JP2005081716A - Electrostatic ejection inkjet head - Google Patents

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Ryoichi Yamamoto
亮一 山本
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electrostatic ejection inkjet head capable of correcting the impact position of ink to the pertinent position when it is varied due to variation in the machining accuracy of components or the assembling accuracy, various interference among ink guides, or aging. <P>SOLUTION: The electrostatic inkjet head 10 comprises a head substrate 12, an insulating substrate 16 arranged at a specified interval to the head substrate 12 in order to form an ink channel 22 between and provided at least one through hole 20 opening to a liquid drop receptor, an ink guide 14 arranged on the head substrate 12 such that the forward end part is located substantially in the center of the through hole 20 to project from the through hole 20, a means for supplying ink Q to the ink channel 22, and a ring-like control electrode 18 provided on the insulating substrate 16 to surround the through hole 20 while being divided in the circumferential direction. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、粒子を含む液滴を飛翔させて画像を記録するインクジェット記録装置に利用される静電吐出型インクジェットヘッドに関し、特に、液滴の飛翔方向を偏向できる静電吐出型インクジェットヘッドに関する。   The present invention relates to an electrostatic discharge type ink jet head used in an ink jet recording apparatus that records an image by causing droplets containing particles to fly, and more particularly to an electrostatic discharge type ink jet head that can deflect the flight direction of the droplets.

従来、静電吐出型インクジェット記録方式としては、帯電した微粒子成分を含むインクを用い、画像データに応じて、インクジェットヘッドの制御電極に所定の電圧を印加することにより、静電力を利用してインクの吐出を制御し、画像データに対応した画像を記録媒体上に記録する方式が知られている。この静電吐出インクジェット記録方式を用いたインクジェット装置が種々提案されている(例えば、特許文献1および特許文献2等参照)。   Conventionally, as an electrostatic discharge type ink jet recording method, an ink using electrostatic force is used by applying a predetermined voltage to a control electrode of an ink jet head in accordance with image data using ink containing charged fine particle components. There is known a system for controlling the ejection of the ink and recording an image corresponding to the image data on a recording medium. Various ink jet apparatuses using this electrostatic discharge ink jet recording system have been proposed (see, for example, Patent Document 1 and Patent Document 2).

図6は、特許文献1に開示された従来のインクジェット記録装置のインクジェットヘッドを模式的に示す模式的断面図である。
図6に示すように、インクジェットヘッド100においては、絶縁性基板102と、この絶縁性基板102に対向して配置されるヘッド基板104を有する。絶縁性基板102には、基板貫通孔102aが形成されている。この基板貫通孔102aの周囲には、制御電極110が設けられている。ヘッド基板104には、基板貫通孔102aの略中心に位置するように、インクガイド106が立設されている。このインクガイド106は、その先端部が基板貫通孔102aから突出するものであり、インクガイド106には、その中心線に沿って所定幅だけ切り欠かれてインクガイド溝108が形成されている。
FIG. 6 is a schematic cross-sectional view schematically showing an ink jet head of a conventional ink jet recording apparatus disclosed in Patent Document 1. As shown in FIG.
As shown in FIG. 6, the inkjet head 100 includes an insulating substrate 102 and a head substrate 104 disposed to face the insulating substrate 102. A substrate through hole 102 a is formed in the insulating substrate 102. A control electrode 110 is provided around the substrate through hole 102a. An ink guide 106 is erected on the head substrate 104 so as to be positioned substantially at the center of the substrate through hole 102a. The ink guide 106 has a tip projecting from the substrate through hole 102a, and the ink guide 106 is cut out by a predetermined width along the center line to form an ink guide groove 108.

絶縁性基板102とヘッド基板104とにより、インク溜114が形成される。また、制御電極110には、記録すべき画像に対応する信号電圧を供給する信号電圧源112が接続されている。
さらに、絶縁性基板102に、インクガイド106の先端部の突出方向側に対向して対向電極120が設けられている。この対向電極120は、所定の電位レベルが与えられるとともに、プラテンとして記録媒体Pを保持する。
An ink reservoir 114 is formed by the insulating substrate 102 and the head substrate 104. The control electrode 110 is connected to a signal voltage source 112 that supplies a signal voltage corresponding to an image to be recorded.
Further, a counter electrode 120 is provided on the insulating substrate 102 so as to face the protruding direction side of the tip portion of the ink guide 106. The counter electrode 120 is given a predetermined potential level and holds the recording medium P as a platen.

また、インクジェットヘッド100において、インク溜114には、インク供給管(図示せず)およびインク回収管(図示せず)を介して、インクQを循環させるインク還流機構(図示せず)が設けられている。
なお、インクQとしては、108 Ω・cm以上の抵抗率を有する絶縁性の溶媒中に、帯電性を有する色剤成分(帯電微粒子)をコロイド状に分散させて浮遊させたものを用いる。
In the ink jet head 100, the ink reservoir 114 is provided with an ink reflux mechanism (not shown) for circulating the ink Q through an ink supply pipe (not shown) and an ink recovery pipe (not shown). ing.
As the ink Q, a colorant component (charged fine particles) having charging properties dispersed in a colloidal form and suspended in an insulating solvent having a resistivity of 10 8 Ω · cm or more is used.

このような構成を有するインクジェットヘッド100においては、色剤成分等の粒子を含むインクQが毛細管現象によってインク案内溝108内を移動してインクガイド106の先端部に溜まっていく。この状態で、信号電圧源112から制御電極110に高電圧パルスが印加されると、色剤成分を含むインク滴がインクガイド106から飛び出し、対向電極120に引っ張られて、記録媒体Pに向けて飛翔されて付着し、画像を記録する。   In the ink jet head 100 having such a configuration, the ink Q containing particles such as a colorant component moves in the ink guide groove 108 by the capillary phenomenon and accumulates at the tip of the ink guide 106. In this state, when a high voltage pulse is applied from the signal voltage source 112 to the control electrode 110, an ink droplet containing a colorant component jumps out of the ink guide 106 and is pulled by the counter electrode 120 toward the recording medium P. Fly and stick and record images.

図7は、特許文献2に開示された従来のインクジェット記録装置のインクジェットヘッドを模式的に示す模式的断面図である。
図7に示すように、インクジェットヘッド130においては、絶縁性支持基板132と、この絶縁性支持基板132に対向して配置される基板134とを有する。絶縁性支持基板132と基板134とにより、インク溜136が形成される。インク溜136には、インクQを供給するためのインク供給タンク(図示せず)が配管(図示せず)を介して設けられている。
FIG. 7 is a schematic cross-sectional view schematically showing an ink jet head of a conventional ink jet recording apparatus disclosed in Patent Document 2. As shown in FIG.
As shown in FIG. 7, the inkjet head 130 includes an insulating support substrate 132 and a substrate 134 that is disposed to face the insulating support substrate 132. An ink reservoir 136 is formed by the insulating support substrate 132 and the substrate 134. The ink reservoir 136 is provided with an ink supply tank (not shown) for supplying the ink Q via a pipe (not shown).

また、絶縁性支持基板132には、基板貫通孔132aが形成されている。この貫通孔132aの周囲を囲むようにして、絶縁性支持基板132の表面および裏面に第1および第2の制御電極140、142が形成されている。この絶縁性支持基板132の表面側に対向して金属プラテン120aが配置されている。この金属プラテン120aは、対向電極を兼ねるものであり、金属プラテン120aには、記録媒体Pが保持される。
第1および第2の制御電極140、142には、信号電圧源144が接続されている。また、第2の制御電極142と接地された金属プラテン120aとの間にはバイアス電圧源146が接続されている。インクQとしては、105 〜109 Ω・cm程度の導電率を持つ導電性インクが使用される。
The insulating support substrate 132 is formed with a substrate through hole 132a. First and second control electrodes 140 and 142 are formed on the front and back surfaces of the insulating support substrate 132 so as to surround the periphery of the through hole 132a. A metal platen 120a is disposed facing the surface side of the insulating support substrate 132. The metal platen 120a also serves as a counter electrode, and the recording medium P is held on the metal platen 120a.
A signal voltage source 144 is connected to the first and second control electrodes 140 and 142. A bias voltage source 146 is connected between the second control electrode 142 and the grounded metal platen 120a. As the ink Q, a conductive ink having a conductivity of about 10 5 to 10 9 Ω · cm is used.

このような構成を有するインクジェットヘッド130においては、インク供給タンクからインクQがインク溜136に供給されて、静水圧により貫通孔132a内にインクQが供給される。この状態で、バイアス電圧に加えて、信号電圧源144により、第1および第2の制御電極140、142間に画像信号に応じた信号電圧を重畳印加する。これにより、貫通孔132a内のインク面からインク滴が飛翔する。この飛翔したインク滴は、金属プラテン120aと、第1および第2の制御電極140、142に印加されたバイアス電圧によって加速され記録媒体Pに達して画像が形成される。   In the inkjet head 130 having such a configuration, the ink Q is supplied from the ink supply tank to the ink reservoir 136, and the ink Q is supplied into the through hole 132a by the hydrostatic pressure. In this state, in addition to the bias voltage, a signal voltage corresponding to the image signal is superimposed and applied between the first and second control electrodes 140 and 142 by the signal voltage source 144. As a result, ink droplets fly from the ink surface in the through hole 132a. The flying ink droplets are accelerated by the bias voltage applied to the metal platen 120a and the first and second control electrodes 140 and 142 and reach the recording medium P to form an image.

図6および図7に示す静電吐出型インクジェットヘッド100および130においては、構成する部品、例えば、基板貫通孔102a、制御電極110およびインクガイド106ならびに基板貫通孔132a、第1および第2の制御電極140および142の加工精度もしくは組立精度のばらつき、各吐出部の制御電極間の干渉、または経年変化等によって、インクジェットヘッド100および130から吐出されたインク滴の記録媒体P上での着弾位置がばらつくという問題点があった。
このため、従来のインクジェットヘッドにおいては、より加工精度の高い高価な部品を使用する必要があるし、組立精度が高いヘッドを用いる必要があるため、歩留まりが低いものになり、その結果、高価になってしまうという問題があった。
In the electrostatic discharge type inkjet heads 100 and 130 shown in FIG. 6 and FIG. 7, components such as the substrate through hole 102 a, the control electrode 110 and the ink guide 106, and the substrate through hole 132 a, the first and second controls. Due to variations in processing accuracy or assembly accuracy of the electrodes 140 and 142, interference between the control electrodes of the respective ejection units, aging, etc., the landing positions of the ink droplets ejected from the ink jet heads 100 and 130 on the recording medium P are changed. There was a problem of variation.
For this reason, in the conventional inkjet head, it is necessary to use expensive parts with higher processing accuracy, and it is necessary to use a head with higher assembly accuracy, resulting in a low yield, resulting in an increase in cost. There was a problem of becoming.

一方、従来より、静電吐出型インクジェットヘッド記録方式等の液滴吐出型インクジェット記録方式とは異なる連続インクジェット記録方式の記録装置も提案されている(特許文献3等参照)。
図8は、特許文献3に開示された従来のインクジェット記録装置を模式的に示す模式的断面図であり、図9は、図8に示すインクジェット記録装置の環形ヒータを模式的示す模式的平面図である。
図8に示すように、インクジェット記録装置においては、基体150と、絶縁層152とが間隔を設けて対向して配置されている。この絶縁層152には、基体150と反対側の表面に疎水層154が形成されている。絶縁層152および疎水層154には、これらを貫通するノズル孔部158が形成されている。疎水層154の表面にはノズル孔部158の開口部を囲うように環形ヒータ160が形成されている。基体150と絶縁層152とによりインク供給溝部156がノズル孔部158に沿って形成される。インク供給溝部156には、インクQが充填され、このインクQが大気圧以上に加圧されるとともに、開口部からインクQが液流(インク流)170として吐出する。
On the other hand, a recording apparatus of a continuous ink jet recording method different from a droplet discharge ink jet recording method such as an electrostatic discharge ink jet head recording method has been proposed (see Patent Document 3).
8 is a schematic cross-sectional view schematically showing a conventional ink jet recording apparatus disclosed in Patent Document 3, and FIG. 9 is a schematic plan view schematically showing an annular heater of the ink jet recording apparatus shown in FIG. It is.
As shown in FIG. 8, in the ink jet recording apparatus, the base 150 and the insulating layer 152 are arranged to face each other with a space therebetween. In this insulating layer 152, a hydrophobic layer 154 is formed on the surface opposite to the base 150. The insulating layer 152 and the hydrophobic layer 154 have nozzle holes 158 that pass through them. An annular heater 160 is formed on the surface of the hydrophobic layer 154 so as to surround the opening of the nozzle hole 158. An ink supply groove 156 is formed along the nozzle hole 158 by the base 150 and the insulating layer 152. The ink supply groove 156 is filled with ink Q, the ink Q is pressurized to atmospheric pressure or higher, and the ink Q is discharged from the opening as a liquid flow (ink flow) 170.

また、図9に示すように、環形ヒータ160は、ノズル孔部158の開口部の周縁部の約1/2をそれぞれ包囲する二つの区画部(発熱部)160a、160bを有するものである。各区画部160a、160bには、それぞれ両端に電源側接続部162a、162bおよび接地側接続部164a、164bが接続されている。環形ヒータ160の区画部160a、160bの両方ではなく一方に電流を供給すると、液流170が加熱され、複数の液滴172に分裂する。また、液流170に印加される熱は非対称であり、これにより、液流170は偏向される。   As shown in FIG. 9, the annular heater 160 has two partition portions (heat generating portions) 160 a and 160 b that respectively surround about ½ of the peripheral edge portion of the opening of the nozzle hole portion 158. The partition portions 160a and 160b are connected to power supply side connection portions 162a and 162b and ground side connection portions 164a and 164b at both ends, respectively. When an electric current is supplied to one of the annular heaters 160 instead of both of the partition portions 160 a and 160 b, the liquid flow 170 is heated and split into a plurality of droplets 172. Also, the heat applied to the liquid flow 170 is asymmetric, which causes the liquid flow 170 to be deflected.

さらに、図8に示すように、疎水層154に対向してインク排除溝180が設けられている。このインク排除溝180は、偏向された液滴172が記録媒体(図示せず)に到達し、偏向されていない液滴174は記録媒体に到達しない位置に設けられている。
このインクジェット記録装置においては、ノズル孔部158からインク排除溝180に向かって所定距離離間した位置において、環形ヒーター160により供給される熱によって、液流170は複数の液滴172へと分裂するとともに、インク排除溝180により、偏向されていない液滴174が記録媒体に到達しない。そして、偏向された液滴172が記録媒体(図示せず)に到達することにより、偏向された液滴172が記録媒体の着弾して画像が形成される。
Further, as shown in FIG. 8, an ink exclusion groove 180 is provided to face the hydrophobic layer 154. The ink ejection groove 180 is provided at a position where the deflected droplet 172 reaches the recording medium (not shown) and the undeflected droplet 174 does not reach the recording medium.
In this ink jet recording apparatus, the liquid flow 170 is divided into a plurality of liquid droplets 172 by heat supplied by the annular heater 160 at a position separated from the nozzle hole 158 toward the ink exclusion groove 180 by a predetermined distance. The ink discharge groove 180 prevents the undeflected droplet 174 from reaching the recording medium. Then, when the deflected liquid droplet 172 reaches a recording medium (not shown), the deflected liquid droplet 172 reaches the recording medium and an image is formed.

図8および図9に示すインクジェット記録装置は、ノズル孔部158の開口部の周縁部を包囲する2つの区画(発熱)部160a、160bによって連続吐出液体を非対称に加熱することにより、連続吐出液体から液滴を形成するとともに偏向することを高い繰り返し周波数で行うものであるので、区画部160a、160bに印加する駆動パルスの制御が複雑となるし、安定な液滴の形成制御と、正確な液滴偏向制御が困難であるという問題点があった。このような連続インクジェット記録方式では、液滴の偏向は、記録しないドットに相当する液滴を途中でキャッチャー等のインク排除溝に落とすためのものであり、所定偏向量以上の偏向が可能であればよく、液滴の正確な偏向量の制御を行う必要がないため、正確な偏向量制御を行うものではなかった。   The ink jet recording apparatus shown in FIG. 8 and FIG. 9 has a continuous discharge liquid by asymmetrically heating the continuous discharge liquid by two partition (heat generation) portions 160a and 160b surrounding the peripheral portion of the opening of the nozzle hole 158. Since the droplets are formed and deflected at a high repetition frequency, the control of the drive pulses applied to the partition portions 160a and 160b becomes complicated, and stable droplet formation control and accurate There was a problem that droplet deflection control was difficult. In such a continuous ink jet recording method, the deflection of the droplet is for dropping a droplet corresponding to a dot not to be recorded into an ink removal groove such as a catcher on the way, and it is possible to deflect more than a predetermined deflection amount. In other words, it is not necessary to accurately control the amount of deflection of the droplets, and therefore, the amount of deflection is not accurately controlled.

特開平10−230608号公報JP-A-10-230608 特開平10−138494号公報JP 10-138494 A 特開平11−192707号公報JP 11-192707 A

本発明の目的は、構成する部品の加工精度のばらつき、もしくは組立精度等のばらつき、各インクガイド間の各種の干渉、または経時劣化により、インクの着弾位置にばらつきがある場合でも、インクの着弾位置を適正な位置に補正できる静電吐出型インクジェットヘッドを提供することにある。   It is an object of the present invention to achieve ink landing even when there are variations in ink landing positions due to variations in processing accuracy of components or assembly accuracy, various interference between ink guides, or deterioration with time. An object of the present invention is to provide an electrostatic discharge type inkjet head capable of correcting the position to an appropriate position.

前記課題を解決するために、本発明は、溶媒中に粒子を分散させたインクに静電気力を作用させることにより、少なくとも前記粒子を含む液滴を、液滴受容体に向けて飛翔させる静電吐出型インクジェットヘッドであって、ヘッド基板と、前記ヘッド基板と所定の間隔を設けて配置され、前記ヘッド基板との間にインク流路を形成するとともに、前記液滴受容体に対して開口された貫通孔が少なくとも1つ形成された絶縁性基板と、前記インク流路に前記インクを供給するインク供給手段と、前記貫通孔を囲うように前記絶縁性基板に設けられ、前記液滴の吐出制御を行う制御電極とを有し、前記制御電極は、前記貫通孔の周方向に複数に分割された導体を含むことを特徴とする静電吐出型インクジェットヘッドを提供するものである。   In order to solve the above-mentioned problems, the present invention provides an electrostatic that causes at least a droplet including the particle to fly toward a droplet receiver by applying an electrostatic force to ink in which the particle is dispersed in a solvent. A discharge-type inkjet head, which is disposed at a predetermined interval from a head substrate, and forms an ink flow path between the head substrate and is open to the droplet receiver. An insulating substrate having at least one through-hole formed thereon, an ink supply means for supplying the ink to the ink flow path, and the insulating substrate so as to surround the through-hole. The electrostatic discharge type inkjet head is characterized in that it includes a control electrode that performs control, and the control electrode includes a conductor divided into a plurality in the circumferential direction of the through hole.

前記制御電極は、前記分割された導体の少なくとも一つが、前記液滴の飛翔方向を偏向させるために用いられることが好ましい。
前記制御電極は、液滴飛翔方向に所定間隔離間して前記絶縁性基板に設けられた第1および第2の制御電極とを有し、前記第1および前記第2の制御電極のうちの少なくとも一方は、前記貫通孔の周方向に複数に分割された導体を含むことが好ましい。
さらに、前記第1および前記第2の制御電極のいずれか一方は、前記貫通孔の周方向に複数に分割された導体を含み、前記液滴の飛翔方向を偏向させるために用いられる偏向用電極であり、他の一方は、前記液滴の吐出制御を行う吐出制御用電極であることが好ましい。
In the control electrode, it is preferable that at least one of the divided conductors is used to deflect the flying direction of the droplet.
The control electrode includes first and second control electrodes provided on the insulating substrate at a predetermined interval in the droplet flight direction, and at least one of the first and second control electrodes. One of them preferably includes a conductor divided into a plurality in the circumferential direction of the through hole.
Further, one of the first and second control electrodes includes a conductor divided into a plurality in the circumferential direction of the through hole, and is used for deflecting the flying direction of the droplet The other is preferably a discharge control electrode for controlling the discharge of the droplets.

前記第1の制御電極は、前記第2の制御電極よりも前記液滴受容体に近い側に設けられる前記偏向用電極であり、前記第2の制御電極は、前記吐出制御用電極であることが好ましい。
さらに、前記第1の制御電極は、前記第2の制御電極よりも前記液滴受容体に近い側に設けられ、前記貫通孔の周方向に複数に分割された導体からなり、前記分割された導体の少なくとも一つが、前記インクの温度を局所的に変化させて、前記液滴の飛翔方向を偏向させる偏向用電極であることが好ましい。
さらにまた、前記第1の制御電極は、発熱抵抗体または熱電素子であることが好ましい。
The first control electrode is the deflection electrode provided closer to the droplet receiver than the second control electrode, and the second control electrode is the ejection control electrode. Is preferred.
Further, the first control electrode is provided on the side closer to the droplet receiver than the second control electrode, and is composed of a conductor divided into a plurality in the circumferential direction of the through hole, and the divided It is preferable that at least one of the conductors is a deflection electrode that deflects the droplet flying direction by locally changing the temperature of the ink.
Furthermore, it is preferable that the first control electrode is a heating resistor or a thermoelectric element.

前記第1および前記第2の制御電極は、共に、前記貫通孔の周方向に複数に分割された導体からなり、前記第1の制御電極は、前記第2の制御電極よりも前記液滴受容体に近い側に設けられ、前記液滴の飛翔方向を偏向させるとともに前記液滴の吐出制御を行う吐出制御用電極であり、前記第2の制御電極は、前記液滴の飛翔方向を偏向させる偏向用電極であることが好ましい。
また、前記第2の制御電極は、発熱抵抗体または熱電素子であることが好ましい。
Both of the first and second control electrodes are made of a conductor divided into a plurality in the circumferential direction of the through-hole, and the first control electrode receives the droplet more than the second control electrode. An ejection control electrode provided on a side close to the body for deflecting the flying direction of the droplet and controlling the ejection of the droplet, and the second control electrode deflects the flying direction of the droplet A deflection electrode is preferred.
The second control electrode is preferably a heating resistor or a thermoelectric element.

上述の本発明の静電吐出型インクジェットヘッドであって、さらに、先端部が前記貫通孔の略中心に位置するように前記ヘッド基板上に配置され、前記先端部が前記貫通孔から突出するインクガイドを有することが好ましい。   The above-described electrostatic discharge type ink jet head according to the present invention, wherein the ink is further disposed on the head substrate so that the tip end portion is positioned substantially at the center of the through hole, and the tip end portion protrudes from the through hole. It is preferable to have a guide.

本発明の静電吐出型インクジェットによれば、加工精度のばらつき、もしくは組立精度等のばらつき、各インクガイド間の各種の干渉、または経時劣化により、インクの着弾位置にばらつきがある場合でも、インクの着弾位置を適正な位置に補正できる。   According to the electrostatic discharge type ink jet of the present invention, even if the ink landing position varies due to variations in processing accuracy or variations in assembly accuracy, various interference between ink guides, or deterioration with time, The landing position of can be corrected to an appropriate position.

以下に、添付の図面に示す好適実施形態に基づいて、本発明の静電吐出型インクジェットヘッドを詳細に説明する。
図1は、本発明の第1の実施例に係る静電吐出型インクジェットヘッドを備えた静電吐出型インクジェット装置を模式的に示す模式的断面図であり、図2は、本実施例の静電吐出型インクジェットヘッドの制御電極の構成を示す模式的平面図である。なお、以下においては、図1および図2に示すように、静電吐出型インクジェットヘッドとして、絶縁性基板の貫通孔の中央にインクガイドが配置された吐出部を1つだけ図示して説明するが、本発明はこれに限定されず、複数の吐出部を有するものであってもよいことはいうまでもない。
Hereinafter, an electrostatic discharge type inkjet head of the present invention will be described in detail based on preferred embodiments shown in the accompanying drawings.
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view schematically showing an electrostatic discharge type ink jet apparatus provided with an electrostatic discharge type ink jet head according to a first embodiment of the present invention, and FIG. FIG. 3 is a schematic plan view showing a configuration of a control electrode of an electrodischarge type inkjet head. In the following, as shown in FIGS. 1 and 2, as an electrostatic discharge type ink jet head, only one discharge portion in which an ink guide is arranged in the center of a through hole of an insulating substrate will be illustrated and described. However, it is needless to say that the present invention is not limited to this, and may have a plurality of ejection portions.

図1に示すように、本実施例の静電吐出型インクジェットヘッド(以下、インクジェットヘッドという)10は、画像データに基づいて、帯電した顔料等の色成分(例えば、トナー等)を含むインクQを静電的引力により、インク滴Dとして飛翔させて、画像を記録媒体(液滴受容体)P上に記録するものである。インクジェットヘッド10は、ヘッド基板12と、インクガイド14と、貫通孔20が穿孔された絶縁性基板16と、制御電極18と、インク流路22と、信号電圧源24と、インク供給管26と、インク回収管28と、インク還流手段30とを有する。また、インクジェットヘッド10に対向して対向電極32が設けられている。   As shown in FIG. 1, an electrostatic discharge type ink jet head (hereinafter referred to as an ink jet head) 10 according to the present embodiment includes an ink Q containing a color component (for example, toner) such as a charged pigment based on image data. Are ejected as ink droplets D by electrostatic attraction, and an image is recorded on a recording medium (droplet receptor) P. The inkjet head 10 includes a head substrate 12, an ink guide 14, an insulating substrate 16 with a through hole 20, a control electrode 18, an ink flow path 22, a signal voltage source 24, and an ink supply pipe 26. And an ink recovery pipe 28 and an ink reflux means 30. Further, a counter electrode 32 is provided to face the ink jet head 10.

なお、図1に示すインクジェットヘッド10においては、貫通孔20の中央にインクガイド14を持つ吐出部を1つだけ示しているが、インクジェットヘッド10は、吐出部が、複数個配列されたマルチチャンネル構造を有しているものである。更に、インクジェットヘッド10は、モノクロまたはカラーのいずれの場合の画像の記録にも適用できる。   In the inkjet head 10 shown in FIG. 1, only one ejection part having the ink guide 14 is shown in the center of the through hole 20, but the inkjet head 10 is a multi-channel in which a plurality of ejection parts are arranged. It has a structure. Furthermore, the inkjet head 10 can be applied to image recording in either monochrome or color.

ヘッド基板12は、インクガイド14が形成される基板である。また、このヘッド基板12に、所定間隔離間して対向して絶縁性基板16が配置されている。このヘッド基板12と絶縁性基板16とにより、インクガイド14にインクQを供給するためのインク流路22が形成される。   The head substrate 12 is a substrate on which the ink guide 14 is formed. An insulating substrate 16 is disposed opposite to the head substrate 12 with a predetermined distance. The head substrate 12 and the insulating substrate 16 form an ink flow path 22 for supplying ink Q to the ink guide 14.

インクガイド14は、インクQを吐出させるためガイド部材である。インクガイド14は、ヘッド基板12上に設けられた基部14aと、この基部14aの上に設けられた突状先端部14bとを有する。この基部14aは、例えば、円錐台形状を呈し、突状先端部14bは、例えば、円錐形状を呈するものである。インクガイド14は、例えば、プラスチック樹脂またはセラミックス等の絶縁性部材で構成されるものである。   The ink guide 14 is a guide member for discharging the ink Q. The ink guide 14 has a base portion 14a provided on the head substrate 12, and a protruding tip portion 14b provided on the base portion 14a. The base portion 14a has, for example, a truncated cone shape, and the protruding tip portion 14b has, for example, a conical shape. The ink guide 14 is made of an insulating member such as plastic resin or ceramics.

絶縁性基板16は、Al2 3 もしくはZrO2 などのセラミックス、またはポリイミド等の樹脂からなるものである。この絶縁性基板16には、貫通孔20が形成されており、インクガイドヘッド14が、その突状先端部14bが貫通孔20の中心となるように配置される。 The insulating substrate 16 is made of a ceramic such as Al 2 O 3 or ZrO 2 or a resin such as polyimide. A through hole 20 is formed in the insulating substrate 16, and the ink guide head 14 is disposed such that the protruding tip portion 14 b is the center of the through hole 20.

制御電極18は、貫通孔20の周囲を囲むようにして、絶縁性基板16の上に形成されるものである。
図2に示すように、この制御電極18は、リング状を呈しており、貫通孔20の周方向に、例えば、3個に分割された第1〜第3の電極(導体)18a〜18cからなるものである。第1〜第3の電極18a〜18cは、それぞれ信号電圧源24に接続されている。インクジェットヘッド10では、信号電圧源24により分割されている第1〜第3の電極18a〜18cに対して、それぞれ選択的に電圧を印加することにより、インク滴を吐出させることができる。第1〜第3の電極18a〜18cは、例えば、アルミニウム薄膜配線からなり、配線膜厚が5μm、配線幅が30μm、第1〜第3の電極18a〜18cの隣接する電極の配線間隔が5μmである。また、第1〜第3の電極18a〜18cの材質は、アルミニウムに、限定されるものではなく、他の材質であってもよく、例えば、アルミニウム合金、銅、または銅合金などであってもよい。
The control electrode 18 is formed on the insulating substrate 16 so as to surround the through hole 20.
As shown in FIG. 2, the control electrode 18 has a ring shape, and is formed in the circumferential direction of the through hole 20, for example, from first to third electrodes (conductors) 18 a to 18 c divided into three pieces. It will be. The first to third electrodes 18a to 18c are connected to the signal voltage source 24, respectively. In the inkjet head 10, ink droplets can be ejected by selectively applying voltages to the first to third electrodes 18 a to 18 c divided by the signal voltage source 24. The first to third electrodes 18a to 18c are made of, for example, an aluminum thin film wiring, the wiring film thickness is 5 μm, the wiring width is 30 μm, and the wiring interval between the electrodes adjacent to the first to third electrodes 18a to 18c is 5 μm. It is. The material of the first to third electrodes 18a to 18c is not limited to aluminum and may be other materials, for example, aluminum alloy, copper, or copper alloy. Good.

なお、本実施例において、制御電極18を構成する電極の数は、特に限定されるものではないが、インク滴Dの飛翔方向を偏向させて補正するためには、電極の数は、3個以上であることが好ましい。   In the present embodiment, the number of electrodes constituting the control electrode 18 is not particularly limited, but in order to correct the flying direction of the ink droplet D by correcting the number of electrodes, the number of electrodes is three. The above is preferable.

また、図1に示すように、絶縁膜19は、絶縁性基板16に形成された制御電極18を覆うように、絶縁性基板16上に形成されたものである。この絶縁膜19は、例えば、サイトップTM等のフッ化樹脂からなり、厚さが0.5μmの絶縁層と、この絶縁層の上に形成された無機絶縁層との積層膜である。この無機絶縁層は、例えば、SiO2 からなるものである。なお、絶縁膜19においては、無機絶縁層上に吸着モノレイヤを形成するようなフッ素基を持つシランカップリング剤を用いた層を形成してもよい。 As shown in FIG. 1, the insulating film 19 is formed on the insulating substrate 16 so as to cover the control electrode 18 formed on the insulating substrate 16. The insulating film 19 is a laminated film of an insulating layer made of a fluororesin such as Cytop and having a thickness of 0.5 μm and an inorganic insulating layer formed on the insulating layer. This inorganic insulating layer is made of, for example, SiO 2 . In the insulating film 19, a layer using a silane coupling agent having a fluorine group that forms an adsorption monolayer on the inorganic insulating layer may be formed.

インク流路22は、インクガイド14にインクQを供給するものである。
信号電圧源24は、第1〜第3の電極18a〜18cに接続されている。この信号電圧源24は、第1〜第3の電極18a〜18cの全てに、例えば、インクQ中の微粒子の帯電が正である時、1.5kVのバイアス電圧を印加するとともに、画像データに基づいて、第1〜第3の電極18a〜18cの少なくとも1つに選択的に、例えば、600Vのパルス電圧(S1 〜S3 )を重畳して印加するものである。
なお、記録媒体P側に逆バイアス電圧(例えば、−1.5kV)を印加する場合、または帯電させる場合には、信号電圧源24へのバイアス電圧の印加は不要である。
The ink flow path 22 supplies the ink Q to the ink guide 14.
The signal voltage source 24 is connected to the first to third electrodes 18a to 18c. The signal voltage source 24 applies a bias voltage of 1.5 kV to all of the first to third electrodes 18a to 18c, for example, when the charge of the fine particles in the ink Q is positive, and applies to the image data. Based on this, a pulse voltage (S 1 to S 3 ) of, for example, 600 V is selectively applied to at least one of the first to third electrodes 18 a to 18 c in a superimposed manner.
When applying a reverse bias voltage (for example, -1.5 kV) to the recording medium P side or charging, it is not necessary to apply a bias voltage to the signal voltage source 24.

インク還流手段30は、インク流路22にインクQを供給するとともに、回収して、インクQを還流させるものであり、インク供給手段を兼ねる。インク還流手段30は、インク流路22に接続されたインク供給管26およびインク回収管28に接続される。このインク還流手段30は、記録時に、インクQをインク供給管26側からインク回収管28側に向かう方向に、所定の速度で循環させる。また、インク還流手段30は、図示はしないが、ポンプおよびインクタンク等を有する。インク還流手段30から送り出されたインクQは、インク供給管26を経てインク流路22に供給され、一部がインクガイド14から吐出され、そして、インク流路22からインク回収管28を経てインク還流手段30に回収される。   The ink reflux means 30 supplies the ink Q to the ink flow path 22, collects it, and causes the ink Q to reflux, and also serves as the ink supply means. The ink reflux means 30 is connected to an ink supply pipe 26 and an ink recovery pipe 28 connected to the ink flow path 22. The ink reflux means 30 circulates the ink Q at a predetermined speed in the direction from the ink supply pipe 26 side to the ink recovery pipe 28 side during recording. In addition, although not shown, the ink reflux means 30 includes a pump, an ink tank, and the like. The ink Q sent out from the ink reflux means 30 is supplied to the ink flow path 22 through the ink supply pipe 26, a part is ejected from the ink guide 14, and the ink Q is discharged from the ink flow path 22 through the ink recovery pipe 28. It is recovered by the reflux means 30.

なお、本実施例に用いられるインクQは、例えば、正に帯電した色成分(以下、帯電微粒子ともいう)を、帯電制御剤またはバインダなどと共に、絶縁性溶媒中にコロイド状に分散させ浮遊させたものであり、制御電極18に印加する電圧はこの帯電微粒子と同極性とする。この絶縁性溶媒は108 Ω・cm以上の抵抗率を持つものであることが好ましい。 The ink Q used in this embodiment is, for example, a positively charged color component (hereinafter also referred to as charged fine particles) dispersed in a colloidal form in an insulating solvent together with a charge control agent or a binder and suspended. The voltage applied to the control electrode 18 has the same polarity as the charged fine particles. This insulating solvent preferably has a resistivity of 10 8 Ω · cm or more.

また、本実施例において、インクガイド14の突状先端部14bには金属薄膜を形成することが好ましい。この金属薄膜により、突状先端部14bへの電界の集中が高められ、インク滴Dを飛翔させるための制御電極18に印加するバイアス電圧またはパルス電圧の電圧レベルを低くできる。
また、インクガイド14の形状は、インクQ、特に、インクQ内の帯電微粒子を絶縁性基板16の貫通孔20を通って突状先端部14bに濃縮させることができれば、特に、限定されるものではない。例えば、突状先端部14bは、突状ではなくても良く、適宜変更することができ、上述の特許文献1などに開示された従来公知のインクガイドの形状であってもよい。
In the present embodiment, it is preferable to form a metal thin film on the protruding tip 14b of the ink guide 14. By this metal thin film, the concentration of the electric field on the protruding tip 14b is increased, and the voltage level of the bias voltage or pulse voltage applied to the control electrode 18 for causing the ink droplet D to fly can be lowered.
Further, the shape of the ink guide 14 is particularly limited as long as the ink Q, in particular, the charged fine particles in the ink Q can be concentrated to the protruding tip 14b through the through hole 20 of the insulating substrate 16. is not. For example, the protruding tip portion 14b does not have to be a protruding shape, can be changed as appropriate, and may have the shape of a conventionally known ink guide disclosed in the above-mentioned Patent Document 1.

対向電極32は、インクガイド14の突状先端部14bに対向する位置に配置されるものであり、接地されている。また、記録媒体Pは、対向電極32のインクジェットヘッド10側の表面に支持されており、この対向電極32は、記録媒体Pのプラテンとしての機能も有する。   The counter electrode 32 is disposed at a position facing the protruding tip portion 14b of the ink guide 14, and is grounded. The recording medium P is supported on the surface of the counter electrode 32 on the ink jet head 10 side, and the counter electrode 32 also has a function as a platen of the recording medium P.

次に、本実施例のインクジェットヘッド10の動作について説明する。
図1に示すインクジェットヘッド10では、記録時に、インク還流手段30により、制御電極18に印加される電圧と同極性、例えば、正(+)に帯電した色成分(帯電微粒子)を含むインクQが、インク流路22の内部を、インク供給管26からインク回収管28に向けて移動される。このとき、記録媒体Pは、対向電極32に静電吸着されている。
Next, the operation of the inkjet head 10 of this embodiment will be described.
In the ink jet head 10 shown in FIG. 1, ink Q containing color components (charged fine particles) having the same polarity as the voltage applied to the control electrode 18, for example, positive (+), is charged by the ink reflux means 30 during recording. The ink flow path 22 is moved from the ink supply pipe 26 toward the ink recovery pipe 28. At this time, the recording medium P is electrostatically attracted to the counter electrode 32.

ここで、制御電極18の第1〜第3の電極18a〜18cのいずれにもパルス電圧が印加されていないか、または、印加されているパルス電圧が低電圧レベル(0V)であるとき、制御電極18と対向電極32(記録媒体P)との間の電圧(電位差)は、例えば、バイアス電圧分の1.5kVである。インクガイド14の突状先端部14bの近傍の電界強度は低く、インクQは、インクガイド14の突状先端部14bからインク滴Dとして吐出されない。   Here, when the pulse voltage is not applied to any of the first to third electrodes 18a to 18c of the control electrode 18, or when the applied pulse voltage is at a low voltage level (0V), the control is performed. The voltage (potential difference) between the electrode 18 and the counter electrode 32 (recording medium P) is, for example, 1.5 kV corresponding to the bias voltage. The electric field strength in the vicinity of the protruding tip portion 14b of the ink guide 14 is low, and the ink Q is not ejected as the ink droplet D from the protruding tip portion 14b of the ink guide 14.

しかし、このとき、インク室内22内のインクQの一部、特にインクQ内に含まれる帯電微粒子は、泳動現象または毛細管現象などによって、絶縁性基板16の貫通孔20を通って、インクガイド14に案内されて記録媒体Pの方向へ上昇し、突状先端部14bの近傍にインクメニスカスMが形成される。このように突状先端部14bの近傍にインクメニスカスMが形成されることによって、突状先端部14bにインクQが供給される。   However, at this time, a part of the ink Q in the ink chamber 22, in particular, the charged fine particles contained in the ink Q pass through the through hole 20 of the insulating substrate 16 due to a migration phenomenon or a capillary phenomenon, and the ink guide 14. The ink meniscus M is formed in the vicinity of the protruding tip portion 14b. As described above, the ink meniscus M is formed in the vicinity of the protruding tip portion 14b, whereby the ink Q is supplied to the protruding tip portion 14b.

一方、制御電極18の第1〜第3の電極18a〜18cの全てに、画像データに基づく信号電圧として、例えば、600Vのパルス電圧が印加されると、制御電極18と対向電極32(記録媒体P)との間の電圧(電位差)は、例えば、バイアス電圧分の1.5kVにパルス電圧分の600Vが重畳され、2. 1kVとなり、インクガイド14の突状先端部14b近傍の電界強度は高くなる。
このとき、インクガイド14に沿って上昇し、突状先端部14bに達したインクQ、特に、インクQ内に濃縮した帯電微粒子は、静電力によってインクガイド14の突状先端部14bから、帯電微粒子を含むインク液滴Dとして、対向電極32(記録媒体P)に向けて吐出して、記録媒体P上に付着する。
On the other hand, when a pulse voltage of, for example, 600 V is applied to all of the first to third electrodes 18a to 18c of the control electrode 18 as a signal voltage based on image data, the control electrode 18 and the counter electrode 32 (recording medium) The voltage (potential difference) with respect to P) is, for example, 1.5 kV by superimposing a bias voltage of 1.5 kV and a pulse voltage of 600 V, and the electric field strength in the vicinity of the protruding tip 14 b of the ink guide 14 is Get higher.
At this time, the ink Q rising along the ink guide 14 and reaching the protruding tip 14b, in particular, the charged fine particles concentrated in the ink Q, is charged from the protruding tip 14b of the ink guide 14 by electrostatic force. The ink droplets D containing fine particles are ejected toward the counter electrode 32 (recording medium P) and adhere to the recording medium P.

すなわち、本実施例においては、制御電極18に、信号電圧源24から、常にバイアス電圧として、例えば1.5kVの電圧が与えられている。また、信号電圧源24からは、画像信号に応じた信号電圧として、例えば、600Vのパルス電圧が制御電圧として重畳される。すなわち、制御電圧が0V(OFF状態)で、制御電極14の電圧が1.5kVのときは、インクQのインク滴Dは飛翔せず、制御電圧が600V(ON状態)となり、制御電極18の電圧が2.1kVとなったときに、所定サイズのインク滴Dがインクガイド14の突状先端部14bから飛翔する。飛翔したインク滴Dは、制御電極18と対向電極32の間に生じている電界によって対向電極32に引き寄せられ、記録媒体Pの所定の位置に着弾して画像を記録する。このようにして、インク滴Dが着弾されて画像が形成されるが、インクジェットヘッド10を構成する部品の加工精度のばらつき、もしくはインクジェットヘッド10の組立精度等のばらつき、各インクガイド14間の各種の干渉、またはインクジェットヘッド10の経時劣化により、必ずしも所定の位置にインク滴Dが着弾するとは限らない。   That is, in the present embodiment, a voltage of, for example, 1.5 kV is always applied as a bias voltage from the signal voltage source 24 to the control electrode 18. Further, from the signal voltage source 24, for example, a pulse voltage of 600 V is superimposed as a control voltage as a signal voltage corresponding to the image signal. That is, when the control voltage is 0 V (OFF state) and the voltage of the control electrode 14 is 1.5 kV, the ink droplet D of the ink Q does not fly, the control voltage is 600 V (ON state), and the control electrode 18 When the voltage becomes 2.1 kV, the ink droplet D having a predetermined size flies from the protruding tip portion 14 b of the ink guide 14. The flying ink droplets D are attracted to the counter electrode 32 by an electric field generated between the control electrode 18 and the counter electrode 32, and land on a predetermined position of the recording medium P to record an image. In this way, the ink droplets D are landed and an image is formed. However, variations in processing accuracy of components constituting the inkjet head 10 or variations in assembly accuracy of the inkjet head 10, various types of ink guides 14. The ink droplet D does not necessarily land at a predetermined position due to the interference of the ink jet or the deterioration of the inkjet head 10 over time.

このような場合においても、本実施例のインクジェットヘッド10は、制御電極18の第1〜第3の電極18a〜18cのいずれかに印加するパルス電圧を上げるか、または下げることにより、インク滴Dの吐出方向を偏向することができる。このため、本実施例においては、インクジェットヘッド10の部品の加工精度のばらつき、もしくはインクジェットヘッド10の組立精度等のばらつきによる初期不良、各インクガイド間の各種の干渉、またはインクジェットヘッド10の経時劣化などにより、インク液滴Dの着弾位置が所定の位置から外れ、適正な位置ではない場合であっても、その着弾位置を補正することができる。   Even in such a case, the ink jet head 10 according to the present embodiment increases or decreases the pulse voltage applied to any one of the first to third electrodes 18a to 18c of the control electrode 18 so that the ink droplet D The discharge direction can be deflected. For this reason, in this embodiment, initial failure due to variations in the processing accuracy of the components of the inkjet head 10 or variations in the assembly accuracy of the inkjet head 10, various interferences between the ink guides, or deterioration of the inkjet head 10 over time. Thus, even if the landing position of the ink droplet D deviates from a predetermined position and is not an appropriate position, the landing position can be corrected.

本実施例においては、インク滴Dに含まれる帯電微粒子は、正に帯電しているので、印加するパルス電圧を高くすると、この帯電微粒子に斥力が作用して、帯電微粒子は、パルス電圧が印加された電極と反対方向に偏向され、インク滴Dも偏向される。また、3つの第1〜第3の電極18a〜18cに印加するパルス電圧のレベルを調整することにより、インク滴Dを所定の方向に偏向させてもよい。これにより、インク滴Dの着弾位置を補正することができ、適正な位置にインク滴Dを着弾させることができる。   In this embodiment, since the charged fine particles contained in the ink droplet D are positively charged, if the applied pulse voltage is increased, a repulsive force acts on the charged fine particles, and the charged fine particles are applied with a pulse voltage. The ink droplet D is deflected in the direction opposite to the applied electrode. Further, the ink droplet D may be deflected in a predetermined direction by adjusting the level of the pulse voltage applied to the three first to third electrodes 18a to 18c. Thereby, the landing position of the ink droplet D can be corrected, and the ink droplet D can be landed at an appropriate position.

以上のように、本発明の第1の実施例においては、制御電極18(吐出制御用電極)が、例えば、第1〜第3の電極に分割されており、それぞれ選択的に動作させることが可能なので、貫通孔20およびインクガイド14に形成されるインクメニスカスの形状を非対称にすることができ、吐出方向を偏向することができる。このため、この吐出方向の偏向を利用することにより、周囲の吐出部位から受ける静電気的ないし流体的等などの各種の干渉による吐出方向の変動を予め補正しておくことができる。   As described above, in the first embodiment of the present invention, the control electrode 18 (discharge control electrode) is divided into, for example, the first to third electrodes and can be selectively operated. Since it is possible, the shape of the ink meniscus formed in the through hole 20 and the ink guide 14 can be asymmetrical, and the ejection direction can be deflected. For this reason, by using the deflection in the ejection direction, it is possible to correct in advance the variation in the ejection direction due to various interferences such as electrostatic or fluid received from the surrounding ejection sites.

次に、本発明の第2の実施例について説明する。
図3は、本発明の第2の実施例に係る静電吐出型インクジェットヘッドを備えた静電吐出型インクジェット装置を模式的に示す模式的断面図であり、図4は、本実施例の静電吐出型インクジェットヘッドの偏向電極の構成を示す模式的平面図であり、図5は、本実施例の静電吐出型インクジェットヘッドの制御電極を示す模式的平面図である。なお、本実施例において、図1および図2に示す第1の実施例と同一の構成要素には、同一の符号を付してその詳細な説明は省略する。
Next, a second embodiment of the present invention will be described.
FIG. 3 is a schematic cross-sectional view schematically showing an electrostatic discharge type ink jet apparatus provided with an electrostatic discharge type ink jet head according to a second embodiment of the present invention. FIG. FIG. 5 is a schematic plan view showing a configuration of a deflection electrode of an electrodischarge type ink jet head, and FIG. 5 is a schematic plan view showing a control electrode of the electrostatic discharge type ink jet head of this embodiment. In the present embodiment, the same components as those in the first embodiment shown in FIGS. 1 and 2 are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.

図3に示すように、本実施例の静電吐出型インクジェットヘッド11は、第1の実施例のインクジェットヘッド10と比較して、第1の実施例のインクジェットヘッド10の制御電極18(図1参照)の位置に、第2の制御電極として、偏向電極40が設けられている点、ならびに制御電極21(第1の制御電極)の配置位置および形状が相違する点が異なり、それ以外の構成は、第1の実施例のインクジェットヘッド10と同様の構成であるので、その詳細な説明は省略する。   As shown in FIG. 3, the electrostatic discharge type inkjet head 11 of the present embodiment is different from the inkjet head 10 of the first embodiment in that the control electrode 18 (see FIG. 1) of the inkjet head 10 of the first embodiment. Reference point) is different in that the deflection electrode 40 is provided as the second control electrode and the arrangement position and shape of the control electrode 21 (first control electrode) are different. Since the configuration is the same as that of the inkjet head 10 of the first embodiment, detailed description thereof is omitted.

本実施例のインクジェットヘッド11において、図4に示すように、偏向電極40は、リング状を呈し、貫通孔20の周囲を囲うように設けられており、貫通孔20の周方向に、例えば、3個に分割されたものである。偏向電極40は、ヒータ(発熱抵抗体)として機能する第1〜第3の電極(以下、ヒータという)40a〜40cを有する。各第1〜第3のヒータ40a〜40cは、例えば、TaSiO2 の薄膜配線からなり、約100Ωの抵抗値を有する。第1〜第3のヒータ40a〜40cの各々は、例えば、配線厚さが0.8μmであり、配線幅が5μmであり、隣接する電極間の配線間隔が5μmである。なお、偏向電極40の各ヒータ40a〜40cのヒータ材料としては、TaSiO2 の他、Ta単層でもよいし、TaN等でもよく、所要の抵抗値または使用する流体に対する適正を有するものであれば何でもよい。また、各ヒータ40a〜40cの抵抗値も使用するヒータ材料または使用流体に合わせて適宜調整すればよい。 In the inkjet head 11 of the present embodiment, as shown in FIG. 4, the deflection electrode 40 has a ring shape and is provided so as to surround the periphery of the through hole 20. It is divided into three pieces. The deflection electrode 40 includes first to third electrodes (hereinafter referred to as heaters) 40a to 40c that function as heaters (heating resistors). Each of the first to third heaters 40a to 40c is made of, for example, TaSiO 2 thin film wiring, and has a resistance value of about 100Ω. Each of the first to third heaters 40a to 40c has, for example, a wiring thickness of 0.8 μm, a wiring width of 5 μm, and a wiring interval between adjacent electrodes of 5 μm. The heater material of each of the heaters 40a to 40c of the deflection electrode 40 may be TaSiO 2 , Ta single layer, TaN or the like, as long as it has a required resistance value or appropriateness to the fluid to be used. Anything Moreover, what is necessary is just to adjust suitably the resistance value of each heater 40a-40c according to the heater material or fluid to be used.

また、各第1〜第3のヒータ40a〜40cは、偏向制御電源42に接続されている。この偏向制御電源42は、例えば、電圧が2V、電流が20mA程度の容量を持つスイッチングが可能なものであり、各第1〜第3のヒータ40a〜40cに電圧(V1 〜V3 )を印加して発熱させることができる。これにより、各第1〜第3のヒータ40a〜40cを発熱させ、貫通孔20内に充填されたインクQが局所的に加熱し、メニスカスMの形状を非対称にする。 Each of the first to third heaters 40 a to 40 c is connected to a deflection control power source 42. The deflection control power source 42 is capable of switching with a capacity of, for example, a voltage of 2 V and a current of about 20 mA, and applies voltages (V 1 to V 3 ) to the first to third heaters 40 a to 40 c. Application can generate heat. As a result, each of the first to third heaters 40a to 40c generates heat, the ink Q filled in the through hole 20 is locally heated, and the shape of the meniscus M is made asymmetric.

図5に示すように、制御電極21は、リング状を呈しており、信号電圧源25に接続されている。この信号電圧源25は、パルス電圧が、例えば、600Vのパルス信号を制御電極21に印加することができるとともに、バイアス電圧として、例えば、1.5kVの電圧を制御電極21に印加することができる。   As shown in FIG. 5, the control electrode 21 has a ring shape and is connected to the signal voltage source 25. The signal voltage source 25 can apply a pulse signal having a pulse voltage of, for example, 600 V to the control electrode 21, and can apply a voltage of 1.5 kV, for example, to the control electrode 21 as a bias voltage. .

本実施例においては、貫通孔20の周囲を囲うようにして、分割した3個の第1〜第3のヒータ40a〜40cを設け、これらの第1〜第3のヒータ40a〜40cを用いることにより、インクQの表面張力を局所的に減少させ、メニスカスMの形状を変えて、インク滴Dの吐出方向を偏向させることができる。この場合、第1〜第3のヒータ40a〜40cのうち、発熱量が多い方にインク滴Dの飛翔方向は偏向する。   In the present embodiment, three divided first to third heaters 40a to 40c are provided so as to surround the periphery of the through hole 20, and these first to third heaters 40a to 40c are used. Thus, the surface tension of the ink Q can be locally reduced, the shape of the meniscus M can be changed, and the ejection direction of the ink droplet D can be deflected. In this case, the flying direction of the ink droplet D is deflected in the direction in which the heat generation amount is larger among the first to third heaters 40a to 40c.

本発明の第2の実施例においては、第1の実施例の制御電極18が備えていたインク滴Dの吐出制御機能と、インク滴Dの偏向機能とを分離し、それぞれ吐出制御機能を持つ制御電極21と、偏向機能を持つ偏向電極40とを別々に設けている。このため、第1の実施例では、高電圧が印加される制御電極18を用いて偏向制御するため、偏向制御のための電気回路(制御回路)も非常に高い高電圧を必要するのに対し、第2の実施例では、偏向電極40と制御電極21とを別々に設けたことにより、偏向電極40による部分的な加熱によりインク液体の表面張力を部分的に変化させることで、吐出方向を制御することができるので、偏向に用いる電気回路(制御回路)を低電圧回路で構成できる。このため、第2実施例においては、第1実施例に比べて安価なコストで同じ機能が実現できる。   In the second embodiment of the present invention, the discharge control function of the ink droplet D and the deflection function of the ink droplet D provided in the control electrode 18 of the first embodiment are separated, and each has a discharge control function. The control electrode 21 and the deflection electrode 40 having a deflection function are provided separately. For this reason, in the first embodiment, since deflection control is performed using the control electrode 18 to which a high voltage is applied, the electrical circuit (control circuit) for deflection control also requires a very high voltage. In the second embodiment, since the deflection electrode 40 and the control electrode 21 are provided separately, the surface tension of the ink liquid is partially changed by partial heating by the deflection electrode 40, thereby changing the ejection direction. Since it can be controlled, an electric circuit (control circuit) used for deflection can be constituted by a low voltage circuit. For this reason, in the second embodiment, the same function can be realized at a lower cost than in the first embodiment.

次に、本実施例のインクジェットヘッド11の動作について説明する。
先ず、第1の実施例と同様に、信号電圧源25により、制御電極21にバイアス電圧をかけて、さらに画像データに基づいてパルス電圧を重畳して、インク滴Dを吐出させる。この場合、インク滴Dの着弾位置が適正か否かが判断される。インク滴Dの着弾位置が適正でない場合には、偏向制御電源42により第1〜第3のヒータ40a〜40cのいずれかを発熱させてインクQの表面張力を局所的に減少させることにより、インク滴Dの吐出方向を、着弾位置が適正となるように偏向させる。これにより、インク滴Dの着弾位置を適正な位置に補正することができる。
Next, the operation of the inkjet head 11 of this embodiment will be described.
First, as in the first embodiment, the signal voltage source 25 applies a bias voltage to the control electrode 21 and further superimposes a pulse voltage based on the image data to eject the ink droplet D. In this case, it is determined whether or not the landing position of the ink droplet D is appropriate. When the landing position of the ink droplet D is not appropriate, the deflection control power supply 42 generates heat by causing any one of the first to third heaters 40a to 40c to generate heat, thereby locally reducing the surface tension of the ink Q. The ejection direction of the droplet D is deflected so that the landing position is appropriate. Thereby, the landing position of the ink droplet D can be corrected to an appropriate position.

このように、本実施例においては、局所的にインクQを第1〜第3のヒータ40a〜40cにより加熱して、インクQの表面張力を局所的に減少させることにより、インク滴Dの飛翔方向を偏向させることができる。本実施例においては、インクQの加熱には、第1〜第3のヒータ40a〜40cを用いているために、偏向制御電源42は、第1の実施の信号電圧源24(図1参照)に比して、低電圧のものを用いることができる。このため、本実施例においては、第1の実施例と同様の効果を得ることができるとともに、第1の実施例のインクジェットヘッド10(図1参照)に比して、コストを低減することができる。   As described above, in this embodiment, the ink Q is locally heated by the first to third heaters 40a to 40c to locally reduce the surface tension of the ink Q, whereby the ink droplets D fly. The direction can be deflected. In this embodiment, since the first to third heaters 40a to 40c are used for heating the ink Q, the deflection control power source 42 is the signal voltage source 24 of the first embodiment (see FIG. 1). As compared with the case, a low voltage can be used. For this reason, in this embodiment, the same effect as that of the first embodiment can be obtained, and the cost can be reduced as compared with the inkjet head 10 (see FIG. 1) of the first embodiment. it can.

なお、本実施例においては、偏向電極40をヒータ(発熱抵抗体)として機能する第1〜第3のヒータ40a〜40cで構成したが、本発明は、これに限定されるものではなく、インク滴Dの吐出方向を偏向できるものであればよい。偏向電極40としては、ヒータ以外には、例えば、冷却することにより、インクQの温度を局所的に変えられるものが挙げられる。この場合、冷却するものとしては、ペルチェ素子等の熱電素子が例示される。
また、本実施例において、偏向電極40を構成するヒータまたはペルチェ素子の数は、特に限定されるものではないが、インク滴Dの飛翔方向を補正するためには、ヒータまたはペルチェ素子の数は、3個以上であることが好ましい。
In the present embodiment, the deflection electrode 40 is composed of the first to third heaters 40a to 40c that function as heaters (heating resistors). However, the present invention is not limited to this, and the ink Any device that can deflect the ejection direction of the droplet D may be used. As the deflection electrode 40, in addition to the heater, for example, an electrode that can locally change the temperature of the ink Q by cooling is used. In this case, examples of cooling include thermoelectric elements such as Peltier elements.
In the present embodiment, the number of heaters or Peltier elements constituting the deflection electrode 40 is not particularly limited, but in order to correct the flying direction of the ink droplet D, the number of heaters or Peltier elements is It is preferable that the number is 3 or more.

さらに、本実施例においては、制御電極21と偏向電極40の配置を入れ換えるとともに、制御電極21の構成を第1の実施例の制御電極18と同じ構成として、偏向電極40によるゆっくりとした偏向と、制御電極21による吐出制御(速い偏向)とを組み合わせて用いるようにしてもよい。
また、本実施例の制御電極21は、第1の実施例の制御電極18と同様の構成にすることができる。この構成にすることにより、制御電極21によりインク滴Dの飛翔方向を補正することができるため、偏向電極40との相乗効果により、インク滴Dの着弾位置を、より高い精度で補正できる。
更に、偏向電極40および制御電極21の構成をともに、第1の実施例の制御電極18の構成としてもよい。この場合においては、2つの制御電極で飛翔方向を補正することになり、第1の実施例よりもインク滴Dの飛翔方向を高い精度で補正することができる。
また、制御電極21は、いずれの場合においても、多層構造電極としてもよい。さらには、制御電極21および偏向電極40の他にメニスカス形成安定化のための電極を設けてもよい。
Further, in this embodiment, the arrangement of the control electrode 21 and the deflection electrode 40 is exchanged, and the configuration of the control electrode 21 is the same as that of the control electrode 18 of the first embodiment, so that the deflection by the deflection electrode 40 is reduced. The discharge control (fast deflection) by the control electrode 21 may be used in combination.
Further, the control electrode 21 of the present embodiment can be configured similarly to the control electrode 18 of the first embodiment. With this configuration, the flying direction of the ink droplet D can be corrected by the control electrode 21, so that the landing position of the ink droplet D can be corrected with higher accuracy by the synergistic effect with the deflection electrode 40.
Furthermore, the configuration of the deflection electrode 40 and the control electrode 21 may be the configuration of the control electrode 18 of the first embodiment. In this case, the flying direction is corrected by the two control electrodes, and the flying direction of the ink droplet D can be corrected with higher accuracy than in the first embodiment.
The control electrode 21 may be a multilayer structure electrode in any case. Furthermore, in addition to the control electrode 21 and the deflection electrode 40, an electrode for stabilizing meniscus formation may be provided.

また、上述のいずれの実施例の静電吐出型インクジェットヘッドは、帯電した色成分を含むインクを吐出するものに限定されるものではなく、荷電粒子を含む液体を吐出させる液体吐出ヘッドであれば特に制限されるものでない。例えば、静電吐出型インクジェットヘッドは、ポリイミドを帯電粒子とし、この帯電粒子を含む液滴を吐出して対象物を塗布する塗布装置に適用することができる。   Further, the electrostatic discharge type inkjet head of any of the above-described embodiments is not limited to the one that discharges ink containing a charged color component, and any liquid discharge head that discharges a liquid containing charged particles. There is no particular limitation. For example, an electrostatic discharge type inkjet head can be applied to a coating apparatus that uses polyimide as charged particles and discharges droplets containing the charged particles to apply an object.

以上、本発明の実施例に係る静電吐出型インクジェットヘッドについて、詳細に説明したが、本発明は上記種々の実施例に限定されず、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々の改良および変更をしてもよいのはもちろんである。   As described above, the electrostatic discharge type inkjet head according to the embodiment of the present invention has been described in detail. However, the present invention is not limited to the above-described various embodiments, and various improvements and modifications can be made without departing from the gist of the present invention. Of course, changes may be made.

本発明の第1の実施例に係る静電吐出型インクジェットヘッドを備えた静電吐出型インクジェット装置を模式的に示す模式的断面図である。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a schematic cross-sectional view schematically showing an electrostatic discharge type inkjet apparatus including an electrostatic discharge type inkjet head according to a first embodiment of the present invention. 本実施例の静電吐出型インクジェットヘッドの制御電極の構成を示す模式的平面図である。FIG. 2 is a schematic plan view illustrating a configuration of a control electrode of the electrostatic discharge type inkjet head according to the present embodiment. 本発明の第2の実施例に係る静電吐出型インクジェットヘッドを備えた静電吐出型インクジェット装置を模式的に示す模式的断面図である。It is a typical sectional view showing typically an electrostatic discharge type ink jet device provided with an electrostatic discharge type ink jet head concerning the 2nd example of the present invention. 本実施例の静電吐出型インクジェットヘッドの偏向電極の構成を示す模式的平面図である。FIG. 2 is a schematic plan view illustrating a configuration of a deflection electrode of the electrostatic discharge type inkjet head according to the present embodiment. 本実施例の静電吐出型インクジェットヘッドの制御電極を示す模式的平面図である。FIG. 2 is a schematic plan view showing a control electrode of the electrostatic discharge type inkjet head of the present embodiment. 従来のインクジェット記録装置のインクジェットヘッドを模式的に示す模式的断面図である。It is typical sectional drawing which shows typically the inkjet head of the conventional inkjet recording device. 従来のインクジェット記録装置のインクジェットヘッドを模式的に示す模式的断面図である。It is typical sectional drawing which shows typically the inkjet head of the conventional inkjet recording device. 従来のインクジェット記録装置を模式的に示す模式的断面図である。It is typical sectional drawing which shows the conventional inkjet recording device typically. 図8に示すインクジェット記録装置の環形ヒータを模式的示す模式的平面図である。FIG. 9 is a schematic plan view schematically showing a ring heater of the ink jet recording apparatus shown in FIG. 8.

符号の説明Explanation of symbols

10、11 静電吐出型インクジェットヘッド
12、104 ヘッド基板
14、106 インクガイド
16、102 絶縁性基板
18、21、110 制御電極
19 絶縁層
20 貫通孔
22 インク流路
24、25、112、144 信号電圧源
26 インク供給管
28 インク回収管
30 インク還流手段
32、120 対向電極
40 偏向電極
42 偏向制御電源
100、130 インクジェットヘッド
102a 基板貫通孔
114、136 インク溜
132 絶縁性支持基板
132a 貫通孔
140 第1の制御電極
142 第2の制御電極
146 バイアス電圧源
150 基体
152 絶縁層
154 疎水層
158 ノズル孔部
160 環形ヒータ
D インク滴
P 記録媒体
Q インク
10, 11 Electrostatic discharge type inkjet head 12, 104 Head substrate 14, 106 Ink guide 16, 102 Insulating substrate 18, 21, 110 Control electrode 19 Insulating layer 20 Through hole 22 Ink flow path 24, 25, 112, 144 Signal Voltage source 26 Ink supply pipe 28 Ink recovery pipe 30 Ink reflux means 32, 120 Counter electrode 40 Deflection electrode 42 Deflection control power supply 100, 130 Inkjet head 102a Substrate through hole 114, 136 Ink reservoir 132 Insulating support substrate 132a Through hole 140 First 1 control electrode 142 second control electrode 146 bias voltage source 150 base 152 insulating layer 154 hydrophobic layer 158 nozzle hole 160 annular heater D ink droplet P recording medium Q ink

Claims (10)

溶媒中に粒子を分散させたインクに静電気力を作用させることにより、少なくとも前記粒子を含む液滴を、液滴受容体に向けて飛翔させる静電吐出型インクジェットヘッドであって、
ヘッド基板と、
前記ヘッド基板と所定の間隔を設けて配置され、前記ヘッド基板との間にインク流路を形成するとともに、前記液滴受容体に対して開口された貫通孔が少なくとも1つ形成された絶縁性基板と、
前記インク流路に前記インクを供給するインク供給手段と、
前記貫通孔を囲うように前記絶縁性基板に設けられ、前記液滴の吐出制御を行う制御電極とを有し、
前記制御電極は、前記貫通孔の周方向に複数に分割された導体を含むことを特徴とする静電吐出型インクジェットヘッド。
An electrostatic discharge type inkjet head that causes a droplet including at least the particle to fly toward a droplet receptor by applying an electrostatic force to ink in which the particle is dispersed in a solvent,
A head substrate;
An insulating property that is disposed with a predetermined distance from the head substrate, forms an ink flow path between the head substrate, and has at least one through hole opened to the droplet receiver. A substrate,
Ink supply means for supplying the ink to the ink flow path;
A control electrode that is provided on the insulating substrate so as to surround the through-hole, and controls discharge of the droplets;
The electrostatic discharge type inkjet head, wherein the control electrode includes a conductor divided into a plurality in the circumferential direction of the through hole.
前記分割された導体の少なくとも一つが、前記液滴の飛翔方向を偏向させるために用いられる請求項1に記載の静電吐出型インクジェットヘッド。   The electrostatic discharge type inkjet head according to claim 1, wherein at least one of the divided conductors is used for deflecting a flying direction of the droplet. 前記制御電極は、液滴飛翔方向に所定間隔離間して前記絶縁性基板に設けられた第1および第2の制御電極とを有し、
前記第1および前記第2の制御電極のうちの少なくとも一方は、前記貫通孔の周方向に複数に分割された導体を含む請求項1に記載の静電吐出型インクジェットヘッド。
The control electrode has first and second control electrodes provided on the insulating substrate at a predetermined interval in the droplet flight direction,
2. The electrostatic discharge type inkjet head according to claim 1, wherein at least one of the first and second control electrodes includes a conductor divided into a plurality in the circumferential direction of the through hole.
前記第1および前記第2の制御電極のいずれか一方は、前記貫通孔の周方向に複数に分割された導体を含み、前記液滴の飛翔方向を偏向させるために用いられる偏向用電極であり、他の一方は、前記液滴の吐出制御を行う吐出制御用電極である請求項3に記載の静電吐出型インクジェットヘッド。   One of the first and second control electrodes includes a conductor divided into a plurality in the circumferential direction of the through hole, and is a deflection electrode used for deflecting the flight direction of the droplet. 4. The electrostatic discharge type inkjet head according to claim 3, wherein the other one is a discharge control electrode for performing discharge control of the droplet. 前記第1の制御電極は、前記第2の制御電極よりも前記液滴受容体に近い側に設けられる前記偏向用電極であり、前記第2の制御電極は、前記吐出制御用電極である請求項4に記載の静電吐出型インクジェットヘッド。   The first control electrode is the deflection electrode provided closer to the droplet receiver than the second control electrode, and the second control electrode is the ejection control electrode. Item 5. The electrostatic discharge type inkjet head according to Item 4. 前記第1の制御電極は、前記第2の制御電極よりも前記液滴受容体に近い側に設けられ、前記貫通孔の周方向に複数に分割された導体からなり、前記分割された導体の少なくとも一つが、前記インクの温度を局所的に変化させて、前記液滴の飛翔方向を偏向させる偏向用電極である請求項3〜5のいずれかに記載の静電吐出型インクジェットヘッド。   The first control electrode is provided on a side closer to the droplet receiver than the second control electrode, and includes a conductor divided into a plurality in the circumferential direction of the through hole. The electrostatic discharge type inkjet head according to claim 3, wherein at least one of the electrodes is a deflection electrode that locally changes a temperature of the ink to deflect a flying direction of the droplet. 前記第1の制御電極は、発熱抵抗体または熱電素子である請求項3〜6のいずれかに記載の静電吐出型インクジェットヘッド。   The electrostatic discharge inkjet head according to claim 3, wherein the first control electrode is a heating resistor or a thermoelectric element. 前記第1および前記第2の制御電極は、共に、前記貫通孔の周方向に複数に分割された導体からなり、前記第1の制御電極は、前記第2の制御電極よりも前記液滴受容体に近い側に設けられ、前記液滴の飛翔方向を偏向させるとともに前記液滴の吐出制御を行う吐出制御用電極であり、前記第2の制御電極は、前記液滴の飛翔方向を偏向させる偏向用電極である請求項3に記載の静電吐出型インクジェットヘッド。   Both of the first and second control electrodes are made of a conductor divided into a plurality in the circumferential direction of the through-hole, and the first control electrode receives the droplet more than the second control electrode. An ejection control electrode provided on a side close to the body for deflecting the flying direction of the droplet and controlling the ejection of the droplet, and the second control electrode deflects the flying direction of the droplet The electrostatic discharge type inkjet head according to claim 3, wherein the electrostatic discharge type inkjet head is a deflection electrode. 前記第2の制御電極は、発熱抵抗体または熱電素子である請求項8に記載の静電吐出型インクジェットヘッド。   The electrostatic discharge inkjet head according to claim 8, wherein the second control electrode is a heating resistor or a thermoelectric element. 請求項1〜9のいずれかに記載の静電吐出型インクジェットヘッドであって、
さらに、先端部が前記貫通孔の略中心に位置するように前記ヘッド基板上に配置され、前記先端部が前記貫通孔から突出するインクガイドを有することを特徴とする静電吐出型インクジェットヘッド。
The electrostatic discharge type inkjet head according to any one of claims 1 to 9,
The electrostatic discharge type inkjet head further comprising an ink guide that is disposed on the head substrate so that a front end portion is positioned at a substantially center of the through hole, and the front end portion protrudes from the through hole.
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