JP2005291016A - Fan filter unit - Google Patents

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JP2005291016A JP2004103797A JP2004103797A JP2005291016A JP 2005291016 A JP2005291016 A JP 2005291016A JP 2004103797 A JP2004103797 A JP 2004103797A JP 2004103797 A JP2004103797 A JP 2004103797A JP 2005291016 A JP2005291016 A JP 2005291016A
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fan
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Masafumi Matsui
雅史 松井
Yosuke Sugimoto
洋介 杉本
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Panasonic Holdings Corp
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Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a fan filter unit which can reduce noise generated by turbulence caused by a reflux by reducing losses in a passage by preventing the reflux by reducing a clearance between an airblasting fan mounted within the fan filter unit and an orifice mounted at an air lead-in inlet, and control an increase in cost and shorten development times by reducing the number of components for forming the passage and facilitating the constitution of the passage. <P>SOLUTION: The fan filter unit has the airblasting fan 5 within a chamber 1, and the airblasting fan is formed by a main plate 2, a side plate 3, and a plurality of blades 4. Then the orifice 8 attached at the air lead-in inlet 7 is mounted on one side of the chamber 1, and a filter 9 and a blow-out opening 10 are mounted on the other side of the chamber. In order to reduce the clearance between the airblasting fan 5 and the orifice 8, a circumferential convexity is mounted on the inner side of the orifice 8, thus the high-efficiency fan filter unit with low noise can be obtained. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、半導体製造装置などに搭載されて空気清浄に使用される送風ファンとそのオリフィスのファンフィルターユニットに関する。   The present invention relates to a blower fan mounted on a semiconductor manufacturing apparatus or the like and used for air cleaning, and a fan filter unit of its orifice.

従来、半導体製造装置などに搭載され、空気清浄をおこなうファンフィルターユニットは、流路に吸音部材を配置することにより低騒音を維持しつつ流れの損失を少なく導流することを実現していた（例えば特許文献１参照）。
特開平８−８６２９７号公報 Conventionally, a fan filter unit that is mounted on a semiconductor manufacturing apparatus and performs air cleaning has been able to guide the flow with less loss while maintaining low noise by arranging a sound absorbing member in the flow path ( For example, see Patent Document 1).
JP-A-8-86297

このような従来の低騒音を維持しつつ空気の流れの損失を少なく導流するための構成では、流路を形成するための構成部品点数が増加することとなりコスト増加になるという課題がある。   In the conventional configuration for guiding the flow of air with less loss while maintaining low noise, there is a problem that the number of components for forming the flow path increases and the cost increases.

また、開発時において流路を形成するための構成部品の構成が複雑となることで高度な設計が必要になり開発期間の増加するという課題がある。   In addition, there is a problem that an advanced design is required due to the complicated configuration of the components for forming the flow path during development, and the development period increases.

本発明は、このような従来の課題を解決するものであり、ファンフィルターユニット内に設けた送風ファンと空気導入口に設けたオリフィスとの間隙を小さくし還流を防ぐことで、流路での損失を少なくし、還流による乱流から発生する騒音を低減することができる。   The present invention solves such a conventional problem, and by reducing the gap between the blower fan provided in the fan filter unit and the orifice provided in the air inlet to prevent recirculation, Loss can be reduced, and noise generated from turbulent flow due to reflux can be reduced.

また、流路を形成するための構成部品点数を抑え、かつ流路構成が容易になることで、コスト増加を抑え開発期間の短縮することができるファンフィルターユニットを提供することを目的としている。   Another object of the present invention is to provide a fan filter unit that can reduce the number of components for forming a flow path and facilitate the flow path configuration, thereby suppressing an increase in cost and shortening the development period.

本発明のファンフィルターユニットは上記目的を達成するために、主板と側板と複数のブレードで形成された送風ファンと、この送風ファンを回転させるモーターをチャンバー内に有し、前記オリフィスの内側に一つの円周状の凸部を形成したものである。   In order to achieve the above object, the fan filter unit of the present invention has a blower fan formed of a main plate, a side plate, and a plurality of blades, and a motor for rotating the blower fan in the chamber, and is arranged inside the orifice. Two circumferential projections are formed.

この手段によりファンフィルターユニット内に設けた送風ファンと空気導入口に設けたオリフィスとの間隙をオリフィスの内側に設けた一つの円周状の凸部で小さくすることで還流を防ぐことができ、流路での損失を少なくして還流による乱流から発生する騒音を低減し、また流路を形成するための構成部品点数を抑え、かつ流路構成が容易になることで、コスト増加を抑え開発期間の短縮するファンフィルターユニットが得られる。   By this means, it is possible to prevent reflux by reducing the gap between the blower fan provided in the fan filter unit and the orifice provided in the air inlet with one circumferential convex part provided inside the orifice, Reduces noise in the flow path by reducing the loss in the flow path, reduces the number of components for forming the flow path, and simplifies the flow path configuration, thereby suppressing cost increase A fan filter unit that shortens the development period can be obtained.

また他の手段は、主板と側板と複数のブレードで形成された送風ファンと、この送風ファンを回転させるモーターをチャンバー内に有し、前記オリフィスの内側に複数の円周状の凸部を形成したものである。   Another means has a blower fan formed of a main plate, a side plate, and a plurality of blades, and a motor for rotating the blower fan in the chamber, and forms a plurality of circumferential projections inside the orifice. It is a thing.

この手段によりファンフィルターユニット内に設けた送風ファンと空気導入口に設けたオリフィスとの間隙をオリフィスの内側に複数の円周状の凸部で小さくすることで還流を防ぐことができ、流路での損失を少なくして還流による乱流から発生する騒音を低減するファンフィルターユニットが得られる。   By this means, the gap between the blower fan provided in the fan filter unit and the orifice provided in the air inlet can be reduced by a plurality of circumferential protrusions inside the orifice, thereby preventing reflux. A fan filter unit that reduces noise generated from turbulent flow due to recirculation while reducing loss at the top is obtained.

また他の手段は、主板と側板と複数のブレードで形成された送風ファンと、この送風ファンを回転させるモーターをチャンバー内に有し、前記送風ファンの側板に一つの円周状の凸部を形成したものである。   Another means includes a blower fan formed of a main plate, a side plate, and a plurality of blades, and a motor for rotating the blower fan in the chamber, and a single circumferential protrusion is formed on the side plate of the blower fan. Formed.

この手段によりファンフィルターユニット内に設けた送風ファンと空気導入口に設けたオリフィスとの間隙を送風ファンの側板に一つの円周状の凸部で小さくすることで還流を防ぐことができ、流路での損失を少なくして還流による乱流から発生する騒音を低減するファンフィルターユニットが得られる。   By this means, the gap between the blower fan provided in the fan filter unit and the orifice provided in the air introduction port is reduced by one circumferential convex portion on the side plate of the blower fan, thereby preventing reflux. A fan filter unit that reduces noise generated from turbulent flow due to reflux by reducing loss on the road can be obtained.

また他の手段は、主板と側板と複数のブレードで形成された送風ファンと、この送風ファンを回転させるモーターをチャンバー内に有し、前記送風ファンの側板に一つの円周状の凸部を形成したものである。   Another means includes a blower fan formed of a main plate, a side plate, and a plurality of blades, and a motor for rotating the blower fan in the chamber, and a single circumferential protrusion is formed on the side plate of the blower fan. Formed.

この手段によりファンフィルターユニット内に設けた送風ファンと空気導入口に設けたオリフィスとの間隙を送風ファンの側板に一つの円周状の凸部で小さくすることで還流を防ぐことができ、流路での損失を少なくして還流による乱流から発生する騒音を低減するファンフィルターユニットが得られる。   By this means, the gap between the blower fan provided in the fan filter unit and the orifice provided in the air introduction port is reduced by one circumferential convex portion on the side plate of the blower fan, thereby preventing reflux. A fan filter unit that reduces noise generated from turbulent flow due to reflux by reducing loss on the road can be obtained.

また他の手段は、主板と側板と複数のブレードで形成された送風ファンと、この送風ファンを回転させるモーターをチャンバー内に有し、前記送風ファンの側板に複数の円周状の凸部を形成したものである。   Another means includes a blower fan formed of a main plate, a side plate, and a plurality of blades, and a motor for rotating the blower fan in the chamber, and a plurality of circumferential protrusions on the side plate of the blower fan. Formed.

この手段によりファンフィルターユニット内に設けた送風ファンと空気導入口に設けたオリフィスとの間隙を送風ファンの側板に複数の円周状の凸部で小さくすることで還流を防ぐことができ、流路での損失を少なくして還流による乱流から発生する騒音を低減するファンフィルターユニットが得られる。   By this means, the gap between the blower fan provided in the fan filter unit and the orifice provided in the air introduction port is reduced by a plurality of circumferential projections on the side plate of the blower fan, thereby preventing reflux. A fan filter unit that reduces noise generated from turbulent flow due to reflux by reducing loss on the road can be obtained.

また他の手段は、主板と側板と複数のブレードで形成された送風ファンと、この送風ファンを回転させるモーターをチャンバー内に有し、前記オリフィスの内側に一つの断続的な凸部を形成したものである。   Another means has a blower fan formed of a main plate, a side plate, and a plurality of blades, and a motor for rotating the blower fan in the chamber, and one intermittent convex portion is formed inside the orifice. Is.

この手段によりファンフィルターユニット内に設けた送風ファンと空気導入口に設けたオリフィスとの間隙をオリフィスの内側に一つの断続的な凸部で小さくすることで還流を防ぐことができ、流路での損失を少なくして還流による乱流から発生する騒音を低減するファンフィルターユニットが得られる。   By this means, the gap between the blower fan provided in the fan filter unit and the orifice provided in the air inlet can be reduced by one intermittent protrusion on the inside of the orifice, thereby preventing reflux. Thus, a fan filter unit can be obtained that reduces the noise generated from the turbulent flow due to the reflux by reducing the loss of the air.

また他の手段は、主板と側板と複数のブレードで形成された送風ファンと、この送風ファンを回転させるモーターをチャンバー内に有し、前記送風ファンの側板に一つの断続的な凸部を形成したものである。   Another means has a blower fan formed of a main plate, a side plate, and a plurality of blades, and a motor for rotating the blower fan in the chamber, and forms one intermittent protrusion on the side plate of the blower fan. It is a thing.

この手段によりファンフィルターユニット内に設けた送風ファンと空気導入口に設けたオリフィスとの間隙を送風ファンの側板に一つの断続的な凸部で小さくすることで還流を防ぐことができ、流路での損失を少なくして還流による乱流から発生する騒音を低減するファンフィルターユニットが得られる。   By this means, the gap between the blower fan provided in the fan filter unit and the orifice provided in the air inlet can be reduced by one intermittent projection on the side plate of the blower fan, thereby preventing reflux. A fan filter unit that reduces noise generated from turbulent flow due to recirculation while reducing loss at the top is obtained.

また他の手段は、主板と側板と複数のブレードで形成された送風ファンと、この送風ファンを回転させるモーターをチャンバー内に有し、前記送風ファンの側板に複数の断続的な凸部を形成したものである。   Another means has a blower fan formed of a main plate, a side plate, and a plurality of blades, and a motor for rotating the blower fan in the chamber, and forms a plurality of intermittent protrusions on the side plate of the blower fan. It is a thing.

この手段によりファンフィルターユニット内に設けた送風ファンと空気導入口に設けたオリフィスとの間隙を送風ファンの側板に複数の断続的な凸部で小さくすることで還流を防ぐことができ、流路での損失を少なくして還流による乱流から発生する騒音を低減するファンフィルターユニットが得られる。   By this means, the gap between the blower fan provided in the fan filter unit and the orifice provided in the air inlet can be reduced by a plurality of intermittent protrusions on the side plate of the blower fan, thereby preventing reflux. A fan filter unit that reduces noise generated from turbulent flow due to recirculation while reducing loss at the top is obtained.

また他の手段は、主板と側板と複数のブレードで形成された送風ファンと、この送風ファンを回転させるモーターをチャンバー内に有し、前記オリフィスの内側に円周状の凸部と前記送風ファンの側板に円周状の凹部を形成したものである。   Another means includes a blower fan formed of a main plate, a side plate, and a plurality of blades, a motor for rotating the blower fan in the chamber, a circumferential convex portion inside the orifice, and the blower fan. A circumferential recess is formed on the side plate.

この手段によりファンフィルターユニット内に設けた送風ファンと空気導入口に設けたオリフィスとの間隙をオリフィスの内側に円周状の凸部と前記送風ファンの側板に円周状の凹部で小さくすることで還流を防ぐことができ、流路での損失を少なくして還流による乱流から発生する騒音を低減するファンフィルターユニットが得られる。   By this means, the gap between the blower fan provided in the fan filter unit and the orifice provided in the air inlet is reduced by a circumferential convex part inside the orifice and a circumferential concave part on the side plate of the blower fan. Thus, a fan filter unit can be obtained which can prevent reflux and reduce noise generated from turbulent flow due to reflux by reducing loss in the flow path.

また他の手段は、主板と側板と複数のブレードで形成された送風ファンと、この送風ファンを回転させるモーターをチャンバー内に有し、前記オリフィスの内側に円周状の凸部と前記送風ファンの側板に円周状の凸部を形成したものである。   Another means includes a blower fan formed of a main plate, a side plate, and a plurality of blades, a motor for rotating the blower fan in the chamber, a circumferential convex portion inside the orifice, and the blower fan. A circumferential projection is formed on the side plate.

この手段によりファンフィルターユニット内に設けた送風ファンと空気導入口に設けたオリフィスとの間隙をオリフィスの内側に円周状の凸部と前記送風ファンの側板に円周状の凸部で小さくすることで還流を防ぐことができ、流路での損失を少なくして還流による乱流から発生する騒音を低減するファンフィルターユニットが得られる。   By this means, the gap between the blower fan provided in the fan filter unit and the orifice provided in the air introduction port is reduced by a circumferential projection on the inside of the orifice and a circumferential projection on the side plate of the blower fan. Thus, it is possible to prevent the reflux, and it is possible to obtain the fan filter unit that reduces the loss in the flow path and reduces the noise generated from the turbulent flow due to the reflux.

本発明によれば、ファンフィルターユニット内に設けた送風ファンと空気導入口に設けたオリフィスとの間隙を小さくして還流を防ぐことで、流路での損失を少なくし、還流による乱流から発生する騒音を低減することができる。   According to the present invention, the gap between the blower fan provided in the fan filter unit and the orifice provided in the air inlet is reduced to prevent reflux, thereby reducing the loss in the flow path and preventing turbulent flow due to reflux. The generated noise can be reduced.

また、流路を形成するための構成部品点数を抑え、かつ流路構成が容易になることで、コスト増加を抑え、開発期間の短縮することができる効果のあるファンフィルターユニットを提供できる。   Further, since the number of components for forming the flow path is reduced and the flow path configuration is facilitated, it is possible to provide an effective fan filter unit that can suppress cost increase and shorten the development period.

本発明の請求項１記載の発明は、主板と側板と複数のブレードで形成された送風ファンと、この送風ファンを回転させるモーターをチャンバー内に有し、前記オリフィスの内側に一つの円周状の凸部を形成したものであり、空気導入口より吸い込まれた空気が送風ファンにより外周から吹き出され、オリフィスと送風ファンの間隙から戻ることなくフィルターから吹き出されてファンの効率があがり、騒音も低減できるという作用を有する。   According to the first aspect of the present invention, a blower fan formed of a main plate, a side plate, and a plurality of blades, and a motor for rotating the blower fan are provided in the chamber, and one circumferential shape is provided inside the orifice. The air sucked from the air inlet is blown out from the outer periphery by the blower fan, and blown out from the filter without returning from the gap between the orifice and the blower fan. It has the effect that it can be reduced.

また、請求項２記載の発明は、オリフィスの内側に複数の円周状の凸部を形成したものであり、空気導入口より吸い込まれた空気が送風ファンにより外周から吹き出され、オリフィスと送風ファンの間隙から戻ることなくフィルターから吹き出されてファンの効率があがり、騒音も低減できるという作用を有する。   In the invention according to claim 2, a plurality of circumferential projections are formed inside the orifice, and the air sucked from the air inlet is blown out from the outer periphery by the blower fan. The air is blown out of the filter without returning from the gap of the fan, so that the efficiency of the fan is improved and noise can be reduced.

また、請求項３記載の発明は、送風ファンの側板に一つの円周状の凸部を形成したものであり、空気導入口より吸い込まれた空気が送風ファンにより外周から吹き出され、オリフィスと送風ファンの間隙から戻ることなくフィルターから吹き出されてファンの効率があがり、騒音も低減できるという作用を有する。   According to a third aspect of the present invention, one circumferential convex portion is formed on the side plate of the blower fan, and the air sucked from the air inlet is blown out from the outer periphery by the blower fan, and the orifice and the blower are blown. The air is blown out of the filter without returning from the gap of the fan, so that the efficiency of the fan is improved and noise can be reduced.

また、請求項４記載の発明は、送風ファンの側板に複数の円周状の凸部を形成したものであり、空気導入口より吸い込まれた空気が送風ファンにより外周から吹き出され、オリフィスと送風ファンの間隙から戻ることなくフィルターから吹き出されてファンの効率があがり、騒音も低減できるという作用を有する。   According to a fourth aspect of the present invention, a plurality of circumferential projections are formed on the side plate of the blower fan, and the air sucked from the air inlet is blown out from the outer periphery by the blower fan, and the orifice and the blower are blown out. The air is blown out of the filter without returning from the gap of the fan, so that the efficiency of the fan is improved and noise can be reduced.

また、請求項５記載の発明は、オリフィスの内側に一つの断続的な凸部を形成したものであり、空気導入口より吸い込まれた空気が送風ファンにより外周から吹き出され、オリフィスと送風ファンの間隙から戻ることなくフィルターから吹き出されてファンの効率があがり、騒音も低減できるという作用を有する。   The invention described in claim 5 is one in which an intermittent convex portion is formed inside the orifice, and the air sucked from the air inlet is blown out from the outer periphery by the blower fan, and the orifice and the blower fan are The air is blown out of the filter without returning from the gap, so that the efficiency of the fan is improved and noise can be reduced.

また、請求項６記載の発明は、オリフィスの内側に複数の断続的な凸部を形成したものであり、空気導入口より吸い込まれた空気が送風ファンにより外周から吹き出され、オリフィスと送風ファンの間隙から戻ることなくフィルターから吹き出されてファンの効率があがり、騒音も低減できるという作用を有する。   The invention according to claim 6 is the one in which a plurality of intermittent convex portions are formed inside the orifice, and the air sucked from the air introduction port is blown out from the outer periphery by the blower fan. The air is blown out of the filter without returning from the gap, so that the efficiency of the fan is improved and noise can be reduced.

また、請求項７記載の発明は、送風ファンの側板に一つの断続的な凸部を形成したものであり、空気導入口より吸い込まれた空気が送風ファンにより外周から吹き出され、オリフィスと送風ファンの間隙から戻ることなくフィルターから吹き出されてファンの効率があがり、騒音も低減できるという作用を有する。   The invention according to claim 7 is such that one intermittent convex portion is formed on the side plate of the blower fan, and the air sucked from the air inlet is blown out from the outer periphery by the blower fan, and the orifice and the blower fan The air is blown out of the filter without returning from the gap of the fan, so that the efficiency of the fan is improved and noise can be reduced.

また、請求項８記載の発明は、送風ファンの側板に複数の断続的な凸部を形成したものであり、空気導入口より吸い込まれた空気が送風ファンにより外周から吹き出され、オリフィスと送風ファンの間隙から戻ることなくフィルターから吹き出されてファンの効率があがり、騒音も低減できるという作用を有する。   The invention according to claim 8 is the one in which a plurality of intermittent convex portions are formed on the side plate of the blower fan, and the air sucked from the air inlet is blown out from the outer periphery by the blower fan, and the orifice and the blower fan The air is blown out of the filter without returning from the gap of the fan, so that the efficiency of the fan is improved and noise can be reduced.

また、請求項９記載の発明は、オリフィスの内側に円周状の凸部と前記送風ファンの側板に円周状の凹部を形成したものであり、空気導入口より吸い込まれた空気が送風ファンにより外周から吹き出され、オリフィスと送風ファンの間隙から戻ることなくフィルターから吹き出されてファンの効率があがり、騒音も低減できるという作用を有する。   The invention according to claim 9 is the one in which a circumferential convex portion is formed inside the orifice and a circumferential concave portion is formed in the side plate of the blower fan, and the air sucked from the air inlet is blown fan. The air is blown out from the outer periphery and blown out from the filter without returning from the gap between the orifice and the blower fan, thereby improving the fan efficiency and reducing the noise.

また、請求項１０記載の発明は、オリフィスの内側に円周状の凸部と前記送風ファンの側板に円周状の凸部を形成したものであり、空気導入口より吸い込まれた空気が送風ファンにより外周から吹き出され、オリフィスと送風ファンの間隙から戻ることなくフィルターから吹き出されてファンの効率があがり、騒音も低減できるという作用を有する。   The invention according to claim 10 is the one in which a circumferential convex portion is formed on the inner side of the orifice and a circumferential convex portion is formed on the side plate of the blower fan, and the air sucked from the air inlet is blown. It blows off from the outer periphery by the fan, and blows out from the filter without returning from the gap between the orifice and the blower fan, thereby improving the fan efficiency and reducing noise.

これまでの実験の結果、間隙については実現性の観点から０．５ｍｍから３ｍｍの範囲が考えられる。   As a result of the experiments so far, the gap can be in the range of 0.5 mm to 3 mm from the viewpoint of feasibility.

しかしながら、非接触であることと安定性を考えれば２ｍｍくらいがファンの効率と騒音の低減で望ましい。   However, considering non-contact and stability, about 2 mm is desirable for fan efficiency and noise reduction.

以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

（実施の形態１）
図１に示すように、チャンバー１内に主板２と側板３と複数のブレード４で形成された送風ファン５と、この送風ファンを回転させるモーター６を有し、前記チャンバー１の一方には空気導入口７に設けたオリフィス８を、他方にはフィルター９と吹出口１０を設け、前記送風ファン５とオリフィス８の間隙を小さくするためにオリフィス８を送風ファン５側へ絞り込んで還流防止部であるオリフィス凸部１１を形成している。 (Embodiment 1)
As shown in FIG. 1, a chamber 1 has a blower fan 5 formed of a main plate 2, a side plate 3 and a plurality of blades 4, and a motor 6 for rotating the blower fan. An orifice 8 provided at the introduction port 7 and a filter 9 and an outlet 10 are provided on the other side. In order to reduce the gap between the blower fan 5 and the orifice 8, the orifice 8 is squeezed toward the blower fan 5 side to prevent recirculation. A certain orifice convex portion 11 is formed.

上記構成において、空気導入口７より吸い込まれた空気が送風ファン５により外周から吹き出され、オリフィス８と送風ファン５の間隙から戻ることなくフィルター９から吹き出されることとなる。   In the above configuration, the air sucked from the air introduction port 7 is blown out from the outer periphery by the blower fan 5 and blown out from the filter 9 without returning from the gap between the orifice 8 and the blower fan 5.

（実施の形態２）
図２に示すように、チャンバー１内に主板２と側板３と複数のブレード４で形成された送風ファン５と、この送風ファンを回転させるモーター６を有し、前記チャンバー１の一方には空気導入口７に設けたオリフィス８を、他方にはフィルター９と吹出口１０を設け、前記送風ファン５とオリフィス８の間隙を小さくするためにオリフィス８を送風ファン５側へ絞り込んで還流防止部である複数のオリフィス凸部１５を形成している。 (Embodiment 2)
As shown in FIG. 2, the chamber 1 has a blower fan 5 formed of a main plate 2, a side plate 3, and a plurality of blades 4, and a motor 6 for rotating the blower fan. An orifice 8 provided at the introduction port 7 and a filter 9 and an outlet 10 are provided on the other side. In order to reduce the gap between the blower fan 5 and the orifice 8, the orifice 8 is squeezed toward the blower fan 5 side to prevent recirculation. A plurality of orifice convex portions 15 are formed.

上記構成において、空気導入口７より吸い込まれた空気が送風ファン５により外周から吹き出され、オリフィス８と送風ファン５の間隙から戻ることなくフィルター９から吹き出されることとなる。   In the above configuration, the air sucked from the air introduction port 7 is blown out from the outer periphery by the blower fan 5 and blown out from the filter 9 without returning from the gap between the orifice 8 and the blower fan 5.

（実施の形態３）
図３に示すように、チャンバー１内に主板２と側板３と複数のブレード４で形成された送風ファン５と、この送風ファン５を回転させるモーター６を有し、前記チャンバー１の一方には空気導入口７に設けたオリフィス８を、他方にはフィルター９と吹出口１０を設け、前記送風ファン５の側板３に一つの円周状の側板凸部１２を形成している。 (Embodiment 3)
As shown in FIG. 3, the chamber 1 has a blower fan 5 formed of a main plate 2, a side plate 3 and a plurality of blades 4, and a motor 6 for rotating the blower fan 5. The orifice 8 provided in the air inlet 7 is provided with a filter 9 and a blower outlet 10 on the other side, and one circumferential side plate convex portion 12 is formed on the side plate 3 of the blower fan 5.

上記構成において、空気導入口７より吸い込まれた空気が送風ファン５により外周から吹き出され、オリフィス８と送風ファン５の間隙から戻ることなくフィルター９から吹き出されることとなる。   In the above configuration, the air sucked from the air introduction port 7 is blown out from the outer periphery by the blower fan 5 and blown out from the filter 9 without returning from the gap between the orifice 8 and the blower fan 5.

（実施の形態４）
図４に示すように、チャンバー１内に主板２と側板３と複数のブレード４で形成された送風ファン５と、この送風ファン５を回転させるモーター６を有し、前記チャンバー１の一方には空気導入口７に設けたオリフィス８を、他方にはフィルター９と吹出口１０を設け、前記送風ファン５の側板３に複数の円周状の側板凸部１６を形成している。 (Embodiment 4)
As shown in FIG. 4, the chamber 1 has a blower fan 5 formed of a main plate 2, a side plate 3, and a plurality of blades 4, and a motor 6 that rotates the blower fan 5. The orifice 8 provided in the air inlet 7 is provided with a filter 9 and a blower outlet 10 on the other side, and a plurality of circumferential side plate convex portions 16 are formed on the side plate 3 of the blower fan 5.

上記構成において、空気導入口７より吸い込まれた空気が送風ファン５により外周から吹き出され、オリフィス８と送風ファン５の間隙から戻ることなくフィルター９から吹き出されることとなる。   In the above configuration, the air sucked from the air introduction port 7 is blown out from the outer periphery by the blower fan 5 and blown out from the filter 9 without returning from the gap between the orifice 8 and the blower fan 5.

（実施の形態５）
図５に示すように、チャンバー１内に主板２と側板３と複数のブレード４で形成された送風ファン５と、この送風ファン５を回転させるモーター６を有し、前記チャンバー１の一方には空気導入口７に設けたオリフィス８を、他方にはフィルター９と吹出口１０を設け、前記オリフィス８の内側に一つの断続的な凸部１３を形成している。断続的な状態の凸部１３であっても、空気のもどり防止には有効である。 (Embodiment 5)
As shown in FIG. 5, the chamber 1 includes a blower fan 5 formed of a main plate 2, a side plate 3, and a plurality of blades 4, and a motor 6 that rotates the blower fan 5. An orifice 8 provided at the air inlet 7 is provided with a filter 9 and an outlet 10 on the other side, and one intermittent convex portion 13 is formed inside the orifice 8. Even the convex portion 13 in an intermittent state is effective in preventing the return of air.

上記構成において、空気導入口７より吸い込まれた空気が送風ファン５により外周から吹き出され、オリフィス８と送風ファン５の間隙から戻ることなくフィルター９から吹き出されることとなる。   In the above configuration, the air sucked from the air introduction port 7 is blown out from the outer periphery by the blower fan 5 and blown out from the filter 9 without returning from the gap between the orifice 8 and the blower fan 5.

（実施の形態６）
図６に示すように、チャンバー１内に主板２と側板３と複数のブレード４で形成された送風ファン５と、この送風ファン５を回転させるモーター６を有し、前記チャンバー１の一方には空気導入口７に設けたオリフィス８を、他方にはフィルター９と吹出口１０を設け、前記オリフィス８の内側に複数の断続的な凸部１３を形成している。断続的な状態の凸部１３であっても、空気のもどり防止には有効である。 (Embodiment 6)
As shown in FIG. 6, the chamber 1 includes a blower fan 5 formed of a main plate 2, a side plate 3, and a plurality of blades 4, and a motor 6 that rotates the blower fan 5. The orifice 8 provided in the air inlet 7 is provided with a filter 9 and a blower outlet 10 on the other side, and a plurality of intermittent convex portions 13 are formed inside the orifice 8. Even the convex portion 13 in an intermittent state is effective in preventing the return of air.

上記構成において、空気導入口７より吸い込まれた空気が送風ファン５により外周から吹き出され、オリフィス８と送風ファン５の間隙から戻ることなくフィルター９から吹き出されることとなる。   In the above configuration, the air sucked from the air introduction port 7 is blown out from the outer periphery by the blower fan 5 and blown out from the filter 9 without returning from the gap between the orifice 8 and the blower fan 5.

（実施の形態７）
図７に示すように、チャンバー１内に主板２と側板３と複数のブレード４で形成された送風ファン５と、この送風ファン５を回転させるモーター６を有し、前記チャンバー１の一方には空気導入口７に設けたオリフィス８を、他方にはフィルター９と吹出口１０を設け、前記送風ファン５の側板３に一つの断続的な凸部１４を形成している。断続的な状態の凸部１３であっても、空気のもどり防止には有効である。 (Embodiment 7)
As shown in FIG. 7, the chamber 1 includes a blower fan 5 formed of a main plate 2, a side plate 3, and a plurality of blades 4, and a motor 6 that rotates the blower fan 5. An orifice 8 provided in the air introduction port 7 is provided, and a filter 9 and a blowout port 10 are provided on the other side, and one intermittent convex portion 14 is formed on the side plate 3 of the blower fan 5. Even the convex portion 13 in an intermittent state is effective in preventing the return of air.

上記構成において、空気導入口７より吸い込まれた空気が送風ファン５により外周から吹き出され、オリフィス８と送風ファン５の間隙から戻ることなくフィルター９から吹き出されることとなる。   In the above configuration, the air sucked from the air introduction port 7 is blown out from the outer periphery by the blower fan 5 and blown out from the filter 9 without returning from the gap between the orifice 8 and the blower fan 5.

（実施の形態８）
図８に示すように、チャンバー１内に主板２と側板３と複数のブレード４で形成された送風ファン５と、この送風ファン５を回転させるモーター６を有し、前記チャンバー１の一方には空気導入口７に設けたオリフィス８を、他方にはフィルター９と吹出口１０を設け、前記送風ファン５の側板３に複数の断続的な凸部１８を形成している。 (Embodiment 8)
As shown in FIG. 8, the chamber 1 has a blower fan 5 formed of a main plate 2, a side plate 3, and a plurality of blades 4, and a motor 6 that rotates the blower fan 5. The orifice 8 provided in the air inlet 7 is provided with the filter 9 and the air outlet 10 on the other side, and a plurality of intermittent convex portions 18 are formed on the side plate 3 of the blower fan 5.

上記構成において、空気導入口７より吸い込まれた空気が送風ファン５により外周から吹き出され、オリフィス８と送風ファン５の間隙から戻ることなくフィルター９から吹き出されることとなる。   In the above configuration, the air sucked from the air introduction port 7 is blown out from the outer periphery by the blower fan 5 and blown out from the filter 9 without returning from the gap between the orifice 8 and the blower fan 5.

（実施の形態９）
図９に示すように、チャンバー１内に主板２と側板３と複数のブレード４で形成された送風ファン５と、この送風ファン５を回転させるモーター６を有し、前記チャンバー１の一方には空気導入口７に設けたオリフィス８を、他方にはフィルター９と吹出口１０を設け、前記オリフィス８の内側に円周状の凸部１１と前記送風ファン５の側板３に円周状の凹部１９を形成している。 (Embodiment 9)
As shown in FIG. 9, the chamber 1 has a blower fan 5 formed of a main plate 2, a side plate 3 and a plurality of blades 4, and a motor 6 for rotating the blower fan 5. An orifice 8 provided at the air inlet 7 is provided with a filter 9 and a blower outlet 10 on the other side. A circumferential convex portion 11 is provided inside the orifice 8 and a circumferential concave portion is provided on the side plate 3 of the blower fan 5. 19 is formed.

上記構成において、空気導入口７より吸い込まれた空気が送風ファン５により外周から吹き出され、オリフィス８と送風ファン５の間隙から戻ることなくフィルター９から吹き出されることとなる。   In the above configuration, the air sucked from the air introduction port 7 is blown out from the outer periphery by the blower fan 5 and blown out from the filter 9 without returning from the gap between the orifice 8 and the blower fan 5.

（実施の形態１０）
図１０に示すように、チャンバー１内に主板２と側板３と複数のブレード４で形成された送風ファン５と、この送風ファン５を回転させるモーター６を有し、前記チャンバー１の一方には空気導入口７に設けたオリフィス８を、他方にはフィルター９と吹出口１０を設け、前記オリフィス８の内側に円周状の凸部１１と送風ファン５の側板３に円周状の凸部２０を形成している。 (Embodiment 10)
As shown in FIG. 10, the chamber 1 has a blower fan 5 formed of a main plate 2, a side plate 3, and a plurality of blades 4, and a motor 6 that rotates the blower fan 5. An orifice 8 provided at the air inlet 7, a filter 9 and a blower outlet 10 are provided on the other side, a circumferential projection 11 inside the orifice 8, and a circumferential projection on the side plate 3 of the blower fan 5. 20 is formed.

以上のように本発明によれば、半導体製造装置内で清浄な空気を供給するファンフィルターユニット、特に空気を搬送するためのファン構造において、各種風量を流路損失が少ないことで高効率、低騒音で搬送するのに好適な低コストのファンフィルターユニットに関わる。   As described above, according to the present invention, in a fan filter unit that supplies clean air in a semiconductor manufacturing apparatus, particularly in a fan structure for conveying air, various airflows are highly efficient and low in flow path loss. It relates to a low-cost fan filter unit suitable for carrying with noise.

本発明の実施の形態１の構成を示す断面図Sectional drawing which shows the structure of Embodiment 1 of this invention 本発明の実施の形態２の構成を示す断面図Sectional drawing which shows the structure of Embodiment 2 of this invention 本発明の実施の形態３の構成を示す断面図Sectional drawing which shows the structure of Embodiment 3 of this invention 本発明の実施の形態４の構成を示す断面図Sectional drawing which shows the structure of Embodiment 4 of this invention 本発明の実施の形態５の構成を示す断面図Sectional drawing which shows the structure of Embodiment 5 of this invention 本発明の実施の形態６の構成を示す断面図Sectional drawing which shows the structure of Embodiment 6 of this invention 本発明の実施の形態７の構成を示す断面図Sectional drawing which shows the structure of Embodiment 7 of this invention 本発明の実施の形態８の構成を示す断面図Sectional drawing which shows the structure of Embodiment 8 of this invention 本発明の実施の形態９の構成を示す断面図Sectional drawing which shows the structure of Embodiment 9 of this invention 本発明の実施の形態１０の構成を示す断面図Sectional drawing which shows the structure of Embodiment 10 of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

１ チャンバー
２ 主板
３ 側板
４ ブレード
５ 送風ファン
６ モーター
７ 空気導入口
８ オリフィス
９ フィルター
１０ 吹出口
１１ オリフィス凸部
１２ 側板凸部
１３ 凸部
１４ 凸部
１５ オリフィス凸部
１６ 側板凸部
１７ 凸部
１８ 凸部
１９ 凹部
２０ 凸部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Chamber 2 Main board 3 Side plate 4 Blade 5 Blower fan 6 Motor 7 Air inlet 8 Orifice 9 Filter 10 Outlet 11 Orifice convex part 12 Side plate convex part 13 Convex part 14 Convex part 15 Orifice convex part 16 Side plate convex part 17 Convex part 18 Convex part 19 Concave part 20 Convex part

Claims (10)

主板と側板と複数のブレードで形成された送風ファンと、この送風ファンを回転させるモーターをチャンバー内に有し、前記オリフィスの内側に一つの円周状の凸部を形成したファンフィルターユニット。 A fan filter unit having a blower fan formed of a main plate, a side plate, and a plurality of blades, and a motor for rotating the blower fan in the chamber, and a single circumferential protrusion formed inside the orifice. 主板と側板と複数のブレードで形成された送風ファンと、この送風ファンを回転させるモーターをチャンバー内に有し、前記オリフィスの内側に複数の円周状の凸部を形成したファンフィルターユニット。 A fan filter unit having a blower fan formed of a main plate, a side plate, and a plurality of blades, a motor for rotating the blower fan, and a plurality of circumferential projections formed inside the orifice. 主板と側板と複数のブレードで形成された送風ファンと、この送風ファンを回転させるモーターをチャンバー内に有し、前記送風ファンの側板に一つの円周状の凸部を形成したファンフィルターユニット。 A fan filter unit having a blower fan formed of a main plate, a side plate, and a plurality of blades, and a motor for rotating the blower fan in a chamber, and having one circumferential projection formed on the side plate of the blower fan. 主板と側板と複数のブレードで形成された送風ファンと、この送風ファンを回転させるモーターをチャンバー内に有し、前記送風ファンの側板に複数の円周状の凸部を形成したファンフィルターユニット。 A fan filter unit having a blower fan formed of a main plate, a side plate, and a plurality of blades and a motor for rotating the blower fan in a chamber, and a plurality of circumferential projections formed on the side plate of the blower fan. 主板と側板と複数のブレードで形成された送風ファンと、この送風ファンを回転させるモーターをチャンバー内に有し、前記オリフィスの内側に一つの断続的な凸部を形成したファンフィルターユニット。 A fan filter unit having a blower fan formed of a main plate, a side plate, and a plurality of blades, a motor for rotating the blower fan in the chamber, and one intermittent convex portion formed inside the orifice. 主板と側板と複数のブレードで形成された送風ファンと、この送風ファンを回転させるモーターをチャンバー内に有し、前記オリフィスの内側に複数の断続的な凸部を形成したファンフィルターユニット。 A fan filter unit having a blower fan formed of a main plate, a side plate, and a plurality of blades, a motor for rotating the blower fan, and a plurality of intermittent protrusions formed inside the orifice. 主板と側板と複数のブレードで形成された送風ファンと、この送風ファンを回転させるモーターをチャンバー内に有し、前記送風ファンの側板に一つの断続的な凸部を形成したファンフィルターユニット。 A fan filter unit having a blower fan formed of a main plate, a side plate, and a plurality of blades, and a motor for rotating the blower fan in the chamber, wherein one intermittent convex portion is formed on the side plate of the blower fan. 主板と側板と複数のブレードで形成された送風ファンと、この送風ファンを回転させるモーターをチャンバー内に有し、前記送風ファンの側板に複数の断続的な凸部を形成したファンフィルターユニット。 A fan filter unit having a blower fan formed of a main plate, a side plate, and a plurality of blades and a motor for rotating the blower fan in a chamber, and having a plurality of intermittent protrusions formed on the side plate of the blower fan. 主板と側板と複数のブレードで形成された送風ファンと、この送風ファンを回転させるモーターをチャンバー内に有し、前記オリフィスの内側に円周状の凸部と前記送風ファンの側板に円周状の凹部を形成したファンフィルターユニット。 A blower fan formed of a main plate, a side plate, and a plurality of blades, and a motor for rotating the blower fan are provided in the chamber. A circumferential projection is formed inside the orifice, and a circumferential shape is formed on the side plate of the blower fan. Fan filter unit with a recessed part. 主板と側板と複数のブレードで形成された送風ファンと、この送風ファンを回転させるモーターをチャンバー内に有し、前記オリフィスの内側に円周状の凸部と前記送風ファンの側板に円周状の凸部を形成したファンフィルターユニット。 A blower fan formed of a main plate, a side plate, and a plurality of blades, and a motor for rotating the blower fan are provided in the chamber. A circumferential convex portion is formed inside the orifice, and a circumferential shape is formed on the side plate of the blower fan. A fan filter unit with a convex part.
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