JP2005002352A

JP2005002352A - Surface treatment unit for base material

Info

Publication number: JP2005002352A
Application number: JP2004263178A
Authority: JP
Inventors: Yoshikazu Kondo; 慶和近藤; Kazuhiro Fukuda; 和浩福田; Akira Nishiwaki; 彰西脇; Yuichiro Maehara; 雄一郎前原
Original assignee: Konica Minolta Inc
Current assignee: Konica Minolta Inc
Priority date: 1997-04-24
Filing date: 2004-09-10
Publication date: 2005-01-06
Anticipated expiration: 2018-04-07
Also published as: JP3747942B2

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a surface treatment unit for a base material, capable of treating by stable glow discharge treatment with an inexpensive gas and coping with environmental problems. <P>SOLUTION: The surface treatment unit for treating a base material by glow discharge, which base material is continuously conveyed between a pair of electrodes, is characterized by circulating at least a part of gas between the pair of electrodes, wherein the space between the pair of electrodes is made an atmosphere of a gas containing ≥50 pressure% inert gas at atmospheric pressure or its vicinity. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、連続搬送される支持体上にグロー放電処理を施す表面処理装置に関する。 The present invention relates to a surface treatment apparatus that performs glow discharge treatment on a continuously conveyed support.

支持体上に塗布液を塗布する前に、塗布液の支持体上への接着性を向上させるために、従来から種々の表面処理が行われている。例えば、ポリマー支持体として各種ポリエステル支持体、例えば、ポリエチレンテレフタレート（以下、ＰＥＴともいう）やポリエチレンナフタレート（以下、ＰＥＮともいう）を連続搬送して、コーター等の塗布装置によって塗布液として写真乳剤を塗布する場合には、ポリマー支持体と写真乳剤との膜付きを良くするために、コロナ放電処理、火炎処理等の種々の表面改質法が発明されてきた。これら従来の方法においては、均一性に問題があり、十分な接着性が得られなかった。 Various surface treatments have been conventionally performed in order to improve the adhesion of the coating solution onto the support before coating the coating solution on the support. For example, various polyester supports such as a polymer support, for example, polyethylene terephthalate (hereinafter also referred to as PET) or polyethylene naphthalate (hereinafter also referred to as PEN) are continuously conveyed, and a photographic emulsion as a coating solution by a coating device such as a coater. In the case of coating, various surface modification methods such as corona discharge treatment and flame treatment have been invented in order to improve film adhesion between the polymer support and the photographic emulsion. In these conventional methods, there is a problem in uniformity, and sufficient adhesion cannot be obtained.

ところが、近年、電気放電処理を施すことにより膜付き性を向上させる表面処理方法が提案された（例えば特許文献１参照）。かかる表面処理方法は、大気圧下で、不活性ガスであるヘリウムと酸素又は／及び窒素とを混合したガスを一対の電極間に供給して、一対の電極間を搬送する支持体に対して電気放電（グロー放電）処理を施すものである。
特開平８−１８８６５９号公報 However, in recent years, a surface treatment method has been proposed that improves film adhesion by performing an electrical discharge treatment (see, for example, Patent Document 1). Such a surface treatment method supplies a gas, which is a mixture of an inert gas helium and oxygen or / and nitrogen, between a pair of electrodes at atmospheric pressure, and supports the substrate that is transported between the pair of electrodes. An electrical discharge (glow discharge) treatment is performed.
JP-A-8-188659

ところが、上記公報に記載された表面処理においては、一対の電極間に供給するガスにヘリウムを使用しているため、非常に高価な気体となり、工業生産には適さない。 However, in the surface treatment described in the above publication, since helium is used as the gas supplied between the pair of electrodes, the gas becomes very expensive and is not suitable for industrial production.

更に、本発明者らが鋭意検討した結果、一対の電極間に常にガスを供給して拡散を促すことが安定したグロー放電処理には必要であるが、使用されたガスをそのまま廃棄すると、高コストを招くばかりでなく、環境破壊にもつながる。また、グロー放電処理の処理時間の経過に伴い、プラズマ反応による一対の電極間のガス濃度の変化や電極の汚れ（異物の付着）などにより、グロー放電処理を長時間、安定して施すことが困難である、等の問題点がある。 Furthermore, as a result of intensive studies by the present inventors, it is necessary for stable glow discharge treatment to always supply gas between a pair of electrodes to promote diffusion, but if the used gas is discarded as it is, In addition to incurring costs, it also leads to environmental destruction. Also, as the processing time of the glow discharge treatment elapses, the glow discharge treatment can be stably performed for a long time due to a change in gas concentration between the pair of electrodes due to the plasma reaction or electrode contamination (attachment of foreign matter). There are problems such as difficulty.

本発明は上記問題点に鑑み、安価なガスにより安定したグロー放電処理が可能な、且つ、環境問題に対応した、支持体の表面処理装置を提供することを目的とする。 SUMMARY OF THE INVENTION In view of the above problems, an object of the present invention is to provide a support surface treatment apparatus that can perform stable glow discharge treatment with an inexpensive gas and that is compatible with environmental problems.

本発明に係る上記目的は下記請求項に記載の構成により達成される。 The above object of the present invention is achieved by the configurations described in the following claims.

（請求項１）大気圧若しくはその近傍下で、少なくとも５０圧力％以上の不活性ガスを含有したガスの雰囲気とした一対の電極間を、連続搬送されている支持体に対して、グロー放電を施す支持体の表面処理装置において、
前記一対の電極間のガスの少なくとも一部を循環させることを特徴とする支持体の表面処理装置。 (Claim 1) Glow discharge is performed on a support that is continuously transported between a pair of electrodes in an atmosphere of a gas containing an inert gas of at least 50% by pressure at or near atmospheric pressure. In the surface treatment apparatus for the support to be applied,
A surface treatment apparatus for a support, wherein at least part of a gas between the pair of electrodes is circulated.

（請求項２）前記一対の電極間のガスの濃度を検出する検出手段と、前記検出手段により検出したガスの濃度とに応じて、前記一対の電極間へ供給するガスを制御することを特徴とする請求項１に記載の支持体の表面処理装置。 (Claim 2) The gas supplied between the pair of electrodes is controlled in accordance with a detecting means for detecting a gas concentration between the pair of electrodes and a gas concentration detected by the detecting means. The surface treatment apparatus for a support according to claim 1.

本発明によれば次のような効果を得ることが出来る。すなわち、
請求項１及び２に記載の発明によれば、安価なガスにより安定したグロー放電処理が可能な、且つ、環境問題に対応した、支持体の表面処理装置を提供することが可能となる。 According to the present invention, the following effects can be obtained. That is,
According to the first and second aspects of the present invention, it is possible to provide a surface treatment apparatus for a support that can perform a stable glow discharge treatment with an inexpensive gas and is compatible with environmental problems.

すなわち、使用されたガスにはグロー放電で消費されないガスがあるため、これを循環して一対の電極間に供給することにより、ガスの拡散を促して安定したグロー放電処理を行うことができ、しかも、廃棄するガスが減り、低コスト化、環境問題に対応することができる。 That is, since the gas used is a gas that is not consumed by glow discharge, it can be circulated and supplied between a pair of electrodes to facilitate gas diffusion and perform stable glow discharge treatment. In addition, the amount of gas to be discarded is reduced, and costs can be reduced and environmental problems can be dealt with.

また、グロー放電処理の処理時間の経過に伴い、プラズマ反応による一対の電極間のガス濃度の変化を検出し、これに基づいてガスを供給することによりガス濃度の変化を抑えることができ、又は、電極の汚れ（異物の付着）などによる電源出力の低下を防ぐことができるため、グロー放電処理を長時間、安定して施すことができる。 Further, as the processing time of the glow discharge treatment elapses, the change in the gas concentration between the pair of electrodes due to the plasma reaction can be detected, and the change in the gas concentration can be suppressed by supplying the gas based on this, or Since it is possible to prevent a decrease in power output due to electrode contamination (attachment of foreign matter) or the like, glow discharge treatment can be performed stably for a long time.

以下に本発明の実施の形態を説明するが、本欄の記載は請求項の技術的範囲や用語の意義を限定するものではない。 Embodiments of the present invention will be described below, but the description in this section does not limit the technical scope of the claims or the meaning of terms.

なお、本明細書でいう「グロー放電」とは、大気圧または大気圧近傍下で起こるグロー放電に似た放電のことをいう。 Note that “glow discharge” in this specification refers to a discharge similar to a glow discharge that occurs at or near atmospheric pressure.

（第１の実施の形態）
まず、第１の実施の形態について、グロー放電処理を施す表面処理装置１０の概略構成図である図１に基づいて説明する。 (First embodiment)
First, a first embodiment will be described with reference to FIG. 1, which is a schematic configuration diagram of a surface treatment apparatus 10 that performs glow discharge treatment.

図示しない搬送手段により一対の電極２、３の間を連続搬送される支持体１は、好ましくはポリマー支持体であり、更に好ましくは各種ポリエステル支持体、例えば、ＰＥＴやＰＥＮなどであり、感光材料の製造に用いられるものである。 The support 1 that is continuously transported between the pair of electrodes 2 and 3 by a transport means (not shown) is preferably a polymer support, and more preferably various polyester supports such as PET and PEN. It is used for manufacturing.

この支持体１が搬送される一対の電極２、３間は、大気圧若しくはその近傍下で少なくとも５０圧力％以上の不活性ガス（好ましくはアルゴンであり、以下、アルゴンとして説明する）を含有したガスの雰囲気とされている。なお、このガスの雰囲気としてアルゴンの他に酸素及び／又は窒素及び／又は二酸化炭素及び／又はヘリウム及び／又はケトン若しくは炭化水素を含む気体及び／又は水蒸気を含有してもよい。特に、酸素及び／又は窒素及び／又は二酸化炭素及び／又はケトン若しくは炭化水素を含む気体及び／又は水蒸気を含有している方が、化学的改質を行うことができ膜付き性の向上を図ることができる。このガスは、図示しない供給手段によって一対の電極２、３間に供給され、その雰囲気を保っている。 Between the pair of electrodes 2 and 3 to which the support 1 is transported, an inert gas (preferably argon, which will be described as argon hereinafter) contained at least 50% by pressure at or near atmospheric pressure. The atmosphere is gas. In addition to argon, the gas atmosphere may contain oxygen and / or nitrogen and / or carbon dioxide and / or helium and / or a gas containing ketone or hydrocarbon and / or water vapor. In particular, if the gas contains oxygen and / or nitrogen and / or carbon dioxide and / or a gas containing ketone or hydrocarbon and / or water vapor, the chemical reforming can be performed to improve the film-attaching property. be able to. This gas is supplied between the pair of electrodes 2 and 3 by a supply means (not shown) to keep the atmosphere.

一対の電極２、３は、平板電極であり、導電性部材、例えば、ステンレス、アルミニウム、銅などの金属と誘電体（例えば、セラミックなど）とから形成されており、少なくとも一対の電極２、３の対向する面（穴２１、３１が設けられた面）には誘電体（図示せず）が設けられている。そして、この一対の電極２、３間の間隙は１０ｍｍ以下になるように設定されている。また、この一対の電極２、３が互いに対向する面上に、複数の開口部としての穴２１、３１を設けるとともに、対向する面とは反対側には、供給手段からガスが供給される供給口２２、３２が設けられている。また、一対の電極２、３は中空にした中空部２３、３３を有しており、供給口２２、３２から供給されたガスを一旦滞留させ、複数の穴２１、３１から均等に噴出させる。複数の穴２１、３１から噴出されたガスは、連続搬送されている支持体を、一対の電極２、３各々に非接触で支持する。また、一対の電極２、３に、１ｋＨｚ以上、１００ｋＨｚ以下、好ましくは１ｋＨｚ以上１０ｋＨｚ以下の周波数を有する図示しない電源を接続することにより、一対の電極２、３間にグロー放電を生じせしめる。 The pair of electrodes 2 and 3 are plate electrodes and are formed of a conductive member, for example, a metal such as stainless steel, aluminum, or copper, and a dielectric (for example, ceramic), and at least the pair of electrodes 2 and 3. A dielectric (not shown) is provided on the opposing surface (the surface provided with the holes 21 and 31). The gap between the pair of electrodes 2 and 3 is set to be 10 mm or less. Further, holes 21 and 31 as a plurality of openings are provided on the surfaces where the pair of electrodes 2 and 3 are opposed to each other, and gas is supplied from the supply means on the side opposite to the opposed surfaces. Ports 22 and 32 are provided. Further, the pair of electrodes 2 and 3 have hollow portions 23 and 33 which are made hollow, and the gas supplied from the supply ports 22 and 32 is once retained and ejected from the plurality of holes 21 and 31 evenly. The gas ejected from the plurality of holes 21 and 31 supports the support being continuously conveyed in a non-contact manner to each of the pair of electrodes 2 and 3. Further, a glow discharge is generated between the pair of electrodes 2 and 3 by connecting a power source (not shown) having a frequency of 1 kHz or more and 100 kHz or less, preferably 1 kHz or more and 10 kHz or less to the pair of electrodes 2 and 3.

このように本実施の形態では、連続搬送されている支持体１の表面（本実施の形態では両面）に対して、大気圧若しくはその近傍下で少なくとも５０圧力％以上のアルゴンを含有したガスの雰囲気とした一対の電極２、３間でグロー放電を行うことにより、膜付き性を向上させることができる。しかも、ヘリウムよりも安価なアルゴンを少なくとも５０圧力％以上含んだガスを用いるので、ランニングコストの低減を図ることができる。しかも、アルゴンを用いることにより、その分子量がヘリウムに比して大きいために、支持体１表面を叩き凹凸をつけるエッジング効果に優れるため、更に膜付き性を向上させることができる。更に、本実施の形態では、一対の電極２、３間の間隙を１０ｍｍ以下とすることにより、安定したグロー放電を生じせしめることができる。 As described above, in the present embodiment, the gas containing at least 50 pressure% or more of argon under the atmospheric pressure or in the vicinity thereof with respect to the surface (both surfaces in the present embodiment) of the support 1 that is continuously conveyed. By performing glow discharge between the pair of electrodes 2 and 3 in the atmosphere, the film-attachability can be improved. Moreover, since a gas containing at least 50% by pressure of argon, which is cheaper than helium, is used, the running cost can be reduced. In addition, by using argon, the molecular weight thereof is larger than that of helium, so that the edging effect of striking the surface of the support 1 to give unevenness is excellent, so that the film-attachability can be further improved. Furthermore, in this embodiment, a stable glow discharge can be generated by setting the gap between the pair of electrodes 2 and 3 to 10 mm or less.

また、本実施の形態では、電極２、３に設けた複数の穴２１、３１から連続搬送されている支持体１に対してガスを噴出させることにより、一対の電極２、３間を搬送されている支持体１を一対の電極２、３各々に非接触で支持するので狭い一対の電極２、３間を安定して搬送して、しかも、一対の電極２、３間に直接ガスを噴出するのでガスの拡散を促進して安定したグロー放電処理を施すことができ、更に、両面の表面処理を一度で行うことができ処理効率の向上を図ることができる。なお、電極２、３に穴２１、３１を設けてガスを噴出させるようにしたが、これに限られず、支持体１の搬送方向に直交する方向に伸びるスリットを複数設けてガスを噴出させるようにしてもよい。 Moreover, in this Embodiment, it is conveyed between a pair of electrodes 2 and 3 by ejecting gas with respect to the support body 1 currently conveyed continuously from the several holes 21 and 31 provided in the electrodes 2 and 3. FIG. The supporting body 1 is supported in a non-contact manner on each of the pair of electrodes 2 and 3, so that the gas can be directly jetted between the pair of electrodes 2 and 3. Therefore, the diffusion of gas can be promoted to perform a stable glow discharge treatment, and the surface treatment on both sides can be performed at a time, thereby improving the treatment efficiency. In addition, although the holes 21 and 31 were provided in the electrodes 2 and 3 and gas was ejected, it is not restricted to this, A plurality of slits extended in the direction orthogonal to the conveyance direction of the support 1 are provided to eject gas. It may be.

また、本実施の形態では、支持体１が一対の電極２、３間へ入る入り口側（図１においては上側）に、一対のニップローラ４を設けている。この一対のニップローラ４は、支持体１の搬送に伴う同伴風が一対の電極２、３間（若しくは、後段の第５、６の実施の形態で示すように表面処理装置１０を囲む処理室６の入り口に設けられた場合は、処理室６内）に入ることを防ぐ防止手段として作用し、これにより同伴風が一対の電極２、３間に入ることなくガス濃度の変化を防止し、安定したグロー放電を可能にする。なお、この防止手段としては、本実施の形態の一対のニップローラ４の代わりに、電極２、３間の雰囲気と同じガスを用いたエアーブレードを用いてもよい。 In the present embodiment, a pair of nip rollers 4 is provided on the entrance side (the upper side in FIG. 1) where the support 1 enters between the pair of electrodes 2 and 3. In this pair of nip rollers 4, the entrained air accompanying the conveyance of the support 1 is between the pair of electrodes 2, 3 (or the processing chamber 6 surrounding the surface treatment apparatus 10 as shown in the fifth and sixth embodiments at the subsequent stage. If it is provided at the entrance of the gas chamber, it acts as a preventive means for preventing entry into the processing chamber 6), thereby preventing changes in gas concentration without entrainment air entering between the pair of electrodes 2 and 3 and being stable. Enabled glow discharge. As this preventing means, an air blade using the same gas as the atmosphere between the electrodes 2 and 3 may be used instead of the pair of nip rollers 4 of the present embodiment.

また、本実施の形態では、支持体１の搬送方向を鉛直方向にすることにより、平板電極である一対の電極２、３各々の平面性を損なうことがなく、一対の電極２、３間の間隙を保つのに有利である。 Moreover, in this Embodiment, by making the conveyance direction of the support body 1 into a perpendicular direction, without impairing the planarity of each of a pair of electrodes 2 and 3 which are flat electrodes, between a pair of electrodes 2 and 3 It is advantageous to keep the gap.

また、本実施の形態では、表面処理装置１０を１つだけ設けたものについて説明したが、図２に示すように、上述した表面処理装置１０を複数設けてもよい。なお、図２の装置は本実施の形態と同じなので説明を省略する。また、図２のように並べるのではなく、支持体１の搬送方向に並置してもよい。 In the present embodiment, the case where only one surface treatment apparatus 10 is provided has been described. However, as shown in FIG. 2, a plurality of the surface treatment apparatuses 10 described above may be provided. The apparatus in FIG. 2 is the same as that in the present embodiment, and a description thereof will be omitted. Moreover, you may arrange in parallel with the conveyance direction of the support body 1 instead of arranging like FIG.

（第２の実施の形態）
次に第２の実施の形態について、表面処理装置の概略構成図である図３に基づいて説明する。上述した第１の実施の形態は一対の電極として平板電極を用いて支持体を直線移動させたものであるが、本実施の形態では曲面電極を用いたものである。なお、以下に説明するもの以外は、上述した第１の実施の形態と同じとし、同じ番号を付与した構成についても同じ作用・構成であるものとして説明を省略する。 (Second Embodiment)
Next, a second embodiment will be described based on FIG. 3 which is a schematic configuration diagram of a surface treatment apparatus. In the first embodiment described above, the support is linearly moved using flat plate electrodes as a pair of electrodes, but in this embodiment, curved electrodes are used. Except for what will be described below, it is the same as that of the above-described first embodiment, and the configuration given the same number is also the same operation and configuration and description thereof is omitted.

本実施の形態の電極２、３は、支持体１の表面と平行であって支持体１の搬送方向と直交する方向から見たときに、対向する面の断面形状が曲面となっている曲面板電極である。そして、この電極２、３を複数（図２においては３つ）搬送方向に並べることにより、搬送されている支持体１が蛇行するするように構成している（なお、本実施の形態では、電極２、３の形状が異なる他は第１の実施の形態と同様である）。従って、供給口２２、３２から供給されたガスを中空部２３、３３で一旦滞留させ、複数の穴２１、３１から均等に噴出させる。複数の穴２１、３１から噴出されたガスは、連続搬送されている支持体を、その間隙が１０ｍｍ以下に設定された一対の電極２、３各々に非接触で、蛇行するように支持しているので、狭い一対の電極２、３間を安定して搬送して、しかも、一対の電極２、３間に直接ガスを噴出するのでガスの拡散を促進して安定したグロー放電処理を施すことができ、更に、両面の表面処理を一度で行うことができ処理効率の向上を図ることができる。 The electrodes 2 and 3 of the present embodiment are curved in which the cross-sectional shape of the opposing surfaces is a curved surface when viewed from a direction parallel to the surface of the support 1 and perpendicular to the transport direction of the support 1. It is a face plate electrode. And by arranging these electrodes 2 and 3 in the transport direction in a plurality (three in FIG. 2), the support 1 being transported is configured to meander (in this embodiment, This is the same as in the first embodiment except that the shapes of the electrodes 2 and 3 are different. Therefore, the gas supplied from the supply ports 22 and 32 is temporarily retained in the hollow portions 23 and 33 and is ejected evenly from the plurality of holes 21 and 31. The gas ejected from the plurality of holes 21 and 31 supports the support being continuously conveyed so as to meander in a non-contact manner with the pair of electrodes 2 and 3 each having a gap of 10 mm or less. Therefore, since the gas is jetted directly between the pair of electrodes 2 and 3 and the gas is directly jetted between the pair of electrodes 2 and 3, the diffusion of the gas is promoted and a stable glow discharge treatment is performed. Furthermore, the surface treatment on both sides can be performed at once, and the processing efficiency can be improved.

更に、本実施の形態では蛇行させるように電極２、３を設けたので、上述した第１の実施の形態より更に安定した搬送を行うことができ、そのために、電極２、３間の間隙を更に狭めることができるので、効率がよくしかも安定したグロー放電を施すことができる。 Furthermore, since the electrodes 2 and 3 are provided so as to meander in this embodiment, more stable conveyance can be performed than in the first embodiment described above. For this purpose, the gap between the electrodes 2 and 3 is reduced. Furthermore, since it can be narrowed, efficient and stable glow discharge can be performed.

なお、本実施の形態では、電極２、３に穴２１、３１を設けてガスを噴出させるようにしたが、これに限られず、支持体１の搬送方向に直交する方向に伸びるスリットを複数設けてガスを噴出させるようにしてもよい。また、本実施の形態では、複数の電極を支持体の搬送方向に並置して、支持体を蛇行させるように構成することにより、電極の作成や電極間の間隙の調整を容易にできるが、これら複数の電極を一体的に構成してもよい。また、図２においては、第１の実施の形態で示した防止手段（ニップローラやエアーブレード）を省略したが、設けてもよいことはいうまでもない。 In the present embodiment, the holes 21 and 31 are provided in the electrodes 2 and 3 to eject the gas. However, the present invention is not limited to this, and a plurality of slits extending in the direction orthogonal to the conveying direction of the support 1 are provided. Then, the gas may be ejected. Further, in this embodiment, by arranging the plurality of electrodes in parallel in the transport direction of the support and making the support meander, it is possible to easily create an electrode and adjust the gap between the electrodes. You may comprise these several electrodes integrally. In FIG. 2, the prevention means (nip roller or air blade) shown in the first embodiment is omitted, but it goes without saying that it may be provided.

（第３の実施の形態）
次に第３の実施の形態について、表面処理装置の概略構成図である図４（ａ）に基づいて説明する。本実施の形態は、上述した第１、２の実施の形態で示した電極の変形例であり、一対の電極２、３のうち一方の電極３（以下、本実施の形態では第１電極３といい、他方の電極を第２電極２という）を円筒状（円柱状でもよい）のロール電極とし、支持体１を接触させながら搬送するものである。なお、以下に説明するもの以外は、上述した第１、２の実施の形態と同じとし、同じ番号を付与した構成についても同じ作用・構成であるものとして説明を省略することもある。 (Third embodiment)
Next, a third embodiment will be described based on FIG. 4A, which is a schematic configuration diagram of a surface treatment apparatus. The present embodiment is a modification of the electrode shown in the first and second embodiments described above, and one electrode 3 of the pair of electrodes 2 and 3 (hereinafter referred to as the first electrode 3 in the present embodiment). The other electrode is referred to as the second electrode 2) is a cylindrical (or columnar) roll electrode, and the support 1 is conveyed while being in contact. Except for what will be described below, the configuration is the same as that of the first and second embodiments described above, and the configuration given the same number may be the same operation and configuration and description thereof may be omitted.

第１電極３は、ロール電極であり、支持体１と接触しその搬送とともに回転する。なお、第１電極３はロール状の導電性部材の周面に誘電体（図示せず）が設けられている。一方、第２電極２は、第１電極３の周面と対向するように（間隙は１０ｍｍ以下）配置された第１電極３の軸方向から見たときの断面形状が曲面となっている曲面電極である。従って、供給口２２から供給されたガスを中空部２３で一旦滞留させ、複数の穴２１から均等に噴出させ、第１電極３と第２電極２との間の間隙を、ガスの雰囲気とさせる。そして、第１電極３と第２電極間に電源周波数１ｋＨｚ以上１００ｋＨｚ以下（好ましくは、１ｋＨｚ以上１０ｋＨｚ以下）を印加することにより、連続搬送されている支持体１の第２電極２に対向する面に対してグロー放電を施すことができる。 The 1st electrode 3 is a roll electrode, contacts with the support body 1, and rotates with the conveyance. In addition, the 1st electrode 3 is provided with the dielectric material (not shown) in the surrounding surface of a roll-shaped electroconductive member. On the other hand, the second electrode 2 is a curved surface having a curved cross section when viewed from the axial direction of the first electrode 3 disposed so as to face the peripheral surface of the first electrode 3 (gap is 10 mm or less). Electrode. Accordingly, the gas supplied from the supply port 22 is temporarily retained in the hollow portion 23 and is uniformly ejected from the plurality of holes 21 so that the gap between the first electrode 3 and the second electrode 2 is an atmosphere of gas. . And the surface which opposes the 2nd electrode 2 of the support body 1 currently conveyed by applying power supply frequency 1kHz or more and 100kHz or less (preferably 1kHz or more and 10kHz or less) between the 1st electrode 3 and the 2nd electrode. Can be subjected to glow discharge.

このように、本実施の形態では、第１電極３に支持体１を接触させながら搬送し、グロー放電処理を施すことにより、支持体１を安定して搬送することができ、安定したグロー放電処理を施すことができる。しかも、第１電極３によって搬送される支持体１を支持しているので、第２電極２をより近接して配置することができ、効率がよくしかも安定したグロー放電を施すことができる。また、本実施の形態では、第１電極３が支持体１の搬送に伴って回転するので、支持体１を傷つけずに搬送でき、安定したグロー放電を施すことができる。また、本実施の形態では、ニップローラ４を第１電極３に接触させて回転させることにより、上述した第１の実施の形態のように一対のニップローラを必要とせずに、同伴風進入の防止を低コストで実現できる。 As described above, in the present embodiment, the support 1 can be conveyed while being brought into contact with the first electrode 3 and subjected to glow discharge treatment, whereby the support 1 can be stably conveyed, and stable glow discharge can be achieved. Processing can be performed. In addition, since the support 1 conveyed by the first electrode 3 is supported, the second electrode 2 can be arranged closer to each other, and an efficient and stable glow discharge can be performed. In the present embodiment, since the first electrode 3 rotates as the support 1 is transported, the support 1 can be transported without being damaged, and a stable glow discharge can be performed. Further, in the present embodiment, the nip roller 4 is brought into contact with the first electrode 3 and rotated, thereby preventing the accompanying wind from entering without requiring a pair of nip rollers as in the first embodiment described above. Realized at low cost.

なお、本実施の形態では、第２電極２に穴２１を設けてガスを噴出させるようにしたが、これに限られず、支持体１の搬送方向に直交する方向に伸びるスリットを複数設けてガスを噴出させるようにしてもよい。 In the present embodiment, the holes 21 are provided in the second electrode 2 to eject the gas. However, the present invention is not limited to this, and a plurality of slits extending in the direction orthogonal to the transport direction of the support 1 are provided to provide the gas. May be ejected.

また、本実施の形態のように、一方の電極３に支持体１を接触させながらグロー放電処理を施す場合には、支持体１の片面しか行うことができないが、図４（ｂ）のように、電極３に接触する支持体１の面が異なる面となるように複数の電極３を千鳥状に設けることにより、支持体１の両面をグロー放電処理を行うことができる。なお、この場合は電極３を４つ設けているので、電極３に対向する電極２、２′各々は一体的に構成することにより、電極２、２′の剛性を上げることができ、電極間の間隙を保ちやすくなる。また、一体的に構成することにより、同伴風の進入を防止するニップローラ４、４′も複数の電極３毎に設ける必要はなく、低コスト化を実現できる。しかも、この場合、鉛直方向に複数の電極を並置しているので、電極の保守点検時には、電極２、２′を図４（ｂ）において左右方向にスライドさせればよいので、その作業性が向上する。 Further, when the glow discharge treatment is performed while the support 1 is in contact with one electrode 3 as in the present embodiment, only one side of the support 1 can be performed, but as shown in FIG. Further, by providing the plurality of electrodes 3 in a zigzag manner so that the surfaces of the support 1 in contact with the electrodes 3 are different from each other, both surfaces of the support 1 can be subjected to glow discharge treatment. In this case, since four electrodes 3 are provided, each of the electrodes 2 and 2 'opposed to the electrode 3 can be integrally formed to increase the rigidity of the electrodes 2 and 2'. It becomes easy to keep the gap. Further, by integrally configuring, the nip rollers 4 and 4 ′ for preventing the entry of the accompanying air need not be provided for each of the plurality of electrodes 3, and the cost can be reduced. In addition, in this case, since a plurality of electrodes are juxtaposed in the vertical direction, the electrodes 2, 2 'can be slid in the left-right direction in FIG. improves.

（第４の実施の形態）
次に第４の実施の形態について、表面処理装置の概略構成図である図５（ａ）に基づいて説明する。本実施の形態は、上述した第３の実施の形態で示した電極（第２電極）２の変形例であり、第２電極２として複数の円筒状（又は円柱状）のロール電極２を設けている。なお、以下に説明するもの以外は、上述した第１、２の実施の形態と同じとし、同じ番号を付与した構成についても同じ作用・構成であるものとして説明を省略することもある。 (Fourth embodiment)
Next, a fourth embodiment will be described based on FIG. 5A which is a schematic configuration diagram of a surface treatment apparatus. The present embodiment is a modification of the electrode (second electrode) 2 shown in the third embodiment, and a plurality of cylindrical (or columnar) roll electrodes 2 are provided as the second electrode 2. ing. Except for what will be described below, the configuration is the same as that of the first and second embodiments described above, and the configuration given the same number may be the same operation and configuration and description thereof may be omitted.

第２電極２は、ロール電極であり、支持体１と接触しその搬送とともに回転する第１電極３の周面と対向するように（間隙は１０ｍｍ以下）複数が円状に配置されている。なお、この第２電極２はロール状の導電性部材の周面に誘電体（図示せず）が設けられている。また、円状に配置された複数の第２電極２の周囲には、図示しない供給手段から供給されるガスを、噴出させるための開口部である複数の穴５が設けられている。この複数の穴５から噴出されたガスは、第１電極３と複数の第２電極２との間の間隙を、ガスの雰囲気にする。そして、第１電極３と複数の第２電極２間に電源周波数１ｋＨｚ以上１００ｋＨｚ以下（好ましくは、１ｋＨｚ以上１０ｋＨｚ以下）を印加することにより、第１電極３の回転とともに連続搬送されている支持体１の複数の第２電極２に対向する面に対してグロー放電を施すことができる。 The second electrode 2 is a roll electrode, and a plurality of the second electrodes 2 are arranged in a circular shape so as to be opposed to the peripheral surface of the first electrode 3 that is in contact with the support 1 and rotates as it is conveyed (gap is 10 mm or less). The second electrode 2 is provided with a dielectric (not shown) on the peripheral surface of a roll-shaped conductive member. Further, around the plurality of second electrodes 2 arranged in a circle, a plurality of holes 5 that are openings for ejecting gas supplied from a supply means (not shown) are provided. The gas ejected from the plurality of holes 5 creates a gas atmosphere in the gap between the first electrode 3 and the plurality of second electrodes 2. Then, by applying a power frequency of 1 kHz or more and 100 kHz or less (preferably 1 kHz or more and 10 kHz or less) between the first electrode 3 and the plurality of second electrodes 2, the support that is continuously conveyed along with the rotation of the first electrode 3. Glow discharge can be applied to the surface facing the plurality of second electrodes 2.

このように、本実施の形態（第３の実施の形態と同様に）では、第１電極３に支持体１を接触させながら搬送し、グロー放電処理を施すことにより、支持体１を安定して搬送することができ、安定したグロー放電処理を施すことができ、しかも、第１電極３によって搬送される支持体１を支持しているので、第２電極２をより近接して配置することができ、効率がよくしかも安定したグロー放電を施すことができる。また、本実施の形態では、第１電極が支持体１の搬送に伴って回転するので、支持体１に傷を付けずに安定した搬送を可能にする。更に、本実施の形態では、第２電極２として、複数の円筒状又は円柱状のロール電極を用いたので、上述した第３の実施の形態に比して、電極の加工性、互換性を高めることができる。 As described above, in the present embodiment (similar to the third embodiment), the support 1 is transported while being in contact with the first electrode 3, and the support 1 is stabilized by performing the glow discharge treatment. Can be transported in a stable manner, can be subjected to a stable glow discharge treatment, and supports the support 1 transported by the first electrode 3, so that the second electrode 2 is disposed closer to each other. Therefore, efficient and stable glow discharge can be performed. In the present embodiment, since the first electrode rotates as the support 1 is transported, stable transport is possible without scratching the support 1. Furthermore, in the present embodiment, since a plurality of cylindrical or columnar roll electrodes are used as the second electrode 2, the processability and compatibility of the electrodes are improved compared to the third embodiment described above. Can be increased.

なお、図５（ａ）には図示しないが、第３の実施の形態と同様に、ニップローラを設けて同伴風の進入を防止して、グロー放電の安定性を向上させてもよい。また、本実施の形態では、ガスを噴出させるために穴５を設けたが、これに限られず、支持体１の搬送方向に直交する方向に伸びるスリットを複数設けてガスを噴出させるようにしてもよい。また、本実施の形態のような表面処理装置を図５（ｂ）に示すように並置することにより、グロー放電を行う時間をかせぐことができ、早いラインスピード（支持体１の搬送速度）であっても、十分な表面処理を行うことができる。 Although not shown in FIG. 5 (a), as in the third embodiment, a nip roller may be provided to prevent entrainment air from entering and improve the stability of glow discharge. In the present embodiment, the hole 5 is provided to eject the gas. However, the present invention is not limited to this, and a plurality of slits extending in the direction orthogonal to the conveying direction of the support 1 are provided to eject the gas. Also good. Further, by arranging the surface treatment apparatuses as in the present embodiment side by side as shown in FIG. 5B, it is possible to save time for performing glow discharge, and at a high line speed (conveyance speed of the support 1). Even if it exists, sufficient surface treatment can be performed.

（第５の実施の形態）
次に第５の実施の形態について、表面処理装置の概略構成図である図６に基づいて説明する。この第５の実施の形態は、上述した第１〜４の実施の形態で説明した表面処理装置に限らず、連続搬送されている支持体１に対してグロー放電を施す表面処理装置に適用することができるので、以下の説明においては、第１の実施の形態を例にして説明する。なお、上述した第１の実施の形態と同じ番号を付与した構成についても同じ作用・構成であるものとして説明を省略することもある。 (Fifth embodiment)
Next, a fifth embodiment will be described based on FIG. 6 which is a schematic configuration diagram of a surface treatment apparatus. The fifth embodiment is not limited to the surface treatment apparatus described in the first to fourth embodiments, but is applied to a surface treatment apparatus that performs glow discharge on the support 1 that is continuously conveyed. Therefore, in the following description, the first embodiment will be described as an example. In addition, about the structure which provided the same number as 1st Embodiment mentioned above, it may abbreviate | omit description because it is the same effect | action and structure.

上述したように、連続搬送されている支持体１に対してグロー放電を施す際には、一対の電極２、３間を大気圧若しくはその近傍下で、少なくとも５０圧力％以上の不活性ガス（好ましくは、アルゴン）を含有したガスの雰囲気とした。そして、グロー放電処理を安定させるためには、この雰囲気を安定させ、特に、一対の電極間に常にガスを供給して拡散を促すことが必要である。ところが、使用されたガスをそのまま廃棄すると、高コストを招くばかりでなく、環境破壊にもつながる。これを図６（ｂ）で説明すると、まず表面処理装置１０は処理室６内に配置されている。そして、図示しない供給手段から供給されたガスは、供給口２２、３２を介して複数の穴２１、３１から均等に噴出され、電極２、３間の間隙を、ガスの雰囲気とさせる。そして、このガス供給は、安定したグロー放電を施すのに拡散を促す如く、常に行われる。ところが、ガス供給が行われると、電極２、３間のガス濃度や圧力の変化をきたすため、処理室６に設けた排気口６１から排出して廃棄するようにしている。この場合、使用されたガスは常に廃棄されるため環境破壊を招くばかりでなく、供給口２２、３２から新たなガスを供給する必要があり、高コスト化を招く。 As described above, when glow discharge is performed on the support 1 that is continuously transported, an inert gas (at least 50 pressure% or more) between the pair of electrodes 2 and 3 at or near the atmospheric pressure. Preferably, an atmosphere of gas containing argon) was used. In order to stabilize the glow discharge treatment, it is necessary to stabilize this atmosphere, and in particular, to always supply gas between a pair of electrodes to promote diffusion. However, discarding the used gas as it is not only incurs high costs, but also leads to environmental destruction. This will be described with reference to FIG. 6B. First, the surface treatment apparatus 10 is arranged in the treatment chamber 6. And the gas supplied from the supply means which is not shown in figure is uniformly ejected from the some holes 21 and 31 via the supply ports 22 and 32, and makes the gap | interval between the electrodes 2 and 3 the gas atmosphere. This gas supply is always performed so as to promote diffusion in order to perform stable glow discharge. However, when the gas is supplied, the gas concentration and pressure between the electrodes 2 and 3 are changed. Therefore, the gas is discharged from the exhaust port 61 provided in the processing chamber 6 and discarded. In this case, since the used gas is always discarded, not only the environmental destruction is caused, but also a new gas needs to be supplied from the supply ports 22 and 32, resulting in an increase in cost.

ところが、本発明者らが検討した結果、排気口６１から廃棄されるガスには、グロー放電で消費されないガスがあることが判明した。そこで、本実施の形態では、これを循環して一対の電極間に供給することにより、ガスの拡散を促して安定したグロー放電処理を行うものである。この模式的な概略構成を図６（ａ）に示している。 However, as a result of studies by the present inventors, it has been found that the gas discarded from the exhaust port 61 includes a gas that is not consumed by glow discharge. Therefore, in the present embodiment, this is circulated and supplied between a pair of electrodes, thereby promoting gas diffusion and performing a stable glow discharge treatment. This schematic schematic configuration is shown in FIG.

上述と同様に、図示しない供給手段から供給されたガスは、供給口２２、３２を介して複数の穴２１、３１から均等に噴出され、電極２、３間の間隙を、ガスの雰囲気とさせる。そして、処理室６に設けた排気口６１から排気手段であるポンプ６９により排出して、その一部を廃棄するようにし、残りを循環、即ち、図示しない供給手段から供給されるガスと合流させて、再び、供給口２２、３２を介して複数の穴２１、３１から噴出させるように構成している。 Similarly to the above, the gas supplied from the supply means (not shown) is evenly ejected from the plurality of holes 21 and 31 through the supply ports 22 and 32, and the gap between the electrodes 2 and 3 is made the gas atmosphere. . Then, the gas is exhausted from the exhaust port 61 provided in the processing chamber 6 by the pump 69 as exhaust means, and a part thereof is discarded, and the remainder is circulated, that is, joined with gas supplied from supply means (not shown). Again, it is configured to eject from the plurality of holes 21 and 31 through the supply ports 22 and 32.

このように一対の電極２、３間のガスの少なくとも一部を循環させるように構成した、即ち、グロー放電で消費されないガスを循環して一対の電極間に供給することにより、ガスの拡散を促して安定したグロー放電処理を行うことができ、しかも、廃棄するガスが減り、低コスト化、環境問題に対応することができる。 In this way, at least a part of the gas between the pair of electrodes 2 and 3 is circulated, that is, the gas that is not consumed by the glow discharge is circulated and supplied between the pair of electrodes, thereby diffusing the gas. Thus, a stable glow discharge treatment can be performed, and the amount of gas to be discarded is reduced, so that cost can be reduced and environmental problems can be dealt with.

（第６の実施の形態）
次に第６の実施の形態について、表面処理装置の概略構成図である図７に基づいて説明する。この第６の実施の形態は、上述した第１〜５の実施の形態で説明した表面処理装置に限らず、連続搬送されている支持体１に対してグロー放電を施す表面処理装置に適用することができるので、以下の説明においては、第１の実施の形態を例にして説明する。なお、上述した第１の実施の形態と同じ番号を付与した構成についても同じ作用・構成であるものとして説明を省略することもある。 (Sixth embodiment)
Next, a sixth embodiment will be described based on FIG. 7 which is a schematic configuration diagram of a surface treatment apparatus. The sixth embodiment is not limited to the surface treatment apparatus described in the first to fifth embodiments, and is applied to a surface treatment apparatus that performs glow discharge on the support 1 that is continuously conveyed. Therefore, in the following description, the first embodiment will be described as an example. In addition, about the structure which provided the same number as 1st Embodiment mentioned above, it may abbreviate | omit description because it is the same effect | action and structure.

上述したように、大気圧若しくはその近傍下で、少なくとも５０圧力％以上の不活性ガス（好ましくは、アルゴン）を含有したガスの雰囲気とした一対の電極２、３間を、連続搬送されている支持体１に対して、グロー放電を施すことにより、支持体１の表面を表面処理（膜付き性の向上）を図ることができるが、実際に工業化する際には、長時間処理の安定化が必要である。ところが、本発明者らが鋭意検討した結果、グロー放電処理の処理時間の経過に伴い、プラズマ反応による一対の電極２、３間のガス濃度の変化や電極の汚れ（異物の付着）などにより、電源出力の低下が生じ、グロー放電処理を長時間、安定して施すことが困難であることが判明した。 As described above, the gas is continuously conveyed between the pair of electrodes 2 and 3 in an atmosphere containing a gas containing an inert gas (preferably argon) of at least 50% by pressure at or near atmospheric pressure. By subjecting the support 1 to glow discharge, the surface of the support 1 can be subjected to surface treatment (improved film adhesion). However, in actual industrialization, stabilization of long-time treatment is possible. is required. However, as a result of intensive studies by the present inventors, due to the change in the gas concentration between the pair of electrodes 2 and 3 due to the plasma reaction, contamination of the electrodes (adherence of foreign matter), etc., with the progress of the glow discharge treatment time, It has been found that the power output is lowered and it is difficult to perform the glow discharge treatment stably for a long time.

そこで、本実施の形態では、一対の電極２、３間のガス濃度を管理、制御することと、定電圧条件下（一つの電極２、３間電圧を一定に保つ）で電流制御（若しくは電力制御でもよいが、本実施の形態では電流制御で説明する）の電源を用いるという、２つの方法を同時に行い、安定化を図っている。なお、これら２つの方法は、各々単独で行ってもよいが、同時に行った方がより安定化を図ることができる。 Therefore, in the present embodiment, the gas concentration between the pair of electrodes 2 and 3 is managed and controlled, and current control (or power) is performed under a constant voltage condition (the voltage between one electrode 2 and 3 is kept constant). Control may be used, but in this embodiment, two methods of using a power source (described in current control) are used simultaneously to achieve stabilization. Note that these two methods may be performed independently, but stabilization can be further achieved by performing them simultaneously.

まず、ガス濃度の管理、制御について説明する。まず表面処理装置１０は処理室６内に配置されている。そして、供給手段６５から供給されたガスは、供給口２２、３２を介して複数の穴２１、３１から均等に噴出され、電極２、３間の間隙を、ガスの雰囲気とさせる。そして、このガス供給は、安定したグロー放電を施すのに拡散を促す如く、常に行われる。ところが、ガス供給が行われると、電極２、３間のガス濃度や圧力の変化をきたすため、処理室６に設けた排気口６１から排出して廃棄するようにしている。なお、上述した第５の実施の形態のように循環させてもよい。そして、排気口６１から排出されたガスの濃度を検出手段であるガスアナライザ６２で検出している。これにより本実施の形態では、一対の電極２、３間のガスの濃度を間接的に検出しているが、一対の電極２、３間のガス濃度を直接的に検出してもよく、また、処理室６内に検出手段を設けてもよい。そして、ガス濃度制御手段６３によって、ガスアナライザ６２で検出されたガス濃度に応じて、供給手段６５によるガスの供給量を制御する。 First, management and control of gas concentration will be described. First, the surface treatment apparatus 10 is disposed in the treatment chamber 6. The gas supplied from the supply means 65 is evenly ejected from the plurality of holes 21 and 31 through the supply ports 22 and 32, and the gap between the electrodes 2 and 3 is made an atmosphere of gas. This gas supply is always performed so as to promote diffusion in order to perform stable glow discharge. However, when the gas is supplied, the gas concentration and pressure between the electrodes 2 and 3 are changed. Therefore, the gas is discharged from the exhaust port 61 provided in the processing chamber 6 and discarded. In addition, you may circulate like the 5th Embodiment mentioned above. The concentration of the gas discharged from the exhaust port 61 is detected by a gas analyzer 62 which is a detection means. As a result, in the present embodiment, the gas concentration between the pair of electrodes 2 and 3 is indirectly detected, but the gas concentration between the pair of electrodes 2 and 3 may be directly detected. In addition, a detection unit may be provided in the processing chamber 6. Then, the gas supply amount by the supply means 65 is controlled by the gas concentration control means 63 according to the gas concentration detected by the gas analyzer 62.

このように、測定された一対の電極２、３間のガス濃度に応じて、一対の電極２、３間に供給するガスを制御するので、一対の電極２、３間のガス濃度の変化を抑え、常に最適に保つことができるので、グロー放電処理を長時間安定して施すことができる。 Thus, since the gas supplied between the pair of electrodes 2 and 3 is controlled according to the measured gas concentration between the pair of electrodes 2 and 3, the change in the gas concentration between the pair of electrodes 2 and 3 is controlled. Since it can be suppressed and always kept optimal, the glow discharge treatment can be performed stably for a long time.

次に、電流制御について説明する。一対の電極２、３間には１ｋＨｚ以上１００ｋＨｚ以下（好ましくは１ｋＨｚ以上１０ｋＨｚ以下）の高周波電源６６が接続されている。また、この回路上には、一対の電極２、３間に流れる電流を測定する電流計６７、一定電圧下で電流を可変にするための可変抵抗６８が設けられている。従って、グロー放電処理を行っている間、常に一対の電極２、３間に流れる電流を電流計６７でもって測定し、その測定結果に基づいて、電流制御手段（可変抵抗６８は電流制御手段の一部である）によって、一対の電極２、３間に流れる電流が常に一定になるように制御する。 Next, current control will be described. A high frequency power source 66 of 1 kHz or more and 100 kHz or less (preferably 1 kHz or more and 10 kHz or less) is connected between the pair of electrodes 2 and 3. In addition, an ammeter 67 for measuring a current flowing between the pair of electrodes 2 and 3 and a variable resistor 68 for making the current variable under a constant voltage are provided on the circuit. Therefore, during the glow discharge process, the current flowing between the pair of electrodes 2 and 3 is always measured by the ammeter 67, and based on the measurement result, the current control means (the variable resistor 68 is the current control means). The current flowing between the pair of electrodes 2 and 3 is always controlled to be constant.

このように、一対の電極２、３間に流れる電流（若しくは消費する電力でもよい）が一定になるように制御することにより、グロー放電処理の処理時間の経過に伴うガス濃度の変化や電極の汚れ（異物の付着）などによる電源出力の低下を防ぐことができるため、グロー放電処理を長時間、安定して施すことができる。 In this way, by controlling the current flowing between the pair of electrodes 2 and 3 (or power consumption) to be constant, the gas concentration changes with the passage of the glow discharge treatment time and the electrode Since it is possible to prevent a decrease in power output due to dirt (attachment of foreign matter) or the like, the glow discharge treatment can be performed stably for a long time.

（第７の実施の形態）
次に第７の実施の形態について、表面処理装置の概略構成図である図８に基づいて説明する。この第７の実施の形態は、上述した第１〜６の実施の形態で説明した表面処理装置に限らず、連続搬送されている支持体１に対してグロー放電を施す表面処理装置に適用することができるので、以下の説明においては、第１の実施の形態を例にして説明する。なお、上述した第１の実施の形態と同じ番号を付与した構成についても同じ作用・構成であるものとして説明を省略することもある。 (Seventh embodiment)
Next, a seventh embodiment will be described based on FIG. 8 which is a schematic configuration diagram of a surface treatment apparatus. The seventh embodiment is not limited to the surface treatment apparatus described in the first to sixth embodiments, but is applied to a surface treatment apparatus that performs glow discharge on the support 1 that is continuously conveyed. Therefore, in the following description, the first embodiment will be described as an example. In addition, about the structure which provided the same number as 1st Embodiment mentioned above, it may abbreviate | omit description because it is the same effect | action and structure.

上述したように、大気圧若しくはその近傍下で、少なくとも５０圧力％以上の不活性ガス（好ましくは、アルゴン）を含有したガスの雰囲気とした一対の電極２、３間を、連続搬送されている支持体１に対して、グロー放電を施すことにより、支持体１の表面を表面処理（膜付き性の向上）を図ることができる。ところが、本発明者らが鋭意検討した結果、グロー放電処理を行うに際しては、一対の電極間の間隙を狭める（特に、不活性ガスとしてアルゴンを用いた場合は更に狭める）必要があるが、一対の電極間の間隙を狭めるとグロー放電ではなく、誘電体により非被覆部の導電性部材の表面より放電が回り込むことによるアーク放電が生じて安定した放電処理を行うことができないばかりでなく、支持体や電極に傷をつける（穴があく）ことがある。即ち、図８（ａ）に示すように、一対の電極２、３が互いに対向する面のみに誘電体７（なお、図８（ａ）〜（ｃ）において斜線を付与した部分が誘電体７である）を設けた場合、一対の電極２、３の側面は導電性部材がむき出しになっている。また、グロー放電を安定させるために一対の電極２、３間の間隙を狭めると、一対の電極２、３の側面もその間が狭まることになり、アーク放電が生じやすい環境となってしまう。 As described above, the gas is continuously conveyed between the pair of electrodes 2 and 3 in an atmosphere containing a gas containing an inert gas (preferably argon) of at least 50% by pressure at or near atmospheric pressure. By subjecting the support 1 to glow discharge, the surface of the support 1 can be subjected to surface treatment (improved film adhesion). However, as a result of intensive studies by the present inventors, it is necessary to narrow the gap between the pair of electrodes (especially when argon is used as an inert gas) when performing the glow discharge treatment. If the gap between the electrodes is reduced, not only glow discharge but also arc discharge due to the discharge from the surface of the conductive member of the non-covered part due to the dielectric material will not be able to perform stable discharge treatment, but also support It may damage the body and electrodes (perforate). That is, as shown in FIG. 8 (a), the dielectric 7 (note that the hatched portion in FIGS. 8 (a) to 8 (c) is the dielectric 7 only on the surface where the pair of electrodes 2 and 3 face each other. The conductive member is exposed on the side surfaces of the pair of electrodes 2 and 3. Further, if the gap between the pair of electrodes 2 and 3 is narrowed in order to stabilize the glow discharge, the side surfaces of the pair of electrodes 2 and 3 are also narrowed, and an arc discharge is likely to occur.

そこで、本実施の形態では、図８（ｂ）に示すように、一対の電極２、３が互いに対向する面ばかりでなく、一対の電極２、３の側面にも誘電体７を設けることにより、放電の回り込みを抑制できる。このように構成することにより、アーク放電の発生を抑え、安定したグロー放電をさせ、均一な放電処理を可能とし、支持体や電極に傷をつけないことができる。なお、図８（ｂ）に示すように一対の電極２、３の側面に誘電体７を設けるのではなく、図８（ｃ）に示すように一対の電極２、３からはみ出して誘電体７を設けてもよく、要は、一対の電極２、３が対向している面積よりも広い面積を有する誘電体７を、少なくとも一対の電極２、３が対向している面を含んで（連なって）導電性部材に設ければよい。 Therefore, in the present embodiment, as shown in FIG. 8B, not only the pair of electrodes 2 and 3 face each other but also the dielectric 7 is provided on the side surfaces of the pair of electrodes 2 and 3. , The wraparound of the discharge can be suppressed. By comprising in this way, generation | occurrence | production of an arc discharge can be suppressed, a stable glow discharge can be performed, a uniform discharge process can be performed, and a support body and an electrode can be prevented from being damaged. Note that the dielectric 7 is not provided on the side surfaces of the pair of electrodes 2 and 3 as shown in FIG. 8B, but protrudes from the pair of electrodes 2 and 3 as shown in FIG. 8C. In short, the dielectric 7 having an area larger than the area where the pair of electrodes 2 and 3 are opposed to each other includes at least the surface where the pair of electrodes 2 and 3 are opposed (continuous). And provided on the conductive member.

（第８の実施の形態）
次に第８の実施の形態について説明する。本実施の形態は、上述の第１〜７の実施の形態に記載した表面処理装置に限らず、表面処理（例えば、コロナ放電処理や火炎処理などであり、好ましくは、グロー放電処理であり、以下グロー放電処理として説明する）がなされた支持体上に、塗布液を塗布する際に適用できるものである。また、塗布の方法としては、押し出し、ディップ、スライドビード、カーテン塗布など種々の塗布方法を用いることができる。 (Eighth embodiment)
Next, an eighth embodiment will be described. The present embodiment is not limited to the surface treatment apparatus described in the above first to seventh embodiments, but is a surface treatment (for example, corona discharge treatment or flame treatment, preferably glow discharge treatment, This is applicable when a coating solution is applied on a support that has been described as glow discharge treatment. Further, as a coating method, various coating methods such as extrusion, dip, slide bead and curtain coating can be used.

本発明者らは、上述したように、グロー放電処理について鋭意検討した結果、グロー放電処理を施した支持体１の特性に大きな問題があることを知見した。即ち、グロー放電処理がなされた支持体上は膜付き性が向上するように表面改質がなされているため、次行程として塗布液を塗布するまでに巻き取ってしまうと、くっつき固まり、いわゆる、ブロッキングが生じ、良好な塗布を行うことができない。特に、このブロッキングという現象は、支持体としてポリマー支持体、更にＰＥＴやＰＥＮであると顕著に生じる。 As described above, as a result of intensive studies on the glow discharge treatment, the present inventors have found that there is a significant problem in the characteristics of the support 1 subjected to the glow discharge treatment. In other words, since the surface of the support that has been subjected to the glow discharge treatment has been modified so as to improve the film-attachability, if it is wound up before the coating liquid is applied as the next step, it will stick together and become solid, Blocking occurs and good coating cannot be performed. In particular, this phenomenon of blocking occurs remarkably when the support is a polymer support, and further PET or PEN.

そのため、本実施の形態では、グロー放電処理がなされた支持体を巻き取ることなく搬送し、そして、巻き取ることなく搬送された支持体上に塗布液を塗布する。従って、ブロッキングを生じさせず、良好な塗布を可能とすることができる。なお、ここでいう「巻き取ることなく」とは、支持体同士を接触させることがないことであり、例えば、ロール状に巻き取らないことである。 Therefore, in this embodiment, the support subjected to the glow discharge treatment is transported without being wound, and the coating liquid is applied onto the support that has been transported without being wound. Therefore, blocking can be prevented and good coating can be achieved. Here, “without winding” means that the supports are not brought into contact with each other, for example, is not wound into a roll.

（第９の実施の形態）
次に第９の実施の形態について説明する。本実施の形態は、上述の第１〜７の実施の形態に記載した表面処理装置に限らず、表面処理（例えば、コロナ放電処理や火炎処理などであり、好ましくは、グロー放電処理であり、以下グロー放電処理として説明する）がなされた支持体上に、塗布液を塗布する際に適用できるものである。また、塗布の方法としては、押し出し、ディップ、スライドビード、カーテン塗布など種々の塗布方法を用いることができる。 (Ninth embodiment)
Next, a ninth embodiment will be described. The present embodiment is not limited to the surface treatment apparatus described in the above first to seventh embodiments, but is a surface treatment (for example, corona discharge treatment or flame treatment, preferably glow discharge treatment, This is applicable when a coating solution is applied on a support that has been described as glow discharge treatment. Further, as a coating method, various coating methods such as extrusion, dip, slide bead and curtain coating can be used.

本発明者らは、上述したように、グロー放電処理について鋭意検討した結果、グロー放電処理を施した支持体１の特性に大きな問題があることを知見した。即ち、グロー放電処理による支持体表面の改質効果は経時劣化するために、グロー放電処理後に塗布液を塗布する際に、グロー放電処理から時間の経過を経るほど膜付き性が低下し、良好な塗布を行うことができない。 As described above, as a result of intensive studies on the glow discharge treatment, the present inventors have found that there is a significant problem in the characteristics of the support 1 subjected to the glow discharge treatment. That is, since the effect of modifying the surface of the support by the glow discharge treatment deteriorates with time, when the coating liquid is applied after the glow discharge treatment, the film-forming property decreases as time passes from the glow discharge treatment, which is good. Cannot be applied.

そのため、本実施の形態では、支持体にグロー放電処理がなされた後、１０分以内に、塗布液を塗布するように行う。この１０分をすぎて塗布を行うと、グロー放電による支持体表面の改質効果が低下し、膜付き性が悪化する。従って、グロー放電処理後１０分以内に塗布液を塗布することにより、膜付き性が低下しないうちに塗布液を塗布することができ、良好な塗布を可能とすることができる。 Therefore, in the present embodiment, the coating liquid is applied within 10 minutes after the glow discharge treatment is performed on the support. If the coating is carried out for more than 10 minutes, the effect of modifying the support surface by glow discharge is reduced, and the film attachment property is deteriorated. Therefore, by applying the coating solution within 10 minutes after the glow discharge treatment, the coating solution can be applied before the film-attaching property is lowered, and good coating can be achieved.

（実験１）
まず、グロー放電による表面処理、更には、一対の電極間の雰囲気の主成分が膜付き性に及ぼす影響についての実験を行った。本実験においては、図１に示す表面処理装置を用いて行った（ただし、支持体は搬送せず）。実験の条件は、表１に示すとおりである。なお、グロー放電処理を行った実験１−２、１−３、１−５、１−６においては、一対の電極２、３間に５ｋＨｚの周波数電源を接続し、また、一対の電極２、３間を表１に示される圧力％のヘリウム（Ｈｅ）又はアルゴン（Ａｒ）に二酸化炭素（ＣＯ₂）を７．５圧力％と窒素（Ｎ₂）７．５圧力％を混合したガスで大気圧（≒１気圧）の雰囲気とした。また、実験１−１と１−４については、グロー放電処理を行っていない。 (Experiment 1)
First, an experiment was conducted on the effect of surface treatment by glow discharge and further on the effect of the main component of the atmosphere between the pair of electrodes on the film adhesion. In this experiment, the surface treatment apparatus shown in FIG. 1 was used (however, the support was not transported). The experimental conditions are as shown in Table 1. In Experiments 1-2, 1-3, 1-5, and 1-6 in which glow discharge treatment was performed, a frequency power source of 5 kHz was connected between the pair of electrodes 2 and 3, Between 3 and 3 is a large gas mixture of 7.5% by pressure of carbon dioxide (CO ₂ ) and 7.5% by pressure of nitrogen (N ₂ ) with helium (He) or argon (Ar) at the pressure% shown in Table 1. The atmosphere was atmospheric pressure (≈1 atm). In addition, in experiments 1-1 and 1-4, the glow discharge treatment is not performed.

また、評価の方法は、各実験を行った支持体に対して、白黒乳剤を塗布、乾燥後、市販のかみそり刃で膜に垂直（９０度）、３０度に入刃し、傷を約５ｃｍ巾付け、そこにテープ（３Ｍ社ｓｃｏｔｃｈブランド）を貼り、入刃方向に垂直な方向に速いスピードで剥離させた結果、膜の剥離量で以て膜付き性を比較した。実験の結果を表１に示す。 The evaluation method was as follows: a black and white emulsion was applied to the support on which each experiment was performed, dried, and then inserted into a film with a commercially available razor blade (90 degrees) and 30 degrees, and the scratches were about 5 cm. As a result of widthening, a tape (3M company scotch brand) was applied thereto, and peeling was performed at a high speed in a direction perpendicular to the blade insertion direction, the film adhesion was compared by the amount of film peeling. The results of the experiment are shown in Table 1.

なお、表中において、○印は剥離なし、△印は一部剥離、×印はテープ貼り部分全面剥離を表している。 In the table, “◯” indicates no peeling, “Δ” indicates partial peeling, and “×” indicates peeling of the entire tape-attached portion.

表１から明らかなように、支持体に対してグロー放電処理を施すと膜付き性が向上し、また、アルゴンを主成分とする雰囲気でグロー放電処理を施すことにより更に膜付き性が向上する。 As is apparent from Table 1, when the glow discharge treatment is applied to the support, the film-attaching property is improved, and when the glow discharge treatment is performed in an atmosphere containing argon as a main component, the film-attaching property is further improved. .

（実験２）
次に、一対の電極間の間隙がグロー放電の安定に及ぼす影響、更に、種々の表面処理装置による支持体搬送の安定性について実験を行った。実験２−１、２−２においては図１に示す表面処理装置を改造したもので電極２、３に穴２１、３１及び供給口２２、３２を設けずに図示しない供給手段から供給されたガスを電極２、３外から一対の電極２、３間へ供給するようした表面処理装置を用いた。実験２−３においては図１に示す表面処理装置を用い、実験２−４においては図１に示す表面処理装置の複数の穴２１、３１をスリットに代えた表面処理装置を用いた。実験２−５においては、図３に示す表面処理装置を用いた。実験２−６、２−７においては図４（ａ）示す表面処理装置の複数の穴２１、３１をスリットに代えた表面処理装置を用い、実験２−８においては図４（ａ）に示す表面処理装置を用いた。実験２−９においては図５（ａ）に示す表面処理装置を用いた。なお、全ての実験において、供給したガスは、８５圧力％のアルゴン（Ａｒ）に二酸化炭素（ＣＯ₂）を７．５圧力％と窒素（Ｎ₂）７．５圧力％を混合したガスであり、処理時間は全ての実験において２０秒（ｓ）で行い、一対の電極２、３間に５ｋＨｚの周波数電源を接続し、支持体としてＰＥＴを用いた。 (Experiment 2)
Next, an experiment was conducted on the influence of the gap between the pair of electrodes on the stability of the glow discharge, and further on the stability of the support conveyance by various surface treatment apparatuses. In Experiments 2-1 and 2-2, the surface treatment apparatus shown in FIG. 1 was modified, and the gas supplied from a supply means (not shown) without providing the holes 21 and 31 and the supply ports 22 and 32 in the electrodes 2 and 3. Was used from the outside of the electrodes 2 and 3 to the pair of electrodes 2 and 3. In Experiment 2-3, the surface treatment apparatus shown in FIG. 1 was used, and in Experiment 2-4, a surface treatment apparatus in which the plurality of holes 21 and 31 of the surface treatment apparatus shown in FIG. In Experiment 2-5, the surface treatment apparatus shown in FIG. 3 was used. In Experiments 2-6 and 2-7, a surface treatment apparatus in which the plurality of holes 21 and 31 of the surface treatment apparatus shown in FIG. 4A are replaced with slits is used. In Experiment 2-8, the surface treatment apparatus is shown in FIG. A surface treatment apparatus was used. In Experiment 2-9, the surface treatment apparatus shown in FIG. In all experiments, the supplied gas is an 85 pressure% argon 7.5 pressure percent carbon dioxide (CO ₂₎ to (Ar) and nitrogen (N ₂₎ 7.5 Pressure% mixed gas The treatment time was 20 seconds (s) in all experiments, a 5 kHz frequency power source was connected between the pair of electrodes 2 and 3, and PET was used as the support.

評価に関しては、上述した実験１において記載した膜付き性と同様に膜付き性を評価し、一対の電極２、３間に流れる電流値で以てグロー放電の安定性を評価し、また、目視にて電極２、３と連続搬送される支持体１との接触があったかどうかを評価した。実験の結果を表２に示す。 Regarding the evaluation, the film attachment property is evaluated in the same manner as the film attachment property described in Experiment 1 above, the stability of glow discharge is evaluated by the value of the current flowing between the pair of electrodes 2 and 3, and It was evaluated whether or not there was contact between the electrodes 2 and 3 and the support 1 continuously conveyed. The results of the experiment are shown in Table 2.

表２から明らかなように、主成分がアルゴンである場合電極間の間隙が１０ｍｍ以下であると安定したグロー放電を施すことができる。また、上述した第１〜４の実施の形態で示した表面処理装置においては支持体を安定して搬送することができ、膜付き性が向上する。 As is clear from Table 2, when the main component is argon, a stable glow discharge can be performed when the gap between the electrodes is 10 mm or less. Moreover, in the surface treatment apparatus shown in the above-described first to fourth embodiments, the support can be stably conveyed, and the film attachment property is improved.

（実験３）
次に、ガスのリサイクルについての実験を行った。実験３−１は図６（ｂ）に示す表面処理装置を、実験３−２、３−３、３−４は図６（ａ）に示す表面処理装置を用いた。全ての実験において、電極２、３のサイズは巾３００ｍｍ、長さ４００ｍｍ、電極２、３間の間隙は５ｍｍであり、処理室６の容量は３０Ｌであり、処理時間は３０秒（ｓ）であり、供給したガスは８５圧力％のアルゴン（Ａｒ）に二酸化炭素（ＣＯ₂）を１０圧力％と窒素（Ｎ₂）５圧力％を混合したガスである。 (Experiment 3)
Next, an experiment on gas recycling was conducted. Experiment 3-1 used the surface treatment apparatus shown in FIG. 6B, and Experiments 3-2, 3-3, and 3-4 used the surface treatment apparatus shown in FIG. 6A. In all experiments, the size of the electrodes 2 and 3 is 300 mm wide, 400 mm long, the gap between the electrodes 2 and 3 is 5 mm, the capacity of the processing chamber 6 is 30 L, and the processing time is 30 seconds (s). The supplied gas is a gas obtained by mixing 10 pressure% of carbon dioxide (CO ₂ ) and 5 pressure% of nitrogen (N ₂ ) with argon (Ar) of 85 pressure%.

評価は、グロー放電の安定性、膜付き性ともに、上述した実験２と同様の方法で行った。なお、膜付き性を比較した支持体は、処理室６内に十分にガスを供給した後に、グロー放電処理を開始後、支持体を連続搬送させて２０分経過後の支持体を比較した。実験の結果を表３に示す。 The evaluation was performed in the same manner as in Experiment 2 described above, both in terms of the stability of glow discharge and the film adhesion. In addition, the support with which the film-attachment property was compared was compared with the support after 20 minutes after the support was continuously transported after the glow discharge treatment was started after the gas was sufficiently supplied into the processing chamber 6. The results of the experiment are shown in Table 3.

なお、表３中の「供給流量」とは新しいガスを供給した流量であり、「廃棄流量」とは廃棄したガス流量であり、「電極部流入量」とは供給口２２、３２から供給されるガス流量のことである。 The “supply flow rate” in Table 3 is the flow rate at which new gas is supplied, the “discard flow rate” is the discarded gas flow rate, and the “electrode inflow amount” is supplied from the supply ports 22 and 32. This is the gas flow rate.

表３から明らかなように、排気口６１から排出されたガスを全て廃棄した実験３−１と比較して、排気口６１から排出されたガスの一部を廃棄した実験３−２〜３−４は同様のグロー放電の安定性、膜付き性を示し、しかも、実験３−４で示されるように、新たなガスが１／１０流量で行うことができる。 As is apparent from Table 3, compared with Experiment 3-1 in which all the gas discharged from the exhaust port 61 was discarded, Experiments 3-2-3 in which part of the gas discharged from the exhaust port 61 was discarded. No. 4 shows the same glow discharge stability and film adhesion, and new gas can be performed at 1/10 flow rate as shown in Experiment 3-4.

（実験４）
次に、長時間処理の安定化のための制御についての実験を行った。実験は図７に示す表面処理装置を用い、実験４−１はガス（検出したガス濃度に応じたガスの制御）、電流制御（電極間に流れる電流を一定にする制御）を行わず、実験４−２はガスのみ制御を行い、実験４−３は電流のみ制御を行い、実験４−４はガス、電流の両方の制御を行った。全ての実験において、電極２、３のサイズは巾３００ｍｍ、長さ４００ｍｍ、電極２、３間の間隙は５ｍｍであり、処理室６の容量は３０Ｌであり、処理時間は３０秒（ｓ）であり、供給したガスは８５圧力％のアルゴン（Ａｒ）に二酸化炭素（ＣＯ₂）を１０圧力％と窒素（Ｎ₂）５圧力％を混合したガスである。また、ガスの制御は、ガスアナライザ６２の出力をＰＩＤ（ＰｒｏｐｏｒｔｉｏｎＩｎｔｅｇｒａｌＤｅｒｉｖａｔｉｖｅ）制御して、ガス供給量を制御した。 (Experiment 4)
Next, an experiment on control for stabilizing long-time treatment was performed. In the experiment, the surface treatment apparatus shown in FIG. 7 was used. In Experiment 4-1, gas (control of gas according to the detected gas concentration) and current control (control to make the current flowing between the electrodes constant) were not performed. Only gas was controlled in 4-2, only current was controlled in Experiment 4-3, and both gas and current were controlled in Experiment 4-4. In all experiments, the size of the electrodes 2 and 3 is 300 mm wide, 400 mm long, the gap between the electrodes 2 and 3 is 5 mm, the capacity of the processing chamber 6 is 30 L, and the processing time is 30 seconds (s). The supplied gas is a gas obtained by mixing 10 pressure% of carbon dioxide (CO ₂ ) and 5 pressure% of nitrogen (N ₂ ) with argon (Ar) of 85 pressure%. Further, the gas was controlled by controlling the output of the gas analyzer 62 by PID (Proportion Integral Derivative).

評価は、膜付き性（ただし３０度入刃のみ）を上述した実験１と同様の方法でグロー放電処理を開始後支持体を連続搬送させ２０分、６０分、１２０分経過後の支持体（ＰＥＴ）を比較した。実験の結果を表４に示す。 Evaluation was carried out in the same manner as in Experiment 1 described above for the film-attached property (however, only 30-degree insertion), and the support was continuously transported after starting the glow discharge treatment, and the support after 20 minutes, 60 minutes, and 120 minutes had passed ( PET). The results of the experiment are shown in Table 4.

表４から明らかなように、ガス及び／又は電流制御を行った場合に比して、制御を行わない場合（実験４−１）時間の経過とともに膜付き性が低下している。 As is apparent from Table 4, when the gas and / or current control is performed, when the control is not performed (Experiment 4-1), the film-attaching property decreases with the passage of time.

（実験５）
次に、グロー放電処理を施した支持体の改質効果の経時劣化についての実験を行った。グロー放電処理は、図１に示す表面処理装置（電極２、３のサイズは巾３００ｍｍ、長さ４００ｍｍ、電極２、３間の間隙は５ｍｍであり、処理室６の容量は３０Ｌであり、処理時間は３０秒（ｓ）であり、供給したガスは８５圧力％のアルゴン（Ａｒ）に二酸化炭素（ＣＯ₂）を１０圧力％と窒素（Ｎ₂）５圧力％を混合したガスである）を用いた。 (Experiment 5)
Next, an experiment was conducted on the deterioration over time of the modification effect of the support subjected to the glow discharge treatment. In the glow discharge treatment, the surface treatment apparatus shown in FIG. 1 (the size of the electrodes 2 and 3 is 300 mm wide, the length is 400 mm, the gap between the electrodes 2 and 3 is 5 mm, and the capacity of the treatment chamber 6 is 30 L. The time is 30 seconds (s), and the supplied gas is a gas in which 10 pressure% of carbon dioxide (CO ₂ ) and 5 pressure% of nitrogen (N ₂ ) are mixed with 85% argon (Ar). Using.

評価は、グロー放電処理した支持体（ＰＥＴ）を１、３、５、１０、２０分経過後に、白黒乳剤を塗布し、実験１に示した膜付き性を評価した。実験の結果を表５に示す。 The evaluation was carried out by applying a black and white emulsion to the support (PET) subjected to glow discharge treatment after 1, 3, 5, 10, 20 minutes, and evaluating the film adhesion property shown in Experiment 1. The results of the experiment are shown in Table 5.

表５より明らかなように、グロー放電処理後１０分を経過した支持体に写真乳剤を塗布したものは、その膜付き性が低下しているが、１０分以内に塗布したものは良好な膜付き性をしめしている。 As is apparent from Table 5, when a photographic emulsion is applied to a support that has passed 10 minutes after the glow discharge treatment, its film-attaching property is deteriorated, but when it is applied within 10 minutes, a good film is applied. It is addictive.

グロー放電処理を施す第１の実施の形態の表面処理装置の概略構成図である。It is a schematic block diagram of the surface treatment apparatus of 1st Embodiment which performs a glow discharge process. 第１の実施の形態の変形例の表面処理装置の概略構成図である。It is a schematic block diagram of the surface treatment apparatus of the modification of 1st Embodiment. 第２の実施の形態の表面処理装置の概略構成図である。It is a schematic block diagram of the surface treatment apparatus of 2nd Embodiment. 第３の実施の形態の表面処理装置の概略構成図である。It is a schematic block diagram of the surface treatment apparatus of 3rd Embodiment. 第４の実施の形態の表面処理装置の概略構成図である。It is a schematic block diagram of the surface treatment apparatus of 4th Embodiment. 第５の実施の形態の表面処理装置を説明する図である。It is a figure explaining the surface treatment apparatus of 5th Embodiment. 第６の実施の形態の表面処理装置の概略構成図である。It is a schematic block diagram of the surface treatment apparatus of 6th Embodiment. 第７の実施の形態の表面処理装置を説明する図である。It is a figure explaining the surface treatment apparatus of 7th Embodiment.

Explanation of symbols

１支持体
２、３電極
４ニップローラ（防止手段）
２１、３１穴
２２、３２供給口 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Support body 2, 3 Electrode 4 Nip roller (prevention means)
21, 31 hole 22, 32 supply port

Claims

The surface of the support that performs glow discharge on the support that is continuously transported between a pair of electrodes in a gas atmosphere containing an inert gas of at least 50% by pressure at or near atmospheric pressure In the processing device,
A surface treatment apparatus for a support, wherein at least part of a gas between the pair of electrodes is circulated.

2. The gas supplied between the pair of electrodes is controlled in accordance with a detecting means for detecting a gas concentration between the pair of electrodes and a gas concentration detected by the detecting means. The surface treatment apparatus of the support body as described in 2.