JP2004312394A - Parametric speaker and electroacoustic transducer therefor - Google Patents

Parametric speaker and electroacoustic transducer therefor Download PDF

Info

Publication number
JP2004312394A
JP2004312394A JP2003103428A JP2003103428A JP2004312394A JP 2004312394 A JP2004312394 A JP 2004312394A JP 2003103428 A JP2003103428 A JP 2003103428A JP 2003103428 A JP2003103428 A JP 2003103428A JP 2004312394 A JP2004312394 A JP 2004312394A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
parametric speaker
piezoelectric actuator
electroacoustic transducer
resonator
speaker according
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2003103428A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Makoto Katase
誠 片瀬
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Priority to JP2003103428A priority Critical patent/JP2004312394A/en
Publication of JP2004312394A publication Critical patent/JP2004312394A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
  • Circuit For Audible Band Transducer (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electroacoustic transducer for a parametric speaker which is excellent in conversion of an electric signal into an ultrasonic wave and is advantageous in miniaturization , and to provide a parametric speaker. <P>SOLUTION: The electroacoustic transducer 2 for a parametric speaker is used for a parametric speaker, converts the inputted electric signal into an ultrasonic wave, and radiates it. This electroacoustic transducer 2 is provided with a piezoelectric actuator 3 having a long shape and stretching vibrating in the longitudinal direction by inputting an electric signal, a base 4 for supporting the base end of the piezoelectric actuator 3, a diaphragm 5 provided on the end side of the piezoelectric actuator 3 having a vibrating section 51 vibrating so as to generate an ultrasonic wave in response to the stretching vibration of the piezoelectric actuator 3, and a resonator 6 for allowing the ultrasonic wave generated by the diaphragm 5 to resonate. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、パラメトリックスピーカ用電気音響変換器およびパラメトリックスピーカに関する。
【0002】
【従来の技術】
音を向ける方向に関して高い指向性が得られるパラメトリックスピーカ(俗にオーディオ・スポットライトとも称される)が知られている(例えば、非特許文献1参照)。パラメトリックスピーカは、電気信号を超音波に変換して放射する電気音響変換器を備えており、音声信号に応じて振幅変調した超音波をこの電気音響変換器から放射し、この超音波が空中を伝播する間に音波の非線形現象によって自己復調されることによって生じた可聴音を人間の耳に聞かせる。このように、パラメトリックスピーカは、指向性の高い超音波帯域の音波を放射することによって可聴音を発生することができるので、音を向ける方向に関して高い指向性を有している。
【0003】
しかしながら、従来のパラメトリックスピーカでは、超音波源となる電気音響変換器の変換効率が悪く、かつ大型であった。このため、従来のパラメトリックスピーカでは、重量が重い、大型である、電力消費量が大きい、音質が悪い、製造コストが高い等の多くの欠点がある。そして、パラメトリックスピーカは、自己復調によって可聴音に変換される際に生じる損失のために、エネルギー効率が低いので、上述したような欠点を克服するのが極めて困難であった。
【0004】
【非特許文献1】
M.Yoneyama, et al., J.Acoust.Soc.Am v73 1532−1536 (1983)
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、電気信号を超音波に変換する際の変換効率に優れるとともに、小型化に有利なパラメトリックスピーカ用電気音響変換器およびパラメトリックスピーカを提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明のパラメトリックスピーカ用電気音響変換器は、パラメトリックスピーカに用いられ、入力された電気信号を超音波に変換して放射するパラメトリックスピーカ用電気音響変換器であって、
長尺形状をなし、前記電気信号が入力されることによりその長手方向に伸縮振動する圧電アクチュエータと、
前記圧電アクチュエータの基端部を支持する基台と、
前記圧電アクチュエータの先端側に設置され、前記圧電アクチュエータの伸縮振動に伴って超音波を発生するように振動する振動部を有する振動板と、
前記振動板が発生する超音波を共鳴させる共鳴器とを備えることを特徴とする。
これにより、電気信号を超音波に変換する際の変換効率に優れるとともに、小型化に有利なパラメトリックスピーカ用電気音響変換器を提供することができる。このパラメトリックスピーカ用電気音響変換器を用いたパラメトリックスピーカでは、電力消費量の低減、小型化・軽量化、低コスト化が図れる。
【0007】
本発明のパラメトリックスピーカ用電気音響変換器では、前記共鳴器は、共鳴室と、前記共鳴室に連通する放音孔とを有することが好ましい。
これにより、超音波の音圧をより強く放射することができ、さらに優れた変換効率が得られるとともに、パラメトリックスピーカの特徴である音の指向性をさらに十分に生かすことができる。
【0008】
本発明のパラメトリックスピーカ用電気音響変換器では、前記放音孔は、前記圧電アクチュエータの先端面と非対向な位置に形成されていることが好ましい。
これにより、複数のパラメトリックスピーカ用電気音響変換器を並べて配置する場合、各パラメトリックスピーカ用電気音響変換器の放音孔の配置を高い自由度で定めることができる。
【0009】
本発明のパラメトリックスピーカ用電気音響変換器では、前記圧電アクチュエータは、圧電材料と導電材料とをそれぞれ層状に交互に積層した部分を有することが好ましい。
これにより、圧電アクチュエータは、比較的低い電圧でも大きな変位量が得られるとともに、制御性(応答性)に優れることとなるので、さらに優れた変換効率が得られ、パラメトリックスピーカに用いた場合、より優れた音質が得られる。また、圧電アクチュエータの加工性を優れたものにすることもできるので、量産に適し、より低いコストで製造することができる。
【0010】
本発明のパラメトリックスピーカ用電気音響変換器では、前記圧電材料と前記導電材料とは、前記圧電アクチュエータの伸縮方向に対し平行に積層されていることが好ましい。
これにより、圧電アクチュエータは、他の振動モードと比較してより高いエネルギー効率が得られる。
【0011】
本発明のパラメトリックスピーカ用電気音響変換器では、前記圧電材料と前記導電材料とは、前記圧電アクチュエータの伸縮方向に対し垂直に積層されていることが好ましい。
これにより、圧電アクチュエータは、より多層に積層を可能とし、より低い電圧で駆動することができる。
【0012】
本発明のパラメトリックスピーカ用電気音響変換器では、前記基台と前記共鳴器とは、固定部材を介して固定されていることが好ましい。
これにより、製造(組み立て)に際し、固定部材と基台との相対的な位置関係を調整することにより共鳴器(振動板)に対して圧電アクチュエータを正確に位置決めすることができ、容易に製造することができる。
【0013】
本発明のパラメトリックスピーカ用電気音響変換器では、前記振動板と重ねて接合された放音プレートを備え、前記振動板と前記放音プレートとの少なくとも一方の接合面側に形成された凹部により前記共鳴器の共鳴室が形成されていることが好ましい。
これにより、共鳴器部分の製造(組み立て)を容易に行うことができる。
【0014】
本発明のパラメトリックスピーカ用電気音響変換器では、前記振動板とスペーサプレートと放音プレートとがこの順に重ねて接合されており、前記スペーサプレートにより前記振動板と前記放音プレートとの間に形成された空間によって前記共鳴器の共鳴室の少なくとも一部が形成されていることが好ましい。
これにより、共鳴器部分の製造(組み立て)を容易に行うことができる。
【0015】
本発明のパラメトリックスピーカ用電気音響変換器では、前記圧電アクチュエータは、その伸縮方向に平行な面が前記基台に重なるように固着されていることが好ましい。
これにより、基台に対して圧電アクチュエータを容易かつ強固に固定することができる。
【0016】
本発明のパラメトリックスピーカ用電気音響変換器では、前記圧電アクチュエータの伸縮方向についての前記基台の長さは、前記圧電アクチュエータの長さより長いことが好ましい。
これにより、パラメトリックスピーカ用電気音響変換器の製造(組み立て)を容易に行うことができる。
【0017】
本発明のパラメトリックスピーカは、本発明の少なくとも1つのパラメトリックスピーカ用電気音響変換器と、
超音波帯域の周波数で電圧が振動する信号を生成する発振器と、
音声信号に基づいて前記信号を振幅変調する振幅変調器と、
前記振幅変調器によって変調された被変調信号を増幅する増幅器とを備え、
前記増幅器で増幅された被変調信号を前記パラメトリックスピーカ用電気音響変換器に入力して超音波を放射することを特徴とする。
これにより、電力消費量の低減、小型化・軽量化、低コスト化が図れるパラメトリックスピーカを提供することができる。
【0018】
本発明のパラメトリックスピーカでは、前記パラメトリックスピーカ用電気音響変換器の圧電アクチュエータの伸縮振動の固有振動数と、前記発振器の発振周波数とが近傍にあることが好ましい。
これにより、圧電アクチュエータを共振現象によってより大きな振幅で振動させることができるので、電気音響変換器の変換効率をさらに向上することができ、さらなる電力消費量の低減、小型化・軽量化が図れる。
【0019】
本発明のパラメトリックスピーカでは、前記パラメトリックスピーカ用電気音響変換器の共鳴器の共鳴周波数と、前記発振器の発振周波数とが近傍、または倍音関係の近傍にあることが好ましい。
これにより、振動板で発生した超音波をより強く共鳴させることができるので、電気音響変換器の変換効率をさらに向上することができ、さらなる電力消費量の低減、小型化・軽量化が図れる。
【0020】
本発明のパラメトリックスピーカでは、前記パラメトリックスピーカ用電気音響変換器の圧電アクチュエータの伸縮振動の固有振動数と、前記共鳴器の共鳴周波数とが近傍、または倍音関係の近傍にあることが好ましい。
これにより、振動板で発生した超音波をより強く共鳴させることができるので、電気音響変換器の変換効率をさらに向上することができ、さらなる電力消費量の低減、小型化・軽量化が図れる。
【0021】
【発明の実施の形態】
以下、本発明のパラメトリックスピーカ用電気音響変換器およびパラメトリックスピーカを添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
図1および図2は、それぞれ、本発明のパラメトリックスピーカ用電気音響変換器の実施形態を示す斜視図および断面側面図である。なお、以下では、説明の都合上、図1および図2中の上側を「先端」、下側を「基端」と言う。
【0022】
図1および図2に示すパラメトリックスピーカ用電気音響変換器2(以下、単に「電気音響変換器2」と言う)は、パラメトリックスピーカに用いられるものであり、入力された電気信号を超音波(超音波振動)に変換して空中に放射するものである。なお、電気音響変換器2を備えたパラメトリックスピーカ1の全体構成については後述する。
この電気音響変換器2は、長尺形状(細長い形状)をなす圧電アクチュエータ(圧電振動体)3と、該圧電アクチュエータ3の基端(固定端)部を支持する基台4と、圧電アクチュエータ3の先端(自由端)側に設置された振動板5と、振動板5が発生する超音波を共鳴させる共鳴器6と、固定部材7とを備えている。
【0023】
図1に示すように、本実施形態では、n行×2列(nは、2以上の整数)に並ぶ複数の電気音響変換器2が一体となった構成(電気音響変換器アレイ)になっている。そして、この電気音響変換器アレイでは、基台4、振動板5、共鳴器6および固定部材7(固定部材7は図1中では省略)は、それぞれ、各電気音響変換器2のものが一体に形成されている。
図2に示すように、同図中で左側の列の電気音響変換器2と右側の列の電気音響変換器2とは、その構造が互いに面対称の関係にある。また、各列の複数の電気音響変換器2は、その構造が互いに同じになっている。よって、以下では、1つの電気音響変換器2について代表して説明する。
【0024】
圧電アクチュエータ3は、電気信号(振動電圧)が入力(印加)されることにより、その長手方向に伸縮振動するものである。この圧電アクチュエータ3は、圧電材料と導電材料とをそれぞれ層状に交互に積層した部分を有している。また、本実施形態では、圧電材料と導電材料とは、圧電アクチュエータ3の伸縮方向(長手方向)に対し平行に積層されている。
【0025】
以下、この圧電アクチュエータ3の製造方法の一例について説明するが、製造工程の図示は省略する。また、以下の例は、列方向(図2の紙面に垂直な方向)に並ぶ複数の圧電アクチュエータ3を同時に製造する場合の例である。
定盤の上にペースト状に調製した圧電材料(例えばチタン酸・ジルコン酸鉛系複合ペロブスカイトセラミックス材料)を薄く塗布して第1の圧電材料層31を形成し、これの表面に例えば蒸着または導電性塗料の塗布等の方法により、第1の圧電材料層31の一部に露出部を残すようにして第1の導電層32を形成し、さらにこの第1の導電層32および第1の圧電材料層31の露出部との表面に圧電材料を薄く塗布して第2の圧電材料層33を形成し、さらにこれの上に第1の導電層32とは異なる側に第2の導電層34を形成する、という工程を必要な回数だけ繰り返す。
【0026】
このようにして所定の層数を形成した段階で、乾燥させ、これに圧力を加えた状態で温度1000〜1200℃で1時間程度焼成することにより板状のセラミック(圧電板)に仕上がる。次いで、各第1の導電層32が露出している一方の端部に導電塗料を塗布して一方の集電極35を、また各第2の導電層34が露出している他方の端部に導電塗料を塗布して集電極36を形成する。このようにして形成された圧電板を基台4(基台4の集合体)の突部41に例えば導電性接着剤等を用いて固定し、所定幅間隔で、基台4の表面近傍までダイヤモンドカッタ等によりカット(歯割加工)する。この歯割加工(切削)により生じたスリットによって前記圧電板を複数の長尺形状部材に分離することにより、複数の圧電アクチュエータ3が形成される。圧電アクチュエータ3は、例えば以上説明したような方法により、比較的容易かつ低コストで製造することができる。
【0027】
このような圧電アクチュエータ3では、複数の第1の導電層32と、複数の第2の導電層34とが、一対の櫛歯電極として機能する。そして、電気音響変換器2では、集電極35、36に、それぞれ、図示しない導電材料(導電部材)が接続されており、一対の櫛歯電極としての第1の導電層32および第2の導電層34に電気信号(電圧)を入力(印加)することができるようになっている。なお、振動板5が導電材料で構成されている場合には、振動板5が集電極35に対する導電部材として機能してもよい。
図2に示す圧電アクチュエータ3では、圧電材料と導電材料(電極)とが伸縮方向(長手方向)に平行に配置されていることにより、他の振動モードと比較してより高いエネルギー効率が得られる。
【0028】
圧電アクチュエータ3は、伸縮振動の固有振動数νが、20kHz〜800kHzであるのが好ましく、40kHz〜400kHzであるのがより好ましい。また、後述するように、この固有振動数νは、パラメトリックスピーカ1の発振器11の発振周波数νの近傍にあることがより好ましい。また、固有振動数νと、共鳴器6の共鳴周波数νとが近傍、または倍音関係の近傍にあることがより好ましい。
【0029】
図3は、本発明における圧電アクチュエータの他の構成例を示す斜視図である。図3に示す圧電アクチュエータ3’では、圧電材料と導電材料とが圧電アクチュエータ3’の伸縮方向(長手方向)に対し垂直に積層されている。本発明では、前記圧電アクチュエータ3に代えて、この圧電アクチュエータ3’のようなものを用いてもよい。図3に示す圧電アクチュエータ3’では、圧電材料と導電材料とをより多くの層で積層することができるので、より低い電圧で駆動することができる。
【0030】
図2に示すように、基台4は、その基端側の部分に、圧電アクチュエータ3を固定するための側方に突出した突部41を有している。圧電アクチュエータ3は、その先端(先端面)が振動板5に接合され、その基端部が基台4の突部41に固定されている。
本発明では、圧電アクチュエータ3の基端部が基台4に固着されているため、基台4の強度(剛性)により、圧電アクチュエータ3にはそれほど大きな強度が必要とされないことから、製造が容易であり、小型化にも有利である。また、図示の構成では、圧電アクチュエータ3は、その伸縮方向(長手方向)に平行な面が基台4の突部41に重なるように固着されている。これにより、上記効果がより顕著に発揮される。
【0031】
基台4は、その先端の位置が圧電アクチュエータ3の先端面とほぼ一致し、また基端の位置が圧電アクチュエータ3の基端を超えて基端方向に突出する大きさに構成されている。すなわち、圧電アクチュエータ3の伸縮方向についての基台4の長さは、圧電アクチュエータ3の長さより長くなっている。そして、基台4は、その基端(基端面)を固定部材7に固定されている。また、基台4の先端(先端面)は、振動板5に接合(固定)されている。固定部材7は、振動板5および共鳴器6を支持するとともに、基台4を介して圧電アクチュエータ3の先端を振動板5に当接させている。
【0032】
基台4の先端面には、後述する共鳴室63と圧電アクチュエータ3とを隔離する振動板5が固定されている。この振動板5は、圧電アクチュエータ3の先端面と接合(固定または当接)された振動部51を有している。また、振動板5は、振動部51の近傍に設けられた凹部52、53によって形成された薄肉部を有している。これにより、振動部51は、圧電アクチュエータ3の振動により確実に追従して振動できるようになっている。
【0033】
振動板5の構成材料は、特に限定されないが、例えば、ステンレス鋼、シリコン、エポキシ樹脂、アクリル樹脂、ジグリコールジアルキルカルボネート樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリイミド樹脂、メラミン樹脂、フェノール樹脂、尿素樹脂窒化珪素、ジルコニア、部分安定化ジルコニア等の、各種金属材料、各種樹脂材料、各種セラミックを用いることができる。
【0034】
振動板5の先端面側には、共鳴室63を有する共鳴器6が設置されている。この共鳴器6は、ヘルムホルツ共鳴器として機能するものである。共鳴器6は、振動板5の先端面側に重ねて接合(固定)されたスペーサプレート(スペーサ部材)62と、該スペーサプレート62の先端面側に重ねて接合(固定)された放音プレート61とで構成されている。
【0035】
スペーサプレート62は、振動板5との接合面側に形成された凹部621と、凹部621から先端面側に貫通する貫通孔622とを有している。凹部621によって、振動板5と放音プレート61との間に空間(隙間)が形成されており、この凹部621内の空間が共鳴室63を構成している。
放音プレート61には、貫通孔622を介して共鳴室63に連通する放音孔64が形成されている。この放音孔64および貫通孔622は、ヘルムホルツ共鳴器におけるポート部を構成する。
図示の構成では、放音孔64および貫通孔622は、圧電アクチュエータ3の先端面と非対向な位置に形成されている。これにより、放音孔64の配置位置の自由度を高めることができ、例えば本実施形態のように、各列の放音孔64を互いに近づけて配置することも可能になる(図1参照)。
【0036】
このような電気音響変換器2の圧電アクチュエータ3に超音波帯域の周波数で電圧が振動する電気信号(振動電圧)を入力すると、圧電アクチュエータ3は、その長手方向に伸縮振動し、これに伴って振動板5の振動部51が振動して、超音波を発生する。振動板5で発生した超音波は、共鳴器6で共鳴し、図2中の上方向に向かって放射される。
【0037】
基台4、放音プレート61、スペーサプレート62、固定部材7の構成材料は、それぞれ、特に限定されないが、例えば、ステンレス鋼、シリコン、SiO、ポリイミド、ポリサルフォン、ネガ型またはポジ型の感光性樹脂材料(エポキシ樹脂、アクリル樹脂、ジグリコールジアルキルカルボネート樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリイミド樹脂、メラミン樹脂、フェノール樹脂、尿素樹脂など)等の、各種金属材料、各種樹脂材料、各種ガラス、各種セラミックスを用いることができる。
【0038】
本発明の電気音響変換器2では、共鳴器6を設けたことにより、超音波を共鳴させて放射することができるので、入力された電気信号を超音波(音響エネルギー)に変換する変換効率(以下、単に「変換効率」と言う場合もある)が高い。よって、電気音響変換器2を用いたパラメトリックスピーカでは、比較的低い電圧の電気信号でも十分な強さで超音波を放射することができるので、電力消費量の低減が図れる。
【0039】
さらに、本発明の電気音響変換器2は、小型化に極めて有利であり、多数の電気音響変換器2を例えば行列状に並べて設置する場合、単位面積当たりの配置個数を極めて多くすることができる。よって、比較的小さいパラメトリックスピーカでも、十分な強さの可聴音が得られ、パラメトリックスピーカの小型化・軽量化が図れる。
【0040】
特に、本実施形態では、共鳴器6に放音孔64を設けたことにより、超音波がより強く共鳴し、さらに優れた変換効率が得られるとともに、超音波の音圧をより強く放射することができる。よって、上述した効果(電力消費量の低減、小型化・軽量化)がより顕著に発揮されるとともに、パラメトリックスピーカの特徴である音の指向性をさらに十分に生かすことができる。
【0041】
なお、共鳴器6は、より優れた共鳴状態を得るために、次のような条件を満足するものであるのが好ましい。共鳴器6の共鳴周波数νは、10kHz〜200kHzであるのが好ましく、20kHz〜100kHzであるのがより好ましい。なお、後述するように、この共鳴周波数νは、圧電アクチュエータ3の伸縮振動の固有振動数νやパラメトリックスピーカ1の発振器11の発振周波数νと近傍にあることや倍音関係の近傍にあることがより好ましい。共鳴器6が上記のような条件を満足するものであることにより、電気音響変換器2を用いたパラメトリックスピーカでは、上述した共鳴器6の効果がより顕著に発揮される。
なお、一般に、ヘルムホルツ共鳴器は、次式で示される共鳴周波数νを持つ。
【0042】
【数1】

Figure 2004312394
ただし、上記式において、cは音速、Sはポート部(放音孔)の開口面積、Vは共鳴室の容積、Lはポート部の長さ(図2中のLで示す長さ)である。
【0043】
以下、上記式に基づいて、例えばある実施例における共鳴周波数νを計算する。S=50μm×50μm、L=50μm、V=100μm×100μm×1.5mmの共鳴器を考えると、共鳴周波数νは約99kHzである。この場合、後述するパラメトリックスピーカ1において、この共鳴周波数νの近傍の発振周波数νを使うことにより、さらに高い効率で空気にエネルギーを伝達させることができる。ただし、実際の共鳴器6は複雑な幾何学的構造を持つため、上記のような計算値は目安に留め、実物での合わせこみが望ましい。こうすれば、より低パワー(低消費電力)で高効率なパラメトリックスピーカが得られる。
【0044】
また、電気音響変換器2では、基台4を介して共鳴器6(振動板5)に対し圧電アクチュエータ3を位置決めできるため、固定部材7と基台4との相対的な位置関係を調整することにより共鳴器6(振動板5)に対して圧電アクチュエータ3を正確に位置決めすることができる。よって、圧電アクチュエータ3の先端を振動部51に高い位置精度で当接させることが可能となる。また、基台4に前記圧電板の基端側を固着した状態で歯割加工してから、固定部材7に位置決めできるため、機械的強度が高い基台4を介して脆弱な圧電アクチュエータ3を位置決めでき、共鳴器6(振動板5)への位置決め時のハンドリングを容易化することができ、さらに基台4と固定部材7とが別部材として構成できるため、それぞれの目的に合致した材料、つまり基台4には圧電アクチュエータ3からの反力を受け止めるに十分な剛性の高い材料を、また固定部材7には射出成形等により製造することが可能な高分子材料等を選択することができる。このようなことから、電気音響変換器2では、高性能化(高変換効率化)と、製造コストの低減との両立を、高いレベルで達成することができる。
【0045】
また、本実施形態では、圧電アクチュエータ3は、前述したような積層構造を有していることにより、比較的低い電圧でも大きな変位量が得られるとともに、制御性(応答性)に優れる。これにより、本実施形態の電気音響変換器2は、さらに優れた変換効率が得られ、パラメトリックスピーカに用いた場合、より優れた音質が得られる。また、圧電アクチュエータ3は、前述したような積層構造を有していることにより、加工性にも優れ、量産に適し、より低いコストで製造することができ、さらに耐久性も高い。
【0046】
図4は、本発明のパラメトリックスピーカ用電気音響変換器による他の実施形態を示す斜視図である。図4に示す電気音響変換器2’では、前記電気音響変換器2と異なり、共鳴器6がスペーサプレート62を有さず、振動板5’に放音プレート61’が重ねて接合(固定)されている。そして、振動板と放音プレートとの接合面側にそれぞれ形成された凹部54、55と凹部65とにより、共鳴器6の共鳴室63が形成されている。なお、図示の構成では、凹部54、55は、隣り合う電気音響変換器2’のものが連通しているが、共鳴器として独立させるためには、隔壁を形成することにより分離することがより望ましい。図4に示す実施形態では、スペーサプレート62が不要となり、組立工程の簡素化が図れる。上記の点以外は、電気音響変換器2’は、前記電気音響変換器2と同様である。
【0047】
図5は、本発明のパラメトリックスピーカの実施形態を示すブロック図、図6は、パラメトリックスピーカの原理を説明するための図である。以下、同図に基づいて、本発明のパラメトリックスピーカの実施形態について説明する。
図5に示すパラメトリックスピーカ(パラメトリックアレイスピーカ)1は、前述した電気音響変換器2と、発振器(搬送波発生手段)11と、振幅変調器(振幅変調手段)12と、増幅器(増幅手段)13と、音声入力インターフェース14とを備えている。
このパラメトリックスピーカ1は、可聴音(音声信号)によって超音波帯域の周波数をもつ搬送波(信号)を振幅変調したものを空中に放射し、空気の非線型特性を利用して可聴音を復調(自己復調)することにより、指向性の高い音響放射を行うことができるスピーカである。
【0048】
パラメトリックスピーカ1における電気音響変換器2の設置個数は、1個でもよいが、複数個であるのが好ましい。この設置個数の調整により、十分な大きさ(音圧)の可聴音を発生させることができる。前述したように、本発明の電気音響変換器2は、小型化に有利であるので、多数の電気音響変換器2を高い集積度(密度)で配置することができる。
【0049】
発振器11は、超音波帯域の周波数(約20kHz以上)で電圧が振動する信号(搬送波)を生成(発生)する。発振器11の発振周波数(搬送波の周波数)νは、超音波帯域であれば特に限定されないが、20kHz〜400kHz程度であるのが好ましく、40kHz〜100kHz程度であるのがより好ましい。
【0050】
図示しない音声生成器で生成された音声信号は、音声入力インターフェース14を介して振幅変調器12に入力される。振幅変調器12は、この音声信号に基づいて、発振器11から発振された信号、すなわち搬送波を振幅変調する。振幅変調器12における振幅変調方式は、特に限定されず、通常の振幅変調方式のものでもよく、また、信号の包絡をもって振幅変調する包絡変調方式でもよい。
【0051】
振幅変調器12によって変調された被変調信号は、増幅器13に入力され、電気音響変換器2を駆動可能なレベルに増幅される。増幅器13で増幅された被変調信号は、電気音響変換器2に入力される。電気音響変換器2は、この入力された信号を超音波に変換し、空中に、指向性を持って(図2中の上方向に)放射する。
【0052】
電気音響変換器2から空中に放射された超音波(被変調波)は、空気の非線形特性によって歪み波となり、空気中を伝搬中に元の音声信号の可聴音に復調される。この復調された可聴音は、元の超音波の超指向特性を持っているため、パラメトリックスピーカ1は、所望の特定空間(特定方向)に対してのみ音響放射を行うことができる。
【0053】
上記のようなパラメトリックスピーカ1の原理について、図6に基づいてさらに説明する。図6(a)は、伝送波、すなわち音声生成器から出力された音声信号の波形である。図6(b)は、発振器11で生成された信号(搬送波)の波形である。この搬送波を伝送波にのせることによって、伝送波は、図6(c)のような被変調波(被変調信号)に変換される。この被変調波を空中に放射すると、空気の非線形特性により空気が順方向に震動するときには早く進み、空気が逆方向に進むときには遅く進むことから、音波は、図6(d)のように歪んでゆき、元の可聴音が復調されていく(図6(e))。この復調された可聴音は、元の超音波の超指向特性を持っている。
【0054】
このようなパラメトリックスピーカ1では、電気音響変換器2の圧電アクチュエータ3の伸縮振動の固有振動数νと、発振器11の発振周波数νとが近傍にあるのが好ましい。ここで、νとνとが近傍にあるとは、好ましくは0.8≦ν/ν≦1.2、より好ましくは0.9≦ν/ν≦1.1なる関係を満足することを言う。ただし、固有振動数νは駆動中の発熱などによって微妙に変化するので、実際には、ほんのわずかに発振周波数νをずらすことによって結果として安定する条件を選ぶことも好ましい。以上のような条件を満足することにより、圧電アクチュエータ3を共振現象によって比較的低い電圧でもより大きな振幅で振動させることができるので、電気音響変換器2の変換効率をさらに向上することができる。
【0055】
また、パラメトリックスピーカ1では、発振器11の発振周波数νと、電気音響変換器2の共鳴器6の共鳴周波数νとが近傍、または倍音関係の近傍にあるのが好ましい。ここで、νとνとが近傍にあるとは、好ましくは0.8≦ν/ν≦1.2、より好ましくは0.9≦ν/ν≦1.1なる関係を満足することを言う。また、νとνとが倍音関係の近傍にあるとは、mおよびnをそれぞれ正の整数として、m×νと、n×νとが上記と同様に近傍にあることを言う。これにより、振動板5で発生した超音波をより強く共鳴させることができるので、電気音響変換器2の変換効率をさらに向上することができる。
【0056】
また、パラメトリックスピーカ1では、共鳴器6の共鳴周波数νと、圧電アクチュエータ3の固有振動数νとが近傍、または倍音関係の近傍にあるのが好ましい。ここで、νとνとが近傍にあるとは、好ましくは0.8≦ν/ν≦1.2、より好ましくは0.9≦ν/ν≦1.1なる関係を満足することを言う。また、νとνとが倍音関係の近傍にあるとは、iおよびjをそれぞれ正の整数として、i×νと、j×νとが上記と同様に近傍にあることを言う。これにより、振動板5で発生した超音波をより強く共鳴させることができるので、電気音響変換器2の変換効率をさらに向上することができる。
【0057】
さらに、パラメトリックスピーカ1では、圧電アクチュエータ3の固有振動数νと、発振器11の発振周波数νと、共鳴器6の共鳴周波数νとが互いに近傍にあるか倍音関係の近傍にあるのが最も好ましい。
なお、このようなパラメトリックスピーカ1は、複数の電気音響変換器2を有するものである場合、複数(複数組)の電気音響変換器2から互いに異なる周波数の超音波を放射してもよい。
【0058】
以上、本発明のパラメトリックスピーカ用電気音響変換器およびパラメトリックスピーカを図示の実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、パラメトリックスピーカ用電気音響変換器およびパラメトリックスピーカを構成する各部は、同様の機能を発揮し得る任意の構成のものと置換することができる。また、任意の構成物が付加されていてもよい。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のパラメトリックスピーカ用電気音響変換器の実施形態を示す斜視図。
【図2】本発明のパラメトリックスピーカ用電気音響変換器の実施形態を示す断面側面図。
【図3】本発明における圧電アクチュエータの他の構成例を示す斜視図。
【図4】本発明のパラメトリックスピーカ用電気音響変換器の他の実施形態を示す斜視図。
【図5】本発明のパラメトリックスピーカの実施形態を示すブロック図。
【図6】パラメトリックスピーカの原理を説明するための図。
【符号の説明】
1……パラメトリックスピーカ 11……発振器 12……振幅変調器 13……増幅器 14……音声入力インターフェース 2、2’……パラメトリックスピーカ用電気音響変換器 3、3’……圧電アクチュエータ 31……第1の圧電材料層 32……第1の導電層 33……第2の圧電材料層 34……第2の導電層 35、36……集電極 4……基台 41……突部 5、5’……振動板 51……振動部 52、53、54、55……凹部 6……共鳴器 61、61’……放音プレート 62……スペーサプレート 621……凹部 622……貫通孔 63……共鳴室 64……放音孔 65……凹部 7……固定部材[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to an electroacoustic transducer for a parametric speaker and a parametric speaker.
[0002]
[Prior art]
A parametric speaker (popularly referred to as an audio spotlight) capable of obtaining high directivity in a direction in which sound is directed is known (for example, see Non-Patent Document 1). The parametric speaker is provided with an electroacoustic transducer that converts an electric signal into an ultrasonic wave and radiates the ultrasonic wave. The ultrasonic wave whose amplitude is modulated according to the audio signal is radiated from the electroacoustic transducer, and the ultrasonic wave is transmitted through the air. An audible sound generated by self-demodulation by a non-linear phenomenon of sound waves during propagation is heard by a human ear. As described above, the parametric speaker can generate an audible sound by emitting a sound wave in an ultrasonic band having high directivity, and thus has high directivity in the direction in which the sound is directed.
[0003]
However, in a conventional parametric speaker, the conversion efficiency of an electroacoustic transducer serving as an ultrasonic source was poor and large. For this reason, the conventional parametric speaker has many disadvantages, such as heavy weight, large size, large power consumption, poor sound quality, and high manufacturing cost. And the parametric loudspeaker has a low energy efficiency due to the loss that occurs when it is converted into an audible sound by self-demodulation, so it has been extremely difficult to overcome the above-mentioned drawbacks.
[0004]
[Non-patent document 1]
M. Yoneyama, et al. , J. et al. Acoustic. Soc. Am v73 1532-1536 (1983)
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
An object of the present invention is to provide an electroacoustic transducer for a parametric speaker and a parametric speaker that are excellent in conversion efficiency when converting an electric signal into an ultrasonic wave and that are advantageous for miniaturization.
[0006]
[Means for Solving the Problems]
Such an object is achieved by the present invention described below.
An electroacoustic transducer for a parametric speaker of the present invention is used for a parametric speaker, and is an electroacoustic transducer for a parametric speaker that converts an input electric signal into an ultrasonic wave and radiates it.
A piezoelectric actuator that has a long shape and that expands and contracts in its longitudinal direction when the electric signal is input,
A base supporting a base end of the piezoelectric actuator,
A vibration plate that is installed on the tip side of the piezoelectric actuator and has a vibration unit that vibrates so as to generate an ultrasonic wave with expansion and contraction vibration of the piezoelectric actuator,
A resonator that resonates the ultrasonic waves generated by the diaphragm.
Thus, it is possible to provide an electroacoustic transducer for a parametric speaker that is excellent in conversion efficiency when converting an electric signal into an ultrasonic wave and is advantageous in miniaturization. In a parametric speaker using this electroacoustic transducer for a parametric speaker, reduction in power consumption, reduction in size and weight, and reduction in cost can be achieved.
[0007]
In the electroacoustic transducer for a parametric speaker according to the present invention, it is preferable that the resonator has a resonance chamber and a sound emission hole communicating with the resonance chamber.
As a result, the sound pressure of the ultrasonic wave can be radiated more strongly, further excellent conversion efficiency can be obtained, and the directivity of sound, which is a characteristic of the parametric speaker, can be more fully utilized.
[0008]
In the electroacoustic transducer for a parametric speaker according to the present invention, it is preferable that the sound emission hole is formed at a position that is not opposed to a front end surface of the piezoelectric actuator.
Thus, when a plurality of parametric speaker electro-acoustic transducers are arranged side by side, the arrangement of the sound emission holes of each parametric speaker electro-acoustic transducer can be determined with a high degree of freedom.
[0009]
In the electroacoustic transducer for a parametric speaker according to the present invention, it is preferable that the piezoelectric actuator has a portion in which a piezoelectric material and a conductive material are alternately stacked in layers.
As a result, the piezoelectric actuator can obtain a large amount of displacement even at a relatively low voltage and has excellent controllability (responsivity), so that a further excellent conversion efficiency can be obtained. Excellent sound quality can be obtained. Further, since the workability of the piezoelectric actuator can be improved, it is suitable for mass production and can be manufactured at lower cost.
[0010]
In the electroacoustic transducer for a parametric speaker according to the present invention, it is preferable that the piezoelectric material and the conductive material are stacked in parallel with a direction in which the piezoelectric actuator expands and contracts.
Thereby, the piezoelectric actuator can obtain higher energy efficiency as compared with other vibration modes.
[0011]
In the electroacoustic transducer for a parametric speaker according to the present invention, it is preferable that the piezoelectric material and the conductive material are stacked perpendicularly to a direction in which the piezoelectric actuator expands and contracts.
Thus, the piezoelectric actuator can be stacked in a multilayer structure, and can be driven at a lower voltage.
[0012]
In the electroacoustic transducer for a parametric speaker according to the present invention, it is preferable that the base and the resonator are fixed via a fixing member.
Thus, during manufacture (assembly), the relative position between the fixing member and the base can be adjusted to accurately position the piezoelectric actuator with respect to the resonator (diaphragm), thereby facilitating manufacture. be able to.
[0013]
In the electroacoustic transducer for a parametric speaker of the present invention, the electroacoustic transducer for a parametric speaker includes a sound emitting plate that is overlapped and joined to the diaphragm, and a concave portion formed on at least one joint surface side of the diaphragm and the sound emitting plate. Preferably, a resonance chamber of the resonator is formed.
This makes it possible to easily manufacture (assembly) the resonator portion.
[0014]
In the electroacoustic transducer for a parametric speaker according to the present invention, the diaphragm, the spacer plate, and the sound emission plate are overlapped and joined in this order, and are formed between the diaphragm and the sound emission plate by the spacer plate. Preferably, at least a part of the resonance chamber of the resonator is formed by the space defined.
This makes it possible to easily manufacture (assembly) the resonator portion.
[0015]
In the electroacoustic transducer for a parametric speaker according to the present invention, it is preferable that the piezoelectric actuator is fixed so that a surface parallel to a direction in which the piezoelectric actuator expands and contracts overlaps the base.
Thus, the piezoelectric actuator can be easily and firmly fixed to the base.
[0016]
In the electroacoustic transducer for a parametric speaker according to the present invention, it is preferable that a length of the base in a direction of expansion and contraction of the piezoelectric actuator is longer than a length of the piezoelectric actuator.
Thereby, manufacture (assembly) of the electroacoustic transducer for a parametric speaker can be easily performed.
[0017]
The parametric speaker of the present invention comprises: an electroacoustic transducer for at least one parametric speaker of the present invention;
An oscillator that generates a signal whose voltage oscillates at a frequency in the ultrasonic band,
An amplitude modulator that amplitude-modulates the signal based on an audio signal;
An amplifier that amplifies the modulated signal modulated by the amplitude modulator,
The modulated signal amplified by the amplifier is input to the parametric loudspeaker electro-acoustic transducer to emit ultrasonic waves.
This makes it possible to provide a parametric speaker capable of reducing power consumption, miniaturization, weight reduction, and cost reduction.
[0018]
In the parametric speaker according to the present invention, it is preferable that a natural frequency of expansion and contraction vibration of the piezoelectric actuator of the electroacoustic transducer for the parametric speaker and an oscillation frequency of the oscillator are close to each other.
As a result, the piezoelectric actuator can be vibrated with a larger amplitude due to the resonance phenomenon, so that the conversion efficiency of the electroacoustic transducer can be further improved, and the power consumption can be further reduced, and the size and weight can be further reduced.
[0019]
In the parametric loudspeaker of the present invention, it is preferable that the resonance frequency of the resonator of the electroacoustic transducer for a parametric loudspeaker and the oscillation frequency of the oscillator are close to each other or close to a harmonic relationship.
This allows the ultrasonic waves generated by the diaphragm to resonate more strongly, so that the conversion efficiency of the electroacoustic transducer can be further improved, and further reduction in power consumption and reduction in size and weight can be achieved.
[0020]
In the parametric speaker according to the present invention, it is preferable that the natural frequency of the expansion and contraction vibration of the piezoelectric actuator of the electroacoustic transducer for a parametric speaker and the resonance frequency of the resonator are in the vicinity or in the vicinity of the overtone relationship.
This allows the ultrasonic waves generated by the diaphragm to resonate more strongly, so that the conversion efficiency of the electroacoustic transducer can be further improved, and further reduction in power consumption and reduction in size and weight can be achieved.
[0021]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, an electroacoustic transducer for a parametric speaker and a parametric speaker of the present invention will be described in detail based on preferred embodiments shown in the accompanying drawings.
1 and 2 are a perspective view and a sectional side view, respectively, showing an embodiment of an electroacoustic transducer for a parametric speaker of the present invention. In addition, below, for convenience of explanation, the upper side in FIGS. 1 and 2 is referred to as a “distal end”, and the lower side is referred to as a “proximal end”.
[0022]
The electroacoustic transducer 2 for a parametric speaker (hereinafter simply referred to as “electroacoustic transducer 2”) shown in FIGS. 1 and 2 is used for a parametric speaker, and converts an input electric signal into an ultrasonic wave (ultrasonic wave). (Sonic vibration) and radiate into the air. Note that the overall configuration of the parametric speaker 1 including the electroacoustic transducer 2 will be described later.
The electroacoustic transducer 2 includes a piezoelectric actuator (piezoelectric vibrating body) 3 having a long shape (an elongated shape), a base 4 supporting a base end (fixed end) of the piezoelectric actuator 3, and a piezoelectric actuator 3. A vibration plate 5 installed on the tip (free end) side of the device, a resonator 6 for resonating the ultrasonic waves generated by the vibration plate 5, and a fixing member 7.
[0023]
As shown in FIG. 1, in the present embodiment, a configuration (electro-acoustic transducer array) in which a plurality of electro-acoustic transducers 2 arranged in n rows × 2 columns (n is an integer of 2 or more) is integrated. ing. In this electroacoustic transducer array, the base 4, the diaphragm 5, the resonator 6, and the fixing member 7 (the fixing member 7 is omitted in FIG. 1) are integrated with each of the electroacoustic transducers 2. Is formed.
As shown in FIG. 2, the electro-acoustic transducers 2 in the left-hand column and the electro-acoustic transducers 2 in the right-hand row in FIG. The plurality of electroacoustic transducers 2 in each row have the same structure. Therefore, hereinafter, one electroacoustic transducer 2 will be described as a representative.
[0024]
The piezoelectric actuator 3 expands and contracts in the longitudinal direction when an electric signal (oscillation voltage) is input (applied). The piezoelectric actuator 3 has a portion in which a piezoelectric material and a conductive material are alternately stacked in layers. Further, in the present embodiment, the piezoelectric material and the conductive material are stacked in parallel with the expansion and contraction direction (longitudinal direction) of the piezoelectric actuator 3.
[0025]
Hereinafter, an example of a method of manufacturing the piezoelectric actuator 3 will be described, but illustration of the manufacturing process is omitted. Further, the following example is an example in which a plurality of piezoelectric actuators 3 arranged in a row direction (a direction perpendicular to the paper surface of FIG. 2) are manufactured at the same time.
A first piezoelectric material layer 31 is formed by applying a thin paste of a piezoelectric material (for example, a lead titanate / zirconate-based composite perovskite ceramic material) on a surface plate to form a first piezoelectric material layer 31. The first conductive layer 32 is formed so as to leave an exposed portion in a part of the first piezoelectric material layer 31 by a method such as application of a conductive paint, and further, the first conductive layer 32 and the first piezoelectric layer 32 are formed. A second piezoelectric material layer 33 is formed by applying a thin piezoelectric material on the surface of the exposed portion of the material layer 31 to form a second piezoelectric material layer 33, and a second conductive layer 34 is provided on a different side from the first conductive layer 32. Is repeated as many times as necessary.
[0026]
At the stage where a predetermined number of layers are formed in this way, the plate is dried and baked at a temperature of 1000 to 1200 ° C. for about 1 hour in a state where pressure is applied, thereby completing a plate-shaped ceramic (piezoelectric plate). Next, a conductive paint is applied to one end where each first conductive layer 32 is exposed, and one collector electrode 35 is applied to the other end where each second conductive layer 34 is exposed. The collector 36 is formed by applying a conductive paint. The piezoelectric plate thus formed is fixed to the protrusion 41 of the base 4 (an aggregate of the base 4) using, for example, a conductive adhesive or the like, and is spaced from the surface of the base 4 at a predetermined width interval. Cut (tooth cutting) with a diamond cutter or the like. A plurality of piezoelectric actuators 3 are formed by separating the piezoelectric plate into a plurality of elongated members by slits generated by the tooth cutting (cutting). The piezoelectric actuator 3 can be manufactured relatively easily and at low cost, for example, by the method described above.
[0027]
In such a piezoelectric actuator 3, the plurality of first conductive layers 32 and the plurality of second conductive layers 34 function as a pair of comb electrodes. In the electroacoustic transducer 2, a conductive material (conductive member) (not shown) is connected to each of the collecting electrodes 35 and 36, and the first conductive layer 32 and the second conductive layer as a pair of comb-tooth electrodes are provided. An electric signal (voltage) can be input (applied) to the layer 34. When diaphragm 5 is made of a conductive material, diaphragm 5 may function as a conductive member for collector 35.
In the piezoelectric actuator 3 shown in FIG. 2, since the piezoelectric material and the conductive material (electrode) are arranged in parallel to the expansion and contraction direction (longitudinal direction), higher energy efficiency can be obtained as compared with other vibration modes. .
[0028]
The piezoelectric actuator 3 has a natural frequency ν of stretching vibration. 1 Is preferably from 20 kHz to 800 kHz, and more preferably from 40 kHz to 400 kHz. Further, as described later, the natural frequency ν 1 Is the oscillation frequency ν of the oscillator 11 of the parametric speaker 1. 2 Is more preferable. Also, the natural frequency ν 1 And the resonance frequency ν of the resonator 6 3 Is more preferably in the vicinity or in the vicinity of the overtone relationship.
[0029]
FIG. 3 is a perspective view showing another configuration example of the piezoelectric actuator according to the present invention. In the piezoelectric actuator 3 ′ shown in FIG. 3, a piezoelectric material and a conductive material are stacked perpendicularly to the expansion and contraction direction (longitudinal direction) of the piezoelectric actuator 3 ′. In the present invention, a piezoelectric actuator 3 'may be used in place of the piezoelectric actuator 3. In the piezoelectric actuator 3 ′ shown in FIG. 3, since the piezoelectric material and the conductive material can be stacked in more layers, they can be driven at a lower voltage.
[0030]
As shown in FIG. 2, the base 4 has, at a base end portion thereof, a protrusion 41 protruding laterally for fixing the piezoelectric actuator 3. The piezoelectric actuator 3 has a distal end (distal end surface) joined to the diaphragm 5 and a base end fixed to the protrusion 41 of the base 4.
In the present invention, since the base end of the piezoelectric actuator 3 is fixed to the base 4, the piezoelectric actuator 3 does not need to have much strength due to the strength (rigidity) of the base 4. This is advantageous for miniaturization. Further, in the illustrated configuration, the piezoelectric actuator 3 is fixed so that a surface parallel to the expansion and contraction direction (longitudinal direction) overlaps the projection 41 of the base 4. Thereby, the above effect is more remarkably exhibited.
[0031]
The base 4 has such a size that the position of the distal end substantially coincides with the distal end surface of the piezoelectric actuator 3 and the position of the proximal end protrudes in the proximal direction beyond the proximal end of the piezoelectric actuator 3. That is, the length of the base 4 in the expansion and contraction direction of the piezoelectric actuator 3 is longer than the length of the piezoelectric actuator 3. The base 4 has its base end (base end face) fixed to the fixing member 7. The tip (tip face) of the base 4 is joined (fixed) to the diaphragm 5. The fixing member 7 supports the diaphragm 5 and the resonator 6, and makes the distal end of the piezoelectric actuator 3 abut on the diaphragm 5 via the base 4.
[0032]
A vibration plate 5 for isolating a resonance chamber 63 and a piezoelectric actuator 3, which will be described later, is fixed to the distal end surface of the base 4. The vibrating plate 5 has a vibrating portion 51 that is joined (fixed or abutted) to the distal end surface of the piezoelectric actuator 3. Further, the diaphragm 5 has a thin portion formed by concave portions 52 and 53 provided near the vibrating portion 51. Thus, the vibrating section 51 can reliably follow and vibrate according to the vibration of the piezoelectric actuator 3.
[0033]
Although the constituent material of the diaphragm 5 is not particularly limited, for example, stainless steel, silicon, epoxy resin, acrylic resin, diglycol dialkyl carbonate resin, unsaturated polyester resin, polyurethane resin, polyimide resin, melamine resin, phenol resin, Various metal materials, various resin materials, and various ceramics such as urea resin silicon nitride, zirconia, and partially stabilized zirconia can be used.
[0034]
A resonator 6 having a resonance chamber 63 is provided on the distal end face side of the diaphragm 5. This resonator 6 functions as a Helmholtz resonator. The resonator 6 includes a spacer plate (spacer member) 62 that is overlapped and fixed (fixed) on the distal end surface side of the diaphragm 5 and a sound emission plate that is overlapped and bonded (fixed) on the distal end surface side of the spacer plate 62. 61.
[0035]
The spacer plate 62 has a concave portion 621 formed on the joint surface side with the vibration plate 5 and a through hole 622 penetrating from the concave portion 621 to the distal end surface side. A space (gap) is formed between the vibration plate 5 and the sound emission plate 61 by the recess 621, and the space in the recess 621 forms the resonance chamber 63.
The sound emission plate 61 is provided with a sound emission hole 64 communicating with the resonance chamber 63 via the through hole 622. The sound emission hole 64 and the through hole 622 constitute a port in the Helmholtz resonator.
In the illustrated configuration, the sound emission hole 64 and the through hole 622 are formed at positions not facing the distal end surface of the piezoelectric actuator 3. Thereby, the degree of freedom of the arrangement position of the sound emission holes 64 can be increased, and for example, as in the present embodiment, the sound emission holes 64 in each row can be arranged close to each other (see FIG. 1). .
[0036]
When an electric signal (oscillation voltage) whose voltage oscillates at a frequency in the ultrasonic band is input to the piezoelectric actuator 3 of the electroacoustic transducer 2, the piezoelectric actuator 3 expands and contracts in its longitudinal direction. The vibration part 51 of the vibration plate 5 vibrates to generate ultrasonic waves. The ultrasonic waves generated by the diaphragm 5 resonate in the resonator 6 and are emitted upward in FIG.
[0037]
The constituent materials of the base 4, the sound emitting plate 61, the spacer plate 62, and the fixing member 7 are not particularly limited, but are, for example, stainless steel, silicon, SiO 2 , Polyimide, polysulfone, negative or positive photosensitive resin materials (epoxy resin, acrylic resin, diglycol dialkyl carbonate resin, unsaturated polyester resin, polyurethane resin, polyimide resin, melamine resin, phenol resin, urea resin, etc.) For example, various metal materials, various resin materials, various glasses, and various ceramics can be used.
[0038]
In the electro-acoustic transducer 2 of the present invention, since the resonator 6 is provided, the ultrasonic wave can be resonated and emitted, so that the conversion efficiency of converting the input electric signal into the ultrasonic wave (acoustic energy) ( Hereinafter, it may be simply referred to as “conversion efficiency”). Therefore, a parametric speaker using the electroacoustic transducer 2 can radiate ultrasonic waves with sufficient intensity even with an electric signal of a relatively low voltage, thereby reducing power consumption.
[0039]
Furthermore, the electro-acoustic transducer 2 of the present invention is extremely advantageous for miniaturization, and when many electro-acoustic transducers 2 are arranged in a matrix, for example, the number of arrangements per unit area can be extremely increased. . Therefore, even with a relatively small parametric speaker, an audible sound of sufficient intensity can be obtained, and the size and weight of the parametric speaker can be reduced.
[0040]
In particular, in the present embodiment, the provision of the sound emission holes 64 in the resonator 6 allows the ultrasonic waves to resonate more strongly, achieve even higher conversion efficiency, and radiate the sound pressure of the ultrasonic waves more strongly. Can be. Therefore, the above-described effects (reduction in power consumption, reduction in size and weight) are more remarkably exhibited, and the directivity of sound, which is a characteristic of the parametric speaker, can be more fully utilized.
[0041]
Note that the resonator 6 preferably satisfies the following conditions in order to obtain a more excellent resonance state. Resonance frequency ν of resonator 6 3 Is preferably from 10 kHz to 200 kHz, and more preferably from 20 kHz to 100 kHz. As described later, the resonance frequency ν 3 Is the natural frequency ν of the stretching vibration of the piezoelectric actuator 3 1 And the oscillation frequency ν of the oscillator 11 of the parametric speaker 1 2 It is more preferable that they are close to each other and that they are close to a harmonic relationship. Since the resonator 6 satisfies the above conditions, the effect of the resonator 6 described above is more remarkably exhibited in a parametric speaker using the electroacoustic transducer 2.
In general, a Helmholtz resonator has a resonance frequency ν represented by the following equation.
[0042]
(Equation 1)
Figure 2004312394
In the above equation, c is the speed of sound, S is the opening area of the port (sound emission hole), V is the volume of the resonance chamber, and L is the length of the port (the length indicated by L in FIG. 2). .
[0043]
Hereinafter, based on the above equation, for example, the resonance frequency ν in one embodiment is calculated. Considering a resonator having S = 50 μm × 50 μm, L = 50 μm, and V = 100 μm × 100 μm × 1.5 mm, the resonance frequency ν is about 99 kHz. In this case, in a parametric speaker 1 described later, the oscillation frequency ν near the resonance frequency ν 2 By using, energy can be transmitted to air with higher efficiency. However, since the actual resonator 6 has a complicated geometric structure, it is desirable that the calculated values as described above are used as a guide, and that the actual values be matched. In this case, a parametric speaker with lower power (low power consumption) and higher efficiency can be obtained.
[0044]
Further, in the electroacoustic transducer 2, since the piezoelectric actuator 3 can be positioned with respect to the resonator 6 (diaphragm 5) via the base 4, the relative positional relationship between the fixing member 7 and the base 4 is adjusted. Thus, the piezoelectric actuator 3 can be accurately positioned with respect to the resonator 6 (diaphragm 5). Therefore, the tip of the piezoelectric actuator 3 can be brought into contact with the vibrating portion 51 with high positional accuracy. Further, since the base plate 4 is fixed to the fixing member 7 after the base plate 4 is fixed to the base end side of the piezoelectric plate, the fragile piezoelectric actuator 3 can be positioned via the base 4 having high mechanical strength. Since positioning can be performed, handling at the time of positioning on the resonator 6 (diaphragm 5) can be facilitated, and the base 4 and the fixing member 7 can be configured as separate members. That is, a material having high rigidity enough to receive a reaction force from the piezoelectric actuator 3 can be selected for the base 4, and a polymer material or the like that can be manufactured by injection molding or the like can be selected for the fixing member 7. . For this reason, in the electroacoustic transducer 2, it is possible to achieve both high performance (high conversion efficiency) and low manufacturing cost at a high level.
[0045]
In the present embodiment, the piezoelectric actuator 3 has the above-described laminated structure, so that a large displacement can be obtained even at a relatively low voltage, and the controllability (response) is excellent. As a result, the electroacoustic transducer 2 of the present embodiment can obtain more excellent conversion efficiency, and can obtain better sound quality when used in a parametric speaker. Further, since the piezoelectric actuator 3 has the above-described laminated structure, it has excellent workability, is suitable for mass production, can be manufactured at lower cost, and has high durability.
[0046]
FIG. 4 is a perspective view showing another embodiment of the electro-acoustic transducer for a parametric speaker of the present invention. In the electro-acoustic transducer 2 ′ shown in FIG. 4, unlike the electro-acoustic transducer 2, the resonator 6 does not have the spacer plate 62, and the sound emitting plate 61 ′ is overlapped and joined (fixed) to the diaphragm 5 ′. Have been. Resonance chamber 63 of resonator 6 is formed by concave portions 54 and 55 and concave portion 65 formed on the joint surface side between the diaphragm and the sound emission plate, respectively. In the illustrated configuration, the recesses 54 and 55 communicate with those of the adjacent electroacoustic transducer 2 ′. However, in order to make the recesses 54 and 55 independent as a resonator, the recesses 54 and 55 are preferably separated by forming a partition wall. desirable. In the embodiment shown in FIG. 4, the spacer plate 62 becomes unnecessary, and the assembly process can be simplified. Except for the above, the electroacoustic transducer 2 ′ is the same as the electroacoustic transducer 2.
[0047]
FIG. 5 is a block diagram showing an embodiment of the parametric speaker of the present invention, and FIG. 6 is a diagram for explaining the principle of the parametric speaker. Hereinafter, an embodiment of the parametric speaker of the present invention will be described with reference to FIG.
The parametric speaker (parametric array speaker) 1 shown in FIG. 5 includes an electroacoustic transducer 2, an oscillator (carrier generation means) 11, an amplitude modulator (amplitude modulation means) 12, an amplifier (amplification means) 13, , A voice input interface 14.
The parametric speaker 1 radiates, in the air, a carrier (signal) having a frequency in an ultrasonic band, which is amplitude-modulated by an audible sound (sound signal), and demodulates the audible sound using the non-linear characteristic of air (self This is a speaker that can perform highly directional acoustic radiation by demodulation.
[0048]
The number of the electroacoustic transducers 2 provided in the parametric speaker 1 may be one, but it is preferable that the number is plural. By adjusting the number of installations, an audible sound having a sufficient volume (sound pressure) can be generated. As described above, since the electroacoustic transducer 2 of the present invention is advantageous for miniaturization, a large number of electroacoustic transducers 2 can be arranged with a high degree of integration (density).
[0049]
The oscillator 11 generates (generates) a signal (carrier) whose voltage oscillates at a frequency (about 20 kHz or more) in the ultrasonic band. Oscillation frequency of oscillator 11 (frequency of carrier wave) ν 2 Is not particularly limited as long as it is an ultrasonic band, but is preferably about 20 kHz to 400 kHz, and more preferably about 40 kHz to 100 kHz.
[0050]
The audio signal generated by the audio generator (not shown) is input to the amplitude modulator 12 via the audio input interface 14. The amplitude modulator 12 amplitude-modulates a signal oscillated from the oscillator 11, that is, a carrier, based on the audio signal. The amplitude modulation method in the amplitude modulator 12 is not particularly limited, and may be a normal amplitude modulation method, or may be an envelope modulation method that performs amplitude modulation with the envelope of a signal.
[0051]
The modulated signal modulated by the amplitude modulator 12 is input to the amplifier 13 and is amplified to a level at which the electroacoustic transducer 2 can be driven. The modulated signal amplified by the amplifier 13 is input to the electroacoustic transducer 2. The electroacoustic transducer 2 converts the input signal into an ultrasonic wave, and radiates it into the air with directivity (upward in FIG. 2).
[0052]
The ultrasonic wave (modulated wave) emitted from the electroacoustic transducer 2 into the air becomes a distorted wave due to the non-linear characteristics of the air, and is demodulated to an audible sound of the original audio signal while propagating in the air. Since the demodulated audible sound has the super directional characteristics of the original ultrasonic wave, the parametric speaker 1 can emit sound only to a desired specific space (specific direction).
[0053]
The principle of the above parametric speaker 1 will be further described with reference to FIG. FIG. 6A shows the waveform of the transmission wave, that is, the audio signal output from the audio generator. FIG. 6B shows a waveform of a signal (carrier) generated by the oscillator 11. By placing this carrier on the transmission wave, the transmission wave is converted into a modulated wave (modulated signal) as shown in FIG. When the modulated wave is radiated into the air, the sound wave is distorted as shown in FIG. 6 (d) because the air travels faster when vibrating in the forward direction and travels slowly when the air travels in the reverse direction due to the nonlinear characteristics of the air. Then, the original audible sound is demodulated (FIG. 6 (e)). The demodulated audible sound has the super directional characteristics of the original ultrasonic wave.
[0054]
In such a parametric speaker 1, the natural frequency ν of the expansion and contraction vibration of the piezoelectric actuator 3 of the electroacoustic transducer 2. 1 And the oscillation frequency ν of the oscillator 11 2 Are preferably in the vicinity. Where ν 1 And ν 2 Is in the vicinity, preferably 0.8 ≦ ν 1 / Ν 2 ≦ 1.2, more preferably 0.9 ≦ ν 1 / Ν 2 It satisfies the relationship of ≦ 1.1. Where the natural frequency ν 1 Actually changes slightly due to heat generation during driving. 2 It is also preferable to select conditions that stabilize as a result by shifting. By satisfying the above conditions, the piezoelectric actuator 3 can be oscillated with a larger amplitude by a resonance phenomenon even at a relatively low voltage, so that the conversion efficiency of the electroacoustic transducer 2 can be further improved.
[0055]
In the parametric speaker 1, the oscillation frequency ν of the oscillator 11 2 And the resonance frequency ν of the resonator 6 of the electroacoustic transducer 2 3 Are preferably in the vicinity or in the vicinity of the harmonic relationship. Where ν 2 And ν 3 Is in the vicinity, preferably 0.8 ≦ ν 2 / Ν 3 ≦ 1.2, more preferably 0.9 ≦ ν 2 / Ν 3 It satisfies the relationship of ≦ 1.1. Also, ν 2 And ν 3 Is in the vicinity of the harmonic relation, where m and n are each a positive integer and m × ν 2 And n × ν 3 Are in the vicinity in the same manner as described above. This allows the ultrasonic waves generated by the diaphragm 5 to resonate more strongly, so that the conversion efficiency of the electroacoustic transducer 2 can be further improved.
[0056]
In the parametric speaker 1, the resonance frequency ν of the resonator 6 3 And the natural frequency ν of the piezoelectric actuator 3 1 Are preferably in the vicinity or in the vicinity of the harmonic relationship. Where ν 3 And ν 1 Is in the vicinity, preferably 0.8 ≦ ν 3 / Ν 1 ≦ 1.2, more preferably 0.9 ≦ ν 3 / Ν 1 It satisfies the relationship of ≦ 1.1. Also, ν 3 And ν 1 Means that i and j are positive integers, respectively, i × ν 3 And j × ν 1 Is in the vicinity in the same manner as described above. This allows the ultrasonic waves generated by the diaphragm 5 to resonate more strongly, so that the conversion efficiency of the electroacoustic transducer 2 can be further improved.
[0057]
Furthermore, in the parametric speaker 1, the natural frequency ν of the piezoelectric actuator 3 1 And the oscillation frequency ν of the oscillator 11 2 And the resonance frequency ν of the resonator 6 3 Are most preferably in the vicinity of each other or in a harmonic relationship.
When such a parametric speaker 1 has a plurality of electroacoustic transducers 2, a plurality (a plurality of sets) of electroacoustic transducers 2 may emit ultrasonic waves having mutually different frequencies.
[0058]
As described above, the embodiment of the electroacoustic transducer for a parametric speaker and the parametric speaker according to the present invention has been described with reference to the drawings. However, the present invention is not limited to this. Each of the components can be replaced with an arbitrary component having the same function. Further, an arbitrary component may be added.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of an electroacoustic transducer for a parametric speaker of the present invention.
FIG. 2 is a sectional side view showing an embodiment of an electroacoustic transducer for a parametric speaker of the present invention.
FIG. 3 is a perspective view showing another configuration example of the piezoelectric actuator according to the present invention.
FIG. 4 is a perspective view showing another embodiment of the electroacoustic transducer for a parametric speaker of the present invention.
FIG. 5 is a block diagram showing an embodiment of the parametric speaker of the present invention.
FIG. 6 is a diagram illustrating the principle of a parametric speaker.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Parametric speaker 11 ... Oscillator 12 ... Amplitude modulator 13 ... Amplifier 14 ... Voice input interface 2, 2 '... Electroacoustic converter for parametric speakers 3, 3' ... Piezoelectric actuator 31 ... 1 piezoelectric material layer 32 first conductive layer 33 second piezoelectric material layer 34 second conductive layer 35, 36 collector electrode 4 base 41 protrusions 5, 5 '... Vibrating plate 51 ... Vibrating part 52, 53, 54, 55 ... Recess 6 ... Resonator 61, 61' ... Sound emitting plate 62 ... Spacer plate 621 ... Recess 622 ... Through hole 63 ... … Resonant chamber 64… Sound emission hole 65… Recess 7… Fixation member

Claims (15)

パラメトリックスピーカに用いられ、入力された電気信号を超音波に変換して放射するパラメトリックスピーカ用電気音響変換器であって、
長尺形状をなし、前記電気信号が入力されることによりその長手方向に伸縮振動する圧電アクチュエータと、
前記圧電アクチュエータの基端部を支持する基台と、
前記圧電アクチュエータの先端側に設置され、前記圧電アクチュエータの伸縮振動に伴って超音波を発生するように振動する振動部を有する振動板と、
前記振動板が発生する超音波を共鳴させる共鳴器とを備えることを特徴とするパラメトリックスピーカ用電気音響変換器。
An electroacoustic transducer for a parametric speaker, which is used for a parametric speaker and converts an input electric signal into an ultrasonic wave and emits the ultrasonic wave,
A piezoelectric actuator that has a long shape and that expands and contracts in its longitudinal direction when the electric signal is input,
A base supporting a base end of the piezoelectric actuator,
A vibration plate that is installed on the tip side of the piezoelectric actuator and has a vibration unit that vibrates so as to generate an ultrasonic wave with expansion and contraction vibration of the piezoelectric actuator,
A resonator for resonating the ultrasonic waves generated by the diaphragm.
前記共鳴器は、共鳴室と、前記共鳴室に連通する放音孔とを有する請求項1に記載のパラメトリックスピーカ用電気音響変換器。The electro-acoustic transducer for a parametric speaker according to claim 1, wherein the resonator has a resonance chamber and a sound emission hole communicating with the resonance chamber. 前記放音孔は、前記圧電アクチュエータの先端面と非対向な位置に形成されている請求項2に記載のパラメトリックスピーカ用電気音響変換器。The electro-acoustic transducer for a parametric speaker according to claim 2, wherein the sound emission hole is formed at a position that is not opposed to a front end surface of the piezoelectric actuator. 前記圧電アクチュエータは、圧電材料と導電材料とをそれぞれ層状に交互に積層した部分を有する請求項1ないし3のいずれかに記載のパラメトリックスピーカ用電気音響変換器。4. The electro-acoustic transducer for a parametric speaker according to claim 1, wherein the piezoelectric actuator has a portion in which a piezoelectric material and a conductive material are alternately stacked in layers. 前記圧電材料と前記導電材料とは、前記圧電アクチュエータの伸縮方向に対し平行に積層されている請求項4に記載のパラメトリックスピーカ用電気音響変換器。The electro-acoustic transducer for a parametric speaker according to claim 4, wherein the piezoelectric material and the conductive material are stacked in parallel with a direction in which the piezoelectric actuator expands and contracts. 前記圧電材料と前記導電材料とは、前記圧電アクチュエータの伸縮方向に対し垂直に積層されている請求項4に記載のパラメトリックスピーカ用電気音響変換器。The electro-acoustic transducer for a parametric speaker according to claim 4, wherein the piezoelectric material and the conductive material are stacked perpendicularly to a direction in which the piezoelectric actuator expands and contracts. 前記基台と前記共鳴器とは、固定部材を介して固定されている請求項1ないし6のいずれかに記載のパラメトリックスピーカ用電気音響変換器。The electroacoustic transducer for a parametric speaker according to any one of claims 1 to 6, wherein the base and the resonator are fixed via a fixing member. 前記振動板と重ねて接合された放音プレートを備え、前記振動板と前記放音プレートとの少なくとも一方の接合面側に形成された凹部により前記共鳴器の共鳴室が形成されている請求項1ないし7のいずれかに記載のパラメトリックスピーカ用電気音響変換器。A sound emitting plate, which is joined to the vibrating plate so as to overlap with the vibrating plate, wherein a resonance chamber of the resonator is formed by a concave portion formed on at least one joint surface of the vibrating plate and the sound emitting plate. 8. The electroacoustic transducer for a parametric speaker according to any one of 1 to 7. 前記振動板とスペーサプレートと放音プレートとがこの順に重ねて接合されており、前記スペーサプレートにより前記振動板と前記放音プレートとの間に形成された空間によって前記共鳴器の共鳴室の少なくとも一部が形成されている請求項1ないし7のいずれかに記載のパラメトリックスピーカ用電気音響変換器。The diaphragm, the spacer plate, and the sound emitting plate are overlapped and joined in this order, and at least the resonance chamber of the resonator is formed by a space formed between the diaphragm and the sound emitting plate by the spacer plate. The electroacoustic transducer for a parametric speaker according to any one of claims 1 to 7, wherein the electroacoustic transducer is partially formed. 前記圧電アクチュエータは、その伸縮方向に平行な面が前記基台に重なるように固着されている請求項1ないし9のいずれかに記載のパラメトリックスピーカ用電気音響変換器。The electroacoustic transducer for a parametric speaker according to any one of claims 1 to 9, wherein the piezoelectric actuator is fixed so that a surface parallel to a direction of expansion and contraction overlaps the base. 前記圧電アクチュエータの伸縮方向についての前記基台の長さは、前記圧電アクチュエータの長さより長い請求項1ないし10のいずれかに記載のパラメトリックスピーカ用電気音響変換器。The electroacoustic transducer for a parametric speaker according to any one of claims 1 to 10, wherein a length of the base in a direction of expansion and contraction of the piezoelectric actuator is longer than a length of the piezoelectric actuator. 請求項1ないし11のいずれかに記載の少なくとも1つのパラメトリックスピーカ用電気音響変換器と、
超音波帯域の周波数で電圧が振動する信号を生成する発振器と、
音声信号に基づいて前記信号を振幅変調する振幅変調器と、
前記振幅変調器によって変調された被変調信号を増幅する増幅器とを備え、
前記増幅器で増幅された被変調信号を前記パラメトリックスピーカ用電気音響変換器に入力して超音波を放射することを特徴とするパラメトリックスピーカ。
An electroacoustic transducer for at least one parametric speaker according to any of claims 1 to 11,
An oscillator that generates a signal whose voltage oscillates at a frequency in the ultrasonic band,
An amplitude modulator that amplitude-modulates the signal based on an audio signal;
An amplifier that amplifies the modulated signal modulated by the amplitude modulator,
A parametric speaker characterized in that the modulated signal amplified by the amplifier is input to the parametric speaker electroacoustic transducer to emit ultrasonic waves.
前記パラメトリックスピーカ用電気音響変換器の圧電アクチュエータの伸縮振動の固有振動数と、前記発振器の発振周波数とが近傍にある請求項12に記載のパラメトリックスピーカ。13. The parametric speaker according to claim 12, wherein a natural frequency of expansion and contraction vibration of a piezoelectric actuator of the parametric speaker electroacoustic transducer and an oscillation frequency of the oscillator are close to each other. 前記パラメトリックスピーカ用電気音響変換器の共鳴器の共鳴周波数と、前記発振器の発振周波数とが近傍、または倍音関係の近傍にある請求項12または13に記載のパラメトリックスピーカ。14. The parametric speaker according to claim 12, wherein a resonance frequency of a resonator of the electroacoustic transducer for a parametric speaker and an oscillation frequency of the oscillator are close to each other or close to a harmonic relationship. 前記パラメトリックスピーカ用電気音響変換器の圧電アクチュエータの伸縮振動の固有振動数と、前記共鳴器の共鳴周波数とが近傍、または倍音関係の近傍にある請求項12ないし14のいずれかに記載のパラメトリックスピーカ。The parametric speaker according to any one of claims 12 to 14, wherein a natural frequency of expansion and contraction vibration of a piezoelectric actuator of the electroacoustic transducer for a parametric speaker and a resonance frequency of the resonator are close to each other or close to a harmonic relationship. .
JP2003103428A 2003-04-07 2003-04-07 Parametric speaker and electroacoustic transducer therefor Withdrawn JP2004312394A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003103428A JP2004312394A (en) 2003-04-07 2003-04-07 Parametric speaker and electroacoustic transducer therefor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003103428A JP2004312394A (en) 2003-04-07 2003-04-07 Parametric speaker and electroacoustic transducer therefor

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2004312394A true JP2004312394A (en) 2004-11-04

Family

ID=33466532

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2003103428A Withdrawn JP2004312394A (en) 2003-04-07 2003-04-07 Parametric speaker and electroacoustic transducer therefor

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2004312394A (en)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100773984B1 (en) 2005-10-10 2007-11-08 삼성전기주식회사 Multi-Function Actuator Module
US7907740B2 (en) 2005-12-19 2011-03-15 Seiko Epson Corporation Electrostatic ultrasonic transducer drive control method, electrostatic ultrasonic transducer, ultrasonic speaker using the same, audio signal reproduction method, ultra-directional acoustic system, and display device
JP2012100043A (en) * 2010-11-01 2012-05-24 Nec Corp Oscillator and method for manufacturing piezoelectric element
US8666094B2 (en) 2005-12-07 2014-03-04 Seiko Epson Corporation Drive control method of electrostatic-type ultrasonic transducer, electrostatic-type ultrasonic transducer, ultrasonic speaker using electrostatic-type ultrasonic transducer, audio signal reproducing method, superdirectional acoustic system, and display
WO2018143757A1 (en) * 2017-02-06 2018-08-09 포항공과대학교 산학협력단 Method for manufacturing ultrasonic emitter and emitter plate for ultrasonic emitter

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100773984B1 (en) 2005-10-10 2007-11-08 삼성전기주식회사 Multi-Function Actuator Module
US8666094B2 (en) 2005-12-07 2014-03-04 Seiko Epson Corporation Drive control method of electrostatic-type ultrasonic transducer, electrostatic-type ultrasonic transducer, ultrasonic speaker using electrostatic-type ultrasonic transducer, audio signal reproducing method, superdirectional acoustic system, and display
US7907740B2 (en) 2005-12-19 2011-03-15 Seiko Epson Corporation Electrostatic ultrasonic transducer drive control method, electrostatic ultrasonic transducer, ultrasonic speaker using the same, audio signal reproduction method, ultra-directional acoustic system, and display device
JP2012100043A (en) * 2010-11-01 2012-05-24 Nec Corp Oscillator and method for manufacturing piezoelectric element
WO2018143757A1 (en) * 2017-02-06 2018-08-09 포항공과대학교 산학협력단 Method for manufacturing ultrasonic emitter and emitter plate for ultrasonic emitter

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101313628B (en) Electroacoustic transducer
US6925187B2 (en) Horn array emitter
US11800806B2 (en) Method for manufacturing a multi-cell transducer
JP2006238072A (en) Acoustic vibration generating piezoelectric bimorph element
US9100755B2 (en) Sound reproducing apparatus for sound reproduction using an ultrasonic transducer via mode-coupled vibration
JP3395672B2 (en) Piezoelectric electroacoustic transducer
WO2012090383A1 (en) Vibration device and electronic apparatus
JP2004312395A (en) Parametric speaker and electroacoustic transducer therefor
JP2004349815A (en) Parametric speaker
JP2004312394A (en) Parametric speaker and electroacoustic transducer therefor
JP2004349816A (en) Parametric speaker
JP2004349817A (en) Parametric speaker
JP2004312561A (en) Parametric speaker and electroacoustic transducer therefor
WO2014174730A1 (en) Ultrasound generation device
JP4124154B2 (en) Acoustic transducer and manufacturing method thereof
JP6221135B2 (en) Ultrasonic sound generator, ultrasonic element, and parametric speaker using the same
JP6159984B2 (en) Ultrasonic sound generator and parametric speaker
JP2007215119A (en) Electroacoustic transducer
WO2023022066A1 (en) Ultrasonic transducer
JP2012165308A (en) Ultrasonic transducer
JP2010141440A (en) Acoustic transducer
JPS61216600A (en) High output ultrasonic speaker
JP3948422B2 (en) Sound emitting device and speaker device using the sound emitting device
CN112384309A (en) Elastic layer for ultrasonic transducer
JP2001045588A (en) Speaker

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20060328

A761 Written withdrawal of application

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761

Effective date: 20070801