JP2005190659A - Optical information recording and reproducing method and device - Google Patents

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Shuichi Okubo
修一 大久保
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method and a device for performing optical information recording and reproduction having high signal quality by using an optical information recording medium capable of performing high density land/groove recording where crosstalk from an adjacent track is suppressed even when a short wavelength light source and an optical head having a high NA are used. <P>SOLUTION: Information is reproduced from the optical information recording medium for land/groove recording of a Low-to-high recording system having a substrate 1 and a recording layer 2. The information is reproduced by irradiating the recording layer 2 with light having 390 to 440 nm wavelength from the substrate 1 side by using an objective lens having a numerical aperture of 0.65 and when the wavelength of the light is defined as λ and the refractive index of the substrate 1 in the wavelength λ is defined as ns, the depth D of a part G' corresponding to the groove to a part L' corresponding to the land in the recording layer 2 is specified to satisfy the relation of λ/5.8ns≤D≤λ/5ns. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、レーザ光などの光を用いて情報の記録・再生がなされる光学的情報記録媒体更にはそれを用いた光学的情報記録再生方法及び光学的情報記録再生装置に関するものであり、特にトラッキング用案内溝を有する基板の表面上に設けられた記録層に対してトラッキング用案内溝内部に対応する部分及び隣接案内溝間部に対応する部分の両方に情報の記録がなされる光学的情報記録媒体並びにそれを用いた光学的情報記録再生の方法及び装置に関するものである。   The present invention relates to an optical information recording medium on which information is recorded / reproduced using light such as a laser beam, and further to an optical information recording / reproducing method and an optical information recording / reproducing apparatus using the same. Optical information in which information is recorded in both the portion corresponding to the inside of the tracking guide groove and the portion corresponding to the portion between the adjacent guide grooves with respect to the recording layer provided on the surface of the substrate having the tracking guide groove. The present invention relates to a recording medium and an optical information recording / reproducing method and apparatus using the same.

レーザ光照射により情報の記録・再生を行うのに使用される光学的情報記録媒体として、MO(光磁気ディスク)あるいはCD−R、また、CD−RW、DVD−R、DVD−RAM、DVD−RW等が一般に知られている。光学的情報記録媒体における記録の高密度化のための手段としては、基板面に略円形状に互いに平行に形成されたトラッキング用案内溝(グルーブ)の隣接するもの同士の間の平坦部(ランド)および該案内溝の内部の両方に対応する記録層部分に記録を行う、ランド/グルーブ記録が知られている(特開昭57−50330号公報[特許文献1]、特開平9−73665号公報[特許文献2]、特開平9−198716号公報[特許文献3]、特開平10−64120号公報[特許文献4]等)。   As an optical information recording medium used for recording / reproducing information by laser beam irradiation, MO (magneto-optical disk) or CD-R, CD-RW, DVD-R, DVD-RAM, DVD- RW is generally known. As a means for increasing the recording density in the optical information recording medium, a flat portion (land) between adjacent tracking guide grooves (grooves) formed in a substantially circular shape in parallel with each other on the substrate surface is used. ) And land / groove recording, in which recording is performed on the recording layer portion corresponding to both the inside of the guide groove (Japanese Patent Laid-Open No. 57-50330 [Patent Document 1] and Japanese Patent Laid-Open No. 9-73665). (Patent Document 2), JP-A-9-198716 [Patent Document 3], JP-A-10-64120 [Patent Document 4], etc.).

また、近年、記録の高密度化の手法として、情報の記録・再生のための装置を構成する光ヘッドの対物レンズのNAを0.85程度にまで高める技術が提案されている。NAを高くすることでレーザ光を集光した際のビーム径を小さくすることができるのでより微小なマークを記録・再生することが可能となる。このようにNAを高くした場合には、従来のように0.6-1.2mm厚の支持基板側からレーザ光を照射するのではなく、光学的情報記録媒体のトラッキング用案内溝の形成された表面に厚さ0.1mm程度の光透過層を形成し、該光透過層側からレーザ光を照射して情報の記録・再生を行うことができる。   In recent years, a technique for increasing the NA of an objective lens of an optical head constituting an apparatus for recording / reproducing information to about 0.85 has been proposed as a technique for increasing the recording density. By increasing the NA, the beam diameter when the laser beam is condensed can be reduced, so that a finer mark can be recorded and reproduced. When the NA is increased in this way, the surface of the optical information recording medium on which the tracking guide groove is formed is used instead of irradiating the laser beam from the side of the support substrate having a thickness of 0.6 to 1.2 mm as in the prior art. A light transmission layer having a thickness of about 0.1 mm is formed, and information can be recorded / reproduced by irradiating a laser beam from the light transmission layer side.

また、レーザ光源の短波長化による記録の高密度化の研究も盛んに行われている。従来DVDの記録再生で使用されている赤色の半導体レーザに比べて、波長405nm前後の青紫色半導体レーザを使用することで、3倍以上の高記録密度の実現が期待されている。   In addition, research on increasing the recording density by shortening the wavelength of the laser light source has been actively conducted. By using a blue-violet semiconductor laser having a wavelength of about 405 nm compared to a red semiconductor laser conventionally used for DVD recording / reproduction, it is expected to realize a recording density three times or more.

一方、光学的情報記録媒体の信号品質改善のためには、記録前の記録層の反射率を低くしておき、記録後の記録層の反射率が高くなるようにするLow-to-high(L-H)の記録方式が有効である。これは、記録前の記録層の反射率を低くしておくことにより、変調度を高くすることができるので、従来のDVD-RAMやDVD-RWで用いられている記録後の記録層の反射率が低くなるHigh-to-low(H-L)の記録方式に比べて、C/Nを高くすることができるからである。   On the other hand, in order to improve the signal quality of the optical information recording medium, the reflectance of the recording layer before recording is lowered, and the reflectance of the recording layer after recording is increased. LH) recording method is effective. This is because the degree of modulation can be increased by keeping the reflectance of the recording layer before recording low, so that the reflection of the recording layer after recording used in conventional DVD-RAM and DVD-RW This is because the C / N can be increased as compared with a high-to-low (HL) recording method in which the rate is low.

これらの技術を組み合わせること、すなわち、信号品質の高いL-H方式の光学的情報記録媒体に対して、青紫色半導体レーザ等の短波長光源及び高NAの光ヘッドを用いてランド/グルーブ記録を行うことで、飛躍的に記録密度を増大させることが考えられる。
特開昭57−50330号公報 特開平9−73665号公報 特開平9−198716号公報 特開平10−64120号公報
Combining these technologies, that is, performing land / groove recording on an LH optical information recording medium with high signal quality using a short wavelength light source such as a blue-violet semiconductor laser and a high NA optical head. Thus, it is conceivable to dramatically increase the recording density.
JP 57-50330 A Japanese Patent Laid-Open No. 9-73665 JP-A-9-198716 JP-A-10-64120

ところで、ランド/グルーブ記録を行う際の大きな技術的課題の一つは、隣接トラックからの信号の漏れ込み、いわゆるクロストークである。記録密度を増大させるためにトラッキング用案内溝のピッチを小さくすると、隣接トラックに記録された情報からのクロストーク成分が大きくなるため、目的とするトラック(自己トラック)で正確に情報を再生することが困難となる。   Incidentally, one of the major technical problems when performing land / groove recording is leakage of signals from adjacent tracks, so-called crosstalk. If the pitch of the guide groove for tracking is reduced to increase the recording density, the crosstalk component from the information recorded on the adjacent track increases, so that information can be accurately reproduced on the target track (self track). It becomes difficult.

本発明の目的の1つは、短波長光源や高NAの光ヘッドを用いた場合にも隣接トラックからのクロストークの抑制された高密度のランド/グルーブ記録が可能な、信号品質の高いL-H方式の光学的情報記録媒体を提供することにある。   One of the objects of the present invention is a high-quality LH signal capable of high-density land / groove recording with suppressed crosstalk from adjacent tracks even when a short wavelength light source or a high NA optical head is used. An optical information recording medium of the type is provided.

また、本発明の他の目的は、そのような光学的情報記録媒体を用いて光学的情報の記録再生を行う方法及び装置を提供することにある。   Another object of the present invention is to provide a method and apparatus for recording and reproducing optical information using such an optical information recording medium.

本発明によれば、以上の如き目的を達成するものとして、
基板及び記録層を有するLow-to-high記録方式のランド/グルーブ記録用光学的情報記録媒体から情報を再生するための光学的情報再生方法において、
波長390〜440nmの光を開口数0.65の対物レンズを用いて前記基板側から前記記録層に照射することで情報の再生を行うとともに、
前記光の波長をλ、該波長λにおける前記基板の屈折率をnsとそれぞれした場合に、前記記録層のグルーブ対応部分のランド対応部分に対する深さDがλ/5.8ns≦D≦λ/5nsの関係を満たすことを特徴とする光学的情報再生方法、
が提供される。
According to the present invention, the object as described above is achieved.
In an optical information reproducing method for reproducing information from a low-to-high recording land / groove optical information recording medium having a substrate and a recording layer,
Information is reproduced by irradiating the recording layer with light having a wavelength of 390 to 440 nm from the substrate side using an objective lens having a numerical aperture of 0.65, and
When the wavelength of the light is λ and the refractive index of the substrate at the wavelength λ is ns, the depth D of the recording layer corresponding to the groove to the land corresponding portion is λ / 5.8 ns ≦ D ≦ λ / 5 ns. An optical information reproducing method characterized by satisfying the relationship
Is provided.

本発明によれば、以上の如き目的を達成するものとして、
基板及び記録層を有するLow-to-high記録方式のランド/グルーブ記録用光学的情報記録媒体から情報を再生する光学的情報再生装置において、
波長390〜440nmの光を出射する光源と開口数0.65の対物レンズとを少なくとも具備し、前記基板側から前記記録層に前記光を照射することで情報の再生を行うとともに、
前記光の波長をλ、該波長λにおける前記基板の屈折率をnsとそれぞれした場合に、前記記録層のグルーブ対応部分のランド対応部分に対する深さDがλ/5.8ns≦D≦λ/5nsの関係を満たすことを特徴とする光学的情報再生装置、
が提供される。
According to the present invention, the object as described above is achieved.
In an optical information reproducing apparatus for reproducing information from a low-to-high recording land / groove optical information recording medium having a substrate and a recording layer,
It comprises at least a light source that emits light with a wavelength of 390 to 440 nm and an objective lens with a numerical aperture of 0.65, and reproduces information by irradiating the recording layer with the light from the substrate side,
When the wavelength of the light is λ and the refractive index of the substrate at the wavelength λ is ns, the depth D of the recording layer corresponding to the groove to the land corresponding portion is λ / 5.8 ns ≦ D ≦ λ / 5 ns. An optical information reproducing device characterized by satisfying the relationship of
Is provided.

本発明によれば、以上の如き目的を達成するものとして、
基板及び記録層を有するLow-to-high記録方式のランド/グルーブ記録用光学的情報記録媒体から情報を再生するための光学的情報再生方法において、
波長390〜440nmの光を開口数0.65の対物レンズを用いて前記基板側から前記記録層に照射することで情報の再生を行うとともに、
前記ランド部と前記グルーブ部との交互配置の形成されていない非記録領域に光を照射した時の反射光量をI1とし、同一条件で情報未記録状態の前記グルーブ部に対応する部分及び前記ランド部に対応する部分に光を照射した時の反射光量をそれぞれI2及びI3として、R=0.5(I2+I3)/I1の値が所定の範囲内にあることを特徴とする光学的情報再生方法、
が提供される。
According to the present invention, the object as described above is achieved.
In an optical information reproducing method for reproducing information from a low-to-high recording land / groove optical information recording medium having a substrate and a recording layer,
Information is reproduced by irradiating the recording layer with light having a wavelength of 390 to 440 nm from the substrate side using an objective lens having a numerical aperture of 0.65, and
The amount of reflected light when irradiating light to a non-recording area in which the land portion and the groove portion are not alternately arranged is I1, and the portion corresponding to the groove portion in the information unrecorded state under the same condition and the land An optical information reproducing method characterized in that a value of R = 0.5 (I2 + I3) / I1 is within a predetermined range, where I2 and I3 are reflected light amounts when the portion corresponding to the portion is irradiated with light. ,
Is provided.

本発明の一態様においては、前記Rの値は0.5〜0.75である。本発明の一態様においては、前記Rの値は0.6〜0.7である。   In one aspect of the present invention, the value of R is 0.5 to 0.75. In one aspect of the present invention, the value of R is 0.6 to 0.7.

本発明によれば、以上の如き目的を達成するものとして、
基板及び記録層を有するLow-to-high記録方式のランド/グルーブ記録用光学的情報記録媒体から情報を再生する光学的情報再生装置において、
波長390〜440nmの光を出射する光源と開口数0.65の対物レンズとを少なくとも具備し、前記基板側から前記記録層に前記光を照射することで情報の再生を行うとともに、
前記ランド部と前記グルーブ部との交互配置の形成されていない非記録領域に光を照射した時の反射光量をI1とし、同一条件で情報未記録状態の前記グルーブ部に対応する部分及び前記ランド部に対応する部分に光を照射した時の反射光量をそれぞれI2及びI3として、R=0.5(I2+I3)/I1の値が所定の範囲内にあることを特徴とする光学的情報再生装置、
が提供される。
According to the present invention, the object as described above is achieved.
In an optical information reproducing apparatus for reproducing information from a low-to-high recording land / groove optical information recording medium having a substrate and a recording layer,
It comprises at least a light source that emits light with a wavelength of 390 to 440 nm and an objective lens with a numerical aperture of 0.65, and reproduces information by irradiating the recording layer with the light from the substrate side,
The amount of reflected light when irradiating light to a non-recording area in which the land portion and the groove portion are not alternately arranged is I1, and the portion corresponding to the groove portion in the information unrecorded state under the same condition and the land An optical information reproducing apparatus characterized in that the value of R = 0.5 (I2 + I3) / I1 is within a predetermined range, where I2 and I3 are the amounts of reflected light when the part corresponding to the part is irradiated with light. ,
Is provided.

本発明の一態様においては、前記Rの値は0.55〜0.7である。本発明の一態様においては、前記Rの値は0.6〜0.7である。   In one aspect of the present invention, the value of R is 0.55 to 0.7. In one aspect of the present invention, the value of R is 0.6 to 0.7.

本発明によれば、以上の如き目的を達成するものとして、
基板及び記録層を有するLow-to-high記録方式のランド/グルーブ記録用光学的情報記録媒体から情報を再生するための光学的情報再生方法において、
波長390〜440nmの光を開口数0.65の対物レンズを用いて前記基板側から前記記録層に照射することで情報の再生を行うとともに、
前記光の波長をλ、該波長λにおける前記基板の屈折率をnsとそれぞれした場合に、前記記録層のグルーブ対応部分のランド対応部分に対する深さDがλ/5.8ns≦D≦λ/5nsの関係を満たし、かつ、前記グルーブ部の幅と前記ランド部の幅との和が0.5〜1.2μmの範囲内にあることを特徴とする光学的情報再生方法、
が提供される。
According to the present invention, the object as described above is achieved.
In an optical information reproducing method for reproducing information from a low-to-high recording land / groove optical information recording medium having a substrate and a recording layer,
Information is reproduced by irradiating the recording layer with light having a wavelength of 390 to 440 nm from the substrate side using an objective lens having a numerical aperture of 0.65, and
When the wavelength of the light is λ and the refractive index of the substrate at the wavelength λ is ns, the depth D of the recording layer corresponding to the groove to the land corresponding portion is λ / 5.8 ns ≦ D ≦ λ / 5 ns. And the sum of the width of the groove part and the width of the land part is in the range of 0.5 to 1.2 μm,
Is provided.

本発明によれば、以上の如き目的を達成するものとして、
基板及び記録層を有するLow-to-high記録方式のランド/グルーブ記録用光学的情報記録媒体から情報を再生する光学的情報再生装置において、
波長390〜440nmの光を出射する光源と開口数0.65の対物レンズとを少なくとも具備し、前記基板側から前記記録層に前記光を照射することで情報の再生を行うとともに、
前記光の波長をλ、該波長λにおける前記基板の屈折率をnsとそれぞれした場合に、前記記録層のグルーブ対応部分のランド対応部分に対する深さDがλ/5.8ns≦D≦λ/5nsの関係を満たし、かつ、前記グルーブ部の幅と前記ランド部の幅との和が0.5〜1.2μmの範囲内にあることを特徴とする光学的情報再生装置、
が提供される。
According to the present invention, the object as described above is achieved.
In an optical information reproducing apparatus for reproducing information from a low-to-high recording land / groove optical information recording medium having a substrate and a recording layer,
It comprises at least a light source that emits light with a wavelength of 390 to 440 nm and an objective lens with a numerical aperture of 0.65, and reproduces information by irradiating the recording layer with the light from the substrate side,
When the wavelength of the light is λ and the refractive index of the substrate at the wavelength λ is ns, the depth D of the recording layer corresponding to the groove to the land corresponding portion is λ / 5.8 ns ≦ D ≦ λ / 5 ns. And the sum of the width of the groove part and the width of the land part is in the range of 0.5 to 1.2 μm,
Is provided.

また、本発明によれば、以上の如き目的を達成するものとして、
スポット状に光を照射することで情報の記録・再生がなされ、前記スポット状の光のトラッキング用の案内溝を有する基板上に少なくとも記録層及び光透過層がこの順に設けられており、前記光透過層の側から前記記録層に対してスポット状に前記光を照射して、前記案内溝の内部に対応する前記記録層の第1の部分および互いに隣接する前記案内溝間の平坦部に対応する前記記録層の第2の部分の両方に記録を行う光学的情報記録媒体であって、
前記光の波長をλとし、該波長λにおける前記光透過層の屈折率をnfとした場合に、前記記録層の前記光透過層の側の面における前記第2の部分に対する前記第1の部分の深さdがλ/5.8nf≦d≦λ/5nfの関係を満足しており、前記記録層は記録を行うことで記録を行う前より反射率が大きくなることを特徴とする光学的情報記録媒体、
が提供される。
In addition, according to the present invention, the object as described above is achieved.
Information is recorded / reproduced by irradiating light in a spot shape, and at least a recording layer and a light transmission layer are provided in this order on a substrate having a guide groove for tracking the spot light. The recording layer is irradiated with the light in a spot shape from the transmission layer side, and corresponds to the first portion of the recording layer corresponding to the inside of the guide groove and the flat portion between the guide grooves adjacent to each other. An optical information recording medium for recording on both of the second portions of the recording layer,
When the wavelength of the light is λ and the refractive index of the light transmitting layer at the wavelength λ is nf, the first portion with respect to the second portion of the surface of the recording layer on the light transmitting layer side The depth d of the optical disk satisfies the relationship of λ / 5.8nf ≦ d ≦ λ / 5nf, and the recording layer has a higher reflectivity than before recording by performing recording. recoding media,
Is provided.

本発明の一態様においては、前記深さdは前記案内溝間平坦部に対する前記案内溝内部の深さと実質上同一である。本発明の一態様においては、前記基板と前記記録層との間には誘電体層が存在する。本発明の一態様においては、前記基板と前記誘電体層との間には反射膜が存在する。本発明の一態様においては、前記記録層と前記光透過層との間には誘電体層が存在する。   In one aspect of the present invention, the depth d is substantially the same as the depth inside the guide groove with respect to the flat portion between the guide grooves. In one aspect of the present invention, a dielectric layer exists between the substrate and the recording layer. In one aspect of the present invention, a reflective film exists between the substrate and the dielectric layer. In one aspect of the present invention, a dielectric layer exists between the recording layer and the light transmission layer.

また、本発明によれば、以上の如き目的を達成するものとして、
スポット状に光を照射することで情報の記録・再生がなされ、前記スポット状の光のトラッキング用の案内溝を有する基板上に少なくとも記録層が設けられており、前記基板の側から前記記録層に対してスポット状に前記光を照射して、前記案内溝の内部に対応する前記記録層の第1の部分および互いに隣接する前記案内溝間の平坦部に対応する前記記録層の第2の部分の両方に記録を行う光学的情報記録媒体であって、
前記光の波長をλとし、該波長λにおける前記基板の屈折率をnsとした場合に、前記記録層の前記基板の側の面における前記第1の部分に対する前記第2の部分の深さDがλ/5.8ns≦D≦λ/5nsの関係を満足しており、前記記録層は記録を行うことで記録を行う前より反射率が大きくなることを特徴とする光学的情報記録媒体、
が提供される。
In addition, according to the present invention, the object as described above is achieved.
Information is recorded / reproduced by irradiating light in a spot form, and at least a recording layer is provided on a substrate having a guide groove for tracking the spot-like light, and the recording layer is provided from the substrate side. Is irradiated with the light in a spot shape, and a second portion of the recording layer corresponding to a first portion of the recording layer corresponding to the inside of the guide groove and a flat portion between the guide grooves adjacent to each other. An optical information recording medium for recording on both parts,
When the wavelength of the light is λ and the refractive index of the substrate at the wavelength λ is ns, the depth D of the second portion with respect to the first portion of the surface of the recording layer on the substrate side is D. Satisfies the relationship of λ / 5.8ns ≦ D ≦ λ / 5ns, and the recording layer has a higher reflectance than before recording by performing recording,
Is provided.

本発明の一態様においては、前記深さDは前記案内溝間の平坦部に対する前記案内溝の内部の深さと実質上同一である。本発明の一態様においては、前記記録層の前記基板と反対の側には反射膜が存在する。本発明の一態様においては、前記基板と前記記録層との間には誘電体層が存在する。   In an aspect of the present invention, the depth D is substantially the same as the depth inside the guide groove with respect to the flat portion between the guide grooves. In one aspect of the present invention, a reflective film exists on the side of the recording layer opposite to the substrate. In one aspect of the present invention, a dielectric layer exists between the substrate and the recording layer.

また、本発明によれば、以上の如き目的を達成するものとして、
スポット状に光を照射することで情報の記録・再生がなされ、前記スポット状の光のトラッキング用の案内溝を有する基板上に少なくとも記録層が設けられており、前記案内溝の内部に対応する前記記録層の第1の部分および互いに隣接する前記案内溝間の平坦部に対応する前記記録層の第2の部分の両方に記録を行う光学的情報記録媒体であって、
前記案内溝と前記案内溝間平坦部との交互配置の形成されていない非記録領域に光を照射した時の反射光量をIとし、同一条件で情報未記録状態の前記案内溝内部に対応する部分及び前記案内溝間平坦部に対応する部分に光を照射した時の反射光量をそれぞれI及びIとして、R=0.5(I+I)/Iの値が0.55〜0.7であり、前記記録層は記録を行うことで記録を行う前より反射率が大きくなることを特徴とする光学的情報記録媒体、
が提供される。
In addition, according to the present invention, the object as described above is achieved.
Information is recorded and reproduced by irradiating light in a spot shape, and at least a recording layer is provided on a substrate having a guide groove for tracking the spot light, and corresponds to the inside of the guide groove. An optical information recording medium for recording on both the first portion of the recording layer and the second portion of the recording layer corresponding to the flat portion between the guide grooves adjacent to each other,
Corresponding to the inside of the guide groove in an unrecorded state under the same condition, the reflected light amount when irradiating light to a non-recording area where the guide groove and the flat portion between the guide grooves are not formed is set to I 1 The amount of reflected light when irradiating the portion corresponding to the flat portion between the guide groove and the flat portion between the guide grooves is I 2 and I 3 , respectively, and the value of R = 0.5 (I 2 + I 3 ) / I 1 is 0. An optical information recording medium, wherein the recording layer has a reflectance higher than before recording by performing recording,
Is provided.

本発明の一態様においては、前記基板と前記記録層との間には誘電体層が存在し、該基板と前記誘電体層との間には反射膜が存在してもよい。   In one aspect of the present invention, a dielectric layer may exist between the substrate and the recording layer, and a reflective film may exist between the substrate and the dielectric layer.

本発明の一態様においては、前記記録層の前記基板と反対の側には誘電体層が存在し、該誘電体層の前記記録層と反対の側には反射膜が存在してもよい。   In one aspect of the present invention, a dielectric layer may be present on the side of the recording layer opposite to the substrate, and a reflective film may be present on the side of the dielectric layer opposite to the recording layer.

更に、本発明によれば、以上の如き目的を達成するものとして、
上記の光学的情報記録媒体の前記記録層の第1の部分及び第2の部分の両方に対してスポット状に波長390〜440nmの光を開口数0.8〜0.9の対物レンズを用いて照射することで情報の記録・再生を行うことを特徴とする光学的情報記録再生方法、
が提供される。
Furthermore, according to the present invention, the object as described above is achieved.
Using an objective lens having a numerical aperture of 0.8 to 0.9, light having a wavelength of 390 to 440 nm is spot-formed on both the first portion and the second portion of the recording layer of the optical information recording medium. An optical information recording / reproducing method, wherein information is recorded / reproduced by irradiation
Is provided.

更に、本発明によれば、以上の如き目的を達成するものとして、
上記の光学的情報記録媒体の前記記録層の第1の部分及び第2の部分の両方に対してスポット状に光を照射する光ヘッドを備えており、該光ヘッドは波長390〜440nmの光を発する半導体レーザと、開口数0.8〜0.9の対物レンズとを有することを特徴とする光学的情報記録再生装置、
が提供される。
Furthermore, according to the present invention, the object as described above is achieved.
An optical head for irradiating light in a spot shape to both the first portion and the second portion of the recording layer of the optical information recording medium is provided, and the optical head has a wavelength of 390 to 440 nm. An optical information recording / reproducing apparatus comprising: a semiconductor laser that emits light; and an objective lens having a numerical aperture of 0.8 to 0.9;
Is provided.

溝深さを変化させることで、ランド/グルーブ記録におけるクロストークが変化することは従来から良く知られている。本発明者は、L-H記録方式ではH-L記録方式に比べてクロストークを低減できる溝深さが異なることを見いだした。図6に溝深さとクロストークとの関係を示す。図6において、横軸は、レーザ光の波長をλとし、記録層に対してレーザ光が入射する側に存在する光透過層または基板の屈折率をnとして、溝深さをλ/(a・n)で表した場合のaの値を示しており、縦軸はクロストーク信号の振幅を示している。aが小さいほど溝深さが深くなることに相当する。図6に示すように、クロストークを低減できる溝深さはH-L方式に比べてL-H方式の方が深くなる。しかしながら、溝深さを深くしていくと、基板のノイズが顕著に増加するようになるため、クロストークは抑制できても、目的とするトラック(自己トラック)での信号品質が低下してしまい、高密度記録を行うことができなくなる。溝深さを上記の適切な範囲に選ぶこと、即ち図6におけるaの値を5〜5.8の範囲内に設定することで、 高密度記録に必要な自己トラックの信号品質を確保しつつ、隣接トラックからのクロストークを抑制し、記録容量を増加させることが可能となる。   It has been well known that the crosstalk in land / groove recording changes by changing the groove depth. The present inventor has found that the groove depth capable of reducing crosstalk is different in the L-H recording method than in the H-L recording method. FIG. 6 shows the relationship between groove depth and crosstalk. In FIG. 6, the horizontal axis represents the wavelength of the laser beam as λ, the refractive index of the light transmitting layer or substrate existing on the side where the laser beam is incident on the recording layer as n, and the groove depth as λ / (a The value of a in the case of n) is shown, and the vertical axis shows the amplitude of the crosstalk signal. A smaller a corresponds to a deeper groove. As shown in FIG. 6, the groove depth that can reduce crosstalk is deeper in the LH system than in the H-L system. However, as the groove depth is increased, the noise of the substrate increases significantly, so even if the crosstalk can be suppressed, the signal quality at the target track (self track) will be degraded. High density recording cannot be performed. By selecting the groove depth within the above range, that is, by setting the value of a in FIG. 6 within the range of 5 to 5.8, while ensuring the signal quality of the self-track necessary for high density recording. Thus, crosstalk from adjacent tracks can be suppressed and the recording capacity can be increased.

本発明によれば、信号品質の高いL-H方式の光学的情報記録媒体に対して、高NA光ヘッドを用いて高い記録密度でランド/グルーブ記録を行うことが可能となる。   According to the present invention, land / groove recording can be performed at a high recording density using a high NA optical head on an L-H optical information recording medium with high signal quality.

以下、本発明の実施の形態を、図面を参照しながら説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

図1は本発明にかかる光学的情報記録媒体の一実施形態を示す部分拡大断面図である。厚さ1.2mm前後の円板状の支持基板1の表面(上面)には、基板中心の周りに略円形状に延びたトラッキング用案内溝が形成されており、互いに隣接する案内溝の間には平坦部(ランド)Lが形成されている。トラッキング用案内溝の内部(底部)を特にグルーブGとする。ランドLに対するグルーブGの深さ(溝深さ)はDである。ランドLの幅とグルーブGの幅とは典型的にはほぼ同等であり、好ましくは誤差10%以内である。また、グルーブGの配列ピッチは、例えば0.5〜1.2μmである。   FIG. 1 is a partially enlarged sectional view showing an embodiment of an optical information recording medium according to the present invention. On the surface (upper surface) of the disk-shaped support substrate 1 having a thickness of about 1.2 mm, a tracking guide groove extending in a substantially circular shape is formed around the center of the substrate, and between the adjacent guide grooves. A flat portion (land) L is formed. The inside (bottom part) of the tracking guide groove is a groove G in particular. The depth (groove depth) of the groove G with respect to the land L is D. The width of the land L and the width of the groove G are typically substantially equal, and preferably within an error of 10%. The arrangement pitch of the grooves G is, for example, 0.5 to 1.2 μm.

基板1の上面上には誘電体層4が形成されており、該誘電体層4上には光学的情報の記録される記録層2が形成されており、該記録層2上には誘電体層5が形成されており、該誘電体層5上には屈折率nfの光透過層3が形成されている。光透過層3側からレーザ光LBを照射して、記録層2に対する情報の記録・再生が行われる。基板1には、ポリカーボネート(PC)やアルミニウム(Al)などの材料を用いることができる。光透過層2は、厚さ0.1mm程度であり、PCのフィルムを紫外線硬化樹脂等により接着したものでもよく、また、厚さ0.1mm程度の紫外線硬化樹脂からなる層でもよい。PCのフィルムを接着した場合には、PCフィルムの厚さが紫外線硬化樹脂接着層の厚さに比べて非常に大きいので、光透過層3の屈折率nfとしてPCフィルムの屈折率を用いることができる。   A dielectric layer 4 is formed on the upper surface of the substrate 1, and a recording layer 2 on which optical information is recorded is formed on the dielectric layer 4. A dielectric material is formed on the recording layer 2. A layer 5 is formed, and a light transmission layer 3 having a refractive index nf is formed on the dielectric layer 5. Information is recorded / reproduced on / from the recording layer 2 by irradiating the laser beam LB from the light transmitting layer 3 side. A material such as polycarbonate (PC) or aluminum (Al) can be used for the substrate 1. The light transmission layer 2 has a thickness of about 0.1 mm, may be a PC film bonded with an ultraviolet curable resin or the like, or may be a layer made of an ultraviolet curable resin with a thickness of about 0.1 mm. When the PC film is bonded, the thickness of the PC film is much larger than the thickness of the UV curable resin adhesive layer, and therefore the refractive index of the PC film may be used as the refractive index nf of the light transmission layer 3. it can.

記録層2としては、レーザ光照射により光学的な反射率や位相が変化する材料、例えば、GeSbTe等の公知の相変化型の記録材料や公知のフォトリフラクティブ材料等を用いることができる。記録層2は基板1の表面のランド−グルーブ形状に対応した凹凸形状を有しており、基板グルーブGに対応する部分(即ち第1の部分)G’及び基板ランドLに対応する部分(即ち第2の部分)L’が形成されている。記録層2の上面において、ランド対応部分L’に対するグルーブ対応部分G’の深さ(溝深さ)はdである。典型的には、記録層2の厚さはランド対応部分L’とグルーブ対応部分G’とで同一であり、さらに誘電体層4,5のそれぞれの厚さも同様にランドに対応する部分とグルーブに対応する部分とで同一であるので、上記溝深さdはほぼDに等しい。ここで、溝深さdは、照射レーザ光の波長をλとして、λ/5.8nf≦d≦λ/5nfが成り立つように選ばれている。記録層2の厚さは、例えば10〜30nm好ましくは10〜20nmである。誘電体層4,5は、保護層としての機能の外に、これらを含めた層構成(誘電体層4,5の厚さを含む)を適宜設定することでL−H記録方式の記録媒体を実現することに資するという機能をも有する。   As the recording layer 2, a material whose optical reflectance or phase changes by laser light irradiation, for example, a known phase change recording material such as GeSbTe, a known photorefractive material, or the like can be used. The recording layer 2 has a concavo-convex shape corresponding to the land-groove shape on the surface of the substrate 1, and a portion corresponding to the substrate groove G (ie, the first portion) G ′ and a portion corresponding to the substrate land L (ie, the portion) A second part) L ′ is formed. On the upper surface of the recording layer 2, the depth (groove depth) of the groove corresponding portion G ′ with respect to the land corresponding portion L ′ is d. Typically, the thickness of the recording layer 2 is the same in the land corresponding portion L ′ and the groove corresponding portion G ′, and the thickness of each of the dielectric layers 4 and 5 is also the same as the portion corresponding to the land and the groove. Therefore, the groove depth d is substantially equal to D. Here, the groove depth d is selected so that λ / 5.8nf ≦ d ≦ λ / 5nf holds, where λ is the wavelength of the irradiation laser beam. The thickness of the recording layer 2 is, for example, 10 to 30 nm, preferably 10 to 20 nm. In addition to the function as a protective layer, the dielectric layers 4 and 5 have a layer configuration including these (including the thickness of the dielectric layers 4 and 5) as appropriate, so that the recording medium of the LH recording system is used. It also has a function that contributes to realizing the above.

必要に応じて、基板1の上面には誘電体層4との間に反射膜としての金属層を付与してもよい。   If necessary, a metal layer as a reflective film may be provided between the upper surface of the substrate 1 and the dielectric layer 4.

情報の記録・再生は、記録層2のグルーブ対応部分G’及びランド対応部分L’の両方に対して、L-H記録方式で行われる。L-H記録方式の実現のためには、各層及びそれらの膜厚その他の層構成を公知の設計方法に従って適宜設定する。   Information recording / reproduction is performed by the LH recording method on both the groove corresponding portion G ′ and the land corresponding portion L ′ of the recording layer 2. In order to realize the L-H recording method, each layer and their film thickness and other layer configurations are appropriately set according to a known design method.

図2は、以上のような光学的情報記録媒体に対する情報記録再生の方法及び装置の実施形態の説明のための模式図である。光学的情報記録媒体10は、その中心を通る上下方向の回転中心の周りで回転する。記録媒体10の上方には、記録再生装置を構成する光ヘッド20が配置されている。光ヘッド20において、光源としての半導体レーザ21から発せられるレーザ光はコリメートレンズ22及び対物レンズ23を経て記録媒体10の記録層2のグルーブ対応部分G’またはランド対応部分L’にスポット状に照射される。記録媒体10からの反射光は、対物レンズ23及びビームスプリッタ24を経て光検出系25へと到達する。該光検出系25により再生信号やトラッキング信号などが得られる。半導体レーザ21から照射されるレーザ光の波長λは、例えば390〜680nm、好ましくは390〜440nmである。対物レンズ23としては、開口数(NA)の大きな例えば0.6〜0.9、好ましくは0.8〜0.9のものを使用する。   FIG. 2 is a schematic diagram for explaining an embodiment of an information recording / reproducing method and apparatus for the optical information recording medium as described above. The optical information recording medium 10 rotates around a vertical rotation center passing through the center thereof. Above the recording medium 10, an optical head 20 constituting a recording / reproducing apparatus is arranged. In the optical head 20, a laser beam emitted from a semiconductor laser 21 as a light source is irradiated in a spot shape on the groove corresponding part G ′ or the land corresponding part L ′ of the recording layer 2 of the recording medium 10 through the collimating lens 22 and the objective lens 23. Is done. The reflected light from the recording medium 10 reaches the light detection system 25 through the objective lens 23 and the beam splitter 24. A reproduction signal, a tracking signal, and the like are obtained by the light detection system 25. The wavelength λ of the laser light emitted from the semiconductor laser 21 is, for example, 390 to 680 nm, preferably 390 to 440 nm. As the objective lens 23, a lens having a large numerical aperture (NA) of, for example, 0.6 to 0.9, preferably 0.8 to 0.9 is used.

なお、本発明は、光透過層3の側からレーザ光を照射するものに限定されず、基板1の側からレーザ光を照射するものであってもよい。この場合には、基板1として光透過性ものものを用いる。上記のように典型的には誘電体層4の厚さはランドLに対応する部分とグルーブGに対応する部分とで同一であるので、記録層2の下面において、グルーブ対応部分G’に対するランド対応部分L’の深さ(溝深さ)はほぼDである。溝深さDは、照射レーザ光の波長をλとし、基板1の屈折率をnsとして、λ/5.8ns≦D≦λ/5nsが成り立つように選ばれる。また、反射層を形成する場合には、記録層2の上側に誘電体層5を介して配置される。この場合も、情報の記録・再生は、記録層2のグルーブ対応部分G’及びランド対応部分L’の両方に対して、L-H記録方式で行われる。   In addition, this invention is not limited to what irradiates a laser beam from the light transmissive layer 3 side, You may irradiate a laser beam from the board | substrate 1 side. In this case, a substrate that is light transmissive is used. As described above, since the thickness of the dielectric layer 4 is typically the same in the portion corresponding to the land L and the portion corresponding to the groove G, the land corresponding to the groove corresponding portion G ′ is formed on the lower surface of the recording layer 2. The depth (groove depth) of the corresponding portion L ′ is approximately D. The groove depth D is selected so that λ / 5.8 ns ≦ D ≦ λ / 5 ns holds, where λ is the wavelength of the irradiation laser light and ns is the refractive index of the substrate 1. When a reflective layer is formed, it is disposed above the recording layer 2 via a dielectric layer 5. Also in this case, information recording / reproduction is performed by the LH recording method on both the groove corresponding portion G ′ and the land corresponding portion L ′ of the recording layer 2.

次に、本発明の更に別の実施形態につき説明する。上記実施形態では溝深さと光透過層または基板の屈折率との関係を特定しているが、本実施形態では記録媒体の複数の所定箇所での照射光の反射光量の関係を特定する。これによっても、良好なジッタ特性の記録再生を行うことが可能である。   Next, another embodiment of the present invention will be described. In the above embodiment, the relationship between the groove depth and the refractive index of the light transmission layer or the substrate is specified, but in this embodiment, the relationship between the amount of reflected light of the irradiation light at a plurality of predetermined locations of the recording medium is specified. This also makes it possible to perform recording / reproduction with good jitter characteristics.

具体的には、本実施形態では、記録媒体10の図1に示されているようなランド−グルーブの交互配置の構造が形成されている情報記録領域と同等の層構成を有し但し該ランド−グルーブの交互配置がなく光ビームスポット径に比べて十分に広い領域で一様な平坦部の形成されている非記録領域(たとえば情報記録領域に対して径方向に内側または外側に位置する領域)の記録層にレーザ光をスポット照射した時の反射光量をIとし、同一条件で情報未記録状態の情報記録領域の記録層のグルーブ対応部分及びランド対応部分にレーザ光をスポット照射した時の反射光量をそれぞれI及びIとして、R=0.5(I+I)/Iの値が0.55〜0.7であることが良好なジッタ特性を実現する上で有効であることが判明した。Rは好ましくは0.6〜0.7である。 Specifically, in this embodiment, the recording medium 10 has a layer configuration equivalent to that of the information recording area in which the land-groove alternate structure as shown in FIG. A non-recording area (for example, an area located inside or outside in the radial direction with respect to the information recording area) in which a uniform flat portion is formed in an area sufficiently wider than the light beam spot diameter without any alternate arrangement of grooves ) When the laser beam is spot-irradiated on the recording layer, the amount of reflected light is I 1, and the laser beam is spot-irradiated on the groove-corresponding portion and land-corresponding portion of the recording layer in the information recording area in the unrecorded state under the same conditions It is effective for realizing good jitter characteristics that the value of R = 0.5 (I 2 + I 3 ) / I 1 is 0.55 to 0.7 where I 2 and I 3 are reflected light amounts, respectively. Turned out to be . R is preferably 0.6 to 0.7.

ここでは、情報記録領域の反射光量としてグルーブ対応部分からの反射光量とランド対応部分からの反射光量との平均値を採用している。その理由は、主としてグルーブとランドとで幅が相違する場合があることを考慮したためである。ランド/グルーブ記録の場合にはグルーブとランドとで幅が同一でI及びIの値がほぼ等しいのが典型的であるが、製造誤差などによりグルーブとランドとで幅が相違してI及びIの値が相違する場合もあり、そのような場合に対処するものである。 Here, an average value of the reflected light amount from the groove corresponding portion and the reflected light amount from the land corresponding portion is adopted as the reflected light amount of the information recording area. The reason is mainly due to the fact that the width may be different between the groove and the land. In the case of land / groove recording, it is typical that the groove and land have the same width and the values of I 2 and I 3 are almost equal. However, the groove and land have different widths due to manufacturing errors and the like. There are cases where the values of 2 and I 3 are different, and this is the case.

本実施形態によれば、溝深さと光透過層や基板の屈折率との関係に代えて測定が簡便な複数の箇所における反射光量同士の関係を規定することで、同様な作用効果を発揮することができる。   According to this embodiment, instead of the relationship between the groove depth and the refractive index of the light transmission layer or the substrate, the same effect can be achieved by defining the relationship between the amounts of reflected light at a plurality of locations that are easy to measure. be able to.

以下、実施例により、本発明をさらに説明する。   The following examples further illustrate the present invention.

(実施例1)
基板として厚さ1.1mmのディスク状PC基板を用い、Al反射膜を100nm、ZnS-SiO2誘電体層を40nm、GeSbTe記録層を15nm、ZnS-SiO2誘電体層を100nm、順にそれぞれスパッタリングにより積層し、記録媒体(ディスク)を得た。なお、PC基板として、案内溝のピッチ0.56μm、案内溝の深さ35nm〜55nmのものを使用した。さらに、厚さ 0.1mmのPCフィルムを紫外線硬化樹脂により接着した。PCフィルムの波長400 nmにおける屈折率(nf)は1.6であった。
(Example 1)
Using a disk-shaped PC substrate with a thickness of 1.1 mm as the substrate, the Al reflective film is 100 nm, the ZnS-SiO 2 dielectric layer is 40 nm, the GeSbTe recording layer is 15 nm, and the ZnS-SiO 2 dielectric layer is 100 nm in order, by sputtering. Lamination was performed to obtain a recording medium (disk). A PC substrate having a guide groove pitch of 0.56 μm and a guide groove depth of 35 nm to 55 nm was used. Further, a PC film having a thickness of 0.1 mm was bonded with an ultraviolet curable resin. The refractive index (nf) of the PC film at a wavelength of 400 nm was 1.6.

上記ディスクを初期化した(結晶化させた)のち、線速5.1m/sで回転させ、波長(λ)400nmのレーザ光源、NA=0.85の対物レンズを備えた光ヘッドを用いて、基板と反対の側からレーザ光を照射して、L-H記録方式で0.116μm/bitの線密度条件でランド/グルーブ記録を行ってジッタを測定した。ディスクの反射率は記録前(情報未記録状態)が6%、記録後(情報既記録状態)が20 %であった。   After initializing (crystallizing) the disk, it was rotated at a linear velocity of 5.1 m / s, and an optical head equipped with a laser light source with a wavelength (λ) of 400 nm and an objective lens with NA = 0.85 was used. Jitter was measured by irradiating a laser beam from the opposite side and performing land / groove recording under the linear density condition of 0.116 μm / bit by the LH recording method. The reflectivity of the disc was 6% before recording (unrecorded information state) and 20% after recording (recorded information state).

ジッタの測定結果を図3に示す。図3には、隣接トラックにデータが記録されていない場合(X.T.無しと表記)のジッタ、および、隣接トラックにデータが記録されている場合(X.T.有りと表記)のジッタの両方を示している。隣接トラックに記録がなくクロストークが無い場合の自己トラックにおけるジッタは溝深さが浅いほど良好であり、50nmより深くなると基板に起因したノイズが増加するために、顕著に自己トラックにおけるジッタが劣化してしまう。一方隣接トラックにも記録を行った場合には、溝深さが43nmより浅い場合にはクロストークの影響によりジッタが顕著に劣化してしまう。溝深さを43〜50nmの範囲、すなわち、λ/5.8nf以上λ/5nf以下の範囲に設定することにより、クロストークを含めて良好なジッタ特性を得ることが可能である。   The measurement result of jitter is shown in FIG. FIG. 3 shows both jitter when no data is recorded on the adjacent track (noted as XT) and jitter when data is recorded on the adjacent track (noted as XT). . Jitter in the self track when there is no recording in the adjacent track and there is no crosstalk is better as the groove depth is shallower, and when it is deeper than 50 nm, noise due to the substrate increases, so the jitter in the self track is significantly degraded. Resulting in. On the other hand, when recording is performed on adjacent tracks, jitter is significantly degraded due to the influence of crosstalk when the groove depth is less than 43 nm. By setting the groove depth in the range of 43 to 50 nm, that is, in the range of λ / 5.8nf to λ / 5nf, it is possible to obtain good jitter characteristics including crosstalk.

(比較例1)
基板として厚さ1.1mmのディスク状PC基板を用い、Al反射膜を100nm、ZnS-SiO2誘電体層を15nm、GeSbTe記録層を15nm、ZnS-SiO2誘電体層を45nm、順にそれぞれスパッタリングにより積層し、記録媒体(ディスク)を得た。なお、PC基板として、案内溝のピッチ0.56 μm、案内溝の深さが35nm〜55nmのものを使用した。さらに、厚さ0.1mmのPCフィルムを紫外線硬化樹脂により接着した。PCフィルムの波長400 nmにおける屈折率は1.6であった。
(Comparative Example 1)
A disk-shaped PC substrate with a thickness of 1.1 mm was used as the substrate, the Al reflective film was 100 nm, the ZnS-SiO 2 dielectric layer was 15 nm, the GeSbTe recording layer was 15 nm, and the ZnS-SiO 2 dielectric layer was 45 nm in order, by sputtering. Lamination was performed to obtain a recording medium (disk). A PC substrate having a guide groove pitch of 0.56 μm and a guide groove depth of 35 nm to 55 nm was used. Further, a PC film having a thickness of 0.1 mm was bonded with an ultraviolet curable resin. The refractive index of the PC film at a wavelength of 400 nm was 1.6.

上記ディスクを初期化した(結晶化させた)のち、線速5.1m/sで回転させ、波長400nmのレーザ光源、NA=0.85の対物レンズを備えた光ヘッドを用いて、基板と反対の側からレーザ光を照射して、H-L記録方式で0.116μm/bitの線密度条件でランド/グルーブ記録を行ってジッタを測定した。ディスクの反射率は記録前が18%、記録後が2%であった。   After initializing (crystallizing) the above disk, rotate it at a linear velocity of 5.1 m / s, and use an optical head equipped with a laser light source with a wavelength of 400 nm and an objective lens with NA = 0.85. Then, the laser beam was irradiated, and land / groove recording was performed under the linear density condition of 0.116 μm / bit by the HL recording method, and jitter was measured. The reflectivity of the disc was 18% before recording and 2% after recording.

ジッタの測定結果を図4に示す。隣接トラックに記録のない自己トラックにおけるジッタは溝深さが浅いほど良好であり、50nmより深くなると顕著に自己トラックにおけるジッタが劣化してしまう。一方隣接トラックにも記録を行った場合には、溝深さが37nmより浅い場合にはクロストークの影響によりジッタが顕著に劣化してしまい、また、溝深さが43nmより深い場合にもクロストークの影響によるジッタの増加が無視できなくなる。   The measurement result of jitter is shown in FIG. The jitter in the self track with no recording in the adjacent track is better as the groove depth is shallower, and when it is deeper than 50 nm, the jitter in the self track is remarkably deteriorated. On the other hand, when recording is also performed on adjacent tracks, jitter is significantly degraded due to the effect of crosstalk when the groove depth is shallower than 37 nm, and even when the groove depth is deeper than 43 nm. An increase in jitter due to the influence of talk cannot be ignored.

この比較例1と上記実施例1との比較(図3と図4との比較)から分かるように、H-L記録方式とL-H記録方式とでは好適な溝深さが異なっており、しかもL-H記録方式の方がジッタを一層低減し得ていることが分かる。   As can be seen from the comparison between the first comparative example and the first embodiment (comparison between FIG. 3 and FIG. 4), the preferred groove depth differs between the HL recording method and the LH recording method, and the LH recording method. It can be seen that the jitter can be further reduced.

(実施例2)
基板として厚さ1.1mmのディスク状PC基板を用い、Al反射膜を100nm、ZnS-SiO2誘電体層を45nm、GeSbTe記録層を13nm、ZnS-SiO2誘電体層を110 nmを順にそれぞれスパッタリングにより積層し、記録媒体(ディスク)を得た。なお、PC基板として、案内溝のピッチ0.6μm、案内溝の深さが38nm〜60nmのものを使用した。さらに、厚さ0.1mmのPCフィルムを紫外線硬化樹脂により接着した。PCフィルムの波長432nmにおける屈折率は1.6であった。
(Example 2)
A disk-shaped PC substrate with a thickness of 1.1 mm was used as the substrate, and the Al reflective film was sputtered to 100 nm, the ZnS-SiO 2 dielectric layer to 45 nm, the GeSbTe recording layer to 13 nm, and the ZnS-SiO 2 dielectric layer to 110 nm in this order. To obtain a recording medium (disk). A PC substrate having a guide groove pitch of 0.6 μm and a guide groove depth of 38 nm to 60 nm was used. Further, a PC film having a thickness of 0.1 mm was bonded with an ultraviolet curable resin. The refractive index of the PC film at a wavelength of 432 nm was 1.6.

上記ディスクを初期化した(結晶化させた)のち、線速5.1m/sで回転させ、波長(λ)432nmのレーザ光源、NA=0.85の対物レンズを備えた光ヘッドを用いて、基板と反対の側からレーザ光を照射して、L-H記録方式で0.125μm/bitの線密度条件でランド/グルーブ記録及びを行ってジッタを測定した。ディスクの反射率は記録前が5%、記録後が21%であった。   After initializing (crystallizing) the disk, it was rotated at a linear velocity of 5.1 m / s, and an optical head equipped with a laser light source with a wavelength (λ) of 432 nm and an objective lens with NA = 0.85 was used. Jitter was measured by irradiating a laser beam from the opposite side and performing land / groove recording under a linear density condition of 0.125 μm / bit by the LH recording method. The reflectivity of the disk was 5% before recording and 21% after recording.

ジッタの測定結果を図5に示す。隣接トラックに記録のない自己トラックにおけるジッタは溝深さが浅いほど良好であり、54nmより深くなると顕著に自己トラックにおけるジッタが劣化してしまう。一方隣接トラックにも記録を行った場合には、溝深さが46nmより浅い場合にはクロストークの影響によりジッタが顕著に劣化してしまう。溝深さを46〜54nmの範囲、すなわち、λ/5.86nf以上λ/5nf以下の範囲に設定することにより、クロストークを含めて良好なジッタ特性を得ることが可能である。   The measurement result of jitter is shown in FIG. The jitter in the self track with no recording in the adjacent track is better as the groove depth is shallower, and when it is deeper than 54 nm, the jitter in the self track is remarkably deteriorated. On the other hand, when recording is also performed on the adjacent track, if the groove depth is shallower than 46 nm, the jitter is remarkably deteriorated due to the influence of crosstalk. By setting the groove depth in the range of 46 to 54 nm, that is, in the range of λ / 5.86 nf to λ / 5 nf, it is possible to obtain good jitter characteristics including crosstalk.

(実施例3)
基板として厚さ1.1mmのPC基板を用い、Al反射膜を100nm、ZnS-SiO2誘電体層を65nm、 GeSbTe記録層を13nm、ZnS-SiO2誘電体層を150nm、順にそれぞれスパッタリングにより積層し、記録媒体(ディスク)を得た。なお、PC基板として、案内溝のピッチ1.0μm、案内溝の深さが62nm〜98nmのものを使用した。さらに、厚さ0.1mmのPCフィルムを紫外線硬化樹脂により接着した。PCフィルムの波長660nmにおける屈折率は1.58であった。
(Example 3)
A 1.1 mm thick PC substrate was used as the substrate, the Al reflective film was 100 nm, the ZnS-SiO 2 dielectric layer was 65 nm, the GeSbTe recording layer was 13 nm, and the ZnS-SiO 2 dielectric layer was 150 nm in order, and then laminated by sputtering. A recording medium (disc) was obtained. A PC substrate having a guide groove pitch of 1.0 μm and a guide groove depth of 62 nm to 98 nm was used. Further, a PC film having a thickness of 0.1 mm was bonded with an ultraviolet curable resin. The refractive index of the PC film at a wavelength of 660 nm was 1.58.

上記ディスクを初期化した(結晶化させた)のち、線速5.1m/sで回転させ、波長(λ)660nmのレーザ光源、NA=0.85の対物レンズを備えた光ヘッドを用いて、基板と反対の側からレーザ光を照射して、L-H記録方式で0.21μm/bitの線密度条件でランド/グルーブ記録を行ってジッタを測定した。ディスクの反射率は記録前が6%、記録後が25%であった。   After initializing (crystallizing) the disk, it was rotated at a linear velocity of 5.1 m / s, and an optical head equipped with a laser light source with a wavelength (λ) of 660 nm and an objective lens with NA = 0.85 was used. Jitter was measured by irradiating a laser beam from the opposite side and performing land / groove recording under the linear density condition of 0.21 μm / bit by the LH recording method. The reflectivity of the disc was 6% before recording and 25% after recording.

実施例1および実施例2と同様に、クロストークを含めてジッタ特性が良好となる溝深さを調べた結果、溝深さが72〜83nmの範囲、すなわち、λ/5.8nf以上λ/5nf以下の範囲に設定することにより、クロストークを含めて良好なジッタ特性を得ることが可能であることが分かった。   Similar to Example 1 and Example 2, the groove depth at which the jitter characteristics including crosstalk become good was examined. As a result, the groove depth was in the range of 72 to 83 nm, that is, λ / 5. It was found that good jitter characteristics including crosstalk can be obtained by setting the following range.

(実施例4)
基板として厚さ0.6mmのPC基板を用い、ZnS-SiO2誘電体層を100nm、GeSbTe記録層を15nm、ZnS-SiO2誘電体層を40nm、 Al反射膜を100nmを順にそれぞれスパッタリングにより積層し、記録媒体(ディスク)を得た。Al反射膜形成後、何も成膜されていないダミーの0.6mmのPC基板と紫外線硬化樹脂により貼りあわせを行った後、評価を行った。なお、PC基板として、案内溝のピッチ0.7 μm、案内溝の深さが35nm〜55nmのものを使用した。PC基板の波長400nmにおける屈折率(ns)は1.6であった。
Example 4
Using a PC substrate with a thickness of 0.6 mm as the substrate, the ZnS-SiO 2 dielectric layer was deposited by sputtering to 100 nm, the GeSbTe recording layer to 15 nm, the ZnS-SiO 2 dielectric layer to 40 nm, and the Al reflective film to 100 nm by sputtering. A recording medium (disc) was obtained. After the Al reflective film was formed, a dummy 0.6 mm PC substrate on which nothing was formed was bonded to an ultraviolet curable resin, and then evaluated. A PC substrate having a guide groove pitch of 0.7 μm and a guide groove depth of 35 nm to 55 nm was used. The refractive index (ns) at a wavelength of 400 nm of the PC substrate was 1.6.

上記ディスクを初期化した(結晶化させた)のち、線速5.1m/sで回転させ、波長(λ)400nmのレーザ光源、NA=0.65の対物レンズを備えた光ヘッドを用いて、基板の側からレーザ光を照射して、L-H記録方式で0.152μm/bitの線密度条件でランド/グルーブ記録を行ってジッタを測定した。ディスクの反射率は記録前が6%、記録後が20%であった。   After initializing (crystallizing) the disk, it was rotated at a linear velocity of 5.1 m / s, and an optical head equipped with a laser light source with a wavelength (λ) of 400 nm and an objective lens with NA = 0.65 was used. Jitter was measured by irradiating laser light from the side and performing land / groove recording under a linear density condition of 0.152 μm / bit by the LH recording method. The reflectivity of the disc was 6% before recording and 20% after recording.

ジッタを測定した結果、実施例1と同様に、溝深さを43〜50nmの範囲、すなわち、λ/5.8ns以上λ/5ns以下の範囲に設定することにより、クロストークを含めて良好なジッタ特性を得ることが可能であった。   As a result of measuring the jitter, as in the first embodiment, by setting the groove depth in the range of 43 to 50 nm, that is, in the range of λ / 5.8 ns to λ / 5 ns, good jitter including crosstalk can be obtained. It was possible to obtain characteristics.

以下の表1に、以上の実施例1〜4の結果をまとめた。   Table 1 below summarizes the results of Examples 1 to 4 above.

Figure 2005190659

表1から分かるように、いずれの波長においても溝深さをλ/5.8nf(又はλ/5.8ns)以上λ/5nf(又はλ/5ns)以下の範囲内とすることで、クロストークを含めて良好なジッタ特性が得られる。
Figure 2005190659

As can be seen from Table 1, crosstalk is included by setting the groove depth at any wavelength within the range of λ / 5.8nf (or λ / 5.8ns) to λ / 5nf (or λ / 5ns). And good jitter characteristics can be obtained.

(実施例5)
実施例4で用いた光ディスクについて、実施例4で用いた光ヘッドを使用して上記I,I,Iを測定し、R=0.5(I+I)/Iの値を算出し、これとジッタとの関係を調べたところ、表2に示す結果が得られた。尚、ジッタは、各ディスクの記録層のランド対応部分及びグルーブ対応部分の隣接する7つの全てに記録を行って、その中央のランド対応部分及びグルーブ対応部分で計測したものの平均をとったものである。
(Example 5)
For the optical disk used in Example 4, the above I 1 , I 2 , and I 3 were measured using the optical head used in Example 4, and the value of R = 0.5 (I 2 + I 3 ) / I 1 When the relationship between this and jitter was examined, the results shown in Table 2 were obtained. Note that the jitter is the average of the values recorded at the center corresponding to the land and the groove corresponding to the land corresponding to the land corresponding to the land and the groove corresponding to the groove of each disk. is there.

Figure 2005190659
表2に示すように、Rが0.55から0.7までの範囲において良好な特性が得られ、特に0.6から0.7までの範囲において最も良好な特性が得られた。
Figure 2005190659
As shown in Table 2, good characteristics were obtained when R was in the range of 0.55 to 0.7, and in particular, the best characteristics were obtained in the range of 0.6 to 0.7.

更に、実施例1〜実施例3で用いた光ディスクについても同様に、それぞれの実施例で用いた光ヘッドを使用してI,I,Iを測定し、R=0.5(I+I)/Iの値を算出し、これとジッタとの関係を調べたところ、良好なジッタ特性の光ディスクでは、Rの値が0.55〜0.7の範囲内にあることが確認された。 Further, similarly for the optical disks used in Examples 1 to 3, I 1 , I 2 , and I 3 were measured using the optical heads used in the respective examples, and R = 0.5 (I When the value of 2 + I 3 ) / I 1 was calculated and the relationship between the calculated value and jitter was examined, an optical disk with good jitter characteristics may have an R value in the range of 0.55 to 0.7. confirmed.

すなわち、光ヘッドの対物レンズのNA及びレーザ光波長あるいは記録層の厚さ又は光透過層や基板の屈折率が種々の値をとるものについて、L−H記録方式の光学的情報記録媒体では、Rが0.55から0.7までの範囲において良好な特性が得られることが分かった。   That is, for the optical information recording medium of the LH recording system, the NA of the objective lens of the optical head and the wavelength of the laser light, the thickness of the recording layer, or the refractive index of the light transmission layer or the substrate take various values. It was found that good characteristics can be obtained in the range of R from 0.55 to 0.7.

尚、本実施例ではランド幅とグルーブ幅とが同一であったが、ランド幅とグルーブ幅とが10%程度異なる場合について同様の測定を行ったところ、Rの好適範囲について同様な結果が得られた。   In this embodiment, the land width and the groove width are the same. However, when the land width and the groove width are different from each other by about 10%, the same results are obtained for the preferable range of R. It was.

(比較例2)
実施例4と同一のPC基板を用いてH−L記録方式の光学的情報記録媒体を作製し、実施例4と同一の光ヘッドを用いて、Rとジッタとの関係を調べた。その結果、ジッタが良好となるRの範囲は0.7〜0.8であり、L−H記録方式のものとは好適なRの範囲が異なることが確認された。また、好適範囲内のRの時のジッタの値も実施例5のものに比べて大きかった。
(Comparative Example 2)
An optical information recording medium of the HL recording system was produced using the same PC substrate as in Example 4, and the relationship between R and jitter was examined using the same optical head as in Example 4. As a result, it was confirmed that the R range in which the jitter is good is 0.7 to 0.8, and the preferred R range is different from that of the LH recording system. Also, the jitter value at the R in the preferred range was larger than that in the fifth embodiment.

従って、記録の高密度化のためにはL−H記録方式が適していることが確認された。   Therefore, it was confirmed that the LH recording method is suitable for increasing the recording density.

本発明にかかる光学的情報記録媒体の部分拡大断面図である。It is a partial expanded sectional view of the optical information recording medium concerning this invention. 本発明にかかる光学的情報記録媒体に対する情報記録再生の方法及び装置の説明のための模式図である。1 is a schematic diagram for explaining a method and apparatus for recording / reproducing information with respect to an optical information recording medium according to the present invention. 本発明にかかる光学的情報記録媒体のジッタ特性の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the jitter characteristic of the optical information recording medium concerning this invention. 記録後に反射率が低くなる光学的情報記録媒体のジッタ特性の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the jitter characteristic of the optical information recording medium from which a reflectance becomes low after recording. 本発明にかかる光学的情報記録媒体のジッタ特性の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the jitter characteristic of the optical information recording medium concerning this invention. 光学的情報記録媒体の溝深さとクロストークとの関係を示す図である。It is a figure which shows the relationship between the groove depth of an optical information recording medium, and crosstalk.

符号の説明Explanation of symbols

1 基板
L ランド
G グルーブ
2 記録層
L’ ランド対応部分
G’ グルーブ対応部分
3 光透過層
4,5 誘電体層
10 光学的情報記録媒体
20 光ヘッド
21 半導体レーザ
22 コリメートレンズ
23 対物レンズ
24 ビームスプリッタ
25 光検出系
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Substrate L Land G Groove 2 Recording layer L 'Land corresponding part G' Groove corresponding part 3 Light transmitting layer 4, 5 Dielectric layer 10 Optical information recording medium 20 Optical head 21 Semiconductor laser 22 Collimating lens 23 Objective lens 24 Beam splitter 25 Light detection system

Claims (10)

基板及び記録層を有するLow-to-high記録方式のランド/グルーブ記録用光学的情報記録媒体から情報を再生するための光学的情報再生方法において、
波長390〜440nmの光を開口数0.65の対物レンズを用いて前記基板側から前記記録層に照射することで情報の再生を行うとともに、
前記光の波長をλ、該波長λにおける前記基板の屈折率をnsとそれぞれした場合に、前記記録層のグルーブ対応部分のランド対応部分に対する深さDがλ/5.8ns≦D≦λ/5nsの関係を満たすことを特徴とする光学的情報再生方法。
In an optical information reproducing method for reproducing information from a low-to-high recording land / groove optical information recording medium having a substrate and a recording layer,
Information is reproduced by irradiating the recording layer with light having a wavelength of 390 to 440 nm from the substrate side using an objective lens having a numerical aperture of 0.65, and
When the wavelength of the light is λ and the refractive index of the substrate at the wavelength λ is ns, the depth D of the recording layer corresponding to the groove to the land corresponding portion is λ / 5.8 ns ≦ D ≦ λ / 5 ns. An optical information reproducing method characterized by satisfying the relationship:
基板及び記録層を有するLow-to-high記録方式のランド/グルーブ記録用光学的情報記録媒体から情報を再生する光学的情報再生装置において、
波長390〜440nmの光を出射する光源と開口数0.65の対物レンズとを少なくとも具備し、前記基板側から前記記録層に前記光を照射することで情報の再生を行うとともに、
前記光の波長をλ、該波長λにおける前記基板の屈折率をnsとそれぞれした場合に、前記記録層のグルーブ対応部分のランド対応部分に対する深さDがλ/5.8ns≦D≦λ/5nsの関係を満たすことを特徴とする光学的情報再生装置。
In an optical information reproducing apparatus for reproducing information from a low-to-high recording land / groove optical information recording medium having a substrate and a recording layer,
It comprises at least a light source that emits light with a wavelength of 390 to 440 nm and an objective lens with a numerical aperture of 0.65, and reproduces information by irradiating the recording layer with the light from the substrate side,
When the wavelength of the light is λ and the refractive index of the substrate at the wavelength λ is ns, the depth D of the recording layer corresponding to the groove to the land corresponding portion is λ / 5.8 ns ≦ D ≦ λ / 5 ns. An optical information reproducing apparatus satisfying the relationship:
基板及び記録層を有するLow-to-high記録方式のランド/グルーブ記録用光学的情報記録媒体から情報を再生するための光学的情報再生方法において、
波長390〜440nmの光を開口数0.65の対物レンズを用いて前記基板側から前記記録層に照射することで情報の再生を行うとともに、
前記ランド部と前記グルーブ部との交互配置の形成されていない非記録領域に光を照射した時の反射光量をI1とし、同一条件で情報未記録状態の前記グルーブ部に対応する部分及び前記ランド部に対応する部分に光を照射した時の反射光量をそれぞれI2及びI3として、R=0.5(I2+I3)/I1の値が所定の範囲内にあることを特徴とする光学的情報再生方法。
In an optical information reproducing method for reproducing information from a low-to-high recording land / groove optical information recording medium having a substrate and a recording layer,
Information is reproduced by irradiating the recording layer with light having a wavelength of 390 to 440 nm from the substrate side using an objective lens having a numerical aperture of 0.65, and
The amount of reflected light when irradiating light to a non-recording area in which the land portion and the groove portion are not alternately arranged is I1, and the portion corresponding to the groove portion in the information unrecorded state under the same condition and the land An optical information reproducing method characterized in that a value of R = 0.5 (I2 + I3) / I1 is within a predetermined range, where I2 and I3 are reflected light amounts when the portion corresponding to the portion is irradiated with light. .
前記Rの値は0.5〜0.75である請求項3に記載の光学的情報再生方法。 The optical information reproducing method according to claim 3, wherein the value of R is 0.5 to 0.75. 前記Rの値は0.6〜0.7である請求項4に記載の光学的情報再生方法。 The optical information reproducing method according to claim 4, wherein the value of R is 0.6 to 0.7. 基板及び記録層を有するLow-to-high記録方式のランド/グルーブ記録用光学的情報記録媒体から情報を再生する光学的情報再生装置において、
波長390〜440nmの光を出射する光源と開口数0.65の対物レンズとを少なくとも具備し、前記基板側から前記記録層に前記光を照射することで情報の再生を行うとともに、
前記ランド部と前記グルーブ部との交互配置の形成されていない非記録領域に光を照射した時の反射光量をI1とし、同一条件で情報未記録状態の前記グルーブ部に対応する部分及び前記ランド部に対応する部分に光を照射した時の反射光量をそれぞれI2及びI3として、R=0.5(I2+I3)/I1の値が所定の範囲内にあることを特徴とする光学的情報再生装置。
In an optical information reproducing apparatus for reproducing information from a low-to-high recording land / groove optical information recording medium having a substrate and a recording layer,
It comprises at least a light source that emits light with a wavelength of 390 to 440 nm and an objective lens with a numerical aperture of 0.65, and reproduces information by irradiating the recording layer with the light from the substrate side,
The amount of reflected light when irradiating light to a non-recording area in which the land portion and the groove portion are not alternately arranged is I1, and the portion corresponding to the groove portion in the information unrecorded state under the same condition and the land An optical information reproducing apparatus characterized in that the value of R = 0.5 (I2 + I3) / I1 is within a predetermined range, where I2 and I3 are the amounts of reflected light when the part corresponding to the part is irradiated with light. .
前記Rの値は0.55〜0.7である請求項6に記載の光学的情報再生装置。 The optical information reproducing apparatus according to claim 6, wherein the value of R is 0.55 to 0.7. 前記Rの値は0.6〜0.7である請求項7に記載の光学的情報再生装置。 The optical information reproducing apparatus according to claim 7, wherein the value of R is 0.6 to 0.7. 基板及び記録層を有するLow-to-high記録方式のランド/グルーブ記録用光学的情報記録媒体から情報を再生するための光学的情報再生方法において、
波長390〜440nmの光を開口数0.65の対物レンズを用いて前記基板側から前記記録層に照射することで情報の再生を行うとともに、
前記光の波長をλ、該波長λにおける前記基板の屈折率をnsとそれぞれした場合に、前記記録層のグルーブ対応部分のランド対応部分に対する深さDがλ/5.8ns≦D≦λ/5nsの関係を満たし、かつ、前記グルーブ部の幅と前記ランド部の幅との和が0.5〜1.2μmの範囲内にあることを特徴とする光学的情報再生方法。
In an optical information reproducing method for reproducing information from a low-to-high recording land / groove optical information recording medium having a substrate and a recording layer,
Information is reproduced by irradiating the recording layer with light having a wavelength of 390 to 440 nm from the substrate side using an objective lens having a numerical aperture of 0.65, and
When the wavelength of the light is λ and the refractive index of the substrate at the wavelength λ is ns, the depth D of the recording layer corresponding to the groove to the land corresponding portion is λ / 5.8 ns ≦ D ≦ λ / 5 ns. And the sum of the width of the groove part and the width of the land part is in the range of 0.5 to 1.2 μm.
基板及び記録層を有するLow-to-high記録方式のランド/グルーブ記録用光学的情報記録媒体から情報を再生する光学的情報再生装置において、
波長390〜440nmの光を出射する光源と開口数0.65の対物レンズとを少なくとも具備し、前記基板側から前記記録層に前記光を照射することで情報の再生を行うとともに、
前記光の波長をλ、該波長λにおける前記基板の屈折率をnsとそれぞれした場合に、前記記録層のグルーブ対応部分のランド対応部分に対する深さDがλ/5.8ns≦D≦λ/5nsの関係を満たし、かつ、前記グルーブ部の幅と前記ランド部の幅との和が0.5〜1.2μmの範囲内にあることを特徴とする光学的情報再生装置。
In an optical information reproducing apparatus for reproducing information from a low-to-high recording land / groove optical information recording medium having a substrate and a recording layer,
It comprises at least a light source that emits light with a wavelength of 390 to 440 nm and an objective lens with a numerical aperture of 0.65, and reproduces information by irradiating the recording layer with the light from the substrate side,
When the wavelength of the light is λ and the refractive index of the substrate at the wavelength λ is ns, the depth D of the recording layer corresponding to the groove to the land corresponding portion is λ / 5.8 ns ≦ D ≦ λ / 5 ns. And the sum of the width of the groove portion and the width of the land portion is in the range of 0.5 to 1.2 μm.
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