JP2005010192A - Optical control device, optical switching element, space light modulator and projector - Google Patents
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Abstract
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光により制御される光制御デバイス、この光制御デバイスを用いる光スイッチング素子、空間光変調装置、及び、この空間光変調装置を用いるプロジェクタの技術に関する。
【0002】
【従来の技術】
マイクロ・エレクトロ・メカニカル・システム(Micro Electro Mechanical Systems;以下、「MEMS」という。)は、シリコン基板上にナノメートル単位の機械構造を三次元的に集積したものである。MEMSは小型で、かつ複雑な働きが可能であることから、多くの技術分野において利用されている。MEMSの技術としては、例えば、特許文献1に提案されているものがある。
【0003】
【特許文献1】
米国特許第5867202号明細書
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来のMEMSは外部電源からの電流又は電圧によって駆動する。このため、従来のMEMSは、外部電極を用いて外部電源と接続する必要がある。外部電源と外部電極とを接続する必要があるため、例えば引火性ガス中で従来のMEMSを使用すると、電気によって引火性ガスが発火するおそれがある。外部電源と外部電極とを接続するため、水等の液体と外部電極とが接するような環境においては、MEMSの使用により漏電を起こす場合がある。また、外部電源からの電流又は電圧を利用するため、外部電極から発生する電磁波ノイズが周辺の機器等に影響を及ぼすこともある。さらに、外部電極から周辺の電気的雑音がMEMSに入り込み、MEMSの制御が妨害されてしまう場合もある。このように、従来のMEMSは、電気による発火や漏電のおそれがある環境、電磁波ノイズの発生を制限すべき環境、電気的擾乱を受け易い環境での使用が困難であるという問題がある。また、従来のMEMSは、外部電源とMEMSとを電気的に接続するための配線やCMOS(相補型金属酸化膜半導体)等を用いる集積回路が必要である。このため、MEMSを簡易な構成とすることが困難であるという問題も生じる。従来のMEMSは、簡易な構成とすることが困難であるばかりでなく、配線を配置する領域を確保するためにMEMSの駆動部分の領域の面積を減少させ、MEMSの駆動効率を向上させることが困難となる。また、半導体集積回路の製造コストが高いことから、MEMSに半導体集積回路を用いるとMEMSの製造コストを削減することが困難である。
【0005】
本発明は、上述の問題を解決するためになされたものであり、電気による発火や漏電のおそれがある環境、電磁波ノイズの発生を制限すべき環境、電気的擾乱を受け易い環境においても使用でき、簡易な構成で効率が良く低コストの光制御デバイス、さらにこの光制御デバイスを用いた光スイッチング素子、空間光変調装置、プロジェクタを提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決し、目的を達成するために、本発明によれば、光学的に透明な透明電極と、前記透明電極上に設けられ、前記透明電極を透過した光の光量に応じて電気的な導電率が変化する導電率可変部と、前記導電率可変部上に設けられた第1の電極及び第2の電極と、前記透明電極と前記第1の電極との間に所定電圧を印加する電源と、少なくとも第1の位置と第2の位置とに移動可能なスイッチング部と、前記スイッチング部を移動可能に支持する支持部と、を有し、前記支持部は、前記スイッチング部と前記第1の電極とを同電位にする導電性を有する部材であり、前記第2の電極に対応する前記透明電極の位置へ入射する光量に応じて、前記第2の電極と、前記第1の電極と同電位の前記スイッチング部との間に所定の力を発生させ、前記スイッチング部は、前記所定の力により少なくとも前記第1の位置と前記第2の位置とに移動することを特徴とする光制御デバイスを提供することができる。
【0007】
MEMSである本発明の光制御デバイスは、導電率可変部を介して透明電極上に第2の電極を設ける。第2の電極に対応する透明電極の位置に光(以下、適宜「制御光」という。)が照射されると、導電率可変部は、制御光の光量に応じて導電率が大きくなる。導電率可変部の導電率が大きくなることにより、電源の一方の電極は、透明電極と導電率可変部とを経由して第2の電極と電気的に接続される。導電率可変部の導電率は透明電極を透過した制御光の光量に応じて変化するため、第2の電極は、透明電極を透過した制御光の光量に応じた電圧が印加される。電源の他方の電極は、第1の電極と支持部とを経由してスイッチング部と電気的に接続されている。従って、透明電極に制御光が入射することにより、第2の電極とスイッチング部との間には導電率可変部の導電率の変化量に応じた電位差を生じる。スイッチング部は、第2の電極との間の電位差による所定の力、例えば静電力(引力)の作用を受けて、第2の電極の方向に移動する。透明電極に入射させる制御光の光量を大きくする場合、又は制御光の入射時間を長くすると、スイッチング部は、第2の電極の方向により大きく移動する。また、透明電極に制御光を入射しない場合、導電率可変部は絶縁体として機能するため、スイッチング部と第2電極との間には何ら力が発生しない。このとき、支持部として導電性を有する可撓性部材、又は導電性を有する弾性部材等を使用することにより、スイッチング部は、支持部の復元力により元の位置に戻る。このようにして、本発明の光制御デバイスは、光を利用することによりスイッチング部を少なくとも第1の位置と第2の位置とに移動させて駆動する。制御光を利用して駆動するため、光制御デバイスに電流又は電圧を供給するための外部電源、及び外部電源と接続するための外部電極の配置が不要となる。外部電源と外部電極との配置が不要であるため、光制御デバイスを、外部から電気的に遮蔽することができる。光制御デバイスを電気的に遮蔽することにより、電気による発火や漏電のおそれがある環境、電磁波ノイズの発生を制限すべき環境、電気的雑音による擾乱を受け易い環境においても光制御デバイスを使用することができる。光制御デバイスは外部電源から電力の供給を受けず制御光の照射によって駆動することができるため、光制御デバイスと外部電源とを電気的に接続するための配線及び半導体集積回路が不要となる。光制御デバイスに配線が不要となることにより、光制御デバイスを簡易な構成とすることができる。また、配線を配置する領域の確保も不要であるから、スイッチング部を配置する領域をより広く確保することができる。さらに、製造コストが高い半導体集積回路が不要となることにより、光制御デバイスの製造コストを低くすることができる。制御光のON、OFFによりスイッチング部が移動するため、光制御デバイスは、信号に高速に応答して駆動することが可能である。これにより、電気による発火や漏電のおそれがある環境、電磁波ノイズの発生を制限すべき環境、電気的雑音による擾乱を受け易い環境においても使用でき、簡易な構成で効率が良く低コストの光制御デバイスを得られる。
【0008】
また、本発明の好ましい態様としては、前記スイッチング部は、前記透明電極を透過した光の光量に応じて前記第1の位置と前記第2の位置との間である中間位置にさらに移動することが望ましい。スイッチング部は、第1の位置と第2の位置の間のさまざまな中間位置に移動することにより、多くの位置状態をとることができる。このため、スイッチング部が連続的な中間位置状態をとることにより、光制御デバイスは、二値のデジタル信号のみならず連続的に変化するアナログ信号に対応して駆動することもできる。これにより、デジタル量の表現のみならず時間的に連続して変化するようなアナログ量の表現も可能な光制御デバイスを得られる。
【0009】
また、本発明の好ましい態様としては、前記第1の電極と前記導電率可変部との間に、さらに絶縁層を有することが望ましい。第1の電極は、導電率可変部上に設けられている。第1の電極に対応する透明電極の位置に制御光が入射した場合、導電率可変部は、第1の電極に対応する部分について、導電率が大きくなるように変化する。このとき、電源の一方の電極は、透明電極と導電率可変部とを経由して第1の電極と電気的に接続される。電源の他方の電極は第1の電極に接続されていることから、第1の電極に対応する透明電極の位置に制御光が入射した場合、透明電極と導電率可変部と第1の電極とが電気的に接続されてしまう。このような電気的な接続を生じると、スイッチング部と第2の電極との間に静電力が発生しないため、光制御デバイスが機能できなくなる。このため、第1の電極と導電率可変部との間に、第1の電極と導電率可変部とを絶縁するための絶縁層を設ける。これにより、透明電極と導電率可変部と第1の電極との電気的な接続を確実に防ぎ、光制御デバイスを制御することができる。
【0010】
さらに、本発明によれば、流体を内部に保持可能な容器と、前記容器の前記内部に前記流体を流入させる第1の開口部と、前記容器の前記内部の前記流体を流出させる第2の開口部と、上記の光制御デバイスと、を有し、前記光制御デバイスの前記スイッチング部は前記容器の一部を形成する膜状体であって、前記透明電極を透過した光の光量に応じて前記膜状体を少なくとも前記第1の位置と、前記第2の位置とに移動させて変形させることにより前記容器の容積を変化させ、前記膜状体が前記第1の位置の方向へ移動するように変形する場合は前記第1の開口部から前記容器の前記内部へ前記流体を流入させ、前記膜状体が前記第2の位置の方向へ移動するように変形する場合は前記容器の前記内部にある前記流体を前記第2の開口部から流出させることを特徴とする光スイッチング素子を提供することができる。光制御デバイスのスイッチング部を膜状体とすることにより、容器の一部を変形させて容積を変化させることができる。このような容器は、ポンプとして機能することができる。これにより、制御光によって制御可能なポンプ機構の光スイッチング素子を得られる。
【0011】
さらに、本発明によれば、所定の信号を伝送する信号経路と、前記信号経路に設けられた第1の端子及び第2の端子と、上記の光制御デバイスと、を有し、前記光制御デバイスの前記スイッチング部は第1の端子であって、前記スイッチング部は、前記透明電極を透過した光の光量に応じて前記第1の位置と前記第2の位置とに選択的に移動し、前記第1の位置状態のときは前記第2の端子と当接することにより前記信号経路を接続して前記所定の信号を伝送し、前記第2の位置状態のときは前記第2の端子から離れることにより前記信号経路を遮断して前記所定の信号の伝送を停止することを特徴とする光スイッチング素子を提供することができる。光制御デバイスのスイッチング部を信号経路内に設けることにより、信号の伝送(ON)と伝送の停止(OFF)とを切替えるスイッチとして機能することができる。これにより、制御光によって制御可能なスイッチ機構の光スイッチング素子を得られる。
【0012】
さらに、本発明によれば、上記の光制御デバイスを複数有し、前記スイッチング部は、照明光を反射させる可動ミラー素子であって、前記可動ミラー素子は、前記透明電極を透過した光の光量により少なくとも前記第1の位置と前記第2の位置とに移動することで画像信号に応じて照明光を変調し、前記第1の位置は、前記照明光を投写レンズの入射瞳へ略全て入射させる方向へ反射させる位置であって、前記第2の位置は、前記照明光を前記投写レンズの前記入射瞳とは異なる方向へ反射させる位置であることを特徴とする空間光変調装置を提供することができる。光制御デバイスのスイッチング部を可動ミラー素子とすることにより、画像信号に応じて照明光を変調することができる。これにより、制御光によって各可動ミラー素子の制御(以下、「光アドレッシング」という。)が可能な空間光変調装置を得られる。
【0013】
また、本発明の好ましい態様としては、前記可動ミラー素子は、前記透明電極を透過した光の光量により前記中間位置にさらに移動して前記照明光を前記画像信号に応じて変調し、前記中間位置は、前記照明光の一部であって前記可動ミラー素子の位置に応じた光量の光を前記投写レンズの前記入射瞳へ反射させる位置であることが望ましい。可動ミラー素子が中間位置の状態にあるとき、可動ミラー素子は、照明光の一部であって可動ミラー素子の位置に応じた光量の光を入射瞳へ反射させる。可動ミラー素子は、可動ミラー素子のさまざまな位置に応じて照明光の一部の光を投写レンズの入射瞳へ反射させることにより、画像の階調を表現することができる。また、可動ミラー素子は、入射瞳へ反射させる光の光量を可動ミラー素子の位置に応じて時間的に連続して変化させることができる。このため空間光変調装置は、各可動ミラー素子の駆動速度を大きくすることなく、画像信号に応じた階調の画像を表示することができる。
【0014】
さらに、本発明によれば、光を供給する照明光源部と、前記照明光源部からの光を画像信号に応じて変調する空間光変調装置と、前記空間光変調装置で変調された光を投写する投写レンズと、を有し、前記空間光変調装置は、上記の空間光変調装置であって、それぞれの前記光制御デバイスの前記透明電極に光を供給する制御用光源部をさらに有することを特徴とするプロジェクタを提供することができる。上記の空間光変調装置を使用することにより、高品質な投写像のプロジェクタを得られる。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下に図面を参照して、本発明の実施形態を詳細に説明する。
(第1実施形態)
図1を用いて、本発明の第1実施形態に係る光制御デバイス100の概略構成を示す。光制御デバイス100は、MEMS技術により作成することができる。光制御デバイス100は、光学的に透明な平行平板である硝子基板101上に、光学的に透明な透明電極102が形成されている。透明電極102は、ITO膜で構成できる。透明電極102上には、透明電極102を透過した制御光L1の光量に応じて導電率が変化する導電率可変部103が形成されている。導電率可変部103は、例えばアモルフォス・シリコン(以下、「a−Si」という。)又は感光性有機膜などを用いることができる。例えば、a−Siは、水素を含んでいることが望ましい。また、a−Siは、気相成長法(CVD法)により形成する。a−Siは、制御光L1を全く照射させていない状態では、電気的な導電率が略ゼロ(即ち抵抗値が略無限大)の絶縁性部材として機能する。これに対して、a−Siに制御光L1を照射させると、その光量に応じて導電率が大きくなる(即ち抵抗値が小さくなる)。導電率可変部103において導電率が変化する領域は、制御光L1を照射させた領域である。
【0016】
絶縁層104は、導電率可変部103の略中央領域を除いた端部側の2箇所の位置の上に、スパッタ技術により形成される。絶縁層104にはSiO2を用いることができる。2箇所の絶縁層104の上にはそれぞれ第1の電極105a、105bが設けられている。また、第2の電極108は、導電率可変部103の上に直接設けられている。第1の電極105a、105bと第2の電極108とは導電性物質、例えばアルミニゥム(Al)で構成できる。また、直流電源109は、透明電極102と第1の電極105aとの間に所定電圧を印加する。さらに、第1の電極105aの上には、スイッチング部107と、スイッチング部107を移動可能に支持する支持部106とが形成されている。支持部106は、導電性を有する可撓性部材、又は導電性を有する弾性部材(金属ばね等)である。支持部106が導電性を有するため、支持部106を介してスイッチング部107と第1の電極105aとは同電位である。さらに、第1の電極105aと第1の電極105bとは、同電位となるように電気的に接続されている。このため、第1の電極105bは、スイッチング部107と同電位である。なお、第1の電極105aと第1の電極105bとは、一体として構成することにより同電位としても良い。第1の電極105aと第1の電極105bとを一体にする場合、例えば、第2の電極108の周囲を取り囲むように、第1の電極105aと第1の電極105bとを一体として設けることもできる。
【0017】
上述の構成の光制御デバイス100を制御光L1により制御する内容を説明する。第2の電極108に対応する透明電極102の位置Aへ制御光L1を入射させる。位置Aに制御光L1を入射させると、導電率可変部103は、制御光L1の光量に応じて電気的な導電率が大きくなる。導電率可変部103の導電率が大きくなることにより、直流電源109の一方の電極(例えば負極)は、透明電極102と導電率可変部103とを経由して第2の電極108と電気的に接続される。導電率可変部103の導電率は透明電極102を透過した制御光L1の光量に応じて変化するため、第2の電極108は、制御光L1の光量に応じた電圧が印加される。直流電源109の他方の電極(例えば正極)は、第1の電極105aと支持部106とを経由してスイッチング部107と電気的に接続されている。従って、透明電極102に制御光L1が入射することにより、スイッチング部107と第2の電極108との間には、導電率可変部103の導電率の変化量に応じた電位差を発生する。スイッチング部107と第2の電極108との間に電位差を発生することにより、電位差に応じた所定の力、例えば静電力(引力)F1が生じる。このため、スイッチング部107は、透明電極102に入射する制御光L1の光量に応じた静電力F1により第2の電極108の方向へ傾斜する。
【0018】
ここで、スイッチング部107と第2の電極108との間の静電力F1によって最も第2の電極108の方向に傾斜し、スイッチング部107の端部と第1の電極105bとが当接しているときのスイッチング部107の位置を、第1の位置とする。制御光L1の光量が大きくなれば、静電力F1も制御光L1の光量に対応して大きくなる。このため、制御光L1の光量を大きくする場合、又は制御光L1の照射時間を長くする場合に、スイッチング部107は、第2の電極108の方向へより大きく傾斜する。なお、上述のように、第1の電極105bとスイッチング部107とは同電位である。スイッチング部107と第1の電極105bとを同電位とすることにより、スイッチング部107と第1の電極105bとの通電又は帯電を防止する。スイッチング部107と第1の電極105bとの通電又は帯電を防止することにより、スイッチング部107が第1の電極105bに当接したまま制御できない状態となることを防止できる。なお、第1の電極105bは、スイッチング部107と当接可能に配置されていれば図1に示すよりも狭い領域に配置することとしても良い。
【0019】
さらに、透明電極102に制御光L1が入射しない場合は、導電率可変部103は上述のように絶縁性部材として機能する。このため、透明電極102の位置Aに制御光L1が入射しない場合、スイッチング部107と第2の電極108との間には何ら力が発生しない。スイッチング部107と第2の電極108との間に何ら力が発生しないとき、スイッチング部107は、図1で示すように硝子基板101に対して水平となる位置をとる。スイッチング部107と第2の電極108との間に何ら力が発生せず硝子基板101に対して水平となるようなスイッチング部107の位置を、第2の位置とする。
【0020】
透明電極102に制御光L1を照射させた後に制御光F1の照射を停止すると、透明電極102とスイッチング部107との間に発生していた静電力F1が消滅する。これにより、スイッチング部107は、支持部106の復元力により第1の位置から第2の位置に移動する。このようにして、光制御デバイス100は、制御光L1を利用することによりスイッチング部107を少なくとも第1の位置と第2の位置とに移動させて駆動する。なお、光制御デバイス100の複数の素子を制御する場合、制御光L1はCRT等の平面状の面光源により同時に照射させて制御する方法と、ビーム光を二次元方向に走査させて順次制御する方法とがある。
【0021】
光制御デバイス100は、制御光L1により駆動する。このため、光制御デバイス100は、電流又は電圧を供給するための外部電源、及び外部電源と接続するための外部電極の配置を不要とする。外部電源と外部電極との配置が不要であるため、光制御デバイス100を、外部から電気的に遮蔽することができる。光制御デバイス100を電気的に遮蔽することにより、電気による発火や漏電のおそれがある環境、電磁波ノイズの発生を制限すべき環境、電気的雑音による擾乱を受け易い環境においても光制御デバイス100を使用することができるという効果を奏する。光制御デバイス100は外部電源から電力の供給を受けず制御光L1の照射によって駆動することができるため、光制御デバイス100と外部電源とを電気的に接続するための配線及び半導体集積回路が不要となる。光制御デバイス100に配線が不要となることにより、光制御デバイス100を簡易な構成とすることができる。また、配線を配置するための領域の確保も不要であるから、スイッチング部107を駆動するための領域をより広く確保することができる。さらに、製造コストが高い半導体集積回路が不要となることにより、光制御デバイス100の製造コストを低くすることができる。光制御デバイス100は、製造工程においてパターニング工程やフォトリソ工程を不要とし、スピンコート法により容易に製造することができる。スピンコート法により容易に製造できること、硝子を基板としていることから、光制御デバイス100を大型化する場合であっても製造コストを低くすることができる。光制御デバイス100は、スイッチング部107が制御光L1のON、OFFにより移動するため、信号に高速に応答して駆動することが可能である。これにより、簡易な構成で効率が良く低コストの光制御デバイス100を得られるという効果を奏する。
【0022】
スイッチング部107は、透明電極102を透過した制御光L1の光量に応じて第1の位置と第2の位置との間である中間位置にさらに移動することとしても良い。スイッチング部107は、第1の位置と第2の位置のみならず中間位置にも移動可能とすることにより、第1の位置と第2の位置とに選択的に移動する場合に比較して、より多くの位置状態をとることができる。このため、スイッチング部107が連続的な中間位置状態をとることにより、光制御デバイス100は、デジタル信号のみならずアナログ信号に対応した駆動も可能となる。これにより、デジタル量の表現のみならず時間的に連続して変化するようなアナログ量の表現も可能となるという効果を奏する。
【0023】
本実施形態の光制御デバイス100は、導電率可変部103と第1の電極105a、105bとの間に絶縁層104を設けている。第1の電極105aに対応する透明電極102の位置に制御光L1が入射した場合、導電率可変部103は、第1の電極105aに対応する部分の導電率が大きくなる。第1の電極105bに対応する透明電極102の位置に制御光L1が入射した場合も、導電率可変部103は、第1の電極105bに対応する部分の導電率が大きくなる。絶縁層104を設置しない場合、直流電源109の一方の電極(負極)は、透明電極102と導電率可変部103とを経由して第1の電極105a、105bと電気的に接続される。直流電源109の他方の電極(正極)は第1の電極105aに接続されていることから、第1の電極105aに対応する透明電極102の位置に制御光L1を入射させた場合、透明電極102と導電率可変部103と第1の電極105a、105bとが電気的に接続されてしまう。このような電気的な接続を生じると、スイッチング部107と第2の電極108との間に静電力F1が発生せず、スイッチング部107を移動させることができない。従って、絶縁層104は、第1の電極105a、105bと導電率可変部103とを絶縁するために設けられている。これにより、透明電極102と導電率可変部103と第1の電極105a、105bとの電気的な接続を確実に防ぎ、光制御デバイス100を制御することができる。
【0024】
なお、導電率可変部103を経由して透明電極102と第1の電極105a、105bとを電気的に接続させないような構成とすることにより、絶縁層104を省略する構成としても良い。導電率可変部103は、一部に光を照射させる場合であっても光の光量と照射時間とにより段階的に導電率が変化する領域を広げる。そのため、制御光L1の照射方法と導電率可変部103の材質とを適宜変更することにより、導電率可変部103の導電率が変化する領域を第1の電極105の位置にまで広がらせないようにすることができる。これにより、透明電極102と第1の電極105とを電気的に接続させないようにし、光制御デバイス100を制御することができる。
【0025】
また、本実施形態の光制御デバイス100は直流電源109を使用しているが、交流電源を使用しても良い。交流電源を使用する場合、電位の位相が変化する瞬間にスイッチング部107と第2の電極108との間の電位差が0になる。このため、交流電源109は、位相の切替えがスイッチング部107の移動のための応答時間に比較して無視できる程度に短い時間(例えば、100nsec)に行われるような矩形波を発生させる。これにより、スイッチング部107は、位相の変化による影響を受けることなく移動することができる。さらに、位相の変化によって電圧の極性が変化してもスイッチング部107と第2の電極108との間の電位差には変化がないため、スイッチング部107は、印加する電圧の極性の変化による影響を受けることもない。交流電流は常に電荷の移動を行うため、電荷の蓄積と吸着とを防止し、電圧を安定して印加することができる。なお、以下の実施形態においても直流電源と交流電源とのいずれかを図示しているが、電源として直流電源と交流電源とのいずれも使用することができる。
【0026】
光制御デバイス100の支持部106は、支持部106の一部を細くさせた二層構造としても良い。支持部106を二層構造とすることによりスイッチング部107がより大きく傾斜する。これにより、例えば光制御デバイス100を画像表示に使用する場合に、開口率を増加させてコントラストの高い画像を得ることができる。このように本実施形態の光制御デバイス100は、光制御デバイス100の使用用途により構造を適宜変更しても良い。光制御デバイス100の構造を変化させて適用する具体的な例については、以下の第2、第3、第4実施形態にて説明する。
【0027】
(第2実施形態)
図2は、本発明の第2実施形態に係る光スイッチング素子の概略構成を示す。上記第1実施形態の光制御デバイス100と同一の部分には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。光スイッチング素子である液体ポンプ200は、第1実施形態の光制御デバイス100の素子の構造を応用して用いている。
【0028】
液体ポンプ200は、流体である液体を内部に保持可能な容器210を有する。容器210には、容器210の内部に液体を流入させる第1の開口部である流入口212と、容器210の内部の液体を流出させる第2の開口部である流出口214とを有する。流入口212、流出口214は、それぞれ弁216、218を有する。弁216は、流入口212から液体が流入するときに開く。また、弁218は、流出口218から液体が流出するときに開く。このようにして弁216と弁218とは、液体を流入口212から流出口214へと流し、液体がこの逆方向へ流れることを防止する。さらに容器210は、硝子基板101と、透明電極102と、導電率可変部103とを積層した部分と、側面部204と、スイッチング部である膜状体207とからなる。膜状体207は、例えばAl、Ni、Ti等の導電性物質により構成されている。膜状体207は、何ら力が作用していないときは図2に示すように硝子基板101に対して略平行な状態にある。第2の電極208は、導電率可変部103上に設けられている。膜状体207の周辺には、弾性部材205が配置されている。弾性部材205は、第1実施形態の光制御デバイス100の第1の電極105及び支持部106としての機能を有する。弾性部材205と第2の電極208とは導電体、例えばAlで構成できる。交流電源209は、透明電極202と弾性部材205との間に所定電圧を印加する。交流電源209からの所定電圧により、交流電源209に接続されている弾性部材205と膜状体207とは、互いに同電位である。なお、導電率可変部103と膜状体205との間については、第1実施形態の光制御デバイス100の導電率可変部103と第1の電極105との間と同様に、絶縁する必要がある。このため、導電率可変部103と膜状体205との間の側面部204の全部又は一部を絶縁性の部材とすることが望ましい。
【0029】
第2の電極208に対応する透明電極102の位置へ制御光L2を入射させると、第2の電極208は、制御光L2の光量に応じた電圧が印加される。交流電源209の一方の電極は、弾性部材205を経由して膜状体207と電気的に接続されている。従って、透明電極102に制御光L2を入射させることにより、膜状体207と第2の電極208との間には、導電率可変部103の導電率の変化量に応じた電位差を発生する。膜状体207と第2の電極208との間に電位差を発生することにより、透明電極102に入射する制御光L2の光量に応じた所定の力、例えば静電力(引力)F2が発生する。
【0030】
膜状体207と第2の電極208との間に静電力F2が生じると、膜状体207は、例えば膜状体207の略中心部分を第2の電極208の方向へ移動させて変形する。図2において、静電力F2により変形している状態の膜状体207を一点鎖線により示している。ここで、膜状体207と第2の電極208との間の静電力F2によって最も大きく変形させるような膜状体207の位置を、第1の位置とする。さらに、透明電極102に制御光L2を入射しない場合、導電率可変部103は絶縁性の部材として機能するために膜状体207と第2の電極208との間には何ら力が発生しない。このため、透明電極102への制御光L2の照射を停止した場合、膜状体207は、図2に示すように硝子基板101に対して略平行となる状態をとる。硝子基板101に対して略平行となる状態の膜状体207の位置を、第2の位置とする。
【0031】
透明電極102に制御光L2を照射させた後に制御光L2の照射を停止すると、透明電極102と膜状体207との間に発生していた静電力F2が消滅する。静電力F2が消滅すると、膜状体207は、弾性部材205の復元力によって第1の位置から第2の位置に移動する。膜状体207が第1の位置から第2の位置の方向へ移動すると、膜状体207は容器210の容積を大きくするように変形し、流入口212から容器210の内部へ液体が流入される。このとき弁218は閉じているため、膜状体207が第1の位置から第2の位置の方向へ移動するように変形しても、液体が流出口214から容器210へ流入することはない。これに対して、透明電極102に制御光L2の照射を停止した後に制御光L2の照射が開始されると、透明電極102と膜状体207との間に静電力F2が発生する。静電力F2が弾性部材205の弾性力より大きくなると、膜状体207は、第2の位置から第1の位置に移動する。膜状体207が第2の位置から第1の位置の方向へ移動すると、膜状体207は容器210の容積を小さくするように変形し、容器210の内部にある液体が流出口214から流出する。このとき弁216は閉じているため、膜状体207が第2の位置から第1の位置の方向へ移動するように変形しても、容器210の内部の液体が流入口212から流出することはない。このようにして、液体ポンプ200は、制御光L2を利用して膜状体207を少なくとも第1の位置と第2の位置とに移動させて変形させることにより液体の移動、混合等を行う。膜状体207は、伸張及び収縮により液体の流入と流出とができる程度変形可能であることを要する。さらに、膜状体207と側面部204との間の弾性部材205を省略して、膜状体207を直接側面部204と接合させる構成としても良い。この場合、膜状体207は、側面部204との接合部分において変形可能に支持されている。
【0032】
本実施形態の液体ポンプ200は、第1実施形態の光制御デバイス100のスイッチング部107を膜状体207に変更した構造を持つものである。これにより、光による制御が可能な液体ポンプ200を得られる。液体ポンプ200は、第1実施形態の光制御デバイス100と同様、電気による発火や漏電のおそれがある環境、電磁波ノイズの発生を制限すべき環境、電気的擾乱を受け易い環境においても使用することができる。液体ポンプ200の応用例としては、例えば皮膚の内側に設置する薬液投与装置としての使用が挙げられる。薬液投与装置としての液体ポンプ200を皮膚の内側に設置することにより、薬液投与のための負担を軽減することができる。また容器210としてセラミック等、膜状体207としてPMMA(ポリメチルメタクリレート)等の有機系化合物等、体内において親和性が高い材質を用いることにより、液体ポンプ200をさらに安全に使用することができる。液体ポンプ200の制御光L2としては、皮膚を通過可能である赤外光を使用するのが望ましい。このとき、赤外光の照射により電圧を供給可能な太陽電池を交流電源209に使用することによって、交流電源209も皮膚の内側に設置することができる。以上から、液体ポンプ200と交流電源209とを安全な材質の容器210に密閉して皮膚の内側に設置することができる。
【0033】
液体ポンプ200の膜状体207は、第1実施形態の光制御デバイス100のスイッチング部107と同様、第1の位置と第2の位置との間である中間位置にさらに移動することとしても良い。膜状体207が中間位置にも移動可能とすることにより、液体ポンプ200の流入口212から流入させる液体の量と流出口214から流出させる液体の量とを液体ポンプ200の使用状況に応じて適宜変更することができる。また、膜状体207の位置状態を時間的に調節することにより、液体の流入量と流出量とを時間的に変化させることもできる。さらに、本実施形態では液体の移動、混合等を行う液体ポンプ200について説明したが、本発明の光スイッチング素子は、気体を送り出すポンプとしても良い。
【0034】
(第3実施形態)
図3は、本発明の第3実施形態に係る光スイッチング素子の概略構成を示す。上記第1実施形態の光制御デバイス100と同一の部分には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。光スイッチング素子である高周波スイッチ(以下、「RFスイッチ」という。)300は、第1実施形態の光制御デバイス100の素子の構造を応用して用いている。
【0035】
RFスイッチ300は、所定の信号を伝送する信号経路C内に設けられている。信号経路Cは、RFスイッチ300への入力側経路Cinと出力側経路Coutとを有する。導電率可変部103の略中央領域には、第2の電極308が設けられている。第2の電極308を設けている導電率可変部103の面に、支持部304が設けられている。第1の電極であるスイッチング部305は、支持部304によって回転可能に支持されている。また、支持部304とスイッチング部305との接合部には、弾性部材、例えば金属ばね(不図示)を有する。スイッチング部305と第2の電極308とは導電性物質、例えばAlで構成できる。また、直流電源309は、透明電極102とスイッチング部305との間に所定電圧を印加する。
【0036】
スイッチング部305は信号経路Cに設けられた第1の端子であって、信号経路Cの出力側経路Coutに接続している。また、信号経路Cの入力側経路Cinには、第2の端子である当接部310が配置されている。スイッチング部305は、何ら力が作用していないときは当接部310に当接している。なお、導電率可変部103とスイッチング部305との間は、第1実施形態の光制御デバイス100の導電率可変部103と第1の電極105との間と同様に、絶縁する必要がある。このため、支持部304の全部又は一部を絶縁性の部材とすることが望ましい。
【0037】
第2の電極308に対応する透明電極102の位置へ制御光L3を入射させると、直流電源309の一方の電極(例えば負極)は、透明電極102と導電率可変部103とを経由して第2の電極308と電気的に接続される。このため第2の電極308は、制御光L3の光量に応じた電圧が印加される。直流電源309の他方の電極(例えば正極)は、スイッチング部305と電気的に接続されている。従って、透明電極102に制御光L3を入射させることにより、スイッチング部305と第2の電極308との間に、導電率可変部103の導電率の変化量に応じた電位差を発生する。スイッチング部305と第2の電極308との間に電位差を発生することにより、電位差に応じた所定の力、例えば静電力(引力)F3が生じる。スイッチング部305は、透明電極102に入射される制御光L3の光量に応じた静電力F3により、支持部304との接合部を中心として第2の電極308の方向へ回転移動する。ここで、静電力F3によって第2の電極308の方向に移動して、導電率可変部103に当接したときのスイッチング部305の位置を、第1の位置とする。
【0038】
さらに、透明電極102に制御光L3を入射しない場合、導電率可変部103は絶縁性の部材として機能するため、スイッチング部305と第2の電極308との間には何ら力が発生しない。スイッチング部305と第2の電極308との間に何ら力が発生しないとき、上述のようにスイッチング部305は当接部310に当接する。当接部310に当接しているときのスイッチング部107の位置を、第2の位置とする。
【0039】
透明電極102に制御光L3を照射させた後に制御光L3の照射を停止すると、透明電極102とスイッチング部305との間に発生していた静電力F3が消滅する。静電力F3が消滅するとスイッチング部305は、支持部304との接合部に有する弾性部材の復元力によって第1の位置から第2の位置へ回転移動する。このとき、スイッチング部305が当接部310と当接することにより、信号経路Cは接続される。従って、制御光L3の照射を停止させると、信号経路Cは信号を伝送する。これに対して、透明電極102の制御光L3の照射を停止させた後に制御光L3の照射を開始すると、透明電極102とスイッチング部305との間に静電力F3が発生する。発生した静電力F3が弾性部材の弾性力より大きくなると、スイッチング部305は、第2の位置から第1の位置の方向へ回転移動する。このとき、スイッチング部305が当接部310から離れることにより、信号経路Cは遮断される。従って、制御光L3の照射が開始されると、信号経路Cの信号の伝送は停止する。このようにして、RFスイッチ300は、制御光L3を利用してスイッチング部305を第1の位置と第2の位置とに選択的に移動させることにより、信号の伝送と伝送の停止とを切替える。
【0040】
本実施形態のRFスイッチ300は、第1実施形態の光制御デバイス100のスイッチング部107をスイッチング部305に変更した構造を持つものである。これにより、光による制御が可能なRFスイッチ300を得られる。RFスイッチ300は、例えば、水中や高所等の人が進入することが困難な環境におけるスイッチ、屋外で日照によって操作可能なスイッチ、遠隔操作のためのスイッチ等として応用できる。RFスイッチ300は、光制御デバイス100と同様、電気による発火や漏電のおそれがある環境、電磁波ノイズの発生を制限すべき環境、電気的雑音による擾乱を受け易い環境においても使用することができる。また、RFスイッチ300は、制御光L3が到達可能な場所から隔離操作を行うことができる。RFスイッチ300を遠隔の位置から操作を行う場合には光ファイバーにより光を伝送することとしても良い。光ファイバーを用いることにより伝送による光の減衰を低減し、RFスイッチ300を確実に操作することができる。なお、本実施形態のRFスイッチ300は上述の構成に限られない。第1実施形態の光制御デバイス100の支持部106と同様に、支持部304に可撓性部材、又は弾性部材を用いることとしても良い。但し上述のように、支持部304は全部又は一部を絶縁性の部材とする点、光制御デバイス100の支持部106と異なる。また、本実施形態のRFスイッチ300と同様の作用が可能であれば、構成を適宜変更可能である。例えば、上述とは逆に、スイッチング部305と第2の電極308との間に静電力F3が発生することにより、スイッチング部305と当接部310とが当接することとしても良い。この場合信号経路Cは、制御光L3の照射により信号を伝送し、制御光L3の照射を停止させることにより信号の伝送を停止する。
【0041】
(第4実施形態)
図4は、本発明の第4実施形態に係るプロジェクタの概略構成を示す。上記第1実施形態の光制御デバイス100と同一の部分には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。プロジェクタ400の空間光変調装置420は、第1実施形態の光制御デバイス100の構造を応用した可動ミラー素子407を複数個集積したものである。
【0042】
プロジェクタ400は、固体発光素子である発光ダイオード素子(以下、適宜「LED」という。)を複数設けた照明光源部410を有する。照明光源部410は、第1色光である赤色光(以下「R光」という。)を供給するR光用LED410Rと、第2色光である青色光(以下「B光」という。)を供給するB光用LED410Bと、第3色光である緑色光(以下「G光」という。)を供給するG光用LED410Gとを有する。照明光源部410から供給される照明光は、フィールドレンズ415を透過した後、空間光変調装置420に入射する。フィールドレンズ415は、空間光変調装置420をテレセントリックに照明する機能、即ち、照明光をできるだけ主光線に平行にして空間光変調装置420に入射させる機能を有する。プロジェクタ400は、照明光源部410の像を投写レンズ430の入射瞳435の位置に結像する。このため、空間光変調装置420は、照明光源部410から供給される照明光によりケーラー照明される。空間光変調装置420は、照明光源部410からの照明光を画像信号に応じて変調する。空間光変調装置420は、空間光変調装置420の硝子基板101が投写レンズ430の光軸AXに対して略垂直となるように設けられている。投写レンズ430は、空間光変調装置420で変調された光をスクリーン460に投写する。
【0043】
空間光変調装置420は、複数の可動ミラー素子407を有するティルトミラーデバイスである。説明のために、図4においては、3つの可動ミラー素子407を図示している。可動ミラー素子407は、導電率可変部103の投写レンズ430側の面に、支持部406により回転可能に支持されて設けられている。可動ミラー素子407は、第1実施形態の光制御デバイス100のスイッチング部107に相当するものである。また、支持部406は、光制御デバイス100の第1の電極105及び支持部106に相当するものである。支持部406と可動ミラー素子407とは、導電性物質、例えばAlで構成できる。導電体可変部103の投写レンズ430側の面には、支持部406の周辺に電極408、418が設けられている。1つの可動ミラー素子407に対して、2つの電極408、418が設けられている。電極408と電極418とは、第1実施形態の光制御デバイス100の第2の電極108に相当するものである。交流電源409は、透明基板102と支持部406との間に所定電圧を印加する。なお、導電率可変部103と支持部406との間は、光制御デバイス100の導電率可変部103と第1の電極105との間と同様に絶縁する必要がある。このため、導電率可変部103と支持部406との間に絶縁性部材404を設ける。絶縁性部材404を設けずに支持部406を絶縁性部材により形成し、交流電源409と可動ミラー407とを接続することとしても良い。
【0044】
プロジェクタ400において、空間光変調装置420の硝子基板101側の空間には、制御用光源部440と走査部450とが設けられている。制御用光源部440は、画像信号に応じて走査部450に制御光L4を供給する。走査部450は、互いに略直交する2つの回転軸を中心として回動する。走査部450が回動することにより、制御用光源部440からの制御光L4は、空間光変調装置420の硝子基板101面において二次元方向に走査される。走査部450としては、例えば、ガルバノミラーを用いることができる。図4では、走査部450の2つの回転軸のうち一方の回転軸Xを示している。このようにして制御用光源部440は、空間光変調装置420の透明電極102に制御光L4を供給する。
【0045】
以下、制御光L4による光アドレッシングについて説明する。走査部450は、2つの回転軸を中心に回動しながら制御光L4を反射することにより、画像信号に応じて透明電極102に制御光L41、L42、L43を照射させる。制御光L41、L42、L43は、それぞれ図4に示す3つの可動ミラー素子407を制御する。ここでは、制御光L41と制御光L42とによる可動ミラー素子407の制御について説明する。走査部450からの制御光L41が電極408に対応する透明電極102の位置Mに入射すると、制御光L41の光量に応じて導電率可変部103の導電率が大きくなる。導電率可変部103の導電率が大きくなることによって、交流電源409の一方の電極は、透明電極102と導電率可変部103とを経由して電極408と電気的に接続される。このため電極408は、制御光L41の光量に応じた電圧が印加される。なお、厳密には、導電率可変部103の導電率が変化する領域は、光の強度とその照射時間とに比例して、照射位置を中心として周辺へ拡がる傾向がある。空間光変調装置400は、光L4を高速に走査させることにより、順次、隣接する可動ミラー素子407を制御する。このため、制御光L41、L42、L43が照射された領域近傍のみの導電率が変化するものとして扱う。交流電源409の他方の電極は、支持部406を経由して可動ミラー素子407と電気的に接続されている。従って、透明電極102に制御光L41が入射することにより、可動ミラー素子407と電極408との間に、導電率可変部103の導電率の変化量に応じた電位差を発生する。可動ミラー素子407と電極408との間に電位差を発生することにより、電位差に応じた所定の力、例えば静電力(引力)F4が生じる。可動ミラー素子407は、透明電極102に入射する制御光L41の光量に応じた静電力F4により、支持部406との接合部を中心として電極408の方向へ回転移動する。ここで、静電力F4によって電極408の方向に移動したときの可動ミラー素子407の位置を、第1の位置とする。図4は、制御光L41が位置Mに入射することにより第1の位置の状態にある可動ミラー素子407を示している。
【0046】
さらに、走査部450からの制御光L42を電極418に対応する透明電極102の位置Nに入射させると、制御光L41を位置Mに入射させる場合と同様に、静電力F5が発生する。可動ミラー素子407は、静電力F5により電極410の方向へ回転移動する。静電力F5によって電極418の方向に移動したときの可動ミラー素子407の位置を、第2の位置とする。図4は、制御光L42が位置Nに入射することにより第2の位置の状態にある可動ミラー素子407を示している。
【0047】
以上により、可動ミラー素子407は、画像信号に応じて透明電極102を透過した制御光F4の光量により第1の位置と第2の位置とに選択的に移動する。可動ミラー素子407は、第1の位置にあるとき、照明光源部410からの照明光を投写レンズ430の方向へ反射させる。さらに、可動ミラー素子407は、第2の位置にあるとき、照明光を投写レンズ430の入射瞳435の方向とは異なる方向へ反射させる。このようにして、空間光変調装置420は照明光源部410からの照明光を画像信号に応じて変調する。これにより、光アドレッシングが可能な空間光変調装置420、及び空間光変調装置420を利用したプロジェクタ400を得られる。
【0048】
本発明の空間光変調装置420は、第1実施形態の光制御デバイス100と同様、プロジェクタ400の外部の電源との配線や半導体集積回路を不要とする。このため、本発明の空間光変調装置420によると、可動ミラー素子407をより大きく形成することができるという利点がある。可動ミラー素子407をより大きく形成することにより、画素どうしの間隙の領域を少なくして、変調領域をより広く確保することができる。これにより、簡易な構成で、高品質で明るい投写像を得られるという効果を奏する。また、光アドレッシングにより空間光変調装置420を高速に駆動することもできる。さらに、光制御デバイス100と同様、半導体集積回路を不要とするため、空間光変調装置420の製造コストを低くすることもできる。特に、光源部410のLEDの数量を増加することに伴い空間光変調装置420を大型にする場合であっても、プロジェクタ400を低廉にできるという効果を奏する。
【0049】
可動ミラー素子407は、画像信号に応じて透明電極102を透過した制御光L4の光量により、第1の位置と第2の位置との中間である中間位置にさらに移動して照明光を画像信号に応じて変調することとしても良い。可動ミラー素子407が中間位置の状態にあるとき、可動ミラー素子407は、照明光の一部であって可動ミラー素子407の位置に応じた光量の光を入射瞳435の方向へ反射させる。可動ミラー素子407は、可動ミラー素子407のさまざまな位置に応じて照明光の一部の光を入射瞳435の方向へ反射させることにより、画像の階調を表現することができる。また、可動ミラー素子407は、入射瞳435へ反射させる光の光量を可動ミラー素子407の位置に応じて連続的に変化させることができる。これにより、各可動ミラー素子407の駆動速度を大きくすることなく、画像信号に応じた階調の画像を表示することができるという効果を奏する。
【0050】
光アドレッシングのための制御光の照射は、制御用光源部440からの制御光F4を走査部450により透明電極102に走査させる方法に限られない。空間光変調装置420を光アドレッシングすることができるものであれば、適宜変更することができる。例えば、光ファイバーを束ねて各可動ミラー素子407に対応してビーム光を照射させることによって光アドレッシングしても良い。
【0051】
なお、空間光変調装置420は、1つの可動ミラー素子407について2つの電極408、418を用いる構成に限られない。例えば、第1実施形態の光制御デバイス100が1つのスイッチング部107について1つの電極108を用いているのと同様に、1つの可動ミラー素子407について1つの電極を用いる構成としても良い。また、上記の各実施形態の光制御デバイス100、ポンプ200、RFスイッチ300、空間光変調装置420は、静電力を発生させる電極の代わりに圧電素子を用いても良い。圧電素子は、電圧を印加することによりひずみを生じる性質を有する。圧電素子を用いると、圧電素子のひずみによる収縮力と復元力とを利用することにより、電極を使用する場合と同様にスイッチング部等を移動させることができる。
【0052】
また、本実施形態のプロジェクタ400は、投写レンズ430の一方の空間側に各色光用LED410R、410G、410Bを配置している。しかしこれに限られず、例えば、G光用LED410Gを投写レンズ430の反対側の空間に設けるような両側照明の構成とすることもできる。さらにプロジェクタ400はスクリーン460に投写するフロント投写型である場合に限らず、直視型ディスプレイを用いるものであっても良い。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態に係る光制御デバイスの概略構成を示す図。
【図2】本発明の第2実施形態に係る液体ポンプの概略構成を示す図。
【図3】本発明の第3実施形態に係るRFスイッチの概略構成を示す図。
【図4】本発明の第4実施形態に係るプロジェクタの概略構成を示す図。
【符号の説明】
100 光制御デバイス、101 硝子基板、102 透明電極、103 導電率可変部、104 絶縁層、105a、105b 第1の電極、106 支持部、107 スイッチング部、108 第2の電極、109 直流電源、200 ポンプ、204 側面部、205 弾性部材、207 膜状体、208 第2の電極、209 交流電源、210 容器、212 流入口、214 流出口、216、218 弁、300 RFスイッチ、304 支持部、305 スイッチング部、308 第2の電極、309 直流電源、310 当接部、400 プロジェクタ、404 絶縁性部材、406 支持部、407 可動ミラー素子、408、418 電極、409 交流電源、410 照明光源部、410R R光用LED、410G G光用LED、410B B光用LED、415 フィールドレンズ、420 空間光変調装置、430 投写レンズ、440 制御用光源部、450 走査部、460 スクリーン、A 位置、L1、L2、L3、L4、L41、L42、L43 制御光、F1、F2、F3、F4、F5 静電力、C 信号経路、Cin 入力側経路、Cout 出力側経路、AX 光軸、X 回転軸、M、N 位置[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a light control device controlled by light, a light switching element using the light control device, a spatial light modulator, and a projector technology using the spatial light modulator.
[0002]
[Prior art]
A micro electro mechanical system (hereinafter referred to as “MEMS”) is a three-dimensional integration of nanometer-scale mechanical structures on a silicon substrate. MEMS are used in many technical fields because they are small and can perform complicated functions. As a MEMS technology, for example, there is one proposed in Patent Document 1.
[0003]
[Patent Document 1]
US Pat. No. 5,867,202
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
However, the conventional MEMS is driven by a current or voltage from an external power source. For this reason, the conventional MEMS needs to be connected to an external power source using an external electrode. Since it is necessary to connect an external power source and an external electrode, for example, when conventional MEMS is used in a flammable gas, the flammable gas may be ignited by electricity. Since an external power supply and an external electrode are connected, leakage may occur due to the use of MEMS in an environment where a liquid such as water is in contact with the external electrode. In addition, since current or voltage from an external power source is used, electromagnetic noise generated from the external electrode may affect peripheral devices and the like. In addition, peripheral electrical noise from the external electrode may enter the MEMS, and control of the MEMS may be hindered. As described above, the conventional MEMS has a problem that it is difficult to use in an environment where there is a risk of ignition or electric leakage due to electricity, an environment where the generation of electromagnetic wave noise should be restricted, or an environment where electrical disturbance is likely to occur. Further, the conventional MEMS requires an integrated circuit using wiring for electrically connecting the external power source and the MEMS, CMOS (complementary metal oxide semiconductor), or the like. For this reason, the problem that it is difficult to make MEMS a simple structure also arises. The conventional MEMS is not only difficult to have a simple configuration, but also reduces the area of the MEMS drive portion in order to secure a region for arranging the wiring, thereby improving the MEMS drive efficiency. It becomes difficult. Further, since the manufacturing cost of the semiconductor integrated circuit is high, it is difficult to reduce the manufacturing cost of the MEMS when the semiconductor integrated circuit is used for the MEMS.
[0005]
The present invention has been made to solve the above-described problems, and can be used in an environment where there is a risk of ignition or electric leakage due to electricity, an environment where the generation of electromagnetic noise should be restricted, or an environment where electrical disturbance is likely to occur. An object of the present invention is to provide a light control device that has a simple configuration and is efficient and low in cost, and further provides a light switching element, a spatial light modulator, and a projector using the light control device.
[0006]
[Means for Solving the Problems]
In order to solve the above problems and achieve the object, according to the present invention, an optically transparent transparent electrode and an electrical device provided on the transparent electrode and electrically transmitted according to the amount of light transmitted through the transparent electrode. A predetermined voltage is applied between the conductivity variable portion where the conductivity changes, the first and second electrodes provided on the conductivity variable portion, and the transparent electrode and the first electrode. Power supply, a switching unit movable to at least the first position and the second position, and a support unit that movably supports the switching unit, wherein the support unit includes the switching unit and the switching unit. A conductive member having the same potential as the first electrode, and the second electrode and the first electrode according to the amount of light incident on the transparent electrode corresponding to the second electrode; A predetermined force is generated between the electrode and the switching unit having the same potential. , The switching unit may provide an optical control device, characterized in that moving at least said first position and the second position by said predetermined force.
[0007]
In the light control device of the present invention which is a MEMS, the second electrode is provided on the transparent electrode through the conductivity variable portion. When light (hereinafter referred to as “control light” as appropriate) is irradiated to the position of the transparent electrode corresponding to the second electrode, the conductivity variable portion has a greater conductivity in accordance with the amount of control light. By increasing the conductivity of the conductivity variable part, one electrode of the power supply is electrically connected to the second electrode via the transparent electrode and the conductivity variable part. Since the conductivity of the conductivity variable portion changes according to the amount of control light transmitted through the transparent electrode, a voltage corresponding to the amount of control light transmitted through the transparent electrode is applied to the second electrode. The other electrode of the power supply is electrically connected to the switching unit via the first electrode and the support unit. Therefore, when the control light is incident on the transparent electrode, a potential difference corresponding to the amount of change in the conductivity of the conductivity variable unit is generated between the second electrode and the switching unit. The switching unit moves in the direction of the second electrode in response to a predetermined force such as an electrostatic force (attraction) due to a potential difference with the second electrode. When the amount of control light incident on the transparent electrode is increased, or when the control light is incident for a longer time, the switching unit moves more in the direction of the second electrode. Further, when the control light is not incident on the transparent electrode, the conductivity variable portion functions as an insulator, and thus no force is generated between the switching portion and the second electrode. At this time, the switching part returns to the original position by the restoring force of the support part by using a flexible member having conductivity or an elastic member having conductivity as the support part. In this way, the light control device of the present invention drives the switching unit to move to at least the first position and the second position by using light. Since driving is performed using control light, it is not necessary to provide an external power source for supplying a current or voltage to the light control device and an external electrode for connecting to the external power source. Since the arrangement of the external power source and the external electrode is unnecessary, the light control device can be electrically shielded from the outside. Use the light control device even in an environment where there is a risk of ignition or leakage due to electricity, an environment that should limit the generation of electromagnetic noise, or an environment that is susceptible to disturbance due to electrical noise. be able to. Since the light control device can be driven by irradiation of control light without receiving power from an external power supply, wiring and a semiconductor integrated circuit for electrically connecting the light control device and the external power supply are not necessary. By eliminating the need for wiring in the light control device, the light control device can have a simple configuration. In addition, since it is not necessary to secure a region for arranging the wiring, a wider region for arranging the switching unit can be secured. Furthermore, since a semiconductor integrated circuit with a high manufacturing cost is not required, the manufacturing cost of the light control device can be reduced. Since the switching unit moves by turning on and off the control light, the light control device can be driven in response to a signal at a high speed. As a result, it can be used in environments where there is a risk of ignition or leakage due to electricity, environments where the generation of electromagnetic noise should be restricted, or environments subject to disturbances due to electrical noise. Get a device.
[0008]
Moreover, as a preferable aspect of the present invention, the switching unit further moves to an intermediate position between the first position and the second position in accordance with the amount of light transmitted through the transparent electrode. Is desirable. The switching unit can take many position states by moving to various intermediate positions between the first position and the second position. For this reason, when the switching unit assumes a continuous intermediate position state, the light control device can be driven not only for binary digital signals but also for analog signals that change continuously. As a result, it is possible to obtain a light control device capable of expressing not only a digital quantity but also an analog quantity that changes continuously in time.
[0009]
As a preferred aspect of the present invention, it is desirable that an insulating layer be further provided between the first electrode and the conductivity variable portion. The first electrode is provided on the conductivity variable unit. When the control light is incident on the position of the transparent electrode corresponding to the first electrode, the conductivity variable portion changes so that the conductivity increases for the portion corresponding to the first electrode. At this time, one electrode of the power supply is electrically connected to the first electrode via the transparent electrode and the conductivity variable portion. Since the other electrode of the power source is connected to the first electrode, when the control light is incident on the position of the transparent electrode corresponding to the first electrode, the transparent electrode, the conductivity variable unit, the first electrode, Are electrically connected. When such an electrical connection is generated, an electrostatic force is not generated between the switching unit and the second electrode, so that the light control device cannot function. For this reason, an insulating layer is provided between the first electrode and the conductivity variable portion to insulate the first electrode and the conductivity variable portion. Thereby, electrical connection with a transparent electrode, an electrical conductivity variable part, and a 1st electrode can be prevented reliably, and a light control device can be controlled.
[0010]
Further, according to the present invention, a container capable of holding a fluid inside, a first opening for allowing the fluid to flow into the interior of the container, and a second for allowing the fluid inside the container to flow out. An opening, and the light control device, wherein the switching unit of the light control device is a film-like body that forms a part of the container, and corresponds to the amount of light transmitted through the transparent electrode. Then, the volume of the container is changed by moving the film-like body to at least the first position and the second position to be deformed, and the film-like body is moved in the direction of the first position. In the case of deformation, the fluid is allowed to flow into the container from the first opening, and in the case of deformation so that the film-like body moves in the direction of the second position, The fluid inside the second opening It is possible to provide an optical switching element for causing to flow out. By making the switching part of the light control device into a film-like body, a part of the container can be deformed to change the volume. Such a container can function as a pump. Thereby, the optical switching element of the pump mechanism which can be controlled by the control light can be obtained.
[0011]
Furthermore, according to the present invention, the optical control device includes a signal path for transmitting a predetermined signal, a first terminal and a second terminal provided in the signal path, and the light control device. The switching unit of the device is a first terminal, and the switching unit selectively moves between the first position and the second position according to the amount of light transmitted through the transparent electrode, When in the first position state, the signal path is connected by contacting the second terminal to transmit the predetermined signal, and when in the second position state, the signal is separated from the second terminal. Accordingly, the optical switching element can be provided that cuts off the signal path and stops transmission of the predetermined signal. By providing the switching unit of the light control device in the signal path, it can function as a switch for switching between signal transmission (ON) and transmission stop (OFF). Thereby, the optical switching element of the switch mechanism which can be controlled by the control light can be obtained.
[0012]
Further, according to the present invention, the light control device includes a plurality of the light control devices, the switching unit is a movable mirror element that reflects illumination light, and the movable mirror element is an amount of light transmitted through the transparent electrode. The illumination light is modulated in accordance with the image signal by moving to at least the first position and the second position by the first position, and the illumination light is incident almost entirely on the entrance pupil of the projection lens at the first position. The spatial light modulation device is characterized in that the second position is a position that reflects the illumination light in a direction different from the entrance pupil of the projection lens. be able to. By using the movable mirror element as the switching unit of the light control device, it is possible to modulate the illumination light according to the image signal. As a result, a spatial light modulator capable of controlling each movable mirror element (hereinafter referred to as “optical addressing”) with the control light can be obtained.
[0013]
In a preferred aspect of the present invention, the movable mirror element is further moved to the intermediate position by the amount of light transmitted through the transparent electrode to modulate the illumination light in accordance with the image signal, and the intermediate position Is preferably a position that reflects a part of the illumination light and a light amount corresponding to the position of the movable mirror element to the entrance pupil of the projection lens. When the movable mirror element is in the intermediate position state, the movable mirror element reflects a part of the illumination light with a light amount corresponding to the position of the movable mirror element to the entrance pupil. The movable mirror element can express the gradation of an image by reflecting a part of the illumination light to the entrance pupil of the projection lens according to various positions of the movable mirror element. Further, the movable mirror element can continuously change the amount of light reflected to the entrance pupil in time according to the position of the movable mirror element. For this reason, the spatial light modulator can display an image having a gradation corresponding to the image signal without increasing the driving speed of each movable mirror element.
[0014]
Furthermore, according to the present invention, an illumination light source unit that supplies light, a spatial light modulation device that modulates light from the illumination light source unit according to an image signal, and light modulated by the spatial light modulation device are projected. And the spatial light modulation device further includes a control light source unit that supplies light to the transparent electrode of each of the light control devices. A projector having the characteristics can be provided. By using the spatial light modulator described above, a projector having a high-quality projected image can be obtained.
[0015]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.
(First embodiment)
A schematic configuration of a
[0016]
The insulating
[0017]
The contents of controlling the
[0018]
Here, the electrostatic force F1 between the switching
[0019]
Furthermore, when the control light L1 is not incident on the
[0020]
When the irradiation of the control light F1 is stopped after the
[0021]
The
[0022]
The
[0023]
In the
[0024]
Note that the insulating
[0025]
Moreover, although the
[0026]
The
[0027]
(Second Embodiment)
FIG. 2 shows a schematic configuration of the optical switching element according to the second embodiment of the present invention. The same parts as those of the
[0028]
The
[0029]
When the control light L2 is incident on the position of the
[0030]
When an electrostatic force F <b> 2 is generated between the film-
[0031]
When the irradiation of the control light L2 is stopped after the
[0032]
The
[0033]
The film-
[0034]
(Third embodiment)
FIG. 3 shows a schematic configuration of an optical switching element according to the third embodiment of the present invention. The same parts as those of the
[0035]
The
[0036]
The
[0037]
When the control light L 3 is incident on the position of the
[0038]
Further, when the control light L3 is not incident on the
[0039]
When the irradiation of the control light L3 is stopped after the
[0040]
The
[0041]
(Fourth embodiment)
FIG. 4 shows a schematic configuration of a projector according to the fourth embodiment of the invention. The same parts as those of the
[0042]
The
[0043]
The spatial
[0044]
In the
[0045]
Hereinafter, optical addressing by the control light L4 will be described. The
[0046]
Further, when the control light L42 from the
[0047]
As described above, the
[0048]
Similar to the
[0049]
The
[0050]
The irradiation of the control light for optical addressing is not limited to the method of causing the
[0051]
Spatial
[0052]
In the
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration of a light control device according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a diagram showing a schematic configuration of a liquid pump according to a second embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a diagram showing a schematic configuration of an RF switch according to a third embodiment of the present invention.
FIG. 4 is a diagram showing a schematic configuration of a projector according to a fourth embodiment of the invention.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF
Claims (8)
前記透明電極上に設けられ、前記透明電極を透過した光の光量に応じて電気的な導電率が変化する導電率可変部と、
前記導電率可変部上に設けられた第1の電極及び第2の電極と、
前記透明電極と前記第1の電極との間に所定電圧を印加する電源と、
少なくとも第1の位置と第2の位置とに移動可能なスイッチング部と、
前記スイッチング部を移動可能に支持する支持部と、を有し、
前記支持部は、前記スイッチング部と前記第1の電極とを同電位にする導電性を有する部材であり、
前記第2の電極に対応する前記透明電極の位置へ入射する光量に応じて、前記第2の電極と、前記第1の電極と同電位の前記スイッチング部との間に所定の力を発生させ、
前記スイッチング部は、前記所定の力により少なくとも前記第1の位置と前記第2の位置とに移動することを特徴とする光制御デバイス。An optically transparent transparent electrode;
A conductivity variable portion provided on the transparent electrode, the electrical conductivity changing according to the amount of light transmitted through the transparent electrode; and
A first electrode and a second electrode provided on the conductivity variable portion;
A power supply for applying a predetermined voltage between the transparent electrode and the first electrode;
A switching unit movable to at least a first position and a second position;
A support part that movably supports the switching part,
The support portion is a conductive member that makes the switching portion and the first electrode the same potential,
A predetermined force is generated between the second electrode and the switching unit having the same potential as the first electrode in accordance with the amount of light incident on the position of the transparent electrode corresponding to the second electrode. ,
The light control device, wherein the switching unit moves to at least the first position and the second position by the predetermined force.
前記容器の前記内部に前記流体を流入させる第1の開口部と、
前記容器の前記内部の前記流体を流出させる第2の開口部と、
請求項1〜3のいずれか一項に記載の光制御デバイスと、を有し、
前記光制御デバイスの前記スイッチング部は前記容器の一部を形成する膜状体であって、前記透明電極を透過した光の光量に応じて前記膜状体を少なくとも前記第1の位置と、前記第2の位置とに移動させて変形させることにより前記容器の容積を変化させ、
前記膜状体が前記第1の位置の方向へ移動するように変形する場合は前記第1の開口部から前記容器の前記内部へ前記流体を流入させ、前記膜状体が前記第2の位置の方向へ移動するように変形する場合は前記容器の前記内部にある前記流体を前記第2の開口部から流出させることを特徴とする光スイッチング素子。A container capable of holding fluid inside;
A first opening for allowing the fluid to flow into the interior of the container;
A second opening through which the fluid inside the container flows out;
The light control device according to any one of claims 1 to 3,
The switching unit of the light control device is a film-like body that forms a part of the container, and the film-like body is at least in the first position according to the amount of light transmitted through the transparent electrode, Changing the volume of the container by moving it to a second position and deforming it,
When the film-like body is deformed so as to move in the direction of the first position, the fluid is caused to flow into the container from the first opening, and the film-like body is moved to the second position. In the case of deformation so as to move in the direction of the optical switching element, the fluid inside the container flows out from the second opening.
前記信号経路に設けられた第1の端子及び第2の端子と、
請求項1〜3のいずれか一項に記載の光制御デバイスと、を有し、
前記光制御デバイスの前記スイッチング部は前記第1の端子であって、
前記スイッチング部は、前記透明電極を透過した光の光量に応じて前記第1の位置と前記第2の位置とに選択的に移動し、前記第1の位置状態のときは前記第2の端子と当接することにより前記信号経路を接続して前記所定の信号を伝送し、前記第2の位置状態のときは前記第2の端子から離れることにより前記信号経路を遮断して前記所定の信号の伝送を停止することを特徴とする光スイッチング素子。A signal path for transmitting a predetermined signal;
A first terminal and a second terminal provided in the signal path;
The light control device according to any one of claims 1 to 3,
The switching unit of the light control device is the first terminal;
The switching unit selectively moves between the first position and the second position in accordance with the amount of light transmitted through the transparent electrode, and the second terminal when in the first position state. Is connected to the signal path to transmit the predetermined signal, and when in the second position state, the signal path is blocked by moving away from the second terminal. An optical switching element that stops transmission.
前記スイッチング部は、照明光を反射させる可動ミラー素子であって、
前記可動ミラー素子は、前記透明電極を透過した光の光量により少なくとも前記第1の位置と前記第2の位置とに移動することで前記照明光を画像信号に応じて変調し、
前記第1の位置は、前記照明光を投写レンズの入射瞳へ略全て入射させる方向へ反射させる位置であって、前記第2の位置は、前記照明光を前記投写レンズの前記入射瞳の方向とは異なる方向へ反射させる位置であることを特徴とする空間光変調装置。A plurality of light control devices according to any one of claims 1 to 3,
The switching unit is a movable mirror element that reflects illumination light,
The movable mirror element modulates the illumination light according to an image signal by moving to at least the first position and the second position by the amount of light transmitted through the transparent electrode,
The first position is a position that reflects the illumination light in a direction in which substantially all of the illumination light is incident on the entrance pupil of the projection lens, and the second position is the direction of the entrance pupil of the projection lens. A spatial light modulator characterized by being a position that reflects light in a different direction.
前記中間位置は、前記照明光の一部であって前記可動ミラー素子の位置に応じた光量の光を前記投写レンズの前記入射瞳へ反射させる位置であることを特徴とする請求項6に記載の空間光変調装置。The movable mirror element is further moved to the intermediate position by the amount of light transmitted through the transparent electrode to modulate the illumination light according to the image signal,
7. The intermediate position is a position where a part of the illumination light and a light amount corresponding to the position of the movable mirror element is reflected to the entrance pupil of the projection lens. Spatial light modulator.
前記照明光源部からの光を画像信号に応じて変調する空間光変調装置と、
前記空間光変調装置で変調された光を投写する投写レンズと、を有し、
前記空間光変調装置は、請求項6又は7に記載の空間光変調装置であって、
前記空間光変調装置の前記透明電極に光を供給する制御用光源部をさらに有することを特徴とするプロジェクタ。An illumination light source for supplying light;
A spatial light modulator that modulates light from the illumination light source unit according to an image signal;
A projection lens for projecting light modulated by the spatial light modulator,
The spatial light modulator is the spatial light modulator according to claim 6 or 7,
The projector further comprising a control light source unit for supplying light to the transparent electrode of the spatial light modulator.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003170692A JP2005010192A (en) | 2003-06-16 | 2003-06-16 | Optical control device, optical switching element, space light modulator and projector |
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Publications (1)
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---|---|---|---|
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Cited By (1)
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---|---|---|---|---|
JP2013502622A (en) * | 2009-08-24 | 2013-01-24 | キャベンディッシュ・キネティックス・インコーポレイテッド | Manufacture of floating rocker MEMS devices for light modulation |
-
2003
- 2003-06-16 JP JP2003170692A patent/JP2005010192A/en not_active Withdrawn
Cited By (2)
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JP2013502622A (en) * | 2009-08-24 | 2013-01-24 | キャベンディッシュ・キネティックス・インコーポレイテッド | Manufacture of floating rocker MEMS devices for light modulation |
US8786933B2 (en) | 2009-08-24 | 2014-07-22 | Cavendish Kinetics, Inc. | Fabrication of a floating rocker MEMS device for light modulation |
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