【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子写真方式を用いた複写機、プリンタ、ファックス等の画像形成装置の機能部品として使用される、感光ドラムや現像ローラ、搬送ローラ、転写ローラなどの剛体円筒状部品、或は中間転写ベルト、転写搬送ベルト等の可撓体円筒状部品への塗布膜形成装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
円筒体外周への塗布方法としては、特許文献１や特許文献２にリング塗布方法が開示されている。リング塗布方法は、円筒状部材の全周に亘って塗布液を吐出する開口部を有するリング状塗布部材を設け、塗布液を吐出しながら円筒状部材をリング状塗布部材に対して相対的に鉛直上方に移動させることにより、円筒体の外周面に塗布液を塗布する方法である。このリング塗布方法は、ディップコートと比較して塗布時間が短いため生産性が良く、又、塗布液の使用効率が非常に良いため生産コストを削減することもできる。この方法は、ニュートン流体性としての性質が強く、非顔料分散系又は長時間安定分散状態を保つことができる塗布液に関して優れた塗布方法である。
【０００３】
【特許文献１】
特開平５−２９７６０６号公報
【０００４】
【特許文献２】
特公平７−０５２２９６号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、電子写真に使用されるドラムやローラ等は、常により優れた機能や耐久性が求められている。そのため、特に高機能な部材を作製する際、複雑な物性を持つ塗布液材料や特殊な溶媒の他、安定分散状態を保つことが難しい顔料を混入された塗布液を均一膜厚且つ均質膜質で塗布することが要求される。
【０００６】
このような性質を持つ塗布液を用いた場合、前記リング塗布方法では流入口からノズル内に流入した液を全周に回り込み易くする液分配の役割を果たすマニホールドと呼ばれる部分においては流路幅が広くなるため、一般に流体の速度が遅くなり、不安定な分散体が凝集したり沈降したりすることがある。その結果、分散体が周方向で不均一な状態となり、画像スジや耐久性の低下といった問題が発生し、歩留まりが低下することがある。
【０００７】
又、非ニュートン性の影響によりマニホールド内で液が滞留すると、特開２０００−２６２９４７号公報に示されるようなパラメータを用いてリング状に設計したヘッドでは、均一性に対して影響のあるマニホールド内の断面積が滞留液の影響により見掛け上減少することになり、周方向の吐出分布を引き起こしてしまい膜厚分布を発生させる要因となる。この原因は液導入部がマニホールドの一部の対称性の低い位置に接続されると、マニホールド内に回転方向の速度成分を持って導入されるため、その傾向が顕著に現れることが分った。
【０００８】
本発明は、均一且つ均質塗膜の積層から成る円筒状部材を製造することができる塗布膜形成装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明は、内周面に周状に形成されたスリット状の吐出口を有するリングノズルから、該リングノズルと同芯に配置された円筒状部材の外周に向かって塗布液を吐出させ、該リングノズルと該円筒状部材を軸方向に相対的に移動させることにより所定の速度で塗布膜を形成する円筒状部材への塗布膜形成装置において、前記リングノズルへの液導入口を同芯軸上の位置に配置したことを特徴とする。
【００１０】
従って、本発明によれば、導入口よりリングヘッドノズル内に導入された塗布液は該吐出口に至るまでの流路が全周全ての位置に対して等しい関係にあるため、非ニュートン性流体を用いた場合に滞留が発生しても、周方向に対して等しく発生するため吐出のムラが生じない。
【００１１】
又、本発明によれば、該吐出口に至るまでの流路が全周全ての位置に対して等しい関係にあるため、マニホールドが不要となる。従って、導入口から導入された塗布液は吐出口に至るまで全て狭幅の流路を通るため、速度が低下することがなく、非ニュートン性流体であっても滞留が発生することを容易に防止することができる。又、常に流体に対して十分な速度が与えることが容易なため、不安定分散物を含む塗布液を用いた場合でも、異常凝集の発生を容易に防ぐことができる。
【００１２】
更に、本発明によれば、流路内に存在している塗布液は導入口より新しい塗布液が導入される度に確実に吐出口へと押し出されるため、流路内の塗布液は常に新しく導入された液に置き換えられ、異常凝集を容易に防ぐことができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施の形態を添付図面を参照して説明する。
【００１４】
（実施の形態）
図１は本発明の実施の形態１に係るリング状塗布膜形成装置の模式図である。図１では、構成を明確にするために一部装置を切断した断面図となっている。
【００１５】
本実施の形態では、１本の円筒状部材に塗布液を１層塗布しているものである。図１において、１はワークとなる円筒状部材であり、固定具１０１によりその両端は上方向から調芯されて固定支持されている。ワークの固定方法は、本実施の形態に限定されるものではなく、ヘッドとの相対移動中に調芯を保つことができるものであれば、芯棒により固定する等、如何なる方法でも良い。
【００１６】
図中、２は円筒状基材１の表面に所望の量の塗布液を吐出して塗布膜を形成するリングノズルである。配管１を通じて、鉛直上向き方向に設けた液導入部２１よりリングノズル内に塗布液が導入される。配管は塗布液に対する耐薬品性があり、液圧による変形が無視できる程度のものであれば良く、内径に関しては塗布膜厚と塗布速度によって決まる吐出量に対して流体速度が遅くなり、液導入前に凝集異常や滞留の発生が起こることがない程度に小さければ良い。又、導入部２１は、リングノズル２の下方に取り付けて鉛直上向きであるが、短時間で沈降する分散粒子を含まない場合には、液に対して一様の剪断速度を掛けることができるため、上方に取り付けて鉛直下向きであっても良い。
【００１７】
導入された塗布液は、流路２２を通り吐出口２３から円筒部材ワーク１の表面へ塗布される。流路２２は、吐出膜厚の均一性に影響を与えるために、全周に亘って均一な幅を持つように構成することが重要である。幅に関しては特に限定しないが、塗布膜厚、塗布速度、ワーク径に依存する吐出量に対して適当な剪断速度を持つように設計すると良い。又、短時間で沈降する分散粒子を含まない場合には、例えば２０１のように、吐出口直前の流路の途中にマニホールドを設けることで、流路幅の均一性に対する精度条件を緩和することもできるため、マニホールドはあっても良い。
【００１８】
本実施の形態では、吐出口２３は、エクストリュージョン型の所謂ビードを形成する小さな先端部を採用したが、小ディップのような液溜まりを作るようなものでもカーテンコートのような液膜を形成するものでも、何れの方法であっても良い。
【００１９】
リングノズル２の中心線は、液導入部２１と円周状の吐出口２３の中心を含む直線であり、この中心線は円筒状基材１の中心線と同軸に配置するように十分に精度良くすることが重要である。リングノズル２は、不図示の固定具により固定してある。
【００２０】
本実施の形態では、ワークとリングヘッドの相対移動手段として、円筒状基材１を固定している１０１がリニアガイド等の水平な動きをする１０２によってガイド１０３に沿って上下方向に移動することにより円筒状基材１の表面に塗布膜を形成するが、相対移動手段は、本実施の形態に限定されるものではなくワークを固定とし、リングヘッド２をガイド１０３に沿って上下方向に移動する等、相対移動中に調芯を保てるものであれば如何なる方法でも良い。
【００２１】
ポンプ３は必要な流量が安定して供給できる供給手段であれば何でも良く、例えばシリンジポンプやダイヤフラムポンプ等が考えられる。
【００２２】
［実施例］
（実施例１）
円筒状部材としてアルミニウムシリンダーの素管を用意した。アルミニウムシリンダーの素管に対して図１に示した装置により、前述の手順を４度繰り返すことにより、４層の塗布膜を形成し電子写真式の画像形成装置に用いる感光ドラムを得た。尚、乾燥手段はクリーンオーブンを用いた。
【００２３】
第１層は導電性被服層で、酸化スズ及びチタンの粉末をフェノール樹脂に分散したものを主体とした。リングノズルの移動速度は１０ｍｍ／ｓ、形成された膜厚は２０μｍである。第２層は下引層で、変性ナイロン及び共重合ナイロンを主体としている。リングノズルの移動速度は１０ｍｍ／ｓ、形成された膜厚は０．６μｍである。第３層は電荷発生層であり、フタロシアニン顔料をブチラール樹脂に分散したものを主体としている。リングノズルの移動速度は１０ｍｍ／ｓ、形成された膜厚は０．２μｍである。第４層は電荷輸送層であり、ホール搬送性ヒドラゾン化合物、ポリカーボネート樹脂を主体のものを用いた。リングノズルの移動速度は１０ｍｍ／ｓ、形成された膜厚は２５μｍである。
【００２４】
用いたリングノズルの断面概略図は図２のようなもので、配管内径φ４ｍｍのＰＴＦＥ製チューブを用い、下面に設けたφ３ｍｍの液導入部を介してノズル内に液を導入した。下面流路はφ５０ｍｍで流路幅は１ｍｍとした。図２の２０１の部分に断面３ｍｍ角となるマニホールドを設けた。
【００２５】
これにより、アルミニウムシリンダー素管から感光ドラムの最終製品を製造した。製造された感光ドラムは均一且つ均質塗膜の積層から成る良好な感光ドラムであった。又、一般的な電子写真画像形成テスト機を用いた画像テストにおいても、色ムラ、画像スジの無い良好な画像が得られた。
【００２６】
（実施例２）
実施例１と同様のワーク、塗布液を用いて、リングノズルの流路内に図３のようにマニホールドを持たないリングノズルを用いて最終製品を製造した。製造された感光ドラムは均一且つ均質塗膜の積層からなる良好な感光ドラムであった。又、一般的な電子写真画像形成テスト機を用いた画像テストにおいても、色ムラ、画像スジの無い良好な画像が得られた。
【００２７】
（実施例３）
実施例２と同様のワーク、塗布液を用いて、図４のようにリングノズル液導入口が上面にあるリングノズルを用いて最終製品を製造した。製造された感光ドラムは均一且つ均質塗膜の積層から成る良好な感光ドラムであった。又、一般的な電子写真画像形成テスト機を用いた画像テストにおいても、色ムラ、画像スジの無い良好な画像が得られた。
【００２８】
（実施例４）
実施例２と同様のワーク、リングノズルを用いて第４層塗布液中に、フッ素原子含有樹脂微粒子を０．２重量％混入したものを用いた。リングノズルの移動速度は１０ｍｍ／ｓ、形成された膜厚は２５μｍである。
【００２９】
これにより、アルミニウムシリンダー素管から感光ドラムの最終製品を製造した。製造された感光ドラムは均一且つ均質塗膜の積層から成る良好な感光ドラムであった。又、一般的な電子写真画像形成テスト機を用いた画像テストにおいても、色ムラ、画像スジの無い良好な画像が得られた。
【００３０】
＜比較例１＞
実施例１と同様のワーク、塗布液を用いて、図５の一般的なリングノズルを用いて最終製品を製造した。製造された感光ドラムは、膜厚は液導入口付近が厚くなり、一般的な電子写真画像形成テスト機を用いた画像テストにおいては、感光ドラムの液導入口の反対側に接触する部分で画像スジを引き起こすことが分った。
【００３１】
＜比較例２＞
実施例２と同様のワーク、塗布液を用いて、図２のリングノズルを用いて最終製品を製造した。製造された感光ドラムは膜厚は均一であったが、一般的な電子写真画像形成テスト機を用いた画像テストにおいては、数本の画像スジが発生した。
【００３２】
＜比較例３＞
実施例２と同様のワーク、塗布液を用いて、図４のリングノズルを用いて最終製品を製造した。製造された感光ドラムは、膜厚は均一であったが、一般的な電子写真画像形成テスト機を用いた画像テストにおいては、数本の画像スジが発生した。
【００３３】
【発明の効果】
以上の説明で明らかなように、本発明によれば、顔料分散系や不安定分散物を含む液の塗布においてもリングノズル内に塗布液が滞留しないため、均一且つ均質塗膜の積層から成る円筒状部材を製造することができるという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態を示すリングノズル塗布膜形成装置の断面図である。
【図２】マニホールドを有するリングノズルの詳細形状断面図である。
【図３】マニホールドを持たないリングノズルの詳細形状断面図である。
【図４】液導入口が上方にあるリングノズルの詳細形状断面図である。
【図５】比較例１に用いたリングノズルであって、一般的なリングノズルの詳細形状断面図である。
【符号の説明】
１ 円筒状部材
２ リングノズル
３ ポンプ
４ 配管
２１ 液導入口
２２ 流路
２３ 吐出口
１０１ 固定具
１０２，１０３ リニアガイド
２０１ マニホールド[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a rigid cylindrical part such as a photosensitive drum, a developing roller, a conveying roller, or a transfer roller used as a functional part of an image forming apparatus such as an electrophotographic copying machine, a printer, or a fax machine, or an intermediate part. The present invention relates to an apparatus for forming a coating film on a flexible cylindrical part such as a transfer belt and a transfer conveyance belt.
[0002]
[Prior art]
As an application method to the outer periphery of the cylindrical body, Patent Document 1 and Patent Document 2 disclose a ring application method. In the ring coating method, a ring-shaped coating member having an opening for discharging the coating liquid is provided over the entire circumference of the cylindrical member, and the cylindrical member is relatively positioned with respect to the ring-shaped coating member while discharging the coating liquid. In this method, the coating liquid is applied to the outer peripheral surface of the cylindrical body by moving it vertically upward. This ring coating method has good productivity because the coating time is short compared to dip coating, and the production efficiency can be reduced because the use efficiency of the coating liquid is very good. This method has a strong Newtonian fluid property and is an excellent coating method for a coating solution that can maintain a non-pigment dispersion or a stable dispersion state for a long time.
[0003]
[Patent Document 1]
Japanese Patent Laid-Open No. 5-297606
[Patent Document 2]
Japanese Patent Publication No. 7-052296 [0005]
[Problems to be solved by the invention]
However, drums and rollers used for electrophotography are always required to have better functions and durability. Therefore, when preparing highly functional members, a coating solution containing a complicated physical property and a special solvent, as well as a pigment mixed with a pigment that is difficult to maintain a stable dispersion state, has a uniform film thickness and a uniform film quality. Application is required.
[0006]
When a coating liquid having such properties is used, in the ring coating method, the flow path width is small in a portion called a manifold that plays the role of liquid distribution that makes it easy for the liquid flowing into the nozzle from the inlet to circulate around the entire circumference. Since it becomes wider, the fluid velocity generally slows down, and unstable dispersions may agglomerate or settle. As a result, the dispersion is in a non-uniform state in the circumferential direction, causing problems such as image streaking and reduced durability, and yield may be reduced.
[0007]
In addition, if the liquid stays in the manifold due to the influence of non-Newtonian properties, the head designed in a ring shape using parameters as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-262947 will have an effect on the uniformity in the manifold. The apparent cross-sectional area is reduced due to the influence of the staying liquid, causing a discharge distribution in the circumferential direction and causing a film thickness distribution. The reason for this is that when the liquid introduction part is connected to a part of the manifold where the symmetry is low, it is introduced into the manifold with a speed component in the rotational direction, and this tendency appears to be significant. .
[0008]
An object of this invention is to provide the coating film formation apparatus which can manufacture the cylindrical member which consists of lamination | stacking of a uniform and homogeneous coating film.
[0009]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, the present invention is directed from a ring nozzle having a slit-like discharge port formed circumferentially on an inner peripheral surface toward an outer periphery of a cylindrical member arranged concentrically with the ring nozzle. In a coating film forming apparatus for a cylindrical member that forms a coating film at a predetermined speed by discharging a coating liquid and relatively moving the ring nozzle and the cylindrical member in the axial direction, The liquid introduction port is arranged at a position on the concentric shaft.
[0010]
Therefore, according to the present invention, the non-Newtonian fluid is applied to the coating liquid introduced from the introduction port into the ring head nozzle because the flow path from the introduction port to the discharge port has the same relationship with respect to all positions on the entire circumference. Even if the stagnation occurs in the case of using, it occurs equally in the circumferential direction, so that the discharge unevenness does not occur.
[0011]
Further, according to the present invention, since the flow path to the discharge port is in the same relationship with respect to all positions on the entire circumference, a manifold is not necessary. Therefore, since all of the coating liquid introduced from the introduction port passes through the narrow flow path up to the discharge port, the speed does not decrease, and it is easy for stagnation to occur even with a non-Newtonian fluid. Can be prevented. Further, since it is always easy to give a sufficient speed to the fluid, even when a coating liquid containing an unstable dispersion is used, the occurrence of abnormal aggregation can be easily prevented.
[0012]
Furthermore, according to the present invention, since the coating liquid existing in the flow path is surely pushed out to the discharge port every time a new coating liquid is introduced from the introduction port, the coating liquid in the flow path is always new. It is replaced with the introduced liquid, and abnormal aggregation can be easily prevented.
[0013]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings.
[0014]
(Embodiment)
FIG. 1 is a schematic diagram of a ring-shaped coating film forming apparatus according to Embodiment 1 of the present invention. FIG. 1 is a cross-sectional view in which a part of the device is cut in order to clarify the configuration.
[0015]
In the present embodiment, one layer of coating liquid is applied to one cylindrical member. In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a cylindrical member serving as a workpiece, and both ends thereof are aligned and fixedly supported by a fixture 101 from above. The work fixing method is not limited to the present embodiment, and any method may be used such as fixing with a core rod as long as alignment can be maintained during relative movement with the head.
[0016]
In the figure, 2 is a ring nozzle that discharges a desired amount of coating liquid onto the surface of the cylindrical substrate 1 to form a coating film. Through the pipe 1, a coating liquid is introduced into the ring nozzle from a liquid introduction portion 21 provided in a vertically upward direction. The piping should only have chemical resistance to the coating liquid and can be negligibly deformed by the hydraulic pressure. With regard to the inner diameter, the fluid speed is slower than the discharge amount determined by the coating film thickness and coating speed, and the liquid is introduced. What is necessary is just to be small to such an extent that agglomeration abnormality and stay do not occur before. In addition, the introduction portion 21 is attached to the lower side of the ring nozzle 2 and is vertically upward, but when the dispersed particles that settle in a short time are not included, a uniform shear rate can be applied to the liquid. It may be attached upward and vertically downward.
[0017]
The introduced coating liquid is applied to the surface of the cylindrical member workpiece 1 from the discharge port 23 through the flow path 22. In order to affect the uniformity of the discharge film thickness, it is important to configure the flow path 22 to have a uniform width over the entire circumference. The width is not particularly limited, but the width may be designed to have an appropriate shear rate with respect to the discharge amount depending on the coating film thickness, the coating speed, and the workpiece diameter. In addition, when the dispersed particles that settle in a short time are not included, the accuracy condition for the uniformity of the channel width can be relaxed by providing a manifold in the middle of the channel immediately before the discharge port, for example, 201. There may be a manifold.
[0018]
In this embodiment, the discharge port 23 employs a small tip that forms an extrusion-type so-called bead. However, a liquid film such as a curtain coat may be used even for a liquid reservoir such as a small dip. Any method may be used.
[0019]
The center line of the ring nozzle 2 is a straight line including the centers of the liquid introduction part 21 and the circumferential discharge port 23, and this center line is sufficiently accurate to be arranged coaxially with the center line of the cylindrical substrate 1. It is important to improve. The ring nozzle 2 is fixed by a fixing tool (not shown).
[0020]
In the present embodiment, as a relative moving means between the workpiece and the ring head, 101 that fixes the cylindrical base material 1 is moved up and down along the guide 103 by a horizontal movement 102 such as a linear guide. The coating film is formed on the surface of the cylindrical base material 1 by the above, but the relative movement means is not limited to this embodiment, and the work is fixed and the ring head 2 is moved in the vertical direction along the guide 103. Any method may be used as long as alignment can be maintained during relative movement.
[0021]
The pump 3 may be any supply means that can stably supply a necessary flow rate. For example, a syringe pump or a diaphragm pump can be considered.
[0022]
[Example]
(Example 1)
An aluminum cylinder blank was prepared as a cylindrical member. The above procedure was repeated four times with the apparatus shown in FIG. 1 for the aluminum cylinder base tube to form a four-layer coating film to obtain a photosensitive drum for use in an electrophotographic image forming apparatus. The drying means used was a clean oven.
[0023]
The first layer was an electrically conductive coating layer mainly composed of tin oxide and titanium powder dispersed in a phenol resin. The moving speed of the ring nozzle is 10 mm / s, and the formed film thickness is 20 μm. The second layer is an undercoat layer and is mainly composed of modified nylon and copolymer nylon. The moving speed of the ring nozzle is 10 mm / s, and the formed film thickness is 0.6 μm. The third layer is a charge generation layer and is mainly composed of a phthalocyanine pigment dispersed in a butyral resin. The moving speed of the ring nozzle is 10 mm / s, and the formed film thickness is 0.2 μm. The fourth layer is a charge transport layer, and is mainly composed of a hole transporting hydrazone compound and a polycarbonate resin. The moving speed of the ring nozzle is 10 mm / s, and the formed film thickness is 25 μm.
[0024]
A schematic cross-sectional view of the ring nozzle used is as shown in FIG. 2, and a PTFE tube having a pipe inner diameter of φ4 mm was used, and a liquid was introduced into the nozzle through a φ3 mm liquid introduction portion provided on the lower surface. The bottom channel was 50 mm and the channel width was 1 mm. A manifold having a cross section of 3 mm square was provided at a portion 201 in FIG.
[0025]
Thereby, the final product of the photosensitive drum was manufactured from the aluminum cylinder base tube. The produced photosensitive drum was a good photosensitive drum composed of a uniform and homogeneous coating film. Also, in an image test using a general electrophotographic image forming test machine, a good image free from color unevenness and image streaks was obtained.
[0026]
(Example 2)
Using the same workpiece and coating solution as in Example 1, a final product was manufactured using a ring nozzle having no manifold as shown in FIG. 3 in the flow path of the ring nozzle. The manufactured photosensitive drum was a good photosensitive drum composed of a uniform and uniform coating film. Also, in an image test using a general electrophotographic image forming test machine, a good image free from color unevenness and image streaks was obtained.
[0027]
Example 3
Using the same workpiece and coating liquid as in Example 2, a final product was manufactured using a ring nozzle having a ring nozzle liquid inlet on the upper surface as shown in FIG. The produced photosensitive drum was a good photosensitive drum composed of a uniform and homogeneous coating film. Also, in an image test using a general electrophotographic image forming tester, a good image free from color unevenness and image streaks was obtained.
[0028]
(Example 4)
Using the same workpiece and ring nozzle as in Example 2, 0.2 wt% fluorine atom-containing resin fine particles were mixed in the fourth layer coating solution. The moving speed of the ring nozzle is 10 mm / s, and the formed film thickness is 25 μm.
[0029]
Thereby, the final product of the photosensitive drum was manufactured from the aluminum cylinder base tube. The produced photosensitive drum was a good photosensitive drum composed of a uniform and homogeneous coating film. Also, in an image test using a general electrophotographic image forming test machine, a good image free from color unevenness and image streaks was obtained.
[0030]
<Comparative Example 1>
Using the same workpiece and coating solution as in Example 1, the final product was manufactured using the general ring nozzle of FIG. The manufactured photosensitive drum is thicker in the vicinity of the liquid inlet, and in an image test using a general electrophotographic image forming test machine, the image is formed at the part contacting the opposite side of the photosensitive drum liquid inlet. I found that it causes streaks.
[0031]
<Comparative example 2>
The final product was manufactured using the ring nozzle of FIG. 2 using the same workpiece and coating solution as in Example 2. The manufactured photosensitive drum had a uniform film thickness, but several image streaks occurred in an image test using a general electrophotographic image forming test machine.
[0032]
<Comparative Example 3>
A final product was manufactured using the ring nozzle shown in FIG. 4 using the same workpiece and coating solution as in Example 2. The manufactured photosensitive drum had a uniform film thickness, but several image streaks occurred in an image test using a general electrophotographic image forming test machine.
[0033]
【The invention's effect】
As apparent from the above description, according to the present invention, the coating liquid does not stay in the ring nozzle even in the application of the liquid containing the pigment dispersion or the unstable dispersion, and therefore, it is composed of a uniform and uniform coating film. The effect that a cylindrical member can be manufactured is acquired.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a cross-sectional view of a ring nozzle coating film forming apparatus showing an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a detailed sectional view of a ring nozzle having a manifold.
FIG. 3 is a detailed sectional view of a ring nozzle having no manifold.
FIG. 4 is a detailed cross-sectional view of a ring nozzle with a liquid introduction port located above.
FIG. 5 is a detailed sectional view of a ring nozzle used in Comparative Example 1, which is a general ring nozzle.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Cylindrical member 2 Ring nozzle 3 Pump 4 Piping 21 Liquid introduction port 22 Flow path 23 Discharge port 101 Fixing tools 102 and 103 Linear guide 201 Manifold
