JP2005331739A - Grin lens and manufacturing method therefor - Google Patents

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Hidenobu Hamada
英伸 浜田
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a GRIN lens and a manufacturing method therefor capable of manufacturing a polymer-made GRIN lens at a low cost, which is used as a lens for conversion etc. of beam state according to the connection between different optical systems in the field of optics. <P>SOLUTION: The GRIN lens 4 is provided with a cylindrical mold part 1, which is transparent with respect to at least ultraviolet rays and is cylindrical and a lens part 2 which is filled inside the cylindrical part 1 and has at least a part having a refractive index of decreasing as the part leaves from the optical axis in the vertical direction, with respect to the optical axis passing the open end part of one side and the open end part of the other side of the cylindrical mold part 1. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、GRINレンズおよびその製造方法に関する。例えば、光軸からの距離に従って放物線状に屈折率が低下する円柱形上のGRINレンズおよびその製造方法に関する。   The present invention relates to a GRIN lens and a manufacturing method thereof. For example, the present invention relates to a cylindrical GRIN lens whose refractive index decreases in a parabolic manner according to the distance from the optical axis, and a manufacturing method thereof.

光学分野において、導波路間や光源−導波路間など、異なる光学系の結合にはビーム状態を変換するためにレンズが使用される。このレンズには、レンズの入射端と出射端の空気との界面での屈折を利用する凸(凹)レンズや、入出力端面の少なくとも一方が平坦な柱形状を有し、光軸からの距離に従って屈折率が放物線状に低下(または、上昇)するGRINレンズなどが使用できるが、レンズ効果を屈折率分布形状で制御し、光軸調整をレンズ形状で制御できるGRINレンズのほうが、アセンブリが容易でコストダウンができる。   In the optical field, a lens is used to convert a beam state for coupling of different optical systems such as between waveguides or between a light source and a waveguide. This lens has a convex (concave) lens that uses refraction at the air interface between the entrance end and the exit end of the lens, and a flat column shape on at least one of the input and output end faces, and is a distance from the optical axis. A GRIN lens whose refractive index decreases (or rises) in a parabolic manner can be used, but it is easier to assemble a GRIN lens that can control the lens effect with the refractive index distribution shape and the optical axis adjustment with the lens shape. Can reduce costs.

従来のGRINレンズは、合成樹脂の場合は共重合するモノマーを合成樹脂の表面から拡散させ、ガラスの場合はガラス修飾酸化物をガラスの表面からイオン交換拡散させることで、表面からの距離に従って屈折率が増加するようにされていた(例えば、特許文献1参照)。   The conventional GRIN lens refracts according to the distance from the surface by diffusing the monomer to be copolymerized from the surface of the synthetic resin in the case of synthetic resin, and ion-exchange diffusion of the glass modified oxide from the surface of the glass in the case of glass. The rate has been increased (see, for example, Patent Document 1).

また、不完全重合させた自己保形成を有する母材の表面から、その母材と異なる屈折率を有する重合体を生成する単量体を拡散させるとともに重合させ、この単量体の拡散速度と重合速度を制御することで、屈折率分布を高精度に制御するものもある(例えば、特許文献2参照)。   Further, from the surface of the base material having self-supporting formation that is incompletely polymerized, a monomer that forms a polymer having a refractive index different from that of the base material is diffused and polymerized. Some control the refractive index distribution with high accuracy by controlling the polymerization rate (see, for example, Patent Document 2).

また、連続押出法により製造される熱可塑性樹脂の芯線の中心部に周囲からYAGレーザーでレーザー光を集光させて、中心部で最大となる集光パワー分布に従って中心部から周囲に向かって屈折率が低下する屈折率分布を有する芯線(光ファイバー)を製造するものもある(例えば、特許文献3参照)。
特開昭57−53702号公報(第1図) 特開昭60−73502号公報(第1図) 特開昭63−33705号公報(第1図)
In addition, the laser beam is condensed from the periphery with a YAG laser at the center of the thermoplastic resin core wire manufactured by continuous extrusion method, and refracted from the center to the periphery according to the maximum power distribution at the center. Some manufacture a core wire (optical fiber) having a refractive index distribution with a decreasing rate (see, for example, Patent Document 3).
JP 57-53702 (FIG. 1) JP-A-60-73502 (FIG. 1) JP 63-33705 A (FIG. 1)

しかしながら、特許文献1および特許文献2の製造方法では、不完全ポリマー(重合体)の母材内を、その母材と異なる屈折率を有するポリマーを生成するモノマー(単量体)が物理的に表面から内部へ移動(拡散)し、拡散したモノマーが重合して母材を構成するポリマーと混合することによって屈折率分布を形成させるので、重合に高価な装置が必要であり、モノマーの移動に長時間を要するという課題があった。また、単に屈折率の異なるポリマーの混合対であるので、温度変化などにより経年変化が起こることなどの欠点もある。さらに、樹脂材料として全フッ素樹脂を使用するのが一般であるため、材料自身が高価になってしまう、という課題もある。   However, in the production methods of Patent Document 1 and Patent Document 2, a monomer (monomer) that generates a polymer having a refractive index different from that of the base material is physically formed in the base material of the incomplete polymer (polymer). It moves from the surface to the inside (diffusion), and the diffused monomer is polymerized and mixed with the polymer that forms the base material to form a refractive index distribution. There was a problem of requiring a long time. In addition, since the polymer is simply a mixed pair of polymers having different refractive indexes, there is a drawback that secular change occurs due to a temperature change or the like. Furthermore, since it is common to use a fluororesin as the resin material, there is a problem that the material itself becomes expensive.

一方、特許文献3の製造方法は、熱可塑性樹脂内にレーザー照射によるパワー分布を設けることにより屈折率分布を形成させるので、高価な高パワーレーザーが必要であること、また、同一材料を変質させるだけなので大きな屈折率差が期待できないこと、などの課題がある。   On the other hand, since the manufacturing method of Patent Document 3 forms a refractive index distribution by providing a power distribution by laser irradiation in a thermoplastic resin, an expensive high power laser is necessary, and the same material is altered. Therefore, there is a problem that a large refractive index difference cannot be expected.

本発明は、上記従来の課題を解決するもので、簡単なプロセスで安価に作製できる、
GRINレンズおよびその製造方法を提供することを目的とする。
The present invention solves the above-mentioned conventional problems, and can be manufactured at a low cost by a simple process.
An object of the present invention is to provide a GRIN lens and a manufacturing method thereof.

上述した課題を解決するために、第1の本発明は、
少なくとも紫外線に対して透明で、筒形状をした筒状型部と、
前記筒状型部の内部に充填され、前記筒状型部の一方の開放端部と他方の開放端部を通る光軸に対して、前記光軸から垂直方向に離れるに従って屈折率が低下する部分を少なくとも有する、レンズ部とを備えたGRINレンズである。
In order to solve the above-described problem, the first aspect of the present invention provides:
A cylindrical mold part that is transparent to at least ultraviolet rays and has a cylindrical shape;
The refractive index decreases with increasing distance from the optical axis with respect to the optical axis filled in the cylindrical mold part and passing through one open end and the other open end of the cylindrical mold part. A GRIN lens having at least a portion and a lens portion.

第2の本発明は、
前記レンズ部は、酸化反応により屈折率が変化する樹脂であり、
前記屈折率分布は、加熱しながら前記樹脂に紫外線を照射した際の酸素濃度分布により制御される、第1の本発明のGRINレンズである。
The second aspect of the present invention
The lens part is a resin whose refractive index changes due to an oxidation reaction,
The refractive index distribution is the GRIN lens according to the first aspect of the present invention, which is controlled by an oxygen concentration distribution when the resin is irradiated with ultraviolet rays while being heated.

第3の本発明は、
前記樹脂は、ポリシラン構造を有する樹脂であり、
前記屈折率分布は、前記ポリシラン構造と、前記ポリシラン構造が化学変化して形成されたシロキサン構造との分布により形成されている、第2の本発明のGRINレンズである。
The third aspect of the present invention provides
The resin is a resin having a polysilane structure,
The GRIN lens according to the second aspect of the present invention, wherein the refractive index distribution is formed by a distribution of the polysilane structure and a siloxane structure formed by chemically changing the polysilane structure.

第4の本発明は、
前記レンズ部の屈折率分布は、前記光軸を中心とする同心円上で、屈折率極大部分(屈折率極大値:n)からの距離rに対する前記屈折率n(r)が、近似的に(数1)の2次関数に沿って低下する、第1乃至第3のいずれかの本発明のGRINレンズである。
The fourth invention relates to
The refractive index distribution of the lens portion is approximately the same as the refractive index n (r) with respect to the distance r from the refractive index maximum portion (refractive index maximum value: n 1 ) on a concentric circle centered on the optical axis. The GRIN lens according to any one of the first to third aspects of the present invention decreases along a quadratic function of (Equation 1).

Figure 2005331739

第5の本発明は、
少なくとも紫外線に対して透明で、筒形状をした筒状型部の内部に、酸素雰囲気中で加熱されながら紫外線が照射されることにより化学変化を生じて屈折率が変化する樹脂を充填する第1の工程と、
前記樹脂を充填した前記筒状型部の周囲から、酸素雰囲気中で加熱しながら紫外線を実質上均質に照射する第2の工程とを備えた、GRINレンズの製造方法である。
Figure 2005331739

The fifth aspect of the present invention relates to
First, a cylindrical mold part that is transparent to at least ultraviolet rays and filled with a resin whose refractive index changes due to a chemical change caused by irradiation with ultraviolet rays while being heated in an oxygen atmosphere. And the process of
And a second step of substantially uniformly irradiating ultraviolet rays while heating in an oxygen atmosphere from the periphery of the cylindrical mold portion filled with the resin.

第6の本発明は、
前記樹脂は、ポリシラン構造を有する樹脂であり、
前記第2工程で前記樹脂を硬化させる際に、前記樹脂の一部が、前記ポリシラン構造からシロキサン構造に変化する、第5の本発明のGRINレンズの製造方法である。
The sixth invention relates to
The resin is a resin having a polysilane structure,
When the resin is cured in the second step, a part of the resin is changed from the polysilane structure to the siloxane structure.

第7の本発明は、
前記第2の工程は、前記筒状型部の一部に紫外線を照射する照射装置を、前記筒状型部に対して相対的に移動させることにより、前記筒状型部の2つの開放端面を結ぶ高さ方向について、紫外線を実質上均質に照射する、第5の本発明のGRINレンズの製造方法である。
The seventh invention relates to
In the second step, two open end surfaces of the cylindrical mold part are moved by moving an irradiation device that irradiates a part of the cylindrical mold part with respect to the cylindrical mold part. In the manufacturing method of the GRIN lens of the fifth aspect of the present invention, ultraviolet rays are irradiated substantially uniformly in the height direction connecting the two.

第8の本発明は、
前記第1の工程は、前記筒状型部の一方の開放端部を容器に溜めた前記樹脂内に挿入した後、毛細管現象を利用することにより、または筒状型部内の気圧を前記容器内の気圧よりも低くすることにより、前記樹脂を前記筒状型部の他方の開放端部まで誘導する、第5の本発明のGRINレンズの製造方法である。
The eighth invention relates to
In the first step, after inserting one open end of the cylindrical mold part into the resin stored in the container, the capillary process is used, or the atmospheric pressure in the cylindrical mold part is reduced in the container. The GRIN lens manufacturing method according to the fifth aspect of the present invention is configured to guide the resin to the other open end of the cylindrical mold portion by lowering the pressure below the atmospheric pressure.

第9の本発明は、
前記第2の工程で前記筒状型部の内部に充填された前記樹脂を硬化させた後に、
さらに、切断した後の前記筒状型部の長さがπ/2g(gは、屈折率分布定数)の整数倍になるように、前記筒状型を、内部に充填された前記樹脂とともに、前記筒状型部の開放端面と平行に切断する第3の工程を備えた、第5の本発明のGRINレンズの製造方法である。
The ninth invention relates to
After curing the resin filled in the cylindrical mold part in the second step,
Further, the cylindrical mold is combined with the resin filled therein so that the length of the cylindrical mold portion after cutting is an integral multiple of π / 2 g (g is a refractive index distribution constant). It is a manufacturing method of the GRIN lens of 5th this invention provided with the 3rd process cut | disconnected in parallel with the open end surface of the said cylindrical mold part.

第10の本発明は、
前記第2の工程の後、硬化後の樹脂が内在する前記筒状型部の、2つの開放端面を結ぶ高さ方向の長さを変化させることにより、前記筒状型部の太さを変化させた後、第3の工程を行う、第9の本発明のGRINレンズの製造方法である。
The tenth aspect of the present invention is
After the second step, the thickness of the cylindrical mold part is changed by changing the length in the height direction connecting the two open end faces of the cylindrical mold part in which the cured resin is inherent. Then, the third step is performed, and the manufacturing method of the GRIN lens of the ninth aspect of the present invention is performed.

本発明により、簡単なプロセスで安価に作製できる、GRINレンズおよびその製造方法を提供できる。   According to the present invention, it is possible to provide a GRIN lens and a manufacturing method thereof that can be manufactured at low cost by a simple process.

以下、本発明の実施の形態を、図面を参照しながら説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

(実施の形態1)
図1は、本発明の実施の形態1のポリシラン製GRINレンズの構成概要図である。
(Embodiment 1)
FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a polysilane-made GRIN lens according to Embodiment 1 of the present invention.

本実施の形態1の円筒型付GRINレンズ4は、少なくとも紫外線に対して透明な円筒型部分1と、透明円筒型部分1の内部に充填されたGRINレンズ部分2で構成されている。GRINレンズ部分2は、光軸に対して垂直方向に、光軸からの距離に従って屈折率がほぼ放物線状に低下する屈折率分布3を有するポリシラン構造を有している。   The GRIN lens 4 with a cylindrical mold according to the first embodiment includes a cylindrical part 1 that is transparent to at least ultraviolet rays, and a GRIN lens part 2 that is filled inside the transparent cylindrical part 1. The GRIN lens portion 2 has a polysilane structure having a refractive index distribution 3 in a direction perpendicular to the optical axis, the refractive index of which decreases substantially parabolically according to the distance from the optical axis.

次に、本実施の形態1のポリシラン製の円筒型付GRINレンズ4の製造方法について、図2〜図4を使用して説明する。   Next, a method for manufacturing the polysilane cylindrical GRIN lens 4 according to the first embodiment will be described with reference to FIGS.

図2は、本実施の形態1のポリシラン製の円筒型付GRINレンズ4の製造方法の工程概要図である。   FIG. 2 is a process schematic diagram of the manufacturing method of the cylindrical-type GRIN lens 4 made of polysilane according to the first embodiment.

円筒型付GRINレンズ4の製造方法は、まず、図2(a)に示すように、ガラス管や樹脂管などの少なくとも紫外線に対して透明で十分な長さがある透明円筒型5の一端を容器に溜めたポリシラン構造を有する樹脂(硬化前ポリシラン)6内に漬け、毛細管現象を使用して硬化前ポリシラン6を透明円筒型5の他端まで誘導し、透明円筒型5内に硬化前ポリシラン6を充填させる。なお、透明円筒型5は、本発明の筒状型部の一例である。   As shown in FIG. 2A, the manufacturing method of the GRIN lens 4 with a cylindrical mold is as follows. First, one end of a transparent cylindrical mold 5 having a sufficient length that is transparent to at least ultraviolet rays such as a glass tube or a resin tube is used. The resin is immersed in a resin (pre-curing polysilane) 6 having a polysilane structure stored in a container, and the pre-curing polysilane 6 is guided to the other end of the transparent cylindrical mold 5 by using a capillary phenomenon. 6 is filled. The transparent cylindrical mold 5 is an example of a cylindrical mold part of the present invention.

次に、図2(b)に示すように、加熱しながら、リング状のリング型紫外線照射装置8を使用して硬化前ポリシラン6が充填された透明円筒型5の周囲から長手方向の長さに対して短い幅の帯状に紫外線を一様に照射する。それとともに、透明円筒型5の長手方向に透明円筒型5とリング型紫外線照射放置8の少なくとも一方を移動、すなわち透明円筒型5をリング型紫外線照射放置8に対して相対的移動方向9に相対的に移動させて、透明円筒型5の長手方向にも紫外線を一様に照射させる。ここで、リング型紫外線照射装置8は、透明円筒型5の長手方向の一部の幅の周囲に、一様に紫外線を照射できる紫外線照射装置であり、本発明の照射装置の一例である。   Next, as shown in FIG. 2 (b), the length in the longitudinal direction from the periphery of the transparent cylindrical mold 5 filled with the pre-curing polysilane 6 using a ring-shaped ring-type ultraviolet irradiation device 8 while being heated. In contrast, ultraviolet rays are uniformly irradiated in a strip shape having a short width. At the same time, at least one of the transparent cylindrical mold 5 and the ring-type ultraviolet irradiation exposure 8 is moved in the longitudinal direction of the transparent cylindrical mold 5, that is, the transparent cylindrical mold 5 is relative to the ring-type ultraviolet irradiation exposure 8 relative to the moving direction 9. The ultraviolet rays are uniformly irradiated also in the longitudinal direction of the transparent cylindrical mold 5. Here, the ring-type ultraviolet irradiation device 8 is an ultraviolet irradiation device that can uniformly irradiate ultraviolet rays around a part of the width of the transparent cylindrical mold 5 in the longitudinal direction, and is an example of the irradiation device of the present invention.

加熱しながら紫外線を照射することにより、透明円筒型5に充填されている硬化前ポリシラン6は酸化反応により硬化後ポリシラン7となり、中心から周囲に向かって屈折率が低下する屈折率分布が形成される。この紫外線照射を透明円筒型5の長手方向の全長に渡って行うことにより、円筒型付GI型導波路10が作製される。   By irradiating ultraviolet rays while heating, the pre-curing polysilane 6 filled in the transparent cylindrical mold 5 becomes a polysilane 7 after curing by an oxidation reaction, and a refractive index distribution in which the refractive index decreases from the center toward the periphery is formed. The By performing this ultraviolet irradiation over the entire length of the transparent cylindrical mold 5 in the longitudinal direction, the GI waveguide 10 with a cylindrical mold is produced.

最後に、図2(c)に示すように、この円筒型付GI型導波路10を、レンズに必要な長さになるように、光軸に対して垂直に切断することにより、円筒型付GRINレンズ4が完成する。   Finally, as shown in FIG. 2 (c), this cylindrically attached GI-type waveguide 10 is cut perpendicularly to the optical axis so as to have a length required for the lens. The GRIN lens 4 is completed.

なお、図2(a)、(b)、(c)に示す各工程が、それぞれ、本発明の、第1の工程、第2の工程、第3の工程の一例である。   2A, 2B, and 2C are examples of the first step, the second step, and the third step of the present invention, respectively.

図3は、本実施の形態1の円筒型付GRINレンズ4の、図2(b)に示す製造工程における、ポリシラン製母材の化学反応による変化を示している。   FIG. 3 shows changes due to the chemical reaction of the polysilane base material in the manufacturing process shown in FIG. 2B of the cylindrical GRIN lens 4 according to the first embodiment.

図4は、本実施の形態1の円筒型付GRINレンズ4の、図2(b)に示す製造工程において、ポリシラン製母材に屈折率分布が形成されるメカニズムを示している。なお、図2と同じ構成部分については、同じ符号を用いている。   FIG. 4 shows the mechanism by which the refractive index distribution is formed in the polysilane base material in the manufacturing process shown in FIG. 2B of the cylindrical GRIN lens 4 according to the first embodiment. In addition, the same code | symbol is used about the same component as FIG.

一般に、酸素雰囲気中で加熱しながらポリシラン構造に紫外線を照射して硬化させると、図3に示すように、紫外線照射によってポリシラン構造15が酸化反応を起こし、相対的に低屈折率のシロキサン構造16に変化する。つまり、図2(b)に示す硬化後ポリシラン7は、ポリシラン構造とシロキサン構造を有していることになる。   In general, when the polysilane structure is irradiated with ultraviolet rays and cured while being heated in an oxygen atmosphere, the polysilane structure 15 undergoes an oxidation reaction by irradiation with ultraviolet rays as shown in FIG. To change. That is, the post-curing polysilane 7 shown in FIG. 2B has a polysilane structure and a siloxane structure.

従って、図4に示すように、予め酸化物などを拡散させて酸素原子を含んだ状態のポリシラン構造を有する樹脂(硬化前ポリシラン)6を、透明円筒型5に充填させて円柱形状にしておき、円周方向から紫外線を均質に照射すると、周囲からの紫外線照射によりポリシラン構造の酸化反応が周囲ほど活発に起こる。その結果、酸素消費量は周囲から内部へ向かうほど少なくなるので、内部ほど相対的に屈折率が低いシロキサン構造が少ない分布となる。   Therefore, as shown in FIG. 4, a resin (pre-curing polysilane) 6 having a polysilane structure in which an oxygen atom is diffused in advance by diffusing an oxide or the like is filled into a transparent cylindrical mold 5 to form a cylindrical shape. When the ultraviolet rays are uniformly irradiated from the circumferential direction, the oxidation reaction of the polysilane structure occurs more actively as the surroundings are irradiated by the ultraviolet rays from the surroundings. As a result, the oxygen consumption decreases from the surroundings toward the inside, so that the distribution of the siloxane structure having a relatively low refractive index becomes smaller toward the inside.

図4は、上から順に、透明円筒型5の、紫外線12を照射する前の状態、紫外線12を照射中の状態、紫外線12の照射後の状態を示している。透明円筒型5の周囲から紫外線12を照射することにより、光軸11付近はポリシラン構造が多く残るポリシラン構造多部分13となり、光軸11から遠ざかるにしたがって、ポリシラン構造から酸化反応によりシロキサン構造が多いシロキサン構造多部分14となる。したがって、光軸11部分の屈折率が最も大きく、光軸11から遠ざかるにしたがって屈折率が低下していく屈折率分布が形成される。また、光軸11から遠ざかるほどポリシラン構造の酸化反応が活発に起こるので、酸素消費量は、光軸11から遠ざかるほど多くなる。   FIG. 4 shows, in order from the top, the state of the transparent cylindrical mold 5 before irradiating the ultraviolet rays 12, the state during the irradiation with the ultraviolet rays 12, and the state after the irradiation with the ultraviolet rays 12. By irradiating ultraviolet rays 12 from the periphery of the transparent cylindrical mold 5, a polysilane structure multi-part 13 remains in the vicinity of the optical axis 11 with a large amount of polysilane structure. As the distance from the optical axis 11 increases, the polysilane structure has more siloxane structures by oxidation reaction. The siloxane structure multi-part 14 is obtained. Therefore, a refractive index distribution is formed in which the refractive index of the optical axis 11 portion is the largest and the refractive index decreases as the distance from the optical axis 11 increases. Further, since the oxidation reaction of the polysilane structure occurs more actively as the distance from the optical axis 11 increases, the oxygen consumption increases as the distance from the optical axis 11 increases.

このようにして作製された円筒型付GRINレンズ4のGRINレンズ部分2には、図1に示すように、光軸部分が極大で光軸から遠ざかるに従って屈折率が低下する放物線状屈折率分布3が形成される。   As shown in FIG. 1, the GRIN lens portion 2 of the cylindrical GRIN lens 4 thus manufactured has a parabolic refractive index distribution 3 in which the optical axis portion is maximal and the refractive index decreases as the distance from the optical axis increases. Is formed.

つまり、GRINレンズ部分2の屈折率分布は、光軸を中心とする同心円上で、屈折率極大部分(屈折率極大値:n)からの距離rに対する屈折率n(r)が、屈折率分布定数をgとした場合、近似的に、下記の(1)式の2次関数に沿って低下する分布となる。

Figure 2005331739
That is, the refractive index distribution of the GRIN lens portion 2 is such that the refractive index n (r) with respect to the distance r from the refractive index maximum portion (refractive index maximum value: n 1 ) on a concentric circle centered on the optical axis is the refractive index. When the distribution constant is g, the distribution approximately decreases along the quadratic function of the following equation (1).
Figure 2005331739

なお、本実施の形態1では、硬化前ポリシラン6を透明円筒型5に充填させる方法を、毛細管現象を利用する方法としたが、それ以外の方法で充填させてもよい。例えば、透明円筒型5内の気圧を、硬化前ポリシラン6が溜められている容器内の気圧よりも低くすることにより、硬化前ポリシラン6を透明円筒型5の他端まで誘導する方法で充填させてもよい。    In the first embodiment, the method of filling the pre-curing polysilane 6 into the transparent cylindrical mold 5 is a method using the capillary phenomenon, but it may be filled by other methods. For example, the pressure in the transparent cylindrical mold 5 is made lower than the pressure in the container in which the pre-curing polysilane 6 is stored, so that the pre-curing polysilane 6 is filled to the other end of the transparent cylindrical mold 5. May be.

また、本実施の形態1の図2(b)に示す工程で照射する紫外線の強度を、光軸周辺の特定範囲には到達しないように調整することで、その特定範囲を同じ屈折率の極大部分とすることができる。光軸周辺の特定範囲の硬化前ポリシランは、シロキサン構造に変化せずポリシラン構造のまま残るので、その特定範囲では、屈折率が同じである屈折率分布を有することになる。その特定範囲の周りの部分は、光軸から遠ざかるにしたがって、ポリシラン構造がより多く酸化反応によりシロキサン構造に変化するので、光軸から遠ざかるにしたがって屈折率が低下する屈折率分布が形成される。   Further, by adjusting the intensity of the ultraviolet rays irradiated in the step shown in FIG. 2B of the first embodiment so as not to reach the specific range around the optical axis, the specific range is maximized with the same refractive index. Can be part. Since the pre-curing polysilane in the specific range around the optical axis does not change to the siloxane structure and remains in the polysilane structure, the specific range has a refractive index distribution with the same refractive index. In the portion around the specific range, as the distance from the optical axis increases, the polysilane structure changes to a siloxane structure by an oxidation reaction, so that a refractive index distribution is formed in which the refractive index decreases as the distance from the optical axis increases.

図5は、このように紫外線の強度を調整して照射した場合に作製される円筒型付GRINレンズ24の構成概要図である。このようにして作製された円筒型付GRINレンズ24は、透明円筒型部分21の内部に、図5に示すような屈折率分布を有するGRINレンズ部分22が形成される。GRINレンズ部分22の屈折率分布は、光軸を中心とした紫外線が到達しなかった範囲は屈折率一定部分25となり、その周りの屈折率分布は、光軸から遠ざかるにしたがって屈折率が低下する放物線状屈折率分布23となる。ここで、屈折率一定部分25は、酸化反応を起こさずにポリシラン構造のまま残っている部分なので、GRINレンズ部分22の極大の屈折率部分となる。   FIG. 5 is a schematic diagram of the configuration of the cylindrical GRIN lens 24 produced when the intensity of ultraviolet rays is adjusted and irradiated as described above. In the GRIN lens 24 with a cylindrical mold manufactured in this way, a GRIN lens portion 22 having a refractive index distribution as shown in FIG. 5 is formed inside the transparent cylindrical portion 21. The refractive index distribution of the GRIN lens portion 22 is a constant refractive index portion 25 in a range where the ultraviolet rays around the optical axis have not reached, and the refractive index distribution around the refractive index distribution decreases as the distance from the optical axis increases. A parabolic refractive index distribution 23 is obtained. Here, since the constant refractive index portion 25 is a portion that remains in the polysilane structure without causing an oxidation reaction, it becomes the maximum refractive index portion of the GRIN lens portion 22.

(実施の形態2)
図6は、本発明の実施の形態2のポリシラン製GRINレンズの製造方法の工程概要図である。図2および図6を用いて、本実施の形態2のGRINレンズの製造方法について説明する。なお、図6では、図2と同じ構成部分については、同じ符号を用いている。
(Embodiment 2)
FIG. 6 is a process schematic diagram of a method for manufacturing a polysilane GRIN lens according to Embodiment 2 of the present invention. A method for manufacturing the GRIN lens according to the second embodiment will be described with reference to FIGS. In FIG. 6, the same reference numerals are used for the same components as in FIG.

実施の形態1のGRINレンズの製造方法とは、紫外線の照射方法が異なっており、本実施の形態2のGRINレンズの製造方法は、図2における(b)の工程を、図6の工程とするものである。   The method of manufacturing the GRIN lens of the first embodiment is different from the method of irradiating ultraviolet rays, and the method of manufacturing the GRIN lens of the second embodiment differs from the step (b) in FIG. To do.

実施の形態1では、図2(b)に示すように、リング型紫外線照射装置8を用いて紫外線を帯状に照射させたが、本実施の形態2では、部分紫外線照射器17を用いて紫外線を帯状に照射させる。   In the first embodiment, as shown in FIG. 2B, ultraviolet rays are irradiated in a band shape using the ring-type ultraviolet irradiation device 8, but in the second embodiment, the partial ultraviolet irradiator 17 is used to emit ultraviolet rays. Is irradiated in a strip shape.

透明円筒型の周囲方向に分割した2つの紫外線照射領域に、2つの部分紫外線照射器17が配置されている。そして、透明円筒型の光軸を中心にして、透明円筒型と2つの部分紫外線照射器17の少なくとも一方を移動、すなわち透明円筒型に対して2つの部分紫外線照射器17が相対的回転18の方向に相対的に回転するように移動させて、透明円筒型の長手方向の一部の帯状部分の周囲に一様に紫外線を照射させる。   Two partial ultraviolet irradiators 17 are arranged in two ultraviolet irradiation regions divided in the circumferential direction of the transparent cylindrical type. Then, at least one of the transparent cylindrical type and the two partial ultraviolet irradiators 17 is moved around the optical axis of the transparent cylindrical type, that is, the two partial ultraviolet irradiators 17 are relatively rotated with respect to the transparent cylindrical type. It moves so that it may rotate relatively in the direction, and uniformly irradiates ultraviolet rays around a part of the strip-like portion in the longitudinal direction of the transparent cylindrical mold.

このように、透明円筒型の長手方向の一部の帯状部分に一様に紫外線を照射させながら、2つの部分紫外線照射器17に対して透明円筒型を、相対的移動方向9に相対的に移動させることで、透明円筒型の長手方向にも一様に紫外線を照射させることができる。   In this way, while uniformly irradiating ultraviolet rays to a part of the strip in the longitudinal direction of the transparent cylindrical mold, the transparent cylindrical mold is relatively moved in the relative movement direction 9 with respect to the two partial ultraviolet irradiators 17. By moving it, it is possible to uniformly irradiate ultraviolet rays in the longitudinal direction of the transparent cylindrical type.

なお、本実施の形態2では、透明円筒型の周囲方向の紫外線照射領域を2つに分割し、部分紫外線照射器17を2つ設ける構成としたが、透明円筒型の周囲方向の紫外線照射領域の分割は2つに限らず、少なくとも1つ以上のいくつに分割してもよい。そして、部分紫外線照射器の数および配置される位置に特に制限はなく、分割された紫外線照射領域に合わせて設けられ、透明円筒型の長手方向の一部の周囲の帯状部分に一様に紫外線を照射できる構成であればよい。   In the second embodiment, the peripheral ultraviolet irradiation region of the transparent cylindrical type is divided into two and two partial ultraviolet irradiation units 17 are provided. However, the transparent ultraviolet irradiation region of the transparent cylindrical type is provided. The division is not limited to two, and may be divided into at least one or more. The number of partial ultraviolet irradiators and the positions where they are arranged are not particularly limited, and are provided in accordance with the divided ultraviolet irradiation regions, and the ultraviolet rays are uniformly applied to the belt-like portion around a part of the longitudinal direction of the transparent cylindrical type. Any structure can be used as long as it can be irradiated.

(実施の形態3)
図7は、本発明の実施の形態3のポリシラン製GRINレンズおよびGI型導波路の製造方法の工程概要図である。
(Embodiment 3)
FIG. 7 is a process schematic diagram of a method for manufacturing a polysilane GRIN lens and a GI waveguide according to Embodiment 3 of the present invention.

本発明の実施の形態3のGRINレンズおよびGI型導波路は、実施の形態1で作製された図2(b)に示す円筒型付GI型導波路10を加工して作製される。   The GRIN lens and the GI type waveguide according to the third embodiment of the present invention are manufactured by processing the GI type waveguide with a cylindrical shape 10 shown in FIG. 2B manufactured in the first embodiment.

まず、実施の形態1の製造方法で、円筒型付GI型導波路30を作製する。円筒型付GI型導波路30は、図2(b)の工程で作製された円筒型付GI型導波路10である。   First, the cylindrically attached GI waveguide 30 is manufactured by the manufacturing method of the first embodiment. The GI-type waveguide 30 with a cylindrical shape is the GI-type waveguide 10 with a cylindrical shape manufactured in the process of FIG.

次に、ポリシラン構造を有する樹脂を硬化させて作製した円筒型付GI型導波路30を、加熱しながら光軸方向に引っ張り力を加えると、円筒型付GI型導波路30よりも直径の小さい円筒型付GI型導波路31が得られる。   Next, when a pulling force is applied in the optical axis direction while heating the GI waveguide 30 with a cylindrical shape produced by curing a resin having a polysilane structure, the diameter is smaller than that of the GI waveguide 30 with a cylindrical shape. A cylindrically attached GI-type waveguide 31 is obtained.

そして、この円筒型付GI型導波路31を適当な長さに切断することで、円筒型付GRINレンズ32を作製できる。円筒型付GI型導波路31を作製する際の、円筒型付GI型導波路30に加える引っ張り力を調整することで、任意の直径の円筒型付GI型導波路31が得られるので、任意の直径の円筒型付GRINレンズ32を作製できる。   Then, the cylindrical GRIN lens 32 can be manufactured by cutting the cylindrically attached GI waveguide 31 into an appropriate length. By adjusting the pulling force applied to the GI waveguide 30 with cylinder when the GI waveguide 31 with cylinder is manufactured, the GI waveguide 31 with any diameter can be obtained. Can be produced.

また、円筒型付GI型導波路31を適当な長さに切断しないで、そのままGI型光ファイバーのように使用することも可能である。   Further, it is possible to use the GI type waveguide 31 with a cylindrical shape as it is like a GI type optical fiber without cutting it into an appropriate length.

また、複数の円筒型付GI型導波路30を加熱しながら光軸方向に引っ張り力を加え、その際に、これらの複数本の円筒型付GI型導波路30の側壁を融着させることで、長さの長い円筒型付導波路33を作製することも可能である。   In addition, a tensile force is applied in the optical axis direction while heating the plurality of GI type waveguides 30 with a cylindrical shape, and at that time, the side walls of the plurality of GI type waveguides 30 with a cylindrical type are fused. It is also possible to produce a cylindrical waveguide 33 with a long length.

なお、各実施の形態でGRINレンズやGI型導波路を作製する際に、ポリシラン硬化後に透明円筒型を除去しても良い。   In each embodiment, the transparent cylindrical shape may be removed after the polysilane is cured when a GRIN lens or a GI-type waveguide is manufactured.

また、各実施の形態において、GRINレンズ長として、集光光と平行光を入出力端で自由に組合せできるπ/2g(gは、屈折率分布定数)の整数倍の長さにすることが最も有効的である。   In each embodiment, the GRIN lens length is set to a length that is an integral multiple of π / 2g (g is a refractive index distribution constant) in which the condensed light and the parallel light can be freely combined at the input and output ends. Most effective.

また、各実施の形態で説明したように、ポリシラン構造よりも屈折率の小さい材質の透明円筒型を使用することが望ましいが、紫外線ビームのパワー分布に比較して透明円筒型の径が十分に大きければ、ポリシラン構造よりも屈折率の大きい材質の透明円筒型を使用しても実質上問題はない。   In addition, as described in each embodiment, it is desirable to use a transparent cylindrical type made of a material having a refractive index smaller than that of the polysilane structure, but the diameter of the transparent cylindrical type is sufficiently larger than the power distribution of the ultraviolet beam. If it is large, there is substantially no problem even if a transparent cylindrical type made of a material having a refractive index larger than that of the polysilane structure is used.

以上に説明したように、加熱した状態で、透明円筒型で円柱形状に保持されたポリシラン構造を有するポリマー母材の表面から紫外線を照射することにより、ポリマー母材は、周囲から中心に向かってより少なくなるポリシラン構造の酸化反応に従って相対的に低屈折率のシロキサン構造へ変化するので、円柱形状のポリマー母材に、光軸から周囲に向かって屈折率が放物線上に低下する屈折率分布を形成させることが出来る。   As described above, by irradiating ultraviolet rays from the surface of a polymer base material having a polysilane structure held in a cylindrical shape with a transparent cylindrical shape in a heated state, the polymer base material is directed from the periphery toward the center. Since the siloxane structure changes to a relatively low refractive index according to the oxidation reaction of the polysilane structure that becomes smaller, the refractive index distribution in which the refractive index decreases on the parabola from the optical axis to the periphery on the cylindrical polymer matrix. It can be formed.

本発明のGRINレンズの製造方法を用いることにより、従来の高価な装置を必要としていたポリマー製GRINレンズを、安価なポリシラン系樹脂と市販の透明円筒パイプと紫外線照射器を使用することで、簡単なプロセスで安価に作製することができる。   By using the GRIN lens manufacturing method of the present invention, a conventional polymer GRIN lens that requires an expensive device can be easily obtained by using an inexpensive polysilane resin, a commercially available transparent cylindrical pipe, and an ultraviolet irradiator. Can be manufactured inexpensively by a simple process.

本発明のGRINレンズの製造方法は、GRINレンズの低コスト化方法として有用である。   The manufacturing method of the GRIN lens of the present invention is useful as a method for reducing the cost of the GRIN lens.

本発明の実施の形態1のポリシラン製GRINレンズの構成概要図1 is a schematic configuration diagram of a polysilane GRIN lens according to a first embodiment of the present invention. (a)〜(c)本発明の実施の形態1のポリシラン製GRINレンズの製造方法の工程概要図(A)-(c) Process outline | summary figure of the manufacturing method of the GRIN lens made from polysilane of Embodiment 1 of this invention 本発明の実施の形態1のポリシラン製母材における化学反応を示す図The figure which shows the chemical reaction in the base material made from polysilane of Embodiment 1 of this invention 本発明の実施の形態1のポリシラン製母材が屈折率分布を形成するメカニズムを説明する図The figure explaining the mechanism in which the base material made from polysilane of Embodiment 1 of this invention forms refractive index distribution 本発明の実施の形態1の他の屈折率分布を有するポリシラン製GRINレンズの構成概要図Configuration schematic diagram of a polysilane GRIN lens having another refractive index profile of Embodiment 1 of the present invention 本発明の実施の形態2の部分照射する紫外線を回転方向と長手方向に走査する紫外線照射方法の概要図Schematic diagram of ultraviolet irradiation method for scanning in the rotation direction and the longitudinal direction with the partial irradiation ultraviolet according to Embodiment 2 of the present invention 本発明の実施の形態3の、GRINレンズおよびGI型導波路の製造方法を示す工程概要図Process outline | summary which shows the manufacturing method of the GRIN lens and GI type | mold waveguide of Embodiment 3 of this invention

符号の説明Explanation of symbols

1、21 透明円筒型部分
2、22 GRINレンズ部分
3、23 放物線状屈折率分布
4、24 円筒型付GRINレンズ
5 透明円筒型
6 硬化前ポリシラン(ポリシラン構造を有する樹脂)
7 硬化後ポリシラン(ポリシラン構造とシロキサン構造を有する樹脂)
8 リング型紫外線照射装置
9 相対的移動方向
10 円筒型付GI型導波路
11 光軸
12 紫外線
13 ポリシラン構造多部分
14 シロキサン構造多部分
15 ポリシラン構造
16 シロキサン構造
17 部分紫外線照射器
18 相対的回転
25 屈折率一定部分
30、31、33 円筒型付GI型導派路
32 円筒型付GRINレンズ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1,21 Transparent cylindrical part 2,22 GRIN lens part 3,23 Parabolic refractive index distribution 4,24 GRIN lens with cylindrical type 5 Transparent cylindrical type 6 Pre-curing polysilane (resin having polysilane structure)
7 Polysilane after curing (resin having polysilane structure and siloxane structure)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 8 Ring type ultraviolet irradiation device 9 Relative moving direction 10 GI type waveguide with cylindrical type 11 Optical axis 12 Ultraviolet ray 13 Polysilane structure multi-part 14 Siloxane structure multi-part 15 Polysilane structure 16 Siloxane structure 17 Partial UV irradiator 18 Relative rotation 25 Refractive index constant part 30, 31, 33 GI type guide path with cylindrical type 32 GRIN lens with cylindrical type

Claims (10)

少なくとも紫外線に対して透明で、筒形状をした筒状型部と、
前記筒状型部の内部に充填され、前記筒状型部の一方の開放端部と他方の開放端部を通る光軸に対して、前記光軸から垂直方向に離れるに従って屈折率が低下する部分を少なくとも有する、レンズ部とを備えたGRINレンズ。
A cylindrical mold part that is transparent to at least ultraviolet rays and has a cylindrical shape;
The refractive index decreases with increasing distance from the optical axis with respect to the optical axis filled in the cylindrical mold part and passing through one open end and the other open end of the cylindrical mold part. A GRIN lens having at least a portion and a lens portion.
前記レンズ部は、酸化反応により屈折率が変化する樹脂であり、
前記屈折率分布は、加熱しながら前記樹脂に紫外線を照射した際の酸素濃度分布により制御される、請求項1に記載のGRINレンズ。
The lens part is a resin whose refractive index changes due to an oxidation reaction,
The GRIN lens according to claim 1, wherein the refractive index distribution is controlled by an oxygen concentration distribution when the resin is irradiated with ultraviolet rays while being heated.
前記樹脂は、ポリシラン構造を有する樹脂であり、
前記屈折率分布は、前記ポリシラン構造と、前記ポリシラン構造が化学変化して形成されたシロキサン構造との分布により形成されている、請求項2に記載のGRINレンズ。
The resin is a resin having a polysilane structure,
The GRIN lens according to claim 2, wherein the refractive index distribution is formed by a distribution of the polysilane structure and a siloxane structure formed by chemically changing the polysilane structure.
前記レンズ部の屈折率分布は、前記光軸を中心とする同心円上で、屈折率極大部分(屈折率極大値:n)からの距離rに対する前記屈折率n(r)が、近似的に(数1)の2次関数に沿って低下する、請求項1乃至3のいずれかに記載のGRINレンズ。
Figure 2005331739
The refractive index distribution of the lens portion is approximately the same as the refractive index n (r) with respect to the distance r from the refractive index maximum portion (refractive index maximum value: n 1 ) on a concentric circle centered on the optical axis. The GRIN lens according to claim 1, which decreases along a quadratic function of (Equation 1).
Figure 2005331739
少なくとも紫外線に対して透明で、筒形状をした筒状型部の内部に、酸素雰囲気中で加熱されながら紫外線が照射されることにより化学変化を生じて屈折率が変化する樹脂を充填する第1の工程と、
前記樹脂を充填した前記筒状型部の周囲から、酸素雰囲気中で加熱しながら紫外線を実質上均質に照射する第2の工程とを備えた、GRINレンズの製造方法。
First, a cylindrical mold part that is transparent to at least ultraviolet rays and filled with a resin whose refractive index changes due to a chemical change caused by irradiation with ultraviolet rays while being heated in an oxygen atmosphere. And the process of
And a second step of substantially uniformly irradiating ultraviolet rays while heating in an oxygen atmosphere from the periphery of the cylindrical mold portion filled with the resin.
前記樹脂は、ポリシラン構造を有する樹脂であり、
前記第2工程で前記樹脂を硬化させる際に、前記樹脂の一部が、前記ポリシラン構造からシロキサン構造に変化する、請求項5に記載のGRINレンズの製造方法。
The resin is a resin having a polysilane structure,
The method for manufacturing a GRIN lens according to claim 5, wherein when the resin is cured in the second step, a part of the resin changes from the polysilane structure to a siloxane structure.
前記第2の工程は、前記筒状型部の一部に紫外線を照射する照射装置を、前記筒状型部に対して相対的に移動させることにより、前記筒状型部の2つの開放端面を結ぶ高さ方向について、紫外線を実質上均質に照射する、請求項5に記載のGRINレンズの製造方法。   In the second step, two open end surfaces of the cylindrical mold part are moved by moving an irradiation device that irradiates a part of the cylindrical mold part with respect to the cylindrical mold part. The manufacturing method of the GRIN lens of Claim 5 which irradiates an ultraviolet-ray substantially uniformly about the height direction which ties. 前記第1の工程は、前記筒状型部の一方の開放端部を容器に溜めた前記樹脂内に挿入した後、毛細管現象を利用することにより、または筒状型部内の気圧を前記容器内の気圧よりも低くすることにより、前記樹脂を前記筒状型部の他方の開放端部まで誘導する、請求項5に記載のGRINレンズの製造方法。   In the first step, after inserting one open end of the cylindrical mold part into the resin stored in the container, the capillary process is used, or the atmospheric pressure in the cylindrical mold part is reduced in the container. The manufacturing method of the GRIN lens of Claim 5 which guide | induces the said resin to the other open end part of the said cylindrical type | mold part by making it lower than this atmospheric pressure. 前記第2の工程で前記筒状型部の内部に充填された前記樹脂を硬化させた後に、
さらに、切断した後の前記筒状型部の長さがπ/2g(gは、屈折率分布定数)の整数倍になるように、前記筒状型を、内部に充填された前記樹脂とともに、前記筒状型部の開放端面と平行に切断する第3の工程を備えた、請求項5に記載のGRINレンズの製造方法。
After curing the resin filled in the cylindrical mold part in the second step,
Further, the cylindrical mold is combined with the resin filled therein so that the length of the cylindrical mold portion after cutting is an integral multiple of π / 2 g (g is a refractive index distribution constant). The manufacturing method of the GRIN lens of Claim 5 provided with the 3rd process cut | disconnected in parallel with the open end surface of the said cylindrical mold part.
前記第2の工程の後、硬化後の樹脂が内在する前記筒状型部の、2つの開放端面を結ぶ高さ方向の長さを変化させることにより、前記筒状型部の太さを変化させた後、第3の工程を行う、請求項9に記載のGRINレンズの製造方法。
After the second step, the thickness of the cylindrical mold part is changed by changing the length in the height direction connecting the two open end faces of the cylindrical mold part in which the cured resin is inherent. The method of manufacturing a GRIN lens according to claim 9, wherein a third step is performed after the step.
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