JP2005241998A - Optical filter unit and optical filter module - Google Patents

Optical filter unit and optical filter module Download PDF

Info

Publication number
JP2005241998A
JP2005241998A JP2004052005A JP2004052005A JP2005241998A JP 2005241998 A JP2005241998 A JP 2005241998A JP 2004052005 A JP2004052005 A JP 2004052005A JP 2004052005 A JP2004052005 A JP 2004052005A JP 2005241998 A JP2005241998 A JP 2005241998A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
optical filter
optical
light beam
incident
plane
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2004052005A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kazuo Aoki
和男 青木
Kozo Takahashi
幸三 高橋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nikon Corp filed Critical Nikon Corp
Priority to JP2004052005A priority Critical patent/JP2005241998A/en
Publication of JP2005241998A publication Critical patent/JP2005241998A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Optical Filters (AREA)
  • Optical Couplings Of Light Guides (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To solve the following problem; a conventional optical filter module is configured so that a beam of light is made slantingly incident to an optical filter unit, and a refractive angle of the incident beam of light is different by wavelengths, thereby making adjustment at the time of manufacturing the optical filter module difficult. <P>SOLUTION: The optical filter unit 30 which constitutes the optical filter module 100 is provided with a 1st plane 3 to/from which two or more beams of light 11 of different wavelngth bands are made incident or reflected, a 2nd plane 2 to/from which a single beam of light 12 including two or more wavelength bands is made incident or reflected, and a filter part which multiplexes the two or more beams of light 11 of the different wavelength bands into a single beam of light including the two or more wavelength bands, or demultiplexes the single beam of light 12 including the two or more wavelength bands into the two or more beams of light 11 of the different wavelength bands, and all the two or more beams of light 11 of the different wavelength bands are made incient or reflected almost vertically to/from the 1st plane 3 from different positions 24, 25, 26 on the same 1st plane 3, and the single beam of light 12 including the two or more wavelength bands is made incident or reflected to/from the 2nd plane 2 almost vertically to the 2nd plane 2. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、光学フィルタ機能を有する光学フィルタユニット、特に光通信用に多重光を有する合波光線を複数の分波光線に分離し、または、それとは逆に異なる波長帯域の複数の分波光線を一つの合波光線に合波する光学フィルタユニット及びこの光学フィルタユニットから構成される光学フィルタモジュールに関する。   The present invention relates to an optical filter unit having an optical filter function, in particular, a multiplexed beam having multiplexed light for optical communication is separated into a plurality of demultiplexed beams, or conversely, a plurality of demultiplexed beams in different wavelength bands. The present invention relates to an optical filter unit for combining the optical filter unit into one combined light beam and an optical filter module including the optical filter unit.

従来、光通信用に光を合波または分波する光学フィルタモジュールとして図4に示すようなものが知られている。   Conventionally, as shown in FIG. 4, an optical filter module for multiplexing or demultiplexing light for optical communication is known.

図4にて、このような光学フィルタモジュールは、合波光線用光ファイバを伝送して合波光線用コリメータレンズを経由して射出した複数の波長帯域を含む合波光線を光学フィルタユニットの入射出平面に斜めに入射し、光学多層膜に入射させることによって波長帯域毎に複数の光線に分波して分波光線を光学フィルタユニットから入射出平面に斜めに射出し、この分波光線を伝送するために分波光線用コリメータレンズを経由して分波光線用光ファイバに入射させる。または、それとは逆に分波光線用光ファイバを伝送して分波光線用コリメータレンズを経由して射出した分波光線を光学フィルタユニットの入射出平面に斜めに入射し、光学多層膜に入射させることによって合波した合波光線を光学フィルタユニットから入射出平面に斜めに射出し、この合波光線を伝送するためにコリメータレンズを経由して合波光線用光ファイバに入射させる。   In FIG. 4, such an optical filter module transmits a combined beam including a plurality of wavelength bands transmitted through a combined beam optical fiber and emitted through a combined beam collimator lens. Incidently incident on the emission plane and incident on the optical multilayer film, it is demultiplexed into a plurality of rays for each wavelength band, and demultiplexed rays are emitted obliquely from the optical filter unit to the incident / exit plane. In order to transmit, the light is incident on the optical fiber for demultiplexed light via the collimator lens for demultiplexed light. Or, conversely, the demultiplexed light beam transmitted through the demultiplexed light beam optical fiber and emitted through the demultiplexed light beam collimator lens is incident obliquely on the incident / output plane of the optical filter unit and incident on the optical multilayer film. Then, the combined light beam is emitted obliquely from the optical filter unit to the incident / exit plane, and is incident on the optical fiber for the combined light beam via the collimator lens in order to transmit the combined light beam.

また、このような光学フィルタモジュールに於いては、合波光線用光ファイバと、これのコリメータレンズと、分波光線用光ファイバと、これのコリメータレンズとは、例えば光ファイバユニットのような形で一体化されていた。   Further, in such an optical filter module, the optical fiber for combined light, the collimator lens thereof, the optical fiber for demultiplexed light, and the collimator lens thereof are shaped like an optical fiber unit, for example. It was integrated with.

そしてこのような光学フィルタモジュールを製造するに当たって、構成要素である光学フィルタユニットと光ファイバユニットが作製された段階で、光学フィルタユニットと光ファイバユニットとの相互位置を調節する作業が必要であった。   In manufacturing such an optical filter module, it is necessary to adjust the mutual position of the optical filter unit and the optical fiber unit at the stage where the optical filter unit and the optical fiber unit as the constituent elements are manufactured. .

この相互位置調節作業によって、合波光線用コリメータレンズを経由して合波光線用光ファイバから射出した合波光線が光学フィルタユニットの正確な位置に入射し、正確に分波されて光学フィルタユニットを射出し、射出した分波光線が分波光線用コリメータレンズの正確な位置に入射して分波光線用コリメータレンズを経由して分波光線用光ファイバに入射し、またはそれとは逆に、コリメータレンズを経由して分波光線用光ファイバから射出した分波光線が光学フィルタユニットの正確な位置に入射し、正確に合波されて光学フィルタユニットを射出し、射出した合波光線が正確に合波光線用コリメータレンズの正確な位置に入射して合波光線用光ファイバを経由して合波光線用光ファイバに入射することを可能にする。   By this mutual position adjustment operation, the combined light beam emitted from the combined light beam optical fiber via the combined light beam collimator lens enters the accurate position of the optical filter unit, and is accurately demultiplexed to be optical filter unit. , And the emitted demultiplexed light beam enters the correct position of the demultiplexing light beam collimator lens and enters the demultiplexed light beam optical fiber via the demultiplexing light beam collimator lens, or vice versa. The demultiplexed light beam emitted from the optical fiber for demultiplexed light beam via the collimator lens is incident on the correct position of the optical filter unit, and is accurately combined and emitted from the optical filter unit. In this case, the light beam can be incident on the correct position of the collimating lens for the combined light beam and can enter the optical fiber for the combined light beam via the optical fiber for the combined light beam.

このような従来の光学フィルタモジュールに於いては、光ファイバユニットを射出した合波光線と分波光線が光学フィルタユニットの入射出平面に斜めに入射する。また光学フィルタユニットを射出した合波光線と分波光線が光学フィルタユニットの入射出平面から斜めに射出する。入射出平面を有する部材には一般に屈折率分散がある。そうすると、合波光線と分波光線は、入射出平面に斜めに入射または射出するときに光波長に応じて異なる角度に屈折される。   In such a conventional optical filter module, the combined light beam and the demultiplexed light beam emitted from the optical fiber unit are incident obliquely on the incident / exit plane of the optical filter unit. Further, the combined light beam and the demultiplexed light beam emitted from the optical filter unit are emitted obliquely from the incident / exit plane of the optical filter unit. A member having an incident / exit plane generally has refractive index dispersion. Then, the combined light beam and the demultiplexed light beam are refracted at different angles depending on the light wavelength when entering or exiting the incident / exit plane obliquely.

例えば、図4に示されるような光学フィルタモジュールに於いて、複数の異なる波長の光を多重した合波光線が合波光線用コリメータレンズを射出して光学フィルタユニットの入射出平面に斜めに入射すると、屈折率分散のために波長によって異なる大きさの屈折作用を入射出平面で受けるために、波長によって異なる方向へ屈折し、その後、波長によって異なる入射角で反射平面に入射して反射する。故に、合波光線は波長によって異なる入射角で光学多層膜に入射して分波される。その結果、光学フィルタユニットを分波されて射出する互いに異なる波長の複数の分波光線は入射出平面を互いに異なる間隔で射出する。   For example, in an optical filter module as shown in FIG. 4, a combined beam obtained by multiplexing a plurality of light beams having different wavelengths exits the collimating lens for the combined beam and enters the incident / output plane of the optical filter unit obliquely. Then, in order to receive the refractive action of different magnitude depending on the wavelength at the entrance / exit plane due to the refractive index dispersion, the light is refracted in different directions depending on the wavelength, and then enters the reflection plane at an incident angle different depending on the wavelength and is reflected. Therefore, the combined light beam enters the optical multilayer film at an incident angle that varies depending on the wavelength and is demultiplexed. As a result, a plurality of demultiplexed light beams having different wavelengths emitted after being demultiplexed from the optical filter unit are emitted from the incident and output planes at different intervals.

するとこれらの複数の分波光線を伝送のために入射する分波光線用光ファイバも互いに不等間隔で光ファイバユニットの中で配設されていなければならない。このように光ファイバユニットの中で互いに不等間隔で分波光線用ファイバを配設するためには、屈折率分散と光が通過する光路長とを基に隣接する分波光線間の不等相互間隔を計算しなければならない。このように計算された隣接する分波光線間の不等相互間隔に等しい間隔に分波光線用光ファイバを配設するためには一般に面倒で困難な調節作業を要する。更に、図4に於いて設けられている2種類の光学多層膜に対して、波長に応じて異なる入射角度で光線が入射する。光学多層膜は指定された入射角度に対して膜構成が決定されている。従って、指定入射角度とは異なる入射角度で光学多層膜に入射する光線は設計の光学特性とは異なる分光光学特性で反射または透過するので、設計の光学特性が得られず、その結果充分に分波できず、分波光線のS/N比が低下する危険がある。この特性上の問題は解決することが困難である。   Then, the optical fibers for demultiplexing light beams that enter these plural demultiplexing light beams for transmission must be arranged in the optical fiber unit at unequal intervals. In this way, in order to arrange the demultiplexed light fibers at unequal intervals in the optical fiber unit, the unequal between the demultiplexed light beams adjacent to each other is based on the refractive index dispersion and the optical path length through which the light passes. The mutual spacing must be calculated. In order to arrange the optical fibers for demultiplexing light beams at intervals equal to the unequal mutual spacing between the adjacent demultiplexing light beams calculated in this way, it is generally troublesome and difficult to adjust. Furthermore, light rays are incident on the two types of optical multilayer films provided in FIG. 4 at different incident angles depending on the wavelength. The optical multilayer film has a film configuration determined for a specified incident angle. Therefore, light rays incident on the optical multilayer film at an incident angle different from the specified incident angle are reflected or transmitted with spectral optical characteristics different from the designed optical characteristics, so that the designed optical characteristics cannot be obtained, and as a result, sufficient separation is achieved. There is a risk that the wave cannot be generated and the S / N ratio of the demultiplexed light beam decreases. This characteristic problem is difficult to solve.

以上は、合波光線を入射出平面に斜めに入射したときの問題を述べたが、それとは逆に互いに平行な分波光線を入射出平面に斜めに入射するときにも、例えば合波された合波光線が1本になって射出されないために伝送のために合波光線用コリメータレンズから合波光線用光ファイバに入射するときの光結合効率が低下し、伝送する合波光線の光量が低減するという問題が生じる等様々な問題が生じるが、詳細の説明は省略する。   The above describes the problem when the combined light beam is incident on the incident / exit plane obliquely. On the contrary, when the split light beams parallel to each other are incident on the incident / exit plane obliquely, for example, they are combined. Since the combined beam is not emitted as a single beam, the optical coupling efficiency when entering the combined beam optical fiber from the combined beam collimator lens for transmission decreases, and the amount of the combined beam to be transmitted is reduced. Various problems occur, such as a problem of reducing the amount of noise, but detailed description thereof is omitted.

以上をまとめると、光学フィルタモジュールを構成する光学フィルタユニットが合波光線または分波光線を斜めに入射するように構成されていると、光学フィルタモジュールの調節作業の困難性の問題、合波光線が光ファイバに入射するときに光結合効率が低下する問題、分波特性、合波特性が低下する問題等様々な問題が発生する。   In summary, if the optical filter unit that constitutes the optical filter module is configured so that the combined light beam or the demultiplexed light beam is incident obliquely, the problem of difficulty in adjusting the optical filter module, combined light beam, Various problems occur, such as a problem that the optical coupling efficiency is lowered when the light enters the optical fiber, a problem of demultiplexing characteristics, and a problem of degradation of the multiplexing characteristics.

本発明は以上列挙した問題の少なくとも一つを解決し、屈折率分散によって生じる光学フィルタモジュールの調節作業の困難性の問題を解決した光学フィルタユニット及びこの光学フィルタユニットから構成される光学フィルタモジュールを提供することにある。   The present invention solves at least one of the problems listed above and solves the problem of difficulty in adjusting the optical filter module caused by refractive index dispersion, and an optical filter module including the optical filter unit. It is to provide.

以上の課題を解決する為に、本発明の第1の態様の光学フィルタユニットは、異なる波長帯域の複数の光線が入射または射出する第1平面と、複数の波長帯域を含む一つの光線が入射または射出する第2平面と、前記異なる波長帯域の複数の光線を前記複数の波長帯域を含む一つの光線に合波し、または前記複数の波長帯域を含む一つの光線を異なる波長帯域の複数の光線に分離するフィルタ部とを具え、前記異なる波長帯域の複数の光線は全て、同一の前記第1平面上の異なる位置から前記第1平面にほぼ垂直に入射または射出し、前記複数の波長帯域を含む一つの光線は、前記第2平面から前記第2平面にほぼ垂直に入射または射出している。   In order to solve the above-described problems, the optical filter unit according to the first aspect of the present invention includes a first plane on which a plurality of light beams having different wavelength bands enter or exit, and a single light beam including a plurality of wavelength bands. Alternatively, the second plane to be emitted and a plurality of light beams having different wavelength bands are combined into one light beam including the plurality of wavelength bands, or one light beam including the plurality of wavelength bands is combined with a plurality of light beams having different wavelength bands. A plurality of light beams incident on or exiting the first plane from different positions on the same first plane substantially perpendicularly to the first plane. Is incident or exited substantially perpendicularly to the second plane from the second plane.

本発明の第2の態様の光学フィルタユニットは、第1の態様の光学フィルタユニットであって、前記フィルタ部は、光学フィルタと、前記光学フィルタを一方の面に支持し、他方の面に反射面を有する基板と、前記光学フィルタの前記基板側とは反対側に前記第1平面と前記第2平面とを有する光学部材とを具える。   An optical filter unit according to a second aspect of the present invention is the optical filter unit according to the first aspect, wherein the filter unit supports the optical filter and the optical filter on one surface and reflects on the other surface. A substrate having a surface; and an optical member having the first plane and the second plane on a side opposite to the substrate side of the optical filter.

本発明の第3の態様の光学フィルタユニットは、第1または第2の態様の光学フィルタユニットであって、前記第1平面と前記第2平面とは共通の平面上にある。   An optical filter unit according to a third aspect of the present invention is the optical filter unit according to the first or second aspect, wherein the first plane and the second plane are on a common plane.

本発明の第4の態様の光学フィルタユニットは、第3の態様の光学フィルタユニットであって、前記光学フィルタは、前記基板の一つの面に配置された異なる分光特性の複数の光学フィルタ要素を有する。   An optical filter unit according to a fourth aspect of the present invention is the optical filter unit according to the third aspect, wherein the optical filter includes a plurality of optical filter elements having different spectral characteristics arranged on one surface of the substrate. Have.

本発明の第5の態様の光学フィルタユニットは、第3または第4の態様の光学フィルタユニットであって、前記光学部材は、前記複数の波長帯域を含む一つの光線の方向を変更する第2反射面を更に具える。   An optical filter unit according to a fifth aspect of the present invention is the optical filter unit according to the third or fourth aspect, wherein the optical member changes the direction of one light beam including the plurality of wavelength bands. Further includes a reflective surface.

本発明の第6の態様の光学フィルタモジュールは、第1〜第4の何れかの態様の光学フィルタユニットと、前記光学フィルタユニットから射出または前記光学フィルタユニットへ入射する前記異なる波長帯域の複数の光線を入射または射出する複数の第1光学系と、前記光学フィルタユニットから射出または前記光学フィルタユニットへ入射する前記複数の波長帯域を含む一つの光線を入射または射出する一つの第2光学系とを具える。   An optical filter module according to a sixth aspect of the present invention includes an optical filter unit according to any one of the first to fourth aspects, and a plurality of different wavelength bands that are emitted from the optical filter unit or incident on the optical filter unit. A plurality of first optical systems for entering or emitting light rays, and a second optical system for entering or emitting one light beam including the plurality of wavelength bands that are emitted from the optical filter unit or incident on the optical filter unit; With

本発明の第7の態様の光学フィルタモジュールは、第6の態様の光学フィルタモジュールであって、前記複数の第1光学系は、複数の第1光ファイバと前記複数の第1光ファイバの端面近傍に配置された複数の第1レンズとからなり、前記一つの第2光学系は、一つの第2光ファイバと前記一つの第2光ファイバの端面近傍に配置された一つの第2レンズとからなり、前記複数の第1レンズは、前記複数の第1光ファイバの端面を射出する異なる波長帯域の複数の光線を入射してそれぞれの光線を平行光束にし、または前記第1平面から射出する前記異なる波長帯域の複数の光線を入射してそれぞれの光線を前記複数の第1光ファイバの端面に集光し、前記一つの第2レンズは、前記一つの第2光ファイバの端面を射出する複数の波長帯域を含む一つの光線を入射して光線を平行光束にし、または前記第2平面から射出する前記複数の波長帯域を含む一つの光線を入射して前記一つの第2光ファイバの端面に集光し、前記複数の第1レンズの光軸は前記第1平面にほぼ垂直に、且つ前記一つの第2レンズの光軸は前記第2平面にほぼ垂直に配置されている。   An optical filter module according to a seventh aspect of the present invention is the optical filter module according to the sixth aspect, wherein the plurality of first optical systems includes a plurality of first optical fibers and end faces of the plurality of first optical fibers. A plurality of first lenses disposed in the vicinity, wherein the one second optical system includes one second optical fiber and one second lens disposed in the vicinity of an end surface of the one second optical fiber. The plurality of first lenses receive a plurality of light beams in different wavelength bands that exit the end faces of the plurality of first optical fibers to make each light beam a parallel light flux, or emit the light from the first plane. A plurality of light beams having different wavelength bands are incident and condensed on the end surfaces of the plurality of first optical fibers, and the one second lens emits an end surface of the one second optical fiber. Multiple wavelength bands A single light beam is made into a parallel light beam, or a single light beam including the plurality of wavelength bands exiting from the second plane is incident and condensed on an end face of the one second optical fiber, The optical axes of the plurality of first lenses are arranged substantially perpendicular to the first plane, and the optical axis of the one second lens is arranged substantially perpendicular to the second plane.

本発明の第8の態様の光学フィルタモジュールは、第7の態様の光学フィルタモジュールであって、少なくとも前記複数の第1レンズは、同一部材で形成されたレンズアレイからなり、且つ前記複数の第1光ファイバを所定間隔で保持する結合部材を有する。   An optical filter module according to an eighth aspect of the present invention is the optical filter module according to the seventh aspect, wherein at least the plurality of first lenses includes a lens array formed of the same member, and the plurality of the first lenses. It has a coupling member that holds one optical fiber at a predetermined interval.

本発明の第9の態様の光学フィルタモジュールは、第3〜第5の何れかの態様の光学フィルタユニットと、前記光学フィルタユニットから射出または前記光学フィルタユニットへ入射する前記異なる波長帯域の複数の光線を入射または射出する複数の第1光ファイバと、前記光学フィルタユニットから射出または前記光学フィルタユニットへ入射する前記複数の波長帯域を含む一つの光線を入射または射出する一つの第2光ファイバと、前記複数の第1光ファイバ及び前記一つの第2光ファイバの端面近傍に前記異なる波長帯域の複数の光線または前記複数の波長帯域を含む一つの光線を集光するレンズ群を有する。   An optical filter module according to a ninth aspect of the present invention includes an optical filter unit according to any one of the third to fifth aspects, and a plurality of different wavelength bands that are emitted from the optical filter unit or incident on the optical filter unit. A plurality of first optical fibers that enter or emit light, and a second optical fiber that inputs or emits one light including the plurality of wavelength bands that exit from or enter the optical filter unit. And a lens group for condensing a plurality of light beams of the different wavelength bands or a single light beam including the plurality of wavelength bands in the vicinity of end faces of the plurality of first optical fibers and the one second optical fiber.

本発明の第10の態様の光学フィルタモジュールは、第9の態様の光学フィルタモジュールであって、前記複数の第1光ファイバと、前記一つの第2光ファイバを所定位置で保持する結合部材を有する。   An optical filter module according to a tenth aspect of the present invention is the optical filter module according to the ninth aspect, comprising a plurality of first optical fibers and a coupling member that holds the one second optical fiber at a predetermined position. Have.

本発明の光学フィルタユニットは、合波光線または分波光線をそれぞれの入射面にほぼ垂直に入射させたときに、合波光線を分離した分波光線または分波光線を合波した合波光線がそれぞれの射出面にほぼ垂直に射出するので、入射または射出時に波長によって屈折角が異なる問題が殆ど生じないために、光ファイバユニットを結合して光学フィルタモジュールを作製するときの位置調節作業が容易であり、光学フィルタモジュールを容易に作製することができる。   The optical filter unit according to the present invention is a combined light beam obtained by combining the divided light beam or the demultiplexed light beam obtained by separating the combined light beam when the combined light beam or the demultiplexed light beam is substantially perpendicularly incident on the respective incident surfaces. Are emitted almost perpendicularly to the respective exit surfaces, so that there is almost no problem that the refraction angle varies depending on the wavelength at the time of incidence or emission, so that the position adjustment work when the optical filter module is manufactured by combining the optical fiber units is not necessary. It is easy and an optical filter module can be easily manufactured.

また、本発明の光学フィルタモジュールは、前記光学フィルタユニットと前記光学フィルタユニットに適合した光ファイバユニットとを具えるので、光学フィルタユニットと光ファイバユニットを位置調節する作業が容易であり、製造が容易である。   In addition, the optical filter module of the present invention includes the optical filter unit and an optical fiber unit suitable for the optical filter unit, so that the operation of adjusting the position of the optical filter unit and the optical fiber unit is easy and can be manufactured. Easy.

以下、図を参照して本発明を実施するための形態を説明する。
[第1実施形態]
図1は本実施形態の光学フィルタモジュールの断面を示す概要図である。
DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments for carrying out the present invention will be described with reference to the drawings.
[First Embodiment]
FIG. 1 is a schematic view showing a cross section of the optical filter module of the present embodiment.

図1にて本実施形態の光学フィルタモジュール100は、光学フィルタユニット30と光ファイバユニット40とから構成される。   In FIG. 1, the optical filter module 100 of this embodiment includes an optical filter unit 30 and an optical fiber unit 40.

本実施形態の光学フィルタモジュール100を構成する光学フィルタユニット30は、第1部材13と第2部材14と光学多層膜21、22とから構成される。   The optical filter unit 30 constituting the optical filter module 100 according to the present embodiment includes a first member 13, a second member 14, and optical multilayer films 21 and 22.

光学多層膜21、22は、異なる2種類以上の屈折率の膜を複数層積層した基板を持たない多層膜であって、好ましくは高屈折率膜と低屈折率膜とを交互に複数層積層した交互層あり、薄膜干渉効果によって得られた所望の光学特性を有する。ここで、高屈折率膜は低屈折率膜よりも屈折率が高い膜の意味であり、低屈折率膜は高屈折率膜よりも屈折率が低い膜の意味である。高屈折率膜の物質としては、酸化ニオブ、酸化ネオジム、酸化タンタル、酸化ジルコニウム、酸化チタニウム、酸化ハフニウム、酸化セリウム、酸化亜鉛等から選ばれた一つ以上が使用でき、また低屈折率膜の物質としては、酸化ケイ素、フッ化マグネシウム、フッ化アルミニウム、フッ化カルシウム等から選ばれた一つ以上が使用でき、使用波長に対して透明な物質であれば特に物質に制限は無い。   The optical multilayer films 21 and 22 are multilayer films that do not have a substrate in which a plurality of layers having two or more different refractive indexes are stacked, and preferably a plurality of layers in which a high refractive index film and a low refractive index film are alternately stacked. And have the desired optical properties obtained by the thin film interference effect. Here, the high refractive index film means a film having a refractive index higher than that of the low refractive index film, and the low refractive index film means a film having a refractive index lower than that of the high refractive index film. As the material of the high refractive index film, one or more selected from niobium oxide, neodymium oxide, tantalum oxide, zirconium oxide, titanium oxide, hafnium oxide, cerium oxide, zinc oxide, etc. can be used. As the substance, one or more selected from silicon oxide, magnesium fluoride, aluminum fluoride, calcium fluoride and the like can be used, and the substance is not particularly limited as long as it is transparent to the wavelength used.

光学多層膜21、22の膜構成は、周知の光学薄膜設計法を用いて所望の分光特性と入射角度θと入射出媒質の屈折率とに対して、構成する各膜の屈折率即ち膜物質と、膜厚と、必要な層数とを設計することによって決定される。尚、該入射出媒質は、本来は接着剤層17、18であるが、光学多層膜21、22に対する入射角、射出角は本明細書中では便宜的に第1部材13、第2部材14中の入射角、射出角とされる。また、所望の分光特性は、所定の合波光線を分波し、所定の分波光線を合波するために、ある所定の波長帯域の光線を反射し、他の所定の波長帯域の光線を透過するように決定される。   The film configurations of the optical multilayer films 21 and 22 are determined by using a known optical thin film design method with respect to the desired spectral characteristics, the incident angle θ, and the refractive index of the incident / exit medium. It is determined by designing the film thickness and the required number of layers. The incident / exit medium is originally the adhesive layers 17 and 18, but the incident angle and the emission angle with respect to the optical multilayer films 21 and 22 are the first member 13 and the second member 14 for convenience in this specification. The incident angle and the exit angle are taken as the inside. Further, the desired spectral characteristic is to demultiplex a predetermined combined light beam, reflect a light beam in a certain predetermined wavelength band and combine a light beam in another predetermined wavelength band to combine the predetermined demultiplexed light beam. It is determined to be transparent.

光学多層膜は、スパッタ法等の真空中成膜法で成膜されることが好ましい。   The optical multilayer film is preferably formed by a vacuum film formation method such as sputtering.

光学多層膜は、可溶性の基板面上に光学多層膜を成膜し、その後基板を溶解して作製しても良いし、ガラス基板面上にアルミニウム等の可溶性物質の薄膜を成膜し、その可溶性物質薄膜面上に光学多層膜を成膜し、その後可溶性物質薄膜を溶解して光学多層膜を剥離することによって作製しても良い。   The optical multilayer film may be formed by forming an optical multilayer film on a soluble substrate surface and then dissolving the substrate, or forming a thin film of a soluble material such as aluminum on the glass substrate surface. An optical multilayer film may be formed on the surface of the soluble material thin film, and then the soluble material thin film is dissolved and the optical multilayer film is peeled off.

光学多層膜は、例えば以下のようにして作製される。
(1)ガラス基板を用意する。このガラス基板は少なくとも膜形成面が研磨されている。
(2)ガラス基板面上にアルミニウム膜を膜厚50nm形成する。
(3)アルミニウム膜が形成されたガラス基板をスパッタ装置にセットし、所定基板温度、圧力条件下で、ターゲットをスパッタすることにより高屈折率膜と低屈折率膜の交互層を成膜する。
(4)所定の層数の成膜が終了したら、ガラス基板を冷却後、スパッタ装置の真空槽内を大気圧に戻し、ガラス基板を取り出す。この後、図1に示すような所望の寸法、形状の光学多層膜21、22を得る為に、ダイシングソーにより膜面にガラス基板の中にまで届く深さの切り込みを入れて膜を区分する。
(5)ガラス基板を10重量%のNaOH水溶液に浸漬し、アルミニウム膜を溶解し、光学多層膜をガラス基板から剥離する。
The optical multilayer film is produced, for example, as follows.
(1) A glass substrate is prepared. This glass substrate has at least a film forming surface polished.
(2) An aluminum film having a thickness of 50 nm is formed on the glass substrate surface.
(3) A glass substrate on which an aluminum film is formed is set in a sputtering apparatus, and an alternating layer of a high refractive index film and a low refractive index film is formed by sputtering a target under predetermined substrate temperature and pressure conditions.
(4) When film formation of a predetermined number of layers is completed, the glass substrate is cooled, the inside of the vacuum chamber of the sputtering apparatus is returned to atmospheric pressure, and the glass substrate is taken out. Thereafter, in order to obtain the optical multilayer films 21 and 22 having desired dimensions and shapes as shown in FIG. 1, the film surface is divided by cutting the film surface into the glass substrate with a dicing saw. .
(5) The glass substrate is immersed in a 10% by weight NaOH aqueous solution, the aluminum film is dissolved, and the optical multilayer film is peeled from the glass substrate.

このようにして基板を持たない矩形状の光学多層膜21、22が作製される。   In this way, rectangular optical multilayer films 21 and 22 having no substrate are produced.

ここで光学多層膜21と光学多層膜22とは、透過する波長帯域も、反射する波長帯域も共に異なるように膜構成されているので、光学多層膜21、22を作製するために光学多層膜を2度成膜することが必要である。   Here, since the optical multilayer film 21 and the optical multilayer film 22 are configured to have different wavelength bands for transmission and reflection, both the optical multilayer film 21 and the optical multilayer film 22 are manufactured in order to produce the optical multilayer films 21 and 22. It is necessary to form a film twice.

第1部材13と第2部材14は光学多層膜21、22が挟み込まれる部材である。   The first member 13 and the second member 14 are members in which the optical multilayer films 21 and 22 are sandwiched.

第1部材13の材料としては、BK7等の光学ガラスが好ましい。第1部材13の材料としては使用光に対して透明であれば光学ガラス以外の合成樹脂等でも良い。第1部材13は、図1に示すように、側面と底面と上面とを具え、側面が、底面または上面に垂直な多角柱形状であり、側面には互いに所定角度をなす平面部15と、第2入射出平面2と、第1入射出平面3とを具えている。平面部15と第1入射出平面3とは角βを、第1入射出平面3と第2入射出平面2とは角αをなす。   As the material of the first member 13, optical glass such as BK7 is preferable. The first member 13 may be made of synthetic resin other than optical glass as long as it is transparent to the light used. As shown in FIG. 1, the first member 13 includes a side surface, a bottom surface, and a top surface, and the side surface has a polygonal column shape perpendicular to the bottom surface or the top surface, and the side surface has a plane portion 15 that forms a predetermined angle with each other; A second entrance / exit plane 2 and a first entrance / exit plane 3 are provided. The plane portion 15 and the first incident / exit plane 3 form an angle β, and the first incident / exit plane 3 and the second incident / exit plane 2 form an angle α.

第2部材14の材料は、第1部材13と同様に選定され、好ましくは第1部材13と屈折率が同じ材料が、より好ましくは同一の材料が用いられる。第1部材13と第2部材14の屈折率が異なる場合、双方の材料の屈折率分散を等しくすることが好ましい。第2部材14は、平行板形状であり、平面部16と、平面部16と所定距離を隔てて平行な反射平面4とを具える。該所定距離は、光学フィルタユニット30を射出する分波光線11の所定間隔に基づいて決められる。第1反射平面4は、第2部材14の内部から第1反射平面4に向かう合波光線の波長帯域を含む入射光線の全ての波長帯域の光線を反射するように構成され、全反射面、金膜等の金属膜反射面、または誘電体多層膜反射面の何れでも良い。   The material of the second member 14 is selected in the same manner as the first member 13, preferably a material having the same refractive index as that of the first member 13, more preferably the same material. When the refractive index of the 1st member 13 and the 2nd member 14 differs, it is preferable to make refractive index dispersion | distribution of both materials equal. The second member 14 has a parallel plate shape, and includes a plane portion 16 and a reflection plane 4 parallel to the plane portion 16 with a predetermined distance therebetween. The predetermined distance is determined based on a predetermined interval of the demultiplexed light beam 11 exiting the optical filter unit 30. The first reflection plane 4 is configured to reflect light in all wavelength bands of incident light including the wavelength band of combined light from the inside of the second member 14 toward the first reflection plane 4, Either a metal film reflecting surface such as a gold film or a dielectric multilayer reflecting surface may be used.

光学多層膜21、22は、第1部材13の平面部15と、第2部材14の平面部16との間で各々接着剤層17と接着剤層18とで接着されている。即ち、光学多層膜21、22は、平面部15と平面部15に対向させた平面部16との間で、互いに隣接してまたは狭い間隙を空けて第1部材13の底面と平面部15との交線方向、即ち図1に於けるx軸方向に配列され、光学多層膜21、22の上面は接着剤層17を介して平面部15に平行に接合され、光学多層膜21、22の下面は接着剤層18を介して平面部16に平行に接合されている。   The optical multilayer films 21 and 22 are bonded by the adhesive layer 17 and the adhesive layer 18 between the flat portion 15 of the first member 13 and the flat portion 16 of the second member 14, respectively. That is, the optical multilayer films 21 and 22 are formed between the bottom surface of the first member 13 and the planar portion 15 with a narrow gap between the planar portion 15 and the planar portion 16 opposed to the planar portion 15. 1, that is, in the x-axis direction in FIG. 1, the upper surfaces of the optical multilayer films 21 and 22 are bonded in parallel to the flat portion 15 via the adhesive layer 17, and the optical multilayer films 21 and 22 are The lower surface is bonded in parallel to the flat portion 16 via the adhesive layer 18.

ここで、接着剤層17、18の材料としてはエポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂や紫外線硬化性樹脂等を用いることができる。光学多層膜21、22を第1部材13の平面部15、第2部材14の平面部16に接合することができ、使用光に対して透明であれば特に限定されないが、第1部材13または第2部材14の屈折率に近いことが好ましい。また、必要に応じて光学多層膜21、22を接着剤を用いないで直接平面部15、16にオプティカルコンタクトで接合しても良い。   Here, as the material of the adhesive layers 17 and 18, a thermosetting resin such as an epoxy resin, an ultraviolet curable resin, or the like can be used. The optical multilayer films 21 and 22 can be bonded to the flat portion 15 of the first member 13 and the flat portion 16 of the second member 14 and are not particularly limited as long as they are transparent to the light used. It is preferable that the refractive index of the second member 14 is close. If necessary, the optical multilayer films 21 and 22 may be directly joined to the flat portions 15 and 16 by optical contact without using an adhesive.

以上のように光学多層膜21、22を第1部材13の平面部15と第2部材14の平面部16との間で各々の面に接着剤層17と接着剤層18とで接着することによって光学フィルタユニット30が作製される。作製された光学フィルタユニット30は、図1に示すように、光学多層膜21、22の一方の面側に、膜面10に平行な第1反射面4を有する第2部材14と、他方の面側に、膜面10と角βをなす第1入射出平面3、及び第1入射出平面3と角αをなす第2入射出平面2を有する第1部材13とを具える。   As described above, the optical multilayer films 21 and 22 are bonded to the respective surfaces between the flat portion 15 of the first member 13 and the flat portion 16 of the second member 14 with the adhesive layer 17 and the adhesive layer 18. Thus, the optical filter unit 30 is manufactured. As shown in FIG. 1, the manufactured optical filter unit 30 includes a second member 14 having a first reflecting surface 4 parallel to the film surface 10 on one surface side of the optical multilayer films 21 and 22, and the other member. On the surface side, a first incident / exit plane 3 forming an angle β with the film surface 10 and a first member 13 having a first incident / exit plane 3 forming an angle α with the first incident / exit plane 3 are provided.

ここで、図1にて、光学フィルタユニット30の角αと角βは、第2入射出平面2に垂直に光学フィルタユニット30に入射した光線が第1反射平面4で反射し、光学多層膜21、22を透過して第1入射出平面3に垂直に射出するように、またそれとは逆に、第1入射出平面3に垂直に光学フィルタユニット30に入射した光線が光学多層膜21、22を透過して第1反射平面4で反射し、第2入射出平面2に垂直に射出するように決められている。   Here, in FIG. 1, the angle α and the angle β of the optical filter unit 30 indicate that the light incident on the optical filter unit 30 perpendicular to the second incident / exit plane 2 is reflected by the first reflecting plane 4, 21 and 22 so that the light incident on the optical filter unit 30 perpendicularly to the first entrance / exit plane 3 is incident on the optical multilayer film 21 so as to be emitted perpendicularly to the first entrance / exit plane 3. 22 is reflected so as to be reflected by the first reflection plane 4 and emitted perpendicularly to the second incident / exit plane 2.

一般に、隣接する部材間で屈折率が異なるときに、境界を越えて進む光線は屈折する。   In general, when the refractive index is different between adjacent members, the light beam traveling beyond the boundary is refracted.

本実施形態の光学フィルタモジュール100を構成する光学フィルタユニット30では、異なる波長帯域の光線が異なる屈折角で屈折することによって生じる悪影響を無くするために、屈折が生じないように第1部材13と第2部材14を等しい屈折率の材料で構成することが好ましく、同一部材で構成することがより好ましい。この場合には、角βは光学多層膜21、22への入射角θに等しく、且つ角αはπ−2θに等しく構成される。第1部材13と第2部材14の屈折率が異なる場合には、屈折が生じても屈折角を異なる波長帯域間で互いに等しくする為に、第1部材13と第2部材14を屈折率分散が互いに等しい材料で構成することが好ましい。   In the optical filter unit 30 constituting the optical filter module 100 of the present embodiment, the first member 13 and the first member 13 are prevented from being refracted in order to eliminate the adverse effect caused by the light beams having different wavelength bands being refracted at different refraction angles. The second member 14 is preferably made of a material having the same refractive index, and more preferably made of the same member. In this case, the angle β is equal to the incident angle θ to the optical multilayer films 21 and 22, and the angle α is equal to π−2θ. When the first member 13 and the second member 14 have different refractive indexes, even if refraction occurs, the first member 13 and the second member 14 are dispersed in refractive index so that the refraction angles are equal to each other between different wavelength bands. Are preferably made of the same material.

図3に、光学フィルタユニット30を構成する光学多層膜21、22の分光透過特性と分光反射特性と、対象とする分波光線W1、W2、W3のスペクトルとを示す。尚、光学多層膜21、22のカットオフ波長の相互の違いを理解し易くするために、分光透過特性と分光反射特性の相対光強度の高さを相互にずらしており、この高さの違いは発明の本質とは無関係である。   FIG. 3 shows the spectral transmission characteristics and spectral reflection characteristics of the optical multilayer films 21 and 22 constituting the optical filter unit 30, and the spectra of the target demultiplexed light beams W1, W2, and W3. In order to make it easier to understand the difference between the cutoff wavelengths of the optical multilayer films 21 and 22, the relative light intensity levels of the spectral transmission characteristics and the spectral reflection characteristics are shifted from each other. Is irrelevant to the essence of the invention.

図3、図1にて、光学フィルタユニット30を構成する光学多層膜21は、入射光線を入射角θで入射し、分光反射特性R1で示される波長帯域の光線を反射角θで反射して分光透過特性T1で示される波長帯域の光線を所定の射出角で透過する。尚、前に述べたように本実施形態中で、図1に示すように、前記入射角を第2部材14中の角度θで定義する。同様に、光学多層膜22は、入射光線を入射角θで入射し、波長帯域R2の光線を反射角θで反射して波長帯域T2の光線を所定の射出角で透過するように構成されている。ここで、反射光が顕著な波長帯域から透過光が顕著な波長帯域に移り変わる波長をカットオフ波長と呼ぶ。光学多層膜21、22は、そのカットオフ波長を各々Λ1、Λ2とすると、Λ1<Λ2となるように構成されている。   3 and 1, the optical multilayer film 21 constituting the optical filter unit 30 receives incident light at an incident angle θ and reflects light in the wavelength band indicated by the spectral reflection characteristic R1 at a reflection angle θ. Light in the wavelength band indicated by the spectral transmission characteristic T1 is transmitted at a predetermined emission angle. As described above, in the present embodiment, as shown in FIG. 1, the incident angle is defined as an angle θ in the second member 14. Similarly, the optical multilayer film 22 is configured such that incident light is incident at an incident angle θ, the light in the wavelength band R2 is reflected at the reflection angle θ, and the light in the wavelength band T2 is transmitted at a predetermined emission angle. Yes. Here, the wavelength at which the reflected light shifts from the wavelength band in which the reflected light is remarkable to the wavelength band in which the transmitted light is significant is called a cutoff wavelength. The optical multilayer films 21 and 22 are configured such that Λ1 <Λ2 when the cutoff wavelengths are Λ1 and Λ2, respectively.

また、分波光線W1、W2、W3の主波長を、各々λ1、λ2、λ3とすると、光学多層膜21、22は、λ1<Λ1<λ2<Λ2<λ3の関係が成り立つように構成されている。   Further, assuming that the principal wavelengths of the demultiplexed rays W1, W2, and W3 are λ1, λ2, and λ3, respectively, the optical multilayer films 21 and 22 are configured to satisfy the relationship of λ1 <Λ1 <λ2 <Λ2 <λ3. Yes.

更に、光学フィルタユニット30は以下のように構成されている。主波長λ1の光線W1と主波長λ2の光線W2と主波長λ3の光線W3とを含む合波光線W1+W2+W3が第2入射出平面2上の第2所定位置23から面に垂直に入射すると、合波光線は、第1部材13と第2部材14とを経由して第1反射平面4で反射して光学多層膜21に入射角θで入射し、透過した分波光線W1を第1部材13を経由して第1入射出平面3上の第1所定位置24から面に垂直に射出する。更に光学多層膜21で反射した残りの光線W2+W3を第1反射平面4で反射して光学多層膜22に入射角θで入射し、透過した分波光線W2を第1部材13を経由して第1入射出平面3上の第1所定位置25から面に垂直に射出する。更に光学多層膜22で反射した分波光線W3は第1反射平面4で反射して第2部材14、第1部材13を経由して第1入射出平面3上の第1所定位置26から面に垂直に射出する。それとは逆に、互いに平行で光線間の間隔が所定間隔27の分波光線W1、W2、W3が各々第1入射出平面3上の第1所定位置24、25、26から面に垂直に光学フィルタユニット30に入射すると、これらを合波した合波光線W1+W2+W3が第2部材14と第1部材13を経由して第2入射出平面2上の第2所定位置23から面に垂直に射出する。尚、第1所定位置24、25、26と第2所定位置23とは第1部材13の底面または上面に平行な一平面上に設けられ、且つ第1所定位置24、25、26は等間隔且つ所定間隔27に設けられる。また、第1所定位置24、25、26で入射または射出する分波光線と、第2所定位置23で入射または射出する合波光線とは互いにπ−αの角度をなす。この角π−αは第1部材13と第2部材14の屈折率が等しいときには入射角θの2倍になる。   Furthermore, the optical filter unit 30 is configured as follows. When a combined light beam W1 + W2 + W3 including a light beam W1 having a main wavelength λ1, a light beam W2 having a main wavelength λ2, and a light beam W3 having a main wavelength λ3 is perpendicularly incident on the surface from the second predetermined position 23 on the second incident / exit plane 2, The wave beam is reflected by the first reflection plane 4 via the first member 13 and the second member 14, enters the optical multilayer film 21 at the incident angle θ, and transmits the transmitted demultiplexed beam W 1. The light exits from the first predetermined position 24 on the first incident / exit plane 3 perpendicularly to the surface. Further, the remaining light beam W2 + W3 reflected by the optical multilayer film 21 is reflected by the first reflection plane 4 and incident on the optical multilayer film 22 at an incident angle θ, and the transmitted demultiplexed light beam W2 passes through the first member 13 to the first. The light exits perpendicularly to the surface from the first predetermined position 25 on the one entrance / exit plane 3. Further, the demultiplexed light beam W 3 reflected by the optical multilayer film 22 is reflected by the first reflection plane 4, passes through the second member 14 and the first member 13, and is surfaced from the first predetermined position 26 on the first incident / exit plane 3. Injected perpendicularly to On the contrary, the demultiplexed light beams W1, W2, and W3, which are parallel to each other and whose distance between the light beams is a predetermined distance 27, are optically perpendicular to the surface from the first predetermined positions 24, 25, and 26 on the first incident / exit plane 3, respectively. When entering the filter unit 30, a combined beam W 1 + W 2 + W 3 that combines them is emitted from the second predetermined position 23 on the second incident / exit plane 2 perpendicularly to the surface via the second member 14 and the first member 13. . The first predetermined positions 24, 25, and 26 and the second predetermined position 23 are provided on one plane parallel to the bottom surface or the upper surface of the first member 13, and the first predetermined positions 24, 25, and 26 are equally spaced. In addition, it is provided at a predetermined interval 27. Further, the demultiplexed light beam that enters or exits at the first predetermined position 24, 25, 26 and the combined light beam that enters or exits at the second predetermined position 23 form an angle of π−α. This angle π-α is twice the incident angle θ when the refractive indexes of the first member 13 and the second member 14 are equal.

図1にて、本実施形態の光学フィルタモジュール100を構成する光ファイバユニット40は、第1コリメータレンズ6と第2コリメータレンズ7と第1光ファイバ8と第2光ファイバ9とこれらコリメータレンズ6、7と光ファイバ8、9とが配設されて固定される結合部材19とから構成される。   In FIG. 1, an optical fiber unit 40 constituting the optical filter module 100 of the present embodiment includes a first collimator lens 6, a second collimator lens 7, a first optical fiber 8, a second optical fiber 9, and these collimator lenses 6. , 7 and optical fibers 8 and 9 are disposed and fixed to a coupling member 19.

結合部材19は、各構成要素が以下のように機能するように、相互に位置決めされた各構成要素を配設して固定する。   The coupling member 19 arranges and fixes the components positioned relative to each other so that the components function as follows.

第2光ファイバ9は、合波光線を伝送して第2コリメータレンズ7に向けて射出し、それとは逆に第2コリメートレンズ7から入射する合波光線を伝送するように構成される。   The second optical fiber 9 is configured to transmit the combined light beam and emit it toward the second collimator lens 7, and conversely, transmit the combined light beam incident from the second collimator lens 7.

第2コリメータレンズ7は、第2光ファイバ9を射出する合波光線を入射して平行光束にし、所定方向に射出し、それとは逆に合波光線を所定方向から入射して第2光ファイバ9のコアに向けて集光するように構成される。   The second collimator lens 7 enters the combined light beam emitted from the second optical fiber 9 into a parallel light beam, emits it in a predetermined direction, and conversely, enters the combined light beam from the predetermined direction and enters the second optical fiber. It is comprised so that it may condense toward 9 cores.

第1光ファイバ8は、分波光線を伝送して第1コリメータレンズ6に向けて射出し、それとは逆に第1コリメートレンズ6から入射する分波光線を伝送するように構成される。   The first optical fiber 8 is configured to transmit a demultiplexed light beam and emit it toward the first collimator lens 6, and conversely, to transmit a demultiplexed light beam incident from the first collimator lens 6.

第1コリメータレンズ6は、第1光ファイバ8を射出する分波光線を入射して平行光束にし、所定方向に射出し、それとは逆に分波光線を所定方向から入射して第1光ファイバ8のコアに向けて集光するように構成される。   The first collimator lens 6 enters the demultiplexed light beam emitted from the first optical fiber 8 into a parallel light beam, emits it in a predetermined direction, and conversely, enters the demultiplexed light beam from the predetermined direction, and enters the first optical fiber. It is configured to collect light toward the eight cores.

更に、第1コリメータレンズ6及び第1光ファイバ8は、互いに等間隔且つ所定間隔27で互いに平行な分波光線が入射出できるように結合部材19上に位置及び方向を調節して固定される。このために、第1コリメータレンズ6の光軸方向及び第1光ファイバ8の延伸方向つまりコア軸方向が共に入射または射出する分波光線方向と一致するように位置及び方向を調節して固定することが好ましい。更にまた、第2コリメータレンズ7及び第2光ファイバ9は、該分波光線と所定角度π−αをなす合波光線が入射出できるように、第1コリメータレンズ6及び第1光ファイバ8から所定距離に位置及び方向を調節して固定される。このために、第2コリメータレンズ7の光軸方向及び第2光ファイバ9の延伸方向つまりコア軸方向が共に入射または射出する合波光線方向と一致し、第1コリメータレンズ6の光軸方向及び第1光ファイバ8の延伸方向と所定角度π−αをなすように位置及び方向を調節して固定されることが好ましい。尚、第1コリメータレンズ6と第2コリメータレンズ7の各々の光軸は同一平面上に配置される。尚、光ファイバユニット40の第1コリメータレンズ6で入射または射出する分波光線と第2コリメータレンズ7で入射または射出する合波光線とは同一平面上にあるよう構成されている。   Further, the first collimator lens 6 and the first optical fiber 8 are fixed on the coupling member 19 by adjusting their positions and directions so that demultiplexed light beams that are parallel to each other at regular intervals 27 can enter and exit. . For this purpose, the position and direction are adjusted and fixed so that the optical axis direction of the first collimator lens 6 and the extending direction of the first optical fiber 8, that is, the core axis direction, coincide with the direction of the incident light beam. It is preferable. Furthermore, the second collimator lens 7 and the second optical fiber 9 are separated from the first collimator lens 6 and the first optical fiber 8 so that a combined light beam that forms a predetermined angle π-α with the demultiplexed light beam can enter and exit. The position and direction are adjusted and fixed at a predetermined distance. For this reason, the optical axis direction of the second collimator lens 7 and the extending direction of the second optical fiber 9, that is, the core axis direction coincide with the direction of the combined light beam that enters or exits, and the optical axis direction of the first collimator lens 6 and It is preferable that the position and direction are adjusted and fixed so as to form a predetermined angle π-α with the extending direction of the first optical fiber 8. The optical axes of the first collimator lens 6 and the second collimator lens 7 are arranged on the same plane. The demultiplexed light beam incident or emitted by the first collimator lens 6 of the optical fiber unit 40 and the combined light beam incident or emitted by the second collimator lens 7 are configured to be on the same plane.

以上のようにして本実施形態の光学フィルタモジュール100を構成する光ファイバユニット40が作製される。   The optical fiber unit 40 which comprises the optical filter module 100 of this embodiment is produced as mentioned above.

以上のように本実施形態の光学フィルタモジュール100を構成する光学フィルタユニット30と光ファイバユニット40とが作製された後、図1にて、光学フィルタユニット30と光ファイバユニット40とは、以下に説明するようにして相互に位置決めして不図示の結合部材で固定される。   After the optical filter unit 30 and the optical fiber unit 40 constituting the optical filter module 100 of the present embodiment are manufactured as described above, the optical filter unit 30 and the optical fiber unit 40 in FIG. As described, they are positioned with respect to each other and fixed with a coupling member (not shown).

即ち、光ファイバユニット40の第1コリメータレンズ6から分波光線11を射出させて、この分波光線11を光学フィルタユニット30の第1入射出平面3上の第1所定位置24〜26から面に垂直に入射させる。この状態では分波光線11を合波した合波光線12が光学フィルタユニット30の第2入射出平面2上の第2所定位置23から面に垂直に射出されるように光学フィルタユニット30は構成されていた。射出する合波光線12は入射する分波光線11と非平行であるので、合波光線12上の位置と第2入射出平面2との距離に応じて合波光線12と分波光線11との距離は変化する。そこで、分波光線11を第1入射出平面3面上の第1所定位置24〜26から面に垂直に入射させつつ合波光線12を第2入射出平面2面上の第2所定位置23から面に垂直に射出させた状態で、光学フィルタユニット30と光ファイバユニット40との相互距離を調節して、合波光線12が、分波光線11が射出した第1コリメータレンズ6から所定距離にある第2コリメータレンズ7に正しく入射するようにする。この状態で光ファイバユニット40と光学フィルタユニット30とは不図示の結合部材で固定される。尚、本実施形態の光学フィルタモジュール100に於いては、図1に示すように、分波光線11と合波光線12とは共にxy平面上にある。   That is, the demultiplexed light beam 11 is emitted from the first collimator lens 6 of the optical fiber unit 40, and the demultiplexed light beam 11 is surfaced from the first predetermined positions 24 to 26 on the first incident / exit plane 3 of the optical filter unit 30. Incident perpendicularly. In this state, the optical filter unit 30 is configured such that the combined light beam 12 obtained by combining the demultiplexed light beam 11 is emitted perpendicularly to the surface from the second predetermined position 23 on the second incident / exit plane 2 of the optical filter unit 30. It had been. Since the combined light beam 12 to be emitted is not parallel to the incident demultiplexed light beam 11, the combined light beam 12, the demultiplexed light beam 11, and the like are determined according to the distance between the position on the combined light beam 12 and the second incident / exit plane 2. The distance of changes. Therefore, the demultiplexed light beam 11 is incident perpendicularly to the surface from the first predetermined positions 24 to 26 on the first incident / exit plane 3 surface, and the combined light beam 12 is input to the second predetermined position 23 on the second incident / exit plane surface 2. From the first collimator lens 6 from which the demultiplexed light beam 11 is emitted, the mutual distance between the optical filter unit 30 and the optical fiber unit 40 is adjusted. So as to correctly enter the second collimator lens 7. In this state, the optical fiber unit 40 and the optical filter unit 30 are fixed by a coupling member (not shown). In the optical filter module 100 of this embodiment, as shown in FIG. 1, both the demultiplexed light beam 11 and the combined light beam 12 are on the xy plane.

以上のようにして本実施形態の光学フィルタモジュール100が作製される。   The optical filter module 100 of this embodiment is produced as described above.

本実施形態の光学フィルタモジュール100は、光ファイバユニット40を伝送してきて射出する分波光線11を光学フィルタユニット30に入射して合波し、合波光線12を射出して光ファイバユニットに入射して伝送する。またそれとは逆に、光学フィルタモジュール100は、光ファイバユニット40を伝送してきて射出する合波光線12を光学フィルタユニット30に入射して分波し、分波光線11を射出して光ファイバユニット40に伝送のために入射する。   The optical filter module 100 according to the present embodiment transmits the demultiplexed light beam 11 that has been transmitted through the optical fiber unit 40 and emitted to the optical filter unit 30 to be combined, and emitted the combined light beam 12 to be incident on the optical fiber unit. Then transmit. On the other hand, the optical filter module 100 transmits the multiplexed light beam 12 transmitted through the optical fiber unit 40 and splits it, enters the optical filter unit 30, splits it, and emits the split light beam 11 to output the optical fiber unit. 40 is incident for transmission.

本実施形態の光学フィルタモジュール100に於いては、合波光線12は光学フィルタユニット30の第2入射出平面2へ垂直に入射するので、第2入射出平面2で屈折せず、従って、屈折率分散の影響を受けないので、光学多層膜21、22に入射する合波光線の入射角度が光波長によって異なる問題が生じない。従って、光学多層膜21、22に設計とは異なる入射角で光が入射することによって分波特性が劣化する問題がない。または、光学多層膜21、22を波長によって異なる入射角で設計する必要がない。更に、分波光線11は等間隔で光学フィルタユニット30を射出するので、第1光ファイバ8を不等間隔に調節しながら結合部材19上で配設する作業が不要である。また、分波光線11は第1入射出平面3に垂直に入射するので、第1入射出平面3で屈折せず、従って、屈折率分散の影響を受けないので、光学多層膜21、22に入射する分波光線の入射角度が光波長によって異なる問題が生じない。従って、光学多層膜21、22に設計とは異なる入射角で入射角で光が入射することによって合波特性が劣化する問題がない。または、光学多層膜21、22を波長によって異なる入射角で設計する必要がない。更に、合波光線12が1本になって光学フィルタユニット30を射出するので、第2光ファイバ9へ入射する合波光線の拡がりのために結合効率が低下することがない。   In the optical filter module 100 of the present embodiment, the combined light beam 12 is perpendicularly incident on the second entrance / exit plane 2 of the optical filter unit 30 and therefore is not refracted at the second entrance / exit plane 2, and thus is refracted. Since there is no influence of the rate dispersion, there is no problem that the incident angle of the combined beam incident on the optical multilayer films 21 and 22 varies depending on the light wavelength. Therefore, there is no problem that the demultiplexing characteristics are deteriorated when light enters the optical multilayer films 21 and 22 at an incident angle different from the design. Alternatively, it is not necessary to design the optical multilayer films 21 and 22 at different incident angles depending on the wavelength. Further, since the demultiplexed light beams 11 are emitted from the optical filter unit 30 at equal intervals, it is not necessary to arrange the first optical fibers 8 on the coupling member 19 while adjusting the first optical fibers 8 at unequal intervals. Further, since the demultiplexed light beam 11 is perpendicularly incident on the first incident / exit plane 3, it is not refracted by the first incident / exit plane 3, and thus is not affected by the refractive index dispersion. There is no problem that the incident angle of the incident demultiplexed light beam varies depending on the light wavelength. Therefore, there is no problem that the multiplexing characteristics are deteriorated when light is incident on the optical multilayer films 21 and 22 at an incident angle different from the designed angle. Alternatively, it is not necessary to design the optical multilayer films 21 and 22 at different incident angles depending on the wavelength. Furthermore, since the combined light beam 12 becomes one and exits from the optical filter unit 30, the coupling efficiency does not decrease due to the spread of the combined light beam incident on the second optical fiber 9.

また、本実施形態の光学フィルタモジュール100は、光ファイバユニット40から射出する異なる波長帯域の複数の光線を光学フィルタユニット30の同一の第1入射出平面3の異なる複数の所定位置に垂直に入射させ、光ファイバユニット40と光学フィルタユニット30との相互距離を調節するだけで第2入射出平面2から射出する合波光線11を光ファイバユニット40の所定位置に入射させることができるので、製造に当たって調節作業が容易である。   Further, the optical filter module 100 of the present embodiment vertically enters a plurality of light beams of different wavelength bands emitted from the optical fiber unit 40 at a plurality of different predetermined positions on the same first incident / exit plane 3 of the optical filter unit 30. The combined light beam 11 emitted from the second incident / exit plane 2 can be made incident on a predetermined position of the optical fiber unit 40 only by adjusting the mutual distance between the optical fiber unit 40 and the optical filter unit 30. The adjustment work is easy.

更に本実施形態の光学フィルタモジュール100に於いては、基板を持たない光学多層膜21、22を第1部材13と第2部材14の各平面部に沿わせて接合しているので、膜応力が小さく、第2部材14と第1部材13の厚みを薄くしても光学多層膜21、22の膜面の撓みを小さくすることができる。そのため射出する合波光線と分波光線の波面の狂いを少なくすることができるので、合波光線と分波光線が入射する光ファイバへの結合効率が高く、また、コンパクト化が容易である。
[第2実施形態]
図2は本実施形態の光学フィルタモジュールの断面を示す概要図である。尚、第1実施形態の光学フィルタモジュールの構成要素に対応する機能の構成要素については同一符号を付し、重複する説明は省略する。
Furthermore, in the optical filter module 100 of the present embodiment, the optical multilayer films 21 and 22 having no substrate are joined along the flat portions of the first member 13 and the second member 14, so that the film stress Even if the thickness of the second member 14 and the first member 13 is reduced, the deflection of the film surfaces of the optical multilayer films 21 and 22 can be reduced. For this reason, it is possible to reduce the deviation of the wave fronts of the combined light beam and the demultiplexed light beam, so that the coupling efficiency to the optical fiber into which the combined light beam and the demultiplexed light beam are incident is high, and the size reduction is easy.
[Second Embodiment]
FIG. 2 is a schematic view showing a cross section of the optical filter module of the present embodiment. In addition, the same code | symbol is attached | subjected about the component of the function corresponding to the component of the optical filter module of 1st Embodiment, and the overlapping description is abbreviate | omitted.

図2にて本実施形態の光学フィルタモジュール100は、光学フィルタユニット30と光ファイバユニット40とから構成される。   In FIG. 2, the optical filter module 100 of the present embodiment includes an optical filter unit 30 and an optical fiber unit 40.

本実施形態の光学フィルタモジュール100を構成する光学フィルタユニット30は、第1部材13と第2部材14と光学多層膜21、22とから構成される。   The optical filter unit 30 constituting the optical filter module 100 according to the present embodiment includes a first member 13, a second member 14, and optical multilayer films 21 and 22.

光学多層膜21、22は、第1実施形態のものと同じである。   The optical multilayer films 21 and 22 are the same as those in the first embodiment.

第1部材13の材料としては、BK7等の光学ガラスが好ましい。第1部材の材料としては使用光に対して透明であれば光学ガラス以外の合成樹脂等でも良い。第1部材13は、図2に示すように、側面と底面と上面とを具え、側面が、底面または上面に垂直な多角柱状であり、側面には互いに所定角度をなす平面部15と、入射出平面1と、第2反射平面5とを具えている。平面部15と入射出平面1とは角βを、入射出平面1と第2反射平面とは角αをなす。第2反射平面5は、入射出平面1から入射する合波光線の波長帯域を含む入射光線の全ての波長帯域の光を反射するように構成され、全反射面、金膜等の金属膜反射面、または誘電体多層膜反射面の何れでも良い。   As a material of the first member 13, optical glass such as BK7 is preferable. As a material of the first member, a synthetic resin other than optical glass may be used as long as it is transparent to the light used. As shown in FIG. 2, the first member 13 has a side surface, a bottom surface, and a top surface. The side surface has a polygonal column shape perpendicular to the bottom surface or the top surface. An emission plane 1 and a second reflection plane 5 are provided. The plane portion 15 and the incident / exit plane 1 form an angle β, and the incident / exit plane 1 and the second reflection plane form an angle α. The second reflection plane 5 is configured to reflect light in all the wavelength bands of the incident light including the wavelength band of the combined light incident from the incident / output plane 1, and reflects the metal film such as a total reflection surface and a gold film. Either a surface or a dielectric multilayer film reflecting surface may be used.

第2部材14の材料は、第1部材13と同様に選定され、好ましくは第1部材13と屈折率が同じ材料が、より好ましくは同一の材料が用いられる。第1部材13と第2部材14の屈折率が異なる場合、双方の材料の屈折率分散を等しくすることが好ましい。第2部材14は、平行板形状であり、平面部16と、平面部16と所定距離を隔てて平行な反射平面4とを具える。該所定距離は、光学フィルタユニット30を射出する分波光線11の所定間隔に基づいて決められる。第1反射平面4は、第2部材14の内部から第1反射平面4に向かう合波光線の波長帯域を含む入射光線の全ての波長帯域の光を反射するように構成され、全反射面、金膜等の金属膜反射面、または誘電体多層膜反射面の何れでも良い。また、第2部材14に、第1部材13の第2反射平面5と二者択一的に、第1反射平面5に垂直な第3反射平面28を更に設けても良い。   The material of the second member 14 is selected in the same manner as the first member 13, preferably a material having the same refractive index as that of the first member 13, more preferably the same material. When the refractive index of the 1st member 13 and the 2nd member 14 differs, it is preferable to make refractive index dispersion | distribution of both materials equal. The second member 14 has a parallel plate shape, and includes a plane portion 16 and a reflection plane 4 parallel to the plane portion 16 with a predetermined distance therebetween. The predetermined distance is determined based on a predetermined interval of the demultiplexed light beam 11 exiting the optical filter unit 30. The first reflection plane 4 is configured to reflect light in all the wavelength bands of incident light including the wavelength band of the combined light directed from the inside of the second member 14 toward the first reflection plane 4, Either a metal film reflecting surface such as a gold film or a dielectric multilayer reflecting surface may be used. Alternatively, the second member 14 may be further provided with a third reflection plane 28 perpendicular to the first reflection plane 5 as an alternative to the second reflection plane 5 of the first member 13.

光学多層膜21、22は、第1部材13の平面部15と、第2部材14の平面部16との間で各々接着剤層17と接着剤層18とで接着されている。即ち、光学多層膜21、22は、平面部15と平面部15に対向させた平面部16との間で、互いに隣接してまたは狭い間隙を空けて第1部材13の底面と平面部15との交線方向、即ち図2に於けるx軸方向に配列され、光学多層膜21、22の上面は接着剤層17を介して平面部15に平行に接合され、光学多層膜21、22の下面は接着剤層18を介して平面部16に平行に接合されている。尚、第2部材14に第3反射平面28を設けた場合には、第3反射平面28は第1部材13の底面または上面の法線方向に平行に接合される。   The optical multilayer films 21 and 22 are bonded by the adhesive layer 17 and the adhesive layer 18 between the flat portion 15 of the first member 13 and the flat portion 16 of the second member 14, respectively. That is, the optical multilayer films 21 and 22 are formed between the bottom surface of the first member 13 and the planar portion 15 with a narrow gap between the planar portion 15 and the planar portion 16 opposed to the planar portion 15. 2, that is, in the x-axis direction in FIG. 2, the upper surfaces of the optical multilayer films 21 and 22 are bonded in parallel to the planar portion 15 via the adhesive layer 17, and the optical multilayer films 21 and 22 are The lower surface is bonded in parallel to the flat portion 16 via the adhesive layer 18. When the third reflection plane 28 is provided on the second member 14, the third reflection plane 28 is joined in parallel to the normal direction of the bottom surface or the top surface of the first member 13.

ここで、接着剤層17、18に関しては第1実施形態のものと同じである。   Here, the adhesive layers 17 and 18 are the same as those in the first embodiment.

以上のように光学多層膜21、22を第1部材13の平面部15と第2部材14の平面部16との間で各々の面に接着剤層17と接着剤層18とで接着することによって光学フィルタユニット30が作製される。作製された光学フィルタユニット30は、図2に示すように、光学多層膜21、22の一方の面側に、膜面10に平行な第1反射面4を有する第2部材14を、他方の面側に、膜面と角βをなす入射出平面1、及び入射出平面1と角αをなす第2反射平面5を有する第1部材13とを具える。   As described above, the optical multilayer films 21 and 22 are bonded to the respective surfaces between the flat portion 15 of the first member 13 and the flat portion 16 of the second member 14 with the adhesive layer 17 and the adhesive layer 18. Thus, the optical filter unit 30 is manufactured. As shown in FIG. 2, the produced optical filter unit 30 includes a second member 14 having a first reflecting surface 4 parallel to the film surface 10 on one surface side of the optical multilayer films 21 and 22, and the other member. On the surface side, a first member 13 having an incident / exit plane 1 that forms an angle β with the film surface and a second reflection plane 5 that forms an angle α with the incident / exit plane 1 is provided.

ここで、図2にて、光学フィルタユニット30の角αと角βは、入射出平面1に垂直に光学フィルタユニット30に入射した光線が第2反射平面5と第1反射平面4とを順に反射し、光学多層膜21、22を透過して入射出平面1に垂直に射出するように、またそれとは逆に、入射出平面1に垂直に光学フィルタユニット30に入射した光線が光学多層膜21、22を透過して第1反射平面4と第2反射平面5とを順に反射し、入射出平面1に垂直に射出するように決められている。   Here, in FIG. 2, the angles α and β of the optical filter unit 30 indicate that the light rays incident on the optical filter unit 30 perpendicular to the incident / exit plane 1 pass through the second reflection plane 5 and the first reflection plane 4 in order. Reflected light passes through the optical multilayer films 21, 22 and exits perpendicularly to the incident / exit plane 1, and conversely, light rays incident on the optical filter unit 30 perpendicular to the incident / exit plane 1 are reflected in the optical multilayer film The first reflection plane 4 and the second reflection plane 5 are sequentially reflected through the light beams 21 and 22 and emitted perpendicularly to the incident / exit plane 1.

以上のように光線が入射または射出するために、第1反射平面4と第2反射平面5とは垂直にされる必要がある。   As described above, in order for light rays to enter or exit, the first reflection plane 4 and the second reflection plane 5 need to be vertical.

従って、本実施形態の光学フィルタモジュール100を構成する光学フィルタユニット3に於いては、第1部材13の角αと角βとの間でα+β=πの関係が成り立つように構成され、光学多層膜21、22の設計入射角θに依存して角βが決められる。例えば第1部材13と第2部材14の屈折率が等しい場合、β=θ、第1部材13の屈折率がn1で第2部材14の屈折率がn2の場合、β=sin−1{(n2/n1)sinθ}に構成される。 Accordingly, the optical filter unit 3 constituting the optical filter module 100 of the present embodiment is configured such that the relationship α + β = π is established between the angle α and the angle β of the first member 13, and the optical multilayer The angle β is determined depending on the designed incident angle θ of the films 21 and 22. For example, when the first member 13 and the second member 14 have the same refractive index, β = θ, and when the first member 13 has a refractive index n1 and the second member 14 has a refractive index n2, β = sin −1 {( n2 / n1) sin θ}.

本実施形態の光学フィルタモジュール100の光学フィルタユニット30を構成する光学多層膜21、22の分光透過特性と分光反射特性と、対象とする分波光線W1、W2、W3のスペクトルは、図3に示され、これらは第1実施形態の光学フィルタユニットが具えるものと同じであるので、繰り返して説明しない。   The spectral transmission characteristics and spectral reflection characteristics of the optical multilayer films 21 and 22 constituting the optical filter unit 30 of the optical filter module 100 of the present embodiment and the spectra of the target demultiplexed light beams W1, W2, and W3 are shown in FIG. These are the same as those provided in the optical filter unit of the first embodiment, and will not be described repeatedly.

光学フィルタユニット30は以下のように構成されている。主波長λ1の光線W1と主波長λ2の光線W2と主波長λ3の光線W3とを含む合波光線W1+W2+W3が入射出平面1上の第2所定位置23から面に垂直に入射すると、合波光線は、第2反射平面5と第1反射平面4とを反射しながら第1部材13と第2部材14を経由してして光学多層膜21に入射角θで入射し、透過した分波光線W1は第1部材13を経由して入射出平面1上の第1所定位置24から面に垂直に射出する。更に光学多層膜21で反射した残りの光線W2+W3は第1反射平面4で反射して光学多層膜22に入射角θで入射し、透過した分波光線W2を第1部材13を経由して入射出平面1上の第1所定位置25から面に垂直に射出する。更に光学多層膜22で反射した分波光線W3は第1反射平面4で反射して第2部材14、第1部材13を経由して入射出平面1上の第1所定位置26から面に垂直に射出する。それとは逆に、互いに平行で光線間の間隔が所定間隔27の分波光線W1、W2、W3が各々入射出平面1上の第1所定位置24、25、26から面に垂直に光学フィルタユニット30に入射すると、これらを合波した合波光線W1+W2+W3が第1反射平面4と第2反射平面5とを反射しながら第2部材14と第1部材13を経由して入射出平面1上の第2所定位置23から面に垂直に射出する。尚、第1所定位置24、25、26と第2所定位置23とは第1部材13の底面または上面に平行な一直線上に、且つ第1所定位置24、25、26は等間隔且つ第1所定間隔27に、尚且つ第2所定位置23と第1所定位置24の間隔は第2所定間隔29に決められる。また、第1所定位置24、25、26で入射または射出する分波光線と、第2所定位置23で入射または射出する合波光線とは同一平面上にあり互いに平行である。   The optical filter unit 30 is configured as follows. When a combined light beam W1 + W2 + W3 including a light beam W1 having a main wavelength λ1, a light beam W2 having a main wavelength λ2, and a light beam W3 having a main wavelength λ3 is incident perpendicularly to the surface from the second predetermined position 23 on the incident / exit plane 1, Is incident on the optical multilayer film 21 at an incident angle θ through the first member 13 and the second member 14 while being reflected by the second reflection plane 5 and the first reflection plane 4, and is transmitted. W1 exits perpendicularly to the surface from the first predetermined position 24 on the incident / exit plane 1 via the first member 13. Further, the remaining light beam W2 + W3 reflected by the optical multilayer film 21 is reflected by the first reflection plane 4 and enters the optical multilayer film 22 at an incident angle θ, and the transmitted demultiplexed light beam W2 enters through the first member 13. The light is ejected from the first predetermined position 25 on the ejection plane 1 perpendicular to the surface. Further, the demultiplexed light beam W 3 reflected by the optical multilayer film 22 is reflected by the first reflection plane 4, passes through the second member 14 and the first member 13, and is perpendicular to the surface from the first predetermined position 26 on the incident / exit plane 1. To ejaculate. On the contrary, the demultiplexed light beams W1, W2, and W3, which are parallel to each other and whose distance between the light beams is a predetermined distance 27, are optical filter units perpendicular to the surface from the first predetermined positions 24, 25, and 26 on the entrance / exit plane 1, respectively. When the light is incident on 30, the combined light beam W <b> 1 + W <b> 2 + W <b> 3 is reflected on the first reflection plane 4 and the second reflection plane 5 while passing through the second member 14 and the first member 13. The light is ejected from the second predetermined position 23 perpendicular to the surface. The first predetermined positions 24, 25, 26 and the second predetermined position 23 are on a straight line parallel to the bottom surface or the top surface of the first member 13, and the first predetermined positions 24, 25, 26 are equally spaced and the first The predetermined interval 27 and the interval between the second predetermined position 23 and the first predetermined position 24 are determined as a second predetermined interval 29. Further, the demultiplexed light beam that is incident or emitted at the first predetermined position 24, 25, or 26 and the combined light beam that is incident or emitted at the second predetermined position 23 are on the same plane and are parallel to each other.

図2にて、本実施形態の光学フィルタモジュール100を構成する光ファイバユニット40は、第1コリメータレンズ6と第2コリメータレンズ7と第1光ファイバ8と第2光ファイバ9とこれらコリメータレンズ6、7と光ファイバ8、9とが配設して固定される結合部材19とから構成される。   In FIG. 2, the optical fiber unit 40 constituting the optical filter module 100 of the present embodiment includes a first collimator lens 6, a second collimator lens 7, a first optical fiber 8, a second optical fiber 9, and these collimator lenses 6. , 7 and optical fibers 8 and 9 are disposed and fixed to a coupling member 19.

これら各構成要素、コリメータレンズ6、7、光ファイバ8、9、及び結合部材19の各機能は第1実施形態のものと同じであるので、繰り返して説明しない。   Since the functions of these components, the collimator lenses 6 and 7, the optical fibers 8 and 9, and the coupling member 19 are the same as those of the first embodiment, they will not be described repeatedly.

本実施形態の光学フィルタモジュール100を構成する光ファイバユニット40の結合部材19は、以下の点を除いて第1実施形態のものと同じであるので、機能が共通である部分の繰り返し説明を省略する。   Since the coupling member 19 of the optical fiber unit 40 constituting the optical filter module 100 of the present embodiment is the same as that of the first embodiment except for the following points, the repeated description of the parts having common functions is omitted. To do.

第1実施形態においては、結合部材19は、第2コリメータレンズで入射または射出する合波光線が第1コリメータレンズで入射または射出する分波光線と所定角度π−αをなすように第1コリメータレンズと第1光ファイバと第2コリメータレンズと第2光ファイバとの位置及び方向を調節して固定していた。これに対して本実施形態の光学フィルタモジュール100を構成する光ファイバユニット40の結合部材19は、第2コリメータレンズ7で入射または射出する合波光線が第1コリメータレンズ6で入射または射出する分波光線と同一平面上で平行に且つ第2所定間隔29をなして入射または射出できるように第1コリメータレンズ6と第1光ファイバ8と第2コリメータレンズ7と第2光ファイバ9との位置及び方向を調節して固定している。尚、本実施形態の光学フィルタモジュール100に於いては、図2に示すように、分波光線11と合波光線12とはxy平面上にある。   In the first embodiment, the coupling member 19 includes the first collimator so that the combined beam incident or emitted from the second collimator lens forms a predetermined angle π-α with the demultiplexed beam incident or emitted from the first collimator lens. The position, direction of the lens, the first optical fiber, the second collimator lens, and the second optical fiber are adjusted and fixed. On the other hand, the coupling member 19 of the optical fiber unit 40 constituting the optical filter module 100 of the present embodiment is the amount that the combined light beam incident or emitted by the second collimator lens 7 is incident or emitted by the first collimator lens 6. Positions of the first collimator lens 6, the first optical fiber 8, the second collimator lens 7, and the second optical fiber 9 so that they can enter or exit in parallel with the wave ray at a second predetermined interval 29. And the direction is adjusted and fixed. In the optical filter module 100 of the present embodiment, as shown in FIG. 2, the demultiplexed light beam 11 and the combined light beam 12 are on the xy plane.

以上のようにして本実施形態の光学フィルタモジュール100を構成する光ファイバユニット40が作製される。   The optical fiber unit 40 which comprises the optical filter module 100 of this embodiment is produced as mentioned above.

以上のように本実施形態の光学フィルタモジュール100を構成する光学フィルタユニット30と光ファイバユニット40とが作製された後、図2にて、光学フィルタユニット30と光ファイバユニット40とは、以下に説明するようにして相互に位置決めして不図示の結合部材で固定される。   After the optical filter unit 30 and the optical fiber unit 40 constituting the optical filter module 100 of the present embodiment are manufactured as described above, the optical filter unit 30 and the optical fiber unit 40 in FIG. As described, they are positioned with respect to each other and fixed with a coupling member (not shown).

即ち、光ファイバユニット40の第1コリメータレンズ6から分波光線11を射出させて、この分波光線11を光学フィルタユニット30の入射出平面1上の第1所定位置24〜26から面に垂直に入射させる。この状態では分波光線11を合波した合波光線12が光学フィルタユニット30の入射出平面1上の第2所定位置23から面に垂直に射出されるよう光学フィルタユニット30は構成されていた。第2所定位置23と第1所定位置24との間隔は第2所定間隔29に設けられており、第1コリメータレンズ6と第2コリメータレンズ7とは第2所定間隔29の分波光線11と合波光線12が各々入射または射出するように構成されているので、第2所定位置23を射出する合波光線12は第2コリメータレンズ7に正しく入射する。この状態で光ファイバユニット40と光学フィルタユニット30とは不図示の結合部材で固定される。   That is, the demultiplexed light beam 11 is emitted from the first collimator lens 6 of the optical fiber unit 40, and the demultiplexed light beam 11 is perpendicular to the surface from the first predetermined positions 24 to 26 on the incident / exit plane 1 of the optical filter unit 30. To enter. In this state, the optical filter unit 30 is configured such that the combined light beam 12 obtained by combining the demultiplexed light beam 11 is emitted perpendicularly to the surface from the second predetermined position 23 on the incident / exit plane 1 of the optical filter unit 30. . The interval between the second predetermined position 23 and the first predetermined position 24 is set at a second predetermined interval 29, and the first collimator lens 6 and the second collimator lens 7 are separated from the demultiplexed light beam 11 at the second predetermined interval 29. Since the combined light beam 12 is configured to enter or exit, the combined light beam 12 exiting the second predetermined position 23 is correctly incident on the second collimator lens 7. In this state, the optical fiber unit 40 and the optical filter unit 30 are fixed by a coupling member (not shown).

以上のようにして本実施形態の光学フィルタモジュール100が作製される
本実施形態の光学フィルタモジュール100は、光ファイバユニット40を伝送してきて射出する分波光線11を光学フィルタユニット30に入射して合波し、合波光線12を射出して光ファイバユニット30に入射して伝送する。またそれとは逆に、光学フィルタモジュール100は、光ファイバユニット40を伝送してきて射出する合波光線12を光学フィルタユニット30に入射して分波し、分波光線11を射出して光ファイバユニットに伝送のために入射する。
The optical filter module 100 of the present embodiment is manufactured as described above. The optical filter module 100 of the present embodiment transmits the demultiplexed light beam 11 transmitted through the optical fiber unit 40 and emitted to the optical filter unit 30. Then, the combined light beam 12 is emitted and incident on the optical fiber unit 30 for transmission. On the other hand, the optical filter module 100 transmits the multiplexed light beam 12 transmitted through the optical fiber unit 40 and splits it, enters the optical filter unit 30, splits it, and emits the split light beam 11 to output the optical fiber unit. Incident for transmission.

本実施形態の光学フィルタモジュール100は、第1実施形態の光学フィルタモジュール100と同様な作用効果を奏する他、光学フィルタユニット30は、異なる波長帯域の複数の分波光線11と複数の波長帯域を含む合波光線12が面に垂直に共通に入射または射出する同一の入射出平面1を具え、この同一の入射出平面1上の一直線上に第1所定位置24、25、26が所定間隔27で、第2所定位置23が第1所定位置24、25、26と第2所定間隔29で設けられており、異なる波長帯域の複数の分波光線11を各第1所定位置24、25、26から入射出平面1に垂直に入射させると、第2所定位置23から合波光線12を入射出平面1に垂直に射出するように構成されている。また、光ファイバユニット40は、同一平面上で互いに所定間隔27をなし且つ互いに平行な分波光線11を第1コリメータレンズ6から射出し、光ファイバユニット40から射出した分波光線11と第2所定間隔29をなし且つ互いに平行で分波光線11と同一平面上にある合波光線12を第2コリメータレンズ7に入射するよう構成されている。従って、光ファイバユニット40の第1コリメータレンズ6から射出する分波光線11が入射出平面1の第1所定位置24、25、26で入射出平面1に垂直に入射または射出するように光学フィルタユニット30と光ファイバユニット40とを入射出平面1方向に相互に移動するだけで、光学フィルタユニット30と光ファイバユニット40との相互距離に関係なく光学フィルタユニット30と光ファイバユニット40との間で分波光線11と合波光線12とを正確にやり取りできるように位置調節をすることができる。以上のように位置調節すれば、逆に、光ファイバユニット40の所定位置から合波光線12を射出させて光学フィルタユニット30の入射出面1の第2所定位置23に入射させた場合には、複数の分波光線11が第1所定位置24、25、26から射出し、光ファイバユニット40の所定位置に正確に入射することは論を待たない。   The optical filter module 100 of the present embodiment has the same effects as the optical filter module 100 of the first embodiment, and the optical filter unit 30 has a plurality of demultiplexed light beams 11 and a plurality of wavelength bands in different wavelength bands. The combined light beam 12 includes the same incident / exit plane 1 on which the incident / exit plane 12 is incident or exited in a direction perpendicular to the surface. The second predetermined position 23 is provided at a second predetermined interval 29 from the first predetermined position 24, 25, 26, and a plurality of demultiplexed light beams 11 having different wavelength bands are respectively supplied to the first predetermined positions 24, 25, 26. When the light is incident perpendicularly to the incident / exit plane 1, the combined light beam 12 is emitted perpendicularly to the incident / exit plane 1 from the second predetermined position 23. In addition, the optical fiber unit 40 emits the demultiplexed light beams 11 that are spaced apart from each other by a predetermined distance 27 on the same plane and are parallel to each other from the first collimator lens 6, and the demultiplexed light beams 11 emitted from the optical fiber unit 40 and the second demultiplexed light beams 11. A combined light beam 12 that is parallel to each other and is on the same plane as the demultiplexed light beam 11 is made incident on the second collimator lens 7. Accordingly, the optical filter is arranged so that the demultiplexed light beam 11 emitted from the first collimator lens 6 of the optical fiber unit 40 enters or exits the incident / emission plane 1 perpendicularly at the first predetermined positions 24, 25, and 26 of the incident / emission plane 1. By simply moving the unit 30 and the optical fiber unit 40 relative to each other in the direction of the entrance / exit plane 1, the optical filter unit 30 and the optical fiber unit 40 are not affected by the mutual distance between the optical filter unit 30 and the optical fiber unit 40. Thus, the position can be adjusted so that the demultiplexed light beam 11 and the combined light beam 12 can be exchanged accurately. If the position is adjusted as described above, conversely, when the combined light beam 12 is emitted from a predetermined position of the optical fiber unit 40 and is incident on the second predetermined position 23 of the incident / exit surface 1 of the optical filter unit 30, There is no doubt that the plurality of demultiplexed light beams 11 exit from the first predetermined positions 24, 25, and 26 and accurately enter the predetermined positions of the optical fiber unit 40.

以上のように本実施形態の光学フィルタモジュール100によれば、第1実施形態の光学フィルタモジュール100と同様な作用効果を奏する他、製造に際して、第1実施形態の光学フィルタモジュール10よりも調節が容易である。   As described above, according to the optical filter module 100 of the present embodiment, the same effects as those of the optical filter module 100 of the first embodiment can be obtained, and in addition, the manufacturing can be adjusted more than the optical filter module 10 of the first embodiment. Easy.

尚、以上の説明では合波光線12を第1部材13の第2反射平面5で反射させる例を説明したが、第2部材14の第3反射平面28で反射させても良い。   In the above description, the example in which the combined light beam 12 is reflected by the second reflection plane 5 of the first member 13 has been described, but may be reflected by the third reflection plane 28 of the second member 14.

以上第1、第2実施形態の光学フィルタモジュールの説明では、分波光線11が3本の場合を説明したが、分波光線11は2本、または4本以上何本であってもよい。   In the above description of the optical filter module of the first and second embodiments, the case where the number of demultiplexed light beams 11 is three has been described. However, the number of demultiplexed light beams 11 may be two, or any number of four or more.

また、以上第1、第2実施形態の光学フィルタモジュールでは光学多層膜を第1部材と第2部材との間に接合した例を説明したが、光学多層膜自体が所定の位置に所定の屈折率の媒質中に配置されさえすれば本構成に限られるものではなく、この他に第3部材や第4部材以上を用いても良い。また光学多層膜21、22は基板を持たないものに限らず、リソグラフィー法等を用いた成膜用基板付きのものであっても良い。この場合、第1部材13または第2部材14は光学多層膜の成膜用基板となる。   In the optical filter modules of the first and second embodiments, the example in which the optical multilayer film is bonded between the first member and the second member has been described. However, the optical multilayer film itself has a predetermined refraction at a predetermined position. The configuration is not limited to this configuration as long as it is arranged in the medium of the rate, and a third member, a fourth member or more may be used in addition to this. The optical multilayer films 21 and 22 are not limited to those having no substrate, but may be those having a film-forming substrate using a lithography method or the like. In this case, the first member 13 or the second member 14 is a substrate for forming an optical multilayer film.

また、入射出平面上の所定位置23、24、25、26は、点として説明したが、光学多層膜21、22の有効寸法に応じて許容範囲があることは言うまでもない。   Although the predetermined positions 23, 24, 25, and 26 on the incident / exit plane have been described as points, it goes without saying that there is an allowable range according to the effective dimensions of the optical multilayer films 21 and 22.

第1実施形態の光学フィルタモジュールを示す。The optical filter module of 1st Embodiment is shown. 第2実施形態の光学フィルタモジュールを示す。The optical filter module of 2nd Embodiment is shown. 第1、第2実施形態の光学フィルタモジュールの機能を説明する図である。It is a figure explaining the function of the optical filter module of 1st, 2nd embodiment. 従来の光学フィルタモジュールを示す。1 shows a conventional optical filter module.

符号の説明Explanation of symbols

1 入射出平面
2 第2入射出平面
3 第1入射出平面
4 第1反射平面
5 第2反射平面
6 第1コリメータレンズ
7 第2コリメータレンズ
8 第1光ファイバ
9 第2光ファイバ
10 膜面
11 分波光線
12 合波光線
13 第1部材
14 第2部材
15、16 平面部
17、18 接着剤層
19 結合部材
21、22 光学多層膜
23 第2所定位置
24、25、26 第1所定位置
27 所定間隔
28 第3反射平面
29 第2所定間隔
30 光学フィルタユニット
40 光ファイバユニット
100 光学フィルタモジュール
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Entrance / exit plane 2 2nd entrance / exit plane 3 1st entrance / exit plane 4 1st reflection plane 5 2nd reflection plane 6 1st collimator lens 7 2nd collimator lens 8 1st optical fiber 9 2nd optical fiber 10 Film surface 11 Demultiplexed light beam 12 Combined light beam 13 First member 14 Second member 15, 16 Planar portion 17, 18 Adhesive layer 19 Bonding member 21, 22 Optical multilayer film 23 Second predetermined position 24, 25, 26 First predetermined position 27 Predetermined interval 28 Third reflection plane 29 Second predetermined interval 30 Optical filter unit 40 Optical fiber unit 100 Optical filter module

Claims (10)

異なる波長帯域の複数の光線が入射または射出する第1平面と、
複数の波長帯域を含む一つの光線が入射または射出する第2平面と、
前記異なる波長帯域の複数の光線を前記複数の波長帯域を含む一つの光線に合波し、または前記複数の波長帯域を含む一つの光線を異なる波長帯域の複数の光線に分離するフィルタ部とを具え、
前記異なる波長帯域の複数の光線は全て、同一の前記第1平面上の異なる位置から前記第1平面にほぼ垂直に入射または射出し、前記複数の波長帯域を含む一つの光線は、前記第2平面から前記第2平面にほぼ垂直に入射または射出していることを特徴とする光学フィルタユニット。
A first plane on which a plurality of light beams having different wavelength bands are incident or emitted;
A second plane on which one light beam including a plurality of wavelength bands enters or exits;
A filter unit that combines a plurality of light beams of different wavelength bands into one light beam including the plurality of wavelength bands, or separates one light beam including the plurality of wavelength bands into a plurality of light beams of different wavelength bands; Prepared,
All of the plurality of light beams in the different wavelength bands are incident or exited substantially perpendicularly to the first plane from different positions on the same first plane, and one light beam including the plurality of wavelength bands is the second light beam. An optical filter unit, wherein the optical filter unit is incident or exited from a plane substantially perpendicularly to the second plane.
請求項1に記載の光学フィルタユニットであって、
前記フィルタ部は、光学フィルタと、前記光学フィルタを一方の面に支持し、他方の面に反射面を有する基板と、前記光学フィルタの前記基板側とは反対側に前記第1平面と前記第2平面とを有する光学部材とを具えることを特徴とする光学フィルタユニット。
The optical filter unit according to claim 1,
The filter unit includes an optical filter, a substrate that supports the optical filter on one surface and a reflective surface on the other surface, the first plane and the first surface on the opposite side of the optical filter from the substrate side. An optical filter unit comprising an optical member having two planes.
請求項1または2に記載の光学フィルタユニットであって、
前記第1平面と前記第2平面とは共通の平面上にあることを特徴とする光学フィルタユニット。
The optical filter unit according to claim 1 or 2,
The optical filter unit, wherein the first plane and the second plane are on a common plane.
請求項3に記載の光学フィルタユニットであって、
前記光学フィルタは、前記基板の一つの面に配置された異なる分光特性の複数の光学フィルタ要素を有することを特徴とする光学フィルタユニット。
The optical filter unit according to claim 3,
The optical filter unit includes a plurality of optical filter elements having different spectral characteristics arranged on one surface of the substrate.
請求項3または4に記載の光学フィルタユニットであって、
前記光学部材は、前記複数の波長帯域を含む一つの光線の方向を変更する第2反射面を更に具えることを特徴とする光学フィルタユニット。
The optical filter unit according to claim 3 or 4,
The optical filter unit, wherein the optical member further includes a second reflecting surface that changes the direction of one light beam including the plurality of wavelength bands.
請求項1〜5何れか1項に記載の光学フィルタユニットと、
前記光学フィルタユニットから射出または前記光学フィルタユニットへ入射する前記異なる波長帯域の複数の光線を入射または射出する複数の第1光学系と、
前記光学フィルタユニットから射出または前記光学フィルタユニットへ入射する前記複数の波長帯域を含む一つの光線を入射または射出する一つの第2光学系とを具えたことを特徴とする光学フィルタモジュール。
The optical filter unit according to any one of claims 1 to 5,
A plurality of first optical systems that emit or emit a plurality of light beams of the different wavelength bands that are emitted from or incident on the optical filter unit;
An optical filter module comprising: a second optical system that inputs or emits one light beam including the plurality of wavelength bands that are emitted from the optical filter unit or incident on the optical filter unit.
請求項6に記載の光学フィルタモジュールであって、
前記複数の第1光学系は、複数の第1光ファイバと前記複数の第1光ファイバの端面近傍に配置された複数の第1レンズとからなり、
前記一つの第2光学系は、一つの第2光ファイバと前記一つの第2光ファイバの端面近傍に配置された一つの第2レンズとからなり、
前記複数の第1レンズは、前記複数の第1光ファイバの端面を射出する異なる波長帯域の複数の光線を入射してそれぞれの光線を平行光束にし、または前記第1平面から射出する前記異なる波長帯域の複数の光線を入射してそれぞれの光線を前記複数の第1光ファイバの端面に集光し、
前記一つの第2レンズは、前記一つの第2光ファイバの端面を射出する複数の波長帯域を含む一つの光線を入射して光線を平行光束にし、または前記第2平面から射出する前記複数の波長帯域を含む一つの光線を入射して前記一つの第2光ファイバの端面に集光し、前記複数の第1レンズの光軸は前記第1平面にほぼ垂直に、且つ前記一つの第2レンズの光軸は前記第2平面にほぼ垂直に配置されていることを特徴とする光学フィルタモジュール。
The optical filter module according to claim 6,
The plurality of first optical systems includes a plurality of first optical fibers and a plurality of first lenses disposed in the vicinity of end surfaces of the plurality of first optical fibers,
The one second optical system includes one second optical fiber and one second lens disposed in the vicinity of an end surface of the one second optical fiber,
The plurality of first lenses receive a plurality of light beams in different wavelength bands that exit the end faces of the plurality of first optical fibers to convert each light beam into a parallel light flux, or the different wavelengths that exit from the first plane. A plurality of light beams in a band are incident and each light beam is condensed on the end faces of the plurality of first optical fibers;
The one second lens is configured to enter one light beam including a plurality of wavelength bands that exit the end face of the one second optical fiber to make the light beam a parallel light beam, or to emit the plurality of light beams from the second plane. One light beam including a wavelength band is incident and condensed on an end surface of the one second optical fiber, and an optical axis of the plurality of first lenses is substantially perpendicular to the first plane and the second light beam. An optical filter module, wherein an optical axis of the lens is disposed substantially perpendicular to the second plane.
請求項7に記載の光学フィルタモジュールであって、
少なくとも前記複数の第1レンズは、同一部材で形成されたレンズアレイからなり、且つ前記複数の第1光ファイバを所定間隔で保持する結合部材を有することを特徴とする光学フィルタモジュール。
The optical filter module according to claim 7,
At least the plurality of first lenses are made of a lens array formed of the same member, and have a coupling member that holds the plurality of first optical fibers at a predetermined interval.
請求項3〜5何れか1項に記載の光学フィルタユニットと、
前記光学フィルタユニットから射出または前記光学フィルタユニットへ入射する前記異なる波長帯域の複数の光線を入射または射出する複数の第1光ファイバと、
前記光学フィルタユニットから射出または前記光学フィルタユニットへ入射する前記複数の波長帯域を含む一つの光線を入射または射出する一つの第2光ファイバと、
前記複数の第1光ファイバ及び前記一つの第2光ファイバの端面近傍に前記異なる波長帯域の複数の光線または前記複数の波長帯域を含む一つの光線を集光するレンズ群を有することを特徴とする光学フィルタモジュール。
The optical filter unit according to any one of claims 3 to 5,
A plurality of first optical fibers that emit or emit a plurality of light beams of the different wavelength bands that are emitted from or incident on the optical filter unit;
One second optical fiber that enters or emits one light beam including the plurality of wavelength bands that are emitted from or incident on the optical filter unit;
A lens group for condensing a plurality of light beams of the different wavelength bands or a single light beam including the plurality of wavelength bands in the vicinity of end faces of the plurality of first optical fibers and the one second optical fiber. An optical filter module.
請求項9に記載の光学フィルタモジュールであって、
前記複数の第1光ファイバと、前記一つの第2光ファイバを所定位置で保持する結合部材を有することを特徴とする光学フィルタモジュール。
The optical filter module according to claim 9,
An optical filter module comprising: a plurality of first optical fibers; and a coupling member that holds the one second optical fiber at a predetermined position.
JP2004052005A 2004-02-26 2004-02-26 Optical filter unit and optical filter module Withdrawn JP2005241998A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004052005A JP2005241998A (en) 2004-02-26 2004-02-26 Optical filter unit and optical filter module

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004052005A JP2005241998A (en) 2004-02-26 2004-02-26 Optical filter unit and optical filter module

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2005241998A true JP2005241998A (en) 2005-09-08

Family

ID=35023795

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004052005A Withdrawn JP2005241998A (en) 2004-02-26 2004-02-26 Optical filter unit and optical filter module

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2005241998A (en)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007163311A (en) * 2005-12-14 2007-06-28 Japan Science & Technology Agency Optical element and method for manufacturing it
WO2008013194A1 (en) * 2006-07-28 2008-01-31 Nikon Corporation Optical filter, optical device and optical module
JP2011209367A (en) * 2010-03-29 2011-10-20 Mitsubishi Electric Corp Optical multiplexer/demultiplexer and method for manufacturing the same
WO2017138091A1 (en) * 2016-02-09 2017-08-17 三菱電機株式会社 Optical multiplexer
WO2023051113A1 (en) * 2021-09-30 2023-04-06 华为技术有限公司 Wave splitter, wave combiner, and optical communication apparatus

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007163311A (en) * 2005-12-14 2007-06-28 Japan Science & Technology Agency Optical element and method for manufacturing it
WO2008013194A1 (en) * 2006-07-28 2008-01-31 Nikon Corporation Optical filter, optical device and optical module
JP5369684B2 (en) * 2006-07-28 2013-12-18 株式会社ニコン Optical filter, optical apparatus, and optical module
JP2011209367A (en) * 2010-03-29 2011-10-20 Mitsubishi Electric Corp Optical multiplexer/demultiplexer and method for manufacturing the same
WO2017138091A1 (en) * 2016-02-09 2017-08-17 三菱電機株式会社 Optical multiplexer
WO2023051113A1 (en) * 2021-09-30 2023-04-06 华为技术有限公司 Wave splitter, wave combiner, and optical communication apparatus

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6563976B1 (en) Cost-effective wavelength division multiplexer and demultiplexer
EP2803123B1 (en) Integrated sub-wavelength grating system
WO2004040344B1 (en) Optical multiplexer/demultiplexer and production method for optical multiplexer/demultiplexer
WO2006093117A1 (en) Connection structure of two-dimensional array optical element and optical circuit
US9323065B2 (en) Optical multiplexer and demultiplexer and a method for fabricating and assembling the multiplexer/demultiplexer
JP2018017649A (en) Optical demultiplexer
CN106662717B (en) The optical component being aligned in multi-channel receiver or transmitter platform
JP6452900B2 (en) Optical components and optical modules
JP2010191231A (en) Optical module
US7215853B2 (en) Optical module formed on common substrate for branching an optical signal
US7943895B2 (en) Wavelength splitting element, method for manufacturing the same and optical module
US20020122613A1 (en) Optical device and spectroscopic and integrated optical apparatus using the same
JP5983479B2 (en) Optical element
JP2005241998A (en) Optical filter unit and optical filter module
JP2008209520A (en) Optical filter module
JP2007058102A (en) Optical multiplexer/demultiplexer and optical multiplexing unit
JP2008209916A (en) Optical multiplexer/demultiplexer and optical transceiver using the same
JP4320304B2 (en) Wavelength multiplexing optical coupler and method of manufacturing the same
JP4632227B2 (en) Optical module
JP2005241996A (en) Optical filter module
JP4824317B2 (en) Filtered lens and wavelength multiplexing optical coupler using the same
JP2002169054A (en) Device for multiplexing and branching wavelengths
KR20100074704A (en) Optical module for multi-wavelength separation
JP2006201410A (en) Optical filter and wavelength multiplexed light coupler using the same
JPH04361208A (en) Optical multiplexer/demultiplexer and manufacture of the same

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20070501