JP2005003665A - 汎用ナノスケール計測技術による熱拡散率一点測定法 - Google Patents
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Abstract
【課題】ナノスケールにおいて、バルク体又は薄膜の熱拡散率を測定する汎用ナノスケール計測技術による熱拡散率一点測定法の提供。
【構成】薄膜が有る又は無い物質のτ値及びそのD値を、TGC法を使って行う一点測定法において、該物質表面の温度変化に対する高い空間分解能を持たせるために創られた波長266nmのポンプパルス光の回折縞を有し、その回折縞の過渡変化を測定した過渡格子信号データ(TGS)又は過渡格子信号プロファイル(TGSプロファイル)から、既に用意されているレーザーフラッシュ(LFM)法による文献値に最も近いD値及びそのτ値を抽出するために創作されたフィッティング関数{S(t)= k [exp(-t/τ)]3}を使用してデータ解析処理する。
【選択図】 図1
Description
TGC法を完全な原理に創り上げるため、数多くの試みが企てられたが、しかし無駄であった。その試みの事例は、例えば、文献(1-9)に記載されている。過去に遡(さかのぼ)ってその困難の要因は次の通り。最初に立ちはだかったその要因は、短い波長の光がポンプパルス光として研究に使われなかったことと併せて、ワイドギャップ半導体が参照物質として目録に上げられなかったことである。その根拠は誤った初期の熱源モデルに有ったと思える。その初期の熱源モデルは、例えば、文献(1)に記載されている。
改良点(その1)
ところが、吸収端より長い波長の光は結晶性の高い物質内ではほとんど吸収されないけれど、それが吸収端より短波長の光のとき、吸収係数が非常に大きいので、光の吸収のほとんどが表面層だけで起こる。要するに、TGC法の原理において、ポンプパルス光として吸収端より短い波長の光が使用されたとき、その光格子の透過深さ及び深さの分布はポンプパルス光の入射角の影響から開放されることを意味する。
従来の問題点(その2)
次に立ちはだかったその要因は、リボン状熱源モデルに基づいて用意された汎用のフィッティング関数 (S(t) = RpIpI2A2[exp(-t/τT)- r exp(-t/τA)cos{2πF(t+ tD)}]2 はもはや四角又は四角な熱源モデルに役立たないと云うことである。その汎用のフィッティング関数は、例えば、文献(2-9)に記載されている。
改良点(その2)
そういうわけで、汎用なフィッティング関数に代わって、適切なフィッティング関数が求められる。つまり、すでに提案された四角又は四角な熱源モデルに基づいて、その適切なフィッティング関数が創られたならば、その要求は満足されるであろう。
存性を持たない定数である。
従来の問題点(その3)
フィッティング行為は測定されたTGSプロファイルからそのτ値を見事に抽出するまでのその過程を意味する。式1を用いてフィッティング計算を開始する前に、オペレータ自らが決定しなければならないパラメータがある。それは、測定時間t値を持って示され、フィッティング計算が開始されるその始点と終了されるその終点を意味する。その始点と終点をきっちり選択することは重要である。特に、その始点の選択は、TGSプロファイルから熱信号だけを正確に読み取る上で最も重要である。何故なら、間違った始点は誤ったτ値をもたらすから。
改良点(その3)
そのため、本発明者は、他の幾つかの物質についてTGSプロファイルを取得するための追加実験を持った。何故なら、サンプル物質の種類がそのような始点にどのように影響するのか、その違いを確認するために。その結果は、物質の種類が異なったとき、その始点が変わると云うことである。
で、始点を幾つか取り替えながら、そのTGSプロファイルと式1を使って、ほんの数回のフィッティング試行が繰り返し行われるだけだから。したがって、このやり方で、薄膜が有る又は無い、そんな幾つかの物質のτ値がTGC法を使って行う本熱拡散率一点測定法によって見事に測定できることを確認した。
H. Eichler, G. Salje, and H. Stahl, J. Appl. Phys. 44, 5383(1973). A. Harata, H. Nishimura, and T. Sawada, Appl. Phys. Lett. 57, 132(1990). C.D. Marshall, A. Tokmakoff, I.M. Fishman, C.B. Eom, J.M. Phillips, and M.D. Fayer, J. Appl. Phys. 73, 850 (1993). J.A. Rogers and K.A. Nelson, J. Appl. Phys. 75, 1534 (1994). Q. Shen, A. Harata, and T. Sawada, J. Appl. Phys. 77, 1488(1995). A. Harata, N. Adachi, and T. Sawada, Phys. Rev. B 58, 7319(1998). Y. Takata, H. Haneda, T. Mitsuhashi, and Y. Wada, Appl. Surf. Sci., 189, 227(2002). Y. Takata et al., in Combinatorial and Artificial Intelligence Methodsin Materials Science, edited by I. Takeuchi et al. (Mat. Res. Soc. Symp.Proc. 700, Boston, MA, 2001) pp. 167-172. Y. Takata et al., in Materials for Energy Storage, Generation and Transport, edited by G. Cender et al. (Mat. Res. Soc. Symp. Proc. 730, San Francisco, CA, 2002) pp. 221-226. JIS R1611, Japan industrial standard for measuring thermal conductivity (1997). Japan Society of Thermophysical properties, in Thermophysical PropertiesHandbook (Yokendo publishers, Tokyo, 1990) p. 263. Physics of Semiconductor Devices, 2nd ed., edited by S.M. Sze (JHON WILEY & SONS, Inc., New York, 1981), p. 750.
イル)から、既に用意されているレーザーフラッシュ(LFM)法による文献値に最も近いD値及びそのτ値を抽出するために創作されたフィッティング関数[S(t) = k {exp(-t/τ)}3]を使用してデータ解析処理する、ことを特徴とする汎用ナノスケール計測技術による熱拡散率一点測定法、である。
献値に最も近いD値及びそのτ値が抽出されると云うのである。
さ(1/α) = 100 nm台}でほとんど吸収されよう。
Z軸方向の熱輸送に相当する信号成分は、そのTGS又はそのTGSプロファイルの中で、exp(-t/τ) の通り、exp(-t/τ) の一乗で表される強度を分担する。そういうわけで、その三つの方向の熱輸送に相当する信号成分をまとめると、全体の信号強度は時間変化(t)を伴う創作されたフィッティング関数 [S(t) = k {exp(-t/τ)}3] で表される。
て。その図中の四角の印は図2(a)の各曲線上で最高点の値を持ってプロットされたデータを表す。実線は多項式回帰を使って算出された曲線である。図2(a)に示される様に、光格子の強さはポンプパルス光に対して照射出力依存性を示す。
る。同時に、そのCSCO薄膜のTGSプロファイルのτ値も与えられ、6.1nsを示した。次に、そのD値は、式D= Λ2/4π2τを使って、6.1nsのτ値と1175nmのΛ値をそれぞれ代入して決められ、最終的に0.057cm2/sのD値が算出された。
Claims (4)
- 薄膜が有る又は無い物質のτ値及びそのD値を、TGC法を使って行う一点測定法において、該物質表面の温度変化に対する高い空間分解能を持たせるために創られた波長266nmのポンプパルス光の回折縞を有し、その回折縞の過渡変化を測定した過渡格子信号データ(TGS)又は過渡格子信号プロファイル(TGSプロファイル)から、既に用意されているレーザーフラッシュ(LFM)法による文献値に最も近いD値及びそのτ値を抽出するために創作されたフィッティング関数[S(t)= k {exp(-t/τ)}3]を使用してデータ解析処理する、ことを特徴とする汎用ナノスケール計測技術による熱拡散率一点測定法。
- そのポンプパルス光として、吸収端より短い波長の光を使用する条件下で、一つの光格子は一つの熱格子を生成し、その熱格子は一つの理想的単位熱源に相当する断面が四角又は四角な単位熱源モデルを有することを特徴とする請求項1記載の汎用ナノスケール計測技術による熱拡散率一点測定法。
- その創作されたフィッティング関数がナノテクノロジーのTGC法とマクロテクノロジーのLFM法を緊密に関連させ、そしてその両者が同じ熱拡散率(D値)を共有できることを特徴とする請求項1記載の汎用ナノスケール計測技術による熱拡散率一点測定法。
- そのTGS又はTGSプロファイルを解析処理するとき、そのフィッティング時間の範囲は、その熱格子の温度が最大値を持つと思われるところの始点から熱平衡後に経過した時間までのところであることを特徴とする請求項1記載の汎用ナノスケール計測技術による熱拡散率一点測定法。
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