JP2005290484A - Fiber-reinforced platinum-matrix composite material, its manufacturing method, and fiber-reinforced type platinum product - Google Patents

Fiber-reinforced platinum-matrix composite material, its manufacturing method, and fiber-reinforced type platinum product Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To remarkably improve the strength and toughness of a material composed mainly of platinum or a platinum alloy without worsening its characteristics, such as heat resistance, corrosion resistance and oxidation resistance. <P>SOLUTION: In the fiber-reinforced platinum-matrix composite material, fibers composed of a metallic compound are dispersed in a matrix composed of platinum or a platinum alloy. Further, it is preferable that an interfacial layer composed of platinum or a platinum alloy of prescribed composition is formed on the surface of the fibers. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、白金又は白金合金材料に関するものであり、特に白金又は白金合金をマトリックスとして、その中に繊維を分散・複合化して高強度化を図った繊維強化白金複合材料に関する。さらにその材料を製造する方法、並びにその材料を使用して構成されるルツボ、ガラス製造用器具、装置その他の繊維強化型白金製品に関する。   The present invention relates to platinum or a platinum alloy material, and more particularly to a fiber reinforced platinum composite material in which platinum or a platinum alloy is used as a matrix and fibers are dispersed and composited to increase strength. Furthermore, the present invention relates to a method for producing the material, as well as a crucible, a glass production tool, a device and other fiber-reinforced platinum products constructed using the material.

白金は高融点材料であり、優れた耐腐食性、耐酸化性をあわせ持つことから、高温で、しかも酸化性(大気)雰囲気において使用する製品、とりわけルツボ、ガラス製造用器具、装置等の製品として広く用いられている。   Platinum is a high-melting-point material that has both excellent corrosion resistance and oxidation resistance, so products that are used at high temperatures and in an oxidizing (atmosphere) atmosphere, especially products such as crucibles, glass manufacturing equipment, and equipment. Is widely used.

しかし、近年ガラス製造プロセス温度において約1600℃と高温化が求められている。この温度は白金融点の0.92TMとなり、白金又は白金合金製部品の強度、寿命が著しく損なわれていた。そのため、高温での白金の強度を向上するために、様々な方法がとられている。例えば、白金にハフニウム、イットリウム、ランタン又はガドリニウム等の元素を添加した白金合金とすることにより(例えば特許文献1を参照。)、或いは白金中に微細な酸化ジルコニウム粒子を分散させることにより(例えば特許文献2を参照。)、高温での強度が向上するとされている。   However, in recent years, there has been a demand for a glass production process temperature as high as about 1600 ° C. This temperature was 0.92 TM, which is the melting point of platinum, and the strength and life of platinum or platinum alloy parts were significantly impaired. Therefore, various methods have been taken to improve the strength of platinum at high temperatures. For example, a platinum alloy in which an element such as hafnium, yttrium, lanthanum, or gadolinium is added to platinum (see, for example, Patent Document 1), or fine zirconium oxide particles are dispersed in platinum (for example, a patent) Reference 2)), it is said that the strength at high temperature is improved.

特許文献2記載を例とする酸化物粒子分散強化材料は、酸化物粒子が粒内に分布して転移移動を抑制し、また酸化物粒子が粒界に分散して結晶粒のすべりを抑えることで高温強度を上げている。しかし、粒界に多くの酸化物粒子が分散することですべりは抑制されるものの、酸化物粒子は白金若しくは白金合金との接合強度が低い。これにより結晶粒界からの破壊を早めてしまうことがある。これが酸化物粒子の分散量をさらに増やして耐熱強度を上げていく場合の問題となっていた。   The oxide particle dispersion-strengthening material described in Patent Document 2 is an example in which oxide particles are distributed in the grains to suppress transition movement, and the oxide particles are dispersed at grain boundaries to suppress crystal grain slip. Increased high temperature strength. However, although a large amount of oxide particles are dispersed at the grain boundaries, slip is suppressed, but the oxide particles have low bonding strength with platinum or a platinum alloy. This may accelerate the destruction from the grain boundaries. This has been a problem in increasing the heat resistance by further increasing the amount of oxide particles dispersed.

特開平10−195561号公報JP-A-10-195561 特開平8−134511号公報JP-A-8-134511

上記のように所定の元素や酸化物粒子が白金又は白金合金に配合され、高温強度の求められる白金部品として使用されているが、使用温度の上昇により耐用月数が短く、更なる高強度化による長寿命化が求められていた。本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、白金若しくは白金合金を主体とする材料において、その耐熱性、耐腐食性、耐酸化性などの特性を損なうことなく、強度及びその特性を飛躍的に向上させた材料を提供することである。そして高温において高い機械特性と耐腐食性、耐酸化性を要求される製品、なかでもルツボ、ガラス製造用器具、装置等の高温で使用する繊維強化型白金製品を提供することにある。さらにこのような高温クリープ強度が向上した材料を製造するための製造方法を提供することにある。   Predetermined elements and oxide particles are blended with platinum or platinum alloys as described above, and are used as platinum parts that require high-temperature strength. There was a need for longer life. The present invention has been made in view of such circumstances, and the object thereof is a material mainly composed of platinum or a platinum alloy without impairing characteristics such as heat resistance, corrosion resistance, and oxidation resistance. The object is to provide a material with dramatically improved strength and properties. Another object of the present invention is to provide a product that requires high mechanical properties, corrosion resistance, and oxidation resistance at high temperatures, in particular, a fiber-reinforced platinum product that is used at high temperatures, such as crucibles, glass manufacturing instruments and devices. Furthermore, it is providing the manufacturing method for manufacturing such a material with improved high temperature creep strength.

本発明者らは、白金若しくは白金合金を主体とする材料において白金の特性を損なわず、高温における強度を向上させるため、種々の強化法を検討したところ、白金と相性が良く、且つ耐熱性及び高温強度を有する繊維を分散させた繊維強化白金複合材料とすることで良好な特性が得られることを見出し、本発明を完成させた。すなわち、本発明に係る繊維強化白金複合材料は、白金若しくは白金合金のマトリックス中に、金属化合物からなる繊維が分散されていることを特徴とする。   The present inventors examined various strengthening methods in order to improve the strength at high temperature without impairing the properties of platinum in a material mainly composed of platinum or a platinum alloy. It has been found that good characteristics can be obtained by using a fiber reinforced platinum composite material in which fibers having high temperature strength are dispersed, and the present invention has been completed. That is, the fiber-reinforced platinum composite material according to the present invention is characterized in that fibers made of a metal compound are dispersed in a platinum or platinum alloy matrix.

本発明に係る繊維強化白金複合材料では、前記白金合金が白金−金合金或いは白金−ロジウム合金であることが好ましい。これらの白金合金は、高温における耐腐食性、耐酸化性に優れているため、マトリックス材として好適である。   In the fiber reinforced platinum composite material according to the present invention, the platinum alloy is preferably a platinum-gold alloy or a platinum-rhodium alloy. Since these platinum alloys are excellent in corrosion resistance and oxidation resistance at high temperatures, they are suitable as matrix materials.

本発明に係る繊維強化白金複合材料では、前記金属化合物は、酸化ジルコニウム、酸化アルミニウム、酸化ハフニウム、酸化イットリウム安定型酸化ジルコニウム、窒化アルミニウム又は窒化ボロンのいずれか一種であるか或いはこれら二種以上の混合物であることが好ましい。金属化合物として金属酸化物又は金属窒化物が好ましい。上記の金属化合物は特に耐熱性及び高温強度を備えるため、分散繊維として好適である。   In the fiber-reinforced platinum composite material according to the present invention, the metal compound is one of zirconium oxide, aluminum oxide, hafnium oxide, yttrium oxide-stabilized zirconium oxide, aluminum nitride, boron nitride, or two or more of these. A mixture is preferred. A metal oxide or metal nitride is preferable as the metal compound. The metal compound is particularly suitable as a dispersion fiber because it has heat resistance and high temperature strength.

本発明に係る繊維強化白金複合材料では、前記金属化合物からなる繊維が、金属化合物のウイスカーである場合を含む。白金若しくは白金合金のマトリックス中に、金属化合物からなる繊維として金属化合物からなるウイスカーを分散させることによって、良好な特性を得ることができる。ウイスカーは欠陥が少なく、強度が大きいものを使用すればより繊維強化白金複合材料の強度が向上する。   In the fiber reinforced platinum composite material according to the present invention, the case where the fiber made of the metal compound is a whisker of the metal compound is included. Good characteristics can be obtained by dispersing whiskers made of a metal compound as fibers made of a metal compound in a matrix of platinum or a platinum alloy. The strength of the fiber reinforced platinum composite material can be improved by using a whisker with few defects and high strength.

また本発明に係る繊維強化白金複合材料では、前記繊維のアスペクト比が、5から1000であることが好ましい。また前記繊維の線径が、100μm以下であることが好ましい。さらに前記繊維の含有率が、体積率で0.1から50%であることが好ましい。上記条件で繊維を分散させて結晶粒のすべりを抑え、高温強度を向上させることができる。   In the fiber-reinforced platinum composite material according to the present invention, the aspect ratio of the fiber is preferably 5 to 1000. Moreover, it is preferable that the wire diameter of the said fiber is 100 micrometers or less. Furthermore, the content of the fiber is preferably 0.1 to 50% by volume. Fibers can be dispersed under the above conditions to suppress crystal grain slip and improve high-temperature strength.

本発明に係る繊維強化白金複合材料では、前記繊維の表面に白金からなる界面層が形成されているか、或いは前記繊維の表面に前記マトリックスと同組成の白金合金からなる界面層が形成されているか、或いは前記繊維の表面に前記マトリックスと異組成の白金合金又は白金族金属からなる界面層が形成されているか、のいずれの場合も含まれる。界面層を設けることで繊維とマトリックスの密着性を高め、結晶粒のすべりをより抑えることができる。   In the fiber-reinforced platinum composite material according to the present invention, is an interface layer made of platinum formed on the surface of the fiber, or is an interface layer made of a platinum alloy having the same composition as the matrix formed on the surface of the fiber? Alternatively, the case where an interface layer made of a platinum alloy or a platinum group metal having a different composition from the matrix is formed on the surface of the fiber is included. By providing the interface layer, the adhesion between the fiber and the matrix can be improved, and the slip of crystal grains can be further suppressed.

本発明に係る繊維強化白金複合材料は、ルツボ、ガラス製造用器具、装置、その他高温で使用する製品の全体又はその一部に使用されて形成されていることを特徴とする。本発明に係る繊維強化白金複合材料を用いることにより、高温クリープ強度が大きく、耐用月数を増加させる。   The fiber-reinforced platinum composite material according to the present invention is characterized in that it is formed and used for a crucible, a glass manufacturing instrument, a device, or all or a part of a product used at a high temperature. By using the fiber reinforced platinum composite material according to the present invention, the high-temperature creep strength is high and the service life is increased.

本発明に係る繊維強化白金複合材料の製造方法は、白金若しくは白金合金のマトリックス中に、金属化合物からなる繊維が分散されている繊維強化白金複合材料の製造方法であって、前記繊維の表面に白金若しくは白金合金からなる被覆層を形成する工程と、前記被覆層を形成した繊維の周囲に焼結により前記マトリックスとなる白金又は白金合金の粉末及び/又は箔を配置して加圧焼結を行なう工程とを有することを特徴とする。界面層を焼結工程より前に事前に設けておくことで、焼結条件に左右されずに繊維とマトリックスの密着性を高めることができる。   The method for producing a fiber-reinforced platinum composite material according to the present invention is a method for producing a fiber-reinforced platinum composite material in which fibers made of a metal compound are dispersed in a matrix of platinum or a platinum alloy, A step of forming a coating layer made of platinum or a platinum alloy, and a powder and / or foil of platinum or a platinum alloy serving as the matrix by sintering around the fiber on which the coating layer is formed, and pressure sintering And performing the process. By providing the interface layer in advance before the sintering step, the adhesion between the fiber and the matrix can be enhanced without being influenced by the sintering conditions.

本発明により、白金若しくは白金合金を主体とする材料において、その耐熱性、耐腐食性、耐酸化性などの特性を損なうことなく、高温クリープ強度を飛躍的に向上させることができる。この繊維強化白金複合材料は、高温において高い機械特性と耐腐食性、耐酸化性を要求される製品、なかでもルツボ、ガラス製造用器具、装置、その他の高温で使用する繊維強化型白金製品として好適である。また、本発明の製造方法によれば、繊維強化白金複合材料の焼結条件に左右されずに繊維とマトリックスの密着性を高めることができる。   According to the present invention, high temperature creep strength can be dramatically improved in a material mainly composed of platinum or a platinum alloy without impairing characteristics such as heat resistance, corrosion resistance, and oxidation resistance. This fiber reinforced platinum composite material is a product that requires high mechanical properties, corrosion resistance, and oxidation resistance at high temperatures, especially as crucibles, glass manufacturing equipment, equipment, and other fiber reinforced platinum products used at high temperatures. Is preferred. Moreover, according to the manufacturing method of this invention, the adhesiveness of a fiber and a matrix can be improved without being influenced by the sintering conditions of a fiber reinforced platinum composite material.

(作用)
高温での強化機構は、転位の移動抑制効果だけでなく結晶粒界でのすべりを抑制し、材料中のキャビティー発生、成長を抑える必要がある。従来の酸化物粒子分散強化材は、背景技術で述べたように粒界に多くの酸化物粒子が分散することですべりは抑制されるものの、酸化物粒子は白金若しくは白金合金との接合強度が低いため、結晶粒界からの破壊を早めてしまうことがある。これに対して本発明の繊維強化白金複合材料では、アスペクト比の大きい金属化合物繊維を粒内及び/又は粒界に分散させ、特に楔のような形で結晶粒のすべりを止めることで更なる高温強度を持たせたものである。また、相隣り合う複数の粒内及び/又は粒界にまたがって繊維が分布しうるので結晶粒のすべりを止めやすい。さらに、金属化合物からなる繊維と白金若しくは白金合金との接合強度を上げるためにも化合物繊維の比表面積が大きいことが有効である。分散体1つに着目した場合、同一体積の分散体であれば、球形の分散体よりも繊維の分散体のほうが、比表面積が大きくなる。さらに、繊維表面にあらかじめ白金又は白金合金からなる被膜層を設けることで、繊維とマトリックスとの界面のマッチングを高めて、マトリックスと繊維との接合強度を高める。
(Function)
The strengthening mechanism at a high temperature needs to suppress not only the dislocation movement suppressing effect but also the slip at the grain boundary, and the generation and growth of cavities in the material. As described in the background art, the conventional oxide particle dispersion reinforcing material has a large amount of oxide particles dispersed at the grain boundary, which prevents slipping, but the oxide particles have a bonding strength with platinum or a platinum alloy. Since it is low, the breakage from the grain boundary may be accelerated. On the other hand, in the fiber reinforced platinum composite material of the present invention, the metal compound fiber having a large aspect ratio is dispersed in the grains and / or the grain boundaries, and the slip of the crystal grains is stopped particularly in the form of a wedge. It has high temperature strength. Further, since the fibers can be distributed in a plurality of adjacent grains and / or across grain boundaries, it is easy to stop slip of crystal grains. Furthermore, it is effective that the specific surface area of the compound fiber is large in order to increase the bonding strength between the fiber made of the metal compound and platinum or the platinum alloy. When attention is paid to one dispersion, the specific surface area of the fiber dispersion is larger than that of the spherical dispersion if the dispersion has the same volume. Further, by providing a coating layer made of platinum or a platinum alloy in advance on the fiber surface, the matching of the interface between the fiber and the matrix is increased, and the bonding strength between the matrix and the fiber is increased.

以下、本発明について実施形態及び実施例を示して詳細に説明するが本発明はこれらの記載に限定して解釈されない。   Hereinafter, although an embodiment and an example are shown and the present invention is explained in detail, the present invention is limited to these descriptions and is not interpreted.

本実施形態に係る繊維強化白金複合材料は、白金若しくは白金合金のマトリックス中に、金属化合物からなる繊維が分散されている。   In the fiber-reinforced platinum composite material according to this embodiment, fibers made of a metal compound are dispersed in a matrix of platinum or a platinum alloy.

マトリックスとなる白金合金は、全率固溶合金が好ましく、特に白金−金合金或いは白金−ロジウム合金とすることが好ましい。繊維である金属化合物は、酸化ジルコニウム、酸化アルミニウム、酸化ハフニウム、酸化イットリウム安定型酸化ジルコニウム、窒化アルミニウム又は窒化ボロンのいずれか一種であるか或いはこれら二種以上の混合物とすることが好ましい。繊維は高温での化合物としての安定性も重要であり、上記白金合金と上記金属化合物は高温で反応しにくい。繊維として特に金属酸化物繊維が好ましい。ここで繊維としては、ウイスカー、さらに単結晶ウイスカーも含む。このような組合せとすることで、マトリックスである白金若しくは白金合金の高温における耐腐食性、耐酸化性などの特性を損なうことなく、高温クリープ強度を飛躍的に向上させることができる。なお、白金材料としての使用を考えると繊維として金属炭化物は不向きである。   The platinum alloy used as the matrix is preferably a solid solution alloy, and particularly preferably a platinum-gold alloy or a platinum-rhodium alloy. The metal compound as the fiber is preferably one of zirconium oxide, aluminum oxide, hafnium oxide, yttrium oxide-stable zirconium oxide, aluminum nitride, boron nitride, or a mixture of two or more of these. The stability of the fiber as a compound at high temperatures is also important, and the platinum alloy and the metal compound hardly react at high temperatures. A metal oxide fiber is particularly preferable as the fiber. Here, the fibers include whiskers and further single crystal whiskers. With such a combination, the high temperature creep strength can be drastically improved without impairing the high temperature corrosion resistance and oxidation resistance of platinum or a platinum alloy as a matrix. In consideration of use as a platinum material, metal carbide is not suitable as a fiber.

繊維のアスペクト比は5から1000であることが好ましい。アスペクト比が5未満であると、繊維強化の特性が薄れる。一方、アスペクト比が1000を超えると、繊維長が長くなり過ぎ、複合材料としての強度も低下する。また、繊維の線径は100μm以下であることが好ましい。線径が100μmを越えるとマトリックスと繊維との分離層の発生が顕著になる。したがって、マトリックスと繊維との接合強度が確保できず、繊維強化白金複合材料の強度も低下する。さらに繊維の含有率は体積率で0.1から50%であることが好ましい。繊維の含有率が体積率で0.1%未満であると繊維強化の効果が少ない。一方、繊維の含有率が50%を越えると、白金若しくは白金合金のマトリックスによる材料の特性が低下して強度が低下する。   The fiber aspect ratio is preferably 5 to 1000. When the aspect ratio is less than 5, the fiber-reinforced properties are weakened. On the other hand, if the aspect ratio exceeds 1000, the fiber length becomes too long, and the strength as a composite material also decreases. Moreover, it is preferable that the wire diameter of a fiber is 100 micrometers or less. When the wire diameter exceeds 100 μm, the generation of a separation layer between the matrix and the fibers becomes remarkable. Therefore, the bonding strength between the matrix and the fibers cannot be ensured, and the strength of the fiber reinforced platinum composite material also decreases. Further, the fiber content is preferably 0.1 to 50% by volume. When the fiber content is less than 0.1% by volume, the effect of fiber reinforcement is small. On the other hand, if the fiber content exceeds 50%, the characteristics of the material due to the matrix of platinum or platinum alloy are lowered, and the strength is lowered.

繊維とマトリックスの結合を密にする目的から、繊維の表面に白金からなる界面層が形成されているか、或いは繊維の表面にマトリックスと同組成の白金合金からなる界面層が形成されているか、或いは繊維の表面にマトリックスと異組成の白金合金又は白金族金属からなる界面層が形成されていることが好ましい。繊維とマトリックスを複合化する際に、繊維と繊維とが接触状態で焼結される場合がある。このような場合、繊維と繊維との間にはまったく接合強度がないため、繊維強化白金複合材料の強度が著しく低下する。繊維と繊維とが接触状態とならないようにすることが好ましく、繊維の表面、好ましくは全表面に界面層を上記白金若しくは白金合金或いは白金族金属で形成することは強度確保の点から好ましい。白金族金属は、ロジウム、イリジウム、ルテニウム、レニウムがある。さらに、繊維とマトリックスとの組成に違いによる物性の違いを緩和するために、界面層は繊維又はマトリックスに含まれている元素から少なくとも一種を含む白金合金から形成されていることが好ましい。   For the purpose of densely bonding the fiber and the matrix, an interfacial layer made of platinum is formed on the surface of the fiber, or an interfacial layer made of a platinum alloy having the same composition as the matrix is formed on the surface of the fiber, or It is preferable that an interface layer made of a platinum alloy or a platinum group metal having a different composition from the matrix is formed on the surface of the fiber. When the fiber and the matrix are combined, the fiber and the fiber may be sintered in contact. In such a case, since there is no bonding strength between the fibers, the strength of the fiber-reinforced platinum composite material is significantly reduced. It is preferable to prevent the fibers from coming into contact with each other, and it is preferable from the viewpoint of securing strength that the interface layer is formed on the surface of the fiber, preferably the entire surface, with the platinum, platinum alloy or platinum group metal. Platinum group metals include rhodium, iridium, ruthenium, and rhenium. Furthermore, in order to alleviate the difference in physical properties due to the difference in composition between the fiber and the matrix, the interface layer is preferably formed from a platinum alloy containing at least one element contained in the fiber or matrix.

本実施形態に係る繊維強化白金複合材料は、耐腐食性、耐酸化性などの特性を損なうことなく、繊維により高温クリープ強度を飛躍的に向上させている。その用途としては、高温において高い機械特性と耐腐食性、耐酸化性を要求される製品、なかでもルツボ、ガラス製造用器具、装置、その他の高温で使用する繊維強化型白金製品の形成材料である。   The fiber-reinforced platinum composite material according to the present embodiment dramatically improves the high-temperature creep strength with the fibers without impairing properties such as corrosion resistance and oxidation resistance. Its applications include products that require high mechanical properties, corrosion resistance, and oxidation resistance at high temperatures, especially crucibles, glass manufacturing equipment, equipment, and other materials used to form fiber-reinforced platinum products used at high temperatures. is there.

次に本実施形態に係る繊維強化白金複合材料の製造方法について一例を示す。まず、上述のアスペクト比及び線径を有するアルミナ等の金属化合物からなる繊維を準備する。繊維をまず繊維構造体に形成しから、複合化しても良い。セラミック繊維は、噴出法や噴霧法等によって作製することができる。また、高分子前駆体を繊維に形成した後、熱分解して作製しても良い。また、セラミックウイスカーはPVD法やCVD法等を用いて作製することができる。   Next, an example is shown about the manufacturing method of the fiber reinforced platinum composite material which concerns on this embodiment. First, fibers made of a metal compound such as alumina having the above aspect ratio and wire diameter are prepared. The fibers may first be formed into a fiber structure and then combined. The ceramic fiber can be produced by an ejection method, a spray method, or the like. Alternatively, the polymer precursor may be formed into fibers and then thermally decomposed. Further, the ceramic whisker can be manufactured using a PVD method, a CVD method, or the like.

ここで、繊維の表面、好ましくは全面に白金若しくは白金合金又は白金族金属からなる被覆層を形成することで繊維と繊維との接触を防ぎ、かつ、マトリックスとの濡れ性を上げ、また焼結性の促進を防ぐために設けることが好ましい。被覆層の形成は、被覆層(コーティング層)と化合物繊維の密着強度を上げるべくPVD法にてコーティングすることが好ましい。   Here, by forming a coating layer made of platinum, a platinum alloy, or a platinum group metal on the surface of the fiber, preferably the entire surface, contact between the fiber and the fiber is prevented, wettability with the matrix is increased, and sintering is performed. It is preferable to provide for preventing the promotion of sex. The coating layer is preferably formed by the PVD method in order to increase the adhesion strength between the coating layer (coating layer) and the compound fiber.

PVD法としては、例えば抵抗加熱蒸着又は電子ビーム加熱蒸着等の真空蒸着法、DCスパッタリング、高周波スパッタリング、マグネトロンスパッタリング、ECRスパッタリング又はイオンビームスパッタリング等の各種スパッタリング法、高周波イオンプレーティング、活性化蒸着又はアークイオンプレーティング等の各種イオンプレーティング法、分子線エピタキシー法、レーザアブレーション法、イオン化クラスタビーム蒸着法、並びにイオンビーム蒸着法などがある。   Examples of the PVD method include vacuum deposition methods such as resistance heating deposition or electron beam heating deposition, various sputtering methods such as DC sputtering, high frequency sputtering, magnetron sputtering, ECR sputtering, or ion beam sputtering, high frequency ion plating, activated vapor deposition, or There are various ion plating methods such as arc ion plating, molecular beam epitaxy method, laser ablation method, ionized cluster beam evaporation method, and ion beam evaporation method.

PVD法では基本的にどの様な加工性の悪い材料でも容易に被覆層を形成することが可能であり安価である。また、溶融法では出来ない組成の金属材料を容易に被覆することも可能である。界面層の最適な膜厚は、加圧焼結時の圧力、焼結温度、繊維の含有率等の条件により異なるが、例えば0.05〜1μmである。   In the PVD method, it is basically possible to easily form a coating layer of any material with poor workability and is inexpensive. It is also possible to easily coat a metal material having a composition that cannot be obtained by the melting method. The optimum film thickness of the interface layer varies depending on conditions such as pressure during pressure sintering, sintering temperature, and fiber content, but is, for example, 0.05 to 1 μm.

上記膜厚とする場合には、スパッタリング条件を調整して複数回に分けて成膜しても良い。1回成膜ごとに熱処理しても良い。例えば、真空中又は不活性ガス中で400〜1200℃で10〜120分間加熱することによってアニーリング処理又は拡散処理を行ってもよい。熱処理により、繊維強化白金複合材料の焼結後、界面層となる被覆層に向かって繊維に含まれている元素の少なくとも一種が拡散し、繊維との組成に違いによる物性の違いが緩和される。熱処理の条件が、400℃以下の低温で10分間未満の短時間の場合には、熱処理の効果が少ない。一方、1200℃以上の高温で120分間以上の長時間の場合には、拡散が進行し過ぎて各被覆層の組成が変化するので望ましくない。   When it is set as the said film thickness, you may divide into several times by adjusting sputtering conditions. You may heat-process for every film-forming. For example, the annealing treatment or the diffusion treatment may be performed by heating at 400 to 1200 ° C. for 10 to 120 minutes in vacuum or in an inert gas. After sintering the fiber reinforced platinum composite material, at least one element contained in the fiber diffuses toward the coating layer that becomes the interface layer by heat treatment, and the difference in physical properties due to the difference in composition with the fiber is alleviated. . When the heat treatment conditions are a low temperature of 400 ° C. or lower and a short time of less than 10 minutes, the effect of the heat treatment is small. On the other hand, in the case of a long time of 120 minutes or more at a high temperature of 1200 ° C. or higher, diffusion is excessive and the composition of each coating layer changes, which is undesirable.

なお、繊維の表面全体に被覆層を形成する場合には、成膜中に繊維を気流中に浮かせ、回転させながら成膜する。或いは成膜位置を変えて繊維の外表面の全面に被覆層が形成されるまで複数回成膜する。   In addition, when forming a coating layer on the whole surface of a fiber, it forms into a film, making a fiber float in airflow during film formation, and rotating. Alternatively, the film formation position is changed, and film formation is performed a plurality of times until a coating layer is formed on the entire outer surface of the fiber.

また、繊維と被覆層との間に、被覆層とは異なる組成の白金若しくは白金合金からなる中間層を設け、被覆層の剥離を抑止することもできる。   In addition, an intermediate layer made of platinum or a platinum alloy having a composition different from that of the coating layer may be provided between the fiber and the coating layer to prevent peeling of the coating layer.

次に繊維の周囲に焼結によりマトリックスとなる白金又は白金合金の粉末及び/又は箔を配置して加圧焼結を行なう工程を行なう。このときの繊維とマトリックスの体積比は上述の割合、すなわち繊維の含有率が体積率で0.1〜50%とすることが好ましい。加圧焼結時の圧力及び焼結温度は繊維の含有量にも左右されるが、例えば圧力は50〜200Mpaである。また焼結温度は、例えば1000〜1500℃である。加圧焼結における雰囲気は、例えば真空中又は不活性ガス中とする。加圧焼結により、界面層に向かって繊維又はマトリックスに含まれている元素の少なくとも一種が拡散し、繊維又はマトリックスとの組成に違いによる物性の違いが緩和される。   Next, platinum or platinum alloy powder and / or foil, which becomes a matrix by sintering, is placed around the fiber and subjected to pressure sintering. At this time, the volume ratio of the fiber to the matrix is preferably the above-described ratio, that is, the fiber content is 0.1 to 50% by volume. The pressure and sintering temperature during pressure sintering depend on the fiber content, but the pressure is, for example, 50 to 200 MPa. The sintering temperature is, for example, 1000 to 1500 ° C. The atmosphere in the pressure sintering is, for example, in a vacuum or in an inert gas. By pressure sintering, at least one element contained in the fiber or matrix diffuses toward the interface layer, and the difference in physical properties due to the difference in composition from the fiber or matrix is alleviated.

上記工程では、PVD法により繊維の表面に界面層となる被覆層を形成する工程を示したが、PVD法のほか、有機金属熱分解法(MOD法)、ゾルゲル法、CVD法(化学気相成長法)又は溶射法により被覆層を形成しても良い。また上記工程では、加熱焼結により、繊維とマトリックスとを複合化したが、繊維に溶射法、CVD法、CVI法(化学気相浸透法)又は共沈法或いはこれらの方法の組み合わせによりマトリックスを形成する工程より繊維とマトリックスとを複合化しても良い。   In the above process, the process of forming a coating layer serving as an interface layer on the surface of the fiber by the PVD method has been shown. The coating layer may be formed by a growth method) or a thermal spraying method. In the above process, the fiber and the matrix are combined by heating and sintering, but the matrix is formed on the fiber by a thermal spraying method, a CVD method, a CVI method (chemical vapor infiltration method), a coprecipitation method, or a combination of these methods. The fiber and the matrix may be combined from the forming step.

さらに、繊維とマトリックスとの比重差を少なくして、繊維強化白金複合材料を真空溶解法で製造しても良い。   Furthermore, the fiber-reinforced platinum composite material may be manufactured by a vacuum melting method by reducing the specific gravity difference between the fiber and the matrix.

(実施例1)
φ(径)5μmで、L(長さ)200μmのジルコニア繊維5g(1.8vol%)の表面に、PVD法により白金を100Å厚さで均一にコーティングした。これにより繊維に白金の被覆層が形成された。アスペクト比は40である。この繊維と、マトリックスの原料である粒径200μm以下の白金粉末1000gとボールミルにて混合した。収率は85%であった。これを、HIPにて焼結した。焼結温度は1400℃、圧力は180MPaとした。次に焼結体を圧延して2mmの板状試料を作製した。
(Example 1)
The surface of 5 g (1.8 vol%) of zirconia fibers having a diameter of φ (diameter) of 5 μm and L (length) of 200 μm was uniformly coated with a thickness of 100 mm by the PVD method. This formed a platinum coating layer on the fiber. The aspect ratio is 40. This fiber was mixed with 1000 g of platinum powder having a particle size of 200 μm or less, which is a raw material of the matrix, in a ball mill. The yield was 85%. This was sintered with HIP. The sintering temperature was 1400 ° C. and the pressure was 180 MPa. Next, the sintered body was rolled to produce a 2 mm plate sample.

(実施例2)
φ(径)5μmで、L(長さ)200μmのジルコニア繊維5g(1.8vol%)の表面に、PVD法により白金を50Å厚さで均一にコーティングした。これにより繊維に白金の被覆層が形成された。アスペクト比は40である。この繊維と、塩化白金酸アンモニウム結晶2270g、エチルアルコール50g加えて三本ロールにて混合した。これを400℃の電気炉に1時間入れて焼成分解して、白金とジルコニア繊維の混合物を得た。これを粉砕してHIPにて焼結した。焼結温度は1400℃、圧力は180MPaとした。次に焼結体を圧延して2mmの板状試料を製作した。
(Example 2)
The surface of 5 g (1.8 vol%) of zirconia fibers having a diameter of φ (diameter) of 5 μm and L (length) of 200 μm was uniformly coated with a thickness of 50 mm by the PVD method. This formed a platinum coating layer on the fiber. The aspect ratio is 40. This fiber, 2270 g of ammonium chloroplatinate crystals, and 50 g of ethyl alcohol were added and mixed with a three roll. This was placed in an electric furnace at 400 ° C. for 1 hour and fired and decomposed to obtain a mixture of platinum and zirconia fibers. This was pulverized and sintered with HIP. The sintering temperature was 1400 ° C. and the pressure was 180 MPa. Next, the sintered body was rolled to produce a 2 mm plate sample.

(実施例3)
φ5μmで、L200μmのジルコニア繊維5g(1.8vol%)(アスペクト比は40)に、コーティングを行わず、粒径200μm以下の白金粉末1000gとボールミルにて混合した。収率は85%であった。これを、HIPにて焼結した。焼結温度は1400℃、圧力は180MPaとした。次の焼結体を圧延し2mmの板状試料を作製した。
(Example 3)
A zirconia fiber 5 g (1.8 vol%) (aspect ratio 40) having a diameter of 5 μm and L 200 μm was mixed with a 1000 g platinum powder having a particle size of 200 μm or less by a ball mill without coating. The yield was 85%. This was sintered with HIP. The sintering temperature was 1400 ° C. and the pressure was 180 MPa. The next sintered body was rolled to produce a 2 mm plate sample.

(実施例4)
窒化アルミニウムの種を成膜ステージに設置し、CVD法を用いて成長させてφ10nm×100nm程度のウイスカー5g(1.8vol%)を作製した。アスペクト比は10である。このウイスカーとマトリックスの原料である粒径200μm以下の白金粉末1000gとボールミルにて混合した。収率は85%であった。これを、HIPにて焼結した。焼結温度は1400℃、圧力は180MPaとした。次に焼結体を圧延して2mmの板状試料を作製した。
Example 4
Aluminum nitride seeds were placed on the film formation stage and grown using a CVD method to produce 5 g (1.8 vol%) whiskers having a diameter of about 10 nm × 100 nm. The aspect ratio is 10. The whisker and the matrix raw material, 1000 g of platinum powder having a particle size of 200 μm or less, were mixed with a ball mill. The yield was 85%. This was sintered with HIP. The sintering temperature was 1400 ° C. and the pressure was 180 MPa. Next, the sintered body was rolled to produce a 2 mm plate sample.

(実施例5)
窒化アルミニウムの種を成膜ステージに設置し、CVD法を用いて成長させてφ10nm×100nm程度のウイスカー5g(1.8vol%)を作製した。アスペクト比は10である。次に、このウイスカーの表面に、PVD法により白金を100Å厚さで均一にコーティングした。次に、コーティングしたウイスカーとマトリックスの原料である粒径200μm以下の白金粉末1000gとをボールミルにて混合した。収率は85%であった。これを、HIPにて焼結した。焼結温度は1400℃、圧力は180MPaとした。次に焼結体を圧延して2mmの板状試料を作製した。
(Example 5)
Aluminum nitride seeds were placed on the film formation stage and grown using a CVD method to produce 5 g (1.8 vol%) whiskers having a diameter of about 10 nm × 100 nm. The aspect ratio is 10. Next, platinum was uniformly coated on the surface of the whisker with a thickness of 100 mm by the PVD method. Next, the coated whisker and 1000 g of platinum powder having a particle size of 200 μm or less, which is a raw material of the matrix, were mixed in a ball mill. The yield was 85%. This was sintered with HIP. The sintering temperature was 1400 ° C. and the pressure was 180 MPa. Next, the sintered body was rolled to produce a 2 mm plate sample.

(比較例1)
白金の単体のインゴットを真空溶解にて作製した。このインゴットを圧延して2mmの板状試料を作製した。
(Comparative Example 1)
A platinum ingot was prepared by vacuum melting. The ingot was rolled to produce a 2 mm plate sample.

(比較例2)
白金ロジウム合金(白金90wt%−ロジウム10wt%)のインゴットを真空溶解にて作製した。このインゴットを圧延して2mmの板状試料を作製した。
(Comparative Example 2)
An ingot of a platinum rhodium alloy (platinum 90 wt% -rhodium 10 wt%) was prepared by vacuum melting. The ingot was rolled to produce a 2 mm plate sample.

(比較例3)
粒径200μm以下の白金粉末1000gに、粒径1μm以下のジルコニア粉末2g(0.73vol%)を添加してボールミルにて混合し、HIPにて焼結した。焼結温度は1400℃、圧力は180MPaとした。この焼結体を圧延して2mmの板状試料を作成した。
(Comparative Example 3)
To 1000 g of platinum powder having a particle size of 200 μm or less, 2 g (0.73 vol%) of zirconia powder having a particle size of 1 μm or less was added, mixed by a ball mill, and sintered by HIP. The sintering temperature was 1400 ° C. and the pressure was 180 MPa. This sintered body was rolled to prepare a 2 mm plate-like sample.

各実施例及び各比較例について、板状試料から高温クリープ試験用の試験片(プレート形状)を切り出し、大気雰囲気1500℃でクリープ強度を測定した。試験結果を図1に示す。   About each Example and each comparative example, the test piece (plate shape) for a high temperature creep test was cut out from the plate-shaped sample, and the creep strength was measured at 1500 degreeC in air | atmosphere. The test results are shown in FIG.

分散体が含有されていない比較例1,2と比べて酸化物分散強化白金である比較例3は非常に高い強度が出ている。しかし、繊維を分散させた実施例3は、比較例3の1.9倍のクリープ強度が確認された。さらに繊維に被覆層を設け、その繊維を分散させた実施例1,2は、比較例3の2.2倍のクリープ強度が確認された。また、ウイスカーを分散させた実施例4は比較例3の1.2倍のクリープ強度が確認され、コーティングしたウイスカーを分散した実施例5は比較例3の1.5倍のクリープ強度が確認された。なお、実施例1,2では、実施例3と比べるとさらに高温クリープ強度が上昇しているが、被覆層の存在により金属酸化物繊維とマトリックスとの接合強度が上昇したため、長時間の高温暴露がされても剥離がさらに抑制されて結晶粒のすべりがより抑制されたからと考えられる。   Compared with Comparative Examples 1 and 2 which do not contain a dispersion, Comparative Example 3 which is oxide dispersion strengthened platinum has a very high strength. However, in Example 3 in which the fibers were dispersed, a creep strength 1.9 times that of Comparative Example 3 was confirmed. Further, Examples 1 and 2 in which a coating layer was provided on the fiber and the fiber was dispersed were confirmed to have a creep strength 2.2 times that of Comparative Example 3. In addition, Example 4 in which whiskers are dispersed has a creep strength 1.2 times that of Comparative Example 3, and Example 5 in which coated whiskers are dispersed has a creep strength 1.5 times that of Comparative Example 3. It was. In Examples 1 and 2, the high-temperature creep strength is further increased as compared with Example 3, but the bonding strength between the metal oxide fiber and the matrix is increased due to the presence of the coating layer, and thus the high-temperature exposure for a long time. This is considered to be because the peeling was further suppressed and the slipping of the crystal grains was further suppressed even if it was removed.

実施例1〜5及び比較例1〜3について、1500℃、大気雰囲気におけるクリープ破断強度を示すグラフである。It is a graph which shows the creep rupture strength in 1500 degreeC and an atmospheric condition about Examples 1-5 and Comparative Examples 1-3.

Claims (10)

白金若しくは白金合金のマトリックス中に、金属化合物からなる繊維が分散されていることを特徴とする繊維強化白金複合材料。   A fiber-reinforced platinum composite material, wherein fibers made of a metal compound are dispersed in a platinum or platinum alloy matrix. 前記白金合金が白金−金合金或いは白金−ロジウム合金であることを特徴とする請求項1記載の繊維強化白金複合材料。   The fiber-reinforced platinum composite material according to claim 1, wherein the platinum alloy is a platinum-gold alloy or a platinum-rhodium alloy. 前記金属化合物は、酸化ジルコニウム、酸化アルミニウム、酸化ハフニウム、酸化イットリウム安定型酸化ジルコニウム、窒化アルミニウム又は窒化ボロンのいずれか一種であるか或いはこれら二種以上の混合物であることを特徴とする請求項1又は2記載の繊維強化白金複合材料。   The metal compound is any one of zirconium oxide, aluminum oxide, hafnium oxide, yttrium oxide stable zirconium oxide, aluminum nitride, boron nitride, or a mixture of two or more thereof. Or the fiber reinforced platinum composite material of 2. 前記金属化合物からなる繊維が、金属化合物のウイスカーであることを特徴とする請求項1、2又は3に記載の繊維強化白金複合材料。   The fiber reinforced platinum composite material according to claim 1, 2 or 3, wherein the fiber made of the metal compound is a whisker of a metal compound. 前記繊維のアスペクト比が、5から1000であることを特徴とする請求項1、2、3又は4記載の繊維強化白金複合材料。   The fiber-reinforced platinum composite material according to claim 1, 2, 3, or 4, wherein the fiber has an aspect ratio of 5 to 1000. 前記繊維の線径が、100μm以下であることを特徴とする請求項1、2、3、4又は5記載の繊維強化白金複合材料。   6. The fiber-reinforced platinum composite material according to claim 1, wherein the fiber has a wire diameter of 100 μm or less. 前記繊維の含有率が、体積率で0.1から50%であることを特徴とする請求項1、2、3、4、5又は6記載の繊維強化白金複合材料。   The fiber-reinforced platinum composite material according to claim 1, 2, 3, 4, 5 or 6, wherein the fiber content is 0.1 to 50% by volume. 前記繊維の表面に白金からなる界面層が形成されているか、或いは前記繊維の表面に前記マトリックスと同組成の白金合金からなる界面層が形成されているか、或いは前記繊維の表面に前記マトリックスと異組成の白金合金又は白金族金属からなる界面層が形成されていることを特徴とする請求項1、2、3、4、5、6又は7記載の繊維強化白金複合材料。   An interface layer made of platinum is formed on the surface of the fiber, an interface layer made of a platinum alloy having the same composition as the matrix is formed on the surface of the fiber, or a surface different from the matrix on the surface of the fiber. 8. The fiber-reinforced platinum composite material according to claim 1, wherein an interface layer made of a platinum alloy or a platinum group metal having a composition is formed. 請求項1、2、3、4、5、6、7又は8記載の繊維強化白金複合材料が、全体又はその一部に使用されて形成されていることを特徴とするルツボ、ガラス製造用器具、装置その他の繊維強化型白金製品。   A crucible or glass manufacturing instrument, wherein the fiber-reinforced platinum composite material according to claim 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, or 8 is used as a whole or a part thereof. , Equipment and other fiber reinforced platinum products. 白金若しくは白金合金のマトリックス中に、金属化合物からなる繊維が分散されている繊維強化白金複合材料の製造方法であって、前記繊維の表面に白金若しくは白金合金からなる被覆層を形成する工程と、前記被覆層を形成した繊維の周囲に焼結により前記マトリックスとなる白金又は白金合金の粉末及び/又は箔を配置して加圧焼結を行なう工程とを有することを特徴とする繊維強化白金複合材料の製造方法。
A method for producing a fiber-reinforced platinum composite material in which fibers made of a metal compound are dispersed in a matrix of platinum or a platinum alloy, the step of forming a coating layer made of platinum or a platinum alloy on the surface of the fibers; A step of pressure sintering by placing platinum or a platinum alloy powder and / or foil serving as the matrix by sintering around the fiber on which the coating layer is formed. Material manufacturing method.
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