JP2005539400A - 静電気駆動リソグラフィー - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、以下の連邦政府の資金源からの助成金の下で開発された:空軍科学研究局、助成金番号F49620-00-1-0283/P01;国防総省国防高等研究事業局(DARPA)、助成金番号DAAD 19-00-1-0414;および国立科学財団、助成金番号EEC-0118025。連邦政府は本発明において一定の権利を保持する。
本願は、2002年5月21日に出願された、出願番号60/382,596号であり、LimおよびMirkinによる「Electrostatically Driven Dip-Pen Nanolithography of Conducting Polymers」という表題の仮特許出願(これはその全体が参照として本明細書に組み入れられる)の恩典を主張するものである。
ナノスケールの電子的デバイスおよび光学的デバイスの小型化、プリンティング、および製造のためのナノテクノロジーの方法の開発における考慮すべき関心が生じてきている(例えば、本明細書の末尾の参考文献1〜3を参照されたい)。製造者独自の、商業的な1つの方法は、DIP PEN NANOLITHOGRAPHY(商標)プリンティングである(DPM(商標)プリンティング)(例えば、参考文献4〜6を参照されたい;DIP PEN NANOLITHOGRAPHY(商標)およびDPN(商標)はNanoInk, Inc., Chicago, ILの商標名であり、従って本明細書において使用される)。この将来有望な新規なナノ製造ツールについてのいくつかの態様が存在し、このツールは、走査型プローブ顕微鏡(SPM)チップを含むナノ顕微鏡チップを使用して、種々の表面上に分子および他のパターン化インクをパターン化することを可能にする。1つの態様において、パターン化は被覆された原子間力顕微鏡(AFM)チップを用いて、制御された様式で、100nm以下から多くのマイクロメーター長スケールまでで実行される(例えば、参考文献5〜6を参照されたい)。代表的なプリンティング実験において、市販のAFMカンチレバーは、熱蒸発によってまたはディップ被覆手順によってインク分子で被覆され得る(例えば、参考文献4および10を参照されたい)。このインク分子は、しばしば毛管現象を介して、チップを表面と接触させることによって基材に移動され得る。その下にある基材へのこのインクの化学吸着は、チップから基材への分子の移動のための駆動力として使用され得る。これまでに、例えば、チオール-金の組み合わせを用いる特筆すべき研究が行われてきた。
本発明は、一連の態様を含み、この概要の節は本発明の範囲を制限すると見なされるべきではない。
本発明を実施する際に、当業者は、手引きのために当技術分野における教科書および刊行物を参照し得る。これらの参考文献を引用することによって、これらの参考文献のいずれかが先行技術であるという認定はなされない。有用な教科書および刊行物には、本明細書の末尾に引用される25の参考文献および以下の特許文書が含まれる。リソグラフィーおよびナノリソグラフィーを記載するMarc J. Madou、Fundamentals of Microfabrication, The Science of Minitiaturization、第2版、CRC Press、2002(例えば1〜3章ならびに167頁および169頁の導電性ポリマーパターン化の議論を参照されたい)もまた有用である。
B. Mirkinらに対する2002年5月30日に公開された米国特許公開第2002/0063212 A1号(「Methods Utilizing Scanning Probe Microscope Tips and Products Therefor or Produced Thereby」)。
C. Mirkinらに対する2002年9月5日に公開された米国特許公開第2002/0122873 A1号(「Nanolithography Methods and Products Produced Therefor and Produced Thereby」)。
D. 2002年10月2日に出願された米国特許出願第60/326,767号(「Protein And Peptide Nanoassays」)(現在Mirkinらに対する米国特許公開第20030068446号として公開)(2003年4月10日に公開)。
E. Mirkinらに対する2002年12月2日に出願された同時係属中の通常の米国特許出願第10/307,515号。
F. Mirkinらに対する2002年12月17日に出願された同時係属中の通常の米国特許出願第10/320,721号。
G. 2003年2月14日に出願された同時係属中の通常の米国特許出願第10/366,717号(「Method and Apparatus for Aligning Patterns on a Substrate」)。
H. Mirkinらに対する2002年6月6日に公開された国際公開公報第02/45215号。
が含まれる。
1. 直接的書き込み--パターン化は、マスクまたはステンシルを使用するのではなく物質を直接的に表面に沈着させる。さらに、種々のエッチングに基づく技術とは異なり、本発明の方法は、基材またはペンのいかなる部分をも破壊しない。重要なことに、それは潜在的な基材および沈着物質の数を拡張する。
2. 超高感度分解能--NanoInkによって製造されるペンシステムを使用すると、本発明の方法は、約10ナノメーター未満の直径を有する構造を製造可能である。これは、100〜120nm以上の線幅の特徴を支持するフォトリソグラフィー、ならびに、50nmの線幅の特徴を支持するより遅いe-ビームおよびレーザーリソグラフィーシステムと比較される。
3. 分子一般性--オリゴヌクレオチドから金属までの多くの物質を用いて本明細書中に記載されている導電性ポリマーへの直接的な製造が可能である。いくつかの物質はより特定の環境条件を必要とし得るが(例えば、湿度レベル)、広範な種々の物質がこのプロセスに受け入れ可能である。
4. 低コスト--生成物はすべて低コストの研究ツールおよび極度に低コストの工業用ツールである。本発明の分解能に接近する(しかし超えることはない)e-ビームリソグラフィーのような技術は、購入、設置および維持のために、桁違いに高価である。
5. 使用が容易--実験は、最小限の訓練を受けた専門職でない作業者によって実行され得る。さらに、その技術は、湿度制御を伴う通常の周囲実験室条件下で働く。
6. 比類なき位置決め--存在する原子間力顕微鏡技術を利用することによって、このナノリソグラフィーは、特徴が基材上に配置されている場所を正確に決定するための最も良好な可能性のツールを利用する。これは、複数成分のナノ構造の組み込み、ならびに即時の検査および製造された構造の特徴付けを可能にする。
材料:導電性ポリマー、ポリ(アニリンスルホン酸)(5重量%水溶液、スルホン酸化度約100%、Mn 約10,000、自己ドープ処理、RはAldrichの所有である)およびポリピロール(5重量%水溶液、ドープ処理手順、R-、MnはAldrichの所有である)はAldrich Chemical Co.(Milwaukee, WI)から購入した。シスタミンジヒドロクロライド(98%)およびチオクト酸(98%)はAldrich Chemical Co.から購入し、トリメトキシシリルプロピルジエチレントリアミン(DETA)(95%)をUnited Chemical Technologies(Piscataway, NJ)から入手した。他のすべての化学物質(メタノール、2-プロパノール、硫酸、過酸化水素)はFisher ScientificからのACSグレードであり、さらなる精製なしで使用した。Barnstead NANOpure water systemを使用して得られたナノ純度水(>18.0 MΩ)を、すべての基材洗浄工程および水を必要とする準備工程のために使用した。Si (100)ウェハ(4インチ直径; 3〜4.9Ω/cm抵抗値、500nm酸化皮膜;500〜550mm厚)はSilion Quest International, Inc(Santa Clara, CA)から購入した。金電極(60nm Au、10nm Ti)は以前に報告されている手順に従う熱蒸発によって調製した(参考文献25を参照されたい)。
反対に荷電している荷電表面を提供する工程;
原子間力顕微鏡チップを提供する工程;
上記原子間力顕微鏡チップを上記ポリマーで被覆する工程;
上記ポリマーを、上記原子間力顕微鏡チップから上記荷電表面に移動させて上記表面上に上記ポリマーのパターンを形成する工程
を含む、方法。
荷電した官能基から本質的になる、静電的帯電を有する基材表面を提供する工程;
荷電したポリマー骨格から本質的になる、静電的帯電を有するパターン化化合物で被覆された原子間力顕微鏡チップを提供する工程であって、上記荷電した基材および上記荷電したパターン化化合物が反対に荷電している工程;および
上記被覆されたチップを上記基材と接触させ、上記荷電したパターン化化合物を上記荷電した基材表面に移動させ、かつ上記表面にナノスケールパターンを形成させる工程
から本質的になる、方法。
から本質的になる、ナノリソグラフィーの方法。
パターン化化合物を含む、上記基材表面上の少なくとも1つのナノ構造パターンであって、上記パターン化化合物が第1の静電的帯電を有する荷電したポリマー性骨格を有する、ナノ構造パターン
を含み、
上記基材表面が、第1の静電的帯電と反対である第2の静電的帯電を提供する官能基を含む、
ナノリソグラフィーによってパターン化された基材。
パターン化化合物を含む上記基材表面上の少なくとも1つのナノ構造パターンであって、上記パターン化化合物は第1の静電的帯電を有する荷電したポリマー性骨格を有する、ナノ構造パターン
を含み、
ここで上記基材表面は、第1の静電的帯電と反対である第2の静電的帯電を提供する官能基を含む、
電子的デバイス、光学的デバイス、またはセンシングデバイス。
Claims (10)
- チップから基材表面にパターン化化合物を移動して該基材表面上にパターンを形成する工程を含む工程であって、該パターン化化合物が第1の静電的帯電を有する荷電したポリマー性骨格を有し、かつ該基材表面が第1の静電的帯電と反対である第2の静電的帯電を提供する官能基を含む工程
を含む、リソグラフィーの方法。 - チップが原子間力顕微鏡チップである、請求項1に記載の方法。
- 荷電したポリマー性骨格を含むポリマーを提供する工程;
反対に荷電している荷電表面を提供する工程;
原子間力顕微鏡チップを提供する工程;
該原子間力顕微鏡チップを該ポリマーで被覆する工程;
該ポリマーを、該原子間力顕微鏡チップから該荷電表面に移動させて該表面上に該ポリマーのパターンを形成する工程
を含む、方法。 - ポリマーがドープ処理された導電性ポリマーである、請求項3に記載の方法。
- ポリマーが合成ポリマーである、請求項3に記載の方法。
- フォトマスク、フォトレジスト、スタンプ、または電気的に偏向したナノ領域チップもしくはナノ領域基材の使用を伴わない直接書き込み型リソグラフィーの方法であって、
荷電した官能基から本質的になる、静電的帯電を有する基材表面を提供する工程;
荷電したポリマー骨格から本質的になる、静電的帯電を有するパターン化化合物で被覆された原子間力顕微鏡チップを提供する工程であって、該荷電した基材および該荷電したパターン化化合物が反対に荷電している工程;および
該被覆されたチップを該基材と接触させ、該荷電したパターン化化合物を該荷電した基材表面に移動させ、かつ該表面にナノスケールパターンを形成させる工程
から本質的になる、方法。 - チップから基材表面にパターン化化合物をリソグラフィーによって移動して該基材表面上にパターンを形成する工程であって、該パターン化化合物が第1の静電的帯電を有する荷電した合成ポリマー性化合物であり、かつ該基材表面が第1の静電的帯電と反対である第2の静電的帯電を提供する官能基を含み、該パターンが約500nmまたはそれ以下の分解能を有する工程
から本質的になる、ナノリソグラフィーの方法。 - 基材表面を有する基材、および
パターン化化合物を含む該基材表面上の少なくとも1つのナノ構造パターンであって、該パターン化化合物が第1の静電的帯電を有する荷電したポリマー性骨格を有する、ナノ構造パターン
を含み、
該基材表面が、第1の静電的帯電と反対である第2の静電的帯電を提供する官能基を含む、
ナノリソグラフィーによってパターン化された基材。 - 基材表面を有する基材、および
パターン化化合物を含む、該基材表面上の少なくとも1つのナノ構造パターンであって、該パターン化化合物が第1の静電的帯電を有する荷電したポリマー性骨格を有する、ナノ構造パターン
を含み、
該基材表面が、第1の静電的帯電と反対である第2の静電的帯電を提供する官能基を含む、
電子的デバイス、光学的デバイス、またはセンシングデバイス。 - ナノ構造が約500nmまたはそれ以下の水平寸法を有する、請求項9に記載のデバイス。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US38259602P | 2002-05-21 | 2002-05-21 | |
US60/382,596 | 2002-05-21 | ||
PCT/US2003/015833 WO2004031072A2 (en) | 2002-05-21 | 2003-05-21 | Electrostatically driven lithography |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005539400A true JP2005539400A (ja) | 2005-12-22 |
JP4907084B2 JP4907084B2 (ja) | 2012-03-28 |
Family
ID=32069612
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004541441A Expired - Fee Related JP4907084B2 (ja) | 2002-05-21 | 2003-05-21 | 静電気駆動リソグラフィー |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7102656B2 (ja) |
EP (1) | EP1509816B1 (ja) |
JP (1) | JP4907084B2 (ja) |
AU (1) | AU2003298516A1 (ja) |
ES (1) | ES2400157T3 (ja) |
WO (1) | WO2004031072A2 (ja) |
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- 2003-05-21 WO PCT/US2003/015833 patent/WO2004031072A2/en active Application Filing
- 2003-05-21 ES ES03796269T patent/ES2400157T3/es not_active Expired - Lifetime
- 2003-05-21 EP EP03796269A patent/EP1509816B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2003-05-21 AU AU2003298516A patent/AU2003298516A1/en not_active Abandoned
- 2003-05-21 JP JP2004541441A patent/JP4907084B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2003-05-21 US US10/442,188 patent/US7102656B2/en not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP4907084B2 (ja) | 2012-03-28 |
EP1509816B1 (en) | 2012-12-26 |
AU2003298516A8 (en) | 2004-04-23 |
WO2004031072A2 (en) | 2004-04-15 |
WO2004031072A3 (en) | 2004-07-22 |
ES2400157T3 (es) | 2013-04-08 |
AU2003298516A1 (en) | 2004-04-23 |
EP1509816A2 (en) | 2005-03-02 |
US20040008330A1 (en) | 2004-01-15 |
US7102656B2 (en) | 2006-09-05 |
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A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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