JP2005165105A - Optical coupling element, method for manufacturing the same and utilization of the same - Google Patents

Optical coupling element, method for manufacturing the same and utilization of the same Download PDF

Info

Publication number
JP2005165105A
JP2005165105A JP2003405816A JP2003405816A JP2005165105A JP 2005165105 A JP2005165105 A JP 2005165105A JP 2003405816 A JP2003405816 A JP 2003405816A JP 2003405816 A JP2003405816 A JP 2003405816A JP 2005165105 A JP2005165105 A JP 2005165105A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
coupling element
optical
optical fiber
optical coupling
manufacturing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2003405816A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Akira Sugimoto
亮 杉本
Kensuke Shima
研介 島
Tetsuya Sakai
哲弥 酒井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujikura Ltd
Original Assignee
Fujikura Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujikura Ltd filed Critical Fujikura Ltd
Priority to JP2003405816A priority Critical patent/JP2005165105A/en
Publication of JP2005165105A publication Critical patent/JP2005165105A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Optical Couplings Of Light Guides (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical coupling element such as an optical fiber array which can be inexpensively and easily manufactured, a method for manufacturing the optical coupling element and the use of the optical coupling element. <P>SOLUTION: In the method for manufacturing the optical coupling element, optical fibers 3 are fixed in optical fiber fixing grooves 4 by using a manufacturing tool 1 comprising a recessed part 2 for storing the base part of the optical coupling element, the optical fiber fixing grooves 4 and erection parts 5 arranged on both the sides of the recessed part 2, the base part 6 of the optical coupling element is stored in the recessed part to bring the optical fibers in to contact with the surface of the base part 6 of the optical coupling element, then the optical fibers are stuck and fixed to the surface of the base part 6 of the optical coupling element. Then end face processing allowing light incidence is applied to one end side of the stuck and fixed optical fibers to obtain the optical coupling element. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、高出力レーザ光用の光結合素子に関し、特に半導体レーザアレイと光ファイバアレイとを接続するための安価で容易に製造できる光結合素子とその製造方法、及び該光結合素子の利用に関する。   The present invention relates to an optical coupling element for high-power laser light, and in particular, an optical coupling element that can be easily manufactured at low cost for connecting a semiconductor laser array and an optical fiber array, a manufacturing method thereof, and use of the optical coupling element About.

高出力光源の一つとして半導体レーザアレイが提供されている。また、この半導体レーザアレイからの出力光を光ファイバと結合させるための光結合素子として、光ファイバアレイが用いられている。その一般的な結合方法では、光ファイバアレイの入射端を半導体レーザアレイの発光面にできるだけ近づけて配置し、両者を突き合わせることで光結合させている。このような光結合構造において、より効率よく光結合させるためには、光ファイバアレイ上に並べられる光ファイバを、半導体レーザアレイの発光点の周期に合わせて、できるだけ精度よく配置しなければならない。   A semiconductor laser array is provided as one of high-power light sources. An optical fiber array is used as an optical coupling element for coupling output light from the semiconductor laser array with an optical fiber. In the general coupling method, the incident end of the optical fiber array is arranged as close as possible to the light emitting surface of the semiconductor laser array, and the two are abutted to achieve optical coupling. In such an optical coupling structure, in order to perform optical coupling more efficiently, the optical fibers arranged on the optical fiber array must be arranged as accurately as possible according to the period of the light emitting point of the semiconductor laser array.

従来の一般的な光ファイバアレイには、光ファイバ固定用溝が設けてあり、この溝を利用して光ファイバを配置するようになっている。光ファイバを精度よく配置するためには、光ファイバアレイ上の光ファイバ固定用溝を極めて小さい機械的公差で作製する必要がある。このため、一般的に光ファイバ固定用溝は、エッチングや研削による加工方法で作製されている。このような光ファイバアレイ構造は、これまでに様々な形状のものが提案されている(例えば、特許文献1〜3参照。)。
米国特許第5734766号明細書 実開平5−11110号公報 特開平5−93828号公報
In a conventional general optical fiber array, an optical fiber fixing groove is provided, and an optical fiber is arranged using the groove. In order to arrange the optical fibers with high accuracy, it is necessary to manufacture the optical fiber fixing grooves on the optical fiber array with extremely small mechanical tolerances. For this reason, the optical fiber fixing groove is generally manufactured by a processing method by etching or grinding. Various types of optical fiber array structures have been proposed so far (see, for example, Patent Documents 1 to 3).
US Pat. No. 5,734,766 Japanese Utility Model Publication No. 5-11110 JP-A-5-93828

しかしながら、極めて小さい機械的公差をもって作製された光ファイバ固定用溝を有する光ファイバアレイを製造するのは容易ではなく、製造コストが高くなってしまう。また、エッチングや研削により作製する必要があるため、その材質も限られる。   However, it is not easy to manufacture an optical fiber array having an optical fiber fixing groove manufactured with extremely small mechanical tolerances, resulting in an increase in manufacturing cost. Moreover, since it is necessary to produce by etching or grinding, the material is also limited.

本発明は前記事情に鑑みてなされ、安価で容易に製造できる光ファイバアレイ等の光結合素子とその製造方法及びその利用の提供を目的とする。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is to provide an optical coupling element such as an optical fiber array that can be easily manufactured at low cost, a manufacturing method thereof, and use thereof.

前記目的を達成するため、本発明は、光結合素子基部が収まる凹部と、光ファイバ固定用溝を有し、前記凹部の両側に配置された架設部とを有する製造治具を用い、前記光ファイバ固定溝に光ファイバを固定するとともに、前記凹部に光結合素子基部を収容して光結合素子基部の表面に光ファイバを接触せしめ、次いで光結合素子基部の表面に光ファイバを接着固定し、次いで接着固定された光ファイバの一端側に光入射可能な端面処理を施して光結合素子を得ることを特徴とする光結合素子の製造方法を提供する。
また本発明は、前記製造方法により製造された、光ファイバ固定用溝を有しない光結合素子を提供する。
本発明の光結合素子において、この光結合素子が複数本の光ファイバが並列状態で固定された光ファイバアレイであることが好ましい。
また本発明は、前記光結合素子と半導体レーザアレイとを備え、光結合素子と半導体レーザアレイとを光結合することにより光ファイバに高出力レーザ光を導波させる高出力光源を提供する。
さらに本発明は、前記高出力光源を励起用光源として用いる固体レーザシステムを提供する。
In order to achieve the above object, the present invention uses a manufacturing jig having a concave portion in which an optical coupling element base is accommodated, and an optic fiber fixing groove and a bridge portion disposed on both sides of the concave portion. An optical fiber is fixed in the fiber fixing groove, the optical coupling element base is accommodated in the recess, the optical fiber is brought into contact with the surface of the optical coupling element base, and then the optical fiber is bonded and fixed to the surface of the optical coupling element base. Next, an optical coupling element manufacturing method is provided, wherein an optical coupling element is obtained by performing an end face treatment that allows light incidence on one end side of an optical fiber that is bonded and fixed.
Moreover, this invention provides the optical coupling element which does not have the groove | channel for optical fiber fixation manufactured by the said manufacturing method.
In the optical coupling element of the present invention, the optical coupling element is preferably an optical fiber array in which a plurality of optical fibers are fixed in parallel.
The present invention also provides a high-power light source comprising the optical coupling element and the semiconductor laser array, and optically coupling the optical coupling element and the semiconductor laser array to guide high-power laser light through an optical fiber.
Furthermore, the present invention provides a solid-state laser system that uses the high-power light source as an excitation light source.

本発明の光結合素子の製造方法によれば、光結合素子基部を収容する凹部を有する製造治具に光ファイバを架設するための位置精度の高い光ファイバ固定用溝を設けることにより、光結合素子基部には光ファイバ固定用溝を設けることなく、光結合素子基部の表面に製造治具に架設した光ファイバを接着固定することで、低コストで簡単に光ファイバアレイ等の光結合素子を製造することができる。
また、光結合素子基部には光ファイバ固定用溝を設ける必要がなくなったことで、光結合素子基部の材料の選択自由度が広がり、例えば加工性に富んだステンレス鋼を光結合素子基部材料として用いることが可能となる。これにより、安価で精度の高い光結合素子を提供することができる。
According to the method for manufacturing an optical coupling element of the present invention, an optical fiber fixing groove having a high positional accuracy for laying an optical fiber is provided in a manufacturing jig having a concave portion for accommodating the optical coupling element base. Without providing an optical fiber fixing groove in the element base, an optical fiber installed on a manufacturing jig is bonded and fixed to the surface of the optical coupling element base, so that an optical coupling element such as an optical fiber array can be easily formed at low cost. Can be manufactured.
In addition, since it is no longer necessary to provide an optical fiber fixing groove in the optical coupling element base, the degree of freedom of selection of the material of the optical coupling element base is increased. For example, stainless steel having high workability is used as the optical coupling element base material. It can be used. Thereby, an inexpensive and highly accurate optical coupling element can be provided.

以下、図面を参照して本発明の実施形態を説明する。
図1は本発明の光結合素子の製造方法の一例を説明するための平面図、図2は本発明の光結合素子の一例を示す斜視図、図3は本発明の製造方法において好適に用いられる製造治具の斜視図である。これらの図中、符号1は製造治具、2は凹部、3は光ファイバ、4は光ファイバ固定溝、5は架設部、6は光結合素子基部、7は台座、8は光結合素子(光ファイバアレイ)である。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 is a plan view for explaining an example of the manufacturing method of the optical coupling element of the present invention, FIG. 2 is a perspective view showing an example of the optical coupling element of the present invention, and FIG. 3 is preferably used in the manufacturing method of the present invention. It is a perspective view of a manufacturing jig. In these drawings, reference numeral 1 is a manufacturing jig, 2 is a recess, 3 is an optical fiber, 4 is an optical fiber fixing groove, 5 is an installation part, 6 is an optical coupling element base, 7 is a base, and 8 is an optical coupling element ( Optical fiber array).

本発明の製造方法では、図3に示すような製造治具1を用いる。この製造治具1は、中央に光結合素子基部6を収容するための凹部2を有する平面視コ字状をなしており、その凹部2の両側には、複数の光ファイバ固定用溝4を有する架設部5が突設されている。これらの架設部5は、凹部2に光結合素子基部6を収容した状態で、光結合素子基部6の上面に架設した光ファイバ3を接触させることができるような突出高さ、溝深さ及び配置位置で設けられている。   In the manufacturing method of the present invention, a manufacturing jig 1 as shown in FIG. 3 is used. This manufacturing jig 1 has a U-shape in plan view having a recess 2 for accommodating the optical coupling element base 6 in the center, and a plurality of optical fiber fixing grooves 4 are formed on both sides of the recess 2. The erection part 5 having the projection is provided. These erected parts 5 have a protruding height, a groove depth, and a depth at which the optical fiber 3 erected on the upper surface of the optical coupling element base 6 can be brought into contact with the optical coupling element base 6 in the recess 2. It is provided at the arrangement position.

それぞれの架設部5に設けられた光ファイバ固定用溝4は、複数の架設部5の光ファイバ固定用溝4に光ファイバ3を固定した状態で、光結合素子基部6の上面に対し、適切な位置及び配置間隔となるよう精密に位置調整されている。この光ファイバ固定用溝4の溝形状は、使用する光ファイバ3の形状に適したものとする。例えば、断面形状が円形である丸光ファイバを使用するときはV字形溝、断面形状が四角形である矩形光ファイバの場合は矩形形溝にする。   The optical fiber fixing groove 4 provided in each of the erection parts 5 is suitable for the upper surface of the optical coupling element base 6 in a state where the optical fiber 3 is fixed to the optical fiber fixing grooves 4 of the plurality of erection parts 5. The position is precisely adjusted so as to obtain a proper position and arrangement interval. The groove shape of the optical fiber fixing groove 4 is suitable for the shape of the optical fiber 3 to be used. For example, a V-shaped groove is used when a round optical fiber having a circular cross-sectional shape is used, and a rectangular groove is formed when a rectangular optical fiber having a square cross-sectional shape is used.

本例示においては、それぞれの架設部5に多数の光ファイバ固定用溝4を、多数の光ファイバ3を正確に並列した状態で架設し、多数の光ファイバ3が接着固定された光結合素子8(光ファイバアレイ)を製造する場合を示しているが、光ファイバ3の本数は特に限定されるものではなく、製造する光結合素子8の種類に応じて1本又は複数本とすることができる。   In this example, a plurality of optical fiber fixing grooves 4 are installed in each installation part 5 in a state in which a large number of optical fibers 3 are accurately arranged in parallel, and a large number of optical fibers 3 are bonded and fixed. Although the case where (optical fiber array) is manufactured is shown, the number of optical fibers 3 is not particularly limited, and can be one or more depending on the type of optical coupling element 8 to be manufactured. .

この製造治具1の凹部2に収容される光結合素子基部6は、その上面側に突出した複数の台座7を備えている。これらの台座7は突出高さを一定としても良いし、或いは図2に示すように一部の被覆を除去した光ファイバ3を台座7上に接着固定した際に、光ファイバ3の裸線部分3a(被覆除去部分)を接着固定する台座部分よりも、光ファイバ3の被覆部分3bを接着固定する台座部分の突出高さが低くなるよう、適宜調整して形成することができる。   The optical coupling element base 6 accommodated in the recess 2 of the manufacturing jig 1 includes a plurality of bases 7 protruding on the upper surface side. These pedestals 7 may have a constant protruding height, or when the optical fiber 3 from which a part of the coating is removed is bonded and fixed on the pedestal 7 as shown in FIG. The protrusion height of the pedestal portion for bonding and fixing the coating portion 3b of the optical fiber 3 can be appropriately adjusted and formed as compared with the pedestal portion for bonding and fixing 3a (the coating removal portion).

本発明において、光結合素子基部6には光ファイバ固定用溝を設ける必要がなくなったことから、光結合素子基部6の材料の選択自由度が広がり、従来より基部材料として用いられるシリコン、セラミックス、石英ガラスなどの他に、加工性に富んだステンレス鋼などを光結合素子基部材料として用いることが可能となる。   In the present invention, since there is no need to provide an optical fiber fixing groove in the optical coupling element base 6, the degree of freedom in selecting the material of the optical coupling element base 6 is widened, and silicon, ceramics, In addition to quartz glass and the like, stainless steel having high workability can be used as the optical coupling element base material.

前述した製造治具1と光結合素子基部6とを用い、本発明の製造方法に従って光結合素子を製造する手順を説明する。
まず、製造治具1の架設部5に複数本の光ファイバ3を並列状態で固定する。この光ファイバ3は、光結合素子8の種類に応じて各種の光ファイバの中から選択使用でき、例えばシングルモード光ファイバ、マルチモード光ファイバ、高出力レーザ用大口径光ファイバなどを用いることができる。また架設した光ファイバ3は、端面処理する側の被覆の一部を除去しておく。
A procedure for manufacturing an optical coupling element according to the manufacturing method of the present invention using the manufacturing jig 1 and the optical coupling element base 6 will be described.
First, a plurality of optical fibers 3 are fixed in parallel to the installation part 5 of the manufacturing jig 1. The optical fiber 3 can be selected from various optical fibers according to the type of the optical coupling element 8, and for example, a single mode optical fiber, a multimode optical fiber, a large diameter optical fiber for a high output laser, or the like can be used. it can. In addition, the installed optical fiber 3 has a part of the coating on the end surface treated side removed.

次いで、図1に示すように、製造治具1の凹部2に光結合素子基部6を収容する。この光結合素子基部6を収容し、必要に応じて図示しない押圧手段によって光ファイバを下方に押圧した際、光結合素子基部6の台座7上面には、架設した光ファイバ3が接触する。   Next, as shown in FIG. 1, the optical coupling element base 6 is accommodated in the recess 2 of the manufacturing jig 1. When the optical coupling element base 6 is accommodated and the optical fiber is pressed downward by a pressing means (not shown) as required, the laid optical fiber 3 contacts the upper surface of the base 7 of the optical coupling element base 6.

次いで、光結合素子基部6の台座7上面に接触した光ファイバ3を台座7に接着固定する。この接着固定は、光ファイバと各種光部品との接着用に用いられている従来公知の各種接着剤を用いて行うことができ、その接着剤としては、例えばエポキシ系接着剤、シアノアクリレート系接着剤、ウレタン系接着剤、ホットメルト系接着剤などが挙げられる。   Next, the optical fiber 3 in contact with the upper surface of the base 7 of the optical coupling element base 6 is bonded and fixed to the base 7. This adhesive fixing can be performed using various conventionally known adhesives used for bonding optical fibers and various optical components. Examples of the adhesive include epoxy adhesives and cyanoacrylate adhesives. Agents, urethane adhesives, hot melt adhesives, and the like.

次いで、光結合素子基部6の台座7上面に接着固定した光ファイバ3の一方側を適当な位置で切断し、光ファイバ3の他方側を架設部5の光ファイバ固定溝4から外し、製造治具1から、光結合素子8を取り外す。
次いで、この光結合素子8に接着固定された光ファイバ3の一端側に光入射可能な端面処理を施し、これによって図2に示す光結合素子8が得られる。この端面処理は、光結合素子基部6の一端側を光ファイバ3の端面とともに研磨加工するなどの方法により行うことができる。
Next, one side of the optical fiber 3 bonded and fixed to the upper surface of the base 7 of the optical coupling element base 6 is cut at an appropriate position, and the other side of the optical fiber 3 is removed from the optical fiber fixing groove 4 of the erection unit 5 to manufacture the optical fiber. The optical coupling element 8 is removed from the tool 1.
Next, an end face treatment capable of entering light is applied to one end side of the optical fiber 3 bonded and fixed to the optical coupling element 8, thereby obtaining the optical coupling element 8 shown in FIG. 2. This end surface treatment can be performed by a method such as polishing one end side of the optical coupling element base 6 together with the end surface of the optical fiber 3.

前述したように製造された図2に示す光結合素子8は、光結合素子基部6の台座7上面に多数の光ファイバ3が並列状態で接着固定されてなり、この光結合素子基部6自体には光ファイバ固定用溝を有しないことを特徴としている。光結合素子8に固定された光ファイバ3は、半導体レーザアレイの発光点の周期に合わせて精度よく配置されている。各光ファイバ3の端面は、半導体レーザアレイの発光点から出射されたレーザ光が効率よく入射されるように、反射防止膜や斜め研磨等の反射防止のための端面処理を施すことができる。本発明の光結合素子8は、光ファイバアレイなどの光結合素子を使用する光通信分野、光応用分野などに適用することができ、例えば光導波路と光ファイバとを結合させる場合にも利用できる。   The optical coupling element 8 shown in FIG. 2 manufactured as described above has a large number of optical fibers 3 bonded and fixed in parallel to the upper surface of the base 7 of the optical coupling element base 6. Is characterized by not having an optical fiber fixing groove. The optical fiber 3 fixed to the optical coupling element 8 is accurately arranged according to the period of the light emitting point of the semiconductor laser array. The end face of each optical fiber 3 can be subjected to an end face treatment for antireflection such as an antireflection film or oblique polishing so that laser light emitted from the light emitting point of the semiconductor laser array is efficiently incident. The optical coupling element 8 of the present invention can be applied to the optical communication field and the optical application field that use an optical coupling element such as an optical fiber array, and can also be used when, for example, an optical waveguide and an optical fiber are coupled. .

この光結合素子8は、光結合素子基部6に光ファイバ固定用溝を有していないので、安価で簡単に製造することができる。
また光結合素子基部6に光ファイバ固定用溝を形成する必要がないので、光結合素子基部6の材料の選択自由度が広がり、例えば加工性に富んだステンレス鋼を光結合素子基部材料として用いることが可能となる。これにより、安価で精度の高い光結合素子8を提供することができる。
Since the optical coupling element 8 does not have the optical fiber fixing groove in the optical coupling element base 6, the optical coupling element 8 can be manufactured inexpensively and easily.
In addition, since it is not necessary to form an optical fiber fixing groove in the optical coupling element base 6, the degree of freedom in selecting the material of the optical coupling element base 6 is increased. For example, stainless steel having high workability is used as the optical coupling element base material. It becomes possible. Thereby, the inexpensive and highly accurate optical coupling element 8 can be provided.

図1に示す本発明の製造方法に従い、光結合素子として図2に示す構造の光ファイバアレイを製造した。
使用した製造治具は、図3に示すコ字状であり、長さ132mm、幅50mm、架設部上端までの高さ6.5mm、凹部30mm×17mm、架設部の幅0.5mmである。3本の架設部に500μm間隔で深さ500μmのV溝を19本形成した。このV溝の機械公差は20μm以内であった。
この製造治具の架設部に、シングルモード光ファイバ(クラッド外径125μm、被覆外径0.25mm)を19本並列状態で架設した。
次に、製造治具の凹部にステンレス鋼製の光結合素子基部(長さ10mm,幅25mm、高さ6mm)を収容し、その上面に接触した光ファイバをアクリル系接着剤で台座上に接着固定した。
次に、光結合素子基部6の一端の位置で光ファイバを切断し、さらに光結合素子基部6の一端側を鏡面研磨して、光ファイバの端面処理を行い、光ファイバアレイを製造した。
According to the manufacturing method of the present invention shown in FIG. 1, an optical fiber array having the structure shown in FIG. 2 was manufactured as an optical coupling element.
The used manufacturing jig is U-shaped as shown in FIG. 3, and has a length of 132 mm, a width of 50 mm, a height to the upper end of the erection part of 6.5 mm, a recess of 30 mm × 17 mm, and a erection part width of 0.5 mm. Nineteen V-grooves having a depth of 500 μm were formed at intervals of 500 μm on three erected portions. The mechanical tolerance of the V groove was within 20 μm.
Nineteen single-mode optical fibers (cladding outer diameter 125 μm, coating outer diameter 0.25 mm) were installed in parallel in the installation part of the manufacturing jig.
Next, a stainless steel optical coupling element base (length 10 mm, width 25 mm, height 6 mm) is accommodated in the recess of the manufacturing jig, and the optical fiber contacting the upper surface is bonded onto the pedestal with an acrylic adhesive. Fixed.
Next, the optical fiber was cut at the position of one end of the optical coupling element base 6, and further, one end side of the optical coupling element base 6 was mirror-polished to perform an end surface treatment of the optical fiber, thereby manufacturing an optical fiber array.

図4に、本実施例により製造された光ファイバアレイ端面における光ファイバ位置について、設計中心位置からのずれ量のヒストグラムを示す。図4(a)は水平方向のずれの度数分布、(b)は垂直方向のずれの度数分布を示す。
本製造方法により、水平・垂直方向に±3μm以下の精度で光ファイバを配置できることがわかる。
FIG. 4 shows a histogram of the amount of deviation from the design center position for the optical fiber position on the end face of the optical fiber array manufactured according to this embodiment. FIG. 4A shows the frequency distribution of deviation in the horizontal direction, and FIG. 4B shows the frequency distribution of deviation in the vertical direction.
It can be seen that the optical fiber can be arranged with an accuracy of ± 3 μm or less in the horizontal and vertical directions by this manufacturing method.

本発明の光結合素子の製造方法の一例を説明する平面図である。It is a top view explaining an example of the manufacturing method of the optical coupling element of this invention. 本発明の光結合素子の一例を示す斜視図である。It is a perspective view which shows an example of the optical coupling element of this invention. 本発明の製造方法において好適な製造治具を例示する斜視図である。It is a perspective view which illustrates a suitable manufacturing jig in the manufacturing method of the present invention. 本発明に係る実施例の結果を示し、製造した光結合素子における光ファイバのずれ量のヒストグラムである。It is a histogram of the deviation | shift amount of the optical fiber in the produced optical coupling element which shows the result of the Example which concerns on this invention, and was manufactured.

符号の説明Explanation of symbols

1…製造治具、2…凹部、3…光ファイバ、4…光ファイバ固定溝、5…架設部、6…光結合素子基部、7…台座、8…光結合素子。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Manufacturing jig, 2 ... Recessed part, 3 ... Optical fiber, 4 ... Optical fiber fixing groove, 5 ... Construction part, 6 ... Optical coupling element base, 7 ... Base, 8 ... Optical coupling element.

Claims (5)

光結合素子基部が収まる凹部と、光ファイバ固定用溝を有し前記凹部の両側に配置された架設部とを有する製造治具を用い、前記光ファイバ固定溝に光ファイバを固定するとともに、前記凹部に光結合素子基部を収容して光結合素子基部の表面に光ファイバを接触せしめ、次いで光結合素子基部の表面に光ファイバを接着固定し、次いで接着固定された光ファイバの一端側に光入射可能な端面処理を施して光結合素子を得ることを特徴とする光結合素子の製造方法。   Using a manufacturing jig having a recess in which the optical coupling element base is accommodated and an erected portion having an optical fiber fixing groove and disposed on both sides of the recess, the optical fiber is fixed in the optical fiber fixing groove, and The optical coupling element base is accommodated in the recess, the optical fiber is brought into contact with the surface of the optical coupling element base, the optical fiber is then bonded and fixed to the surface of the optical coupling element base, and then the optical fiber is bonded to one end side of the bonded optical fiber. A method of manufacturing an optical coupling element, wherein an optical coupling element is obtained by performing an incident end surface treatment. 請求項1に記載の製造方法により製造された、光ファイバ固定用溝を有しない光結合素子。   An optical coupling element which is manufactured by the manufacturing method according to claim 1 and does not have an optical fiber fixing groove. 複数本の光ファイバが並列状態で固定された光ファイバアレイである請求項2に記載の光結合素子。   The optical coupling element according to claim 2, which is an optical fiber array in which a plurality of optical fibers are fixed in parallel. 請求項2又は3に記載の光結合素子と半導体レーザアレイとを備え、光結合素子と半導体レーザアレイとを光結合することにより光ファイバに高出力レーザ光を導波させる高出力光源。   A high-output light source comprising the optical coupling element according to claim 2 and a semiconductor laser array, and optically coupling the optical coupling element and the semiconductor laser array to guide high-power laser light through an optical fiber. 請求項4に記載の高出力光源を励起用光源として用いる固体レーザシステム。
A solid-state laser system using the high-power light source according to claim 4 as an excitation light source.
JP2003405816A 2003-12-04 2003-12-04 Optical coupling element, method for manufacturing the same and utilization of the same Withdrawn JP2005165105A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003405816A JP2005165105A (en) 2003-12-04 2003-12-04 Optical coupling element, method for manufacturing the same and utilization of the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003405816A JP2005165105A (en) 2003-12-04 2003-12-04 Optical coupling element, method for manufacturing the same and utilization of the same

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2005165105A true JP2005165105A (en) 2005-06-23

Family

ID=34728378

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2003405816A Withdrawn JP2005165105A (en) 2003-12-04 2003-12-04 Optical coupling element, method for manufacturing the same and utilization of the same

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2005165105A (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5121457A (en) Method for coupling laser array to optical fiber array
KR101258725B1 (en) Wideband optical coupling into thin soi cmos photonic integrated circuit
JP3423723B2 (en) Coupling device of multi-emitter laser diode to multi-mode optical fiber
US10082625B2 (en) Optical component with angled-facet waveguide
JPH1010362A (en) Optical integrated circuit having passively adjusted fibers
JP2007108751A (en) Micro-optical device
JP2009198803A (en) Optical module and optical waveguide
US6381386B1 (en) V-shaped optical coupling structure
US20030142922A1 (en) Passive alignment of fiber optic array
KR100763115B1 (en) A fibre aligning structure
CA2256585A1 (en) Structure for connecting optical fibers to optical waveguide
JPS58178310A (en) Optical fiber array wrought end face working oblique
US20040247248A1 (en) Passive alignment between waveguides and optical components
JPS6360413A (en) Coupling method for light emitting element and optical fiber and optical waveguide type coupling device
JP2005165105A (en) Optical coupling element, method for manufacturing the same and utilization of the same
JP2010066474A (en) Optical connection structure
EP1219993A2 (en) Optical device package
JP2002277688A (en) Fiber array substrate, fixing structure of optical fiber array using the substrate, substrate for positioning optical fiber, and fixing structure of optical fiber using the positioning substrate
JPH0894887A (en) Optical coupling parts and their production
JP2008040086A (en) Optical fiber array
JPH06331851A (en) Optical fiber fixing structure
JP2003057467A (en) Optical module and its manufacturing method
JP2005345951A (en) Optical fiber array and manufacturing method thereof
JPH08327859A (en) Optical semiconductor device and its production
JPH0990158A (en) Optical module and its assembly method

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20070206