JP2004361219A - Semiconductor test system - Google Patents

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Yuichi Nakajima
祐一 中島
Takuya Kobayashi
拓也 小林
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Panasonic Holdings Corp
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Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To efficiently test a semiconductor chip. <P>SOLUTION: A chip information acquiring device 103 acquires chip information 102 stored in a semiconductor chip 101, selects a test program corresponding to the acquired chip information 102 out of programs stored in a test program database 104, and loads the selected test program onto a semiconductor tester 105. The semiconductor tester 105 loaded with the test program tests the semiconductor chip 101, based on the test program. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

【0001】
【発明が属する技術分野】
本発明は、半導体チップのテストを行う半導体テストシステムに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来の半導体テストシステムにおける半導体チップのテストは、作業者が、テスト対象の半導体チップの種類を目視により認識し、認識した種類に対応したテストプログラムを選択し、選択したテストプログラムを半導体テスターにローディングすることで行っていた。
【0003】
図3は、従来の半導体テストシステムの概略構成を示す図である。
半導体テストシステム200は、テスト対象の半導体チップ201と、半導体チップ201のテストを行う半導体テスター205と、半導体チップ201に関する資料204と、作業者である人202と、テストプログラム名等が記載されたプログラム一覧表203とを備える。
【0004】
半導体テストシステム200の動作について説明する。
図4は、従来の半導体テストシステムの動作を説明するためのフローを示す図である。
人202は、目視により半導体チップ201や資料204を確認し、その半導体チップ201がどのような品種名であるか、マスクセットバージョンはいくつであるか、ROMのバージョンがいくつであるか等を確認する(S21)。更に、人202は、S21で確認した情報をもとに、プログラム一覧表203を参照して、その半導体チップ201に対応するテストプログラムを選択し(S22)、選択したテストプログラムを半導体テスター205にローディングするための操作を行う(S23)。その後、ローディングされたテストプログラムに基づいて、半導体テスター205が半導体チップ201のテストを行う(例えば、特許文献1参照)。
【0005】
【特許文献1】
特開平11−23659号公報
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の半導体テストシステムにあっては、目視による半導体チップの確認、人によるテストプログラムの選択、及び手作業による半導体テスター105へのローディング操作等のため、半導体チップ101に類似品種や複数のマスクセットバージョン等が存在する場合に、選択ミスや操作ミスが起きる可能性がある。このため、不適切なテストプログラムが半導体テスター105にローディングされてしまい、半導体テストを適切に行うことができない。また、人による判断が加わるため、半導体チップのテストに要する時間も多くかかってしまう。
【0007】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、半導体チップのテストを効率良く行うことが可能な半導体テストシステムを提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明の半導体テストシステムは、半導体チップのテストを行う半導体テストシステムであって、前記半導体チップのテストプログラムを格納するテストプログラム格納手段と、前記半導体チップの識別情報を前記半導体チップから取得する識別情報取得手段と、前記識別情報取得手段により取得された識別情報に応じたテストプログラムを、前記テストプログラム格納手段に格納されているテストプログラムの中から選択するテストプログラム選択手段と、前記テストプログラム選択手段により選択されたテストプログラムに基づいて、前記半導体チップのテストを行うテスターとを備える。
【0009】
また、本発明の半導体テストシステムは、前記識別情報取得手段が、前記半導体チップに内蔵される記憶媒体から前記識別情報を取得するものである。
【0010】
また、本発明の半導体テストシステムは、前記識別情報取得手段が、前記半導体チップのパッケージにマーキングされた印を認識し、前記印に基づいて前記識別情報を取得するものである。
【0011】
以上の構成によれば、半導体チップのテストを効率良く行うことができる。
【0012】
【発明の実施の形態】
図1は、本発明の実施形態を説明するための半導体テストシステム100の概略構成を示す図である。
半導体テストシステム100は、チップ情報102を内蔵する半導体チップ101と、半導体チップ101を着脱可能に搭載するソケット108を有するパフォーマンスボード107と、パフォーマンスボード107を介して半導体チップ101のチップ情報102を取得するチップ情報取得装置103と、チップ情報102に対応するテストプログラムを格納するテストプログラムデータベース104と、テスターヘッド106にチップ情報取得装置103を内蔵した半導体テスター105とを備える。
【0013】
チップ情報102は、半導体チップ101を識別するための識別情報であり、半導体チップ101内のROM等の記憶媒体に予め記憶されているものである。チップ情報102の内容としては、例えば、半導体チップ101の品種名、ROMバージョン、及びマスクセットバージョン等があげられ、テストプログラムの種類の変更に起因するような情報であることが好ましい。
【0014】
ROMの仕様については、アドレスを2bitとして、フォーマットを固定とし、アドレス2’b00に半導体チップ101の品種名を記憶し、アドレス2’b01にROMバージョンを記憶し、アドレス2’b10にマスクセットバージョンを記憶する。データも固定して決まったサイズを用意する。
【0015】
テストプログラムデータベース104には、チップ情報102に対応するテストプログラム(半導体チップをテストするためのプログラム)が格納されている。なお、テストプログラムデータベース104は、チップ情報取得装置103の中に設けてもよいし、半導体テスター105の中に設けてもよい。
【0016】
チップ情報取得装置103は、パフォーマンスボード107及びソケット108を介して半導体チップ101にアクセスし、ROMに記憶されているチップ情報102を取得する。また、取得したチップ情報102に対応するテストプログラムを、テストプログラムデータベース104の中から選択し、選択したテストプログラムをテストプログラムデータベース104から取得して半導体テスター105にローディングする。
【0017】
半導体チップ101は、チップ情報102を読み出すためのモード端子と、アドレス端子と、データ端子と、ROMの制御端子と、電源端子とを有する。
【0018】
パフォーマンスボード107は、半導体チップ101のモード端子、アドレス端子、データ端子、及びROMの制御端子に割り当てられるテスターチャンネルと、電源端子に割り当てられる電源チャンネルとを有する。このようにチャンネルを割り当てることで、チップ情報取得装置103から半導体チップ101のROMへのアクセス経路を確定することができる。
【0019】
なお、半導体チップ101内のROMの容量を固定とすることで、ROMへのアクセス方法を予め決めておくことができる。また、半導体チップ101の電源電圧値も固定とすれば、その品種に関わらず、常に同じ方法でチップ情報102を簡単に取り出すことができる。
【0020】
また、チップ情報102を半導体チップ101内に記憶するのではなく、半導体チップ101のパッケージに、チップ情報に対応したマーキングを施すようにしても良い。この場合は、チップ情報取得装置103が、マーキングされた印をCCD(Charge Coupled Device)等で撮像し、画像処理にてチップ情報102を認識する方法とすれば良い。このために、半導体チップ101のパッケージにマーキングされる印とチップ情報とを対応付けたデータベースを、チップ情報取得装置103からアクセス可能な場所に設けておく。このようにすれば、テスターチャンネル116及び電源チャンネル117等を固定して決めておく必要はない。また、この場合は、チップ情報取得装置103を、半導体テスター105のハンドラやプローバの中に設けてもよい。
【0021】
テスターヘッド106は、パフォーマンスボード107及びソケット108を介して半導体チップ101にアクセス可能であり、ここで取得した情報を半導体テスター105に供給する。
【0022】
半導体テスター105は、テスターヘッド106から供給された情報を基に、半導体チップ101のテストを行い、そのテスト結果を出力する。上記テストは、チップ情報取得装置103によって選択され、ローディングされたテストプログラムに基づいて行う。なお、テストプログラムデータベース104が半導体テスター105内にある場合、半導体テスター105自らがテストプログラムを取得するようにする。この場合、チップ情報取得装置103は、テストプログラムのローディングは行わず、その選択のみを行い、選択したテストプログラムの情報(名前等)を半導体テスター105に通知するだけで良い。
【0023】
次に、半導体テストシステム100の動作について説明する。
図2は、本発明の実施形態を説明するための半導体テストシステムの動作フローを示す図である。
まず、チップ情報取得装置103は、半導体チップ101に記憶されたチップ情報102を取得する(S11)。次に、取得したチップ情報102に対応するテストプログラムを、テストプログラムデータベース104に格納されているプログラムの中から選択し(S12)、選択したテストプログラムを半導体テスター105にローディングする(S13)。テストプログラムをローディングされた半導体テスター105は、そのテストプログラムに基づいて半導体チップ101のテストを行う。
【0024】
以上のように、本実施形態によれば、半導体チップ101のテストを、人による作業ではなく自動的に行うことが可能なため、半導体チップ101のテストを効率良く行うことができる。
【0025】
【発明の効果】
本発明によれば、半導体チップのテストを効率良く行うことが可能な半導体テストシステムを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態を説明するための半導体テストシステムを示す概略構成図
【図2】本発明の実施形態を説明するための半導体テストシステムの動作フローを示す図
【図3】従来の半導体テストシステムの概略構成を示す図
【図4】従来の半導体テストシステムの動作を説明するためのフローを示す図
【符号の説明】
100 半導体テストシステム
101 半導体チップ
102 チップ情報
103 チップ情報取得装置
104 テストプログラムデータベース
105 半導体テスター
106 テスターヘッド
107 パフォーマンスボード
108 ソケット
[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a semiconductor test system for testing a semiconductor chip.
[0002]
[Prior art]
In testing a semiconductor chip in a conventional semiconductor test system, an operator visually recognizes a type of a semiconductor chip to be tested, selects a test program corresponding to the recognized type, and loads the selected test program into a semiconductor tester. I was going by.
[0003]
FIG. 3 is a diagram showing a schematic configuration of a conventional semiconductor test system.
The semiconductor test system 200 includes a semiconductor chip 201 to be tested, a semiconductor tester 205 for testing the semiconductor chip 201, data 204 on the semiconductor chip 201, a worker 202, a test program name, and the like. And a program list 203.
[0004]
The operation of the semiconductor test system 200 will be described.
FIG. 4 is a flowchart illustrating the operation of the conventional semiconductor test system.
The person 202 visually confirms the semiconductor chip 201 and the material 204, and confirms the kind of the semiconductor chip 201, the mask set version, the ROM version, and the like. (S21). Further, the person 202 selects a test program corresponding to the semiconductor chip 201 with reference to the program list 203 based on the information confirmed in S21 (S22), and sends the selected test program to the semiconductor tester 205. An operation for loading is performed (S23). After that, the semiconductor tester 205 tests the semiconductor chip 201 based on the loaded test program (for example, see Patent Document 1).
[0005]
[Patent Document 1]
JP-A-11-23659
[Problems to be solved by the invention]
However, in the above-described conventional semiconductor test system, since a semiconductor chip is visually checked, a test program is selected by a human, and a loading operation to the semiconductor tester 105 is manually performed, a similar product or a plurality of semiconductor chips are used. If there is a mask set version or the like, a selection error or an operation error may occur. For this reason, an inappropriate test program is loaded on the semiconductor tester 105, and the semiconductor test cannot be performed properly. In addition, since human judgment is added, it takes much time to test the semiconductor chip.
[0007]
The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a semiconductor test system that can efficiently test a semiconductor chip.
[0008]
[Means for Solving the Problems]
A semiconductor test system according to the present invention is a semiconductor test system for testing a semiconductor chip, comprising: a test program storage means for storing a test program for the semiconductor chip; and an identification for acquiring identification information of the semiconductor chip from the semiconductor chip. Information acquisition means; test program selection means for selecting a test program corresponding to the identification information acquired by the identification information acquisition means from among the test programs stored in the test program storage means; A tester for testing the semiconductor chip based on a test program selected by the means.
[0009]
Further, in the semiconductor test system according to the present invention, the identification information acquiring means acquires the identification information from a storage medium built in the semiconductor chip.
[0010]
Further, in the semiconductor test system according to the present invention, the identification information acquiring means recognizes a mark marked on a package of the semiconductor chip, and acquires the identification information based on the mark.
[0011]
According to the above configuration, the test of the semiconductor chip can be performed efficiently.
[0012]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration of a semiconductor test system 100 for describing an embodiment of the present invention.
The semiconductor test system 100 acquires a semiconductor chip 101 containing chip information 102, a performance board 107 having a socket 108 for detachably mounting the semiconductor chip 101, and the chip information 102 of the semiconductor chip 101 via the performance board 107. A chip information acquisition device 103, a test program database 104 for storing a test program corresponding to the chip information 102, and a semiconductor tester 105 having the chip information acquisition device 103 built in a tester head 106.
[0013]
The chip information 102 is identification information for identifying the semiconductor chip 101, and is stored in advance in a storage medium such as a ROM in the semiconductor chip 101. The contents of the chip information 102 include, for example, a product name, a ROM version, a mask set version, and the like of the semiconductor chip 101, and are preferably information that is caused by a change in the type of the test program.
[0014]
Regarding the specifications of the ROM, the address is 2 bits, the format is fixed, the type name of the semiconductor chip 101 is stored at address 2'b00, the ROM version is stored at address 2'b01, and the mask set version is stored at address 2'b10. Is stored. Prepare fixed size with fixed data.
[0015]
The test program database 104 stores a test program (a program for testing a semiconductor chip) corresponding to the chip information 102. The test program database 104 may be provided in the chip information acquisition device 103 or may be provided in the semiconductor tester 105.
[0016]
The chip information acquisition device 103 accesses the semiconductor chip 101 via the performance board 107 and the socket 108, and acquires the chip information 102 stored in the ROM. Further, a test program corresponding to the acquired chip information 102 is selected from the test program database 104, and the selected test program is acquired from the test program database 104 and loaded on the semiconductor tester 105.
[0017]
The semiconductor chip 101 has a mode terminal for reading chip information 102, an address terminal, a data terminal, a ROM control terminal, and a power supply terminal.
[0018]
The performance board 107 has a tester channel assigned to a mode terminal, an address terminal, a data terminal, and a control terminal of the ROM of the semiconductor chip 101, and a power supply channel assigned to a power supply terminal. By allocating channels in this manner, an access path from the chip information acquisition device 103 to the ROM of the semiconductor chip 101 can be determined.
[0019]
By fixing the capacity of the ROM in the semiconductor chip 101, a method of accessing the ROM can be determined in advance. Further, if the power supply voltage value of the semiconductor chip 101 is fixed, the chip information 102 can always be easily extracted by the same method regardless of the type.
[0020]
Further, instead of storing the chip information 102 in the semiconductor chip 101, a marking corresponding to the chip information may be applied to a package of the semiconductor chip 101. In this case, a method may be adopted in which the chip information acquisition device 103 captures the marked mark with a CCD (Charge Coupled Device) or the like and recognizes the chip information 102 by image processing. For this purpose, a database that associates marks marked on the package of the semiconductor chip 101 with chip information is provided at a location accessible from the chip information acquisition device 103. In this case, it is not necessary to fix and determine the tester channel 116, the power supply channel 117, and the like. In this case, the chip information acquisition device 103 may be provided in a handler or a prober of the semiconductor tester 105.
[0021]
The tester head 106 can access the semiconductor chip 101 via the performance board 107 and the socket 108, and supplies the information obtained here to the semiconductor tester 105.
[0022]
The semiconductor tester 105 performs a test on the semiconductor chip 101 based on the information supplied from the tester head 106, and outputs a test result. The test is performed based on a test program selected and loaded by the chip information acquisition device 103. When the test program database 104 is in the semiconductor tester 105, the semiconductor tester 105 acquires the test program by itself. In this case, the chip information acquisition device 103 does not load the test program, only selects it, and only needs to notify the semiconductor tester 105 of the information (name, etc.) of the selected test program.
[0023]
Next, the operation of the semiconductor test system 100 will be described.
FIG. 2 is a diagram showing an operation flow of the semiconductor test system for explaining the embodiment of the present invention.
First, the chip information acquisition device 103 acquires the chip information 102 stored in the semiconductor chip 101 (S11). Next, a test program corresponding to the acquired chip information 102 is selected from the programs stored in the test program database 104 (S12), and the selected test program is loaded on the semiconductor tester 105 (S13). The semiconductor tester 105 loaded with the test program tests the semiconductor chip 101 based on the test program.
[0024]
As described above, according to the present embodiment, the test of the semiconductor chip 101 can be performed automatically instead of the operation of a person, so that the test of the semiconductor chip 101 can be performed efficiently.
[0025]
【The invention's effect】
According to the present invention, it is possible to provide a semiconductor test system capable of efficiently testing a semiconductor chip.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing a semiconductor test system for describing an embodiment of the present invention; FIG. 2 is a diagram showing an operation flow of the semiconductor test system for describing an embodiment of the present invention; FIG. FIG. 4 is a diagram showing a schematic configuration of a semiconductor test system of FIG. 4. FIG. 4 is a diagram showing a flow for explaining an operation of a conventional semiconductor test system.
Reference Signs List 100 semiconductor test system 101 semiconductor chip 102 chip information 103 chip information acquisition device 104 test program database 105 semiconductor tester 106 tester head 107 performance board 108 socket

Claims (3)

半導体チップのテストを行う半導体テストシステムであって、
前記半導体チップのテストプログラムを格納するテストプログラム格納手段と、
前記半導体チップの識別情報を前記半導体チップから取得する識別情報取得手段と、
前記識別情報取得手段により取得された識別情報に応じたテストプログラムを、前記テストプログラム格納手段に格納されているテストプログラムの中から選択するテストプログラム選択手段と、
前記テストプログラム選択手段により選択されたテストプログラムに基づいて、前記半導体チップのテストを行うテスターとを備える半導体テストシステム。
A semiconductor test system for testing a semiconductor chip,
Test program storage means for storing a test program for the semiconductor chip,
Identification information acquisition means for acquiring identification information of the semiconductor chip from the semiconductor chip,
A test program selecting unit that selects a test program corresponding to the identification information obtained by the identification information obtaining unit from the test programs stored in the test program storage unit;
A tester that tests the semiconductor chip based on a test program selected by the test program selection means.
請求項1記載の半導体テストシステムであって、
前記識別情報取得手段は、前記半導体チップに内蔵される記憶媒体から前記識別情報を取得するものである半導体テストシステム。
The semiconductor test system according to claim 1, wherein
The semiconductor test system, wherein the identification information obtaining means obtains the identification information from a storage medium built in the semiconductor chip.
請求項1記載の半導体テストシステムであって、
前記識別情報取得手段は、前記半導体チップのパッケージにマーキングされた印を認識し、前記印に基づいて前記識別情報を取得するものである半導体テストシステム。
The semiconductor test system according to claim 1, wherein
The semiconductor test system, wherein the identification information acquiring unit is configured to recognize a mark marked on a package of the semiconductor chip and acquire the identification information based on the mark.
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