JP2005280199A - Liquid jet device - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To increase the degree of freedom of setting slight vibrations to suppress the thickening of a liquid in nozzle openings and increase the speed of good liquid drop discharge. <P>SOLUTION: A slight vibration pulse PV includes a slight vibration main element Pa having a slight vibration expansion element P1 to expand a pressure chamber 38 to a volumetric capacity larger than a reference volumetric capacity to the extent that ink drops are prevented from getting discharged and a slight vibration contraction element P3 to contract the pressure chamber 38 to a volumetric capacity smaller than the reference volumetric capacity to the extent that ink drops are prevented from getting discharged and a slight vibration attenuating element Pb to causing the pressure chamber 38 to restore the reference volumetric capacity, and converges the slight vibrations of a meniscus generated before supply of a discharge pulse PS by arranging the slight vibration braking element Pb behind the slight vibration main element Pa. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、駆動パルスの圧力発生素子への供給を制御することで、ノズル開口からの液滴の吐出を制御可能な液体噴射装置に関する。   The present invention relates to a liquid ejecting apparatus capable of controlling the discharge of droplets from nozzle openings by controlling the supply of drive pulses to pressure generating elements.

液体噴射装置は、液体を液滴として吐出可能な液体噴射ヘッドを備え、この液体噴射ヘッドから各種の液体を吐出する装置である。この液体噴射装置の代表的なものとして、例えば、対象物としての記録紙等に対して液体状のインクを吐出(噴射)してドットを形成することにより記録を行うインクジェット式プリンタ等の画像記録装置を挙げることができる。また、近年においては、この画像記録装置に限らず、各種の製造装置にも応用されている。例えば、液晶ディスプレー、プラズマディスプレー、有機EL(Electro Luminescence)ディスプレー、或いはFED(面発光ディスプレー)等のディスプレー製造装置においては、色材や電極等の液体状の各種材料を、画素形成領域や電極形成領域等に対して吐出するためのものとして、液体噴射装置が用いられている。   The liquid ejecting apparatus is an apparatus that includes a liquid ejecting head capable of ejecting liquid as droplets and ejects various liquids from the liquid ejecting head. As a typical example of this liquid ejecting apparatus, for example, image recording such as an ink jet printer that performs recording by ejecting (jetting) liquid ink onto a recording paper or the like as an object to form dots. A device can be mentioned. In recent years, it is applied not only to this image recording apparatus but also to various manufacturing apparatuses. For example, in a display manufacturing apparatus such as a liquid crystal display, a plasma display, an organic EL (Electro Luminescence) display, or an FED (surface emitting display), various liquid materials such as coloring materials and electrodes are used for pixel formation regions and electrode formation. A liquid ejecting apparatus is used for discharging to an area or the like.

ここで、上記インクジェット式プリンタ(以下、単にプリンタと略記する。)を例に挙げると、このプリンタは、圧力室に連通したノズル開口、および圧力室内のインクに圧力変動を生じさせ得る圧力発生素子を有する記録ヘッドと、駆動パルスを含んだ駆動信号を発生する駆動信号発生回路とを備え、駆動パルスを圧力発生素子へ供給することで圧力発生素子を作動して、ノズル開口からインクをインク滴として吐出するように構成されている。   Here, taking the ink jet printer (hereinafter simply abbreviated as “printer”) as an example, this printer includes a nozzle opening communicating with the pressure chamber, and a pressure generating element capable of causing pressure fluctuation in ink in the pressure chamber. And a drive signal generation circuit that generates a drive signal including a drive pulse. The pressure generation element is operated by supplying the drive pulse to the pressure generation element, and ink is dropped from the nozzle opening. It is comprised so that it may discharge.

このようなプリンタについて、上記駆動パルスを、インクを吐出させる吐出パルスと、インクを吐出させない程度にノズル開口のメニスカス(ノズル開口で露出しているインクの自由表面)を微振動させる微振動パルスとを含んで構成するものが提案されている(例えば、特許文献1参照)。この微振動パルスは、例えば、インクを吐出しない非吐出期間にメニスカスを微振動させてノズル開口と圧力室内との間でインクを対流させ、非吐出期間中にノズル開口のインクが増粘する不都合を防いでいる。したがって、非吐出期間が長い場合(具体的には、複数の空白行の後に印字する間欠印字を行う場合等)であっても、ノズル開口から吐出されるインク滴の飛翔安定性を維持し易い。
特開2000−37867号公報
For such a printer, the drive pulse includes an ejection pulse for ejecting ink, and a fine vibration pulse for causing the meniscus of the nozzle opening (the free surface of the ink exposed at the nozzle opening) to vibrate to such an extent that the ink is not ejected. There has been proposed one including the above (see, for example, Patent Document 1). This slight vibration pulse causes, for example, a problem that the meniscus is slightly vibrated during the non-ejection period when ink is not ejected to convect the ink between the nozzle opening and the pressure chamber, and the ink at the nozzle opening is thickened during the non-ejection period. Is preventing. Therefore, even when the non-ejection period is long (specifically, when intermittent printing is performed after printing a plurality of blank lines), it is easy to maintain the flight stability of the ink droplets ejected from the nozzle openings. .
JP 2000-37867 A

ところで、微振動パルスがインク増粘防止の効果を発揮するためには、図7(a)中に示す微振動駆動電圧Vhv(微振動パルスPV中の最高電位と最低電位との差)を、上記したインクの対流を十分に引き起こす程度に設定する必要がある。この設定は、例えば、微振動パルスPVの供給時間tと、間欠印字において良好な印字結果が得られる微振動レベル(微振動駆動電圧Vhvと吐出駆動電圧Vhs(吐出パルスPS中の最高電位と最低電位との差)との比)との関係(図7(b)における実線L0)に基づいて行われる。そして、実際のプリンタにおいては、インク粘度の許容誤差を見込んで、図7(b)中実線で示される値よりも少し高めの微振動レベルが設定されている。   By the way, in order for the micro-vibration pulse to exhibit the effect of preventing ink thickening, the micro-vibration driving voltage Vhv (difference between the maximum potential and the minimum potential in the micro-vibration pulse PV) shown in FIG. It is necessary to set it to such an extent that the above-described ink convection is sufficiently caused. This setting includes, for example, the supply time t of the fine vibration pulse PV and the fine vibration level (fine vibration drive voltage Vhv and discharge drive voltage Vhs (the highest potential and the lowest potential in the discharge pulse PS) at which a good print result is obtained in intermittent printing. (The difference with the potential))) (the solid line L0 in FIG. 7B). In an actual printer, a slight vibration level that is slightly higher than the value indicated by the solid line in FIG.

しかしながら、増粘し易いインクや高粘度のインクを吐出対象液体として使用する場合には、微振動駆動電圧を更に高くしてメニスカスの微振動を十分に発生させなければならない。ところが、微振動駆動電圧を高くし過ぎて設定すると、連続印字安定性を維持可能な微振動レベルの上限L1(図7(b)中破線で示された値)を超えてしまい、連続印字安定性と間欠印字評価とを満足させる微振動レベルの設定範囲(図中斜線部で表示)から外れてしまう。すなわち、メニスカスの微振動が収束しないうちに吐出パルスが供給されて、インク吐出時のメニスカス振動が設計どおりに行われず、良好な印字結果を得ることができない虞がある。   However, when using ink that tends to thicken or ink with high viscosity as the liquid to be ejected, it is necessary to further increase the micro-vibration driving voltage to sufficiently generate micro-vibration of the meniscus. However, if the fine vibration drive voltage is set too high, the upper limit L1 (value indicated by the broken line in FIG. 7B) that can maintain the continuous print stability is exceeded, and the continuous print stability is increased. The fine vibration level setting range (indicated by the hatched portion in the figure) that satisfies the performance and intermittent print evaluation. That is, the ejection pulse is supplied before the fine vibration of the meniscus converges, and the meniscus vibration during ink ejection is not performed as designed, and there is a possibility that a good printing result cannot be obtained.

そこで、良好な印字結果を得るために、微振動を十分に収束させて液滴吐出への影響を抑える必要があるのだが、そのためには、微振動パルス供給時間を長く設定(すなわち、微振動パルスの電位勾配を緩く)するか、あるいは微振動パルス終了から吐出パルス開始までの時間を長く設定しなければならない。したがって、高粘度インク使用時に印字速度を高速化することが難しい。また、微振動レベルの選択範囲が狭く制限され、印字動作の設定の自由度を増やし難い。   Therefore, in order to obtain a good printing result, it is necessary to sufficiently converge the fine vibration to suppress the influence on the droplet discharge. For that purpose, the fine vibration pulse supply time is set long (that is, the fine vibration) The pulse potential gradient must be made gentle), or the time from the end of the minute vibration pulse to the start of the ejection pulse must be set longer. Therefore, it is difficult to increase the printing speed when using high viscosity ink. In addition, the selection range of the fine vibration level is narrowly limited, and it is difficult to increase the degree of freedom in setting the printing operation.

また、微振動パルスの供給時間を短時間に設定する場合においては、図7(b)に示すように、連続印字安定性と間欠印字評価とを満足させる微振動レベルの設定範囲が存在しない。このことから、短時間の微振動パルスの供給を選択し難く、良好な印字(液滴吐出)に掛かる時間を短縮することが困難であった。   Further, when the supply time of the fine vibration pulse is set to a short time, there is no fine vibration level setting range that satisfies the continuous print stability and the intermittent print evaluation as shown in FIG. 7B. For this reason, it is difficult to select the supply of the micro-vibration pulse for a short time, and it is difficult to shorten the time required for good printing (droplet discharge).

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、ノズル開口における液体の増粘を抑える微振動の設定自由度を増やし、良好な液滴吐出の高速化を図ることができるようにするものである。   The present invention has been made in view of such circumstances, and an object of the present invention is to increase the degree of freedom of setting a fine vibration that suppresses the thickening of the liquid at the nozzle opening, and to speed up the good droplet discharge. Is to be able to.

本発明の液体噴射装置は、上記目的を達成するために提案されたものであり、圧力室に連通したノズル開口、および圧力室内の液体に圧力変動を生じさせ得る圧力発生素子を有する液体噴射ヘッドと、駆動パルスを含んだ駆動信号を発生する駆動信号発生手段とを備え、
駆動パルスを、液滴を吐出させる吐出パルスと、液滴を吐出させない程度にノズル開口のメニスカスを微振動させる微振動パルスとを含んで構成し、
駆動パルスの圧力発生素子への供給により圧力発生素子を作動して、ノズル開口から液滴を吐出可能な液体噴射装置であって、
前記微振動パルスは、液滴が吐出されない程度に圧力室を基準容積よりも膨張させる微振動膨張要素、および液滴が吐出されない程度に圧力室を基準容積よりも収縮させる微振動収縮要素を備えた微振動主要素と、圧力室を基準容積に復帰させる微振動制振要素とを含み、
該微振動制振要素を微振動主要素の後に配置することにより、吐出パルスの供給前に発生させたメニスカスの微振動を収束させることを特徴とする。
The liquid ejecting apparatus of the present invention has been proposed to achieve the above object, and includes a nozzle opening communicating with a pressure chamber and a pressure generating element capable of causing pressure fluctuation in the liquid in the pressure chamber. Driving signal generating means for generating a driving signal including a driving pulse,
The drive pulse includes a discharge pulse for discharging a droplet and a fine vibration pulse for finely vibrating the meniscus of the nozzle opening to the extent that the droplet is not discharged.
A liquid ejecting apparatus capable of operating a pressure generating element by supplying a driving pulse to a pressure generating element and discharging a droplet from a nozzle opening,
The micro-vibration pulse includes a micro-vibration expansion element that expands the pressure chamber from the reference volume to such an extent that no droplet is ejected, and a micro-vibration contraction element that contracts the pressure chamber from the reference volume to an extent that no droplet is ejected. A fine vibration main element, and a fine vibration damping element for returning the pressure chamber to the reference volume,
By disposing the fine vibration damping element after the fine vibration main element, the fine vibration of the meniscus generated before supplying the ejection pulse is converged.

そして、上記構成において、前記微振動制振要素を、次回の吐出パルスの前に配置することが望ましい。   In the above configuration, it is desirable that the fine vibration damping element is arranged before the next ejection pulse.

さらに、上記構成において、前記微振動パルスは、液滴が吐出されない程度に圧力室を基準容積よりも膨張させる微振動膨張要素、および該微振動膨張要素により膨張した圧力室を収縮させる微振動収縮要素を備えた微振動主要素と、微振動収縮要素により収縮した圧力室を基準容積に膨張復帰させる微振動制振要素とから構成されることが望ましい。   Further, in the above configuration, the micro-vibration pulse includes a micro-vibration expansion element that expands the pressure chamber from the reference volume to such an extent that no droplet is ejected, and micro-vibration contraction that contracts the pressure chamber expanded by the micro-vibration expansion element. It is desirable that the fine vibration main element including the element and the fine vibration damping element for returning the pressure chamber contracted by the fine vibration contraction element to the reference volume are restored.

上記構成によれば、微振動制振要素を微振動主要素の後に配置することにより、吐出パルスの供給前に発生させたメニスカスの微振動を収束させるので、微振動パルスによる圧力発生素子の駆動を強くしても、メニスカスの微振動が吐出パルスによるメニスカスの振動に加わる不具合を防ぐことができる。したがって、微振動の設定自由度を増すことができる。また、メニスカスの微振動を迅速に収束させることができ、良好な液滴吐出の高速化を図ることができる。さらに、高粘度や増粘し易い液体であっても、ノズル開口における増粘を抑えるとともにメニスカスの微振動が液滴吐出に影響を及ぼす不都合を防ぐことができ、良好な液滴吐出を実現することができる。   According to the above configuration, by arranging the fine vibration damping element after the fine vibration main element, the fine vibration of the meniscus generated before the supply of the discharge pulse is converged, so that the pressure generating element is driven by the fine vibration pulse. Even if the pressure is increased, it is possible to prevent a problem that the fine vibration of the meniscus is added to the vibration of the meniscus due to the ejection pulse. Accordingly, it is possible to increase the degree of freedom in setting the fine vibration. In addition, the fine vibration of the meniscus can be quickly converged, and good droplet ejection speed can be achieved. Furthermore, even for highly viscous or easily thickened liquids, it is possible to suppress the increase in viscosity at the nozzle opening and to prevent inconveniences in which microvibration of the meniscus affects droplet ejection, thus realizing excellent droplet ejection. be able to.

また、微振動制振要素を、次回の吐出パルスの前に配置すれば、常に、メニスカスの微振動を収束させてから液滴を吐出することができ、微振動が液滴吐出に与える影響を一層防ぎ易い。   In addition, if the fine vibration damping element is arranged before the next discharge pulse, the liquid droplet can be discharged after the fine vibration of the meniscus is always converged. It is easier to prevent.

そして、微振動パルスは、液滴が吐出されない程度に圧力室を基準容積よりも膨張させる微振動膨張要素、および該微振動膨張要素により膨張した圧力室を収縮させる微振動収縮要素を備えた微振動主要素と、微振動収縮要素により収縮した圧力室を基準容積に膨張復帰させる微振動制振要素とから構成されれば、ノズル開口内を前進した状態のメニスカスを後退させながら微振動を収束することができ、微振動制振要素の供給時に液滴が吐出される虞がない。   The micro-vibration pulse includes a micro-vibration expansion element that expands the pressure chamber beyond the reference volume to the extent that no droplet is ejected, and a micro-vibration contraction element that contracts the pressure chamber expanded by the micro-vibration expansion element. Consists of a main vibration element and a fine vibration damping element that expands and restores the pressure chamber contracted by the fine vibration contraction element to the reference volume. Therefore, there is no possibility that droplets are ejected when the fine vibration damping element is supplied.

以下、本発明を実施するための最良の形態を図面に基づいて説明する。なお、以下においては、本発明の液体噴射装置の一例としてインクジェット式プリンタ(以下、プリンタ1と略記する)を例示する。図1は、プリンタ1の機能ブロック図である。   Hereinafter, the best mode for carrying out the present invention will be described with reference to the drawings. In the following, an ink jet printer (hereinafter abbreviated as printer 1) will be exemplified as an example of the liquid ejecting apparatus of the invention. FIG. 1 is a functional block diagram of the printer 1.

プリンタ1は、図1に示すように、プリンタコントローラ2とプリントエンジン3とで概略構成されている。プリンタコントローラ2は、ホストコンピュータ(図示せず)等の外部装置からの印刷データ等が入力される外部インタフェース(外部I/F)4と、各種データ等を記憶するRAM5と、各種データ処理のための制御ルーチン等を記憶したROM6と、CPU等からなる制御部7と、発振回路8と、後述する記録ヘッド9へ供給する駆動信号を発生する駆動信号発生回路10(本発明における駆動信号発生手段に相当)と、印刷データをドット毎に展開(データ変換)することで得られた吐出データや駆動信号等をプリントエンジン3に出力するための内部インタフェース(内部I/F)11とを備えている。   As shown in FIG. 1, the printer 1 is schematically configured by a printer controller 2 and a print engine 3. The printer controller 2 includes an external interface (external I / F) 4 that receives print data from an external device such as a host computer (not shown), a RAM 5 that stores various data, and the like for various data processing. ROM 6 that stores the control routine, a control unit 7 including a CPU, an oscillation circuit 8, and a drive signal generation circuit 10 that generates a drive signal to be supplied to a recording head 9 described later (drive signal generation means in the present invention) And an internal interface (internal I / F) 11 for outputting ejection data, drive signals, and the like obtained by developing (data converting) the print data for each dot to the print engine 3. Yes.

制御部7は、ROM6に記憶された動作プログラム等に従ってプリンタ1の各部を制御するものである。また、制御部7は、外部インタフェース4を介して外部装置から入力された印刷データを、記録ヘッド9においてインク滴の吐出に用いられる吐出データに変換する。   The control unit 7 controls each unit of the printer 1 according to an operation program or the like stored in the ROM 6. Further, the control unit 7 converts print data input from an external device via the external interface 4 into discharge data used for discharging ink droplets in the recording head 9.

駆動信号発生回路10は、制御部7によって定められた波形形状の駆動信号を発生する回路である。この駆動信号発生回路10は、例えば、図3に示すように、複数の吐出パルスおよび非記録時にメニスカスを微振動させるための微振動パルスを配置して構成される駆動パルスを含ませて駆動信号を発生し、この駆動信号を内部I/F11を介して記録ヘッド9側に供給する回路である。なお、駆動信号発生回路10で発生する駆動パルス(駆動信号)については、後で詳細に説明する。   The drive signal generation circuit 10 is a circuit that generates a drive signal having a waveform shape determined by the control unit 7. The drive signal generation circuit 10 includes, for example, a drive signal including a plurality of ejection pulses and a drive pulse configured by arranging fine vibration pulses for finely vibrating the meniscus during non-recording as shown in FIG. And the drive signal is supplied to the recording head 9 via the internal I / F 11. The drive pulse (drive signal) generated by the drive signal generation circuit 10 will be described in detail later.

プリントエンジン3は、記録ヘッド9と、記録ヘッド9が着脱可能に取り付けられるキャリッジを記録紙の紙幅方向(主走査方向)に移動させるキャリッジ移動機構14と、記録ヘッド9の移動方向に直交する方向である紙送り方向(副走査方向)に記録紙を搬送する紙送り機構15とから構成されている。記録ヘッド9は、本発明の液体噴射ヘッドの一種であり、印字データがセットされるシフトレジスタ(SR)16と、シフトレジスタ16にセットされた印字データをラッチするラッチ回路17と、電圧増幅器として機能するレベルシフタ18と、圧電振動子19と、圧電振動子19に対する駆動信号の供給を制御するスイッチ回路20とを備えている。   The print engine 3 includes a recording head 9, a carriage moving mechanism 14 that moves a carriage to which the recording head 9 is detachably attached in the paper width direction (main scanning direction) of the recording paper, and a direction orthogonal to the moving direction of the recording head 9. And a paper feed mechanism 15 that conveys the recording paper in the paper feed direction (sub-scanning direction). The recording head 9 is a kind of the liquid jet head according to the present invention, and includes a shift register (SR) 16 in which print data is set, a latch circuit 17 that latches the print data set in the shift register 16, and a voltage amplifier. A level shifter 18 that functions, a piezoelectric vibrator 19, and a switch circuit 20 that controls supply of a drive signal to the piezoelectric vibrator 19 are provided.

ここで、記録ヘッド9の構造について説明する。記録ヘッド9は、キャリッジ移動機構14による主走査方向への移動状態で液体状のインク(本発明における液体の一種)をインク滴としてノズル開口25から吐出可能に構成されている。この記録ヘッド9は、図2に示すように、複数の圧電振動子19、固定板26、及び、フレキシブルケーブル27等をユニット化した振動子ユニット28と、この振動子ユニット28を収納可能なケース29と、ケース29の先端面に接合された流路ユニット30とを備えている。   Here, the structure of the recording head 9 will be described. The recording head 9 is configured to be able to eject liquid ink (a kind of liquid in the present invention) from the nozzle opening 25 as ink droplets in a moving state in the main scanning direction by the carriage moving mechanism 14. As shown in FIG. 2, the recording head 9 includes a vibrator unit 28 in which a plurality of piezoelectric vibrators 19, a fixed plate 26, a flexible cable 27, and the like are unitized, and a case in which the vibrator unit 28 can be stored. 29 and a flow path unit 30 joined to the front end surface of the case 29.

ケース29は、先端と後端が共に開放された収納空部31を形成した合成樹脂製のブロック状部材であり、収納空部31内には振動子ユニット28が収納固定されている。   The case 29 is a synthetic resin block-like member in which a housing empty portion 31 having both the front end and the rear end opened, and the vibrator unit 28 is housed and fixed in the housing empty portion 31.

圧電振動子19は、本発明における圧力発生素子の一種であり、縦方向に細長い櫛歯状に形成されている。この圧電振動子19は、圧電体と内部電極とを交互に積層して構成された積層型の圧電振動子であって、積層方向に直交する縦方向に伸縮可能な縦振動モードの圧電振動子である。そして、各圧電振動子19の先端面が、流路ユニット30の島部32に接合されている。
なお、この圧電振動子19はコンデンサと同じように振る舞う。すなわち、信号の供給が停止された場合において、圧電振動子19の電位(振動子電位)は、停止直前の電位で保持される。
The piezoelectric vibrator 19 is a kind of pressure generating element according to the present invention, and is formed in a comb-teeth shape elongated in the vertical direction. The piezoelectric vibrator 19 is a laminated piezoelectric vibrator configured by alternately laminating piezoelectric bodies and internal electrodes, and is a longitudinal vibration mode piezoelectric vibrator capable of expanding and contracting in a vertical direction perpendicular to the stacking direction. It is. The front end surface of each piezoelectric vibrator 19 is joined to the island portion 32 of the flow path unit 30.
The piezoelectric vibrator 19 behaves like a capacitor. That is, when the signal supply is stopped, the potential of the piezoelectric vibrator 19 (vibrator potential) is held at the potential immediately before the stop.

流路ユニット30は、流路形成基板33を間に挟んでノズルプレート34を流路形成基板33の一方の面側に配置し、弾性板35をノズルプレート34とは反対側となる他方の面側に配置して積層することで構成されている。   In the flow path unit 30, the nozzle plate 34 is disposed on one surface side of the flow path formation substrate 33 with the flow path formation substrate 33 interposed therebetween, and the elastic plate 35 is disposed on the other surface opposite to the nozzle plate 34. It is configured by arranging and laminating on the side.

ノズルプレート34は、複数(例えば、180個)のノズル開口25を副走査方向に沿って開設した薄手の金属製板材(例えば、ステンレス板)によって構成してある。流路形成基板33は、共通インク室36、インク供給口37、圧力室38、及び、ノズル連通口39からなるインク流路が形成された板状部材である。本実施形態では、この流路形成基板33を、シリコンウェハーのエッチング処理によって作製している。弾性板35は、ステンレス製の支持板40上に樹脂フィルム41をラミネート加工した二重構造の複合板材であり、圧力室38に対応した部分の支持板40を環状に除去して島部32を形成している。   The nozzle plate 34 is composed of a thin metal plate material (for example, a stainless steel plate) in which a plurality of (for example, 180) nozzle openings 25 are opened along the sub-scanning direction. The flow path forming substrate 33 is a plate-like member in which an ink flow path including a common ink chamber 36, an ink supply port 37, a pressure chamber 38, and a nozzle communication port 39 is formed. In the present embodiment, the flow path forming substrate 33 is produced by etching a silicon wafer. The elastic plate 35 is a double-structured composite plate material obtained by laminating a resin film 41 on a stainless steel support plate 40. The portion of the support plate 40 corresponding to the pressure chamber 38 is annularly removed to form the island portion 32. Forming.

この記録ヘッド9では、共通インク室36から圧力室38を通ってノズル開口25に至る一連のインク流路がノズル開口25毎に形成される。そして、圧電振動子19を充電したり放電したりすることで圧電振動子19が変形する。すなわち、この縦振動モードの圧電振動子19は、充電によって振動子長手方向に収縮し、放電によって振動子長手方向に伸長する。従って、充電によって振動子電位を上昇させると、島部32が圧電振動子19側に引っ張られ、島部32周辺の樹脂フィルム41が変形して圧力室38が膨張する。また、放電によって振動子電位を下降させると、圧力室38が収縮する。   In the recording head 9, a series of ink flow paths from the common ink chamber 36 to the nozzle opening 25 through the pressure chamber 38 is formed for each nozzle opening 25. The piezoelectric vibrator 19 is deformed by charging or discharging the piezoelectric vibrator 19. That is, the piezoelectric vibrator 19 in the longitudinal vibration mode contracts in the longitudinal direction of the vibrator by charging and expands in the longitudinal direction of the vibrator by discharging. Therefore, when the vibrator potential is increased by charging, the island portion 32 is pulled toward the piezoelectric vibrator 19 side, the resin film 41 around the island portion 32 is deformed, and the pressure chamber 38 is expanded. Further, when the vibrator potential is lowered by the discharge, the pressure chamber 38 contracts.

このように、振動子電位に応じて圧力室38の容積が制御できるので、圧力室38内のインク圧力を可変でき、ノズル開口25からインク滴を吐出させることができる。例えば、基準容積の圧力室38を一旦膨張させた後に急激に収縮させることで、インク滴を吐出させることができる。また、ノズル開口25に露出したメニスカスの微振動を発生させることもできる。   Thus, since the volume of the pressure chamber 38 can be controlled according to the vibrator potential, the ink pressure in the pressure chamber 38 can be varied, and ink droplets can be ejected from the nozzle openings 25. For example, ink droplets can be ejected by expanding the reference volume pressure chamber 38 once and then rapidly contracting it. In addition, the fine vibration of the meniscus exposed to the nozzle opening 25 can be generated.

次に、駆動信号発生回路10が発生する駆動信号に含まれる駆動パルスDPについて説明する。図3に例示した駆動パルスDPは、微振動パルスPVと、複数(本実施形態では3つ)の吐出パルスPSと、各パルス間を接続し圧電振動子19には供給されない接続要素PCとから構成されている。微振動パルスPVは、印字内微振動を行わせるためのパルスであり、図3(b)に示すように、ノズル開口25のメニスカスに微振動を発生させる微振動主要素Paと、該微振動主要素Paにより発生した微振動を収束させる微振動制振要素Pbとを含んで構成され、微振動制振要素Pbを微振動主要素Paの後に配置している。   Next, the drive pulse DP included in the drive signal generated by the drive signal generation circuit 10 will be described. The drive pulse DP illustrated in FIG. 3 includes a fine vibration pulse PV, a plurality of (three in the present embodiment) ejection pulses PS, and a connection element PC that connects the pulses and is not supplied to the piezoelectric vibrator 19. It is configured. The fine vibration pulse PV is a pulse for causing fine vibration in printing. As shown in FIG. 3B, the fine vibration main element Pa for generating a fine vibration in the meniscus of the nozzle opening 25, and the fine vibration. And a fine vibration damping element Pb for converging the fine vibration generated by the main element Pa. The fine vibration damping element Pb is disposed after the fine vibration main element Pa.

微振動主要素Paは、中間電位(基準電位)VMからこの中間電位VMよりも高い微振動電位VMHまで、インク滴が吐出されない程度の比較的緩やかな電位勾配で電位を所定時間(例えば4μs)上昇させる微振動膨張要素P1と、微振動膨張要素P1に続いて発生されて微振動電位VMHを所定時間(例えば1μs)維持する微振動ホールド要素P2と、微振動ホールド要素P2に続いて発生されて、微振動電位VMHから中間電位VMよりも低い最低電位VGまで、インク滴が吐出されない程度の比較的緩やかな電位勾配で電位を所定時間(例えば8μs)下降させる微振動収縮要素P3とから構成されている。また、微振動制振要素Pbは、最低電位VGから中間電位VMまで比較的緩やかな電位勾配で電位を所定時間(例えば3μs)上昇させる要素である。なお、メニスカスに微振動を発生させるために印加される微振動駆動電圧は、微振動電位VMHと最低電位VGとの電位差Vhvで表現される。   The micro-vibration main element Pa applies a potential for a predetermined time (for example, 4 μs) with a relatively gentle potential gradient that does not eject ink droplets from the intermediate potential (reference potential) VM to the micro-vibration potential VMH that is higher than the intermediate potential VM. The fine vibration expansion element P1 to be raised, the fine vibration hold element P2 that is generated following the fine vibration expansion element P1 and maintains the fine vibration potential VMH for a predetermined time (for example, 1 μs), and the fine vibration hold element P2 are generated. And a minute vibration contraction element P3 that lowers the potential for a predetermined time (for example, 8 μs) with a relatively gentle potential gradient that does not eject ink droplets from the minute vibration potential VMH to the lowest potential VG lower than the intermediate potential VM. Has been. The fine vibration damping element Pb is an element that increases the potential for a predetermined time (for example, 3 μs) with a relatively gentle potential gradient from the lowest potential VG to the intermediate potential VM. Note that the micro-vibration driving voltage applied to generate micro-vibration in the meniscus is expressed by a potential difference Vhv between the micro-vibration potential VMH and the lowest potential VG.

そして、微振動主要素Paと微振動制振要素Pbとの間には、一定電位(最低電位VG)を維持した状態で両要素を接続する接続要素P4が配置されている。なお、この接続要素P4は、微振動収縮要素P3に続いて発生されており、最低電位VGを所定時間(例えば1μs)維持するホールド要素としても機能する。   Between the fine vibration main element Pa and the fine vibration damping element Pb, a connection element P4 that connects the two elements while maintaining a constant potential (minimum potential VG) is disposed. This connection element P4 is generated following the micro-vibration contraction element P3, and also functions as a hold element that maintains the minimum potential VG for a predetermined time (for example, 1 μs).

また、吐出パルスPSは、ノズル開口25からインク滴を吐出させるためのパルスである。この吐出パルスPSは、中間電位VMから微振動電位VMHよりも高い最高電位VPまでインク滴を吐出させない程度の一定勾配で電位を上昇させる第1膨張要素P11と、第1膨張要素P11に続いて発生されて最高電位VPを所定時間維持する膨張ホールド要素P12と、膨張ホールド要素P12に続いて発生されて最高電位VPから最低電位VGまで急激に電位を下降させる吐出要素P13と、吐出要素P13に続いて発生されて最低電位VGを極く短い時間維持する吐出ホールド要素P14と、吐出ホールド要素P14に続いて発生されて最低電位VGから副中間電位(中間電位VMよりも少し低い電位)VMLまで僅かに電位を上昇させる第1膨張復帰要素P15と、副中間電位VMLを所定時間維持する膨張復帰ホールド要素P16と、副中間電位VMLから中間電位VMまで電位を復帰させる第2膨張復帰要素P17とにより構成されている。なお、インク滴を吐出させるために印加される吐出駆動電圧は、最高電位VPと最低電位VGとの電位差Vhsで表現される。   The ejection pulse PS is a pulse for ejecting ink droplets from the nozzle openings 25. This ejection pulse PS follows the first expansion element P11 and the first expansion element P11 that increase the potential with a constant gradient that does not cause ink droplets to be ejected from the intermediate potential VM to the highest potential VP higher than the micro-vibration potential VMH. An expansion hold element P12 that is generated and maintains the maximum potential VP for a predetermined time, a discharge element P13 that is generated subsequent to the expansion hold element P12 and rapidly decreases the potential from the maximum potential VP to the minimum potential VG, and the discharge element P13. Subsequently, the discharge hold element P14 that is generated and maintains the minimum potential VG for a very short time, and the discharge hold element P14 that is generated subsequent to the minimum potential VG to the sub intermediate potential (potential slightly lower than the intermediate potential VM) VML. A first expansion return element P15 that slightly increases the potential, and an expansion return hold element P that maintains the sub intermediate potential VML for a predetermined time. 6, is constituted by a second expansion return element P17 for returning the potential from the secondary intermediate potential VML to the intermediate potential VM. Note that the ejection drive voltage applied to eject ink droplets is expressed by a potential difference Vhs between the highest potential VP and the lowest potential VG.

このような構成を備えた駆動パルスDPのうち、微振動パルスPVが圧電振動子19に供給されると、圧電振動子19や圧力室38は次のように動作する。すなわち、微振動膨張要素P1の供給に伴って圧電振動子19が少し収縮し、圧力室38が基準容積(本実施形態では、駆動信号が供給されていない定常状態の圧力室38の容積)から少し膨張する。この膨張に伴って圧力室38内が減圧され、メニスカスが圧力室38側に少し引き込まれる。この圧力室38の膨張状態は微振動ホールド要素P2の供給期間に亘って維持され、メニスカスはこの維持期間中に亘って自由振動する。   When the micro-vibration pulse PV is supplied to the piezoelectric vibrator 19 among the drive pulses DP having such a configuration, the piezoelectric vibrator 19 and the pressure chamber 38 operate as follows. That is, the piezoelectric vibrator 19 slightly contracts with the supply of the micro-vibration expansion element P1, and the pressure chamber 38 starts from the reference volume (in this embodiment, the volume of the pressure chamber 38 in a steady state where no drive signal is supplied). Swells a little. Along with this expansion, the inside of the pressure chamber 38 is depressurized, and the meniscus is slightly pulled to the pressure chamber 38 side. The expansion state of the pressure chamber 38 is maintained over the supply period of the fine vibration hold element P2, and the meniscus vibrates freely during the maintenance period.

その後、微振動収縮要素P3が供給されて圧電振動子19が伸長し、圧力室38は基準容積よりも少し収縮する。この収縮に伴い、圧力室38内のインクが少し加圧されメニスカスの振動が加振される。これにより、ノズル開口25付近のインクが対流して増粘が防止される。この圧力室38の収縮状態は、接続要素P4の供給期間に亘って維持され、メニスカスはこの維持期間中に亘って自由振動する。そして、微振動制振要素Pbがメニスカスの微振動を打ち消し得るタイミングで供給され、圧電振動子19が再び収縮し、圧力室38は基準容積まで膨張復帰する。この膨張復帰に伴い、圧力室38内のインクが少し減圧される。これにより、メニスカスの微振動を短時間で収束させることができる。なお、このときメニスカスは、ノズル開口25内を前進した状態から後退しながら微振動を収束することができ、インク滴を吐出する虞がない。   Thereafter, the fine vibration contraction element P3 is supplied, the piezoelectric vibrator 19 expands, and the pressure chamber 38 contracts slightly from the reference volume. Along with this contraction, the ink in the pressure chamber 38 is slightly pressurized and the vibration of the meniscus is vibrated. As a result, the ink in the vicinity of the nozzle opening 25 convects and thickening is prevented. The contracted state of the pressure chamber 38 is maintained over the supply period of the connecting element P4, and the meniscus vibrates freely during the maintenance period. The fine vibration damping element Pb is supplied at a timing at which the fine vibration of the meniscus can be canceled, the piezoelectric vibrator 19 contracts again, and the pressure chamber 38 expands and returns to the reference volume. As the expansion returns, the ink in the pressure chamber 38 is slightly decompressed. Thereby, the fine vibration of the meniscus can be converged in a short time. At this time, the meniscus can converge the fine vibration while retreating from the state of being advanced in the nozzle opening 25, and there is no possibility of ejecting ink droplets.

上記微振動パルスPVの供給後、接続要素PCに引き続いて吐出パルスPSが圧電振動子19に供給されると、圧電振動子19や圧力室38は次のように動作する。すなわち、第1膨張要素P11の供給に伴って圧電振動子19が大きく収縮し、圧力室38が定常状態から最大容積まで膨張する。この膨張に伴って圧力室38内が減圧され、メニスカスが圧力室38側に引き込まれる。この圧力室38の膨張状態は膨張ホールド要素P12の供給期間に亘って維持され、メニスカスはこの維持期間中に亘って自由振動する。   When the ejection pulse PS is supplied to the piezoelectric vibrator 19 subsequent to the connection element PC after the fine vibration pulse PV is supplied, the piezoelectric vibrator 19 and the pressure chamber 38 operate as follows. That is, with the supply of the first expansion element P11, the piezoelectric vibrator 19 contracts greatly, and the pressure chamber 38 expands from the steady state to the maximum volume. With this expansion, the inside of the pressure chamber 38 is depressurized, and the meniscus is drawn into the pressure chamber 38 side. The expansion state of the pressure chamber 38 is maintained over the supply period of the expansion hold element P12, and the meniscus vibrates freely during the maintenance period.

続いて、吐出要素P13が供給されて圧電振動子19が大きく伸長し、圧力室38は最小容積まで急激に収縮する。この収縮に伴い、圧力室38内のインクが加圧されてノズル開口25からインク滴が吐出される。そして、吐出要素P13に続いて吐出ホールド要素P14が供給されるので圧力室38の収縮状態は維持されるが、このときメニスカスはインク滴吐出の影響を受けて大きく振動している。その後、メニスカスの振動を打ち消し得るタイミングで第1膨張復帰要素P15、膨張復帰ホールド要素P16、第2膨張復帰要素P17が供給され、圧力室38が基準容積(あるいは定常状態)まで膨張復帰する。すなわち、圧力室38内のインク圧力を相殺すべく、圧力室38を膨張させてインク圧力を減圧する。これにより、メニスカスの振動を短時間で抑制することができ、次のインク滴の吐出を安定させることができる。   Subsequently, the discharge element P13 is supplied, the piezoelectric vibrator 19 is greatly expanded, and the pressure chamber 38 is rapidly contracted to the minimum volume. Along with this contraction, the ink in the pressure chamber 38 is pressurized and an ink droplet is ejected from the nozzle opening 25. Then, since the discharge hold element P14 is supplied following the discharge element P13, the contracted state of the pressure chamber 38 is maintained. At this time, the meniscus is vibrated greatly due to the influence of ink droplet discharge. Thereafter, the first expansion return element P15, the expansion return hold element P16, and the second expansion return element P17 are supplied at a timing at which the meniscus vibration can be canceled, and the pressure chamber 38 is expanded and returned to the reference volume (or steady state). That is, in order to cancel out the ink pressure in the pressure chamber 38, the pressure chamber 38 is expanded to reduce the ink pressure. Thereby, the vibration of the meniscus can be suppressed in a short time, and the ejection of the next ink droplet can be stabilized.

上記のように微振動制振要素Pbを微振動主要素Paの後に配置して微振動パルスPVが構成され、この微振動パルスPVを次回の吐出パルスPSの前に配置して駆動パルスDPが構成されるので、微振動駆動電圧Vhvを従来の微振動パルスPV(図7(a)参照)のものよりも高く設定することができ、しかも、この微振動を、吐出パルスPSが圧電振動子19に供給される前に短時間で収束させることができる。したがって、連続印字安定性を満たす微振動駆動電圧Vhvの選択範囲を拡大することができる。具体的には、図4に示すように、微振動駆動電圧Vhvと吐出駆動電圧Vhsとの比で表現される微振動レベルについて、連続印字安定性を満たす選択範囲の上限L2を、従来の微振動レベルにおいて連続印字安定性を満たす選択範囲の上限L1よりも上昇させることができ、印字動作の設定の自由度を増すことができる。さらに、高粘度や増粘し易いインクを使用しても、ノズル開口25における増粘を抑えるとともにメニスカスの微振動がインク滴吐出に影響を及ぼす不都合を防ぐことができ、良好な(すなわち、設計どおりの)インク滴吐出を実現することができる。   As described above, the fine vibration damping element Pb is arranged after the fine vibration main element Pa to form the fine vibration pulse PV, and this fine vibration pulse PV is arranged before the next ejection pulse PS so that the drive pulse DP is generated. As a result, the micro-vibration driving voltage Vhv can be set higher than that of the conventional micro-vibration pulse PV (see FIG. 7A). It can be converged in a short time before being supplied to 19. Therefore, the selection range of the micro-vibration driving voltage Vhv that satisfies the continuous printing stability can be expanded. Specifically, as shown in FIG. 4, for the fine vibration level expressed by the ratio of the fine vibration drive voltage Vhv and the ejection drive voltage Vhs, the upper limit L2 of the selection range that satisfies the continuous printing stability is set to the conventional fine vibration level. The vibration level can be raised above the upper limit L1 of the selection range that satisfies the continuous printing stability, and the degree of freedom in setting the printing operation can be increased. Further, even when ink having high viscosity or easily thickened is used, it is possible to suppress the thickening at the nozzle opening 25 and to prevent inconveniences that the fine vibration of the meniscus affects the ink droplet ejection. (As usual) ink droplet ejection can be realized.

また、上記連続印字安定性を満たす微振動レベルの上限が上昇したことに伴って、従来では連続印字安定性と間欠印字評価とを満足させる微振動レベルの設定範囲が存在しなかった供給時間、すなわち比較的短い微振動パルスPV供給時間であっても、良好な印字結果が得られる微振動レベルが選択可能となる。したがって、微振動パルスPVの供給時間tを短く(言い換えると、微振動膨張要素P1または微振動収縮要素P3の電位勾配をきつく)しても、吐出パルスPSが供給される前に微振動を収束させることができ、次回のメニスカスのインク滴吐出振動が微振動で乱れてしまうことを阻止することができる。したがって、良好な印字の高速化を図ることができる。   In addition, as the upper limit of the fine vibration level that satisfies the above-mentioned continuous printing stability is increased, the supply time in which the setting range of the fine vibration level that satisfies the continuous printing stability and the intermittent printing evaluation has not existed conventionally, That is, it is possible to select a fine vibration level at which a good printing result can be obtained even with a relatively short fine vibration pulse PV supply time. Therefore, even if the supply time t of the fine vibration pulse PV is shortened (in other words, the potential gradient of the fine vibration expansion element P1 or the fine vibration contraction element P3 is tight), the fine vibration converges before the discharge pulse PS is supplied. It is possible to prevent the ink droplet ejection vibration of the next meniscus from being disturbed by the slight vibration. Therefore, it is possible to achieve good printing speed.

なお、微振動パルスPVの各要素の供給時間や電位設定は、インクの圧力振動の固有振動周期や、吐出パルスPSの吐出駆動電圧Vhsの値に基づいて設定してもよい。このようにすれば、記録ヘッド9の特性や印字モードの特性に対応して微振動パルスPVの設定を容易に調整することができ、固有振動周期や吐出駆動電圧Vhsの値の相違に拘らずメニスカスに発生した微振動を迅速に収束させることができて好適である。   Note that the supply time and potential setting of each element of the fine vibration pulse PV may be set based on the natural vibration period of the pressure vibration of the ink and the value of the ejection drive voltage Vhs of the ejection pulse PS. In this way, the setting of the micro-vibration pulse PV can be easily adjusted in accordance with the characteristics of the recording head 9 and the characteristics of the print mode, regardless of the difference in the natural vibration period and the value of the ejection drive voltage Vhs. It is preferable that the fine vibration generated in the meniscus can be quickly converged.

ところで、本発明は、上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて種々の変形が可能である。   By the way, the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications can be made based on the description of the scope of claims.

上記各実施形態においては、微振動パルスPVは、圧力室38を膨張、収縮、膨張復帰の順序で変動させてノズル開口25のメニスカスの微振動を発生させていたが、本発明はこれに限らない。すなわち、微振動パルスPVは、圧力室38を収縮、膨張、収縮復帰の順序で変動させてメニスカスの微振動を発生させてもよい。具体的に説明すると、図5に示す微振動パルスPVは、微振動収縮要素P21、微振動ホールド要素P22、微振動膨張要素P23の順で微振動主要素Paを構成し、この微振動主要素Paの後ろに続けて接続要素P24、微振動制振要素Pbの順で圧電振動子19に供給されるように構成されている。まず、微振動収縮要素P21が圧電振動子19へ供給されると、この供給に伴って圧電振動子19が伸長し、圧力室38が基準容積から収縮する。この収縮に伴って圧力室38内が加圧され、メニスカスが圧力室38とは反対側に押し出される。この圧力室38の収縮状態は微振動ホールド要素P22の供給期間に亘って維持され、メニスカスはこの維持期間中に亘って自由振動する。   In each of the above-described embodiments, the fine vibration pulse PV fluctuates the pressure chamber 38 in the order of expansion, contraction, and expansion return to generate the fine vibration of the meniscus of the nozzle opening 25. However, the present invention is not limited to this. Absent. That is, the fine vibration pulse PV may cause the meniscus to vibrate by changing the pressure chamber 38 in the order of contraction, expansion, and contraction return. More specifically, the fine vibration pulse PV shown in FIG. 5 constitutes the fine vibration main element Pa in the order of the fine vibration contraction element P21, the fine vibration hold element P22, and the fine vibration expansion element P23. Continuing behind Pa, the connecting element P24 and the fine vibration damping element Pb are supplied to the piezoelectric vibrator 19 in this order. First, when the fine vibration contraction element P21 is supplied to the piezoelectric vibrator 19, the piezoelectric vibrator 19 expands along with the supply, and the pressure chamber 38 contracts from the reference volume. Along with this contraction, the inside of the pressure chamber 38 is pressurized, and the meniscus is pushed out to the side opposite to the pressure chamber 38. The contraction state of the pressure chamber 38 is maintained over the supply period of the fine vibration hold element P22, and the meniscus freely vibrates over the maintenance period.

その後、微振動膨張要素P23が供給されて圧電振動子19が収縮し、圧力室38は基準容積よりも少し膨張する。この膨張に伴い、圧力室38内のインクが少し減圧されメニスカスの振動が加振される。これにより、ノズル開口25付近のインクが対流して増粘が防止される。この圧力室38の膨張状態は、接続要素P24の供給期間に亘って維持され、メニスカスはこの維持期間中に亘って自由振動する。そして、微振動制振要素Pbがメニスカスの微振動を打ち消し得るタイミングで供給され、圧電振動子19が再び伸長し、圧力室38は基準容積まで収縮復帰する。この収縮復帰に伴い、圧力室38内のインクが少し加圧される。これにより、メニスカスの微振動を短時間で収束させることができる。   Thereafter, the micro-vibration expansion element P23 is supplied, the piezoelectric vibrator 19 contracts, and the pressure chamber 38 expands slightly from the reference volume. Along with this expansion, the ink in the pressure chamber 38 is slightly depressurized and vibration of the meniscus is vibrated. As a result, the ink in the vicinity of the nozzle opening 25 convects and thickening is prevented. The expanded state of the pressure chamber 38 is maintained over the supply period of the connection element P24, and the meniscus vibrates freely during the maintenance period. The fine vibration damping element Pb is supplied at a timing at which the fine vibration of the meniscus can be canceled, the piezoelectric vibrator 19 expands again, and the pressure chamber 38 returns to contraction to the reference volume. Along with the restoration of the contraction, the ink in the pressure chamber 38 is slightly pressurized. Thereby, the fine vibration of the meniscus can be converged in a short time.

また、上記実施形態では、駆動パルスDPの前段に微振動パルスPVを配置して、その後に続く吐出パルスPSの供給前に発生させたメニスカスの微振動を収束させるようにしたが、本発明はこれに限定されない。すなわち、図6に示すように、駆動パルスDPは吐出パルスPSの後ろに微振動パルスPVを配置してもよい。このとき、微振動パルスPVは、次回の駆動パルスDPのうち最初の吐出パルスPSが供給される前に、メニスカスの微振動を収束させることができる。   In the above embodiment, the fine vibration pulse PV is arranged before the drive pulse DP, and the fine vibration of the meniscus generated before the supply of the subsequent discharge pulse PS is converged. It is not limited to this. That is, as shown in FIG. 6, the drive pulse DP may be arranged with the fine vibration pulse PV behind the ejection pulse PS. At this time, the fine vibration pulse PV can converge the fine vibration of the meniscus before the first ejection pulse PS of the next drive pulse DP is supplied.

上記各実施形態では、本発明の圧力発生素子として所謂縦振動モードの圧電振動子19を例示したが、これに限定されるものではない。例えば、電界方向に振動可能な圧電振動子であってもよい。また、各ノズル列毎にユニット化されているものに限らず、所謂撓み振動モードの圧電振動子のように、圧力室毎に設けられるものであってもよい。さらに、圧電振動子に限らず、発熱素子等の他の圧力発生素子を用いることもできる。   In each of the above embodiments, the so-called longitudinal vibration mode piezoelectric vibrator 19 is exemplified as the pressure generating element of the present invention, but the present invention is not limited to this. For example, a piezoelectric vibrator capable of vibrating in the electric field direction may be used. Moreover, it is not limited to a unit formed for each nozzle row, but may be provided for each pressure chamber, such as a so-called flexural vibration mode piezoelectric vibrator. Further, not only the piezoelectric vibrator but also other pressure generating elements such as a heating element can be used.

また、本発明は、上記記録ヘッド以外の液体噴射ヘッドを有する液体噴射装置にも適用できる。例えば、ディスプレー製造装置、電極製造装置、チップ製造装置、マイクロピペット等にも適用することができる。   The present invention can also be applied to a liquid ejecting apparatus having a liquid ejecting head other than the recording head. For example, it can be applied to a display manufacturing apparatus, an electrode manufacturing apparatus, a chip manufacturing apparatus, a micropipette, and the like.

インクジェット式プリンタの機能ブロック図である。It is a functional block diagram of an ink jet printer. 記録ヘッドの構成を説明する断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view illustrating a configuration of a recording head. (a)は駆動パルスの概略図、(b)は微振動パルスおよび吐出パルスの説明図である。(A) is the schematic of a drive pulse, (b) is explanatory drawing of a fine vibration pulse and an ejection pulse. 微振動制振要素を備えた駆動パルスについて、連続印字安定性と間欠印字評価とを満足させる微振動レベルの設定範囲を説明する図である。It is a figure explaining the setting range of the fine vibration level which satisfies continuous printing stability and intermittent printing evaluation about the drive pulse provided with the fine vibration damping element. 第2実施形態における微振動パルスの概略図である。It is the schematic of the fine vibration pulse in 2nd Embodiment. 微振動パルスを吐出パルスの後ろに配置した駆動パルスの概略図である。It is the schematic of the drive pulse which has arrange | positioned the fine vibration pulse behind the discharge pulse. (a)は従来の駆動パルスを示す概略図、(b)は従来の駆動パルスについて、連続印字安定性と間欠印字評価とを満足させる微振動レベルの設定範囲を説明する図である。(A) is the schematic which shows the conventional drive pulse, (b) is a figure explaining the setting range of the fine vibration level which satisfies continuous printing stability and intermittent printing evaluation about the conventional drive pulse.

符号の説明Explanation of symbols

1 プリンタ,2 プリンタコントローラ,3 プリントエンジン,4 外部インタフェース,5 RAM,6 ROM,7 制御部,8 発振回路,9 記録ヘッド,10 駆動信号発生回路,11 内部インタフェース,14 キャリッジ移動機構,15 紙送り機構,16 シフトレジスタ,17 ラッチ回路,18 レベルシフタ,19 圧電振動子,20 スイッチ回路,25 ノズル開口,26 固定板,27 フレキシブルケーブル,28 振動子ユニット,29 ケース,30 流路ユニット,31 収納空部,32 島部,33 流路形成基板,34 ノズルプレート,35 弾性板,36 共通インク室,37 インク供給口,38 圧力室,39 ノズル連通口,40 支持板,41 樹脂フィルム   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Printer, 2 Printer controller, 3 Print engine, 4 External interface, 5 RAM, 6 ROM, 7 Control part, 8 Oscillation circuit, 9 Recording head, 10 Drive signal generation circuit, 11 Internal interface, 14 Carriage moving mechanism, 15 Paper Feed mechanism, 16 shift register, 17 latch circuit, 18 level shifter, 19 piezoelectric vibrator, 20 switch circuit, 25 nozzle opening, 26 fixing plate, 27 flexible cable, 28 vibrator unit, 29 case, 30 flow path unit, 31 storage Empty portion, 32 islands, 33 flow path forming substrate, 34 nozzle plate, 35 elastic plate, 36 common ink chamber, 37 ink supply port, 38 pressure chamber, 39 nozzle communication port, 40 support plate, 41 resin film

Claims (3)

圧力室に連通したノズル開口、および圧力室内の液体に圧力変動を生じさせ得る圧力発生素子を有する液体噴射ヘッドと、駆動パルスを含んだ駆動信号を発生する駆動信号発生手段とを備え、
駆動パルスを、液滴を吐出させる吐出パルスと、液滴を吐出させない程度にノズル開口のメニスカスを微振動させる微振動パルスとを含んで構成し、
駆動パルスの圧力発生素子への供給により圧力発生素子を作動して、ノズル開口から液滴を吐出可能な液体噴射装置であって、
前記微振動パルスは、液滴が吐出されない程度に圧力室を基準容積よりも膨張させる微振動膨張要素、および液滴が吐出されない程度に圧力室を基準容積よりも収縮させる微振動収縮要素を備えた微振動主要素と、圧力室を基準容積に復帰させる微振動制振要素とを含み、
該微振動制振要素を微振動主要素の後に配置することにより、吐出パルスの供給前に発生させたメニスカスの微振動を収束させることを特徴とする液体噴射装置。
A nozzle opening communicating with the pressure chamber, a liquid ejecting head having a pressure generating element capable of causing a pressure fluctuation in the liquid in the pressure chamber, and a drive signal generating means for generating a drive signal including a drive pulse,
The drive pulse includes a discharge pulse for discharging a droplet and a fine vibration pulse for finely vibrating the meniscus of the nozzle opening to the extent that the droplet is not discharged.
A liquid ejecting apparatus capable of operating a pressure generating element by supplying a driving pulse to a pressure generating element and discharging a droplet from a nozzle opening,
The micro-vibration pulse includes a micro-vibration expansion element that expands the pressure chamber from the reference volume to such an extent that no droplet is ejected, and a micro-vibration contraction element that contracts the pressure chamber from the reference volume to an extent that no droplet is ejected. A fine vibration main element, and a fine vibration damping element for returning the pressure chamber to the reference volume,
A liquid ejecting apparatus characterized in that the fine vibration of the meniscus generated before the supply of the ejection pulse is converged by disposing the fine vibration damping element after the fine vibration main element.
前記微振動制振要素を、次回の吐出パルスの前に配置することを特徴とする請求項1に記載の液体噴射装置。   The liquid ejecting apparatus according to claim 1, wherein the fine vibration damping element is arranged before a next ejection pulse. 前記微振動パルスは、液滴が吐出されない程度に圧力室を基準容積よりも膨張させる微振動膨張要素、および該微振動膨張要素により膨張した圧力室を収縮させる微振動収縮要素を備えた微振動主要素と、微振動収縮要素により収縮した圧力室を基準容積に膨張復帰させる微振動制振要素とから構成されることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の液体噴射装置。
The micro-vibration pulse includes a micro-vibration expansion element that expands the pressure chamber from the reference volume to such an extent that droplets are not ejected, and a micro-vibration including a micro-vibration contraction element that contracts the pressure chamber expanded by the micro vibration expansion element. 3. The liquid ejecting apparatus according to claim 1, wherein the liquid ejecting apparatus includes a main element and a fine vibration damping element that expands and returns the pressure chamber contracted by the fine vibration contraction element to a reference volume.
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