JP2005303192A - Tape cleaning equipment - Google Patents
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Abstract
Description
本発明はテープクリーニング装置に関し、特に、半導体チップ等の電子部品が実装される電子部品実装用フィルムキャリアテープ(例えば、TAB(Tape Automated Bonding)テープ、COF(Chip On Film)テープ、CSP(Chip Size Package)テープ、BGA(Ball Grid Array)テープのような電子部品実装用フィルムキャリアテープ)用クリーニング装置に関する。なお、本発明においては、用語「電子部品実装用フィルムキャリアテープ」は電子部品を実装する前のキャリアテープだけでなく、実装後のキャリアテープも包含する。 The present invention relates to a tape cleaning device, and in particular, an electronic component mounting film carrier tape (for example, TAB (Tape Automated Bonding) tape, COF (Chip On Film) tape, CSP (Chip Size)) on which electronic components such as semiconductor chips are mounted. The present invention relates to a cleaning device for a package) tape and a film carrier tape for mounting an electronic component such as a BGA (Ball Grid Array) tape. In the present invention, the term “film carrier tape for mounting electronic components” includes not only a carrier tape before mounting electronic components but also a carrier tape after mounting.
電子部品をパーソナルコンピュータ、携帯電話、テレビのような液晶装置、あるいはプリンタ等に実装する際に各種のプリント配線基板が使用されており、近年ではこうした機器の小型化、軽量化が進み、また液晶パネルの高精細化が進んで表示画素数が増大し、これに伴って電子部品実装用フィルムキャリアテープの導体配線パターンの微細化、高密度化が進んでいる。 Various printed wiring boards are used to mount electronic components on liquid crystal devices such as personal computers, mobile phones, and televisions, or printers. In recent years, these devices have become smaller and lighter. As the number of display pixels increases as the panel becomes higher in definition, the conductor wiring pattern of the electronic component mounting film carrier tape is becoming finer and higher in density.
このような狭ピッチの配線パターンを有する電子部品実装用フィルムキャリアテープはキャリアテープの長尺方向に各ピース毎の配線パターンが繰り返し形成された長尺のテープであり、製造工程、品質検査工程、電子部品実装工程等においては、スプロケット孔等によりキャリアテープをリールからリールへ搬送しながら行われる。なお、配線パターンは必要に応じてインナーリード、アウターリードとなる部分を除いて一面に保護ソルダーレジストで被覆されており、また、インナーリード、アウターリードの部分には酸化防止、電子部品の外部端子との接続性の向上等の目的で錫メッキが施されており、電子部品は、電子部品実装部の位置で、例えばバンプを介してインナーリードにボンディングされる。この電子部品実装フィルムキャリアテープの所定領域を打抜装置により打抜いて半導体デバイスを得ている。 The film carrier tape for mounting electronic components having such a narrow pitch wiring pattern is a long tape in which a wiring pattern for each piece is repeatedly formed in the longitudinal direction of the carrier tape, and the manufacturing process, quality inspection process, In the electronic component mounting process or the like, the carrier tape is conveyed from reel to reel through a sprocket hole or the like. Note that the wiring pattern is covered with a protective solder resist on the entire surface except for the inner lead and outer lead portions as necessary, and the inner lead and outer lead portions are antioxidized and external terminals of the electronic component. For example, tin plating is applied for the purpose of improving connectivity with the electronic component, and the electronic component is bonded to the inner lead, for example, via a bump at the position of the electronic component mounting portion. A predetermined area of the electronic component mounting film carrier tape is punched by a punching device to obtain a semiconductor device.
しかしながら、電子部品実装用フィルムキャリアテープにゴミ等の異物が付着していることがあり、打抜装置が異物を噛み込み、半導体デバイスに異物が圧着され、異物の圧着によりリード部の一部が破損し、半導体デバイスが接続不良となりやすいという問題点があった。 However, foreign matter such as dust may be attached to the film carrier tape for mounting electronic components, and the punching device bites the foreign matter, and the foreign matter is pressure-bonded to the semiconductor device. There is a problem that the semiconductor device is easily damaged due to damage.
従来、ゴミ等の異物の除去方法として、図2に示すように、自由回転の2個のクリーニングロール11を相互に圧接させ、その2個のクリーニングロール11の間に電子部品実装用フィルムキャリアテープ12を通過させて電子部品実装用フィルムキャリアテープ12の表裏面に存在するゴミ等の異物をクリーニングロール11に移動させ、クリーニングロール11に移動したゴミ等をクリーニングロール11に密接する自由回転の粘着ごみ取りロール13に粘着させて回収していた。
Conventionally, as a method for removing foreign matters such as dust, as shown in FIG. 2, two free-rotating
しかしながら、上記のような方式によって電子部品実装用フィルムキャリアテープからゴミ等の異物を取り除く場合には、2個のクリーニングロールの間に進入する電子部品実装用フィルムキャリアテープの進入角度がほんの少しずれても電子部品実装用フィルムキャリアテープに蛇行が生じて電子部品実装用フィルムキャリアテープを破損させることがあり、それでそのような状態になった場合には直ちに装置の運転を停止する必要があった。 However, when removing foreign substances such as dust from the electronic component mounting film carrier tape by the above method, the entrance angle of the electronic component mounting film carrier tape entering between the two cleaning rolls is slightly shifted. However, the film carrier tape for mounting electronic components may meander and damage the film carrier tape for mounting electronic components. In such a case, it was necessary to stop the operation of the device immediately. .
また、上記のような方式では、2個のクリーニングロールの間に電子部品実装用フィルムキャリアテープを通過させているので、時間の経過につれて電子部品実装用フィルムキャリアテープと接触する部分のクリーニングロールの表面が段々と磨耗し、磨耗が進むと、クリーニングロールの磨耗していない部分が邪魔となってクリーニングロールと電子部品実装用フィルムキャリアテープとの接触面が段々と少なくなり、遂には、クリーニングロールは電子部品実装用フィルムキャリアテープに圧接できなくなり、ゴミ等の異物の除去効率が低下してくる。 Further, in the above-described method, since the electronic component mounting film carrier tape is passed between the two cleaning rolls, the portion of the cleaning roll that comes into contact with the electronic component mounting film carrier tape as time passes is increased. As the surface gradually wears and wear progresses, the non-wearing part of the cleaning roll becomes an obstacle and the contact surface between the cleaning roll and the electronic component mounting film carrier tape gradually decreases. Cannot be pressed against the film carrier tape for mounting electronic components, and the removal efficiency of foreign matters such as dust is reduced.
本発明は、上記のような問題の生じない、即ち、電子部品実装用フィルムキャリアテープの蛇行が生じず、電子部品実装用フィルムキャリアテープと接触する部分のクリーニングロールの表面が磨耗してもクリーニングロールと電子部品実装用フィルムキャリアテープとが常に圧接している状態を保つことができ、また、クリーニングロールと電子部品実装用フィルムキャリアテープとの接触面を常に大きく保つことができるテープクリーニング装置を提供することを目的としている。 The present invention does not cause the above-described problems, that is, the electronic component mounting film carrier tape does not meander, and even if the surface of the cleaning roll in contact with the electronic component mounting film carrier tape is worn, cleaning is performed. A tape cleaning device that can maintain a state in which the roll and the electronic component mounting film carrier tape are always in pressure contact, and can always maintain a large contact surface between the cleaning roll and the electronic component mounting film carrier tape. It is intended to provide.
本発明者等は上記の目的を達成するために鋭意検討した結果、電子部品実装用フィルムキャリアテープの表面及び裏面をそれぞれ別個に回転するクリーニングロールに巻き付け角度をもって密接させることにより上記の目的が達成されることを見いだし、また、この方式は電子部品実装用フィルムキャリアテープだけでなく、全ての長尺テープのクリーニングに有効であることを見いだし、本発明を完成した。 As a result of intensive studies to achieve the above object, the present inventors have achieved the above object by bringing the front and back surfaces of the electronic component mounting film carrier tape into close contact with the cleaning roll that rotates separately with a winding angle. In addition, the present inventors have found that this method is effective for cleaning not only a film carrier tape for mounting electronic parts but also all long tapes, and thus completed the present invention.
即ち、本発明のテープクリーニング装置、特に電子部品実装用フィルムキャリアテープ用クリーニング装置は、自由回転のクリーニングロールと該クリーニングロールに密接する自由回転の粘着ごみ取りロールとの組み合わせからなる単位クリーニング装置を2組以上有しており、各々の単位クリーニング装置が接触することなしで且つ各々の単位クリーニング装置のクリーニングロールがクリーニングすべきテープの表及び裏に巻き付け角度をもって密接するように配置されていることを特徴とする。 That is, the tape cleaning device of the present invention, particularly the cleaning device for a film carrier tape for mounting electronic components, includes two unit cleaning devices each composed of a combination of a free-rotating cleaning roll and a free-rotating adhesive dust removing roll in close contact with the cleaning roll. The unit cleaning device is arranged so that each unit cleaning device does not come into contact with each other and the cleaning roll of each unit cleaning device is in close contact with the front and back of the tape to be cleaned with a winding angle. Features.
本発明のテープクリーニング装置においては、テープの進入角度が少しずれても自動修正されるので電子部品実装用フィルムキャリアテープの蛇行が生じることはなく、電子部品実装用フィルムキャリアテープと接触する部分のクリーニングロールの表面が磨耗してもクリーニングロールと電子部品実装用フィルムキャリアテープとが常に圧接している状態を保つことができ、また、クリーニングロールと電子部品実装用フィルムキャリアテープとの接触面を常に大きく保つことができる。 In the tape cleaning device of the present invention, even if the tape entry angle is slightly deviated, the film carrier tape for electronic component mounting does not meander, and the portion in contact with the film carrier tape for electronic component mounting does not occur. Even if the surface of the cleaning roll is worn, the cleaning roll and the film carrier tape for mounting electronic components can always be kept in pressure contact, and the contact surface between the cleaning roll and the film carrier tape for mounting electronic components can be maintained. Can always keep big.
本発明のテープクリーニング装置は全ての長尺テープのクリーニングに有効であるが、特に電子部品実装用フィルムキャリアテープのクリーニングに有効であるので、以下に電子部品実装用フィルムキャリアテープのクリーニングについて説明する。 The tape cleaning apparatus of the present invention is effective for cleaning all long tapes, but is particularly effective for cleaning electronic component mounting film carrier tapes, and therefore, cleaning of electronic component mounting film carrier tapes will be described below. .
この電子部品実装用フィルムキャリアテープとして、例えばポリイミドからなる絶縁フィルムに例えば搬送用のスプロケットホール、半田ボール又は金属バンプ搭載用のラウンド穴あるいはボンディング用のデバイスホール等の打抜き穴を形成し、その後、この絶縁フィルムに接着剤を介して銅箔を積層し、次に、スプロケットホールを用いて該テープを搬送しながら該テープの表面にある銅箔をパターニングすることにより配線パターンを形成し、その後、必要に応じて配線パターン上にソルダーレジスト層を形成する工程等を経て製造されたTABテープや、BGAテープを挙げることができる。 As this electronic component mounting film carrier tape, for example, a punch hole such as a sprocket hole for conveyance, a round hole for mounting a solder ball or a metal bump or a device hole for bonding is formed in an insulating film made of polyimide, A copper foil is laminated on the insulating film via an adhesive, and then a wiring pattern is formed by patterning the copper foil on the surface of the tape while transporting the tape using a sprocket hole. A TAB tape and a BGA tape manufactured through a process of forming a solder resist layer on the wiring pattern as required can be used.
上記の絶縁フィルムとしては耐熱性、耐薬品性、湿熱安定性等に優れた合成樹脂フィルムを使用することが好ましい。このような合成樹脂フィルムとしてポリイミドフィルム、ポリアミドイミドフィルム、耐熱性ポリエステルフィルム、BTレジンフィルム、フェノール樹脂フィルム、液晶ポリマーフィルムを使用することができるが、卓越した耐熱性、耐薬品性、湿熱安定性を示すポリイミドフィルムを使用することが特に好ましい。 As the insulating film, it is preferable to use a synthetic resin film excellent in heat resistance, chemical resistance, wet heat stability and the like. Polyimide film, polyamideimide film, heat-resistant polyester film, BT resin film, phenol resin film, liquid crystal polymer film can be used as such synthetic resin film, but it has excellent heat resistance, chemical resistance, and wet heat stability. It is particularly preferable to use a polyimide film showing
本発明のテープクリーニング装置を図1に基づいて説明する。本発明のテープクリーニング装置は自由回転のクリーニングロール1と該クリーニングロールに密接する自由回転の粘着ごみ取りロール2との組み合わせからなる単位クリーニング装置3を2組以上、図1では4組有している。本発明のテープクリーニング装置においては、各々の単位クリーニング装置3が相互に接触することなしで且つ各々の単位クリーニング装置のクリーニングロール1がクリーニングすべきテープ4の表面及び裏面に、好ましくは図1に示すように表裏面に交互に巻き付け角度をもって密接するように配置されている。
The tape cleaning device of the present invention will be described with reference to FIG. The tape cleaning device of the present invention has two or more
本発明のテープクリーニング装置においては、単位クリーニング装置を2組用いて各々の単位クリーニング装置のクリーニングロール1がクリーニングすべきテープ4の表面、裏面の順序で又はその逆の順序で巻き付け角度をもって密接するように配置しても、あるいは単位クリーニング装置を3組用いて各々の単位クリーニング装置のクリーニングロール1がクリーニングすべきテープ4の表面、裏面、表面の順序で又はその逆の順序で巻き付け角度をもって密接するように配置しても、又は単位クリーニング装置を4組用いて各々の単位クリーニング装置のクリーニングロール1がクリーニングすべきテープ4の表面、裏面、表面、裏面の順序で又はその逆の順序で巻き付け角度をもって密接するように配置してもよく、更には単位クリーニング装置を5組以上用いることもできる。
In the tape cleaning device of the present invention, two sets of unit cleaning devices are used, and the
本発明のテープクリーニング装置においては、クリーニングロールの材質はテープの表裏面のゴミ等の異物を吸着し得る材質であればいかなるものでもよいが、一般的にはゴムロールであり、所定の頻度でアルコール等で洗浄する必要があるのでゴムロールを用いることが好ましい。 In the tape cleaning device of the present invention, the cleaning roll may be any material as long as it can adsorb foreign matter such as dust on the front and back surfaces of the tape, but is generally a rubber roll, and has a predetermined frequency. It is preferable to use a rubber roll because it is necessary to wash with, for example.
また、粘着ごみ取りロールはクリーニングロールからゴミ等の異物を受け取り、クリーニングロールに戻すことがないものであればいかなるものでもよいが、ゴミ等の異物の付着により粘着力が低下するので、裏面剥離性の粘着シートを巻き付けることによって形成されたロールであることが好ましい。このような粘着ごみ取りロールはゴミ等の異物の付着により粘着力が低下した部分を剥がし取ることにより、新しい粘着面が露出するので繰り返し有効に使用できる。 The adhesive dust removal roll may be anything as long as it receives foreign matter such as dust from the cleaning roll and does not return it to the cleaning roll. However, the adhesive strength decreases due to the attachment of foreign matter such as dust. It is preferable that it is a roll formed by winding the adhesive sheet. Such an adhesive dust removing roll can be used repeatedly and effectively because a new adhesive surface is exposed by peeling off a portion where the adhesive strength is reduced due to adhesion of foreign matters such as dust.
本発明のテープクリーニング装置を用いてテープをクリーニングする場合には、好ましくは、連続して配置した複数の単位クリーニング装置3の前後にガイドロール5を設け、また、テープを移動させるために駆動ロール6を設ける。更に、クリーニングロール1がクリーニングすべきテープ4の表面又は裏面に巻き付け角度をもって確実に密接するようにするために、テープ張力調整用ロール7を設ける。このテープ張力調整用ロール7としてダンサーロールを用いても良いし、バックテンションを付与し得るロールを用いても良い。
When cleaning a tape using the tape cleaning device of the present invention, preferably, a
本発明のテープクリーニング装置は電子部品実装用フィルムキャリアテープ用クリーニング装置として特に好適であり、製造工程、品質検査工程、電子部品実装工程等を含む電子部品実装用フィルムキャリアテープの製造装置、例えばAOI等の外観検査装置や、不良ピースを多く含む領域のテープをスプライサーで切断除去し、良品ピースを含む領域のテープ同士を接続するテープ編集機等の電子部品実装用フィルムキャリアテープの製造装置に組み込んで用いることが好ましく、特に半導体チップをボンディングする前の最終段階に組み込んで用いることが好ましい。 The tape cleaning device of the present invention is particularly suitable as a cleaning device for a film carrier tape for mounting electronic components, and a manufacturing device for film carrier tape for mounting electronic components including a manufacturing process, a quality inspection process, an electronic component mounting process, etc., for example, AOI Incorporated into film carrier tape manufacturing equipment for electronic component mounting, such as a tape editing machine that cuts and removes tapes in areas containing many defective pieces with a splicer and connects tapes in areas containing non-defective pieces In particular, it is preferable to incorporate the semiconductor chip in the final stage before bonding the semiconductor chip.
1 クリーニングロール
2 粘着ごみ取りロール
3 単位クリーニング装置
4 テープ
5 ガイドロール
6 駆動ロール
7 テープ張力調整用ロール
DESCRIPTION OF
Claims (5)
4. The tape cleaning device according to claim 1, wherein the tape cleaning device is incorporated in a film carrier tape manufacturing apparatus for electronic component mounting.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004120341A JP2005303192A (en) | 2004-04-15 | 2004-04-15 | Tape cleaning equipment |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2004120341A JP2005303192A (en) | 2004-04-15 | 2004-04-15 | Tape cleaning equipment |
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Family Applications (1)
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JP2004120341A Pending JP2005303192A (en) | 2004-04-15 | 2004-04-15 | Tape cleaning equipment |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015051831A (en) * | 2013-09-06 | 2015-03-19 | 株式会社オーク製作所 | Conveyance device, and exposure apparatus provided therewith |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05213506A (en) * | 1992-02-04 | 1993-08-24 | Mitsubishi Paper Mills Ltd | Dust removing method for web |
JP2000223820A (en) * | 1999-02-03 | 2000-08-11 | Hitachi Aic Inc | Adhesive cleaning device |
JP2001237283A (en) * | 2000-02-24 | 2001-08-31 | Nec Kansai Ltd | Cleaning device of tape-shaped member |
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2004
- 2004-04-15 JP JP2004120341A patent/JP2005303192A/en active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05213506A (en) * | 1992-02-04 | 1993-08-24 | Mitsubishi Paper Mills Ltd | Dust removing method for web |
JP2000223820A (en) * | 1999-02-03 | 2000-08-11 | Hitachi Aic Inc | Adhesive cleaning device |
JP2001237283A (en) * | 2000-02-24 | 2001-08-31 | Nec Kansai Ltd | Cleaning device of tape-shaped member |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015051831A (en) * | 2013-09-06 | 2015-03-19 | 株式会社オーク製作所 | Conveyance device, and exposure apparatus provided therewith |
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