JP2004341300A - 可変光減衰器及び可変光減衰器アレイ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】入力出力兼用光ファイバ4の端面からレンズ5までの距離をレンズ5の焦点距離fのほぼ2倍、且つレンズ5から回転駆動鏡6までの距離を前記焦点距離fのほぼ2倍として回転駆動鏡6の鏡面上で焦点を結ぶような配置とし、入力出力兼用光ファイバ4の端面から放射した光を、レンズ5を経由して回転駆動鏡6の鏡面上に集光した後反射し、この反射した光を入力出力兼用光ファイバ4の端面上に戻す際、回転駆動鏡6を回転駆動することによって、入力出力兼用光ファイバ4の端面における戻り光のこの入力出力兼用光ファイバ4に対する結合効率を変化させるようにした。
【選択図】図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は可変光減衰器及び可変光減衰器アレイに関するものであり、特にマイクロ電気機械式に駆動されて光減衰を行う、MEMS装置、可変光減衰システム、光減衰方法及びMEMS可変光減衰器及びそれを用いて波長毎に光減衰を行う波長分岐型の光減衰器アレイに適用して有用なものである。
【0002】
【従来の技術】
<第1の従来技術>
第1の従来技術について、図36に基づきこれを説明する。当該従来技術は、入力用光ファイバ01、出力用光ファイバ02、サーキュレータ03、入力出力兼用光ファイバ04、焦点距離fのレンズ05、回転駆動鏡06から構成される。サーキュレータ03は光の進行方向によって光が出るポートが変わる素子であり、図36において、ポート03−1,03−2,03−3と3つあるが、ポート03−1から入った光はポート03−2へ出て、ポート03−2から入った光はポート03−3へ出るという機能をもつ。
【0003】
入力出力兼用光ファイバ04の端面の中心とレンズ05の中心を結ぶ軸と、レンズ05の中心軸と、回転駆動鏡06の反射鏡面の法線が一致している。入力出力兼用光ファイバ04の端面からレンズ05までの距離はほぼ焦点距離fに等しい。
【0004】
このような光学系において、光の進行方向にそって機能を説明する。入力された光は入力用光ファイバ01を経由してポート03−1からサーキュレータ03に入り、ポート03−2から出て、入力出力兼用光ファイバ04に入る。入力出力兼用光ファイバ04の端面からの発散光は、レンズ05を介してコリメートされる。コリメートされた光は回転駆動鏡06の反射鏡面に照射され、反射鏡面によって反射された後、再びレンズ05を経由して収束光となって入力出力兼用光ファイバ04の端面に結像する。この結果、入力出力兼用光ファイバ04中に入る。入力出力兼用光ファイバ04を経由してポート03−2からサーキュレータ03に入ると、サーキュレータ03の特性によって、ポート03−3に出る。ポート03−3から出力用光ファイバ02に入り、当該装置外へ出る。
【0005】
かかる従来技術において、入力出力兼用光ファイバ04の中心とレンズ05の光軸中心を結ぶ線と回転駆動鏡06の反射鏡面の法線方向とが一致している場合は、収束光の結像位置が入力出力兼用光ファイバ04のコアの位置と一致する結果、出力用光ファイバ02に戻る光は最大となる。ここで、回転駆動鏡06を回転させると、収束光の結像位置と、入力出力兼用光ファイバ04の端面におけるコアの位置がずれて、出力用光ファイバ02に戻る光が減少する。この作用を利用して、回転駆動鏡06の回転角を調整することによって光減衰率を可変制御する。
【0006】
<第2の従来技術>
第2の従来技術について、図37に基づきこれを説明する。当該従来技術は、入力用光ファイバ011、出力用光ファイバ012、焦点距離fのレンズ015、回転駆動鏡016から構成される。ここで、入力用光ファイバ011と出力用光ファイバ012を結ぶ線の中点とレンズ015の中心を結ぶ軸と、レンズ015の中心軸と、回転駆動鏡016の反射鏡面の法線が一致している。また、入力用光ファイバ011及び出力用光ファイバ012からレンズ015までの距離はほぼ焦点距離fに等しい。
【0007】
このような光学系において、入力用光ファイバ011からの発散光はレンズ015を経由して、コリメートされる。コリメートされた光は回転駆動鏡016の反射鏡面上に照射される。その後、反射鏡面上において反射され、再びレンズ015を経由して収束光となって出力用光ファイバ012の端面上に結像され、出力用光ファイバ012に入る。
【0008】
かかる従来技術において、入力用光ファイバ011と出力用光ファイバ012の中心間の中点とレンズ015の光軸中心を結ぶ線と回転駆動鏡016の反射鏡面の法線方向とが一致している場合は、収束光の結像位置が出力用光ファイバ012のコアの位置と一致し、出力用光ファイバ012に戻る光は最大となる。ここで、回転駆動鏡016を回転させると、出力用光ファイバ012の端面におけるコアの位置から収束光の結像位置がずれて出力用光ファイバ012に戻る光が減少する。この作用を利用して、回転駆動鏡016の回転角を調整することによって光減衰率を可変制御する。
【0009】
ここで、焦点距離f=1.2mmのレンズ015を用いた場合の回転駆動鏡016の回転角度と、光の減衰率との関係を図示すると図38のようになる。同図において、縦軸は減衰率(dB)、横軸は回転角度(ラジアン)である。
【0010】
図38を参照すれば明らかな通り、焦点距離fが1.2mmのレンズ015を用いた場合において、約20dBの減衰を行うのに0.005ラジアンの回転を必要とする。また、ここでファイバの開口数(NA)を0.1とすると、この系における反射鏡面上におけるビーム照射面積は、約240μmとなる。
【0011】
<第3の従来技術>
第3の従来技術について図39に基づきこれを説明する。当該従来技術は、第1の従来技術や、第2の従来技術に係る可変光減衰器Iをアレイ化したものであり、第1の従来技術又は第2の従来技術に係る可変光減衰器Iを複数個並列に並べて同一筐体IIに設置し、簡便に使用可能としたものである。なお、図中、IIIは、入力用及び出力用光ファイバ群である。
【0012】
<第4の従来技術>
第4の従来技術について、図40に基づきこれを説明する。当該従来技術は、導波路型の可変光減衰器であり、入力光ポート041と、導波路マッハツェンダ干渉計042と、導波路マッハツェンダ干渉計042の片方の光路を加熱するように設置したヒータ043と、このヒータ043に電流を流す制御線044と、出力ポート045から構成される。この導波路型の可変光減衰器をVOA(Variable Optical Attenuator)と略称する。
【0013】
かかる従来技術において、通常は、両方の光路の温度は同じであるため光路間の光路長差は生じておらず、両方の光路からの光は干渉して、出力ポート045に最大の光強度が得られる。ここで、制御線044に電流を流してヒータ043を加熱することによって、片方の光路の温度が上昇すると、光路長差が生じ、この結果干渉が弱められて出力ポート045において得られる光強度が減少する。半波長の光路長差が生じるような温度差があるとき、二つの光路間の光はお互いに打ち消しあって出力ポート045において得られる光強度は最小となる。
【0014】
図41に、上記温度差に対する出カポート045における光の相対強度の依存性の概略を示す。同図を参照すれば明らかな通り、上記温度差に対してコサイン関数的な依存性をもつ。したがって、ヒータ043の電流により温度差を調整することによって出カポート045において得られる光強度を制御することができる。
【0015】
<第5の従来技術>
第5の従来技術について、図42に基づきこれを説明する。当該従来技術は、第4の従来技術に係る可変光減衰器を一つの導波路基板051上に複数個並設して一体化したものである。かかる第5の従来技術によれば、チャンネル毎にそれぞれ独立に光減衰量を制御することができる。なお、図42中、図40と同一部分には同一番号を付し、重複する説明は省略する。
【0016】
<第6の従来技術>
第6の従来技術について、図43に基づきこれを説明する。当該従来技術は、入力用光ファイバ062と、分波用のアレイ導波路回折格子063と、可変光減衰器アレイ064と、合波用のアレイ導波路回折格子065と、出力用光ファイバ066とを接続したものである。アレイ導波路回折格子は、多くの波長から成る入力された光を波長毎に異なるポートに出力する分波作用や、異なるポートから入力される異なる波長の光を合波して一つのポートに出力する合波作用をもつ光学部品である(以後、AWG(Arrayed Waveguide Grating)と略称する。)。これらは一つの導波路基板061上に配設して一体化されている。また、可変光減衰器アレイ064は、図40に示す導波路マッハツェンダ干渉計042を集合させたものである。また、各可変光導波路マッハツェンダ干渉計042には、それぞれチャンネル毎に光減衰量を制御する制御線044が接続されている。アレイ導波路回折格子063、065は同一の分波・合波性能を持つ。
【0017】
かかる従来技術において、入力用光ファイバ062から入った入力光は分波用のAWG063を通過する際に波長に応じて複数のチャンネルに分波される。次に、それぞれのチャンネル毎に可変光減衰器アレイ064に到達し、それぞれのチャンネル毎に減衰される。ここで、光減衰量の制御線044は、光減衰量を表す電流量で制御している。この可変光減衰器アレイ064を通過した後に合波用のAWG065によって異なる減衰を受けた異なる波長の光を合波し、出力用光ファイバ066から出力する。
【0018】
なお、この種の可変光減衰器を開示する公知文献としては、次の非特許文献1が存在する。
【0019】
【非特許文献1】
C.R Doerr,R.Pafchek,and L.W.Stulz IEEE Photonics Technology Letters,vol.14,No.3 page 334−336(2002)。
【0020】
【発明が解決しようとする課題】
第1及び第2の従来技術の回転駆動鏡06、016のような駆動方式の可変光減衰器においては、光の減衰量を制御する鏡に対して、コリメートされた光を照射するため、鏡面上の広い面積に光が照射される。もし、鏡が湾曲していた場合には、光ファイバの端面に戻った場合において、焦点とならないため、意に反して損失してしまうという欠点があった。また、大面積の鏡を必要とするため、鏡の質量が増大して共振周波数が低下し、高速な回転角変化ができないという欠点もあった。
【0021】
さらに、光減衰作用は、第1の従来技術における入力出力兼用光ファイバ04又は第2の従来技術における出力用光ファイバ012の端面上のコアの位置と、レンズ015から戻ってくる光の位置とのずれによる減衰作用を利用しているため、もし回転駆動鏡016の回転軸と光反射面の法線方向が意図した方向からずれており、鏡の回転によっても反射光が光ファイバの端面に到達できない場合は、光の増減傾向を把握して鏡の最適方向を求める等という調整手段を用いることが困難であるという欠点があった。そのために、鏡の回転軸方向と鏡の光反射面の法線方向とについて微妙な調整を行う手間を必要としていた。
【0022】
第3の従来技術では、個々のチャンネル毎に可変光減衰器を個別に製作し、最後に複数個まとめて設置してアレイ化するという方法をとっており、この方法では小型化及び多チャンネル化に限界があった。
【0023】
さらに、第4乃至第6の従来技術において、可変光減衰器は、光減衰量を制御線044を流れる電流量で制御しており、特定の光減衰量を維持するためには、常に電流を流し続けなければならず、電力消費量が大きい上に、熱の問題が生じ、温度制御のために冷却器を必要とするなど、装置が複雑かつ高価となっていた。さらにまた、第6の従来技術において、入力スペクトルや、出力スペクトルをモニタするために、モニタ用光スペクトラムアナライザが必要であり、高価且つ大型となっていた。
【0024】
本発明は、上記従来技術に鑑み、高速駆動が可能で、製作時の微妙な位置調整等の手間が低減され、さらに小型で電力消費量等も低減し得る可変光減衰器及び可変光減衰器アレイを提供することを目的とする。
【0025】
【課題を解決する手段】
上記目的を達成する本発明の構成は、次の点を特徴とする。
【0026】
1) 入力用光ファイバと、出力用光ファイバと、サーキュレータと、入力出力兼用光ファイバと、焦点距離fのレンズと、回転駆動可能な回転駆動鏡とを有する可変光減衰器において、
前記入力出力兼用光ファイバの端面から前記レンズまでの距離と、このレンズから前記回転駆動鏡までの距離がそれぞれ前記レンズの焦点距離のほぼ2倍(2f)であって、前記回転駆動鏡の鏡面上で焦点を結ぶような配置となっており、前記入力用光ファイバ及び前記サーキュレータを経由して前記入力出力兼用光ファイバの端面から放射された光が前記レンズを経由して前記回転駆動鏡の鏡面上に集光し、この鏡面上で反射した光が再び前記レンズを経由して、前記入力出力兼用光ファイバの端面上に戻り、再び前記サーキュレータを経由して前記出力用光ファイバヘと向かうように光路を形成する一方、
前記回転駆動鏡を回転駆動することによって、入力出力兼用光ファイバの端面における戻り光のこの入力出力兼用光ファイバに対する結合効率を変化させて、入力用光ファイバからの光の強度に対する出力用光ファイバにおける光の強度の減衰率を制御すること。
【0027】
2) 入力用光ファイバと、出力用光ファイバと、サーキュレータと、入力出力兼用光ファイバと、第1の焦点距離f1の第1のレンズと、第2の焦点距離f2の第2のレンズと、回転駆動可能な回転駆動鏡とを有する可変光減衰器において、
前記入力出力兼用光ファイバの端面から前記第1のレンズまでの距離が第1の焦点距離f1であり、前記第1のレンズから前記第2のレンズまでの距離が前記第1の焦点距離f1+前記第2の焦点距離f2であり、前記第2のレンズから回転駆動鏡までの距離が前記第2の焦点距離f2であって、回転駆動鏡の鏡面上で焦点を結ぶような配置となっており、
前記入力用光ファイバ及び前記サーキュレータを経由して前記出力用光ファイバへと向かうように光路を形成する一方、
前記回転駆動鏡を回転駆動することによって、前記入力出力兼用光ファイバの端面における戻り光のこの入力出力兼用光ファイバに対する結合効率を変化させて、前記入力用光ファイバからの光の強度に対する前記出力用光ファイバにおける光の強度の減衰率を制御すること。
【0028】
3) 入力用光ファイバと、出力用光ファイバと、サーキュレータと、入力出力兼用光ファイバと、第1の焦点距離f1の第1のレンズと、第2の焦点距離f2の第2のレンズと、並進駆動可能な並進駆動鏡とを有する可変光減衰器において、
前記入力出力兼用光ファイバの端面から前記第1のレンズまでの距離がf1でであり、この第1のレンズから第2のレンズまでの距離がf1+f2であり、この第2のレンズから前記並進駆動鏡までの距離がf2であって、前記並進駆動鏡の鏡面上で焦点を結ぶような配置となっており、
前記入力用光ファイバ及び前記サーキュレータを経由して前記入力出力兼用光ファイバの端面から放射された光が前記第1のレンズ及び前記第2のレンズを経由して前記並進駆動鏡の鏡面上で反射し、再び前記第2のレンズ及び前記第1のレンズを経由して前記入力出力兼用光ファイバの端面上に戻り、再び前記サーキュレータを経由して前記出力用光ファイバヘと向かうように光路を形成する一方、
前記並進駆動鏡を並進駆動することによって、前記入力出力兼用光ファイバの端面における戻り光のこの入力出力兼用光ファイバに対する結合効率を変化させて、前記入力用光ファイバからの光の強度に対する前記出力用光ファイバにおける光の強度の減衰率を制御すること。
【0029】
4) 入力用光ファイバ群と、出力用光ファイバ群と、複数のサーキュレータと、各光ファイバの端面を揃えて一定間隔で整列した入力出力兼用光ファイバ群と、第1のスペーサと、ある焦点距離のレンズを複数並列したレンズアレイと、第2のスペーサと、回転駆動鏡アレイと、駆動電極アレイとを有する可変光減衰器アレイにおいて、
前記入力用光ファイバ群から入力され、前記サーキュレータ及び前記入力出力兼用光ファイバ群及び前記第1のスペーサと前記レンズアレイを経由してきた光を前記回転駆動鏡アレイで反射させて、再び前記第2のスペーサと、前記レンズと、前記第1のスペーサと、前記入力出力兼用光ファイバ群と、前記サーキュレータとを経由して前記出力用光ファイバ群に光を出力する一方、
前記駆動電極アレイ中の各駆動電極に電圧を印加して前記回転駆動鏡アレイの各駆動鏡を静電引力により回転させ、前記出力光ファイバ群ヘ出力する光の量の減衰率を複数の光ファイバ間で独立に制御すること。
【0030】
5) 請求項4に記載する可変光減衰器アレイにおいて、
前記入力出力兼用光ファイバ群の光ファイバの端面から前記レンズまでの距離と、前記レンズから前記回転駆動鏡までの光学的距離が、上記1)に記載した関係となっていること。
【0031】
6) 入力用光ファイバ群と、出力用光ファイバ群と、複数のサーキュレータと、各光ファイバの端面を揃えて一定間隔で整列した入力出力兼用光ファイバ群と、スペーサと、ある焦点距離のレンズを複数並列した第1のレンズアレイと、ある焦点距離のレンズを複数並列した第2のレンズアレイと、回転駆動鏡アレイと、駆動電極アレイとを有する可変光減衰器アレイにおいて、
前記入力光ファイバ群から入力され、前記サーキュレータ及び前記入力出力兼用光ファイバアレイ及び前記スペーサと、前記第1のレンズアレイ中のレンズと前記第2のレンズアレイ中のレンズとを経由してきた光を前記回転駆動鏡アレイの各回転駆動鏡で反射させ、再び前記第2のレンズアレイ中のレンズと、前記第1のレンズアレイ中のレンズと、前記スペーサと、前記入力出力兼用光ファイバ群と、前記サーキュレータとを経由して前記出力光ファイバ群に出力する一方、前記駆動電極アレイ中の各駆動電極に電圧を印加して前記回転駆動鏡アレイの各回転駆動鏡を静電引力により回転させ、前記出力光ファイバ群ヘ出力する光の量の減衰率を複数の光ファイバ間で独立に制御すること。
【0032】
7) 上記6)に記載する可変光減衰器アレイにおいて、
前記入力出力兼用光ファイバアレイの光ファイバの端面から前記第1のレンズアレイのレンズまでの光学的距離と、この第1のレンズアレイのレンズから前記第2のレンズアレイのレンズと、この第2のレンズアレイのレンズから回転駆動鏡アレイの回転駆動鏡までの光学的距離が、上記2)に記載した関係となっていること。
【0033】
8) 入力用光ファイバ群と、出力用光ファイバ群と、複数のサーキュレータと、各光ファイバの端面をそろえて一定間隔で整列した入力出力兼用光ファイバ群と、スペーサと、ある焦点距離のレンズを複数並列した第1のレンズアレイと、ある焦点距離のレンズを複数並列した第2のレンズアレイと、並進駆動鏡アレイと、駆動電極アレイとを有する可変光減衰器アレイにおいて、
前記入力用光ファイバ群から入力され、前記サーキュレータ及び前記入力出力兼用光ファイバ群及び前記スペーサと前記第1のレンズアレイ中のレンズと前記第2のレンズアレイ中のレンズとを経由してきた光を前記並進駆動鏡アレイで反射させ、再び前記第2のレンズアレイ中のレンズと、前記第1のレンズアレイ中のレンズと、前記スペーサと、前記入力出力兼用光ファイバ群と、前記サーキュレータとを経由して前記出力光ファイバ群に光を出力する一方、
前記駆動電極アレイ中の各駆動電極に電圧を印加して並進駆動鏡アレイの各並進駆動鏡を静電引力により並進移動させ、前記出力光ファィバ群ヘ出力する光の量の減衰率を各光ファイバ間で独立に制御すること。
【0034】
9) 上記8)に記載する可変光減衰器アレイにおいて、
前記入力出力兼用光ファイバ群の光ファイバの端面から、第1のレンズアレイ中のレンズまでの光学的距離と、第1のレンズアレイ中のレンズから第2のレンズアレイ中のレンズと、第2のレンズアレイ中のレンズから並進駆動鏡までの光学的距離が上記3)に記載した関係となっていること。
【0035】
10) 入力用光ファイバ群と、出力用光ファイバ群と、複数のサーキュレータと、各光ファイバの端面を揃えて一定間隔で整列した入力出力兼用光ファイバ群と、スペーサと、ある焦点距離のレンズを複数並列したレンズアレイと、回転駆動鏡アレイと、駆動電極アレイとを有する可変光減衰器アレイにおいて、
前記入力用光ファイバ群から入力され、前記サーキュレータ、前記入力出力兼用光ファイバ群及び前記スペーサと前記レンズアレイ中のレンズとを経由してきた光を前記回転駆動鏡アレイで反射させて、再度前記レンズアレイ中のレンズと、前記スペーサと、前記入力出力兼用光ファイバ群と、前記サーキュレータとを経由して前記出力光ファイバ群に光を出力する一方、
前記駆動電極アレイ中の各駆動電極に電圧を印加して前記回転駆動鏡アレイの回転駆動鏡を静電引力により回転させ、出力用光ファイバ群ヘ出力する光の量の減衰率を複数の光ファイバ間で独立に制御すること。
【0036】
11) 上記10)に記載する可変光減衰器アレイにおいて、
前記入力出力兼用光ファイバ群の光ファイバ端面から、レンズアレイ中のレンズまでの光学的距離がレンズの焦点距離とほぼ等しいこと。
【0037】
12) 入力用光ファイバ群と、出力用光ファイバ群と、各光ファイバの端面を揃えて一定間隔で整列した入力出力兼用光ファイバ群と、スペーサと、ある焦点距離のレンズを複数並列したレンズアレイと、回転駆動鏡アレイと、駆動電極アレイとを有する可変光減衰器アレイにおいて、
前記入力用光ファイバ群から入力され、前記スペーサと前記レンズアレイ中のレンズを経由してきた光を前記回転駆動鏡アレイで反射させ、再び前記レンズアレイ中のレンズと、前記スペーサとを経由して前記出力光ファイバ群に光を出力する一方、
前記駆動電極アレイ中の各駆動電極に電圧を印加して前記回転駆動鏡アレイの各回転駆動鏡を静電引力により回転させ、前記出力光ファイバ群ヘ出力する光の量の減衰率を複数の光ファイバ間で独立に制御すること。
【0038】
13) 上記12)に記載する可変光減衰器アレイにおいて、
前記入力出力兼用光ファイバ群の端面から、前記レンズアレイ中のレンズまでの光学的距離がこのレンズの焦点距離とほぼ等しいこと。
【0039】
14) 上記4)乃至13)の何れか一つに記載する可変光減衰器アレイにおいて、
前記回転乃至並進駆動鏡アレイの各駆動鏡間に障壁を設けて相互の駆動鏡間のクロストークを防止するようにしたこと。
【0040】
15) 入力用光ファイバと、出力用光ファイバと、サーキュレータと、入力出力兼用光ファイバと、入力出力兼用光導波路と、分波合波兼用アレイ導波路回折格子と、入力出力兼用光導波路群と、可変光減衰器アレイとを有し、
前記入力出力兼用光導波路と、前記分波合波兼用アレイ導波路回折格子と、前記入力出力兼用光導波路群とを一つの導波路基板上に形成するとともに、
前記入力出力兼用光導波路群中の各導波路と前記可変光減衰器アレイ中の各可変光減衰器とをそれぞれ接続する一方、
前記可変光減衰器アレイの制御によって、波長毎に独立に光減衰率を制御する光を前記出力用光ファイバを介して出力すること。
【0041】
16) 上記15)に記載する波長分岐型の可変光減衰器アレイにおいて、
前記導波路基板上における前記入力出力兼用光導波路の中間部に出力モニタ用の方向性結合器を設置し、前記可変光減衰器アレイ及び前記分波合波兼用アレイ導波路回折格子を経由して出力される出力光の一部を分離するとともに、前記分波合波兼用アレイ導波路回折格子と同構成の出力光モニタ用アレイ導波路回折格子によって、分離した出力光の一部を波長毎に分岐し、
それぞれの波長毎に出力光用の光検出器アレイによって各光強度を測定して出力光のスペクトルをモニタするようにしたこと。
【0042】
17) 上記16)に記載する波長分岐型可変光減衰器アレイにおいて、
前記導波路基板上における前記入力出力兼用光導波路の中問部に入力モニタ用の方向性結合器を設置し、前記入力光ファイバ、サーキュレータ及び入力出力兼用光ファイバ及び入力出力兼用光導波路を経由してくる入力光の一部を分離するとともに、前記分波合波兼用アレイ導波路回折格子と同構成の出力光モニタ用アレイ導波路回折格子によって、分離した入力光の一部を波長毎に分岐し、
それぞれの波長毎に入力光用の光検出器アレイによって各光強度を測定して入力光のスペクトルをモニタするようにしたこと。
【0043】
18) 入力用光ファイバと、入力用光導波路と、入力光の分波用アレイ導波路回折格子と、入力用光導波路群と、可変光減衰器アレイと、出力用光導波路群と、出力光の合波用アレイ導波路回折格子と、出力用光導波路と、出力用光ファイバとを有し、
前記入力用光導波路と、前記分波用アレイ導波路回折格子と、前記入力用光導波路群と、前記可変光減衰器アレイと、前記出力用光導波路群と、前記合波用アレイ導波路回折格子と、前記出力用光導波路とを一つの導波路基板上に形成するとともに、
前記入力用光導波路群及び出力用光導波路群中の各導波路と、前記可変光減衰器アレイ中の各可変光減衰器をそれぞれ接続する一方、
前記可変光減衰器アレイの制御によって、波長毎に独立に光減衰率を制御する光を前記出力用光ファイバを介して出力すること。
【0044】
19) 上記18)に記載する可変光減衰器アレイにおいて、
前記導波路基板上における前記出力用光導波路の中間部に出力モニタ用の方向性結合器を設置し、前記可変光減衰器アレイ及び前記合波用アレイ導波路回折格子を経由して出力される出力光の一部を分離するとともに、前記合波用アレイ導波路回折格子と同構成の出力光モニタ用アレイ導波路回折格子によって、分離した出力光の一部を波長毎に分岐し、
それぞれの波長毎に出力光用の光検出器アレイによって各光強度を測定して出力光のスペクトルをモニタするようにしたこと。
【0045】
20) 上記19)に記載の可変光減衰器アレイにおいて、
前記導波路基板上における前記入力用光導波路の中問部に入力モニタ用の方向性結合器を設置し、前記入力用光ファイバ及び前記入力用光導波路を経由してくる入力光の一部を分離し、前記分波用アレイ導波路回折格子と同構成の入力光モニタ用アレイ導波路回折格子によって、分離した入力光の一部を波長毎に分岐し、
それぞれの波長毎に入力光用光検出器アレイによって強度を測定し、入力光のスペクトルをモニタするようにしたこと。
【0046】
21) 上記15)乃至20)の何れか一つに記載する可変光減衰器アレイにおいて、
前記光検出器アレイは前記導波路基板に隣接して固定されていること。
【0047】
22) 上記15)乃至21)の何れか一つに記載する可変光減衰器アレイにおいて、
可変光減衰アレイは、請求項4乃至請求項14に記載する何れか一つの可変光減衰器アレイを用いたこと。
【0048】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づき詳細に説明する。
【0049】
<第1の実施の形態>
図1は第1の実施の形態に係る可変光減衰器の構成を概念的に示す説明図である。同図に示すように、当該可変光減衰器は、入力用光ファイバ1、出力用光ファイバ2、サーキュレータ3、入力出力兼用光ファイバ(コア径11μm)4、焦点距離fのレンズ5、回転駆動鏡6を有している。
【0050】
ここで、入力出力兼用光ファイバ4の端面の中心とレンズ5の中心を結ぶ軸と、レンズ5の中心軸と、回転駆動鏡6の反射鏡面の法線が一致している。入力出力兼用光ファイバ4の端面からレンズ5までの距離はほぼ2fに等しい。また、レンズ5から回転駆動鏡6の反射鏡面までの距離もほぼ2fに等しい。
【0051】
かかる可変光減衰器の機能を説明する。入力された光は入力用光ファイバ1を経由してポート3−1からサーキュレータ3に入り、ポート3−2から出る。さらに、入力出力兼用光ファイバ4に入る。入力出力兼用光ファイバ4の端面からの発散光はレンズ5を経由して、焦点を回転駆動鏡6の反射鏡面に結ぶ。
【0052】
回転駆動鏡6の反射鏡面上の焦点の大きさは、入力出力兼用光ファイバ4のコア径(11μm)にほぼ等しい。
【0053】
反射鏡面によって反射された光は、発散光となり、再びレンズ5を経由して収束光となって入力出力兼用光ファイバ4の端面に結像する。この結果、この入力出力兼用光ファイバ4に入る。入力出力兼用光ファイバ4を経由してポート3−2からサーキュレータ3に入ると、サーキュレータ3の特性によってポート3−3に出る。ポート3−3から出力用光ファイバ2に入り、外部に出力される。
【0054】
かかる可変光減衰器においては、レンズ5の光軸と同軸上に入力出力兼用光ファイバ4の中心がある場合には、入力出力兼用光ファイバ4のコアの位置に収束光が結像される。特に回転駆動鏡6の反射鏡面がレンズ5の光軸に垂直である場合に、収束光は入力出力兼用光ファイバ4の端面に垂直に入力し、このときに入力出力兼用光ファイバ4に取り込まれる光量は最大となる。この状態から回転駆動鏡6を回転させると、入出力兼用光ファイバ4の端面に対する収束光の入射角が垂直からずれて、出力用光ファイバ2に戻る光が減少する。この作用を利用して、回転駆動鏡6の回転角を調整することによって、光減衰率を可変制御する。
【0055】
図2に当該可変光減衰器における光減衰率の回転角度依存性を測定したデータを示す。このデータでは、光減衰率の回転角度依存性のカーブは、f=700μmとf=1200μmとのデータであるが、重なっており、焦点距離fにほとんど依存しない。よって、レンズ5の選択の自由度がかなり高くなる。
【0056】
例えば、0.096ラジアンの回転角で20dBの損失が得られるような可変光減衰器を設計したい場合は、例えば焦点距離700μmのレンズ5を使用して、所望の小型の可変光減衰器が実現できる。
【0057】
ここで、本形態に係る可変光減衰器の製作時における回転駆動鏡6の反射鏡面が初期状態において、レンズ5の光軸に対して垂直からずれていたと仮定する。この場合においても、光学系によって、回転駆動鏡6の鏡面から反射された光が再び集光する焦点位置は、必ず入力出力兼用光ファイバ4の中心位置にあるため、戻り光の増減傾向を把握することによって、戻り光の光量が最大となる回転駆動鏡6の位置を容易に探索することができる。
【0058】
<第2の実施の形態>
図3は第2の実施の形態に係る可変光減衰器の構成を概念的に示す説明図である。同図に示すように、当該可変光減衰器は、入力用光ファイバ11、出力用光ファイバ12、サーキュレータ13、入力出力兼用光ファイバ(コア径11μm)14、焦点距離f1のレンズ15、焦点距離f2のレンズ17、回転駆動鏡16を有している。
【0059】
ここで、入力出力兼用光ファイバ14の端面の中心とレンズ15、17の中心を結ぶ軸と、レンズ15、17の中心軸と、回転駆動鏡16の反射鏡面の法線が一致している。入力出力兼用光ファイバ14の端面からレンズ15までの距離はほぼ焦点距離f1に等しい。また、レンズ15からレンズ17までの距離はほぼf1+f2に等しい。さらにレンズ17から回転駆動鏡16の鏡面までの距離はほぼ焦点距離f2に等しい。
【0060】
かかる可変光減衰器の機能を説明する。入力された光は入力用光ファイバ11を経由してポート13−1からサーキュレータ13に入り、ポート13−2から出る。さらに、入力出力兼用光ファイバ14に入る。入力出力兼用光ファイバ14の端面からの発散光はレンズ15を経由して、コリメート光となり、距離f1+f2を進行してレンズ17に到達する。レンズ17において収束光となり、焦点を回転駆動鏡16の反射鏡面に結ぶ。
【0061】
ここで、回転駆動鏡16の反射鏡面上の焦点の大きさは、入力出力兼用光ファイバ14のコア径(11μm)×(f2/f1)程度である。反射鏡面によって反射された光は、発散光となって再びレンズ17を経由してコリメート光となり、レンズ15に到達し、レンズ15によって収束光となって入力出力兼用光ファイバ14の端面に結像する。この結果、入力出力兼用光ファイバ14中に入る。入力出力兼用光ファイバ14を経由して、ポート13−2からサーキュレータ13に入ると、サーキュレータ13の特性によって、ポート13−3に出る。その後、ポート13−3から出力用光ファイバ12に入り、この可変光減衰器の外部に出る。
【0062】
かかる可変光減衰器においては、レンズ15及びレンズ17の光軸が一致し、同軸上に入力出力兼用光ファイバ14の中心がある場合には、入力出力兼用光ファイバ14のコアの位置に収束光が結像される。特に回転駆動鏡16の反射鏡面がレンズ15及びレンズ17の光軸に垂直である場合、収束光は入力出力兼用光ファイバ14の端面に垂直に入力する。このとき入力出力兼用光ファイバ14に取り込まれる光量は最大となる。この状態から回転駆動鏡16を回転させると、入力出力兼用光ファイバ14の端面に対する収束光の入射角が垂直からずれて、出力用光ファイバ12に戻る光が減少する。この作用を利用して、回転駆動鏡15の回転角を調整することによって光減衰率を可変制御する。
【0063】
図4に当該可変光減衰器における光減衰率の回転角度依存性を測定したデータを示す。このデータから分かるように、本形態における光減衰率の回転角度依存性カーブは、焦点距離の値そのものではなく、二つのレンズ15、17の焦点距離f1、f2の比に依存する。
【0064】
よって、この関係を用いて、ある回転角度である減衰率となるような光学系を構成したい場合は、二つのレンズ15、17の焦点距離f1、f2の比を決めることによって、所望の減衰率と回転角度の関係を得るような可変光減衰器の設計を行うことができる。
【0065】
例えば0.1ラジアンの回転角で20dBの損失が得られるような可変光減衰器を設計したい場合は、レンズ15とレンズ17との焦点距離f1、f2の比を1、例えばレンズ15として焦点距離700μm(=f1)、レンズ17として焦点距離700μm(=f2)のレンズを使用して、所望の可変光減衰器が実現できる。また、0,016ラジアンの回転角で20dBの損失が得られるような可変光減衰器を設計したい場合は、レンズ15とレンズ17の焦点距離の比を0.16、例えばレンズ15として焦点距離115μm(=f1)、レンズ17として焦点距離700μm(=f2)のレンズを使用して、所望の可変光減衰器が実現できる。
【0066】
ここで、本形態に係る可変光減衰器の製作時における回転駆動鏡16の反射鏡面が初期状態においてレンズ15及びレンズ17の光軸に対して垂直からずれていたと仮定する。この場合においても、入力出力兼用光ファイバ14ヘの戻り光の入射角が垂直ではないものの、焦点位置は必ず入力出力兼用光ファイバ14のコア部分にあるため、戻り光の強度の増減傾向を把握することによって、戻り光の光量が最大となる回転駆動鏡16の位置を探索することができる。
【0067】
<第3の実施の形態>
図5は第3の実施の形態に係る可変光減衰器の構成を概念的に示す説明図である。同図に示すように、当該可変光減衰器は、入力用光ファイバ21、出力用光ファイバ22、サーキュレータ23、入力出力兼用光ファイバ(コア径11μm)24、焦点距離f1のレンズ25、焦点距離f2のレンズ27、並進駆動鏡26を有している。
【0068】
ここで、入力出力兼用光ファイバ24の端面の中心とレンズ25の中心を結ぶ軸と、レンズ27の中心軸と、並進駆動鏡26の反射鏡面の法線が一致している。入力出力兼用光ファイバ24の端面からレンズ25までの距離はほぼ焦点距離f1に等しい。また、レンズ25からレンズ27までの距離はほぼf1+f2に等しい。さらにレンズ27から並進駆動鏡26の反射鏡面までの距離はほぼ焦点距離f2に等しい。
【0069】
かかる可変光減衰器の機能を説明する。入力された光は入力用光ファイバ21を経由してポート23−1からサーキュレータ23に入り、ポート23−2から出る。その後、入力出力兼用光ファイバ24に入る。入力出力兼用光ファイバ24の端面からの発散光はレンズ25を経由して、コリメート光となり、焦点距離f1+f2を進行してレンズ27に到達する。レンズ27において収束光となり、焦点を並進駆動鏡26の反射鏡面に結ぶ。反射鏡面上の焦点の大きさは、入力出力兼用光ファイバ24のコア径(11μm)×(f2/f1)程度である。並進駆動鏡で反射された光は、発散光となって再びレンズ27を経由してコリメート光となり、レンズ25に到達し、レンズ25によって収束光となって入力出力兼用光ファイバ24の端面に結像する。この結果、入力出力兼用光ファイバ24内に入る。入力出力兼用光ファイバ24を経由して、ポート23−2からサーキュレータ23に入ると、サーキュレータ23の特性によって、ポート23−3に出る。その後、ポート23−3から出力用光ファイバ22に入り、この可変光減衰器の外部に出力される。
【0070】
かかる可変光減衰器においては、レンズ25及びレンズ27の光軸が一致し、同軸上に入力出力兼用光ファイバ24の中心がある場合には、入力出力兼用光ファイバ24のコアの位置に収束光が結像される。特に並進駆動鏡26の反射鏡面の位置が焦点位置と一致している場合には、入力出力兼用光ファイバ24の端面に入力する収束光は端面位置で焦点を結ぶ状態であり、このときに入力出力兼用光ファイバ24に取り込まれる光量は最大となる。この状態から並進駆動鏡26を移動させると焦点の中心位置は.入力出力兼用光ファイバ24の中心と一致しているものの、焦点位置は入力出力兼用光ファイバ24の端面位置からずれてデフォーカス状態となり、出力用光ファイバ22に戻る光が減少する。この作用を利用して、並進駆動鏡26の移動距離を調整することによって光減衰率を可変制御する。
【0071】
図6に当該可変光減衰器における光減衰率の並進移動距離依存性を測定したデータを示す。このデータから分かるように、本形態における光減衰率の並進移動距離依存性カーブは、焦点距離f1、f2の値そのものではなく、二つのレンズ25、27の焦点距離f1、f2の比に依存する。よって、この関係を用いて、ある並進移動距離で、所定の減衰率となるような光学系を構成したい場合は、二つのレンズ25、27の焦点距離f1、f2の比を決めることによって、所望の減衰率と並進移動距離の関係を得るような可変光減衰器の設計を行うことができる。
【0072】
例えば、17μmの並進移動距離で20dBの損失が得られるような可変光減衰器を設計したい場合は、レンズ25とレンズ27の焦点距離の比を6とすればよい。これは、例えばレンズ25として焦点距離700μm(=f1)、レンズ27として焦点距離115μm(=f2)のレンズを使用することにより、所望の可変光減衰器が実現できる。
【0073】
ここで、本形態に係る可変光減衰器の製作時における並進移動鏡の初期位置が、最大量の戻り光が得られる位置からずれていたと仮定する。この場合においても、戻り光の焦点の中心位置は必ず入力出力兼用光ファイバ24のコアの中心軸上にあるため、戻り光の強度の増減傾向を把握することによって、戻り光の光量が最大となる並進移動鏡26の位置を探索することができる。
【0074】
<第4の実施の形態>
図7は第4の実施の形態に係る可変光減衰器アレイの構成を概念的に示す説明図である。本形態に係る可変光減衰器アレイは、第1の実施の形態の光減衰原理に基づく可変光減衰器を多数集積した構造を有するものである。
【0075】
図7に示すように、本実施の形態に係る可変光減衰器を多数集積した可変光減衰器アレイは、複数の光ファイバからなる入力用光ファイバ群31と、複数の光ファイバからなる出力用光ファイバ群32と、複数のサーキュレータ33と、複数の光ファイバの端面を揃えて一定間隔で整列した入力出力兼用光ファイバ群34と、ガラス製のスペーサ37と、焦点距離700μmのレンズを複数並列したレンズアレイ35と、光学的距離が1400μm離れたはなれた場所に設置された回転駆動鏡アレイであるMEMSアレイ36と、MEMS電極39とを有している。
【0076】
ここで、ガラス製のスペーサ37の厚さは403μm、レンズアレイ35の厚さは530μmであり、入力出力兼用光ファイバ群34からレンズアレイ35までの光学的距離は、ガラスの屈折率を1.5とすると光学的距離は1400μmであり、ガラス製のスペーサ38の厚さは517μm、MEMSミラーアレイ36までの空中の距離は625μmであり、レンズアレイ35からMEMSミラー39までの光学的距離も1400μmである。
【0077】
ここでレンズアレイ35について図8を用いて簡単に説明する。図8(a)はその上面図、図8(b)はその側面図である。両図に示すように、レンズアレイ35は市販されているものであり、ガラス基板35aの表面付近に屈折率分布レンズ35bが中心間の周期250μmで多数形成されており、厚さは530μmである。
【0078】
次に、図9を用いてMEMSミラーアレイ36の構造について説明する。同図(a)はその斜視図、(b)はそのA断面図、(c)はそのB断面図である。これらの図に示すように、MEMSミラーアレイ36は、その上部であるMEMSミラーアレイ基板36aと、下部であるMEMS駆動電極基板36bとからなる。
【0079】
特に、図9(b)及び図9(c)に示すように、MEMS駆動電極基板36bに窪み部分があることによって、MEMSミラーアレイ基板36を構成するミラー36cの単体はMEMSミラーアレイ部36aからバネのみによって支えられて空中に保持されている。さらに、単体のミラー36c間には遮光用の障壁36dが設けられており、隣接したミラー36cからの迷光を遮蔽するような構造となっている。
【0080】
図10は上部のMEMSミラーアレイ基板の上面図である。同図に示すように、MEMSミラーアレイ基板にはミラー36c、遮光用の障壁36d及び捩れバネ36eが一体となって構成してある。
【0081】
図11は下部のMEMS駆動電極基板36bの上面図である。ここで、パッド電極36fと駆動電極36gは上部回転鏡と電気的に絶縁されている。そして、一つの微小回転鏡であるミラー36cに対応する2個で一対の駆動電極36gが設けてあり、これらの駆動電極36gにパッド電極36fを介して電圧を印加することにより静電引力を発生し、ミラー36cを所望の角度に回転駆動する。また、別途にアース電極パッド36iがあり、これは上部回転鏡と電気的に接続されてアースと接続されている。
【0082】
また、この第4の実施の形態においては、第1の実施の形態の光減衰原理を用いているため、回転角と減衰率の関係についても第1の実施の形態と同様の特性が得られる。
【0083】
本形態に示す可変光減衰器における回転駆動鏡アレイは、半導体プロセス技術に基づくマイクロマシニング技術により一括製作することができる。
【0084】
以下製作方法について述べる。はじめに上部のMEMSミラーアレイ基板の製作方法について述べる。
【0085】
図12に使用したマスクを示す。同図(a)は基板側エッチング用パターン、(b)はミラー及びバネ部形成用パターンである。基板側エッチング用パターンは裏面からの彫り込み用のマスクであり、ミラー及びバネ部形成用パターンはミラー36c及び捩れバネ部36eを形成するためのマスクである。
【0086】
図13を用いて上部ミラーアレイ作成プロセスを説明する。
(1)SOI(Si1icon on Insulator)基板を用意する。この基板はシリコン活性層3μm、埋め込みSi酸化物層1μm、厚さ625μmのSi基板で構成される。
(2)第1の上部MEMSミラーアレイマスク(図12(b))を用いてSi活性層に対してフォトリソグラフィー工程を行い、捩れバネ部とMEMSミラーの形成を行う。
(3)基板の上下を反転する。
(4)第2の上部MEMSミラーアレイマスク(図12(a))を用いてSi基板に対してフォトリソグラフィー工程を行い、かつDeep ReactiveIon Etching装置を用いて基板の厚み625μmの深さでエッチングを行う。
(5)ダイシングを行い、チップをそれぞれ切り分けるとともに、埋込Si酸化物層を除去する。
(6)Cr層とAu層とを形成する。
(7)裏面よりCr層とAu層とを形成する。
【0087】
次に下部MEMS駆動電極基板の製作方法について述べる。図14に使用したマスクを示す。同図に示すように、(a)が電極形成用パターンを形成するマスク、及び(b)が異方性エッチングによる彫り込み用のマスクである。同図中、36gが一対の駆動電極、36hが駆動用電極パッド、36iがアース用電極パッド、36jが熱酸化膜用パターンである。
【0088】
図15を用いて下部MEMS駆動電極基板作製プロセスを説明する。
(1)Si(100)基板を用意する。この基板は厚さ625μmである。
(2)Si熱酸化膜を形成する。
(3)第1の下部MEMS駆動電極基板マスク(図14(b))を用いてSi熱酸化膜に対してフォトリソグラフィー工程を行い、パターンの形成を行う。
(4)水酸化カリウム水溶液等を用いて異方性エッチングを行い、深さ40μmの窪みを形成する。
(5)Si熱酸化膜を形成する。
(6)CrおよびAuを蒸着する。
(7)第2の下部MEMS駆動電極基板マスク(図14(a))を用いてフォトリソグラフィー工程を行い、Au及びCr層の電極パターンを形成する。
【0089】
同様の作用を可能とする構造として図16のような構造もとりうる。これは上面図であり、ミラー36kと捩れバネ部36lとの部分で構成される。捩れバネ部36lは開口部分の長手方向に伸びており、捩れバネとして単純な棒を使用する。単純な棒を使用するため、捩れバネとしては柔らかく保ちながら引張バネ定数は固くすることができ、回転以外の動作を抑制することができる。
【0090】
また、MEMS駆動電極基板用のマスクの一部分を図17に示す。同図に示すように、ミラーを、捩れバネの軸を中心に回転させるための駆動電極36m及びパッド電極36nが配置されている。また、別途アース電極パッド36iが設けてあり、上部回転鏡と電気的に接続され、アースと接続されている駆動電極36mとパッド電極36nは上部回転鏡と電気的に絶縁されている。
【0091】
<第5の実施の形態>
図18は第5の実施の形態に係る可変光減衰器アレイの構成を概念的に示す説明図である。本形態に係る可変光減衰器アレイは、第2の実施の形態の光減衰原理に基づく可変光減衰器を多数集積した構造を有するものである。
【0092】
図18に示すように、本形態に係る可変光減衰器を多数集積した可変光減衰器アレイは、複数の光ファイバからなる入力用光ファイバ群41と、複数の光ファイバからなる出力用光ファイバ群42と、複数のサーキュレータ43と、複数の光ファイバの端面を揃えて一定間隔で整列した入力出力兼用光ファイバ群44と、ガラス製のスペーサ48と、焦点距離700μmのレンズを複数並列したレンズアレイ45と、焦点距離700μmのレンズを複数並列したレンズアレイ47と、距離625μm離れた場所に設置された回転駆動鏡アレイであるMEMSミラーアレイ46と、MEMS電極49とを有している。
【0093】
ここで、ガラス製のスペーサ48の厚さは595μm、レンズアレイ45、47の厚さは530μmであり、入力出力兼用光ファイバ群44からレンズアレイ45までの光学的距離は、ガラスの屈折率を1.5とすると700μmであり、レンズアレイ47からMEMSミラーアレイ46中のミラーまでの空中の距離は625μmである。
【0094】
本形態におけるMEMSミラーアレイ46については、第4の実施の形態におけるMEMSミラーアレイ36(図9)と同じ構造とする。また、回転鏡の上面図についても第4の実施の形態における図11又は図16と同じであり、回転駆動用の電極についても第4の実施の形態における図11又は図17と同じである。
【0095】
本形態におけるMEMSミラーアレイ46の構造及び製作方法は第4の実施の形態で述べられているため、ここでは省略する。
【0096】
本形態における光減衰率の回転角依存性のデータを図19に示す。ここでは、第2の実施の形態にかかる光減衰器を用いているため、回転角と減衰率の関係についても第2の実施の形態と同様のデータが得られる。
【0097】
<第6の実施の形態>
図20は第6の実施の形態に係る可変光減衰器アレイの構造を概念的に示す説明図である。本形態に係る可変光減衰器アレイは、第3の実施の形態の光減衰原理に基づく可変光減衰器を多数集積した構造を有するものである。
【0098】
図20に示すように、本形態に係る可変光減衰器を多数集積した可変光減衰器アレイは、複数の光ファイバからなる入力用光ファイバ群51と、複数の光ファイバからなる出力用光ファイバ群52と、複数のサーキュレータ53と、複数の光ファイバの端面を揃えて一定間隔で整列した入力出力兼用光ファイバ群54と、ガラス製のスペーサ58と、焦点距離700μmのレンズを複数並列したレンズアレイ55と、焦点距離115μmのレンズを複数並列したレンズアレイ57と、距離115μm離れた場所に設置された並進駆動鏡アレイであるMEMSミラーアレイ56と、MEMS電極59とを有している。
【0099】
ここで、ガラス製のスペーサ58の厚さは595μm、レンズアレイ55、57の厚さは530μmであり、入力出力兼用光ファイバ群54からレンズアレイ55までの光学的距離は、ガラスの屈折率を1.5とすると700μmであり、レンズアレイ57からMEMSミラーアレイ56中のミラーまでの空中の距離は115μmである。
【0100】
本形態で用いられている上部のMEMSミラーアレイ56及び下部駆動電極基板のマスクパターンの上面図の一部を図21に示す。同図に示すように、MEMSミラーアレイ56におけるミラー56aは4方向から引っ張りバネ56bで支持されて空中に保持されている。このミラー56aをその直下にある駆動電極56cにパッド電極56dを介して電圧を印加することにより静電引力を生じさせ、駆動電極56cの方へ引き寄せてミラー56aの並進移動を生じさせる。
【0101】
このように並進移動を生じさせるMEMSミラーアレイ56の製作方法は第4の実施の形態で述べられている方法と同じであり、パターンが異なるのみであるため、ここでは省略する。
【0102】
本形態における減衰率の並進移動距離依存性を図23に示す。本形態においては、第3の実施の形態に係る光減衰原理を用いているため、並進移動距離と減衰率の関係についても第3の実施の形態と同様なデータが得られる。
【0103】
<第7の実施の形態>
図23は第7の実施の形態に係る可変光減衰器アレイの構成を概念的に示す説明図である。本形態に係る可変光減衰器アレイは、第1の従来技術の光減衰原理に基づく可変光減衰器を多数集積した構造を有するものである。
【0104】
図23に示すように、本実施の形態に係る可変光減衰器を多数集積した可変光減衰器アレイは、複数の光ファイバからなる入力用光ファイバ群61と、複数の光ファイバからなる出力用光ファイバ群62と、複数のサーキュレータ63と、複数の光ファイバの端面を揃えて一定間隔で整列した入力出力兼用光ファイバ群64と、ガラス製のスペーサ67と、焦点距離fのレンズを複数並列したレンズアレイ65と、空中で一定の距離離れた場所に設置された回転駆動鏡アレイであるMEMSアレイ66と、MEMS電極69とを有している。
【0105】
ここで、レンズアレイ65の焦点距離fを700μmとした場合は、ガラス製のスペーサ67の厚さは467μm、レンズアレイ65の厚さは530μmであり、MEMSミラーアレイ66の基板の厚さは115μmである。よって入力出力兼用光ファイバ群64からレンズアレイ65までの光学的距離は700μmであり、レンズアレイ65からMEMSミラーアレイ66までの光学的距離は、レンズアレイ65の厚さ530μmと空中の距離115μmの和であり、968μmである。
【0106】
また、レンズアレイ65の焦点距離fを115μmとした場合は、ガラス製のスペーサ67の厚さは77μm、レンズアレイ65の厚さは530μmであり、MEMSミラーアレイ66の基板の厚さは115μmである。よって入力出力兼用光ファイバ群64からレンズアレイ65までの光学的距離は、115μmであり、レンズアレイ65からMEMSミラーアレイ66までの光学的距離は、レンズアレイ65の厚さ530μmと空中の距離115μmの和であり、968μmである。
【0107】
本形態における上部のMEMSミラーアレイ66用のマスクパターンと、下部駆動電極基板用のマスクパターンは、図24又は図25に示すものの何れかを使用する。なお、図24中、66aはミラー、66bは捩れバネ、66cは駆動電極、66dはパッド電極、66eはミラー、66fは捩れバネ、66gは駆動電極、66hはパッド電極である。
【0108】
上記MEMSミラーアレイ66の製作方法は第4の実施の形態で述べられている方法と同じであるため、ここでは省略する。
【0109】
本形態における回転角と減衰率の関係を、レンズアレイ65の焦点距離が115μmである場合と700μmである場合の二通りについて図26に示す。光減衰方式は第1の従来技術と同様であるので、減衰率の回転角依存性も同様の振る舞いを示す。
【0110】
<第8の実施の形態>
図27は第8の実施の形態に係る可変光減衰器アレイの構成を概念的に示す説明図である。本形態に係る可変光減衰器アレイは、第2の従来技術の光減衰原理に基づく可変光減衰器を多数集積した構造を有するものである。
【0111】
図27に示すように、本形態に係る可変光減衰器を多数集積した可変光減衰器アレイは、複数の光ファイバからなる入力用光ファイバ群71と、複数の光ファイバからなる出力用光ファイバ群72と、ガラス製のスペーサ77と、焦点距離fのレンズを複数並列したレンズアレイ75と、空中で一定の距離離れた場所に設置された回転駆動鏡アレイであるMEMSアレイ76と、MEMS電極79とを有している。
【0112】
ここで、レンズアレイ75の焦点距離fを700μmとした場合は、ガラス製のスペーサ77の厚さは467μm、レンズアレイ75の厚さは530μmであり、MEMSミラーアレイ76の基板の厚さは115μmである。よって入力及び出力用光ファイバ群71、72からレンズアレイ75までの光学的距離は、スペーサ77の厚さ467μmに屈折率1.5を乗じた距離で700μmであり、レンズアレイ75からMEMSミラーアレイ76までの光学的距離は、レンズアレイ75の厚さ530μmに屈折率1.5を乗じた距離795μmと空中の距離115μmの和であり、968μmである。
【0113】
ここで、本実施の形態における上部のMEMSミラーアレイ76用のマスクパターンと下部駆動電極基板用のマスクパターンは図28に示すものを使用する。同図中、76aはミラー、76bは捩れバネ、76cは駆動電極、76dはパッド電極である。
【0114】
本形態に係るMEMSミラーアレイ76の製作方法は第4の実施の形態で述べられている方法と同じであるため、ここでは省略する。
【0115】
本形態における回転角と減衰率の関係を、レンズアレイ75の焦点距離が115μmである場合と700μmである場合の二通りについて図29に示す。光減衰方式は第2の従来技術と同様であるので、減衰率の回転角依存性も同様の振る舞いを示す。
【0116】
<第9の実施の形態>
図30は第9の実施の形態に係る可変光減衰器アレイの構成を概念的に示す説明図である。本形態に係る可変光減衰器アレイは、入力用光ファイバ81と、出力用光ファイバ82と、サーキュレータ83と、入力出力兼用光ファイバ84と、導波路基板85と、第4乃至第7の実施の形態で述べた方法で光減衰を行うような可変光減衰器アレイ86で構成され、導波路基板85には入力出力兼用導波路85a、分波合波兼用アレイ導波路回折格子(AWG:Arrayed Waveguide Grating)85b、分波合波兼用AWG85bと可変光減衰器アレイ86を接続する光導波路群85cが形成されている。これらの素子は全て接触固定されており、外部の衝撃等に対してもアライメントがずれることはない。
【0117】
本形態に係る可変光減衰器アレイにおいて、複数の波長(λ1,・・・・・λN)で構成された入力光を入力用光ファイバ81から入れる。この光はサーキュレータ83及び入力出力兼用光ファイバ84及び入力出力兼用導波路85aを経由して分波合波兼用AWG85bに入る。入力光は分波合波兼用AWG85bによって、波長毎に分離され、異なるチャンネル(Ch1,・・・・・,ChN)に出力される。
【0118】
光導波路群85cから可変光減衰器アレイ86を経由することによって、それぞれのチャンネル毎に独立に減衰される。光導波路群85cを経由して再び分波合波兼用AWG85bに戻り、合波されて入力出力兼用光導波路85a、入力出力兼用光ファイバ84、サーキュレータ83を経由して出力用光ファイバ82から出力される。
【0119】
本形態によって、複数の波長から成る入力光について、波長毎に独立に減衰操作を行い、出力光として得ることができる。
【0120】
<第10の実施の形態>
図31は第10の実施の形態に係る可変光減衰器アレイの構成を概念的に示す説明図である。本形態に係る可変光減衰器アレイは、第9の実施の形態に係る可変光減衰器アレイに対して出力スペクトルモニタ機能を付加したものである。すなわち、本形態に係る可変光減衰器は、モニタ用の方向性結合器95aと、出力光モニタ用の光導波路95dと、出力光モニタ用AWG95bと、出力光モニタ用の光導波路群95cと、光検出器アレイ96を第9の実施の形態に係る可変光減衰器アレイに付加したものである。これらのうち、方向性結合器95aと、光導波路95dと、出力光モニタ用AWG95bと、光導波路群95cは同一の導波路基板95上に設置されている。また、方向性結合器95aは出力用の光導波路95dの中間に設置されており、その分離比はA対(1−A)(A<1)である。Aの値としては、例えば0.99である。
【0121】
本形態に係る可変光減衰器アレイにおいて、複数の波長(λ1・・・・・λN)で構成された入力光を入力用光ファイバ81から入れる。この光はサーキュレータ83及び入力出力兼用光ファイバ84及び入力出力兼用導波路85a及び方向性結合器95aを経由して分波合波用AWG85bに入る。入力光は分波合波用AWG85bによって、波長毎に分離され、異なるチャンネル(Ch1,・・・・・ChN)に出力され、可変光減衰器アレイ86を経由することによって、それぞれのチャンネル毎に独立に減衰される。その後、再び分波合波用AWG85bに戻り、逆に合波されて方向性結合器95aに到達する。
【0122】
方向性結合器95aにおいては、戻ってきた光の光量のうち、A(例えば99%)を入力出力兼用光導波路85aへ通過させ、(1−A)(例えば1%)を出力光モニタ用AWG95bへ送る。出力光モニタ用AWG95bの分波機能は、分波合波兼用AWG85bと同一である。出力光モニタ用AWG95bで波長毎(λ1・・・・・λN)に分離された光は、それぞれ光検出器アレイ96ヘ到達し、波長毎の光強度を測定することができる。このため、出力用光ファイバ82ヘ出力されたスペクトルをモニタすることができる。これにより精度の高い光減衰作用を行うことができる。出力スペクトルをモニタする以外の機能は第9の実施の形態と同等である。
【0123】
<第11の実施の形態>
図32は第11の実施の形態に係る可変光減衰器アレイの構成を概念的に示す説明図である。本形態は、第10の実施の形態に対して入力スペクトルモニタ機能を付加したものである。すなわち、第10の実施の形態に対して入力光モニタ用の方向性結合器105aと、入力光モニタ用の光導波路105dと、入力光モニタ用AWG105bと、入力光モニタ用の光導波路群105cと、入力光モニタ用の光検出器アレイ106が付加されており、入力光モニタ用AWG105bの性能・仕様は第10の実施の形態における分波合波兼用AWG85b及び出力光モニタ用AWG95bと同一である。
【0124】
入力光モニタ用の方向性結合器105aにおける分離比はA対(1−A)(A<1)であり、Aの値としては例えば0.99である。入力光の一部(1−A)(例えば1%)を入力光モニタ用AWG105bに送る。入力光モニタ用AWG105bの分波機能は分波合波兼用AWG85bと同一であるため、波長毎(λ1,・・・・・,λN)に分離されて光検出器アレイ106で検出され、入力スペクトルをモニタすることができる。この機能を第10の実施の形態に対して付加することにより光減衰前と光減衰後のスペクトルを双方ともモニタできるため、より精度が高い光減衰作用を行うことができる。
【0125】
なお、図32中、第10及び第1lの実施の形態と同一部分には同一番号を付し、重複する説明は省略する。
【0126】
<第12の実施の形態>
図33は第12の実施の形態に係る可変光減衰器アレイの構成を概念的に示す説明図である。本形態に係る可変光減衰器アレイは、入力用光ファイバ111と、出力用光ファイバ112と、導波路基板113と、第8の実施の形態で述べた方法で光減衰を行うような可変光減衰器アレイ114とを有している。
【0127】
ここで、導波路基板113には、入力用光導波路113aと、分波用AWG113bと、分波用AWG113bと可変光減衰器アレイ114とを接続する入力用光導波路群113cと、可変光減衰器アレイ114と合波用AWG113dとを接続する出力用光導波路群113eと、合波用AWG113dと、出力用光導波路113fとが形成してある。
【0128】
本形態に係る可変光減衰器アレイにおいて、複数の波長(λ1,・・・・・,λN)で構成された入力光を入力用光ファイバ111から入れる。この光は、入力用光ファイバ111及び入力用光導波路113aを経由して分波用AWG113bに入る。入力光は分波用AWG113bによって、波長毎に分離され、異なるチャンネル(Ch1,・・・・・,ChN)に出力される。
【0129】
その後、可変光減衰器アレイ114を経由することによって、それぞれのチャンネル毎に独立に減衰され、合波用AWG113dを経由して合波され、出力用光導波路113fを経由して出力用光ファイバ112から出力される。
【0130】
本形態に係る可変光減衰器アレイによって、波長毎に独立に光強度を減衰することができる。また、これらの素子は全て接触固定されており、外部の衝撃等に対してもアライメントがずれることはない。
【0131】
<第13の実施の形態>
図34は第13の実施の形態に係る可変光減衰器アレイの構成を概念的に示す説明図である。本形態に係る可変光減衰器アレイは、第12の実施の形態に対して出力スペクトルモニタ機能を付加したものである。
【0132】
すなわち、本形態に係る可変光減衰器アレイは、第12の実施の形態に対して、出力光モニタ用の方向性結合器123aと、出力光モニタ用の光導波路123dと、分波用AWG113b及び合波用AWG113dと同一の分波機能をもつ出力光モニタ用AWG123bと、出力モニタ用の光導波路群123cとを同一光導波路基板123上に追加して形成したものである。方向性結合器123aは光導波路123dの中間部分に設置されており、方向性結合器123aにおける分離比はA対(1−A)(A<1)であり、Aの値としては例えば0.99である。また、出力光モニタ用AWG123bにおいて分波された光は、出力光モニタ用の光導波路群123cを経由して、出力光モニタ用の光検出器アレイ126に入射し、チャンネル毎に検出される。
【0133】
本形態に係る可変光減衰器アレイによれば、波長毎に独立に光強度を減衰することができるとともに、出力スペクトルをモニタできるため、精度の高い光減衰操作を行うことができる。また、各素子は全て接触固定されており、外部の衝撃等に対してもアライメントがずれることはない。
【0134】
なお、図34中、第12の実施の形態と同一部分には同一番号を付し、重複する説明は省略する。
【0135】
<第14の実施の形態>
図35は第14の実施の形態に係る可変光減衰器アレイの構成を概念的に示す説明図である。本形態に係る可変光減衰器アレイは、第13の実施の形態に対して入力スペクトルモニタ機能を付加したものである。
【0136】
すなわち、本形態に係る可変光減衰器アレイは、第13の実施の形態に対して、入力光モニタ用の方向性結合器133aと、入力光モニタ用の光導波路133dと、分波用AWG113b等と同一の分波機能をもつ入力光モニタ用AWG133bと、入力光モニタ用の光導波路群133cとを同一光導波路基板133上に追加して形成したものである。入力光モニタ用の方向性結合器133aは、光導波路133dの中問部分に設置されており、この方向性結合器133aにおける分離比はA対(1−A)(A<1)であり、Aの値としては例えば0.99である。また、入力光モニタ用AWG133bにおいて分波された光は、入力光モニタ用の光導波路群133cを経由して、入力光モニタ用の光検出器アレイ136に入射し、チャンネル毎に検出される。
【0137】
本形態に係る可変減衰器アレイによれば、波長毎に独立に光強度を減衰することができるとともに、光減衰前と光減衰後のスペクトルを双方ともモニタできるため、より精度が高い光減衰作用を行うことができる。また、各素子は全て接触固定されており、外部の衝撃等に対してもアライメントがずれることはない。
【0138】
なお、図35中、第12及び第13の実施の形態と同一部分には同一番号を付し、重複する説明は省略する。
【0139】
【発明の効果】
以上、実施の形態とともに具体的に説明したように、本発明によれば、反射鏡の湾曲の影響を受けず、高速で駆動可能で、製作時の微妙な位置調整の手間が低減された光減衰器が実現できる。また、小型で電力消費が少ない光減衰器アレイが実現できる。
【0140】
さらに、この光減衰器アレイをAWGと組み合わせることによって、光の波長毎に異なる減衰率で光を減衰させることができる。また、同一導波路平面内に別なAWGを形成し、そこに付設された光検出器アレイにより強度をモニタすることによって、従来必要であったモニタ用光スペクトラムアナライザが不要となりトータルシステムとして安価かつ小型になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1の実施の形態に係る可変光減衰器の構成を概念的に示す説明図である。
【図2】第1の実施の形態に係る可変光減衰器における光減衰率の回転角度依存性を示す特性図である。
【図3】第2の実施の形態に係る可変光減衰器の構成を概念的に示す説明図である。
【図4】第2の実施の形態に係る可変光減衰器における光減衰率の回転角度依存性を示す特性図である。
【図5】第3の実施の形態に係る可変光減衰器の構成を概念的に示す説明図である。
【図6】第3の実施の形態に係る可変光減衰器における光減衰率の並進距離依存性を示す特性図である。
【図7】第4の実施の形態に係る可変光減衰器アレイの構成を概念的に示す説明図である。
【図8】第4の実施の形態に係る可変光減衰器アレイにおけるレンズアレイを示す図で、(a)はその上面図、(b)はその側面図である。
【図9】第4の実施の形態に係る可変光減衰器アレイにおけるMEMSミラーアレイを示す図で、(a)はその斜視図、(b)はそのA断面図、(c)はそのB断面図である。
【図10】第4の実施の形態に係る可変光減衰器アレイにおける上部MEMSミラーアレイ基板を示す上面図である。
【図11】第4の実施の形態に係る可変光減衰器アレイにおける下部MEMS駆動電極基板を示す上面図である。
【図12】第4の実施の形態に係る可変光減衰器アレイにおける上部MEMSミラーアレイマスクを示す図で、(a)は基板側エッチング用パターンを示す上面図、(b)はミラー及びバネ部形成用パターンを示す上面図である。
【図13】第4の実施の形態に係る可変光減衰器アレイにおける上部MEMSミラーアレイの作製プロセスを示す説明図である。
【図14】第4の実施の形態に係る可変光減衰器アレイにおける下部MEMS駆動電極基板マスクを示す図で、(a)は電極形成用パターンを形成するマスクを示す上面図、(b)は異方性エッチングによる彫り込み用マスクを示す上面図である。
【図15】第4の実施の形態に係る可変光減衰器アレイにおける下部MEMS駆動電極基板作製プロセスを示す説明図である。
【図16】第4の実施の形態に係る横回転の可変光減衰器アレイの説明図である。
【図17】第4の実施の形態に係る可変光減衰器アレイの横回転の電極パターンを示す説明図である。
【図18】第5の実施の形態に係る可変光減衰器アレイの構成を概念的に示す説明図である。
【図19】第5の実施の形態に係る可変光減衰器アレイにおける減衰率の回転角度依存性を示す特性図である。
【図20】第6の実施の形態に係る可変光減衰器アレイの構成を概念的に示す説明図である。
【図21】第6の実施の形態に係る可変光減衰器アレイにおける上部MEMSミラーアレイ及び下部駆動電極基板のマスクパターンを示す説明図である。
【図22】第6の実施の形態に係る減衰率の並進移動距離依存性を示す特性図である。
【図23】第7の実施の形態に係る可変光減衰器アレイの構成を概念的に示す説明図である。
【図24】第7の実施の形態に係る可変光減衰器アレイにおける上部MEMSミラーアレイ及び下部駆動電極基板の第1のマスクパターンを示す説明図である。
【図25】第7の実施の形態に係る可変光減衰器アレイにおける上部MEMSミラーアレイ及び下部駆動電極基板の第2のマスクパターンを示す説明図である。
【図26】第7の実施の形態に係る可変光減衰器アレイにおける減衰率の回転角依存性を示す特性図である。
【図27】第8の実施の形態に係る可変光減衰器アレイの構成を概念的に示す説明図である。
【図28】第8の実施の形態に係る可変光減衰器アレイにおける下部駆動電極基板のパターンを示す説明図である。
【図29】第8の実施の形態に係る可変光減衰器アレイにおける減衰率の回転角依存性を示す説明図である。
【図30】第9の実施の形態に係る可変光減衰器アレイの構成を概念的に示す説明図である。
【図31】第10の実施の形態に係る可変光減衰器アレイの構成を概念的に示す説明図である。
【図32】第11の実施の形態に係る可変光減衰器アレイの構成を概念的に示す説明図である。
【図33】第12の実施の形態に係る可変光減衰器アレイの構成を概念的に示す説明図である。
【図34】第13の実施の形態に係る可変光減衰器アレイの構成を概念的に示す説明図である。
【図35】第14の実施の形態に係る可変光減衰器アレイの構成を概念的に示す説明図である。
【図36】第1の従来技術に係る可変光減衰器を概念的に示す説明図である。
【図37】第2の従来技術に係る可変光減衰器を概念的に示す説明図である。
【図38】第2の従来技術に係る可変光減衰器における回転駆動鏡との回転角度と、光の減衰率との関係を示す特性図である。
【図39】第3の従来技術に係る可変光減衰器アレイを概念的に示す説明図である。
【図40】第4の従来技術に係る可変光減衰器を概念的に示す説明図である。
【図41】第4の従来技術に係る可変光減衰器における温度差と出力ポートの光の相対強度との関係を示す特性図である。
【図42】第5の従来技術に係る可変光減衰器を示す概念図である。
【図43】第6の従来技術に係る可変光減衰器を示す概念図である。
【符号の説明】
1、11、21、81、111 入力光ファイバ
2、12、22、82、112 出力光ファイバ
3、13、23、83 サーキュレータ
4、14、24、84 入力出力兼用光ファイバ
5、15、17、25、27 レンズ
6、16 回転駆動鏡
26 並進駆動鏡
31、41、51、61、71 入力用光ファイバ群
32、42、52、62、72 出力用光ファイバ群
Claims (22)
- 入力用光ファイバと、出力用光ファイバと、サーキュレータと、入力出力兼用光ファイバと、焦点距離fのレンズと、回転駆動可能な回転駆動鏡とを有する可変光減衰器において、
前記入力出力兼用光ファイバの端面から前記レンズまでの距離と、このレンズから前記回転駆動鏡までの距離がそれぞれ前記レンズの焦点距離のほぼ2倍(2f)であって、前記回転駆動鏡の鏡面上で焦点を結ぶような配置となっており、
前記入力用光ファイバ及び前記サーキュレータを経由して前記入力出力兼用光ファイバの端面から放射された光が前記レンズを経由して前記回転駆動鏡の鏡面上に集光し、この鏡面上で反射した光が再び前記レンズを経由して、前記入力出力兼用光ファイバの端面上に戻り、再び前記サーキュレータを経由して前記出力用光ファイバヘと向かうように光路を形成する一方、
前記回転駆動鏡を回転駆動することによって、入力出力兼用光ファイバの端面における戻り光のこの入力出力兼用光ファイバに対する結合効率を変化させて、入力用光ファイバからの光の強度に対する出力用光ファイバにおける光の強度の減衰率を制御することを特徴とする可変光減衰器。 - 入力用光ファイバと、出力用光ファイバと、サーキュレータと、入力出力兼用光ファイバと、第1の焦点距離f1の第1のレンズと、第2の焦点距離f2の第2のレンズと、回転駆動可能な回転駆動鏡とを有する可変光減衰器において、
前記入力出力兼用光ファイバの端面から前記第1のレンズまでの距離が第1の焦点距離f1であり、前記第1のレンズから前記第2のレンズまでの距離が前記第1の焦点距離f1+前記第2の焦点距離f2であり、前記第2のレンズから回転駆動鏡までの距離が前記第2の焦点距離f2であって、回転駆動鏡の鏡面上で焦点を結ぶような配置となっており、
前記入力用光ファイバ及び前記サーキュレータを経由して前記出力用光ファイバへと向かうように光路を形成する一方、
前記回転駆動鏡を回転駆動することによって、前記入力出力兼用光ファイバの端面における戻り光のこの入力出力兼用光ファイバに対する結合効率を変化させて、前記入力用光ファイバからの光の強度に対する前記出力用光ファイバにおける光の強度の減衰率を制御することを特徴とする可変光減衰器。 - 入力用光ファイバと、出力用光ファイバと、サーキュレータと、入力出力兼用光ファイバと、第1の焦点距離f1の第1のレンズと、第2の焦点距離f2の第2のレンズと、並進駆動可能な並進駆動鏡とを有する可変光減衰器において、
前記入力出力兼用光ファイバの端面から前記第1のレンズまでの距離がf1であり、この第1のレンズから第2のレンズまでの距離がf1+f2であり、この第2のレンズから前記並進駆動鏡までの距離がf2であって、前記並進駆動鏡の鏡面上で焦点を結ぶような配置となっており、
前記入力用光ファイバ及び前記サーキュレータを経由して前記入力出力兼用光ファイバの端面から放射された光が前記第1のレンズ及び前記第2のレンズを経由して前記並進駆動鏡の鏡面上で反射し、再び前記第2のレンズ及び前記第1のレンズを経由して前記入力出力兼用光ファイバの端面上に戻り、再び前記サーキュレータを経由して前記出力用光ファイバヘと向かうように光路を形成する一方、
前記並進駆動鏡を並進駆動することによって、前記入力出力兼用光ファイバの端面における戻り光のこの入力出力兼用光ファイバに対する結合効率を変化させて、前記入力用光ファイバからの光の強度に対する前記出力用光ファイバにおける光の強度の減衰率を制御することを特徴とする可変光減衰器。 - 入力用光ファイバ群と、出力用光ファイバ群と、複数のサーキュレータと、各光ファイバの端面を揃えて一定間隔で整列した入力出力兼用光ファイバ群と、第1のスペーサと、ある焦点距離のレンズを複数並列したレンズアレイと、第2のスペーサと、回転駆動鏡アレイと、駆動電極アレイとを有する可変光減衰器アレイにおいて、
前記入力用光ファイバ群から入力され、前記サーキュレータ及び前記入力出力兼用光ファイバ群及び前記第1のスペーサと前記レンズアレイを経由してきた光を前記回転駆動鏡アレイで反射させて、再び前記第2のスペーサと、前記レンズと、前記第1のスペーサと、前記入力出力兼用光ファイバ群と、前記サーキュレータとを経由して前記出力用光ファイバ群に光を出力する一方、
前記駆動電極アレイ中の各駆動電極に電圧を印加して前記回転駆動鏡アレイの各駆動鏡を静電引力により回転させ、前記出力光ファイバ群ヘ出力する光の量の減衰率を複数の光ファイバ間で独立に制御することを特徴とする可変光減衰器アレイ。 - 請求項4に記載する可変光減衰器アレイにおいて、
前記入力出力兼用光ファイバ群の光ファイバの端面から前記レンズまでの距離と、前記レンズから前記回転駆動鏡までの光学的距離が、請求項1に記載した関係となっていることを特徴とする可変光減衰器アレイ。 - 入力用光ファイバ群と、出力用光ファイバ群と、複数のサーキュレータと、各光ファイバの端面を揃えて一定間隔で整列した入力出力兼用光ファイバ群と、スペーサと、ある焦点距離のレンズを複数並列した第1のレンズアレイと、ある焦点距離のレンズを複数並列した第2のレンズアレイと、回転駆動鏡アレイと、駆動電極アレイとを有する可変光減衰器アレイにおいて、
前記入力光ファイバ群から入力され、前記サーキュレータ及び前記入力出力兼用光ファイバアレイ及び前記スペーサと、前記第1のレンズアレイ中のレンズと前記第2のレンズアレイ中のレンズとを経由してきた光を前記回転駆動鏡アレイの各回転駆動鏡で反射させ、再び前記第2のレンズアレイ中のレンズと、前記第1のレンズアレイ中のレンズと、前記スペーサと、前記入力出力兼用光ファイバ群と、前記サーキュレータとを経由して前記出力光ファイバ群に出力する一方、前記駆動電極アレイ中の各駆動電極に電圧を印加して前記回転駆動鏡アレイの各回転駆動鏡を静電引力により回転させ、前記出力光ファイバ群ヘ出力する光の量の減衰率を複数の光ファイバ間で独立に制御することを特徴とする可変光減衰器。 - 請求項6に記載する可変光減衰器アレイにおいて、
前記入力出力兼用光ファイバアレイの光ファイバの端面から前記第1のレンズアレイのレンズまでの光学的距離と、この第1のレンズアレイのレンズから前記第2のレンズアレイのレンズと、この第2のレンズアレイのレンズから回転駆動鏡アレイの回転駆動鏡までの光学的距離が、請求項2に記載した関係となっていることを特徴とする可変光減衰器アレイ。 - 入力用光ファイバ群と、出力用光ファイバ群と、複数のサーキュレータと、各光ファイバの端面をそろえて一定間隔で整列した入力出力兼用光ファイバ群と、スペーサと、ある焦点距離のレンズを複数並列した第1のレンズアレイと、ある焦点距離のレンズを複数並列した第2のレンズアレイと、並進駆動鏡アレイと、駆動電極アレイとを有する可変光減衰器アレイにおいて、
前記入力用光ファイバ群から入力され、前記サーキュレータ及び前記入力出力兼用光ファイバ群及び前記スペーサと前記第1のレンズアレイ中のレンズと前記第2のレンズアレイ中のレンズとを経由してきた光を前記並進駆動鏡アレイで反射させ、再び前記第2のレンズアレイ中のレンズと、前記第1のレンズアレイ中のレンズと、前記スペーサと、前記入力出力兼用光ファイバ群と、前記サーキュレータとを経由して前記出力光ファイバ群に光を出力する一方、
前記駆動電極アレイ中の各駆動電極に電圧を印加して並進駆動鏡アレイの各並進駆動鏡を静電引力により並進移動させ、前記出力光ファィバ群ヘ出力する光の量の減衰率を各光ファイバ間で独立に制御することを特徴とする可変光減衰器アレイ。 - 請求項8に記載する可変光減衰器アレイにおいて、
前記入力出力兼用光ファイバ群の光ファイバの端面から、第1のレンズアレイ中のレンズまでの光学的距離と、第1のレンズアレイ中のレンズから第2のレンズアレイ中のレンズと、第2のレンズアレイ中のレンズから並進駆動鏡までの光学的距離が請求項3に記載した関係となっていることを特徴とする可変光減衰器アレイ。 - 入力用光ファイバ群と、出力用光ファイバ群と、複数のサーキュレータと、各光ファイバの端面を揃えて一定間隔で整列した入力出力兼用光ファイバ群と、スペーサと、ある焦点距離のレンズを複数並列したレンズアレイと、回転駆動鏡アレイと、駆動電極アレイとを有する可変光減衰器アレイにおいて、
前記入力用光ファイバ群から入力され、前記サーキュレータ、前記入力出力兼用光ファイバ群及び前記スペーサと前記レンズアレイ中のレンズとを経由してきた光を前記回転駆動鏡アレイで反射させて、再度前記レンズアレイ中のレンズと、前記スペーサと、前記入力出力兼用光ファイバ群と、前記サーキュレータとを経由して前記出力光ファイバ群に光を出力する一方、
前記駆動電極アレイ中の各駆動電極に電圧を印加して前記回転駆動鏡アレイの回転駆動鏡を静電引力により回転させ、出力用光ファイバ群ヘ出力する光の量の減衰率を複数の光ファイバ間で独立に制御することを特徴とする可変光減衰器アレイ。 - 請求項10に記載する可変光減衰器アレイにおいて、
前記入力出力兼用光ファイバ群の光ファイバ端面から、レンズアレイ中のレンズまでの光学的距離がレンズの焦点距離とほぼ等しいことを特徴とする可変光減衰器アレイ。 - 入力用光ファイバ群と、出力用光ファイバ群と、各光ファイバの端面を揃えて一定間隔で整列した入力出力兼用光ファイバ群と、スペーサと、ある焦点距離のレンズを複数並列したレンズアレイと、回転駆動鏡アレイと、駆動電極アレイとを有する可変光減衰器アレイにおいて、
前記入力用光ファイバ群から入力され、前記スペーサと前記レンズアレイ中のレンズを経由してきた光を前記回転駆動鏡アレイで反射させ、再び前記レンズアレイ中のレンズと、前記スペーサとを経由して前記出力光ファイバ群に光を出力する一方、
前記駆動電極アレイ中の各駆動電極に電圧を印加して前記回転駆動鏡アレイの各回転駆動鏡を静電引力により回転させ、前記出力光ファイバ群ヘ出力する光の量の減衰率を複数の光ファイバ間で独立に制御することを特徴とする可変光減衰器アレイ。 - 請求項12に記載する可変光減衰器アレイにおいて、
前記入力出力兼用光ファイバ群の端面から、前記レンズアレイ中のレンズまでの光学的距離がこのレンズの焦点距離とほぼ等しいことを特徴とする可変光減衰器アレイ。 - 請求項4乃至請求項13の何れか一つに記載する可変光減衰器アレイにおいて、
前記回転乃至並進駆動鏡アレイの各駆動鏡間に障壁を設けて相互の駆動鏡間のクロストークを防止するようにしたことを特徴とする可変光減衰器アレイ。 - 入力用光ファイバと、出力用光ファイバと、サーキュレータと、入力出力兼用光ファイバと、入力出力兼用光導波路と、分波合波兼用アレイ導波路回折格子と、入力出力兼用光導波路群と、可変光減衰器アレイとを有し、
前記入力出力兼用光導波路と、前記分波合波兼用アレイ導波路回折格子と、前記入力出力兼用光導波路群とを一つの導波路基板上に形成するとともに、
前記入力出力兼用光導波路群中の各導波路と前記可変光減衰器アレイ中の各可変光減衰器とをそれぞれ接続する一方、
前記可変光減衰器アレイの制御によって、波長毎に独立に光減衰率を制御する光を前記出力用光ファイバを介して出力することを特徴とする波長分岐型の可変光減衰器アレイ。 - 請求項15に記載する波長分岐型の可変光減衰器アレイにおいて、
前記導波路基板上における前記入力出力兼用光導波路の中間部に出力モニタ用の方向性結合器を設置し、前記可変光減衰器アレイ及び前記分波合波兼用アレイ導波路回折格子を経由して出力される出力光の一部を分離するとともに、前記分波合波兼用アレイ導波路回折格子と同構成の出力光モニタ用アレイ導波路回折格子によって、分離した出力光の一部を波長毎に分岐し、
それぞれの波長毎に出力光用の光検出器アレイによって各光強度を測定して出力光のスペクトルをモニタするようにしたことを特徴とする波長分岐型の可変光減衰器アレイ。 - 請求項16に記載する波長分岐型可変光減衰器アレイにおいて、
前記導波路基板上における前記入力出力兼用光導波路の中問部に入力モニタ用の方向性結合器を設置し、前記入力光ファイバ、サーキュレータ及び入力出力兼用光ファイバ及び入力出力兼用光導波路を経由してくる入力光の一部を分離するとともに、前記分波合波兼用アレイ導波路回折格子と同構成の出力光モニタ用アレイ導波路回折格子によって、分離した入力光の一部を波長毎に分岐し、
それぞれの波長毎に入力光用の光検出器アレイによって各光強度を測定して入力光のスペクトルをモニタするようにしたことを特徴とする波長分岐型の可変光減衰器アレイ。 - 入力用光ファイバと、入力用光導波路と、入力光の分波用アレイ導波路回折格子と、入力用光導波路群と、可変光減衰器アレイと、出力用光導波路群と、出力光の合波用アレイ導波路回折格子と、出力用光導波路と、出力用光ファイバとを有し、
前記入力用光導波路と、前記分波用アレイ導波路回折格子と、前記入力用光導波路群と、前記可変光減衰器アレイと、前記出力用光導波路群と、前記合波用アレイ導波路回折格子と、前記出力用光導波路とを一つの導波路基板上に形成するとともに、
前記入力用光導波路群及び出力用光導波路群中の各導波路と、前記可変光減衰器アレイ中の各可変光減衰器をそれぞれ接続する一方、
前記可変光減衰器アレイの制御によって、波長毎に独立に光減衰率を制御する光を前記出力用光ファイバを介して出力することを特徴とする波長分岐型の可変光減衰器アレイ。 - 請求項18に記載する可変光減衰器アレイにおいて、
前記導波路基板上における前記出力用光導波路の中間部に出力モニタ用の方向性結合器を設置し、前記可変光減衰器アレイ及び前記合波用アレイ導波路回折格子を経由して出力される出力光の一部を分離するとともに、前記合波用アレイ導波路回折格子と同構成の出力光モニタ用アレイ導波路回折格子によって、分離した出力光の一部を波長毎に分岐し、
それぞれの波長毎に出力光用の光検出器アレイによって各光強度を測定して出力光のスペクトルをモニタするようにしたことを特徴とする波長分岐型の可変光減衰器アレイ。 - 請求項19に記載の可変光減衰器アレイにおいて、
前記導波路基板上における前記入力用光導波路の中問部に入力モニタ用の方向性結合器を設置し、前記入力用光ファイバ及び前記入力用光導波路を経由してくる入力光の一部を分離し、前記分波用アレイ導波路回折格子と同構成の入力光モニタ用アレイ導波路回折格子によって、分離した入力光の一部を波長毎に分岐し、
それぞれの波長毎に入力光用光検出器アレイによって強度を測定し、入力光のスペクトルをモニタするようにしたことを特徴とする波長分岐型の可変光減衰器アレイ。 - 請求項15乃至請求項20の何れか一つに記載する可変光減衰器アレイにおいて、
前記光検出器アレイは前記導波路基板に隣接して固定されていることを特徴と波長分岐型の可変光減衰器アレイ。 - 請求項15乃至請求項21の何れか一つに記載する可変光減衰器アレイにおいて、
可変光減衰アレイは、請求項4乃至請求項14に記載する何れか一つの可変光減衰器アレイを用いたことを特徴とする波長分岐型の可変光減衰器アレイ。
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