JP2005055796A - Optical connector provided with antireflection member and its forming method - Google Patents
Optical connector provided with antireflection member and its forming method Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005055796A JP2005055796A JP2003288548A JP2003288548A JP2005055796A JP 2005055796 A JP2005055796 A JP 2005055796A JP 2003288548 A JP2003288548 A JP 2003288548A JP 2003288548 A JP2003288548 A JP 2003288548A JP 2005055796 A JP2005055796 A JP 2005055796A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ferrule
- optical fiber
- face
- forming
- optical connector
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
- Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
Abstract
Description
この発明は、フェルールに挿通、固定されたファイバ素線の端面に反射防止膜等の反射部材を設けた光コネクタ及びその形成方法に関する。 The present invention relates to an optical connector in which a reflection member such as an antireflection film is provided on an end face of a fiber strand inserted and fixed through a ferrule, and a method for forming the same.
従来、レーザダイオード、フォトダイオード等の光半導体モジュール用の光コネクタ1は、図13に示すように、その一端に光コネクタ1を接続し、光半導体モジュール7にフェルール2を挿入し、固定されている。光コネクタ1は、図12に示すように、フェルール2に、光ファイバ4が挿入されて固定されている。そして、フェルール2にフランジ3が取り着けられている。光半導体モジュール7のレーザダイオード71等から出射された光がフェルール2に挿通された光ファイバ4に入射される。 Conventionally, an optical connector 1 for an optical semiconductor module such as a laser diode or a photodiode is fixed by connecting the optical connector 1 to one end and inserting a ferrule 2 into the optical semiconductor module 7 as shown in FIG. Yes. As shown in FIG. 12, the optical connector 1 has an optical fiber 4 inserted and fixed to a ferrule 2. A flange 3 is attached to the ferrule 2. Light emitted from the laser diode 71 or the like of the optical semiconductor module 7 is incident on the optical fiber 4 inserted through the ferrule 2.
このフェルール2側の光ファイバ4の端面を含めた端面には、通常、入射する光の反射を防止するために、反射防止膜、即ちARコート6が施されている。これは、入射する光の光量が減少することを防止するものであり、一般的に誘電体が多層に蒸着されて形成されている。 An end surface including the end surface of the optical fiber 4 on the ferrule 2 side is usually provided with an antireflection film, that is, an AR coat 6 in order to prevent reflection of incident light. This prevents the amount of incident light from decreasing and is generally formed by depositing dielectrics in multiple layers.
従来から図12に示す光ファイバ4の端面に反射防止膜を成膜する方法は種々あるが、その1つに光ファイバ4が挿通、固定されたフェルール2を成膜原料(例えばシリカ:SiO2とタンタルオキサイド:Ta2O5)の蒸発原子又は分子が存在するチャンバ(図示しない)内にセットして、光ファイバ4の端面にSiO2とTa2O5が交互に積層された多層膜を成膜すると共に、同チャンバ内に設置されたイオン銃から光ファイバ4の端面に向けてO2活性分子を照射或いは加速させることによって蒸発原子又は分子にエネルギーを付与して緻密性が高く、付着力が強い膜を成膜する方法(イオンビームアシステッドデポジション法:IAD法)、放電ガスが充填されたチャンバ内で光ファイバ4がセットされたホルダや同チャンバのドームをカソードとしてイオン化した蒸発原子又は分子を加速し、これを光ファイバの端面に付着させる方法(イオンプレーティング法)等がある。 A method of forming an antireflection film on the end face of the optical fiber 4 shown in FIG. 12 conventionally are various, Part 1 Tsunihikari fiber 4 inserted, fixed ferrule 2 film-forming source (e.g. silica: SiO 2 And a tantalum oxide (Ta 2 O 5 ) in a chamber (not shown) in which evaporated atoms or molecules exist, and a multilayer film in which SiO 2 and Ta 2 O 5 are alternately laminated on the end face of the optical fiber 4 In addition to forming the film, energy is given to the evaporated atoms or molecules by irradiating or accelerating O 2 active molecules from the ion gun installed in the same chamber toward the end face of the optical fiber 4, and the denseness is high. A method for forming a film with strong adhesion (ion beam assisted deposition method: IAD method), a holder in which an optical fiber 4 is set in a chamber filled with a discharge gas, and a dome in the chamber as a cathode There is a method of accelerating ionized evaporated atoms or molecules and attaching them to the end face of an optical fiber (ion plating method).
光ファイバの端面に前記従来の成膜方法によって成膜すると、膜中に光ファイバを保護している皮膜樹脂、フェルールのメッキ金属等からガスが発生し、これらの不純物が膜内に混入し、所定の膜が得られないという問題がある。 When the film is formed on the end face of the optical fiber by the conventional film forming method, gas is generated from the coating resin that protects the optical fiber in the film, the plating metal of the ferrule, etc., and these impurities are mixed in the film, There is a problem that a predetermined film cannot be obtained.
かかる問題点を解決する方法として、フェルールにファイバ素線を挿通・固定し、そのフェルールを成膜装置のチャンバにセットして、同フェルールの端面に突出又は露出しているファイバ素線の端面に反射防止膜等を成膜するファイバ端面への成膜方法において、フェルールの金メッキ部分の全部又は一部をメッキ材質以外の物質で予め被覆するか、ファイバ素線をフェルールに固定する半田で被覆するか、除去するか、遮蔽板で覆うか、保護膜で被覆するかして、チャンバ内に前記金メッキが露出しないようにする成膜方法が提案されている(特許文献1参照)。 As a method for solving such a problem, a fiber strand is inserted and fixed into the ferrule, the ferrule is set in a chamber of the film forming apparatus, and the end surface of the fiber strand protruding or exposed on the end surface of the ferrule is used. In the film forming method on the fiber end face for forming an antireflection film or the like, all or part of the gold-plated portion of the ferrule is previously coated with a substance other than the plating material, or the fiber strand is coated with solder for fixing to the ferrule. Alternatively, a film forming method has been proposed in which the gold plating is not exposed in the chamber by removing, covering with a shielding plate, or covering with a protective film (see Patent Document 1).
しかしながら、上記した蒸着方法を用いた場合には、成膜方法が煩わしいとともに、真空蒸着装置が必要になるなどその作業性はあまり良くないのが実情である。更に、蒸着により、反射防止膜を形成する場合は、蒸着膜を形成する端面の面精度により、反射膜の膜厚等が左右されるため、端面形状を厳密に形成する必要があった。 However, when the above-described vapor deposition method is used, the film forming method is troublesome, and the workability is not so good because a vacuum vapor deposition apparatus is required. Furthermore, when the antireflection film is formed by vapor deposition, the thickness of the reflection film depends on the surface accuracy of the end surface on which the vapor deposition film is formed.
また、ガラス等の基板にAR蒸着した後、フェルールの端面に貼着する方法もある。しかし、この方法は、基板が数ミリの大きさという極めて微細なため、作業者の取り扱いが難しいという問題点があった。
上述したように、従来のフェルールに対する反射膜の形成には、蒸着の作業性や取り着け作業性が煩雑であるなどの問題があった。この発明は、安定したしかも高性能で安価な反射防止膜をフェルール端面に形成することを課題とする。 As described above, the formation of the reflective film on the conventional ferrule has a problem that the deposition workability and the mounting workability are complicated. An object of the present invention is to form a stable, high-performance and inexpensive antireflection film on the ferrule end face.
この発明の反射部材を設けた光コネクタは、フェルールに光ファイバが挿通され、フェルール端面の少なくとも光ファイバ部分の部位に、微細な錐形状の連続パターンからなる凹凸面が形成された紫外線硬化樹脂からなる反射防止部材が設けられていることを特徴とする。 The optical connector provided with the reflecting member of the present invention is made of an ultraviolet curable resin in which an optical fiber is inserted into a ferrule, and a concave and convex surface made of a continuous pattern having a fine conical shape is formed at least on the portion of the optical fiber portion of the ferrule end face. An antireflection member is provided.
また、この発明の反射防止部材を設けた光コネクタの形成方法は、フェルールに光ファイバを挿通し、フェルール端面の少なくとも光ファイバ部分の部位に、紫外線硬化樹脂を適量付着させ、微細な錐形状の連続パターンからなる凹凸面が形成された透明な金型を押圧し、金型を通して紫外線を照射し、前記凹凸面が転写された反射防止部材をフェルール端面の少なくとも光ファイバ部分の部位に形成することを特徴とする。 Further, in the method of forming an optical connector provided with the antireflection member of the present invention, an optical fiber is inserted into a ferrule, and an appropriate amount of ultraviolet curable resin is attached to at least a portion of the optical fiber portion of the ferrule end face, thereby forming a fine conical shape. Pressing a transparent mold having a concavo-convex surface formed of a continuous pattern, irradiating with ultraviolet rays through the mold, and forming an antireflection member to which the concavo-convex surface has been transferred at least at a portion of the optical fiber portion of the ferrule end surface It is characterized by.
前記反射防止部材の形成と共にフェルールに光ファイバを固定するように構成すると良い。 It is good to comprise so that an optical fiber may be fixed to a ferrule with formation of the said reflection preventing member.
また、前記フェルール端面の光ファイバ部分を含む部位に窪みを設けるとよい。 Moreover, it is good to provide a hollow in the site | part containing the optical fiber part of the said ferrule end surface.
この発明による光通信部材における反射防止構造の形成法によれば、AR蒸着のような成膜時膜厚のばらつき等性能のばらつきもなく、また反射防止構造の形成は自動化も容易に対応できる。 According to the method for forming an antireflection structure in an optical communication member according to the present invention, there is no performance variation such as film thickness variation during AR deposition, and the formation of the antireflection structure can be easily automated.
このように、この発明のおける光通信部材の反射防止膜の形成方法によれば、従来のAR蒸着に比べ安定した性能が得られる。また、低反射率特性のものが容易に得られる。 Thus, according to the method for forming an antireflection film for an optical communication member in the present invention, stable performance can be obtained as compared with conventional AR deposition. Moreover, the thing of a low reflectance characteristic can be obtained easily.
生産面では、従来の蒸着法によれば、必要部位以外のところにも蒸着されてしまうという問題があったが、2P成形の場合必要部位にのみ反射防止構造が形成できるため生産効率も向上する。 On the production side, according to the conventional vapor deposition method, there was a problem that the vapor deposition was also performed at a place other than the necessary part. .
以下、この発明の実施の形態につき図面を参照して説明する。尚、従来例と同一部分には同一符号を付す。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the same part as a prior art example.
図1は、この発明にかかる光半導体モジュール用の光コネクタを示す斜視図、図2は同断面図である。図1及び図2に示すように、光コネクタ1は、金メッキされたフェルール2と、このフェルール2に挿通され、固定される光ファイバ4と、及びフランジ3と、で構成される。そして、フェルール2の端面には、この発明の特徴とする反射防止膜5が設けられている。この反射防止膜5は、微細な錐形状の連続パターンからなる凹凸面を形成して構成されている。 FIG. 1 is a perspective view showing an optical connector for an optical semiconductor module according to the present invention, and FIG. 2 is a sectional view thereof. As shown in FIGS. 1 and 2, the optical connector 1 includes a gold-plated ferrule 2, an optical fiber 4 that is inserted and fixed to the ferrule 2, and a flange 3. An antireflection film 5 which is a feature of the present invention is provided on the end face of the ferrule 2. The antireflection film 5 is formed by forming an uneven surface composed of a continuous pattern having a fine cone shape.
図3は、反射防止膜5の表面の概略形状を示す斜視図、図4は、パターン断面形状を示す模式図である。図3に示すように、透光性樹脂、例えば、紫外線硬化樹脂からなる反射防止部材本体50の表面に微細な錐形状の突起51が連続して形成された連続パターンからなる凹凸面が形成されている。この実施の形態における突起51のパターン形状は、四角錐形状であるが、六角錐形状でも円錐形状でも良い。 FIG. 3 is a perspective view showing a schematic shape of the surface of the antireflection film 5, and FIG. 4 is a schematic diagram showing a pattern cross-sectional shape. As shown in FIG. 3, an uneven surface made of a continuous pattern in which fine cone-shaped projections 51 are continuously formed on the surface of an antireflection member main body 50 made of a translucent resin, for example, an ultraviolet curable resin. ing. The pattern shape of the protrusions 51 in this embodiment is a quadrangular pyramid shape, but may be a hexagonal pyramid shape or a conical shape.
図4に示すパターンピッチpに対するパターン高さDの比D/pをアスペクト比とする。パターンピッチpは、光半導体モジュールとして使用する光の波長よりも小さいピッチがよく、そして、使用する光の波長を紫外線硬化樹脂の屈折率で割った値より小さくすればよい。またアスペクト比は1以上がよい。このようなパターン面を有する反射防止膜5が、フェルール2の端面に形成されている。 A ratio D / p of the pattern height D to the pattern pitch p shown in FIG. The pattern pitch p is preferably smaller than the wavelength of light used as the optical semiconductor module, and may be smaller than the value obtained by dividing the wavelength of light used by the refractive index of the ultraviolet curable resin. The aspect ratio is preferably 1 or more. An antireflection film 5 having such a pattern surface is formed on the end surface of the ferrule 2.
フェルール2の端面に上記した反射防止膜5を形成するには、フェルール2の先端面に紫外線硬化樹脂を適量付着させた後、図3及び図4に示すような微細な錐形状の連続パターンがその表面に形成された透明な金型を押圧し、金型を通して紫外線を照射させることにより、フェルール2の端面に反射防止膜5を形成する。 In order to form the above-described antireflection film 5 on the end face of the ferrule 2, an appropriate amount of ultraviolet curable resin is deposited on the end face of the ferrule 2, and then a continuous pattern of fine cones as shown in FIGS. The antireflection film 5 is formed on the end face of the ferrule 2 by pressing a transparent mold formed on the surface and irradiating ultraviolet rays through the mold.
上記した構造において、フェルール2と光ファイバ4との固定を半田等を用いずに、反射防止膜5を形成する紫外線硬化樹脂を用いて反射防止膜5の形成と、光ファイバ4との固定を同時に行うこともできる。 In the above-described structure, the ferrule 2 and the optical fiber 4 are fixed without using solder or the like, and the antireflection film 5 is formed and the optical fiber 4 is fixed using the ultraviolet curable resin for forming the antireflection film 5. It can be done at the same time.
次に、反射防止膜5の形成方法を図面を参照して更に説明する。図5は、フェルール2の先端部に反射防止膜5を形成するための冶具60を示す斜視図である。図6に示すように、冶具60には、光コネクタ1のフランジ3が挿入される穴61が多数設けられている。この冶具60の穴61に光コネクタ1が挿入される。 Next, a method for forming the antireflection film 5 will be further described with reference to the drawings. FIG. 5 is a perspective view showing a jig 60 for forming the antireflection film 5 at the tip of the ferrule 2. As shown in FIG. 6, the jig 60 is provided with many holes 61 into which the flange 3 of the optical connector 1 is inserted. The optical connector 1 is inserted into the hole 61 of the jig 60.
図6は、図5に示す冶具60を用いて、フェルール2の先端部に反射防止膜5を形成する方法を工程別に示す模式的断面図である。図6(a)に示すように、冶具60の穴61に光コネクタ1を挿入する。この時、フェルール2と光ファイバ4とは半田等により既に固定していても良く、また、固定せずに、反射防止膜5の形成と同時に固定する場合には、光ファイバ4がフェルール2より抜け落ちないように、仮止めしておく。 FIG. 6 is a schematic cross-sectional view showing a method for forming the antireflection film 5 on the tip of the ferrule 2 by using the jig 60 shown in FIG. As shown in FIG. 6A, the optical connector 1 is inserted into the hole 61 of the jig 60. At this time, the ferrule 2 and the optical fiber 4 may be already fixed by soldering or the like. In addition, in the case where the ferrule 2 and the optical fiber 4 are not fixed but are fixed simultaneously with the formation of the antireflection film 5, the optical fiber 4 is more than the ferrule 2. Temporarily fix it so that it does not fall out.
続いて、図6(b)に示すように、フェルール2の先端に紫外線硬化樹脂52を適量付着させる。その後、図6(c)に示すように、微細な錐形状の連続パターンがその表面に形成された透明な金型54を押圧し、同時に金型54の裏面側から紫外線55を照射させて硬化させる。 Subsequently, as shown in FIG. 6B, an appropriate amount of ultraviolet curable resin 52 is attached to the tip of the ferrule 2. Thereafter, as shown in FIG. 6 (c), the transparent die 54 having a fine conical continuous pattern formed on the surface thereof is pressed, and at the same time, the ultraviolet ray 55 is irradiated from the back side of the die 54 and cured. Let
図7は、金型をフェルール2の先端部に押圧した部分の拡大図である。金型54には断面錐形のパターン54aが均一に配置されている。パターン自体は、四角錐形状、または六角錐形状或いは円錐形状のいずれでも良い。配置方法は1次元的でも2次元的でも良い。また、パターンは金型全面に形成しても良いが、当然フェルール2の先端面と対峙する部位にのみパターンを形成していても良い。 FIG. 7 is an enlarged view of a portion where the mold is pressed against the tip of the ferrule 2. A pattern 54 a having a conical section is uniformly arranged on the mold 54. The pattern itself may have a quadrangular pyramid shape, a hexagonal pyramid shape, or a conical shape. The arrangement method may be one-dimensional or two-dimensional. Further, the pattern may be formed on the entire surface of the mold, but naturally the pattern may be formed only on a portion facing the tip surface of the ferrule 2.
パターンピッチpに関しては、使用する光の波長を紫外線硬化樹脂の屈折率で割った値より小さくすればよい。アスペクト比は1以上で有ればよい。例えば、使用波長が800nm、樹脂の屈折率が1.45とすると、パターンピッチpは550nmより小さくすればよい。望ましくは計算値の90%程度の約500nmとすると良い。使用波長が1500nmであれば、パターンピッチpはおよそ930nm程度にすると良い。 Regarding the pattern pitch p, the wavelength of light to be used may be made smaller than the value obtained by dividing the wavelength of the light used by the refractive index of the ultraviolet curable resin. The aspect ratio may be 1 or more. For example, if the wavelength used is 800 nm and the refractive index of the resin is 1.45, the pattern pitch p may be smaller than 550 nm. Desirably, the thickness is about 500 nm, which is about 90% of the calculated value. If the wavelength used is 1500 nm, the pattern pitch p is preferably about 930 nm.
図8は、反射防止膜5を形成するための他の実施形態を示す模式的断面図であり、透明な金型側にヒータ56を設けている。紫外線硬化時に加熱することにより、成型時間の短縮及びパターン部の樹脂硬度を制御することができる。尚、ヒータ13はパターン部以外のところに配置している。 FIG. 8 is a schematic cross-sectional view showing another embodiment for forming the antireflection film 5, and a heater 56 is provided on the transparent mold side. By heating at the time of ultraviolet curing, the molding time can be shortened and the resin hardness of the pattern portion can be controlled. In addition, the heater 13 is arrange | positioned in places other than a pattern part.
図9は、反射防止膜5を形成するための更に他の実施形態を示す模式的断面図であり、冶具60側に振動子14を設けている。振動子62を樹脂成形完了後、金型を光コネクタから分離するタイミングで作動するようにする。この振動子62の作動により、両者の分離を容易にする。 FIG. 9 is a schematic cross-sectional view showing still another embodiment for forming the antireflection film 5, and the vibrator 14 is provided on the jig 60 side. After the resin molding of the vibrator 62 is completed, the vibrator 62 is operated at a timing for separating the mold from the optical connector. The operation of the vibrator 62 facilitates separation of both.
図10は、反射防止膜5を形成する光コネクタの他の実施形態を示す断面図である。図10に示すものは、フェルール2の先端部分に窪み部21を形成している。この窪み部21を形成することで、光ファイバ4の先端部に僅かに確実に光ファイバ4と反射防止膜5とを固着させることができる。 FIG. 10 is a cross-sectional view showing another embodiment of the optical connector for forming the antireflection film 5. In the structure shown in FIG. 10, a recess 21 is formed at the tip of the ferrule 2. By forming the recess 21, the optical fiber 4 and the antireflection film 5 can be fixed to the distal end of the optical fiber 4 with certainty.
図11は、反射防止膜5を形成する光コネクタの更に他の実施形態を示す断面図である。図11に示すものは、光半導体モジュール7から発せられるレーザ光がフェルール2先端部に当たった際の反射光が戻り光となり性能に悪影響を及ぼすの防止するために、フェルール2の先端部分を傾斜させている。図11に示す例では、先端部に窪みを設けていないが、図10と同様に窪み部を設けても良い。 FIG. 11 is a cross-sectional view showing still another embodiment of the optical connector for forming the antireflection film 5. In order to prevent the reflected light when the laser light emitted from the optical semiconductor module 7 hits the tip of the ferrule 2 from being returned light, the tip of the ferrule 2 is inclined as shown in FIG. I am letting. In the example shown in FIG. 11, no dent is provided at the tip, but a dent may be provided as in FIG. 10.
図11に示した構成の光コネクタの場合、図5に示した冶具構成としては、冶具の穴面に傾斜部を設けることで、図6に示す工程と同様の工程で紫外線硬化樹脂を用いた金型の裏面側から紫外線を照射させて硬化させて成形する所謂2P成型法で反射防止膜5を形成できる。 In the case of the optical connector having the configuration shown in FIG. 11, as the jig configuration shown in FIG. 5, an ultraviolet curable resin is used in the same process as shown in FIG. 6 by providing an inclined portion on the hole surface of the jig. The antireflection film 5 can be formed by a so-called 2P molding method in which ultraviolet rays are irradiated from the back side of the mold and cured.
2P成型法は、形成する端面の周囲の形状による影響を受けずに端面上に樹脂成形できる。従って、フェルール2の端面の面精度は厳密に要求せずとも、所望の反射防止膜5を設けることができる。 In the 2P molding method, resin molding can be performed on the end surface without being affected by the shape of the periphery of the end surface to be formed. Therefore, the desired antireflection film 5 can be provided without strictly requiring the surface accuracy of the end face of the ferrule 2.
尚、上記した実施形態においては、フェルール2の先端全面に反射防止膜5を設けているが、フェルール2の光ファイバ4の部位を少なくとも含む箇所にだけ反射防止膜5を設けるように構成しても良い。 In the above-described embodiment, the antireflection film 5 is provided on the entire front surface of the ferrule 2. However, the antireflection film 5 is provided only in a portion including at least the portion of the optical fiber 4 of the ferrule 2. Also good.
1 光コネクタ
2 フェルール
3 フランジ
4 光ファイバ
5 反射防止膜
1 Optical connector 2 Ferrule 3 Flange 4 Optical fiber 5 Antireflection film
Claims (4)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003288548A JP2005055796A (en) | 2003-08-07 | 2003-08-07 | Optical connector provided with antireflection member and its forming method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003288548A JP2005055796A (en) | 2003-08-07 | 2003-08-07 | Optical connector provided with antireflection member and its forming method |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005055796A true JP2005055796A (en) | 2005-03-03 |
Family
ID=34367165
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003288548A Withdrawn JP2005055796A (en) | 2003-08-07 | 2003-08-07 | Optical connector provided with antireflection member and its forming method |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005055796A (en) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007279194A (en) * | 2006-04-04 | 2007-10-25 | Wired Japan:Kk | Fiber optic cable, optical transmission method, and spectroanalysis system |
JP2008028630A (en) * | 2006-07-20 | 2008-02-07 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Optical space communication unit |
JP2009128430A (en) * | 2007-11-20 | 2009-06-11 | Nitto Denko Corp | Optical waveguide device production method, optical waveguide device produced by the method, and optical waveguide connection structure to be used for the device |
JP2011059487A (en) * | 2009-09-11 | 2011-03-24 | Fujikura Ltd | Method of manufacturing optical path connector, and the optical path change optical connector |
JP2012047865A (en) * | 2010-08-25 | 2012-03-08 | Anritsu Corp | Optical waveguide structure |
JP2013097164A (en) * | 2011-10-31 | 2013-05-20 | Ricoh Opt Ind Co Ltd | Optical component |
JP2013190815A (en) * | 2013-05-27 | 2013-09-26 | Fujikura Ltd | Method for manufacturing light path converting optical connector |
CN108845391A (en) * | 2018-09-07 | 2018-11-20 | 苏州瑞霏光电科技有限公司 | Multi-fiber connector and its preparation process with anti-reflection nanostructure |
-
2003
- 2003-08-07 JP JP2003288548A patent/JP2005055796A/en not_active Withdrawn
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007279194A (en) * | 2006-04-04 | 2007-10-25 | Wired Japan:Kk | Fiber optic cable, optical transmission method, and spectroanalysis system |
JP2008028630A (en) * | 2006-07-20 | 2008-02-07 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Optical space communication unit |
JP2009128430A (en) * | 2007-11-20 | 2009-06-11 | Nitto Denko Corp | Optical waveguide device production method, optical waveguide device produced by the method, and optical waveguide connection structure to be used for the device |
JP4503064B2 (en) * | 2007-11-20 | 2010-07-14 | 日東電工株式会社 | Optical waveguide device manufacturing method, optical waveguide device obtained thereby, and optical waveguide connection structure used therefor |
US7906355B2 (en) | 2007-11-20 | 2011-03-15 | Nitto Denko Corporation | Optical waveguide device production method, optical waveguide device produced by the method, and optical waveguide connection structure to be used for the device |
JP2011059487A (en) * | 2009-09-11 | 2011-03-24 | Fujikura Ltd | Method of manufacturing optical path connector, and the optical path change optical connector |
US8805138B2 (en) | 2009-09-11 | 2014-08-12 | Fujikura Ltd. | Method of manufacturing optical path change optical connector, and optical path change connector |
JP2012047865A (en) * | 2010-08-25 | 2012-03-08 | Anritsu Corp | Optical waveguide structure |
JP2013097164A (en) * | 2011-10-31 | 2013-05-20 | Ricoh Opt Ind Co Ltd | Optical component |
JP2013190815A (en) * | 2013-05-27 | 2013-09-26 | Fujikura Ltd | Method for manufacturing light path converting optical connector |
CN108845391A (en) * | 2018-09-07 | 2018-11-20 | 苏州瑞霏光电科技有限公司 | Multi-fiber connector and its preparation process with anti-reflection nanostructure |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0953161B1 (en) | Reflective overcoat for replicated diffraction gratings | |
EP2090909B1 (en) | Wire grid polarizer and manufacturing method of the same | |
EP2016449B1 (en) | Method of manufacturing an optoelectronic component | |
JP4124102B2 (en) | Light emitting device having multiple antireflection structure and method of manufacturing | |
US20060127640A1 (en) | Glass substrate with fine hole and method for producing the same | |
EP1390784A1 (en) | Optical coupling arrangement | |
JP2005157119A (en) | Reflection preventing optical element and optical system using the same | |
JP6102696B2 (en) | LIGHT EMITTING DEVICE AND METHOD FOR PRODUCING OPTICAL COMPONENT USED FOR THE SAME | |
EP2481091A1 (en) | Method for producing a housing with a component in a hollow space, corresponding housing, method for producing a semi-finished product, and semi-finished product | |
JP2005055796A (en) | Optical connector provided with antireflection member and its forming method | |
AU2004314440B2 (en) | Method for making micro-lens array | |
US6181864B1 (en) | Optical fiber array module using soldering and fabrication method thereof | |
US5066090A (en) | Optical coupling element having a convex microlens and the method of manufacture | |
US20030112515A1 (en) | Diffractive optical element and method for producing the same | |
EP0266934A1 (en) | Method for makings an optical waveguide element | |
US20080061028A1 (en) | Method for producing optical member and method for producing molding die for optical member | |
CN109270601B (en) | Anti-reflection structure for integrated laser diode/photonic chip interface | |
CN113727827A (en) | Method for manufacturing plastic element having fine uneven structure on surface | |
JP2001318244A (en) | Method for forming film onto fiber end surface and optical fiber having film | |
JP2009128540A (en) | Method for manufacturing antireflection structure | |
KR20230113734A (en) | Optical elements containing metasurfaces | |
US6693312B2 (en) | Method for fabricating an optical transmitting subassembly | |
US20030038033A1 (en) | Process for fabricating high aspect ratio embossing tool and microstructures | |
JP2000121874A (en) | Optical fiber with ferrule and its manufacture | |
JP2001337232A (en) | Optical device manufacturing method and optical device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060412 |
|
A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20070706 |