JP2005274292A - Leak inspection device for multipath workpiece - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、複数の隔離された室を備え気体や液体の収容や移送等に使用される容器や配管等の装置からなる多経路ワークの漏れを検査するための多経路ワークの漏れ検査装置に関する。 The present invention relates to a multipath work leakage inspection apparatus for inspecting multipath work leakage including a plurality of isolated chambers and containers and pipes used for storing and transferring gas and liquid. .
従来から、気体や液体の収容や移送に使用する容器や配管等の中には気密性を要求されるものがあり、このような容器や配管等に生じる漏れをチェックするために、漏れ検査装置が用いられている(例えば、特許文献1参照。)。この漏れ検査装置では、ヘリウムガスからなるトレースガスを容器等からなる被検査体内に充填して、この被検査体を真空チャンバー内に入れ、被検査体内から真空チャンバー内に漏れてくるトレースガスを検査器で検出することにより被検査体の漏れ検査を行っている。 Conventionally, some containers and pipes used for the storage and transfer of gas and liquid require airtightness, and in order to check for leaks occurring in such containers and pipes, a leak inspection device Is used (for example, refer to Patent Document 1). In this leak inspection apparatus, a trace gas made of helium gas is filled into a body to be inspected made of a container or the like, and the object to be inspected is placed in a vacuum chamber, and trace gas leaking from the body to be inspected into the vacuum chamber is collected. A leak inspection is performed on the object to be inspected by detecting with an inspection device.
また、漏れ検査が行われる被検査体の中には、例えば、熱交換器のように、外部側部分と内部側部分とが隔離された状態で形成されたものがある。このような場合に、使用される漏れ検査装置として、図2に示したような装置がある。この漏れ検査装置40は、外側室41aと内側室41bとを備えた被検査体41をチャンバー42内に設置し、外側室41aに、大気導入路43a、真空引き路44a、減圧排気路45aおよびトレースガス封入路46aを接続している。また、内側室41bに、大気導入路43b、真空引き路44b、減圧排気路45b、トレースガス封入路46bおよびガス漏れ検査路47を接続している。
In addition, some of the objects to be inspected that are inspected for leakage are formed in a state in which the outer side portion and the inner side portion are isolated, such as a heat exchanger. In such a case, there is a device as shown in FIG. 2 as a leakage inspection device to be used. This
そして、チャンバー42に、ガス漏れ検査路48を接続し、このガス漏れ検査路48とガス漏れ検査路47とにガス漏れ検査用の検査器49を接続している。このため、トレースガス封入路46aから外側室41a内にトレースガスを送り、外部室41aから漏れて内側室41bに入りガス漏れ検査路47から出てくるトレースガスを検査器49で検出することにより、外側室41aと内側室41bとの間の漏れの有無を検査することができる。また、トレースガス封入路46bから内側室41b内にトレースガスを送り、内側室41bから外部に漏れてチャンバー42内を介してガス漏れ検査路48に出てくるトレースガスを検査器49で検出することにより、内側室41bと外部との間の漏れの有無を検査することができる。
しかしながら、図2に示した従来の漏れ検査装置40では、検査後に、減圧排気路45a,45bを介して検査に使用したトレースガスを外部に排出しているが、このトレースガスの充分な排出ができず、トレースガスが各配管内に残留してしまうことがある。このため、つぎの被検査体41の漏れ検査の際に、トレースガスのバックグラウンド値が高くなって精度のよい漏れ検査ができなくなるという問題が生じている。特に、トレースガス封入路46bから内側室41bにトレースガスを供給して内側室41bと外部との間の漏れ検査を行ったのちに、トレースガス封入路46b等の各配管内にトレースガスが残留し易くなる。
However, in the conventional
本発明は、前述した問題に対処するためになされたもので、その目的は、被検査室から検査器に通じる配管内に残留するトレースガスを少なくすることにより、精度のよい漏れ検査が可能になる多経路ワークの漏れ検査装置を提供することである。 The present invention has been made in order to cope with the above-described problems. The purpose of the present invention is to reduce the amount of trace gas remaining in the pipe from the room to be inspected to the inspector, thereby enabling accurate leak inspection. It is providing the leak test | inspection apparatus of the multipath workpiece | work which becomes.
前述した目的を達成するため、本発明に係る多経路ワークの漏れ検査装置の構成上の特徴は、互いに隔離された複数の被検査室を備えたワークを密閉状態で格納できる密閉チャンバーと、一端部が密閉チャンバーの壁部を貫通して密閉チャンバー内に設置されるワークの対応する被検査室に接続されるとともに、他端部側がそれぞれ対応するトレースガス供給管およびトレースガス排出管に接続された複数の接続管と、密閉チャンバーに接続されワークから密閉チャンバー内に漏れるトレースガスを検出する外部漏れ検査器と、複数の接続管のうちの所定の接続管の他端部側にガス漏れ検出路を介して接続され、所定の接続管の一端部が接続された被検査室に他の被検査室から漏れてくるトレースガスを検出する内部漏れ検査器と、所定の接続管の他端部側に設けられ、トレースガス供給管およびトレースガス排出管を、所定の接続管の一端部側部分およびガス漏れ検出路に対して開閉可能に仕切る仕切り弁とを備えたことにある。 In order to achieve the above-described object, the structural features of the multi-path workpiece leakage inspection apparatus according to the present invention include: a sealed chamber capable of storing a workpiece having a plurality of chambers to be inspected isolated from each other; The part passes through the wall of the sealed chamber and is connected to the corresponding chamber to be inspected of the workpiece installed in the sealed chamber, and the other end is connected to the corresponding trace gas supply pipe and trace gas discharge pipe, respectively. Multiple connection pipes, an external leak tester that detects trace gas that is connected to the sealed chamber and leaks from the workpiece into the sealed chamber, and gas leak detection at the other end of the predetermined connection pipe among the multiple connection pipes An internal leak tester for detecting trace gas leaking from other test chambers to a test chamber connected via a channel and connected to one end of a predetermined connection pipe; Provided with a partition valve provided on the other end side of the pipe and partitioning the trace gas supply pipe and the trace gas discharge pipe with respect to the one end side portion of the predetermined connection pipe and the gas leak detection path so as to be opened and closed. is there.
前述のように構成した本発明に係る多経路ワークの漏れ検査装置は、互に密閉状態で隔離された複数の被検査室を備えたワークにおける各被検査室間または被検査室と外部との間に漏れが生じているか否かを検査するための検査装置である。被検査室を1個だけ備えたワークの漏れを検査する際には、例えば、ワークをチャンバー内に密閉状態で設置して、ワークの一部にチャンバーの外部に連通する接続管を接続するとともにチャンバーにも外部に連通する接続管を接続する。 The multipath work leakage inspection apparatus according to the present invention configured as described above is provided between a plurality of inspection rooms in a work having a plurality of inspection rooms isolated from each other in a sealed state or between an inspection room and the outside. This is an inspection device for inspecting whether or not there is a leak in between. When inspecting leakage of a workpiece having only one chamber to be inspected, for example, the workpiece is placed in a sealed state in the chamber, and a connection pipe communicating with the outside of the chamber is connected to a part of the workpiece. A connecting pipe that communicates with the outside is also connected to the chamber.
そして、一方の接続管を介してワーク内にトレースガスを供給し、ワークからチャンバー側に漏れるトレースガスを他方の接続管から取り出して検出するか、または、チャンバー内に他方の接続管を介してトレースガスを供給し、チャンバーからワーク内に漏れるトレースガスを一方の接続管を介して取り出して検出することにより漏れ検査を行うことができる。このため、トレースガスを供給するための接続管と検査用のガスを取り出すための接続管とが異なるものになり、トレースガスが検査ガス取り出し用の接続管内に残存するといったことは生じにくい。 Then, the trace gas is supplied into the work through one connection pipe, and the trace gas leaking from the work to the chamber side is taken out from the other connection pipe and detected, or the other is connected to the chamber through the other connection pipe. Leak inspection can be performed by supplying the trace gas and detecting the trace gas leaking from the chamber into the work through one of the connecting pipes. For this reason, the connection pipe for supplying the trace gas is different from the connection pipe for taking out the inspection gas, and the trace gas hardly remains in the connection pipe for taking out the inspection gas.
しかしながら、ワークが複数の被検査室を備える場合には、各被検査室にトレースガスを供給するためのトレースガス供給管および検査後に各被検査室からトレースガスを排出するためのトレースガス排出管と、各被検査室とを接続する接続管のうちのいずれかの接続管に、各被検査室間における漏れを検出するための内部漏れ検査器を接続しなければならなくなる。このため、複数個のワークを取り換えながら順次漏れ検査を行っていくと、接続管内を何度もトレースガスが往復移動するようになり、接続管内にトレースガスが残留しやすくなる。 However, when the workpiece includes a plurality of chambers to be inspected, a trace gas supply pipe for supplying the trace gas to each chamber to be inspected and a trace gas discharge pipe for discharging the trace gas from each chamber to be inspected after the inspection In addition, an internal leak tester for detecting a leak between the test rooms must be connected to any one of the connection pipes connecting the test rooms. For this reason, when the leak inspection is performed sequentially while replacing a plurality of workpieces, the trace gas reciprocates in the connection pipe many times, and the trace gas tends to remain in the connection pipe.
本発明に係る多経路ワークの漏れ検査装置では、被検査室と内部漏れ検査器とを接続する所定の接続管に、仕切り弁を設けて、接続管におけるトレースガス供給管およびトレースガス排出管側の部分と、被検査室側および内部漏れ検査器側の部分との間を連通させたり遮断させたりできるようにしている。すなわち、トレースガスが供給される被検査室からの漏れを検出される被検査室内のガスを取り込んで、ガス漏れの検査を行う際には、仕切り弁を操作することによって、トレースガス供給管およびトレースガス排出管側を被検査室や内部漏れ検査器に対して遮断することができる。これによると、トレースガス供給管およびトレースガス排出管側にトレースガスが残留していても、漏れ検査に影響することがなくなる。 In the leak inspection apparatus for a multi-path work according to the present invention, a gate valve is provided in a predetermined connection pipe that connects the inspection room and the internal leak tester, and the trace gas supply pipe and the trace gas discharge pipe side of the connection pipe are provided. This part can be communicated with or blocked from the part to be inspected and the part on the side of the inspected room. That is, when taking in the gas in the room to be inspected to be detected from the room to be inspected supplied with the trace gas and inspecting for gas leakage, the trace gas supply pipe and The trace gas discharge pipe side can be shut off from the inspection room and the internal leak tester. According to this, even if trace gas remains on the trace gas supply pipe and the trace gas discharge pipe side, the leak inspection is not affected.
また、被検査室と内部漏れ検査器との間における接続管とガス漏れ検出路との長さを短く設定しておけば、この部分にトレースガスが残留していてもその量は僅かなものになるため、検査への影響は少なくなる。これによって、精度のよい漏れ検査を行える。また、この場合のワークが備える複数の被検査室は、外部側部分と、その内部に設けられる内部側部分とで構成されるものでもよいし、隣接して設けられる複数の容器状のものでもよい。互いの被検査室間での漏れと被検査室と外部との間での漏れ検査が必要なワークであればよい。また、本発明に係る多経路ワークの漏れ検査装置は、ワークから密閉チャンバー内に漏れるトレースガスを検出する外部漏れ検査器と、被検査室に他の被検査室から漏れてくるトレースガスを検出する内部漏れ検査器とを備えているが、この外部漏れ検査器と内部漏れ検査器とは一つの装置で構成してもよい。 Also, if the length of the connecting pipe and the gas leak detection path between the inspection room and the internal leak tester is set short, even if trace gas remains in this part, the amount is small. Therefore, the influence on the inspection is reduced. Thereby, it is possible to perform a leak inspection with high accuracy. Further, the plurality of chambers to be inspected in the workpiece in this case may be composed of an outer side portion and an inner side portion provided in the inside, or may be a plurality of container-like ones provided adjacent to each other. Good. Any work may be used as long as it requires leakage between the inspection rooms and a leakage inspection between the inspection room and the outside. In addition, the multipath work leak inspection apparatus according to the present invention detects an external leak tester that detects trace gas leaking from the work into the sealed chamber, and detects trace gas leaking from another test room to the test room. However, the external leak tester and the internal leak tester may be configured as a single device.
また、本発明に係る多経路ワークの漏れ検査装置の他の構成上の特徴は、ワークが、外部を構成する外部被検査室と、外部被検査室内に設けられ外部被検査室の外部に連通する開口部を備えた内部被検査室とで構成され、所定の接続管の一端部を、内部被検査室の開口部に接続するようにしたことにある。 In addition, another structural feature of the multi-path work leakage inspection apparatus according to the present invention is that the work is provided outside the external inspection room and communicates with the outside of the external inspection room. The internal inspection room is provided with an opening to be connected, and one end of a predetermined connection pipe is connected to the opening of the internal inspection room.
これによると、外部被検査室と内部被検査室との間の漏れの有無は、外部被検査室に接続された接続管を介して外部被検査室内にトレースガスを供給し、内部被検査室に接続された内部漏れ検査器で、外部被検査室から内部被検査室に漏れてくるトレースガスを検出することによって検査することができる。この場合、所定の接続管に接続されたトレースガス供給管およびトレースガス排出管側の部分は、仕切り弁によって、内部被検査室や内部漏れ検査器側から遮断しておく。 According to this, the presence or absence of leakage between the external inspection room and the internal inspection room is determined by supplying the trace gas into the external inspection room via the connecting pipe connected to the external inspection room. It is possible to inspect by detecting the trace gas leaking from the external inspection chamber to the internal inspection chamber with the internal leakage inspection device connected to the. In this case, the part on the trace gas supply pipe and trace gas discharge pipe side connected to the predetermined connection pipe is shut off from the internal inspection room and the internal leak tester side by the gate valve.
また、内部被検査室と外部との間の漏れの有無は、内部被検査室に接続された接続管を介して内部被検査室内にトレースガスを供給し、チャンバーに接続された外部漏れ検査器で、内部被検査室からチャンバー内に漏れてくるトレースガスを検出することによって検査することができる。この場合、内部漏れ検査器側は、仕切り弁または他の切り換え弁等によって、接続管から遮断しておく。また、外部被検査室と外部との間の漏れの有無は、外部被検査室に接続された接続管を介して外部被検査室内にトレースガスを供給し、チャンバーに接続された外部漏れ検査器で、外部被検査室からチャンバー内に漏れてくるトレースガスを検出することによって検査することができる。 In addition, the presence or absence of leakage between the internal chamber to be inspected is checked by supplying a trace gas into the internal chamber through a connecting pipe connected to the internal chamber to be inspected. Thus, the inspection can be performed by detecting the trace gas leaking from the internal inspection chamber into the chamber. In this case, the internal leak tester side is shut off from the connecting pipe by a gate valve or other switching valve. In addition, the presence or absence of leakage between the external inspection room and the outside is determined by supplying a trace gas into the external inspection room via a connecting pipe connected to the external inspection room and connecting the external leakage inspection device to the chamber. Thus, the inspection can be performed by detecting the trace gas leaking from the external inspection chamber into the chamber.
以下、本発明の一実施形態に係る多経路ワークの漏れ検査装置を図面を用いて説明する。図1は同実施形態に係る漏れ検査装置10の概略配管図を示している。この漏れ検査装置10は、ワーク30を密閉状態で格納するチャンバー11を備えている。このチャンバー11は開閉可能な容器で構成されその所定部分に2個の挿入孔と1個の接続用孔が設けられている。そして、チャンバー11内に、2個の挿入孔を介して、外部から接続管12a,12bの一端部側が挿し込まれ、接続用孔には接続管12cが開口をチャンバー11内に連通させて連結されている。また、チャンバー11には、真空ポンプ(図示せず)が接続されており、この真空ポンプの作動により内部が減圧可能になっている。
Hereinafter, a multipath work leakage inspection apparatus according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 shows a schematic piping diagram of a
接続管12aの他端側には、それぞれ大気導入路13a、真空引き路14a、減圧排気路15aおよびトレースガス封入路16aの各配管が接続され、大気導入路13a、真空引き路14a、減圧排気路15aおよびトレースガス封入路16aに、それぞれ切り換え弁17a,18a,19a,21aが設けられている。大気導入路13aは、コンプレッサー(図示せず)に接続されて大気中の空気をチャンバー11内に設置されるワーク30の後述する外側室31a内に圧入可能になっており、真空引き路14aは真空ポンプ(図示せず)に接続されて外側室31a内を排気することにより真空に近い状態まで減圧することができる。
Connected to the other end of the connecting
また、減圧排気路15aは減圧装置(図示せず)に接続されて外側室31a内のガスを排気することができ、トレースガス封入路16aはヘリウムガスボンベ(図示せず)に接続されて、外側室31a内にヘリウムガスからなるトレースガスを供給することができる。また、接続管12bの他端側部分は、主配管22とガス漏れ検査路22aとに分岐しており、主配管22には、それぞれ大気導入路13b、真空引き路14b、減圧排気路15bおよびトレースガス封入路16bの各配管が接続されている。
The
そして、大気導入路13b、真空引き路14b、減圧排気路15bおよびトレースガス封入路16bに、それぞれ切り換え弁17b,18b,19b,21bが設けられている。大気導入路13bは、コンプレッサーに接続され、真空引き路14bは真空ポンプに接続され、減圧排気路15bは減圧装置に接続され、トレースガス封入路16bはヘリウムガスボンベに接続されている。また、接続管12bと主配管22との間には仕切り弁23aが設けられており、この仕切り弁23aによって接続管12bと主配管22との間は連通されたり遮断されたりする。さらに、接続管12bとガス漏れ検査路22aとの間にも切り換え弁23bが設けられている。
Switching
ガス漏れ検査路22aは微量のトレースガスでも検出可能な検査器24に接続されており、この検査器24によって接続管12bおよびガス漏れ検査路22aを介して送られてくるガス中のトレースガスが検出される。また、接続管12cには、切り換え弁25が設けられており、接続管12cの他端部は検査器24に接続されている。このため、検査器24は、接続管12cを介してチャンバー11から送られるガス中のトレースガスの検出も行える。検査器24は、ガス漏れ検査路22aを介して送られてくるガス中のトレースガスを検出する際には、本発明の内部漏れ検査器を構成し、接続管12cを介して送られるガス中のトレースガスを検出する際には、本発明の外部漏れ検査器を構成する。
The gas
チャンバー11内に格納されるワーク30は、外部被検査室としての外側室31aと内部被検査室としての内側室31bとで構成されている。外側室31aは、円筒形のボンベ状の容器からなっており、両端に突出開口部32a,33aが形成されている。そして、突出開口部32aに、栓体34aを介して接続管12aの一端部が接続され、突出開口部33aは蓋体35aによって閉塞されている。また、内側室31bは、外側室31aの内部に位置する円筒状の本体36と、本体36の両端から突出し外側室31aの外側に延びる突出開口部32b,33bとで構成されている。そして、突出開口部32bは、栓体34bを介して接続管12bの一端部に接続され、突出開口部33bは、蓋体35bによって閉塞されている。
The
つぎに、前述したように構成された漏れ検査装置10を用いて、ワーク30の漏れ検査を行う場合について説明する。まず、ワーク30の突出開口部33aを蓋体35aで閉塞するとともに、突出開口部33bを蓋体35bで閉塞する。ついで、各切り換え弁17a等と仕切り弁23aとをすべて閉じた状態にして、チャンバー11内の所定部分にワーク30を設置する。そして、突出開口部32aに、接続管12aの一端部が接続された栓体34aを取り付け、突出開口部32bに、接続管12bの一端部が接続された栓体34bを取り付ける。これによって、図1に示したように、外側室31aは、接続管12aを介してのみ外部に通じる状態になり、内側室31bは、接続管12bを介してのみ外部に通じる状態になる。
Next, a case where the leakage inspection of the
つぎに、チャンバー11に接続された真空ポンプを作動させて、チャンバー11内の排気を行う。ついで、真空引き路14aに接続された真空ポンプを作動させるとともに、切り換え弁18aを開けることにより、真空引き路14aを介して外側室31a内を排気して減圧する。そして、外側室31aの内圧が所定値になったときに、切り換え弁18aを閉じるとともに、切り換え弁21aを開いて、トレースガス封入路16aを介してヘリウムガスボンベから外側室31a内にトレースガスを供給する。外側室31a内にトレースガスが充填されると、切り換え弁21aを閉じる。この外側室31a内の減圧および外側室31a内へのトレースガスの供給に先行して、または並行して、仕切り弁23aと切り換え弁18bとを開けるとともに、真空ポンプを作動させて、接続管12bと主配管22とを介して、内側室31b内を排気して減圧する。
Next, the vacuum pump connected to the
そして、内側室31bの内圧が所定値になったときに、仕切り弁23aと切り換え弁18bとを閉じる。ついで、切り換え弁23bを開く。これによって、内側室31bに接続された接続管12bがガス漏れ検査路22aと連通して、内側室31bから流れてくるガス中のトレースガスを検査器24が検出する。この検査器24が検出するトレースガスの量によって、外側室31aと内側室31bとを仕切る壁部にガス漏れを生じさせるような欠陥があるか否かの検査が行われる。
When the internal pressure of the
すなわち、外側室31aと内側室31bとを仕切る壁部にガス漏れを生じさせるような欠陥等がある場合には、外側室31a内のトレースガスは、その欠陥部分を通過して内側室31b内に浸入していき、これを検査器24が検出する。また、ガス漏れを生じさすような欠陥がない場合は、トレースガスは外側室31a内に充填された状態を維持するため、検査器24はトレースガスを検出することができない。
That is, when there is a defect or the like that causes gas leakage in the wall portion that partitions the
この場合、検査器24は、内側室31bから流れてくるガス中のトレースガスの有無や量を検出し、検出値が所定の規定値(元々内側室31b、接続管12bおよびガス漏れ検査路22a内のガス中に含まれていたヘリウムガスの量)以上であれば、外側室31aと内側室31bとの間に漏れがあると判定する。また、検出値が所定の規定値以下であれば、外側室31aと内側室31bとの間には漏れはないと判定する。そして、漏れがあると判定した場合には、そのワーク30は欠陥品であるとして、チャンバー11から取り出して所定の場所に移送する。
In this case, the
このとき、外側室31aと内側室31bとの内部のトレースガスを除去したのちに、チャンバー11を開けてワーク30を取り出す。これには、まず、切り換え弁23bを閉じる。つぎに、切り換え弁17bおよび仕切り弁23aを開き、コンプレッサーを作動させて、内側室31b内に大気中の空気を送り込んだのちに、切り換え弁17bを閉じる。ついで、切り換え弁18bを開いて真空ポンプを作動させることにより内側室31bや接続管12b等の配管内を排気して内側室31b等の内部のトレースガスを排除する。その後、切り換え弁18bを閉じて、切り換え弁17bを開け、内側室31b内に、大気中の空気を送る。つぎに、切り換え弁17bおよび仕切り弁23aを閉じる。
At this time, after removing the trace gas inside the
外側室31a内のトレースガスも外部に排除する処理を行う。この場合、まず、切り換え弁19aを開いて減圧装置を作動させることにより外側室31a内のトレースガスを外部に排除したのちに、切り換え弁19aを閉じる。さらに、切り換え弁18aを開き、真空ポンプを作動させることにより、トレースガスをさらに排除し、切り換え弁18aを閉じる。つぎに、切り換え弁17aを開き、コンプレッサーを作動させることにより、外側室31a内に大気中の空気を送り込んだのちに、切り換え弁17aを閉じる。この状態で、チャンバー11を開けてその内部からワーク30を取り出す。
The process which also excludes the trace gas in the
一方で、外側室31aと内側室31bとの間に漏れがないと判定した場合には、内側室31bと外部との間の漏れの有無を検査する。この場合、まず、切り換え弁23bを閉じて、仕切り弁23aおよび切り換え弁21bを開けて、トレースガス封入路16bを介してヘリウムガスボンベから内側室31b内にトレースガスを供給する。つぎに、切り換え弁21bと仕切り弁23aとを閉じる。そして、切り換え弁25を開ける。
On the other hand, when it is determined that there is no leakage between the
これによって、内側室31bと外部とを仕切る壁部にガス漏れを生じさせる欠陥等がある場合には、内側室31b内のトレースガスは、その欠陥部分を通過して内側室31bの外部に出て行く。また、ガス漏れを生じさすような欠陥がない場合は、トレースガスは内側室31b内に充填された状態を維持する。これによって、接続管12cを介してチャンバー11と検査器24とが連通し、チャンバー11から流れてくるガス中のトレースガスを検査器24が検出する。これによって、内側室31bと外部とを仕切る壁部にガス漏れを生じさせるような欠陥があるか否かの検査が行われる。
As a result, when there is a defect or the like that causes gas leakage in the wall portion that separates the
また、この際、外側室31aと外部との間の漏れの有無の検査も同時に行うことができる。すなわち、外側室31aと外部との間に漏れが生じていれば、外側室31aと内側室31bとの間の漏れを検査した際に、外側室31aからチャンバー11内にトレースガスが漏れている。したがって、この外側室31aから漏れたトレースガスも検査器24によって検出される。
In addition, at this time, it is possible to simultaneously check whether there is a leak between the
そして、ワーク30の漏れ検査が終了すると、前述した方法で検査済みのワーク30をチャンバー11から取り出し、次に検査する他のワーク30をチャンバー11に設置する。そして、前述した漏れ検査を順次行う。この場合、漏れ検査装置10内には、トレースガスは殆ど残留していないため、繰り返し複数のワーク30の漏れ検査を行っても精度のよい検査が行える。
When the leak inspection of the
以上のように、本実施形態による漏れ検査装置10では、大気導入路13b、真空引き路14b、減圧排気路15bおよびトレースガス封入路16bが接続される主配管22と接続管12bとの間に仕切り弁23aを設けている。そして、外側室31aから内側室31bに流れてくるガス中のトレースガスを検査器24が検出する際には、仕切り弁23aを閉じて、内側室31bから接続管12bおよびガス漏れ検査路22aを介して検査器24に通じる通路から主配管22を遮断する。このため、主配管22やトレースガス封入路16b等にトレースガスが残留していても検査器24が検出する検出値には影響がないため、精度のよい漏れ検査を行える。
As described above, in the
また、本発明に係る多経路ワークの漏れ検査装置は、前述した実施形態に限定するものでなく、適宜変更実施が可能である。例えば、前述した実施形態では、接続管12bと主配管22との間に仕切り弁23aを設け、接続管12bとガス漏れ検査路22aとの間に切り換え弁23bを設けているが、接続管12bが主配管22およびガス漏れ検査路22aとに接続される部分に三方弁を設けることもできる。これによると、切り換え弁23bが不要になる。
In addition, the multipath work leakage inspection apparatus according to the present invention is not limited to the above-described embodiment, and can be appropriately modified. For example, in the above-described embodiment, the
また、前述した実施形態では、接続管12aを外側室31aに接続し、接続管12bを内側室31bに接続しているが、接続管12aを内側室31bに接続し、接続管12bを外側室31aに接続することもできる。これによっても同様の漏れ検査を行うことができる。さらに、前述した実施形態では、ワーク30を、外側室31aと、外側室31aの内部に設けられた内側室31bとで構成しているが、このワークとしては、箱状の被検査室を隣接させて形成したものでもよい。例えば、ラジエター、オイルクーラー、濾過器などのように複数の隔離された室を備えたものであればよい。
In the embodiment described above, the connecting
また、ワークが備える被検査室も2個に限らず、それ以上の複数個であってもよい。その場合、被検査室の数に応じて、接続管や仕切り弁等を設ける。例えば、2個の被検査室に対して1組の接続管や仕切り弁等をそれぞれ設ける。また、トレースガスとしては、ヘリウムガスに代えて、水素ガス、硫化水素ガス、二酸化炭素ガス、窒素ガス、アルゴンガス、一酸化炭素ガス、メタンガス等を用いることができる。 Further, the number of rooms to be inspected provided for the workpiece is not limited to two, but may be more than that. In that case, connecting pipes, gate valves and the like are provided according to the number of rooms to be inspected. For example, a set of connecting pipes, gate valves and the like are provided for each of two rooms to be inspected. As the trace gas, hydrogen gas, hydrogen sulfide gas, carbon dioxide gas, nitrogen gas, argon gas, carbon monoxide gas, methane gas, or the like can be used instead of helium gas.
10…漏れ検査装置、11…チャンバー、12a,12b,12c…接続管、15a,15b…減圧排気路、16a,16b…トレースガス封入路、22…主配管、22a…ガス漏れ検査路、23a…仕切り弁、24…検査器、30…ワーク、31a…外側室、31b…内側室、32b…突出開口部。
DESCRIPTION OF
Claims (2)
一端部が、前記密閉チャンバーの壁部を貫通して前記密閉チャンバー内に設置されるワークの対応する被検査室に接続されるとともに、他端部側が、それぞれ対応するトレースガス供給管およびトレースガス排出管に接続された複数の接続管と、
前記密閉チャンバーに接続され前記ワークから前記密閉チャンバー内に漏れるトレースガスを検出する外部漏れ検査器と、
前記複数の接続管のうちの所定の接続管の他端部側にガス漏れ検出路を介して接続され、前記所定の接続管の一端部が接続された被検査室に他の被検査室から漏れてくるトレースガスを検出する内部漏れ検査器と、
前記所定の接続管の他端部側に設けられ、前記トレースガス供給管および前記トレースガス排出管を、前記所定の接続管の一端部側部分および前記ガス漏れ検出路に対して開閉可能に仕切る仕切り弁と
を備えたことを特徴とする多経路ワークの漏れ検査装置。 A sealed chamber capable of storing a workpiece having a plurality of inspection rooms isolated from each other in a sealed state; and
One end portion is connected to a corresponding chamber to be inspected of a work installed in the sealed chamber through the wall portion of the sealed chamber, and the other end portion is connected to the corresponding trace gas supply pipe and trace gas, respectively. A plurality of connecting pipes connected to the discharge pipe;
An external leak tester for detecting trace gas connected to the sealed chamber and leaking from the workpiece into the sealed chamber;
Connected to the other end side of the predetermined connecting pipe among the plurality of connecting pipes via a gas leak detection path, and from the other test chamber to the test chamber to which one end of the predetermined connecting pipe is connected An internal leak tester that detects leaking trace gas,
Provided on the other end side of the predetermined connection pipe, and partitions the trace gas supply pipe and the trace gas discharge pipe with respect to one end side portion of the predetermined connection pipe and the gas leak detection path so as to be opened and closed A multipath work leak inspection apparatus comprising a gate valve.
The workpiece is composed of an external inspection chamber constituting the outside and an internal inspection chamber provided in the external inspection chamber and having an opening communicating with the outside of the external inspection chamber, and the predetermined connection The leak inspection apparatus for a multi-path work according to claim 1, wherein one end of the pipe is connected to an opening of the internal inspection chamber.
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