【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、円筒を把持する装置並びに方法に関するものであり、特に円筒の内径が異なるものに関する。
【０００２】
【従来の技術】
膨張・収縮可能な弾性体に加圧気体（または加圧液体）を充填して膨張させることにより、円筒状基体の内側を把持する装置が種々開示されており、異径の円筒状基体内側を把持する装置も種々開示されている。
前記円筒状基体装置としては、給排通路から両端が密封されたチューブ内へ流体を供給して、チューブを膨張させたときに、可動部材がチューブの他端を一端に近づけるように、スライドすることにより、チューブの両端間の距離が縮まり、チューブの膨張が大きくなることによって、異径の円筒状基体も把持可能なものが提案され（例えば、特許文献１）、また、外筒に内筒の溝に嵌め込まれた円環状の弾性体を変形させて把持する作動ロッドに、Ｃワッシャを差込み簡単に把持装置を取付可能として、異径の円筒状基体も把持可能にしたものが提案されている（例えば、特許文献２参照）。
【０００３】
特許文献１に開示されている円筒状基体把持装置の場合、異径のものに対して、チューブ外径の２倍程度まで把持可能であるが、チューブの膨張量には、限界があり、それ以上の円筒状基体を把持するとチューブがパンクする恐れがあった。
【０００４】
異径のものに対して専用の把持装置を保有させた円筒状基体把持装置についての提案がなされているが、この提案によるとパンクする恐れ等はないが、専用の把持装置のため、決まった円筒状基体内径のものしか把持できないといった問題があった（例えば、特許文献２参照。）。
【０００５】
【特許文献１】
特開平６−８１７９号公報（第１頁左下欄第７行〜末行目
［構成］）
【特許文献２】
特開平０６−５６３８１号公報（第２頁第２７行目〜第３５行目）
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、筒状の袋の膨張量に関係なく、決まった径の把持だけではなく、異径のものにフレキシブルに把持可能な円筒状基体把持装置並びに方法の提供を目的とする。更に、把持力の高く袋自体の耐久性の高い把持装置、把持方法の提供を目的とする。
【０００７】
【発明が解決するための手段】
上記課題は、本発明の（１）「少なくとも気体の態様の変化を利用した円筒基体把持装置において、大気圧状態では円筒の径よりも大きな袋を用いることを特徴とする円筒状基体把持装置」、（２）「前記袋はそれを伸縮するための脱気パイプを具備し、該脱気パイプの外径は、円筒状基体内径より小さく、かつ把持したときの軸（芯棒）となることを特徴とする前記第（１）項に記載の円筒状基体把持装置」、（３）「前記脱気パイプは、袋の両端を貫通しており、貫通している箇所は、密閉されていることを特徴とする前記第（２）項に記載の円筒状基体把持装置」、（４）「前記脱気パイプに、給気・バキュームを兼ねた気体流路、若しくは、給気・バキュームの気体流路を個々に有していることを特徴とする前記第（２）項又は第（３）項に記載の円筒状基体把持装置」、（５）「前記脱気パイプには、給気用エアーバルブ及びバキューム用エアーバルブを有していることを特徴とする前記第（２）項乃至第（４）項の何れかに記載の円筒状基体把持装置」、（６）「前記脱気パイプ上端には、フレを防止するための部材を有していることを特徴とする前記第（２）項乃至第（５）項の何れかに記載の円筒状基体把持装置」、（７）「前記脱気パイプ下端には、ガイド部材を有していることを特徴とする前記第（２）項乃至第（６）項の何れかに記載の円筒状基体把持装置」、（８）「前記袋は、非弾性部材若しくは、弾性部材であることを特徴とする前記第（１）項乃至第（７）項の何れかに記載の円筒状基体把持装置」、（９）「塗布液内に浸漬された円筒状基体内の気密状態である空間内の気体を、円筒状基体外に流出させるための気体流出パイプを具備することを特徴とする前記第（１）項乃至第（８）項の何れかに記載の円筒状基体把持装置」、（１０）「前記第（１）乃至第（９）項の何れかに記載の円筒状基体把持装置を具備することを特徴とする電子写真感光体の製造装置」により達成される。
【０００８】
また、上記課題は、本発明の（１１）「前記第（１）項乃至第（１０）項の何れかに記載の円筒状基体把持装置を用い、少なくとも気体の態様の変化を利用したことを特徴とする円筒状基体把持方法」、（１２）「円筒状基体を把持した際、円筒状基体内部は、気密状態となることを特徴とする前記第（１１）項に記載の円筒状基体把持方法」、（１３）「電子写真感光体の製造方法に使用することを特徴とする前記第（１１）項または第（１２）項に記載の円筒状基体把持方法」により達成される。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、図面により本発明について説明を行なう。
図１に、本発明の把持装置の筒状袋（２）の、大気下時（通常状態）、伸縮時（バキューム状態）および給気時（給気状態）の様子を示す。
該袋（２）の外径は、大気圧下では円筒基体（３）の内径（ΦＸ）よりも大きく、バキューム時では脱気パイプ（１）に張り付くほど小さくなり（ΦＺ１）、また給気時では脱気パイプ（１）と平行になるよう膨らむ（ΦＺ２）。
【００１０】
図２は、筒状袋の変化状態を示すものである。
筒状袋（２）の上下部分の径は、円筒基体の径よりも大きなものとし、筒状袋（２）の中心部分を貫通するように、気体の給気とバキュームが可能な脱気パイプ（１）が設けられてある。
筒状袋（２）は、両端がシールされてあり、例えば図３に示されるように内径の異なる３つの円筒状基体（３）を用いる場合、通常状態時には３つの円筒状基体（３）の各内径Φｄ１、Φｄ２、Φｄ３よりも大きな外径ΦＤを有し、バキューム時にはこれらの３つの円筒状基体のすべての内径より小さい外径となるようにすることができ、円筒状基体内径が異なったものでも、円筒状基体把持装置を径に合わせて交換せずに、１つの円筒状基体把持装置にて円筒状基体を把持することが可能である。
【００１１】
また、脱気パイプ（１）は、その外径ΦＤ’を、図３に示されるような円筒状基体（３）の内径Φｄ１、Φｄ２、Φｄ３より小さく、かつ円筒状基体（３）を把持した時の軸（芯棒）となり、円筒状基体（３）の内径が異なったものでも、円筒状基体把持装置を径に合わせて交換せずに、１つの円筒状基体把持装置にて円筒状基体を把持することが可能である。
【００１２】
筒状の袋（２）は、袋内部のエアーを脱気パイプ（１）よりバキュームすることにより、脱気パイプ（１）と筒状の袋（２）とが密着することにより、異径の円筒状基体のものも把持可能であり、円筒状基体内径が異なったものでも、円筒状基体把持装置を径に合わせて交換せずに、１つの円筒状基体把持装置にて円筒状基体を把持することが可能である。
【００１３】
また、脱気パイプ（１）は、図２に示されるように筒状の袋（２）の両端を貫通しており、貫通している箇所は、筒状の袋内部のエアー漏れがないようにシールすることによって、円筒状基体内部を気密にすることが可能である。
【００１４】
さらに、円筒状基体（３）内部に筒状の袋（２）を挿入する際には、図４のように、筒状の袋（２）は、バキューム状態にして、脱気パイプ（１）に密着した状態で挿入することにして、円筒状基体内径が異なったものでも、円筒状基体把持装置を径に合わせて交換せずに、１つの円筒状基体把持装置にて円筒状基体を把持することが可能である。
【００１５】
図５は脱気パイプの例を示す図であり、図５−（ａ）に示される脱気パイプには給気・バキュームを兼ねた気体流路（４）を、また図５−（ｂ）の脱気パイプに給気用気体流路（５）・バキュームの気体流路（６）を個々に有するものとすることができる。
【００１６】
また、図６の例では、脱気パイプ（１）に給気用エアーバルブ（７）とバキューム用エアーバルブ（８）が設けられている。
【００１７】
図７の例では、円筒状基体把持装置用袋を貫通して設けられた脱気パイプ（１）の上端には、円筒状基体を把持した際のフレを防止するためのテーパー部材（９）を有している。
テーパー部材は、例えば、図３の円筒状基体内径Φｄ１、Φｄ２、Φｄ３の径に対応したテーパーを有しており、円筒状基体内径が異なったものでも、円筒状基体把持装置を径に合わせて交換せずに、１つの円筒状基体把持装置にて円筒状基体を把持することが可能である。
【００１８】
図８の例では、円筒状基体把持装置用袋を貫通して設けられた脱気パイプ（１）の下端には、図３の円筒状基体内径Φｄ１、Φｄ２、Φｄ３より小さく、円筒状基体内部に挿入する際の、ガイド部材（１０）を有している。
【００１９】
図２の筒状の袋（２）の材質は、非弾性部材（ポリプロピレン等）若しくは、弾性部材（ＮＢＲ、ＥＰＤＭ等）である。
図３の異径の円筒状基体を把持した際には、筒状の袋が重なり合って隙間なく膨らむことによって、円筒状基体内部を気密状態とすることが可能である。
この円筒状基体把持装置は、電子写真感光体の製造装置に使用することが可能である。
【００２０】
この円筒状基体把持装置は、塗布液内に浸漬された円筒状基体内の気密状態である空間内の気体を、塗布液内を通流させることなく、円筒状基体外に流出させる図８の気体パイプ（１１）を有している。これにより溶剤蒸気が気泡となって流出し、塗布液面を揺らして塗膜を乱すといった問題が起こらない円筒状把持装置である。
【００２１】
【実施例】
以下、実施例により本発明を説明するがこれらは発明の一態様にすぎずこれらに本発明の技術的範囲は限定されない。
《使用基体》
（Ａ）外径３０ｍｍ、肉厚０．８ｍｍ、長さ３４０ｍｍのアルミニウム製の円筒状基体
（Ｂ）外径６０ｍｍ、肉厚１．０ｍｍ、長さ３５０ｍｍのアルミニウム製の円筒状基体
（Ｃ）外径１００ｍｍ、肉厚１．５ｍｍ、長さ３６０ｍｍのアルミニウム製の円筒状基体
《比較条件》
『１』前記記載の円筒状基体把持装置を使用（円筒状基体把持装置１種類）
『２』（Ａ）〜（Ｃ）の内径に、それぞれ合わせた公知の膨張・収縮可能な弾性体に加圧気体（または加圧液体）を充填して、円筒状基体の把持可能な円筒状基体把持装置を使用（円筒状基体把持装置３種類）
《使用条件》
電子写真感光体の製造をするもので、図１０記載の上下に昇降可能な昇降装置に前記『１』及び『２』の円筒状基体把持装置を配備し、（Ａ）〜（Ｃ）の順に円筒状基体把持装置を下降させ、連続して浸漬塗工を行なった。下引き層を、次に電荷発生層を、電荷輸送層を２５μｍになるように逐次浸漬塗工を行ない、円筒状基体の塗膜品質及び円筒状基体内側の塗工液侵入量の比較を行なった。その結果『１』、『２』双方なんら問題もなかった。これにより、『１』の円筒状基体把持装置を使用することにより、円筒状基体把持装置を径に合わせて交換せずに、１つの円筒状基体把持装置にて円筒状基体を把持することが可能であることが確認された。
【００２２】
【発明の効果】
以上、詳細かつ具体的な発明から明らかなように、本発明によれば、異なる径サイズの円筒体を自在に把持することが可能となり、また、把持力が高く袋の耐久性も高い、という極めて優れた効果を奏するものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明における円筒状基体把持装置の大気下状態の様子並びに伸縮時の状態を示した図である。
【図２】本発明の円筒状基体把持装置の袋の概要を示した図である。
【図３】本発明の円筒状基体の内径の差異を示した図である。
【図４】本発明におけるバキューム時の円筒状基体把持装置を示した図である。
【図５】本発明における円筒状基体に使われている脱気パイプを示した図である。
【図６】本発明における円筒状基体に使われている脱気パイプを示した別の図である。
【図７】本発明の円筒状基体把持装置を示した別の図である。
【図８】本発明の円筒状基体把持装置を示した別の図である。
【図９】本発明の円筒状基体把持装置を示した別の図である。
【図１０】本発明において、電子写真感光体を製造するもので、上下に昇降可能な昇降装置に円筒状基体把持装置を配備した図である。
【符号の説明】
１ 脱気パイプ
２ 筒状の袋
３ 円筒状基体
４ 給気・バキュームを兼ねた気体流路
５ 給気用気体流路
６ バキューム用気体流路
７ 給気用エアーバルブ
８ バキューム用エアーバルブ
９ テーパー部材
１０ ガイド部材
１１ 気体流出パイプ[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to an apparatus and a method for gripping a cylinder, and more particularly to an apparatus and a method for gripping a cylinder having different inner diameters.
[0002]
[Prior art]
Various devices have been disclosed for gripping the inside of a cylindrical base by filling a pressurized gas (or pressurized liquid) into an expandable / contractible elastic body and expanding the same. Various gripping devices have been disclosed.
In the cylindrical base device, when a fluid is supplied from a supply / discharge passage into a tube whose both ends are sealed and the tube is expanded, the movable member slides so that the other end of the tube approaches one end. As a result, it has been proposed that the distance between both ends of the tube is reduced and the expansion of the tube is increased, so that a cylindrical substrate having a different diameter can be gripped (for example, Patent Document 1). A C-washer is inserted into an operating rod that deforms and holds an annular elastic body fitted in the groove of the above, so that a holding device can be easily attached, and a cylindrical body having a different diameter can also be held. (For example, see Patent Document 2).
[0003]
In the case of the cylindrical substrate gripping device disclosed in Patent Document 1, it is possible to grip a tube having a diameter different from that of a tube to about twice the outer diameter of the tube, but the amount of expansion of the tube is limited. When the above-mentioned cylindrical substrate is gripped, there is a risk that the tube will be punctured.
[0004]
A proposal has been made for a cylindrical substrate holding device that has a dedicated holding device for those having different diameters, but according to this proposal there is no danger of puncturing, etc. There has been a problem that only the inner diameter of the cylindrical substrate can be gripped (for example, see Patent Document 2).
[0005]
[Patent Document 1]
JP-A-6-8179 (page 7, lower left column, line 7 to last line [Structure])
[Patent Document 2]
JP 06-56381 A (page 2, line 27 to line 35)
[0006]
[Problems to be solved by the invention]
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a cylindrical substrate gripping device and a method capable of flexibly gripping not only a fixed-diameter but also different-diameter ones irrespective of the expansion amount of a cylindrical bag. Another object of the present invention is to provide a gripping device and a gripping method that have high gripping force and high durability of the bag itself.
[0007]
Means for Solving the Invention
The object of the present invention is to provide (1) a cylindrical substrate gripping device utilizing at least a change in the aspect of a gas, wherein a bag larger than the diameter of the cylinder is used at atmospheric pressure. (2) "The bag is provided with a degassing pipe for expanding and contracting the bag, and the outer diameter of the degassing pipe is smaller than the inner diameter of the cylindrical substrate and serves as a shaft (core rod) when gripped. (3) "The cylindrical substrate holding device according to the above item (1)", (3) "the degassing pipe penetrates both ends of the bag, and the penetrating portion is sealed. (4) "A gas flow path that also serves as air supply / vacuum or a gas supply / vacuum gas is provided in the deaeration pipe." Item (2) or ( Item (2)), wherein the deaeration pipe has an air supply air valve and a vacuum air valve. (4) The cylindrical substrate holding device according to any one of (4) and (6), wherein the upper end of the degassing pipe has a member for preventing deflection. (2) The cylindrical substrate holding device according to any one of items (5) to (5), and (7) wherein the lower end of the degassing pipe has a guide member. ) To (6), (8) the bag is a non-elastic member or an elastic member. Item (7): the cylindrical substrate holding device according to any one of (7) and (9): The cylindrical shape according to any one of (1) to (8), further including a gas outflow pipe for allowing gas in the space in a dense state to flow out of the cylindrical substrate. Substrate gripping device ", (10) An electrophotographic photosensitive member manufacturing apparatus characterized by comprising the cylindrical substrate gripping device according to any one of the above (1) to (9). You.
[0008]
The object of the present invention is to provide at least (11) the use of the cylindrical substrate holding device according to any one of the above items (1) to (10), wherein at least a change in the gas state is used. Characteristic cylindrical substrate gripping method ", (12)" the cylindrical substrate gripping according to the above (11), wherein when the cylindrical substrate is gripped, the inside of the cylindrical substrate is airtight. And (13) a method for gripping a cylindrical substrate according to the above (11) or (12), which is used in a method for producing an electrophotographic photosensitive member.
[0009]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 shows a state of the tubular bag (2) of the gripping device of the present invention in the atmosphere (normal state), during expansion and contraction (vacuum state), and during air supply (air supply state).
The outer diameter of the bag (2) is larger than the inner diameter (ΦX) of the cylindrical substrate (3) under atmospheric pressure, becomes smaller as it sticks to the deaeration pipe (1) during vacuum (ΦZ1), and Then, it expands so as to be parallel to the degassing pipe (1) (ΦZ2).
[0010]
FIG. 2 shows the changing state of the tubular bag.
The diameter of the upper and lower portions of the cylindrical bag (2) is larger than the diameter of the cylindrical base, and a degassing pipe through which gas can be supplied and vacuumed so as to penetrate the central portion of the cylindrical bag (2). (1) is provided.
The cylindrical bag (2) is sealed at both ends. For example, when three cylindrical substrates (3) having different inner diameters are used as shown in FIG. each inner diameter .PHI.d 1, .PHI.d 2, has a larger outer diameter ΦD than .PHI.d 3, it can be made to be all outer diameter smaller than the inner diameter of the three cylindrical substrate in vacuum during, the cylindrical body inner diameter However, it is possible to hold the cylindrical substrate with one cylindrical substrate holding device without replacing the cylindrical substrate holding device according to the diameter.
[0011]
The degassing pipe (1) has an outer diameter ΦD ′ smaller than the inner diameters Φd 1 , Φd 2 , Φd 3 of the cylindrical body (3) as shown in FIG. 3, and the cylindrical body (3). Even when the cylindrical substrate (3) has a different inner diameter, the cylindrical substrate gripping device can be replaced with one cylindrical substrate gripping device without replacing the cylindrical substrate gripping device according to the diameter. It is possible to grip a cylindrical substrate.
[0012]
The cylindrical bag (2) has a different diameter because the air inside the bag is vacuumed from the degassing pipe (1) so that the degassing pipe (1) and the cylindrical bag (2) come into close contact with each other. It is also possible to hold a cylindrical substrate with one cylindrical substrate holding device without changing the cylindrical substrate holding device according to the diameter, even if the cylindrical substrate has a different inner diameter. It is possible to do.
[0013]
The degassing pipe (1) penetrates both ends of the cylindrical bag (2) as shown in FIG. 2, and the penetrating portion is designed so that there is no air leakage inside the cylindrical bag. By sealing the inside, it is possible to make the inside of the cylindrical substrate airtight.
[0014]
Further, when inserting the cylindrical bag (2) into the cylindrical substrate (3), as shown in FIG. 4, the cylindrical bag (2) is set in a vacuum state and the deaeration pipe (1). Even when the cylindrical substrate has a different inner diameter, the cylindrical substrate holding device can be gripped by one cylindrical substrate holding device without replacing the cylindrical substrate holding device according to the diameter. It is possible to do.
[0015]
FIG. 5 is a diagram showing an example of a degassing pipe. The degassing pipe shown in FIG. 5- (a) has a gas flow path (4) serving also as air supply / vacuum, and FIG. 5- (b). The air supply gas flow path (5) and the vacuum gas flow path (6) can be individually provided in the deaeration pipe.
[0016]
In the example of FIG. 6, the deaeration pipe (1) is provided with an air supply air valve (7) and a vacuum air valve (8).
[0017]
In the example of FIG. 7, a tapered member (9) for preventing deflection when the cylindrical substrate is gripped is provided at the upper end of the deaeration pipe (1) provided through the bag for the cylindrical substrate gripping device. have.
The tapered member has, for example, a taper corresponding to the diameter of the cylindrical substrate inner diameters Φd 1 , Φd 2 , and Φd 3 in FIG. 3. It is possible to grip the cylindrical substrate with one cylindrical substrate gripping device without replacing the cylindrical substrate.
[0018]
In the example of FIG. 8, the lower end of the deaeration pipe (1) provided through the bag for the cylindrical substrate holding device is smaller than the cylindrical substrate inner diameters φd 1 , φd 2 , and φd 3 of FIG. It has a guide member (10) for insertion into the inside of the substrate.
[0019]
The material of the cylindrical bag (2) in FIG. 2 is a non-elastic member (eg, polypropylene) or an elastic member (eg, NBR, EPDM).
When the cylindrical substrates of different diameters shown in FIG. 3 are gripped, the inside of the cylindrical substrate can be made airtight by overlapping the cylindrical bags and expanding without gaps.
The cylindrical substrate holding device can be used in an electrophotographic photoreceptor manufacturing apparatus.
[0020]
This cylindrical substrate gripping device allows the gas in the airtight space in the cylindrical substrate immersed in the coating liquid to flow out of the cylindrical substrate without flowing through the coating liquid in FIG. It has a gas pipe (11). This is a cylindrical gripping device that does not cause the problem that the solvent vapor flows out as bubbles and shakes the coating liquid surface to disturb the coating film.
[0021]
【Example】
Hereinafter, the present invention will be described by way of examples, but these are only one embodiment of the present invention, and the technical scope of the present invention is not limited thereto.
《Substrate used》
(A) Aluminum cylindrical base having an outer diameter of 30 mm, wall thickness of 0.8 mm and length of 340 mm (B) Aluminum cylindrical base having an outer diameter of 60 mm, wall thickness of 1.0 mm and length of 350 mm (C) Aluminum cylindrical substrate with a diameter of 100 mm, a thickness of 1.5 mm and a length of 360 mm << Comparative conditions >>
[1] Use the cylindrical substrate holding device described above (one type of cylindrical substrate holding device)
[2] A pressurized gas (or pressurized liquid) is filled into a known inflatable / contractible elastic body fitted to each of the inner diameters of (A) to (C), and the cylindrical base can be gripped by a cylinder. Uses substrate holding device (3 types of cylindrical substrate holding device)
"terms of use"
For manufacturing an electrophotographic photoreceptor, the cylindrical substrate gripping devices of "1" and "2" are provided in an elevating device which can be moved up and down as shown in FIG. 10, and are arranged in the order of (A) to (C). The cylindrical substrate holding device was lowered, and dip coating was continuously performed. The undercoat layer, the charge generation layer, and the charge transport layer were successively subjected to dip coating so as to have a thickness of 25 μm, and the coating quality of the cylindrical substrate and the coating liquid penetration amount inside the cylindrical substrate were compared. Was. As a result, both "1" and "2" had no problem. Thus, by using the cylindrical substrate holding device of [1], it is possible to hold the cylindrical substrate with one cylindrical substrate holding device without replacing the cylindrical substrate holding device according to the diameter. It was confirmed that it was possible.
[0022]
【The invention's effect】
As described above, as apparent from the detailed and specific invention, according to the present invention, it is possible to freely grip cylindrical bodies having different diameters, and the gripping force is high and the durability of the bag is high. This is an extremely excellent effect.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a diagram showing a state of an under-atmosphere state and a state of expansion and contraction of a cylindrical substrate holding device according to the present invention.
FIG. 2 is a diagram showing an outline of a bag of the cylindrical substrate holding device of the present invention.
FIG. 3 is a view showing a difference in inner diameter of a cylindrical substrate of the present invention.
FIG. 4 is a view showing a cylindrical substrate holding device during vacuum according to the present invention.
FIG. 5 is a view showing a degassing pipe used for a cylindrical substrate in the present invention.
FIG. 6 is another diagram showing a degassing pipe used for a cylindrical substrate in the present invention.
FIG. 7 is another view showing the cylindrical substrate holding device of the present invention.
FIG. 8 is another view showing the cylindrical substrate holding device of the present invention.
FIG. 9 is another view showing the cylindrical substrate holding device of the present invention.
FIG. 10 is a view for manufacturing an electrophotographic photosensitive member according to the present invention, in which a cylindrical substrate holding device is provided in an elevating device capable of moving up and down.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Deaeration pipe 2 Cylindrical bag 3 Cylindrical base 4 Gas flow path which also serves as air supply / vacuum 5 Gas supply flow path 6 Vacuum gas flow path 7 Air supply air valve 8 Vacuum air valve 9 Taper Member 10 Guide member 11 Gas outflow pipe
