JP2005040652A - Method and apparatus for applying liquid, curved body, method and apparatus for manufacturing contact lens, and contact lens - Google Patents
Method and apparatus for applying liquid, curved body, method and apparatus for manufacturing contact lens, and contact lens Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005040652A JP2005040652A JP2003199931A JP2003199931A JP2005040652A JP 2005040652 A JP2005040652 A JP 2005040652A JP 2003199931 A JP2003199931 A JP 2003199931A JP 2003199931 A JP2003199931 A JP 2003199931A JP 2005040652 A JP2005040652 A JP 2005040652A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid material
- discharge
- liquid
- curved body
- uniform
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
- Eyeglasses (AREA)
- Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
Abstract
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液状体の塗布方法、液状体の塗布装置、曲面体、コンタクトレンズの製造方法、コンタクトレンズの製造装置、及びコンタクトレンズに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
近年、基板上に金属配線や回路パターン等を形成する方法においては、インクジェット方式(液滴吐出法)が提案されている。インクジェット方式とは、いわゆるインクジェットプリンタでよく知られている印刷技術であり、各種材料を液状化させた材料インクの液滴を、インクジェットヘッド(吐出ヘッド)から透明基板上に吐出し、定着させるものである。インクジェット方式によれば、微細な領域に材料インクの液滴を正確に吐出できるので、フォトリソグラフィーを行うことなく、所望の着色領域に直接材料インクを定着させることができる。従って、材料の無駄も発生せず、製造コストの低減も図れ、非常に合理的な方法となる。
【0003】
最近では、このようなインクジェット方式を利用して、曲面形状物の表面に所定の材料を塗布することが検討されている(例えば、特許文献1、2参照)。このような曲面形状物の中でも、コンタクトレンズの表面に対して染色液を吐出する方法が提案されており、当該方法によれば所望の文字、図形、記号等を容易に染着することが可能となる(例えば、特許文献3参照)。
【0004】
【特許文献1】
特開2001−010032号公報
【特許文献2】
特開平05−318715号公報
【特許文献3】
特開平08−112566号公報
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、インクジェット方式は、ドット毎に着色液を吐出して規則的に着色液を着弾させることを特徴としているので、図19(a)に示すように吐出ヘッド20aがコンタクトレンズCLの真上から着色液を吐出することにより、当該コンタクトレンズCLにおける周辺部CL1の着弾間隔L1が中央部の着弾間隔L2よりも広がってしまい、周辺部CL1での着色液の密度が粗になるという問題がある。また、図19(b)に示すように球面形状の吐出面を有する吐出ヘッド20bがコンタクトレンズCLの球面に沿って着色液を吐出しながら、コンタクトレンズCLを回転させると、吐出始めの着弾位置と吐出終わりの着弾位置とによって繋ぎ目が生じ、接続が困難になり、中心付近のドット密度が高くなるという問題がある。
【0006】
また、更に、図19(a)に示す方法でコンタクトレンズに着色液を塗布した場合には、図19(c)に示すような正方格子状にドットが配列するために、図19(d)に示すような回折像が網膜上に形成される。実際には瞳孔部分の開口から入射した光を見ている、斜めから強い光を受けたときにはこの回折像が見えるという問題がある。更に、光の波長によって回折角が異なるために虹のようなものが見えることになり、高次の回折光は網膜中心部に入ってくるためにものが見難くなり、不快感を感じることがある。また、局所的に強いピークが現れるため目を痛めるという問題がある。
【0007】
一方、コンタクトレンズにおける問題だけでなく、眼鏡やカメラのレンズや、各種光学レンズ、球面ブラウン管、各種ランプや光センサの球面部、ガラス等の透明性部品における曲面部等、の曲面を有する対象物に対し、上記インクジェット方式を適用して着色液及びコーティング液等の透明液を塗布することにより、曲面上に略規則的な縞模様が現れるという問題があった。従って、インクジェット方式を用いた場合であっても、種種の縞模様の出現が抑制された膜質となるように曲面体に液状体を塗布する方法が求められていた。
【0008】
この発明は、このような事情を考慮してなされたもので、インクジェット方式を用いて着色液を吐出した場合に、液滴密度の疎密が偏ることがなく、ドット間隔がランダムな分布となる液状体の塗布方法、液状体の塗布装置、曲面体、コンタクトレンズの製造方法、コンタクトレンズの製造装置、及びコンタクトレンズを提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明は以下の手段を採用した。
即ち、本発明の液状体の塗布方法は、吐出ヘッドに設けられた液滴吐出手段を動作することによって、吐出ヘッド内の液状体を液滴化してノズルから吐出し、少なくとも曲面を有する曲面体に液状体を塗布する方法であって、液状体の吐出状態を不均一化して塗布することを特徴とする。
本発明によれば、液状体の吐出状態を不均一化することによって、当該液状体は無秩序的に曲面体に着弾する。また、従来の液滴吐出法のように格子状に規則的な吐出が行われないので液滴がランダムに配置される。また、吐出された液滴は、その着弾精度に誤差を有しており、このような液滴を複数吐出することで、誤差が拡散されて着弾する。従って、曲面体上に非格子状の所定のパターンを形成することが可能となり、液状体の疎密が偏ることなく、回折光の出現を防止できる。
【0010】
また、本発明は、先に記載の液状体の塗布方法であり、液滴吐出手段は、当該液滴吐出手段に供給される電圧波形に応じて動作し、当該電圧波形を変化させることにより、液状体の吐出状態を不均一化して塗布することを特徴とする。
本発明によれば、電圧波形を変化させることにより吐出状態が不均一化されるので、吐出ヘッドや曲面体を相対移動させることなく吐出状態を不均一化して液状体を塗布できる。
また、電圧波形を作成する際には、例えばコンピュータ等を備える演算装置を用いられるので、作業者が当該演算装置を用いることにより、任意の形状の電圧波形を作成することが可能となる。例えば、経時変化に伴う電圧値や周波数を任意に設定することができる。また、これだけでなく、液状体を充填する波形、液状体を吐出する波形、吐出後の振動を抑制する波形等、を所望且つ容易に作成できる。
【0011】
また、本発明は、先に記載の液状体の塗布方法であり、電圧波形の電圧値を変化させることにより、液状体の吐出状態を不均一化して塗布することを特徴とする。
ここでいう電圧値を変化させるとは、電圧値を高く設定、又は電圧値を低く設定することにより、電圧波形を変化させることを意味する。例えば、電圧値が低い場合には、液滴の吐出速度が遅くなるので、吐出された液滴がノズルと曲面体との間の空間を飛行することにより、空気抵抗によって飛行曲がりが生じ、液滴の着弾位置がずれる。また、電圧値が高い場合には、液滴の吐出速度が速くなるので、空気抵抗による飛行曲がりが生じにくく、着弾位置が殆どずれることなく着弾する。
従って、電圧値を変化させることにより、液滴の着弾位置のズレ具合を任意に決定することが可能となり、即ち、液滴の吐出状態を不均一化して塗布することが可能となる。
【0012】
また、本発明は、先に記載の液状体の塗布方法であり、電圧波形の周波数を変化させることにより、液状体の吐出状態を不均一化して塗布することを特徴とする。
ここでいう周波数を変化させるとは、周波数を高く設定、又は周波数を低く設定することにより、電圧波形を変化させることを意味する。例えば、周波数が低い場合には、前の波形の残留振動を拾うことなく液滴が吐出されるので、ノズルから吐出された液滴は安定して飛行し、着弾位置が殆どずれることなく着弾する。また、周波数が高い場合には、前の波形の残留振動を拾って液滴が吐出されるので、液滴は不安定な飛行状態となるだけでなく、大きさが異なる複数の液滴が生じ、これらが霧状に吐出され、空気抵抗によって拡散し、不規則に着弾する。
従って、周波数を変化させることにより、液滴が不安定もしくは安定に吐出されるので、即ち、液滴の吐出状態を不均一化して塗布することが可能となる。
【0013】
また、本発明は、先に記載の液状体の塗布方法であり、電圧波形は、液状体の吐出後における液滴吐出手段の振動を抑制する制振波形を有しており、当該制振波形を変化させることにより、液状体の吐出状態を不均一化して塗布することを特徴とする。
ここでいう制振波形を変化させるとは、当該制振波形が有する立ち上がり波形の立ち上がり形状を緩やかに調整、或いは急峻に調整することにより、電圧波形を変化させることを意味する。例えば、当該立ち上がり波形が緩やかな場合には、液状体の吐出後における液滴吐出手段の振動を抑制するので、ノズルから安定して液滴が吐出され、一つの電圧波形で一つの液滴が吐出される。また、立ち上がり波形を次第に急峻にした場合には、液状体の吐出後における液滴吐出手段の振動が残留してノズルから液滴が吐出されるので、吐出状態が不安定になり、一つの電圧波形で複数の液滴が吐出される。このように複数の液滴が生じた場合には、これらが霧状に曲面体上に散布するので、液滴の吐出状態を不均一化して塗布することが可能となる。
従って、制振波形を変化させることにより、液滴が不安定もしくは安定に吐出されるので、即ち、液滴の吐出状態を不均一化して塗布することが可能となる。
【0014】
また、本発明は、先に記載の液状体の塗布方法であり、吐出ヘッドは、複数のノズルと、当該ノズルに対応した複数の液滴吐出手段とを具備し、複数の液滴吐出手段毎に電圧波形を変化させることにより、ノズル毎に液状体の吐出状態を不均一化して塗布することを特徴とする。
本発明によれば、先に記載した液状体の塗布方法と同様の効果を奏すると共に、複数のノズル毎に吐出状態の不均一化を施すことができる。
【0015】
また、本発明は、先に記載の液状体の塗布方法であり、複数の液滴吐出手段に対して、当該液滴吐出手段の配置順に応じて規則変化させた複数の電圧波形をそれぞれ供給することにより、複数のノズルが配列する方向に向かって液状体の不均一性を連続的に変化させて塗布することを特徴とする。
本発明によれば、複数のノズルが配列する方向に向かって、液滴のズレ具合を次第に大きくすることが可能となる。
【0016】
また、本発明は、先に記載の液状体の塗布方法であり、曲面体の垂直方向における吐出ヘッドと曲面体との距離を変化させた状態で液状体を吐出することにより、液状体の吐出状態を不均一化して塗布することを特徴とする。
ここでいう距離を変化させた状態とは、曲面体と吐出ヘッドとのギャップを大きく設定、又はギャップを低く設定することを意味する。例えば、ギャップが小さい場合には、吐出された液滴が飛行する距離が短くなり、空気抵抗による飛行曲がりが生じにくく、着弾位置が殆どずれることなく着弾する。また、ギャップが大きい場合には、液滴が飛行する距離が長くなり、空気抵抗によって飛行曲がりが生じ、液滴の着弾位置がずれる。
従って、吐出ヘッドと曲面体との距離を変化させることにより、空気抵抗を利用して液滴の着弾位置のズレ具合を任意に決定することが可能となり、即ち、液滴の吐出状態を不均一化して塗布することが可能となる。
【0017】
また、本発明は、先に記載の液状体の塗布方法であり、曲面体の垂直方向における吐出ヘッドと曲面体との距離を変化させながら液状体を吐出することにより、液状体の吐出状態を不均一化して塗布することを特徴とする。
本発明によれば、先に記載した液状体の塗布方法と同様の効果を奏すると共に、距離を変化させながら液状体を吐出するので、吐出状態の不均一化を好適に施すことができる。
【0018】
また、本発明は、先に記載の液状体の塗布方法であり、曲面体の水平方向に吐出ヘッドと曲面体とを相対移動させた状態で液状体を吐出することにより、液状体の吐出状態を不均一化して塗布することを特徴とする。
本発明によれば、吐出ヘッドと曲面体とを相対移動させた後に、液状体を吐出することにより、上記の相対移動動作を行う毎に曲面体表面に液状体を不均一に吐出することができる。即ち、ノズルから吐出された液滴の着弾位置を任意にずらすことが可能となり、液滴の吐出状態を不均一化して塗布することが可能となる。
【0019】
また、本発明は、先に記載の液状体の塗布方法であり、曲面体の水平方向に吐出ヘッドと曲面体とを相対移動させながら液状体を吐出することにより、液状体の吐出状態を不均一化して塗布することを特徴とする。
本発明によれば、先に記載した液状体の塗布方法と同様の効果を奏すると共に、吐出ヘッドと曲面体とを相対移動させながら吐出することにより、ノズルから吐出された液滴の着弾位置を連続的にずらすことが可能となる。
また、吐出ヘッドから液滴を連続的に吐出している状態で、上記相対移動の速度を変化させることにより、着弾位置のズレの程度を調整することが可能となる。例えば、相対移動速度を速く設定した場合には液滴の着弾位置のズレ量が大きくなり、また、相対移動速度を遅く設定した場合には液滴の着弾位置のズレ量が小さくなる。即ち、吐出状態の不均一化を好適に施すことが可能となる。
【0020】
また、本発明は、先に記載の液状体の塗布方法であり、曲面体を垂直方向又は水平方向に振動させながら液状体を吐出することにより、液状体の吐出状態を不均一化して塗布することを特徴とする。
本発明によれば、曲面体を振動させながら液状体を吐出することにより、ノズルから吐出された液滴の着弾位置を任意にずらすことが可能となり、即ち、吐出状態の不均一化を好適に施すことが可能となる。
【0021】
また、本発明は、先に記載の液状体の塗布方法であり、曲面体の振動周期に対して、非同期させて液状体を連続的に吐出することを特徴とする。
本発明によれば、液状体の吐出動作と、振動動作とが非同期状態となるので、同期状態に起因する吐出ムラの発生等を防止することができ、ランダムに液状体を曲面体に塗布することができる。
【0022】
また、本発明の液状体の塗布装置は、液状体を液滴化して吐出する液滴吐出手段を備えた吐出ヘッドと、当該吐出ヘッドと少なくとも曲面を有する曲面体とを相対移動させる移動手段とを具備する液状体の塗布装置であって、液状体を不均一な吐出状態で塗布する不均一化手段を具備することを特徴とする。
本発明によれば、不均一化手段を具備することによって、当該液状体を無秩序的に曲面体に着弾させることができる。また、従来の液滴吐出法のように格子状に規則的な吐出を行わないので液滴をランダムに配置する。また、吐出された液滴は、その着弾精度に誤差を有しており、このような液滴を複数吐出することで、誤差が拡散されて着弾する。従って、曲面体上に非格子状の所定のパターンを形成することが可能となり、液状体の疎密が偏ることなく、回折光の出現を防止できる。
【0023】
また、本発明は、先に記載の液状体の塗布装置であり、不均一化手段は、液滴吐出手段に供給する電圧波形を変化させる構成を具備することを特徴とする。
本発明によれば、不均一手段が電圧波形を変化させることにより吐出状態が不均一化されるので、吐出ヘッドと曲面体とを相対移動させることなく吐出状態を不均一化して液状体を塗布できる。
また、当該塗布装置には、コンピュータからなる演算装置が設けられており、当該演算装置を用いて電圧波形を作成することで、任意の形状の電圧波形を作成することが可能となる。例えば、経時変化に伴う電圧値や周波数を任意に設定することができる。また、これだけでなく、液状体を充填する波形、液状体を吐出する波形、吐出後の振動を抑制する波形等、を所望且つ容易に作成できる。
更に、電圧波形の電圧値、周波数、制振波形を変化させた電圧波形を形成し、液滴吐出手段に供給することにより、液状体の吐出状態を不均一化して塗布することが可能となる。
【0024】
また、本発明は、先に記載の液状体の塗布装置であり、吐出ヘッドは、液滴吐出手段を複数具備し、不均一化手段は、複数の液滴吐出手段に供給する電圧波形をそれぞれ変化させる構成を具備することを特徴とする。
本発明によれば、先に記載した液状体の塗布装置と同様の効果を奏すると共に、複数のノズル毎に吐出状態を不均一化して塗布することができる。
【0025】
また、本発明は、先に記載の液状体の塗布装置であり、不均一化手段は曲面体の垂直方向における吐出ヘッドと曲面体との距離を変化させる構成を具備することを特徴とする。
本発明によれば、吐出ヘッドと曲面体との距離を変化させることにより、液滴の着弾位置のズレ具合を任意に決定することが可能となり、即ち、液滴の吐出状態を不均一化して塗布することが可能となる。
【0026】
また、本発明は、先に記載の液状体の塗布装置であり、不均一化手段は、曲面体の水平方向に吐出ヘッドと曲面体とを相対移動させる構成を具備することを特徴とする。
本発明によれば、吐出ヘッドと曲面体とを相対移動させながら吐出することにより、ノズルから吐出された液滴の着弾位置を任意にずらすことが可能となり、即ち、吐出状態の不均一化を好適に施すことが可能となる。
【0027】
また、本発明は、先に記載の液状体の塗布装置であり、不均一化手段は、曲面体の垂直方向又は水平方向に当該曲面体を振動させる構成を具備することを特徴とする。
本発明によれば、曲面体を振動させながら液状体を吐出することにより、ノズルから吐出された液滴の着弾位置を任意にずらすことが可能となり、即ち、吐出状態の不均一化を好適に施すことが可能となる。
【0028】
また、本発明の曲面体は、先に記載した液状体の塗布方法で製造された曲面体であって、液状体の吐出パターンにおけるドット間隔が不均一分布とされた構成を具備することを特徴とする。
ここで、曲面体の具体例としては、眼鏡やカメラのレンズや、各種光学レンズ、球面ブラウン管、各種ランプや光センサの球面部、ガラス等の透明性部品における曲面部等、が挙げられる。このような曲面体に対し、先に記載の液状体の塗布方法を適用して着色液や、コーティング液等の透明液を塗布することにより、液状体の吐出状態が不均一化されるので、縞模様の出現が抑制された膜質を曲面体上に形成することができる。
【0029】
また、本発明のコンタクトレンズの製造方法は、先に記載した液状体の塗布方法を用いることを特徴とする。
本発明によれば、コンタクトレンズ上に非格子状の所定のパターンを形成することが可能となり、液状体の疎密が偏ることなく、回折光の出現を防止できる。
【0030】
また、本発明のコンタクトレンズの製造装置は、先に記載した液状体の塗布装置を備えたことを特徴とする。
本発明によれば、先に記載したコンタクトレンズの製造方法と同様の効果を奏する。
【0031】
また、本発明のコンタクトレンズは、先に記載したコンタクトレンズの製造方法で製造されたコンタクトレンズであって、液状体の吐出パターンにおけるドット間隔が不均一分布とされた構成を具備することを特徴とする。
本発明によれば、コンタクトレンズ上に非格子状の所定のパターンを形成することが可能となり、液状体の疎密が偏ることなく、回折光の出現を防止できる。
【0032】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の液状体の塗布方法、液状体の塗布装置、曲面体、コンタクトレンズの製造方法、コンタクトレンズの製造装置、及びコンタクトレンズについて図面を参照しながら説明する。図1は本発明の液状体の塗布装置、及びコンタクトレンズの製造装置に相当する塗布装置の一実施形態を示す概略斜視図である。
【0033】
(塗布装置)
図1において、塗布装置(液状体の塗布装置、コンタクトレンズの製造装置)IJは、ベース12と、ベース12上でコンタクトレンズCLが複数載置された基板Pを支持するステージSTと、ベース12とステージSTとの間に介在し、ステージSTを移動可能に支持する第1移動装置14と、ステージSTに支持されている基板Pに対して所定の液状体材料を吐出可能な吐出ヘッド20と、吐出ヘッド20を移動可能に支持する第2移動装置16と、吐出ヘッド20から吐出される液状体が貯蔵されたタンク(液状体貯留部)63と、当該液状体を吐出ヘッド20に供給する液状体流路61と、吐出ヘッド20の液状体の吐出動作を制御する制御装置CONTと、ベース12上に設けられているキャッピングユニット22と、クリーニングユニット24と、を具備した構成となっている。また、第1移動装置14及び第2移動装置16を含む塗布装置IJの動作は、制御装置CONTによって制御される。
【0034】
第1移動装置14はベース12の上に設置されており、Y軸方向に沿って位置決めされている。第2移動装置16は、支柱16A、16Aを用いてベース12に対して立てて取り付けられており、ベース12の後部12Aにおいて取り付けられている。第2移動装置16のX軸方向は、第1移動装置14のY軸方向と直交する方向である。ここで、Y軸方向はベース12の前部12Bと後部12A方向に沿った方向である。これに対してX軸方向はベース12の左右方向に沿った方向であり、各々水平である。また、Z軸方向はX軸方向及びY軸方向に垂直な方向である。
【0035】
第1移動装置14は、例えばリニアモータによって構成され、ガイドレール40、40と、このガイドレール40に沿って移動可能に設けられているスライダー42とを備えている。このリニアモータ形式の第1移動装置14のスライダー42は、ガイドレール40に沿ってY軸方向に移動して位置決め可能である。
【0036】
また、スライダー42はZ軸回り(θZ)用のモータ44を備えている。このモータ44は、例えばダイレクトドライブモータであり、モータ44のロータはステージSTに固定されている。これにより、モータ44に通電することでロータとステージSTとは、θZ方向に沿って回転してステージSTをインデックス(回転割り出し)することができる。すなわち、第1移動装置14は、ステージSTをY軸方向及びθZ方向に移動可能である。
【0037】
ステージSTは基板Pを保持し、所定の位置に位置決めするものである。また、ステージSTは吸着保持装置50を有しており、吸着保持装置50が作動することによってステージSTの穴46Aを通して基板PをステージSTの上に吸着して保持する。
【0038】
第2移動装置16はリニアモータによって構成され、支柱16A、16Aに固定されたコラム16Bと、このコラム16Bに支持されているガイドレール62Aと、ガイドレール62Aに沿ってX軸方向に移動可能に支持されているスライダー60とを備えている。スライダー60はガイドレール62Aに沿ってX軸方向に移動して位置決め可能であり、吐出ヘッド20はスライダー60に取り付けられている。
【0039】
また、第2移動装置16は、吐出ヘッド20をX軸方向に移動させることで、吐出ヘッド20をクリーニングユニット24あるいはキャッピングユニット22の上部に選択的に位置決めさせることができる。つまり、デバイス製造作業の途中であっても、例えば吐出ヘッド20をクリーニングユニット24上に移動すれば、吐出ヘッド20のクリーニングを行うことができる。吐出ヘッド20をキャッピングユニット22の上に移動すれば、吐出ヘッド20の液状体吐出面20Pにキャッピングを施したり、液状体をキャビティ221に充填したり、吐出不良を回復させたりすることが可能となる。つまり、クリーニングユニット24、及びキャッピングユニット22は、ベース12上の後部12A側で、吐出ヘッド20の移動経路直下に、ステージSTと離間して配置されている。ステージSTに対する基板Pの搬入作業及び搬出作業はベース12の前部12B側で行われるため、これらクリーニングユニット24あるいはキャッピングユニット22により作業に支障を来すことはない。
【0040】
このように第1移動装置14及び第2移動装置16を駆動することにより、ステージに載置される基板Pと、吐出ヘッド20とを基板Pの平面と水平方向に相対移動可能になっている。ここで、第1移動装置14及び第2移動装置16を駆動させた状態で、吐出ヘッド20が液滴吐出動作を行うことにより、後述する吐出状態の不均一化を施すことが可能となっている。即ち、第1移動装置14及び第2移動装置16は、本願発明の不均一化手段としての機能を有している。
【0041】
吐出ヘッド20は、揺動位置決め装置としてのモータ62、64、66、68を有している。モータ62を作動すれば、吐出ヘッド20は、Z軸に沿って上下動して位置決め可能である。このZ軸はX軸とY軸に対して各々直交する方向(上下方向)である。モータ64を作動すると、吐出ヘッド20は、Y軸回りのβ方向に沿って揺動して位置決め可能である。モータ66を作動すると、吐出ヘッド20は、X軸回りのγ方向に揺動して位置決め可能である。モータ68を作動すると、吐出ヘッド20は、Z軸回りのα方向に揺動して位置決め可能である。
すなわち、第2移動装置16は、吐出ヘッド20をX軸方向及びZ軸方向に移動可能に支持するとともに、この吐出ヘッド20をθX方向(X軸回り)、θY方向(Y軸回り)、θZ方向(Z軸回り)に移動可能に支持する。
【0042】
このようにモータ62を駆動することにより、Z軸方向の基板Pと吐出ヘッド20との距離を変更可能になっている。ここで、モータ62を駆動させた状態で、吐出ヘッド20が液滴吐出動作を行うことにより、後述する吐出状態の不均一化を施すことが可能となっている。即ち、モータ62は、本願発明の不均一化手段としての機能を有している。
【0043】
このように、図1の吐出ヘッド20は、スライダー60において、Z軸方向に直線移動して位置決め可能で、α、β、γに沿って揺動して位置決め可能であり、吐出ヘッド20の液状体吐出面(ノズル形成面)20Pは、ステージST側の基板Pに対して正確に位置あるいは姿勢をコントロールすることができる。なお、吐出ヘッド20の液状体吐出面20Pには液状体を吐出する複数のノズルが設けられている。
【0044】
図2は吐出ヘッド20を示す分解斜視図である。
図2に示すように、吐出ヘッド20は、ノズル211が設けられたノズルプレート210及び振動板230が設けられた圧力室基板220を、筐体250に嵌め込んで構成されている。この吐出ヘッド20の主要部構造は、図3の斜視図一部断面図に示すように、圧力室基板220をノズルプレート210と振動板230で挟み込んだ構造を備える。ノズルプレート210は、圧力室基板220と貼り合わせられたときにキャビティ221に対応することとなる位置にノズル211が形成されている。圧力室基板220には、シリコン単結晶基板等をエッチングすることにより、各々が圧力室として機能可能にキャビティ221が複数設けられている。キャビティ221間は側壁(隔壁)222で分離されている。各キャビティ221は供給口224を介して共通の流路であるリザーバ223に繋がっている。振動板230は、例えば熱酸化膜等により構成される。振動板230には液状体タンク口231が設けられ、図1のタンク63から液状体流路61を通して任意の液状体を供給可能に構成されている。振動板230上のキャビティ221に相当する位置には、圧電体素子(液滴吐出手段)240が形成されている。圧電体素子240は、ピエゾ素子等の圧電性セラミックスの結晶を上部電極及び下部電極(図示せず)で挟んだ構造を備える。圧電体素子240は、制御装置CONTから供給される電圧波形に対応して体積変化を生ずることが可能に構成されている。
【0045】
このような吐出ヘッド20においては、制御装置CONTが電圧波形を吐出ヘッド20に供給することにより、液状体の吐出動作が行われるようになっている。液状体は吐出ヘッド20のキャビティ221に流入しており、電圧波形が供給された吐出ヘッド20では、その圧電体素子240がその上部電極と下部電極との間に加えられた電圧により体積変化を生ずる。この体積変化は振動板230を変形させ、キャビティ221の体積を変化させる。この結果、そのキャビティ221のノズル211から液状体の液滴が吐出される。液状体が吐出されたキャビティ221には吐出によって減った液状体が新たにタンクから供給される。
【0046】
次に、図4を参照して、圧電体素子240への電圧波形の印加に伴う液状体の吐出状態について説明する。
図4に示すように、制御装置CONTから圧電体素子240に電圧波形VWが印加されることで、この電圧波形VWの印加電圧(電圧値)Vhの大きさに応じた変形量で矢印P方向に伸縮し、キャビティ221内を加圧して所定量の液滴をノズル211から吐出させるようになっている。即ち、入力された電圧波形VWに応じた吐出量で液状体が吐出される。電圧波形VWは、キャビティ221に液状体を充填するための充填波形(a)と、当該充填された液状体を吐出するための吐出波形(b)と、当該吐出に伴うキャビティ221内の振動を抑制するための制振波形(c)とからなる。このような電圧波形VWの形状は、制御装置CONTにおいて、任意に作成されるようになっている。例えば、電圧値Vhの大小や、電圧波形VWの周波数の高低や、制振波形の立ち上がり形状等が任意に作成される。
また、図2及び図3に示すように圧電体素子240及びノズル211は、それぞれ複数設けられているので、各圧電体素子240に対して異なる電圧波形を供給することにより、各ノズルから異なる吐出量や吐出速度で液状体を吐出可能となっている。
【0047】
次に、図5及び図6を参照して、複数のノズル211からそれぞれ液状体を吐出するための駆動回路について説明する。
図5は、吐出ヘッド20の吐出動作を行うための吐出駆動部の構成を説明する回路図である。図6は、吐出駆動部で生成される波形番号とこれに対応する電圧波形VWとの関係を示すグラフであって、横軸が波形番号、縦軸が圧電体素子240に加える電圧波形VWを示している。
【0048】
図5に示す吐出駆動部400は、制御装置CONTと吐出ヘッド20との間に設けられた回路であり、制御装置CONTに応じて吐出ヘッド20を駆動するようになっている。当該吐出駆動部400においては、上記の圧電体素子240それぞれに送出する電圧波形VWを生成する電圧波形生成手段401と、当該電圧波形生成手段401が生成する電圧波形VWの種類を設定する波形設定手段402と、各圧電体素子240それぞれに対応して設けられ、これら圧電体素子240に向かう電圧波形VW信号を許可、または遮断するスイッチ403と、各圧電体素子240に供給する電圧波形VWの種類を選択する波形選択手段404とを備えて構成されている。ここで、波形選択手段404は、本願発明の不均一化手段として機能するものである。また、電圧波形生成手段401、波形設定手段402、各スイッチ403及び波形選択手段404は、それぞれの機能を果たす電気回路を示している。
【0049】
波形選択手段404は、各スイッチ403のON/OFFを切り替えることにより、それぞれの圧電体素子240に与えられる電圧波形VWの種類(波形形状)を選択するものであり、各スイッチ403それぞれとの間を結ぶように配線接続されている。そして、波形選択手段404が、図6に示す波形番号の電圧波形VWを選択することにより、任意に選択された波形番号の電圧波形VWを選択して各圧電体素子240に供給することができるようになっている。
【0050】
一方、電圧波形生成手段401は、波形設定手段402により設定された、波形番号1〜8に対応した波形形状の電圧波形VWを生成し、各スイッチ403に送出するようになっている。本実施形態においては、波形番号1〜8はその番号が増加するに従って印加電圧Vhが大きく設定されており、波形番号1は最小の印加電圧Vh1、波形番号8は最大の印加電圧Vh8に設定されている。そして、波形選択手段404によって開かれた(ON状態にされた)スイッチ403のみから、当該スイッチ403対応する圧電体素子240に向かって電圧波形VWが送出されていく。そして、電圧波形VWを受けた圧電体素子240では、その波形形状に応じた吐出状態で液滴を吐出していく。なお、その他のスイッチ403は閉じられたまま(OFF)である。
例えば、波形番号1の波形を圧電体素子240に供給する場合には、電圧波形生成手段401が波形番号1をスイッチ403に送出した際に波形選択手段404が当該スイッチ403をON状態にすることで、最小の印加電圧Vh1の波形が圧電体素子240に供給される。また、波形番号8の波形を圧電体素子240に供給する場合には、電圧波形生成手段401が波形番号8をスイッチ403に送出した際に波形選択手段404が当該スイッチ403をON状態にすることで、最大の印加電圧Vh8の波形が圧電体素子240に供給される。
【0051】
このような吐出駆動部400は、制御装置CONTによってその動作が制御されるようになっている。また、波形設定手段402に設定される電圧波形VWの形状は、制御装置CONTを用いることにより作業者が容易に設定可能であることから、吐出状態が不均一になるように作業者が設定可能となっている。例えば、上記の印加電圧Vhを変化させた複数の電圧波形VWだけでなく、周波数を変化させた複数の電圧波形や、制振波形の立ち上がり形状を変化させた複数の電圧波形を波形設定手段402に設定することが可能である。即ち、制御装置CONTは、本願発明の不均一化手段としての機能を有している。
【0052】
なお、上記吐出ヘッドは圧電体素子に体積変化を生じさせて液状体を吐出させる構成であったが、発熱体により液状体に熱を加えその膨張によって液滴を吐出させるようなヘッド構成であってもよい。また、静電気によって振動板を変形させることにより体積変化を生じさせて液滴を吐出させるようなヘッド構成であってもよい。
【0053】
また、上述の吐出ヘッド20から吐出される液状体としては、着色材料を含有する着色インクが用いられる。また、必ずしも有色インクを用いる必要はなく、例えば、UVカット機能を有するコンタクトレンズを製造する場合には、紫外光除去特性を有する材料等を液状化して用いてもよい。また、ハードコーティング等の各種表面処理を施すための機能液を用いてもよい。
【0054】
図7は、基板Pに載置されたコンタクトレンズCLを示す斜視図である。
図7に示すように基板P上には複数のコンタクトレンズCLが固定されており、基板Pを塗布装置IJから取り外すことなく複数のコンタクトレンズCLに対して液状体を塗布できるようになっている。
本実施形態のコンタクトレンズCLは、本発明の曲面体に相当するものである。以下には、コンタクトレンズCLについて説明するが、眼鏡やカメラのレンズや、各種光学レンズ、球面ブラウン管、各種ランプや光センサの球面部、ガラス等の透明性部品における曲面部等、の曲面を有する対象物を基板Pに載置、固定してもよい。なお、このような曲面体は、必ずしも基板Pに固定する必要はなく、曲面体の種類によっては、当該曲面体を直接的に塗布装置IJのステージに固定してもよい。
【0055】
次に、図1に戻り、塗布装置IJの他の構成について説明する。
キャッピングユニット22は、吐出ヘッド20の液状体吐出面(ノズル形成面)20Pが乾燥しないようにするために、デバイスを製造しない待機時に当該液状体吐出面20Pにキャップをかぶせるものである。
クリーニングユニット24は、本発明のクリーニング装置を意味するものである。後述するように、吐出ヘッド20のノズル211が形成されたノズル形成面等のクリーニングをデバイス製造工程中や待機時に定期的にあるいは随時に行うようになっている。
【0056】
なお、図1では図示を省略しているが、実際には基板Pは、図8に示すように、ステージSTに振動付与部(不均一化手段)131〜133を介して載置された矩形のホルダ130上に保持される。振動付与部131〜133は、ピエゾ素子からなるものであり、制御装置CONT(図9参照)の制御下でインク吐出方向であるZ方向にそれぞれ独立して伸縮する構成になっており、図9に示すように、振動付与部131はホルダ130の下方(−Z側)で、且つ+Y側の端縁中央部に配置されている。また、振動付与部132、133は、ホルダ130の下方で、且つ−Y側の端縁両側に互いに間隔をあけて配置されている。
【0057】
また、ホルダ130の側面には、支持台139(図8参照;図8では振動付与部134、135のみ図示)を介してステージSTに支持された振動付与部134〜135、及び136〜138が当接状態で設けられている。振動付与部134〜135は、ホルダ130を挟んだX方向両側の中央部にそれぞれ配置され、制御装置CONTの制御下で、基板Pの表面に沿う方向であるX方向にそれぞれ独立して伸縮する構成になっている。
【0058】
振動付与部136は、ホルダ130の−Y側の中央部に配置され、振動付与部137、138は、ホルダ130の+Y側に互いに間隔をあけて配置されている。これら振動付与部134〜138は、制御装置CONTの制御下で、基板Pの表面に沿う方向であるY方向にそれぞれ独立して伸縮する構成になっている。
【0059】
このように構成された塗布装置IJにおいては、不均一化手段を具備することによって、液状体を無秩序的にコンタクトレンズCLに着弾させることが可能となる。また、従来の液滴吐出法のように格子状に規則的な吐出を行わないので液滴をランダムに配置できる。また、吐出された液滴は、その着弾精度に誤差を有しており、このような液滴を複数吐出することで、誤差を拡散して着弾させることができる。従って、コンタクトレンズ上に非格子状の所定のパターンを形成することが可能となり、液状体の疎密が偏ることなく、回折光の出現を防止できる。
【0060】
(液状体の塗布方法)
次に、上記の塗布装置IJを用いて、液状体の吐出状態を不均一化させて塗布する方法について説明する。まず、図10〜図12を参照し、電圧波形VWを変化させることにより、液状体の吐出状態の不均一化を施す方法について説明する。
【0061】
(1) 印加電圧を変化させて塗布する方法
図10は、電圧波形VWの印加電圧(電圧値Vh)の変化と吐出速度との関係を説明するための図である。
先に記載したように、吐出ヘッド20においては電圧波形VWに応じた吐出が行われるが、ここで、図10に示すように電圧波形VWの印加電圧Vhの値によって液滴の吐出速度velが決まるようになっている。例えば、印加電圧Vhを低く設定した場合には吐出速度velが遅くなり、また、印加電圧Vhを高く設定した場合には吐出速度velが速くなる。ここで、吐出速度velが遅い場合には、吐出された液滴がノズル211とコンタクトレンズCLとの間の空間を飛行することによる空気抵抗によって飛行曲がりが生じ、液滴の着弾位置がずれる。また、吐出速度velが速い場合には、空気抵抗による飛行曲がりが生じにくく、着弾位置が殆どずれることなく着弾する。このように印加電圧Vhを変化させて吐出速度velの遅速を生じさせることにより、液滴の着弾位置のズレ具合を任意に決定することが可能となり、即ち、液滴の吐出状態を不均一化して塗布することが可能となる。
【0062】
(2) 周波数を変化させて塗布する方法
図11は、電圧波形VWの周波数の変化と吐出状態との関係を説明するための図であって、1パルスの電圧波形VWの供給によってノズル211から吐出された液状体の吐出状態を示すものである。図11(a)は低周波数の電圧波形VWによる吐出状態を示す図、図11(b)は高周波数の電圧波形VWによる吐出状態を示す図、図11(c)及び図11(d)は高周波数の電圧波形VWによる吐出状態を示したノズル近傍の側面図である。
図11(a)に示すように、低周波数の電圧波形VWによって液状体を吐出する場合においては、前の波形の残留振動を拾うことなく液滴が吐出されるので、ノズル211から吐出された液滴は安定して飛行し、飛行曲がりが生じにくく、着弾位置が殆どずれることなく基板P上に着弾する。即ち、液滴吐出回数が乱れることなく、安定した吐出状態となり、1パルス毎に1滴の液状体を吐出することが可能となる。なお、ここでいう低周波数とは、およそ20kHz以下の周波数を意味している。
また、図11(b)に示すように、高周波数の電圧波形VWによって液状体を吐出する場合においては、前の波形の残留振動を拾って液滴が吐出されるので、液滴は不安定な飛行状態となり、飛行曲がりが生じるだけでなく、液滴の着弾位置がずれる。即ち、液滴吐出回数が乱れて、吐出状態が不安定になり、1パルス毎に大きさが異なる複数の液滴を吐出することが可能となる。なお、ここでいう高周波数とは、好適に液滴吐出状態が乱れる周波数を意味しており、その数は液状体の粘性によって異なるが、およそ30〜40kHzの周波数であれば十分に不安定な吐出を行うことが可能となる。
【0063】
次に、上記の高周波数の電圧波形VWによる吐出状態について図11(c)及び図11(d)を参照して説明する。
図11(c)に示すように、高周波数の電圧波形VWで液状体を吐出すると、第1の液滴L1がノズル211から最初に吐出されると、吐出ヘッド20における圧電体素子240の残留振動によって第2の液滴L2が吐出される。更に、これら液滴L1、L2は、基板Pに着弾するまでの飛行中に表面張力が生じて、球状になる。第2の液滴L2は更に複数に分裂することがあり、液滴L2、L2’として飛行する場合もある。このように高周波数の電圧波形VWで液状体を吐出することにより、大きさが異なる複数の液滴を基板P上に着弾させることができる。
なお、更に吐出状態が不安定になると、図11(d)に示すように、第2の液滴L2がバラバラに分裂する場合もある。この場合は、表面張力によって球形化して、あたかも霧状に噴霧された状態で基板P上に着弾させることができる。
【0064】
従って、電圧波形VWの周波数を低周波又は高周波に変化させることにより、液滴が安定もしくは不安定に吐出されるので、即ち、液滴の吐出状態を不均一化して塗布することが可能となる。
【0065】
(3) 制振波形を変化させて塗布する方法
図12は、図4の制振波形(C)の立ち上がり形状と吐出状態との関係を説明するための図である。
当該方法は、図12に示すように電圧波形VWにおける制振波形の立ち上がり角度を緩やかに調整、或いは急峻に調整して液状体を吐出する方法である。例えば、立ち上がり角度が緩やかな場合には、液状体の吐出後における圧電体素子240の振動を抑制するので、一つの電圧波形で一つの液滴が吐出され、安定した吐出状態でノズルから液滴を吐出することが可能となる。また、立ち上がり角度を次第に急峻にした場合には、液状体の吐出後における圧電体素子240の振動が残留してノズル211から液滴が吐出されるので、図11(c)又は図11(d)に示したように吐出状態を不安定にして吐出することが可能となる。
従って、制振波形を変化させることにより、高周波数で液状体を吐出することなく、液滴を不安定もしくは安定に吐出できるので、即ち、液滴の吐出状態を不均一化して塗布することが可能となる。
【0066】
(4) 吐出ヘッドとコンタクトレンズとを水平方向に相対移動させて塗布する方法
図13は、塗布装置IJの要部を示す断面図である。なお、同図において、紙面の左右方向をX軸、紙面に対して垂直方向をY軸として説明する。
図13に示すように、基板PをステージST上に載置して吐出ヘッド20に対向配置させた状態で、第1移動装置14がステージSTをY軸方向に、第2移動装置16が吐出ヘッドをX軸方向に、それぞれ移動させる。そして、先に説明した液滴吐出動作を行うことで、X軸及びY軸方向への移動動作を行う毎に基板P上に液状体を不均一に吐出することができる。即ち、ノズル211から吐出された液滴の着弾位置を任意にずらすことが可能となり、液滴の吐出状態を不均一化して塗布することが可能となる。
なお、上述の方法では、第1移動装置14及び第2移動装置16の移動動作と液滴吐出動作を別々に行っているが、当該移動動作と液滴吐出動作とを同時に行ってもよい。この場合、ノズル211から吐出された液滴の着弾位置を連続的にずらすことが可能となる。更に、液滴吐出動作を連続的に行っている状態で、上記相対移動の速度を変化させることにより、着弾位置のズレの程度を調整することが可能となる。例えば、相対移動速度を速く設定した場合には液滴の着弾位置のズレ量が大きくなり、また、相対移動速度を遅く設定した場合には液滴の着弾位置のズレ量が小さくなる。即ち、吐出状態の不均一化を好適に施すことが可能となる。
また、上述の方法では、第1移動装置14又は第2移動装置16の両者を駆動させているが、当該移動装置のいずれか一方を駆動することにより、吐出状態の不均一化を達成することが可能である。
また、上述の方法では、基板Pの相対移動の周期に対して、非同期させて液状体を連続的に吐出することが好ましい。即ち、液状体の吐出動作と相対移動動作とが非同期状態となることで、同期状態に起因する吐出ムラの発生等を防止することができ、液状体をコンタクトレンズにランダムに塗布できる。
【0067】
(5) 吐出ヘッドとコンタクトレンズとを垂直方向に移動させて塗布する方法
図14は、塗布装置IJの要部を示す断面図である。なお、同図において、紙面の上下方向をZ軸として説明する。
図14に示すように、基板PをステージST上に載置して吐出ヘッド20に対向配置させた状態で、モータ62が吐出ヘッド20をZ軸方向に移動させる。即ち、基板Pと吐出ヘッド20とのギャップ(距離)を変位させる。ここで、例えば、ギャップが小さく設定されている場合には、先に説明した液滴吐出動作を行うと、吐出された液滴が飛行する距離が短いので、空気抵抗による飛行曲がりが生じにくく、着弾位置が殆どずれることなく着弾する。また、ギャップが小さく設定されている場合には、液滴が飛行する距離が長いので、空気抵抗によって飛行曲がりが生じ、液滴の着弾位置がずれる。即ち、空気抵抗を利用して、ノズル211から吐出された液滴の着弾位置を任意にずらすことが可能となり、液滴の吐出状態を不均一化して塗布することが可能となる。
なお、上述の方法では、モータ62の移動動作と、液滴吐出動作を別々に行っているが、当該移動動作と液滴吐出動作とを同時に行ってもよい。この場合、距離を変化させながら液状体を吐出するので、吐出状態の不均一化を好適に施すことができる。
また、上述の方法では、基板Pの相対移動の周期に対して、非同期させて液状体を連続的に吐出することが好ましい。即ち、液状体の吐出動作と相対移動動作とが非同期状態となることで、同期状態に起因する吐出ムラの発生等を防止することができ、液状体をコンタクトレンズにランダムに塗布できる。
【0068】
(6) 基板を振動させながら塗布する方法
まず、図8及び図9を参照し、塗布装置IJの振動付与部131〜138を駆動させることによって基板Pへの振動付与に関して説明する。
各振動付与部131〜138は、制御装置CONTから所定の周波数、駆動波形で駆動電圧を印加されると、この駆動電圧に応じた周期、ストロークで伸縮し、当接するホルダ130を介して基板Pにこの伸縮を伝達する。換言すると、振動付与部131〜138は駆動電圧に応じた周波数、振幅の振動を基板Pに付与することになる。
【0069】
例えば、振動付与部131〜133を同一の駆動電圧(以下、周波数、振幅、位相等の振動パラメータと称する)で駆動した場合には、基板PにZ軸方向の振動を付与することができ、振動付与部132、133を同一の振動パラメータで駆動し、振動付与部131をこれとは異なる振動パラメータで駆動した場合には基板Pに、X軸と平行な軸周りの回転方向の振動を付与することができる。更に、これら振動付与部131〜133の振動パラメータを調整することで、基板PにY軸と平行な軸周りの回転方向の振動を付与することができる。
【0070】
また、位相をずらせた振動パラメータで振動付与部134、135を駆動した場合には、基板PにX軸方向の振動を付与することができ、振動付与部137、138を同一の振動パラメータで駆動し、振動付与部136をこれと位相をずらせた振動パラメータで駆動した場合には基板PにY方向の振動を付与することができる。更に、これら振動付与部136〜138の振動パラメータを調整することで、基板PにZ軸と平行な軸周りの回転方向の振動を付与することができる。
【0071】
即ち、振動付与部131〜138の振動パラメータを制御することで、基板Pに対して、X軸方向、Y軸方向、Z軸方向、X軸周りの回転方向、Y軸周りの回転方向、Z軸周りの回転方向の6自由度で振動を付与することが可能である。
【0072】
このように振動付与部131〜138によって基板Pを振動させた状態で、先に記載した液滴吐出動作を行うことにより、ノズル211から吐出された液滴の着弾位置を任意にずらすことが可能となり、液滴の吐出状態を不均一化して塗布することが可能となる。
また、上述の方法では、基板Pの振動周期に対して、非同期させて液状体を連続的に吐出することが好ましい。即ち、液状体の吐出動作と相対移動動作とが非同期状態となることで、同期状態に起因する吐出ムラの発生等を防止することができ、液状体をコンタクトレンズにランダムに塗布できる。
【0073】
(7) 液状体の不均一性を変化させて塗布する方法
(7−1) ノズル毎に電圧波形を変化させて液状体を吐出する方法
図15は、複数のノズル毎に電圧波形を変化させて液状体を吐出することで、当該液状体の不均一性を変化させて塗布する方法を説明するための図である。図15(a)は、塗布装置IJの要部を示す断面図であって、ノズル211a〜211fから吐出された液滴がコンタクトレンズCLに着弾するまでの吐出状態を示した図である。図15(b)及び図15(c)は、ノズル211a〜211fの配列方向とコンタクトレンズCLに着弾した液状体の不均一性とを比較したグラフである。なお、同図において、紙面の左右方向をX軸、紙面に対して垂直方向をY軸として説明する。
【0074】
図15(a)に示すように、吐出ヘッド20には上述の図5に示した吐出駆動部400が接続されており、ノズル211a〜211f毎に設けられた圧電体素子240に対して任意に選択された電圧波形VWが供給されるようになっている。即ち、ノズル211a〜211f毎に電圧波形VWを変えることによって各ノズルから吐出する液状体の不均一性を変えることが可能となる。例えば、図15(a)において、ノズル211aの吐出状態が最も均一となるように、また、ノズル211fの吐出状態が最も不均一となるように、また、他のノズル211b〜211eにおいては、隣接するノズルの吐出状態が連続した不均一性を有するように吐出する。即ち、ノズル211aからノズル211fに向かって吐出状態が次第に不均になるように吐出する。すると、図15(b)に示すように、ノズル211a〜211fの配列方向に向けて、液状体の不均一化を連続的に変化させて着弾させることが可能となる。
また、吐出ヘッド20をY軸方向に移動させながら、上記の不均一吐出をすることによって、液状体を連続的に不均一化させた不均一領域をコンタクトレンズCL上に形成することが可能となる。
【0075】
次に、図15(c)を参照して、上記のノズル211a〜211fのうち、ノズル211a〜211cが液状体を精密に吐出し、ノズル211d〜211fが連続的な不均一性で液状体を吐出する場合について説明する。
ここでいう液状体を精密に吐出するとは、従来の液滴吐出法、即ち所定の位置に所定量の液滴を吐出すること、又は、着弾位置の不均一化を行わずに吐出することを意味する。また、ノズル211a〜211cは本発明の第2のノズル群に相当し、ノズル211d〜211fは本発明の第1のノズル群に相当する。
このようにノズル211a〜211cが液状体を精密に吐出し、ノズル211d〜211fが液状体を不均一に吐出することにより、ノズル211a〜211fの配列方向に向けて、液状体の不均一化と均一化とを施しつつ着弾させることが可能となる。
また、吐出ヘッド20をY軸方向に移動させながら、上記の不均一吐出と、精密吐出とを行うことによって、液状体の不均一領域と、均一領域とをコンタクトレンズCL上に連続して形成することが可能となる。
【0076】
(7−2) 基板Pを移動させながら液状体を吐出する方法
図16は、基板Pを移動させながら液状体を吐出することで、当該液状体の不均一性を変化させてコンタクトレンズCL上に塗布する方法を説明するための図である。図16(a)は塗布装置IJの要部を示す断面図であって、第1移動装置14を駆動させながら吐出ヘッド20から吐出された液滴がコンタクトレンズCLに着弾するまでの吐出状態を示した図である。図16(b)及び図16(c)は、基板Pの移動方向と当該コンタクトレンズCLに着弾した液状体の不均一性とを比較したグラフである。なお、同図において、紙面の左右方向をY軸、紙面に対して垂直方向をX軸として説明する。
【0077】
まず、図16(a)に示すように、第1移動装置14を駆動させることにより、コンタクトレンズCLの左端P1の上方に吐出ヘッド20を配置させる。
次に、第1移動装置14が符号DRに示す方向に基板Pを移動させながら、吐出ヘッド20が液状体を吐出する。ここで、左端P1においては精密な吐出を行い、右端P2の上方に吐出ヘッド20が近づくに連れて不均一な吐出を行うようにする。そして、右端P2の上方では最も不均一に吐出する。すると、図16(b)に示すように、コンタクトレンズCLの移動方向に向けて、液状体の不均一化を連続的に変化させて着弾させることが可能となる。
【0078】
次に、図16(c)を参照して、基板Pを移動させながら液状体を均一に吐出する均一吐出工程と、当該液状体を不均一に吐出する不均一吐出工程とを連続的に切り替える場合について説明する。
図16(c)に示すように、吐出ヘッド20が左端P1の上方から右端P2の上方まで移動するまでの間に、液状体を均一(精密)に吐出する均一吐出工程と、次第に不均一性を高めて吐出する第1の不均一吐出工程と、一定の不均一性で吐出する第2の不均一吐出工程とを行う。従って、不均一性連続的に高くなるように液状体をコンタクトレンズCL上に着弾させることが可能となる。換言すれば、コンタクトレンズCL上に不均一な吐出状態で塗布された不均一領域と、均一な吐出状態で塗布された均一領域とを連続して形成することが可能となる。
【0079】
上述の(1)〜(7)に記載した液状体の塗布方法においては、液状体の吐出状態を不均一化することによって、当該液状体を無秩序的に基板に着弾させることが可能となる。また、従来の液滴吐出法のように格子状に規則的な吐出が行われないので液滴がランダムに配置させることが可能となる。また、吐出された液滴は、その着弾精度に誤差を有しており、このような液滴を複数吐出することで、当該誤差を拡散して着弾させることが可能となる。従って、コンタクトレンズCL上に非格子状の所定のパターンを形成することが可能となり、液状体の疎密が偏ることなく、回折光の出現を防止できる。
【0080】
(塗布装置の別の形態)
次に、塗布装置の別の形態について説明する。
先に記載した塗布装置IJにおいては、図5に示したように波形選択手段404が本願発明の不均一化手段として機能するものであるが、ここでは、当該波形選択手段404に乱数発生手段を設け、当該乱数の発生により液状体の吐出状態を不均一にするようにしている。
【0081】
即ち、図17に示すように、乱数発生手段404aは、波形選択手段404に対して乱数を送出するようになっており、波形選択手段404は当該乱数に応じたランダムな種類の電圧波形VWを選択し、スイッチ403を開く(ON状態)ようになっている。
【0082】
乱数発生手段404aは、正数をnとした場合にnビット(本実施例では、例えばn=3の3ビット)の数字を発生させるnビットカウンタ(本実施例では3ビットカウンタ404a1)と、該nビットカウンタからの前記数字を参照して前記乱数を波形選択手段404に送出する乱数送出部404a2とを備えて構成されている。
ここで、乱数発生手段404aによる乱数番号と、これに対応して波形設定手段402により設定される電圧波形VWの例について説明すると、3ビットカウンタ404a1によって生成される1〜8の数字それぞれに対し、図6に示す波形番号1から波形番号8を選択し、波形選択手段404に送出するようになっている。
【0083】
このように乱数発生手段404aを備えた吐出駆動部400の動作について説明すると、まず、3ビットカウンタ404a1で生成される数字を、乱数送出部404a2が参照し、乱数番号1〜8の何れかを次々と波形選択手段404に送出していく。波形選択手段404は、吐出動作を行うべきノズル211に備えられた圧電体素子240を駆動すべく、これに対応したスイッチ403を選んでONとする(開く)とともに、乱数発生手段404aからの乱数番号を送出する。
なお、その他のスイッチ403は閉じられたまま(OFF)である。
【0084】
一方、電圧波形生成手段401は、波形設定手段402により設定された、乱数番号1〜8に対応した波形形状の電圧波形VWを生成し、各スイッチ403に送出していく。そして、これらスイッチ403のうち、波形選択手段404によって開かれたもののみから、対応する圧電体素子240に向かって電圧波形VWが送出されていく。そして、電圧波形VWを受けた圧電体素子240では、その電圧波形VWに応じた吐出状態で、液滴を吐出していく。
このように乱数発生手段404aを具備する塗布装置IJにおいても、先に記載した効果を得ることができる。
【0085】
(コンタクトレンズ)
次に、図18を参照して、上述の製造方法により形成されたコンタクトレンズについて説明する。
図18(a)は、コンタクトレンズの側面図であって、先に記載した製造方法により吐出ヘッド20から吐出された液状体がコンタクトレンズCL上に着弾した状態を示す図である。図18(a)に示すように、本実施形態の製造方法によってコンタクトレンズCL上にドット間隔が不均一な液状体を着弾させることができる。
図18(b)は、吐出ヘッド20に設けられたノズルのピッチと、当該ノズルから吐出される液状体の吐出頻度である。図18(b)に示すように、コンタクトレンズCL上にランダムに液状体を吐出することができる。
図18(c)は、コンタクトレンズの平面図であって、先に記載した製造方法により不規則なパターンが塗布された状態を示す図である。このパターンはドット間の距離が正規分布等のような上に凸の関数になるように配置したものである。このパターンでは、回折格子のピッチが一定でないためあらゆる位置に回折像が現れて、図18(d)に示すようにブロードな分布になる。このためR(赤色)、G(緑色)、B(青色)の色ズレも認識しにくくなり、強いピークで目を痛める心配もない。
【0086】
次に、図18(c)に示すパターンの形成方法について具体例を説明する。
当該パターンを形成するにあたり、ノズル間隔50μm、着弾径が25μm、ステージSTをx方向に±12μmで振動させている。また、振動の周期と吐出周波数変調と同期しないようにするために、吐出周波数の平均を僅かにずらしている。y方向の着弾位置も50μmになるように吐出周波数とステージ移動速度を調整している。ただし、ステージ送り速度も±10%程度の変調をかけている。更に、吐出駆動部400により吐出動作を時間的にずらしている。なお、液状体の吐出に用いた電圧波形VWの一つは、20μ秒で10kHzであるので、1周期に100μ秒の中に4個の電圧波形VWを登録している。これによって吐出タイミングを25μ秒単位でずらしている。
このような方法によって、上記のようなランダムなパターンをコンタクトレンズCLに塗布することが可能となった。なお、回転方式で塗布する場合の継ぎ目や描画領域のエッジ部分等は変調を止めて正確に描画してもよい。
【0087】
なお、本実施形態においては、先に記載した製造方法により、コンタクトレンズを製造する方法について詳述したが、本発明はコンタクトレンズに限らず、眼鏡やカメラのレンズや、各種光学レンズ、球面ブラウン管、各種ランプや光センサの球面部、ガラス等の透明性部品における曲面部等、に対しても適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の塗布装置の一実施形態を示す概略斜視図。
【図2】吐出ヘッドの分解斜視図。
【図3】吐出ヘッドの主要部の斜視図。
【図4】圧電体素子へ供給される電圧波形と液状体の吐出状態を示す説明図。
【図5】吐出駆動部を説明するための回路図。
【図6】吐出駆動部で生成される波形番号に対応する電圧波形を示すグラフ。
【図7】コンタクトレンズを載置する基板を示す斜視図。
【図8】ステージに設置された振動付与部を示す断面図。
【図9】ステージに設置された振動付与部を示す平面図。
【図10】印加電圧の変化と吐出速度との関係を説明するための図。
【図11】周波数の変化と吐出状態との関係を説明するための図。
【図12】制振波形と吐出状態との関係を説明するための図。
【図13】塗布装置IJの要部を示す断面図。
【図14】塗布装置IJの要部を示す断面図。
【図15】液状体の不均一性を変化させて塗布する方法を説明するための図。
【図16】液状体の不均一性を変化させて塗布する方法を説明するための図。
【図17】別の吐出駆動部を説明するための回路図。
【図18】塗布装置を用いて製造されるコンタクトレンズを示す図。
【図19】従来の問題点を説明するための図。
【符号の説明】
14…第1移動装置(移動手段、不均一化手段)、16…第2移動装置(移動手段、不均一化手段)、20…吐出ヘッド、62…モータ(移動手段、不均一化手段)、131〜138…振動付与部(不均一化手段)、211…ノズル、240…圧電体素子(液滴吐出手段)、404…波形選択手段(不均一化手段)、IJ…塗布装置、P…基板、VW…電圧波形、Vh…印加電圧(電圧値)、L1、L2、L2’…液状体、CONT…制御装置(不均一化手段)、CL…コンタクトレンズ(曲面体)[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a liquid coating method, a liquid coating apparatus, a curved body, a contact lens manufacturing method, a contact lens manufacturing apparatus, and a contact lens.
[0002]
[Prior art]
In recent years, an ink jet method (droplet discharge method) has been proposed as a method of forming metal wirings, circuit patterns, and the like on a substrate. The ink jet method is a printing technique well known for so-called ink jet printers, which discharge and fix droplets of material ink in which various materials are liquefied onto a transparent substrate from an ink jet head (discharge head). It is. According to the ink jet method, since the droplets of the material ink can be accurately ejected to a fine area, the material ink can be directly fixed to a desired colored area without performing photolithography. Accordingly, no material is wasted and the manufacturing cost can be reduced, which is a very rational method.
[0003]
Recently, it has been studied to apply a predetermined material to the surface of a curved surface using such an ink jet method (see, for example, Patent Documents 1 and 2). Among such curved shapes, a method for discharging a staining solution to the surface of a contact lens has been proposed. According to the method, desired characters, figures, symbols, etc. can be easily dyed. (For example, refer to Patent Document 3).
[0004]
[Patent Document 1]
JP 2001-010032 A
[Patent Document 2]
JP 05-318715 A
[Patent Document 3]
JP 08-1112566 A
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
However, the ink jet system is characterized in that the colored liquid is ejected regularly for each dot, and the colored liquid is regularly landed. Therefore, as shown in FIG. 19 (a), the
[0006]
Further, when the coloring liquid is applied to the contact lens by the method shown in FIG. 19A, the dots are arranged in a square lattice shape as shown in FIG. A diffraction image as shown in FIG. In fact, there is a problem that the diffraction image can be seen when the light incident from the opening of the pupil portion is seen, or when the strong light is received obliquely. Furthermore, since the diffraction angle varies depending on the wavelength of the light, a rainbow-like object can be seen, and the higher-order diffracted light enters the center of the retina, making it difficult to see and feeling uncomfortable. is there. In addition, there is a problem that the eyes hurt because a strong peak appears locally.
[0007]
On the other hand, not only problems with contact lenses, but also objects with curved surfaces such as glasses and camera lenses, various optical lenses, spherical cathode ray tubes, spherical surfaces of various lamps and optical sensors, and curved surfaces of transparent parts such as glass On the other hand, there is a problem that a substantially regular striped pattern appears on the curved surface by applying a transparent liquid such as a coloring liquid and a coating liquid by applying the ink jet method. Accordingly, there has been a demand for a method of applying a liquid material to a curved body so as to obtain a film quality in which the appearance of various stripe patterns is suppressed even when the ink jet method is used.
[0008]
The present invention has been made in consideration of such circumstances. When a colored liquid is ejected using an ink jet system, the density of the liquid droplets is not unevenly distributed, and the liquid is such that the dot intervals are randomly distributed. An object is to provide a body coating method, a liquid coating apparatus, a curved body, a contact lens manufacturing method, a contact lens manufacturing apparatus, and a contact lens.
[0009]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, the present invention employs the following means.
That is, in the liquid material coating method of the present invention, by operating the droplet discharge means provided in the discharge head, the liquid material in the discharge head is converted into droplets and discharged from the nozzle, and at least a curved surface having a curved surface A method of applying a liquid material to the liquid material, wherein the liquid material is applied in a non-uniform manner.
According to the present invention, by making the discharge state of the liquid material non-uniform, the liquid material lands randomly on the curved surface body. In addition, unlike the conventional droplet ejection method, regular ejection is not performed in a grid pattern, so that the droplets are randomly arranged. Further, the ejected droplets have an error in the landing accuracy, and by ejecting a plurality of such droplets, the error is diffused and landed. Therefore, it is possible to form a predetermined non-lattice pattern on the curved surface, and the appearance of diffracted light can be prevented without uneven density of the liquid.
[0010]
Further, the present invention is the liquid material application method described above, wherein the droplet discharge means operates according to the voltage waveform supplied to the droplet discharge means, and by changing the voltage waveform, The liquid material is applied in a non-uniform discharge state.
According to the present invention, since the discharge state is made non-uniform by changing the voltage waveform, it is possible to apply the liquid material while making the discharge state non-uniform without relatively moving the discharge head or the curved body.
Further, when creating a voltage waveform, for example, an arithmetic device equipped with a computer or the like is used. Therefore, an operator can create a voltage waveform of an arbitrary shape by using the arithmetic device. For example, it is possible to arbitrarily set a voltage value and a frequency accompanying a change with time. In addition to this, it is possible to create a waveform that fills the liquid material, a waveform that discharges the liquid material, a waveform that suppresses vibration after discharge, and the like as desired.
[0011]
Further, the present invention is the liquid material application method described above, wherein the liquid material is applied in a non-uniform state by changing the voltage value of the voltage waveform.
Changing the voltage value here means changing the voltage waveform by setting the voltage value high or setting the voltage value low. For example, when the voltage value is low, the discharge speed of the liquid droplets is slow, so that the discharged liquid droplets fly in the space between the nozzle and the curved body, causing flight bending due to air resistance, and the liquid The landing position of the droplet is shifted. Also, when the voltage value is high, the droplet ejection speed increases, so that flight bending due to air resistance is unlikely to occur, and landing is made with almost no deviation of the landing position.
Accordingly, by changing the voltage value, it is possible to arbitrarily determine the degree of deviation of the landing position of the droplets, that is, it is possible to apply the droplets in a non-uniform manner.
[0012]
Further, the present invention is the liquid material application method described above, wherein the liquid material is applied in a non-uniform state by changing the frequency of the voltage waveform.
Here, changing the frequency means changing the voltage waveform by setting the frequency higher or lowering the frequency. For example, when the frequency is low, droplets are ejected without picking up the residual vibration of the previous waveform, so that the droplets ejected from the nozzle fly stably and land with almost no deviation in the landing position. . In addition, when the frequency is high, the droplet is ejected by picking up the residual vibration of the previous waveform, so that the droplet not only enters an unstable flight state, but a plurality of droplets with different sizes are generated. These are ejected in the form of mist, diffused by air resistance, and land irregularly.
Therefore, by changing the frequency, the droplets are ejected in an unstable or stable manner, that is, it is possible to apply the droplets in a non-uniform manner.
[0013]
The present invention is also the liquid material application method described above, wherein the voltage waveform has a vibration suppression waveform that suppresses vibration of the droplet discharge means after the liquid material is discharged. By changing the above, the liquid material is applied in a non-uniform discharge state.
Here, changing the vibration suppression waveform means changing the voltage waveform by adjusting the rising shape of the rising waveform of the vibration suppression waveform gently or steeply. For example, when the rising waveform is gentle, the vibration of the droplet discharge means after the discharge of the liquid material is suppressed, so that the droplet is stably discharged from the nozzle, and one droplet is generated with one voltage waveform. Discharged. In addition, when the rising waveform gradually becomes steeper, the vibration of the droplet discharge means remains after the discharge of the liquid, and the droplet is discharged from the nozzle. A plurality of droplets are ejected in a waveform. When a plurality of droplets are generated in this way, they are sprayed on the curved surface in the form of a mist, so that the droplets can be applied in a non-uniform discharge state.
Therefore, by changing the vibration suppression waveform, the droplets are ejected in an unstable or stable manner, that is, it is possible to apply the droplets in a non-uniform manner.
[0014]
Further, the present invention is the liquid material application method described above, wherein the discharge head includes a plurality of nozzles and a plurality of droplet discharge means corresponding to the nozzles, and each of the plurality of droplet discharge means. By changing the voltage waveform, the discharge state of the liquid material is non-uniformly applied for each nozzle.
According to the present invention, it is possible to achieve the same effect as the liquid material application method described above, and to make the discharge state nonuniform for each of the plurality of nozzles.
[0015]
In addition, the present invention is the above-described liquid material application method, wherein a plurality of voltage waveforms that are regularly changed according to the arrangement order of the droplet discharge means are supplied to the plurality of droplet discharge means, respectively. Thus, the liquid material is applied in such a manner that the non-uniformity of the liquid material is continuously changed in the direction in which the plurality of nozzles are arranged.
According to the present invention, it is possible to gradually increase the degree of liquid droplet displacement in the direction in which a plurality of nozzles are arranged.
[0016]
Further, the present invention is the liquid material application method described above, wherein the liquid material is discharged by discharging the liquid material in a state where the distance between the discharge head and the curved surface body in the vertical direction of the curved surface body is changed. It is characterized by being applied in a non-uniform state.
The state in which the distance is changed here means that the gap between the curved body and the ejection head is set to be large or the gap is set to be low. For example, when the gap is small, the distance that the ejected liquid droplets fly becomes short, flight bending due to air resistance is unlikely to occur, and landing is made with almost no deviation of the landing position. In addition, when the gap is large, the distance that the droplets fly becomes long, flight bending occurs due to air resistance, and the landing position of the droplets shifts.
Therefore, by changing the distance between the ejection head and the curved body, it is possible to arbitrarily determine the degree of deviation of the landing position of the droplet using air resistance, that is, the droplet ejection state is uneven. Can be applied.
[0017]
Further, the present invention is the liquid material application method described above, wherein the liquid material is discharged while changing the distance between the discharge head and the curved surface in the vertical direction of the curved surface, thereby changing the discharge state of the liquid. It is characterized by being applied in a non-uniform manner.
According to the present invention, the same effect as that of the liquid material application method described above can be obtained, and the liquid material can be discharged while changing the distance. Therefore, the discharge state can be suitably made nonuniform.
[0018]
Further, the present invention is the liquid material application method described above, wherein the liquid material is discharged in a state where the discharge head and the curved surface body are relatively moved in the horizontal direction of the curved surface body, thereby discharging the liquid material. It is characterized in that it is applied in a non-uniform manner.
According to the present invention, after the ejection head and the curved body are relatively moved, the liquid is ejected non-uniformly on the surface of the curved body each time the relative movement operation is performed. it can. That is, it is possible to arbitrarily shift the landing position of the droplets ejected from the nozzles, and it is possible to apply the droplets in a non-uniform manner.
[0019]
Further, the present invention is the liquid material application method described above, wherein the liquid material is discharged while the discharge head and the curved surface body are relatively moved in the horizontal direction of the curved surface body, so that the discharge state of the liquid material is not improved. It is characterized by being applied uniformly.
According to the present invention, the same effect as that of the liquid material coating method described above can be obtained, and the landing position of the liquid droplets ejected from the nozzles can be determined by ejecting while moving the ejection head and the curved body relative to each other. It is possible to shift continuously.
Further, it is possible to adjust the degree of deviation of the landing position by changing the speed of the relative movement in a state where the droplets are continuously discharged from the discharge head. For example, when the relative movement speed is set fast, the amount of deviation of the landing position of the droplet increases, and when the relative movement speed is set slow, the amount of deviation of the landing position of the droplet decreases. That is, it becomes possible to suitably perform non-uniform discharge state.
[0020]
Further, the present invention is the liquid material application method described above, wherein the liquid material is discharged while vibrating the curved body in the vertical direction or the horizontal direction, thereby applying the liquid material in a non-uniform state. It is characterized by that.
According to the present invention, it is possible to arbitrarily shift the landing position of the liquid droplets ejected from the nozzles by ejecting the liquid material while vibrating the curved body, that is, it is preferable to make the ejection state uneven. Can be applied.
[0021]
In addition, the present invention is the liquid material application method described above, characterized in that the liquid material is continuously discharged asynchronously with respect to the vibration cycle of the curved surface body.
According to the present invention, since the discharge operation of the liquid material and the vibration operation are in an asynchronous state, it is possible to prevent the occurrence of uneven discharge due to the synchronous state, and randomly apply the liquid material to the curved surface body. be able to.
[0022]
Further, the liquid material coating apparatus of the present invention includes a discharge head having a droplet discharge means for discharging the liquid material into droplets, and a moving means for relatively moving the discharge head and a curved body having at least a curved surface. And a non-uniformizing means for applying the liquid material in a non-uniform discharge state.
According to the present invention, by providing the non-uniformization means, the liquid material can be randomly landed on the curved surface body. In addition, unlike the conventional droplet discharge method, regular discharge is not performed in a grid pattern, so droplets are randomly arranged. Further, the ejected droplets have an error in the landing accuracy, and by ejecting a plurality of such droplets, the error is diffused and landed. Therefore, it is possible to form a predetermined non-lattice pattern on the curved surface, and the appearance of diffracted light can be prevented without uneven density of the liquid.
[0023]
In addition, the present invention is the above-described liquid material coating apparatus, wherein the non-uniformization means includes a configuration for changing a voltage waveform supplied to the droplet discharge means.
According to the present invention, since the discharge state is made non-uniform by the non-uniform means changing the voltage waveform, the liquid state is applied by making the discharge state non-uniform without relatively moving the discharge head and the curved body. it can.
In addition, the coating device is provided with a computing device including a computer, and a voltage waveform having an arbitrary shape can be created by creating a voltage waveform using the computing device. For example, it is possible to arbitrarily set a voltage value and a frequency accompanying a change with time. In addition to this, it is possible to create a waveform that fills the liquid material, a waveform that discharges the liquid material, a waveform that suppresses vibration after discharge, and the like as desired.
Furthermore, by forming a voltage waveform in which the voltage value, frequency, and damping waveform of the voltage waveform are changed and supplying the voltage waveform to the droplet discharge means, it becomes possible to apply the liquid material in a non-uniform discharge state. .
[0024]
In addition, the present invention is the above-described liquid material coating apparatus, wherein the ejection head includes a plurality of droplet ejection units, and the non-uniformization unit generates voltage waveforms supplied to the plurality of droplet ejection units, respectively. It is characterized by having a configuration to be changed.
According to the present invention, the same effects as those of the liquid material coating apparatus described above can be obtained, and the ejection state can be made uneven for each of the plurality of nozzles.
[0025]
In addition, the present invention is the liquid material coating apparatus described above, wherein the non-uniformization means is configured to change the distance between the ejection head and the curved surface in the vertical direction of the curved surface.
According to the present invention, by changing the distance between the ejection head and the curved body, it is possible to arbitrarily determine the deviation of the landing position of the droplet, that is, by making the ejection state of the droplet nonuniform. It becomes possible to apply.
[0026]
In addition, the present invention is the above-described liquid material coating apparatus, wherein the non-uniformization unit includes a configuration in which the ejection head and the curved body are relatively moved in the horizontal direction of the curved body.
According to the present invention, it is possible to arbitrarily shift the landing position of the liquid droplets ejected from the nozzles by ejecting while relatively moving the ejection head and the curved body, that is, making the ejection state non-uniform. It becomes possible to apply suitably.
[0027]
In addition, the present invention is the above-described liquid material coating apparatus, wherein the non-uniformization means is configured to vibrate the curved body in a vertical direction or a horizontal direction of the curved body.
According to the present invention, it is possible to arbitrarily shift the landing position of the liquid droplets ejected from the nozzles by ejecting the liquid material while vibrating the curved body, that is, it is preferable to make the ejection state uneven. Can be applied.
[0028]
Further, the curved surface of the present invention is a curved surface manufactured by the liquid material coating method described above, and has a configuration in which the dot intervals in the liquid material discharge pattern are non-uniformly distributed. And
Specific examples of the curved body include spectacles and camera lenses, various optical lenses, spherical cathode ray tubes, spherical portions of various lamps and optical sensors, and curved surface portions of transparent parts such as glass. By applying the liquid material application method described above to such a curved body and applying a transparent liquid such as a coloring liquid or a coating liquid, the discharge state of the liquid body becomes non-uniform, A film quality in which the appearance of the stripe pattern is suppressed can be formed on the curved body.
[0029]
The contact lens manufacturing method of the present invention is characterized by using the liquid coating method described above.
According to the present invention, a predetermined non-lattice pattern can be formed on a contact lens, and the appearance of diffracted light can be prevented without uneven density of the liquid material.
[0030]
In addition, the contact lens manufacturing apparatus of the present invention is characterized by including the liquid material coating apparatus described above.
According to this invention, there exists an effect similar to the manufacturing method of the contact lens described previously.
[0031]
Further, the contact lens of the present invention is a contact lens manufactured by the contact lens manufacturing method described above, and has a configuration in which the dot intervals in the liquid discharge pattern are non-uniformly distributed. And
According to the present invention, a predetermined non-lattice pattern can be formed on a contact lens, and the appearance of diffracted light can be prevented without uneven density of the liquid material.
[0032]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, a liquid coating method, a liquid coating apparatus, a curved body, a contact lens manufacturing method, a contact lens manufacturing apparatus, and a contact lens according to the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic perspective view showing an embodiment of a coating apparatus corresponding to a liquid coating apparatus and a contact lens manufacturing apparatus according to the present invention.
[0033]
(Applicator)
In FIG. 1, a coating apparatus (liquid coating apparatus, contact lens manufacturing apparatus) IJ includes a
[0034]
The first moving
[0035]
The first moving
[0036]
The
[0037]
The stage ST holds the substrate P and positions it at a predetermined position. Further, the stage ST has a
[0038]
The second moving
[0039]
The second moving
[0040]
By driving the first moving
[0041]
The
That is, the second moving
[0042]
By driving the
[0043]
1 can be positioned by moving linearly in the Z-axis direction in the
[0044]
FIG. 2 is an exploded perspective view showing the
As shown in FIG. 2, the
[0045]
In such a
[0046]
Next, with reference to FIG. 4, the discharge state of the liquid material accompanying the application of the voltage waveform to the
As shown in FIG. 4, when the voltage waveform VW is applied from the control device CONT to the
Further, as shown in FIG. 2 and FIG. 3, a plurality of
[0047]
Next, with reference to FIG. 5 and FIG. 6, a drive circuit for discharging the liquid material from the plurality of
FIG. 5 is a circuit diagram illustrating the configuration of the ejection driving unit for performing the ejection operation of the
[0048]
The
[0049]
The
[0050]
On the other hand, the voltage
For example, when the waveform of waveform number 1 is supplied to the
[0051]
The operation of the
[0052]
The discharge head has a configuration in which the liquid material is discharged by causing a volume change in the piezoelectric element. However, the discharge head has a head configuration in which the liquid material is heated by the heating element and the liquid droplets are discharged by the expansion. May be. Further, the head configuration may be such that the droplet is ejected by causing a volume change by deforming the diaphragm by static electricity.
[0053]
Further, as the liquid discharged from the above-described
[0054]
FIG. 7 is a perspective view showing the contact lens CL placed on the substrate P. FIG.
As shown in FIG. 7, a plurality of contact lenses CL are fixed on the substrate P, and a liquid material can be applied to the plurality of contact lenses CL without removing the substrate P from the coating apparatus IJ. .
The contact lens CL of the present embodiment corresponds to the curved body of the present invention. The contact lens CL will be described below, but it has curved surfaces such as glasses and camera lenses, various optical lenses, spherical cathode ray tubes, spherical portions of various lamps and optical sensors, and curved surface portions of transparent parts such as glass. The object may be placed on and fixed to the substrate P. Note that such a curved body is not necessarily fixed to the substrate P, and depending on the type of the curved body, the curved body may be directly fixed to the stage of the coating apparatus IJ.
[0055]
Next, returning to FIG. 1, another configuration of the coating apparatus IJ will be described.
The capping
The
[0056]
Although not shown in FIG. 1, the substrate P is actually a rectangle placed on the stage ST via vibration applying units (non-uniformization means) 131 to 133 as shown in FIG. Is held on the
[0057]
Further, on the side surface of the
[0058]
The
[0059]
In the coating apparatus IJ configured as described above, the liquid material can be randomly landed on the contact lens CL by including the non-uniformization means. In addition, unlike the conventional droplet ejection method, regular ejection is not performed in a grid pattern, so that the droplets can be randomly arranged. In addition, the discharged droplets have an error in landing accuracy, and by discharging a plurality of such droplets, the error can be diffused and landed. Therefore, it is possible to form a predetermined non-lattice pattern on the contact lens, and it is possible to prevent the appearance of diffracted light without unevenness of the density of the liquid material.
[0060]
(Liquid material application method)
Next, a method for applying the liquid material in a non-uniform discharge state using the above-described coating apparatus IJ will be described. First, with reference to FIGS. 10 to 12, a method for making the discharge state of the liquid material non-uniform by changing the voltage waveform VW will be described.
[0061]
(1) Application method by changing the applied voltage
FIG. 10 is a diagram for explaining the relationship between the change in the applied voltage (voltage value Vh) of the voltage waveform VW and the ejection speed.
As described above, the
[0062]
(2) Method of applying by changing the frequency
FIG. 11 is a diagram for explaining the relationship between the change in frequency of the voltage waveform VW and the discharge state, and shows the discharge state of the liquid material discharged from the
As shown in FIG. 11A, in the case where the liquid material is ejected with the low-frequency voltage waveform VW, the liquid droplets are ejected without picking up the residual vibration of the previous waveform. The liquid droplets fly stably, are less likely to be bent, and land on the substrate P with almost no deviation of the landing position. That is, the number of droplet ejections is not disturbed, and a stable ejection state is achieved, and one droplet of liquid material can be ejected per pulse. In addition, the low frequency here means the frequency of about 20 kHz or less.
In addition, as shown in FIG. 11B, in the case where the liquid material is ejected with the high-frequency voltage waveform VW, the droplet is ejected by picking up the residual vibration of the previous waveform, so that the droplet is unstable. Not only does the flight bend, but also the landing position of the droplet shifts. That is, the number of droplet ejections is disturbed, the ejection state becomes unstable, and a plurality of droplets having different sizes for each pulse can be ejected. In addition, the high frequency here means the frequency at which the droplet discharge state is suitably disordered, and the number varies depending on the viscosity of the liquid, but is sufficiently unstable if the frequency is about 30 to 40 kHz. It becomes possible to perform discharge.
[0063]
Next, the discharge state by the high-frequency voltage waveform VW will be described with reference to FIGS. 11 (c) and 11 (d).
As shown in FIG. 11C, when the liquid material is ejected with the high-frequency voltage waveform VW, when the first droplet L1 is ejected from the
If the discharge state becomes further unstable, as shown in FIG. 11D, the second droplet L2 may break apart. In this case, it can be made spherical by surface tension and landed on the substrate P as if it was sprayed in the form of a mist.
[0064]
Therefore, by changing the frequency of the voltage waveform VW to a low frequency or a high frequency, the droplets are ejected stably or unstable. That is, it is possible to apply the droplets in a non-uniform manner. .
[0065]
(3) Method of applying by changing the vibration suppression waveform
FIG. 12 is a diagram for explaining the relationship between the rising shape of the vibration suppression waveform (C) of FIG. 4 and the discharge state.
As shown in FIG. 12, this method is a method in which the rising angle of the damping waveform in the voltage waveform VW is adjusted gently or steeply to discharge the liquid material. For example, when the rising angle is gentle, the vibration of the
Therefore, by changing the vibration suppression waveform, the liquid droplets can be discharged in an unstable or stable manner without discharging the liquid material at a high frequency, that is, the liquid droplets can be applied in a non-uniform state. It becomes possible.
[0066]
(4) Method of applying by moving the ejection head and contact lens relative to each other in the horizontal direction
FIG. 13 is a cross-sectional view showing a main part of the coating apparatus IJ. In the figure, the left-right direction of the paper surface is described as the X axis, and the direction perpendicular to the paper surface is described as the Y axis.
As shown in FIG. 13, the first moving
In the above-described method, the moving operation and the droplet discharging operation of the first moving
In the above-described method, both the first moving
Further, in the above-described method, it is preferable that the liquid material is continuously ejected asynchronously with the period of relative movement of the substrate P. That is, since the discharge operation of the liquid material and the relative movement operation are in an asynchronous state, it is possible to prevent the occurrence of uneven discharge due to the synchronous state, and the liquid material can be randomly applied to the contact lens.
[0067]
(5) Method of coating by moving the ejection head and contact lens in the vertical direction
FIG. 14 is a cross-sectional view showing a main part of the coating apparatus IJ. In the figure, the description will be made with the vertical direction of the paper as the Z axis.
As shown in FIG. 14, the
In the above method, the moving operation of the
Further, in the above-described method, it is preferable that the liquid material is continuously ejected asynchronously with the period of relative movement of the substrate P. That is, since the discharge operation of the liquid material and the relative movement operation are in an asynchronous state, it is possible to prevent the occurrence of uneven discharge due to the synchronous state, and the liquid material can be randomly applied to the contact lens.
[0068]
(6) Application method while vibrating the substrate
First, with reference to FIG.8 and FIG.9, the vibration provision to the board | substrate P is demonstrated by driving the vibration provision parts 131-138 of the coating device IJ.
When a drive voltage is applied from the control device CONT with a predetermined frequency and drive waveform from the control device CONT, each of the
[0069]
For example, when the
[0070]
Further, when the
[0071]
That is, by controlling the vibration parameters of the
[0072]
The landing position of the droplet discharged from the
Further, in the above-described method, it is preferable that the liquid material is continuously discharged in synchronization with the vibration period of the substrate P. That is, since the discharge operation of the liquid material and the relative movement operation are in an asynchronous state, it is possible to prevent the occurrence of uneven discharge due to the synchronous state, and the liquid material can be randomly applied to the contact lens.
[0073]
(7) Method of coating by changing the non-uniformity of the liquid
(7-1) A method of discharging a liquid material by changing a voltage waveform for each nozzle
FIG. 15 is a diagram for explaining a method of applying the liquid material by changing the voltage waveform for each of a plurality of nozzles, thereby changing the non-uniformity of the liquid material. FIG. 15A is a cross-sectional view showing a main part of the coating apparatus IJ, and is a view showing a discharge state until droplets discharged from the
[0074]
As shown in FIG. 15A, the
Further, by performing the non-uniform discharge while moving the
[0075]
Next, referring to FIG. 15C, among the
Precisely discharging a liquid material here means a conventional droplet discharge method, that is, discharging a predetermined amount of droplets at a predetermined position, or discharging without making the landing positions non-uniform. means. The
In this way, the
Further, by performing the above-described non-uniform discharge and precision discharge while moving the
[0076]
(7-2) Method of discharging liquid while moving substrate P
FIG. 16 is a view for explaining a method of applying the liquid material on the contact lens CL by changing the non-uniformity of the liquid material by discharging the liquid material while moving the substrate P. FIG. 16A is a cross-sectional view showing the main part of the coating apparatus IJ, and shows the ejection state until the liquid droplets ejected from the
[0077]
First, as shown in FIG. 16A, the
Next, the
[0078]
Next, referring to FIG. 16C, a uniform discharge step for uniformly discharging the liquid material while moving the substrate P and a non-uniform discharge step for discharging the liquid material non-uniformly are continuously switched. The case will be described.
As shown in FIG. 16C, a uniform discharge step for discharging the liquid material uniformly (precisely) until the
[0079]
In the liquid material application method described in the above (1) to (7), the liquid material can be landed randomly on the substrate by making the discharge state of the liquid material non-uniform. In addition, unlike the conventional droplet discharge method, regular discharge is not performed in a grid pattern, so that droplets can be arranged randomly. In addition, the ejected droplets have an error in the landing accuracy, and by discharging a plurality of such droplets, the error can be diffused and landed. Accordingly, it is possible to form a predetermined non-lattice pattern on the contact lens CL, and it is possible to prevent the appearance of diffracted light without unevenness of the density of the liquid material.
[0080]
(Another form of coating device)
Next, another form of the coating apparatus will be described.
In the coating apparatus IJ described above, the waveform selection means 404 functions as the non-uniformization means of the present invention as shown in FIG. 5, but here, the waveform selection means 404 is provided with random number generation means. And the discharge state of the liquid material is made non-uniform by the generation of the random numbers.
[0081]
That is, as shown in FIG. 17, the random
[0082]
The random number generation means 404a has an n-bit counter (a 3-bit counter 404a1 in this embodiment) that generates n-bit (for example, 3 bits of n = 3 in this embodiment), where n is a positive number, A random
Here, an example of the random number generated by the
[0083]
The operation of the
The
[0084]
On the other hand, the voltage
Thus, also in the coating apparatus IJ provided with the random number generating means 404a, the effects described above can be obtained.
[0085]
(contact lens)
Next, a contact lens formed by the above-described manufacturing method will be described with reference to FIG.
FIG. 18A is a side view of the contact lens, and shows a state in which the liquid material discharged from the
FIG. 18B shows the pitch of the nozzles provided in the
FIG. 18C is a plan view of the contact lens, and shows a state in which an irregular pattern is applied by the manufacturing method described above. This pattern is arranged such that the distance between the dots is a convex function such as a normal distribution. In this pattern, since the diffraction grating pitch is not constant, a diffraction image appears at every position, resulting in a broad distribution as shown in FIG. For this reason, it becomes difficult to recognize color deviations of R (red), G (green), and B (blue), and there is no fear of damaging eyes with a strong peak.
[0086]
Next, a specific example of the pattern forming method shown in FIG.
In forming the pattern, the nozzle interval is 50 μm, the landing diameter is 25 μm, and the stage ST is vibrated at ± 12 μm in the x direction. Further, in order not to synchronize with the vibration period and the discharge frequency modulation, the average of the discharge frequencies is slightly shifted. The ejection frequency and the stage moving speed are adjusted so that the landing position in the y direction is also 50 μm. However, the stage feed speed is also modulated by about ± 10%. Further, the ejection operation is shifted in time by the
By such a method, the random pattern as described above can be applied to the contact lens CL. It should be noted that the seam, the edge portion of the drawing area, and the like in the case of applying by the rotation method may be accurately drawn without being modulated.
[0087]
In the present embodiment, the method for manufacturing a contact lens by the manufacturing method described above has been described in detail. However, the present invention is not limited to a contact lens, but glasses, a camera lens, various optical lenses, a spherical cathode ray tube. It can also be applied to spherical surfaces of various lamps and optical sensors, and curved surfaces of transparent parts such as glass.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic perspective view showing an embodiment of a coating apparatus of the present invention.
FIG. 2 is an exploded perspective view of an ejection head.
FIG. 3 is a perspective view of a main part of the ejection head.
FIG. 4 is an explanatory diagram showing a voltage waveform supplied to a piezoelectric element and a discharge state of a liquid material.
FIG. 5 is a circuit diagram for explaining an ejection driving unit.
FIG. 6 is a graph showing a voltage waveform corresponding to a waveform number generated by the ejection driving unit.
FIG. 7 is a perspective view showing a substrate on which a contact lens is placed.
FIG. 8 is a cross-sectional view showing a vibration applying unit installed on a stage.
FIG. 9 is a plan view showing a vibration applying unit installed on the stage.
FIG. 10 is a diagram for explaining a relationship between a change in applied voltage and a discharge speed.
FIG. 11 is a diagram for explaining a relationship between a change in frequency and a discharge state.
FIG. 12 is a diagram for explaining a relationship between a vibration suppression waveform and a discharge state.
FIG. 13 is a cross-sectional view showing a main part of the coating apparatus IJ.
FIG. 14 is a cross-sectional view showing a main part of the coating apparatus IJ.
FIG. 15 is a view for explaining a method of coating by changing the non-uniformity of the liquid material.
FIG. 16 is a view for explaining a method of coating by changing the non-uniformity of the liquid material.
FIG. 17 is a circuit diagram for explaining another ejection driving unit.
FIG. 18 is a view showing a contact lens manufactured using a coating apparatus.
FIG. 19 is a diagram for explaining a conventional problem.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF
Claims (23)
前記液状体の吐出状態を不均一化して塗布することを特徴とする液状体の塗布方法。By operating a droplet discharge means provided in the discharge head, the liquid material in the discharge head is converted into droplets and discharged from a nozzle, and the liquid material is applied to at least a curved surface having a curved surface. ,
A method for applying a liquid material, wherein the liquid material is applied in a non-uniform discharge state.
当該電圧波形を変化させることにより、前記液状体の吐出状態を不均一化して塗布することを特徴とする請求項1に記載の液状体の塗布方法。The droplet discharge means operates according to a voltage waveform supplied to the droplet discharge means,
2. The liquid material application method according to claim 1, wherein the liquid material is applied in a non-uniform manner by changing the voltage waveform.
当該制振波形を変化させることにより、前記液状体の吐出状態を不均一化して塗布することを特徴とする請求項2に記載の液状体の塗布方法。The voltage waveform has a vibration suppression waveform that suppresses vibration of the droplet discharge means after discharge of the liquid.
3. The liquid material application method according to claim 2, wherein the liquid material is applied in a non-uniform state by changing the damping waveform.
前記複数の液滴吐出手段毎に電圧波形を変化させることにより、前記ノズル毎に前記液状体の吐出状態を不均一化して塗布することを特徴とする請求項2から請求項5のいずれかに記載の液状体の塗布方法。The ejection head comprises a plurality of the nozzles and a plurality of droplet ejection means corresponding to the nozzles,
6. The liquid material is applied in a non-uniform manner for each nozzle by changing a voltage waveform for each of the plurality of droplet discharge means. The method for applying the liquid material according to the description.
前記液状体を不均一な吐出状態で塗布する不均一化手段を具備することを特徴とする液状体の塗布装置。A liquid coating apparatus comprising: a discharge head including a droplet discharge unit that discharges a liquid material into droplets; and a moving unit that relatively moves the discharge head and a curved body having a curved surface.
An apparatus for applying a liquid material, comprising: non-uniformizing means for applying the liquid material in a non-uniform discharge state.
前記不均一化手段は、前記複数の液滴吐出手段に供給する電圧波形をそれぞれ変化させる構成を具備することを特徴とする請求項14又は請求項15に記載の液状体の塗布装置。The ejection head comprises a plurality of the droplet ejection means,
The liquid material coating apparatus according to claim 14, wherein the non-uniformization unit has a configuration in which voltage waveforms supplied to the plurality of droplet discharge units are respectively changed.
液状体の吐出パターンにおけるドット間隔が不均一分布とされた構成を具備することを特徴とする曲面体。A curved body manufactured by the coating method according to any one of claims 1 to 13,
A curved surface having a configuration in which dot intervals in a liquid discharge pattern are non-uniformly distributed.
液状体の吐出パターンにおけるドット間隔が不均一分布とされた構成を具備することを特徴とするコンタクトレンズ。A contact lens manufactured by the manufacturing method according to claim 21,
A contact lens comprising a configuration in which dot intervals in a liquid discharge pattern are non-uniformly distributed.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003199931A JP2005040652A (en) | 2003-07-22 | 2003-07-22 | Method and apparatus for applying liquid, curved body, method and apparatus for manufacturing contact lens, and contact lens |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003199931A JP2005040652A (en) | 2003-07-22 | 2003-07-22 | Method and apparatus for applying liquid, curved body, method and apparatus for manufacturing contact lens, and contact lens |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005040652A true JP2005040652A (en) | 2005-02-17 |
Family
ID=34260542
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003199931A Withdrawn JP2005040652A (en) | 2003-07-22 | 2003-07-22 | Method and apparatus for applying liquid, curved body, method and apparatus for manufacturing contact lens, and contact lens |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005040652A (en) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100677737B1 (en) | 2005-05-09 | 2007-02-02 | 이승용 | Color contact lenz and manufacturing method thereof |
US7754597B2 (en) | 2005-07-27 | 2010-07-13 | Seiko Epson Corporation | Bonding pad fabrication method, method for fabricating a bonding pad and an electronic device, and electronic device |
KR20170142493A (en) * | 2016-06-17 | 2017-12-28 | 주식회사 윈스 | printing method of color pattern for contactlens mold and color contactlens mold |
CN116495998A (en) * | 2023-04-26 | 2023-07-28 | 淄博松柏电子科技有限公司 | Novel etching equipment for curved surface conductive glass |
-
2003
- 2003-07-22 JP JP2003199931A patent/JP2005040652A/en not_active Withdrawn
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100677737B1 (en) | 2005-05-09 | 2007-02-02 | 이승용 | Color contact lenz and manufacturing method thereof |
US7754597B2 (en) | 2005-07-27 | 2010-07-13 | Seiko Epson Corporation | Bonding pad fabrication method, method for fabricating a bonding pad and an electronic device, and electronic device |
KR20170142493A (en) * | 2016-06-17 | 2017-12-28 | 주식회사 윈스 | printing method of color pattern for contactlens mold and color contactlens mold |
KR101938808B1 (en) | 2016-06-17 | 2019-01-15 | 주식회사 윈스 | printing method of color pattern for contactlens mold and color contactlens mold |
CN116495998A (en) * | 2023-04-26 | 2023-07-28 | 淄博松柏电子科技有限公司 | Novel etching equipment for curved surface conductive glass |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100590545B1 (en) | Method of driving inkjet printhead | |
JP2000135800A5 (en) | ||
JP2008229528A (en) | Method for forming pattern, liquid drop discharge device and electro-optical device | |
JP2005040652A (en) | Method and apparatus for applying liquid, curved body, method and apparatus for manufacturing contact lens, and contact lens | |
JP2004016916A (en) | Coating method, coating apparatus and electronic device | |
US7893386B2 (en) | Laser micromachining and methods of same | |
JP5957938B2 (en) | Inkjet head drive device | |
JP3596599B2 (en) | Droplet ejecting method and droplet ejecting apparatus | |
JP2005040653A (en) | Method for applying liquid material, apparatus for applying liquid material, and liquid crystal apparatus | |
US7029085B2 (en) | Ink jet head and ink jet printer | |
JP4848841B2 (en) | Film forming apparatus and film forming method | |
JP5139155B2 (en) | Droplet ejection method | |
JP2008237952A (en) | Method of manufacturing coated body and droplet spray coating device | |
KR20170132975A (en) | Method for Droplet Formation | |
JP2007029830A (en) | Ink-jet coating method and apparatus | |
JP2010142676A (en) | Droplet ejection device, method of driving and controlling the same, material forming pattern film, method of producing material forming pattern film, electro-optical device, and electronic device | |
JP4569594B2 (en) | Color filter manufacturing method | |
JP2003159790A (en) | Ink jet recording method | |
JP2012161920A (en) | Recording method | |
JP5310067B2 (en) | Cleaning method for droplet discharge head | |
JP2010080581A (en) | Method and device for forming pattern | |
JP2008229481A (en) | Droplet discharge device and liquid crystal display device | |
KR20230133179A (en) | Inkjet printhead and method for manufacturing the printhead | |
JP2010210986A (en) | Droplet discharging method, and method of manufacturing color filter | |
JP4710258B2 (en) | Color filter forming method and forming apparatus |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20061003 |