JP2005345076A - Cooling device - Google Patents
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Description
本発明は、冷却装置に関し、特に、冷却媒体である冷却水の導電率の制御対策に係るものである。 The present invention relates to a cooling device, and particularly relates to measures for controlling the conductivity of cooling water that is a cooling medium.
従来より、純水などの冷却水を循環させて半導体装置などの被冷却物を冷却する冷却装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。 2. Description of the Related Art Conventionally, a cooling device that cools an object to be cooled such as a semiconductor device by circulating cooling water such as pure water is known (for example, see Patent Document 1).
上記特許文献１の冷却装置は、循環ポンプ、熱交換器、被冷却物である半導体装置が順次接続されてなる閉回路を備えている。この閉回路では、循環ポンプによって送り出された純水が熱交換器で冷却される。この冷却された純水は、半導体装置へ供給されて該半導体装置を冷却し、再び循環ポンプに戻る。 The cooling device of Patent Document 1 includes a closed circuit in which a circulation pump, a heat exchanger, and a semiconductor device that is an object to be cooled are sequentially connected. In this closed circuit, the pure water sent out by the circulation pump is cooled by the heat exchanger. The cooled pure water is supplied to the semiconductor device, cools the semiconductor device, and returns to the circulation pump again.
ところで、上記冷却装置には、純水の導電度を維持するためのイオン交換器が設けられている。具体的に、このイオン交換器は、熱交換器の下流側の配管から分岐して循環ポンプの戻り側の配管に接続される分岐配管に配設されている。つまり、このイオン交換器は、半導体装置と並列に設けられている。また、上記分岐配管には、イオン交換器の上流に流量調整バルブが設けられている。そして、この冷却装置では、熱交換器で冷却された純水の一部を常時イオン交換器へ供給すると共に残りを半導体装置へ供給し、純水の導電度を維持している。
しかしながら、上述した従来の冷却装置においては、イオン交換器を純水が常時流れるので、該イオン交換器の寿命が著しく短くなるという問題があった。そこで、この問題の対応策として、例えば、純水の導電度が許容値を超えたときにイオン交換器へ純水を流すか、また間欠的にイオン交換器へ純水を流すことが考えられる。これにより、イオン交換器の劣化を抑制しつつ、純水の導電度を許容値内で維持する。 However, in the above-described conventional cooling device, since pure water always flows through the ion exchanger, there is a problem that the life of the ion exchanger is remarkably shortened. Therefore, as a countermeasure for this problem, for example, it is conceivable to flow pure water to the ion exchanger when the conductivity of pure water exceeds an allowable value, or to flow pure water to the ion exchanger intermittently. . Thereby, the conductivity of pure water is maintained within an allowable value while suppressing deterioration of the ion exchanger.
ところが、上述した考えでは、分岐配管（イオン交換器）の純水の流量が変動するので、半導体装置（被冷却物）への純水の供給量が変動してしまう。これにより、半導体装置を冷却した後の純水の温度が安定しなくなり、その温度制御が困難になるという問題が生じる。 However, in the above-described idea, since the flow rate of pure water in the branch pipe (ion exchanger) varies, the supply amount of pure water to the semiconductor device (object to be cooled) varies. Thereby, the temperature of the pure water after cooling a semiconductor device becomes unstable, and the problem that the temperature control becomes difficult arises.
本発明は、斯かる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、被冷却物への冷却水の供給量を変動させることなく、またイオン交換器の劣化を抑制しつつ、冷却水の導電率を制御することである。 The present invention has been made in view of such points, and the object of the present invention is to change the amount of cooling water supplied to the object to be cooled, while suppressing deterioration of the ion exchanger, Controlling the conductivity of the cooling water.
具体的に、第１の発明は、冷却熱交換器（25）を備えて冷却水が流れる冷却回路（20）と、冷却水のイオン交換装置（34）を有し、上記冷却回路（20）の被冷却物へ向かって流れる冷却水の一部が被冷却物をバイパスする分岐回路（30）とを備えた冷却装置を前提としている。そして、上記分岐回路（30）は、イオン交換装置（34）が配設されるイオン交換通路（32）と、該イオン交換通路（32）と並列に設けられるバイパス通路（33）と、冷却水の導電率に基づいてイオン交換通路（32）とバイパス通路（33）との冷却水の流量を調整する流量調整手段（35）とを備えている。 Specifically, the first invention includes a cooling circuit (20) including a cooling heat exchanger (25) through which cooling water flows, and an ion exchange device (34) for cooling water, and the cooling circuit (20). The cooling device is provided with a branch circuit (30) in which a part of the cooling water flowing toward the object to be cooled bypasses the object to be cooled. The branch circuit (30) includes an ion exchange passage (32) in which the ion exchange device (34) is disposed, a bypass passage (33) provided in parallel with the ion exchange passage (32), and cooling water. And a flow rate adjusting means (35) for adjusting the flow rate of the cooling water in the ion exchange passage (32) and the bypass passage (33) on the basis of the electrical conductivity.
上記の発明では、冷却回路（20）を循環する冷却水の一部が分岐回路（30）に分岐して流れ、被冷却物をバイパスして循環する。上記分岐回路（30）に流れた冷却水は、該冷却水の導電率に基づいてイオン交換通路（32）およびバイパス通路（33）の少なくとも何れか一方に流れる。 In said invention, a part of cooling water which circulates through a cooling circuit (20) branches and flows into a branch circuit (30), bypasses a to-be-cooled object, and circulates. The cooling water that has flowed into the branch circuit (30) flows into at least one of the ion exchange passage (32) and the bypass passage (33) based on the conductivity of the cooling water.
具体的に、例えば、冷却水の導電率が低い場合（つまり、電気的絶縁性が高い場合）、イオン交換装置（34）で冷却水から導電性イオンを除去する処理（以下、イオン交換処理という。）を行う必要がないため、分岐回路（30）に流れた冷却水の全量がバイパス通路（33）に流れるように流量調整手段（35）によって流量調整される。または、上記分岐回路（30）に流れた冷却水の大半がバイパス通路（33）へ流れ、残りの少量の冷却水がイオン交換通路（32）へ流れるように流量調整手段（35）によって冷却水が分配される。一方、冷却水の導電率が高くなると（つまり、電気的絶縁性が低くなると）、分岐回路（30）に流れた冷却水の全量がイオン交換装置（34）に流れるように流量調整手段（35）によって流量調整される。このイオン交換通路（32）に流れた冷却水は、イオン交換装置（34）でイオン交換処理され、導電率が低下する。 Specifically, for example, when the conductivity of the cooling water is low (that is, when the electrical insulation is high), the ion exchange device (34) removes conductive ions from the cooling water (hereinafter referred to as ion exchange treatment). .)), The flow rate is adjusted by the flow rate adjusting means (35) so that the entire amount of the cooling water flowing to the branch circuit (30) flows to the bypass passage (33). Alternatively, the flow rate adjusting means (35) allows the cooling water that has flowed to the branch circuit (30) to flow to the bypass passage (33) and the remaining small amount of cooling water to the ion exchange passage (32). Is distributed. On the other hand, when the conductivity of the cooling water is high (that is, when the electrical insulation is low), the flow rate adjusting means (35) so that the entire amount of the cooling water flowing to the branch circuit (30) flows to the ion exchange device (34). ) To adjust the flow rate. The cooling water that has flowed into the ion exchange passage (32) is subjected to an ion exchange treatment by the ion exchange device (34), and the conductivity is lowered.
このように、分岐回路（30）に流れた冷却水はイオン交換通路（32）およびバイパス通路（33）の少なくとも何れか一方の通路を流れて循環する。つまり、冷却水のイオン交換処理を行うか否かに拘わらず、イオン交換通路（32）の冷却水の流量とバイパス通路（33）の冷却水の流量との合計流量は常時一定である。したがって、上記分岐回路（30）には常時一定流量の冷却水が分岐して流れることになり、被冷却物へ供給される冷却水の流量も常時一定となる。これにより、被冷却物への冷却水の循環量を変動させることなく、冷却水の導電率が調整される。 In this way, the cooling water that has flowed into the branch circuit (30) flows and circulates through at least one of the ion exchange passage (32) and the bypass passage (33). That is, the total flow rate of the cooling water flow rate in the ion exchange passage (32) and the cooling water flow rate in the bypass passage (33) is always constant regardless of whether or not the ion exchange treatment of the cooling water is performed. Accordingly, a constant flow rate of cooling water always branches and flows in the branch circuit (30), and the flow rate of the cooling water supplied to the object to be cooled is always constant. Thereby, the electrical conductivity of the cooling water is adjusted without changing the circulation amount of the cooling water to the object to be cooled.
また、冷却水の導電率に応じてイオン交換装置（34）への冷却水の流通量が調整されるので、イオン交換装置（34）へ冷却水が常時大量に流れることはなく、イオン交換装置（34）の劣化が抑制される。 In addition, since the circulation amount of the cooling water to the ion exchange device (34) is adjusted according to the conductivity of the cooling water, a large amount of cooling water does not always flow to the ion exchange device (34). Degradation of (34) is suppressed.
また、冷却水の導電率が低い場合においても、イオン交換通路（32）へ少量の冷却水が流れることにより、イオン交換装置（34）が一定温度に維持される。これにより、冷却水の導電率が高い場合において、イオン交換装置（34）を流れる冷却水の温度変動が抑制される。したがって、高精度な冷却水の温度制御が行われる。 In addition, even when the conductivity of the cooling water is low, a small amount of cooling water flows into the ion exchange passageway (32), so that the ion exchange device (34) is maintained at a constant temperature. Thereby, when the electrical conductivity of cooling water is high, the temperature fluctuation of the cooling water flowing through the ion exchange device (34) is suppressed. Therefore, highly accurate temperature control of the cooling water is performed.
また、第２の発明は、上記第１の発明において、冷却水の導電率が所定値未満の場合、上記イオン交換通路（32）を閉状態とし且つバイパス通路（33）を開状態とする第１循環と、冷却水の導電率が所定値以上の場合、イオン交換通路（32）を開状態とし且つバイパス通路（33）を閉状態とする第２循環とに切り換えるように流量調整手段（35）を制御する切換手段（51）を備えている。 According to a second invention, in the first invention, when the conductivity of the cooling water is less than a predetermined value, the ion exchange passage (32) is closed and the bypass passage (33) is opened. When the conductivity of the cooling water is equal to or greater than a predetermined value, the flow rate adjusting means (35) is switched to the second circulation in which the ion exchange passage (32) is opened and the bypass passage (33) is closed. Is provided with switching means (51) for controlling.
上記の発明では、冷却水の導電率が所定値未満か所定値以上かにより、分岐回路（30）に流れた冷却水の全量がイオン交換通路（32）およびバイパス通路（33）の何れか一方に流れる。したがって、被冷却物への冷却水の循環量を変動させることなく、冷却水の導電率が確実に調整される。 In the above invention, depending on whether the conductivity of the cooling water is less than the predetermined value or more than the predetermined value, the total amount of the cooling water flowing into the branch circuit (30) is either the ion exchange passage (32) or the bypass passage (33). Flowing into. Therefore, the conductivity of the cooling water is reliably adjusted without changing the circulation amount of the cooling water to the object to be cooled.
また、第３の発明は、上記第１の発明において、冷却水の導電率が所定値未満の場合、イオン交換通路（32）の冷却水の流量よりバイパス通路（33）の冷却水の流量が多くなるように分配する第１循環と、冷却水の導電率が所定値以上の場合、イオン交換通路（32）を開状態とし且つバイパス通路（33）を閉状態とする第２循環とに切り換えるように流量調整手段（35）を制御する切換手段（51）を備えている。 Further, according to a third aspect, in the first aspect, when the cooling water conductivity is less than a predetermined value, the flow rate of the cooling water in the bypass passage (33) is lower than the flow rate of the cooling water in the ion exchange passage (32). When the conductivity of the cooling water is greater than or equal to a predetermined value, the first circulation is distributed so as to increase, and the second circulation is switched to open the ion exchange passage (32) and close the bypass passage (33). Thus, the switching means (51) for controlling the flow rate adjusting means (35) is provided.
上記の発明では、冷却水の導電率が所定値未満の場合でも、常時イオン交換通路（32）にも冷却水が流れるので、イオン交換装置（34）が一定温度に維持される。したがって、第２循環時において、イオン交換通路（32）を流れる冷却水の温度変動が確実に抑制される。また、第１循環時において、イオン交換通路（32）の冷却水の流量を少量としているので、イオン交換装置（34）をそれほど劣化させることはない。 In the above invention, since the cooling water always flows through the ion exchange passage (32) even when the conductivity of the cooling water is less than the predetermined value, the ion exchange device (34) is maintained at a constant temperature. Therefore, the temperature fluctuation of the cooling water flowing through the ion exchange passage (32) is reliably suppressed during the second circulation. Moreover, since the flow rate of the cooling water in the ion exchange passage (32) is small during the first circulation, the ion exchange device (34) is not deteriorated so much.
また、第４の発明は、上記第１の発明において、冷却水の導電率が所定値未満の場合、少なくともイオン交換通路（32）へ冷却水が間欠的に流れるように分配する第１循環と、冷却水の導電率が所定値以上の場合、イオン交換通路（32）を開状態とし且つバイパス通路（33）を閉状態とする第２循環とに切り換えるように流量調整手段（35）を制御する切換手段（51）を備えている。 According to a fourth aspect of the present invention, in the first aspect, when the conductivity of the cooling water is less than a predetermined value, the first circulation distributes the cooling water so that it flows intermittently to at least the ion exchange passage (32). The flow rate adjusting means (35) is controlled to switch to the second circulation in which the ion exchange passage (32) is opened and the bypass passage (33) is closed when the conductivity of the cooling water is equal to or higher than a predetermined value. The switching means (51) to perform is provided.
上記の発明では、冷却水の導電率が所定値未満の場合、例えば、分岐回路（30）に流れた冷却水の全量がイオン交換通路（32）とバイパス通路（33）とに交互に流れる。または、上記分岐回路（30）に流れた冷却水の大半がバイパス通路（33）へ流れ且つ残りの少量の冷却水がイオン交換通路（32）へ流れる状態と、分岐回路（30）に流れた冷却水の全量がバイパス通路（33）へ流れる状態とが交互に繰り返される。これにより、イオン交換装置（34）の劣化を早めることなく、イオン交換装置（34）が一定温度に維持される。 In the above invention, when the conductivity of the cooling water is less than a predetermined value, for example, the entire amount of the cooling water that has flowed into the branch circuit (30) flows alternately into the ion exchange passage (32) and the bypass passage (33). Alternatively, most of the cooling water flowing to the branch circuit (30) flows to the bypass passage (33) and the remaining small amount of cooling water flows to the ion exchange passage (32) and to the branch circuit (30). The state in which the entire amount of cooling water flows to the bypass passage (33) is alternately repeated. Thereby, the ion exchange device (34) is maintained at a constant temperature without accelerating the deterioration of the ion exchange device (34).
また、第５の発明は、上記第３の発明において、上記切換手段（51）が第１循環時にイオン交換装置（34）の温度に基づいてイオン交換通路（32）とバイパス通路（33）との冷却水の流量を調節するように流量調整手段（35）を制御する。 According to a fifth aspect of the present invention, in the third aspect, the switching means (51) is configured such that the ion exchange passage (32), the bypass passage (33), and the like are based on the temperature of the ion exchange device (34) during the first circulation. The flow rate adjusting means (35) is controlled so as to adjust the flow rate of the cooling water.
上記の発明では、例えば、イオン交換装置（34）の温度が高くなると、イオン交換通路（32）の冷却水の流量を増大させるように切換手段（51）が流量調整手段（35）を制御する。これにより、イオン交換装置（34）は、冷却水によってより冷却されて温度が低下する。逆に、上記イオン交換装置（34）の温度が低い場合は、イオン交換通路（32）の冷却水の流量を維持、または減少させるように切換手段（51）が流量調整手段（35）を制御する。このように、イオン交換装置（34）の温度が確実に制御される。 In the above invention, for example, when the temperature of the ion exchange device (34) increases, the switching means (51) controls the flow rate adjusting means (35) so as to increase the flow rate of the cooling water in the ion exchange passageway (32). . Thereby, the ion exchange device (34) is further cooled by the cooling water, and the temperature is lowered. Conversely, when the temperature of the ion exchange device (34) is low, the switching means (51) controls the flow rate adjusting means (35) so as to maintain or decrease the flow rate of the cooling water in the ion exchange passageway (32). To do. In this way, the temperature of the ion exchange device (34) is reliably controlled.
また、第６の発明は、上記第４の発明において、上記切換手段（51）が第１循環時にイオン交換装置（34）の温度に基づいて冷却水が間欠的に流れる時間を調節する。 According to a sixth aspect, in the fourth aspect, the switching means (51) adjusts the time during which the cooling water flows intermittently based on the temperature of the ion exchanger (34) during the first circulation.
上記の発明では、例えば、イオン交換装置（34）の温度が高くなると、イオン交換通路（32）へ冷却水を流す時間を長くする。これにより、イオン交換装置（34）を流れる冷却水の全体量が増大するので、イオン交換装置（34）がより冷却される。逆に、上記イオン交換装置（34）の温度が低くなると、イオン交換通路（32）へ冷却水を流す時間をそのまま維持するか、少し短くする。これにより、イオン交換装置（34）が一定温度に維持され、時間を短くした場合にはイオン交換装置（34）を流れる冷却水の全体量が減少するので、イオン交換装置（34）の劣化が抑制される。 In the above invention, for example, when the temperature of the ion exchange device (34) becomes high, the time for flowing the cooling water to the ion exchange passage (32) is lengthened. Thereby, since the whole quantity of the cooling water which flows through the ion exchange apparatus (34) increases, the ion exchange apparatus (34) is cooled more. Conversely, when the temperature of the ion exchange device (34) decreases, the time for which the cooling water flows through the ion exchange passageway (32) is maintained as it is or is slightly shortened. As a result, when the ion exchange device (34) is maintained at a constant temperature and the time is shortened, the total amount of cooling water flowing through the ion exchange device (34) is reduced, so that the deterioration of the ion exchange device (34) is prevented. It is suppressed.
また、第７の発明は、上記第２〜４の何れか１の発明において、上記イオン交換通路（32）の出口端が、冷却回路（20）において被冷却物より流れ出た冷却水が冷却熱交換器（25）へ流入する通路に接続されている。 In addition, according to a seventh invention, in any one of the second to fourth inventions, the cooling water flowing out from the object to be cooled in the outlet circuit of the ion exchange passage (32) from the object to be cooled is cooled by the cooling heat (20). It is connected to the passage that flows into the exchanger (25).
上記の発明では、イオン交換装置（34）を流れる冷却水の温度がイオン交換処理により変動するが、その冷却水は冷却熱交換器（25）で冷却された後に被冷却物へ流れる。つまり、イオン交換装置（34）を流れた冷却水が例えば冷却熱交換器（25）の下流に設けられたタンクなどに直接戻される場合に比べて、確実に温度調整された冷却水が被冷却物へ供給される。したがって、上記被冷却物に対する温度制御の安定化が図れる。 In the above invention, the temperature of the cooling water flowing through the ion exchange device (34) varies due to the ion exchange treatment, but the cooling water flows to the object to be cooled after being cooled by the cooling heat exchanger (25). In other words, compared to the case where the cooling water that has flowed through the ion exchange device (34) is directly returned to, for example, a tank provided downstream of the cooling heat exchanger (25), the temperature-controlled cooling water is cooled. Supplied to goods. Therefore, the temperature control for the object to be cooled can be stabilized.
したがって、第１の発明によれば、被冷却物へ向かう冷却水の一部が被冷却物をバイパスする分岐回路（30）において、イオン交換装置（34）を有するイオン交換通路（32）と並列にバイパス通路（33）を設け、常に分岐回路（30）に一定流量の冷却水を分岐させ、冷却水の導電率に基づいて両通路（32,33）の冷却水の流量を調整するようにしたので、冷却水の導電率に応じてイオン交換通路（32）の冷却水の流量を変動させても、被冷却物への冷却水の供給量を変動させることはない。この結果、被冷却物の温度制御を高精度に行いつつ、冷却水の導電率を制御することができる。 Therefore, according to the first invention, in the branch circuit (30) in which a part of the cooling water toward the object to be cooled bypasses the object to be cooled, it is parallel to the ion exchange passage (32) having the ion exchange device (34). A bypass passage (33) is installed in the branch circuit, and a constant flow of cooling water is always branched into the branch circuit (30), and the flow rate of the cooling water in both passages (32, 33) is adjusted based on the conductivity of the cooling water. Therefore, even if the flow rate of the cooling water in the ion exchange passage (32) is changed according to the conductivity of the cooling water, the supply amount of the cooling water to the object to be cooled is not changed. As a result, the conductivity of the cooling water can be controlled while controlling the temperature of the object to be cooled with high accuracy.
また、冷却水の導電率に応じてイオン交換通路（32）の冷却水の流量を変動させるので、イオン交換装置（34）の劣化を抑制することができる。 Moreover, since the flow rate of the cooling water in the ion exchange passage (32) is changed according to the conductivity of the cooling water, the deterioration of the ion exchange device (34) can be suppressed.
また、第２の発明によれば、冷却水の導電率に基づいて分岐回路（30）に流れた冷却水の全量をイオン交換通路（32）およびバイパス通路（33）の何れか一方に流すようにしたので、イオン交換装置（34）の劣化を確実に抑制しつつ、冷却水の導電率を制御することができる。 Further, according to the second invention, the entire amount of the cooling water that has flowed to the branch circuit (30) based on the conductivity of the cooling water is caused to flow to either the ion exchange passage (32) or the bypass passage (33). Therefore, the conductivity of the cooling water can be controlled while reliably suppressing the deterioration of the ion exchange device (34).
また、第３の発明によれば、冷却水の導電率が所定値未満の場合であっても、イオン交換通路（32）へも冷却水を流すようにしたので、その流量をイオン交換装置（34）がそれ程劣化しない程度の少量とすることにより、イオン交換装置（34）の劣化を抑制しつつ、イオン交換装置（34）を冷却水によって一定温度に維持することができる。これにより、イオン交換通路（32）を流れた冷却水の温度変動を抑制できるので、冷却水の温度制御を高精度に行うことができる。 According to the third aspect of the invention, even if the conductivity of the cooling water is less than the predetermined value, the cooling water is caused to flow to the ion exchange passage (32), so that the flow rate is reduced to the ion exchange device ( By making the amount small enough that 34) does not deteriorate so much, it is possible to maintain the ion exchanger (34) at a constant temperature with cooling water while suppressing the deterioration of the ion exchanger (34). Thereby, since the temperature fluctuation of the cooling water which flowed through the ion exchange channel | path (32) can be suppressed, the temperature control of a cooling water can be performed with high precision.
また、第４の発明によれば、冷却水の導電率が所定値未満の場合であっても、イオン交換通路（32）へ冷却水を間欠的に流すようにしたので、その間欠時間の調整により、イオン交換装置（34）の劣化を抑制することができると共に、イオン交換装置（34）を一定温度に維持することができる。 According to the fourth aspect of the invention, even if the conductivity of the cooling water is less than the predetermined value, the cooling water is intermittently flowed to the ion exchange passage (32). Accordingly, it is possible to suppress the deterioration of the ion exchange device (34) and to maintain the ion exchange device (34) at a constant temperature.
また、第５の発明によれば、イオン交換装置（34）の温度に応じてイオン交換通路（32）の冷却水の流量を調整するようにしたので、イオン交換装置（34）を確実に一定温度に維持することができる。 According to the fifth aspect of the invention, the flow rate of the cooling water in the ion exchange passageway (32) is adjusted according to the temperature of the ion exchange device (34), so that the ion exchange device (34) is reliably kept constant. Can be maintained at temperature.
また、第６の発明によれば、イオン交換装置（34）の温度に応じてイオン交換通路（32）を冷却水が間欠的に流れる時間を調整するようにしたので、イオン交換装置（34）を確実に一定温度に維持することができる。 According to the sixth aspect of the invention, since the cooling water intermittently flows through the ion exchange passageway (32) according to the temperature of the ion exchange device (34), the ion exchange device (34) is adjusted. Can be reliably maintained at a constant temperature.
また、第７の発明によれば、イオン交換通路（32）の出口端を冷却熱交換器（25）の流入側の通路に接続するようにしたので、イオン交換装置（34）のイオン交換処理によって温度変動した冷却水を冷却熱交換器（25）で冷却した後に被冷却物へ供給することができる。これにより、被冷却物に対する温度制御を一層高精度に行うことができる。 According to the seventh aspect of the invention, since the outlet end of the ion exchange passage (32) is connected to the passage on the inflow side of the cooling heat exchanger (25), the ion exchange treatment of the ion exchange device (34) is performed. The cooling water whose temperature has been changed by the above can be cooled by the cooling heat exchanger (25) and then supplied to the object to be cooled. Thereby, temperature control with respect to a to-be-cooled object can be performed with higher precision.
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
《発明の実施形態１》
図１に示すように、本実施形態の冷却装置（10）は、冷却水である純水を半導体製造装置などの被冷却物（24）へ供給し、この被冷却物（24）を所定温度に維持するためのものである。上記冷却装置（10）は、利用側系統（11）と熱源側系統（12）を備えている。
Embodiment 1 of the Invention
As shown in FIG. 1, the cooling device (10) of this embodiment supplies pure water, which is cooling water, to an object to be cooled (24) such as a semiconductor manufacturing apparatus, and the object to be cooled (24) is at a predetermined temperature. It is intended to maintain The cooling device (10) includes a use side system (11) and a heat source side system (12).
上記利用側系統（11）は、純水が循環して被冷却物（24）を冷却する冷却回路（20）を備えている。この冷却回路（20）は、タンク（21）、循環ポンプ（22）、被冷却物（24）および冷却熱交換器（25）が順に接続されてなる閉回路に構成されている。上記タンク（21）には、貯留された冷却水を必要に応じて加熱して温度調整するためのヒータ（26）が設けられている。上記冷却回路（20）では、純水が循環ポンプ（22）によってタンク（21）、循環ポンプ（22）、被冷却物（24）および冷却熱交換器（25）を順に通り、再びタンク（21）に戻る循環を繰り返すように構成されている。なお、本実施形態では、上記ヒータ（26）をタンク（21）に設けるようにしたが、これに代えて、ヒータ（26）を冷却熱交換器（25）とタンク（21）との間に設けるようにしてもよい。 The use side system (11) includes a cooling circuit (20) that circulates pure water and cools an object to be cooled (24). The cooling circuit (20) is configured as a closed circuit in which a tank (21), a circulation pump (22), an object to be cooled (24), and a cooling heat exchanger (25) are connected in order. The tank (21) is provided with a heater (26) for adjusting the temperature by heating the stored cooling water as necessary. In the cooling circuit (20), pure water passes through the tank (21), the circulation pump (22), the object to be cooled (24), and the cooling heat exchanger (25) in this order by the circulation pump (22) and again to the tank (21 ) To repeat the circulation. In the present embodiment, the heater (26) is provided in the tank (21). Instead, the heater (26) is provided between the cooling heat exchanger (25) and the tank (21). You may make it provide.
上記熱源側系統（12）は、冷却熱交換器（25）に接続されている。この熱源側系統（12）は、冷却水を冷却熱交換器（25）へ供給する熱源回路（40）により構成されている。上記冷却熱交換器（25）は、冷却回路（20）の純水が熱源回路（40）の冷却水と熱交換して所定温度に冷却される冷却器として機能するものである。そして、この冷却熱交換器（25）で冷却された純水は、被冷却物（24）へ供給され、該被冷却物（24）を所定温度に維持するようになっている。なお、上記冷却熱交換器（25）は、例えばプレート型熱交換器により構成されている。 The heat source side system (12) is connected to the cooling heat exchanger (25). The heat source side system (12) includes a heat source circuit (40) that supplies cooling water to the cooling heat exchanger (25). The cooling heat exchanger (25) functions as a cooler in which pure water in the cooling circuit (20) exchanges heat with cooling water in the heat source circuit (40) and is cooled to a predetermined temperature. The pure water cooled by the cooling heat exchanger (25) is supplied to the object to be cooled (24), and the object to be cooled (24) is maintained at a predetermined temperature. The cooling heat exchanger (25) is constituted by, for example, a plate heat exchanger.
上記冷却回路（20）は、タンク（21）から被冷却物（24）へ純水が流れる送り側配管（2a）と、被冷却物（24）からタンク（21）へ純水が流れる戻り側配管（2b）とを備えている。そして、上記送り側配管（2a）には、循環ポンプ（22）と被冷却物（24）との間に流量計（23）が設けられている。この流量計（23）は、被冷却物（24）へ供給される純水の流量を検出するものであり、この検出流量に基づいて循環ポンプ（22）がＰＩ制御により容量制御される。 The cooling circuit (20) consists of a feed pipe (2a) through which pure water flows from the tank (21) to the object to be cooled (24), and a return side from which pure water flows from the object to be cooled (24) to the tank (21). And piping (2b). The feed pipe (2a) is provided with a flow meter (23) between the circulation pump (22) and the object to be cooled (24). The flow meter (23) detects the flow rate of pure water supplied to the object (24) to be cooled, and the capacity of the circulation pump (22) is controlled by PI control based on the detected flow rate.
また、上記利用側系統（11）は、分岐回路（30）を備えている。この分岐回路（30）は、分岐通路（31）と、電動弁（35）と、純水のイオン交換装置（34）を有するイオン交換通路（32）とを備えている。上記分岐通路（31）は、入口端である一端が冷却回路（20）の送り側配管（2a）における循環ポンプ（22）と流量計（23）との間に接続され、出口端である他端が電動弁（35）に接続されている。すなわち、上記分岐通路（31）は、冷却回路（20）の被冷却物（24）へ向かって流れる純水の一部が分岐して流れるように構成されている。上記イオン交換通路（32）は、入口端である一端が電動弁（35）に接続され、出口端である他端が冷却回路（20）の送り側配管（2a）における冷却熱交換器（25）の流入側に接続されている。 The usage side system (11) includes a branch circuit (30). The branch circuit (30) includes a branch passage (31), a motor-operated valve (35), and an ion exchange passage (32) having a pure water ion exchange device (34). The branch passage (31) has one end that is the inlet end connected between the circulation pump (22) and the flow meter (23) in the feed side piping (2a) of the cooling circuit (20), and the other end that is the outlet end. The end is connected to the motorized valve (35). That is, the branch passage (31) is configured such that a portion of the pure water flowing toward the cooled object (24) of the cooling circuit (20) branches and flows. The ion exchange passage (32) has one end that is an inlet end connected to the motor-operated valve (35), and the other end that is an outlet end is a cooling heat exchanger (25 in the feed pipe (2a) of the cooling circuit (20)). ) Is connected to the inflow side.
上記イオン交換装置（34）は、流入した純水から導電性イオンを除去（イオン交換処理）し、純水の導電率を低下させる、つまり純水の電気的絶縁性を高めるためのものである。 The ion exchange device (34) is for removing conductive ions from the flowing pure water (ion exchange treatment) to lower the conductivity of the pure water, that is, to increase the electrical insulation of the pure water. .
上記分岐回路（30）には、本発明の特徴として、イオン交換装置（34）をバイパスするバイパス通路（33）が設けられている。このバイパス通路（33）は、入口端である一端が電動弁（35）に接続され、出口端である他端が冷却回路（20）の戻り側配管（2b）におけるイオン交換通路（32）の接続点と冷却熱交換器（25）との間に接続されている。つまり、このバイパス通路（33）とイオン交換装置（34）とは、並列に設けられている。 The branch circuit (30) is provided with a bypass passage (33) that bypasses the ion exchange device (34) as a feature of the present invention. The bypass passage (33) has one end that is the inlet end connected to the motor-operated valve (35), and the other end that is the outlet end of the ion exchange passage (32) in the return side pipe (2b) of the cooling circuit (20). It is connected between the connection point and the cooling heat exchanger (25). That is, the bypass passage (33) and the ion exchange device (34) are provided in parallel.
上記電動弁（35）は、いわゆる三方式の比例制御弁であり、開度調整してイオン交換通路（32）とバイパス通路（33）との純水の流量を調整する流量調整手段を構成している。例えば、上記イオン交換通路（32）の純水の流量を減少させると、その分バイパス通路（33）の純水の流量が増大し、逆に、上記イオン交換通路（32）の純水の流量を増大させると、その分バイパス通路（33）の純水の流量が減少する。つまり、上記イオン交換通路（32）の純水の流量とバイパス通路（33）の純水の流量との合計流量は、常時一定である。したがって、上記分岐回路（30）には、常時一定流量の純水が分岐して流れることになり、被冷却物（24）への純水の供給量も常時一定となる。 The motor-operated valve (35) is a so-called three-type proportional control valve, and constitutes a flow rate adjusting means for adjusting the flow rate of pure water in the ion exchange passage (32) and the bypass passage (33) by adjusting the opening degree. ing. For example, if the flow rate of pure water in the ion exchange passage (32) is decreased, the flow rate of pure water in the bypass passage (33) increases accordingly, and conversely, the flow rate of pure water in the ion exchange passage (32). Is increased, the flow rate of pure water in the bypass passage (33) is decreased accordingly. That is, the total flow rate of the pure water flow rate in the ion exchange passage (32) and the pure water flow rate in the bypass passage (33) is always constant. Accordingly, the deionized water having a constant flow rate always branches and flows in the branch circuit (30), and the supply amount of deionized water to the object to be cooled (24) is always constant.
この冷却装置（10）は、コントローラ（50）を備えている。このコントローラ（50）には、純水の導電率に基づいて電動弁（35）を制御する切換部（51）が設けられている。また、上記タンク（21）には、純水の導電率を検出する導電率計（21a）が設けられ、上記イオン交換装置（34）には、該イオン交換装置（34）の温度を検出する温度センサ（34a）がそれぞれ設けられている。そして、上記導電率計（21a）および温度センサ（34a）の検出値は、コントローラ（50）の切換部（51）に入力される。 The cooling device (10) includes a controller (50). The controller (50) is provided with a switching unit (51) that controls the motor-operated valve (35) based on the conductivity of pure water. The tank (21) is provided with a conductivity meter (21a) that detects the conductivity of pure water, and the ion exchange device (34) detects the temperature of the ion exchange device (34). A temperature sensor (34a) is provided. And the detected value of the said conductivity meter (21a) and temperature sensor (34a) is input into the switching part (51) of a controller (50).
上記切換部（51）は、導電率計（21a）が検出した導電率が所定値未満か否かを判定するように構成されている。そして、上記切換部（51）は、導電率計（21a）の検出した導電率が所定値未満の場合、イオン交換通路（32）の純水の流量よりバイパス通路（33）の純水の流量が多くなるように分岐通路（31）に流れた純水を分配する第１循環と、純水の導電率が所定値以上の場合、イオン交換通路（32）を開状態とし且つバイパス通路（33）を閉状態とする第２循環とに切り換えるように電動弁（35）を制御する切換手段を構成している。つまり、上記第１循環時においては、分岐通路（31）に流れた純水がイオン交換通路（32）とバイパス通路（33）とに分配されて流れる。これにより、イオン交換装置（34）が常時純水によって一定温度に維持されることになる。上記第２循環時においては、分岐通路（31）に流れた純水がイオン交換通路（32）のみへ流れる。なお、上記第１循環時におけるイオン交換通路（32）の純水の流量は、イオン交換装置（34）の劣化にそれ程影響しない程度の少量に設定されている。 The switching unit (51) is configured to determine whether or not the conductivity detected by the conductivity meter (21a) is less than a predetermined value. When the conductivity detected by the conductivity meter (21a) is less than a predetermined value, the switching unit (51) has a flow rate of pure water in the bypass passage (33) from a flow rate of pure water in the ion exchange passage (32). When the pure water that flows into the branch passage (31) distributes the pure water flowing in the branch passage (31) and the conductivity of the pure water is equal to or higher than a predetermined value, the ion exchange passage (32) is opened and the bypass passage (33 ) Is configured to switch the motor-operated valve (35) so as to switch to the second circulation in the closed state. That is, during the first circulation, the pure water that has flowed into the branch passage (31) is distributed and flows into the ion exchange passage (32) and the bypass passage (33). As a result, the ion exchange device (34) is always maintained at a constant temperature with pure water. During the second circulation, pure water that has flowed into the branch passage (31) flows only into the ion exchange passage (32). The flow rate of pure water in the ion exchange passage (32) during the first circulation is set to a small amount so as not to affect the deterioration of the ion exchange device (34).
また、上記切換部（51）は、第１循環時において、イオン交換装置（34）の温度センサ（34a）の検出温度に基づいてイオン交換通路（32）とバイパス通路（33）との純水の流量を調節するように電動弁（35）を制御する。例えば、上記温度センサ（34a）の検出温度が所定値以上の場合、切換部（51）は、イオン交換通路（32）の純水の流量を増大させるように電動弁（35）を制御する。また、上記温度センサ（34a）の検出温度が所定値未満の場合、切換部（51）は、イオン交換通路（32）の純水の流量をそのまま維持するか、少し減少させるように電動弁（35）を制御する。これにより、イオン交換装置（34）が確実に一定温度に維持される。 Further, the switching unit (51) is configured to provide pure water between the ion exchange passage (32) and the bypass passage (33) based on the temperature detected by the temperature sensor (34a) of the ion exchange device (34) during the first circulation. The motorized valve (35) is controlled so as to adjust the flow rate. For example, when the temperature detected by the temperature sensor (34a) is equal to or higher than a predetermined value, the switching unit (51) controls the motor-operated valve (35) so as to increase the flow rate of pure water in the ion exchange passage (32). When the detected temperature of the temperature sensor (34a) is less than a predetermined value, the switching unit (51) maintains the flow rate of pure water in the ion exchange passage (32) as it is or reduces the motorized valve ( 35) to control. This ensures that the ion exchange device (34) is maintained at a constant temperature.
−運転動作−
次に、本実施形態に係る冷却装置（10）の運転制御について説明する。
-Driving action-
Next, operation control of the cooling device (10) according to the present embodiment will be described.
この冷却装置（10）では、循環ポンプを起動すると、タンク（21）の純水が循環ポンプ（22）によって送り出される。この純水は、一部が分岐通路（31）に分岐して流れ、残りが被冷却物（24）へ流れて被冷却物（24）を所定温度に冷却する。そして、この被冷却物（24）を流れた純水は、分岐回路（30）の純水と合流して冷却熱交換器（25）へ流れる。この冷却熱交換器（25）へ流れた純水は、冷却水と熱交換して所定温度に冷却された後、タンク（21）へ戻り、この循環を繰り返す。 In this cooling device (10), when the circulation pump is started, pure water in the tank (21) is sent out by the circulation pump (22). A part of this pure water branches into the branch passage (31) and flows, and the remainder flows into the object to be cooled (24) to cool the object to be cooled (24) to a predetermined temperature. And the pure water which flowed through this to-be-cooled object (24) merges with the pure water of a branch circuit (30), and flows into a cooling heat exchanger (25). The pure water that has flowed to the cooling heat exchanger (25) is heat-exchanged with the cooling water and cooled to a predetermined temperature, and then returns to the tank (21) to repeat this circulation.
上記運転の際には、純水の導電率およびイオン交換装置（34）の温度などの制御がコントローラ（50）の切換部（51）によって行われる。この制御について、図２を参照しながら説明する。 During the above operation, the conductivity of pure water and the temperature of the ion exchange device (34) are controlled by the switching unit (51) of the controller (50). This control will be described with reference to FIG.
先ず、ステップＳＴ１において、循環ポンプ（22）を起動させると、ステップＳＴ２に移行し、流量計（23）の検出流量が所定流量となるまで循環ポンプ（22）の容量が制御される。そして、上記流量計（23）の検出流量が所定流量になると、ステップＳＴ３に移行する。 First, when the circulation pump (22) is started in step ST1, the process proceeds to step ST2, and the capacity of the circulation pump (22) is controlled until the detected flow rate of the flow meter (23) reaches a predetermined flow rate. When the detected flow rate of the flow meter (23) reaches a predetermined flow rate, the process proceeds to step ST3.
上記ステップＳＴ３では、切換部（51）が導電率計（21a）の検出値が所定値未満か否かを判定し、所定値未満と判定すると、ステップＳＴ４に移行する。このステップＳＴ４では、切換部（51）により、分岐回路（30）における純水の流れが第１循環となるように電動弁（35）を制御する。具体的に、上記電動弁（35）におけるイオン交換通路（32）側の開度を小さくし、その分バイパス通路（33）側の開度を大きくする。これにより、イオン交換通路（32）には小流量であっても純水が流れるので、イオン交換装置（34）の温度を一定に維持することができる。 In step ST3, the switching unit (51) determines whether or not the detected value of the conductivity meter (21a) is less than a predetermined value. If it is determined that the detected value is less than the predetermined value, the process proceeds to step ST4. In step ST4, the motor-operated valve (35) is controlled by the switching unit (51) so that the flow of pure water in the branch circuit (30) becomes the first circulation. Specifically, the opening degree on the side of the ion exchange passage (32) in the motor-operated valve (35) is reduced, and the opening degree on the side of the bypass passage (33) is increased accordingly. As a result, pure water flows through the ion exchange passageway (32) even at a small flow rate, so that the temperature of the ion exchange device (34) can be kept constant.
また、上記ステップＳＴ４では、図示しないが、純水の導電率が所定値未満であることを条件とし、切換部（51）がイオン交換装置（34）の温度センサ（34a）の検出温度が所定値以上か否かを判定し、所定値以上と判定すると、イオン交換通路（32）の純水の流量を増大させ、その分バイパス通路（33）の純水の流量を減少させるように電動弁（35）を制御する。逆に、所定値以上でないと判定すると、イオン交換通路（32）の純水の流量を維持するか減少させ、その分バイパス通路（33）の純水の流量を維持するか増大させるように電動弁（35）を制御する。ここで、上記の制御の際には、イオン交換通路（32）とバイパス通路（33）との純水の流量の合計が常時一定となるので、被冷却物（24）への純水の供給量を変動させることなく、イオン交換装置（34）を確実に一定温度に維持することができる。上記イオン交換通路（32）およびバイパス通路（33）を流れた純水は、冷却回路（20）に流れて被冷却物（24）より流れ出た純水と合流し、冷却熱交換器（25）で冷却された後、タンク（21）へ戻る。 In step ST4, although not shown, the switch (51) detects the temperature detected by the temperature sensor (34a) of the ion exchange device (34) on the condition that the conductivity of pure water is less than a predetermined value. If it is determined whether or not the value is greater than or equal to the predetermined value, the motor-operated valve is configured to increase the flow rate of pure water in the ion exchange passage (32) and decrease the flow rate of pure water in the bypass passage (33) accordingly. (35) is controlled. On the other hand, if it is determined that it is not equal to or greater than the predetermined value, the flow rate of pure water in the ion exchange passage (32) is maintained or decreased, and the flow rate of pure water in the bypass passage (33) is maintained or increased accordingly. Control the valve (35). Here, in the case of the above control, the total flow rate of pure water in the ion exchange passage (32) and the bypass passage (33) is always constant, so that pure water is supplied to the object to be cooled (24). Without changing the amount, the ion exchanger (34) can be reliably maintained at a constant temperature. The pure water that has flowed through the ion exchange passage (32) and the bypass passage (33) flows into the cooling circuit (20) and merges with the pure water that has flowed out of the object to be cooled (24), and the cooling heat exchanger (25) After being cooled at, return to tank (21).
上記ステップＳＴ３において、導電率計（21a）の検出値が所定値以上と判定すると、ステップＳＴ５に移行する。このステップＳＴ５では、切換部（51）により、分岐回路（30）における純水の流れが第２循環となるように電動弁（35）を制御する。具体的に、上記電動弁（35）におけるイオン交換通路（32）側の開度を全開とし、バイパス通路（33）側の開度を全閉とする。これにより、分岐通路（31）に流れた純水の全量がイオン交換通路（32）へ流れ、イオン交換装置（34）でイオン交換処理されて純水の導電率が回復する。この処理された純水は、冷却回路（20）に流れて被冷却物（24）より流れ出た純水と合流し、冷却熱交換器（25）で冷却された後、タンク（21）へ戻る。このように、分岐通路（31）に流れる純水の流量を第１循環時のその流量から変動させることなく、つまり被冷却物（24）への純水の供給量を変動させることなく、イオン交換装置（34）で純水の導電率を調節することができる。また、この第２循環では、第１循環時においてイオン交換装置（34）が一定温度に冷却されているので、イオン交換装置（34）を流れた純水の温度変動を抑制することができる。また、上記イオン交換装置（34）を流れる純水は、イオン交換処理によって多少加熱されるが、被冷却物（24）へ供給する前に冷却熱交換器（25）で冷却されるので、上述した効果と相まって、一層純水の温度制御を安定化させることができる。 If it is determined in step ST3 that the detected value of the conductivity meter (21a) is greater than or equal to a predetermined value, the process proceeds to step ST5. In step ST5, the motor-operated valve (35) is controlled by the switching unit (51) so that the flow of pure water in the branch circuit (30) becomes the second circulation. Specifically, the opening degree on the ion exchange passage (32) side in the motor-operated valve (35) is fully opened, and the opening degree on the bypass passage (33) side is fully closed. As a result, the entire amount of pure water that has flowed to the branch passage (31) flows to the ion exchange passage (32), and is ion-exchanged by the ion exchange device (34) to restore the conductivity of the pure water. The treated pure water flows into the cooling circuit (20), merges with the pure water flowing out of the object to be cooled (24), cooled by the cooling heat exchanger (25), and then returned to the tank (21). . In this way, the flow rate of pure water flowing in the branch passage (31) is not changed from the flow rate during the first circulation, that is, the supply amount of pure water to the object to be cooled (24) is not changed. The conductivity of pure water can be adjusted by the exchange device (34). In the second circulation, since the ion exchange device (34) is cooled to a constant temperature during the first circulation, the temperature fluctuation of the pure water flowing through the ion exchange device (34) can be suppressed. The pure water flowing through the ion exchange device (34) is heated somewhat by the ion exchange treatment, but is cooled by the cooling heat exchanger (25) before being supplied to the object to be cooled (24). Combined with the effect, the temperature control of pure water can be further stabilized.
このように、本実施形態の冷却装置（10）では、純水の導電率およびイオン交換装置（34）の温度を制御しながらも、被冷却物（24）への純水の供給量を変動させることはないので、高精度な被冷却物（24）の温度制御が可能となる。また、純水の導電率が所定値未満の場合、イオン交換通路（32）へは少量の純水を流すようにしたので、イオン交換装置（34）の劣化を抑制できる。 Thus, in the cooling device (10) of this embodiment, the amount of pure water supplied to the object to be cooled (24) is varied while controlling the conductivity of the pure water and the temperature of the ion exchange device (34). Therefore, the temperature of the object to be cooled (24) can be controlled with high accuracy. Further, when the conductivity of the pure water is less than the predetermined value, since a small amount of pure water is allowed to flow through the ion exchange passage (32), deterioration of the ion exchange device (34) can be suppressed.
−実施形態の効果−
以上のように、本実施形態１によれば、被冷却物（24）へ向かう純水の一部が分岐して流れる分岐回路（30）において、イオン交換装置（34）を有するイオン交換通路（32）と並列にバイパス通路（33）を設け、常に分岐回路（30）に一定流量の純水を分岐させ、純水の導電率に基づいてイオン交換通路（32）とバイパス通路（33）との純水の流量を調整するようにしたので、純水の導電率に応じてイオン交換通路（32）の純水の流量を変動させても、被冷却物（24）への純水の供給量を変動させることはない。この結果、被冷却物（24）の温度制御を高精度に行うことができると共に、純水の導電率を制御することができる。
-Effect of the embodiment-
As described above, according to the first embodiment, in the branch circuit (30) in which a part of pure water flowing toward the object to be cooled (24) branches and flows, the ion exchange passage ( 32) is provided in parallel with the bypass passage (33), and a constant flow of pure water is always branched into the branch circuit (30), and the ion exchange passage (32) and bypass passage (33) Since the flow rate of pure water was adjusted, supply of pure water to the object to be cooled (24) was achieved even if the flow rate of pure water in the ion exchange passage (32) was changed according to the conductivity of the pure water. The amount is not fluctuated. As a result, the temperature of the object to be cooled (24) can be controlled with high accuracy, and the conductivity of pure water can be controlled.
また、上記分岐回路（30）における流量調整手段としていわゆる三方式の比例制御弁の電動弁（35）を用いるようにし、純水の導電率が所定値未満の場合であっても、バイパス通路（33）へ純水を流すと共に、常時イオン交換通路（32）へもイオン交換装置（34）がそれ程劣化しない程度の少量の純水を流すようにしたので、イオン交換装置（34）を一定温度に冷却し続けることができる。これにより、第２循環時において、イオン交換通路（32）へ流れた純水が加熱されることはないので、純水の温度制御を高精度に行うことができる。 In addition, a so-called three-type proportional control valve motorized valve (35) is used as a flow rate adjusting means in the branch circuit (30), and even when the conductivity of pure water is less than a predetermined value, 33) Along with flowing pure water to the ion exchange passageway (32), a small amount of pure water was flowed to the ion exchange passageway (32) so that the ion exchange device (34) did not deteriorate so much. You can continue to cool down. As a result, the pure water that has flowed to the ion exchange passage (32) is not heated during the second circulation, so that the temperature control of the pure water can be performed with high accuracy.
上述したイオン交換通路（32）への純水の流量調整後に、さらにイオン交換装置（34）の温度に応じてもイオン交換通路（32）への純水の流量を調整するようにしたので、確実にイオン交換装置（34）を一定温度に冷却し続けることができる。 After adjusting the flow rate of pure water to the ion exchange passage (32) described above, the flow rate of pure water to the ion exchange passage (32) is also adjusted according to the temperature of the ion exchange device (34). It is possible to reliably cool the ion exchange device (34) to a constant temperature.
さらに、上記イオン交換通路（32）の出口端を冷却熱交換器（25）の流入側に接続するようにしたので、イオン交換処理によって温度変動した純水を冷却熱交換器（25）で所定温度に冷却した後に被冷却物（24）へ供給することできる。これにより、上述したイオン交換装置（34）を一定温度に維持するのと相まって、純水の温度変動を確実に抑制でき、被冷却物（24）に対する温度制御を一層高精度に行うことができる。 Further, since the outlet end of the ion exchange passage (32) is connected to the inflow side of the cooling heat exchanger (25), pure water whose temperature has been changed by the ion exchange treatment is predetermined by the cooling heat exchanger (25). After cooling to temperature, it can be supplied to the object to be cooled (24). Thereby, coupled with maintaining the above-described ion exchange device (34) at a constant temperature, temperature fluctuations of pure water can be reliably suppressed, and temperature control for the object to be cooled (24) can be performed with higher accuracy. .
《発明の実施形態２》
本実施形態２の冷却装置（10）は、図３に示すように、上記実施形態１が分岐回路（30）の流量調整手段として電動弁（35）を用いたのに代えて、２つの電磁弁（36,37）を用いるようにしたものである。
<< Embodiment 2 of the Invention >>
As shown in FIG. 3, the cooling device (10) of the second embodiment has two electromagnetic valves instead of the motor-operated valve (35) used as the flow rate adjusting means of the branch circuit (30) in the first embodiment. A valve (36, 37) is used.
具体的に、上記分岐回路（30）は、第１電磁弁（36）と第２電磁弁（37）を備えている。上記第１電磁弁（36）は、イオン交換通路（32）におけるイオン交換装置（34）の上流に設けられ、上記第２電磁弁（37）は、バイパス通路（33）に設けられている。この２つの電磁弁（36,37）は、ＯＮ／ＯＦＦすることにより流路が開状態と閉状態とに切り換わる、いわゆる開閉弁に構成されている。なお、上記イオン交換装置（34）の温度センサ（34a）は省略する。 Specifically, the branch circuit (30) includes a first electromagnetic valve (36) and a second electromagnetic valve (37). The first electromagnetic valve (36) is provided upstream of the ion exchange device (34) in the ion exchange passage (32), and the second electromagnetic valve (37) is provided in the bypass passage (33). These two solenoid valves (36, 37) are configured as so-called on-off valves in which the flow path is switched between an open state and a closed state by being turned ON / OFF. The temperature sensor (34a) of the ion exchange device (34) is omitted.
上記コントローラ（50）の切換部（51）は、導電率計（21a）の検出した導電率が所定値未満の場合、第１電磁弁（36）を閉じてイオン交換通路（32）を閉状態とし、第２電磁弁（37）を開けてバイパス通路（33）を開状態とする第１循環に切り換えるように構成されている。また、上記切換部（51）は、導電率計（21a）の検出した導電率が所定値以上の場合、第２電磁弁（37）を閉じてバイパス通路（33）を閉状態とし、第１電磁弁（36）を開けてイオン交換通路（32）を開状態とする第２循環に切り換えるように構成されている。つまり、上記切換部（51）は、純水の導電率に基づいて第１循環と第２循環とに切り換えるように２つの電磁弁（36,37）を制御する切換手段を構成している。 When the conductivity detected by the conductivity meter (21a) is less than a predetermined value, the switching unit (51) of the controller (50) closes the first solenoid valve (36) and closes the ion exchange passage (32). The second solenoid valve (37) is opened to switch to the first circulation in which the bypass passage (33) is opened. When the conductivity detected by the conductivity meter (21a) is equal to or greater than a predetermined value, the switching unit (51) closes the second solenoid valve (37) and closes the bypass passage (33), The solenoid valve (36) is opened to switch to the second circulation in which the ion exchange passage (32) is opened. That is, the switching unit (51) constitutes switching means for controlling the two solenoid valves (36, 37) so as to switch between the first circulation and the second circulation based on the conductivity of pure water.
本実施形態の運転制御について図４を参照しながら説明する。なお、本図の制御フローにおけるステップＳＴ１およびステップＳＴ２は、実施形態１における制御と同様であるため、ここでは説明を省略する。 The operation control of this embodiment will be described with reference to FIG. In addition, since step ST1 and step ST2 in the control flow of this figure are the same as the control in Embodiment 1, description is abbreviate | omitted here.
ステップＳＴ３において、切換部（51）が導電率計（21a）の検出値が所定値未満か否かを判定し、所定値未満と判定すると、ステップＳＴ４に移行する。このステップＳＴ４では、切換部（51）により、分岐回路（30）における純水の流れが第１循環となるように第１電磁弁（36）を閉じ、第２電磁弁（37）を開ける。この場合、分岐通路（31）に流れた純水の全量がバイパス通路（33）へ流れる。 In step ST3, the switching unit (51) determines whether or not the detected value of the conductivity meter (21a) is less than a predetermined value. If it is determined that the detected value is less than the predetermined value, the process proceeds to step ST4. In step ST4, the switching unit (51) closes the first solenoid valve (36) and opens the second solenoid valve (37) so that the flow of pure water in the branch circuit (30) becomes the first circulation. In this case, the entire amount of pure water that has flowed into the branch passage (31) flows into the bypass passage (33).
上記ステップＳＴ３において、導電率計（21a）の検出値が所定値以上と判定すると、ステップＳＴ５に移行する。このステップＳＴ５では、切換部（51）により、分岐回路（30）における純水の流れが第２循環となるように第１電磁弁（36）を開け、第２電磁弁（37）を閉じる。この場合、分岐通路（31）に流れた純水の全量がイオン交換通路（32）へ流れ、純水の導電率が回復される。 If it is determined in step ST3 that the detected value of the conductivity meter (21a) is equal to or greater than a predetermined value, the process proceeds to step ST5. In step ST5, the switching unit (51) opens the first electromagnetic valve (36) and closes the second electromagnetic valve (37) so that the flow of pure water in the branch circuit (30) becomes the second circulation. In this case, the entire amount of pure water that has flowed to the branch passage (31) flows to the ion exchange passage (32), and the conductivity of the pure water is recovered.
このように、第１循環と第２循環とを切り換えても、分岐通路（31）に流れた純水の全量がイオン交換通路（32）およびバイパス通路（33）の何れか一方に流れるので、被冷却物（24）への純水の供給量を変動させることなく、純水の導電率を制御することができる。また、本実施形態では、純水の導電率が所定値以上の場合（第２循環時）のみ、純水をイオン交換通路（32）へ流しているので、イオン交換装置（34）の劣化を確実に抑制することができる。その他の構成、作用および効果は、実施形態１と同様である。 Thus, even if the first circulation and the second circulation are switched, the entire amount of pure water that has flowed to the branch passage (31) flows to either the ion exchange passage (32) or the bypass passage (33). The conductivity of pure water can be controlled without changing the amount of pure water supplied to the object to be cooled (24). In the present embodiment, since the pure water is allowed to flow into the ion exchange passage (32) only when the conductivity of the pure water is equal to or higher than the predetermined value (during the second circulation), the ion exchange device (34) is deteriorated. It can be surely suppressed. Other configurations, operations, and effects are the same as those in the first embodiment.
《発明の実施形態３》
本実施形態３の冷却装置（10）は、図示しないが、上記実施形態１が分岐回路（30）の流量調整手段として電動弁を用いたのに代えて、電磁弁（35）を用いるようにし、イオン交換通路（32）へ純水が間欠的に流れるように電磁弁（35）を制御するようにしたものである。
<< Embodiment 3 of the Invention >>
Although the cooling device (10) of the third embodiment is not shown, an electromagnetic valve (35) is used instead of the motorized valve as the flow rate adjusting means of the branch circuit (30) in the first embodiment. The solenoid valve (35) is controlled so that pure water intermittently flows into the ion exchange passage (32).
上記電磁弁（35）は、ＯＮ／ＯＦＦすることにより、分岐通路（31）がバイパス通路（33）と連通し且つイオン交換通路（32）とは遮断される第１状態と、分岐通路（31）がイオン交換通路（32）と連通し且つバイパス通路（33）とは遮断される第２状態とに切り換わる、いわゆる三方式の流路切換弁に構成されている。 When the electromagnetic valve (35) is turned on / off, the branch passage (31) communicates with the bypass passage (33) and is disconnected from the ion exchange passage (32), and the branch passage (31 ) Is configured as a so-called three-type flow path switching valve that switches to a second state that communicates with the ion exchange passage (32) and is blocked from the bypass passage (33).
上記コントローラ（50）の切換部（51）は、導電率計（21a）の検出した導電率が所定値未満の場合、電磁弁（35）を第１状態と第２状態とに交互に切り換え、分岐通路（31）に流れた純水の全量がイオン交換通路（32）へ間欠的に流れる第１循環に切り換えるように構成されている。すなわち、この第１循環では、分岐通路（31）に流れた純水の全量がイオン交換通路（32）とバイパス通路（33）とに交互に流れる。また、上記切換部（51）は、導電率計（21a）の検出した導電率が所定値以上の場合、電磁弁（35）を第２状態に切り換え、イオン交換通路（32）を開状態とし且つバイパス通路（33）を閉状態とする第２循環に切り換えるように構成されている。この場合、分岐通路（31）に流れた純水の全量がイオン交換通路（32）へ流れる。つまり、上記切換部（51）は、純水の導電率に基づいて第１循環と第２循環とに切り換えるように電磁弁（35）を制御する切換手段を構成している。 When the conductivity detected by the conductivity meter (21a) is less than a predetermined value, the switching unit (51) of the controller (50) switches the solenoid valve (35) alternately between the first state and the second state, It is configured to switch to the first circulation in which the entire amount of pure water that has flowed into the branch passage (31) flows intermittently to the ion exchange passage (32). That is, in this first circulation, the entire amount of pure water that has flowed into the branch passage (31) flows alternately into the ion exchange passage (32) and the bypass passage (33). In addition, when the conductivity detected by the conductivity meter (21a) is equal to or higher than a predetermined value, the switching unit (51) switches the solenoid valve (35) to the second state and opens the ion exchange passage (32). And it is comprised so that it may switch to the 2nd circulation which makes a bypass passage (33) a closed state. In this case, the entire amount of pure water that has flowed into the branch passage (31) flows into the ion exchange passage (32). That is, the switching unit (51) constitutes a switching unit that controls the electromagnetic valve (35) so as to switch between the first circulation and the second circulation based on the conductivity of pure water.
さらに、上記切換部（51）は、第１循環時において、イオン交換装置（34）の温度センサ（34a）の検出温度に基づいてイオン交換通路（32）を純水が流れる間欠時間を調節するように構成されている。例えば、上記温度センサ（34a）の検出温度が所定値以上の場合、イオン交換通路（32）を純水が流れる時間を長くし、またはバイパス通路（33）を純水が流れる時間を短くする。逆に、上記温度センサ（34a）の検出温度が所定値未満の場合、イオン交換通路（32）を純水が流れる時間を短くし、またはバイパス通路（33）を純水が流れる時間を長くする。これにより、イオン交換装置（34）を確実に一定温度に維持することができる。 Further, the switching unit (51) adjusts the intermittent time during which pure water flows through the ion exchange passage (32) based on the temperature detected by the temperature sensor (34a) of the ion exchange device (34) during the first circulation. It is configured as follows. For example, when the temperature detected by the temperature sensor (34a) is equal to or higher than a predetermined value, the time for pure water to flow through the ion exchange passage (32) is lengthened, or the time for pure water to flow through the bypass passage (33) is shortened. Conversely, when the temperature detected by the temperature sensor (34a) is less than a predetermined value, the time for pure water to flow through the ion exchange passage (32) is shortened, or the time for pure water to flow through the bypass passage (33) is lengthened. . Thereby, the ion exchange device (34) can be reliably maintained at a constant temperature.
本実施形態の運転制御について図５を参照しながら説明する。なお、本図の制御フローにおけるステップＳＴ１およびステップＳＴ２は、実施形態１における制御と同様であるため、ここでは説明を省略する。 The operation control of this embodiment will be described with reference to FIG. In addition, since step ST1 and step ST2 in the control flow of this figure are the same as the control in Embodiment 1, description is abbreviate | omitted here.
ステップＳＴ３において、切換部（51）が導電率計（21a）の検出値が所定値未満か否かを判定し、所定値未満と判定すると、ステップＳＴ４に移行する。このステップＳＴ４では、切換部（51）により、分岐回路（30）における純水の流れが第１循環となるように電磁弁（35）を制御する。この場合、分岐通路（31）に流れた純水の全量がイオン交換通路（32）を間欠的に流れるので、イオン交換装置（34）が一定温度に維持される。 In step ST3, the switching unit (51) determines whether or not the detected value of the conductivity meter (21a) is less than a predetermined value. If it is determined that the detected value is less than the predetermined value, the process proceeds to step ST4. In this step ST4, the electromagnetic valve (35) is controlled by the switching part (51) so that the flow of pure water in the branch circuit (30) becomes the first circulation. In this case, since the entire amount of pure water that has flowed into the branch passage (31) flows intermittently through the ion exchange passage (32), the ion exchange device (34) is maintained at a constant temperature.
また、図示しないが、このステップＳＴ４では、切換部（51）がイオン交換装置（34）の温度センサ（34a）の検出温度が所定値以上か否かを判定し、所定値以上と判定すると、イオン交換通路（32）を純水が流れる時間を長くするか、またはバイパス通路（33）を純水が流れる時間を短くする。これにより、純水によってイオン交換装置（34）がより冷却される。逆に、所定値以上でないと判定すると、イオン交換通路（32）を純水が流れる時間を短くし、またはバイパス通路（33）を純水が流れる時間を長くする。これにより、イオン交換装置（34）の劣化を一層抑制することができる。 Although not shown, in step ST4, the switching unit (51) determines whether the temperature detected by the temperature sensor (34a) of the ion exchange device (34) is equal to or higher than a predetermined value. The time for pure water to flow through the ion exchange passage (32) is lengthened, or the time for pure water to flow through the bypass passage (33) is shortened. Thereby, the ion exchange device (34) is further cooled by pure water. Conversely, if it is determined that the value is not equal to or greater than the predetermined value, the time for pure water to flow through the ion exchange passage (32) is shortened, or the time for pure water to flow through the bypass passage (33) is lengthened. Thereby, deterioration of an ion exchange device (34) can be suppressed further.
このように、第１循環と第２循環とを切り換えても、また第１循環時において電磁弁（35）を第１状態と第２状態とを切り換えても、分岐通路（31）に流れた純水の全量がイオン交換通路（32）およびバイパス通路（33）の何れか一方に流れるので、被冷却物（24）への純水の供給量を変動させることなく、純水の導電率を制御することができる。また、上記第１循環において、イオン交換装置（34）が一定温度に維持されるので、第２循環に切り換わった場合、純水がイオン交換装置（34）で温度変動することはなく、純水の温度制御を高精度に行うことができる。また、上記第１循環において、イオン交換通路（32）へ純水を間欠的に流すようにしているので、イオン交換装置（34）の劣化を抑制することができる。その他の構成、作用および効果は、実施形態１と同様である。 As described above, even when the first circulation and the second circulation are switched, and even when the electromagnetic valve (35) is switched between the first state and the second state during the first circulation, the flow has flowed into the branch passage (31). Since the total amount of pure water flows to either the ion exchange passage (32) or the bypass passage (33), the conductivity of the pure water can be increased without changing the amount of pure water supplied to the object to be cooled (24). Can be controlled. Further, in the first circulation, the ion exchange device (34) is maintained at a constant temperature. Therefore, when switching to the second circulation, the temperature of the pure water does not fluctuate in the ion exchange device (34). Water temperature can be controlled with high accuracy. Moreover, in the said 1st circulation, since pure water is made to flow intermittently to the ion exchange channel | path (32), deterioration of an ion exchange apparatus (34) can be suppressed. Other configurations, operations, and effects are the same as those in the first embodiment.
なお、本実施形態では、電磁弁（35）を用いたが、これに代えて、上記実施形態１の三方式の電動弁（35）を用いて第１循環時にイオン交換通路（32）へ純水を間欠的に流すようにしてもよい。その場合、上記第１循環時において、分岐通路（31）に流れた純水の全量がバイパス通路（33）へ流れる状態と、分岐通路（31）に流れた純水の一部がバイパス通路（33）へ流れて残りがイオン交換通路（32）へ流れる状態とが交互に切り換わるように電動弁（35）を開度制御してもよい。つまり、上記バイパス通路（33）には、純水が常時流れる。 In this embodiment, the electromagnetic valve (35) is used, but instead of this, the three-type motor-operated valve (35) of the first embodiment is used to purely connect the ion exchange passage (32) during the first circulation. You may make it flow water intermittently. In that case, during the first circulation, a state in which the total amount of pure water flowing to the branch passage (31) flows to the bypass passage (33) and a part of pure water flowing to the branch passage (31) The opening degree of the motor-operated valve (35) may be controlled so that the state in which the flow flows to 33) and the remaining flow to the ion exchange passageway (32) is alternately switched. That is, pure water always flows through the bypass passage (33).
《発明の実施形態４》
本実施形態４の冷却装置（10）は、図示しないが、上記実施形態１が分岐回路（30）の流量調整手段として電動弁を用いたのに代えて、実施形態３における電磁弁（35）を用いるようにしたものである。
<< Embodiment 4 of the Invention >>
Although the cooling device (10) of the fourth embodiment is not shown, the electromagnetic valve (35) in the third embodiment is used instead of the motor-operated valve as the flow rate adjusting means of the branch circuit (30) in the first embodiment. Is used.
この場合、コントローラ（50）の切換部（51）は、純水の導電率が所定値未満の場合、イオン交換通路（32）を閉状態とし且つバイパス通路（33）を開状態とする第１循環となるように電磁弁（35）を制御する。また、上記切換部（51）は、純水の導電率が所定値以上の場合、イオン交換通路（32）を開状態とし且つバイパス通路（33）を閉状態とする第２循環となるように電磁弁（35）を制御する。すなわち、上記分岐通路（31）に流れた純水の全量が純水の導電率に応じてイオン交換通路（32）およびバイパス通路（33）の何れか一方に流れる。 In this case, when the pure water conductivity is less than the predetermined value, the switching unit (51) of the controller (50) first closes the ion exchange passage (32) and opens the bypass passage (33). The solenoid valve (35) is controlled so as to circulate. In addition, when the conductivity of pure water is equal to or higher than a predetermined value, the switching unit (51) performs the second circulation in which the ion exchange passage (32) is opened and the bypass passage (33) is closed. Control the solenoid valve (35). That is, the total amount of pure water that has flowed through the branch passage (31) flows into either the ion exchange passage (32) or the bypass passage (33) according to the conductivity of the pure water.
このように、純水の導電率が所定値未満の場合、イオン交換通路（32）へは純水を流さないので、イオン交換装置（34）の劣化を抑制しつつ、純水の導電率を制御することができる。その他の構成、作用および効果は、実施形態１と同様である。 Thus, since the pure water does not flow into the ion exchange passage (32) when the conductivity of the pure water is less than the predetermined value, the conductivity of the pure water is reduced while suppressing the deterioration of the ion exchange device (34). Can be controlled. Other configurations, operations, and effects are the same as those in the first embodiment.
《その他の実施形態》
上記実施形態２では、分岐回路（30）において、イオン交換通路（32）およびバイパス通路（33）のそれぞれに電磁弁（36,37）を設けるようにしたが、それぞれに開度調整可能な電動弁を設けるようにしてもよい。
<< Other Embodiments >>
In the second embodiment, in the branch circuit (30), the electromagnetic valves (36, 37) are provided in the ion exchange passage (32) and the bypass passage (33), respectively. A valve may be provided.
また、上記各実施形態では、熱源側系統（12）を冷却水が流れる熱源回路（40）により構成するようにしたが、冷媒が循環して蒸気圧縮式冷凍サイクルを行う冷媒回路により構成するようにしてもよい。その場合、上記冷却熱交換器（25）は、冷媒が冷却回路（20）の純水と熱交換して蒸発し、純水を冷却する蒸発器として機能することになる。 In each of the above embodiments, the heat source side system (12) is configured by the heat source circuit (40) through which cooling water flows. However, the heat source side system (12) is configured by a refrigerant circuit that performs a vapor compression refrigeration cycle by circulating the refrigerant. It may be. In this case, the cooling heat exchanger (25) functions as an evaporator for cooling the pure water by evaporating the refrigerant by exchanging heat with the pure water in the cooling circuit (20).
また、上記各実施形態では、イオン交換通路（32）およびバイパス通路（33）の出口端を冷却熱交換器（25）の流入側に接続するようにしたが、タンク（21）に接続するようにしてもよい。 In each of the above embodiments, the outlet ends of the ion exchange passage (32) and the bypass passage (33) are connected to the inflow side of the cooling heat exchanger (25), but are connected to the tank (21). It may be.
以上説明したように、本発明は、冷却水を循環させて半導体装置などの被冷却物を冷却する冷却装置として有用である。 As described above, the present invention is useful as a cooling device that circulates cooling water and cools an object to be cooled such as a semiconductor device.
10 冷却装置
20 冷却回路
25 冷却熱交換器
30 分岐回路
32 イオン交換通路
33 バイパス通路
34 イオン交換装置
35 電動弁（流量調整手段）
51 切換部（切換手段）
10 Cooling device
20 Cooling circuit
25 Cooling heat exchanger
30 branch circuit
32 Ion exchange passage
33 Bypass passage
34 Ion exchanger
35 Motorized valve (flow rate adjusting means)
51 Switching section (switching means)
Claims (7)
冷却水のイオン交換装置（34）を有し、上記冷却回路（20）の被冷却物へ向かって流れる冷却水の一部が被冷却物をバイパスする分岐回路（30）とを備えた冷却装置であって、
上記分岐回路（30）は、イオン交換装置（34）が配設されるイオン交換通路（32）と、該イオン交換通路（32）と並列に設けられるバイパス通路（33）と、冷却水の導電率に基づいてイオン交換通路（32）とバイパス通路（33）との冷却水の流量を調整する流量調整手段（35）とを備えている
ことを特徴とする冷却装置。 A cooling circuit (20) with a cooling heat exchanger (25) through which cooling water flows,
A cooling device having a cooling water ion exchange device (34) and a branch circuit (30) in which a part of the cooling water flowing toward the object to be cooled of the cooling circuit (20) bypasses the object to be cooled Because
The branch circuit (30) includes: an ion exchange passage (32) in which an ion exchange device (34) is disposed; a bypass passage (33) provided in parallel with the ion exchange passage (32); A cooling apparatus comprising flow rate adjusting means (35) for adjusting the flow rate of cooling water in the ion exchange passage (32) and the bypass passage (33) based on the rate.
冷却水の導電率が所定値未満の場合、上記イオン交換通路（32）を閉状態とし且つバイパス通路（33）を開状態とする第１循環と、冷却水の導電率が所定値以上の場合、イオン交換通路（32）を開状態とし且つバイパス通路（33）を閉状態とする第２循環とに切り換えるように流量調整手段（35）を制御する切換手段（51）を備えている
ことを特徴とする冷却装置。 In claim 1,
When the cooling water conductivity is less than a predetermined value, when the ion exchange passage (32) is closed and the bypass passage (33) is open, and the cooling water conductivity is a predetermined value or more. And a switching means (51) for controlling the flow rate adjusting means (35) so as to switch to the second circulation in which the ion exchange passage (32) is opened and the bypass passage (33) is closed. A cooling device characterized.
冷却水の導電率が所定値未満の場合、イオン交換通路（32）の冷却水の流量よりバイパス通路（33）の冷却水の流量が多くなるように分配する第１循環と、冷却水の導電率が所定値以上の場合、イオン交換通路（32）を開状態とし且つバイパス通路（33）を閉状態とする第２循環とに切り換えるように流量調整手段（35）を制御する切換手段（51）を備えている
ことを特徴とする冷却装置。 In claim 1,
When the conductivity of the cooling water is less than a predetermined value, the first circulation is distributed so that the flow rate of the cooling water in the bypass passage (33) is larger than the flow rate of the cooling water in the ion exchange passage (32), and the conductivity of the cooling water When the rate is equal to or higher than a predetermined value, switching means (51) for controlling the flow rate adjusting means (35) to switch to the second circulation in which the ion exchange passage (32) is opened and the bypass passage (33) is closed. A cooling device.
冷却水の導電率が所定値未満の場合、少なくともイオン交換通路（32）へ冷却水が間欠的に流れるように分配する第１循環と、冷却水の導電率が所定値以上の場合、イオン交換通路（32）を開状態とし且つバイパス通路（33）を閉状態とする第２循環とに切り換えるように流量調整手段（35）を制御する切換手段（51）を備えている
ことを特徴とする冷却装置。 In claim 1,
When the conductivity of the cooling water is less than a predetermined value, at least a first circulation that distributes the cooling water intermittently to the ion exchange passage (32), and when the conductivity of the cooling water is a predetermined value or more, ion exchange Switching means (51) is provided for controlling the flow rate adjusting means (35) so as to switch to the second circulation in which the passage (32) is opened and the bypass passage (33) is closed. Cooling system.
上記切換手段（51）は、第１循環時にイオン交換装置（34）の温度に基づいてイオン交換通路（32）とバイパス通路（33）との冷却水の流量を調節するように流量調整手段（35）を制御する
ことを特徴とする冷却装置。 In claim 3,
The switching means (51) adjusts the flow rate of the cooling water in the ion exchange passage (32) and the bypass passage (33) based on the temperature of the ion exchange device (34) during the first circulation. 35) a cooling device characterized by controlling.
上記切換手段（51）は、第１循環時にイオン交換装置（34）の温度に基づいて冷却水が間欠的に流れる時間を調節する
ことを特徴とする冷却装置。 In claim 4,
The switching means (51) adjusts the time during which cooling water flows intermittently based on the temperature of the ion exchange device (34) during the first circulation.
上記イオン交換通路（32）の出口端は、冷却回路（20）において被冷却物より流れ出た冷却水が冷却熱交換器（25）へ流入する通路に接続されている
ことを特徴とする冷却装置。 In any one of Claims 2-4,
The cooling device characterized in that the outlet end of the ion exchange passage (32) is connected to a passage through which cooling water flowing out from the object to be cooled flows into the cooling heat exchanger (25) in the cooling circuit (20). .
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