JP2005214223A - Diaphragm and mechanical seal using diaphragm - Google Patents
Diaphragm and mechanical seal using diaphragm Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005214223A JP2005214223A JP2004018180A JP2004018180A JP2005214223A JP 2005214223 A JP2005214223 A JP 2005214223A JP 2004018180 A JP2004018180 A JP 2004018180A JP 2004018180 A JP2004018180 A JP 2004018180A JP 2005214223 A JP2005214223 A JP 2005214223A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- sliding member
- corrosion
- side sliding
- peripheral edge
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Mechanical Sealing (AREA)
- Diaphragms And Bellows (AREA)
Abstract
Description
本発明は、薬液が貯留された処理槽内に配設された回転軸に用いられるダイヤフラム及びダイヤフラムを用いたメカニカルシールに関する。 The present invention relates to a diaphragm used for a rotating shaft disposed in a processing tank in which a chemical solution is stored, and a mechanical seal using the diaphragm.
印刷版用金属板、例えば、アルミニウムの薄板(以下「ウェブ」という)は、表面が粗面化処理され、塗布工程、乾燥工程等の処理工程を経た後、感光性平版印刷版となる。 A metal plate for a printing plate, for example, an aluminum thin plate (hereinafter referred to as “web”) is subjected to a surface roughening treatment and undergoes treatment steps such as a coating step and a drying step, and then becomes a photosensitive planographic printing plate.
ところで、処理工程の中には、処理槽内において処理液を噴霧状態でウェブにスプレーするものがあり、処理槽内には、ウェブを搬送する搬送ロールが配置され、搬送ロールの軸部は処理槽の側壁を貫通する軸孔から外側に突出し軸支されている。 By the way, in a processing process, there is a thing which sprays a processing liquid on a web in the state of spraying in a processing tank, a conveyance roll which conveys a web is arranged in a processing tank, and a shaft part of a conveyance roll is processed. It protrudes outward from a shaft hole that penetrates the side wall of the tank and is pivotally supported.
例えば、図5に示すように、処理槽112の軸孔100にダイヤフラム102が固定されており、このダイヤフラム102には固定側摺動部材104が設けられている。一方、軸部106には、この固定側摺動部材104に対面して回転側摺動部材108が取付けられている。
For example, as shown in FIG. 5, a
この回転側摺動部材108には、ダイヤフラム102によって処理槽112の外側へ面圧を受けた固定側摺動部材104が水密状態で面接触しており、回転側摺動部材108は固定側摺動部材104に対して摺動回転する。
The rotation-
このようなメカニカルシール110では、処理槽112に処理液が貯留されているときには、摩耗等の問題は発生しないが、噴霧状態やドライ状態の処理槽の場合、回転側摺動部材108と固定側摺動部材104の材質が、いずれも炭化珪素(SIC)であると、摩擦によって密着(リッキング)してしまい、メカニカルシール110の寿命が短くなる。
In such a
このため、特許文献1では、回転側摺動部材108及び固定側摺動部材104において、互いに異なる材質を組み合せることで、処理槽112内が噴霧状態やドライ状態のような使用環境状態であっても、回転側摺動部材108及び固定側摺動部材104の摩耗が少なく、メカニカルシール110の寿命が延びるようにしている。
For this reason, in Patent Document 1, the inside of the
しかしながら、特許文献1によって、メカニカルシール110の寿命を延長させることはできるが、回転側摺動部材108及び固定側摺動部材104の摺動面の密着性の向上という観点では、言及されていない。
However, although the life of the
例えば、酸、アルカリの薬液のメカニカルシールに用いるダイヤフラムでは、ダイヤフラムの材質として耐食性の高いゴム(バイトンゴム、EPDM等)を使用するが、テフロン(登録商標)等のフッ素樹脂と比較すると耐食性が低く、ダイヤフラムの寿命が大幅に短くなってしまう。 For example, in a diaphragm used for a mechanical seal of an acid or alkali chemical solution, rubber having a high corrosion resistance (Viton rubber, EPDM, etc.) is used as the material of the diaphragm, but the corrosion resistance is low compared to a fluororesin such as Teflon (registered trademark) Diaphragm life is greatly shortened.
しかし、テフロン(登録商標)の場合、ゴムに対して弾性力、反発力、搬送ロールと処理槽の芯ズレや偏芯に対する許容量が著しく小さいため、その結果、回転側摺動部材108及び固定側摺動部材104の摺動面の密着性が低下し、液洩れの原因となってしまう。
However, in the case of Teflon (registered trademark), the elastic force, the repulsive force, and the tolerance for the misalignment and eccentricity of the transport roll and the processing tank are extremely small with respect to the rubber. Adhesiveness of the sliding surface of the
また、テフロン(登録商標)の耐食性とゴムの弾性力を併せ持つ性質のダイヤフラムとしてテフロン(登録商標)コーティングをした耐食性ゴムがあるが、コーティングの場合、テフロン(登録商標)の層が薄いため、目に見えない傷やピンホールによって、薬液が内部に浸透し、ゴムが腐食される恐れがある。 In addition, there is a corrosion-resistant rubber coated with Teflon (registered trademark) as a diaphragm that has both the corrosion resistance of Teflon (registered trademark) and the elasticity of rubber, but in the case of coating, the Teflon (registered trademark) layer is thin, Invisible scratches and pinholes may cause the chemical to penetrate into the interior and cause the rubber to corrode.
一方、コーティングよりもテフロン(登録商標)を厚くする方法として、テフロン(登録商標)シートとゴムを全面接着させたものがあるが、テフロン(登録商標)の硬さに加え、ダイヤフラムの厚みが増すことにより、ゴムの弾性力(反発力)が相殺され、回転側摺動部材108及び固定側摺動部材104の摺動面の密着性が低下してしまう。
本発明は、上記事実を考慮して、ダイヤフラムの寿命と摺動部材の摺動面の密着性を向上させたメカニカルシールを提供することを課題とする。 In view of the above facts, an object of the present invention is to provide a mechanical seal that improves the lifetime of the diaphragm and the adhesion of the sliding surface of the sliding member.
請求項1に記載の発明は、ダイヤフラムにおいて、回転軸が貫通する貫通孔が中央に形成された円盤状のゴムシートと、前記回転軸が貫通する貫通孔が中央に形成され、前記ゴムシートに重ね合わされる円盤状の耐食性シートと、前記ゴムシートと前記耐食性シートの外周縁部を接着する接着剤と、を有することを特徴としている。 The invention according to claim 1 is a diaphragm in which a disk-shaped rubber sheet in which a through-hole through which a rotating shaft passes is formed in the center, and a through-hole through which the rotating shaft passes are formed in the center. It is characterized by having a disk-shaped corrosion-resistant sheet to be superposed, and an adhesive for bonding the rubber sheet and the outer peripheral edge of the corrosion-resistant sheet.
請求項1に記載の発明では、円盤状のゴムシートに、円盤状の耐食性シートを重ね合わせ、ゴムシートと耐食性シートの外周縁部及び内周縁部を接着剤で接着している。つまり、外周縁部及び内周縁部以外では、ゴムシートと耐食性シートは互いに接着されていないため、フリーの状態である。 In the first aspect of the present invention, the disk-shaped corrosion-resistant sheet is superimposed on the disk-shaped rubber sheet, and the outer peripheral edge and the inner peripheral edge of the rubber sheet and the corrosion-resistant sheet are bonded with an adhesive. That is, since the rubber sheet and the corrosion-resistant sheet are not bonded to each other except the outer peripheral edge and the inner peripheral edge, they are in a free state.
このため、ゴムシートと耐食性シートとは、それぞれ独立した状態で移動することが可能となり、ゴムシートの弾性力を十分に活かすことができる。また、ゴムシートに耐食性シートを重ね合わせることで、ダイヤフラムの耐食性を向上させ、寿命を長くすることができる。 For this reason, the rubber sheet and the corrosion-resistant sheet can be moved independently from each other, and the elastic force of the rubber sheet can be fully utilized. Further, by superposing the corrosion resistant sheet on the rubber sheet, the corrosion resistance of the diaphragm can be improved and the life can be extended.
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載のダイヤフラムにおいて、前記ゴムシートと前記耐食性シートの非接着部に中空部が設けられたことを特徴としている。 According to a second aspect of the present invention, in the diaphragm according to the first aspect, a hollow portion is provided in a non-bonded portion of the rubber sheet and the corrosion-resistant sheet.
請求項2に記載の発明では、ゴムシートと耐食性シートの非接着部に中空部を設けることで、ゴムシート又は耐食性シートの移動時に、他方を追従させることなく、独立した状態で移動させることができる。 In invention of Claim 2, by providing a hollow part in the non-adhesion part of a rubber sheet and a corrosion-resistant sheet, it can be moved in an independent state without causing the other to follow when the rubber sheet or the corrosion-resistant sheet is moved. it can.
請求項3に記載の発明は、請求項1又は2に記載のダイヤフラムにおいて、前記耐食性シートがポリテトラフルオロエチレンであることを特徴としている。 According to a third aspect of the present invention, in the diaphragm according to the first or second aspect, the corrosion-resistant sheet is polytetrafluoroethylene.
請求項3に記載の発明では、耐食性シートをポリテトラフルオロエチレンで形成している。ポリテトラフルオロエチレンは、例えば、テフロン(登録商標)が挙げられ、薬液に対する耐食性が高いため、薬液に浸漬した状態で使用しても腐食し難い。但し、ゴムシートの弾性力を活かすには、テフロン(登録商標)の肉厚は薄い方が良い。 In the invention according to claim 3, the corrosion-resistant sheet is formed of polytetrafluoroethylene. Polytetrafluoroethylene includes, for example, Teflon (registered trademark), and has high corrosion resistance against chemicals, so that it is difficult to corrode even when used in a state immersed in the chemicals. However, in order to utilize the elastic force of the rubber sheet, it is better that the thickness of Teflon (registered trademark) is thin.
請求項4に記載の発明は、メカニカルシールにおいて、薬液が貯留された処理槽の軸孔を貫通する回転軸に装着されて、前記回転軸と共に回転する回転側摺動部材と、前記回転側摺動部材に面接触するように配置された固定側摺動部材と、円盤状に形成され、内周縁部が前記固定側摺動部材に固定されて、外周縁部が前記処理槽に固定され、前記軸孔をシールすると共に、前記処理槽に貯留された薬液の液圧によって前記固定側摺動部材を前記回転側摺動部材側へ押圧するダイアフラムと、を備え、前記ダイヤフラムが、前記回転軸が貫通する貫通孔が中央に形成された円盤状のゴムシートと、前記回転軸が貫通する貫通孔が中央に形成され、前記ゴムシートに重ね合わされる円盤状の耐食性シートと、前記ゴムシートと前記耐食性シートの外周縁部及び内周縁部を接着する接着剤と、で構成されたことを特徴としている。 According to a fourth aspect of the present invention, in the mechanical seal, a rotation-side sliding member that is attached to a rotation shaft that passes through the shaft hole of the treatment tank in which the chemical solution is stored and rotates together with the rotation shaft; A fixed-side sliding member disposed so as to be in surface contact with the moving member, and formed in a disk shape, an inner peripheral edge is fixed to the fixed-side sliding member, and an outer peripheral edge is fixed to the treatment tank, A diaphragm that seals the shaft hole and presses the stationary-side sliding member toward the rotating-side sliding member by a liquid pressure of a chemical stored in the processing tank, and the diaphragm includes the rotating shaft A disc-shaped rubber sheet in which a through-hole penetrating through is formed in the center, a disc-shaped corrosion-resistant sheet formed in the center of the through-hole through which the rotation shaft passes, and superimposed on the rubber sheet, and the rubber sheet Of the corrosion-resistant sheet It is characterized with the adhesive bonding the periphery and inner periphery, in that it is configured.
請求項4に記載の発明では、薬液が貯留された処理槽に形成された軸孔を貫通する回転軸には回転側摺動部材が装着されており、回転軸と共に回転する。この回転側摺動部材に面接触するようにして固定側摺動部材が配置されている。この固定側摺動部材には円盤状に形成されたダイヤフラムの内周縁部が固定されており、ダイヤフラムの外周縁部は処理槽に固定され、軸孔をシールすると共に、処理槽に貯留された薬液の液圧によって固定側摺動部材を回転側摺動部材側へ押圧している。 In a fourth aspect of the present invention, a rotation-side sliding member is attached to a rotation shaft that passes through a shaft hole formed in a treatment tank in which a chemical solution is stored, and rotates together with the rotation shaft. The fixed-side sliding member is disposed so as to be in surface contact with the rotating-side sliding member. An inner peripheral edge of a diaphragm formed in a disk shape is fixed to the fixed-side sliding member, and an outer peripheral edge of the diaphragm is fixed to the processing tank, seals the shaft hole, and is stored in the processing tank. The stationary sliding member is pressed toward the rotating sliding member by the liquid pressure of the chemical solution.
このダイヤフラムを、円盤状のゴムシートと円盤状の耐食性シートを重ね合わせ、ゴムシート及び耐食性シートの外周縁部及び内周縁部のみを互いに接着して、外周縁部及び内周縁部以外ではゴムシートと耐食性シートとをフリーの状態とすることで、ゴムシートの弾性力を十分に活かし、固定側摺動部材を回転側摺動部材側へ押圧する押圧力を向上させることができる。 This diaphragm is made by stacking a disk-shaped rubber sheet and a disk-shaped corrosion-resistant sheet, and only the outer peripheral edge and inner peripheral edge of the rubber sheet and the corrosion-resistant sheet are bonded to each other. By making the corrosion-resistant sheet free, the elastic force of the rubber sheet can be fully utilized, and the pressing force for pressing the fixed-side sliding member toward the rotating-side sliding member can be improved.
これにより、固定側摺動部材と回転側摺動部材の摺動面の密着性を向上させることができ、また、ゴムシートの弾性力を活かし、回転軸の芯ズレ及び偏芯による回転側摺動部材の位置ズレに対する追従性を向上させることができる。さらに、耐食性シートを用いることで、ダイヤフラムの腐食を防止し、ダイヤフラムの寿命を延ばすことができる。 As a result, it is possible to improve the adhesion between the sliding surfaces of the fixed-side sliding member and the rotating-side sliding member, and to utilize the elastic force of the rubber sheet, the rotating-side sliding due to the misalignment and eccentricity of the rotating shaft. The followability to the positional deviation of the moving member can be improved. Furthermore, by using a corrosion-resistant sheet, the diaphragm can be prevented from being corroded and the life of the diaphragm can be extended.
請求項5に記載の発明は、請求項4に記載のメカニカルシールにおいて、前記回転軸と前記処理槽の側壁とが水平方向及び垂直方向でそれぞれ直交した状態であることを特徴としている。 According to a fifth aspect of the present invention, in the mechanical seal of the fourth aspect, the rotating shaft and the side wall of the processing tank are in a state of being orthogonal to each other in the horizontal direction and the vertical direction.
請求項5に記載の発明では、回転軸と処理槽の側壁とが水平方向及び垂直方向でそれぞれ直交した状態となるようにすることで、ダイヤフラムの周方向で、固定側摺動部材から回転側摺動部材側への押圧力にバラツキが生じないようにして、シール性を確保することができる。 In the invention according to claim 5, the rotating shaft and the side wall of the processing tank are in a state of being orthogonal to each other in the horizontal direction and the vertical direction, so that the rotating side is fixed to the rotating side from the fixed side sliding member in the circumferential direction of the diaphragm. Sealing performance can be ensured by preventing variation in the pressing force toward the sliding member.
請求項6に記載の発明は、請求項4又は5に記載のメカニカルシールにおいて、前記回転軸の外周面が平滑であることを特徴としている。 According to a sixth aspect of the present invention, in the mechanical seal according to the fourth or fifth aspect, the outer peripheral surface of the rotating shaft is smooth.
請求項6に記載の発明では、回転軸の外周面を平滑とすることで、回転側摺動部材を装着させた状態で、回転軸から液洩れしないようにしている。 According to the sixth aspect of the present invention, the outer peripheral surface of the rotating shaft is smoothed so that no liquid leaks from the rotating shaft while the rotating side sliding member is mounted.
本発明は上記構成としたので、請求項1に記載の発明では、ゴムシートと耐食性シートとは、それぞれ独立した状態で移動することが可能となり、ゴムシートの弾性力を十分に活かすことができる。また、ゴムシートに耐食性シートを重ね合わせることで、ダイヤフラムの耐食性を向上させ、寿命を長くすることができる。 Since the present invention is configured as described above, in the invention according to claim 1, the rubber sheet and the corrosion-resistant sheet can be moved independently from each other, and the elastic force of the rubber sheet can be fully utilized. . Further, by superposing the corrosion resistant sheet on the rubber sheet, the corrosion resistance of the diaphragm can be improved and the life can be extended.
請求項2に記載の発明では、ゴムシートと耐食性シートの非接着部に中空部を設けることで、ゴムシート又は耐食性シートの移動時に、他方を追従させることなく、独立した状態で移動させることができる。 In invention of Claim 2, by providing a hollow part in the non-adhesion part of a rubber sheet and a corrosion-resistant sheet, it can be moved in an independent state without causing the other to follow when the rubber sheet or the corrosion-resistant sheet is moved. it can.
請求項3に記載の発明では、薬液に対する耐食性が高いため、薬液に浸漬した状態で使用しても腐食し難い。 In invention of Claim 3, since the corrosion resistance with respect to a chemical | medical solution is high, even if it uses it in the state immersed in a chemical | medical solution, it is hard to corrode.
請求項4に記載の発明では、ゴムシートの弾性力を十分に活かし、固定側摺動部材を回転側摺動部材側へ押圧する押圧力を向上させることができる。これにより、固定側摺動部材と回転側摺動部材の摺動面の密着性を向上させることができ、また、ゴムシートの弾性力を活かし、回転軸の芯ズレ及び偏芯による回転側摺動部材の位置ズレに対する追従性を向上させることができる。さらに、耐食性シートを用いることで、ダイヤフラムの腐食を防止し、ダイヤフラムの寿命を延ばすことができる。 In invention of Claim 4, fully utilizing the elastic force of a rubber sheet, the pressing force which presses a fixed side sliding member to the rotation side sliding member side can be improved. As a result, it is possible to improve the adhesion between the sliding surfaces of the fixed-side sliding member and the rotating-side sliding member, and to utilize the elastic force of the rubber sheet, the rotating-side sliding due to the misalignment and eccentricity of the rotating shaft. The followability with respect to the displacement of the moving member can be improved. Furthermore, by using a corrosion-resistant sheet, the diaphragm can be prevented from being corroded and the life of the diaphragm can be extended.
請求項5に記載の発明では、回転軸と処理槽の側壁とが水平方向及び垂直方向でそれぞれ直交した状態となるようにすることで、ダイヤフラムの周方向で、固定側摺動部材から回転側摺動部材側への押圧力にバラツキが生じないようにして、シール性を確保することができる。 In the invention according to claim 5, the rotating shaft and the side wall of the processing tank are in a state of being orthogonal to each other in the horizontal direction and the vertical direction, so that the rotating side is fixed to the rotating side from the fixed side sliding member in the circumferential direction of the diaphragm. Sealing performance can be ensured by preventing variation in the pressing force toward the sliding member.
請求項6に記載の発明では、回転軸の外周面を平滑とすることで、回転側摺動部材を装着させた状態で、回転軸から液洩れしないようにしている。 According to the sixth aspect of the present invention, the outer peripheral surface of the rotating shaft is smoothed so that no liquid leaks from the rotating shaft while the rotating side sliding member is mounted.
以下、図1に示す化学的エッチング処理工程を例に採って、本発明の実施の形態に係るメカニカルシールについて説明する。 Hereinafter, taking the chemical etching process shown in FIG. 1 as an example, a mechanical seal according to an embodiment of the present invention will be described.
化学的エッチング処理工程では、エッチング処理槽10内に設けられた搬送ロール12によって、エッチング処理槽10内をウェブWが搬送される。エッチング処理槽10では、送液ポンプ14によって導入管16を通して、調液タンク18に貯留された水酸化ナトリウムを主とするエッチング液がスプレー20に送り込まれ、このスプレー20によってウェブWの幅方向に渡って均一にエッチング液がスプレーされる。そして、ウェブWがエッチング処理槽10を出るときは、ニップロール22でウェブWの表面を拭って、エッチング液の持ち出しを防ぐ。
In the chemical etching process, the web W is conveyed in the
なお、ウェブWは、通常、軽量で表面処理性、加工性、耐蝕性に優れたアルミニウム板が使用される。アルミニウム板としては、JIS1050材、JIS1100材、Al−Mn系合金、Al−Mn−Mg系合金等が使用される。 The web W is usually an aluminum plate that is lightweight and excellent in surface treatment, workability, and corrosion resistance. As the aluminum plate, JIS1050 material, JIS1100 material, Al-Mn alloy, Al-Mn-Mg alloy, or the like is used.
図2及び図3に示すように、搬送ロール12の軸部24は、エッチング処理槽10の側壁10Aに形成された軸孔26を貫通して外側へ突出しており、エッチング処理槽10の側壁10Aの外側に配設された架台36に保持されベアリングが内蔵された軸受け38によって回転可能に軸支されている。
As shown in FIGS. 2 and 3, the
また、搬送ロール12の軸部24は、カップリング34を介して、架台36の横に配設された架台28の上にセットされたモータ30の駆動軸32に連結されており、モータ30の駆動力が搬送ロール12に付与される。
Further, the
一方、軸孔26の周縁部には、エッチング処理槽10の側壁10Aに対してフランジ40が直交して設けられており、軸孔26の周縁部の下側では、処理槽10の側壁10Aから外側へ突出するフランジ40の一端側の突出量が大きくなって、フランジ40の一端部に立設する立壁41と共に受け皿42を構成し、エッチング処理槽10から漏れたエッチング液を受けるようになっている。この受け皿42の底面には、排水パイプ44が接続されており、受け皿42に落ちたエッチング液が排水される。
On the other hand, a
また、フランジ40の他端側には、円盤状の固定部材46が固定されている。この固定部材46には、円盤状のダイヤフラム48の外周縁部が、複数のボルト49を介して固定されており、図示しないシール部材を介して、エッチング処理槽10との間で水密状態となっている。
A disk-shaped fixing
ここで、ダイヤフラム48はエッチング処理槽10の側壁10Aの外側へ向って湾曲しており、エッチング処理槽10の側壁10Aの外側へ向う面圧が発生する構成となっている。
Here, the
ダイヤフラム48の内周縁部には、テフロン(登録商標)或いはグラス入りテフロン(登録商標)で形成された円盤状の固定側摺動部材50が、複数のボルト52を介して固定されており、図示しないシール部材を介して、ダイヤフラム48との間で水密状態となっている。この固定側摺動部材50は、ダイヤフラム48によってエッチング処理槽10の外側へ面圧を受けることとなる。
A disk-shaped stationary sliding
一方、搬送ロール12の軸部24は、外周面が平滑となっており、軸部24には円盤状の固定金具54が外嵌されている。エッチング処理槽10側に位置する固定金具54の端面には、固定側摺動部材50と対面して、固定側摺動部材50と外径寸法及び内径寸法が略同一の回転側摺動部材56が、複数のボルト58を介して固定されており、図示しないシール部材を介して、固定金具54との間で水密状態となっている。この回転側摺動部材56は、ダイヤフラム48によってエッチング処理槽10の外側へ面圧を受けた固定側摺動部材50との間で水密状態を維持したまま面接触している。
On the other hand, the outer peripheral surface of the
このように、ダイヤフラム48によって、エッチング処理槽10の側壁10Aに形成された軸孔26がシールされると共に、搬送ロール12の軸部24が回転可能となる。このとき、搬送ロール12の軸部24とエッチング処理槽10の側壁10Aは、水平方向及び垂直方向でそれぞれ直交した状態となるように配設されている。
As described above, the
ところで、図3に示すように、ダイヤフラム48は、エッチング処理槽10の内側に位置する内側ダイヤフラム48Aと、エッチング処理槽10の外側に位置する外側ダイヤフラム48Bと、の2層構造となっており、内側ダイヤフラム48Aと外側ダイヤフラム48Bの外径寸法及び内径寸法が略同一となっている。
By the way, as shown in FIG. 3, the
内側ダイヤフラム48Aは、グラス入りのテフロン(登録商標)等のフッ素樹脂で形成されており(なお、必ずしもグラスを混練りさせる必要はない)、肉厚は0.1〜3mmである。一方、外側ダイヤフラム48Bは、バイトンゴム、EPDM、ネオプレンゴム等の耐食性ゴムで形成されており、肉厚は2〜10mmである。
The
内側ダイヤフラム48Aと外側ダイヤフラム48Bとが重ね合わされ、外周縁部及び内周縁部が接着剤60によって接着されている。また、外周縁部及び内周縁部以外では、内側ダイヤフラム48A及び外側ダイヤフラム48Bは非接着部となっており、中空部48Cが設けられている。
The
次に、本発明の実施の形態に係るメカニカルシールの作用について説明する。 Next, the operation of the mechanical seal according to the embodiment of the present invention will be described.
図3に示すように、ダイヤフラム48を、エッチング処理槽10の内側に位置する内側ダイヤフラム48Aと、エッチング処理槽10の外側に位置する外側ダイヤフラム48Bと、の2層構造とし、内側ダイヤフラム48Aをグラス入りのテフロン(登録商標)で形成し、外側ダイヤフラム48Bをバイトンゴム等の耐食性ゴムで形成している。また、内側ダイヤフラム48A及び外側ダイヤフラム48Bの間には、中空部48Cを設けている。
As shown in FIG. 3, the
内側ダイヤフラム48Aはエッチング処理槽10の内側に位置するため、この内側ダイヤフラム48Aをグラス入りのテフロン(登録商標)で形成することで、ダイヤフラム48の耐食性を向上させ、寿命を長くすることができる。
Since the
一方、外側ダイヤフラム48Bをバイトンゴム等のゴムで形成し、さらに、内側ダイヤフラム48A及び外側ダイヤフラム48Bの間に中空部48Cを設けることで、内側ダイヤフラム48A又は外側ダイヤフラム48Bの移動時に、他方を追従させることなく、それぞれ独立した状態で移動することができる。
On the other hand, the
このため、バイトンゴム(外側ダイヤフラム48B)の弾性力を十分に活かし、固定側摺動部材50を回転側摺動部材56側へ押圧する押圧力を向上させることができる。但し、バイトンゴム(外側ダイヤフラム48B)の弾性力を活かすには、テフロン(登録商標)の肉厚は薄い方が良いため、肉厚0.1〜3mmが好ましい。
For this reason, the pressing force for pressing the fixed-
このように、バイトンゴム(外側ダイヤフラム48B)の弾性力を十分に活かすことで、固定側摺動部材50と回転側摺動部材56の摺動面の密着性の向上だけでなく、搬送ロール12の軸部24の芯ズレ及び偏芯による回転側摺動部材56の位置ズレに対する追従性も向上させることができる。
Thus, by making full use of the elastic force of the Viton rubber (
つまり、内側ダイヤフラム48Aと、外側ダイヤフラム48Bを重ね合わせ、内側ダイヤフラム48A及び外側ダイヤフラム48Bの間に中空部48Cを設けることで、テフロン(登録商標)の耐食性とゴムの弾性力を併せ持つダイヤフラム48を得ることができ、ダイヤフラム48の腐食を防止し、ダイヤフラム48の寿命を延ばすと共に、固定側摺動部材50と回転側摺動部材56の摺動面の密着性を向上させることができる。
That is, the
また、搬送ロール12の軸部24をダイヤフラム48を介して回転可能に軸支させた状態で、搬送ロール12の軸部24とエッチング処理槽10の側壁10Aを、水平方向及び垂直方向でそれぞれ直交した状態となるようにすることで、ダイヤフラム48の周方向で、固定側摺動部材50から回転側摺動部材56側への押圧力にバラツキが生じないようにして、シール性を確保することができる。
Further, the
さらに、搬送ロール12の軸部24の外周面を平滑にすることで、回転側摺動部材56を装着させた状態で、軸部24から液洩れしないようにしている。
Furthermore, the outer peripheral surface of the
なお、ここでは、内側ダイヤフラム48Aと外側ダイヤフラム48Bの外径寸法及び内径寸法を略同一としたが、ダイヤフラム48を2層構造とし、内側ダイヤフラム48Aと外側ダイヤフラム48Bが互いにフリーの状態となれば良いため、これに限るものではない。
Here, the outer diameter and the inner diameter of the
例えば、図4に示すように、ダイヤフラム64を構成する外側ダイヤフラム64Bの外径寸法を、内側ダイヤフラム64Aの外径寸法よりも小さくし、外側ダイヤフラム64Bの内径寸法を、内側ダイヤフラム64Aの内径寸法よりも大きくする。そして、外側ダイヤフラム64Bの外周縁部及び内周縁部のみを固定部材46、固定側摺動部材50にそれぞれ固定し、内側ダイヤフラム64Aの外周縁部及び内周縁部を外側ダイヤフラム64Bの外周縁側及び内周縁側に接着する。この場合、外側ダイヤフラム64Bはエッチング処理槽10のエッチング液に接触しないため(図3参照)、外側ダイヤフラム64Bを耐食性を有しないゴムで成形しても良い。
For example, as shown in FIG. 4, the outer diameter of the
また、本形態では、エッチング処理槽10に用いられるメカニカルシール62を構成するダイヤフラム48について説明したが、エッチング処理槽10に限るものではない。このため、例えば、耐食性シートとして、内側ダイヤフラム48Aをグラス入りのテフロン(登録商標)で形成させたが、処理槽内に貯留される薬液によって、内側ダイヤフラム48Aを塩化ビニルやポリプロピレンで形成させる場合もある。
Moreover, although this embodiment demonstrated the
また、ここでは、ダイヤフラム48を内側ダイヤフラム48Aと外側ダイヤフラム48Bの2層構造としたが、外側ダイヤフラム48Bの弾性力を有効に活用することができれば良いため、これに限るものではない。例えば、内側ダイヤフラム48Aと外側ダイヤフラム48Bの中空部48Cにスポンジ等の干渉部材を設けても良い。
In addition, here, the
さらに、ここでは、内側ダイヤフラム48Aと外側ダイヤフラム48Bとの間に、中空部48Cを設けたが、外周縁部及び内周縁部以外で内側ダイヤフラム48Aと外側ダイヤフラム48Bの間が非接着であれば良いため、内側ダイヤフラム48Aと外側ダイヤフラム48Bとの間に必ずしも中空部48Cを設ける必要はなく、内側ダイヤフラム48A及び外側ダイヤフラム48Bが接触した状態であっても良い。
Further, here, the
48 ダイヤフラム
48B 外側ダイヤフラム(ゴムシート)
48C 中空部
48A 内側ダイヤフラム(耐食性シート)
50 固定側摺動部材
56 回転側摺動部材
60 接着剤
62 メカニカルシール
64 ダイヤフラム
64B 外側ダイヤフラム(ゴムシート)
64A 内側ダイヤフラム(耐食性シート)
48
50 Fixed-
64A Inner diaphragm (corrosion resistant sheet)
Claims (6)
前記回転軸が貫通する貫通孔が中央に形成され、前記ゴムシートに重ね合わされる円盤状の耐食性シートと、
前記ゴムシートと前記耐食性シートの外周縁部及び内周縁部を接着する接着剤と、
を有することを特徴とするダイヤフラム。 A disc-shaped rubber sheet in which a through-hole through which the rotating shaft passes is formed in the center;
A through hole through which the rotating shaft passes is formed in the center, and a disk-shaped corrosion-resistant sheet that is superimposed on the rubber sheet;
An adhesive that bonds the outer peripheral edge and inner peripheral edge of the rubber sheet and the corrosion-resistant sheet;
The diaphragm characterized by having.
前記回転側摺動部材に面接触するように配置された固定側摺動部材と、
円盤状に形成され、内周縁部が前記固定側摺動部材に固定されて、外周縁部が前記処理槽に固定され、前記軸孔をシールすると共に、前記処理槽に貯留された薬液の液圧によって前記固定側摺動部材を前記回転側摺動部材側へ押圧するダイアフラムと、
を備え、
前記ダイヤフラムが、
前記回転軸が貫通する貫通孔が中央に形成された円盤状のゴムシートと、
前記回転軸が貫通する貫通孔が中央に形成され、前記ゴムシートに重ね合わされる円盤状の耐食性シートと、
前記ゴムシートと前記耐食性シートの外周縁部及び内周縁部を接着する接着剤と、
で構成されたことを特徴とするメカニカルシール。 A rotating side sliding member that is mounted on a rotating shaft that passes through the shaft hole of the treatment tank in which the chemical solution is stored and rotates together with the rotating shaft;
A fixed sliding member disposed so as to be in surface contact with the rotating sliding member;
Formed in a disc shape, the inner peripheral edge is fixed to the fixed-side sliding member, the outer peripheral edge is fixed to the processing tank, the shaft hole is sealed, and the liquid of the chemical solution stored in the processing tank A diaphragm for pressing the fixed-side sliding member toward the rotating-side sliding member by pressure;
With
The diaphragm is
A disc-shaped rubber sheet in which a through hole through which the rotating shaft passes is formed in the center;
A through hole through which the rotating shaft passes is formed in the center, and a disk-shaped corrosion-resistant sheet that is superimposed on the rubber sheet;
An adhesive that bonds the outer peripheral edge and inner peripheral edge of the rubber sheet and the corrosion-resistant sheet;
A mechanical seal characterized by comprising.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004018180A JP2005214223A (en) | 2004-01-27 | 2004-01-27 | Diaphragm and mechanical seal using diaphragm |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004018180A JP2005214223A (en) | 2004-01-27 | 2004-01-27 | Diaphragm and mechanical seal using diaphragm |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005214223A true JP2005214223A (en) | 2005-08-11 |
Family
ID=34902763
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004018180A Pending JP2005214223A (en) | 2004-01-27 | 2004-01-27 | Diaphragm and mechanical seal using diaphragm |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005214223A (en) |
-
2004
- 2004-01-27 JP JP2004018180A patent/JP2005214223A/en active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5980217B2 (en) | Shaft seal device and manufacturing method thereof | |
WO2012076762A1 (en) | Bearing assembly for a marine turbine shaft, and marine turbine including such a bearing assembly | |
JP2003214541A (en) | Seal device | |
JP5270329B2 (en) | Thrust slide bearing and pump equipped with the thrust slide bearing | |
JP2005214223A (en) | Diaphragm and mechanical seal using diaphragm | |
JP2014025411A (en) | Shaft sealing device of centrifugal pump | |
JP2009007050A (en) | Long life fluororesin lining tank and its manufacturing process | |
JP2017172807A (en) | Seal structure, container, and casing structure of pump | |
JP2015036561A (en) | Seal structure, container, and casing structure of pump | |
JP7110980B2 (en) | elastic rolls, nip rolls and conveyors | |
JP2007127157A (en) | Sealed rolling bearing | |
CN211145380U (en) | Elastic hard sealing butterfly valve | |
WO2023015421A1 (en) | Seal assembly for bearing | |
JPH11148482A (en) | Resin coated inner magnet of magnet coupling | |
JP2006017310A (en) | Slide bearing device | |
JP2512887Y2 (en) | Rubber bearing | |
JP2006200556A (en) | Bearing device and coater | |
JP2018105339A (en) | Shaft sleeve, pump and method for manufacturing shaft sleeve | |
JPS59212573A (en) | Mechanical sealing device | |
JPH0220533Y2 (en) | ||
JP4599863B2 (en) | Annular coating device, annular coating method | |
JP3270267B2 (en) | Non-contact annular seal | |
CN220435402U (en) | Dehumidification runner sealing strip, dehumidification runner assembly and runner dehydrating unit | |
JPWO2003013844A1 (en) | Resin molded body, laminated body, and method for producing them | |
CN211901319U (en) | Waterproof structure of rotating shaft |