JP2005214618A - マイクロメカニカル・ラッチング・スイッチ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】マイクロ・エレクトロメカニカル・スイッチ(MEMS)装置は、半導体ウェハと、半導体ウェハ上に形成された第1誘電層と、第1の層上に形成された第2半導体層とを備えている。第1ラッチング可動シャトル103は第2層内に形成され、第1可動シャトルはMEMS装置が所定の加速されることに応答して、ウェハに対する第1の方向に移動され、MEMS装置の動作条件を第1のスイッチ状態から中間のスイッチ状態へと変更する。第2可動シャトル105は第1シャトル内に形成され、第2可動シャトルは熱により作用する力に応答して第1シャトルに対する第2の方向に移動され、MEMS装置の動作条件を中間のスイッチ状態から第2スイッチ状態へと変更する。第2のスイッチ状態では、第2可動シャトル内の開口が該ウェハ内の開口と位置合わせされて、光信号がその開口を通過可能である。
【選択図】図1A
Description
半導体ウェハ、半導体ウェハ上に形成された第1誘電層、および第1の層上に形成された第2半導体層と、
第2層内に形成され、第1シャトルの下の第1層が除去された第1ラッチング可動シャトルであって、MEMS装置が第1の方向とは逆の方向に所定の加速がなされることに応答して、ウェハに対する第1の方向に移動されることで、MEMS装置の動作条件を第1のスイッチ状態から中間のスイッチ状態へと変更する構成の第1ラッチング可動シャトルと、
第1シャトル内に形成された第2ラッチング可動シャトルであって、熱により作用する力に応答して第1シャトルに対する第2の方向に移動され、MEMS装置の動作条件を中間のスイッチ状態から第2のスイッチ状態へと変更する構成の第2ラッチング可動シャトルとを備え、
第2のスイッチ状態では、第2シャトル内の開口がウェハ内の開口と位置合わせされて、光信号が位置合わせされた開口を通過可能である。
半導体ウェハ、半導体ウェハ上に形成された第1電気絶縁層、および第1の層上に形成された第2半導体層と、
第2層内に形成され、シャトル・スイッチの下の第1層が除去されたラッチング可動シャトルであって、MEMS装置が第1の方向とは逆の方向に所定の加速がなされることに応答して、ウェハに対する第1の方向に移動され、それによってシャトル・スイッチの動作条件を変更する構成のラッチング可動シャトルとを備えている。
以下の説明では、異なる図面の同一の素子の呼称は同一の素子を表す。さらに、素子の呼称では、最初の数字はその素子が最初にある図面を示す(例えば101は最初に図1に存在する。)
MEMS発火装置のエッチング
素子の詳細
Claims (11)
- マイクロ・エレクトロメカニカル・スイッチ(MEMS)モノリシック半導体装置であって、
半導体ウェハ、該半導体ウェハ上に形成された第1誘電層、および該第1の層上に形成された第2半導体層と、
該第2層内に形成され、第1シャトルの下で該第1層が除去された第1ラッチング可動シャトルとを含み、該ウェハに対する第1の方向とは逆の方向に向かって該MENS装置に加えられる所定の加速に応答して、該ウェハに対する第1の方向に該第1シャトルを移動させて、該MEMS装置の動作条件を第1のスイッチ状態から中間のスイッチ状態へと変更し、該MENS装置は、さらに
該第1シャトル内に形成された第2ラッチング可動シャトルを含み、熱により作用する力に応答して該第1シャトルに対する第2の方向に該第2シャトルを移動させて、該MEMS装置の動作条件を中間のスイッチ状態から第2のスイッチ状態へと変更し、
該第2のスイッチ状態では、該第2シャトル内の開口が該ウェハ内の開口と位置合わせされて、光信号が該位置合わせされた開口を通過可能である装置。 - 前記第1シャトルの移動前の前記第2シャトルの移動を阻止する手段をさらに備える請求項1に記載のMEMS装置。
- 前記MEMS装置が前記中間状態にある場合に電気スイッチ接続を行う電気スイッチをさらに備える請求項1に記載のMEMS装置。
- 前記第1シャトルの前記第1の方向への移動を制限するため前記第2層内に形成された吸収ストップをさらに備える請求項1に記載のMEMS装置。
- 電気信号に応答して前記熱により作用する力を発生するための熱アクティベータをさらに備える請求項1に記載のMEMS装置。
- A.先ず前記第2層内の前記可動素子をパターン形成およびエッチングし、かつ前記第1誘電層で停止し、
B.前記半導体ウェハ内の所定のパターンを底面からパターン形成およびエッチングし、該第1誘電層で停止し、
C.該第1誘電層の露出領域をエッチングして除去し、かつ、
D.前記可動素子が前記半導体ウェハから解放されるのに充分なアンダーカットが可能であるように該エッチングを継続することによって、
形成される請求項1に記載のMEMS装置。 - マイクロ・エレクトロメカニカル・スイッチ(MEMS)モノリシック半導体装置であって、
半導体ウェハ、該半導体ウェハ上に形成された第1電気絶縁層、および該第1の層上に形成された第2半導体層と、
該第2層内に形成され、シャトル・スイッチの下の該第1層が除去されたラッチング可動シャトルであって、該MEMS装置が第1の方向とは逆の方向に所定の加速がなされることに応答して、該ウェハに対する第1の方向に移動され、それによって該シャトル・スイッチの動作条件を変更する構成のラッチング可動シャトルとを備える装置。 - 前記シャトル・スイッチは前記MEMS装置が所定の加速を受けると、電気スイッチ接続を行う電気スイッチをさらに備える請求項7に記載のMEMS装置。
- 前記シャトル・スイッチは、前記ウェハ内に形成された第2円形ウインドウと垂直方法で位置合わせされているが水平方向では偏倚されている第1円形ウインドウを含むとともに、前記MEMS装置が所定の加速を受けることに応答して、該シャトル・スイッチは該第1円形ウインドウが該第2円形ウインドウの上に位置合わせされるように第1方向に水平方向に移動され、それによって光信号が該第1および第2円形ウインドウを通過可能であるようにする請求項7に記載のMEMS装置。
- 前記シャトル・スイッチの前記第1の方向への移動を制限するため前記第2層内に形成された吸収ストッパをさらに備える請求項7に記載のMEMS装置。
- 半導体ウェハ、該半導体ウェハ上に形成された第1誘電層、および該第1の層上に形成された第2半導体層を備えるMEMSモノリシック半導体装置の動作方法であって、
該第2層内に形成され、第1可動シャトルの下の該第1層が除去された第1可動シャトルをラッチし、該ウェハに対する第1の方向とは逆の方向に向かって該MENS装置に加えられた所定の加速応答して、該ウェハに対する第1の方向に該第1可動シャトルを移動させるステップを含み、該ラッチされた第1可動シャトルは該MEMS装置の動作条件を第1のスイッチ状態から中間のスイッチ状態へと変更し、該方向は、さらに、
該第1シャトル内に形成された第2可動シャトルをラッチし、熱により作用する力に応答して該第1シャトルに対する第2の方向に該第2シャトルを移動して、該MEMS装置の動作条件を中間のスイッチ状態から第2のスイッチ状態へと変更するステップを含む方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US10/766,451 US7142087B2 (en) | 2004-01-27 | 2004-01-27 | Micromechanical latching switch |
US10/766451 | 2004-01-27 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005214618A true JP2005214618A (ja) | 2005-08-11 |
JP4718846B2 JP4718846B2 (ja) | 2011-07-06 |
Family
ID=34654334
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005019084A Expired - Fee Related JP4718846B2 (ja) | 2004-01-27 | 2005-01-27 | マイクロメカニカル・ラッチング・スイッチ |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7142087B2 (ja) |
EP (1) | EP1559987B1 (ja) |
JP (1) | JP4718846B2 (ja) |
KR (1) | KR101128139B1 (ja) |
DE (1) | DE602005002277T2 (ja) |
Families Citing this family (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7371982B2 (en) * | 2005-07-29 | 2008-05-13 | Lucent Technologies Inc. | MEMS safety and arming devices having launch and rotation interlocks and method of manufacturing the same |
FR2892809B1 (fr) | 2005-10-27 | 2010-07-30 | Giat Ind Sa | Dispositif de securite pyrotechnique a dimensions reduites |
US20070096860A1 (en) * | 2005-11-02 | 2007-05-03 | Innovative Micro Technology | Compact MEMS thermal device and method of manufacture |
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2004
- 2004-01-27 US US10/766,451 patent/US7142087B2/en not_active Expired - Fee Related
-
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- 2005-01-07 EP EP05250061A patent/EP1559987B1/en not_active Expired - Fee Related
- 2005-01-07 DE DE602005002277T patent/DE602005002277T2/de active Active
- 2005-01-26 KR KR1020050006999A patent/KR101128139B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2005-01-27 JP JP2005019084A patent/JP4718846B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR101128139B1 (ko) | 2012-03-23 |
DE602005002277T2 (de) | 2008-05-29 |
US20050183609A1 (en) | 2005-08-25 |
DE602005002277D1 (de) | 2007-10-18 |
JP4718846B2 (ja) | 2011-07-06 |
US7142087B2 (en) | 2006-11-28 |
EP1559987A1 (en) | 2005-08-03 |
EP1559987B1 (en) | 2007-09-05 |
KR20050077276A (ko) | 2005-08-01 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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