JP2004319998A - Process for producing multilayer unit of multilayer electronic component and multilayer unit of multilayer electronic component - Google Patents

Process for producing multilayer unit of multilayer electronic component and multilayer unit of multilayer electronic component Download PDF

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Soichiro Ishii
壮一郎 石井
Shigeki Sato
佐藤  茂樹
Shogo Murosawa
尚吾 室澤
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a process for producing the multilayer unit of a multilayer electronic component in which deformation and breakdown of a ceramic green sheet are prevented and solvent in electrode paste is prevented from permeating into the ceramic green sheet, and to provide the multilayer unit of a multilayer electronic component. <P>SOLUTION: The process for producing the multilayer unit of a multilayer electronic component comprises a step for forming a ceramic green sheet 2 on the surface of a first supporting sheet 1, a step for forming a strip layer 5 on the surface of a second supporting sheet 4, a step for forming an electrode layer 6 in a specified pattern on the surface of the strip layer and forming a spacer layer 7 in a pattern complementary to the electrode layer, and a step for forming an adhesive layer 10 containing 0.01-15 wt% of antistatic agent for the binder on the surface of a third supporting sheet 9. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、セラミックグリーンシートと電極層とが積層された積層電子部品用の積層体ユニットの製造方法および積層電子部品用の積層体ユニットに関するものであり、さらに詳細には、セラミックグリーンシートの変形および破壊を防止するとともに、電極ペースト中の溶剤がセラミックグリーンシート中に染み込むことを防止することができ、セラミックグリーンシートと電極層とが積層された積層体ユニットを、所望のように、製造することができる積層セラミック電子部品用の積層体ユニットの製造方法および積層電子部品用の積層体ユニットに関するものである。   The present invention relates to a method for manufacturing a laminated unit for a laminated electronic component in which a ceramic green sheet and an electrode layer are laminated, and to a laminated unit for a laminated electronic component. It is possible to prevent the solvent in the electrode paste from penetrating into the ceramic green sheet and to prevent the destruction of the ceramic green sheet, and to manufacture a laminate unit in which the ceramic green sheet and the electrode layer are laminated, as desired. The present invention relates to a method of manufacturing a laminated unit for a laminated ceramic electronic component and a laminated unit for a laminated electronic component.

近年、各種電子機器の小型化にともなって、電子機器に実装される電子部品の小型化および高性能化が要求されるようになっており、積層セラミックコンデンサなどの積層セラミック電子部品においても、積層数の増加、積層単位の薄層化が強く要求されている。   In recent years, with the miniaturization of various electronic devices, the miniaturization and high performance of electronic components mounted on electronic devices have been demanded. There is a strong demand for an increase in the number and a reduction in the thickness of the laminated unit.

積層セラミックコンデンサによって代表される積層セラミック電子部品を製造するには、まず、セラミック粉末と、アクリル樹脂、ブチラール樹脂などのバインダと、フタル酸エステル類、グリコール類、アジピン酸、燐酸エステル類などの可塑剤と、トルエン、メチルエチルケトン、アセトンなどの有機溶媒を混合分散して、誘電体ペーストを調製する。   To manufacture a multilayer ceramic electronic component represented by a multilayer ceramic capacitor, first, a ceramic powder, a binder such as an acrylic resin and a butyral resin, and a plastic such as a phthalate ester, a glycol, an adipic acid, and a phosphate ester are used. The agent and an organic solvent such as toluene, methyl ethyl ketone, and acetone are mixed and dispersed to prepare a dielectric paste.

次いで、誘電体ペーストを、エクストルージョンコーターやグラビアコーターを用いて、ポリエチレンテレフタレート(PET)やポリプロピレン(PP)などによって形成された支持シート上に、塗布し、加熱して、塗膜を乾燥させ、セラミックグリーンシートを作製する。   Next, the dielectric paste is applied to a support sheet formed of polyethylene terephthalate (PET), polypropylene (PP), or the like using an extrusion coater or a gravure coater, heated, and the coating film is dried. A ceramic green sheet is produced.

さらに、セラミックグリーンシート上に、ニッケルなどの電極ペーストを、スクリーン印刷機などによって、所定のパターンで、印刷し、乾燥させて、電極層を形成する。   Further, an electrode paste such as nickel is printed on the ceramic green sheet in a predetermined pattern by a screen printer or the like, and dried to form an electrode layer.

電極層が形成されると、電極層が形成されたセラミックグリーンシートを支持シートから剥離して、セラミックグリーンシートと電極層を含む積層体ユニットを形成し、所望の数の積層体ユニットを積層して、加圧し、得られた積層体を、チップ状に切断して、グリーンチップを作製する。   When the electrode layer is formed, the ceramic green sheet on which the electrode layer is formed is peeled from the support sheet to form a laminate unit including the ceramic green sheet and the electrode layer, and a desired number of laminate units are laminated. Then, the obtained laminate is cut into chips to produce a green chip.

最後に、グリーンチップからバインダを除去して、グリーンチップを焼成し、外部電極を形成することによって、積層セラミックコンデンサなどの積層セラミック電子部品が製造される。   Finally, the binder is removed from the green chip, the green chip is fired, and external electrodes are formed, whereby a multilayer ceramic electronic component such as a multilayer ceramic capacitor is manufactured.

電子部品の小型化および高性能化の要請によって、現在では、積層セラミックコンデンサの層間厚さを決定するセラミックグリーンシートの厚さを3μmあるいは2μm以下にすることが要求され、300以上のセラミックグリーンシートと電極層を含む積層体ユニットを積層することが要求されている。   Due to the demand for miniaturization and high performance of electronic components, it is required at present that the thickness of the ceramic green sheet, which determines the interlayer thickness of the multilayer ceramic capacitor, be 3 μm or 2 μm or less. It is required to laminate a laminate unit including a metal layer and an electrode layer.

しかしながら、きわめて薄いセラミックグリーンシートに、内部電極用の電極ペーストを印刷して、電極層を形成する場合には、電極ペースト中の溶剤が、セラミックグリーンシートのバインダ成分を溶解または膨潤させ、その一方で、セラミックグリーンシート中に、電極ペーストが染み込むという不具合があり、短絡不良の原因になるという問題があった。   However, when an electrode paste for an internal electrode is printed on an extremely thin ceramic green sheet to form an electrode layer, the solvent in the electrode paste dissolves or swells the binder component of the ceramic green sheet. Thus, there was a problem that the electrode paste soaked into the ceramic green sheet, which caused a short circuit failure.

そこで、特開昭63−51616号公報および特開平3−250612号公報は、内部電極パターンペーストを、別の支持シートに印刷して、電極層を形成した後に、電極層を乾燥させ、乾燥した電極層を、セラミックグリーンシートの表面に熱転写する方法を提案している。
特開昭63−51616号公報 特開平3−250612号公報
Therefore, JP-A-63-51616 and JP-A-3-250612 disclose that an internal electrode pattern paste is printed on another support sheet to form an electrode layer, and then the electrode layer is dried and dried. A method of thermally transferring an electrode layer to the surface of a ceramic green sheet has been proposed.
JP-A-63-51616 JP-A-3-250612

しかしながら、この方法では、セラミックグリーンシートの表面に転写された電極層から、支持シートを剥離することが難しいという問題があった。   However, this method has a problem that it is difficult to peel the support sheet from the electrode layer transferred to the surface of the ceramic green sheet.

また、乾燥した電極層を、セラミックグリーンシートの表面に熱転写して、接着するためには、高温下で、高い圧力を加える必要があり、したがって、セラミックグリーンシートおよび電極層が変形し、場合によっては、セラミックグリーンシートが部分的に破壊するという問題があった。   In addition, in order to thermally transfer and bond the dried electrode layer to the surface of the ceramic green sheet, it is necessary to apply a high pressure at a high temperature under a high temperature. However, there is a problem that the ceramic green sheet is partially broken.

したがって、本発明は、セラミックグリーンシートの変形および破壊を防止するとともに、電極ペースト中の溶剤がセラミックグリーンシート中に染み込むことを防止することができ、セラミックグリーンシートと電極層とが積層された積層体ユニットを、所望のように、製造することができる積層セラミック電子部品用の積層体ユニットの製造方法および積層セラミック電子部品用の積層体ユニットを提供することを目的とするものである。   Therefore, the present invention can prevent deformation and destruction of the ceramic green sheet, prevent the solvent in the electrode paste from seeping into the ceramic green sheet, and form a laminate in which the ceramic green sheet and the electrode layer are laminated. It is an object of the present invention to provide a method of manufacturing a multilayer unit for a multilayer ceramic electronic component and a multilayer unit for a multilayer ceramic electronic component that can manufacture a body unit as desired.

本発明のかかる目的は、第一の支持シートの表面に、セラミックグリーンシートを形成する工程と、第二の支持シートの表面に、剥離層を形成する工程と、前記剥離層の表面に、所定のパターンで、電極層を形成するとともに、前記電極層と相補的なパターンで、スペーサ層を形成する工程と、第三の支持シートの表面に、バインダに対して、0.01重量%ないし15重量%の帯電防止剤を含む接着層を形成する工程と、前記第三の支持シート上に形成された前記接着層の表面と、前記セラミックグリーンシートの表面とを密着させて、加圧し、前記接着層を、前記セラミックグリーンシートの表面に接着する工程と、前記接着層から、前記第三の支持シートを剥離する工程と、前記第二の支持シートの表面に形成された前記電極層および前記スペーサ層の表面と、前記接着層の表面とを密着させて、加圧し、接着させて、前記セラミックグリーンシートと、前記電極層および前記スペーサ層とが積層された積層体ユニットを作製する工程を含むことを特徴とする積層セラミック電子部品用の積層体ユニットの製造方法によって達成される。   The object of the present invention is to form a ceramic green sheet on the surface of the first support sheet, a step of forming a release layer on the surface of the second support sheet, Forming an electrode layer in a pattern complementary to the electrode layer in the pattern described above, and forming a spacer layer in a pattern complementary to the electrode layer on the surface of the third support sheet from 0.01% by weight to 15% by weight with respect to the binder. Forming an adhesive layer containing an antistatic agent by weight, and bringing the surface of the adhesive layer formed on the third support sheet into close contact with the surface of the ceramic green sheet; An adhesive layer, a step of adhering to the surface of the ceramic green sheet, a step of peeling the third support sheet from the adhesive layer, and the electrode layer formed on the surface of the second support sheet and A step in which the surface of the spacer layer and the surface of the adhesive layer are brought into close contact with each other, pressed, and bonded to produce a laminate unit in which the ceramic green sheet, the electrode layer, and the spacer layer are laminated This is achieved by a method of manufacturing a multilayer unit for a multilayer ceramic electronic component, characterized by comprising:

本発明によれば、セラミックグリーンシートの表面に接着された接着層を介して、電極層およびスペーサ層を、セラミックグリーンシートの表面に転写するように構成されているから、低い圧力で、電極層およびスペーサ層を、セラミックグリーンシートの表面に転写することができ、したがって、セラミックグリーンシートの変形および破壊を確実に防止して、セラミックグリーンシートと、電極層およびスペーサ層を含む積層体ユニットを製造することが可能になる。   According to the present invention, the electrode layer and the spacer layer are configured to be transferred to the surface of the ceramic green sheet via the adhesive layer adhered to the surface of the ceramic green sheet. And the spacer layer can be transferred to the surface of the ceramic green sheet, thus reliably preventing deformation and destruction of the ceramic green sheet to produce a ceramic green sheet and a laminate unit including the electrode layer and the spacer layer. It becomes possible to do.

また、本発明によれば、電極層およびスペーサ層を、第二の支持シートの表面に形成し、乾燥させた後に、接着層を介して、セラミックグリーンシートの表面に転写するように構成されているから、電極ペースト中の溶剤が、セラミックグリーンシートのバインダ成分を溶解または膨潤させることを確実に防止することができ、同時に、セラミックグリーンシート中に、電極ペーストが染み込むことを確実に防止して、セラミックグリーンシートと、電極層およびスペーサ層を含む積層体ユニットを製造することが可能になる。   According to the present invention, the electrode layer and the spacer layer are formed on the surface of the second support sheet, dried, and then transferred to the surface of the ceramic green sheet via the adhesive layer. Therefore, the solvent in the electrode paste can reliably prevent the binder component of the ceramic green sheet from dissolving or swelling, and at the same time, reliably prevent the electrode paste from seeping into the ceramic green sheet. It is possible to manufacture a laminate unit including a ceramic green sheet, an electrode layer and a spacer layer.

さらに、本発明によれば、接着層を、第三の支持シートの表面に形成し、乾燥させた後に、セラミックグリーンシートの表面に転写するように構成されているから、接着剤溶液が、セラミックグリーンシートに染み込むことを確実に防止して、セラミックグリーンシート、電極層およびスペーサ層を含む積層体ユニットを製造することが可能になる。   Furthermore, according to the present invention, the adhesive layer is formed on the surface of the third support sheet, and after being dried, is configured to be transferred to the surface of the ceramic green sheet. It is possible to reliably prevent permeation into the green sheet, and to manufacture a laminate unit including the ceramic green sheet, the electrode layer, and the spacer layer.

また、本発明によれば、接着層を、第三の支持シートの表面に形成し、乾燥させた後に、セラミックグリーンシートの表面に転写し、接着層を介して、電極層およびスペーサ層を、セラミックグリーンシートの表面に転写するように構成されているから、接着剤溶液が、電極層およびスペーサ層に染み込むことを確実に防止して、セラミックグリーンシートと、電極層およびスペーサ層を含む積層体ユニットを製造することが可能になる。   Further, according to the present invention, the adhesive layer is formed on the surface of the third support sheet, and after being dried, transferred to the surface of the ceramic green sheet, and through the adhesive layer, the electrode layer and the spacer layer, Since it is configured to transfer to the surface of the ceramic green sheet, the adhesive solution is reliably prevented from soaking into the electrode layer and the spacer layer, and the laminate including the ceramic green sheet and the electrode layer and the spacer layer is formed. The unit can be manufactured.

さらに、セラミックグリーンシート上に、所定のパターンで、電極層が形成された多数の積層体ユニットを積層する場合には、電極層の表面と、電極層が形成されていないセラミックグリーンシートの表面との間に、段差が形成されているため、多数の積層体ユニットが積層された積層体が変形し、あるいは、層間剥離が発生することがあるが、本発明によれば、剥離層の表面に、電極層と相補的なパターンで、スペーサ層が形成されているから、こうして得られた多数の積層体ユニットを積層して、作製された積層体が変形を起こすことを効果的に防止することが可能になるとともに、層間剥離の発生を効果的に防止することが可能になる。   Furthermore, when a large number of laminate units on which electrode layers are formed are laminated in a predetermined pattern on the ceramic green sheet, the surface of the electrode layer and the surface of the ceramic green sheet on which the electrode layer is not formed are separated. Since a step is formed between the laminate units, a laminate in which a large number of laminate units are laminated is deformed or delamination may occur. Since the spacer layer is formed in a pattern complementary to the electrode layer, a large number of laminate units thus obtained are laminated to effectively prevent the produced laminate from being deformed. And the occurrence of delamination can be effectively prevented.

また、接着層から、第三の支持シートを剥離する際に、静電気が発生し、塵埃が付着したり、接着層が、第三の支持シートに引き付けられて、所望のように、第三の支持シートを、接着層から剥離することが困難になることがあるが、本発明によれば、接着層は、バインダに対して、0.01重量%ないし15重量%の帯電防止剤を含んでいるから、静電気の発生を効果的に防止することが可能になる。   Also, when the third support sheet is peeled from the adhesive layer, static electricity is generated, dust adheres, or the adhesive layer is attracted to the third support sheet, and the third Although it may be difficult to peel the support sheet from the adhesive layer, according to the present invention, the adhesive layer contains 0.01% to 15% by weight of the antistatic agent based on the binder. Therefore, the generation of static electricity can be effectively prevented.

本発明の前記目的はまた、剥離層と、前記剥離層の表面に、所定のパターンで形成された電極層および前記電極層と相補的なパターンで形成されたスペーサ層と、前記電極層および前記スペーサ層の表面に接着された接着層と、前記接着層の表面に接着されたセラミックグリーンシートとを備え、前記接着層が、バインダに対して、0.01重量%ないし15重量%の帯電防止剤を含むことを特徴とする積層電子部品用の積層体ユニットによって達成される。   The object of the present invention is also a release layer, on the surface of the release layer, an electrode layer formed in a predetermined pattern and a spacer layer formed in a pattern complementary to the electrode layer, the electrode layer and the An adhesive layer adhered to the surface of the spacer layer, and a ceramic green sheet adhered to the surface of the adhesive layer, wherein the adhesive layer has an antistatic property of 0.01 to 15% by weight with respect to the binder. The present invention is achieved by a laminate unit for a laminated electronic component, characterized by containing an agent.

本発明の好ましい実施態様においては、前記接着層が、バインダに対して、0.01重量%ないし10重量%の帯電防止剤を含んでいる。   In a preferred embodiment of the present invention, the adhesive layer contains 0.01% to 10% by weight of the antistatic agent based on the binder.

本発明において、セラミックグリーンシートを形成するために用いる誘電体ペーストは、通常、誘電体原料と、有機溶剤中にバインダを溶解させた有機ビヒクルを混練して、調製される。   In the present invention, a dielectric paste used to form a ceramic green sheet is usually prepared by kneading a dielectric material and an organic vehicle in which a binder is dissolved in an organic solvent.

誘電体原料としては、複合酸化物や酸化物となる各種化合物、たとえば、炭酸塩、硝酸塩、水酸化物、有機金属化合物などから適宜選択され、これらを混合して、用いることができる。誘電体原料は、通常、平均粒子径が約0.1μmないし約3.0μm程度の粉末として用いられる。誘電体原料の粒径は、セラミックグリーンシートの厚さより小さいことが好ましい。   The dielectric material is appropriately selected from various compounds to be a composite oxide or an oxide, for example, a carbonate, a nitrate, a hydroxide, an organometallic compound, and the like, and can be used by mixing them. The dielectric material is usually used as a powder having an average particle size of about 0.1 μm to about 3.0 μm. The particle size of the dielectric material is preferably smaller than the thickness of the ceramic green sheet.

有機ビヒクルに用いられるバインダは、とくに限定されるものではなく、エチルセルロース、ポリビニルブチラール、アクリル樹脂などの通常の各種バインダが用いることができるが、セラミックグリーンシートを薄層化するためには、ポリビニルブチラールなどのブチラール系樹脂が、好ましく用いられる。   The binder used for the organic vehicle is not particularly limited, and various ordinary binders such as ethyl cellulose, polyvinyl butyral, and acrylic resin can be used.However, in order to make the ceramic green sheet thinner, polyvinyl butyral is used. Butyral-based resins are preferably used.

有機ビヒクルに用いられる有機溶剤も、とくに限定されるものではなく、テルピネオール、ブチルカルビトール、アセトン、トルエンなどの有機溶剤が用いられる。   The organic solvent used for the organic vehicle is not particularly limited, and organic solvents such as terpineol, butyl carbitol, acetone, and toluene are used.

本発明において、誘電体ペーストは、誘電体原料と、水中に水溶性バインダを溶解させたビヒクルを混練して、生成することもできる。   In the present invention, the dielectric paste can also be produced by kneading a dielectric material and a vehicle in which a water-soluble binder is dissolved in water.

水溶性バインダは、とくに限定されるものではなく、ポリビニルアルコール、メチルセルロース、ヒドロキシエチルセルロース、水溶性アクリル樹脂、エマルジョンなどが用いられる。   The water-soluble binder is not particularly limited, and polyvinyl alcohol, methyl cellulose, hydroxyethyl cellulose, a water-soluble acrylic resin, an emulsion, or the like is used.

誘電体ペースト中の各成分の含有量は、とくに限定されるものではなく、たとえば、約1重量%ないし約5重量%のバインダと、約10重量%ないし約50重量%の溶剤を含むように、誘電体ペーストを調製することができる。   The content of each component in the dielectric paste is not particularly limited, and may be, for example, about 1% to about 5% by weight of a binder and about 10% to about 50% by weight of a solvent. , A dielectric paste can be prepared.

誘電体ペースト中には、必要に応じて、各種分散剤、可塑剤、誘電体、副成分化合物、ガラスフリット、絶縁体などから選択される添加物が含有されていてもよい。誘電体ペースト中に、これらの添加物を添加する場合には、総含有量を、約10重量%以下にすることが望ましい。バインダ樹脂として、ブチラール系樹脂を用いる場合には、可塑剤の含有量は、バインダ樹脂100重量部に対して、約25重量部ないし約100重量部であることが好ましい。可塑剤が少なすぎると、生成されたセラミックグリーンシートが脆くなる傾向があり、多すぎると、可塑剤が滲み出して、取り扱いが困難になり、好ましくない。   If necessary, the dielectric paste may contain additives selected from various dispersants, plasticizers, dielectrics, subcomponent compounds, glass frit, insulators, and the like. When these additives are added to the dielectric paste, the total content is desirably about 10% by weight or less. When a butyral resin is used as the binder resin, the content of the plasticizer is preferably about 25 parts by weight to about 100 parts by weight based on 100 parts by weight of the binder resin. If the amount of the plasticizer is too small, the produced ceramic green sheet tends to be brittle, and if the amount is too large, the plasticizer oozes out and handling becomes difficult, which is not preferable.

本発明において、セラミックグリーンシートは、誘電体ペーストを、第一の支持シート上に塗布し、乾燥して、作製される。   In the present invention, the ceramic green sheet is produced by applying a dielectric paste on the first support sheet and drying it.

誘電体ペーストは、エクストルージョンコーターやワイヤーバーコーターなどを用いて、第一の支持シート上に塗布され、塗膜が形成される。   The dielectric paste is applied on the first support sheet using an extrusion coater, a wire bar coater, or the like, to form a coating film.

第一の支持シートとしては、たとえば、ポリエチレンテレフタレートフィルムなどが用いられ、剥離性を改善するために、その表面に、シリコン樹脂、アルキド樹脂などがコーティングされる。第一の支持シートの厚さは、とくに限定されるものではないが、好ましくは、約5μmないし約100μmである。   As the first support sheet, for example, a polyethylene terephthalate film or the like is used, and the surface thereof is coated with a silicone resin, an alkyd resin, or the like to improve the releasability. The thickness of the first support sheet is not particularly limited, but is preferably about 5 μm to about 100 μm.

こうして形成された塗膜は、たとえば、約50℃ないし約100°Cの温度で、約1分ないし約20分にわたって、乾燥され、支持シート上に、セラミックグリーンシートが形成される。   The coating film thus formed is dried, for example, at a temperature of about 50 ° C. to about 100 ° C. for about 1 minute to about 20 minutes to form a ceramic green sheet on the support sheet.

本発明において、乾燥後におけるセラミックグリーンシートの厚さが3μm以下であることが好ましく、さらに好ましくは、1.5μm以下である。   In the present invention, the thickness of the ceramic green sheet after drying is preferably 3 μm or less, more preferably 1.5 μm or less.

本発明において、電極層およびスペーサ層は、第二の支持シート上に、スクリーン印刷機やグラビア印刷機などの印刷機を用いて、印刷される。   In the present invention, the electrode layer and the spacer layer are printed on the second support sheet using a printing machine such as a screen printing machine or a gravure printing machine.

第二の支持シートとしては、たとえば、ポリエチレンテレフタレートフィルムなどが用いられ、剥離性を改善するために、その表面に、シリコン樹脂、アルキド樹脂などがコーティングされる。第二の支持シートの厚さは、とくに限定されるものではなく、セラミックグリーンシートが形成される支持シートの厚さと同じであっても、異なっていてもよいが、好ましくは、約5μmないし約100μmである。   As the second support sheet, for example, a polyethylene terephthalate film or the like is used, and the surface thereof is coated with a silicon resin, an alkyd resin, or the like in order to improve releasability. The thickness of the second support sheet is not particularly limited, and may be the same as or different from the thickness of the support sheet on which the ceramic green sheets are formed, but is preferably about 5 μm to about 5 μm. 100 μm.

本発明において、第二の支持シート上に、電極層およびスペーサ層を形成するのに先立って、まず、誘電体ペーストが調製され、第二の支持シート上に塗布されて、剥離層が、第二の支持シート上に形成される。   In the present invention, prior to forming the electrode layer and the spacer layer on the second support sheet, first, a dielectric paste is prepared and applied on the second support sheet to form a release layer, Formed on the second support sheet.

剥離層を形成するための誘電体ペーストは、好ましくは、セラミックグリーンシートに含まれている誘電体と同一組成の誘電体の粒子を含んでいる。   The dielectric paste for forming the release layer preferably contains dielectric particles having the same composition as the dielectric contained in the ceramic green sheet.

剥離層を形成するための誘電体ペーストは、誘電体粒子以外に、バインダと、任意成分として、可塑剤および剥離剤とを含んでいる。誘電体粒子の粒径は、セラミックグリーンシートに含まれる誘電体粒子の粒径と同じでもよいが、より小さいことが好ましい。   The dielectric paste for forming the release layer contains, in addition to the dielectric particles, a binder and, as optional components, a plasticizer and a release agent. The particle size of the dielectric particles may be the same as the particle size of the dielectric particles contained in the ceramic green sheet, but is preferably smaller.

バインダとしては、たとえば、アクリル樹脂、ポリビニルブチラール、ポリビニルアセタール、ポリビニルアルコール、ポリオレフィン、ポリウレタン、ポリスチレン、または、これらの共重合体、または、これらのエマルジョンを用いることができる。   As the binder, for example, an acrylic resin, polyvinyl butyral, polyvinyl acetal, polyvinyl alcohol, polyolefin, polyurethane, polystyrene, a copolymer thereof, or an emulsion thereof can be used.

剥離層を形成するための誘電体ペーストに含まれているバインダは、セラミックグリーンシートに含まれているバインダを同系であっても、同系でなくてもよいが、同系のバインダであることが好ましい。   The binder contained in the dielectric paste for forming the release layer may or may not be the same as the binder contained in the ceramic green sheet, but is preferably a similar binder. .

剥離層を形成するための誘電体ペーストは、誘電体粒子100重量部に対して、好ましくは、約2.5重量部ないし約200重量部、さらに好ましくは、約5重量部ないし約30重量部、とくに好ましくは、約8重量部ないし約30重量部のバインダを含んでいる。   The dielectric paste for forming the release layer is preferably about 2.5 parts by weight to about 200 parts by weight, more preferably about 5 parts by weight to about 30 parts by weight, based on 100 parts by weight of the dielectric particles. Particularly preferably, it contains from about 8 parts to about 30 parts by weight of the binder.

可塑剤は、とくに限定されるものではなく、たとえば、フタル酸エステル、アジピン酸、燐酸エステル、グリコール類などを挙げることができる。剥離層を形成するための誘電体ペーストに含まれる可塑剤は、セラミックグリーンシートに含まれる可塑剤と同系であっても、同系でなくてもよい。   The plasticizer is not particularly limited, and examples thereof include phthalate, adipic acid, phosphate, and glycols. The plasticizer contained in the dielectric paste for forming the release layer may or may not be the same as the plasticizer contained in the ceramic green sheet.

剥離層を形成するための誘電体ペーストは、バインダ100重量部に対して、約0重量部ないし約200重量部、好ましくは、約20重量部ないし約200重量部、さらに好ましくは、約50重量部ないし約100重量部の可塑剤を含んでいる。   The dielectric paste for forming the release layer is about 0 to about 200 parts by weight, preferably about 20 to about 200 parts by weight, and more preferably about 50 parts by weight, based on 100 parts by weight of the binder. Parts to about 100 parts by weight of a plasticizer.

剥離層を形成するための誘電体ペーストに含まれる剥離剤は、とくに限定されるものではなく、たとえば、パラフィン、ワックス、シリコーン油などを挙げることができる。   The release agent contained in the dielectric paste for forming the release layer is not particularly limited, and examples thereof include paraffin, wax, and silicone oil.

剥離層を形成するための誘電体ペーストは、バインダ100重量部に対して、約0重量部ないし約100重量部、好ましくは、約2重量部ないし約50重量部、さらに好ましくは、約5重量部ないし約20重量部の剥離剤を含んでいる。   The dielectric paste for forming the release layer is about 0 to about 100 parts by weight, preferably about 2 to about 50 parts by weight, more preferably about 5 parts by weight, based on 100 parts by weight of the binder. Parts to about 20 parts by weight of a release agent.

本発明において、剥離層に含まれる誘電体に対するバインダの含有割合が、セラミックグリーンシートに含まれる誘電体に対するバインダの含有割合と同等、あるいは、それよりも低いことが好ましい。また、剥離層に含まれる誘電体に対する可塑剤の含有割合が、セラミックグリーンシートに含まれる誘電体に対する可塑剤の含有割合と同等、あるいは、高いことが好ましい。さらに、剥離層に含まれる誘電体に対する剥離剤の含有割合が、セラミックグリーンシートに含まれる誘電体に対する剥離剤の含有割合よりも高いことが好ましい。   In the present invention, the content ratio of the binder to the dielectric contained in the release layer is preferably equal to or lower than the content ratio of the binder to the dielectric contained in the ceramic green sheet. Further, it is preferable that the content ratio of the plasticizer to the dielectric contained in the release layer is equal to or higher than the content ratio of the plasticizer to the dielectric contained in the ceramic green sheet. Further, the content ratio of the release agent to the dielectric contained in the release layer is preferably higher than the content ratio of the release agent to the dielectric contained in the ceramic green sheet.

このような組成を有する剥離層を形成することにより、セラミックグリーンシートをきわめて薄層化しても、剥離層の強度を、グリーンシートの破壊強度よりも低くすることができ、第二の支持シートを剥離する際に、セラミックグリーンシートが破壊されることを確実に防止することが可能になる。   By forming the release layer having such a composition, even if the ceramic green sheet is extremely thinned, the strength of the release layer can be made lower than the breaking strength of the green sheet, and the second support sheet can be formed. When peeling, it is possible to reliably prevent the ceramic green sheet from being broken.

剥離層は、ワイヤーバーコーターなどを用いて、第二の支持シート上に、誘電体ペーストを塗布することによって、形成される。   The release layer is formed by applying a dielectric paste on the second support sheet using a wire bar coater or the like.

剥離層の厚さは、その上に形成される電極層の厚さ以下であることが好ましく、好ましくは、電極層の厚さの約60%以下、さらに好ましくは、電極層の厚さの約30%以下である。   The thickness of the release layer is preferably not more than the thickness of the electrode layer formed thereon, preferably not more than about 60% of the thickness of the electrode layer, and more preferably not more than about 60% of the thickness of the electrode layer. 30% or less.

剥離層の形成後、剥離層は、たとえば、約50℃ないし約100℃で、約1分ないし約10分にわたって、乾燥される。   After formation of the release layer, the release layer is dried, for example, at about 50 ° C. to about 100 ° C. for about 1 minute to about 10 minutes.

剥離層が乾燥された後、剥離層の表面上に、焼成後に、内部電極層を構成する電極層が、所定パターンで形成される。   After the release layer is dried, an electrode layer constituting an internal electrode layer is formed in a predetermined pattern on the surface of the release layer after firing.

本発明において、電極層を形成するために用いられる電極ペーストは、各種導電性金属や合金からなる導電体材料、焼成後に、各種導電性金属や合金からなる導電体材料となる各種酸化物、有機金属化合物、または、レジネートなどと、有機溶剤中にバインダを溶解させた有機ビヒクルとを混練して、調製される。   In the present invention, the electrode paste used to form the electrode layer is a conductive material made of various conductive metals and alloys, various kinds of oxides that become conductive materials made of various conductive metals and alloys after firing, and organic materials. It is prepared by kneading a metal compound, a resinate, or the like, and an organic vehicle in which a binder is dissolved in an organic solvent.

電極ペーストを製造する際に用いる導電体材料としては、Ni、Ni合金あるいはこれらの混合物が、好ましく用いられる。導電体材料の形状は、とくに限定されるものではなく、球状でも、鱗片状でも、あるいは、これらの形状のものが混合されていてもよい。また、導電体材料の平均粒子径は、とくに限定されるものではないが、通常、約0.1μmないし約2μm、好ましくは、約0.2μmないし約1μmの導電性材料が用いられる。   As the conductive material used in producing the electrode paste, Ni, a Ni alloy or a mixture thereof is preferably used. The shape of the conductive material is not particularly limited, and may be spherical, scale-like, or a mixture of these shapes. The average particle size of the conductive material is not particularly limited, but usually, a conductive material of about 0.1 μm to about 2 μm, preferably about 0.2 μm to about 1 μm is used.

有機ビヒクルに用いられるバインダは、とくに限定されるものではなく、エチルセルロース、アクリル樹脂、ポリビニルブチラール、ポリビニルアセタール、ポリビニルアルコール、ポリオレフィン、ポリウレタン、ポリスチレン、あるいはは、これらの共重合体などを用いることができるが、とくに、ポリビニルブチラールなどのブチラール系バインダが好ましく用いられる。   The binder used for the organic vehicle is not particularly limited, and ethyl cellulose, acrylic resin, polyvinyl butyral, polyvinyl acetal, polyvinyl alcohol, polyolefin, polyurethane, polystyrene, or a copolymer of these can be used. However, in particular, a butyral-based binder such as polyvinyl butyral is preferably used.

電極ペーストは、導電体材料100重量部に対して、好ましくは、約2.5重量部ないし約20重量部のバインダを含んでいる。   The electrode paste preferably contains about 2.5 parts by weight to about 20 parts by weight of the binder with respect to 100 parts by weight of the conductive material.

溶剤としては、たとえば、テルピネオール、ブチルカルビトール、ケロシンなど、公知の溶剤を用いることができる。溶剤の含有量は、電極ペースト全体に対して、好ましくは、約20重量%ないし約55重量%である。   As the solvent, for example, a known solvent such as terpineol, butyl carbitol, and kerosene can be used. The content of the solvent is preferably about 20% by weight to about 55% by weight based on the whole electrode paste.

接着性を改善するために、電極ペーストが、可塑剤を含んでいることが好ましい。   In order to improve the adhesiveness, it is preferable that the electrode paste contains a plasticizer.

電極ペーストに含まれる可塑剤は、とくに限定されるものではなく、たとえば、フタル酸ベンジルブチル(BBP)などのフタル酸エステル、アジピン酸、燐酸エステル、グリコール類などを挙げることができる。電極ペーストは、バインダ100重量部に対して、好ましくは、約10重量部ないし約300重量部、さらに好ましくは、約10重量部ないし約200重量部の可塑剤を含んでいることが好ましい。   The plasticizer contained in the electrode paste is not particularly limited, and examples thereof include phthalic acid esters such as benzyl butyl phthalate (BBP), adipic acid, phosphoric acid esters, and glycols. The electrode paste preferably contains about 10 parts by weight to about 300 parts by weight, more preferably about 10 parts by weight to about 200 parts by weight, based on 100 parts by weight of the binder.

可塑剤の添加量が多すぎると、電極層の強度が著しく低下する傾向があり、好ましくない。   If the amount of the plasticizer is too large, the strength of the electrode layer tends to be significantly reduced, which is not preferable.

電極層は、スクリーン印刷機やグラビア印刷機などの印刷機を用いて、第二の支持シート上に形成された剥離層の表面に、電極ペーストを印刷することによって、形成される。   The electrode layer is formed by printing an electrode paste on the surface of the release layer formed on the second support sheet using a printing machine such as a screen printing machine or a gravure printing machine.

電極層の厚さは、約0.1μmないし約5μmの厚さに形成されることが好ましく、より好ましくは、約0.1μmないし約1.5μmである。   The thickness of the electrode layer is preferably about 0.1 μm to about 5 μm, and more preferably about 0.1 μm to about 1.5 μm.

第二の支持シート上に形成された剥離層の表面の電極層が形成されていない部分には、さらに、スクリーン印刷機やグラビア印刷機などの印刷機を用いて、電極層と相補的なパターンで、誘電体ペーストが印刷されて、スペーサ層が形成される。   On the portion of the surface of the release layer formed on the second support sheet where the electrode layer is not formed, further, using a printing machine such as a screen printing machine or a gravure printing machine, a pattern complementary to the electrode layer. Then, the dielectric paste is printed to form a spacer layer.

電極層の形成に先立って、第二の支持シート上に形成された剥離層の表面に、電極層と相補的なパターンで、スペーサ層を形成することもできる。   Prior to the formation of the electrode layer, a spacer layer may be formed on the surface of the release layer formed on the second support sheet in a pattern complementary to the electrode layer.

本発明において、スペーサ層を形成するために用いる誘電体ペーストは、セラミックグリーンシートを形成するための誘電体ペーストと同様にして、調製される。   In the present invention, the dielectric paste used to form the spacer layer is prepared in the same manner as the dielectric paste used to form the ceramic green sheet.

スペーサ層を形成するための誘電体ペーストは、好ましくは、セラミックグリーンシートに含まれている誘電体と同一組成の誘電体の粒子を含んでいる。   The dielectric paste for forming the spacer layer preferably contains dielectric particles having the same composition as the dielectric contained in the ceramic green sheet.

スペーサ層を形成するための誘電体ペーストは、誘電体粒子以外に、バインダと、任意成分として、可塑剤および剥離剤とを含んでいる。誘電体粒子の粒径は、セラミックグリーンシートに含まれる誘電体粒子の粒径と同じでもよいが、より小さいことが好ましい。   The dielectric paste for forming the spacer layer contains, in addition to the dielectric particles, a binder and, as optional components, a plasticizer and a release agent. The particle size of the dielectric particles may be the same as the particle size of the dielectric particles contained in the ceramic green sheet, but is preferably smaller.

バインダとしては、たとえば、アクリル樹脂、ポリビニルブチラール、ポリビニルアセタール、ポリビニルアルコール、ポリオレフィン、ポリウレタン、ポリスチレン、または、これらの共重合体、または、これらのエマルジョンを用いることができる。   As the binder, for example, an acrylic resin, polyvinyl butyral, polyvinyl acetal, polyvinyl alcohol, polyolefin, polyurethane, polystyrene, a copolymer thereof, or an emulsion thereof can be used.

スペーサ層を形成するための誘電体ペーストに含まれているバインダは、セラミックグリーンシートに含まれているバインダと同系であっても、同系でなくてもよいが、同系であることが好ましい。   The binder included in the dielectric paste for forming the spacer layer may or may not be the same as the binder included in the ceramic green sheet, but is preferably the same.

スペーサ層を形成するための誘電体ペーストは、誘電体粒子100重量部に対して、好ましくは、約2.5重量部ないし約200重量部、さらに好ましくは、約4重量部ないし約15重量部、とくに好ましくは、約6重量部ないし約10重量部のバインダを含んでいる。   The dielectric paste for forming the spacer layer is preferably about 2.5 parts by weight to about 200 parts by weight, more preferably about 4 parts by weight to about 15 parts by weight, based on 100 parts by weight of the dielectric particles. Particularly preferably, it contains from about 6 parts to about 10 parts by weight of the binder.

スペーサ層を形成するための誘電体ペーストに含まれている可塑剤は、とくに限定されるものではなく、たとえば、フタル酸エステル、アジピン酸、燐酸エステル、グリコール類などを挙げることができる。スペーサ層を形成するための誘電体ペーストに含まれる可塑剤は、セラミックグリーンシートに含まれる可塑剤と同系であっても、同系でなくてもよい。   The plasticizer contained in the dielectric paste for forming the spacer layer is not particularly limited, and examples thereof include phthalate, adipic acid, phosphate, and glycols. The plasticizer contained in the dielectric paste for forming the spacer layer may or may not be the same as the plasticizer contained in the ceramic green sheet.

スペーサ層を形成するための誘電体ペーストは、バインダ100重量部に対して、約0重量部ないし約200重量部、好ましくは、約20重量部ないし約200重量部、さらに好ましくは、約50重量部ないし約100重量部の可塑剤を含んでいる。   The dielectric paste for forming the spacer layer is about 0 to about 200 parts by weight, preferably about 20 to about 200 parts by weight, more preferably about 50 parts by weight, based on 100 parts by weight of the binder. Parts to about 100 parts by weight of a plasticizer.

スペーサ層を形成するための誘電体ペーストに含まれる剥離剤は、とくに限定されるものではなく、たとえば、パラフィン、ワックス、シリコーン油などを挙げることができる。   The release agent contained in the dielectric paste for forming the spacer layer is not particularly limited, and examples thereof include paraffin, wax, and silicone oil.

スペーサ層を形成するための誘電体ペーストは、バインダ100重量部に対して、約0重量部ないし約100重量部、好ましくは、約2重量部ないし約50重量部、より好ましくは、約5重量部ないし約20重量部の剥離剤を含んでいる。   The dielectric paste for forming the spacer layer is about 0 to about 100 parts by weight, preferably about 2 to about 50 parts by weight, more preferably about 5 parts by weight, based on 100 parts by weight of the binder. Parts to about 20 parts by weight of a release agent.

本発明において、電極層およびスペーサ層は、0.7≦ts/te≦1.3(tsは、スペーサ層の厚さであり、teは、電極層の厚さである。)を満たすように形成されることが好ましく、より好ましくは、0.8≦ts/te≦1.2、さらに好ましくは、0.9≦ts/te≦1.2を満たすように形成される。   In the present invention, the electrode layer and the spacer layer satisfy 0.7 ≦ ts / te ≦ 1.3 (where ts is the thickness of the spacer layer and te is the thickness of the electrode layer). Preferably, it is formed so as to satisfy 0.8 ≦ ts / te ≦ 1.2, more preferably 0.9 ≦ ts / te ≦ 1.2.

電極層およびスペーサ層は、たとえば、約70℃ないし120℃の温度で、約5分ないし約15分にわたって、乾燥される。電極層およびスペーサ層の乾燥条件は、とくに限定されるものではない。   The electrode layer and the spacer layer are dried, for example, at a temperature of about 70 ° C. to 120 ° C. for about 5 minutes to about 15 minutes. The drying conditions for the electrode layer and the spacer layer are not particularly limited.

セラミックグリーンシートと、電極層およびスペーサ層は、接着層を介して、接着され、接着層を形成するために、第三の支持シートが用意される。   The ceramic green sheet, the electrode layer and the spacer layer are adhered via an adhesive layer, and a third support sheet is prepared to form the adhesive layer.

第三の支持シートとしては、たとえば、ポリエチレンテレフタレートフィルムなどが用いられ、剥離性を改善するために、その表面に、シリコン樹脂、アルキド樹脂などがコーティングされる。第三の支持シートの厚さは、とくに限定されるものではないが、好ましくは、約5μmないし約100μmである。   As the third support sheet, for example, a polyethylene terephthalate film or the like is used, and the surface thereof is coated with a silicone resin, an alkyd resin, or the like to improve releasability. The thickness of the third support sheet is not particularly limited, but is preferably about 5 μm to about 100 μm.

接着層は、第三の支持シート上に、接着剤溶液が塗布されて、形成される。   The adhesive layer is formed by applying an adhesive solution on the third support sheet.

本発明において、接着剤溶液は、バインダおよび帯電防止剤と、任意成分として、可塑剤および剥離剤とを含んでいる。   In the present invention, the adhesive solution contains a binder and an antistatic agent, and as optional components, a plasticizer and a release agent.

接着剤溶液は、セラミックグリーンシートに含まれている誘電体粒子と同一組成の誘電体粒子を含んでいてもよい。接着剤溶液が、誘電体粒子を含んでいる場合には、誘電体粒子のバインダ重量に対する割合が、セラミックグリーンシートに含まれている誘電体粒子のバインダ重量に対する割合より小さいことが好ましい。   The adhesive solution may include dielectric particles having the same composition as the dielectric particles contained in the ceramic green sheet. When the adhesive solution contains dielectric particles, the ratio of the dielectric particles to the binder weight is preferably smaller than the ratio of the dielectric particles contained in the ceramic green sheet to the binder weight.

接着剤溶液に含まれるバインダは、セラミックグリーンシートを形成するための誘電体ペーストに含まれるバインダと同系であることが好ましいが、セラミックグリーンシートを形成するための誘電体ペーストに含まれるバインダと同系でなくてもよい。   The binder contained in the adhesive solution is preferably the same as the binder contained in the dielectric paste for forming the ceramic green sheet, but is similar to the binder contained in the dielectric paste for forming the ceramic green sheet. It does not have to be.

接着剤溶液に含まれる可塑剤は、セラミックグリーンシートを形成するための誘電体ペーストに含まれる可塑剤と同系であることが好ましいが、セラミックグリーンシートを形成するための誘電体ペーストに含まれる可塑剤と同系でなくてもよい。   The plasticizer contained in the adhesive solution is preferably of the same type as the plasticizer contained in the dielectric paste for forming the ceramic green sheet, but the plasticizer contained in the dielectric paste for forming the ceramic green sheet is preferably used. It does not need to be synonymous with the agent.

可塑剤の含有量は、バインダ100重量部に対して、約0重量部ないし約200重量部、好ましくは、約20重量部ないし約200重量部、さらに好ましくは、約50重量部ないし約100重量部である。   The content of the plasticizer is about 0 to about 200 parts by weight, preferably about 20 to about 200 parts by weight, and more preferably about 50 to about 100 parts by weight, based on 100 parts by weight of the binder. Department.

本発明において、接着剤溶液は、バインダの0.01重量%ないし15重量%の帯電防止剤を含み、好ましくは、0.01重量%ないし10重量%の帯電防止剤を含んでいる。   In the present invention, the adhesive solution contains 0.01% to 15% by weight of the binder, preferably 0.01% to 10% by weight of the binder.

本発明において、接着剤溶液に含まれる帯電防止剤は、吸湿性を有する有機溶剤であればよく、たとえば、エチレングリコール;ポリエチレングリコール;2−3ブタンジオール;グリセリン;イミダゾリン系界面活性剤、ポリアルキレングリコール誘導体系界面活性剤、カルボン酸アミジン塩系界面活性剤などの両性界面活性剤などが、接着剤溶液に含まれる帯電防止剤として使用することができる。   In the present invention, the antistatic agent contained in the adhesive solution may be any organic solvent having hygroscopicity, such as ethylene glycol; polyethylene glycol; 2-3 butanediol; glycerin; imidazoline surfactant, polyalkylene. An amphoteric surfactant such as a glycol derivative-based surfactant or a carboxylic acid amidine salt-based surfactant can be used as the antistatic agent contained in the adhesive solution.

これらの帯電防止剤の中では、少量で、静電気を防止することが可能であるとともに、小さい剥離力で、接着層から、第三の支持シートを剥離することが可能であるため、イミダゾリン系界面活性剤、ポリアルキレングリコール誘導体系界面活性剤、カルボン酸アミジン塩系界面活性剤などの両性界面活性剤が好ましく、イミダゾリン系界面活性剤は、とくに小さな剥離力で、接着層から、第三の支持シートを剥離することができるため、とくに好ましい。   Among these antistatic agents, it is possible to prevent static electricity with a small amount, and it is possible to peel the third support sheet from the adhesive layer with a small peeling force. Preferred are amphoteric surfactants such as surfactants, polyalkylene glycol derivative-based surfactants, and carboxylic acid amidine salt-based surfactants. The imidazoline-based surfactant has a particularly small peeling force and can be used as a third support from the adhesive layer. This is particularly preferable because the sheet can be peeled off.

接着剤溶液は、たとえば、バーコータ、エクストルージョンコータ、リバースコータ、ディップコーター、キスコーターなどによって、第三の支持シート上に塗布され、好ましくは、約0.02μmないし約0.3μm、より好ましくは、約0.02μmないし約0.1μmの厚さの接着層が形成される。接着層の厚さが、約0.02μm未満の場合には、接着力が低下し、一方、接着層の厚さが、約0.3μmを越えると、欠陥(隙間)の発生原因となり、好ましくない。   The adhesive solution is applied on the third support sheet by, for example, a bar coater, an extrusion coater, a reverse coater, a dip coater, a kiss coater, or the like, preferably from about 0.02 μm to about 0.3 μm, more preferably An adhesive layer having a thickness of about 0.02 μm to about 0.1 μm is formed. When the thickness of the adhesive layer is less than about 0.02 μm, the adhesive strength is reduced. On the other hand, when the thickness of the adhesive layer exceeds about 0.3 μm, defects (gaps) are caused, which is preferable. Absent.

接着層は、たとえば、室温(25℃)ないし約80℃の温度で、約1分ないし約5分にわたって、乾燥される。接着層の乾燥条件は、とくに限定されるものではない。   The adhesive layer is dried, for example, at a temperature from room temperature (25 ° C.) to about 80 ° C. for about 1 minute to about 5 minutes. The conditions for drying the adhesive layer are not particularly limited.

第三の支持シート上に形成された接着層は、第二の支持シート上に形成された電極層およびスペーサ層の表面あるいは第一の支持シート上に形成されたセラミックグリーンシートの表面に転写される。   The adhesive layer formed on the third support sheet is transferred to the surface of the electrode layer and the spacer layer formed on the second support sheet or to the surface of the ceramic green sheet formed on the first support sheet. You.

接着層を、第二の支持シート上に形成された電極層およびスペーサ層の表面に転写する場合には、接着層が、第二の支持シート上に形成されたスペーサ層および電極層の表面に接触した状態で、約40℃ないし約100℃の温度下で、接着層と、電極層およびスペーサ層とが、約0.2MPaないし約15MPaの圧力で、好ましくは、約0.2MPaないし約6MPaの圧力で、加圧されて、接着層が、電極層およびスペーサ層の表面上に接着され、その後、第三の支持シートが接着層から剥離される。   When transferring the adhesive layer to the surface of the electrode layer and the spacer layer formed on the second support sheet, the adhesive layer is formed on the surface of the spacer layer and the electrode layer formed on the second support sheet. In contact, at a temperature of about 40 ° C. to about 100 ° C., the adhesive layer, the electrode layer and the spacer layer are pressed at a pressure of about 0.2 MPa to about 15 MPa, preferably about 0.2 MPa to about 6 MPa. The adhesive layer is adhered on the surface of the electrode layer and the spacer layer by applying pressure, and then the third support sheet is peeled off from the adhesive layer.

接着層を、電極層およびスペーサ層の表面に転写するにあたっては、電極層およびスペーサ層が形成された第二の支持シートと、接着層が形成された第三の支持シートを、プレス機を用いて、加圧しても、一対の加圧ローラを用いて、加圧してもよいが、一対の加圧ローラによって、第二の支持シートと第三の支持シートを加圧することが好ましい。   In transferring the adhesive layer to the surfaces of the electrode layer and the spacer layer, the second support sheet on which the electrode layer and the spacer layer are formed, and the third support sheet on which the adhesive layer is formed are pressed using a press. Then, pressure may be applied using a pair of pressure rollers, but it is preferable to press the second support sheet and the third support sheet with the pair of pressure rollers.

接着層を、第一の支持シート上に形成されたセラミックグリーンシートの表面に転写する場合には、接着層が、第一の支持シート上に形成されたセラミックグリーンシートの表面に接触した状態で、約40℃ないし約100℃の温度下で、接着層と、セラミックグリーンシートとが、約0.2MPaないし約15MPaの圧力で、好ましくは、約0.2MPaないし約6MPaの圧力で、加圧されて、接着層が、セラミックグリーンシートの表面上に接着され、その後、第三の支持シートが接着層から剥離される。   When transferring the adhesive layer to the surface of the ceramic green sheet formed on the first support sheet, the adhesive layer is in contact with the surface of the ceramic green sheet formed on the first support sheet. At a temperature of about 40 ° C. to about 100 ° C., the adhesive layer and the ceramic green sheet are pressed at a pressure of about 0.2 MPa to about 15 MPa, preferably at a pressure of about 0.2 MPa to about 6 MPa. Then, the adhesive layer is adhered on the surface of the ceramic green sheet, and then the third support sheet is peeled off from the adhesive layer.

接着層を、セラミックグリーンシートの表面に転写するにあたっては、セラミックグリーンシートが形成された第一の支持シートと、接着層が形成された第三の支持シートを、プレス機を用いて、加圧しても、一対の加圧ローラを用いて、加圧してもよいが、一対の加圧ローラによって、第一の支持シートと第三の支持シートを加圧することが好ましい。   In transferring the adhesive layer to the surface of the ceramic green sheet, the first support sheet on which the ceramic green sheet is formed and the third support sheet on which the adhesive layer is formed are pressed using a press machine. Alternatively, pressure may be applied using a pair of pressure rollers, but it is preferable that the first support sheet and the third support sheet are pressed by the pair of pressure rollers.

次いで、セラミックグリーンシートと、電極層およびスペーサ層とが、接着層を介して、接着される。   Next, the ceramic green sheet is bonded to the electrode layer and the spacer layer via the bonding layer.

セラミックグリーンシートと、電極層およびスペーサ層は、接着層を介して、約40℃ないし約100℃の温度下で、約0.2MPaないし約15MPaの圧力で、好ましくは、約0.2MPaないし約6MPaの圧力で、加圧されて、セラミックグリーンシートと、スペーサ層および電極層が、接着層を介して、接着される。   The ceramic green sheet, the electrode layer and the spacer layer are interposed via the adhesive layer at a temperature of about 40 ° C. to about 100 ° C. and a pressure of about 0.2 MPa to about 15 MPa, preferably about 0.2 MPa to about 15 MPa. By applying a pressure of 6 MPa, the ceramic green sheet is bonded to the spacer layer and the electrode layer via the bonding layer.

好ましくは、一対の加圧ローラを用いて、セラミックグリーンシートと、接着層、電極層およびスペーサ層とが加圧されて、セラミックグリーンシートと、電極層およびスペーサ層が、接着層を介して、接着される。   Preferably, using a pair of pressure rollers, the ceramic green sheet, the adhesive layer, the electrode layer and the spacer layer are pressed, the ceramic green sheet, the electrode layer and the spacer layer, via the adhesive layer, Glued.

接着層が、電極層およびスペーサ層の表面に転写された場合には、セラミックグリーンシートと、電極層およびスペーサ層とが、接着層を介して、接着されると、第一の支持シートが、セラミックグリーンシートから剥離される。   When the adhesive layer is transferred to the surface of the electrode layer and the spacer layer, when the ceramic green sheet and the electrode layer and the spacer layer are bonded via the adhesive layer, the first support sheet is Peeled from ceramic green sheet.

次いで、電極層およびスペーサ層の表面に、第三の支持シートの表面に形成された接着層を転写したのと同様にして、セラミックグリーンシートの表面に、接着層が転写される。   Next, the adhesive layer is transferred onto the surface of the ceramic green sheet in the same manner as the adhesive layer formed on the surface of the third support sheet is transferred onto the surface of the electrode layer and the spacer layer.

こうして得られた積層体が、所定のサイズに、裁断されて、第二の支持シート上に、剥離層、電極層、スペーサ層、接着層、セラミックグリーンシートおよび接着層が積層された積層体ユニットが作製される。   The laminate thus obtained is cut into a predetermined size, and a laminate unit in which a release layer, an electrode layer, a spacer layer, an adhesive layer, a ceramic green sheet, and an adhesive layer are laminated on a second support sheet Is produced.

一方、接着層が、セラミックグリーンシートの表面に転写された場合には、セラミックグリーンシートと、電極層およびスペーサ層とが、接着層を介して、接着されると、第二の支持シートが、剥離層から剥離される。   On the other hand, when the adhesive layer is transferred to the surface of the ceramic green sheet, when the ceramic green sheet, the electrode layer and the spacer layer are bonded via the adhesive layer, the second support sheet becomes It is released from the release layer.

次いで、セラミックグリーンシートの表面に、第三の支持シートの表面に形成された接着層を転写したのと同様にして、剥離層の表面に、接着層が転写される。   Next, the adhesive layer is transferred to the surface of the release layer in the same manner as the adhesive layer formed on the surface of the third support sheet is transferred to the surface of the ceramic green sheet.

こうして得られた積層体が、所定のサイズに、裁断されて、第一の支持シート上に、セラミックグリーンシート、接着層、電極層、スペーサ層、剥離層および接着層が積層された積層体ユニットが作製される。   A laminate unit in which the laminate thus obtained is cut into a predetermined size and a ceramic green sheet, an adhesive layer, an electrode layer, a spacer layer, a release layer, and an adhesive layer are laminated on a first support sheet Is produced.

以上のようにして、作製された多数の積層体ユニットが積層されて、積層体ブロックが作製される。   As described above, a large number of the laminated units produced are laminated to produce a laminated block.

多数の積層体ユニットの積層にあたっては、まず、支持体が、基板上に固定される。   In laminating a large number of laminate units, first, a support is fixed on a substrate.

支持体は、たとえば、基板に形成された複数の孔を介して、エアによって吸引され、基板上の所定の位置に固定される。   The support is sucked by air, for example, through a plurality of holes formed in the substrate, and is fixed at a predetermined position on the substrate.

支持体としては、たとえば、ポリエチレンテレフタレートフィルムなどが用いられる。支持体の厚さは、積層体ユニットを支持可能な厚さであれば、とくに限定されるものではない。   As the support, for example, a polyethylene terephthalate film or the like is used. The thickness of the support is not particularly limited as long as it can support the laminate unit.

本発明において、接着層が、電極層およびスペーサ層の表面に転写された場合には、まず、支持体の表面に、セラミックグリーンシート上に形成された接着層が密着するように、積層体ユニットが位置決めされて、積層体ユニット上に圧力が加えられる。   In the present invention, when the adhesive layer is transferred to the surface of the electrode layer and the spacer layer, first, the laminate unit is formed such that the adhesive layer formed on the ceramic green sheet is in close contact with the surface of the support. Is positioned and pressure is applied on the laminate unit.

支持体の表面に、セラミックグリーンシート上に形成された接着層が接着されると、第二の支持シートが剥離層から剥離される。   When the adhesive layer formed on the ceramic green sheet is adhered to the surface of the support, the second support sheet is released from the release layer.

さらに、新たな積層体ユニットが、セラミックグリーンシートの表面に形成された接着層が、支持体に接着された積層体ユニットの剥離層に密着するように、支持体に接着された積層体ユニット上に位置決めされて、新たな積層体ユニットが、基板に向けて、加圧され、支持体に接着された積層体ユニット上に、新たな積層体ユニットが積層される。   Further, a new laminate unit is placed on the laminate unit adhered to the support so that the adhesive layer formed on the surface of the ceramic green sheet is in close contact with the release layer of the laminate unit adhered to the support. The new stacking unit is pressed toward the substrate, and the new stacking unit is stacked on the stacking unit adhered to the support.

次いで、新たに積層された積層体ユニットの第二の支持シートが剥離層から剥離される。   Next, the second support sheet of the newly laminated unit is released from the release layer.

同様にして、所定の数の積層体ユニットが積層されて、積層体ブロックが作製され、所定の数の積層体ブロックが積層されて、積層セラミック電子部品が製造される。   Similarly, a predetermined number of laminated units are laminated to form a laminated block, and a predetermined number of laminated blocks are laminated to produce a laminated ceramic electronic component.

これに対して、接着層が、セラミックグリーンシートの表面に転写された場合には、まず、支持体の表面に、剥離層上に形成された接着層が密着するように、積層体ユニットが位置決めされて、積層体ユニット上に圧力が加えられる。   On the other hand, when the adhesive layer is transferred to the surface of the ceramic green sheet, first, the laminate unit is positioned so that the adhesive layer formed on the release layer is in close contact with the surface of the support. Then, pressure is applied on the laminate unit.

支持体の表面に、剥離層上に形成された接着層が接着されると、第一の支持シートがセラミックグリーンシートから剥離される。   When the adhesive layer formed on the release layer is adhered to the surface of the support, the first support sheet is released from the ceramic green sheet.

さらに、新たな積層体ユニットが、剥離層の表面に形成された接着層が、支持体に接着された積層体ユニットのセラミックグリーンシートに密着するように、支持体に接着された積層体ユニット上に位置決めされて、新たな積層体ユニットが、基板に向けて、加圧され、支持体に接着された積層体ユニット上に、新たな積層体ユニットが積層される。   Further, a new laminate unit is placed on the laminate unit bonded to the support such that the adhesive layer formed on the surface of the release layer is in close contact with the ceramic green sheet of the laminate unit bonded to the support. And the new laminate unit is pressed toward the substrate, and the new laminate unit is laminated on the laminate unit adhered to the support.

次いで、新たに積層された積層体ユニットの第一の支持シートがセラミックグリーンシートから剥離される。   Next, the first support sheet of the newly laminated unit is separated from the ceramic green sheet.

同様にして、所定の数の積層体ユニットが積層されて、積層体ブロックが作製され、所定の数の積層体ブロックが積層されて、積層セラミック電子部品が製造される。   Similarly, a predetermined number of laminated units are laminated to form a laminated block, and a predetermined number of laminated blocks are laminated to produce a laminated ceramic electronic component.

本発明によれば、セラミックグリーンシートの変形および破壊を防止するとともに、電極ペースト中の溶剤がセラミックグリーンシート中に染み込むことを防止することができ、セラミックグリーンシートと電極層とが積層された積層体ユニットを、所望のように、製造することができる積層セラミック電子部品用の積層体ユニットの製造方法および積層セラミック電子部品用の積層体ユニットを提供することが可能になる。   Advantageous Effects of Invention According to the present invention, it is possible to prevent deformation and destruction of a ceramic green sheet, prevent a solvent in an electrode paste from seeping into a ceramic green sheet, and form a laminate in which a ceramic green sheet and an electrode layer are stacked It is possible to provide a method of manufacturing a multilayer unit for a multilayer ceramic electronic component and a multilayer unit for a multilayer ceramic electronic component that can produce a body unit as desired.

以下、添付図面に基づいて、本発明の好ましい実施態様である積層セラミックコンデンサの製造方法につき、詳細に説明を加える。   Hereinafter, a method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor according to a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

積層セラミックコンデンサを製造するにあたっては、まず、セラミックグリーンシートを製造するために、誘電体ペーストが調製される。   In manufacturing a multilayer ceramic capacitor, first, a dielectric paste is prepared for manufacturing a ceramic green sheet.

誘電体ペーストは、通常、誘電体原料と、有機溶剤中にバインダを溶解させた有機ビヒクルを混練して、調製される。   The dielectric paste is usually prepared by kneading a dielectric material and an organic vehicle having a binder dissolved in an organic solvent.

調製された誘電体ペーストは、たとえば、エクストルージョンコーターやワイヤーバーコーターなどを用いて、第一の支持シート上に塗布され、塗膜が形成される。   The prepared dielectric paste is applied on the first support sheet using, for example, an extrusion coater or a wire bar coater to form a coating film.

第一の支持シートとしては、たとえば、ポリエチレンテレフタレートフィルムなどが用いられ、剥離性を改善するために、その表面に、シリコン樹脂、アルキド樹脂などがコーティングされる。第一の支持シートの厚さは、とくに限定されるものではないが、好ましくは、約5μmないし約100μmである。   As the first support sheet, for example, a polyethylene terephthalate film or the like is used, and the surface thereof is coated with a silicone resin, an alkyd resin, or the like to improve the releasability. The thickness of the first support sheet is not particularly limited, but is preferably about 5 μm to about 100 μm.

次いで、塗膜が、たとえば、約50℃ないし約100℃の温度で、約1分ないし約20分にわたって、乾燥され、第一の支持シート上に、セラミックグリーンシートが形成される。   The coating is then dried, for example, at a temperature of about 50 ° C. to about 100 ° C. for about 1 minute to about 20 minutes to form a ceramic green sheet on the first support sheet.

乾燥後におけるセラミックグリーンシート2の厚さは3μm以下であることが好ましく、さらに好ましくは、1.5μm以下である。   The thickness of the ceramic green sheet 2 after drying is preferably 3 μm or less, more preferably 1.5 μm or less.

図1は、第一の支持シートの表面上に、セラミックグリーンシートが形成された状態を示す略一部断面図である。   FIG. 1 is a schematic partial cross-sectional view showing a state where a ceramic green sheet is formed on a surface of a first support sheet.

実際には、第一の支持シート1は、長尺状をなし、セラミックグリーンシート2は、長尺状の第一の支持シート1の表面に、連続的に形成される。   Actually, the first support sheet 1 has an elongated shape, and the ceramic green sheets 2 are continuously formed on the surface of the elongated first support sheet 1.

一方、セラミックグリーンシート2とは別に、第二の支持シートが用意されて、第二の支持シート上に、剥離層および電極層が形成される。   On the other hand, a second support sheet is prepared separately from the ceramic green sheet 2, and a release layer and an electrode layer are formed on the second support sheet.

図2は、その表面上に、剥離層5および電極層6が形成された第二の支持シート4の略一部断面図である。   FIG. 2 is a schematic partial cross-sectional view of the second support sheet 4 having a release layer 5 and an electrode layer 6 formed on the surface thereof.

実際には、第二の支持シート4は、長尺状をなし、剥離層5は、長尺状の第二の支持シート4の表面に、連続的に形成され、剥離層5の表面に、電極層6が、所定のパターンで形成される。   Actually, the second support sheet 4 has an elongated shape, and the release layer 5 is formed continuously on the surface of the elongated second support sheet 4, and is formed on the surface of the release layer 5. The electrode layer 6 is formed in a predetermined pattern.

第二の支持シート4の表面に、剥離層5を形成するにあたっては、まず、セラミックグリーンシート2を形成する場合と同様にして、剥離層5を形成するための誘電体ペーストが調製される。   In forming the release layer 5 on the surface of the second support sheet 4, first, a dielectric paste for forming the release layer 5 is prepared in the same manner as in forming the ceramic green sheet 2.

剥離層5を形成するための誘電体ペーストは、好ましくは、セラミックグリーンシート2に含まれている誘電体と同一組成の誘電体の粒子を含んでいる。   The dielectric paste for forming the release layer 5 preferably contains dielectric particles having the same composition as the dielectric contained in the ceramic green sheet 2.

剥離層5を形成するための誘電体ペーストに含まれているバインダは、セラミックグリーンシート2に含まれているバインダと同系であっても、同系でなくてもよいが、同系であることが好ましい。   The binder contained in the dielectric paste for forming the release layer 5 may or may not be the same as the binder contained in the ceramic green sheet 2, but is preferably the same. .

こうして、誘電体ペーストが調製されると、たとえば、ワイヤーバーコーター(図示せず)を用いて、第二の支持シート4上に、誘電体ペーストが塗布され、剥離層5が形成される。   When the dielectric paste is thus prepared, the dielectric paste is applied onto the second support sheet 4 using, for example, a wire bar coater (not shown), and the release layer 5 is formed.

剥離層5の厚さは、電極層6の厚さ以下であることが好ましく、好ましくは、電極層6の厚さの約60%以下、さらに好ましくは、電極層6の厚さの約30%以下である。   The thickness of the release layer 5 is preferably not more than the thickness of the electrode layer 6, preferably not more than about 60% of the thickness of the electrode layer 6, more preferably not more than about 30% of the thickness of the electrode layer 6. It is as follows.

第二の支持シート4としては、たとえば、ポリエチレンテレフタレートフィルムなどが用いられ、剥離性を改善するために、その表面に、シリコン樹脂、アルキド樹脂などがコーティングされる。第二の支持シート4の厚さは、とくに限定されるものではなく、第一の支持シート1の厚さと同じであっても、異なっていてもよいが、好ましくは、約5μmないし約100μmである。   As the second support sheet 4, for example, a polyethylene terephthalate film or the like is used, and the surface thereof is coated with a silicon resin, an alkyd resin, or the like in order to improve releasability. The thickness of the second support sheet 4 is not particularly limited, and may be the same as or different from the thickness of the first support sheet 1, but is preferably about 5 μm to about 100 μm. is there.

剥離層5の形成後、剥離層5は、たとえば、約50℃ないし約100℃で、約1分ないし約10分にわたって、乾燥される。   After formation of the release layer 5, the release layer 5 is dried, for example, at about 50 ° C. to about 100 ° C. for about 1 minute to about 10 minutes.

剥離層5が乾燥された後、剥離層5の表面上に、焼成後に、内部電極層を構成する電極層6が、所定のパターンで形成される。   After the release layer 5 is dried, an electrode layer 6 constituting an internal electrode layer is formed in a predetermined pattern on the surface of the release layer 5 after firing.

電極層6は、約0.1μmないし約5μmの厚さに形成されることが好ましく、より好ましくは、約0.1μmないし約1.5μmである。   The electrode layer 6 is preferably formed to have a thickness of about 0.1 μm to about 5 μm, more preferably, about 0.1 μm to about 1.5 μm.

電極層6を、剥離層5上に形成するに際しては、まず、各種導電性金属や合金からなる導電体材料、焼成後に、各種導電性金属や合金からなる導電体材料となる各種酸化物、有機金属化合物、または、レジネートなどと、有機溶剤中にバインダを溶解させた有機ビヒクルとを混練して、電極ペーストが調製される。   When the electrode layer 6 is formed on the release layer 5, first, a conductive material made of various conductive metals and alloys, and after firing, various oxides that become conductive materials made of various conductive metals and alloys, An electrode paste is prepared by kneading a metal compound or a resinate with an organic vehicle in which a binder is dissolved in an organic solvent.

電極ペーストを製造する際に用いる導電体材料としては、Ni、Ni合金あるいはこれらの混合物が、好ましく用いられる。   As the conductive material used in producing the electrode paste, Ni, a Ni alloy or a mixture thereof is preferably used.

導電体材料の平均粒子径は、とくに限定されるものではないが、通常、約0.1μmないし約2μm、好ましくは、約0.2μmないし約1μmの導電性材料が用いられる。   The average particle diameter of the conductive material is not particularly limited, but usually, a conductive material having a size of about 0.1 μm to about 2 μm, preferably about 0.2 μm to about 1 μm is used.

電極層6は、スクリーン印刷機やグラビア印刷機などの印刷機を用いて、電極ペーストを、剥離層5上に印刷することによって形成される。   The electrode layer 6 is formed by printing an electrode paste on the release layer 5 using a printing machine such as a screen printing machine or a gravure printing machine.

剥離層5の表面上に、所定パターンの有する電極層6を、スクリーン印刷法やグラビア印刷法によって、形成した後に、電極層6が形成されていない剥離層5の表面に、電極層6と相補的なパターンで、スペーサ層が形成される。   After an electrode layer 6 having a predetermined pattern is formed on the surface of the release layer 5 by a screen printing method or a gravure printing method, the electrode layer 6 is complementary to the electrode layer 6 on the surface of the release layer 5 where the electrode layer 6 is not formed. The spacer layer is formed in a typical pattern.

図3は、剥離層5の表面上に、電極層6およびスペーサ層7が形成された状態を示す略一部断面図である。   FIG. 3 is a schematic partial cross-sectional view showing a state where the electrode layer 6 and the spacer layer 7 are formed on the surface of the release layer 5.

スペーサ層7は、剥離層5の表面に、電極層6を形成するのに先立って、電極層6が形成されるべき部分を除く剥離層5の表面に形成することもできる。   Prior to forming the electrode layer 6 on the surface of the release layer 5, the spacer layer 7 may be formed on the surface of the release layer 5 except for the portion where the electrode layer 6 is to be formed.

スペーサ層7を形成するにあたっては、セラミックグリーンシート2を作製したときに用いた誘電体ペーストと同様な組成の誘電体ペーストが調製され、スクリーン印刷法やグラビア印刷法により、誘電体ペーストが、電極層6が形成されていない剥離層5の表面に、電極層6と相補的なパターンで、印刷される。   In forming the spacer layer 7, a dielectric paste having the same composition as the dielectric paste used when the ceramic green sheet 2 was manufactured is prepared, and the dielectric paste is applied to the electrode paste by screen printing or gravure printing. A pattern complementary to the electrode layer 6 is printed on the surface of the release layer 5 where the layer 6 is not formed.

本実施態様においては、スペーサ層7は、ts/te=1.1になるように、剥離層5上に形成される。ここに、tsはスペーサ層7の厚さであり、teは電極層6の厚さである。   In this embodiment, the spacer layer 7 is formed on the release layer 5 so that ts / te = 1.1. Here, ts is the thickness of the spacer layer 7 and te is the thickness of the electrode layer 6.

本実施態様においては、セラミックグリーンシート2と、電極層6およびスペーサ層7は、接着層を介して、接着されるように構成されており、セラミックグリーンシート2が形成された第一の支持シート1ならびに電極層6およびスペーサ層7が形成された第二の支持シート4とは別に、さらに、第三の支持シートが用意され、第三の支持シート上に、接着層が形成されて、接着層シートが作製される。   In the present embodiment, the ceramic green sheet 2, the electrode layer 6, and the spacer layer 7 are configured to be bonded via an adhesive layer, and the first support sheet on which the ceramic green sheet 2 is formed. 1 and the second support sheet 4 on which the electrode layer 6 and the spacer layer 7 are formed, a third support sheet is further provided, and an adhesive layer is formed on the third support sheet, A layer sheet is produced.

図4は、第三の支持シート9の表面上に、接着層10が形成された接着層シート11の略一部断面図である。   FIG. 4 is a schematic partial cross-sectional view of the adhesive layer sheet 11 in which the adhesive layer 10 is formed on the surface of the third support sheet 9.

実際には、第三の支持シート9は、長尺状をなし、接着層10は、長尺状の第三の支持シート9の表面に、連続的に形成される。   Actually, the third support sheet 9 has a long shape, and the adhesive layer 10 is continuously formed on the surface of the long third support sheet 9.

第三の支持シート9としては、たとえば、ポリエチレンテレフタレートフィルムなどが用いられ、剥離性を改善するために、その表面に、シリコン樹脂、アルキド樹脂などがコーティングされる。第三の支持シート9の厚さは、とくに限定されるものではないが、好ましくは、約5μmないし約100μmである。   As the third support sheet 9, for example, a polyethylene terephthalate film or the like is used, and the surface thereof is coated with a silicone resin, an alkyd resin, or the like in order to improve the releasability. The thickness of the third support sheet 9 is not particularly limited, but is preferably about 5 μm to about 100 μm.

接着層10を形成するにあたっては、まず、接着剤溶液が調製される。   In forming the adhesive layer 10, first, an adhesive solution is prepared.

本実施態様においては、接着剤溶液は、バインダ、可塑剤および帯電防止剤と、任意成分として、剥離剤とを含んでいる。   In this embodiment, the adhesive solution contains a binder, a plasticizer, an antistatic agent, and, as an optional component, a release agent.

接着剤溶液は、セラミックグリーンシートに含まれている誘電体粒子と同一組成の誘電体粒子を含んでいてもよい。接着剤溶液が、誘電体粒子を含んでいる場合には、誘電体粒子のバインダ重量に対する割合が、セラミックグリーンシートに含まれている誘電体粒子のバインダ重量に対する割合より小さいことが好ましい。   The adhesive solution may include dielectric particles having the same composition as the dielectric particles contained in the ceramic green sheet. When the adhesive solution contains dielectric particles, the ratio of the dielectric particles to the binder weight is preferably smaller than the ratio of the dielectric particles contained in the ceramic green sheet to the binder weight.

接着剤溶液に含まれるバインダは、セラミックグリーンシートを形成するための誘電体ペーストに含まれるバインダと同系のバインダであることが好ましいが、セラミックグリーンシートを形成するための誘電体ペーストに含まれるバインダと同系でないバインダであってもよい。   The binder contained in the adhesive solution is preferably a binder of the same type as the binder contained in the dielectric paste for forming the ceramic green sheet, but the binder contained in the dielectric paste for forming the ceramic green sheet is preferred. A binder that is not the same as the above may be used.

接着剤溶液に含まれる可塑剤は、セラミックグリーンシートを形成するための誘電体ペーストに含まれる可塑剤と同系の可塑剤であることが好ましいが、セラミックグリーンシートを形成するための誘電体ペーストに含まれるバインダと同系でない可塑剤であってもよい。   The plasticizer contained in the adhesive solution is preferably a plasticizer of the same type as the plasticizer contained in the dielectric paste for forming the ceramic green sheet, but is preferably used in the dielectric paste for forming the ceramic green sheet. A plasticizer that is not the same as the binder contained may be used.

可塑剤の含有量は、バインダ100重量部に対して、約0重量部ないし約200重量部、好ましくは、約20重量部ないし約200重量部、さらに好ましくは、約50重量部ないし約100重量部である。   The content of the plasticizer is about 0 to about 200 parts by weight, preferably about 20 to about 200 parts by weight, and more preferably about 50 to about 100 parts by weight, based on 100 parts by weight of the binder. Department.

本実施態様において、接着剤溶液は、バインダの0.01重量%ないし15重量%の帯電防止剤を含んでいる。   In this embodiment, the adhesive solution contains 0.01% to 15% by weight of the binder of the antistatic agent.

本実施態様においては、帯電防止剤として、イミダゾリン系界面活性剤が用いられている。   In this embodiment, an imidazoline surfactant is used as the antistatic agent.

こうして調製された接着剤溶液は、たとえば、バーコータ、エクストルージョンコータ、リバースコータ、ディップコーター、キスコーターなどによって、第三の支持シート9上に塗布され、好ましくは、約0.02μmないし約0.3μm、より好ましくは、約0.02μmないし約0.1μmの厚さの接着層10が形成される。接着層10の厚さが、約0.02μm未満の場合には、接着力が低下し、一方、接着層10の厚さが、約0.3μmを越えると、欠陥(隙間)の発生原因となり、好ましくない。   The adhesive solution thus prepared is applied on the third support sheet 9 by, for example, a bar coater, an extrusion coater, a reverse coater, a dip coater, a kiss coater, or the like, and preferably has a thickness of about 0.02 μm to about 0.3 μm. More preferably, an adhesive layer 10 having a thickness of about 0.02 μm to about 0.1 μm is formed. When the thickness of the adhesive layer 10 is less than about 0.02 μm, the adhesive strength is reduced. On the other hand, when the thickness of the adhesive layer 10 exceeds about 0.3 μm, defects (gaps) may be generated. Is not preferred.

接着層10は、たとえば、室温(25℃)ないし約80℃の温度で、約1分ないし約5分にわたって、乾燥される。接着層10の乾燥条件は、とくに限定されるものではない。   The adhesive layer 10 is dried at a temperature of, for example, room temperature (25 ° C.) to about 80 ° C. for about 1 minute to about 5 minutes. The conditions for drying the adhesive layer 10 are not particularly limited.

図5は、第三の支持シート9上に形成された接着層10を、第一の支持シート1上に形成されたセラミックグリーンシート2の表面に接着させ、接着層10から第三の支持シート9を剥離する接着・剥離装置の好ましい実施態様を示す略断面図である。   FIG. 5 shows that the adhesive layer 10 formed on the third support sheet 9 is adhered to the surface of the ceramic green sheet 2 formed on the first support sheet 1, and the third support sheet is formed from the adhesive layer 10. 9 is a schematic sectional view showing a preferred embodiment of the bonding / peeling device for peeling 9;

図5に示されるように、本実施態様にかかる接着・剥離装置は、約40℃ないし約100℃の温度に保持された一対の加圧ローラ15、16を備えている。   As shown in FIG. 5, the bonding / peeling apparatus according to the present embodiment includes a pair of pressure rollers 15 and 16 maintained at a temperature of about 40 ° C. to about 100 ° C.

図5に示されるように、接着層10が形成された第三の支持シート9は、第三の支持シート9に加えられる引張り力によって、第三の支持シート9が、上方の加圧ローラ15に巻回されるように、斜め上方から、一対の加圧ローラ15、16間に供給され、セラミックグリーンシート2が形成された第一の支持シート1は、第一の支持シート1が、下方の加圧ローラ16に接触し、セラミックグリーンシート2が、第三の支持シート9上に形成された接着層10の表面に接触するように、略水平方向に、一対の加圧ローラ15、16間に供給される。   As shown in FIG. 5, the third support sheet 9 on which the adhesive layer 10 is formed is separated from the third support sheet 9 by the tensile force applied to the third support sheet 9. The first support sheet 1 on which the ceramic green sheet 2 is formed is supplied from a diagonally upper side to the first support sheet 1 so that the first support sheet 1 And a pair of pressure rollers 15, 16 in a substantially horizontal direction so that the ceramic green sheet 2 comes into contact with the surface of the adhesive layer 10 formed on the third support sheet 9. Supplied in between.

第一の支持シート1および第三の支持シート9の供給速度は、たとえば、2m/秒に設定され、一対の加圧ローラ15、16のニップ圧力は、好ましくは、約0.2ないし約15MPa、より好ましくは、約0.2MPaないし約6MPaに設定される。   The supply speed of the first support sheet 1 and the third support sheet 9 is set to, for example, 2 m / sec, and the nip pressure of the pair of pressure rollers 15, 16 is preferably about 0.2 to about 15 MPa. , More preferably, from about 0.2 MPa to about 6 MPa.

その結果、第三の支持シート9上に形成された接着層10が、第一の支持シート1上に形成されたセラミックグリーンシート2の表面に接着される。   As a result, the adhesive layer 10 formed on the third support sheet 9 is bonded to the surface of the ceramic green sheet 2 formed on the first support sheet 1.

図5に示されるように、接着層10が形成された第三の支持シート9は、一対の加圧ローラ15、16の間から、斜め上方に向けて、搬送され、したがって、第三の支持シート9が、セラミックグリーンシート2の表面に接着した接着層10から剥離される。   As shown in FIG. 5, the third support sheet 9 on which the adhesive layer 10 is formed is conveyed obliquely upward from between the pair of pressure rollers 15, 16. The sheet 9 is peeled off from the adhesive layer 10 adhered to the surface of the ceramic green sheet 2.

接着層10から、第三の支持シート9を剥離する際、静電気が発生し、塵埃が付着したり、接着層が、第三の支持シートに引き付けられ、所望のように、第三の支持シートを、接着層から剥離することが困難になることがあるが、本実施態様においては、接着層10が、バインダに対して、0.01重量%ないし15重量%のイミダゾリン系界面活性剤を含んでいるから、静電気の発生を効果的に防止することが可能になる。   When the third support sheet 9 is peeled from the adhesive layer 10, static electricity is generated, dust adheres, and the adhesive layer is attracted to the third support sheet, and as desired, the third support sheet 9 is removed. In this embodiment, the adhesive layer 10 contains 0.01% to 15% by weight of the imidazoline-based surfactant based on the binder. Therefore, generation of static electricity can be effectively prevented.

さらに、本発明者の研究によれば、接着層10が、バインダの0.01重量%ないし15重量%のイミダゾリン系界面活性剤を含有している場合には、少量で、静電気を防止することが可能になるとともに、とくに小さな剥離力で、接着層10から、第三の支持シート9を剥離することが可能になることが判明しており、したがって、容易に、かつ、所望のように、第三の支持シート9を、接着層10から剥離することが可能になる。   Further, according to the study of the present inventor, when the adhesive layer 10 contains 0.01% to 15% by weight of the binder of the imidazoline surfactant, it is possible to prevent static electricity with a small amount. It has been found that it is possible to peel off the third support sheet 9 from the adhesive layer 10 with a particularly small peeling force, so that it can be easily and as desired. The third support sheet 9 can be peeled off from the adhesive layer 10.

こうして、第一の支持シート1上に形成されたセラミックグリーンシート2の表面に、接着層10が接着され、接着層10から、第三の支持シート9が剥離されると、セラミックグリーンシート2が、接着層10を介して、第二の支持シート4上に形成された電極層6およびスペーサ層7の表面に接着される。   Thus, the adhesive layer 10 is adhered to the surface of the ceramic green sheet 2 formed on the first support sheet 1, and when the third support sheet 9 is separated from the adhesive layer 10, the ceramic green sheet 2 is formed. The adhesive layer 10 is bonded to the surface of the electrode layer 6 and the spacer layer 7 formed on the second support sheet 4 via the adhesive layer 10.

図6は、電極層6およびスペーサ層7の表面に、接着層10を介して、セラミックグリーンシート2を接着する接着装置の好ましい実施態様を示す略断面図である。   FIG. 6 is a schematic cross-sectional view showing a preferred embodiment of the bonding apparatus for bonding the ceramic green sheet 2 to the surfaces of the electrode layer 6 and the spacer layer 7 via the bonding layer 10.

図6に示されるように、本実施態様にかかる接着装置は、約40℃ないし約100℃の温度に保持された一対の加圧ローラ17、18を備え、電極層6およびスペーサ層7が形成された第二の支持シート4は、第二の支持シート4が上方の加圧ローラ17に接触するように、一対の加圧ローラ17、18間に供給され、セラミックグリーンシート2および接着層10が形成された第一の支持シート1は、第一の支持シート1が下方の加圧ローラ18に接触するように、一対の加圧ローラ17、18間に供給される。   As shown in FIG. 6, the bonding apparatus according to the present embodiment includes a pair of pressure rollers 17 and 18 maintained at a temperature of about 40 ° C. to about 100 ° C., on which the electrode layer 6 and the spacer layer 7 are formed. The supplied second support sheet 4 is supplied between the pair of pressure rollers 17 and 18 so that the second support sheet 4 contacts the upper pressure roller 17, and the ceramic green sheet 2 and the adhesive layer 10 are provided. Is formed between the pair of pressure rollers 17, 18 such that the first support sheet 1 contacts the lower pressure roller 18.

本実施態様においては、加圧ローラ17は金属ローラによって構成され、加圧ローラ18はゴムローラによって構成されている。   In the present embodiment, the pressure roller 17 is constituted by a metal roller, and the pressure roller 18 is constituted by a rubber roller.

第一の支持シート1および第二の支持シート4の供給速度は、たとえば、2m/秒に設定され、一対の加圧ローラ17、18にニップ圧力は、好ましくは、約0.2ないし約15MPa、より好ましくは、約0.2MPaないし約6MPaに設定される。   The supply speed of the first support sheet 1 and the second support sheet 4 is set to, for example, 2 m / sec, and the nip pressure between the pair of pressure rollers 17, 18 is preferably about 0.2 to about 15 MPa. , More preferably, from about 0.2 MPa to about 6 MPa.

本実施態様においては、セラミックグリーンシート2と、電極層6およびスペーサ層7とは、接着層10を介して、接着され、従来のように、セラミックグリーンシート2、電極層6およびスペーサ層7に含まれているバインダの粘着力や、セラミックグリーンシート2、電極層6およびスペーサ層7の変形を利用して、セラミックグリーンシート2と、電極層6およびスペーサ層7とを接着してはいないから、たとえば、約0.2MPaないし約15MPaの低い圧力で、セラミックグリーンシート2と、電極層6およびスペーサ層7とを接着することができる。   In the present embodiment, the ceramic green sheet 2, the electrode layer 6 and the spacer layer 7 are bonded via the bonding layer 10, and the ceramic green sheet 2, the electrode layer 6 and the spacer layer 7 are bonded to each other as in the related art. The ceramic green sheet 2 is not bonded to the electrode layer 6 and the spacer layer 7 by utilizing the adhesive strength of the contained binder and the deformation of the ceramic green sheet 2, the electrode layer 6 and the spacer layer 7. For example, the ceramic green sheet 2 can be bonded to the electrode layer 6 and the spacer layer 7 at a low pressure of about 0.2 MPa to about 15 MPa.

したがって、セラミックグリーンシート2、電極層6およびスペーサ層7の変形を防止することが可能になるから、こうして得られたセラミックグリーンシート2、電極層6およびスペーサ層7の積層体を積層して、積層セラミックコンデンサを作製する際の積層精度を向上させることが可能になる。   Therefore, it is possible to prevent the deformation of the ceramic green sheet 2, the electrode layer 6, and the spacer layer 7, and thus, the obtained laminate of the ceramic green sheet 2, the electrode layer 6, and the spacer layer 7 is laminated, It is possible to improve the lamination accuracy when producing a multilayer ceramic capacitor.

また、本実施態様においては、電極層6および電極層6よりも密度が小さく、圧縮率が高いスペーサ層7が、ts/te=1.1となるように形成されているから、電極層6およびスペーサ層7を、接着層10を介して、セラミックグリーンシート2上に転写する際に、加圧によって、スペーサ層7が圧縮され、接着層10を介して、スペーサ層7と、セラミックグリーンシート2とを確実に接着させることができ、したがって、第二の支持シート4を剥離するときに、スペーサ層7が、第二の支持シート4とともに、剥離することを確実に防止することが可能になる。   In the present embodiment, the electrode layer 6 and the spacer layer 7 having a lower density and a higher compression ratio than the electrode layer 6 are formed so that ts / te = 1.1. When the spacer layer 7 is transferred onto the ceramic green sheet 2 via the adhesive layer 10, the spacer layer 7 is compressed by pressure, and the spacer layer 7 and the ceramic green sheet are bonded via the adhesive layer 10. 2 can be securely bonded to each other, so that when the second support sheet 4 is peeled, the spacer layer 7 can be reliably prevented from peeling off together with the second support sheet 4. Become.

さらに、本実施態様においては、第二の支持シート4上に形成された電極層6が乾燥した後に、接着層10を介して、電極層6を、セラミックグリーンシート2の表面に接着するように構成されているから、セラミックグリーンシート2の表面に、電極ペーストを印刷して、電極層6を形成する場合のように、電極ペーストが、セラミックグリーンシート2に含まれているバインダを溶解させ、あるいは、膨潤させることがなく、また、電極ペーストがセラミックグリーンシート2中に染み込むこともなく、所望のように、セラミックグリーンシート2の表面に、電極層6を形成することが可能になる。   Further, in the present embodiment, after the electrode layer 6 formed on the second support sheet 4 is dried, the electrode layer 6 is bonded to the surface of the ceramic green sheet 2 via the adhesive layer 10. Since the electrode paste is formed, the electrode paste dissolves the binder contained in the ceramic green sheet 2 as in the case where the electrode paste is printed on the surface of the ceramic green sheet 2 to form the electrode layer 6. Alternatively, the electrode layer 6 can be formed on the surface of the ceramic green sheet 2 as desired without swelling and without the electrode paste seeping into the ceramic green sheet 2.

以上のようにして、第一の支持シート1上に形成されたセラミックグリーンシート2の表面に、接着層10を介して、第二の支持シート4上に形成された電極層6およびスペーサ層7が接着されると、剥離層5から、第二の支持シート4が剥離される。   As described above, the electrode layer 6 and the spacer layer 7 formed on the second support sheet 4 are formed on the surface of the ceramic green sheet 2 formed on the first support sheet 1 with the adhesive layer 10 interposed therebetween. Is adhered, the second support sheet 4 is peeled from the release layer 5.

こうして、第一の支持シート1の表面上に、セラミックグリーンシート2、接着層10、電極層6、スペーサ層7および剥離層5が積層された積層体が形成される。   Thus, on the surface of the first support sheet 1, a laminate is formed in which the ceramic green sheet 2, the adhesive layer 10, the electrode layer 6, the spacer layer 7, and the release layer 5 are laminated.

次いで、第一の支持シート1上に形成されたセラミックグリーンシート2の表面に、接着層シート11の接着層10を転写したのと全く同様にして、接着層シート11の接着層10が、剥離層5の表面に転写される。   Next, the adhesive layer 10 of the adhesive layer sheet 11 is peeled off in exactly the same manner as the transfer of the adhesive layer 10 of the adhesive layer sheet 11 onto the surface of the ceramic green sheet 2 formed on the first support sheet 1. It is transferred to the surface of layer 5.

以上のようにして得られた積層体が、所定のサイズに裁断されて、第一の支持シート1の表面上に、セラミックグリーンシート2、接着層10、電極層6、スペーサ層7、剥離層5および接着層10が積層された所定のサイズを有する積層体ユニットが作製される。   The laminate obtained as described above is cut into a predetermined size, and a ceramic green sheet 2, an adhesive layer 10, an electrode layer 6, a spacer layer 7, a release layer is formed on the surface of the first support sheet 1. 5 and the adhesive layer 10 are laminated to produce a laminated unit having a predetermined size.

図7は、こうして、所定のサイズに裁断された積層体ユニットの略断面図である。   FIG. 7 is a schematic cross-sectional view of the laminate unit cut into a predetermined size.

図7に示されるように、積層体ユニット20は、第一の支持シート1の表面上に形成され、セラミックグリーンシート2、接着層10、電極層6、スペーサ層7、剥離層5および接着層10を含んでいる。   As shown in FIG. 7, the laminate unit 20 is formed on the surface of the first support sheet 1, and includes a ceramic green sheet 2, an adhesive layer 10, an electrode layer 6, a spacer layer 7, a release layer 5, and an adhesive layer. 10 is included.

同様にして、第一の支持シート1の表面上に、セラミックグリーンシート2、接着層10、電極層6、スペーサ層7および剥離層5を積層し、剥離層5の表面に、接着層10を転写して、それぞれが、セラミックグリーンシート2、接着層10、電極層6、スペーサ層7、剥離層5および接着層10を含む多数の積層体ユニット20が作製される。   Similarly, the ceramic green sheet 2, the adhesive layer 10, the electrode layer 6, the spacer layer 7, and the release layer 5 are laminated on the surface of the first support sheet 1, and the adhesive layer 10 is formed on the surface of the release layer 5. By transferring, a large number of laminate units 20 each including the ceramic green sheet 2, the adhesive layer 10, the electrode layer 6, the spacer layer 7, the release layer 5, and the adhesive layer 10 are produced.

こうして作製された多数の積層体ユニット20を、剥離層5の表面に転写された接着層10を介して、積層することによって、積層セラミックコンデンサが作製される。   The multilayer ceramic capacitor is manufactured by laminating a large number of the multilayer units 20 thus manufactured via the adhesive layer 10 transferred to the surface of the release layer 5.

図8は、積層体ユニット20の積層プロセスの第一のステップを示す略一部断面図である。   FIG. 8 is a schematic partial cross-sectional view showing the first step of the stacking process of the stack unit 20.

図8に示されるように、積層体ユニット20の積層にあたっては、まず、多数の孔26が形成された基板25上に、支持体28がセットされる。   As shown in FIG. 8, when stacking the stacked unit 20, first, a support 28 is set on a substrate 25 in which a large number of holes 26 are formed.

支持体28としては、たとえば、ポリエチレンテレフタレートフィルムなどが用いられる。   As the support 28, for example, a polyethylene terephthalate film or the like is used.

支持体28は、基板25に形成された多数の孔26を介して、エアにより吸引され、基板25上の所定の位置に固定される。   The support 28 is sucked by air through a number of holes 26 formed in the substrate 25 and is fixed at a predetermined position on the substrate 25.

図9は、積層体ユニット20の積層プロセスの第二のステップを示す略一部断面図である。   FIG. 9 is a schematic partial cross-sectional view illustrating a second step of the stacking process of the stack unit 20.

次いで、図9に示されるように、剥離層5の表面に転写された接着層10の表面が、支持体28の表面に接触するように、積層体ユニット20が位置決めされて、積層体ユニット20の第一の支持シート1が、プレス機などによって、加圧される。   Next, as shown in FIG. 9, the laminate unit 20 is positioned such that the surface of the adhesive layer 10 transferred to the surface of the release layer 5 contacts the surface of the support 28, and Is pressed by a press or the like.

その結果、積層体ユニット20が、剥離層5の表面に転写された接着層10を介して、基板25上に固定された支持体28上に接着されて、積層される。   As a result, the laminate unit 20 is adhered and laminated on the support 28 fixed on the substrate 25 via the adhesive layer 10 transferred to the surface of the release layer 5.

図10は、積層体ユニット20の積層プロセスの第三のステップを示す略一部断面図である。   FIG. 10 is a schematic partial cross-sectional view showing a third step of the stacking process of the stack unit 20.

積層体ユニット20が、剥離層5の表面に転写された接着層10を介して、基板25上に固定された支持体28上に接着されて、積層されると、図10に示されるように、第一の支持シート1が、積層体ユニット20のセラミックグリーンシート2から剥離される。   When the laminate unit 20 is adhered and laminated on the support 28 fixed on the substrate 25 via the adhesive layer 10 transferred to the surface of the release layer 5, as shown in FIG. Then, the first support sheet 1 is peeled from the ceramic green sheet 2 of the laminate unit 20.

こうして、剥離層5の表面に転写された接着層10を介して、基板25上に固定されている支持体28上に積層された積層体ユニット20の剥離層5上に、さらに、積層体ユニット20が積層される。   Thus, on the release layer 5 of the laminate unit 20 laminated on the support 28 fixed on the substrate 25, via the adhesive layer 10 transferred to the surface of the release layer 5, 20 are stacked.

図11は、積層体ユニット20の積層プロセスの第四のステップを示す略一部断面図である。   FIG. 11 is a schematic partial cross-sectional view illustrating a fourth step of the stacking process of the stack unit 20.

次いで、図11に示されるように、剥離層5の表面に転写された接着層10の表面が、基板25に固定された支持体28に接着された積層体ユニット20のセラミックグリーンシート2の表面に接触するように、新たな積層体ユニット20が位置決めされて、新たな積層体ユニット20の第一の支持シート1が、プレス機などによって、加圧される。   Then, as shown in FIG. 11, the surface of the adhesive layer 10 transferred to the surface of the release layer 5 is adhered to the support 28 fixed to the substrate 25 and the surface of the ceramic green sheet 2 of the laminate unit 20. The new laminate unit 20 is positioned so as to contact the first laminate sheet 20, and the first support sheet 1 of the new laminate unit 20 is pressed by a press or the like.

その結果、新たな積層体ユニット20が、剥離層5の表面に転写された接着層10を介して、基板25上に固定されている支持体28上に接着された積層体ユニット20上に、積層される。   As a result, a new laminate unit 20 is placed on the laminate unit 20 bonded on the support 28 fixed on the substrate 25 via the adhesive layer 10 transferred to the surface of the release layer 5. It is laminated.

図12は、積層体ユニット20の積層プロセスの第五のステップを示す略一部断面図である。   FIG. 12 is a schematic partial cross-sectional view showing a fifth step of the stacking process of the stack unit 20.

新たな積層体ユニット20が、接着層10を介して、基板25上に固定されている支持体28上に接着された積層体ユニット20上に、積層されると、図12に示されるように、新たに積層された積層体ユニット20の第一の支持シート1が、積層体ユニット20のセラミックグリーンシート2から剥離される。   When a new laminate unit 20 is laminated via the adhesive layer 10 on the laminate unit 20 adhered to the support 28 fixed on the substrate 25, as shown in FIG. Then, the first support sheet 1 of the newly laminated unit 20 is separated from the ceramic green sheet 2 of the laminated unit 20.

同様にして、積層体ユニット20が、次々に積層されて、所定の数の積層体ユニット20が、基板25に固定された支持体28上に積層されて、積層体ブロックが作製される。   Similarly, the laminate units 20 are successively laminated, and a predetermined number of the laminate units 20 are laminated on the support 28 fixed to the substrate 25 to produce a laminate block.

所定の数の積層体ユニット20が、基板25に固定されている支持体28上に積層されて、積層体ブロックが作製されると、基板25に固定されている支持体28上に、所定の数の積層体ユニット20が積層された積層体ブロックが、積層セラミックコンデンサの外層上に積層される。   When a predetermined number of the laminate units 20 are stacked on the support 28 fixed to the substrate 25 to form a laminate block, a predetermined number of the laminate units 20 are placed on the support 28 fixed to the substrate 25. A multilayer block in which a number of multilayer units 20 are stacked is stacked on the outer layer of the multilayer ceramic capacitor.

図13は、基板25に固定されている支持体28上に積層された積層体ブロックを、積層セラミックコンデンサの外層上に積層する積層プロセスの第一のステップを示す略一部断面図である。   FIG. 13 is a schematic partial cross-sectional view showing a first step of a laminating process of laminating a laminate block laminated on a support 28 fixed to a substrate 25 on an outer layer of a multilayer ceramic capacitor.

図13に示されるように、まず、多数の孔31が形成された基台30上に、接着層32が形成された外層33がセットされる。   As shown in FIG. 13, first, an outer layer 33 on which an adhesive layer 32 is formed is set on a base 30 on which a number of holes 31 are formed.

外層33は、基台30に形成された多数の孔31を介して、エアにより吸引され、基台30上の所定の位置に固定される。   The outer layer 33 is sucked by air through a large number of holes 31 formed in the base 30 and fixed at a predetermined position on the base 30.

次いで、図13に示されるように、多数の孔26を介して、エアにより吸引され、基板25上の所定の位置に固定されている支持体28上に積層された積層体ブロック40が、最後に積層された積層体ユニット20のセラミックグリーンシート2の表面が、外層33上に形成された接着層32の表面に接触するように、位置決めされる。   Next, as shown in FIG. 13, the stacked block 40, which is sucked by air through the large number of holes 26 and stacked on the support 28 fixed at a predetermined position on the substrate 25, Is positioned so that the surface of the ceramic green sheet 2 of the multilayer unit 20 stacked on the outer layer 33 contacts the surface of the adhesive layer 32 formed on the outer layer 33.

次いで、エアによる支持体28の吸引が停止されて、基板25が、積層体ブロック40を支持している支持体28から取り去られる。   Next, the suction of the support 28 by the air is stopped, and the substrate 25 is removed from the support 28 supporting the stacked block 40.

基板25が、支持体28から取り去られると、プレス機などによって、支持体28が加圧される。   When the substrate 25 is removed from the support 28, the support 28 is pressed by a press or the like.

その結果、積層体ブロック40が、接着層32を介して、基台30上に固定された外層33上に接着されて、積層される。   As a result, the laminate block 40 is bonded and laminated on the outer layer 33 fixed on the base 30 via the adhesive layer 32.

図14は、基板25に固定されている支持体28上に積層された積層体ブロックを、積層セラミックコンデンサの外層上に積層する積層プロセスの第二のステップを示す略一部断面図である。   FIG. 14 is a schematic partial cross-sectional view showing a second step of the laminating process of laminating the laminated block laminated on the support 28 fixed to the substrate 25 on the outer layer of the multilayer ceramic capacitor.

積層体ブロック40が、接着層32を介して、基台30上に固定された外層33上に接着されて、積層されると、図14に示されるように、支持体28が、積層体ブロック40の接着層10から剥離される。   When the laminate block 40 is adhered onto the outer layer 33 fixed on the base 30 via the adhesive layer 32 and laminated, as shown in FIG. The adhesive layer 10 is peeled off.

こうして、接着層32を介して、基台30上に固定されている外層33上に、所定の数の積層体ユニット20が積層された積層体ブロック40が積層される。   Thus, the laminate block 40 in which the predetermined number of the laminate units 20 are laminated on the outer layer 33 fixed on the base 30 via the adhesive layer 32 is laminated.

接着層32を介して、基台30上に固定されている外層33上に、積層体ブロック40が積層されると、基台30上に固定されている外層33上に積層された積層体ブロック40の最上の積層体ユニット20の接着層10上に、さらに、図8ないし図12に示されたステップにしたがって、基板25に固定されている支持体28上に、所定の数の積層体ユニット20が積層されて、作製された新たな積層体ブロック40が積層される。   When the laminate block 40 is laminated on the outer layer 33 fixed on the base 30 via the adhesive layer 32, the laminate block laminated on the outer layer 33 fixed on the base 30 A predetermined number of the laminate units are placed on the adhesive layer 10 of the uppermost laminate unit 20 of the forty and on the support 28 fixed to the substrate 25 according to the steps shown in FIGS. 20 are laminated, and a new laminated block 40 thus produced is laminated.

図15は、基板25に固定されている支持体28上に積層された積層体ブロックを、積層セラミックコンデンサの外層上に積層する積層プロセスの第三のステップを示す略一部断面図である。   FIG. 15 is a schematic partial cross-sectional view showing a third step of the laminating process of laminating the laminated block laminated on the support 28 fixed to the substrate 25 on the outer layer of the laminated ceramic capacitor.

図15に示されるように、多数の孔26を介して、エアにより吸引され、基板25上の所定の位置に固定されている支持体28上に新たに積層された積層体ブロック40が、最後に積層された積層体ユニット20のセラミックグリーンシート2の表面が、基台30上に固定されている外層33上に積層された積層体ブロック40の最上の積層体ユニット20の接着層10の表面に接触するように、位置決めされる。   As shown in FIG. 15, the stacked block 40 newly sucked on the support 28 fixed at a predetermined position on the substrate 25 by the air is sucked through the many holes 26, The surface of the ceramic green sheet 2 of the laminate unit 20 laminated on the surface of the adhesive layer 10 of the uppermost laminate unit 20 of the laminate block 40 laminated on the outer layer 33 fixed on the base 30 Is positioned so as to come into contact with.

次いで、エアによる支持体28の吸引が停止されて、基板25が、積層体ブロック40を支持している支持体28から取り去られる。   Next, the suction of the support 28 by the air is stopped, and the substrate 25 is removed from the support 28 supporting the stacked block 40.

基板25が、支持体28から取り去られると、プレス機などによって、支持体28が加圧される。   When the substrate 25 is removed from the support 28, the support 28 is pressed by a press or the like.

その結果、新たに積層された積層体ブロック40が、接着層10を介して、基台30上に固定されている外層33上に積層された積層体ブロック40に接着されて、積層される。   As a result, the newly laminated block 40 is bonded via the adhesive layer 10 to the laminated block 40 laminated on the outer layer 33 fixed on the base 30 and laminated.

図16は、基板25に固定されている支持体28上に積層された積層体ブロックを、積層セラミックコンデンサの外層上に積層する積層プロセスの第四のステップを示す略一部断面図である。   FIG. 16 is a schematic partial cross-sectional view showing a fourth step of the lamination process of laminating the laminated block laminated on the support 28 fixed to the substrate 25 on the outer layer of the multilayer ceramic capacitor.

新たに積層された積層体ブロック40が、接着層10を介して、基台30上に固定されている外層33上に積層された積層体ブロック40に接着されて、積層されると、図16に示されるように、支持体28が、新たに積層された積層体ブロック40の接着層10から剥離される。   When the newly laminated block 40 is adhered to the laminated block 40 laminated on the outer layer 33 fixed on the base 30 via the adhesive layer 10 and laminated, FIG. As shown in (2), the support 28 is peeled off from the adhesive layer 10 of the newly laminated block 40.

こうして、基台30上に固定されている外層33上に積層された積層体ブロック40上に、接着層10を介して、新たに積層された積層体ブロック40が接着されて、積層される。   In this way, the newly laminated block 40 is bonded and laminated on the laminated block 40 laminated on the outer layer 33 fixed on the base 30 via the adhesive layer 10.

同様にして、基板25に固定されている支持体28上に積層された積層体ブロック40が、次々に積層されて、所定の数の積層体ブロック40、したがって、所定の数の積層体ユニット20が、積層セラミックコンデンサの外層33上に積層される。   Similarly, the laminate blocks 40 laminated on the support 28 fixed to the substrate 25 are sequentially laminated, and a predetermined number of the laminate blocks 40 and, therefore, a predetermined number of the laminate units 20 are stacked. Are laminated on the outer layer 33 of the multilayer ceramic capacitor.

こうして、積層セラミックコンデンサの外層33上に、所定の数の積層体ユニット20が積層されると、他方の外層(図示せず)が、接着層を介して、接着されて、所定の数の積層体ユニット20を含む積層体が作成される。   In this way, when a predetermined number of the multilayer units 20 are stacked on the outer layer 33 of the multilayer ceramic capacitor, the other outer layer (not shown) is bonded via an adhesive layer, and the predetermined number of A laminate including the body unit 20 is created.

次いで、所定の数の積層体ユニット20を含む積層体が、所定のサイズに裁断されて、多数のセラミックグリーンチップが作製される。   Next, the multilayer body including the predetermined number of multilayer units 20 is cut into a predetermined size, and a large number of ceramic green chips are manufactured.

こうして作製されたセラミックグリーンチップは、還元ガス雰囲気下に置かれて、バインダが除去され、さらに、焼成される。   The ceramic green chip thus manufactured is placed in a reducing gas atmosphere, the binder is removed, and the chip is fired.

次いで、焼成されたセラミックグリーンチップに、必要な外部電極などが取り付けられて、積層セラミックコンデンサが作製される。   Next, necessary external electrodes and the like are attached to the fired ceramic green chip, and a multilayer ceramic capacitor is manufactured.

本実施態様によれば、セラミックグリーンシート2と、電極層6およびスペーサ層7とは、接着層10を介して、接着され、従来のように、セラミックグリーンシート2、電極層6およびスペーサ層7に含まれているバインダの粘着力や、セラミックグリーンシート2、電極層6およびスペーサ層7の変形を利用して、セラミックグリーンシート2と、電極層6およびスペーサ層7とを接着してはいないから、たとえば、約0.2MPaないし約15MPaの低い圧力で、セラミックグリーンシート2と、電極層6およびスペーサ層7とを接着することができる。   According to the present embodiment, the ceramic green sheet 2, the electrode layer 6, and the spacer layer 7 are bonded via the bonding layer 10, and the ceramic green sheet 2, the electrode layer 6, and the spacer layer 7 are formed in a conventional manner. The ceramic green sheet 2 is not bonded to the electrode layer 6 and the spacer layer 7 by utilizing the adhesive force of the binder contained in the ceramic green sheet 2 and the deformation of the ceramic green sheet 2, the electrode layer 6 and the spacer layer 7. Therefore, the ceramic green sheet 2 can be bonded to the electrode layer 6 and the spacer layer 7 at a low pressure of, for example, about 0.2 MPa to about 15 MPa.

したがって、セラミックグリーンシート2、電極層6およびスペーサ層7の変形を防止することが可能になるから、こうして得られたセラミックグリーンシート2、電極層6およびスペーサ層7の積層体を積層して、積層セラミックコンデンサを作製する際の積層精度を向上させることが可能になる。   Therefore, it is possible to prevent the deformation of the ceramic green sheet 2, the electrode layer 6, and the spacer layer 7, and thus, the obtained laminate of the ceramic green sheet 2, the electrode layer 6, and the spacer layer 7 is laminated, It is possible to improve the lamination accuracy when producing a multilayer ceramic capacitor.

また、本実施態様によれば、第二の支持シート4上に形成された電極層6が乾燥した後に、接着層10を介して、セラミックグリーンシート2の表面に接着するように構成されているから、セラミックグリーンシート2の表面に、電極ペーストを印刷して、電極層6を形成する場合のように、電極ペーストが、セラミックグリーンシート2に含まれているバインダを溶解させ、あるいは、膨潤させることがなく、また、電極ペーストがセラミックグリーンシート2中に染み込むこともなく、所望のように、セラミックグリーンシート2の表面に、電極層6を形成することが可能になる。   Further, according to this embodiment, after the electrode layer 6 formed on the second support sheet 4 is dried, it is configured to adhere to the surface of the ceramic green sheet 2 via the adhesive layer 10. Then, as in the case where the electrode paste is printed on the surface of the ceramic green sheet 2 to form the electrode layer 6, the electrode paste dissolves or swells the binder contained in the ceramic green sheet 2. Thus, the electrode layer 6 can be formed on the surface of the ceramic green sheet 2 as desired without causing the electrode paste to permeate into the ceramic green sheet 2.

さらに、接着層10から、第三の支持シート9を剥離する際、静電気が発生し、塵埃が付着したり、接着層10が、第三の支持シート9に引き付けられ、所望のように、第三の支持シート9を、接着層10から剥離することが困難になることがあるが、本実施態様によれば、接着層10が、バインダに対して、0.01重量%ないし15重量%のイミダゾリン系界面活性剤を含んでいるから、静電気の発生を効果的に防止することが可能になる。   Further, when the third support sheet 9 is peeled off from the adhesive layer 10, static electricity is generated, dust adheres, or the adhesive layer 10 is attracted to the third support sheet 9, and the third In some cases, it may be difficult to peel off the third support sheet 9 from the adhesive layer 10, but according to the present embodiment, the adhesive layer 10 may have a content of 0.01% by weight to 15% by weight based on the binder. Since it contains an imidazoline-based surfactant, it is possible to effectively prevent the generation of static electricity.

また、本発明者の研究によれば、接着層10が、バインダの0.01重量%ないし15重量%のイミダゾリン系界面活性剤を含有している場合には、少量で、静電気を防止することが可能になるとともに、とくに小さな剥離力で、接着層10から、第三の支持シート9を剥離することが可能になることが判明しており、したがって、本実施態様によれば、容易に、かつ、所望のように、第三の支持シート9を、接着層10から剥離することが可能になる。   According to the research of the present inventor, when the bonding layer 10 contains 0.01% to 15% by weight of the imidazoline surfactant of the binder, it is possible to prevent static electricity with a small amount. It has been found that the third support sheet 9 can be peeled from the adhesive layer 10 with a particularly small peeling force. Therefore, according to the present embodiment, And it becomes possible to peel off the third support sheet 9 from the adhesive layer 10 as desired.

さらに、本実施態様によれば、電極層6および電極層6よりも密度が小さく、圧縮率が高いスペーサ層7が、ts/te=1.1を満たすように形成されているから、電極層6およびスペーサ層7を、接着層10を介して、セラミックグリーンシート2上に転写する際に、一対の加圧ローラ17、18によって、スペーサ層7が圧縮されて、スペーサ層7のみならず、電極層6も、接着層10を介して、セラミックグリーンシート2の表面に確実に接着され、したがって、第二の支持シート4を剥離するときに、電極層6が、第二の支持シート4とともに、セラミックグリーンシート2から剥離することを効果的に防止することができる。   Further, according to the present embodiment, the electrode layer 6 and the spacer layer 7 having a lower density and a higher compressibility than the electrode layer 6 are formed so as to satisfy ts / te = 1.1. When the spacer 6 and the spacer layer 7 are transferred onto the ceramic green sheet 2 via the adhesive layer 10, the spacer layer 7 is compressed by the pair of pressure rollers 17, 18, so that not only the spacer layer 7 but also The electrode layer 6 is also securely adhered to the surface of the ceramic green sheet 2 via the adhesive layer 10, and therefore, when the second support sheet 4 is peeled off, the electrode layer 6 is removed together with the second support sheet 4. Thus, peeling from the ceramic green sheet 2 can be effectively prevented.

以下、本発明の効果を、より一層明らかにするため、実施例および比較例を掲げる。   Hereinafter, in order to further clarify the effects of the present invention, Examples and Comparative Examples will be given.

実施例1
セラミックグリーンシート用の誘電体ペーストの調製
以下の組成を有する誘電体粉末を調製した。
Example 1
Preparation of Dielectric Paste for Ceramic Green Sheet A dielectric powder having the following composition was prepared.

BaTiO粉末(堺化学工業株式会社製:商品名「BT−02」)
100重量部
MgCO0.72重量部
MnO 0.13重量部
(Ba0.6Ca0.4)SiO 1.5重量部
1.0重量部
BaTiO 3 powder (manufactured by Sakai Chemical Industry Co., Ltd .: trade name “BT-02”)
100 parts by weight MgCO 3 0.72 parts by weight MnO 0.13 parts by weight (Ba 0.6 Ca 0.4 ) SiO 3 1.5 parts by weight Y 2 O 3 1.0 parts by weight

こうして調製した誘電体粉末100重量部に対して、以下の組成を有する有機ビヒクルを加え、ボールミルを用いて、20時間にわたって、混合し、セラミックグリーンシート用の誘電体ペーストを調製した。   An organic vehicle having the following composition was added to 100 parts by weight of the dielectric powder thus prepared, and mixed for 20 hours using a ball mill to prepare a dielectric paste for a ceramic green sheet.

ポリビニルブチラール樹脂(バインダ) 6重量部
フタル酸ビス(2エチルヘキシル) 3重量部
(DOP:可塑剤)
エタノール 78重量部
n−プロパノール 78重量部
キシレン 14重量部
ミネラルスピリット 7重量部
分散剤 0.7重量部
Polyvinyl butyral resin (binder) 6 parts by weight Bis (2-ethylhexyl) phthalate 3 parts by weight (DOP: plasticizer)
78 parts by weight of ethanol 78 parts by weight of n-propanol 14 parts by weight of xylene 7 parts by weight of mineral spirit 0.7 part by weight of dispersant

接着剤ペーストの調製
以下の組成を有する有機ビヒクルを調製し、得られた有機ビヒクルを、メチルエチルケトンによって、10倍に希釈して、接着剤用のペーストを調製した。
Preparation of Adhesive Paste An organic vehicle having the following composition was prepared, and the obtained organic vehicle was diluted 10-fold with methyl ethyl ketone to prepare a paste for an adhesive.

ポリビニルブチラール樹脂(バインダ) 100重量部
フタル酸ビス(2エチルヘキシル) 50重量部
(DOP:可塑剤)
メチルエチルケトン 900重量部
イミダゾリン系界面活性剤 5重量部
Polyvinyl butyral resin (binder) 100 parts by weight Bis (2-ethylhexyl) phthalate 50 parts by weight (DOP: plasticizer)
Methyl ethyl ketone 900 parts by weight Imidazoline surfactant 5 parts by weight

セラミックグリーンシートの作製
ワイヤーバーコーターを用いて、ポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に、セラミックグリーンシート用の誘電体ペーストを塗布し、乾燥させ、1.0μmの厚さのセラミックグリーンシートを作製した。
Preparation of Ceramic Green Sheet Using a wire bar coater, a dielectric paste for a ceramic green sheet was applied to the surface of the polyethylene terephthalate film and dried to prepare a 1.0 μm thick ceramic green sheet.

接着層の形成
ワイヤーバーコーターを用いて、別のポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に、接着剤ペーストを塗布し、0.1μmの厚さの接着層を形成した。
Formation of Adhesive Layer An adhesive paste was applied to the surface of another polyethylene terephthalate film using a wire bar coater to form an adhesive layer having a thickness of 0.1 μm.

接着層の転写
図5に示された接着・剥離装置を用いて、ニップ圧力0.5MPaで、セラミックグリーンシートの表面に、ポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に形成された接着層を接着し、接着層から、ポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離して、セラミックグリーンシートの表面に、接着層を転写した。
Transfer of the Adhesive Layer The adhesive layer formed on the surface of the polyethylene terephthalate film is adhered to the surface of the ceramic green sheet at a nip pressure of 0.5 MPa using the adhesive / peeling apparatus shown in FIG. Then, the polyethylene terephthalate film was peeled off, and the adhesive layer was transferred to the surface of the ceramic green sheet.

株式会社伸興製:デジタル静電電位測定装置「SSS−1」(商品名)を用いて、接着層から、ポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離する際に発生した静電気量を測定するとともに、アイコーエンジニアリング株式会社製:デジタル式荷重測定器「MODEL−1311D」(商品名)を用いて、ポリエチレンテレフタレートフィルムを、接着層から剥離するのに要する剥離力を測定した。   Shinko Co., Ltd .: Using a digital electrostatic potential measuring device "SSS-1" (trade name), measure the amount of static electricity generated when the polyethylene terephthalate film is peeled off from the adhesive layer, and use Iiko Engineering Co., Ltd. Manufacture: The peeling force required to peel off the polyethylene terephthalate film from the adhesive layer was measured using a digital load meter “MODEL-1311D” (trade name).

実施例2
10重量%のイミダゾリン系界面活性剤を添加して、接着剤ペーストを調製した以外は、実施例1と同様にして、ポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に、セラミックグリーンシートを形成するとともに、別のポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に接着層を形成し、接着層を、ポリエチレンテレフタレートフィルム上に形成されたセラミックグリーンシートの表面に密着させ、0.5MPaの圧力を加えて、接着させた後、接着層から、ポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離し、実施例1と同様にして、接着層から、ポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離する際に発生した静電気量およびポリエチレンテレフタレートフィルムを、接着層から剥離するのに要する剥離力を測定した。
Example 2
A ceramic green sheet was formed on the surface of a polyethylene terephthalate film and another polyethylene terephthalate was formed in the same manner as in Example 1 except that an adhesive paste was prepared by adding 10% by weight of an imidazoline surfactant. An adhesive layer is formed on the surface of the film, the adhesive layer is brought into close contact with the surface of the ceramic green sheet formed on the polyethylene terephthalate film, and a pressure of 0.5 MPa is applied to cause the adhesive to adhere. The terephthalate film was peeled off, and in the same manner as in Example 1, the amount of static electricity generated when the polyethylene terephthalate film was peeled from the adhesive layer and the peeling force required to peel off the polyethylene terephthalate film from the adhesive layer were measured.

実施例3
15重量%のイミダゾリン系界面活性剤を添加して、接着剤ペーストを調製した以外は、実施例1と同様にして、ポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に、セラミックグリーンシートを形成するとともに、別のポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に接着層を形成し、接着層を、ポリエチレンテレフタレートフィルム上に形成されたセラミックグリーンシートの表面に密着させ、0.5MPaの圧力を加えて、接着させた後、接着層から、ポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離し、実施例1と同様にして、接着層から、ポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離する際に発生した静電気量およびポリエチレンテレフタレートフィルムを、接着層から剥離するのに要する剥離力を測定した。
Example 3
A ceramic green sheet was formed on the surface of a polyethylene terephthalate film and another polyethylene terephthalate was formed in the same manner as in Example 1 except that an adhesive paste was prepared by adding 15% by weight of an imidazoline surfactant. An adhesive layer is formed on the surface of the film, the adhesive layer is brought into close contact with the surface of the ceramic green sheet formed on the polyethylene terephthalate film, and a pressure of 0.5 MPa is applied to cause the adhesive to adhere. The terephthalate film was peeled off, and in the same manner as in Example 1, the amount of static electricity generated when the polyethylene terephthalate film was peeled from the adhesive layer and the peeling force required to peel off the polyethylene terephthalate film from the adhesive layer were measured.

実施例4
イミダゾリン系界面活性剤に代えて、5重量%のポリアルキレングリコール誘導体系界面活性剤を添加して、接着剤ペーストを調製した以外は、実施例1と同様にして、ポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に、セラミックグリーンシートを形成するとともに、別のポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に接着層を形成し、接着層を、ポリエチレンテレフタレートフィルム上に形成されたセラミックグリーンシートの表面に密着させ、0.5MPaの圧力を加えて、接着させた後、接着層から、ポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離し、実施例1と同様にして、接着層から、ポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離する際に発生した静電気量およびポリエチレンテレフタレートフィルムを、接着層から剥離するのに要する剥離力を測定した。
Example 4
Instead of the imidazoline-based surfactant, 5% by weight of a polyalkylene glycol derivative-based surfactant was added to prepare an adhesive paste, and in the same manner as in Example 1, the surface of the polyethylene terephthalate film was While forming a ceramic green sheet, an adhesive layer is formed on the surface of another polyethylene terephthalate film, the adhesive layer is brought into close contact with the surface of the ceramic green sheet formed on the polyethylene terephthalate film, and a pressure of 0.5 MPa is applied. After bonding, the polyethylene terephthalate film was peeled off from the adhesive layer, and the amount of static electricity generated when the polyethylene terephthalate film was peeled off from the adhesive layer and the polyethylene terephthalate film were removed in the same manner as in Example 1. Required to peel from The peel force was measured that.

実施例5
イミダゾリン系界面活性剤に代えて、10重量%のポリアルキレングリコール誘導体系界面活性剤を添加して、接着剤ペーストを調製した以外は、実施例1と同様にして、ポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に、セラミックグリーンシートを形成するとともに、別のポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に接着層を形成し、接着層を、ポリエチレンテレフタレートフィルム上に形成されたセラミックグリーンシートの表面に密着させ、0.5MPaの圧力を加えて、接着させた後、接着層から、ポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離し、実施例1と同様にして、接着層から、ポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離する際に発生した静電気量およびポリエチレンテレフタレートフィルムを、接着層から剥離するのに要する剥離力を測定した。
Example 5
Instead of the imidazoline-based surfactant, 10% by weight of a polyalkylene glycol derivative-based surfactant was added to prepare an adhesive paste, and in the same manner as in Example 1, the surface of the polyethylene terephthalate film was While forming a ceramic green sheet, an adhesive layer is formed on the surface of another polyethylene terephthalate film, the adhesive layer is brought into close contact with the surface of the ceramic green sheet formed on the polyethylene terephthalate film, and a pressure of 0.5 MPa is applied. After bonding, the polyethylene terephthalate film was peeled off from the adhesive layer, and the amount of static electricity generated when the polyethylene terephthalate film was peeled off from the adhesive layer and the polyethylene terephthalate film were removed in the same manner as in Example 1. To peel from The peel force was measured.

実施例6
イミダゾリン系界面活性剤に代えて、15重量%のポリアルキレングリコール誘導体系界面活性剤を添加して、接着剤ペーストを調製した以外は、実施例1と同様にして、ポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に、セラミックグリーンシートを形成するとともに、別のポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に接着層を形成し、接着層を、ポリエチレンテレフタレートフィルム上に形成されたセラミックグリーンシートの表面に密着させ、0.5MPaの圧力を加えて、接着させた後、接着層から、ポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離し、実施例1と同様にして、接着層から、ポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離する際に発生した静電気量およびポリエチレンテレフタレートフィルムを、接着層から剥離するのに要する剥離力を測定した。
Example 6
In place of the imidazoline-based surfactant, a polyalkylene glycol derivative-based surfactant was added in an amount of 15% by weight to prepare an adhesive paste, in the same manner as in Example 1, except that the surface of the polyethylene terephthalate film was While forming a ceramic green sheet, an adhesive layer is formed on the surface of another polyethylene terephthalate film, the adhesive layer is brought into close contact with the surface of the ceramic green sheet formed on the polyethylene terephthalate film, and a pressure of 0.5 MPa is applied. After bonding, the polyethylene terephthalate film was peeled off from the adhesive layer, and the amount of static electricity generated when the polyethylene terephthalate film was peeled off from the adhesive layer and the polyethylene terephthalate film were removed in the same manner as in Example 1. To peel from The peel force was measured.

実施例7
イミダゾリン系界面活性剤に代えて、5重量%のカルボン酸アミジン塩系界面活性剤を添加して、接着剤ペーストを調製した以外は、実施例1と同様にして、ポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に、セラミックグリーンシートを形成するとともに、別のポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に接着層を形成し、接着層を、ポリエチレンテレフタレートフィルム上に形成されたセラミックグリーンシートの表面に密着させ、0.5MPaの圧力を加えて、接着させた後、接着層から、ポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離し、実施例1と同様にして、接着層から、ポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離する際に発生した静電気量およびポリエチレンテレフタレートフィルムを、接着層から剥離するのに要する剥離力を測定した。
Example 7
Instead of the imidazoline-based surfactant, 5% by weight of a carboxylic acid amidine salt-based surfactant was added to prepare an adhesive paste in the same manner as in Example 1, except that the surface of the polyethylene terephthalate film was While forming a ceramic green sheet, an adhesive layer is formed on the surface of another polyethylene terephthalate film, the adhesive layer is brought into close contact with the surface of the ceramic green sheet formed on the polyethylene terephthalate film, and a pressure of 0.5 MPa is applied. After bonding, the polyethylene terephthalate film was peeled off from the adhesive layer, and the amount of static electricity generated when the polyethylene terephthalate film was peeled off from the adhesive layer and the polyethylene terephthalate film were removed in the same manner as in Example 1. Peeling force required to peel from It was measured.

実施例8
イミダゾリン系界面活性剤に代えて、10重量%のカルボン酸アミジン塩系界面活性剤を添加して、接着剤ペーストを調製した以外は、実施例1と同様にして、ポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に、セラミックグリーンシートを形成するとともに、別のポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に接着層を形成し、接着層を、ポリエチレンテレフタレートフィルム上に形成されたセラミックグリーンシートの表面に密着させ、0.5MPaの圧力を加えて、接着させた後、接着層から、ポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離し、実施例1と同様にして、接着層から、ポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離する際に発生した静電気量およびポリエチレンテレフタレートフィルムを、接着層から剥離するのに要する剥離力を測定した。
Example 8
Instead of the imidazoline-based surfactant, 10% by weight of a carboxylic acid amidine salt-based surfactant was added to prepare an adhesive paste, and in the same manner as in Example 1, the surface of the polyethylene terephthalate film was While forming a ceramic green sheet, an adhesive layer is formed on the surface of another polyethylene terephthalate film, the adhesive layer is brought into close contact with the surface of the ceramic green sheet formed on the polyethylene terephthalate film, and a pressure of 0.5 MPa is applied. After bonding, the polyethylene terephthalate film was peeled off from the adhesive layer, and the amount of static electricity generated when the polyethylene terephthalate film was peeled off from the adhesive layer and the polyethylene terephthalate film were removed in the same manner as in Example 1. Peeling required for peeling from It was measured.

実施例9
イミダゾリン系界面活性剤に代えて、15重量%のカルボン酸アミジン塩系界面活性剤を添加して、接着剤ペーストを調製した以外は、実施例1と同様にして、ポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に、セラミックグリーンシートを形成するとともに、別のポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に接着層を形成し、接着層を、ポリエチレンテレフタレートフィルム上に形成されたセラミックグリーンシートの表面に密着させ、0.5MPaの圧力を加えて、接着させた後、接着層から、ポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離し、実施例1と同様にして、接着層から、ポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離する際に発生した静電気量およびポリエチレンテレフタレートフィルムを、接着層から剥離するのに要する剥離力を測定した。
Example 9
Instead of the imidazoline-based surfactant, 15% by weight of a carboxylic acid amidine salt-based surfactant was added to prepare an adhesive paste in the same manner as in Example 1, except that the surface of the polyethylene terephthalate film was While forming a ceramic green sheet, an adhesive layer is formed on the surface of another polyethylene terephthalate film, the adhesive layer is brought into close contact with the surface of the ceramic green sheet formed on the polyethylene terephthalate film, and a pressure of 0.5 MPa is applied. After bonding, the polyethylene terephthalate film was peeled off from the adhesive layer, and the amount of static electricity generated when the polyethylene terephthalate film was peeled off from the adhesive layer and the polyethylene terephthalate film were removed in the same manner as in Example 1. Peeling required for peeling from It was measured.

実施例10
イミダゾリン系界面活性剤に代えて、5重量%のエチレングリコールを添加して、接着剤ペーストを調製した以外は、実施例1と同様にして、ポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に、セラミックグリーンシートを形成するとともに、別のポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に接着層を形成し、接着層を、ポリエチレンテレフタレートフィルム上に形成されたセラミックグリーンシートの表面に密着させ、0.5MPaの圧力を加えて、接着させた後、接着層から、ポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離し、実施例1と同様にして、接着層から、ポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離する際に発生した静電気量およびポリエチレンテレフタレートフィルムを、接着層から剥離するのに要する剥離力を測定した。
Example 10
A ceramic green sheet is formed on the surface of a polyethylene terephthalate film in the same manner as in Example 1 except that an adhesive paste is prepared by adding 5% by weight of ethylene glycol instead of the imidazoline-based surfactant. At the same time, an adhesive layer is formed on the surface of another polyethylene terephthalate film, the adhesive layer is brought into close contact with the surface of the ceramic green sheet formed on the polyethylene terephthalate film, and after applying a pressure of 0.5 MPa, the adhesive layer is adhered. Then, the polyethylene terephthalate film was peeled from the adhesive layer, and the amount of static electricity generated when the polyethylene terephthalate film was peeled from the adhesive layer and the polyethylene terephthalate film required to peel the polyethylene terephthalate film from the adhesive layer in the same manner as in Example 1. The peel force was measured.

実施例11
イミダゾリン系界面活性剤に代えて、10重量%のエチレングリコールを添加して、接着剤ペーストを調製した以外は、実施例1と同様にして、ポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に、セラミックグリーンシートを形成するとともに、別のポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に接着層を形成し、接着層を、ポリエチレンテレフタレートフィルム上に形成されたセラミックグリーンシートの表面に密着させ、0.5MPaの圧力を加えて、接着させた後、接着層から、ポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離し、実施例1と同様にして、接着層から、ポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離する際に発生した静電気量およびポリエチレンテレフタレートフィルムを、接着層から剥離するのに要する剥離力を測定した。
Example 11
A ceramic green sheet is formed on the surface of a polyethylene terephthalate film in the same manner as in Example 1 except that an adhesive paste is prepared by adding 10% by weight of ethylene glycol instead of the imidazoline-based surfactant. At the same time, an adhesive layer is formed on the surface of another polyethylene terephthalate film, the adhesive layer is brought into close contact with the surface of the ceramic green sheet formed on the polyethylene terephthalate film, and after applying a pressure of 0.5 MPa, the adhesive layer is adhered. Then, the polyethylene terephthalate film was peeled from the adhesive layer, and the amount of static electricity generated when the polyethylene terephthalate film was peeled from the adhesive layer and the polyethylene terephthalate film required to peel the polyethylene terephthalate film from the adhesive layer in the same manner as in Example 1. The peel force was measured.

実施例12
イミダゾリン系界面活性剤に代えて、15重量%のエチレングリコールを添加して、接着剤ペーストを調製した以外は、実施例1と同様にして、ポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に、セラミックグリーンシートを形成するとともに、別のポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に接着層を形成し、接着層を、ポリエチレンテレフタレートフィルム上に形成されたセラミックグリーンシートの表面に密着させ、0.5MPaの圧力を加えて、接着させた後、接着層から、ポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離し、実施例1と同様にして、接着層から、ポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離する際に発生した静電気量およびポリエチレンテレフタレートフィルムを、接着層から剥離するのに要する剥離力を測定した。
Example 12
A ceramic green sheet is formed on the surface of a polyethylene terephthalate film in the same manner as in Example 1 except that an adhesive paste is prepared by adding 15% by weight of ethylene glycol instead of the imidazoline-based surfactant. At the same time, an adhesive layer is formed on the surface of another polyethylene terephthalate film, the adhesive layer is brought into close contact with the surface of the ceramic green sheet formed on the polyethylene terephthalate film, and after applying a pressure of 0.5 MPa, the adhesive layer is adhered. Then, the polyethylene terephthalate film was peeled from the adhesive layer, and the amount of static electricity generated when the polyethylene terephthalate film was peeled from the adhesive layer and the polyethylene terephthalate film required to peel the polyethylene terephthalate film from the adhesive layer in the same manner as in Example 1. The peel force was measured.

実施例13
イミダゾリン系界面活性剤に代えて、5重量%のポリエチレングリコールを添加して、接着剤ペーストを調製した以外は、実施例1と同様にして、ポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に、セラミックグリーンシートを形成するとともに、別のポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に接着層を形成し、接着層を、ポリエチレンテレフタレートフィルム上に形成されたセラミックグリーンシートの表面に密着させ、0.5MPaの圧力を加えて、接着させた後、接着層から、ポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離し、実施例1と同様にして、接着層から、ポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離する際に発生した静電気量およびポリエチレンテレフタレートフィルムを、接着層から剥離するのに要する剥離力を測定した。
Example 13
A ceramic green sheet is formed on the surface of a polyethylene terephthalate film in the same manner as in Example 1 except that an adhesive paste is prepared by adding 5% by weight of polyethylene glycol instead of the imidazoline-based surfactant. At the same time, an adhesive layer is formed on the surface of another polyethylene terephthalate film, the adhesive layer is brought into close contact with the surface of the ceramic green sheet formed on the polyethylene terephthalate film, and after applying a pressure of 0.5 MPa, the adhesive layer is adhered. Then, the polyethylene terephthalate film was peeled from the adhesive layer, and the amount of static electricity generated when the polyethylene terephthalate film was peeled from the adhesive layer and the polyethylene terephthalate film required to peel the polyethylene terephthalate film from the adhesive layer in the same manner as in Example 1. Peel force was measured

実施例14
イミダゾリン系界面活性剤に代えて、10重量%のポリエチレングリコールを添加して、接着剤ペーストを調製した以外は、実施例1と同様にして、ポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に、セラミックグリーンシートを形成するとともに、別のポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に接着層を形成し、接着層を、ポリエチレンテレフタレートフィルム上に形成されたセラミックグリーンシートの表面に密着させ、0.5MPaの圧力を加えて、接着させた後、接着層から、ポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離し、実施例1と同様にして、接着層から、ポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離する際に発生した静電気量およびポリエチレンテレフタレートフィルムを、接着層から剥離するのに要する剥離力を測定した。
Example 14
A ceramic green sheet is formed on the surface of a polyethylene terephthalate film in the same manner as in Example 1 except that an adhesive paste is prepared by adding 10% by weight of polyethylene glycol instead of the imidazoline-based surfactant. At the same time, an adhesive layer is formed on the surface of another polyethylene terephthalate film, the adhesive layer is brought into close contact with the surface of the ceramic green sheet formed on the polyethylene terephthalate film, and after applying a pressure of 0.5 MPa, the adhesive layer is adhered. Then, the polyethylene terephthalate film was peeled from the adhesive layer, and the amount of static electricity generated when the polyethylene terephthalate film was peeled from the adhesive layer and the polyethylene terephthalate film required to peel the polyethylene terephthalate film from the adhesive layer in the same manner as in Example 1. Measure the peel force .

実施例15
イミダゾリン系界面活性剤に代えて、15重量%のポリエチレングリコールを添加して、接着剤ペーストを調製した以外は、実施例1と同様にして、ポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に、セラミックグリーンシートを形成するとともに、別のポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に接着層を形成し、接着層を、ポリエチレンテレフタレートフィルム上に形成されたセラミックグリーンシートの表面に密着させ、0.5MPaの圧力を加えて、接着させた後、接着層から、ポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離し、実施例1と同様にして、接着層から、ポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離する際に発生した静電気量およびポリエチレンテレフタレートフィルムを、接着層から剥離するのに要する剥離力を測定した。
Example 15
A ceramic green sheet is formed on the surface of a polyethylene terephthalate film in the same manner as in Example 1 except that an adhesive paste is prepared by adding 15% by weight of polyethylene glycol instead of the imidazoline-based surfactant. At the same time, an adhesive layer is formed on the surface of another polyethylene terephthalate film, the adhesive layer is brought into close contact with the surface of the ceramic green sheet formed on the polyethylene terephthalate film, and after applying a pressure of 0.5 MPa, the adhesive layer is adhered. Then, the polyethylene terephthalate film was peeled from the adhesive layer, and the amount of static electricity generated when the polyethylene terephthalate film was peeled from the adhesive layer and the polyethylene terephthalate film required to peel the polyethylene terephthalate film from the adhesive layer in the same manner as in Example 1. Measure the peel force .

比較例
帯電防止剤を添加することなく、接着剤ペーストを調製した以外は、実施例1と同様にして、ポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に、セラミックグリーンシートを形成するとともに、別のポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に接着層を形成し、接着層を、ポリエチレンテレフタレートフィルム上に形成されたセラミックグリーンシートの表面に密着させ、0.5MPaの圧力を加えて、接着させた後、接着層から、ポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離し、実施例1と同様にして、接着層から、ポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離する際に発生した静電気量およびポリエチレンテレフタレートフィルムを、接着層から剥離するのに要する剥離力を測定した。
Comparative Example A ceramic green sheet was formed on the surface of a polyethylene terephthalate film and the surface of another polyethylene terephthalate film was formed in the same manner as in Example 1 except that an adhesive paste was prepared without adding an antistatic agent. An adhesive layer is formed on the surface of the ceramic green sheet formed on the polyethylene terephthalate film, and the adhesive layer is applied by applying a pressure of 0.5 MPa, and then the polyethylene terephthalate film is removed from the adhesive layer. After peeling, the amount of static electricity generated when the polyethylene terephthalate film was peeled from the adhesive layer and the peeling force required to peel the polyethylene terephthalate film from the adhesive layer were measured in the same manner as in Example 1.

実施例1ないし3および比較例において、接着層から、ポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離する際に発生した静電気量を測定した結果は、図17に示されている。   FIG. 17 shows the results of measuring the amount of static electricity generated when the polyethylene terephthalate film was peeled from the adhesive layer in Examples 1 to 3 and Comparative Example.

一方、実施例4ないし6および比較例において、接着層から、ポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離する際に発生した静電気量を測定した結果は、図18に示されている。   On the other hand, in Examples 4 to 6 and Comparative Example, the results of measuring the amount of static electricity generated when the polyethylene terephthalate film was peeled from the adhesive layer are shown in FIG.

さらに、実施例7ないし9および比較例において、接着層から、ポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離する際に発生した静電気量を測定した結果は、図19に示されている。   Further, in Examples 7 to 9 and Comparative Example, the results of measuring the amount of static electricity generated when the polyethylene terephthalate film was peeled from the adhesive layer are shown in FIG.

また、実施例10ないし12および比較例において、接着層から、ポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離する際に発生した静電気量を測定した結果は、図20に示されている。   FIG. 20 shows the results of measuring the amount of static electricity generated when the polyethylene terephthalate film was peeled off from the adhesive layer in Examples 10 to 12 and Comparative Example.

一方、実施例13ないし15および比較例において、接着層から、ポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離する際に発生した静電気量を測定した結果は、図21に示されている。   On the other hand, in Examples 13 to 15 and Comparative Example, the results of measuring the amount of static electricity generated when the polyethylene terephthalate film was peeled from the adhesive layer are shown in FIG.

図17ないし図21から明らかなように、接着剤ペーストに、帯電防止剤を添加した場合には、接着層から、ポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離する際に発生する静電気を低減させることが可能になり、とくに、帯電防止剤として、イミダゾリン系界面活性剤、ポリアルキレングリコール誘導体系界面活性剤あるいはカルボン酸アミジン塩系界面活性剤を添加して、接着剤ペーストを調製した場合には、2.5%の界面活性剤を含む接着層を形成したときに、静電気量の発生がほぼゼロになることが判明した。   As is clear from FIGS. 17 to 21, when an antistatic agent is added to the adhesive paste, it is possible to reduce static electricity generated when the polyethylene terephthalate film is peeled from the adhesive layer, In particular, when an imidazoline-based surfactant, a polyalkylene glycol derivative-based surfactant or a carboxylic acid amidine salt-based surfactant is added as an antistatic agent to prepare an adhesive paste, 2.5% It was found that when an adhesive layer containing a surfactant was formed, the generation of static electricity was almost zero.

実施例1ないし3および比較例において、接着層から、ポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離するのに要する剥離力を測定した結果は、図22に示されている。   FIG. 22 shows the results of measuring the peeling force required for peeling the polyethylene terephthalate film from the adhesive layer in Examples 1 to 3 and Comparative Example.

一方、実施例4ないし6および比較例において、接着層から、ポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離するのに要する剥離力を測定した結果は、図23に示されている。   On the other hand, in Examples 4 to 6 and Comparative Example, the results of measuring the peel force required to peel the polyethylene terephthalate film from the adhesive layer are shown in FIG.

さらに、実施例7ないし9および比較例において、接着層から、ポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離するのに要する剥離力を測定した結果は、図24に示されている。   Further, in Examples 7 to 9 and Comparative Example, the results of measuring the peel force required to peel the polyethylene terephthalate film from the adhesive layer are shown in FIG.

さらに、実施例10ないし12および比較例において、接着層から、ポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離するのに要する剥離力を測定した結果は、図25に示されている。   Further, in Examples 10 to 12 and Comparative Example, the results of measuring the peel force required to peel the polyethylene terephthalate film from the adhesive layer are shown in FIG.

一方、実施例13ないし15および比較例において、接着層から、ポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離するのに要する剥離力を測定した結果は、図26に示されている。   On the other hand, in Examples 13 to 15 and Comparative Example, the results of measuring the peeling force required to peel the polyethylene terephthalate film from the adhesive layer are shown in FIG.

図22ないし図26から明らかなように、帯電防止剤として、エチレングリコールあるいはポリエチレングリコールを添加して、接着剤ペーストを調製した場合には、添加量が増えるにしたがって、ポリエチレンテレフタレートフィルムを、接着層から剥離するのに要する剥離力が増大し、帯電防止剤として、ポリアルキレングリコール誘導体系界面活性剤あるいはカルボン酸アミジン塩系界面活性剤を添加して、接着剤ペーストを調製した場合には、添加量が増えるにしたがって、ポリエチレンテレフタレートフィルムを、接着層から剥離するのに要する剥離力が漸増するのに対し、帯電防止剤として、イミダゾリン系界面活性剤を添加した、接着剤ペーストを調製した場合には、添加量が5重量%ないし10重量%の範囲で、ポリエチレンテレフタレートフィルムを、接着層から剥離するのに要する剥離力が減少することが判明した。   As is clear from FIGS. 22 to 26, when an adhesive paste was prepared by adding ethylene glycol or polyethylene glycol as an antistatic agent, the polyethylene terephthalate film was added to the adhesive layer as the amount of addition increased. When the adhesive force is increased, the peeling force required for peeling from the adhesive increases, and a polyalkylene glycol derivative-based surfactant or a carboxylic acid amidine salt-based surfactant is added as an antistatic agent to prepare an adhesive paste. As the amount increases, the peeling force required to peel the polyethylene terephthalate film from the adhesive layer gradually increases, whereas an imidazoline surfactant is added as an antistatic agent, when an adhesive paste is prepared. For polyethylene in the range of 5% to 10% by weight The terephthalate film, peel force required to peel the adhesive layer was found to decrease.

したがって、ブチラール系樹脂に対して、2.5%のイミダゾリン系界面活性剤を添加して、接着剤ペーストを調製すると、静電気の発生が防止され、小さな剥離力で、ポリエチレンテレフタレートフィルムを、接着層から剥離することができ、最も好ましいことがわかった。   Therefore, when an adhesive paste is prepared by adding 2.5% of an imidazoline-based surfactant to a butyral-based resin, the generation of static electricity is prevented, and the polyethylene terephthalate film is removed with a small peeling force. , Which was found to be the most preferable.

本発明は、以上の実施態様に限定されることなく、特許請求の範囲に記載された発明の範囲内で種々の変更が可能であり、それらも本発明の範囲内に包含されるものであることはいうまでもない。   The present invention is not limited to the above embodiments, and various changes can be made within the scope of the invention described in the claims, and these are also included in the scope of the present invention. Needless to say.

たとえば、前記実施態様においては、接着層10が、バインダの0.01重量%ないし15重量%のイミダゾリン系界面活性剤を含んでいるが、接着層10が、バインダの0.01重量%ないし15重量%のイミダゾリン系界面活性剤を含んでいることは必ずしも必要でない。本発明において、接着層10のための帯電防止剤として、イミダゾリン系界面活性剤を用いることが最も好ましいが、ポリアルキレングリコール誘導体系界面活性剤、カルボン酸アミジン塩系界面活性剤などの他の両性界面活性剤も、接着層10のための帯電防止剤として、好ましく用いることができ、さらに、エチレングリコール、ポリエチレングリコール、2−3ブタンジオール、グリセリンなどを、接着層10のための帯電防止剤として、用いることもできる。   For example, in the above embodiment, the adhesive layer 10 contains 0.01% to 15% by weight of the binder of the imidazoline surfactant, but the adhesive layer 10 contains 0.01% to 15% by weight of the binder. It is not necessary to contain imidazoline surfactant by weight. In the present invention, it is most preferable to use an imidazoline surfactant as an antistatic agent for the adhesive layer 10, but other amphoteric surfactants such as a polyalkylene glycol derivative surfactant and a carboxylic acid amidine salt surfactant. Surfactants can also be preferably used as an antistatic agent for the adhesive layer 10, and furthermore, ethylene glycol, polyethylene glycol, 2-3 butanediol, glycerin and the like can be used as an antistatic agent for the adhesive layer 10. , Can also be used.

さらに、前記実施態様においては、剥離層5の表面に、電極層6およびスペーサ層7を、ts/te=1.1となるように形成している(tsはスペーサ層7の厚さであり、teは電極層6の厚さである。)が、0.7≦ts/te≦1.3となるように、好ましくは、0.8≦ts/te≦1.1、さらに好ましくは、0.9≦ts/te≦1.1となるように、電極層6およびスペーサ層7を形成すればよく、電極層6およびスペーサ層7を、ts/te=1.1となるように形成することは必ずしも必要でない。   Further, in the above embodiment, the electrode layer 6 and the spacer layer 7 are formed on the surface of the release layer 5 so that ts / te = 1.1 (where ts is the thickness of the spacer layer 7). , Te is the thickness of the electrode layer 6), preferably 0.8 ≦ ts / te ≦ 1.1, more preferably, so that 0.7 ≦ ts / te ≦ 1.3. The electrode layer 6 and the spacer layer 7 may be formed so that 0.9 ≦ ts / te ≦ 1.1, and the electrode layer 6 and the spacer layer 7 may be formed such that ts / te = 1.1. It is not necessary to do so.

また、前記実施態様においては、図6に示された接着装置を用いて、電極層6およびスペーサ層7を、接着層10を介して、セラミックグリーンシート2の表面に接着させ、しかる後に、第二の支持シート4を、剥離層5から剥離しているが、図5に示された接着・剥離装置を用いて、電極層6およびスペーサ層7を、接着層10を介して、セラミックグリーンシート2の表面に接着させるとともに、剥離層5から、第二の支持シート4を剥離するようにしてもよい。   In the above embodiment, the electrode layer 6 and the spacer layer 7 are bonded to the surface of the ceramic green sheet 2 via the bonding layer 10 using the bonding device shown in FIG. The second support sheet 4 is peeled off from the release layer 5, and the electrode layer 6 and the spacer layer 7 are separated through the adhesive layer 10 by using the bonding / peeling device shown in FIG. The second support sheet 4 may be peeled from the release layer 5 while being adhered to the surface of the second support sheet 4.

図1は、第一の支持シートの表面上に、セラミックグリーンシートが形成された状態を示す略一部断面図である。FIG. 1 is a schematic partial cross-sectional view showing a state where a ceramic green sheet is formed on a surface of a first support sheet. 図2は、その表面上に、剥離層および電極層が形成された第二の支持シートの略一部断面図である。FIG. 2 is a schematic partial cross-sectional view of a second support sheet having a release layer and an electrode layer formed on its surface. 図3は、剥離層の表面上に、電極層およびスペーサ層が形成された状態を示す略一部断面図である。FIG. 3 is a schematic partial cross-sectional view showing a state where an electrode layer and a spacer layer are formed on the surface of the release layer. 図4は、第三の支持シートの表面上に、接着層が形成された接着層シートの略一部断面図である。FIG. 4 is a schematic partial cross-sectional view of an adhesive layer sheet having an adhesive layer formed on the surface of a third support sheet. 図5は、第三の支持シート上に形成された接着層を、第一の支持シート上に形成されたセラミックグリーンシートの表面に接着させ、接着層から第三の支持シートを剥離する接着・剥離装置の好ましい実施態様を示す略断面図である。FIG. 5 shows an adhesion / adhesion method in which the adhesive layer formed on the third support sheet is adhered to the surface of the ceramic green sheet formed on the first support sheet, and the third support sheet is separated from the adhesive layer. 1 is a schematic sectional view showing a preferred embodiment of a peeling device. 図6は、セラミックグリーンシートの表面に、接着層を介して、電極層およびスペーサ層を接着する接着装置の好ましい実施態様を示す略断面図である。FIG. 6 is a schematic cross-sectional view showing a preferred embodiment of the bonding apparatus for bonding the electrode layer and the spacer layer to the surface of the ceramic green sheet via the bonding layer. 図7は、第一の支持シート上に、セラミックグリーンシート、接着層、電極層、スペーサ層、剥離層および接着層が積層された積層体ユニットの略断面図である。FIG. 7 is a schematic cross-sectional view of a laminate unit in which a ceramic green sheet, an adhesive layer, an electrode layer, a spacer layer, a release layer, and an adhesive layer are laminated on a first support sheet. 図8は、積層体ユニットの積層プロセスの第一のステップを示す略一部断面図である。FIG. 8 is a schematic partial cross-sectional view showing the first step of the stacking process of the stack unit. 図9は、積層体ユニットの積層プロセスの第二のステップを示す略一部断面図である。FIG. 9 is a schematic partial cross-sectional view illustrating a second step of the stacking process of the stack unit. 図10は、積層体ユニットの積層プロセスの第三のステップを示す略一部断面図である。FIG. 10 is a schematic partial cross-sectional view showing a third step of the stacking process of the stack unit. 図11は、積層体ユニットの積層プロセスの第四のステップを示す略一部断面図である。FIG. 11 is a schematic partial cross-sectional view showing a fourth step of the stacking process of the stack unit. 図12は、積層体ユニットの積層プロセスの第五のステップを示す略一部断面図である。FIG. 12 is a schematic partial cross-sectional view showing a fifth step of the stacking process of the stack unit. 図13は、基板に固定されている支持シート上に積層された積層体ブロックを、積層セラミックコンデンサの外層上に積層する積層プロセスの第一のステップを示す略一部断面図である。FIG. 13 is a schematic partial cross-sectional view showing a first step of a lamination process of laminating a laminate block laminated on a support sheet fixed to a substrate on an outer layer of a multilayer ceramic capacitor. 図14は、基板に固定されている支持シート上に積層された積層体ブロックを、積層セラミックコンデンサの外層上に積層する積層プロセスの第二のステップを示す略一部断面図である。FIG. 14 is a schematic partial cross-sectional view showing a second step of a laminating process of laminating a laminate block laminated on a support sheet fixed to a substrate on an outer layer of a multilayer ceramic capacitor. 図15は、基板に固定されている支持シート上に積層された積層体ブロックを、積層セラミックコンデンサの外層上に積層する積層プロセスの第三のステップを示す略一部断面図である。FIG. 15 is a schematic partial cross-sectional view showing a third step of the laminating process of laminating the laminated block laminated on the support sheet fixed to the substrate on the outer layer of the multilayer ceramic capacitor. 図16は、基板に固定されている支持シート上に積層された積層体ブロックを、積層セラミックコンデンサの外層上に積層する積層プロセスの第四のステップを示す略一部断面図である。FIG. 16 is a schematic partial cross-sectional view showing a fourth step of a laminating process of laminating a laminate block laminated on a support sheet fixed to a substrate on an outer layer of a multilayer ceramic capacitor. 図17は、実施例1ないし3および比較例において、接着層から、ポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離する際に発生した静電気量を測定した結果を示すグラフである。FIG. 17 is a graph showing the results of measuring the amount of static electricity generated when peeling the polyethylene terephthalate film from the adhesive layer in Examples 1 to 3 and Comparative Example. 図18は、実施例4ないし6および比較例において、接着層から、ポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離する際に発生した静電気量を測定した結果を示すグラフである。FIG. 18 is a graph showing the results of measuring the amount of static electricity generated when the polyethylene terephthalate film was peeled from the adhesive layer in Examples 4 to 6 and Comparative Example. 図19は、実施例7ないし9および比較例において、接着層から、ポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離する際に発生した静電気量を測定した結果を示すグラフである。FIG. 19 is a graph showing the results of measuring the amount of static electricity generated when the polyethylene terephthalate film was peeled from the adhesive layer in Examples 7 to 9 and Comparative Example. 図20は、実施例10ないし12および比較例において、接着層から、ポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離する際に発生した静電気量を測定した結果を示すグラフである。FIG. 20 is a graph showing the results of measuring the amount of static electricity generated when the polyethylene terephthalate film was peeled from the adhesive layer in Examples 10 to 12 and Comparative Example. 図21は、実施例13ないし15および比較例において、接着層から、ポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離する際に発生した静電気量を測定した結果を示すグラフである。FIG. 21 is a graph showing the results of measuring the amount of static electricity generated when the polyethylene terephthalate film was peeled from the adhesive layer in Examples 13 to 15 and Comparative Example. 図22は、実施例1ないし3および比較例において、ポリエチレンテレフタレートフィルムを、接着層から剥離するのに要する剥離力を測定した結果を示すグラフである。FIG. 22 is a graph showing the results of measuring the peel force required to peel the polyethylene terephthalate film from the adhesive layer in Examples 1 to 3 and Comparative Example. 図23は、実施例4ないし6および比較例において、ポリエチレンテレフタレートフィルムを、接着層から剥離するのに要する剥離力を測定した結果を示すグラフである。FIG. 23 is a graph showing the results of measuring the peel force required to peel the polyethylene terephthalate film from the adhesive layer in Examples 4 to 6 and Comparative Example. 図24は、実施例7ないし9および比較例において、ポリエチレンテレフタレートフィルムを、接着層から剥離するのに要する剥離力を測定した結果を示すグラフである。FIG. 24 is a graph showing the results of measuring the peeling force required to peel the polyethylene terephthalate film from the adhesive layer in Examples 7 to 9 and Comparative Example. 図25は、実施例10ないし12および比較例において、ポリエチレンテレフタレートフィルムを、接着層から剥離するのに要する剥離力を測定した結果を示すグラフである。FIG. 25 is a graph showing the results of measuring the peel force required to peel the polyethylene terephthalate film from the adhesive layer in Examples 10 to 12 and Comparative Example. 図26は、実施例13ないし15および比較例において、ポリエチレンテレフタレートフィルムを、接着層から剥離するのに要する剥離力を測定した結果を示すグラフである。FIG. 26 is a graph showing the results of measuring the peel force required to peel the polyethylene terephthalate film from the adhesive layer in Examples 13 to 15 and Comparative Example.

符号の説明Explanation of reference numerals

1 第一の支持シート
2 セラミックグリーンシート
4 第二の支持シート
5 剥離層
6 電極層
7 スペーサ層
9 第三の支持シート
10 接着層
11 接着層シート
15、16 加圧ローラ
17、18 加圧ローラ
20 積層体ユニット
25 基板
26 孔
28 支持体
30 基台
31 孔
32 接着層
33 積層セラミックコンデンサの外層
40 積層体ブロック
REFERENCE SIGNS LIST 1 first support sheet 2 ceramic green sheet 4 second support sheet 5 release layer 6 electrode layer 7 spacer layer 9 third support sheet 10 adhesive layer 11 adhesive layer sheet 15, 16 pressure roller 17, 18 pressure roller Reference Signs List 20 laminated unit 25 substrate 26 hole 28 support 30 base 31 hole 32 adhesive layer 33 outer layer 40 of laminated ceramic capacitor laminated block

Claims (19)

第一の支持シートの表面に、セラミックグリーンシートを形成する工程と、第二の支持シートの表面に、剥離層を形成する工程と、前記剥離層の表面に、所定のパターンで、電極層を形成するとともに、前記電極層と相補的なパターンで、スペーサ層を形成する工程と、第三の支持シートの表面に、バインダに対して、0.01重量%ないし15重量%の帯電防止剤を含む接着層を形成する工程と、前記第三の支持シート上に形成された前記接着層の表面と、前記セラミックグリーンシートの表面とを密着させて、加圧し、前記接着層を、前記セラミックグリーンシートの表面に接着する工程と、前記接着層から、前記第三の支持シートを剥離する工程と、前記第二の支持シートの表面に形成された前記電極層および前記スペーサ層の表面と、前記接着層の表面とを密着させて、加圧し、接着させて、前記セラミックグリーンシートと、前記電極層および前記スペーサ層とが積層された積層体ユニットを作製する工程を含むことを特徴とする積層セラミック電子部品用の積層体ユニットの製造方法。 A step of forming a ceramic green sheet on the surface of the first support sheet, a step of forming a release layer on the surface of the second support sheet, and forming an electrode layer on the surface of the release layer in a predetermined pattern. Forming and forming a spacer layer in a pattern complementary to the electrode layer, and applying 0.01 to 15% by weight of an antistatic agent to the surface of the third support sheet with respect to the binder. A step of forming an adhesive layer including: a surface of the adhesive layer formed on the third support sheet, and a surface of the ceramic green sheet are brought into close contact with each other and pressed, so that the adhesive layer is formed of the ceramic green sheet. A step of bonding to the surface of a sheet, a step of peeling the third support sheet from the adhesive layer, and a surface of the electrode layer and the spacer layer formed on the surface of the second support sheet. A step of producing a laminate unit in which the ceramic green sheet, the electrode layer, and the spacer layer are laminated by bringing the surface of the adhesive layer into close contact, pressing, and bonding. A method of manufacturing a multilayer unit for a multilayer ceramic electronic component. 前記接着層が、バインダに対して、0.01重量%ないし10重量%の帯電防止剤を含んでいることを特徴とする請求項1に記載の積層セラミック電子部品用の積層体ユニットの製造方法。 2. The method according to claim 1, wherein the adhesive layer contains 0.01 to 10% by weight of an antistatic agent with respect to the binder. . 前記帯電防止剤として、イミダゾリン系界面活性剤、ポリアルキレングリコール誘導体系界面活性剤およびカルボン酸アミジン塩系界面活性剤よりなる群から選ばれる両性界面活性剤を用いることを特徴とする請求項1または2に記載の積層セラミック電子部品用の積層体ユニットの製造方法。 2. The method according to claim 1, wherein the antistatic agent is an amphoteric surfactant selected from the group consisting of an imidazoline surfactant, a polyalkylene glycol derivative surfactant, and a carboxylic acid amidine salt surfactant. 3. The method for manufacturing a multilayer unit for a multilayer ceramic electronic component according to item 2. 前記帯電防止剤として、イミダゾリン系界面活性剤を用いることを特徴とする請求項3に記載の積層セラミック電子部品用の積層体ユニットの製造方法。 The method according to claim 3, wherein an imidazoline surfactant is used as the antistatic agent. 前記剥離層の表面に、前記電極層を形成した後に、前記電極層と相補的なパターンで、前記スペーサ層を前記剥離層の表面に形成することを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1項に記載の積層セラミック電子部品用の積層体ユニットの製造方法。 5. The method according to claim 1, wherein after forming the electrode layer on the surface of the release layer, the spacer layer is formed on the surface of the release layer in a pattern complementary to the electrode layer. 6. 2. The method for producing a multilayer unit for a multilayer ceramic electronic component according to claim 1. 前記剥離層の表面に、形成されるべき前記電極層のパターンと相補的なパターンで、前記スペーサ層を形成した後に、前記電極層を前記剥離層の表面に形成することを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1項に記載の積層セラミック電子部品用の積層体ユニットの製造方法。 After forming the spacer layer in a pattern complementary to the pattern of the electrode layer to be formed on the surface of the release layer, the electrode layer is formed on the surface of the release layer. The method for manufacturing a multilayer unit for a multilayer ceramic electronic component according to any one of claims 1 to 4. 前記剥離層が、前記セラミックグリーンシートに含まれている誘電体と同一組成の誘電体を含んでいることを特徴とする請求項1ないし6のいずれか1項に記載の積層セラミック電子部品用の積層体ユニットの製造方法。 7. The multilayer ceramic electronic component according to claim 1, wherein the release layer includes a dielectric having the same composition as a dielectric included in the ceramic green sheet. 8. A method for manufacturing a laminate unit. 前記剥離層が、前記セラミックグリーンシートに含まれているバインダと同系のバインダを含んでいることを特徴とする請求項1ないし7のいずれか1項に記載の積層セラミック電子部品用の積層体ユニットの製造方法。 The laminate unit for a multilayer ceramic electronic component according to any one of claims 1 to 7, wherein the release layer includes a binder similar to a binder contained in the ceramic green sheet. Manufacturing method. 前記接着層が、前記セラミックグリーンシートに含まれているバインダと同系のバインダを含んでいることを特徴とする請求項1ないし8のいずれか1項に記載の積層セラミック電子部品用の積層体ユニットの製造方法。 The multilayer unit for a multilayer ceramic electronic component according to any one of claims 1 to 8, wherein the adhesive layer includes a binder similar to a binder included in the ceramic green sheet. Manufacturing method. 前記スペーサ層が、前記セラミックグリーンシートに含まれている誘電体と同一組成の誘電体を含んでいることを特徴とする請求項1ないし9のいずれか1項に記載の積層セラミック電子部品用の積層体ユニットの製造方法。 10. The multilayer ceramic electronic component according to claim 1, wherein the spacer layer includes a dielectric having the same composition as a dielectric included in the ceramic green sheet. 11. A method for manufacturing a laminate unit. 前記スペーサ層が、前記セラミックグリーンシートに含まれているバインダと同系のバインダを含んでいることを特徴とする請求項1ないし10のいずれか1項に記載の積層セラミック電子部品用の積層体ユニットの製造方法。 The multilayer unit for a multilayer ceramic electronic component according to any one of claims 1 to 10, wherein the spacer layer includes a binder similar to a binder included in the ceramic green sheet. Manufacturing method. 前記接着層を、0.1μm以下の厚さに形成することを特徴とする請求項1ないし11のいずれか1項に記載の積層セラミック電子部品用の積層体ユニットの製造方法。 The method of manufacturing a multilayer unit for a multilayer ceramic electronic component according to claim 1, wherein the adhesive layer is formed to a thickness of 0.1 μm or less. 前記セラミックグリーンシートを、3μm以下の厚さに形成することを特徴とする請求項1ないし12のいずれか1項に記載の積層セラミック電子部品用の積層体ユニットの製造方法。 The method according to any one of claims 1 to 12, wherein the ceramic green sheet is formed to a thickness of 3 m or less. 前記セラミックグリーンシートと、前記接着層とを、0.2ないし15MPaの圧力で、加圧することを特徴とする請求項1ないし13のいずれか1項に記載の積層セラミック電子部品用の積層体ユニットの製造方法。 14. The multilayer body unit for a multilayer ceramic electronic component according to claim 1, wherein the ceramic green sheet and the adhesive layer are pressed at a pressure of 0.2 to 15 MPa. Manufacturing method. 前記第一の支持シート、前記第二の支持シートおよび前記第三の支持シートが、ポリエチレンテレフタレートおよびポリプロピレンよりなる群から選ばれた樹脂によって形成されたことを特徴とする請求項1ないし14のいずれか1項に記載の積層セラミック電子部品用の積層体ユニットの製造方法。 The method according to any one of claims 1 to 14, wherein the first support sheet, the second support sheet, and the third support sheet are formed of a resin selected from the group consisting of polyethylene terephthalate and polypropylene. The method for producing a multilayer unit for a multilayer ceramic electronic component according to claim 1. 剥離層と、前記剥離層の表面に、所定のパターンで形成された電極層および前記電極層と相補的なパターンで形成されたスペーサ層と、前記電極層および前記スペーサ層の表面に接着された接着層と、前記接着層の表面に接着されたセラミックグリーンシートとを備え、前記接着層が、バインダに対して、0.01重量%ないし15重量%の帯電防止剤を含むことを特徴とする積層電子部品用の積層体ユニット。 A release layer, an electrode layer formed in a predetermined pattern on a surface of the release layer, a spacer layer formed in a pattern complementary to the electrode layer, and a surface of the electrode layer and the spacer layer. An adhesive layer and a ceramic green sheet adhered to the surface of the adhesive layer, wherein the adhesive layer contains 0.01% to 15% by weight of an antistatic agent with respect to a binder. A laminated unit for laminated electronic components. 前記接着層が、バインダに対して、0.01重量%ないし10重量%の帯電防止剤を含んでいることを特徴とする請求項16に記載の積層セラミック電子部品用の積層体ユニット。 17. The laminate unit for a multilayer ceramic electronic component according to claim 16, wherein the adhesive layer contains 0.01% to 10% by weight of an antistatic agent with respect to the binder. 前記接着層が、帯電防止剤として、イミダゾリン系界面活性剤、ポリアルキレングリコール誘導体系界面活性剤およびカルボン酸アミジン塩系界面活性剤よりなる群から選ばれる両性界面活性剤を含むことを特徴とする請求項16または17に記載の積層電子部品用の積層体ユニット。 The adhesive layer is characterized in that the antistatic agent contains an amphoteric surfactant selected from the group consisting of an imidazoline surfactant, a polyalkylene glycol derivative surfactant, and a carboxylic acid amidine salt surfactant. A laminate unit for a laminated electronic component according to claim 16. 前記接着層が、帯電防止剤として、イミダゾリン系界面活性剤を含むことを特徴とする請求項18に記載の積層電子部品用の積層体ユニット。 The laminate unit for a laminated electronic component according to claim 18, wherein the adhesive layer contains an imidazoline-based surfactant as an antistatic agent.
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