JP2005221298A - Absorbance analyzer, absorbance analyzing method, flow cell and semiconductor device manufacturing method - Google Patents
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Abstract
Description
この発明は、液体の吸光特性を分析する技術分野に属するものであり、とくに光路長の形成に関するものである。 The present invention belongs to the technical field of analyzing light absorption characteristics of a liquid, and particularly relates to the formation of an optical path length.
例えば半導体デバイスの製造に寄与される液体の吸光分析では、液体の吸光度に応じて最適な光路長の選択が必要である。従来の吸光分析方法では、液体の濃度cにおける透過率Tが20〜70%のとき(吸光度Aが0.15〜0.69)に測定することが望ましいことから、それに見合った光路長を選択できるフローセルを用いている。具体的には、光路長が順次段階的に変更した複数の測定室を形成するような形態のフローセルや、流路の径方向に摺動自在とする可動片を一側面に設けて該可動片の進退に基づき光路長を変化させるような構成のフローセルを用いている(例えば、特許文献1参照。)。 For example, in liquid absorption analysis that contributes to the manufacture of semiconductor devices, it is necessary to select an optimal optical path length in accordance with the absorbance of the liquid. In the conventional absorption analysis method, it is desirable to measure when the transmittance T at the liquid concentration c is 20 to 70% (absorbance A is 0.15 to 0.69), so select an appropriate optical path length. A possible flow cell is used. Specifically, a flow cell configured to form a plurality of measurement chambers whose optical path lengths are sequentially changed, or a movable piece that is slidable in the radial direction of the flow path is provided on one side surface. A flow cell having a configuration in which the optical path length is changed based on the advance and retreat is used (for example, see Patent Document 1).
しかしながら、従来の光路長が順次段階的に変更した複数の測定室を形成するような形態のフローセルでは、それぞれの測定室の光路長は固定されているので、最も光路長の短い測定室でも液体の流動を阻害しないように光路長を確保する必要がある。しかしながら、吸光度の大きい液体に備えて光路長を短くしすぎると液体の流動を阻害するので、光路長を短くするのは限界がある。 However, in the conventional flow cell in which a plurality of measurement chambers whose optical path lengths are sequentially changed are formed, the optical path lengths of the respective measurement chambers are fixed. It is necessary to secure the optical path length so as not to hinder the flow of light. However, if the optical path length is made too short in preparation for a liquid having a large absorbance, the flow of the liquid is inhibited, so there is a limit to shortening the optical path length.
また、従来の流路の径方向に摺動自在とする可動片を一側面に設けて該可動片の進退に基づき光路長を変化させるような構成のフローセルでは、光路長を短くするほど可動片に加わる液体の流圧が大きくなる。従って、光路長を非常に短くしようとすると、流圧が極めて高くなるために、可動片の摺動部分より液体が漏れ出したり、可動片の移動方向がずれて液流の上流側と下流側とで所定の光路長が再現性良く得られなくなり、吸光分析の精度が低下するという問題がある。 Further, in a flow cell having a configuration in which a movable piece that is slidable in the radial direction of a conventional flow path is provided on one side and the optical path length is changed based on the advance and retreat of the movable piece, The fluid flow pressure applied to the fluid increases. Therefore, if the optical path length is made very short, the fluid pressure becomes extremely high, so that the liquid leaks from the sliding part of the movable piece, or the moving direction of the movable piece is shifted and the upstream and downstream sides of the liquid flow. Thus, there is a problem that a predetermined optical path length cannot be obtained with good reproducibility, and the accuracy of absorption spectrometry is lowered.
この発明は、上記のような問題点を解決するためになされたものであり、光路長を短くする際の流圧の増加に伴う摺動部分からの液漏れをなくし、また、所定の光路長を再現性良く得ることで液体の吸光特性を精度よく分析できる吸光分析装置及び吸光分析方法を提供する。 The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, eliminates liquid leakage from the sliding portion due to an increase in the fluid pressure when shortening the optical path length, and has a predetermined optical path length. The present invention provides an absorption spectrometer and an absorption analysis method capable of accurately analyzing the light absorption characteristics of a liquid by obtaining a high reproducibility.
この発明における吸光分析装置は、液体の吸光特性を分析できる吸光分析装置において、液体が流通可能な光路を形成する光透過性の一対の平板と、少なくとも一方の平板を移動させて光路長を変更する光路長変更機構と、光路への入射光を発生するための光源と、光路からの透過光の強度を検知するための光検知手段と、入射光と透過光との強度から吸光特性を分析する分析手段と、一対の平板において少なくとも一方の平板の位置を調整する位置調整手段とを備えるものである。 The absorption spectrometer according to the present invention is an absorption spectrometer capable of analyzing the light absorption characteristics of a liquid. The optical path length is changed by moving at least one flat plate and a pair of light-transmitting flat plates forming an optical path through which the liquid can flow. The optical path length changing mechanism, the light source for generating the incident light to the optical path, the light detecting means for detecting the intensity of the transmitted light from the optical path, and analyzing the light absorption characteristics from the intensity of the incident light and the transmitted light Analyzing means, and position adjusting means for adjusting the position of at least one of the pair of flat plates.
また、この発明における吸光分析方法は、液体の吸光特性を分析する吸光分析方法において、光透過性の一対の平板から形成される光路に液体を流通し、少なくとも一方の平板を移動させて光路長を変更し、光路長の変更の際に液体が迂回できる流路を設けることで流圧の変化を緩和できるようにし、光路に入射光を照射し、光路からの透過光の強度を検知し、入射光と透過光との強度から吸光特性を分析するものである。 Further, the light absorption analysis method according to the present invention is an absorption light analysis method for analyzing the light absorption characteristics of a liquid. By changing the optical path length, it is possible to relieve the change in the flow pressure by providing a flow path that can bypass the liquid when changing the optical path length, irradiate the optical path with incident light, detect the intensity of transmitted light from the optical path, The light absorption characteristics are analyzed from the intensity of incident light and transmitted light.
この発明によれば、光路長に伴う液流の流圧の変化を緩和したり上流側と下流側とで光路長の均一化を図り、また、摺動部分からの液漏れをなくすことで液体の吸光特性を精度よく分析できる吸光分析装置及び吸光分析方法を提供できる。 According to the present invention, the change in the flow pressure of the liquid flow associated with the optical path length is alleviated, the optical path length is made uniform between the upstream side and the downstream side, and liquid leakage from the sliding portion is eliminated. An absorption analyzer and an absorption analysis method can be provided that can accurately analyze the absorption characteristics.
実施の形態1.
図1は、本発明が適用される吸光分析装置の実施の形態1を説明するための構成図である。図2は、この吸光分析装置100に用いられるフローセル1を説明するための模式図であり、図2(a)は断面図、図2(b)は平面図である。フローセル1は、光路を形成する光透過性の一対の平板11a、11bと、その光路長を変更する光路長変更機構としてのシリンダ13と、平板11aを固定的に保持するとともに光路長変更機構を摺動自在に保持する保持部材12とを有する。フローセル1の内部を、液体が図示矢印方向に流動するものとする。シリンダ13の幅広の底部を押さえるアクチュエータなどの動作を制御しシリンダ13をピストン的に移動させることで平板11bを移動し、光路長を変更するものである。なお、シリンダ13はさらに平板11a側にも設けてもよく(図示していない)、それぞれのシリンダ13をピストン的に移動することで平板11a、11bを移動させてもかまわない。なお、前記アクチュエータは移動距離が把握できるものが好ましい。
FIG. 1 is a configuration diagram for explaining
光源2は、フローセル1への入射光を発生し、光検知器3は、フローセル1からの透過光の強度を検知する。入射光強度I0と透過光強度Iの関係については、下のランベルト・ベールの式が知られている。
I=I0exp(−αcL)
ここで、αは試料のモル吸光係数、cは試料のモル濃度、Lは光路長である。
The
I = I 0 exp (−αcL)
Here, α is the molar extinction coefficient of the sample, c is the molar concentration of the sample, and L is the optical path length.
分析部4は、入射光強度I0と透過光強度Iから吸光特性を分析する。吸光特性とは、透過率(T=I/I0)、吸光度(A=log(I/I0)=−αcL)、透過スペクトル、吸光スペクトルなどを呼ぶものである。一般に光検知器3の光検知性能から、透過率の測定においてはT=0.2〜0.7の範囲、吸光度の測定においてはA=0.15〜0.69の範囲になるように、試料濃度や光路長を適宜調整することが好ましい。分析部4は、目的に応じた吸光特性を適宜選択して分析すればよい。
The analysis unit 4 analyzes the light absorption characteristics from the incident light intensity I 0 and the transmitted light intensity I. Absorption characteristics refer to transmittance (T = I / I 0 ), absorbance (A = log (I / I 0 ) = − αcL), transmission spectrum, absorption spectrum, and the like. Generally, from the light detection performance of the
平行調整部5は、シリンダ13に取り付けられた圧電素子14に接続されている。ここでは、平行調整部5と2個の圧電素子14が、光路長を変更する際に、一対の平板が平行となるように少なくとも一方の平板の位置を調整する位置調整手段を構成する。光路長の変更は、まずシリンダ13が図示上下方向に変位して平板11bを移動させて、おおよその光路長の設定を行う。ここで、試料である液体は光路を図示左から右に通流しており、とくに光路長を例えば300μm以下というように非常に短くするときは、その流圧によって液流の上流側と下流側とで光路長が異なる場合が生じる。すなわち、平板11aと平板11bとの間で実効的な光学距離が一様でなくなり、不安定化する。
The
また、光路内において平板11a及び平板11bからわずかに生じる反射光の位相が一様でなくなる。それに伴い、光検知器3に到達する透過光は、入射光と不均一な位相の反射光との光干渉によって、光が強め合う部分と弱め合う部分が生じる。よって、光検知器3が検知する透過光強度は、光が強め合う部分と弱め合う部分を含めた平均値となる。また、光の強め合う部分と弱め合う部分との割合は、光路長によっても変化する。このように、平板11aと平板11bとが平行でなくなると、透過光強度の変動をもたらし、分光分析の精度が低下する。
Further, the phase of the reflected light slightly generated from the
そこで、平行調整部5は、液流の上流側と下流側とに設けられた圧電素子14の両端に電圧を印加して、光路長の微調整を行うと同時に、平板11aと平板11bとを平行にする。これらの圧電素子14は、電圧の印加によって平板11bの移動方向に伸張したり収縮したりする。このとき、シリンダ13の底部は変位を抑制されているものとし、シリンダ13の側部は変位が抑制されていない。圧電素子14が伸縮すると、シリンダ13の側部で圧電素子14との接触部分も同様に伸縮する。その結果、シリンダ13の図示上側が変位するため、それに伴って平板11bも変位する。圧電素子14が伸張するか収縮するかは、圧電素子14内の残留分極の方向と印加電圧の極性によって決まり、伸張量あるいは収縮量は電圧値によって調整できる。それぞれの圧電素子14に印加する電圧の極性及び電圧値は、それぞれ独立に制御できる。それによって、上流側と下流側とで圧電素子14の変位方向ならびに変位量を独立して調整できる。
Therefore, the
図3は、具体的な平行調整方法の一例を説明するための模式図である。第一段階では、上流側と下流側の圧電素子14に対して両者が同一変位方向、同一変位量となるように電圧を印加するとともに、透過光強度を検知する。このとき、平板11bは図3(a)のように図示上下方向に平行移動する。また、透過光強度の検知に用いる波長は、試料である液体の吸光特性を実質的に評価する波長とは異なり、液体に吸収されない波長であることが好ましい。このような波長であれば、透過光強度が大きいため、一対の平板が平行であるか否かを精度よく判断できる。また、このときの圧電素子14の変位範囲は、波長λ、液体の屈折率nとした場合、λ/2n以上であることが好ましい。この変位範囲であれば、透過光強度が最大もしくは最小となるピークのいずれかを検出できる。
FIG. 3 is a schematic diagram for explaining an example of a specific parallel adjustment method. In the first stage, a voltage is applied to the upstream and downstream
第二段階では、平行調整部5が第一段階で検出された透過光強度最大もしくは最小のピークとなる光路長を選択し、上流側と下流側の圧電素子14を独立に制御して、一対の平板11a、11bの平行調整を行う。ここでは、最大ピークの場合について説明する。上流側と下流側の圧電素子14の変位方向を逆にするか、一方の圧電素子14を固定し他方の圧電素子14を変位させることによって、二つの圧電素子14を相対的に変位させる。例えば図3(b)のように、平板11bの図示左端を固定し、図示右端を上下移動させる。このときの相対的変位範囲は、図示上下方向にそれぞれλ/4n以上であることが好ましい。このように二つの圧電素子14を相対的に変位させるとともに、透過光強度を検知する。平行調整部5は、この相対的変位範囲のなかで透過光強度が最大となった状態を、光干渉による透過光強度変化が最も小さい状態とみなし、これをもって上流側と下流側の光路長が同等、すなわち平板11aと平板11bとが平行と判断する。なお、この平行状態で光を用いた干渉的手法等により光路長を測定してもよい。
In the second stage, the
なお、透過光強度最小ピークとなる光路長を選択した場合、平行調整部5は、上述の相対的変位範囲のなかで透過光強度が最小となった状態を、光干渉による透過光強度変化が最も小さい状態であり、平板11aと平板11bとが平行と判断する。
In addition, when the optical path length having the minimum transmitted light intensity peak is selected, the
したがって、流圧の影響を受けるほど光路長を短くしても、平行調整部5によって平板11aと平板11bとを平行調整できる。そのため、光路長の均一化を図り、液体の吸光特性を精度よく分析できる。とくにこの実施の形態では、透過光の光干渉現象を利用することで、任意の光路長においても一対の平板を平行調整できる。
Therefore, even if the optical path length is shortened so as to be affected by the flow pressure, the
また、上述の第一段階で圧電素子14を用いずに、シリンダ13を用いて透過光強度が最大もしくは最小となるピークのいずれかを検出する場合は、圧電素子14が上流側もしくは下流側に1個でもよい。なお、ここでは移動手段として圧電素子14を用いて説明したが、他のいかなる移動手段であっても良い。またその際の移動手段は移動距離の把握できるものが好ましい。
In the first stage, when the
実施の形態2.
図4は、実施の形態2を説明するためのフローセル1の模式図であり、図4(a)は断面図、図4(b)は平面図である。この実施の形態は、実施の形態1におけるフローセル1にスペーサ15を付加したものである。図において、スペーサ15は、平板11a上で入射光の光路を妨害しないように光路より外縁側の一部に設けられ、スペーサ15の隙間を通って液体が流路を確保でき流圧の変化を緩和できるようにしている。また、流路の径方向において、スペーサ15の幅を流路の径より短くすることにより、液体が迂回できる流路を設けることで流圧の変化を緩和できるようにしている。
4A and 4B are schematic views of the
次に動作について説明する。ここでは光路長を短く変更する際に、シリンダ13は平板11bとスペーサ15とが接触するまで平板11bを移動させる。流路の径方向において、スペーサ15の幅を流路の径より短くしているので、液体が迂回され流圧の変化を緩和できる。この場合、実施の形態1における平行調整部5は必ずしも必要ではなく、スペーサ15が所定の光路長の確保を再現性良く導く位置調整手段としての機能を果たす。従って、図4に記載される圧電素子14は、実施の形態2において必ずしも必要としない部位である。
Next, the operation will be described. Here, when changing the optical path length to be short, the
このようにスペーサ15の高さに応じた光路長を設定するので、シリンダ13を往復的に変位させても、繰り返し精度よく光路長を設定できる。
Since the optical path length corresponding to the height of the
なお、スペーサ15を平板11aに設けた例を説明したが、平板11bに設けてもかまわない。さらに、スペーサ15の形状や配置は適宜設計でき、スペーサ15と平板11a(11b)が同一部材でもかまわない。
In addition, although the example which provided the
実施の形態3.
図5は、実施の形態3を説明するためのフローセル1の模式図であり、図5(a)は断面図、図5(b)は側面図である。この実施の形態は、フローセル1の保持部材を光路長変更機構による平板の移動に伴って変形可能としたものであり、平板ないしシリンダと保持部材との摺動部をなくしたものである。その他は実施の形態1と同様である。
5A and 5B are schematic views of the
図において、保持部材16は、一対の平板11a、11bを保持している。このフローセル1は、光路長が最大となる位置に平板11bがある場合、保持部材16の流路形状は矩形である。これが光路長変更の際に、シリンダ13による平板11bの移動に伴い、図4(b)のごとく保持部材16は平面11bとの接合部が押し込まれるように変形する。そのため、保持部材16は平板11bやシリンダ13と摺動することがない。また、平板11a、11bが押し込まれるに伴って、保持部材16が変形し保持部材16の内側に液体が迂回できる2つの流路が確保されていくことがわかる。また、保持部材16がフレキシブル構造のため、シリンダ13の変位の際に揺動することもありうる。この場合は、シリンダ13を図示上下方向に安定的に変位させるためのガイド機構を備えてもよい。ガイド機構とは、例えばシリンダ13に適当な溝を変位方向に形成し、その溝に嵌合する突起を有する部材である。
In the figure, the holding
このように、保持部材16と平板11bやシリンダ13との摺動部がないため、フローセル1からの液漏れがない。そのため、吸光分析装置100の内部を汚染することがない。さらに、フローセル1からの摺動による発塵もない。そのため、クリーンルームでの使用に好適であり、クリーン度を維持できる。なお、図5に記載される圧電素子14は、実施の形態3において必ずしも必要としない部位である。
As described above, since there is no sliding portion between the holding
実施の形態4.
図6は、実施の形態3を説明するためのめっき装置の構成図である。めっき槽200には亜硫酸金錯体を含むめっき液が入っており、被めっき物をめっき液に浸漬してめっき処理が行われる。めっき槽200と、めっき液補充槽300と、送液ポンプ400と、フィルター500は、配管によって接続されている。めっき液は送液ポンプ400の搬送力によって、めっき液補充槽300、送液ポンプ400、フィルター500を経由してめっき処理槽200というように循環している。めっき槽200とめっき液補充槽300とを接続する配管は分岐しており、吸光分析装置100に向けてめっき液を採取することができる。ここで吸光分析装置100は、実施の形態1〜3で説明したいずれかのものを用いる。なかでも実施の形態3の吸光分析装置100を用いると、フローセル1からの発塵がなくクリーンルームでの使用に好適である。また、めっき液の採取位置はこれに限定することなく、めっき槽200やめっき液補充槽300から直接的に採取してもよい。
Embodiment 4 FIG.
FIG. 6 is a configuration diagram of a plating apparatus for explaining the third embodiment. The
次に、このめっき装置を用いて、半導体デバイスを製造する際のめっき工程において、亜硫酸金錯体を含むめっき液を用いた例を説明する。まず、このめっき工程において、めっき液の劣化に伴う金の異常析出は、まず亜硫酸金錯体が酸化分解し、そこで生成された1価の金イオンが不均化反応によって金コロイドに変化するためと推定されている。そのため、めっき液の劣化度合を評価するには、亜硫酸金錯体と金コロイドの両方を分析するのが好ましい。 Next, an example in which a plating solution containing a gold sulfite complex is used in a plating step when manufacturing a semiconductor device using this plating apparatus will be described. First, in this plating process, the abnormal precipitation of gold due to the deterioration of the plating solution is because the gold sulfite complex is first oxidized and decomposed, and the monovalent gold ions generated there change to gold colloid by the disproportionation reaction. Has been estimated. Therefore, in order to evaluate the degree of deterioration of the plating solution, it is preferable to analyze both the gold sulfite complex and the gold colloid.
亜硫酸金錯体の状態は、亜硫酸イオンの吸収がある波長220〜240nmの吸光特性から分析できる。また、金コロイドの状態は、金コロイド生成時の副産物である3価の金イオンの吸収がある波長300〜320nmの吸光特性から分析できる。ここで、亜硫酸イオンのモル吸光係数とモル濃度の積は、3価の金イオンのモル吸光係数とモル濃度の積に比し2桁以上大きい。そのため、亜硫酸イオンの吸収がある波長220〜240nmでの吸光度と、3価の金イオンの吸収がある波長300〜320nmでの吸光度とを同じオーダーにするには、波長220〜240nmの吸光特性を分析するときの光路長を、波長300〜320nmの吸光特性を分析するときの光路長より2桁以上短くする必要がある。 The state of the gold sulfite complex can be analyzed from the absorption characteristics at wavelengths of 220 to 240 nm where sulfite ions are absorbed. Further, the state of the gold colloid can be analyzed from the light absorption characteristics at a wavelength of 300 to 320 nm where trivalent gold ions, which are by-products during the production of the gold colloid, are absorbed. Here, the product of the molar extinction coefficient of sulfite ions and the molar concentration is two orders of magnitude larger than the product of the molar extinction coefficient of trivalent gold ions and the molar concentration. Therefore, in order to make the absorbance at a wavelength of 220 to 240 nm where sulfite ions are absorbed and the absorbance at a wavelength of 300 to 320 nm where trivalent gold ions are absorbed to the same order, the absorbance characteristics at a wavelength of 220 to 240 nm are used. It is necessary to make the optical path length for analysis shorter by two orders of magnitude or more than the optical path length for analyzing light absorption characteristics at wavelengths of 300 to 320 nm.
図7は、この実施の形態における吸光スペクトルであり、図7(a)は光路長が長いときの一例、図7(b)は光路長が短いときの一例、図7(c)は光路長を正規化した図7(a)と図7(b)の合成スペクトルである。 FIG. 7 is an absorption spectrum in this embodiment, FIG. 7 (a) is an example when the optical path length is long, FIG. 7 (b) is an example when the optical path length is short, and FIG. 7 (c) is an optical path length. Is a composite spectrum of FIG. 7 (a) and FIG. 7 (b).
図7(a)では、波長310nmに吸収ピークが見られ、金コロイドの状態を知ることができる。ただし、波長220〜240nmの吸光度は飽和してしまい、亜硫酸金錯体の状態を知ることはできない。一方、図7(b)では、波長220〜240nmにショルダーが観察されるなど、亜硫酸金錯体の状態を知ることができる。ただし、波長300〜320nmにおいては実質的に吸収を観察することができない。 In FIG. 7A, an absorption peak is observed at a wavelength of 310 nm, and the state of the gold colloid can be known. However, the absorbance at a wavelength of 220 to 240 nm is saturated, and the state of the gold sulfite complex cannot be known. On the other hand, in FIG. 7B, the state of the gold sulfite complex can be known, for example, a shoulder is observed at a wavelength of 220 to 240 nm. However, substantially no absorption can be observed at wavelengths of 300 to 320 nm.
そこで、図7(c)のごとく光路長を正規化し、波長220〜240nmとその周辺波長については図7(b)を、波長300〜320nmとその周辺波長については図7(a)を選択し、合成スペクトルを作成した。このようにめっき工程中に連続的に光路長を変更し、図7(c)の合成スペクトルを算出すれば、めっき液の経時変化を精度よく分析できる。そのため、めっき液の状態をリアルタイムに知ることができ、その結果、半導体デバイスの歩留まりが向上する。とくに亜硫酸金錯体を用いるめっき液では、波長220〜240nmの吸光特性を分析するときの光路長を100μm以下とし、波長300〜320nmの吸光特性を分析するときの光路長を10mm以上とすると、めっき液の劣化度合を精度よく評価できる。
Therefore, the optical path length is normalized as shown in FIG. 7C, and FIG. 7B is selected for
この発明は、流体の分光分析装置及び分光分析方法に広く利用できる。 The present invention can be widely used in a fluid spectroscopic analysis apparatus and a spectroscopic analysis method.
1 フローセル、2 光源、3 光検知器、4 分析部、5 平行調整部、11a〜11b 平板、12 保持部材、13 シリンダ、14 圧電素子、15 スペーサ、16 保持部材、100 吸光分析装置。
DESCRIPTION OF
Claims (17)
光透過性の一対の平板から形成される光路に前記めっき液を流通し、少なくとも一方の平板を移動させて光路長を変更し、光路長の変更の際に前記めっき液が迂回できる流路を設け、光路に入射光を照射し、光路からの透過光の強度を検知し、入射光と透過光との強度から吸光特性を分析することを特徴とする半導体デバイスの製造方法。 In the manufacturing method of the semiconductor device which has a plating process using the plating solution containing a gold sulfite complex, the optical path length when analyzing the light absorption characteristics of the plating solution with a wavelength of 220 to 240 nm, and the plating solution with a wavelength of 300 to 320 nm. Shorter than the optical path length when analyzing the light absorption characteristics,
Distributing the plating solution to an optical path formed by a pair of light-transmitting flat plates, changing the optical path length by moving at least one flat plate, and providing a flow path that can bypass the plating solution when the optical path length is changed. A method of manufacturing a semiconductor device, comprising: irradiating incident light on an optical path; detecting intensity of transmitted light from the optical path; and analyzing light absorption characteristics from the intensity of incident light and transmitted light.
16. The optical path length when analyzing light absorption characteristics at wavelengths of 220 to 240 nm is 100 μm or less, and the optical path length when analyzing light absorption characteristics at wavelengths of 300 to 320 nm is 10 mm or more. A method for manufacturing a semiconductor device.
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Family
ID=34997060
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---|---|---|---|
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