defect inspection method for an optical film including an NH film is not known as far as the present inventors know.

一方、本発明者らは、これまで、上記光学フィルムにおける欠陥の検査を以下のように行ってきた。即ちバックライトから発せられる光を、偏光板を通して光学フィルムに照射し、その光学フィルムをもう一つの偏光板越しに覗くことにより行ってきた。そして、このとき、光学フィルムに対してバックライト側の偏光板の透過軸と、NHフィルムの持つ配向軸(液晶の配向ベクトルの偏光板表面への投影成分)とを平行にしていた。   On the other hand, the present inventors have so far performed inspection of defects in the optical film as follows. That is, the light emitted from the backlight is irradiated on the optical film through the polarizing plate, and the optical film is observed through another polarizing plate. At this time, the transmission axis of the polarizing plate on the backlight side and the alignment axis (projection component of the alignment vector of the liquid crystal on the polarizing plate surface) of the NH film were made parallel to the optical film.

ところが、上記のような光学フィルムの検査方法は、以下に示す課題を有していた。   However, the inspection method for optical films as described above has the following problems.

即ち上記の本発明者らによる光学フィルムの検査方法では、光学フィルムを2枚の偏光板でクロスニコル状態で挟み、光学フィルムの反対側から偏光板を通して光を照射した場合、液晶の軸ずれに起因する欠陥については輝点として視認できるものの、NHフィルム中にごみが混入すること等による厚さムラに起因する欠陥についてはほとんど視認することができない。このため、厚さムラに起因する欠陥を見逃してしまい、欠陥検査を的確に行うことができなくなるおそれがあった。   That is, in the above optical film inspection method by the present inventors, when the optical film is sandwiched between two polarizing plates in a crossed Nicol state and light is irradiated through the polarizing plate from the opposite side of the optical film, the liquid crystal is misaligned. Although the resulting defect can be visually recognized as a bright spot, the defect due to the thickness unevenness due to dust mixed in the NH film is hardly visible. For this reason, there is a possibility that a defect due to thickness unevenness may be overlooked and the defect inspection cannot be performed accurately.

本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、厚さムラに起因する欠陥の検査を的確に行うことができる光学フィルムの検査方法を提供することを目的とする。   This invention is made | formed in view of the said situation, and it aims at providing the inspection method of the optical film which can test | inspect correctly the defect resulting from thickness nonuniformity.

本発明者らは、上記課題を解決するため鋭意研究を重ねた結果、以下の発明により上記課題を解決しうることを見出し、本発明を完成するに至った。   As a result of intensive studies to solve the above problems, the present inventors have found that the above problems can be solved by the following invention, and have completed the present invention.

即ち本発明は、液晶をハイブリッドネマチック配向させた第1液晶フィルムを含む光学フィルムの検査方法であって、前記光学フィルムに対し、光源から第1偏光板を通して光を照射し、前記光学フィルムに対して前記光源と反対側に、液晶をハイブリッドネマチック配向させた第2液晶フィルムと、第2偏光板とを積層した欠陥検査用素子を、前記第2液晶フィルムを前記光学フィルム側に向けるように且つ前記第2液晶フィルムの配向軸が前記第1液晶フィルムの配向軸と非平行となるように配置して前記光学フィルムを検査することを特徴とする光学フィルムの検査方法である。   That is, the present invention is an inspection method of an optical film including a first liquid crystal film in which liquid crystals are hybrid nematically aligned. The optical film is irradiated with light from a light source through a first polarizing plate, and the optical film is irradiated. A defect inspection element in which a second liquid crystal film in which liquid crystal is hybrid nematically aligned and a second polarizing plate is laminated on the side opposite to the light source so that the second liquid crystal film faces the optical film side and The optical film inspection method is characterized by inspecting the optical film by arranging the second liquid crystal film so that an alignment axis of the second liquid crystal film is not parallel to the alignment axis of the first liquid crystal film.

この検査方法によれば、第1液晶フィルムに厚さムラがある場合、光源から発せられる光が第1偏光板及び光学フィルムを透過すると、無欠陥部分と、無欠陥部分とは厚さの異なる欠陥部分とで位相差に差をつけることが可能となり、無欠陥部分と欠陥部分との間にコントラストを生じさせることが可能となる。よって、欠陥部分の視認性を向上させることが可能となる。   According to this inspection method, when the first liquid crystal film has a thickness unevenness, when the light emitted from the light source passes through the first polarizing plate and the optical film, the defect-free portion and the defect-free portion have different thicknesses. It becomes possible to make a difference in the phase difference between the defect portion and the contrast between the defect-free portion and the defect portion. Therefore, it becomes possible to improve the visibility of a defective part.

また本発明は、液晶をハイブリッドネマチック配向させた第1液晶フィルムを含む光学フィルムの検査方法であって、前記光学フィルムに対し、光源から第1偏光板を通して光を照射し、前記光学フィルムに対して前記光源と反対側に、液晶をハイブリッドネマチック配向させた第2液晶フィルムと、前記第1液晶フィルム及び前記第2液晶フィルムを光が透過するときに得られる位相差を低減することが可能な位相差低減素子と、第2偏光板とを順次積層してなる欠陥検査用素子を、前記第2液晶フィルムを前記光学フィルム側に向けるように且つ前記第2液晶フィルムの配向軸が前記第1液晶フィルムの配向軸と平行又は反平行となるように配置して前記光学フィルムを検査することを特徴とする光学フィルムの検査方法である。   The present invention is also a method for inspecting an optical film including a first liquid crystal film in which liquid crystal is hybrid nematically aligned. The optical film is irradiated with light from a light source through a first polarizing plate. The second liquid crystal film in which liquid crystal is hybrid nematically aligned on the side opposite to the light source, and the phase difference obtained when light passes through the first liquid crystal film and the second liquid crystal film can be reduced. A defect inspection element formed by sequentially laminating a retardation reducing element and a second polarizing plate is disposed so that the second liquid crystal film faces the optical film and the alignment axis of the second liquid crystal film is the first. An inspection method for an optical film, wherein the optical film is inspected by being arranged so as to be parallel or antiparallel to an alignment axis of the liquid crystal film.

この検査方法によれば、第1液晶フィルムに厚さムラがある場合、光源から発せられる光が第1偏光板及び光学フィルムを透過すると、無欠陥部分と、無欠陥部分とは厚さの異なる欠陥部分とで位相差に差をつけることが可能となる。また欠陥検査用素子に位相差低減素子が含まれることにより、第1液晶フィルム及び第2液晶フィルムを光が透過するときに得られる位相差を低減することが可能となり、無欠陥部分と欠陥部分との間にコントラストを生じさせることが可能となる。よって、欠陥部分の視認性を向上させることが可能となる。加えて、本発明の検査方法によれば、第1液晶フィルムの配向軸と第2液晶フィルムの配向軸との対称性が高いため、第1液晶フィルム及び第2液晶フィルム間で配向軸が非対称である場合に比べて、表示特性をより向上させることができる。   According to this inspection method, when the first liquid crystal film has a thickness unevenness, when the light emitted from the light source passes through the first polarizing plate and the optical film, the defect-free portion and the defect-free portion have different thicknesses. It is possible to make a difference in the phase difference between the defective part. In addition, since the phase difference reducing element is included in the defect inspection element, it is possible to reduce the phase difference obtained when light passes through the first liquid crystal film and the second liquid crystal film. It is possible to produce contrast between the two. Therefore, it becomes possible to improve the visibility of a defective part. In addition, according to the inspection method of the present invention, since the symmetry between the alignment axis of the first liquid crystal film and the alignment axis of the second liquid crystal film is high, the alignment axes are asymmetric between the first liquid crystal film and the second liquid crystal film. Compared with the case where it is, it can improve a display characteristic more.

また本発明は、液晶をハイブリッドネマチック配向させた第1液晶フィルムを含む光学フィルムの検査方法であって、前記光学フィルムに対し、光源から第1偏光板及び第1位相差低減素子を通して光を照射し、前記光学フィルムに対して前記光源と反対側に、液晶をハイブリッドネマチック配向させた第2液晶フィルムと、前記第1位相差低減素子、前記第1液晶フィルム及び前記第2液晶フィルムを光が透過するときに得られる位相差を前記第1位相差低減素子と共に低減することが可能な第2位相差低減素子と、第2偏光板とを順次積層してなる欠陥検査用素子を、前記第2液晶フィルムを前記光学フィルム側に向けるように且つ前記第2液晶フィルムの配向軸が前記第1液晶フィルムの配向軸と平行又は反平行となるように配置して前記光学フィルムを検査することを特徴とする光学フィルムの検査方法である。   The present invention is also a method for inspecting an optical film including a first liquid crystal film in which liquid crystal is hybrid nematically aligned, and the optical film is irradiated with light from a light source through a first polarizing plate and a first retardation reducing element. Then, light passes through the second liquid crystal film in which the liquid crystal is hybrid nematically oriented on the side opposite to the light source with respect to the optical film, the first retardation reducing element, the first liquid crystal film, and the second liquid crystal film. A defect inspection element formed by sequentially laminating a second phase difference reducing element capable of reducing a phase difference obtained when transmitting together with the first phase difference reducing element, and a second polarizing plate, 2 The liquid crystal film is arranged so that it faces the optical film side, and the alignment axis of the second liquid crystal film is parallel or anti-parallel to the alignment axis of the first liquid crystal film. An inspection method of an optical film characterized in that checking the serial optical film.

この検査方法によれば、第1液晶フィルムに厚さムラがある場合、光源から発せられる光が第1偏光板、第1位相差低減素子及び光学フィルムを透過すると、無欠陥部分と、無欠陥部分とは厚さの異なる欠陥部分とで位相差に差をつけることが可能となる。また欠陥検査用素子に含まれる第2位相差低減素子と第1位相差低減素子により、第1液晶フィルム及び第2液晶フィルムを光が透過するときに得られる位相差を低減することが可能となる。このため、無欠陥部分と欠陥部分との間にコントラストを生じさせることが可能となる。よって、欠陥部分の視認性を向上させることが可能となる。加えて、本発明の検査方法によれば、第1液晶フィルムの配向軸と第2液晶フィルムの配向軸との対称性が高いため、第1液晶フィルム及び第2液晶フィルム間で配向軸が非対称である場合に比べて、表示特性をより向上させることができる。   According to this inspection method, when the first liquid crystal film is uneven in thickness, when light emitted from the light source passes through the first polarizing plate, the first retardation reducing element, and the optical film, the defect-free portion and the defect-free portion are obtained. It is possible to make a difference in phase difference between a portion and a defective portion having a different thickness. Further, the second phase difference reducing element and the first phase difference reducing element included in the defect inspection element can reduce the phase difference obtained when light passes through the first liquid crystal film and the second liquid crystal film. Become. For this reason, it becomes possible to produce contrast between a defect-free part and a defective part. Therefore, it becomes possible to improve the visibility of a defective part. In addition, according to the inspection method of the present invention, since the symmetry between the alignment axis of the first liquid crystal film and the alignment axis of the second liquid crystal film is high, the alignment axes are asymmetric between the first liquid crystal film and the second liquid crystal film. Compared with the case where it is, it can improve a display characteristic more.

本発明の光学フィルムの検査方法によれば、厚さムラに起因する欠陥の検査を的確に行うことができる。   According to the optical film inspection method of the present invention, it is possible to accurately inspect defects caused by thickness unevenness.

以下、添付図面とともに、本発明の光学フィルムの検査方法の実施形態について詳細に説明する。   Hereinafter, embodiments of the optical film inspection method of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

(第1実施形態)
まず本発明に係る光学フィルムの検査方法の第1実施形態について説明する。
(First embodiment)
First, a first embodiment of an optical film inspection method according to the present invention will be described.

はじめに、本発明の光学フィルムの検査方法において検査対象となる光学フィルムについて図1を参照して説明する。   First, an optical film to be inspected in the optical film inspection method of the present invention will be described with reference to FIG.

図1は、本発明の光学フィルムの検査方法に用いられる光学フィルムの一例を示す図である。図1に示すように、光学フィルム1は、第1液晶フィルムとして、液晶の傾きを膜厚方向(矢印A方向)に変化させて液晶をハイブリッドネマチック配向させた液晶フィルム(以下、「NHフィルム」という)2を含む。ここで、ハイブリッドネマチック配向とは、ネマチック液晶の水平配向と垂直配向とが複合した配向を言い、例えばネマチック液晶の配向が、NHフィルム2の一面40a側では水平配向となっており、その一面40aと反対の面40b側では垂直配向となっており、その間では、面40aから面40bに向かう方向に沿って、水平配向から垂直配向に徐々にその配向を変化させるような配向を言う。   FIG. 1 is a diagram showing an example of an optical film used in the optical film inspection method of the present invention. As shown in FIG. 1, the optical film 1 is a first liquid crystal film, a liquid crystal film (hereinafter referred to as “NH film”) in which the liquid crystal is hybrid nematically aligned by changing the tilt of the liquid crystal in the film thickness direction (arrow A direction). 2). Here, the hybrid nematic alignment means an alignment in which the horizontal alignment and the vertical alignment of the nematic liquid crystal are combined. For example, the alignment of the nematic liquid crystal is the horizontal alignment on the one surface 40a side of the NH film 2, and the one surface 40a The surface 40b side opposite to the vertical alignment is vertical alignment, and in the meantime, the alignment gradually changes from horizontal alignment to vertical alignment along the direction from the surface 40a to the surface 40b.

光学フィルム1は、NHフィルム2を含むものであればよく、従って、NHフィルム2のほかに、他のフィルムを含んでいてもよい。他のフィルムには通常、図1に示すように、NHフィルム2を支持する支持基板3などがある。かかる支持基板3はNHフィルム2を支持し得るものであり且つ厚さ方向に直交する面内において等方性を示すものであれば特に限定されないが、かかる支持基板3としては通常、TAC(トリアセチルセルロース)フィルムが用いられる。   The optical film 1 only needs to include the NH film 2, and thus may include other films in addition to the NH film 2. Other films typically include a support substrate 3 that supports the NH film 2 as shown in FIG. The support substrate 3 is not particularly limited as long as it can support the NH film 2 and exhibits isotropic properties in a plane orthogonal to the thickness direction. Acetyl cellulose) film is used.

このような光学フィルム1の欠陥は以下のように検査される。なお、光学フィルム1の欠陥とは、具体的には、光学フィルム1に含まれるNHフィルム2における液晶の欠陥を意味する。   Such defects of the optical film 1 are inspected as follows. In addition, the defect of the optical film 1 specifically means a defect of liquid crystal in the NH film 2 included in the optical film 1.

図2は、本実施形態における光学フィルムの検査光学系の一例を示す側面図である。図3は、光学フィルム1に含まれるNHフィルム2の配向軸、後述する偏光板18aの透過軸、NHフィルム31の配向軸及び偏光板18bの透過軸の配置関係の一例を示す図であり、(a)は偏光板18aの透過軸、(b)はNHフィルム2の配向軸、(c)はNHフィルム31の配向軸、(d)は偏光板18bの透過軸を示すものである。   FIG. 2 is a side view showing an example of an inspection optical system for an optical film in the present embodiment. FIG. 3 is a diagram illustrating an example of an arrangement relationship between the orientation axis of the NH film 2 included in the optical film 1, the transmission axis of the polarizing plate 18a described later, the orientation axis of the NH film 31, and the transmission axis of the polarizing plate 18b. (A) shows the transmission axis of the polarizing plate 18a, (b) shows the orientation axis of the NH film 2, (c) shows the orientation axis of the NH film 31, and (d) shows the transmission axis of the polarizing plate 18b.

光学フィルム1の欠陥検査にあたっては、まず光学フィルム1にバックライト20を対向配置し、バックライト20と光学フィルム1との間に、偏光板(第1偏光板)18aを配置する。図3(a)、(b)に示すように、本実施形態では、偏光板18aの透過軸41は、光学フィルム1に含まれるNHフィルム2の配向軸42に対して45°の角度となるように調整する。ここで、NHフィルム2の配向軸42とは、NHフィルム2の表面付近で水平配向する液晶の配向ベクトルの偏光板18aの表面への投影成分をいうものとする。   In the defect inspection of the optical film 1, first, the backlight 20 is disposed opposite to the optical film 1, and a polarizing plate (first polarizing plate) 18 a is disposed between the backlight 20 and the optical film 1. As shown in FIGS. 3A and 3B, in this embodiment, the transmission axis 41 of the polarizing plate 18 a is at an angle of 45 ° with respect to the orientation axis 42 of the NH film 2 included in the optical film 1. Adjust as follows. Here, the orientation axis 42 of the NH film 2 refers to a projection component on the surface of the polarizing plate 18a of the orientation vector of the liquid crystal horizontally oriented near the surface of the NH film 2.

そして、図2に示すように、バックライト20を点灯し、光学フィルム1に対してバックライト20と反対側で、欠陥検査用素子29を用いて光学フィルム1を覗き込み、光学フィルム1に含まれるNHフィルム2における欠陥を検査する。   Then, as shown in FIG. 2, the backlight 20 is turned on, and the optical film 1 is looked into using the defect inspection element 29 on the side opposite to the backlight 20 with respect to the optical film 1. The NH film 2 is inspected for defects.

ここで、欠陥検査用素子29について詳細に説明する。   Here, the defect inspection element 29 will be described in detail.

図2に示すように、欠陥検査用素子29は、偏光板18bと、NHフィルム(第2液晶フィルム)31とを積層したものである。NHフィルム31は、液晶の傾きを膜厚方向(図1の矢印A方向)に変化させて液晶をハイブリッドネマチック配向させた液晶フィルムである。   As shown in FIG. 2, the defect inspection element 29 is formed by laminating a polarizing plate 18 b and an NH film (second liquid crystal film) 31. The NH film 31 is a liquid crystal film in which the liquid crystal is hybrid nematically aligned by changing the tilt of the liquid crystal in the film thickness direction (the direction of arrow A in FIG. 1).

本実施形態の欠陥検査用素子29では、NHフィルム31として、NHフィルム2と材料及び厚さが同一のものを用い、図3(c)、(d)に示すように、NHフィルム31の配向軸43が、偏光板18bの透過軸44に対して45°となるように偏光板18bに積層されている。   In the defect inspection element 29 of the present embodiment, the NH film 31 is the same as the NH film 2 in material and thickness, and the orientation of the NH film 31 is as shown in FIGS. The axis 43 is laminated on the polarizing plate 18b so as to be 45 ° with respect to the transmission axis 44 of the polarizing plate 18b.

欠陥検査の際は、まず上記のように構成される欠陥検査用素子29を光学フィルム1に対向配置する。このとき、NHフィルム31を光学フィルム1側に向け、偏光板18bを光学フィルム1と反対側に向けると共に、偏光板18bと偏光板18aがクロスニコル配置となるようにする。これにより、NHフィルム31の配向軸43を、図3(b)、(c)に示すように、光学フィルム1に含まれるNHフィルム2の配向軸42と直交させることが可能となる。   In the defect inspection, first, the defect inspection element 29 configured as described above is disposed opposite to the optical film 1. At this time, the NH film 31 is directed to the optical film 1 side, the polarizing plate 18b is directed to the side opposite to the optical film 1, and the polarizing plate 18b and the polarizing plate 18a are arranged in a crossed Nicols arrangement. Thereby, the orientation axis 43 of the NH film 31 can be orthogonal to the orientation axis 42 of the NH film 2 included in the optical film 1 as shown in FIGS.

こうして欠陥検査用素子29を光学フィルム1に対して配置すると、偏光板18aの透過軸41とNHフィルム2の配向軸42とが非平行となる。このため、NHフィルム2に厚さムラがある場合、即ち図4に示すように、厚さd2の無欠陥部分2aと、厚さd1の欠陥部分2bとがある場合、バックライト20から発せられる光が偏光板18a及び光学フィルム1を透過すると、無欠陥部分2aと欠陥部分2bのそれぞれにおいて、偏光板18aの透過軸41の方向とそれに直交する方向との間に生じる位相差に差をつけることが可能となる。なお、図4において、欠陥部分2bに埋設され符号45で示されているのは、NHフィルム2の製造時に混入したごみ等である。   Thus, when the defect inspection element 29 is arranged with respect to the optical film 1, the transmission axis 41 of the polarizing plate 18a and the orientation axis 42 of the NH film 2 become non-parallel. Therefore, when the NH film 2 is uneven in thickness, that is, as shown in FIG. 4, when there is a defect-free portion 2a having a thickness d2 and a defect portion 2b having a thickness d1, the light is emitted from the backlight 20. When light passes through the polarizing plate 18a and the optical film 1, a difference is caused in the phase difference generated between the direction of the transmission axis 41 of the polarizing plate 18a and the direction perpendicular thereto in each of the defect-free portion 2a and the defective portion 2b. It becomes possible. In FIG. 4, what is embedded in the defective portion 2 b and indicated by reference numeral 45 is dust or the like mixed during the manufacture of the NH film 2.

より詳しく説明すると、無欠陥部分2aでは、位相差δ2はδ2=Δn・d2となるのに対し、欠陥部分2bでは、位相差δ1はδ1=Δn・d1となる。ここで、d1>d2であるから、δ2<δ1となる。   More specifically, in the defect-free portion 2a, the phase difference δ2 is δ2 = Δn · d2, whereas in the defective portion 2b, the phase difference δ1 is δ1 = Δn · d1. Here, since d1> d2, δ2 <δ1.

このため、無欠陥部分2aと欠陥部分2bとの間にコントラストを生じさせることが可能となる。ここで、NHフィルム2の配向軸42とNHフィルム31の配向軸43とは、上述したように互いに直交している。このため、NHフィルム2とNHフィルム31の厚さが等しい場合には、NHフィルム2の複屈折とNHフィルム31の複屈折が相殺し合うため、位相差は打ち消される、即ちゼロとなる。そして、偏光板18aと偏光板18bとはクロスニコル配置となっている。従って、無欠陥部分2aが真っ暗となり、欠陥部分2bは輝点として現れることとなる。よって、欠陥部分2aの視認性を向上させることが可能となり、厚さムラに起因する欠陥の検査を的確に行うことができる。   For this reason, it becomes possible to produce contrast between the defect-free portion 2a and the defect portion 2b. Here, the orientation axis 42 of the NH film 2 and the orientation axis 43 of the NH film 31 are orthogonal to each other as described above. For this reason, when the NH film 2 and the NH film 31 have the same thickness, the birefringence of the NH film 2 and the birefringence of the NH film 31 cancel each other, so that the phase difference is canceled, that is, zero. The polarizing plate 18a and the polarizing plate 18b are in a crossed Nicols arrangement. Therefore, the defect-free portion 2a becomes completely dark and the defect portion 2b appears as a bright spot. Therefore, it becomes possible to improve the visibility of the defective portion 2a, and it is possible to accurately inspect the defect caused by the thickness unevenness.

上記のようにして欠陥が発見されたら、マーカーを使用してマーキングを行い、マーキングインクを乾燥装置で乾燥させ、欠陥の検査が終了する。   When a defect is found as described above, marking is performed using a marker, the marking ink is dried with a drying device, and the defect inspection is completed.

(第2実施形態)
次に、本発明に係る光学フィルムの検査方法の第2実施形態について図5〜図8を用いて説明する。なお、図5〜図8において、第1実施形態と同一又は同等の構成要素については同一符号を付し、重複する説明を省略する。
(Second Embodiment)
Next, 2nd Embodiment of the inspection method of the optical film which concerns on this invention is described using FIGS. 5 to 8, the same or equivalent components as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted.

図5は、本発明による光学フィルムの検査方法の第2実施形態における光学フィルムの検査光学系の一例を示す側面図である。図6は、光学フィルム1に含まれるNHフィルム2の配向軸、偏光板18aの透過軸、NHフィルム31の配向軸、1軸フィルム34,35の配向軸及び偏光板18bの透過軸の配置関係を示す図であり、(a)は偏光板18aの透過軸、(b)はNHフィルム2の配向軸、(c)はNHフィルム31の配向軸、(d),(e)は1軸フィルムの配向軸、(f)は偏光板18bの透過軸を示すものである。   FIG. 5 is a side view showing an example of an optical film inspection optical system in the second embodiment of the optical film inspection method according to the present invention. FIG. 6 shows the positional relationship between the orientation axis of the NH film 2 included in the optical film 1, the transmission axis of the polarizing plate 18a, the orientation axis of the NH film 31, the orientation axes of the uniaxial films 34 and 35, and the transmission axis of the polarizing plate 18b. (A) is the transmission axis of the polarizing plate 18a, (b) is the orientation axis of the NH film 2, (c) is the orientation axis of the NH film 31, and (d) and (e) are uniaxial films. (F) indicates the transmission axis of the polarizing plate 18b.

本実施形態の検査方法は、欠陥検査用素子33が以下のように構成されている点で第1実施形態と異なる。   The inspection method of the present embodiment is different from the first embodiment in that the defect inspection element 33 is configured as follows.

即ち図5に示すように、本実施形態の欠陥検査用素子33は、NHフィルム31と偏光板18bとの間に、2枚の1軸フィルム34,35を有する点で第1実施形態の欠陥検査用素子29と異なる。1軸フィルム34、35は、NHフィルム2及びNHフィルム31を光が透過するときに得られる位相差を低減することが可能な位相差低減素子として機能するものである。1軸フィルム34,35は、厚さ方向に直交する面内で複屈折を有する。このような1軸フィルム34,35としては、例えばPCフィルム、TACフィルム、アートン(JSR社製)、ゼオノア(日本ゼオン製)などが用いられる。1軸フィルムは、上記フィルムを、厚さ方向に直交する面内の一方向に延伸することにより得られる。   That is, as shown in FIG. 5, the defect inspection element 33 of the present embodiment has the defect of the first embodiment in that it includes two uniaxial films 34 and 35 between the NH film 31 and the polarizing plate 18b. Different from the testing element 29. The uniaxial films 34 and 35 function as retardation reducing elements that can reduce the retardation obtained when light passes through the NH film 2 and the NH film 31. The uniaxial films 34 and 35 have birefringence in a plane orthogonal to the thickness direction. As such uniaxial films 34 and 35, for example, a PC film, a TAC film, Arton (manufactured by JSR), ZEONOR (manufactured by Nippon Zeon), and the like are used. A uniaxial film is obtained by stretching the film in one direction within a plane orthogonal to the thickness direction.

ここで、2枚の1軸フィルム34,35は、厚さムラに起因する欠陥の視認性を向上させる観点からは、NHフィルム2及びNHフィルム31を光が透過するときに得られる位相差をゼロにし得るものであることが好ましい。位相差をゼロにするためには、図6(e)、(f)に示すように、1軸フィルム35の配向軸は、偏光板18bの透過軸44に対して90°の角度をなすように配置され、図6(d)、(f)に示すように、1軸フィルム34の配向軸は、偏光板18bの透過軸44に対して45°の角度をなすように配置される。   Here, from the viewpoint of improving the visibility of defects caused by thickness unevenness, the two uniaxial films 34 and 35 have a phase difference obtained when light passes through the NH film 2 and the NH film 31. It is preferable that it can be made zero. In order to make the phase difference zero, as shown in FIGS. 6E and 6F, the orientation axis of the uniaxial film 35 makes an angle of 90 ° with respect to the transmission axis 44 of the polarizing plate 18b. 6 (d) and 6 (f), the orientation axis of the uniaxial film 34 is arranged so as to form an angle of 45 ° with respect to the transmission axis 44 of the polarizing plate 18b.

また、本実施形態の欠陥検査用素子33は、欠陥検査用素子33を光学フィルム1に対向配置し、偏光板18bと偏光板18aとがクロスニコル配置となるようにした場合に、図6(b)、(c)に示すように、NHフィルム31の配向軸43がNHフィルム2の配向軸42と反平行となる点で第1実施形態の欠陥検査用素子29と異なる。このためには、例えば図6(c)、(f)に示すように、欠陥検査用素子33において、NHフィルム31の配向軸43が偏光板18bの透過軸44に対して45°となるように配置される。   In addition, the defect inspection element 33 of the present embodiment is arranged in such a manner that the defect inspection element 33 is disposed opposite to the optical film 1 so that the polarizing plate 18b and the polarizing plate 18a are arranged in a crossed Nicol arrangement as shown in FIG. As shown in b) and (c), it differs from the defect inspection element 29 of the first embodiment in that the orientation axis 43 of the NH film 31 is antiparallel to the orientation axis 42 of the NH film 2. For this purpose, for example, as shown in FIGS. 6C and 6F, in the defect inspection element 33, the orientation axis 43 of the NH film 31 is 45 ° with respect to the transmission axis 44 of the polarizing plate 18b. Placed in.

ここで、NHフィルムの配向軸の向きは、液晶分子の水平配向状態を基準として厚さ方向の液晶分子群を見たときに、液晶分子の両端のいずれの側で液晶分子が立ち上がっているか否かで判断する。従って、例えば図7では、NHフィルム31では液晶分子の下側端部が立ち上がっているのでNHフィルム31の配向軸43は下向きとなり、NHフィルム2では、液晶分子の上側端部が立ち上がっているので上向きとなるのである。そして、このように配向軸の向きが互いに逆方向である場合、NHフィルム31の配向軸43とNHフィルム2の配向軸42とは反平行であるという。また、図8では、NHフィルム31では、液晶分子の上側端部が立ち上がっているのでNHフィルム31の配向軸43は上向きとなり、NHフィルム2では、液晶分子の上側端部が立ち上がっているのでNHフィルム2の配向軸42は上向きとなる。そして、このように配向軸の向きが互いに同じ方向である場合、NHフィルム31の配向軸43とNHフィルム2の配向軸42とは平行であるという。   Here, the orientation of the orientation axis of the NH film is determined as to whether the liquid crystal molecules are standing on either side of the liquid crystal molecules when the liquid crystal molecule group in the thickness direction is viewed with respect to the horizontal alignment state of the liquid crystal molecules. Judge. Therefore, for example, in FIG. 7, since the lower end portion of the liquid crystal molecules rises in the NH film 31, the alignment axis 43 of the NH film 31 faces downward, and in the NH film 2, the upper end portion of the liquid crystal molecules rises. It will be upward. When the orientation axes are in opposite directions, the orientation axis 43 of the NH film 31 and the orientation axis 42 of the NH film 2 are said to be antiparallel. In FIG. 8, in the NH film 31, the upper end of the liquid crystal molecules rises, so the orientation axis 43 of the NH film 31 faces upward. In the NH film 2, the upper end of the liquid crystal molecules rises. The orientation axis 42 of the film 2 is upward. When the orientation axes are in the same direction, the orientation axis 43 of the NH film 31 and the orientation axis 42 of the NH film 2 are said to be parallel.

このような欠陥検査用素子33を用いて光学フィルム1における欠陥を検査する場合は、まず欠陥検査用素子33を光学フィルム1に対向配置する。このとき、NHフィルム31を光学フィルム1側に向け、偏光板18bを光学フィルム1と反対側に向けると共に、偏光板18bと偏光板18aをクロスニコル配置とする。これにより、NHフィルム31の配向軸43を、光学フィルム1に含まれるNHフィルム2の配向軸42と反平行にすることが可能となる。   When inspecting a defect in the optical film 1 using such a defect inspection element 33, first, the defect inspection element 33 is disposed opposite to the optical film 1. At this time, the NH film 31 is directed to the optical film 1 side, the polarizing plate 18b is directed to the side opposite to the optical film 1, and the polarizing plate 18b and the polarizing plate 18a are arranged in a crossed Nicol arrangement. Thereby, the orientation axis 43 of the NH film 31 can be made antiparallel to the orientation axis 42 of the NH film 2 included in the optical film 1.

こうして欠陥検査用素子33を光学フィルム1に対して配置すると、偏光板18aの透過軸41とNHフィルム2の配向軸42とが非平行であるため、第1実施形態の検査方法と同様に、無欠陥部分と欠陥部分との間でコントラストを生じさせることが可能となる。ここで、NHフィルム2の配向軸42とNHフィルム31の配向軸43とは反平行となっている。このため、NHフィルム2とNHフィルム31の厚さが等しくても、位相差は打ち消されない、即ちゼロにはならない。しかし、1軸フィルム34,35により、NHフィルム2とNHフィルム31だけでは打ち消されなかった位相差が打ち消されることとなる。そして、偏光板18aと偏光板18bとはクロスニコル配置となっている。従って、無欠陥部分が真っ暗となり、欠陥部分は輝点として現れることとなる。よって、欠陥部分の視認性を向上させることが可能となり、厚さムラに起因する欠陥の検査を的確に行うことができる。加えて、本実施形態の検査方法では、NHフィルム2の配向軸42とNHフィルム31の配向軸43とは反平行となっており、NHフィルム2の配向軸42とNHフィルム31の配向軸43との対称性が高くなっている。このため、本実施形態の検査方法によれば、NHフィルム2及びNHフィルム31間で配向軸が非対称である場合に比べて、表示特性をより向上させることもできる。   When the defect inspection element 33 is thus arranged with respect to the optical film 1, since the transmission axis 41 of the polarizing plate 18a and the orientation axis 42 of the NH film 2 are non-parallel, as in the inspection method of the first embodiment, A contrast can be generated between the defect-free portion and the defect portion. Here, the orientation axis 42 of the NH film 2 and the orientation axis 43 of the NH film 31 are antiparallel. For this reason, even if the thicknesses of the NH film 2 and the NH film 31 are equal, the phase difference is not canceled, i.e., does not become zero. However, the uniaxial films 34 and 35 cancel out the phase difference that was not canceled out by the NH film 2 and the NH film 31 alone. The polarizing plate 18a and the polarizing plate 18b are in a crossed Nicols arrangement. Therefore, the defect-free portion becomes dark and the defect portion appears as a bright spot. Therefore, it becomes possible to improve the visibility of a defective part, and the inspection of the defect resulting from thickness nonuniformity can be performed exactly. In addition, in the inspection method of this embodiment, the orientation axis 42 of the NH film 2 and the orientation axis 43 of the NH film 31 are antiparallel, and the orientation axis 42 of the NH film 2 and the orientation axis 43 of the NH film 31 are. And the symmetry is high. For this reason, according to the inspection method of the present embodiment, the display characteristics can be further improved as compared with the case where the alignment axis is asymmetric between the NH film 2 and the NH film 31.

(第3実施形態)
次に、本発明に係る光学フィルムの検査方法の第3実施形態について図9を用いて説明する。なお、図9において、第1及び第2実施形態と同一又は同等の構成要素については同一符号を付し、重複する説明を省略する。
(Third embodiment)
Next, a third embodiment of the optical film inspection method according to the present invention will be described with reference to FIG. In FIG. 9, the same or equivalent components as those in the first and second embodiments are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted.

図9は、NHフィルムの配向軸、偏光板の透過軸、1軸フィルム及び2軸フィルムの配向軸同士の欠陥検査時における配置関係を示す図である。なお、図9において、偏光板又はフィルムは、左側(偏光板18a側)から右側(偏光板18b側)に向かうにつれて順次光源から遠い位置に配置される。   FIG. 9 is a diagram showing an arrangement relationship at the time of defect inspection between the orientation axes of the NH film, the transmission axis of the polarizing plate, and the orientation axes of the uniaxial film and the biaxial film. In FIG. 9, the polarizing plate or the film is sequentially arranged at a position farther from the light source as it goes from the left side (the polarizing plate 18 a side) to the right side (the polarizing plate 18 b side).

本実施形態の検査方法は、欠陥検査用素子60が以下のように構成されている点で第1実施形態と異なる。   The inspection method of this embodiment is different from that of the first embodiment in that the defect inspection element 60 is configured as follows.

即ち図9に示すように、本実施形態の欠陥検査用素子60は、NHフィルム31と偏光板18bとの間に、1枚ずつの2軸フィルム56及び1軸フィルム35を有する点で第1実施形態の欠陥検査用素子29と異なる。1軸フィルム35及び2軸フィルム56は、1軸フィルム52及び2軸フィルム53とともに、NHフィルム2及びNHフィルム31を光が透過するときに得られる位相差を低減することが可能な位相差低減素子として機能するものである。1軸フィルム35、2軸フィルム56は、厚さ方向に直交する面内で複屈折を有する。   That is, as shown in FIG. 9, the defect inspection element 60 of the present embodiment is the first in that it includes one biaxial film 56 and one uniaxial film 35 between the NH film 31 and the polarizing plate 18 b. Different from the defect inspection element 29 of the embodiment. The uniaxial film 35 and the biaxial film 56, together with the uniaxial film 52 and the biaxial film 53, can reduce the phase difference obtained when light passes through the NH film 2 and the NH film 31. It functions as an element. The uniaxial film 35 and the biaxial film 56 have birefringence in a plane orthogonal to the thickness direction.

また、本実施形態の欠陥検査用素子60は、欠陥検査用素子60を光学フィルム1光学フィルム1に対向配置し、偏光板18aと偏光板18bとがクロスニコル配置となるようにした場合に、図9に示すように、NHフィルム2の配向軸がNHフィルム31の配向軸と反平行となる点で第1実施形態の欠陥検査用素子29と異なる。   In addition, the defect inspection element 60 of the present embodiment is configured so that the defect inspection element 60 is disposed opposite to the optical film 1 and the optical film 1 so that the polarizing plate 18a and the polarizing plate 18b are arranged in a crossed Nicol arrangement. As shown in FIG. 9, it differs from the defect inspection element 29 of the first embodiment in that the orientation axis of the NH film 2 is antiparallel to the orientation axis of the NH film 31.

上記欠陥検査用素子60を用いた光学フィルム1の検査に際しては、偏光板18aとNHフィルム2との間に、偏光板18a側から1軸フィルム52及び2軸フィルム53を順次配置する。ここで、1軸フィルム52、2軸フィルム53は、厚さ方向に直交する面内で複屈折を有する。そして、上記欠陥検査用素子60を用いて、第2実施形態と同様にして光学フィルム1の検査を行う。   In the inspection of the optical film 1 using the defect inspection element 60, the uniaxial film 52 and the biaxial film 53 are sequentially disposed between the polarizing plate 18a and the NH film 2 from the polarizing plate 18a side. Here, the uniaxial film 52 and the biaxial film 53 have birefringence in a plane orthogonal to the thickness direction. And the optical film 1 is test | inspected like the 2nd Embodiment using the said element 60 for defect inspection.

ここで、2枚の1軸フィルム52、35及び2枚の2軸フィルム53、56は厚さムラに起因する欠陥の視認性を向上させる観点からは、NHフィルム2及びNHフィルム31を光が透過するときに得られる位相差をゼロにし得るものであることが好ましい。位相差をゼロにするためには、図9に示すように、1軸フィルム52の配向軸は、偏光板18aの透過軸に対して20度の角度をなすように、1軸フィルム35の配向軸は、偏光板18bの透過軸に対して70度の角度をなすように配置される。2軸フィルム53の配向軸は、偏光板18aの透過軸に対して20度の角度をなすように、2軸フィルム56の配向軸は、偏光板18bの透過軸に対して70度の角度をなすように配置される。なお、本明細書において、2軸フィルムの配向軸とは、厚さ方向に直交する面内において互いに直交する二方向のうち屈折率のより大きい方向に沿った軸を言う。   Here, the two uniaxial films 52 and 35 and the two biaxial films 53 and 56 are light-emitted on the NH film 2 and the NH film 31 from the viewpoint of improving the visibility of defects caused by thickness unevenness. It is preferable that the phase difference obtained when transmitting can be made zero. In order to make the phase difference zero, as shown in FIG. 9, the orientation of the uniaxial film 35 is such that the orientation axis of the uniaxial film 52 forms an angle of 20 degrees with respect to the transmission axis of the polarizing plate 18a. The axis is arranged so as to form an angle of 70 degrees with respect to the transmission axis of the polarizing plate 18b. The orientation axis of the biaxial film 53 makes an angle of 20 degrees with respect to the transmission axis of the polarizing plate 18a, and the orientation axis of the biaxial film 56 makes an angle of 70 degrees with respect to the transmission axis of the polarizing plate 18b. It is arranged to make. In the present specification, the orientation axis of the biaxial film refers to an axis along a direction in which the refractive index is larger among two directions orthogonal to each other in a plane orthogonal to the thickness direction.

上記のような1軸フィルム、2軸フィルム等の位相差低減素子としては、例えばPCフィルム、TACフィルム、アートン(JSR社製)、ゼオノア(日本ゼオン製)などが用いられる。1軸フィルムは、上記フィルムを、厚さ方向に直交する面内の一方向に延伸することにより得られ、2軸フィルムは、上記フィルムを、厚さ方向に直交する面内において、直交する二方向に延伸することにより得られる。   Examples of the retardation reducing element such as the uniaxial film and the biaxial film as described above include PC film, TAC film, Arton (manufactured by JSR), ZEONOR (manufactured by ZEON Corporation), and the like. The uniaxial film is obtained by stretching the film in one direction in a plane orthogonal to the thickness direction, and the biaxial film is a biaxial film in which the film is orthogonal in the plane orthogonal to the thickness direction. It is obtained by stretching in the direction.

(第4実施形態)
次に、本発明に係る光学フィルムの検査方法の第4実施形態について図10を用いて説明する。なお、図10において、第1及び第2実施形態と同一又は同等の構成要素については同一符号を付し、重複する説明を省略する。
(Fourth embodiment)
Next, 4th Embodiment of the inspection method of the optical film which concerns on this invention is described using FIG. In FIG. 10, the same or equivalent components as those in the first and second embodiments are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted.

図10は、NHフィルムの配向軸、偏光板の透過軸、1軸フィルム及び2軸フィルムの配向軸同士の欠陥検査時における配置関係を示す図である。なお、図10において、偏光板又はフィルムは、左側から右側に向かうにつれて順次光源から遠い位置に配置される。   FIG. 10 is a diagram showing an arrangement relationship during defect inspection between the orientation axes of the NH film, the transmission axis of the polarizing plate, and the orientation axes of the uniaxial film and the biaxial film. In addition, in FIG. 10, a polarizing plate or a film is arrange | positioned in the position far from a light source one by one as it goes to the right side from the left side.

本実施形態の検査方法は、欠陥検査用素子61が以下のように構成されている点で第1実施形態と異なる。   The inspection method of the present embodiment is different from the first embodiment in that the defect inspection element 61 is configured as follows.

即ち図10に示すように、本実施形態の欠陥検査用素子61は、NHフィルム31と偏光板18bとの間に、1枚の2軸フィルム56を有する点で第1実施形態の欠陥検査用素子29と異なる。2軸フィルム56は、1軸フィルム52、2軸フィルム53とともに、NHフィルム2及びNHフィルム31を光が透過するときに得られる位相差を低減することが可能な位相差低減素子として機能するものである。2軸フィルム56は、厚さ方向に直交する面内で複屈折を有する。   That is, as shown in FIG. 10, the defect inspection element 61 according to the present embodiment has a single biaxial film 56 between the NH film 31 and the polarizing plate 18b. Different from the element 29. The biaxial film 56 functions as a retardation reducing element capable of reducing the retardation obtained when light passes through the NH film 2 and the NH film 31 together with the uniaxial film 52 and the biaxial film 53. It is. The biaxial film 56 has birefringence in a plane orthogonal to the thickness direction.

また、本実施形態の欠陥検査用素子61は、欠陥検査用素子61を光学フィルム光学フィルム1光学フィルム1に対向配置し、偏光板18aと偏光板18bとが100度の角度をなすように配置させた場合に、図10に示すように、NHフィルム2の配向軸がNHフィルム31の配向軸と反平行となる点で第1実施形態の欠陥検査用素子29と異なる。   Further, the defect inspection element 61 of the present embodiment is arranged so that the defect inspection element 61 is opposed to the optical film 1 and the optical film 1 so that the polarizing plate 18a and the polarizing plate 18b form an angle of 100 degrees. In this case, as shown in FIG. 10, it differs from the defect inspection element 29 of the first embodiment in that the orientation axis of the NH film 2 is antiparallel to the orientation axis of the NH film 31.

上記欠陥検査用素子61を用いた光学フィルム1の検査に際しては、偏光板18aとNHフィルム2との間に、偏光板18a側から1軸フィルム52及び2軸フィルム53を順次配置する。ここで、1軸フィルム52、2軸フィルム53は、厚さ方向に直交する面内で複屈折を有する。そして、上記欠陥検査用素子61を用いて、第2実施形態と同様にして光学フィルム1の検査を行う。   In the inspection of the optical film 1 using the defect inspection element 61, the uniaxial film 52 and the biaxial film 53 are sequentially disposed between the polarizing plate 18a and the NH film 2 from the polarizing plate 18a side. Here, the uniaxial film 52 and the biaxial film 53 have birefringence in a plane orthogonal to the thickness direction. Then, the optical film 1 is inspected using the defect inspection element 61 in the same manner as in the second embodiment.

ここで、2枚の1軸フィルム52及び2枚の2軸フィルム53、56は厚さムラに起因する欠陥の視認性を向上させる観点からは、NHフィルム2及びNHフィルム31を光が透過するときに得られる位相差をゼロにし得るものであることが好ましい。位相差をゼロにするためには、図10に示すように、1軸フィルム52の配向軸は、偏光板18aの透過軸に対して101度の角度をなすように配置される。2軸フィルム53の配向軸は、偏光板18aの透過軸に対して110度の角度をなすように、2軸フィルム56の配向軸は、偏光板18bの透過軸に対して10度の角度をなすように配置される。   Here, the two uniaxial films 52 and the two biaxial films 53 and 56 transmit light through the NH film 2 and the NH film 31 from the viewpoint of improving the visibility of defects caused by thickness unevenness. It is preferable that the phase difference sometimes obtained can be made zero. In order to make the phase difference zero, as shown in FIG. 10, the orientation axis of the uniaxial film 52 is arranged to form an angle of 101 degrees with respect to the transmission axis of the polarizing plate 18a. The orientation axis of the biaxial film 53 makes an angle of 110 degrees with respect to the transmission axis of the polarizing plate 18a, and the orientation axis of the biaxial film 56 makes an angle of 10 degrees with respect to the transmission axis of the polarizing plate 18b. It is arranged to make.

上記のような1軸フィルム、2軸フィルム等の位相差低減素子としては、上記第3実施形態におけるものと同様のものが用いられる。   As the retardation reducing elements such as the uniaxial film and the biaxial film as described above, the same elements as those in the third embodiment are used.

(第5実施形態)
次に、本発明に係る光学フィルムの検査方法の第5実施形態について図11を用いて説明する。なお、図11において、第1及び第2実施形態と同一又は同等の構成要素については同一符号を付し、重複する説明を省略する。
(Fifth embodiment)
Next, 5th Embodiment of the inspection method of the optical film which concerns on this invention is described using FIG. In FIG. 11, the same or equivalent components as those in the first and second embodiments are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted.

図11は、NHフィルムの配向軸、偏光板の透過軸、1軸フィルム及び2軸フィルムの配向軸同士の欠陥検査時における配置関係を示す図である。なお、図11において、偏光板又はフィルムは、左側から右側に向かうにつれて順次光源から遠い位置に配置される。   FIG. 11 is a diagram showing an arrangement relationship at the time of defect inspection between the orientation axes of the NH film, the transmission axis of the polarizing plate, and the orientation axes of the uniaxial film and the biaxial film. In addition, in FIG. 11, a polarizing plate or a film is arrange | positioned in the position far from a light source one by one as it goes to the right side from the left side.

本実施形態の検査方法は、欠陥検査用素子62が以下のように構成されている点で第1実施形態と異なる。   The inspection method of this embodiment is different from that of the first embodiment in that the defect inspection element 62 is configured as follows.

即ち図11に示すように、本実施形態の欠陥検査用素子62は、NHフィルム31と偏光板18bとの間に、2軸フィルム56及び1軸フィルム35を有する点で第1実施形態の欠陥検査用素子29と異なる。1軸フィルム35、2軸フィルム56は、1軸フィルム52、2軸フィルム53とともに、NHフィルム2及びNHフィルム31を光が透過するときに得られる位相差を低減することが可能な位相差低減素子として機能するものである。1軸フィルム35、2軸フィルム56は、厚さ方向に直交する面内で複屈折を有する。   That is, as shown in FIG. 11, the defect inspection element 62 of the present embodiment has the biaxial film 56 and the uniaxial film 35 between the NH film 31 and the polarizing plate 18b. Different from the testing element 29. The uniaxial film 35 and the biaxial film 56, together with the uniaxial film 52 and the biaxial film 53, can reduce the phase difference obtained when light passes through the NH film 2 and the NH film 31. It functions as an element. The uniaxial film 35 and the biaxial film 56 have birefringence in a plane orthogonal to the thickness direction.

また、本実施形態の欠陥検査用素子62は、欠陥検査用素子62を光学フィルム光学フィルム1光学フィルム1に対向配置し、偏光板18aと偏光板18bとがクロスニコル配置となるようにした場合に、図11に示すように、NHフィルム2の配向軸がNHフィルム31の配向軸と反平行となる点で第1実施形態の欠陥検査用素子29と異なる。   In the defect inspection element 62 of the present embodiment, the defect inspection element 62 is disposed opposite to the optical film 1 of the optical film 1 so that the polarizing plate 18a and the polarizing plate 18b are arranged in a crossed Nicol arrangement. In addition, as shown in FIG. 11, it differs from the defect inspection element 29 of the first embodiment in that the orientation axis of the NH film 2 is antiparallel to the orientation axis of the NH film 31.

ここで、2枚の1軸フィルム52、35及び2枚の2軸フィルム53、56は厚さムラに起因する欠陥の視認性を向上させる観点からは、NHフィルム2及びNHフィルム31を光が透過するときに得られる位相差をゼロにし得るものであることが好ましい。位相差をゼロにするためには、図11に示すように、1軸フィルム52の配向軸は、偏光板18aの透過軸に対して5度の角度をなすように、1軸フィルム35の配向軸は、偏光板18bの透過軸に対して95度の角度をなすように配置される。2軸フィルム53の配向軸は、偏光板18aの透過軸に対して5度の角度をなすように、2軸フィルム56の配向軸は、偏光板18bの透過軸に対して95度の角度をなすように配置される。   Here, the two uniaxial films 52 and 35 and the two biaxial films 53 and 56 are light-emitted on the NH film 2 and the NH film 31 from the viewpoint of improving the visibility of defects caused by thickness unevenness. It is preferable that the phase difference obtained when transmitting can be made zero. In order to make the phase difference zero, as shown in FIG. 11, the orientation of the uniaxial film 35 is such that the orientation axis of the uniaxial film 52 forms an angle of 5 degrees with respect to the transmission axis of the polarizing plate 18a. The axis is arranged so as to form an angle of 95 degrees with respect to the transmission axis of the polarizing plate 18b. The orientation axis of the biaxial film 53 makes an angle of 5 degrees with respect to the transmission axis of the polarizing plate 18a, and the orientation axis of the biaxial film 56 makes an angle of 95 degrees with respect to the transmission axis of the polarizing plate 18b. It is arranged to make.

上記欠陥検査用素子62を用いた光学フィルム1の検査に際しては、偏光板18aとNHフィルム2との間に、偏光板18a側から1軸フィルム52及び2軸フィルム53を順次配置する。ここで、1軸フィルム52、2軸フィルム53は、厚さ方向に直交する面内で複屈折を有する。そして、上記欠陥検査用素子62を用いて、第2実施形態と同様にして光学フィルム1の検査を行う。   In the inspection of the optical film 1 using the defect inspection element 62, the uniaxial film 52 and the biaxial film 53 are sequentially disposed between the polarizing plate 18a and the NH film 2 from the polarizing plate 18a side. Here, the uniaxial film 52 and the biaxial film 53 have birefringence in a plane orthogonal to the thickness direction. Then, the optical film 1 is inspected using the defect inspection element 62 in the same manner as in the second embodiment.

上記のような1軸フィルム、2軸フィルム等の位相差低減素子としては、上記第3実施形態におけるものと同様のものが用いられる。   As the retardation reducing elements such as the uniaxial film and the biaxial film as described above, the same elements as those in the third embodiment are used.

(第6実施形態)
次に、本発明に係る光学フィルムの検査方法の第6実施形態について図12を用いて説明する。なお、図12において、第1及び第2実施形態と同一又は同等の構成要素については同一符号を付し、重複する説明を省略する。
(Sixth embodiment)
Next, a sixth embodiment of the optical film inspection method according to the present invention will be described with reference to FIG. In FIG. 12, the same or equivalent components as those in the first and second embodiments are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted.

図12は、NHフィルムの配向軸、偏光板の透過軸、1軸フィルム及び2軸フィルムの配向軸同士の欠陥検査時における配置関係を示す図である。なお、図12において、偏光板又はフィルムは、左側から右側に向かうにつれて順次光源から遠い位置に配置される。   FIG. 12 is a diagram showing an arrangement relationship at the time of defect inspection between the orientation axes of the NH film, the transmission axis of the polarizing plate, and the orientation axes of the uniaxial film and the biaxial film. In FIG. 12, the polarizing plate or film is sequentially arranged at a position farther from the light source as it goes from the left side to the right side.

本実施形態の検査方法は、欠陥検査用素子63が以下のように構成されている点で第1実施形態と異なる。   The inspection method of this embodiment is different from that of the first embodiment in that the defect inspection element 63 is configured as follows.

即ち図12に示すように、本実施形態の欠陥検査用素子63は、NHフィルム31と偏光板18bとの間に、2軸フィルム56及び1軸フィルム35を有する点で第1実施形態の欠陥検査用素子29と異なる。1軸フィルム35、2軸フィルム56は、1軸フィルム52、2軸フィルム53とともに、NHフィルム2及びNHフィルム31を光が透過するときに得られる位相差を低減することが可能な位相差低減素子として機能するものである。1軸フィルム35、2軸フィルム56は、厚さ方向に直交する面内で複屈折を有する。   That is, as shown in FIG. 12, the defect inspection element 63 according to the present embodiment has the biaxial film 56 and the uniaxial film 35 between the NH film 31 and the polarizing plate 18b. Different from the testing element 29. The uniaxial film 35 and the biaxial film 56, together with the uniaxial film 52 and the biaxial film 53, can reduce the phase difference obtained when light passes through the NH film 2 and the NH film 31. It functions as an element. The uniaxial film 35 and the biaxial film 56 have birefringence in a plane orthogonal to the thickness direction.

また、本実施形態の欠陥検査用素子63は、欠陥検査用素子63を光学フィルム光学フィルム1光学フィルム1に対向配置し、偏光板18aと偏光板18bとが95度の角度をなすように配置した場合に、図12に示すように、NHフィルム2の配向軸がNHフィルム31の配向軸と反平行となる点で第1実施形態の欠陥検査用素子29と異なる。   Further, the defect inspection element 63 of the present embodiment is arranged so that the defect inspection element 63 is opposed to the optical film 1 and the optical film 1 so that the polarizing plate 18a and the polarizing plate 18b form an angle of 95 degrees. In this case, as shown in FIG. 12, the NH film 2 is different from the defect inspection element 29 in that the orientation axis of the NH film 2 is antiparallel to the orientation axis of the NH film 31.

ここで、2枚の1軸フィルム52、35及び2枚の2軸フィルム53、56は厚さムラに起因する欠陥の視認性を向上させる観点からは、NHフィルム2及びNHフィルム31を光が透過するときに得られる位相差をゼロにし得るものであることが好ましい。位相差をゼロにするためには、図12に示すように、1軸フィルム52の配向軸は、偏光板18aの透過軸に対して10度の角度をなすように、1軸フィルム35の配向軸は、偏光板18bの透過軸に対して110度の角度をなすように配置される。2軸フィルム53の配向軸は、偏光板18aの透過軸に対して10度の角度をなすように、2軸フィルム56の配向軸は、偏光板18bの透過軸に対して110度の角度をなすように配置される。   Here, the two uniaxial films 52 and 35 and the two biaxial films 53 and 56 are light-emitted on the NH film 2 and the NH film 31 from the viewpoint of improving the visibility of defects caused by thickness unevenness. It is preferable that the phase difference obtained when transmitting can be made zero. In order to make the phase difference zero, as shown in FIG. 12, the orientation of the uniaxial film 35 is such that the orientation axis of the uniaxial film 52 forms an angle of 10 degrees with respect to the transmission axis of the polarizing plate 18a. The axis is arranged to form an angle of 110 degrees with respect to the transmission axis of the polarizing plate 18b. The orientation axis of the biaxial film 53 forms an angle of 10 degrees with respect to the transmission axis of the polarizing plate 18a, and the orientation axis of the biaxial film 56 forms an angle of 110 degrees with respect to the transmission axis of the polarizing plate 18b. It is arranged to make.

上記欠陥検査用素子63を用いた光学フィルム1の検査に際しては、偏光板18aとNHフィルム2との間に、偏光板18a側から1軸フィルム52及び2軸フィルム53を順次配置する。ここで、1軸フィルム52、2軸フィルム53は、厚さ方向に直交する面内で複屈折を有する。そして、上記欠陥検査用素子63を用いて、第2実施形態と同様にして光学フィルム1の検査を行う。   In the inspection of the optical film 1 using the defect inspection element 63, the uniaxial film 52 and the biaxial film 53 are sequentially disposed between the polarizing plate 18a and the NH film 2 from the polarizing plate 18a side. Here, the uniaxial film 52 and the biaxial film 53 have birefringence in a plane orthogonal to the thickness direction. Then, the optical film 1 is inspected using the defect inspection element 63 in the same manner as in the second embodiment.

上記のような1軸フィルム、2軸フィルム等の位相差低減素子としては、上記第3実施形態におけるものと同様のものが用いられる。   As the retardation reducing elements such as the uniaxial film and the biaxial film as described above, the same elements as those in the third embodiment are used.

(第7実施形態)
次に、本発明に係る光学フィルムの検査方法の第7実施形態について図13を用いて説明する。なお、図13において、第1及び第2実施形態と同一又は同等の構成要素については同一符号を付し、重複する説明を省略する。
(Seventh embodiment)
Next, a seventh embodiment of the optical film inspection method according to the present invention will be described with reference to FIG. In FIG. 13, the same or equivalent components as those in the first and second embodiments are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted.

図13は、NHフィルムの配向軸、偏光板の透過軸、1軸フィルム及び2軸フィルムの配向軸同士の欠陥検査時における配置関係を示す図である。なお、図13において、偏光板又はフィルムは、左側から右側に向かうにつれて順次光源から遠い位置に配置される。   FIG. 13 is a diagram showing an arrangement relationship at the time of defect inspection between the orientation axes of the NH film, the transmission axis of the polarizing plate, and the orientation axes of the uniaxial film and the biaxial film. In FIG. 13, the polarizing plate or film is sequentially arranged at a position farther from the light source as it goes from the left side to the right side.

本実施形態の検査方法は、欠陥検査用素子64が以下のように構成されている点で第1実施形態と異なる。   The inspection method of the present embodiment is different from the first embodiment in that the defect inspection element 64 is configured as follows.

即ち図13に示すように、本実施形態の欠陥検査用素子64は、NHフィルム31と偏光板18bとの間に、2軸フィルム56及び1軸フィルム35を有する点で第1実施形態の欠陥検査用素子29と異なる。1軸フィルム35、2軸フィルム56は、1軸フィルム52、2軸フィルム53とともに、NHフィルム2及びNHフィルム31を光が透過するときに得られる位相差を低減することが可能な位相差低減素子として機能するものである。1軸フィルム35、2軸フィルム56は、厚さ方向に直交する面内で複屈折を有する。   That is, as shown in FIG. 13, the defect inspection element 64 according to the present embodiment has the biaxial film 56 and the uniaxial film 35 between the NH film 31 and the polarizing plate 18b. Different from the testing element 29. The uniaxial film 35 and the biaxial film 56, together with the uniaxial film 52 and the biaxial film 53, can reduce the phase difference obtained when light passes through the NH film 2 and the NH film 31. It functions as an element. The uniaxial film 35 and the biaxial film 56 have birefringence in a plane orthogonal to the thickness direction.

また、本実施形態の欠陥検査用素子64は、欠陥検査用素子64を光学フィルム光学フィルム1光学フィルム1に対向配置し、偏光板18aと偏光板18bとが95度の角度をなすように配置した場合に、図13に示すように、NHフィルム2の配向軸がNHフィルム31の配向軸と反平行となる点で第1実施形態の欠陥検査用素子29と異なる。   Further, the defect inspection element 64 of the present embodiment is arranged so that the defect inspection element 64 faces the optical film 1 of the optical film 1 and the polarizing plate 18a and the polarizing plate 18b form an angle of 95 degrees. In this case, as shown in FIG. 13, the NH film 2 is different from the defect inspection element 29 in that the orientation axis of the NH film 2 is antiparallel to the orientation axis of the NH film 31.

ここで、2枚の1軸フィルム52、35及び2枚の2軸フィルム53、56は厚さムラに起因する欠陥の視認性を向上させる観点からは、NHフィルム2及びNHフィルム31を光が透過するときに得られる位相差をゼロにし得るものであることが好ましい。位相差をゼロにするためには、図13に示すように、1軸フィルム52の配向軸は、偏光板18aの透過軸に対して10度の角度をなすように、1軸フィルム35の配向軸は、偏光板18bの透過軸に対して110度の角度をなすように配置される。2軸フィルム53の配向軸は、偏光板18aの透過軸に対して10度の角度をなすように、2軸フィルム56の配向軸は、偏光板18bの透過軸に対して110度の角度をなすように配置される。   Here, the two uniaxial films 52 and 35 and the two biaxial films 53 and 56 are light-emitted on the NH film 2 and the NH film 31 from the viewpoint of improving the visibility of defects caused by thickness unevenness. It is preferable that the phase difference obtained when transmitting can be made zero. In order to make the phase difference zero, as shown in FIG. 13, the orientation of the uniaxial film 35 is such that the orientation axis of the uniaxial film 52 forms an angle of 10 degrees with respect to the transmission axis of the polarizing plate 18a. The axis is arranged to form an angle of 110 degrees with respect to the transmission axis of the polarizing plate 18b. The orientation axis of the biaxial film 53 forms an angle of 10 degrees with respect to the transmission axis of the polarizing plate 18a, and the orientation axis of the biaxial film 56 forms an angle of 110 degrees with respect to the transmission axis of the polarizing plate 18b. It is arranged to make.

上記欠陥検査用素子64を用いた光学フィルム1の検査に際しては、偏光板18aとNHフィルム2との間に、偏光板18a側から1軸フィルム52及び2軸フィルム53を順次配置する。ここで、1軸フィルム52、2軸フィルム53は、厚さ方向に直交する面内で複屈折を有する。そして、上記欠陥検査用素子64を用いて、第2実施形態と同様にして光学フィルム1の検査を行う。   In the inspection of the optical film 1 using the defect inspection element 64, the uniaxial film 52 and the biaxial film 53 are sequentially disposed between the polarizing plate 18a and the NH film 2 from the polarizing plate 18a side. Here, the uniaxial film 52 and the biaxial film 53 have birefringence in a plane orthogonal to the thickness direction. Then, the optical film 1 is inspected using the defect inspection element 64 in the same manner as in the second embodiment.

上記のような1軸フィルム、2軸フィルム等の位相差低減素子としては、上記第3実施形態におけるものと同様のものが用いられる。   As the retardation reducing elements such as the uniaxial film and the biaxial film as described above, the same elements as those in the third embodiment are used.

(第8実施形態)
次に、本発明に係る光学フィルムの検査方法の第8実施形態について図14を用いて説明する。なお、図14において、第1及び第2実施形態と同一又は同等の構成要素については同一符号を付し、重複する説明を省略する。
(Eighth embodiment)
Next, 8th Embodiment of the inspection method of the optical film which concerns on this invention is described using FIG. In FIG. 14, the same or equivalent components as those in the first and second embodiments are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted.

図14は、NHフィルムの配向軸、偏光板の透過軸、1軸フィルム及び2軸フィルムの配向軸同士の欠陥検査時における配置関係を示す図である。なお、図14において、偏光板又はフィルムは、左側から右側に向かうにつれて順次光源から遠い位置に配置される。   FIG. 14 is a diagram showing an arrangement relationship during defect inspection between the orientation axes of the NH film, the transmission axis of the polarizing plate, and the orientation axes of the uniaxial film and the biaxial film. In FIG. 14, the polarizing plate or film is sequentially arranged at a position farther from the light source as it goes from the left side to the right side.

本実施形態の検査方法は、欠陥検査用素子65が以下のように構成されている点で第1実施形態と異なる。   The inspection method of the present embodiment is different from the first embodiment in that the defect inspection element 65 is configured as follows.

即ち図14に示すように、本実施形態の欠陥検査用素子65は、NHフィルム31と偏光板18bとの間に、2軸フィルム56及び1軸フィルム35を有する点で第1実施形態の欠陥検査用素子29と異なる。1軸フィルム35、2軸フィルム56は、1軸フィルム52、2軸フィルム53とともに、NHフィルム2及びNHフィルム31を光が透過するときに得られる位相差を低減することが可能な位相差低減素子として機能するものである。1軸フィルム35、2軸フィルム56は、厚さ方向に直交する面内で複屈折を有する。   That is, as shown in FIG. 14, the defect inspection element 65 of the present embodiment has the biaxial film 56 and the uniaxial film 35 between the NH film 31 and the polarizing plate 18b. Different from the testing element 29. The uniaxial film 35 and the biaxial film 56, together with the uniaxial film 52 and the biaxial film 53, can reduce the phase difference obtained when light passes through the NH film 2 and the NH film 31. It functions as an element. The uniaxial film 35 and the biaxial film 56 have birefringence in a plane orthogonal to the thickness direction.

また、本実施形態の欠陥検査用素子65は、欠陥検査用素子65を光学フィルム光学フィルム1光学フィルム1に対向配置し、偏光板18aと偏光板18bとがクロスニコル配置となるようにした場合に、図14に示すように、NHフィルム2の配向軸がNHフィルム31の配向軸と反平行となる点で第1実施形態の欠陥検査用素子29と異なる。   Further, the defect inspection element 65 of the present embodiment is a case where the defect inspection element 65 is disposed opposite to the optical film 1 and the optical film 1 so that the polarizing plate 18a and the polarizing plate 18b are arranged in a crossed Nicol arrangement. In addition, as shown in FIG. 14, it differs from the defect inspection element 29 of the first embodiment in that the orientation axis of the NH film 2 is antiparallel to the orientation axis of the NH film 31.

ここで、2枚の1軸フィルム52、35及び2枚の2軸フィルム53、56は厚さムラに起因する欠陥の視認性を向上させる観点からは、NHフィルム2及びNHフィルム31を光が透過するときに得られる位相差をゼロにし得るものであることが好ましい。位相差をゼロにするためには、図14に示すように、1軸フィルム52の配向軸は、偏光板18aの透過軸に対して125度の角度をなすように、1軸フィルム35の配向軸は、偏光板18bの透過軸に対して70度の角度をなすように配置される。2軸フィルム53の配向軸は、偏光板18aの透過軸に対して125度の角度をなすように、2軸フィルム56の配向軸は、偏光板18bの透過軸に対して65度の角度をなすように配置される。   Here, the two uniaxial films 52 and 35 and the two biaxial films 53 and 56 are light-emitted on the NH film 2 and the NH film 31 from the viewpoint of improving the visibility of defects caused by thickness unevenness. It is preferable that the phase difference obtained when transmitting can be made zero. In order to make the phase difference zero, as shown in FIG. 14, the orientation of the uniaxial film 35 is such that the orientation axis of the uniaxial film 52 forms an angle of 125 degrees with respect to the transmission axis of the polarizing plate 18a. The axis is arranged so as to form an angle of 70 degrees with respect to the transmission axis of the polarizing plate 18b. The orientation axis of the biaxial film 53 makes an angle of 125 degrees with respect to the transmission axis of the polarizing plate 18a, and the orientation axis of the biaxial film 56 makes an angle of 65 degrees with respect to the transmission axis of the polarizing plate 18b. It is arranged to make.

上記欠陥検査用素子65を用いた光学フィルム1の検査に際しては、偏光板18aとNHフィルム2との間に、偏光板18a側から1軸フィルム52及び2軸フィルム53を順次配置する。ここで、1軸フィルム52、2軸フィルム53は、厚さ方向に直交する面内で複屈折を有する。そして、上記欠陥検査用素子65を用いて、第2実施形態と同様にして光学フィルム1の検査を行う。   In the inspection of the optical film 1 using the defect inspection element 65, the uniaxial film 52 and the biaxial film 53 are sequentially disposed between the polarizing plate 18a and the NH film 2 from the polarizing plate 18a side. Here, the uniaxial film 52 and the biaxial film 53 have birefringence in a plane orthogonal to the thickness direction. Then, the optical film 1 is inspected using the defect inspection element 65 in the same manner as in the second embodiment.

上記のような1軸フィルム、2軸フィルム等の位相差低減素子としては、上記第3実施形態におけるものと同様のものが用いられる。   As the retardation reducing elements such as the uniaxial film and the biaxial film as described above, the same elements as those in the third embodiment are used.

(第9実施形態)
次に、本発明に係る光学フィルムの検査方法の第9実施形態について図15を用いて説明する。なお、図15において、第1及び第2実施形態と同一又は同等の構成要素については同一符号を付し、重複する説明を省略する。
(Ninth embodiment)
Next, 9th Embodiment of the inspection method of the optical film which concerns on this invention is described using FIG. In FIG. 15, the same or equivalent components as those in the first and second embodiments are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted.

図15は、NHフィルムの配向軸、偏光板の透過軸、1軸フィルム及び2軸フィルムの配向軸同士の欠陥検査時における配置関係を示す図である。なお、図15において、偏光板又はフィルムは、左側から右側に向かうにつれて順次光源から遠い位置に配置される。   FIG. 15 is a diagram showing an arrangement relationship at the time of defect inspection between the orientation axes of the NH film, the transmission axis of the polarizing plate, and the orientation axes of the uniaxial film and the biaxial film. In FIG. 15, the polarizing plate or film is sequentially arranged at a position farther from the light source as it goes from the left side to the right side.

本実施形態の検査方法は、欠陥検査用素子66が以下のように構成されている点で第1実施形態と異なる。   The inspection method of the present embodiment is different from the first embodiment in that the defect inspection element 66 is configured as follows.

即ち図15に示すように、本実施形態の欠陥検査用素子66は、NHフィルム31と偏光板18bとの間に、2軸フィルム56及び1軸フィルム35を有する点で第1実施形態の欠陥検査用素子29と異なる。1軸フィルム35、2軸フィルム56は、1軸フィルム52、2軸フィルム53とともに、NHフィルム2及びNHフィルム31を光が透過するときに得られる位相差を低減することが可能な位相差低減素子として機能するものである。1軸フィルム35、2軸フィルム56は、厚さ方向に直交する面内で複屈折を有する。   That is, as shown in FIG. 15, the defect inspection element 66 according to the present embodiment has the biaxial film 56 and the uniaxial film 35 between the NH film 31 and the polarizing plate 18b. Different from the testing element 29. The uniaxial film 35 and the biaxial film 56, together with the uniaxial film 52 and the biaxial film 53, can reduce the phase difference obtained when light passes through the NH film 2 and the NH film 31. It functions as an element. The uniaxial film 35 and the biaxial film 56 have birefringence in a plane orthogonal to the thickness direction.

また、本実施形態の欠陥検査用素子66は、欠陥検査用素子66を光学フィルム光学フィルム1に対向配置し、偏光板18aと偏光板18bとが75度の角度をなすように配置した場合に、図15に示すように、NHフィルム2の配向軸がNHフィルム31の配向軸と反平行となる点で第1実施形態の欠陥検査用素子29と異なる。   In addition, the defect inspection element 66 of the present embodiment is arranged when the defect inspection element 66 is disposed so as to face the optical film optical film 1 and the polarizing plate 18a and the polarizing plate 18b form an angle of 75 degrees. As shown in FIG. 15, the NH film 2 is different from the defect inspection element 29 in that the orientation axis of the NH film 2 is antiparallel to the orientation axis of the NH film 31.

ここで、2枚の1軸フィルム52、35及び2枚の2軸フィルム53、56は厚さムラに起因する欠陥の視認性を向上させる観点からは、NHフィルム2及びNHフィルム31を光が透過するときに得られる位相差をゼロにし得るものであることが好ましい。位相差をゼロにするためには、図15に示すように、1軸フィルム52の配向軸は、偏光板18aの透過軸に対して25度の角度をなすように、1軸フィルム35の配向軸は、偏光板18bの透過軸に対して5度の角度をなすように配置される。2軸フィルム53の配向軸は、偏光板18aの透過軸に対して25度の角度をなすように、2軸フィルム56の配向軸は、偏光板18bの透過軸に対して5度の角度をなすように配置される。   Here, the two uniaxial films 52 and 35 and the two biaxial films 53 and 56 are light-emitted on the NH film 2 and the NH film 31 from the viewpoint of improving the visibility of defects caused by thickness unevenness. It is preferable that the phase difference obtained when transmitting can be made zero. In order to make the phase difference zero, as shown in FIG. 15, the orientation of the uniaxial film 35 is such that the orientation axis of the uniaxial film 52 forms an angle of 25 degrees with respect to the transmission axis of the polarizing plate 18a. The axis is arranged so as to form an angle of 5 degrees with respect to the transmission axis of the polarizing plate 18b. The orientation axis of the biaxial film 53 makes an angle of 25 degrees with respect to the transmission axis of the polarizing plate 18a, and the orientation axis of the biaxial film 56 makes an angle of 5 degrees with respect to the transmission axis of the polarizing plate 18b. It is arranged to make.

上記欠陥検査用素子66を用いた光学フィルム1の検査に際しては、偏光板18aとNHフィルム2との間に、偏光板18a側から1軸フィルム52及び2軸フィルム53を順次配置する。ここで、1軸フィルム52、2軸フィルム53は、厚さ方向に直交する面内で複屈折を有する。そして、上記欠陥検査用素子66を用いて、第2実施形態と同様にして光学フィルム1の検査を行う。   In the inspection of the optical film 1 using the defect inspection element 66, the uniaxial film 52 and the biaxial film 53 are sequentially disposed between the polarizing plate 18a and the NH film 2 from the polarizing plate 18a side. Here, the uniaxial film 52 and the biaxial film 53 have birefringence in a plane orthogonal to the thickness direction. Then, the optical film 1 is inspected using the defect inspection element 66 in the same manner as in the second embodiment.

上記のような1軸フィルム、2軸フィルム等の位相差低減素子としては、上記第3実施形態におけるものと同様のものが用いられる。   As the retardation reducing elements such as the uniaxial film and the biaxial film as described above, the same elements as those in the third embodiment are used.

(第10実施形態)
次に、本発明に係る光学フィルムの検査方法の第10実施形態について図16を用いて説明する。なお、図16において、第1及び第2実施形態と同一又は同等の構成要素については同一符号を付し、重複する説明を省略する。
(10th Embodiment)
Next, 10th Embodiment of the inspection method of the optical film which concerns on this invention is described using FIG. In FIG. 16, the same or equivalent components as those in the first and second embodiments are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted.

図16は、NHフィルムの配向軸、偏光板の透過軸、1軸フィルム及び2軸フィルムの配向軸同士の欠陥検査時における配置関係を示す図である。なお、図16において、偏光板又はフィルムは、左側から右側に向かうにつれて順次光源から遠い位置に配置される。   FIG. 16 is a diagram showing an arrangement relationship at the time of defect inspection between the orientation axes of the NH film, the transmission axis of the polarizing plate, and the orientation axes of the uniaxial film and the biaxial film. In FIG. 16, the polarizing plate or film is sequentially arranged at a position farther from the light source as it goes from the left side to the right side.

本実施形態の検査方法は、欠陥検査用素子67が以下のように構成されている点で第1実施形態と異なる。   The inspection method of the present embodiment is different from the first embodiment in that the defect inspection element 67 is configured as follows.

即ち図16に示すように、本実施形態の欠陥検査用素子67は、NHフィルム31と偏光板18bとの間に、2軸フィルム56及び1軸フィルム35を有する点で第1実施形態の欠陥検査用素子29と異なる。1軸フィルム35、2軸フィルム56は、1軸フィルム52、2軸フィルム53とともに、NHフィルム2及びNHフィルム31を光が透過するときに得られる位相差を低減することが可能な位相差低減素子として機能するものである。1軸フィルム35、2軸フィルム56は、厚さ方向に直交する面内で複屈折を有する。   That is, as shown in FIG. 16, the defect inspection element 67 of the present embodiment has the biaxial film 56 and the uniaxial film 35 between the NH film 31 and the polarizing plate 18b. Different from the testing element 29. The uniaxial film 35 and the biaxial film 56, together with the uniaxial film 52 and the biaxial film 53, can reduce the phase difference obtained when light passes through the NH film 2 and the NH film 31. It functions as an element. The uniaxial film 35 and the biaxial film 56 have birefringence in a plane orthogonal to the thickness direction.

また、本実施形態の欠陥検査用素子67は、欠陥検査用素子67を光学フィルム光学フィルム1に対向配置し、偏光板18aと偏光板18bとが70度の角度をなすように配置した場合に、図16に示すように、NHフィルム2の配向軸がNHフィルム31の配向軸と反平行となる点で第1実施形態の欠陥検査用素子29と異なる。   Further, the defect inspection element 67 of the present embodiment is arranged when the defect inspection element 67 is disposed so as to face the optical film 1 and the polarizing plate 18a and the polarizing plate 18b are arranged at an angle of 70 degrees. FIG. 16 is different from the defect inspection element 29 of the first embodiment in that the orientation axis of the NH film 2 is antiparallel to the orientation axis of the NH film 31.

ここで、2枚の1軸フィルム52、35及び2枚の2軸フィルム53、56は厚さムラに起因する欠陥の視認性を向上させる観点からは、NHフィルム2及びNHフィルム31を光が透過するときに得られる位相差をゼロにし得るものであることが好ましい。位相差をゼロにするためには、図16に示すように、1軸フィルム52の配向軸は、偏光板18aの透過軸に対して85度の角度をなすように、1軸フィルム35の配向軸は、偏光板18bの透過軸に対して95度の角度をなすように配置される。2軸フィルム53の配向軸は、偏光板18aの透過軸に対して85度の角度をなすように、2軸フィルム56の配向軸は、偏光板18bの透過軸に対して95度の角度をなすように配置される。   Here, the two uniaxial films 52 and 35 and the two biaxial films 53 and 56 are light-emitted on the NH film 2 and the NH film 31 from the viewpoint of improving the visibility of defects caused by thickness unevenness. It is preferable that the phase difference obtained when transmitting can be made zero. In order to make the phase difference zero, as shown in FIG. 16, the orientation of the uniaxial film 35 is such that the orientation axis of the uniaxial film 52 forms an angle of 85 degrees with respect to the transmission axis of the polarizing plate 18a. The axis is arranged so as to form an angle of 95 degrees with respect to the transmission axis of the polarizing plate 18b. The orientation axis of the biaxial film 53 makes an angle of 85 degrees with respect to the transmission axis of the polarizing plate 18a, and the orientation axis of the biaxial film 56 makes an angle of 95 degrees with respect to the transmission axis of the polarizing plate 18b. It is arranged to make.

上記欠陥検査用素子67を用いた光学フィルム1の検査に際しては、偏光板18aとNHフィルム2との間に、偏光板18a側から1軸フィルム52及び2軸フィルム53を順次配置する。ここで、1軸フィルム52、2軸フィルム53は、厚さ方向に直交する面内で複屈折を有する。そして、上記欠陥検査用素子67を用いて、第2実施形態と同様にして光学フィルム1の検査を行う。   In the inspection of the optical film 1 using the defect inspection element 67, the uniaxial film 52 and the biaxial film 53 are sequentially disposed between the polarizing plate 18a and the NH film 2 from the polarizing plate 18a side. Here, the uniaxial film 52 and the biaxial film 53 have birefringence in a plane orthogonal to the thickness direction. Then, the optical film 1 is inspected using the defect inspection element 67 in the same manner as in the second embodiment.

上記のような1軸フィルム、2軸フィルム等の位相差低減素子としては、上記第3実施形態におけるものと同様のものが用いられる。   As the retardation reducing elements such as the uniaxial film and the biaxial film as described above, the same elements as those in the third embodiment are used.

(第11実施形態)
次に、本発明に係る光学フィルムの検査方法の第11実施形態について図17を用いて説明する。なお、図17において、第1及び第2実施形態と同一又は同等の構成要素については同一符号を付し、重複する説明を省略する。
(Eleventh embodiment)
Next, an eleventh embodiment of the optical film inspection method according to the present invention will be described with reference to FIG. In FIG. 17, the same or equivalent components as those in the first and second embodiments are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted.

図17は、NHフィルムの配向軸、偏光板の透過軸、1軸フィルム及び2軸フィルムの配向軸同士の欠陥検査時における配置関係を示す図である。なお、図17において、偏光板又はフィルムは、左側から右側に向かうにつれて順次光源から遠い位置に配置される。   FIG. 17 is a diagram showing an arrangement relationship at the time of defect inspection between the orientation axes of the NH film, the transmission axis of the polarizing plate, and the orientation axes of the uniaxial film and the biaxial film. In FIG. 17, the polarizing plate or film is sequentially arranged at a position farther from the light source as it goes from the left side to the right side.

本実施形態の検査方法は、欠陥検査用素子68が以下のように構成されている点で第1実施形態と異なる。   The inspection method of this embodiment is different from that of the first embodiment in that the defect inspection element 68 is configured as follows.

即ち図17に示すように、本実施形態の欠陥検査用素子68は、NHフィルム31と偏光板18bとの間に、2軸フィルム56及び1軸フィルム35を有する点で第1実施形態の欠陥検査用素子29と異なる。1軸フィルム35、2軸フィルム56は、1軸フィルム52、2軸フィルム53とともに、NHフィルム2及びNHフィルム31を光が透過するときに得られる位相差を低減することが可能な位相差低減素子として機能するものである。1軸フィルム35、2軸フィルム56は、厚さ方向に直交する面内で複屈折を有する。   That is, as shown in FIG. 17, the defect inspection element 68 according to the present embodiment has the biaxial film 56 and the uniaxial film 35 between the NH film 31 and the polarizing plate 18b. Different from the testing element 29. The uniaxial film 35 and the biaxial film 56, together with the uniaxial film 52 and the biaxial film 53, can reduce the phase difference obtained when light passes through the NH film 2 and the NH film 31. It functions as an element. The uniaxial film 35 and the biaxial film 56 have birefringence in a plane orthogonal to the thickness direction.

また、本実施形態の欠陥検査用素子68は、欠陥検査用素子68を光学フィルム光学フィルム1に対向配置し、偏光板18aと偏光板18bとが65度の角度をなすように配置した場合に、図17に示すように、NHフィルム2の配向軸がNHフィルム31の配向軸と反平行となる点で第1実施形態の欠陥検査用素子29と異なる。   In addition, the defect inspection element 68 of the present embodiment is arranged when the defect inspection element 68 is disposed so as to face the optical film 1 and the polarizing plate 18a and the polarizing plate 18b are arranged at an angle of 65 degrees. 17, the NH film 2 is different from the defect inspection element 29 in the first embodiment in that the orientation axis of the NH film 2 is antiparallel to the orientation axis of the NH film 31.

ここで、2枚の1軸フィルム52、35及び2枚の2軸フィルム53、56は厚さムラに起因する欠陥の視認性を向上させる観点からは、NHフィルム2及びNHフィルム31を光が透過するときに得られる位相差をゼロにし得るものであることが好ましい。位相差をゼロにするためには、図17に示すように、1軸フィルム52の配向軸は、偏光板18aの透過軸に対して5度の角度をなすように、1軸フィルム35の配向軸は、偏光板18bの透過軸に対して35度の角度をなすように配置される。2軸フィルム53の配向軸は、偏光板18aの透過軸に対して5度の角度をなすように、2軸フィルム56の配向軸は、偏光板18bの透過軸に対して35度の角度をなすように配置される。   Here, the two uniaxial films 52 and 35 and the two biaxial films 53 and 56 are light-emitted on the NH film 2 and the NH film 31 from the viewpoint of improving the visibility of defects caused by thickness unevenness. It is preferable that the phase difference obtained when transmitting can be made zero. In order to make the phase difference zero, as shown in FIG. 17, the orientation of the uniaxial film 35 is such that the orientation axis of the uniaxial film 52 forms an angle of 5 degrees with respect to the transmission axis of the polarizing plate 18a. The axis is arranged to form an angle of 35 degrees with respect to the transmission axis of the polarizing plate 18b. The orientation axis of the biaxial film 53 makes an angle of 5 degrees with respect to the transmission axis of the polarizing plate 18a, and the orientation axis of the biaxial film 56 makes an angle of 35 degrees with respect to the transmission axis of the polarizing plate 18b. It is arranged to make.

上記欠陥検査用素子68を用いた光学フィルム1の検査に際しては、偏光板18aとNHフィルム2との間に、偏光板18a側から1軸フィルム52及び2軸フィルム53を順次配置する。ここで、1軸フィルム52、2軸フィルム53は、厚さ方向に直交する面内で複屈折を有する。そして、上記欠陥検査用素子68を用いて、第2実施形態と同様にして光学フィルム1の検査を行う。   In the inspection of the optical film 1 using the defect inspection element 68, the uniaxial film 52 and the biaxial film 53 are sequentially disposed between the polarizing plate 18a and the NH film 2 from the polarizing plate 18a side. Here, the uniaxial film 52 and the biaxial film 53 have birefringence in a plane orthogonal to the thickness direction. Then, the optical film 1 is inspected using the defect inspection element 68 in the same manner as in the second embodiment.

上記のような1軸フィルム、2軸フィルム等の位相差低減素子としては、上記第3実施形態におけるものと同様のものが用いられる。   As the retardation reducing elements such as the uniaxial film and the biaxial film as described above, the same elements as those in the third embodiment are used.

(第12実施形態)
次に、本発明に係る光学フィルムの検査方法の第12実施形態について図18を用いて説明する。なお、図18において、第1及び第2実施形態と同一又は同等の構成要素については同一符号を付し、重複する説明を省略する。
(Twelfth embodiment)
Next, a twelfth embodiment of the optical film inspection method according to the present invention will be described with reference to FIG. In FIG. 18, the same or equivalent components as those in the first and second embodiments are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted.

図18は、NHフィルムの配向軸、偏光板の透過軸、1軸フィルム及び2軸フィルムの配向軸同士の欠陥検査時における配置関係を示す図である。なお、図18において、偏光板又はフィルムは、左側から右側に向かうにつれて順次光源から遠い位置に配置される。   FIG. 18 is a diagram showing an arrangement relationship at the time of defect inspection between the orientation axes of the NH film, the transmission axis of the polarizing plate, and the orientation axes of the uniaxial film and the biaxial film. In FIG. 18, the polarizing plate or the film is sequentially arranged at a position farther from the light source as it goes from the left side to the right side.

本実施形態の検査方法は、欠陥検査用素子69が以下のように構成されている点で第1実施形態と異なる。   The inspection method of the present embodiment is different from the first embodiment in that the defect inspection element 69 is configured as follows.

即ち図18に示すように、本実施形態の欠陥検査用素子69は、NHフィルム3と偏光板18bとの間に、1枚の1軸フィルム34及び2枚の2軸フィルム55、56を有する点で第1実施形態の欠陥検査用素子29と異なる。1軸フィルム34、2軸フィルム55、56はNHフィルム2及びNHフィルム31を光が透過するときに得られる位相差を低減することが可能な位相差低減素子として機能するものである。1軸フィルム34、2軸フィルム55、56は、厚さ方向に直交する面内で複屈折を有する。   That is, as shown in FIG. 18, the defect inspection element 69 of the present embodiment includes one uniaxial film 34 and two biaxial films 55 and 56 between the NH film 3 and the polarizing plate 18b. This is different from the defect inspection element 29 of the first embodiment. The uniaxial film 34 and the biaxial films 55 and 56 function as retardation reducing elements capable of reducing the retardation obtained when light passes through the NH film 2 and the NH film 31. The uniaxial film 34 and the biaxial films 55 and 56 have birefringence in a plane orthogonal to the thickness direction.

また、本実施形態の欠陥検査用素子69は、欠陥検査用素子69を光学フィルム光学フィルム1に対向配置し、偏光板18aと偏光板18bとがクロスニコル配置となるようにした場合に、図18に示すように、NHフィルム2の配向軸がNHフィルム31の配向軸と反平行となる点で第1実施形態の欠陥検査用素子29と異なる。   In addition, the defect inspection element 69 of the present embodiment is shown when the defect inspection element 69 is disposed opposite to the optical film optical film 1 so that the polarizing plate 18a and the polarizing plate 18b are arranged in a crossed Nicol arrangement. As shown in FIG. 18, it differs from the defect inspection element 29 of the first embodiment in that the orientation axis of the NH film 2 is antiparallel to the orientation axis of the NH film 31.

ここで、1枚の1軸フィルム34及び2枚の2軸フィルム55、56は厚さムラに起因する欠陥の視認性を向上させる観点からは、NHフィルム2及びNHフィルム31を光が透過するときに得られる位相差をゼロにし得るものであることが好ましい。位相差をゼロにするためには、図18に示すように、1軸フィルム34の配向軸は、偏光板18bの透過軸に対して40度の角度をなすように、2軸フィルム55の配向軸は、偏光板18bの透過軸に対して40度の角度をなすように、2軸フィルム56の配向軸は、偏光板18bの透過軸に対して10度の角度をなすように配置される。   Here, from the viewpoint of improving the visibility of defects caused by thickness unevenness, the single uniaxial film 34 and the two biaxial films 55 and 56 transmit light through the NH film 2 and the NH film 31. It is preferable that the phase difference sometimes obtained can be made zero. In order to make the phase difference zero, as shown in FIG. 18, the orientation of the biaxial film 55 is such that the orientation axis of the uniaxial film 34 forms an angle of 40 degrees with respect to the transmission axis of the polarizing plate 18b. The axis is arranged at an angle of 40 degrees with respect to the transmission axis of the polarizing plate 18b, and the orientation axis of the biaxial film 56 is arranged at an angle of 10 degrees with respect to the transmission axis of the polarizing plate 18b. .

上記のような1軸フィルム、2軸フィルム等の位相差低減素子としては、上記第3実施形態におけるものと同様のものが用いられる。   As the retardation reducing elements such as the uniaxial film and the biaxial film as described above, the same elements as those in the third embodiment are used.

(第13実施形態)
次に、本発明に係る光学フィルムの検査方法の第13実施形態について図19を用いて説明する。なお、図19において、第1及び第2実施形態と同一又は同等の構成要素については同一符号を付し、重複する説明を省略する。
(13th Embodiment)
Next, a thirteenth embodiment of the optical film inspection method according to the present invention will be described with reference to FIG. In FIG. 19, the same or equivalent components as those in the first and second embodiments are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted.

図19は、NHフィルムの配向軸、偏光板の透過軸、1軸フィルム及び2軸フィルムの配向軸同士の欠陥検査時における配置関係を示す図である。なお、図19において、偏光板又はフィルムは、左側から右側に向かうにつれて順次光源から遠い位置に配置される。   FIG. 19 is a diagram showing an arrangement relationship at the time of defect inspection between the orientation axes of the NH film, the transmission axis of the polarizing plate, and the orientation axes of the uniaxial film and the biaxial film. In FIG. 19, the polarizing plate or the film is sequentially arranged at a position farther from the light source as it goes from the left side to the right side.

本実施形態の検査方法は、欠陥検査用素子70が以下のように構成されている点で第1実施形態と異なる。   The inspection method of the present embodiment is different from the first embodiment in that the defect inspection element 70 is configured as follows.

即ち図19に示すように、本実施形態の欠陥検査用素子70は、NHフィルム31と偏光板18bとの間に2枚の2軸フィルム54、55を有する点で第1実施形態の欠陥検査用素子29と異なる。2軸フィルム54、55はNHフィルム2及びNHフィルム31を光が透過するときに得られる位相差を低減することが可能な位相差低減素子として機能するものである。2軸フィルム54、55は、厚さ方向に直交する面内で複屈折を有する。   That is, as shown in FIG. 19, the defect inspection element 70 according to the present embodiment has the two biaxial films 54 and 55 between the NH film 31 and the polarizing plate 18b. Different from the element 29 for use. The biaxial films 54 and 55 function as retardation reducing elements capable of reducing the retardation obtained when light passes through the NH film 2 and the NH film 31. The biaxial films 54 and 55 have birefringence in a plane orthogonal to the thickness direction.

また、本実施形態の欠陥検査用素子70は、欠陥検査用素子70を光学フィルム光学フィルム1に対向配置し、偏光板18aと偏光板18bとがクロスニコル配置となるようにした場合に、図19に示すように、NHフィルム2の配向軸がNHフィルム31の配向軸と反平行となる点で第1実施形態の欠陥検査用素子29と異なる。   In addition, the defect inspection element 70 of the present embodiment is arranged when the defect inspection element 70 is disposed so as to face the optical film 1 and the polarizing plate 18a and the polarizing plate 18b are arranged in a crossed Nicol arrangement. As shown in FIG. 19, the NH film 2 is different from the defect inspection element 29 of the first embodiment in that the orientation axis of the NH film 2 is antiparallel to the orientation axis of the NH film 31.

ここで、2枚の2軸フィルム54、55は厚さムラに起因する欠陥の視認性を向上させる観点からは、NHフィルム2及びNHフィルム31を光が透過するときに得られる位相差をゼロにし得るものであることが好ましい。位相差をゼロにするためには、図19に示すように、2軸フィルム54の配向軸は、偏光板18bの透過軸に対して125度の角度をなすように、2軸フィルム55の配向軸は、偏光板18bの透過軸に対して25度の角度をなすように配置される。   Here, from the viewpoint of improving the visibility of defects caused by thickness unevenness of the two biaxial films 54 and 55, the phase difference obtained when light passes through the NH film 2 and the NH film 31 is zero. It is preferable that it can be made. In order to make the phase difference zero, as shown in FIG. 19, the orientation of the biaxial film 55 is such that the orientation axis of the biaxial film 54 forms an angle of 125 degrees with respect to the transmission axis of the polarizing plate 18b. The axis is arranged so as to form an angle of 25 degrees with respect to the transmission axis of the polarizing plate 18b.

上記のような1軸フィルム、2軸フィルム等の位相差低減素子としては、上記第3実施形態におけるものと同様のものが用いられる。   As the retardation reducing elements such as the uniaxial film and the biaxial film as described above, the same elements as those in the third embodiment are used.

(第14実施形態)
次に、本発明に係る光学フィルムの検査方法の第14実施形態について図20を用いて説明する。なお、図20において、第1及び第2実施形態と同一又は同等の構成要素については同一符号を付し、重複する説明を省略する。
(14th Embodiment)
Next, a fourteenth embodiment of the optical film inspection method according to the present invention will be described with reference to FIG. In FIG. 20, the same or equivalent components as those in the first and second embodiments are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted.

図20は、NHフィルムの配向軸、偏光板の透過軸、1軸フィルム及び2軸フィルムの配向軸同士の欠陥検査時における配置関係を示す図である。なお、図20において、偏光板又はフィルムは、左側から右側に向かうにつれて順次光源から遠い位置に配置される。   FIG. 20 is a diagram showing an arrangement relationship at the time of defect inspection between the orientation axes of the NH film, the transmission axis of the polarizing plate, and the orientation axes of the uniaxial film and the biaxial film. In FIG. 20, the polarizing plate or the film is sequentially arranged at a position farther from the light source as it goes from the left side to the right side.

本実施形態の検査方法は、欠陥検査用素子71が以下のように構成されている点で第1実施形態と異なる。   The inspection method of this embodiment is different from that of the first embodiment in that the defect inspection element 71 is configured as follows.

即ち図20に示すように、本実施形態の欠陥検査用素子71は、NHフィルム31と偏光板18bとの間に、1枚の1軸フィルム34及び2枚の2軸フィルム55、56を有する点で第1実施形態の欠陥検査用素子29と異なる。1軸フィルム34、2軸フィルム55、56はNHフィルム2及びNHフィルム31を光が透過するときに得られる位相差を低減することが可能な位相差低減素子として機能するものである。1軸フィルム34、2軸フィルム55、56は、厚さ方向に直交する面内で複屈折を有する。   That is, as shown in FIG. 20, the defect inspection element 71 of this embodiment includes one uniaxial film 34 and two biaxial films 55 and 56 between the NH film 31 and the polarizing plate 18b. This is different from the defect inspection element 29 of the first embodiment. The uniaxial film 34 and the biaxial films 55 and 56 function as retardation reducing elements capable of reducing the retardation obtained when light passes through the NH film 2 and the NH film 31. The uniaxial film 34 and the biaxial films 55 and 56 have birefringence in a plane orthogonal to the thickness direction.

また、本実施形態の欠陥検査用素子71は、欠陥検査用素子71を光学フィルム光学フィルム1に対向配置し、偏光板18aと偏光板18bとがクロスニコル配置となるようにした場合に、図20に示すように、NHフィルム2の配向軸がNHフィルム31の配向軸と反平行となる点で第1実施形態の欠陥検査用素子29と異なる。   In addition, the defect inspection element 71 of the present embodiment is illustrated in the case where the defect inspection element 71 is disposed opposite to the optical film optical film 1 so that the polarizing plate 18a and the polarizing plate 18b are arranged in a crossed Nicol arrangement. As shown in FIG. 20, it differs from the defect inspection element 29 of the first embodiment in that the orientation axis of the NH film 2 is antiparallel to the orientation axis of the NH film 31.

ここで、1枚の1軸フィルム34及び2枚の2軸フィルム55、56は厚さムラに起因する欠陥の視認性を向上させる観点からは、NHフィルム2及びNHフィルム31を光が透過するときに得られる位相差をゼロにし得るものであることが好ましい。位相差をゼロにするためには、図20に示すように、1軸フィルム34の配向軸は、偏光板18bの透過軸に対して40度の角度をなすように、2軸フィルム55の配向軸は、偏光板18bの透過軸に対して30度の角度をなすように、2軸フィルム56の配向軸は、偏光板18bの透過軸に対して15度の角度をなすように配置される。   Here, from the viewpoint of improving the visibility of defects caused by thickness unevenness, the single uniaxial film 34 and the two biaxial films 55 and 56 transmit light through the NH film 2 and the NH film 31. It is preferable that the phase difference sometimes obtained can be made zero. In order to make the phase difference zero, as shown in FIG. 20, the orientation of the biaxial film 55 is such that the orientation axis of the uniaxial film 34 forms an angle of 40 degrees with respect to the transmission axis of the polarizing plate 18b. The axis is arranged at an angle of 30 degrees with respect to the transmission axis of the polarizing plate 18b, and the orientation axis of the biaxial film 56 is arranged at an angle of 15 degrees with respect to the transmission axis of the polarizing plate 18b. .

上記のような1軸フィルム、2軸フィルム等の位相差低減素子としては、上記第3実施形態におけるものと同様のものが用いられる。   As the retardation reducing elements such as the uniaxial film and the biaxial film as described above, the same elements as those in the third embodiment are used.

(第15実施形態)
次に、本発明に係る光学フィルムの検査方法の第15実施形態について図21を用いて説明する。なお、図21において、第1及び第2実施形態と同一又は同等の構成要素については同一符号を付し、重複する説明を省略する。
(Fifteenth embodiment)
Next, 15th Embodiment of the inspection method of the optical film which concerns on this invention is described using FIG. In FIG. 21, the same or equivalent components as those in the first and second embodiments are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted.

図21は、NHフィルムの配向軸、偏光板の透過軸、1軸フィルム及び2軸フィルムの配向軸同士の欠陥検査時における配置関係を示す図である。なお、図21において、偏光板又はフィルムは、左側から右側に向かうにつれて順次光源から遠い位置に配置される。   FIG. 21 is a diagram showing an arrangement relationship at the time of defect inspection between the orientation axes of the NH film, the transmission axis of the polarizing plate, and the orientation axes of the uniaxial film and the biaxial film. In FIG. 21, the polarizing plate or film is sequentially arranged at a position farther from the light source as it goes from the left side to the right side.

本実施形態の検査方法は、欠陥検査用素子72が以下のように構成されている点で第1実施形態と異なる。   The inspection method of the present embodiment is different from the first embodiment in that the defect inspection element 72 is configured as follows.

即ち図21に示すように、本実施形態の欠陥検査用素子72は、NHフィルム31と偏光板18bとの間に、1枚の1軸フィルム34及び2枚の2軸フィルム55、56を有する点で第1実施形態の欠陥検査用素子29と異なる。1軸フィルム34、2軸フィルム55、56はNHフィルム2及びNHフィルム31を光が透過するときに得られる位相差を低減することが可能な位相差低減素子として機能するものである。1軸フィルム34、2軸フィルム55、56は、厚さ方向に直交する面内で複屈折を有する。   That is, as shown in FIG. 21, the defect inspection element 72 of the present embodiment has one uniaxial film 34 and two biaxial films 55 and 56 between the NH film 31 and the polarizing plate 18b. This is different from the defect inspection element 29 of the first embodiment. The uniaxial film 34 and the biaxial films 55 and 56 function as retardation reducing elements capable of reducing the retardation obtained when light passes through the NH film 2 and the NH film 31. The uniaxial film 34 and the biaxial films 55 and 56 have birefringence in a plane orthogonal to the thickness direction.

また、本実施形態の欠陥検査用素子72は、欠陥検査用素子72を光学フィルム光学フィルム1に対向配置し、偏光板18aと偏光板18bとがクロスニコル配置となるようにした場合に、図21に示すように、NHフィルム2の配向軸がNHフィルム31の配向軸と反平行となる点で第1実施形態の欠陥検査用素子29と異なる。   In addition, the defect inspection element 72 of the present embodiment is arranged when the defect inspection element 72 is disposed opposite to the optical film optical film 1 so that the polarizing plate 18a and the polarizing plate 18b are arranged in a crossed Nicol arrangement. 21, the NH film 2 is different from the defect inspection element 29 in the first embodiment in that the orientation axis of the NH film 2 is antiparallel to the orientation axis of the NH film 31.

ここで、1枚の1軸フィルム34及び2枚の2軸フィルム55、56は厚さムラに起因する欠陥の視認性を向上させる観点からは、NHフィルム2及びNHフィルム31を光が透過するときに得られる位相差をゼロにし得るものであることが好ましい。位相差をゼロにするためには、図21に示すように、1軸フィルム34の配向軸は、偏光板18bの透過軸に対して45度の角度をなすように、2軸フィルム55の配向軸は、偏光板18bの透過軸に対して45度の角度をなすように、2軸フィルム56の配向軸は、偏光板18bの透過軸に対して45度の角度をなすように配置される。   Here, from the viewpoint of improving the visibility of defects caused by thickness unevenness, the single uniaxial film 34 and the two biaxial films 55 and 56 transmit light through the NH film 2 and the NH film 31. It is preferable that the phase difference sometimes obtained can be made zero. In order to make the phase difference zero, as shown in FIG. 21, the orientation of the biaxial film 55 is such that the orientation axis of the uniaxial film 34 forms an angle of 45 degrees with respect to the transmission axis of the polarizing plate 18b. The axis is arranged at an angle of 45 degrees with respect to the transmission axis of the polarizing plate 18b, and the orientation axis of the biaxial film 56 is arranged at an angle of 45 degrees with respect to the transmission axis of the polarizing plate 18b. .

上記のような1軸フィルム、2軸フィルム等の位相差低減素子としては、上記第3実施形態におけるものと同様のものが用いられる。   As the retardation reducing elements such as the uniaxial film and the biaxial film as described above, the same elements as those in the third embodiment are used.

(第16実施形態)
次に、本発明に係る光学フィルムの検査方法の第16実施形態について図22を用いて説明する。なお、図22において、第1及び第2実施形態と同一又は同等の構成要素については同一符号を付し、重複する説明を省略する。
(Sixteenth embodiment)
Next, a sixteenth embodiment of the optical film inspection method according to the present invention will be described with reference to FIG. In FIG. 22, the same or equivalent components as those in the first and second embodiments are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted.

図22は、NHフィルムの配向軸、偏光板の透過軸、1軸フィルム及び2軸フィルムの配向軸同士の欠陥検査時における配置関係を示す図である。なお、図22において、偏光板又はフィルムは、左側から右側に向かうにつれて順次光源から遠い位置に配置される。   FIG. 22 is a diagram showing an arrangement relationship at the time of defect inspection between the orientation axes of the NH film, the transmission axis of the polarizing plate, and the orientation axes of the uniaxial film and the biaxial film. In FIG. 22, the polarizing plate or film is sequentially arranged at a position farther from the light source as it goes from the left side to the right side.

本実施形態の検査方法は、欠陥検査用素子73が以下のように構成されている点で第1実施形態と異なる。   The inspection method of this embodiment is different from that of the first embodiment in that the defect inspection element 73 is configured as follows.

即ち図22に示すように、本実施形態の欠陥検査用素子73は、NHフィルム31と偏光板18bとの間に、1枚の1軸フィルム34及び2枚の2軸フィルム55、56を有する点で第1実施形態の欠陥検査用素子29と異なる。1軸フィルム34、2軸フィルム55、56はNHフィルム2及びNHフィルム31を光が透過するときに得られる位相差を低減することが可能な位相差低減素子として機能するものである。1軸フィルム34、2軸フィルム55、56は、厚さ方向に直交する面内で複屈折を有する。   That is, as shown in FIG. 22, the defect inspection element 73 of the present embodiment has one uniaxial film 34 and two biaxial films 55 and 56 between the NH film 31 and the polarizing plate 18b. This is different from the defect inspection element 29 of the first embodiment. The uniaxial film 34 and the biaxial films 55 and 56 function as retardation reducing elements capable of reducing the retardation obtained when light passes through the NH film 2 and the NH film 31. The uniaxial film 34 and the biaxial films 55 and 56 have birefringence in a plane orthogonal to the thickness direction.

また、本実施形態の欠陥検査用素子73は、欠陥検査用素子73を光学フィルム光学フィルム1に対向配置し、偏光板18aと偏光板18bとがクロスニコル配置となるようにした場合に、図22に示すように、NHフィルム2の配向軸がNHフィルム31の配向軸と反平行となる点で第1実施形態の欠陥検査用素子29と異なる。   Further, the defect inspection element 73 of the present embodiment is shown in the case where the defect inspection element 73 is disposed opposite to the optical film optical film 1 so that the polarizing plate 18a and the polarizing plate 18b are arranged in a crossed Nicol arrangement. 22, the NH film 2 is different from the defect inspection element 29 in that the orientation axis of the NH film 2 is antiparallel to the orientation axis of the NH film 31.

ここで、1枚の1軸フィルム34及び2枚の2軸フィルム55、56は厚さムラに起因する欠陥の視認性を向上させる観点からは、NHフィルム2及びNHフィルム31を光が透過するときに得られる位相差をゼロにし得るものであることが好ましい。位相差をゼロにするためには、図22に示すように、1軸フィルム34の配向軸は、偏光板18bの透過軸に対して45度の角度をなすように、2軸フィルム55の配向軸は、偏光板18bの透過軸に対して30度の角度をなすように、2軸フィルム56の配向軸は、偏光板18bの透過軸に対して10度の角度をなすように配置される。   Here, from the viewpoint of improving the visibility of defects caused by thickness unevenness, the single uniaxial film 34 and the two biaxial films 55 and 56 transmit light through the NH film 2 and the NH film 31. It is preferable that the phase difference sometimes obtained can be made zero. In order to make the phase difference zero, as shown in FIG. 22, the orientation of the biaxial film 55 is such that the orientation axis of the uniaxial film 34 forms an angle of 45 degrees with respect to the transmission axis of the polarizing plate 18b. The axis is disposed at an angle of 30 degrees with respect to the transmission axis of the polarizing plate 18b, and the orientation axis of the biaxial film 56 is disposed at an angle of 10 degrees with respect to the transmission axis of the polarizing plate 18b. .

上記のような1軸フィルム、2軸フィルム等の位相差低減素子としては、上記第3実施形態におけるものと同様のものが用いられる。   As the retardation reducing elements such as the uniaxial film and the biaxial film as described above, the same elements as those in the third embodiment are used.

(第17実施形態)
次に、本発明に係る光学フィルムの検査方法の第17実施形態について図23を用いて説明する。なお、図23において、第1及び第2実施形態と同一又は同等の構成要素については同一符号を付し、重複する説明を省略する。
(17th Embodiment)
Next, a seventeenth embodiment of the optical film inspection method according to the present invention will be described with reference to FIG. In FIG. 23, the same or equivalent components as those in the first and second embodiments are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted.

図23は、NHフィルムの配向軸、偏光板の透過軸、1軸フィルム及び2軸フィルムの配向軸同士の欠陥検査時における配置関係を示す図である。なお、図23において、偏光板又はフィルムは、左側から右側に向かうにつれて順次光源から遠い位置に配置される。   FIG. 23 is a diagram showing an arrangement relationship during defect inspection between the orientation axes of the NH film, the transmission axis of the polarizing plate, and the orientation axes of the uniaxial film and the biaxial film. In FIG. 23, the polarizing plate or film is sequentially arranged at a position farther from the light source as it goes from the left side to the right side.

本実施形態の検査方法は、欠陥検査用素子74が以下のように構成されている点で第1実施形態と異なる。   The inspection method of the present embodiment is different from the first embodiment in that the defect inspection element 74 is configured as follows.

即ち図23に示すように、本実施形態の欠陥検査用素子74は、NHフィルム31と偏光板18bとの間に2枚の2軸フィルム54、55を有する点で第1実施形態の欠陥検査用素子29と異なる。2軸フィルム54、55はNHフィルム2及びNHフィルム31を光が透過するときに得られる位相差を低減することが可能な位相差低減素子として機能するものである。2軸フィルム54、55は、厚さ方向に直交する面内で複屈折を有する。   That is, as shown in FIG. 23, the defect inspection element 74 of the present embodiment includes the two biaxial films 54 and 55 between the NH film 31 and the polarizing plate 18b. Different from the element 29 for use. The biaxial films 54 and 55 function as retardation reducing elements capable of reducing the retardation obtained when light passes through the NH film 2 and the NH film 31. The biaxial films 54 and 55 have birefringence in a plane orthogonal to the thickness direction.

また、本実施形態の欠陥検査用素子74は、欠陥検査用素子74を光学フィルム光学フィルム1に対向配置し、偏光板18aと偏光板18bとがクロスニコル配置となるようにした場合に、図23に示すように、NHフィルム2の配向軸がNHフィルム31の配向軸と反平行となる点で第1実施形態の欠陥検査用素子29と異なる。   In addition, the defect inspection element 74 of the present embodiment is shown when the defect inspection element 74 is disposed opposite to the optical film optical film 1 so that the polarizing plate 18a and the polarizing plate 18b are arranged in a crossed Nicol arrangement. 23, the NH film 2 is different from the defect inspection element 29 of the first embodiment in that the orientation axis of the NH film 2 is antiparallel to the orientation axis of the NH film 31.

ここで、2枚の2軸フィルム54、55は厚さムラに起因する欠陥の視認性を向上させる観点からは、NHフィルム2及びNHフィルム31を光が透過するときに得られる位相差をゼロにし得るものであることが好ましい。位相差をゼロにするためには、図23に示すように、2軸フィルム54の配向軸は、偏光板18bの透過軸に対して125度の角度をなすように、2軸フィルム55の配向軸は、偏光板18bの透過軸に対して25度の角度をなすように配置される。   Here, from the viewpoint of improving the visibility of defects caused by thickness unevenness of the two biaxial films 54 and 55, the phase difference obtained when light passes through the NH film 2 and the NH film 31 is zero. It is preferable that it can be made. In order to make the phase difference zero, as shown in FIG. 23, the orientation of the biaxial film 55 is such that the orientation axis of the biaxial film 54 forms an angle of 125 degrees with respect to the transmission axis of the polarizing plate 18b. The axis is arranged so as to form an angle of 25 degrees with respect to the transmission axis of the polarizing plate 18b.

上記のような1軸フィルム、2軸フィルム等の位相差低減素子としては、上記第3実施形態におけるものと同様のものが用いられる。   As the retardation reducing elements such as the uniaxial film and the biaxial film as described above, the same elements as those in the third embodiment are used.

(第18実施形態)
次に、本発明に係る光学フィルムの検査方法の第18実施形態について図24を用いて説明する。なお、図24において、第1及び第2実施形態と同一又は同等の構成要素については同一符号を付し、重複する説明を省略する。
(Eighteenth embodiment)
Next, an eighteenth embodiment of the optical film inspection method according to the present invention will be described with reference to FIG. In FIG. 24, the same or equivalent components as those in the first and second embodiments are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted.

図24は、NHフィルムの配向軸、偏光板の透過軸、1軸フィルム及び2軸フィルムの配向軸同士の欠陥検査時における配置関係を示す図である。なお、図24において、偏光板又はフィルムは、左側から右側に向かうにつれて順次光源から遠い位置に配置される。   FIG. 24 is a diagram showing an arrangement relationship during defect inspection between the orientation axes of the NH film, the transmission axis of the polarizing plate, and the orientation axes of the uniaxial film and the biaxial film. In FIG. 24, the polarizing plate or film is sequentially arranged at a position farther from the light source as it goes from the left side to the right side.

本実施形態の検査方法は、欠陥検査用素子75が以下のように構成されている点で第1実施形態と異なる。   The inspection method of the present embodiment is different from the first embodiment in that the defect inspection element 75 is configured as follows.

即ち図24に示すように、本実施形態の欠陥検査用素子75は、NHフィルム31と偏光板18bとの間に、1枚の1軸フィルム34及び2枚の2軸フィルム55、56を有する点で第1実施形態の欠陥検査用素子29と異なる。1軸フィルム34、2軸フィルム55、56はNHフィルム2及びNHフィルム31を光が透過するときに得られる位相差を低減することが可能な位相差低減素子として機能するものである。1軸フィルム34、2軸フィルム55、56は、厚さ方向に直交する面内で複屈折を有する。   That is, as shown in FIG. 24, the defect inspection element 75 of the present embodiment includes one uniaxial film 34 and two biaxial films 55 and 56 between the NH film 31 and the polarizing plate 18b. This is different from the defect inspection element 29 of the first embodiment. The uniaxial film 34 and the biaxial films 55 and 56 function as retardation reducing elements capable of reducing the retardation obtained when light passes through the NH film 2 and the NH film 31. The uniaxial film 34 and the biaxial films 55 and 56 have birefringence in a plane orthogonal to the thickness direction.

また、本実施形態の欠陥検査用素子75は、欠陥検査用素子75を光学フィルム光学フィルム1に対向配置し、偏光板18aと偏光板18bとがクロスニコル配置となるようにした場合に、図24に示すように、NHフィルム2の配向軸がNHフィルム31の配向軸と反平行となる点で第1実施形態の欠陥検査用素子29と異なる。   In addition, the defect inspection element 75 of the present embodiment is shown when the defect inspection element 75 is disposed opposite to the optical film optical film 1 so that the polarizing plate 18a and the polarizing plate 18b are arranged in a crossed Nicol arrangement. As shown in FIG. 24, it differs from the defect inspection element 29 of the first embodiment in that the orientation axis of the NH film 2 is antiparallel to the orientation axis of the NH film 31.

ここで、1枚の1軸フィルム34及び2枚の2軸フィルム55、56は厚さムラに起因する欠陥の視認性を向上させる観点からは、NHフィルム2及びNHフィルム31を光が透過するときに得られる位相差をゼロにし得るものであることが好ましい。位相差をゼロにするためには、図24に示すように、1軸フィルム34の配向軸は、偏光板18bの透過軸に対して35度の角度をなすように、2軸フィルム55の配向軸は、偏光板18bの透過軸に対して15度の角度をなすように、2軸フィルム56の配向軸は、偏光板18bの透過軸に対して5度の角度をなすように配置される。   Here, from the viewpoint of improving the visibility of defects caused by thickness unevenness, the single uniaxial film 34 and the two biaxial films 55 and 56 transmit light through the NH film 2 and the NH film 31. It is preferable that the phase difference sometimes obtained can be made zero. In order to make the phase difference zero, as shown in FIG. 24, the orientation of the biaxial film 55 is such that the orientation axis of the uniaxial film 34 forms an angle of 35 degrees with respect to the transmission axis of the polarizing plate 18b. The axis is arranged at an angle of 15 degrees with respect to the transmission axis of the polarizing plate 18b, and the orientation axis of the biaxial film 56 is arranged at an angle of 5 degrees with respect to the transmission axis of the polarizing plate 18b. .

上記のような1軸フィルム、2軸フィルム等の位相差低減素子としては、上記第3実施形態におけるものと同様のものが用いられる。   As the retardation reducing elements such as the uniaxial film and the biaxial film as described above, the same elements as those in the third embodiment are used.

(第19実施形態)
次に、本発明に係る光学フィルムの検査方法の第19実施形態について図25を用いて説明する。なお、図25において、第1及び第2実施形態と同一又は同等の構成要素については同一符号を付し、重複する説明を省略する。
(Nineteenth embodiment)
Next, a nineteenth embodiment of the optical film inspection method according to the present invention will be described with reference to FIG. In FIG. 25, the same or equivalent components as those in the first and second embodiments are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted.

図25は、NHフィルムの配向軸、偏光板の透過軸、1軸フィルム及び2軸フィルムの配向軸同士の欠陥検査時における配置関係を示す図である。なお、図25において、偏光板又はフィルムは、左側から右側に向かうにつれて順次光源から遠い位置に配置される。   FIG. 25 is a diagram showing an arrangement relationship at the time of defect inspection between the orientation axes of the NH film, the transmission axis of the polarizing plate, and the orientation axes of the uniaxial film and the biaxial film. In FIG. 25, the polarizing plate or film is sequentially arranged at a position farther from the light source as it goes from the left side to the right side.

本実施形態の検査方法は、欠陥検査用素子76が以下のように構成されている点で第1実施形態と異なる。   The inspection method of the present embodiment is different from the first embodiment in that the defect inspection element 76 is configured as follows.

即ち図25に示すように、本実施形態の欠陥検査用素子76は、NHフィルム31と偏光板18bとの間に、1枚の1軸フィルム34及び2枚の2軸フィルム55、56を有する点で第1実施形態の欠陥検査用素子29と異なる。1軸フィルム34、2軸フィルム55、56はNHフィルム2及びNHフィルム31を光が透過するときに得られる位相差を低減することが可能な位相差低減素子として機能するものである。1軸フィルム34、2軸フィルム55、56は、厚さ方向に直交する面内で複屈折を有する。   That is, as shown in FIG. 25, the defect inspection element 76 of this embodiment includes one uniaxial film 34 and two biaxial films 55 and 56 between the NH film 31 and the polarizing plate 18b. This is different from the defect inspection element 29 of the first embodiment. The uniaxial film 34 and the biaxial films 55 and 56 function as retardation reducing elements capable of reducing the retardation obtained when light passes through the NH film 2 and the NH film 31. The uniaxial film 34 and the biaxial films 55 and 56 have birefringence in a plane orthogonal to the thickness direction.

また、本実施形態の欠陥検査用素子76は、欠陥検査用素子76を光学フィルム光学フィルム1に対向配置し、偏光板18aと偏光板18bとがクロスニコル配置となるようにした場合に、図25に示すように、NHフィルム2の配向軸がNHフィルム31の配向軸と反平行となる点で第1実施形態の欠陥検査用素子29と異なる。   In addition, the defect inspection element 76 of the present embodiment is shown when the defect inspection element 76 is disposed opposite to the optical film optical film 1 so that the polarizing plate 18a and the polarizing plate 18b are arranged in a crossed Nicol arrangement. As shown in FIG. 25, it differs from the defect inspection element 29 of the first embodiment in that the orientation axis of the NH film 2 is antiparallel to the orientation axis of the NH film 31.

ここで、1枚の1軸フィルム34及び2枚の2軸フィルム55、56は厚さムラに起因する欠陥の視認性を向上させる観点からは、NHフィルム2及びNHフィルム31を光が透過するときに得られる位相差をゼロにし得るものであることが好ましい。位相差をゼロにするためには、図25に示すように、1軸フィルム34の配向軸は、偏光板18bの透過軸に対して125度の角度をなすように、2軸フィルム55の配向軸は、偏光板18bの透過軸に対して130度の角度をなすように、2軸フィルム56の配向軸は、偏光板18bの透過軸に対して75度の角度をなすように配置される。   Here, from the viewpoint of improving the visibility of defects caused by thickness unevenness, the single uniaxial film 34 and the two biaxial films 55 and 56 transmit light through the NH film 2 and the NH film 31. It is preferable that the phase difference sometimes obtained can be made zero. In order to make the phase difference zero, as shown in FIG. 25, the orientation of the biaxial film 55 is such that the orientation axis of the uniaxial film 34 forms an angle of 125 degrees with respect to the transmission axis of the polarizing plate 18b. The axis is arranged at an angle of 130 degrees with respect to the transmission axis of the polarizing plate 18b, and the orientation axis of the biaxial film 56 is arranged at an angle of 75 degrees with respect to the transmission axis of the polarizing plate 18b. .

上記のような1軸フィルム、2軸フィルム等の位相差低減素子としては、上記第3実施形態におけるものと同様のものが用いられる。   As the retardation reducing elements such as the uniaxial film and the biaxial film as described above, the same elements as those in the third embodiment are used.

本発明は、前述した実施形態に限定されるものではない。例えば上記第2実施形態では、欠陥検査用素子33がNHフィルム31と偏光板18bとの間に1軸フィルム34,35を有しているが、図26に示すように、欠陥検査用素子36を、欠陥検査用素子33から1軸フィルム34を外した構成とし、外された1軸フィルム34を偏光板18aと光学フィルム1との間に配置するようにしてもよい。この場合でも、第2実施形態と同様に、欠陥部分の視認性を向上させることが可能となり、厚さムラに起因する欠陥の検査を的確に行うことができる。加えて、図26に係る検査光学系を用いた光学フィルムの検査方法によれば、第2実施形態と同様に、NHフィルム2及びNHフィルム31間で配向軸が非対称である場合に比べて、表示特性をより向上させることができる。なお、第2実施形態において、1軸フィルム34は、偏光板18aの光学フィルム34側に積層するようにしてもよい。また1軸フィルム34を1軸フィルム35で置き換えても構わない。   The present invention is not limited to the embodiment described above. For example, in the second embodiment, the defect inspection element 33 includes the uniaxial films 34 and 35 between the NH film 31 and the polarizing plate 18b. However, as shown in FIG. The uniaxial film 34 may be removed from the defect inspection element 33, and the removed uniaxial film 34 may be disposed between the polarizing plate 18a and the optical film 1. Even in this case, similarly to the second embodiment, it is possible to improve the visibility of the defective portion, and it is possible to accurately inspect the defect caused by the thickness unevenness. In addition, according to the inspection method of the optical film using the inspection optical system according to FIG. 26, as in the second embodiment, compared to the case where the orientation axis is asymmetric between the NH film 2 and the NH film 31, Display characteristics can be further improved. In the second embodiment, the uniaxial film 34 may be laminated on the optical film 34 side of the polarizing plate 18a. The uniaxial film 34 may be replaced with the uniaxial film 35.

また、上記第2〜第19実施形態においては、NHフィルム2及びNHフィルム31を光が透過するときに得られる位相差をゼロにするために、1軸フィルム又は2軸フィルムの配向軸が偏光板18bの透過軸に対してなす角度、1軸フィルム又は2軸フィルムの配向軸が偏光板18aの透過軸に対してなす角度が上記各実施形態で示す値とされているが、位相差を低減するという目的のためであれば、これらの角度は、上記各実施形態に示す値に対して±15°の範囲でずれていても構わない。   Moreover, in the said 2nd-19th embodiment, in order to make the phase difference obtained when light permeate | transmits NH film 2 and NH film 31, the orientation axis of a uniaxial film or a biaxial film is polarized light. The angle formed with respect to the transmission axis of the plate 18b and the angle formed by the orientation axis of the uniaxial film or biaxial film with respect to the transmission axis of the polarizing plate 18a are the values shown in the above embodiments, but the phase difference is For the purpose of reduction, these angles may be shifted within a range of ± 15 ° with respect to the values shown in the above embodiments.

本発明の光学フィルムの検査方法に用いる光学フィルムの構成の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of a structure of the optical film used for the inspection method of the optical film of this invention. 本発明の光学フィルムの検査方法の一実施形態における光学フィルムの検査光学系の一例を示す側面図である。It is a side view which shows an example of the inspection optical system of the optical film in one Embodiment of the inspection method of the optical film of this invention. 第1偏光板の透過軸、光学フィルムに含まれる第1液晶フィルムの配向軸、第2液晶フィルムの配向軸及び第2偏光板の透過軸の関係の一例を示す図であり、(a)は第1偏光板の透過軸、(b)は第1液晶フィルムの配向軸、(c)は第2液晶フィルムの配向軸、(d)は第2偏光板の透過軸を示す。It is a figure which shows an example of the relationship of the transmission axis of a 1st polarizing plate, the orientation axis of the 1st liquid crystal film contained in an optical film, the orientation axis of a 2nd liquid crystal film, and the transmission axis of a 2nd polarizing plate, (a) The transmission axis of the first polarizing plate, (b) shows the alignment axis of the first liquid crystal film, (c) shows the alignment axis of the second liquid crystal film, and (d) shows the transmission axis of the second polarizing plate. 第1液晶フィルムに厚さムラのある光学フィルムを示す断面図である。It is sectional drawing which shows the optical film with thickness nonuniformity in the 1st liquid crystal film. 本発明の光学フィルムの検査方法の他の実施形態における光学フィルムの検査光学系の一例を示す側面図である。It is a side view which shows an example of the inspection optical system of the optical film in other embodiment of the inspection method of the optical film of this invention. 第1偏光板の透過軸、光学フィルムに含まれる第1液晶フィルムの配向軸、第2液晶フィルムの配向軸、位相差低減素子の光学軸、第2偏光板の透過軸の関係の一例を示す図であり、(a)は第1偏光板の透過軸、(b)は第1液晶フィルムの配向軸、(c)は第2液晶フィルムの配向軸、(d)(e)は位相差低減素子の配向軸、(f)は第2偏光板の透過軸を示す。An example of the relationship between the transmission axis of the first polarizing plate, the alignment axis of the first liquid crystal film included in the optical film, the alignment axis of the second liquid crystal film, the optical axis of the retardation reducing element, and the transmission axis of the second polarizing plate is shown. (A) is the transmission axis of the first polarizing plate, (b) is the alignment axis of the first liquid crystal film, (c) is the alignment axis of the second liquid crystal film, and (d) and (e) are phase difference reductions. The orientation axis of the element, (f), indicates the transmission axis of the second polarizing plate. 第1液晶フィルムの配向軸と第2液晶フィルムの配向軸とが反平行である場合の第1及び第2液晶フィルムの内部構造を概念的に示す図である。It is a figure which shows notionally the internal structure of the 1st and 2nd liquid crystal film in case the orientation axis of a 1st liquid crystal film and the orientation axis of a 2nd liquid crystal film are antiparallel. 第1液晶フィルムの配向軸と第2液晶フィルムの配向軸とが平行である場合の第1及び第2液晶フィルムの内部構造を概念的に示す図である。It is a figure which shows notionally the internal structure of the 1st and 2nd liquid crystal film in case the orientation axis of a 1st liquid crystal film and the orientation axis of a 2nd liquid crystal film are parallel. NHフィルムの配向軸、偏光板の透過軸、位相差低減素子の配向軸同士の欠陥検査時における配置関係を示す図である。It is a figure which shows the arrangement | positioning relationship at the time of the defect inspection of the orientation axis of NH film, the transmission axis of a polarizing plate, and the orientation axis of a phase difference reduction element. NHフィルムの配向軸、偏光板の透過軸、位相差低減素子の配向軸同士の欠陥検査時における配置関係を示す図である。It is a figure which shows the arrangement | positioning relationship at the time of the defect inspection of the orientation axis of NH film, the transmission axis of a polarizing plate, and the orientation axis of a phase difference reduction element. NHフィルムの配向軸、偏光板の透過軸、位相差低減素子の配向軸同士の欠陥検査時における配置関係を示す図である。It is a figure which shows the arrangement | positioning relationship at the time of the defect inspection of the orientation axis of NH film, the transmission axis of a polarizing plate, and the orientation axis of a phase difference reduction element. NHフィルムの配向軸、偏光板の透過軸、位相差低減素子の配向軸同士の欠陥検査時における配置関係を示す図である。It is a figure which shows the arrangement | positioning relationship at the time of the defect inspection of the orientation axis of NH film, the transmission axis of a polarizing plate, and the orientation axis of a phase difference reduction element. NHフィルムの配向軸、偏光板の透過軸、位相差低減素子の配向軸同士の欠陥検査時における配置関係を示す図である。It is a figure which shows the arrangement | positioning relationship at the time of the defect inspection of the orientation axis of NH film, the transmission axis of a polarizing plate, and the orientation axis of a phase difference reduction element. NHフィルムの配向軸、偏光板の透過軸、位相差低減素子の配向軸同士の欠陥検査時における配置関係を示す図である。It is a figure which shows the arrangement | positioning relationship at the time of the defect inspection of the orientation axis of NH film, the transmission axis of a polarizing plate, and the orientation axis of a phase difference reduction element. NHフィルムの配向軸、偏光板の透過軸、位相差低減素子の配向軸同士の欠陥検査時における配置関係を示す図である。It is a figure which shows the arrangement | positioning relationship at the time of the defect inspection of the orientation axis of NH film, the transmission axis of a polarizing plate, and the orientation axis of a phase difference reduction element. NHフィルムの配向軸、偏光板の透過軸、位相差低減素子の配向軸同士の欠陥検査時における配置関係を示す図である。It is a figure which shows the arrangement | positioning relationship at the time of the defect inspection of the orientation axis of NH film, the transmission axis of a polarizing plate, and the orientation axis of a phase difference reduction element. NHフィルムの配向軸、偏光板の透過軸、位相差低減素子の配向軸同士の欠陥検査時における配置関係を示す図である。It is a figure which shows the arrangement | positioning relationship at the time of the defect inspection of the orientation axis of NH film, the transmission axis of a polarizing plate, and the orientation axis of a phase difference reduction element. NHフィルムの配向軸、偏光板の透過軸、位相差低減素子の配向軸同士の欠陥検査時における配置関係を示す図である。It is a figure which shows the arrangement | positioning relationship at the time of the defect inspection of the orientation axis of NH film, the transmission axis of a polarizing plate, and the orientation axis of a phase difference reduction element. NHフィルムの配向軸、偏光板の透過軸、位相差低減素子の配向軸同士の欠陥検査時における配置関係を示す図である。It is a figure which shows the arrangement | positioning relationship at the time of the defect inspection of the orientation axis of NH film, the transmission axis of a polarizing plate, and the orientation axis of a phase difference reduction element. NHフィルムの配向軸、偏光板の透過軸、位相差低減素子の配向軸同士の欠陥検査時における配置関係を示す図である。It is a figure which shows the arrangement | positioning relationship at the time of the defect inspection of the orientation axis of NH film, the transmission axis of a polarizing plate, and the orientation axis of a phase difference reduction element. NHフィルムの配向軸、偏光板の透過軸、位相差低減素子の配向軸同士の欠陥検査時における配置関係を示す図である。It is a figure which shows the arrangement | positioning relationship at the time of the defect inspection of the orientation axis of NH film, the transmission axis of a polarizing plate, and the orientation axis of a phase difference reduction element. NHフィルムの配向軸、偏光板の透過軸、位相差低減素子の配向軸同士の欠陥検査時における配置関係を示す図である。It is a figure which shows the arrangement | positioning relationship at the time of the defect inspection of the orientation axis of NH film, the transmission axis of a polarizing plate, and the orientation axis of a phase difference reduction element. NHフィルムの配向軸、偏光板の透過軸、位相差低減素子の配向軸同士の欠陥検査時における配置関係を示す図である。It is a figure which shows the arrangement | positioning relationship at the time of the defect inspection of the orientation axis of NH film, the transmission axis of a polarizing plate, and the orientation axis of a phase difference reduction element. NHフィルムの配向軸、偏光板の透過軸、位相差低減素子の配向軸同士の欠陥検査時における配置関係を示す図である。It is a figure which shows the arrangement | positioning relationship at the time of the defect inspection of the orientation axis of NH film, the transmission axis of a polarizing plate, and the orientation axis of a phase difference reduction element. NHフィルムの配向軸、偏光板の透過軸、位相差低減素子の配向軸同士の欠陥検査時における配置関係を示す図である。It is a figure which shows the arrangement | positioning relationship at the time of the defect inspection of the orientation axis of NH film, the transmission axis of a polarizing plate, and the orientation axis of a phase difference reduction element. 本発明の光学フィルムの検査方法のさらに他の実施形態における光学フィルムの検査光学系の一例を示す側面図である。It is a side view which shows an example of the test | inspection optical system of the optical film in other embodiment of the test | inspection method of the optical film of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1…光学フィルム、2…NHフィルム(第1液晶フィルム)、18a…偏光板(第1偏光板)、18b…偏光板(第2偏光板)、20…バックライト(光源)、29,33,36、60〜76…欠陥検査用素子、31…NHフィルム(第2液晶フィルム)、34、35、52、53,54…1軸フィルム、42,43…NHフィルムの配向軸、54,55,56…2軸フィルム(位相差低減素子)。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Optical film, 2 ... NH film (1st liquid crystal film), 18a ... Polarizing plate (1st polarizing plate), 18b ... Polarizing plate (2nd polarizing plate), 20 ... Back light (light source), 29, 33, 36, 60 to 76 ... element for defect inspection, 31 ... NH film (second liquid crystal film), 34, 35, 52, 53, 54 ... uniaxial film, 42, 43 ... orientation axis of NH film, 54, 55, 56: Biaxial film (phase difference reducing element).

Claims (4)

液晶をハイブリッドネマチック配向させた第1液晶フィルムを含む光学フィルムの検査方法であって、
前記光学フィルムに対し、光源から第1偏光板を通して光を照射し、
前記光学フィルムに対して前記光源と反対側に、液晶をハイブリッドネマチック配向させた第2液晶フィルムと、第2偏光板とを積層した欠陥検査用素子を、前記第2液晶フィルムを前記光学フィルム側に向けるように且つ前記第2液晶フィルムの配向軸が前記第1液晶フィルムの配向軸と非平行となるように配置して前記光学フィルムを検査することを特徴とする光学フィルムの検査方法。
An inspection method for an optical film including a first liquid crystal film in which liquid crystal is hybrid nematically aligned,
Irradiating light from the light source through the first polarizing plate to the optical film,
A defect inspection element in which a second liquid crystal film in which liquid crystal is hybrid nematically aligned and a second polarizing plate is laminated on the side opposite to the light source with respect to the optical film, and the second liquid crystal film is disposed on the optical film side. And inspecting the optical film by arranging the second liquid crystal film so that the alignment axis of the second liquid crystal film is not parallel to the alignment axis of the first liquid crystal film.
前記第1液晶フィルムの配向軸と前記第2液晶フィルムの配向軸とが直交するように前記欠陥検査用素子を配置することを特徴とする請求項1に記載の光学フィルムの検査方法。   2. The optical film inspection method according to claim 1, wherein the defect inspection element is arranged so that an alignment axis of the first liquid crystal film and an alignment axis of the second liquid crystal film are orthogonal to each other. 液晶をハイブリッドネマチック配向させた第1液晶フィルムを含む光学フィルムの検査方法であって、
前記光学フィルムに対し、光源から第1偏光板を通して光を照射し、
前記光学フィルムに対して前記光源と反対側に、液晶をハイブリッドネマチック配向させた第2液晶フィルムと、前記第1液晶フィルム及び前記第2液晶フィルムを光が透過するときに得られる位相差を低減することが可能な位相差低減素子と、第2偏光板とを順次積層してなる欠陥検査用素子を、前記第2液晶フィルムを前記光学フィルム側に向けるように且つ前記第2液晶フィルムの配向軸が前記第1液晶フィルムの配向軸と平行又は反平行となるように配置して前記光学フィルムを検査することを特徴とする光学フィルムの検査方法。
An inspection method for an optical film including a first liquid crystal film in which liquid crystal is hybrid nematically aligned,
Irradiating light from the light source through the first polarizing plate to the optical film,
A second liquid crystal film in which liquid crystal is hybrid nematically oriented on the opposite side of the light source with respect to the optical film, and a retardation obtained when light passes through the first liquid crystal film and the second liquid crystal film. A defect inspection element formed by sequentially laminating a retardation reducing element and a second polarizing plate that can be aligned so that the second liquid crystal film faces the optical film and the second liquid crystal film is aligned. An inspection method for an optical film, wherein the optical film is inspected with an axis arranged parallel or antiparallel to the alignment axis of the first liquid crystal film.
液晶をハイブリッドネマチック配向させた第1液晶フィルムを含む光学フィルムの検査方法であって、
前記光学フィルムに対し、光源から第1偏光板及び第1位相差低減素子を通して光を照射し、
前記光学フィルムに対して前記光源と反対側に、液晶をハイブリッドネマチック配向させた第2液晶フィルムと、前記第1位相差低減素子、前記第1液晶フィルム及び前記第2液晶フィルムを光が透過するときに得られる位相差を前記第1位相差低減素子と共に低減することが可能な第2位相差低減素子と、第2偏光板とを順次積層してなる欠陥検査用素子を、前記第2液晶フィルムを前記光学フィルム側に向けるように且つ前記第2液晶フィルムの配向軸が前記第1液晶フィルムの配向軸と平行又は反平行となるように配置して前記光学フィルムを検査することを特徴とする光学フィルムの検査方法。
An inspection method for an optical film including a first liquid crystal film in which liquid crystal is hybrid nematically aligned,
The optical film is irradiated with light from a light source through the first polarizing plate and the first retardation reducing element,
Light is transmitted through the second liquid crystal film in which liquid crystal is hybrid nematically aligned with the optical film on the side opposite to the light source, the first retardation reducing element, the first liquid crystal film, and the second liquid crystal film. A defect inspection element formed by sequentially laminating a second phase difference reducing element capable of reducing the phase difference sometimes obtained together with the first phase difference reducing element and a second polarizing plate is provided as the second liquid crystal. The optical film is inspected with the film oriented toward the optical film and the second liquid crystal film oriented in parallel or antiparallel to the orientation axis of the first liquid crystal film. Inspection method for optical film.
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