JP2005353169A - Optical head device, optical pickup device, manufacturing method of optical head device, and assembly method of optical head device - Google Patents

Optical head device, optical pickup device, manufacturing method of optical head device, and assembly method of optical head device Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To make it possible to correctly carry out axial alignment of an objective lens and a liquid crystal type phase correction component in an optical head device having the objective lens comprising an annular diffraction face for phase corrections, and the liquid crystal type phase correction component 5 in order to make the constitution to perform recording or/and reproducing with one optical head device in common to the light of a plurality of wavelengths from a laser light source. <P>SOLUTION: Although a positioning mark 8 which forms designated positional relationship with a designated annulus of the annular-like diffraction face of the objective lens 4, when an axial center of the liquid crystal type phase correction component 5 and an axial center of the objective lens 4 having the annular-like diffraction face for phase correction are matched, is arranged in the liquid crystal type phase correction component 5, alignment of axes can be performed with high accuracy without performing a special process or processing by forming this mark 8 simultaneously with the formation of an electrode pattern of the liquid crystal type phase correction component 5. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、光学ヘッド装置、光ピックアップ装置、光学ヘッド装置の製造方法、および光学ヘッド装置の組立て方法、特に、位相補正用の輪帯状回折面を有する対物レンズと液晶型位相補正素子とをそれぞれ具備する光学ヘッド装置、この工学ヘッド装置を具備する光ピックアップ装置、光学ヘッド装置の製造方法、および光学ヘッド装置の組立て方法に関する。   The present invention relates to an optical head device, an optical pickup device, a manufacturing method of the optical head device, and an assembling method of the optical head device, and in particular, an objective lens having a ring-shaped diffraction surface for phase correction and a liquid crystal type phase correction element. The present invention relates to an optical head device provided, an optical pickup device provided with the engineering head device, a method for manufacturing the optical head device, and a method for assembling the optical head device.

現在、普及している光情報記録媒体としては、光ディスク、光磁気ディスク、光カード等が挙げられる。
これら光情報媒体に対する信号情報の書き込みや読み出しは、レーザー光源からの光を対物レンズによって光情報媒体に対して集光照射する光学ヘッド装置によって行われる。
この記録または/および再生がなされる光学ヘッド装置としては、種々の構成によるものが提案されている。
Optical information recording media that are currently in widespread use include optical disks, magneto-optical disks, optical cards, and the like.
Writing and reading of signal information to and from these optical information media is performed by an optical head device that condenses and irradiates light from a laser light source onto the optical information medium by an objective lens.
Various types of optical head devices for recording or / and reproducing are proposed.

光情報媒体における信号記録密度は、基本的には、光学ヘッド装置におけるレーザー光源の波長と対物レンズの開口数によって決まる。すなわち、用いられるレーザー光の波長が短く、対物レンズは開口数(N.A.)が大であることが、光情報媒体にレーザー光スポット径を小さくできることによって信号記録密度を向上させることができる。
具体的には、CD(Compact Disc)に対する光学ヘッド装置においては、N.A.が0.45の対物レンズ、波長が780nmのレーザー光が用いられる。そして、CDにおいては、そのレーザー光入射側の光透過層の厚さが1.2mmとされている。
The signal recording density in the optical information medium is basically determined by the wavelength of the laser light source and the numerical aperture of the objective lens in the optical head device. That is, the wavelength of the laser beam used is short, and the objective lens has a large numerical aperture (NA), which can improve the signal recording density by reducing the laser beam spot diameter on the optical information medium. .
Specifically, in an optical head device for a CD (Compact Disc), N.I. A. Is an objective lens having a wavelength of 0.45 and a laser beam having a wavelength of 780 nm. In the CD, the thickness of the light transmission layer on the laser light incident side is 1.2 mm.

そして、DVD(Digital Versatile Disc)に対する光学ヘッド装置においては、N.A.が0.6の対物レンズ、波長が650nmのレーザー光が用いられる。そして、DVDにおいては、レーザー光の入射側の光透過層の厚さが0.6mmの光ディスクが使用される。
また、次世代光ディスク規格であるBlu-Ray Discにおいては、N.A.が0.85、波長が410nm、光入射側の光透過層の厚さが0.1mmの光ディスクが使用される。
In an optical head device for a DVD (Digital Versatile Disc), N.I. A. Is an objective lens having a wavelength of 0.6 and a laser beam having a wavelength of 650 nm. In DVD, an optical disk having a light transmission layer on the laser beam incident side having a thickness of 0.6 mm is used.
In Blu-Ray Disc, which is the next generation optical disc standard, N.I. A. Is 0.85, the wavelength is 410 nm, and the thickness of the light transmission layer on the light incident side is 0.1 mm.

一方、昨今、CD、DVD、Blu-Ray Discに対する記録または/および再生を、共通のドライブ装置において行うことができるようにした装置が普及される方向にあり、この装置においては、装置の取り扱い、小型化等の要求から、これらCD、DVD、Blu-Ray Discに対して共通に一つの光学ヘッド装置によって、上述した記録または/および再生を行う構成とすることが望まれる。このためには、それぞれの波長に対応した半導体レーザー、およびそれぞれの開口数N.A.に対応した対物レンズを使用することが必要となる。しかし、この方法では3系統の光学系を搭載するため、部品点数の増大化による組み立て工数の増大によるコスト高、光学ヘッド装置の大型化を来たす。   On the other hand, in recent years, there is a tendency that a device capable of performing recording or / and reproduction on a CD, a DVD, and a Blu-Ray Disc in a common drive device. Due to demands for miniaturization and the like, it is desirable that the above-described recording or / and reproduction be performed by one optical head device in common for these CDs, DVDs, and Blu-Ray Discs. For this purpose, a semiconductor laser corresponding to each wavelength and each numerical aperture N.D. A. It is necessary to use an objective lens corresponding to the above. However, since three optical systems are mounted in this method, the cost is increased due to the increase in the number of parts and the number of assembly steps, resulting in an increase in the size of the optical head device.

このような問題を解決するため、波長の異なるレーザー光を波長選択性を有する合成分離ミラーで合成分離し、同一の対物レンズを使用してコンパクトな光学ヘッド装置を構成することが提案されている。
しかし、この場合、前述したようにCD、DVD、Blu-Ray Disc ではそれぞれ光透過層の厚さおよび波長が異なるため、発生する球面収差がそれぞれ異なることから、それぞれの波長に応じて球面収差が適正に抑制されるように光学系を設計する必要がある。
In order to solve such a problem, it has been proposed to synthesize and separate laser beams having different wavelengths by a synthesis / separation mirror having wavelength selectivity, and to construct a compact optical head device using the same objective lens. .
However, in this case, as described above, the CD, DVD, and Blu-Ray Disc have different light transmission layer thicknesses and wavelengths, so that the generated spherical aberrations are different. It is necessary to design the optical system so as to be appropriately suppressed.

一つの光学系で、複数の波長に対して球面収差を十分に抑制する方法としては、非球面対物レンズの表面に輪帯状の回折面を設ける方法が提案されている。これは、まず対物レンズの外形をいずれかの波長λAの光学系で波面収差が最適になるように設計しておき、それに対して波長λBを用いたときに発生する球面収差を打ち消すようにレンズ表面に輪帯状の回折面を施すものである。これは、回折を利用しているため位相の補正に波長選択性があり、波長λBの光に対しては有効であっても、他の波長λAの光に対しては収差に影響を及ぼさない。この方法により、一つの光学ヘッドで複数の光学系の球面収差を抑制することができる。   As a method of sufficiently suppressing spherical aberration with respect to a plurality of wavelengths with one optical system, a method of providing an annular diffractive surface on the surface of an aspheric objective lens has been proposed. This is because the outer shape of the objective lens is first designed so that the wavefront aberration is optimized in an optical system of any wavelength λA, and the spherical aberration that occurs when using the wavelength λB is cancelled. A ring-shaped diffraction surface is provided on the surface. This is because of the use of diffraction, phase correction has wavelength selectivity and is effective for light of wavelength λB, but does not affect aberrations for light of other wavelengths λA. . By this method, spherical aberration of a plurality of optical systems can be suppressed with one optical head.

一方、Blu-Ray Discにおいては対物レンズのN.A.が高いため、ディスクの厚み誤差および対物レンズの製造誤差に対する光学的許容量が極めて小さく、全てのディスクおよび対物レンズを許容値内に収めるためには極めて高い製造技術が必要となる。このため、光学ヘッド装置の製造歩留まりが悪く、コストがかかるため量産が現実的ではない。
また、Blu-Ray Discでは収差が固定されたピックアップではなく、ディスクごと、および対物レンズごとの製造誤差に応じて球面収差を可変的に補正する機構を光学系に備える必要がある。
On the other hand, in the Blu-Ray Disc, the objective lens N.D. A. Therefore, the optical tolerance for the disc thickness error and the objective lens manufacturing error is extremely small, and an extremely high manufacturing technique is required to keep all the discs and objective lenses within the allowable values. For this reason, the production yield of the optical head device is poor and the cost is high, so that mass production is not realistic.
Further, in the Blu-Ray Disc, it is necessary to provide the optical system with a mechanism that variably corrects the spherical aberration according to the manufacturing error for each disk and for each objective lens, not a pickup with fixed aberration.

この球面収差の補正機構としては大別して次の2つの方法によるものが挙げられる。
その1つはそれぞれ正と負のパワーを持つ2群のレンズを対物レンズと光源の間に配置し、レンズ間隔を光軸方向に変化させることで光路全体が持つ球面収差をキャンセルするエキスパンダレンズ方式である(特許文献1参照)。
しかしこの方法は、もともと間隔を隔てた2群のレンズを配置しなければならないこと、さらにそれらのレンズ群を物理的に動かすための機構を新たに配置しなければならないことから、光学ヘッド装置が体積的に大きくなってしまう等の問題点がある。
The spherical aberration correction mechanism is roughly classified into the following two methods.
One of them is an expander lens that cancels the spherical aberration of the entire optical path by arranging two groups of lenses with positive and negative power between the objective lens and the light source and changing the lens interval in the optical axis direction. It is a system (refer patent document 1).
However, this method originally requires that two groups of lenses that are spaced apart from each other must be disposed, and that a mechanism for physically moving these lens groups must be newly disposed. There are problems such as an increase in volume.

他の1つの方法は、対物レンズと光源との間に、表面に電極を施した1対の透明ガラス基板の間に液晶のような異方性光学媒質を満たした位相補正素子を配置し、電極に電圧を加えることにより面内を透過する光の位相を連続的に制御することができるようにした構成によるものである(特許文献2参照)。
この方法のような対物レンズと液晶型位相補正素子との組み合わせによる構成とする場合、複数の波長に対して、すなわち例えばCD、DVD、Blu-Ray Discの全て記録・再生を行う各波長のレーザー光に対して、一つの光学ヘッドを構成することができ、しかも、この液晶型位相補正素子は、小型・薄型化が可能で、また新たな駆動機構が必要ないために光ピックアップとして大型化や、構成の複雑化を殆どきたすことがないことから、コンパクトに構成することができるという利点を有する。
In another method, a phase correction element filled with an anisotropic optical medium such as liquid crystal is disposed between a pair of transparent glass substrates having electrodes on the surface between an objective lens and a light source, This is because the phase of light transmitted through the surface can be continuously controlled by applying a voltage to the electrodes (see Patent Document 2).
When the objective lens and the liquid crystal type phase correction element are combined as in this method, a laser of each wavelength for recording / reproducing all of a plurality of wavelengths, for example, CD, DVD, Blu-Ray Disc. One optical head can be configured for light, and this liquid crystal phase correction element can be reduced in size and thickness, and a new drive mechanism is not required. Since there is almost no complication of the configuration, there is an advantage that the configuration can be made compact.

しかしながら、球面収差補正素子の中心軸と対物レンズの中心軸との間にずれがあるとコマ収差が発生するため、対物レンズと球面収差補正素子とは互いの中心軸が例えば有効径3mmの場合で±20μm以下という高い精度で位置決めして固定される必要がある。   However, if there is a deviation between the central axis of the spherical aberration correcting element and the central axis of the objective lens, coma aberration occurs. Therefore, when the central axes of the objective lens and the spherical aberration correcting element are each 3 mm in effective diameter, for example. Therefore, it is necessary to position and fix with a high accuracy of ± 20 μm or less.

この軸合わせについて、液晶による球面収差補正素子とは異なる、すなわち対象を異にするものであるが、対物レンズと位相補正素子との軸心相互の位置決めを行う方法として、対物レンズおよび位相補正素子の各々に凹凸による位置決めマークを形成してそれらを基準に合わせるという方法が提案されている(特許文献3参照)。
しかしながら、この方法はレンズまたは位相補正素子に物理的に凹凸をつけるため、製造工程において新たな工程が加わるという生産性の低下、凹凸形成の精度の問題、さらに、この凹凸による透過率や収差への影響を考慮することが必要となるなどの問題がある。
特開2000−131603号 特開2001−143303号 特開2001−6203号
This axial alignment is different from the spherical aberration correction element using liquid crystal, that is, the object is different, but the objective lens and the phase correction element are used as a method for positioning the objective lens and the phase correction element relative to each other. A method has been proposed in which positioning marks are formed on each of the concaves and convexes and these are adjusted to a reference (see Patent Document 3).
However, this method physically adds unevenness to the lens or phase correction element, so that a new process is added in the manufacturing process, the productivity is lowered, the accuracy of unevenness formation, and the transmittance and aberration due to the unevenness are further reduced. There are problems such as the need to consider the effects of
JP 2000-131603 JP 2001-143303 A JP 2001-6203 A

本発明は、複数の波長を取り扱う光学ヘッド装置、またこの光学ヘッド装置を具備する光ピックアップ装置において、所要の波長の光に対して球面収差等の補正を行う位相補正用の輪帯状回折面を有する対物レンズの実質的中心軸すなわちその輪帯の中心軸と、液晶型位相補正素子の中心軸とを正確に一致させることができるようにして、上述したコマ収差の発生を回避し、複数の波長に対する球面収差等の改善を図ることができるようにした、光学ヘッド装置、光ピックアップ装置、光学ヘッド装置の製造方法、および光学ヘッド装置の組立て方法を提供するものである。   The present invention relates to an optical head device that handles a plurality of wavelengths, and an optical pickup device that includes the optical head device, and includes an annular diffraction surface for phase correction that corrects spherical aberration and the like with respect to light of a required wavelength. The substantial central axis of the objective lens, that is, the central axis of the annular zone, and the central axis of the liquid crystal type phase correction element can be accurately matched to avoid occurrence of the above-described coma aberration, An optical head device, an optical pickup device, a method for manufacturing the optical head device, and a method for assembling the optical head device, which can improve spherical aberration with respect to wavelength, are provided.

本発明による光学ヘッド装置は、位相補正用の輪帯状回折面を有する対物レンズと液晶型位相補正素子とが同軸心上に配置された光学系を有し、該光学系により光源からの光を光情報媒体に集光する光学ヘッド装置であって、該液晶型位相補正素子の軸心と上記対物レンズの輪帯状回折面の輪帯の軸心とが一致した状態で、上記対物レンズの輪帯状回折面の輪帯を基準として位置決めがなされる位置決めマークが上記液晶型位相補正素子に形成されて成ることを特徴とする。   An optical head device according to the present invention has an optical system in which an objective lens having an annular diffractive surface for phase correction and a liquid crystal type phase correction element are arranged on the same axis, and the optical system emits light from a light source. An optical head device for condensing on an optical information medium, wherein the axis of the liquid crystal type phase correction element and the axis of the annular zone of the annular diffraction surface of the objective lens coincide with each other. The liquid crystal type phase correction element is characterized in that a positioning mark for positioning with reference to the annular zone of the belt-like diffractive surface is formed on the liquid crystal phase correction element.

本発明は、上述の光学ヘッド装置において、上記位置決めマークが、上記液晶型位相補正素子の電極の構成材と同一構成材によって形成されて成ることを特徴とする。
また、本発明は、上述の光学ヘッド装置において、上記位置決めマークが、上記液晶型位相補正素子の軸心を中心とする同一円周上に配置された複数個のマーク素子より成ることを特徴とする。
The present invention is characterized in that, in the optical head device described above, the positioning mark is formed of the same constituent material as the constituent material of the electrode of the liquid crystal type phase correction element.
According to the present invention, in the above-described optical head device, the positioning mark is composed of a plurality of mark elements arranged on the same circumference centered on the axis of the liquid crystal type phase correction element. To do.

位相補正用の輪帯状回折面を有する対物レンズと液晶型位相補正素子とが同軸心上に配置された光学系を有し、該光学系により光源からの光を光情報媒体に集光する光学ヘッド装置を具備する光ピックアップ装置であって、上記光学ヘッド装置が、上記液晶型位相補正素子の軸心と上記対物レンズの輪帯状回折面の輪帯の軸心とを一致した状態で、上記対物レンズの輪帯状回折面の輪帯を基準として位置決めがなされる位置決めマークが上記液晶型位相補正素子に形成されて成ることを特徴とする。   An optical system having an optical system in which an objective lens having an annular diffractive surface for phase correction and a liquid crystal type phase correction element are arranged on the same axis, and condensing light from a light source onto an optical information medium by the optical system An optical pickup device comprising a head device, wherein the optical head device is in a state where the axis of the liquid crystal type phase correction element coincides with the axis of the annular zone of the annular diffraction surface of the objective lens. A positioning mark that is positioned with reference to the annular zone of the annular diffraction surface of the objective lens is formed on the liquid crystal type phase correction element.

本発明は、上述した光ピックアップ装置において、上記位置決めマークが、上記液晶型位相補正素子の電極の構成材と同一構成材によって形成されて成ることを特徴とする。
本発明は、上述した光ピックアップ装置において、上記位置決めマークが、上記液晶型位相補正素子の軸心を中心とする同一円周上に配置された複数個のマーク素子より成ることを特徴とする。
The present invention is characterized in that, in the above-described optical pickup device, the positioning mark is formed of the same constituent material as the constituent material of the electrode of the liquid crystal type phase correction element.
The present invention is characterized in that, in the above-described optical pickup device, the positioning mark is composed of a plurality of mark elements arranged on the same circumference centering on the axis of the liquid crystal type phase correction element.

本発明による光学ヘッド装置の製造方法は、位相補正用の輪帯状回折面を有する対物レンズと液晶型位相補正素子とが同軸心上に配置された光学系を有し、該光学系により光源からの光を光情報媒体に集光する光学ヘッド装置の製造方法であって、上記液晶型位相補正素子の電極パターンの形成工程において、該電極パターンの形成と同時に、上記対物レンズの輪帯状回折面の輪帯を基準として該対物レンズの軸心と上記液晶型位相補正素子の軸心とを一致させる位置決めマークを上記液晶型位相補正素子に形成することを特徴とする。   An optical head device manufacturing method according to the present invention includes an optical system in which an objective lens having an annular diffractive surface for phase correction and a liquid crystal type phase correction element are arranged on the same axis, and from the light source by the optical system. A method of manufacturing an optical head device for condensing the light on an optical information medium, in the electrode pattern formation step of the liquid crystal type phase correction element, simultaneously with the formation of the electrode pattern, the annular diffractive surface of the objective lens A positioning mark for aligning the axis of the objective lens with the axis of the liquid crystal type phase correction element is formed on the liquid crystal type phase correction element.

本発明は、上述の光学ヘッド装置の製造方法において、上記位置決めマークが、上記液晶型位相補正素子の軸心を中心とする同一円周上に配置された複数個のマーク素子より成ることを特徴とする。   According to the present invention, in the above-described method of manufacturing an optical head device, the positioning mark includes a plurality of mark elements arranged on the same circumference centered on the axis of the liquid crystal type phase correction element. And

本発明による光学ヘッド装置の組立て方法は、位相補正用の輪帯状回折面を有する対物レンズと液晶型位相補正素子とが同軸心上に配置された光学系を有し、該光学系により光源からの光を光情報媒体に集光する光学ヘッド装置の組立て方法であって、該液晶型位相補正素子の軸心と同一軸心上に配置された位置決めマークを上記液晶型位相補正素子に設け、該位置決めマークにより、上記対物レンズの輪帯状回折面の所定の輪帯を基準として上記対物レンズの軸心と上記液晶型位相補正素子の軸心を一致させる軸合わせを行って、共通の保持体に対して保持させることを特徴とする。   An assembling method of an optical head device according to the present invention includes an optical system in which an objective lens having a ring-shaped diffraction surface for phase correction and a liquid crystal type phase correction element are arranged on the same axis, and from the light source by the optical system. An optical head device assembly method for condensing the light on the optical information medium, wherein a positioning mark arranged on the same axis as the axis of the liquid crystal type phase correction element is provided on the liquid crystal type phase correction element, The alignment mark is used to align the axis of the objective lens and the axis of the liquid crystal type phase correction element with reference to a predetermined annular zone of the annular diffraction surface of the objective lens, and a common holding body It is characterized by being held against.

本発明は、上述の光学ヘッド装置の組立て方法において、上記保持体に対する上記対物レンズおよび上記液晶型位相補正素子の保持に当たり、上記保持体に、上記対物レンズおよび上記液晶型位相補正素子のいずれか一方を保持し、その後、該対物レンズおよび液晶型位相補正素子に対し、他方の上記液晶型位相補正素子および対物レンズを、上記液晶型位相補正素子に設けた位置決めマークによって、上記軸心の軸合わせを行って、該他方の上記液晶型位相補正素子および対物レンズを上記保持体に保持させることを特徴とする。   In the method of assembling the optical head device according to the present invention, when the objective lens and the liquid crystal type phase correction element are held on the holding body, the holding body is either the objective lens or the liquid crystal type phase correction element. One of the objective lens and the liquid crystal type phase correction element is held, and then the other liquid crystal type phase correction element and the objective lens are placed on the axis of the axis by a positioning mark provided on the liquid crystal type phase correction element. And the other liquid crystal type phase correction element and objective lens are held by the holding body.

また、本発明は、上述の光学ヘッド装置の組立て方法において、上記位置決めマークが、上記液晶型位相補正素子の電極の構成材と同一構成材によって形成されて成ることを特徴とする。
また、本発明は、上述の光学ヘッド装置の組立て方法において、上記位置決めマークが、上記液晶型位相補正素子の軸心を中心とする同一円周上に配置された複数個のマーク素子より成ることを特徴とする。
According to the present invention, in the above-described method of assembling the optical head device, the positioning mark is formed of the same constituent material as the constituent material of the electrode of the liquid crystal type phase correction element.
According to the present invention, in the above-described method of assembling the optical head device, the positioning mark is composed of a plurality of mark elements arranged on the same circumference centered on the axis of the liquid crystal type phase correction element. It is characterized by.

上述したように、本発明による光学ヘッド装置においては、位相補正用の輪帯状回折面を有する対物レンズと液晶型位相補正素子との軸合わせを、対物レンズの回折面を構成する輪帯自体を基準として行うことから、対物レンズにも軸合わせのためのマークを設ける場合の誤差の発生が回避され、これによって正確な軸合わせができることから、コマ収差の発生を回避でき、対物レンズと液晶型位相補正素子とによって確実に、球面収差等の位相補正による補正を行うことができるものである。   As described above, in the optical head device according to the present invention, the axis alignment of the objective lens having the annular diffractive surface for phase correction and the liquid crystal type phase correcting element is performed, and the zonal itself constituting the diffractive surface of the objective lens is adjusted. Since it is performed as a reference, the occurrence of errors when the objective lens is provided with a mark for alignment is avoided, and this makes it possible to accurately align the axis. The correction by the phase correction of the spherical aberration or the like can be surely performed by the phase correction element.

また、液晶型位相補正素子側に関する軸合わせのための位置決めマークは、その電極の構成材と同一材によって構成することから、特段のマークを構成する材料の付加、部品の増加等を回避できる。
そして、この液晶型位相補正素子に対する位置決めマークは、液晶型位相補正素子の軸心に対し同心円上に配置した複数個のマーク素子によって構成することにより、この複数のマーク素子を、対物レンズの上述した軸合わせのいわば基準となる輪帯と合わせることから相互の軸心合わせを正確に行うことができるものである。
Further, since the positioning mark for axis alignment on the liquid crystal type phase correction element side is made of the same material as the constituent material of the electrode, it is possible to avoid the addition of the material constituting the special mark, the increase of parts, and the like.
The positioning mark for the liquid crystal type phase correction element is constituted by a plurality of mark elements arranged concentrically with respect to the axis of the liquid crystal type phase correction element. In other words, it is possible to accurately align the axes with each other because they are aligned with the reference annular zone.

したがって、この光学ヘッド装置を用いた本発明による光ピックアップ装置は、コマ収差の問題、球面収差の補正が良好になされて、例えば前述した複数種の光情報記録媒体に対する異なる波長の光に関して、液晶型位相補正素子による位相補正の調整によって良好光スポットの補正がなされることから、記録再生特性を有する光ピックアップ装置を構成することができるものである。   Therefore, the optical pickup device according to the present invention using this optical head device is excellent in correcting coma aberration and spherical aberration. For example, liquid crystals with different wavelengths for a plurality of types of optical information recording media as described above can be used. Since a good light spot is corrected by adjusting the phase correction by the mold phase correction element, an optical pickup device having recording / reproducing characteristics can be configured.

また、本発明による光学ヘッド装置の製造方法においては、対物レンズにはなんら特段の軸合わせの位置決めマークを設けることなく、液晶型位相補正素子についてのみ、その電極パターンの形成と同時に軸合わせの位置決めマークの形成を行うことから、電極パターンとの相対的位置、したがって、液晶型位相補正素子の実質的軸心との位置関係を誤差なく正確に所定位置に形成することができる。
また、この位置決めマークの形成のための別工程を必要としないことから、このマークを形成することによる工程数の増加を来たすことがない。
そして、その軸合わせにおいては、対物レンズの輪帯、すなわちリングを基準にして液晶型位相補正素子のマークを一致させればよいことから、その位置合わせは、容易に行うことができるものである。
In the method of manufacturing the optical head device according to the present invention, the objective lens is not provided with any special alignment mark, and only the liquid crystal type phase correction element is simultaneously aligned with the formation of the electrode pattern. Since the mark is formed, the relative position with respect to the electrode pattern, that is, the positional relationship with the substantial axis of the liquid crystal type phase correction element can be accurately formed at a predetermined position without error.
Further, since a separate process for forming this positioning mark is not required, the number of processes due to the formation of this mark does not increase.
In the axial alignment, the mark of the liquid crystal type phase correction element only needs to be matched with reference to the annular zone of the objective lens, that is, the ring. Therefore, the alignment can be easily performed. .

また、本発明による光学ヘッド装置の組立て方法においては、共通の保持体に、対物レンズと液晶型位相補正素子とを同一軸心上に配置した関係をもって組み立てるに当たり、対物レンズもしくは液晶型位相補正素子の一方を、保持体に保持させ、その後、この保持体に保持された対物レンズもしくは液晶型位相補正素子に対して軸合わせを行って他方の液晶型位相補正素子もしくは対物レンズを保持させるものであるが、このとき、両者の位置合わせを対物レンズの輪帯状回折面の輪帯に対してすなわちリングに対して液晶型位相補正素子のマークを一致させることから、その軸合わせは、容易にかつ正確に行うことができる。   In the assembling method of the optical head device according to the present invention, when assembling the objective lens and the liquid crystal type phase correction element on the same axis on the common holder, the objective lens or the liquid crystal type phase correction element is assembled. One of these is held by a holding body, and then the axis of the objective lens or liquid crystal type phase correction element held by this holding body is aligned to hold the other liquid crystal type phase correction element or objective lens. However, at this time, the alignment of the liquid crystal type phase correction element coincides with the annular zone of the annular diffractive surface of the objective lens, that is, with respect to the ring. Can be done accurately.

すなわち、本発明による光学ヘッド装置、光学ヘッド装置の製造方法、および光学ヘッド装置の組立て方法によれば、正確に対物レンズの中心軸すなわち位相補正用の輪帯状回折面の輪帯の中心軸と、液晶型位相補正素子の中心軸とを一致させることができることから、コマ収差を発生させることなく、複数の波長に対して、高い精度をもって収差の補正例えば球面収差の発生を回避することができるものである。   That is, according to the optical head device, the method for manufacturing the optical head device, and the method for assembling the optical head device according to the present invention, the center axis of the objective lens, that is, the center axis of the annular zone of the annular diffraction surface for phase correction Since the central axis of the liquid crystal type phase correction element can be made coincident, aberration correction, for example, generation of spherical aberration can be avoided with high accuracy for a plurality of wavelengths without generating coma. Is.

本発明による光学ヘッド装置、これを用いた光ピックアップ装置、光学ヘッド装置の製造方法、および光学ヘッド装置の組立て方法の実施の形態例を説明する。この実施の形態例においては、いうまでもなく、本発明は、この実施の形態例に限定されるものではない。   Embodiments of an optical head device according to the present invention, an optical pickup device using the optical head device, a method of manufacturing the optical head device, and a method of assembling the optical head device will be described. Needless to say, in this embodiment, the present invention is not limited to this embodiment.

[光学ヘッド装置および光ピックアップ装置の実施の形態例]
図1は、本発明による光学ヘッド装置1を用いて、選択的に交換配置される光情報媒体2例えば3種のCD、DVD、Blu-ray Discに対して、レーザー光照射を行うことによって記録または/および再生を行う本発明による光ピックアップ装置100の一例の概略構成図を示す。
この光ピックアップ装置100においては、それぞれCD、DVD、Blu-ray Disc による光情報媒体2が交換配置され、これに対する記録・再生を行う。すなわち、CD、DVD、Blu-ray Discに対する記録または/および再生を行う例えば780nm、650nm、405nmのレーザー光L1,L2およびL3を発生するレーザー光源と、これらレーザー光の上述した光情報媒体2からの戻り光を検出するフォトダイオード等の光検出素子とを有する第1、第2および第3のレーザー光の出射および検出部21,22および23を有し、これらから、光情報媒体に対する選択されたレーザー光L1,L2およびL3の各光路に配置される例えばコリメートレンズ31,32および33と、第1および第2の波長選択子34および35と、本発明による光学ヘッド装置1を有して成る。
[Embodiments of Optical Head Device and Optical Pickup Device]
FIG. 1 shows recording by irradiating laser light to an optical information medium 2 selectively exchanged and arranged, for example, three types of CD, DVD, Blu-ray Disc, using an optical head device 1 according to the present invention. 1 shows a schematic configuration diagram of an example of an optical pickup device 100 according to the present invention that performs reproduction.
In this optical pickup device 100, optical information media 2 of CD, DVD, and Blu-ray Disc are respectively exchanged and recording / reproduction is performed. That is, from a laser light source that generates, for example, 780 nm, 650 nm, and 405 nm laser beams L1, L2, and L3 for performing recording or / and reproduction on a CD, DVD, Blu-ray Disc, and the above-described optical information medium 2 of these laser beams. The first, second, and third laser light emission and detection units 21, 22, and 23 having a light detection element such as a photodiode for detecting the return light of the light, and are selected for the optical information medium. For example, collimating lenses 31, 32, and 33 arranged in the optical paths of the laser beams L1, L2, and L3, first and second wavelength selectors 34 and 35, and the optical head device 1 according to the present invention are provided. Become.

この構成において、例えば光情報媒体2がCDである場合、第1のレーザー光の出射および検出部21からの第1のレーザー光L1を、レンズ31によって平行光として、第1および第2の波長選択子34および35を通じ、本発明による光学ヘッド装置1を通じてこの光学ヘッド装置1によって球面収差の補正がなされて、光情報媒体2としてのCDの情報面に集光照射して、その記録ないしは再生を行う。そして、例えば再生時には、CDの情報面の記録情報によって変調された戻り光は、逆の経路を辿ってレーザー光出射および検出部21に入射され、その光量等の検出がなされ記録の再生がなされる。   In this configuration, for example, when the optical information medium 2 is a CD, the first laser light L1 emitted from the first laser light and the first laser light L1 from the detection unit 21 is converted into parallel light by the lens 31, and the first and second wavelengths. Through the selectors 34 and 35, the spherical aberration is corrected by the optical head device 1 through the optical head device 1 according to the present invention, and the information surface of the CD as the optical information medium 2 is condensed and irradiated to record or reproduce it. I do. For example, at the time of reproduction, the return light modulated by the recording information on the information surface of the CD follows the reverse path and enters the laser light emission and detection unit 21 to detect the amount of light and reproduce the recording. The

同様にして、光情報媒体2がDVDである場合は、第2のレーザー光の出射および検出部22から第のレーザー光L2を、レンズ32によって平行光として、第1の波長選択子34によって反射させて第2の波長選択子35を透過し、本発明による光学ヘッド装置1を通じてこの光学ヘッド装置1によって球面収差の補正がなされて、光情報媒体2としてのDVDの情報面に集光照射して、その記録ないしは再生を行う。そして、例えば再生時には、DVDの情報面の記録情報によって変調された戻り光は、逆の経路を辿ってレーザー光出射および検出部22に入射され、その光量等の検出がなされ記録の再生がなされる。   Similarly, when the optical information medium 2 is a DVD, the second laser light is emitted and the first laser light L2 from the detection unit 22 is reflected by the first wavelength selector 34 as parallel light by the lens 32. Then, the light passes through the second wavelength selector 35, and the spherical aberration is corrected by the optical head device 1 through the optical head device 1 according to the present invention, and the information surface of the DVD as the optical information medium 2 is condensed and irradiated. And record or play back. For example, at the time of reproduction, the return light modulated by the recording information on the information surface of the DVD follows the reverse path and is incident on the laser light emission and detection unit 22, and the amount of light is detected to reproduce the recording. The

さらに、光情報媒体2が、Blu-ray Disc(以下BDという)である場合は、第3のレーザー光の出射および検出部23から第3のレーザー光L2を、レンズ33によって平行光として、第2の波長選択子34によって反射させて本発明による光学ヘッド装置1を通じてこの光学ヘッド装置1によって球面収差の補正がなされて、光情報媒体2としてのBDの情報面に集光照射して、その記録ないしは再生を行う。そして、例えば再生時には、BDの情報面の記録情報によって変調された戻り光は、逆の経路を辿ってレーザー光出射および検出部22に入射され、その光量等の検出がなされ記録の再生がなされる。   Further, when the optical information medium 2 is a Blu-ray Disc (hereinafter referred to as BD), the third laser light L2 from the third laser light emission and detection unit 23 is converted into parallel light by the lens 33, and the third laser light L2 is converted into parallel light. The spherical aberration is corrected by the optical head device 1 through the optical head device 1 according to the present invention after being reflected by the wavelength selector 34 of No. 2 and condensed and irradiated on the information surface of the BD as the optical information medium 2. Record or play back. For example, at the time of reproduction, the return light modulated by the recording information on the information surface of the BD follows the reverse path and enters the laser light emission and detection unit 22 to detect the amount of light and reproduce the recording. The

そして、本発明による光学ヘッド装置1は、図2にその概略上面図を示し、図3に概略断面図を示すように、位相補正用の輪帯回折面4Dを有する対物レンズ4と液晶型位相補正素子5とが、互いに同一軸心O−O上に、偏心のないように位置決めされて保持体3に保持されて機械的に一体に固定された構造とされる。   The optical head device 1 according to the present invention is shown in FIG. 2 as a schematic top view, and as shown in FIG. 3 as a schematic cross-sectional view, an objective lens 4 having an annular diffraction surface 4D for phase correction and a liquid crystal phase. The correcting element 5 is positioned on the same axial center OO so as not to be eccentric, and is held by the holding body 3 and mechanically fixed integrally.

対物レンズ4は、図4にその平面図を示し、図5に縦断面図を示すように、図1で示した光情報媒体2に向かうレーザー光の入射面側の形状が、輪帯状回折面4を除き、BDの光学系に対して最適になるように非球面形状によるレンズ曲面4aに設計されている。
すなわち、対物レンズ4のレンズ曲面4aには、位相補正のための輪帯状回折面4Dが形成されている。
対物レンズ4の非球面形状は、上述したように、BDの光学系に対して最適に設計されている。すなわち、この対物レンズ4の非球面形状は、CDおよびDVDの光学系としては、主に球面収差が発生する形状である。
そして、輪帯状の回折面4Dが、上述の非球面形状で発生するCDおよびDVDの光学系としての収差を相殺する位相差を発生させるように設計された形状パターンに形成される。
The objective lens 4 is shown in a plan view in FIG. 4 and a longitudinal sectional view in FIG. 5, and the shape of the incident surface side of the laser light toward the optical information medium 2 shown in FIG. 4 is designed to be a lens curved surface 4a having an aspherical shape so as to be optimal for the BD optical system.
That is, an annular diffractive surface 4D for phase correction is formed on the lens curved surface 4a of the objective lens 4.
As described above, the aspheric shape of the objective lens 4 is optimally designed for the BD optical system. That is, the aspherical shape of the objective lens 4 is a shape in which spherical aberration is mainly generated in the CD and DVD optical systems.
The annular diffractive surface 4D is formed into a shape pattern designed to generate a phase difference that cancels out aberrations as an optical system of the CD and DVD generated in the above-described aspheric shape.

この輪帯状回折面4Dは、BDの光学系には影響を及ぼさないように設計されている。
このようにして、BD、DVD、CDのいずれの光学系に対しても波面収差が所定の値以下となり安定した再生・記録ができる光学ヘッド装置を構成する。
The annular diffraction surface 4D is designed so as not to affect the BD optical system.
In this way, an optical head device is constructed in which the wavefront aberration is below a predetermined value for any of the BD, DVD, and CD optical systems, and stable reproduction / recording is possible.

上述した対物レンズ4の輪帯状回折面4Dの断面形状は、階段状で、光軸O−Oを中心とした同心円状である。
この対物レンズ4は、そのレンズ曲面4aのうち輪帯状回折面4Dが形成されている部分は、図2および図4に破線をもって示すように、その輪帯状回折面4Dの、回折パターンを構成している各段差の稜による回折により光の反射率が異なるため、光軸O−Oを中心とした同心円状のパターンが視認できる。回折面4Dの同心円状のパターンは補正すべき光学系が持つ球面収差によって決まり、通常その輪帯4DRの数は2〜7程度である。
The cross-sectional shape of the annular diffractive surface 4D of the objective lens 4 described above is stepped and concentric with the optical axis OO as the center.
In the objective lens 4, the portion of the lens curved surface 4a where the annular diffractive surface 4D is formed constitutes a diffraction pattern of the annular diffractive surface 4D, as shown by the broken lines in FIGS. Since the reflectance of light differs due to diffraction by the ridges of the respective steps, a concentric pattern centered on the optical axis OO can be visually recognized. The concentric pattern of the diffractive surface 4D is determined by the spherical aberration of the optical system to be corrected, and usually the number of the annular zone 4DR is about 2 to 7.

対物レンズ4は、上述したBD、DVD、CDに対する記録または/および再生に用いられる各波長の光に対して充分高い光透過率を有するガラスまたはプラスチックの成型体によって構成することができる。
すなわち、あらかじめレンズ外形に加工された金型からモールド成型することによって作製することができる。この対物レンズ4における輪帯状回折面4Dは、その転写パターンが形成された金型を用いることによって、レンズの成型と同時に成型することができる。
したがって、この対物レンズ4における輪帯状回折面4Dは、きわめて高い精度をもってレンズの軸心と同心に形成することができる。
The objective lens 4 can be formed of a glass or plastic molded body having a sufficiently high light transmittance with respect to light of each wavelength used for recording or / and reproduction for the above-described BD, DVD, CD.
That is, it can be produced by molding from a mold that has been processed into a lens outer shape in advance. The annular diffractive surface 4D of the objective lens 4 can be molded simultaneously with the molding of the lens by using a mold on which the transfer pattern is formed.
Accordingly, the annular diffractive surface 4D in the objective lens 4 can be formed concentrically with the axis of the lens with extremely high accuracy.

液晶型位相補正素子5は、図6及び図7に、一部を切り欠いた平面図および断面図を示すように、相対向して配置された第1および第2の透明基板6Aおよび6B間に、異方性光学素子としての液晶9が封入された構成を有する。
第1および第2の透明基板6Aおよび6Bは、上述したBD、DVD、CDに対する記録または/および再生に用いられる各波長の光に対して充分高い光透過率を有するガラスあるいはアクリル、ポリカーボネート等のプラスチック基板によって構成される。しかしながら、これら透明基板6Aおよび6Bは、信頼性の高いガラス基板によることが望ましい。
The liquid crystal type phase correction element 5 is formed between the first and second transparent substrates 6A and 6B arranged to face each other, as shown in FIG. 6 and FIG. In addition, the liquid crystal 9 as an anisotropic optical element is enclosed.
The first and second transparent substrates 6A and 6B are made of glass, acrylic, polycarbonate, or the like having a sufficiently high light transmittance with respect to light of each wavelength used for recording or / and reproduction for the above-described BD, DVD, CD. Consists of a plastic substrate. However, it is desirable that the transparent substrates 6A and 6B are made of highly reliable glass substrates.

第1および第2の透明基板6Aおよび6Bの互いの対向面には、それぞれ液晶9に対して所要の電圧分布を与える第1および第2電極7Aおよび7Bが被着形成される。
第1および第2電極7Aおよび7Bは、透明電極層例えばITO(インジウム錫酸化物)による電極層が少なくとも液晶9の介在部に形成される。
第1電極7Aは、液晶9の収容部に全面的に形成され、例えば端子Tが導出されて接地電位GNDとされる。
First and second electrodes 7A and 7B that give a required voltage distribution to the liquid crystal 9 are formed on the opposing surfaces of the first and second transparent substrates 6A and 6B, respectively.
In the first and second electrodes 7A and 7B, a transparent electrode layer, for example, an electrode layer made of ITO (Indium Tin Oxide) is formed at least at an intervening portion of the liquid crystal 9.
The first electrode 7A is formed over the entire surface of the accommodating portion of the liquid crystal 9, and, for example, the terminal T is led out to the ground potential GND.

他方の、第2電極7Bにおいては、全面的に形成された例えばITOによる比較的高抵抗の電極7BH上に、これに比して低抵抗の例えばアルミニウム(Al)金属電極より成る低抵抗のリング状金属電極、図示においては、3本のリング状金属電極7BR1,7BR2,7BR3が、同軸心上に形成されている。そして、例えば中心のリング状電極7BR1と最外周のリング状電極7BR3から共通の端子Tが導出されて所要の同一電圧V1を印加し、これらリング状電極7BR1および7BR2間のリング状電極7B2から端子Tが導出されて、所要の電圧V2を印加する、   On the other hand, in the second electrode 7B, a relatively low resistance ring made of, for example, an aluminum (Al) metal electrode having a relatively low resistance is formed on a relatively high resistance electrode 7BH made of, for example, ITO. In the drawing, three ring-shaped metal electrodes 7BR1, 7BR2, and 7BR3 are formed on the same axis. Then, for example, a common terminal T is derived from the central ring electrode 7BR1 and the outermost ring electrode 7BR3, and the required same voltage V1 is applied, and the terminal from the ring electrode 7B2 between these ring electrodes 7BR1 and 7BR2 T is derived and the required voltage V2 is applied,

この構成による液晶位相補正素子に関する動作を、図8を参照して説明する。今、図8Aに示すように、上述した3本のこのような構成において、図8Aに示す第2電極7Bが、図8Aに示すように、リング状金属電極7BR1および7BR3に対して、上述したように電圧V1を印加し、中間リング状電極7BR2に電圧V1より高い電圧を印加すると、第2電極7Bにおけるリング状電極の中心を通る断面での等価回路は、図8Bとなり、
このときの電圧は、例えば図8Cに示すように、中心を谷として、その外周の中間リング電極7B2位置をピークとする電圧分布が生じる。
このとき、第1電極7A側が接地電位とされていることによって、液晶9に掛かる電圧分布は、図8Dのリング状電圧分布となる。
The operation relating to the liquid crystal phase correcting element having this configuration will be described with reference to FIG. Now, as shown in FIG. 8A, in the above-described three configurations, the second electrode 7B shown in FIG. 8A has been described above with respect to the ring-shaped metal electrodes 7BR1 and 7BR3 as shown in FIG. 8A. Thus, when the voltage V1 is applied and a voltage higher than the voltage V1 is applied to the intermediate ring electrode 7BR2, the equivalent circuit in a cross section passing through the center of the ring electrode in the second electrode 7B becomes FIG.
For example, as shown in FIG. 8C, the voltage at this time has a voltage distribution having a valley at the center and a peak at the position of the intermediate ring electrode 7B2 on the outer periphery.
At this time, since the first electrode 7A side is set to the ground potential, the voltage distribution applied to the liquid crystal 9 becomes the ring-shaped voltage distribution of FIG. 8D.

したがって、この液晶型位相補正素子5に対して、第1の透明基板6Aから光情報記録媒体に向かって入射されるレーザー光は、図8Dに示された電圧分布によって屈折率分布により、入射光の波面が変化される。そして、この入射光の波面の変化は、上述した電圧V1およびV2を変化させることによって、任意の位相補正により、例えば球面収差の補正を行うことができるものである。   Therefore, the laser light incident on the liquid crystal type phase correction element 5 from the first transparent substrate 6A toward the optical information recording medium is incident on the incident light by the refractive index distribution by the voltage distribution shown in FIG. 8D. The wavefront of is changed. The change in the wavefront of the incident light can be corrected, for example, in spherical aberration by arbitrary phase correction by changing the voltages V1 and V2.

そして、本発明においては、図2および図6に示すように、この液晶型位相補正素子5に、対物レンズ4との軸心合わせを行う位置決めマーク8を形成する。
このマーク8は、例えば最内周位置にあるリング状電極7BR1の内側に、この液晶型位相補正素子5の軸心、すなわちリング状電極7B(7BR1,7BR2,7BR3)と同一軸心円上に、例えば3個のマーク素子8eが配置されて構成される。
このマーク8の形成位置は、対物レンズ4との軸心が一致した状態で、対物レンズ4の輪帯状回折面4Dの所定の1つの輪帯4DRと一致する位置に選定される。そして、これらマーク素子8eは、例えば液晶型位相補正素子の軸心に対して等角間隔に配置される。
In the present invention, as shown in FIGS. 2 and 6, the liquid crystal type phase correction element 5 is provided with a positioning mark 8 for axial alignment with the objective lens 4.
This mark 8 is, for example, on the inner side of the ring-shaped electrode 7BR1 at the innermost peripheral position, on the same axis as the axial center of the liquid crystal type phase correcting element 5, that is, the ring-shaped electrode 7B (7BR1, 7BR2, 7BR3). For example, three mark elements 8e are arranged.
The formation position of the mark 8 is selected so as to coincide with one predetermined annular zone 4DR of the annular diffraction surface 4D of the objective lens 4 in a state where the axis center with the objective lens 4 coincides. The mark elements 8e are arranged at equiangular intervals with respect to the axis of the liquid crystal type phase correction element, for example.

そして、これら位置決めマーク8、すなわちそのマーク素子8eは、液晶型位相補正素子5の電極、例えばリング状電極7A2と同一構成材によって構成する。   These positioning marks 8, that is, the mark elements 8e are made of the same material as the electrodes of the liquid crystal type phase correction element 5, for example, the ring-shaped electrode 7A2.

[光学ヘッド装置の製造方法の実施の形態]
本発明による光学ヘッド装置の製造方法の実施の形態例においては、上述した本発明による光学ヘッド装置1を製造するものであり、上述したように、液晶型位相補正素子5の位置決めマーク8、すなわちそのマーク素子8eは、液晶型位相補正素子5の電極、例えばリング状電極7BR(7BR1,7BR2,7BR3)と同一構成材によって構成することから、本発明製造方法においては、このマーク8のマーク素子8eを、液晶型位相補正素子5の電極パターンの形成工程と同時に、すなわちリング状電極7BRの形成と同一工程で、同時に形成する。
このマーク素子8eの形成位置は、前述したように、液晶型位相補正素子5の軸心が、対物レンズ3の軸心と一致した状態で、対物レンズ3の輪帯状回折面4Dの所定の1つの輪帯4DRにマーク素子8eが重なるように、その位置の選定がなされる。
すなわち、この位置決めマーク素子8eの全てを通る円の直径が、所定の1つの輪帯4DRの直径と一致するように選定される。
[Embodiment of Manufacturing Method of Optical Head Device]
In the embodiment of the manufacturing method of the optical head device according to the present invention, the above-described optical head device 1 according to the present invention is manufactured. As described above, the positioning mark 8 of the liquid crystal type phase correction element 5, that is, Since the mark element 8e is made of the same material as the electrode of the liquid crystal type phase correction element 5, for example, the ring electrode 7BR (7BR1, 7BR2, 7BR3), the mark element of the mark 8 is used in the manufacturing method of the present invention. 8e is formed at the same time as the electrode pattern forming step of the liquid crystal type phase correcting element 5, that is, in the same step as the formation of the ring-shaped electrode 7BR.
As described above, the mark element 8e is formed at a predetermined position of the annular diffraction surface 4D of the objective lens 3 in a state where the axis of the liquid crystal type phase correction element 5 coincides with the axis of the objective lens 3. The position is selected so that the mark element 8e overlaps the two annular zones 4DR.
That is, the diameter of the circle passing through all of the positioning mark elements 8e is selected so as to match the diameter of one predetermined annular zone 4DR.

そして、本発明製造方法における上述した電極7A2およびこのマーク8のマーク素子8eの形成は、第1の透明基板6A上に、例えばITOによる高抵抗透明電極7A1を形成して後、この上に、金属電極層例えばAl電極層、例えば蒸着、スパッタ等によって被着形成し、これに対してフォトリソグラフィを用いたパターンエッチングによって、パターン化し、リング状電極7BRと、マーク素子8eとを同時に形成する。
したがって、この方法によれば、実質的に液晶型位相補正素子5の軸心位置が決定されるリング状電極7A2と所定の位置関係をもって、すなわちフォトリソグラフィにおける露光パターンの精度による精度をもって、同軸心的にマーク素子8eが形成される。
The formation of the electrode 7A2 and the mark element 8e of the mark 8 in the manufacturing method of the present invention is performed by forming the high resistance transparent electrode 7A1 made of, for example, ITO on the first transparent substrate 6A, A metal electrode layer, for example, an Al electrode layer, for example, vapor deposition, sputtering, or the like is deposited and patterned by pattern etching using photolithography to form the ring-shaped electrode 7BR and the mark element 8e simultaneously.
Therefore, according to this method, the coaxial core has a predetermined positional relationship with the ring-shaped electrode 7A2 where the axial center position of the liquid crystal type phase correction element 5 is substantially determined, that is, with the accuracy of the exposure pattern accuracy in photolithography. Thus, the mark element 8e is formed.

この精度は、フォトリソグラフィにおけるマスクの加工精度で合わせ込むことが可能であり、通常この位置決め精度は、1μm以内である。
また、位置決めマークの最小の大きさすなわち分解能はマスクと露光波長によって決まり、通常1μm以下である。これは位置決めに必要な精度の幅よりも小さい。したがって、位置決めマークの大きさは、位置決めする際に認識できる程度に大きく、収差や透過率など光学系に悪影響を及ぼさない程度に小さい、例えば数μm〜数十μm程度に設定される。位置決めマーク4の形状は、位置決め精度の要求を満たし、認識できればなんでもよい。図3では例として円形を用いる。位置決めマーク4の材質は、例えばアルミニウムなど位置決めの際認識できるものを用いる。この際、前述した給電用の低抵抗膜12と同じ材質にすれば、新たに工程を増やすことなく位置決めマーク4が任意の位置に形成できる。
This accuracy can be matched with the mask processing accuracy in photolithography, and this positioning accuracy is usually within 1 μm.
The minimum size of the positioning mark, that is, the resolution is determined by the mask and the exposure wavelength, and is usually 1 μm or less. This is smaller than the accuracy range required for positioning. Therefore, the size of the positioning mark is set to be large enough to be recognized when positioning, and small enough not to adversely affect the optical system such as aberration and transmittance, for example, about several μm to several tens μm. The shape of the positioning mark 4 may be anything as long as it satisfies the requirements of positioning accuracy and can be recognized. In FIG. 3, a circle is used as an example. As the material of the positioning mark 4, a material that can be recognized at the time of positioning, such as aluminum, is used. At this time, if the same material as that of the low-resistance film 12 for power feeding described above is used, the positioning mark 4 can be formed at an arbitrary position without newly increasing the number of processes.

[光学ヘッド装置の組立て方法の実施の形態]
上述した光学ヘッド装置の組立て方法は、位置決めマーク8により、対物レンズ4の輪帯状回折面4Dの所定の輪帯4DRを基準として対物レンズ4と液晶型位相補正素子5の軸心を一致させる軸合わせを行って、図2および図3に示すように、共通の保持体3に対して保持させる。
[Embodiment of Assembling Method of Optical Head Device]
The above-described method of assembling the optical head device is such that the positioning mark 8 makes the axis of the objective lens 4 and the liquid crystal type phase correction element 5 coincide with each other with reference to the predetermined annular zone 4DR of the annular zone diffraction surface 4D of the objective lens 4. As shown in FIG. 2 and FIG. 3, alignment is performed and the common holding body 3 is held.

保持体3は、例えば液晶ポリマーなどの軽量で剛性の高い樹脂によって構成される。
この保持体3は、例えば中心部に、円形の開口部10が形成されて成る。この開口部10の直径は、光ピックアップで扱う光学系のうち一番大きなN.A.この例においては、BDのN.A.と同等またはそれ以上に選定される。
そして、対物レンズ4と液晶型位相補正素子5とが、保持体3に、例えばUV接着剤、すなわちUV(紫外線)硬化型の樹脂によって、それぞれ所定位置に固定されて組み立てられる。
The holding body 3 is made of a light and highly rigid resin such as a liquid crystal polymer.
The holding body 3 is formed, for example, by forming a circular opening 10 at the center. The diameter of the opening 10 is the largest N.D. in the optical system handled by the optical pickup. A. In this example, the BD N.D. A. Is selected to be equal to or greater than
Then, the objective lens 4 and the liquid crystal type phase correction element 5 are assembled to the holding body 3 by being fixed at predetermined positions by, for example, a UV adhesive, that is, a UV (ultraviolet) curable resin.

この組立ては、まず、対物レンズ4を、その中心軸と保持体3の開口部10の中心軸とがほぼ一致するように保持体3の開口部10に合致させて固定する。
ここで、保持体3の開口部10の中心軸と対物レンズ4の光軸との位置決め精度は、比較的緩く、保持体3と対物レンズ4の機械加工精度で決まる位置決め精度で十分である。
In this assembly, first, the objective lens 4 is fixed in alignment with the opening 10 of the holding body 3 so that the central axis thereof substantially coincides with the central axis of the opening 10 of the holding body 3.
Here, the positioning accuracy between the central axis of the opening 10 of the holder 3 and the optical axis of the objective lens 4 is relatively loose, and the positioning accuracy determined by the machining accuracy of the holder 3 and the objective lens 4 is sufficient.

次に、液晶型位相補正素子5を対物レンズ4に近接して保持体3に固定する。
この固定にあたり、対物レンズ4と保持体3とを観察して、液晶型位相補正素子5の位置決めマーク8のマーク素子8eの全てが対物レンズ3の所定の1つの輪帯4DRの円上に配置されるように液晶型位相補正素子5の軸心位置の選定を行い、この位置において、液晶型位相補正素子5を保持体3に固定する。
Next, the liquid crystal type phase correction element 5 is fixed to the holding body 3 in the vicinity of the objective lens 4.
For this fixation, the objective lens 4 and the holder 3 are observed, and all the mark elements 8e of the positioning mark 8 of the liquid crystal type phase correction element 5 are arranged on a circle of a predetermined one annular zone 4DR of the objective lens 3. Thus, the axial center position of the liquid crystal type phase correction element 5 is selected, and the liquid crystal type phase correction element 5 is fixed to the holding body 3 at this position.

この組立て手順によって、対物レンズ13の光軸と液晶型位相補正素子5の光軸が同一軸心O−O上に配置されて、光学ヘッド装置1の組み立てがなされる。
この場合、その軸合わせは、高い精度で位置決めでき、例えば有効径3mmの場合で±20μm以内に偏心を抑制できる。
したがって、光学性能を劣化させることなくBDの球面収差を補正できる。
なお、位置決め精度は、対物レンズ3の光軸に対する輪帯状回折パターン、すなわち輪帯4DRパターンの精度、輪帯4DRの幅、液晶型位相補正素子の位置決めマーク8の大きさによって決まるが、数μm〜10μm程度であり、これは必要とされる位置決め精度より小さい。
By this assembly procedure, the optical axis of the objective lens 13 and the optical axis of the liquid crystal type phase correction element 5 are arranged on the same axis OO, and the optical head device 1 is assembled.
In this case, the axis alignment can be positioned with high accuracy. For example, when the effective diameter is 3 mm, the eccentricity can be suppressed within ± 20 μm.
Therefore, the spherical aberration of the BD can be corrected without degrading the optical performance.
The positioning accuracy is determined by the annular diffraction pattern with respect to the optical axis of the objective lens 3, that is, the accuracy of the annular zone 4DR pattern, the width of the annular zone 4DR, and the size of the positioning mark 8 of the liquid crystal type phase correction element. This is about 10 μm, which is smaller than the required positioning accuracy.

なお、上述した例では、保持体3に、まず、対物レンズ3を固定し、これに対して液晶型位相補正素子5の固定を行った場合であるが、液晶型位相補正素子5を保持体3に固定し、その後、対物レンズ3を固定する手順によることもできる。   In the above-described example, the objective lens 3 is first fixed to the holder 3 and the liquid crystal type phase correction element 5 is fixed thereto. However, the liquid crystal type phase correction element 5 is fixed to the holder. 3 and then the procedure of fixing the objective lens 3 can be performed.

なお、本発明による光学ヘッド装置、光ピックアップ装置、光学ヘッド装置の製造方法、および光学ヘッド装置の組立て方法において、上述した例に限定されるものではなく、例えば保持体3の形状、位置決めマークの形状、個数等種々の変更を行うことができる。
また、その液晶型位相補正素子における電極配置、形状、印加電圧の制御によって任意の位相補正を行うことができる。
The optical head device, the optical pickup device, the optical head device manufacturing method, and the optical head device assembly method according to the present invention are not limited to the above-described examples. Various changes such as shape and number can be made.
Further, arbitrary phase correction can be performed by controlling the electrode arrangement, shape, and applied voltage in the liquid crystal type phase correction element.

上述したように、本発明によれば、対物レンズ3と液晶型位相補正素子5との軸合わせを、対物レンズ3の輪帯状回折面4Dを構成する輪帯4DR自体を基準として行うことから、対物レンズに軸合わせのマークを設ける場合の誤差の発生が回避され、更に、このマークを形成するための製造工程数の増加や、部品点数の増加を回避できる。   As described above, according to the present invention, since the axis alignment of the objective lens 3 and the liquid crystal type phase correction element 5 is performed with reference to the annular zone 4DR that constitutes the annular diffraction surface 4D of the objective lens 3, Generation of an error when an alignment mark is provided on the objective lens is avoided, and an increase in the number of manufacturing steps and an increase in the number of parts for forming this mark can be avoided.

また、軸合わせの位置決めマーク8は、電極7Aの構成材と同一材によって構成することから、特段のマークを構成する材料の付加、部品の増加等を回避できる。
そして、この液晶型位相補正素子5に対する位置決めマーク8は、液晶型位相補正素子5の軸心に対し同心円上に配置した複数個のマーク素子によって構成し、この複数のマーク素子8eを、対物レンズ3の上述した軸合わせのいわば基準となる輪帯4DRとあわせることによって相互の軸心合わせを行うことから、その軸合わせは、高精度をもって、確実に正確に行うことができる。
Further, since the alignment mark 8 for alignment is made of the same material as that of the electrode 7A, it is possible to avoid the addition of a material constituting a special mark, an increase in parts, and the like.
The positioning mark 8 for the liquid crystal type phase correcting element 5 is constituted by a plurality of mark elements arranged concentrically with respect to the axis of the liquid crystal type phase correcting element 5, and the plurality of mark elements 8 e are used as the objective lens. 3. Since the axis alignment is performed by matching with the annular zone 4DR, which is the so-called reference of the above-described axis alignment 3, the axis alignment can be performed accurately with high accuracy.

また、本発明による光学ヘッド装置の製造方法においては、対物レンズ4にはなんら特段の軸合わせの位置決めマークを設けることなく、液晶型位相補正素子5についてのみ、その電極パターンの形成と同時に形成することから光学ヘッド装置の製造工程数を増加させることがない。   Further, in the method of manufacturing an optical head device according to the present invention, the objective lens 4 is not provided with any special alignment mark, and only the liquid crystal type phase correction element 5 is formed simultaneously with the formation of the electrode pattern. Therefore, the number of manufacturing steps of the optical head device is not increased.

また、本発明による光学ヘッド装置の組立て方法においては、共通の保持体3に、対物レンズと液晶型位相補正素子とを同一軸心上に配置された関係をもって組み立てるに当たり、対物レンズ3もしくは液晶型位相補正素子5の一方を、保持体3に保持させ、その後、この保持体3に保持された対物レンズ4もしくは液晶型位相補正素子5に対して軸合わせを行って他方の液晶型位相補正素子5もしくは対物レンズ4を保持させるものであるが、このとき、両者の位置合わせを対物レンズ4の輪帯状回折面4Dの輪帯に対してすなわちリングに対して液晶型位相補正素子5のマーク8を一致させることから、その軸合わせは、容易にかつ正確に行うことができる。   In the method of assembling the optical head device according to the present invention, when assembling the objective lens 3 and the liquid crystal type phase correcting element on the same axis on the common holder 3, the objective lens 3 or the liquid crystal type is assembled. One of the phase correction elements 5 is held by the holding body 3, and then the axis of the objective lens 4 or the liquid crystal type phase correction element 5 held by the holding body 3 is aligned to provide the other liquid crystal type phase correction element. 5 or the objective lens 4 is held. At this time, the mark 8 of the liquid crystal type phase correction element 5 is aligned with respect to the annular zone of the annular diffraction surface 4D of the objective lens 4, ie, the ring. Therefore, the axis alignment can be performed easily and accurately.

すなわち、本発明による光学ヘッド装置、これを用いた光ピックアップ装置、更に光学ヘッド装置の製造方法、および光学ヘッド装置の組立て方法によれば、正確に対物レンズの中心軸、すなわち位相補正用の輪帯状回折面の輪帯の中心軸と、液晶型位相補正素子の中心軸とを一致させることができることから、複数の波長に対して、例えばBD、DVD、CDのそれぞれに対して高い精度をもって各収差、殊にコマ収差の発生を回避した光学ヘッド装置を構成することができ、更に、その製造の簡易化から、生産性の向上を図ることができるなどおおきな利益をもたらすものである。   That is, according to the optical head device of the present invention, the optical pickup device using the optical head device, the method of manufacturing the optical head device, and the method of assembling the optical head device, the center axis of the objective lens, that is, the phase correction wheel Since the center axis of the ring zone of the band-shaped diffractive surface and the center axis of the liquid crystal type phase correction element can be made to coincide with each other with high accuracy for each of a plurality of wavelengths, for example, BD, DVD, and CD. It is possible to construct an optical head device that avoids the occurrence of aberrations, particularly coma, and further brings about significant benefits such as simplification of manufacturing and improvement of productivity.

本発明による光学ヘッド装置を適用した光ピックアップ装置の一例の構成図である。It is a block diagram of an example of the optical pick-up apparatus to which the optical head apparatus by this invention is applied. 本発明による光学ヘッド装置の一例の概略平面図である。It is a schematic plan view of an example of the optical head apparatus by this invention. 本発明による光学ヘッド装置の一例の概略断面図である。It is a schematic sectional drawing of an example of the optical head apparatus by this invention. 本発明による光学ヘッド装置の対物レンズの一例の概略平面図である。It is a schematic plan view of an example of the objective lens of the optical head device according to the present invention. 本発明による光学ヘッド装置の対物レンズの一例の概略断面図である。It is a schematic sectional drawing of an example of the objective lens of the optical head apparatus by this invention. 本発明による光学ヘッド装置の液晶型位相補正素子の一例の一部を切欠いた概略平面図である。FIG. 3 is a schematic plan view of a part of an example of a liquid crystal type phase correction element of the optical head device according to the present invention. 本発明による光学ヘッド装置の液晶型位相補正素子の一例の概略断面図である。It is a schematic sectional drawing of an example of the liquid crystal type | mold phase correction element of the optical head apparatus by this invention. A図は、本発明で用いる液晶型位相補正素子の一例の第2電極の配置パターン図、B図は、その直径方向に関する等価回路図、C図は、その電圧分布図、図Dは、液晶の電圧分布である。FIG. 4A is an arrangement pattern diagram of second electrodes of an example of a liquid crystal type phase correction element used in the present invention, FIG. B is an equivalent circuit diagram in the diameter direction, FIG. C is a voltage distribution diagram, and FIG. Voltage distribution.

符号の説明Explanation of symbols

1・・・光学ヘッド装置、2・・・光情報媒体、3・・・保持体、4・・・対物レンズ、4D・・・輪帯状回折面、4a・・・レンズ曲面、4DR・・・輪帯、5・・・液晶型位相補正素子、6A・・・第1の透明基板、6B・・・第2の透明基板、7A・・・第1電極、7B・・・第2電極、7BR(7BR1、7BR2,7BR3)・・・リング状電極、8・・・位置決めマーク、8e・・・マーク素子、9・・・液晶、10・・・開口部、21・・・第1のレーザー光の出射および検出部、22・・・第2のレーザー光の出射および検出部、23・・・レーザー光の出射および検出部、31〜33・・・コリメートレンズ、34,35・・・波長選択子、L1〜L3・・・レーザー光   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Optical head apparatus, 2 ... Optical information medium, 3 ... Holding body, 4 ... Objective lens, 4D ... Ring-shaped diffraction surface, 4a ... Lens curved surface, 4DR ... Ring zone, 5 ... liquid crystal type phase correction element, 6A ... first transparent substrate, 6B ... second transparent substrate, 7A ... first electrode, 7B ... second electrode, 7BR (7BR1, 7BR2, 7BR3) ... ring electrode, 8 ... positioning mark, 8e ... mark element, 9 ... liquid crystal, 10 ... opening, 21 ... first laser beam , Second laser light emission and detection unit, 23 ... laser light emission and detection unit, 31-33 ... collimating lens, 34, 35 ... wavelength selection Child, L1-L3 ... Laser light

Claims (12)

位相補正用の輪帯状回折面を有する対物レンズと液晶型位相補正素子とが同軸心上に配置された光学系を有し、該光学系により光源からの光を光情報媒体に集光する光学ヘッド装置であって、
該液晶型位相補正素子の軸心と上記対物レンズの輪帯状回折面の輪帯の軸心とが一致した状態で、上記対物レンズの輪帯状回折面の輪帯を基準として位置決めがなされる位置決めマークが上記液晶型位相補正素子に形成されて成ることを特徴とする光学ヘッド装置。
An optical system having an optical system in which an objective lens having an annular diffractive surface for phase correction and a liquid crystal type phase correction element are arranged on the same axis, and condensing light from a light source onto an optical information medium by the optical system A head device,
Positioning that is performed with reference to the annular zone of the annular diffractive surface of the objective lens in a state where the axial center of the liquid crystal type phase correction element and the axial center of the annular diffractive surface of the objective lens coincide with each other. An optical head device, wherein a mark is formed on the liquid crystal type phase correcting element.
上記位置決めマークが、上記液晶型位相補正素子の電極の構成材と同一構成材によって形成されて成ることを特徴とする請求項1に記載の光学ヘッド装置。   2. The optical head device according to claim 1, wherein the positioning mark is formed of the same constituent material as that of the electrode of the liquid crystal type phase correction element. 上記位置決めマークが、上記液晶型位相補正素子の軸心を中心とする同一円周上に配置された複数個のマーク素子より成ることを特徴とする請求項1に記載の光学ヘッド装置。   2. The optical head device according to claim 1, wherein the positioning mark comprises a plurality of mark elements arranged on the same circumference centered on the axis of the liquid crystal type phase correction element. 位相補正用の輪帯状回折面を有する対物レンズと液晶型位相補正素子とが同軸心上に配置された光学系を有し、該光学系により光源からの光を光情報媒体に集光する光学ヘッド装置を具備する光ピックアップ装置であって、
上記光学ヘッド装置が、上記液晶型位相補正素子の軸心と上記対物レンズの輪帯状回折面の輪帯の軸心とを一致した状態で、上記対物レンズの輪帯状回折面の輪帯を基準として位置決めがなされる位置決めマークが上記液晶型位相補正素子に形成されて成ることを特徴とする光ピックアップ装置。
An optical system having an optical system in which an objective lens having an annular diffractive surface for phase correction and a liquid crystal type phase correction element are arranged on the same axis and condensing light from a light source onto an optical information medium by the optical system An optical pickup device comprising a head device,
The optical head device is based on the annular zone of the annular diffractive surface of the objective lens in a state where the axial center of the liquid crystal type phase correcting element and the axial center of the annular diffractive surface of the objective lens coincide with each other. An optical pickup device comprising a positioning mark for positioning as formed on the liquid crystal phase correction element.
上記位置決めマークが、上記液晶型位相補正素子の電極の構成材と同一構成材によって形成されて成ることを特徴とする請求項4に記載の光ピックアップ装置。   5. The optical pickup device according to claim 4, wherein the positioning mark is formed of the same constituent material as that of the electrode of the liquid crystal type phase correction element. 上記位置決めマークが、上記液晶型位相補正素子の軸心を中心とする同一円周上に配置された複数個のマーク素子より成ることを特徴とする請求項4に記載の光ピックアップ装置。   5. The optical pickup device according to claim 4, wherein the positioning mark comprises a plurality of mark elements arranged on the same circumference centering on the axis of the liquid crystal type phase correcting element. 位相補正用の輪帯状回折面を有する対物レンズと液晶型位相補正素子とが同軸心上に配置された光学系を有し、該光学系により光源からの光を光情報媒体に集光する光学ヘッド装置の製造方法であって、
上記液晶型位相補正素子の電極パターンの形成工程において、該電極パターンの形成と同時に、上記対物レンズの輪帯状回折面の輪帯を基準として該対物レンズの軸心と上記液晶型位相補正素子の軸心とを一致させる位置決めマークを上記液晶型位相補正素子に形成することを特徴とする光学ヘッド装置の製造方法。
An optical system having an optical system in which an objective lens having an annular diffractive surface for phase correction and a liquid crystal type phase correction element are arranged on the same axis, and condensing light from a light source onto an optical information medium by the optical system A method of manufacturing a head device,
In the step of forming the electrode pattern of the liquid crystal type phase correction element, simultaneously with the formation of the electrode pattern, the axis of the objective lens and the liquid crystal type phase correction element of the liquid crystal type phase correction element A method of manufacturing an optical head device, comprising: forming a positioning mark on the liquid crystal type phase correction element so as to coincide with an axis.
上記位置決めマークが、上記液晶型位相補正素子の軸心を中心とする同一円周上に配置された複数個のマーク素子より成ることを特徴とする請求項7に記載の光学ヘッド装置の製造方法。   8. The method of manufacturing an optical head device according to claim 7, wherein the positioning mark comprises a plurality of mark elements arranged on the same circumference centered on the axis of the liquid crystal type phase correcting element. . 位相補正用の輪帯状回折面を有する対物レンズと液晶型位相補正素子とが同軸心上に配置された光学系を有し、該光学系により光源からの光を光情報媒体に集光する光学ヘッド装置の組立て方法であって、
上記液晶型位相補正素子に、該液晶型位相補正素子の軸心と同一軸心上に配置された位置決めマークを設け、
該位置決めマークにより、上記対物レンズの輪帯状回折面の所定の輪帯を基準として上記対物レンズの軸心と上記液晶型位相補正素子の軸心とを一致させる軸合わせを行って、共通の保持体に対して保持させることを特徴とする光学ヘッド装置の組立て方法。
An optical system having an optical system in which an objective lens having an annular diffractive surface for phase correction and a liquid crystal type phase correction element are arranged on the same axis, and condensing light from a light source onto an optical information medium by the optical system A method of assembling the head device,
The liquid crystal type phase correction element is provided with a positioning mark arranged on the same axis as the axis of the liquid crystal type phase correction element,
With this positioning mark, the axis of the objective lens and the axis of the liquid crystal type phase correction element are aligned with respect to a predetermined annular zone of the annular diffractive surface of the objective lens, and a common holding is performed. An assembly method of an optical head device, wherein the optical head device is held against a body.
上記保持体に対する上記対物レンズおよび上記液晶型位相補正素子の保持に当たり、上記保持体に、上記対物レンズおよび上記液晶型位相補正素子のいずれか一方を保持し、その後、該対物レンズおよび液晶型位相補正素子に対し、他方の上記液晶型位相補正素子および対物レンズを、上記液晶型位相補正素子に設けた位置決めマークによって、上記軸心の軸合わせを行って、該他方の上記液晶型位相補正素子および対物レンズを上記保持体に保持させることを特徴とする請求項9に記載の光学ヘッド装置の組立て方法。   In holding the objective lens and the liquid crystal type phase correcting element with respect to the holding body, the holding body holds either the objective lens or the liquid crystal type phase correcting element, and then the objective lens and the liquid crystal type phase correcting element. The other liquid crystal type phase correcting element is aligned with the other liquid crystal type phase correcting element and the objective lens by a positioning mark provided on the liquid crystal type phase correcting element. The method of assembling the optical head device according to claim 9, wherein the holding lens is held by the holding body. 上記位置決めマークが、上記液晶型位相補正素子の電極の構成材と同一構成材によって形成されて成ることを特徴とする請求項9に記載の光学ヘッド装置の組立て方法。   10. The method of assembling an optical head device according to claim 9, wherein the positioning mark is formed of the same constituent material as that of the electrode of the liquid crystal type phase correction element. 上記位置決めマークが、上記液晶型位相補正素子の軸心を中心とする同一円周上に配置された複数個のマーク素子より成ることを特徴とする請求項9に記載の光学ヘッド装置の組立て方法。   10. The method of assembling an optical head device according to claim 9, wherein the positioning mark comprises a plurality of mark elements arranged on the same circumference centering on the axis of the liquid crystal type phase correcting element. .
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