JP2005070605A - Manufacturing method and inspecting apparatus for liquid crystal panel - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for manufacturing a liquid crystal panel from a laminated liquid crystal substrate formed by laminating two substrates together across a liquid crystal layer and an inspecting apparatus for inspecting the laminated liquid crystal substrate. <P>SOLUTION: The apparatus which inspect the laminated liquid crystal substrate 1 formed by laminating the two substrates across the liquid crystal layer has a couple of substrates 11 and 21 arranged on both the outer sides of the laminated liquid crystal substrate 1, electrodes 12 and 22 formed on the couple of substrates 11 and 21, respectively, dielectric resin layers 13 and 23 coating the electrodes 12 and 22, and a power source 30 which applies a voltage to the electrode 12 and 22. Consequently, when the voltage is applied to the electrodes 12 and 22, charges are generated on surfaces of the dielectric resin layers 13 and 23, so an electric field is produced in a normal direction of a surface of the laminated liquid crystal substrate 1. Liquid crystal molecules in an alignment-defective area can not sufficiently be aligned. Therefore, the stuck liquid crystal substrate 1 is placed in an illumination state and then an alignment defect which can be confirmed through the illumination can easily be found. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、二枚の基板が液晶層を介して貼り合わせられた貼り合わせ液晶基板から液晶パネルを製造する方法に関する。また、本発明は、貼り合わせ液晶基板を検査するための検査装置に関する。   The present invention relates to a method for manufacturing a liquid crystal panel from a bonded liquid crystal substrate in which two substrates are bonded via a liquid crystal layer. The present invention also relates to an inspection apparatus for inspecting a bonded liquid crystal substrate.

液晶パネルの不良を発見するための検査方法としては、例えば特許文献1に開示の検査方法が挙げられる。特許文献1の検査方法では、液晶表示装置のコモン基板またはセグメント基板の外側に電極基板を配置し、この電極基板の電極とコモン電極またはセグメント電極との間に電圧を印加するとともに、コモン電極およびセグメント電極を電気的に接続する。この検査方法によれば、液晶表示の点灯、不点灯により、従来の目視方法によっては極めて発見しにくい微細な断線欠陥画素を明らかにすることができる。   As an inspection method for finding defects in the liquid crystal panel, for example, an inspection method disclosed in Patent Document 1 can be cited. In the inspection method of Patent Document 1, an electrode substrate is disposed outside a common substrate or a segment substrate of a liquid crystal display device, and a voltage is applied between the electrode of the electrode substrate and the common electrode or the segment electrode. The segment electrodes are electrically connected. According to this inspection method, a fine disconnection defective pixel that is extremely difficult to find by a conventional visual method can be clarified by lighting or non-lighting of the liquid crystal display.

一方、液晶パネル内に液晶材料を充填する方法としては、ディップ式やディスペンサ式が挙げられる。これらの方法では、貼り合わされたマザー基板(多面取り基板ともいう。)を個別パネル毎に分断した後、シール材の開口部から液晶材料を充填し、さらに開口部を封止する。このようにして液晶パネルの組立が完了した後に、液晶パネルの検査が行われる。しかし、ディップ式やディスペンサ式の充填方法では、液晶パネルが大型になればなるほど、液晶充填に要する時間が長くなる。また、液晶パネルの組立工程へ基板を投入してから検査が完了するまで、通常、少なくとも数日を要するので、液晶パネルの組立工程で問題が発生した場合には、その発見が遅れ、大量の不良パネルが組み立てられてしまうおそれがある。   On the other hand, as a method of filling a liquid crystal material in the liquid crystal panel, a dip type or a dispenser type can be mentioned. In these methods, a bonded mother substrate (also referred to as a multi-planar substrate) is divided into individual panels, and then a liquid crystal material is filled from the opening of the sealing material, and the opening is further sealed. After the assembly of the liquid crystal panel is completed in this way, the liquid crystal panel is inspected. However, in the dip type or dispenser type filling method, the larger the liquid crystal panel, the longer the time required for filling the liquid crystal. Also, it usually takes at least a few days from the time the board is put into the assembly process of the liquid crystal panel until the inspection is completed. If a problem occurs in the assembly process of the liquid crystal panel, the discovery is delayed and a large amount of There is a risk that a defective panel will be assembled.

そこで、近年では、液晶パネル内に液晶材料を充填する方法として、一滴充填方式(以下、滴下貼り合わせ方式ともいう。)が開発されている。一滴充填方式とは、シールパターンに開口を設けずに、重ね合わせる前の一方の基板のシールパターン枠内に液晶材料を滴下し、減圧下で一対の基板を重ね合わせて貼り付ける方式である。この一滴充填方式によれば、画面サイズの大型化に対応できるという利点がある。また、多面取りする前に、液晶パネルを検査することができるので、不良な液晶パネルが発見された場合、不良パネルに対する無駄な作業を削減することができるとともに、前工程への早期のフィードバックが可能となる。   Therefore, in recent years, a one-drop filling method (hereinafter also referred to as a drop bonding method) has been developed as a method of filling a liquid crystal material in a liquid crystal panel. The one-drop filling method is a method in which a liquid crystal material is dropped into a seal pattern frame of one substrate before overlapping without providing an opening in the seal pattern, and a pair of substrates are stacked and attached under reduced pressure. According to this one-drop filling method, there is an advantage that the screen size can be increased. In addition, since the liquid crystal panel can be inspected before multi-sided processing, if a defective liquid crystal panel is found, wasteful work on the defective panel can be reduced and early feedback to the previous process can be achieved. It becomes possible.

一滴充填方式による滴下貼り合わせ液晶基板を分断する前に、貼り合わせ液晶基板に形成された複数の液晶表示パネルを点灯検査する方法が、例えば特許文献2に開示されている。具体的に述べると、特許文献2には、基板の不要な部分(ヘタ部分)を切断する前に、ヘタ部分に設けた電極ターミナルを露出させ、露出した電極ターミナルに電圧を印加して、液晶表示パネルを点灯させることにより、画像欠陥検査を行うことが開示されている。   For example, Patent Document 2 discloses a method for inspecting lighting of a plurality of liquid crystal display panels formed on a bonded liquid crystal substrate before dividing the dropped bonded liquid crystal substrate by a single drop filling method. Specifically, in Patent Document 2, before cutting an unnecessary portion (stained portion) of a substrate, an electrode terminal provided in the scraped portion is exposed, and a voltage is applied to the exposed electrode terminal to provide a liquid crystal. It is disclosed that an image defect inspection is performed by lighting a display panel.

特開平4-191672号公報JP 4-191672 A

特開2000-66162号公報JP 2000-66162 A

しかし、特許文献1に開示の検査方法では、単純マトリクス構造の液晶パネルしか検査することができず、アクティブマトリクス構造の液晶パネルには適用できない。   However, the inspection method disclosed in Patent Document 1 can inspect only a liquid crystal panel having a simple matrix structure and cannot be applied to a liquid crystal panel having an active matrix structure.

特許文献2の方法では、検査用パターンを基板上に形成する必要があるので、パネル取り効率が低下する。また、検査用パターンの断線やリークなどにより、点灯できない可能性がある。   In the method of Patent Document 2, it is necessary to form an inspection pattern on a substrate, so that the panel removal efficiency is lowered. In addition, lighting may not be possible due to disconnection or leakage of the inspection pattern.

本発明の方法は、二枚の基板が液晶層を介して貼り合わせられた貼り合わせ液晶基板を検査する工程を含み、前記貼り合わせ液晶基板から液晶パネルを製造する方法であって、前記検査工程は、前記貼り合わせ液晶基板の両外側に、それぞれが誘電層で被覆された一対の電極を配置する工程と、前記一対の電極に電圧を印加する工程と、前記貼り合わせ液晶基板に光を入射させる工程を含む。   The method of the present invention includes a step of inspecting a bonded liquid crystal substrate in which two substrates are bonded via a liquid crystal layer, and a method of manufacturing a liquid crystal panel from the bonded liquid crystal substrate, wherein the inspection step Arranging a pair of electrodes each covered with a dielectric layer on both outer sides of the bonded liquid crystal substrate, applying a voltage to the pair of electrodes, and making light incident on the bonded liquid crystal substrate Including the step of

本発明の装置は、二枚の基板が液晶層を介して貼り合わせられた貼り合わせ液晶基板を検査する装置であって、前記貼り合わせ液晶基板の両外側に配置される一対の基板と、前記一対の基板にそれぞれ形成された電極と、前記電極を被覆する誘電層と、前記電極に電圧を印加する電源を有する。   The apparatus of the present invention is an apparatus for inspecting a bonded liquid crystal substrate in which two substrates are bonded via a liquid crystal layer, and a pair of substrates disposed on both outer sides of the bonded liquid crystal substrate; Electrodes formed on a pair of substrates, a dielectric layer covering the electrodes, and a power source for applying a voltage to the electrodes.

前記一対の基板は、前記誘電層の周縁に形成され、かつ平面視において開口を有する弾性部材をそれぞれ有していても良い。また、前記液晶パネルは、パネル面に文字や画像などを表示させる液晶表示パネルであっても良い。   Each of the pair of substrates may include an elastic member that is formed on the periphery of the dielectric layer and has an opening in plan view. The liquid crystal panel may be a liquid crystal display panel that displays characters, images, and the like on the panel surface.

本発明によれば、滴下貼り合せ方式で形成された貼り合わせ液晶基板を分断することなく、また検査用端子を用いることなく、点灯検査を実施して、点灯により確認可能な配向不良を簡単にかつ早期に発見できる。本発明は、単純マトリクス構造の液晶パネルだけでなく、電気光学効果を利用した液晶パネル全般に適用することができる。なお、「電気光学効果」とは、本明細書では、液晶層を挟む一対の電極に電圧を印加することによって、液晶層中の液晶分子が電界の影響を受けて、液晶層の透過率が変化することをいう。   According to the present invention, a lighting inspection is performed without dividing a bonded liquid crystal substrate formed by a drop bonding method and without using an inspection terminal, and an alignment defect that can be confirmed by lighting is easily obtained. And it can be discovered early. The present invention can be applied not only to a liquid crystal panel having a simple matrix structure but also to all liquid crystal panels using the electro-optic effect. In this specification, the term “electro-optic effect” means that the liquid crystal molecules in the liquid crystal layer are affected by an electric field by applying a voltage to a pair of electrodes sandwiching the liquid crystal layer, and the transmittance of the liquid crystal layer is increased. It means changing.

また、検査装置の基板と滴下貼り合せ液晶基板との距離を面内全体で均一にすることにより、滴下貼り合せ液晶基板に形成された複数の液晶パネルを均等に点灯させることができる。したがって、短冊分断、単品分断や点灯検査の工程を経ることなく、配向不良の液晶パネルをリジェクト(除外)できるので、前工程への早期のフィードバックおよび無駄な作業の削減が可能になる。   Further, by making the distance between the substrate of the inspection apparatus and the drop-bonded liquid crystal substrate uniform in the entire plane, a plurality of liquid crystal panels formed on the drop-bonded liquid crystal substrate can be lighted uniformly. Accordingly, the liquid crystal panel with poor alignment can be rejected (excluded) without going through the steps of strip division, single-piece division, and lighting inspection, so that early feedback to the previous process and wasteful work can be reduced.

本発明によれば、貼り合せ液晶基板の両外側に配置した外部電極に電圧を印加して、液晶パネル面の法線方向に電界を生じさせるので、液晶パネルの電極と接触させずに、液晶パネルを点灯させて、検査することができる。したがって、検査用パターンを必要としないので、パネル取り効率の低下もなく、検査用パターンの断線やリークにより点灯できなくなる可能性もない。また、液晶パネルとの直接の電気的な接続を行なわないので、単純マトリクス型に限らず、アクティブマトリクス型の液晶パネル全般に適用することができる。   According to the present invention, a voltage is applied to the external electrodes disposed on both outer sides of the bonded liquid crystal substrate, and an electric field is generated in the normal direction of the liquid crystal panel surface. The panel can be turned on for inspection. Therefore, since no inspection pattern is required, there is no reduction in panel removal efficiency, and there is no possibility that lighting will not be possible due to disconnection or leakage of the inspection pattern. Further, since direct electrical connection with the liquid crystal panel is not performed, the present invention can be applied not only to a simple matrix type but also to an active matrix type liquid crystal panel in general.

以下、図面を参照しながら本発明による実施形態を説明する。以下の実施形態では、液晶パネルとして、アクティブマトリクス駆動型の液晶パネルを例にして説明するが、液晶パネルは、アクティブマトリクス駆動型のみならず、単純マトリクス駆動型でも良い。   Embodiments according to the present invention will be described below with reference to the drawings. In the following embodiments, an active matrix drive type liquid crystal panel will be described as an example of the liquid crystal panel. However, the liquid crystal panel may be a simple matrix drive type as well as an active matrix drive type.

本発明における液晶パネルは、液晶表示素子としてだけでなく、画素を光学的に順次シフトさせる画像シフト素子、三次元映像を表示可能とするパララックスバリア素子として利用することができる。画像シフト素子は、光の偏光状態を変調する液晶パネルと、前記液晶パネルから出射された前記光の偏光状態に応じて光路をシフトさせる複屈折素子との組合せを少なくとも1組有する。また、パララックスバリア素子は、左目用画素および右目用画素を有する映像表示素子と組み合わせることにより、立体映像を表示することができる。   The liquid crystal panel according to the present invention can be used not only as a liquid crystal display element but also as an image shift element for sequentially shifting pixels optically and a parallax barrier element capable of displaying a three-dimensional image. The image shift element has at least one combination of a liquid crystal panel that modulates the polarization state of light and a birefringence element that shifts the optical path according to the polarization state of the light emitted from the liquid crystal panel. Further, the parallax barrier element can display a stereoscopic image by being combined with an image display element having a left-eye pixel and a right-eye pixel.

まず、本実施形態で検査対象となる貼り合せ液晶基板について、図1および図2を参照しながら説明する。図1は、貼り合せ液晶基板を模式的に示す平面図であり、図2は、図1中のII−II線断面図である。図1および図2に示す貼り合せ液晶基板1は、4枚の液晶パネルが多面取りされる多面取り基板である。以下、貼り合せ液晶基板1に形成され、分断される前の液晶パネルについては、液晶パネル1と表記する。   First, a bonded liquid crystal substrate to be inspected in the present embodiment will be described with reference to FIGS. 1 is a plan view schematically showing a bonded liquid crystal substrate, and FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line II-II in FIG. A bonded liquid crystal substrate 1 shown in FIGS. 1 and 2 is a multi-sided substrate in which four liquid crystal panels are multi-sided. Hereinafter, the liquid crystal panel formed on the bonded liquid crystal substrate 1 and before being divided is referred to as a liquid crystal panel 1.

液晶パネル1は、一対のガラス基板2,3と、両ガラス基板2,3および周辺シール材4に挟まれた液晶層5を有する。一方のガラス基板2は、カラーフィルタ基板であり、カラーフィルタ層と、ITO(インジウム錫酸化物)などからなる透明電極と、ポリイミドからなり、ラビング処理された液晶配向膜(いずれも不図示)を有する。   The liquid crystal panel 1 includes a pair of glass substrates 2 and 3 and a liquid crystal layer 5 sandwiched between the glass substrates 2 and 3 and the peripheral sealing material 4. One glass substrate 2 is a color filter substrate, and includes a color filter layer, a transparent electrode made of ITO (indium tin oxide) and the like, and a liquid crystal alignment film (not shown) made of polyimide and rubbed. Have.

他方のガラス基板3は、TFT(Thin Film Transistor)基板であり、それぞれが行方向に延びる複数のゲートバスラインと、ゲートバスラインと交差して延びる複数のソースバスラインと、ゲートバスラインおよびソースバスラインの交差部近傍に設けられたTFTと、TFTを介してソースバスラインに接続され、マトリクス状に配置された画素電極と、画素電極を覆う液晶配向膜(いずれも不図示)を有する。他方のガラス基板3には、ゲートバスラインおよびソースバスラインにそれぞれ信号を入力するための端子6が形成されている。両ガラス基板2,3は、それぞれフォトリソグラフィ法や印刷法などの既知の方法により作成することができる。なお、両ガラス基板2,3の液晶配向膜は、配向方向が互いに直交するようにラビング処理されている。   The other glass substrate 3 is a TFT (Thin Film Transistor) substrate, each of which includes a plurality of gate bus lines extending in the row direction, a plurality of source bus lines extending across the gate bus lines, a gate bus line and a source. A TFT provided near the intersection of the bus lines, a pixel electrode connected to the source bus line via the TFT and arranged in a matrix, and a liquid crystal alignment film (both not shown) covering the pixel electrode are included. On the other glass substrate 3, terminals 6 for inputting signals to the gate bus line and the source bus line are formed. Both glass substrates 2 and 3 can be formed by known methods such as a photolithography method and a printing method, respectively. The liquid crystal alignment films on both glass substrates 2 and 3 are rubbed so that the alignment directions are orthogonal to each other.

両ガラス基板2,3間に液晶層5を形成する工程について説明する。両ガラス基板2,3のうちいずれか一方の基板の面に、スクリーン印刷方式やディスペンサ方式によって、エポキシ樹脂などからなる周辺シール材4を形成する。周辺シール材4のパターンは、液晶注入口となる開口を持たず、閉じたループ状である。周辺シール材4のパターン枠内に、正の誘電率異方性を有するネマティック液晶材料を滴下した後、真空チャンバ内で両ガラス基板2,3を重ね合わせる。真空チャンバから両ガラス基板2,3を取り出した後、周辺シール材4を硬化させて、両ガラス基板2,3を貼り付ける。これにより、多面取り前の各液晶パネル内に液晶層5が封入される。   A process for forming the liquid crystal layer 5 between the glass substrates 2 and 3 will be described. A peripheral sealing material 4 made of an epoxy resin or the like is formed on the surface of one of the glass substrates 2 and 3 by a screen printing method or a dispenser method. The pattern of the peripheral sealing material 4 does not have an opening serving as a liquid crystal injection port, and has a closed loop shape. After dropping a nematic liquid crystal material having a positive dielectric anisotropy into the pattern frame of the peripheral sealing material 4, both glass substrates 2 and 3 are superposed in a vacuum chamber. After taking out both the glass substrates 2 and 3 from a vacuum chamber, the periphery sealing material 4 is hardened and both glass substrates 2 and 3 are affixed. As a result, the liquid crystal layer 5 is sealed in each liquid crystal panel before multi-paneling.

(実施形態1)
図3は、実施形態1の検査装置を模式的に示す断面図である。本実施形態の検査装置は、上側基板10と、上側基板10に対向配置される下側基板20を有する。上側基板10および下側基板20は、それぞれガラス基板11,21と、ガラス基板11,21の一方面に形成された透明電極12,22と、透明電極12,22を被覆する透明誘電樹脂層13,23と、偏光板14,24とを有する。
(Embodiment 1)
FIG. 3 is a cross-sectional view schematically showing the inspection apparatus according to the first embodiment. The inspection apparatus according to the present embodiment includes an upper substrate 10 and a lower substrate 20 disposed to face the upper substrate 10. The upper substrate 10 and the lower substrate 20 are respectively glass substrates 11 and 21, transparent electrodes 12 and 22 formed on one surface of the glass substrates 11 and 21, and a transparent dielectric resin layer 13 covering the transparent electrodes 12 and 22. , 23 and polarizing plates 14, 24.

ガラス基板11,21として、一般的な液晶パネルに用いられているものを使用することができる。具体的には、ソーダ石灰ガラス、ホウ珪酸ガラス、アルミノ珪酸ガラスや石英ガラス等の透明な板ガラスを使用することができる。   As the glass substrates 11 and 21, those used in a general liquid crystal panel can be used. Specifically, transparent plate glass such as soda lime glass, borosilicate glass, aluminosilicate glass, and quartz glass can be used.

透明電極12,22は、ガラス基板11,21の一方面の略全面に形成された共通電極(平面電極)である。透明電極12,22についても、一般的な液晶パネルに用いられているものを使用することができる。例えばITO、SnO2 、ZnO、IZO(インジウム亜鉛酸化物)、GZO(ガリウム亜鉛酸化物)などの導電性の金属酸化物薄膜を用いることができる。これら金属酸化物薄膜は、EB(電子ビーム)蒸着法、スパッタ成膜法やゾルゲル法等の公知の手法で形成することができる。なお、予め透明電極が形成された透明電極付きガラス基板を用いても良い。 The transparent electrodes 12 and 22 are common electrodes (planar electrodes) formed on substantially the entire one surface of the glass substrates 11 and 21. As the transparent electrodes 12 and 22, those used in a general liquid crystal panel can be used. For example, a conductive metal oxide thin film such as ITO, SnO 2 , ZnO, IZO (indium zinc oxide), or GZO (gallium zinc oxide) can be used. These metal oxide thin films can be formed by a known method such as an EB (electron beam) vapor deposition method, a sputtering film forming method, or a sol-gel method. In addition, you may use the glass substrate with a transparent electrode in which the transparent electrode was formed previously.

透明誘電樹脂層13,23は、透明電極12,22からの放電を防止するとともに、表面に電荷を発生させて、液晶層3中の液晶分子を配向させる役割を果たす。透明誘電樹脂層13,23の材料としては、透光性を有し、かつ電気絶縁性を有する樹脂であれば良いが、吸湿性、強度、透明性や光学特性に優れたTAC(トリアセチルセルロース)を用いるのが好ましい。透明誘電樹脂層13,23の膜厚は、100μm〜500μm程度である。透明誘電樹脂層13,23は、コーティングなどにより透明樹脂材料をガラス基板11,21の全面に塗布し、硬化させることにより、形成することができる。   The transparent dielectric resin layers 13 and 23 serve to prevent discharge from the transparent electrodes 12 and 22 and generate charges on the surface to align the liquid crystal molecules in the liquid crystal layer 3. The material of the transparent dielectric resin layers 13 and 23 may be a resin having translucency and electrical insulation, but TAC (triacetylcellulose) excellent in hygroscopicity, strength, transparency and optical characteristics. ) Is preferably used. The film thickness of the transparent dielectric resin layers 13 and 23 is about 100 μm to 500 μm. The transparent dielectric resin layers 13 and 23 can be formed by applying a transparent resin material to the entire surface of the glass substrates 11 and 21 by coating or the like and curing them.

偏光板14,24は、それぞれの偏光軸(透過軸)が、互いに直交するように配置(いわゆるクロスニコル配置)されている。偏光板14,24としては、PVA(ポリビニルアルコール)フィルムにヨウ素や染料などの二色性色素を吸着あるいは染色させ、高精度に一軸延伸して配向させた偏光フィルムを用いることができる。   The polarizing plates 14 and 24 are arranged so that their polarization axes (transmission axes) are orthogonal to each other (so-called crossed Nicols arrangement). As the polarizing plates 14 and 24, a polarizing film obtained by adsorbing or dyeing a dichroic dye such as iodine or a dye on a PVA (polyvinyl alcohol) film and uniaxially stretching with high precision can be used.

透明電極12,22は、それぞれライン15,25を介して直流電源30に接続されている。直流電源30は、両透明電極12,22間に、液晶分子の軸方向を制御できる程度の電圧を印加できるものが好ましい。なお、直流電源30に代えて、交流電源を用いることもできる。   The transparent electrodes 12 and 22 are connected to a DC power supply 30 via lines 15 and 25, respectively. The DC power supply 30 is preferably one that can apply a voltage that can control the axial direction of liquid crystal molecules between the transparent electrodes 12 and 22. In place of the DC power source 30, an AC power source can be used.

下側基板20の下方には、バックライトなどの光源40が配置されている。上側基板10および下側基板20は、透光性を有しているので、光源40からの光は、両基板10,20を透過することができる。なお、反射型の液晶パネルを点灯検査する場合には、観察者側(上側)に光源40を配置する。   A light source 40 such as a backlight is disposed below the lower substrate 20. Since the upper substrate 10 and the lower substrate 20 have translucency, the light from the light source 40 can pass through both the substrates 10 and 20. When the reflective liquid crystal panel is inspected for lighting, the light source 40 is disposed on the observer side (upper side).

図4は、本実施形態の検査装置の動作を説明するための模式的な断面図である。図4を参照しながら、貼り合せ液晶基板の検査工程について説明する。なお、図4では、図1および図2に示す液晶パネル1を簡略化して示す。   FIG. 4 is a schematic cross-sectional view for explaining the operation of the inspection apparatus of the present embodiment. The inspection process of the bonded liquid crystal substrate will be described with reference to FIG. In FIG. 4, the liquid crystal panel 1 shown in FIGS. 1 and 2 is shown in a simplified manner.

貼り合せ液晶基板1の両外側に、一対の基板10,20を配置させた後、貼り合せ液晶基板1の両面1a,1bを両基板10,20で挟む。直流電源30により透明電極12,22に電圧を印加すると、透明誘電樹脂層13,23の表面に正または負の電荷が発生するので、液晶パネル1面の法線方向に電界が生じる。液晶層5中の液晶分子は、正の誘電率異方性を有するので、液晶分子の長軸がガラス基板2,3の面に対して法線方向(典型的には垂直)になるように再配列する。光源40から光を液晶パネル1に入射すると、下側の偏光板24を透過した光(偏光)は、液晶層5を通過する間に偏波面が回転しない。偏光板14,24はクロスニコル配置されているので、液晶層5を通過した偏光は上側の偏光板14を通過することができない。したがって、光源40に対して反対側(上側)から観察すると、液晶パネル1は黒表示となる。   After arranging a pair of substrates 10 and 20 on both outer sides of the bonded liquid crystal substrate 1, both surfaces 1 a and 1 b of the bonded liquid crystal substrate 1 are sandwiched between the substrates 10 and 20. When a voltage is applied to the transparent electrodes 12 and 22 by the DC power supply 30, positive or negative charges are generated on the surfaces of the transparent dielectric resin layers 13 and 23, so that an electric field is generated in the normal direction of the liquid crystal panel 1. Since the liquid crystal molecules in the liquid crystal layer 5 have a positive dielectric anisotropy, the major axis of the liquid crystal molecules is in a normal direction (typically perpendicular) to the surfaces of the glass substrates 2 and 3. Rearrange. When light enters the liquid crystal panel 1 from the light source 40, the plane of polarization of the light (polarized light) transmitted through the lower polarizing plate 24 does not rotate while passing through the liquid crystal layer 5. Since the polarizing plates 14 and 24 are arranged in crossed Nicols, the polarized light that has passed through the liquid crystal layer 5 cannot pass through the upper polarizing plate 14. Therefore, when viewed from the opposite side (upper side) with respect to the light source 40, the liquid crystal panel 1 displays black.

しかし、微小異物を核とする点欠陥やラビング筋などの配向不良が液晶パネル1に生じている場合には、配向不良の領域内における液晶分子は、十分に再配列することができない。したがって、配向不良の箇所が、しきい値の異なる白線また白点として視認される。このように、本実施形態の検査装置によれば、液晶パネル1の電極に電圧を印加することなく、液晶パネル1を点灯状態にして、点灯により確認可能な配向不良を簡単に発見することができる。   However, when the liquid crystal panel 1 has alignment defects such as point defects or rubbing streaks with minute foreign particles as nuclei, the liquid crystal molecules in the alignment defect region cannot be sufficiently rearranged. Therefore, a position with poor alignment is visually recognized as a white line or a white point having a different threshold value. As described above, according to the inspection apparatus of the present embodiment, the liquid crystal panel 1 can be turned on without applying a voltage to the electrodes of the liquid crystal panel 1, and alignment defects that can be confirmed by lighting can be easily found. it can.

なお、偏光板14,24の偏光軸(透過軸)が、平行となるように配置(いわゆるパラレルニコル配置)されている場合には、電圧印加時に白表示となり、配向不良の箇所が、しきい値の異なる黒線また黒点として視認される。   In addition, when the polarizing axes (transmission axes) of the polarizing plates 14 and 24 are arranged so as to be parallel (so-called parallel Nicol arrangement), white display is obtained when a voltage is applied, and the position of alignment failure is a threshold. It is visually recognized as a black line or a black dot with different values.

以上の検査工程を経ることにより、配向不良が発見された貼り合わせ液晶基板1をリジェクトすることができる。一方、配向不良が発見されなかった貼り合わせ液晶基板1については、面取り(研磨)工程を経た後、短冊状分断および単品分断を行って、貼り合わせ液晶基板1から複数枚(本実施形態では4枚)の液晶パネルを分断する。さらに、偏光板の貼り付けやドライバICの実装を行なって、液晶パネルが製造される。   By passing through the above inspection process, the bonded liquid crystal substrate 1 in which the alignment defect is found can be rejected. On the other hand, with respect to the bonded liquid crystal substrate 1 in which no alignment failure was found, after a chamfering (polishing) step, strip-like division and single-piece division were performed, and a plurality of pieces (4 in this embodiment) were obtained from the bonded liquid crystal substrate 1. Sheet) LCD panel. Further, a liquid crystal panel is manufactured by attaching a polarizing plate and mounting a driver IC.

(実施形態2)
図5は、実施形態2の検査装置の動作を説明するための模式的な断面図である。図5においては、実施形態1の検査装置の構成要素と実質的に同じ機能を有する構成要素を同じ参照符号で示し、その説明を省略する。本実施形態の検査装置は、透明誘電樹脂層13,23面の周縁に弾性部材16,26が形成されている点が実施形態1の検査装置と異なる。
(Embodiment 2)
FIG. 5 is a schematic cross-sectional view for explaining the operation of the inspection apparatus according to the second embodiment. In FIG. 5, components having substantially the same functions as the components of the inspection apparatus of the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted. The inspection apparatus according to the present embodiment is different from the inspection apparatus according to the first embodiment in that elastic members 16 and 26 are formed on the peripheral edges of the transparent dielectric resin layers 13 and 23.

図6は、本実施形態における検査装置の上側基板10の平面図であり、下側(光源40側)から見た図である。弾性部材16は、シリコンゴムなどの弾力性を有する部材である。弾性部材16の形成パターンは、開放端16a,16bを有する開いたループ状であり、平面視において開口16cを有する。弾性部材16の厚みは1mm程度である。弾性部材16は、転写などにより形成することができる。   FIG. 6 is a plan view of the upper substrate 10 of the inspection apparatus according to the present embodiment, as viewed from the lower side (light source 40 side). The elastic member 16 is a member having elasticity such as silicon rubber. The formation pattern of the elastic member 16 is an open loop shape having open ends 16a and 16b, and has an opening 16c in plan view. The thickness of the elastic member 16 is about 1 mm. The elastic member 16 can be formed by transfer or the like.

貼り合わせ液晶基板1の両面1a,1bを両基板10,20で挟むと、両基板10,20の弾性部材16,26が貼り合わせ液晶基板1の両面1a,1bとそれぞれ接触する。このとき、貼り合わせ液晶基板1、基板10,20および弾性部材16,26に挟まれた間隙50,60が形成される。この間隙50,60は、弾性部材16の開口16cにより、開かれているので、真空チャンバなどにより、検査装置外部の空気を吸引して、減圧すると、間隙50,60内の空気も吸引されて、減圧する。弾性部材16,26は弾力性を有するので、間隙50,60内の減圧に伴って、貼り合わせ液晶基板1の両面1a,1bと両基板10,20との間の距離が面内で均一化される。すなわち、弾性部材16,26は、間隙50,60の距離を面内均一にするスペーサとして機能する。   When both surfaces 1a and 1b of the bonded liquid crystal substrate 1 are sandwiched between both substrates 10 and 20, the elastic members 16 and 26 of both substrates 10 and 20 come into contact with both surfaces 1a and 1b of the bonded liquid crystal substrate 1, respectively. At this time, gaps 50 and 60 sandwiched between the bonded liquid crystal substrate 1, the substrates 10 and 20 and the elastic members 16 and 26 are formed. Since the gaps 50 and 60 are opened by the opening 16c of the elastic member 16, when the air outside the inspection apparatus is sucked and decompressed by a vacuum chamber or the like, the air in the gaps 50 and 60 is also sucked. , Depressurize. Since the elastic members 16 and 26 have elasticity, the distance between the both surfaces 1a and 1b of the bonded liquid crystal substrate 1 and both the substrates 10 and 20 becomes uniform in the plane as the pressure in the gaps 50 and 60 is reduced. Is done. That is, the elastic members 16 and 26 function as spacers that make the distances of the gaps 50 and 60 uniform within the surface.

貼り合わせ液晶基板1の両面1a,1bと両基板10,20との間の距離が面内で均一化されると、液晶パネル1面の法線方向に生じる電界強度が面内で均一化されるので、貼り合わせ液晶基板1に形成された複数の液晶パネル1を均等に点灯させることができる。   When the distance between both surfaces 1a and 1b of the bonded liquid crystal substrate 1 and both substrates 10 and 20 is made uniform in the plane, the electric field strength generated in the normal direction of the liquid crystal panel 1 surface is made uniform in the plane. Therefore, the plurality of liquid crystal panels 1 formed on the bonded liquid crystal substrate 1 can be lit uniformly.

本実施形態では、弾性部材16の開口16aが一か所だけであるが、開口16aが複数箇所あっても良い。間隙50,60内を減圧できる範囲内で、開口16aの数や径を適宜設定すれば良い。   In the present embodiment, the elastic member 16 has only one opening 16a, but there may be a plurality of openings 16a. What is necessary is just to set suitably the number and diameter of the opening 16a within the range which can decompress | depressurize the space | gap 50,60.

(他の実施形態)
実施形態1および2では、一枚の貼り合せ液晶基板1から4枚の液晶パネルが多面取りされる場合について説明した。しかし、本発明は、貼り合せ液晶基板1を分断せずに、一枚の貼り合せ液晶基板1から1枚の液晶パネルを製造する場合にも適用することができる。
(Other embodiments)
In the first and second embodiments, the case where four liquid crystal panels are multi-sided from one bonded liquid crystal substrate 1 has been described. However, the present invention can also be applied to the case where one liquid crystal panel is manufactured from one bonded liquid crystal substrate 1 without dividing the bonded liquid crystal substrate 1.

実施形態1および2では、ガラス基板11,21を用いているが、ガラス基板に代えて透光性を有するプラスチック基板を用いても良い。また、透明誘電樹脂層13,23に代えて、SiOx 、GeOx 、SiNx 、SiON系などからなる無機誘電層を用いても良い。これら無機誘電層は、スパッタリング法により成膜することができる。 In the first and second embodiments, the glass substrates 11 and 21 are used. However, a light-transmitting plastic substrate may be used instead of the glass substrate. In place of the transparent dielectric resin layers 13 and 23, an inorganic dielectric layer made of SiO x , GeO x , SiN x , SiON, or the like may be used. These inorganic dielectric layers can be formed by sputtering.

実施形態1および2に示す液晶パネル1は、透過型であるが、反射型や反射透過両用型の液晶パネルにも本発明を適用することができる。例えば、反射型の液晶パネル1の場合、検査装置は、下側基板20が透明でなくても良い。したがって、基板21、電極22および誘電樹脂層23が透明でなくても良い。また、下側の偏光板24はなくても良い。   Although the liquid crystal panel 1 shown in Embodiments 1 and 2 is a transmission type, the present invention can be applied to a reflection type or a reflection / transmission liquid crystal panel. For example, in the case of the reflective liquid crystal panel 1, in the inspection apparatus, the lower substrate 20 may not be transparent. Therefore, the substrate 21, the electrode 22, and the dielectric resin layer 23 do not have to be transparent. Further, the lower polarizing plate 24 may not be provided.

実施形態1および2では、液晶パネル1の動作モードとして、TN(Twisted Nematic
)モードを利用しているが、既知の他のモードを利用しても良い。例えば、STN(Super Twisted Nematic )モード、ECB(Electrically Controlled Birefringence )モード、OCB(Optically Compensated Birefringence )モード、FLC(Ferroelectric
Liquid Crystal)モード、GH(Guest-Host)モード、PDLC(Polymer Dispersed Liquid Crystal)モードなどである。なお、PDLCをツイスト配向させたIRIS(Internal Reflection Inverted Scattering )モードでは、偏光板14,24が不要となる。
In the first and second embodiments, the operation mode of the liquid crystal panel 1 is TN (Twisted Nematic).
) Mode is used, but other known modes may be used. For example, STN (Super Twisted Nematic) mode, ECB (Electrically Controlled Birefringence) mode, OCB (Optically Compensated Birefringence) mode, FLC (Ferroelectric)
Liquid Crystal (GH) mode, GH (Guest-Host) mode, PDLC (Polymer Dispersed Liquid Crystal) mode, and the like. In the IRIS (Internal Reflection Inverted Scattering) mode in which the PDLC is twist-oriented, the polarizing plates 14 and 24 are not necessary.

実施形態1および2では、アクティブマトリクス駆動素子としてTFTが用いられているが、MOSトランジスタなどの他の電界効果型トランジスタを用いても良い。また、MIM(Metal Insulator Metal)、BTB(バックツーバックダイオード)、ダイオードリング、バリスタまたはプラズマスイッチング等を用いても良い。   In Embodiments 1 and 2, TFTs are used as active matrix drive elements, but other field effect transistors such as MOS transistors may be used. Further, MIM (Metal Insulator Metal), BTB (back-to-back diode), diode ring, varistor, plasma switching, or the like may be used.

本発明の方法により製造された液晶パネルは、液晶表示素子だけでなく、画素を光学的に順次シフトさせる画像シフト素子、三次元映像を表示可能とするパララックスバリア素子として利用することができる。   The liquid crystal panel manufactured by the method of the present invention can be used not only as a liquid crystal display element but also as an image shift element for sequentially shifting pixels optically and a parallax barrier element capable of displaying a three-dimensional image.

貼り合せ液晶基板を模式的に示す平面図である。It is a top view which shows a bonded liquid crystal substrate typically. 図1中のII−II線断面図である。It is the II-II sectional view taken on the line in FIG. 実施形態1の検査装置を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows the inspection apparatus of Embodiment 1 typically. 実施形態1の検査装置の動作を説明するための模式的な断面図である。FIG. 5 is a schematic cross-sectional view for explaining the operation of the inspection apparatus according to the first embodiment. 実施形態2の検査装置の動作を説明するための模式的な断面図である。FIG. 10 is a schematic cross-sectional view for explaining the operation of the inspection apparatus according to the second embodiment. 実施形態2における検査装置の上側基板10の平面図である。It is a top view of the upper board | substrate 10 of the inspection apparatus in Embodiment 2.

符号の説明Explanation of symbols

1 貼り合せ液晶基板(液晶パネル)
1a 外側面
1b 外側面
2 ガラス基板
3 ガラス基板
4 周辺シール
5 液晶層
6 端子
10 上側基板
11 ガラス基板
12 透明電極
13 透明誘電樹脂層
14 偏光板
15 ライン
16 弾性部材
16a 開放端
16b 開放端
16c 開口
20 下側基板
21 ガラス基板
22 透明電極
23 透明誘電樹脂層
24 偏光板
25 ライン
26 弾性部材
30 直流電源
40 光源
50 間隙
60 間隙
1 Bonded liquid crystal substrate (liquid crystal panel)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1a Outer side surface 1b Outer side surface 2 Glass substrate 3 Glass substrate 4 Perimeter seal 5 Liquid crystal layer 6 Terminal 10 Upper substrate 11 Glass substrate 12 Transparent electrode 13 Transparent dielectric resin layer 14 Polarizing plate 15 Line 16 Elastic member 16a Open end 16b Open end 16c Open 20 Lower substrate 21 Glass substrate 22 Transparent electrode 23 Transparent dielectric resin layer 24 Polarizing plate 25 Line 26 Elastic member 30 DC power source 40 Light source 50 Gap 60 Gap

Claims (4)

二枚の基板が液晶層を介して貼り合わせられた貼り合わせ液晶基板を検査する工程を含み、前記貼り合わせ液晶基板から液晶パネルを製造する方法であって、
前記検査工程は、前記貼り合わせ液晶基板の両外側に、それぞれが誘電層で被覆された一対の電極を配置する工程と、
前記一対の電極に電圧を印加する工程と、
前記貼り合わせ液晶基板に光を入射させる工程を含む、液晶パネルの製造方法。
A method of manufacturing a liquid crystal panel from the bonded liquid crystal substrate, comprising the step of inspecting a bonded liquid crystal substrate in which two substrates are bonded via a liquid crystal layer,
The inspection step includes a step of arranging a pair of electrodes, each covered with a dielectric layer, on both outer sides of the bonded liquid crystal substrate;
Applying a voltage to the pair of electrodes;
A method for manufacturing a liquid crystal panel, comprising a step of causing light to enter the bonded liquid crystal substrate.
二枚の基板が液晶層を介して貼り合わせられた貼り合わせ液晶基板を検査する装置であって、
前記貼り合わせ液晶基板の両外側に配置される一対の基板と、
前記一対の基板にそれぞれ形成された電極と、
前記電極を被覆する誘電層と、
前記電極に電圧を印加する電源を有する、検査装置。
An apparatus for inspecting a bonded liquid crystal substrate in which two substrates are bonded via a liquid crystal layer,
A pair of substrates disposed on both outer sides of the bonded liquid crystal substrate;
Electrodes respectively formed on the pair of substrates;
A dielectric layer covering the electrode;
An inspection apparatus having a power source for applying a voltage to the electrode.
前記一対の基板は、前記誘電層の周縁に形成され、かつ平面視において開口を有する弾性部材をそれぞれ有する、請求項2に記載の検査装置。   The inspection apparatus according to claim 2, wherein each of the pair of substrates includes an elastic member that is formed on a peripheral edge of the dielectric layer and has an opening in a plan view. 前記液晶パネルは、液晶表示パネルである、請求項2または3に記載の検査装置。   The inspection apparatus according to claim 2, wherein the liquid crystal panel is a liquid crystal display panel.
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