JP2005172506A - 低流量センサ - Google Patents
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Abstract
【課題】 気泡の発生がなく、流体の微少流量を長期間、安定に、且つ高感度に直接計測でき、熱的に不安定な流体にも適用できる低流量センサを得る。
【解決手段】 本は明の低流量センサは、流体が流れる管路1と、管路に設けた少なくとも2個の電極と、電極に一定の電圧を印加する電源12と、電極間に流れる微小の電流値を検出する電流計13とを備え、電極を流体に接するように設けた上流側電極14および下流側電極15とし、かつ両電極に単層カーボンナノチューブをそれぞれ固定化した上流側ナノ部材16および下流側ナノ部材17を設け、下流側ナノ部材を上流側ナノ部材より流体に対する剛性を大きくしたものである。
【選択図】 図1
【解決手段】 本は明の低流量センサは、流体が流れる管路1と、管路に設けた少なくとも2個の電極と、電極に一定の電圧を印加する電源12と、電極間に流れる微小の電流値を検出する電流計13とを備え、電極を流体に接するように設けた上流側電極14および下流側電極15とし、かつ両電極に単層カーボンナノチューブをそれぞれ固定化した上流側ナノ部材16および下流側ナノ部材17を設け、下流側ナノ部材を上流側ナノ部材より流体に対する剛性を大きくしたものである。
【選択図】 図1
Description
本発明は、ガスおよび液体からなる流体の流量の測定を行い、バイオ、環境、化学、食品の各分野に利用可能な低流量センサに関する。
従来の低流量センサは、流体の温度変化に影響を受け難いものや圧力損失が少なくした状態で計測をしている(例えば、特許文献1参照)。
図5は従来の低流量センサを示す構成図である。図において、1は測定流体を通す管路で、2は温度係数が小さい抵抗線を管路1外周に巻きつけて形成されたヒータで、測定流体に対して熱を与えている。3aはヒータ2に対して上流側で管路1の外側に設けられた温度センサで、3bはヒータ2の下流側で管路1の外側に設けられた温度センサで、管路1内の測定流体の温度を計測している。10は温度センサ3a、3bより得られた信号を測定流体の流量に換算するための定温度差制御装置である。
以上の構成において、測定流体が流れる管路1にはヒータ2が備えられており、電流を流すことによって管路を加熱している。一方、ヒータ2の上流側には温度センサ3aが設置してあるので、ヒータ2によって加熱される前の測定流体の温度を管路1の壁を介して検出し、ヒータ2の下流側に設置された温度センサ3bではヒータ2で加熱された直後の流体の温度を管路1の壁を介して検出している。
上記の低流量センサにおいて、温度センサ3a、3bにより検出された温度差ΔTの微小変化は増幅器9にて電気信号として増幅され、トランジスタ7のベース側に入力される。トランジスタ7においてはベース側に入力された信号に応じ、コレクタ側に接続された正電源+Vsから流れ込む電流をエミッタ側に出力してヒータ2に供給する。すなわち、温度差ΔTが小さくなる場合にヒータ発熱量が過剰であるので、ヒータ2に供給する電流Iを小さくし、温度差ΔTが大きければ、ヒータ発熱量を増加させるように電流Iを大きくする。これにより、温度センサ3a、3b間の温度差を一定に保つことができる。
温度差ΔTの設定は、抵抗器4、5および負電源−Vsの値を変化させることによって行なわれ、ヒータ2に流れる電流Iは抵抗器8の両端にかかる電圧を測定することによって求まる。
このように、従来の低流量センサは、電流Iの値とヒータ2の抵抗値から消費する加熱電力が求められ、その加熱電力と流量との相関により測定流体の流量が計測できるようになっている。
実開平5−57624公報(第4−6頁、第1図)
図5は従来の低流量センサを示す構成図である。図において、1は測定流体を通す管路で、2は温度係数が小さい抵抗線を管路1外周に巻きつけて形成されたヒータで、測定流体に対して熱を与えている。3aはヒータ2に対して上流側で管路1の外側に設けられた温度センサで、3bはヒータ2の下流側で管路1の外側に設けられた温度センサで、管路1内の測定流体の温度を計測している。10は温度センサ3a、3bより得られた信号を測定流体の流量に換算するための定温度差制御装置である。
以上の構成において、測定流体が流れる管路1にはヒータ2が備えられており、電流を流すことによって管路を加熱している。一方、ヒータ2の上流側には温度センサ3aが設置してあるので、ヒータ2によって加熱される前の測定流体の温度を管路1の壁を介して検出し、ヒータ2の下流側に設置された温度センサ3bではヒータ2で加熱された直後の流体の温度を管路1の壁を介して検出している。
上記の低流量センサにおいて、温度センサ3a、3bにより検出された温度差ΔTの微小変化は増幅器9にて電気信号として増幅され、トランジスタ7のベース側に入力される。トランジスタ7においてはベース側に入力された信号に応じ、コレクタ側に接続された正電源+Vsから流れ込む電流をエミッタ側に出力してヒータ2に供給する。すなわち、温度差ΔTが小さくなる場合にヒータ発熱量が過剰であるので、ヒータ2に供給する電流Iを小さくし、温度差ΔTが大きければ、ヒータ発熱量を増加させるように電流Iを大きくする。これにより、温度センサ3a、3b間の温度差を一定に保つことができる。
温度差ΔTの設定は、抵抗器4、5および負電源−Vsの値を変化させることによって行なわれ、ヒータ2に流れる電流Iは抵抗器8の両端にかかる電圧を測定することによって求まる。
このように、従来の低流量センサは、電流Iの値とヒータ2の抵抗値から消費する加熱電力が求められ、その加熱電力と流量との相関により測定流体の流量が計測できるようになっている。
ところが、従来の低流量センサは、管路1の外周に巻きつけられたヒータ2から管路1内の流体に熱を供給して、管路1の外周面に取り付けられた温度センサ3a、3bから計測された温度差(ΔT)を用いて、管路1内に流れている流体の流量を換算するようになっているが、管路1内の流体の温度を直接計測することはできないので、1分間に数μLという低流量の測定は難しい上に、管路1から発生する振動などのノイズの影響を受けやすいなどの問題があった。また、測定感度を上げる場合には、流体に対して過剰な熱を供給するため、流体の気化による気泡の発生や熱的に不安定な流体の分解を促進するという問題もあった。
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであり、管路1内にセンサ素子を配設することで、気泡の発生がなく、長期間、安定に、高感度に直接計測でき、かつ、熱的に不安定な流体にも適用できる低流量センサを提供することを目的とする。
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであり、管路1内にセンサ素子を配設することで、気泡の発生がなく、長期間、安定に、高感度に直接計測でき、かつ、熱的に不安定な流体にも適用できる低流量センサを提供することを目的とする。
上記問題を解決するため、本発明は次のように構成したものである。
請求項1に記載の発明は、流体が流れる管路と、前記管路に設けた少なくとも2個の電極と、前記電極に一定の電圧を印加する電源と、前記電極間に流れる微小の電流値を検出する電流計とを備えた低流量センサにおいて、前記電極を前記流体に接するように設けた上流側電極および下流側電極とし、かつ前記両電極に単層カーボンナノチューブをそれぞれ固定化した上流側ナノ部材および下流側ナノ部材を設け、前記下流側ナノ部材を前記上流側ナノ部材より流体に対する剛性を大きくしたものである。
請求項2に記載の発明は、前記上流側ナノ部材を鎖長の長いチオール化合物を介して固定化させ、前記下流側ナノ部材を鎖長の短いチオール化合物を介して固定化させたものである。
請求項3に記載の発明は、前記鎖長の長いチオール化合物を、8−アミノ−1−オクタンチオールとし、前記鎖長の短いチオール化合物を2−アミノプロパンチオールとしたものである。
請求項4に記載の発明は、前記下流側ナノ部材を、前記上流側ナノ部材よりも高密度に固定化させたものである。
請求項5に記載の発明は、前記上流側電極を、前記上流側ナノ部材が固定化されていない表面に、デカンチオールの末端官能基にメチル基を有する不活性化合物を固定化させたものである。
請求項6に記載の発明は、前記下流側ナノ部材の末端面同士および側面間に、ジアミノ化合物からなる連結部材で連結させるとともに、前記下流側ナノ部材を積層して固定化させたものである。
請求項7に記載の発明は、前記下流側ナノ部材の最上の端面に、各種脂肪酸からなる不活性化合物を少なくとも一種類結合させたものである。
請求項8に記載の発明は、前記上流側ナノ部材の長さを1〜数十μmとし、前記下流側ナノ部材の長さを100〜500nmとし、かつ両電極の間隔を100μm以下としたものである。
請求項9に記載の発明は、前記管路の材質をポリエーテルエーテルケトン(PEEK)またはポリテトラフルオロエチレン(PTFE)としたものである。
請求項1に記載の発明は、流体が流れる管路と、前記管路に設けた少なくとも2個の電極と、前記電極に一定の電圧を印加する電源と、前記電極間に流れる微小の電流値を検出する電流計とを備えた低流量センサにおいて、前記電極を前記流体に接するように設けた上流側電極および下流側電極とし、かつ前記両電極に単層カーボンナノチューブをそれぞれ固定化した上流側ナノ部材および下流側ナノ部材を設け、前記下流側ナノ部材を前記上流側ナノ部材より流体に対する剛性を大きくしたものである。
請求項2に記載の発明は、前記上流側ナノ部材を鎖長の長いチオール化合物を介して固定化させ、前記下流側ナノ部材を鎖長の短いチオール化合物を介して固定化させたものである。
請求項3に記載の発明は、前記鎖長の長いチオール化合物を、8−アミノ−1−オクタンチオールとし、前記鎖長の短いチオール化合物を2−アミノプロパンチオールとしたものである。
請求項4に記載の発明は、前記下流側ナノ部材を、前記上流側ナノ部材よりも高密度に固定化させたものである。
請求項5に記載の発明は、前記上流側電極を、前記上流側ナノ部材が固定化されていない表面に、デカンチオールの末端官能基にメチル基を有する不活性化合物を固定化させたものである。
請求項6に記載の発明は、前記下流側ナノ部材の末端面同士および側面間に、ジアミノ化合物からなる連結部材で連結させるとともに、前記下流側ナノ部材を積層して固定化させたものである。
請求項7に記載の発明は、前記下流側ナノ部材の最上の端面に、各種脂肪酸からなる不活性化合物を少なくとも一種類結合させたものである。
請求項8に記載の発明は、前記上流側ナノ部材の長さを1〜数十μmとし、前記下流側ナノ部材の長さを100〜500nmとし、かつ両電極の間隔を100μm以下としたものである。
請求項9に記載の発明は、前記管路の材質をポリエーテルエーテルケトン(PEEK)またはポリテトラフルオロエチレン(PTFE)としたものである。
請求項1に記載の発明によると、流体が流れると上流側電極に固定化された上流側ナノ部材が下流側電極に向かって曲がる一方、下流側ナノ部材は剛性が大きいため曲がりにくく、2つの電極間の距離が短くなり、それに応じて電極間に流れる電流値は増加する。そのため、サブμL/minという微少の流量を直接計測できるとともに、熱的なエネルギーを流体に付与していないので、熱的に不安定な流体を変形・分解することなく安定に計測することができる。
請求項2,3に記載の発明によると、金属電極とチオール化合物の硫黄(S)とが強固に結合し、且つそのチオール化合物類と上流側ナノ部材および下流側ナノ部材とが共有結合により結合しているので、上流側ナノ部材および下流側ナノ部材が両電極から脱離することがない。したがって、流体の種類や送液条件に関係なく、長期間安定に流量の計測を行うことができる。
請求項4に記載の発明によると、短縮化された下流側ナノ部材が上流側ナノ部材よりも高密度に固定化しているので剛性が大きくなり、流体の流量が大きくなっても下流側ナノ部材が流体の流れ方向に曲がることがない。したがって、計測できる流量範囲を大きくすることが可能となる。
請求項5に記載の発明によると、上流側ナノ部材が固定化されていない上流側電極上の未反応領域は、デカンチオールなどの不活性化合物で固定化されているので、流体中の成分が不特異的に付着・吸着することを抑制できる。
請求項6に記載の発明によると、下流側ナノ部材の末端面同士や側面間をジアミン化合物からなる連結材料で固定化しているので剛性が大きくなり、流体の流量が大きくなっても、下流側ナノ部材が流体の流れ方向に沿って曲がることがなく、計測できる流量範囲もより一層大きくすることができる。
請求項7に記載の発明によると、下流側ナノ部材の最上面および側面の反応活性部分を脂肪酸からなる不活性化合物で不活性処理されているため、流体中の成分が不特異的に付着・吸着することを抑制できる。そのため、DNAやRNA、タンパク質を始めとする生体分子や極性有機化合物などを含む流体の計測も行うことが可能となる。
請求項8に記載の発明によると、上流側ナノ部材の長さを長くし、下流側ナノ部材の長さを短くし、さらに電極間の距離を短くしているので、上流側ナノ部材が下流側電極に向かって曲がる一方、下流側ナノ部材は剛性が大きく、曲がりにくいため、2つの電極間の距離が短くなり、微少の流量を直接計測できる。
請求項9に記載の発明によると、管路の材質をPEEKやPTFEなどのフッ素系樹脂にしたので、流体に接するように電極を設けることが容易にできる。
請求項2,3に記載の発明によると、金属電極とチオール化合物の硫黄(S)とが強固に結合し、且つそのチオール化合物類と上流側ナノ部材および下流側ナノ部材とが共有結合により結合しているので、上流側ナノ部材および下流側ナノ部材が両電極から脱離することがない。したがって、流体の種類や送液条件に関係なく、長期間安定に流量の計測を行うことができる。
請求項4に記載の発明によると、短縮化された下流側ナノ部材が上流側ナノ部材よりも高密度に固定化しているので剛性が大きくなり、流体の流量が大きくなっても下流側ナノ部材が流体の流れ方向に曲がることがない。したがって、計測できる流量範囲を大きくすることが可能となる。
請求項5に記載の発明によると、上流側ナノ部材が固定化されていない上流側電極上の未反応領域は、デカンチオールなどの不活性化合物で固定化されているので、流体中の成分が不特異的に付着・吸着することを抑制できる。
請求項6に記載の発明によると、下流側ナノ部材の末端面同士や側面間をジアミン化合物からなる連結材料で固定化しているので剛性が大きくなり、流体の流量が大きくなっても、下流側ナノ部材が流体の流れ方向に沿って曲がることがなく、計測できる流量範囲もより一層大きくすることができる。
請求項7に記載の発明によると、下流側ナノ部材の最上面および側面の反応活性部分を脂肪酸からなる不活性化合物で不活性処理されているため、流体中の成分が不特異的に付着・吸着することを抑制できる。そのため、DNAやRNA、タンパク質を始めとする生体分子や極性有機化合物などを含む流体の計測も行うことが可能となる。
請求項8に記載の発明によると、上流側ナノ部材の長さを長くし、下流側ナノ部材の長さを短くし、さらに電極間の距離を短くしているので、上流側ナノ部材が下流側電極に向かって曲がる一方、下流側ナノ部材は剛性が大きく、曲がりにくいため、2つの電極間の距離が短くなり、微少の流量を直接計測できる。
請求項9に記載の発明によると、管路の材質をPEEKやPTFEなどのフッ素系樹脂にしたので、流体に接するように電極を設けることが容易にできる。
以下、本発明の実施の形態について図を参照して説明する。
図1は、本発明の実施例1を示す低流量センサの構成図である。図において、1はポリエーテルエーテルケトン(PEEK)やポリテトラフルオロエチレン(PTFE)などの樹脂から形成された円筒状の管路で、リード線11を介して電源12と電流計13が上流側電極14および下流側電極15に接続されている。両電極の間隔は50μmとしている。上流側電極14上には約20μmの長さの単層カーボンナノチューブからなる上流側ナノ部材16が固定化され、下流側電極15上には約300nmの長さの単層カーボンナノチューブからなる下流側ナノ部材17が固定化されている。図中の矢印は流体の向きを表している。上流側電極14および下流側電極15を管路1に固定化する方法は図示していないが、方法としては、まず、管路1に電極を挿入できる程度の穴があけ、次に、電極を差し込んで高粘度に粘度調整された光硬化性樹脂を流し込む。そして、紫外線を照射して樹脂を硬化させる。
つぎに、動作について説明する。
流体が管路1内を流れると、流体の流量に応じて上流側ナノ部材16が流体の流れと平行方向に、つまり下流側ナノ部材17に向かって曲がる一方、下流側ナノ部材は剛性が大きいため曲がりにくくため、上流側電極14と下流側電極15との電極間距離が短くなる。そのため、電極間に流れる電流値は次第に増加するので、微少の流量でも高感度に直接計測することができる。
本発明が特許文献1と異なる部分は、従来のように熱的なエネルギーを与え、そこから得られた流体の温度を間接的に計測するのではなく、流体から直接検出できるセンサ部を備えたことである。
なお、本実施例では、両電極の間隔を50μm、上流側電極14上の単層カーボンナノチューブの長さを約20μm、下流側電極15上の単層カーボンナノチューブの長さを約300nmとしたが、他の実験データから、両電極の間隔は100μm以下、上流側ナノ部材の長さは1〜数十μm、下流側ナノ部材の長さは100〜500nmの範囲であれば良好な結果が得られることが分った。
つぎに、動作について説明する。
流体が管路1内を流れると、流体の流量に応じて上流側ナノ部材16が流体の流れと平行方向に、つまり下流側ナノ部材17に向かって曲がる一方、下流側ナノ部材は剛性が大きいため曲がりにくくため、上流側電極14と下流側電極15との電極間距離が短くなる。そのため、電極間に流れる電流値は次第に増加するので、微少の流量でも高感度に直接計測することができる。
本発明が特許文献1と異なる部分は、従来のように熱的なエネルギーを与え、そこから得られた流体の温度を間接的に計測するのではなく、流体から直接検出できるセンサ部を備えたことである。
なお、本実施例では、両電極の間隔を50μm、上流側電極14上の単層カーボンナノチューブの長さを約20μm、下流側電極15上の単層カーボンナノチューブの長さを約300nmとしたが、他の実験データから、両電極の間隔は100μm以下、上流側ナノ部材の長さは1〜数十μm、下流側ナノ部材の長さは100〜500nmの範囲であれば良好な結果が得られることが分った。
図2は本発明の実施例2を示す電極部分の拡大模式図である。上流側電極14はワイヤー形状で、金(Au)、白金(Pt)、銀(Ag)、銅(Cu)などの金属材料から形成されている。その上流側電極14上には、8−アミノオクタンチオールや11−アミノウンデカンチオールなどの末端官能基にアミノ(−NH2)基を有する鎖長の長いチオール化合物18が化学的な処理方法により固定化されている。なお、チオール分子を安定に固定化するには、金電極を用いる方が好ましい。
そして、塩酸、硫酸、硝酸などの強酸で超音波処理した単層カーボンナノチューブからなる上流側ナノ部材16にはカルボキシル基(−COOH)が形成されるので、塩化チオニル(SOCl2)などの試薬と反応させることで、カルボキシル基が酸クロリド(−COCl)になる。次に、酸クロリドになった上流側ナノ部材16を含む溶液にワイヤー状の上流側電極14の先端部のみを浸漬すると、チオール化合物18のアミノ基と酸クロリドが共有結合してアミド(−CONH)結合を形成し、上流側ナノ部材16が上流側電極14上に固定化される。また、上流側ナノ部材16が固定化されていない上流側電極14上の未反応領域は、末端官能基にメチル(−CH3)基を有するアルキルチオール化合物からなる不活性化合物19で覆われている。
一方、上流側電極14と同一形状の下流側電極15上には、2−アミノプロパンチオールなどの鎖長の短いチオール化合物20が前記と同じ化学的な方法で、且つチオール化合物18よりも高密度に固定化されているので、硫酸、硝酸、過酸化水素などの強酸の溶液で長時間超音波処理して100〜500nmに短縮化された下流側ナノ部材17が上流側ナノ部材16よりも多く下流側電極15上に固定化されることになる。
そこで、流体のpH(水素イオン濃度)、圧力、温度などの諸条件を変えて流体を流しても、上流側ナノ部材16および下流側ナノ部材17が上流側電極14および15から脱離することがほとんどないので、流量の計測を長期間安定に行うことができる。また、下流側ナノ部材17は上流側ナノ部材16よりも鎖長が短く、高密度に固定化されているため、曲がりにくい構造体になっている。よって、多量の流体が流れても上流側ナノ部材16のみが流体の流れ方向に沿って曲がるので、上流側電極14と下流側電極15の電極間距離が流体の流量に依存して短くなる。そのため、電極間に流れる電流値が増加し、微少の流量を検出することが可能となる。
さらに、上流側ナノ部材16が固定化されていない未反応領域を不活性化合物19で完全に覆われているので、DNA、RNA、タンパク質などの生体分子や極性を有する有機化合物などを含む流体を流しても、それらの分子が電極上に付着・吸着することがほとんどない。そのため、流量の計測を長期間安定に行うことができる。
そして、塩酸、硫酸、硝酸などの強酸で超音波処理した単層カーボンナノチューブからなる上流側ナノ部材16にはカルボキシル基(−COOH)が形成されるので、塩化チオニル(SOCl2)などの試薬と反応させることで、カルボキシル基が酸クロリド(−COCl)になる。次に、酸クロリドになった上流側ナノ部材16を含む溶液にワイヤー状の上流側電極14の先端部のみを浸漬すると、チオール化合物18のアミノ基と酸クロリドが共有結合してアミド(−CONH)結合を形成し、上流側ナノ部材16が上流側電極14上に固定化される。また、上流側ナノ部材16が固定化されていない上流側電極14上の未反応領域は、末端官能基にメチル(−CH3)基を有するアルキルチオール化合物からなる不活性化合物19で覆われている。
一方、上流側電極14と同一形状の下流側電極15上には、2−アミノプロパンチオールなどの鎖長の短いチオール化合物20が前記と同じ化学的な方法で、且つチオール化合物18よりも高密度に固定化されているので、硫酸、硝酸、過酸化水素などの強酸の溶液で長時間超音波処理して100〜500nmに短縮化された下流側ナノ部材17が上流側ナノ部材16よりも多く下流側電極15上に固定化されることになる。
そこで、流体のpH(水素イオン濃度)、圧力、温度などの諸条件を変えて流体を流しても、上流側ナノ部材16および下流側ナノ部材17が上流側電極14および15から脱離することがほとんどないので、流量の計測を長期間安定に行うことができる。また、下流側ナノ部材17は上流側ナノ部材16よりも鎖長が短く、高密度に固定化されているため、曲がりにくい構造体になっている。よって、多量の流体が流れても上流側ナノ部材16のみが流体の流れ方向に沿って曲がるので、上流側電極14と下流側電極15の電極間距離が流体の流量に依存して短くなる。そのため、電極間に流れる電流値が増加し、微少の流量を検出することが可能となる。
さらに、上流側ナノ部材16が固定化されていない未反応領域を不活性化合物19で完全に覆われているので、DNA、RNA、タンパク質などの生体分子や極性を有する有機化合物などを含む流体を流しても、それらの分子が電極上に付着・吸着することがほとんどない。そのため、流量の計測を長期間安定に行うことができる。
図3は本発明の実施例3を示す電極部分の拡大模式図である。チオール化合物20を介して下流側電極15上に固定化された下流側ナノ部材17の末端基同士および側面間を1,2−ジアミノエタン、1,4−ジアミノブタン、1,6−ジアミノヘキサン、1,10−ジアミノデカンなどのジアミン化合物からなる連結材料21で接続されている。連結材料21の接続方法は上記方法と同様に、下流側ナノ部材17に形成されたカルボキシル(−COOH)基を塩化チオニル(SOCl2)でアシルクロライド(−COCl)に変え、次にジアミン化合物を含む溶液に浸漬するだけで容易にアミド結合が形成され、下流側ナノ部材17同士が接続される。
このような構成にしているので、流体の流量を大きくした場合においても、下流側ナノ部材17は流体の流れ方向に曲がることなく、安定に保持されている。その結果、計測できる流量範囲をより一層大きくすることができる。
図4は本発明の実施例4を示す下流側ナノ部材の拡大模式図である。酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸などの脂肪酸類からなる不活性化合物22のカルボキシル(−COOH)基を塩化チオニル(SOCl2)でアシルクロライド(−COCl)にした後、下流側電極15上に固定化された最上層の下流側ナノ部材17の末端面に形成されたアミノ(−NH2)基と化学反応させることにより、下流側ナノ部材17の反応活性部分に不活性化合物22が結合される。
このように、下流側電極15上に固定化された単層カーボンナノチューブからなる下流側ナノ部材17の反応活性部分に、化学反応が起こりにくい化合物を結合させているような処理を施しているので、流体中にDNA、RNA、タンパク質などの生体分子や極性の有機化合物が含まれていても、下流側ナノ部材17の先端面に付着・吸着することがないので、電流値の低下を防止できるととともに、長期間安定した流量計測が可能となる。
電極本数を増やすとともに、電極間をスイッチング素子などで接続することにより、試料瓶から吸引・採取された血液や試薬の量を高速・高精度に検出することが可能となるので、ガスクロマトグラフや高速液体クロマトグラフによる環境分析という用途にも適用できる。
1 管路
2 ヒータ
3a、3b 温度センサ
4、5、8 抵抗器
6 コンデンサ
7 トランジスタ
9 増幅器
10 定温度差制御装置
11 リード線
12 電源
13 電流計
14 上流側電極
15 下流側電極
16 上流側ナノ部材
17 下流側ナノ部材
18、20 チオール化合物
19、22 不活性化合物
21 連結材料
2 ヒータ
3a、3b 温度センサ
4、5、8 抵抗器
6 コンデンサ
7 トランジスタ
9 増幅器
10 定温度差制御装置
11 リード線
12 電源
13 電流計
14 上流側電極
15 下流側電極
16 上流側ナノ部材
17 下流側ナノ部材
18、20 チオール化合物
19、22 不活性化合物
21 連結材料
Claims (9)
- 流体が流れる管路と、前記管路に設けた少なくとも2個の電極と、前記電極に一定の電圧を印加する電源と、前記電極間に流れる微小の電流値を検出する電流計とを備えた低流量センサにおいて、
前記電極は前記流体に接するように設けた上流側電極および下流側電極とからなり、かつ前記両電極に単層カーボンナノチューブをそれぞれ固定化した上流側ナノ部材および下流側ナノ部材を設け、前記下流側ナノ部材は前記上流側ナノ部材より流体に対する剛性を大きくしたことを特徴とする低流量センサ。 - 前記上流側ナノ部材は鎖長の長いチオール化合物を介して固定化させ、前記下流側ナノ部材は鎖長の短いチオール化合物を介して固定化させたことを特徴とする請求項1記載の低流量センサ。
- 前記鎖長の長いチオール化合物は、8−アミノ−1−オクタンチオールであり、前記鎖長の短いチオール化合物は2−アミノプロパンチオールであることを特徴とする請求項2記載の低流量センサ。
- 前記下流側ナノ部材は、前記単層カーボンナノチューブを前記上流側ナノ部材よりも高密度に固定化させたことを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の低流量センサ。
- 前記上流側電極は、前記上流側ナノ部材が固定化されていない表面に、デカンチオールの末端官能基にメチル基を有する不活性化合物を固定化されさせたことを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の低流量センサ。
- 前記下流側ナノ部材の末端面同士および側面間は、ジアミノ化合物からなる連結部材で連結されるとともに、前記下流側ナノ部材を積層して固定化させたことを特徴とする請求項請求項1から5のいずれか1項に記載の低流量センサ。
- 前記下流側ナノ部材の最上の端面には、各種脂肪酸からなる不活性化合物が少なくとも一種類結合されていることを特徴とする請求項6記載の低流量センサ。
- 前記上流側ナノ部材の長さを1〜数十μmとし、前記下流側ナノ部材の長さを100〜500nmとし、かつ両電極の間隔を100μm以下としたことを特徴とする請求項1から7のいずれか1項に記載の低流量センサ。
- 前記管路の材質がポリエーテルエーテルケトン(PEEK)またはポリテトラフルオロエチレン(PTFE)であることを特徴とする請求項1から8のいずれか1項に記載の低流量センサ。
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-
2003
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