JP2005331345A - Lens inspection device and lens inspection method - Google Patents

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学 秋葉
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篤 伊藤
Hiroyuki Miyake
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Hiroyuki Sasai
浩之 笹井
Kiyoshi Takada
清志 高田
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a lens inspection device and a lens inspection method for evaluating not only the performance of a lens single body but also the performance of the assembled state as an imaging device which is the final product. <P>SOLUTION: An imaging part 7 is equipped with an imaging element 6 to which the scaling of the light receiving quantity similar to an imaging element provided in an imaging device using a lens is applied, and a chart 4 wherein white domains and black domains spreading radially at equal angles from the center point are arranged alternately adjacently is imaged, and an evaluation part 10 determines the ratio of gray domains included in the image, to thereby determine the quality of an inspection object lens. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

この発明は、カメラ等に用いられるレンズ検査装置及びレンズ検査方法に関するものである。   The present invention relates to a lens inspection device and a lens inspection method used for a camera or the like.

従来、カメラの撮影レンズの性能評価や検査を行う場合には、検査対象のレンズを用いて解像力評価用のチャート図が記されたチャート板を撮像し、このチャート図の画像の解像力を視覚的に判断する方法や、例えば特許文献1に開示されているMTF(Modulation Transfer Function)法を用いて性能を評価する方法が用いられている。また、例えばファイバーオプティックプレート(以下FOPと称する)等の光学繊維束やCCD等の固体撮像素子を用いたMTF検査装置が、特許文献2に開示されている。   Conventionally, when performing a performance evaluation or inspection of a taking lens of a camera, a chart board on which a chart for resolution evaluation is captured using a lens to be inspected, and the resolution of the image of the chart is visually determined. For example, a method of evaluating performance using an MTF (Modulation Transfer Function) method disclosed in Patent Document 1 is used. For example, Patent Document 2 discloses an MTF inspection apparatus using an optical fiber bundle such as a fiber optic plate (hereinafter referred to as FOP) or a solid-state image sensor such as a CCD.

例えば、従来のレンズ検査装置として、検査対象の撮像レンズを保持具によって位置決めし、その状態で搬送装置の可動部に取り付け、この撮影レンズの前方に所定の距離をおいて評価用チャート板を移動可能に配置させるものがある。評価用チャート板は、望遠状態での描写性能評価用のチャート板と、広角状態での描写性能評価用のチャート板とから構成され、駆動手段によって撮影レンズの光軸方向(Z方向)及び光軸方向と直交する方向(X方向)に移動可能に配置される。この評価用チャート板には解像力評価用のチャート図が描かれている。   For example, as a conventional lens inspection device, an imaging lens to be inspected is positioned by a holder, attached in that state to a movable part of a transport device, and an evaluation chart plate is moved at a predetermined distance in front of the imaging lens There is something that can be arranged. The evaluation chart plate is composed of a chart plate for evaluating drawing performance in the telephoto state and a chart plate for evaluating drawing performance in the wide-angle state, and the optical axis direction (Z direction) and light of the photographing lens by the driving means. It arrange | positions so that a movement in the direction (X direction) orthogonal to an axial direction is possible. On this evaluation chart plate, a chart for resolving power evaluation is drawn.

一方、撮影レンズの後方には、フラットファイバー・オプティック・プレート(F−FOP)と称される光学繊維束が配置される。この光学繊維束の一端は、撮影レンズを通過してきたチャート画像の入射面となっている。一方、この光学繊維束の他端は、チャート画像の出射面となる。この光学繊維束の後方には、光学繊維束から出射されるチャート画像を拡大する光学系(拡大光学系)が配置される。光学系の後方には光学系からの画像を受光するように、例えばCCDカメラ等の撮像手段が取り付けられ、CCDカメラを構成する撮像素子、即ちCCD素子の前面にはカバーガラスが配置される。これら光学繊維束、光学系、およびCCDカメラにて撮影ブロックが構成されている。   On the other hand, an optical fiber bundle called a flat fiber optic plate (F-FOP) is disposed behind the taking lens. One end of the optical fiber bundle is an incident surface of the chart image that has passed through the photographing lens. On the other hand, the other end of the optical fiber bundle is an emission surface of the chart image. An optical system (enlarging optical system) for enlarging the chart image emitted from the optical fiber bundle is disposed behind the optical fiber bundle. An imaging means such as a CCD camera is attached behind the optical system so as to receive an image from the optical system, and a cover glass is disposed on the imaging element constituting the CCD camera, that is, the front surface of the CCD element. The optical fiber bundle, the optical system, and the CCD camera constitute a photographing block.

この撮像ブロックは、XYZ各方向の3次元に移動可能に構成され、更に、Z軸中心のθ方向にも回転可能な移動回転手段であるXYZθステージによって保持される。このXYZθステージは、搬送装置上に保持されている。更にCCDカメラは、適宜の手段(例えばケーブル接続)により制御手段、判定手段として機能する演算処理装置に接続される。演算処理装置は、CCDカメラにて撮像したチャート画像の情報を基に、光学繊維束の入射面の3次元位置を演算し、一定のCCD素子とチャートの模様の位置や角度を合わせるように、XYZθステージの位置制御を行う。また、演算処理装置は、表示装置へ接続されている。更に、演算処理装置は、CCDカメラにて撮像したチャートの画像情報を基に撮影レンズの描写性能の演算値をデジタル的な値として出力する。表示装置は、演算処理装置の出力結果を表示するCRTディスプレイ又は液晶ディスプレイ等により構成される。   This imaging block is configured to be movable in three dimensions in XYZ directions, and is held by an XYZθ stage which is a moving and rotating means that can also rotate in the θ direction about the Z axis. This XYZθ stage is held on a transfer device. Further, the CCD camera is connected to an arithmetic processing unit that functions as a control unit and a determination unit by appropriate means (for example, cable connection). The arithmetic processing unit calculates the three-dimensional position of the incident surface of the optical fiber bundle based on the information of the chart image captured by the CCD camera, and adjusts the position and angle of a certain CCD element and the pattern of the chart, The position of the XYZθ stage is controlled. The arithmetic processing unit is connected to a display device. Furthermore, the arithmetic processing unit outputs a calculation value of the drawing performance of the photographing lens as a digital value based on the image information of the chart imaged by the CCD camera. The display device includes a CRT display or a liquid crystal display that displays an output result of the arithmetic processing unit.

このように構成された装置は、まず、撮影レンズを保持具に保持させ、レンズ焦点距離を望遠状態若しくは広角状態の焦点距離に設定し、これに合わせて望遠状態での描写性能評価用のチャート板、又は広角状態での描写性能評価用のチャート板のいずれかが前記撮影レンズに対峙し、かつその焦点面に位置するように当該評価用チャート板を移動する。次に、光学繊維束の入射面を、XYZθステージにより初期作動させ、解析すべきチャート図に対応する位置へ移動させる。この時、光学繊維束の入射面にはチャート図の実像が形成され、さらに出射面を経てCCDカメラに実像の光束が入射して撮像される。   The apparatus configured in this manner first holds the photographic lens on the holder, sets the lens focal length to the focal length in the telephoto state or the wide-angle state, and according to this, a chart for evaluating the drawing performance in the telephoto state The evaluation chart plate is moved so that either the plate or the chart plate for evaluating the drawing performance in the wide-angle state faces the photographing lens and is located on the focal plane. Next, the incident surface of the optical fiber bundle is initially operated by an XYZθ stage and moved to a position corresponding to the chart to be analyzed. At this time, a real image of the chart is formed on the incident surface of the optical fiber bundle, and the real image light flux is incident on the CCD camera through the exit surface and is imaged.

演算処理装置は、CCDカメラにて撮像した評価用チャートの画像情報から、光学繊維束の入射面の3次元位置を演算し、一定のCCD素子と、チャートの模様の位置、角度とを合わせるように、XYZθステージの位置制御を行う。このようにして、光学繊維束の入射面の位置及びCCDカメラの位置を決定した後、CCDカメラによる撮像画像の情報を更に演算処理装置にて演算し、撮像レンズの描写性能を評価する各値を求め、またこの値をデジタル値として出力し、これを表示装置に表示させる(例えば、特許文献3参照)。   The arithmetic processing unit calculates the three-dimensional position of the incident surface of the optical fiber bundle from the image information of the evaluation chart imaged by the CCD camera so as to match a certain CCD element with the position and angle of the chart pattern. In addition, the position of the XYZθ stage is controlled. After determining the position of the entrance surface of the optical fiber bundle and the position of the CCD camera in this way, each value for evaluating the imaging performance of the imaging lens by further calculating the information of the image captured by the CCD camera with an arithmetic processing unit. And this value is output as a digital value and displayed on a display device (see, for example, Patent Document 3).

特開平9−243515号公報JP-A-9-243515 特開平10−206993号公報JP-A-10-206993 特開2002−31585号公報(第4頁〜第5頁、図1,図2)Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-31585 (pages 4 to 5, FIGS. 1 and 2)

従来のレンズ検査装置は以上のように構成されているので、レンズ単体において性能評価を行うことから、例えばCCDカメラモジュール用レンズのようなものを評価した場合、最終製品として撮像装置に組み上げた状態の性能数値との比較が難しく、また、撮像装置にレンズを組み込んだ後に評価すると、レンズ単体の不良であっても撮像装置の不良と見なされ、当該撮像装置の生産性が悪化するという課題があった。   Since the conventional lens inspection device is configured as described above, performance evaluation is performed on a single lens, so that when a lens such as a CCD camera module lens is evaluated, for example, it is assembled in an imaging device as a final product. It is difficult to compare with the numerical value of performance, and when evaluating after incorporating a lens into the imaging device, even if the lens alone is defective, the imaging device is regarded as defective, and the productivity of the imaging device deteriorates. there were.

この発明は上記のような課題を解決するためになされたもので、レンズ単体の性能評価だけでなく、最終製品である撮像装置として組み上げた状態の性能を評価するレンズ検査装置及びレンズ検査方法を得ることを目的とする。   The present invention has been made to solve the above-described problems, and includes a lens inspection device and a lens inspection method for evaluating not only the performance of a single lens but also the performance of an assembled state as an imaging device as a final product. The purpose is to obtain.

この発明に係るレンズ検査装置は、撮像手段にレンズが使用される撮像装置に備えられる撮像素子と同様な受光量のスケーリングがなされた撮像素子を備えたものである。   The lens inspection apparatus according to the present invention includes an imaging element in which the received light amount is scaled in the same manner as an imaging element provided in an imaging apparatus in which a lens is used as an imaging unit.

この発明によれば、撮像手段にレンズが使用される撮像装置に備えられる撮像素子と同様な受光量のスケーリングがなされた撮像素子を備えたので、レンズ単体の光学的検査では判定できない不具合を最終製品である撮像装置を組み立てる前に判定することができ、撮像装置の生産性を向上させることができるという効果がある。   According to the present invention, since the image pickup device having the same amount of received light as that of the image pickup device provided in the image pickup apparatus in which the lens is used as the image pickup means is provided, the problem that cannot be determined by the optical inspection of the lens alone is finally obtained. It is possible to determine before assembling the imaging device as a product, and there is an effect that the productivity of the imaging device can be improved.

以下、この発明の実施の一形態を説明する。
実施の形態1.
図1は、この発明の実施の形態1によるレンズ検査装置の構成を示す説明図である。図示したレンズ検査装置11は、その内部にレンズ保持機構部1、ライト等の照明3、撮像対象のチャート像が描かれたパネル等のチャート4、チャート4を保持するチャート保持機構部5、被検査対象のレンズを用いてチャート4を撮像する撮像部(撮像手段)7、及び撮像部7を可動させて被検査対象のレンズと撮像部7に備えられた撮像素子6との距離を調整する焦点調整部8を備える。撮像部7は、撮像素子6の出力信号が画像処理部9へ出力されるように、例えばケーブル7aなどの接続手段により画像処理部9に接続される。画像処理部9は、撮像した画像等を表示する表示手段を有すると共にデータ処理において演算・判定機能を有する例えばパソコンあるいはパソコンと同等の機能を備えた評価部(評価手段)10に接続される。なお、上述の被検査対象のレンズは、レンズ単体のものや複数のレンズを組み合わせたレンズユニット等を指すもので、以下、このように様々な被検査対象のレンズ等を被検レンズと記載する。
An embodiment of the present invention will be described below.
Embodiment 1 FIG.
FIG. 1 is an explanatory diagram showing the configuration of a lens inspection apparatus according to Embodiment 1 of the present invention. The illustrated lens inspection device 11 includes a lens holding mechanism unit 1, an illumination 3 such as a light, a chart 4 such as a panel on which a chart image to be imaged is drawn, a chart holding mechanism unit 5 that holds the chart 4, An imaging unit (imaging unit) 7 that captures the chart 4 using the lens to be inspected, and the imaging unit 7 are moved to adjust the distance between the lens to be inspected and the imaging device 6 provided in the imaging unit 7. A focus adjustment unit 8 is provided. The imaging unit 7 is connected to the image processing unit 9 by connection means such as a cable 7a so that the output signal of the imaging element 6 is output to the image processing unit 9. The image processing unit 9 is connected to, for example, a personal computer or an evaluation unit (evaluation unit) 10 having a function equivalent to that of a personal computer having display means for displaying a captured image and the like and having a calculation / determination function in data processing. The lens to be inspected refers to a single lens or a lens unit in which a plurality of lenses are combined. Hereinafter, various lenses to be inspected will be referred to as a lens to be inspected. .

レンズ検査装置11の内部は、次のように構成される。レンズ保持機構部1とチャート保持機構部5が対向して設置される。詳しくはレンズ保持機構部1のレンズ挿入部2に保持される被検レンズと、チャート保持機構部5に保持されるチャート4が対向するように設置される。チャート保持機構部5は、例えばレンズ検査装置11の内壁面11aに固定され、内壁面11aに対向する内壁面11b側にレンズ保持機構部1、撮像部7、及び焦点調整部8が備えられる。内壁面11b側には、例えば当該内壁面11bに焦点調整部8が固定される。焦点調整部8は、図1に矢印aを用いて示したように撮像部7を被検レンズに向って遠ざけたり近づけたりする方向に可動させる、即ち被検レンズと撮像素子6との距離を調整する機構を有する。   The inside of the lens inspection apparatus 11 is configured as follows. The lens holding mechanism unit 1 and the chart holding mechanism unit 5 are installed to face each other. Specifically, the test lens held by the lens insertion portion 2 of the lens holding mechanism portion 1 and the chart 4 held by the chart holding mechanism portion 5 are installed so as to face each other. The chart holding mechanism unit 5 is fixed to, for example, the inner wall surface 11a of the lens inspection device 11, and the lens holding mechanism unit 1, the imaging unit 7, and the focus adjusting unit 8 are provided on the inner wall surface 11b side facing the inner wall surface 11a. On the inner wall surface 11b side, for example, the focus adjustment unit 8 is fixed to the inner wall surface 11b. The focus adjustment unit 8 moves the imaging unit 7 in the direction of moving away from or approaching the test lens as indicated by the arrow a in FIG. 1, that is, the distance between the test lens and the image sensor 6. It has a mechanism to adjust.

レンズ検査装置11の内部において、撮像部7の前方、即ち撮像部7とチャート4との間には、例えば内壁面11bに柱状部材を用いて固定されたレンズ保持機構部1が設置される。レンズ保持機構部1は、チャート4に対向する部位に、被検レンズを着脱可能にしながら当該被検レンズを固定するレンズ挿入部2が設けられている。このレンズ挿入部2が設けられたレンズ保持機構部1の部位には、レンズ挿入部2に被検レンズを保持させた状態で当該被検レンズを透過した撮像光が撮像素子6に達するように、図示されない透過孔が設けられている。即ち、撮像素子6がレンズ挿入部2に固定された被検レンズの透過光を受光することができるように、撮像部7が焦点調整部8に搭載される。このように被検レンズの出射面側には、チャート4を撮像する撮像部7が配置される。このときの配置は、被検レンズと撮像素子6との位置関係が、例えばカメラモジュール等の最終製品と同様なものである。照明3は、例えば図示したようにレンズ保持機構部5の両側方近傍に配置され、チャート4を照らす明るさにむらが生じないように光の照射方向や設置台数等を調整して備えられる。   Inside the lens inspection device 11, the lens holding mechanism 1 fixed to the inner wall surface 11b using a columnar member is installed in front of the imaging unit 7, that is, between the imaging unit 7 and the chart 4, for example. The lens holding mechanism section 1 is provided with a lens insertion section 2 for fixing the lens to be tested while detachably mounting the lens to be tested on a portion facing the chart 4. In the portion of the lens holding mechanism portion 1 where the lens insertion portion 2 is provided, the imaging light transmitted through the test lens while the lens insertion portion 2 holds the test lens reaches the imaging device 6. A transmission hole (not shown) is provided. That is, the imaging unit 7 is mounted on the focus adjustment unit 8 so that the imaging element 6 can receive the transmitted light of the test lens fixed to the lens insertion unit 2. As described above, the imaging unit 7 that images the chart 4 is arranged on the exit surface side of the lens to be examined. In this arrangement, the positional relationship between the test lens and the image sensor 6 is the same as that of the final product such as a camera module. For example, the illumination 3 is arranged near both sides of the lens holding mechanism unit 5 as shown in the figure, and is provided by adjusting the light irradiation direction, the number of installed units, and the like so that the brightness that illuminates the chart 4 does not vary.

撮像部7は、例えば、撮像素子6として受光した光を電荷に変換するCCD素子を備え、また、撮像素子6の受光・出力動作を垂直方向に駆動するVドライバと、撮像素子6の受光・出力動作を水平方向に駆動するタイミングジェネレータと、CCD素子の出力信号をデジタル信号に変換するアナログフロントエンドとを備える。このようなCCD素子などの撮像素子には、光源中心から均一な光量が受光されるようにマイクロレンズが備えられ、当該マイクロレンズにより受光量のスケーリングが施されている。撮像素子は、機種毎にマイクロレンズによるスケーリングの最適化がなされており、機種が異なる撮像素子ではスケーリングが異なるため、撮像装置のレンズとの適合性が好ましくない場合は、撮像した画像に、例えば画像の周辺部分が暗くなる等の影響が生じる。そのため、この発明によるレンズ検査装置は、被検レンズの性能を正確に評価できるように撮像素子6を含む光学系を最終製品と同等に構成したものである。   The image pickup unit 7 includes, for example, a CCD element that converts light received as the image pickup element 6 into electric charges, a V driver that drives the light reception / output operation of the image pickup element 6 in the vertical direction, and the light reception / output of the image pickup element 6. A timing generator for driving the output operation in the horizontal direction and an analog front end for converting the output signal of the CCD element into a digital signal are provided. Such an imaging element such as a CCD element is provided with a microlens so that a uniform amount of light is received from the center of the light source, and the received light amount is scaled by the microlens. The imaging device has been optimized for scaling by micro lens for each model, and since the scaling is different for imaging devices of different models, if compatibility with the lens of the imaging device is not preferable, An effect such as darkening of the peripheral portion of the image occurs. For this reason, the lens inspection apparatus according to the present invention is configured such that the optical system including the image sensor 6 is equivalent to the final product so that the performance of the test lens can be accurately evaluated.

画像処理部9は、前述のようにケーブル7aなどの接続手段によって撮像部7に接続されるもので、最終製品の撮像装置と同等の画像処理機能及び処理特性を備える。当該画像処理部9は、例えばデジタルシグナルプロセッサ(DSP)等の制御手段を備え、撮像部7が撮像した画像信号を入力し、自動露光調整、自動ホワイトバランス調整、出力画像サイズ調整、色補間・階調補正、色差マトリクス変換等のデータ処理を行い、画像データを生成して出力するものである。   As described above, the image processing unit 9 is connected to the imaging unit 7 by connection means such as the cable 7a, and has an image processing function and processing characteristics equivalent to those of the final product imaging apparatus. The image processing unit 9 includes a control unit such as a digital signal processor (DSP), for example, and inputs an image signal captured by the imaging unit 7, and performs automatic exposure adjustment, automatic white balance adjustment, output image size adjustment, color interpolation / Data processing such as gradation correction and color difference matrix conversion is performed to generate and output image data.

評価部10は、ケーブルなどの接続手段によって画像処理部9に接続され、当該画像処理部9から入力した画像データの演算処理や判定処理等を行い、また、後述するように焦点調整部8の動作制御を行うものである。なお、図1では評価部10と焦点調整部8との接続の図示を省略している。   The evaluation unit 10 is connected to the image processing unit 9 by a connecting means such as a cable, and performs arithmetic processing, determination processing, and the like of the image data input from the image processing unit 9, and also includes a focus adjustment unit 8 as described later. It performs operation control. In FIG. 1, illustration of the connection between the evaluation unit 10 and the focus adjustment unit 8 is omitted.

次に動作について説明する。
図2は、実施の形態1によるレンズ検査装置の動作を示すフローチャートである。初めに被検レンズを挿入部2へ挿入させ、レンズ保持機構部1に保持してレンズ検査装置11の内部に固定する(ステップST101)。画像処理部9は、照明3により照らし出されたチャート4を撮像部7を用いて撮像する。評価部10は、このとき画像処理部9から出力された画像データに基づいて、焦点調整部8を制御してチャート4の画像が明瞭に撮像されるように焦点調整を行う(ステップST102)。この焦点調整は、例えば、焦点調整部8に撮像部7を摺動させる駆動手段を備え、評価部10が画像処理部9から取得した画像データの焦点に関するデータについて演算処理を行い、その演算結果に基づくフィードバック制御を焦点調整部8に行って撮像部7の位置を摺動させる。また、焦点調整部8にリューズ等のような操作手段と、この操作手段の操作に応じて搭載している撮像部7が摺動する機構を備え、ユーザに操作手段を手動で操作させて撮像部7と被検レンズの距離を調整させるようにしてもよく、このとき撮像部7が撮像した画像データを評価部10の表示手段に再現表示させてユーザに調整させるようにしてもよい。撮像部7の位置を移動させて焦点調整を行うことにより、当該レンズ検査装置内部に配置された被検レンズと撮像部7との距離は、最終製品を組み立てた場合の距離と同様になる。
Next, the operation will be described.
FIG. 2 is a flowchart showing the operation of the lens inspection apparatus according to the first embodiment. First, the test lens is inserted into the insertion unit 2 and is held by the lens holding mechanism unit 1 and fixed inside the lens inspection device 11 (step ST101). The image processing unit 9 captures an image of the chart 4 illuminated by the illumination 3 using the imaging unit 7. Based on the image data output from the image processing unit 9 at this time, the evaluation unit 10 controls the focus adjustment unit 8 to perform focus adjustment so that the image of the chart 4 is clearly captured (step ST102). The focus adjustment includes, for example, a driving unit that slides the imaging unit 7 on the focus adjustment unit 8, and the evaluation unit 10 performs arithmetic processing on data related to the focus of the image data acquired from the image processing unit 9, and the calculation result The focus control unit 8 performs feedback control based on the above to slide the position of the imaging unit 7. Further, the focus adjustment unit 8 includes an operation unit such as a crown and a mechanism in which the imaging unit 7 mounted according to the operation of the operation unit slides, and the user manually operates the operation unit to perform imaging. The distance between the unit 7 and the test lens may be adjusted. At this time, the image data captured by the imaging unit 7 may be reproduced and displayed on the display unit of the evaluation unit 10 and adjusted by the user. By adjusting the focus by moving the position of the imaging unit 7, the distance between the lens to be tested and the imaging unit 7 arranged in the lens inspection apparatus is the same as the distance when the final product is assembled.

画像処理部9は、このように焦点が調整された状態で、撮像部7を用いてチャート4を撮像し、前述のような自動露光調整、自動ホワイトバランス調整、出力画像サイズ調整、色補間・階調補正、色差マトリクス変換等の処理を行って画像データを生成し、評価部10へ出力する。評価部10は、このように処理された画像データを取得する(ステップST103)。このとき取得した画像データは、最終製品である撮像装置と同等の撮像素子6及び画像処理部9を用いて撮像及びデータ処理が行われたもので、最終製品の撮像装置によって取得される画像データと同等なデータである。評価部10は、取得した画像データに所定の演算及び判定処理を行い、また当該画像データを画像に再現して自ら備える表示手段に表示し、ユーザに確認させる(ステップST104)。画像処理部9から画像データを入力した評価部10は、前述のように所定の処理及び判定処理を行う。このとき、入力した画像データの、例えば画像データに含まれている焦点に関するデータを用いて演算を行い、焦点に関する性能を示す数値を求める。このように焦点に関する性能を数値化した後、予め設定されている規格値と焦点に関する性能を示す数値とを比較し、被検レンズの良否を判定し、その判定結果を評価部10の表示手段に表示させる。ここでは焦点に関する性能を例示して説明したが、被検レンズの他の性能についても同様に数値化、判定を行い、被検レンズが最終製品に使用可能なものか否かを判定する。   The image processing unit 9 images the chart 4 using the imaging unit 7 with the focus adjusted as described above, and performs automatic exposure adjustment, automatic white balance adjustment, output image size adjustment, color interpolation, Image data is generated by performing processing such as gradation correction and color difference matrix conversion, and is output to the evaluation unit 10. The evaluation unit 10 acquires the image data processed in this way (step ST103). The image data acquired at this time is obtained by performing imaging and data processing using the imaging device 6 and the image processing unit 9 equivalent to the imaging device as the final product, and is acquired by the imaging device as the final product. Is equivalent to. The evaluation unit 10 performs predetermined calculation and determination processing on the acquired image data, reproduces the image data as an image, displays the image data on a display unit provided therein, and allows the user to confirm (step ST104). The evaluation unit 10 that has input the image data from the image processing unit 9 performs predetermined processing and determination processing as described above. At this time, calculation is performed using the input image data, for example, data related to the focus included in the image data, and a numerical value indicating the performance related to the focus is obtained. After the performance related to the focus is digitized in this way, a standard value set in advance and a numerical value indicating the performance related to the focus are compared to determine whether the test lens is good or not, and the determination result is displayed on the display unit of the evaluation unit 10. To display. Here, the focus-related performance has been described as an example. However, the other performances of the lens to be tested are similarly quantified and determined to determine whether the lens to be tested can be used for the final product.

実施の形態1によるレンズ検査装置11は、このようにして最終製品である撮像装置として組み上げた場合と同様な条件下の検査結果を取得し、この検査結果を用いた判定を行うことにより、レンズ単体の光学性能評価だけでは判定が難しかった、例えば撮像素子のスケーリングとの適合性に関するレンズ性能などを評価することが可能になり、最終製品である撮像装置に組み込んで検査しなくても、レンズ検査の段階で被検レンズの良否を判定して選別することが可能となる。   The lens inspection device 11 according to the first embodiment acquires an inspection result under the same conditions as those in the case of assembling the imaging device as the final product in this way, and performs a determination using the inspection result to thereby determine the lens. For example, it is possible to evaluate the lens performance related to the compatibility with the scaling of the image sensor, which was difficult to judge by only evaluating the optical performance of a single unit. At the inspection stage, it is possible to determine the quality of the lens to be tested and select it.

以上のように実施の形態1によれば、最終製品の撮像装置と同等な光学系を備えて被検レンズの検査を行うようにしたので、撮像装置を組み立てなければ分からなかった被検レンズの不良を組み立て前に判定することができ、撮像装置の不良品発生を抑制することができ、生産性を向上させることができるという効果がある。   As described above, according to the first embodiment, since the test lens is inspected with the optical system equivalent to the imaging device of the final product, the test lens that has not been known unless the imaging device is assembled. Defects can be determined before assembling, and the occurrence of defective products in the image pickup apparatus can be suppressed, and productivity can be improved.

実施の形態2.
実施の形態2によるレンズ検査装置は、前述の実施の形態1において図1を用いて説明したレンズ検査装置11と同様に構成されるものである。ここでは実施の形態1によるレンズ検査装置11と同様に構成される部分の説明を省略し、実施の形態2によるレンズ検査装置の特徴となる部分について説明する。
Embodiment 2. FIG.
The lens inspection apparatus according to the second embodiment is configured similarly to the lens inspection apparatus 11 described with reference to FIG. 1 in the first embodiment. Here, the description of the parts configured in the same manner as the lens inspection apparatus 11 according to the first embodiment will be omitted, and the parts that are characteristic of the lens inspection apparatus according to the second embodiment will be described.

図3−1は、この発明の実施の形態2によるレンズ検査装置に使用されるチャート像を示す概念図である。図示したチャート像12は、当該チャート像12の中心点20から同等な角度で放射状に広がる白領域と黒領域とを隣り合わせて配置したもので、図示したペア22のような隣接している白領域と黒領域とのペアを例えば12組有するもので、白領域と黒領域が交互に配置されたものである。このチャート像12は、図1に示したチャート4に描かれ、実施の形態2によるレンズ検査装置に備えられる。なお、白領域と黒領域のペア数は12組に限定されない。   FIG. 3A is a conceptual diagram showing a chart image used in the lens inspection apparatus according to Embodiment 2 of the present invention. The illustrated chart image 12 is a white area and a black area that are radially spread at an equal angle from the center point 20 of the chart image 12 and are adjacent to each other. For example, twelve pairs of black areas are included, and white areas and black areas are alternately arranged. This chart image 12 is drawn on the chart 4 shown in FIG. 1 and is provided in the lens inspection apparatus according to the second embodiment. Note that the number of pairs of white areas and black areas is not limited to twelve.

図3−2は、実施の形態2によるレンズ検査装置により撮像されたチャートの画像の一部分を拡大した説明図である。この図は、図3−1のチャート像12を撮像した画像のうち、図3−1に示したチャート像12の部分13に該当する部分を拡大して示したもので、撮像された画像では白領域と黒領域のペア22の部分に、白領域14、グレー領域16、黒領域15、及びグレー領域17を有することを示している。即ち、撮像されたペア22の画像領域には、近隣の白領域14と黒領域15に加えて、黒領域15の両側方にグレー領域16,17が含まれる。また、ペア22の他の白領域と黒領域のペアでも、撮像した画像には白領域と黒領域の境界部分に図示したようなグレー領域が含まれる。   3-2 is an explanatory diagram in which a part of the chart image captured by the lens inspection apparatus according to the second embodiment is enlarged. This figure is an enlarged view of a portion corresponding to the portion 13 of the chart image 12 shown in FIG. 3A in the image obtained by taking the chart image 12 of FIG. 3A. It is shown that the white region 14, the gray region 16, the black region 15, and the gray region 17 are included in the white region and black region pair 22. In other words, the image area of the captured pair 22 includes gray areas 16 and 17 on both sides of the black area 15 in addition to the adjacent white area 14 and black area 15. Further, even in another pair of white area and black area of the pair 22, the captured image includes a gray area as illustrated in the boundary portion between the white area and the black area.

次に動作について説明する。
図4は、実施の形態2によるレンズ検査装置により撮像されたチャートの画像を数値化した説明図である。この図は、図3に示したチャート像12の中心点20から距離rの一点破線で描いた円周21上に存在する隣り合う白領域と黒領域とを1ペアとして、この1ペア分の画像領域の明るさを数値化してグラフに表したものである。図4のグラフの縦軸は、図1に示した画像処理部9から出力される画像データのうち、画素の明るさを表す数値を示すものである。ここで例示する画像データは256階調を有するもので、図4の縦軸に示される出力数値は0〜255の値になる。また、図4のグラフの横軸は、図3に示した円周21上の任意の場所を始点とし、当該円周21上に存在する2πr個の画素に順番に付けたピクセル番号を示すものである。図4では、横軸は白領域と黒領域のペア22上に設けられた円周21の一部分に係る画素に付けられたピクセル番号227〜257を表し、縦軸は後述するように定めた数値によりピクセル番号227〜257の画素の明るさを表している。
Next, the operation will be described.
FIG. 4 is an explanatory diagram in which a chart image captured by the lens inspection apparatus according to the second embodiment is digitized. This figure shows a pair of adjacent white areas and black areas existing on the circumference 21 drawn by a dashed line with a distance r from the center point 20 of the chart image 12 shown in FIG. The brightness of the image area is digitized and represented in a graph. The vertical axis of the graph in FIG. 4 indicates a numerical value representing the brightness of the pixel in the image data output from the image processing unit 9 shown in FIG. The image data exemplified here has 256 gradations, and the output numerical value shown on the vertical axis in FIG. Also, the horizontal axis of the graph of FIG. 4 indicates the pixel numbers sequentially assigned to 2πr pixels existing on the circumference 21 starting from an arbitrary place on the circumference 21 shown in FIG. It is. In FIG. 4, the horizontal axis represents pixel numbers 227 to 257 assigned to pixels related to a part of the circumference 21 provided on the pair 22 of the white region and the black region, and the vertical axis represents a numerical value determined as described later. Represents the brightness of the pixels with pixel numbers 227 to 257.

図4は、例えば次のような明るさを有する画像を表したものである。図中左端側のピクセル番号227からピクセル番号239までの画素は、明るさが白色を示す階調を有するもので、グレーを示す上限の数値から白を示す上限の数値(白レベル)までの範囲の数値を有する。このピクセル番号の範囲が示す画素範囲を白領域とし、その領域幅をAとする。ピクセル番号240からピクセル番号243までの画素は、明るさがグレーを示す階調を有するもので、グレーを示す上限の数値からグレーを示す下限の数値までの範囲の数値を有する。このピクセル番号の範囲が示す画素範囲をグレー領域とし、その領域幅をB1とする。ピクセル番号244からピクセル番号253までの画素は、明るさが黒色を示す階調を有するもので、グレーを示す下限の数値から黒を示す下限の数値(黒レベル)までの範囲の数値を有する。このピクセル番号の範囲が示す画素範囲を黒領域とし、その領域幅をCとする。ピクセル番号254とピクセル番号255の画素は、明るさがグレーを示す階調を有するもので、グレーを示す下限の数値からグレーを示す上限の数値までの範囲の数値を有する。このピクセル番号の範囲が示す画素範囲をグレー領域とし、その領域幅をB2とする。   FIG. 4 shows an image having the following brightness, for example. Pixels from pixel number 227 to pixel number 239 on the left end side in the figure have gradations indicating brightness white, and range from an upper limit numerical value indicating gray to an upper limit numerical value indicating white (white level). It has the numerical value of. The pixel range indicated by this pixel number range is a white area, and the area width is A. Pixels from pixel number 240 to pixel number 243 have gradations indicating brightness of gray, and have numerical values ranging from an upper limit numerical value indicating gray to a lower limit numerical value indicating gray. The pixel range indicated by this pixel number range is a gray region, and the region width is B1. Pixels from pixel number 244 to pixel number 253 have gradations indicating brightness of black, and have numerical values ranging from a lower limit numerical value indicating gray to a lower limit numerical value indicating black (black level). The pixel range indicated by the pixel number range is a black region, and the region width is C. Pixels of pixel number 254 and pixel number 255 have gradations indicating brightness of gray, and have numerical values in a range from a lower limit numerical value indicating gray to an upper limit numerical value indicating gray. The pixel range indicated by this pixel number range is a gray region, and the region width is B2.

図5は、実施の形態2によるレンズ検査装置の動作の示すフローチャートである。このフローチャートは、実施の形態2によるレンズ検査方法を示すものである。初めに被検レンズを挿入部2へ挿入させ、レンズ保持機構部1に保持してレンズ検査装置11の内部に固定する(ステップST101)。起動した画像処理部9は、実施の形態1で説明したものと同様にステップST102の過程を処理し、また評価部10は撮像部7がチャート像12を撮像した画像データを取得する(ステップST103)。画像処理部9から画像データを入力した評価部10は、得られた画像データのチャート像12について、中心点20から任意の距離rの円周21上のペア22の部分の明るさを示すデータを、画素毎に図4を用いて説明したように数値化する(ステップST201)。数値化されたデータから、各ペアについて白領域の幅A、黒領域の幅C、グレー領域の幅B1,B2を求める(ステップST202)。求めた各領域の幅A,B1,B2,Cを用いて、以下の式(1)を用いて評価値を算出する(ステップST203)。この評価値はペア22の中に占める全グレー領域の割合である。
評価値=(|B1−B2|×2/(A+B1+B2+C))…(1)
FIG. 5 is a flowchart showing the operation of the lens inspection apparatus according to the second embodiment. This flowchart shows a lens inspection method according to the second embodiment. First, the test lens is inserted into the insertion unit 2, held by the lens holding mechanism unit 1, and fixed inside the lens inspection device 11 (step ST101). The activated image processing unit 9 processes the process of step ST102 in the same manner as described in the first embodiment, and the evaluation unit 10 acquires image data obtained by the imaging unit 7 capturing the chart image 12 (step ST103). ). The evaluation unit 10 that has input the image data from the image processing unit 9 is the data indicating the brightness of the pair 22 part on the circumference 21 at an arbitrary distance r from the center point 20 with respect to the chart image 12 of the obtained image data. Is digitized for each pixel as described with reference to FIG. 4 (step ST201). From the digitized data, the width A of the white area, the width C of the black area, and the widths B1 and B2 of the gray area are obtained for each pair (step ST202). Using the obtained widths A, B1, B2, and C of each region, an evaluation value is calculated using the following equation (1) (step ST203). This evaluation value is the ratio of all gray areas in the pair 22.
Evaluation value = (| B1-B2 | × 2 / (A + B1 + B2 + C)) (1)

円周21上の全ての白領域と黒領域の各ペアについて、図3−1に例示したチャート増12の画像では12組の白領域と黒領域のペアについてそれぞれ評価値を算出する。このように円周21上の画素を所定の範囲に分けて、例えば前述の白領域と黒領域のペアのように分け、それぞれのペアの評価値を算出することにより、レンズ本体を円周方向に分割したとき特定の部分で解像度が劣化する被検レンズを検出することができる。被検レンズの全円周方向について、即ち円周21上の全てのペアについて評価値を求め、その中の最大値を当該被検レンズの判定値とし(ステップST204)、この判定値を予め設定されている規定値と比較して被検レンズの良否を判定する。評価値あるいは判定値が大きい場合ほど解像度の劣化が大きいことを表している。このように、例えばペア22のように被検レンズの円周方向に分割された各領域について、それぞれ評価値を求めることにより、被検レンズの不等方向性解像度を定量化して表すことが可能になる。また、中心点20からの距離rを適当に設定することにより、被検レンズの所望の部分について検査することができる。なお、前述の規定値は、被検レンズに求められる性能に応じて設定される値である。   For each pair of white areas and black areas on the circumference 21, evaluation values are calculated for 12 pairs of white areas and black areas in the image of the chart increase 12 illustrated in FIG. In this way, the pixels on the circumference 21 are divided into predetermined ranges, for example, the white areas and the black areas are paired as described above, and the evaluation value of each pair is calculated, so that the lens body is arranged in the circumferential direction. It is possible to detect a test lens whose resolution deteriorates at a specific portion when divided into two. Evaluation values are obtained for all circumferential directions of the test lens, that is, for all pairs on the circumference 21, and the maximum value among them is set as a determination value for the test lens (step ST204), and this determination value is set in advance. The quality of the test lens is determined by comparing with the specified value. The larger the evaluation value or determination value, the greater the resolution degradation. In this way, for example, the unequal resolution of the test lens can be quantified by obtaining the evaluation value for each of the regions divided in the circumferential direction of the test lens, such as the pair 22. become. Further, by setting the distance r from the center point 20 appropriately, a desired portion of the lens to be inspected can be inspected. The prescribed value described above is a value set according to the performance required for the lens to be examined.

以上のように実施の形態2によれば、中心点20から放射状に広がる白領域と黒領域とを有するチャート像12を被検レンズを用いて撮像し、その画像データを評価部10へ入力して画像データが示す画像の白領域、黒領域、及びグレー領域の幅を、近隣の白領域と黒領域をペアとした領域毎に求め、当該ペアに含まれるグレー領域の比率を求めて評価値とし、各ペアの評価値の中で最も大きな値を判定値として被検レンズの良否を判定するようにしたので、被検レンズの光軸がずれている場合や、被検レンズが形成される際に生じた残留応力の影響がある場合に生じる不等方向性解像度劣化を評価することができるという効果がある。   As described above, according to the second embodiment, the chart image 12 having the white area and the black area extending radially from the center point 20 is captured using the test lens, and the image data is input to the evaluation unit 10. The width of the white area, black area, and gray area of the image indicated by the image data is obtained for each area that is a pair of the adjacent white area and black area, and the evaluation value is obtained by determining the ratio of the gray area included in the pair. Since the quality of the test lens is judged using the largest value among the evaluation values of each pair as the judgment value, the test lens is formed when the optical axis of the test lens is deviated. There is an effect that it is possible to evaluate the non-directional resolution degradation that occurs when there is an influence of residual stress generated during the process.

この発明の実施の形態1によるレンズ検査装置の構成を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the structure of the lens inspection apparatus by Embodiment 1 of this invention. 実施の形態1によるレンズ検査装置の動作を示すフローチャートである。5 is a flowchart showing the operation of the lens inspection apparatus according to Embodiment 1. この発明の実施の形態2によるレンズ検査装置に使用されるチャート像を示す概念図である。It is a conceptual diagram which shows the chart image used for the lens inspection apparatus by Embodiment 2 of this invention. 実施の形態2によるレンズ検査装置により撮像されたチャートの画像の一部分を拡大した説明図である。FIG. 10 is an explanatory diagram in which a part of an image of a chart imaged by the lens inspection device according to the second embodiment is enlarged. 実施の形態2によるレンズ検査装置により撮像されたチャートの画像を数値化した説明図である。It is explanatory drawing which digitized the image of the chart imaged with the lens test | inspection apparatus by Embodiment 2. FIG. 実施の形態2によるレンズ検査装置の動作の示すフローチャートである。6 is a flowchart illustrating an operation of the lens inspection device according to the second embodiment.

符号の説明Explanation of symbols

1 レンズ保持機構部、2 レンズ挿入部、3 照明、4 チャート、5 チャート保持機構部、6 撮像素子、7 撮像部(撮像手段)、8 焦点調整部、9 画像処理部、10 評価部(評価手段)、11 レンズ検査装置、12 チャート像、13 拡大部、14 白領域、15 黒領域、16,17 グレー領域、20 中心点、21 円周、22 ペア。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Lens holding mechanism part, 2 Lens insertion part, 3 Illumination, 4 chart, 5 chart holding | maintenance mechanism part, 6 Imaging element, 7 Imaging part (imaging means), 8 Focus adjustment part, 9 Image processing part, 10 Evaluation part (Evaluation) Means), 11 Lens inspection device, 12 Chart image, 13 Enlarged portion, 14 White region, 15 Black region, 16, 17 Gray region, 20 Center point, 21 Circumference, 22 pairs.

Claims (5)

被検査対象のレンズの評価に用いるチャートと、前記被検査対象のレンズを用いて前記チャートを撮像する撮像手段と、前記撮像手段から出力される画像データに基づき前記被検査対象のレンズの性能を評価する評価手段とを備えたレンズ検査装置において、
前記撮像手段に、前記レンズが使用される撮像装置に備えられる撮像素子と同様な受光量のスケーリングがなされた撮像素子を備えたことを特徴とするレンズ検査装置。
A chart used for evaluation of the lens to be inspected, an imaging means for imaging the chart using the lens to be inspected, and the performance of the lens to be inspected based on image data output from the imaging means In a lens inspection apparatus provided with an evaluation means for evaluating,
A lens inspection apparatus, wherein the image pickup unit includes an image pickup element in which the received light amount is scaled in the same manner as an image pickup element included in an image pickup apparatus using the lens.
被検査対象のレンズの評価に用いるチャートと、前記被検査対象のレンズを用いて前記チャートを撮像する撮像手段と、前記撮像手段から出力される画像データに基づき前記被検査対象のレンズの性能を評価する評価手段とを備えたレンズ検査装置において、
前記チャートに、中心点から同等な角度で放射状に広がる白領域と黒領域とを交互に隣り合わせたチャート像を備え、
前記評価手段は、前記撮像手段が前記チャートを撮像したとき画像に含まれるグレー領域の割合を求め、当該グレー領域の割合に基づいて前記被検査対象のレンズの良否を判定することを特徴とするレンズ検査装置。
A chart used for evaluation of the lens to be inspected, an imaging means for imaging the chart using the lens to be inspected, and the performance of the lens to be inspected based on image data output from the imaging means In a lens inspection apparatus provided with an evaluation means for evaluating,
The chart includes a chart image in which white areas and black areas that spread radially at an equal angle from the center point are alternately adjacent to each other,
The evaluation unit obtains a ratio of a gray area included in an image when the imaging unit images the chart, and determines whether the lens to be inspected is good or bad based on the ratio of the gray area. Lens inspection device.
評価手段は、撮像した画像の中で近隣の白領域と黒領域とを組として設定し当該組に含まれるグレー領域の比率を各領域幅から求めて被検査対象のレンズの解像度を評価することを特徴とする請求項2記載のレンズ検査装置。   The evaluation means sets neighboring white areas and black areas as a set in the captured image, and determines the ratio of the gray areas included in the set from each area width to evaluate the resolution of the lens to be inspected. The lens inspection device according to claim 2. 評価手段は、撮像した画像の中に複数の組を設定し各組のグレー領域の比率を求め、その中で最も大きな値を被検査対象のレンズの解像度として評価することを特徴とする請求項3記載のレンズ検査装置。   The evaluation means sets a plurality of sets in the captured image, obtains the ratio of the gray area of each set, and evaluates the largest value as the resolution of the lens to be inspected. 3. The lens inspection device according to 3. 中心点から同等な角度で放射状に広がる白領域と黒領域とを交互に隣り合わせたチャート像を撮像手段が被検査対象のレンズを用いて撮像する過程と、
評価手段が前記撮像手段から出力された画像データを入力し前記チャート像の中心点から一定の距離を有する円周を前記画像データが示す画像に設定し、当該円周上の画素の明るさを数値化し前記画像の白領域、黒領域及びグレー領域を設定する過程と、
前記評価手段が前記画像の中で近隣の白領域と黒領域とを各々組として設定し、当該各組に含まれるグレー領域の比率を算出して評価値を求める過程と、
前記評価手段が前記各組の評価値の中で最も大きな値を前記被検査対象のレンズの判定値とし当該被検査対象のレンズの良否を判定する過程とを備えたレンズ検査方法。
A process in which the imaging means uses the lens to be inspected to image a chart image in which white areas and black areas extending radially at equal angles from the center point are alternately adjacent; and
The evaluation means inputs the image data output from the imaging means, sets a circle having a certain distance from the center point of the chart image to the image indicated by the image data, and sets the brightness of the pixels on the circle Quantifying and setting the white area, black area and gray area of the image;
The evaluation means sets a neighboring white area and black area in the image as a set, and calculates a ratio of gray areas included in each set to obtain an evaluation value;
A lens inspection method comprising: a step in which the evaluation means determines a pass / fail of a lens to be inspected by using the largest value among the evaluation values of each set as a determination value of the lens to be inspected.
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