JP2005037740A - Rubbing device, and liquid crystal display element manufactured by using the same - Google Patents

Rubbing device, and liquid crystal display element manufactured by using the same Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a rubbing device by which an alignment layer formed on a substrate of a liquid crystal display element is uniformly rubbed on the entire surface thereof and to provide the liquid crystal display element manufactured by using the rubbing device. <P>SOLUTION: A magnet plate 2 made to be a module by arranging a number of magnets 1 at equal intervals and guide rails 3 are disposed on the upper surface of a fixed bed 4 so that the guide rails 3 are positioned on the both sides holding the magnet plate 2 to be parallel to the magnet plate 2. A coil plate 7 made to be a module by arranging air-coiled cores (not figured) so as to be opposed to the magnets 1 is provided at a center part of a stage 6 formed integrally with sliders 5 sliding along the guide rails 3, a table 9 placing the substrate 8 of the liquid crystal display element on which the alignment layer is formed is fixed onto the upper surface of the stage 6 and a rubbing roller 11 to which a rubbing cloth 10 is attached is rotatably disposed on the upper side thereof. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、液晶表示素子の製造工程の1つである配向処理工程において、液晶表示素子基板に形成された配向膜を均一条件でラビングするラビング装置及びそれを使用して製造した液晶表示素子に関する。   The present invention relates to a rubbing apparatus for rubbing an alignment film formed on a liquid crystal display element substrate under uniform conditions in an alignment process which is one of the manufacturing processes of a liquid crystal display element, and a liquid crystal display element manufactured using the same. .

液晶表示素子の基本構造は、電圧を印加することによって液晶分子の配列を制御するスイッチング素子や電極が表面に形成され、さらにその上面に液晶分子にプレチルト角を与える配向膜が形成された2枚の液晶表示素子基板が、配向膜を介してスイッチング素子や電極が対向するように、散布されたスペーサで間隔を保ってシール材で固定されている。そして、2枚の液晶表示素子基板とシール材とで囲まれた部分に液晶層が設けられ、夫夫の液晶表示素子基板の外側には偏光板が設けられている。このような液晶表示素子の構造において、液晶表示素子基板に塗布される配向膜はポリイミド系樹脂などの有機高分子膜で形成され、配向膜の表面をポリアミド系の合成繊維で一定方向に擦って(ラビング)微細な溝を形成することにより液晶分子を溝に沿って配列(プレチルト)させるような配向処理が施されている。   The basic structure of a liquid crystal display element is a two-sheet structure in which switching elements and electrodes that control the alignment of liquid crystal molecules by applying a voltage are formed on the surface, and an alignment film that gives a pretilt angle to the liquid crystal molecules is formed on the upper surface. The liquid crystal display element substrate is fixed with a sealing material at intervals with dispersed spacers so that the switching elements and the electrodes face each other through the alignment film. A liquid crystal layer is provided in a portion surrounded by the two liquid crystal display element substrates and the sealing material, and a polarizing plate is provided outside each of the liquid crystal display element substrates. In such a structure of the liquid crystal display element, the alignment film applied to the liquid crystal display element substrate is formed of an organic polymer film such as a polyimide resin, and the surface of the alignment film is rubbed in a certain direction with a polyamide synthetic fiber. (Rubbing) An alignment process is performed in which liquid crystal molecules are aligned (pretilted) along the grooves by forming fine grooves.

このような配向処理において配向膜をラビングする方法は、円筒状のローラの外周面にパイル(毛)を植設したラビング布を取り付けてラビングローラを構成し、液晶表示素子基板を一定方向に、一定速度で移動させながら液晶表示素子基板に形成された配向膜を回転するラビングローラのパイルでラビングするものである。   In such an alignment process, the alignment film is rubbed by attaching a rubbing cloth in which piles (hairs) are planted on the outer peripheral surface of a cylindrical roller to form a rubbing roller, and the liquid crystal display element substrate in a certain direction. The alignment film formed on the liquid crystal display element substrate is rubbed with a rotating rubbing roller pile while moving at a constant speed.

この場合、液晶表示素子基板を移動させる方法として、定盤上に2本のガイドを平行に配置し、液晶表示素子基板を載置したステージの下方に設けられた送りネジに螺接されたボールネジが一端をモータに接続された状態でガイドとガイドとの中間位置にガイドに平行に配置されている。そして、モータの駆動によってボールネジが回転すると、液晶表示素子基板を載置したステージが送りネジを介して2本のガイドに導かれながらボールネジ上を定盤に対して水平に且つ直線状に移動するといった機構となっているものがある(例えば、特許文献1参照。)。   In this case, as a method of moving the liquid crystal display element substrate, two guides are arranged in parallel on a surface plate, and a ball screw screwed to a feed screw provided below the stage on which the liquid crystal display element substrate is placed. Is arranged in parallel with the guide at an intermediate position between the guides with one end connected to the motor. When the ball screw is rotated by driving the motor, the stage on which the liquid crystal display element substrate is placed moves horizontally and linearly with respect to the surface plate while being guided to the two guides via the feed screw. (For example, refer to Patent Document 1).

また、ラビングローラを回転支持する方法として、ラビングローラの両端部の回転中心となる位置に凹部を設け、先端部が円錐状で後端部がモータに接続された支持体の先端部をラビングローラの一方の端部の凹部に嵌合固定してラビングローラに回転動力を伝達するようにし、ラビングローラの他方の端部に設けられた凹部には後端部が軸受けで保持された支持体の先端部を嵌合して支持する機構のものがある(例えば、特許文献2参照。)。
特開2000−19520号公報(第4−5頁、図1) 特開平10−142607号公報(第3−4頁、図1)
In addition, as a method of rotating and supporting the rubbing roller, a concave portion is provided at a position that becomes the rotation center of both ends of the rubbing roller, and the front end portion of the support body having a conical tip portion and a rear end portion connected to the motor is the rubbing roller Is fitted into and fixed to a recess at one end of the rubbing roller to transmit rotational power to the rubbing roller, and a recess provided at the other end of the rubbing roller is supported by a bearing whose rear end is held by a bearing. There is a mechanism that fits and supports the tip (see, for example, Patent Document 2).
JP 2000-19520 A (page 4-5, FIG. 1) Japanese Patent Laid-Open No. 10-142607 (page 3-4, FIG. 1)

液晶表示素子基板の配向処理工程は、液晶分子が直接接触する配向膜をラビング布(のパイル)でラビングすることにより液晶分子の分布を均一に、且つ、配向を同一方向にそろえ、液晶表示素子の全面に亘って均一な表示を行なうようにすることが目的である。ところで、近年、液晶表示素子においては大型化の傾向にあり、それに伴って一枚のガラス基板に複数の液晶表示素子基板を形成する多面取りガラス基板(この場合も液晶表示素子基板と称することとする)もさらに大型化している。   The alignment treatment process of the liquid crystal display element substrate is performed by rubbing the alignment film in direct contact with the liquid crystal molecules with a rubbing cloth (pile thereof) so that the distribution of the liquid crystal molecules is uniform and the alignment is aligned in the same direction. The purpose is to perform uniform display over the entire surface. By the way, in recent years, liquid crystal display elements have a tendency to increase in size, and accordingly, a multi-faced glass substrate in which a plurality of liquid crystal display element substrates are formed on a single glass substrate (also referred to as a liquid crystal display element substrate in this case). Is also larger.

液晶表示素子基板が多面取りされる多面取りガラス基板の大きさは、個々の液晶表示素子基板の大きさ、多面取りの取り数および装置の処理能力等によって決定され、液晶表示素子の開発当初を液晶の第1世代とすると300mm×400mm程度のものであったのが、現在の液晶世代である第6世代では1500mm×1800mm程度であり、今後の第7世代では1800mm×2000mm程度までなるであろうと予測される。参考に、液晶世代とガラスサイズとの関係を表1に示す。

Figure 2005037740
The size of the multi-chamfered glass substrate on which the liquid crystal display element substrate is multi-determined is determined by the size of each liquid crystal display element substrate, the number of multi-chamfering and the processing capacity of the device, etc. The first generation of liquid crystal was about 300 mm x 400 mm, but it is about 1500 mm x 1800 mm in the current 6th generation liquid crystal generation, and about 1800 mm x 2000 mm in the future seventh generation. Expected to be. For reference, Table 1 shows the relationship between the liquid crystal generation and the glass size.
Figure 2005037740

ところで、液晶表示素子基板の大型化に伴って、配向処理工程のラビング装置に用いられるラビングローラも長大化する必要がある。その場合、ラビングローラの円筒の長さを長くするにつれて長手方向の中央部が自重によって撓み、液晶表示素子基板に形成された配向膜全体を均一な圧力でラビングすることができないことになる。その結果、液晶表示素子全面が不均一な表示を示し、表示品位を損なった見映えの悪い表示素子となってしまうことになる。また、配向処理工程では、液晶表示素子基板が載置されたテーブルを移動させながら液晶表示素子基板に形成された配向膜を回転するラビングローラでラビングするものであるが、従来のようなACサーボモータを駆動源としたボールネジ駆動機構による移動方法は、ボールネジの回転運動をテーブルの直線運動に変換する間接駆動方式であるため、運動の変換機構であるボールネジと送りネジとの機械的接触部において、モータにおいて或いはボールネジにおいて
1)ボールネジと送りネジとの噛み合わせ誤差および磨耗によってガタが発生し、振動の原因となる。
2)ボールネジと送りネジとの接触により、塵、騒音が発生する。
3)ボールネジを駆動するモータから騒音が発生する。
4)ボールネジが長くなるにつれてボールネジの歪み、撓みによって揺れが発生する。
5)ボールネジの両端支持部によるフレ周りの振動と同時に、テーブルが移動することによって固有振動数が変化し、振動モードが変化する。このような一定しない振動モードに対してテーブル全長に亘って振動対策を施すことは困難なことである。
等の問題が生じて配向膜への不均一なラビングとなり、表示品位を損なった液晶表示素子の発生要因となる。
By the way, with the increase in size of the liquid crystal display element substrate, it is necessary to lengthen the rubbing roller used in the rubbing apparatus in the alignment process. In that case, as the cylinder length of the rubbing roller is increased, the central portion in the longitudinal direction is bent by its own weight, and the entire alignment film formed on the liquid crystal display element substrate cannot be rubbed with uniform pressure. As a result, the entire surface of the liquid crystal display element shows a non-uniform display, resulting in a display element with poor appearance and impaired display quality. Further, in the alignment processing step, the alignment film formed on the liquid crystal display element substrate is rubbed with a rotating rubbing roller while moving the table on which the liquid crystal display element substrate is mounted. The movement method using a ball screw drive mechanism using a motor as a drive source is an indirect drive system that converts the rotational movement of the ball screw into a linear movement of the table. In the motor or in the ball screw 1) The backlash occurs due to the engagement error and wear of the ball screw and the feed screw, which causes vibration.
2) Dust and noise are generated by contact between the ball screw and the feed screw.
3) Noise is generated from the motor that drives the ball screw.
4) As the ball screw becomes longer, the ball screw sways due to distortion and deflection.
5) At the same time as the vibration around the flare by the both-end support portions of the ball screw, the natural frequency changes as the table moves, and the vibration mode changes. It is difficult to take measures against vibration over the entire length of the table in such a non-constant vibration mode.
This causes problems such as non-uniform rubbing on the alignment film, which is a cause of generation of a liquid crystal display element that deteriorates display quality.

本発明は上記問題に鑑みて創案なされたもので、液晶表示素子の製造工程の1つである配向処理工程において、液晶表示素子の大型化に対しても、液晶表示素子基板全面に亘って均一な圧力で配向膜がラビングできるように、配向膜を施した液晶表示素子基板が載置されたステージの移動機構およびラビング布が取り付けられたラビングローラの支持機構に創意工夫を施したラビング装置およびそのラビング装置を使用して製造した表示品位の高い液晶表示素子を提供するものである。   The present invention has been devised in view of the above problems, and in the alignment treatment process, which is one of the manufacturing processes of a liquid crystal display element, the liquid crystal display element substrate can be uniformly applied over the entire surface of the liquid crystal display element substrate. A rubbing apparatus ingeniously devised on the stage moving mechanism on which the liquid crystal display element substrate on which the alignment film has been placed and the support mechanism for the rubbing roller to which the rubbing cloth is attached, so that the alignment film can be rubbed with an appropriate pressure It is an object of the present invention to provide a liquid crystal display element with high display quality manufactured using the rubbing apparatus.

上記課題を解決するために、本発明の請求項1に記載された発明は、配向膜が形成された液晶表示素子基板を載置するステージと、円筒状のローラの外周面にラビング布を取り付けたラビングローラとを具備し、前記ステージを移動させながら、回転するラビングローラで前記配向膜の表面をラビングするラビング装置であって、前記ステージは、固定部に直線状に配置された多数のマグネットと可動部に配置されたコイルとで発生する磁力の推力で可動部を移動させる機構のリニアモータ駆動によって直線状に移動するようにしたことを特徴とするものである。   In order to solve the above-mentioned problem, the invention described in claim 1 of the present invention is such that a rubbing cloth is attached to an outer peripheral surface of a stage on which a liquid crystal display element substrate on which an alignment film is formed and a cylindrical roller are mounted. A rubbing apparatus that rubs the surface of the alignment film with a rotating rubbing roller while moving the stage, and the stage includes a large number of magnets arranged linearly on a fixed portion. And a coil arranged in the movable part, the linear movement is performed by a linear motor drive of a mechanism that moves the movable part by the thrust of the magnetic force generated by the magnetic part.

また、本発明の請求項2に記載された発明は、配向膜が形成された液晶表示素子基板を載置するステージと、円筒状のローラの外周面にラビング布を取り付けたラビングローラとを具備し、前記ステージを移動させながら、回転するラビングローラで前記配向膜の表面をラビングするラビング装置であって、前記ラビングローラを該ラビングローラの両端部で支持する支持体の形状は先端部が略円錐台で、前記ラビングローラの両端部に設けられた凹部に前記支持体の先端部を嵌合して前記ラビングローラを回転可能に支持するようにしたことを特徴とするものである。   According to a second aspect of the present invention, there is provided a stage on which the liquid crystal display element substrate on which the alignment film is formed, and a rubbing roller having a rubbing cloth attached to the outer peripheral surface of the cylindrical roller. And a rubbing device for rubbing the surface of the alignment film with a rotating rubbing roller while moving the stage, and the tip of the support that supports the rubbing roller at both ends of the rubbing roller is substantially at the tip. In the truncated cone, the tip of the support is fitted into recesses provided at both ends of the rubbing roller so as to rotatably support the rubbing roller.

また、本発明の請求項3に記載された発明は、配向膜が形成された液晶表示素子基板を載置するステージと、円筒状のローラの外周面にラビング布を取り付けたラビングローラとを具備し、前記ステージを移動させながら、回転するラビングローラで前記配向膜の表面をラビングするラビング装置であって、前記ステージは、固定部に直線状に配置された多数のマグネットと可動部に配置されたコイルとで発生する磁力の推力で可動部を移動させる機構のリニアモータ駆動によって直線状に移動するようにし、且つ、前記ラビングローラを該ラビングローラの両端部で支持する支持体の形状は先端部が略円錐台で、前記ラビングローラの両端部に設けられた凹部に前記支持体の先端部を嵌合して前記ラビングローラを回転可能に支持するようにしたことを特徴とするものである。   According to a third aspect of the present invention, there is provided a stage on which a liquid crystal display element substrate on which an alignment film is formed, and a rubbing roller having a rubbing cloth attached to the outer peripheral surface of a cylindrical roller. And a rubbing device for rubbing the surface of the alignment film with a rotating rubbing roller while moving the stage, wherein the stage is arranged in a large number of magnets arranged linearly in a fixed part and a movable part. The shape of the support that moves linearly by the linear motor drive of the mechanism that moves the movable part by the thrust of the magnetic force generated by the coil and that supports the rubbing roller at both ends of the rubbing roller is the tip. The portion is a substantially truncated cone, and the tip of the support is fitted into the recesses provided at both ends of the rubbing roller so that the rubbing roller is rotatably supported. It is characterized in that the.

また、本発明の請求項4に記載された発明は、請求項1から3の何れか1項において、縦および横の寸法がいずれも1500mm以上の大きさの前記液晶表示素子基板に形成された配向膜を一括してラビングすることができることを特徴とするものである。   According to a fourth aspect of the present invention, there is provided the liquid crystal display element substrate according to any one of the first to third aspects, wherein both the vertical and horizontal dimensions are 1500 mm or more. The alignment film can be rubbed at once.

また、本発明の請求項5に記載された発明は、請求項1から4の何れか1項に記載のラビング装置を使用して製造したことを特徴とするものである。   Moreover, the invention described in claim 5 of the present invention is characterized by being manufactured using the rubbing apparatus according to any one of claims 1 to 4.

以下、この発明の最良の形態を図1から図6を参照しながら、詳細に説明する(同一部分については同じ符号を付し、説明は省略する)。尚、以下に述べる実施形態は、本発明の好適な具体例であるから、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。   Hereinafter, the best mode of the present invention will be described in detail with reference to FIG. 1 to FIG. 6 (the same parts are given the same reference numerals and the description thereof will be omitted). The embodiments described below are preferable specific examples of the present invention, and thus various technically preferable limitations are given. However, the scope of the present invention particularly limits the present invention in the following description. As long as there is no description of the effect, it is not restricted to these aspects.

図1は本発明に係わるラビング装置の最良の形態の正面図、図2は側面図、図3は平面図、図4は図3のA−A断面図、図5は図1のB部詳細断面図、図6はラビングローラの支持機構とラビングローラの撓み量との関係を示す説明図である。   1 is a front view of the best mode of the rubbing apparatus according to the present invention, FIG. 2 is a side view, FIG. 3 is a plan view, FIG. 4 is a cross-sectional view taken along the line AA in FIG. FIG. 6 is an explanatory view showing the relationship between the rubbing roller support mechanism and the amount of bending of the rubbing roller.

多数のマグネット1が隣り合う磁極の極性を交互に変えて等間隔で並べられてモジュール化されたマグネットプレート2とガイドレール3とが、マグネットプレート2を挟んだ両側にマグネットプレート2に平行にガイドレール3を位置させた状態で、固定されたベッド4の上面に配置されている。そして、ガイドレール3に沿って摺動するスライダー5と一体化されたステージ6の中心部にマグネット1と対向するように空芯コイル(図示せず)を配接してモジュール化したコイルプレート7が設けられ、この対向するマグネット1と空芯コイルとによってリニアモータ駆動機構が構成されている。更にステージ6の上面には配向膜が形成された液晶表示素子基板8を載置するテーブル9がステージ6に固定され、最上部にはラビング布10が取り付けられたラビングローラ11がテーブル9に載置された液晶表示素子基板8をラビングするように液晶表示素子基板8の上方に回転可能な状態で配置されている。なお、図示してはいないが、ベッド4の上面でガイドレール3の外側にはステージ6の位置検出のためのリニアスケールが設けられてフィードバック制御がおこなわれる。   A magnet plate 2 and a guide rail 3, which are formed by arranging a plurality of magnets 1 by alternately changing the polarities of adjacent magnetic poles and arranged at equal intervals, are guided in parallel to the magnet plate 2 on both sides of the magnet plate 2. With the rail 3 positioned, it is arranged on the upper surface of the fixed bed 4. A coil plate 7 that is modularized by arranging an air core coil (not shown) so as to face the magnet 1 at the center of the stage 6 integrated with the slider 5 that slides along the guide rail 3. The linear motor driving mechanism is configured by the opposed magnet 1 and the air-core coil. Further, a table 9 on which the liquid crystal display element substrate 8 having an alignment film formed thereon is fixed on the upper surface of the stage 6 is fixed to the stage 6, and a rubbing roller 11 to which a rubbing cloth 10 is attached is placed on the table 9. It arrange | positions in the state which can be rotated above the liquid crystal display element substrate 8 so that the placed liquid crystal display element substrate 8 may be rubbed. Although not shown, a linear scale for detecting the position of the stage 6 is provided on the upper surface of the bed 4 and outside the guide rail 3 to perform feedback control.

このような構成のラビング装置でラビングするには、テーブル9に載置された液晶表示素子基板8に所定の圧力で接するようにラビングローラ11の設定位置を調整した後、一定速度で回転を開始させる。一方、液晶表示素子基板8が載置されたテーブル9は、テーブル9が固定されたステージ6に設けられた空芯コイルに流す電流の方向を対向するマグネット1の位置および極性との関係に対応させて制御することにより直線運動を生じるリニアモータ駆動によって、スライダー5がガイドレール3に沿って摺動されて直線的に可動する。つまり、テーブル9に載置された液晶表示素子基板8に形成された配向膜(図示せず)は、回転するラビングローラ11の圧力を受けながら一定方向に、一定速度で移動することにより、進行方向に向かって連続的にラビングされ、最終的に液晶表示素子基板8に形成された配向膜全面に亘って一括して配向処理が施されることになる。   In order to perform rubbing with the rubbing apparatus having such a configuration, the setting position of the rubbing roller 11 is adjusted so as to come into contact with the liquid crystal display element substrate 8 placed on the table 9 with a predetermined pressure, and then starts rotating at a constant speed. Let On the other hand, the table 9 on which the liquid crystal display element substrate 8 is placed corresponds to the relationship between the position and polarity of the opposing magnet 1 in the direction of the current flowing in the air-core coil provided on the stage 6 to which the table 9 is fixed. The slider 5 is slid along the guide rail 3 and moved linearly by a linear motor drive that generates a linear motion by controlling the movement. That is, the alignment film (not shown) formed on the liquid crystal display element substrate 8 placed on the table 9 advances by moving at a constant speed in a certain direction while receiving the pressure of the rotating rubbing roller 11. Rubbing is continuously performed in the direction, and finally, alignment treatment is performed over the entire surface of the alignment film formed on the liquid crystal display element substrate 8.

配向膜に対するラビングの良否は、ラビングが施された液晶表示素子基板8を使用して液晶表示素子に組み上げ、実際に表示を行なうまでは評価できない。したがって、ラビングが不良の液晶表示素子基板8を後工程(シール工程、液晶注入工程、ガラススクライブ工程等)に流すことにもなりかねず、その場合には無駄な材料を投入して、無駄な工数を費やすことになると共に、歩留まり低下の要因にもなるものである。このように、ラビング工程は液晶表示素子を作製するプロセスの重要部分を成すものであり、細心の注意を払って均一なラビングを施すことが要求される。   The rubbing quality of the alignment film cannot be evaluated until it is assembled into a liquid crystal display element using the rubbed liquid crystal display element substrate 8 and actually displayed. Therefore, the liquid crystal display element substrate 8 having a poor rubbing may flow to a subsequent process (sealing process, liquid crystal injection process, glass scribing process, etc.). In addition to spending man-hours, it also causes a decrease in yield. As described above, the rubbing step is an important part of the process of manufacturing the liquid crystal display element, and it is required to perform uniform rubbing with great care.

そこで、本発明のラビング装置は、液晶表示素子基板8をラビング時に移動させる方法にマグネット1と空芯コイルとの構成によるリニアモータ駆動の方式を採用している。これは、従来のようなボールネジの回転動力を機械的に直線運動に変換する機構に替えて、磁力による推力を利用して可動部が固定部に非接触で運動を行なうリニアモータ駆動による機構を取り入れたもので、これにより、ボールネジによる動力変換時に生じる上記「発明が解決しようとする課題」で述べた1)〜5)の問題点を全て解消するようにしたものである。   Therefore, the rubbing apparatus according to the present invention employs a linear motor drive system having a configuration of the magnet 1 and an air core coil as a method of moving the liquid crystal display element substrate 8 during rubbing. Instead of the conventional mechanism that mechanically converts the rotational power of the ball screw into linear motion, a mechanism using a linear motor drive in which the movable part moves in a non-contact manner with the fixed part using thrust generated by magnetic force. In this way, all of the problems 1) to 5) described in the above “Problems to be solved by the invention” that occur during power conversion by a ball screw are solved.

表2は従来のボールネジ駆動方式を採用したラビング装置と、本発明のリニアモータ駆動方式を採用したラビング装置との振動の振幅を比較したものである。テーブルの移動速度を50mm/sに設定し、実測値をμm単位で示している。

Figure 2005037740
Table 2 compares the amplitude of vibration between a rubbing apparatus that employs a conventional ball screw driving system and a rubbing apparatus that employs a linear motor driving system of the present invention. The moving speed of the table is set to 50 mm / s, and the actual measurement values are shown in μm units.
Figure 2005037740

表2の振幅実測値から、ボールネジ駆動よりもリニアモータ駆動でステージを移動させた方が滑らかな動作でステージ6に加わる振動の振幅が小さいことが分かる。従って、ステージ6に固定されたテーブル9に載置された液晶表示素子基板8に加わる振動もリニアモータ駆動で移動させた方が小さいことは明らかである。このことは、配向膜が形成された液晶表示素子基板8とラビングロール11の外周面に取り付けられたラビング布10との間隔の変動が小さいことを意味し、配向膜が圧力変動の少ない状態でラビングされることを示している。よって、リニアモータ駆動は配向膜に均一なラビングを施すためには有効な手法であることが確認されたことになる。   From the measured amplitude values in Table 2, it can be seen that the amplitude of vibration applied to the stage 6 is smaller and smoother when the stage is moved by linear motor driving than by ball screw driving. Therefore, it is clear that the vibration applied to the liquid crystal display element substrate 8 placed on the table 9 fixed to the stage 6 is also smaller when moved by the linear motor drive. This means that the variation in the distance between the liquid crystal display element substrate 8 on which the alignment film is formed and the rubbing cloth 10 attached to the outer peripheral surface of the rubbing roll 11 is small. It shows that it is rubbed. Therefore, it has been confirmed that the linear motor drive is an effective method for uniformly rubbing the alignment film.

更に、ラビングの均一性を向上させるために必要な要件の一つとして、外周面にラビング布10が取り付けられたラビングローラ11の撓みを極力少なくすることが挙げられる。ラビングローラ11に撓みがある場合、液晶表示素子基板8とラビング布10との間隔が場所によって異なることになり、ラビング時に液晶表示素子基板8に形成された配向膜に加わる圧力が場所によって異なり、不均一な配向処理となってしまう。特に、液晶表示素子基板8の大型化に対応してラビングローラが長大化すると、ラビングローラの撓みも大きくなる。この撓みを少なくするにはラビングローラ11の軽量化および高剛性化の手法が考えられるが、ラビングローラ11の支持体12の形状の最適化によっても撓みを減少させることが可能である。   Furthermore, as one of the requirements necessary for improving the uniformity of rubbing, it is possible to reduce the bending of the rubbing roller 11 having the rubbing cloth 10 attached to the outer peripheral surface as much as possible. When the rubbing roller 11 is bent, the distance between the liquid crystal display element substrate 8 and the rubbing cloth 10 varies depending on the location, and the pressure applied to the alignment film formed on the liquid crystal display element substrate 8 during rubbing varies depending on the location. This results in a non-uniform alignment process. In particular, when the rubbing roller is lengthened corresponding to the increase in size of the liquid crystal display element substrate 8, the rubbing roller is also greatly bent. In order to reduce this bending, a method of reducing the weight and increasing the rigidity of the rubbing roller 11 can be considered, but the bending can be reduced by optimizing the shape of the support 12 of the rubbing roller 11.

ラビングローラ11の支持体12の形状の最適化については、図5に図1の支持体12を拡大した部分断面図として示している。支持体12は、先端部が中心線14に垂直な平面による切り口の断面積が先端方向に向かって小さくなるような略円錐台形状をしている。一方、ラビングローラ11の両端部には支持体12の先端部と略同一形状の凹部が設けてあり、この凹部に支持体の先端部を嵌合することによってラビングローラを回転可能に支持している。   The optimization of the shape of the support 12 of the rubbing roller 11 is shown in FIG. 5 as an enlarged partial sectional view of the support 12 of FIG. The support 12 has a substantially frustoconical shape so that the cross-sectional area of the cut surface by a plane whose tip is perpendicular to the center line 14 becomes smaller in the tip direction. On the other hand, a recess having substantially the same shape as the tip of the support 12 is provided at both ends of the rubbing roller 11, and the rubbing roller is rotatably supported by fitting the tip of the support into this recess. Yes.

ここで、支持体12の略円錐台形状の母線の延長線13と中心線14との成す角度は10°〜20°の間が望ましい。   Here, the angle formed between the extension line 13 of the substantially truncated cone-shaped bus bar of the support 12 and the center line 14 is preferably between 10 ° and 20 °.

なお、ラビングローラ11は、ラビングローラ11の両端部に嵌合された支持体12によって支持されるもので、両端の支持体12の形状は同一であるが、一方の支持体12は、その先端部がラビングローラ11の凹部に嵌合固定されて一体化され、後端部は駆動部に接続されて駆動部の動力をラビングローラ11に回転運動として動力伝達を行なう役割を担っている。他方の支持体12も先端部がラビングローラ11の凹部に嵌合されているが、ラビングローラが自由に回転できるように支持されている。   The rubbing roller 11 is supported by support bodies 12 fitted to both ends of the rubbing roller 11, and the shapes of the support bodies 12 at both ends are the same. The part is fitted and fixed in the recess of the rubbing roller 11 and integrated, and the rear end part is connected to the drive part and plays a role of transmitting power to the rubbing roller 11 as a rotational motion. The other support body 12 also has a tip portion fitted in the recess of the rubbing roller 11, but is supported so that the rubbing roller can freely rotate.

ラビングローラ11の支持機構とラビングローラ11の撓み量との関係をシミュレーションによって算出した値と実測値とを図6に示している。シミユレーションおよび実測の条件は、ラビングローラ11については、材質はアルミニウムで直径は150mm、長さは2000mmである。支持部の支持機構については、(a)はラビングローラ11の両端支持、(b)はラビングローラ11の両端支持および軸力付加、(c)はラビングローラ11の両端不完全固定および軸力付加、(d)はラビングローラ11の両端固定、である。なお、(c)のみが実測値であり、それ以外はシミュレーションによって算出したものである。その結果、支持形態(a)の最大撓み量は32μm、(b)は23μm、(c)は13μm、(d)は7μmであった。従来の支持形態のピボット支持構造(a′)は両端支持の(a)に近似した構造、本発明の支持構造(d′)は両端固定の(d)に近似した構造と推定される。   FIG. 6 shows values calculated by simulation of the relationship between the support mechanism of the rubbing roller 11 and the amount of bending of the rubbing roller 11 and measured values. The conditions of the simulation and the actual measurement are as follows. For the rubbing roller 11, the material is aluminum, the diameter is 150 mm, and the length is 2000 mm. As for the support mechanism of the support portion, (a) is supported at both ends of the rubbing roller 11, (b) is supported at both ends of the rubbing roller 11 and applied axial force, (c) is imperfectly fixed at both ends of the rubbing roller 11 and applied axial force. , (D) is fixing of both ends of the rubbing roller 11. Note that only (c) is actual measurement values, and other values are calculated by simulation. As a result, the maximum deflection amount of the support form (a) was 32 μm, (b) was 23 μm, (c) was 13 μm, and (d) was 7 μm. It is presumed that the pivot support structure (a ') of the conventional support form is a structure approximated to (a) of both ends support, and the support structure (d') of the present invention is a structure approximated to (d) of both ends fixed.

したがって、ラビングローラ11を支持する上記4種類の構造において、本発明の支持構造のような剛性(より正確には曲げモーメント剛性)を持たせた支持をすることによってラビングローラ11の撓みを最小限に食い止められることが明らかになった。但し、このとき生じる反曲げモーメントに耐えうる支持部の強度および剛性に十分の配慮が必要であり、これに対しては試作、実験および評価を通してデータの蓄積が必要とされる。また、支持体12の形状が先端部が略円錐台の形状をしており、略円錐台の母線の延長線13と中心線14との交点をラビングローラ11の端部の回転中心に位置させることにより、ラビングローラ11の歪みの少ない回転を確保することができる。このような本発明の支持構造はラビングローラ11が長大化するに伴って益々大きな効果を発揮するものであり、今後の液晶表示素子基板8の大型化の流れにとって重要な役割を果たすものである。   Therefore, in the above-described four types of structures for supporting the rubbing roller 11, the bending of the rubbing roller 11 can be minimized by providing the support having the rigidity (more precisely, the bending moment rigidity) as in the support structure of the present invention. It became clear that it could be stopped. However, sufficient consideration must be given to the strength and rigidity of the support portion that can withstand the anti-bending moment generated at this time, and data must be accumulated through trial manufacture, experimentation and evaluation. The support 12 has a substantially truncated cone shape at the tip, and the intersection of the extended line 13 and the center line 14 of the substantially truncated cone is positioned at the rotation center of the end of the rubbing roller 11. Thereby, the rotation with less distortion of the rubbing roller 11 can be secured. Such a support structure according to the present invention exhibits a greater effect as the rubbing roller 11 becomes longer, and plays an important role in the future trend of increasing the size of the liquid crystal display element substrate 8. .

以上述べたように、本発明の液晶ラビング装置は、液晶表示素子が大型化しても、液晶表示素子基板に形成された配向膜を均一にラビングするために、液晶表示素子基板を載置したテーブルを移動する機構にリニアモータ駆動を採用して主に振動の発生要因を排除し、更に、回転するラビングローラの支持体の形状を先端部を略円錐台にすることによってラビングローラの撓みを少なくし、これら2つの手法で配向膜に加わるラビングローラのラビング時の圧力が均一になるように改善したことにより、配向膜全面に亘って均一性の高い配向処理を施すことが可能になった。その結果、液晶表示素子の歩留まりが向上し、廉価な液晶表示素子を実現することが可能になった。特に液晶表示素子基板のサイズが1500mm×1500mm以上の大きさのものに対しては特に大きな効果を発揮するものであり、この場合、液晶表示素子の製造コストがそれよりも小型のものに比較して高いため、歩留改善によって齎される製造コストの改善効果も大きなものになる、など優れた効果を奏するものである。   As described above, the liquid crystal rubbing apparatus of the present invention is a table on which a liquid crystal display element substrate is placed in order to uniformly rub the alignment film formed on the liquid crystal display element substrate even when the liquid crystal display element is enlarged. Adopting a linear motor drive for the mechanism that moves the roller, mainly eliminates the cause of vibration, and further reduces the bending of the rubbing roller by making the tip of the rotating rubbing roller support body a substantially truncated cone Further, by improving the rubbing roller pressure applied to the alignment film by these two methods so as to be uniform, it is possible to perform highly uniform alignment treatment over the entire alignment film. As a result, the yield of the liquid crystal display element is improved, and an inexpensive liquid crystal display element can be realized. This is particularly effective for a liquid crystal display element substrate having a size of 1500 mm × 1500 mm or more. In this case, the manufacturing cost of the liquid crystal display element is smaller than that of a smaller one. Therefore, the production cost can be greatly improved by the yield improvement.

本発明に係わるラビング装置の最良の形態の正面図である。It is a front view of the best form of the rubbing apparatus concerning this invention. 図1の側面図である。It is a side view of FIG. 図1の平面図である。It is a top view of FIG. 図3のA−A断面図である。It is AA sectional drawing of FIG. 図1のB部詳細断面図である。It is a B section detailed sectional view of Drawing 1. ラビングローラの支持機構とラビングローラの撓み量の関係を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the relationship between the support mechanism of a rubbing roller, and the deflection amount of a rubbing roller.

符号の説明Explanation of symbols

1 マグネット
2 マグネットプレート
3 ガイドレール
4 ベッド
5 スライダー
6 ステージ
7 コイルプレート
8 液晶表示素子基板
9 テーブル
10 ラビング布
11 ラビングローラ
12 支持体
13 母線の延長線
14 中心線
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Magnet 2 Magnet plate 3 Guide rail 4 Bed 5 Slider 6 Stage 7 Coil plate 8 Liquid crystal display element board 9 Table 10 Rubbing cloth 11 Rubbing roller 12 Support body 13 Bus extension line 14 Center line

Claims (5)

配向膜が形成された液晶表示素子基板を載置するステージと、円筒状のローラの外周面にラビング布を取り付けたラビングローラとを具備し、前記ステージを移動させながら、回転するラビングローラで前記配向膜の表面をラビングするラビング装置であって、前記ステージは、固定部に直線状に配置された多数のマグネットと可動部に配置されたコイルとで発生する磁力の推力で可動部を移動させる機構のリニアモータ駆動によって直線状に移動するようにしたことを特徴とするラビング装置。 A stage on which a liquid crystal display element substrate on which an alignment film is formed is mounted; and a rubbing roller having a rubbing cloth attached to an outer peripheral surface of a cylindrical roller, and the rubbing roller that rotates while moving the stage. A rubbing apparatus for rubbing the surface of an alignment film, wherein the stage moves the movable part by thrust of magnetic force generated by a large number of magnets arranged linearly on the fixed part and a coil arranged on the movable part. A rubbing apparatus which moves linearly by driving a linear motor of a mechanism. 配向膜が形成された液晶表示素子基板を載置するステージと、円筒状のローラの外周面にラビング布を取り付けたラビングローラとを具備し、前記ステージを移動させながら、回転するラビングローラで前記配向膜の表面をラビングするラビング装置であって、前記ラビングローラを該ラビングローラの両端部で支持する支持体の形状は先端部が略円錐台で、前記ラビングローラの両端部に設けられた凹部に前記支持体の先端部を嵌合して前記ラビングローラを回転可能に支持するようにしたことを特徴とするラビング装置。 A stage on which a liquid crystal display element substrate on which an alignment film is formed is mounted; and a rubbing roller having a rubbing cloth attached to an outer peripheral surface of a cylindrical roller, and the rubbing roller that rotates while moving the stage. A rubbing apparatus for rubbing the surface of an alignment film, wherein the support for supporting the rubbing roller at both ends of the rubbing roller has a substantially truncated cone at the tip, and concave portions provided at both ends of the rubbing roller. A rubbing apparatus, wherein the rubbing roller is rotatably supported by fitting a tip end portion of the support. 配向膜が形成された液晶表示素子基板を載置するステージと、円筒状のローラの外周面にラビング布を取り付けたラビングローラとを具備し、前記ステージを移動させながら、回転するラビングローラで前記配向膜の表面をラビングするラビング装置であって、前記ステージは、固定部に直線状に配置された多数のマグネットと可動部に配置されたコイルとで発生する磁力の推力で可動部を移動させる機構のリニアモータ駆動によって直線状に移動するようにし、且つ、前記ラビングローラを該ラビングローラの両端部で支持する支持体の形状は先端部が略円錐台で、前記ラビングローラの両端部に設けられた凹部に前記支持体の先端部を嵌合して前記ラビングローラを回転可能に支持するようにしたことを特徴とするラビング装置。 A stage on which a liquid crystal display element substrate on which an alignment film is formed is mounted; and a rubbing roller having a rubbing cloth attached to an outer peripheral surface of a cylindrical roller, and the rubbing roller that rotates while moving the stage. A rubbing apparatus for rubbing the surface of an alignment film, wherein the stage moves the movable part by thrust of magnetic force generated by a large number of magnets arranged linearly on the fixed part and a coil arranged on the movable part. The support is configured to move linearly by driving a linear motor of the mechanism and to support the rubbing roller at both ends of the rubbing roller. The support has a substantially truncated cone at the tip and is provided at both ends of the rubbing roller. A rubbing apparatus, wherein the rubbing roller is rotatably supported by fitting a tip portion of the support body into the recessed portion. 縦および横の寸法がいずれも1500mm以上の大きさの前記液晶表示素子基板に形成された配向膜を一括してラビングすることができることを特徴とする請求項1から3の何れか1項に記載のラビング装置。 4. The alignment film formed on the liquid crystal display element substrate having both vertical and horizontal dimensions of 1500 mm or more can be collectively rubbed. 5. Rubbing equipment. 前記請求項1から4の何れか1項に記載のラビング装置を使用して製造したことを特徴とする液晶表示素子。 A liquid crystal display element manufactured using the rubbing apparatus according to any one of claims 1 to 4.
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