【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ポリ塩化ビフェニル（以下、ＰＣＢと称する）が混入した電気機器のケースや内部部品等を所定の真空状態下で加熱処理し、前記ケースや内部部品等からＰＣＢを蒸発・分離させて除去するようにした真空加熱設備において、前記真空加熱設備から排出される排ガスをサンプリングするための方法及びその装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、ＰＣＢが混入した電気機器のケースや内部部品等を所定の真空状態下で加熱処理し、前記ケースや内部部品等からＰＣＢを蒸発・分離させて除去するようにした真空加熱設備においては、前記真空加熱設備から排出される排ガス（電気機器の内部部品等を真空加熱処理することにより発生するダイオキシン類やＰＣＢ等の有害物質を含む）によって周辺環境に悪影響が及ぶのを防ぐために、前記排ガスを清浄化した状態で排出するようにしている。
【０００３】
前記真空加熱設備から排出される排ガス中に含まれる有害物質の濃度を測定する場合には、例えば、一般の廃棄物焼却施設から排出される排ガス中に含まれる有害物質の濃度を測定する場合と同様の方法により行っていた。即ち、排ガスが流通する排気管（煙道等）に、該排気管よりも径寸法の小さいＬ字状の吸引管の先端を、前記排ガスの流通方向と対向する状態で挿入し、前記排気管内を流通する排ガスの一部を吸引ポンプ等を用いて等速吸引して、該排ガスに含まれる有害物質を捕集部材等により捕集するとともに、前記吸引した排ガスの流量を流量計にて計測することにより、前記捕集された有害物質の量と排ガスの流量から、吸引した排ガス中における有害物質の濃度を算出していた。また、この後、排気管内を流通する排ガスの流量と、前記排気管から吸引した排ガスの流量との相関関係から、排気管内を流通する排ガス中における有害物質の総量を推定するようにしていた（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
【特許文献１】
特開２００２−３９９２３号公報（第２頁左欄４２行〜右欄４８行，図２）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
然るに、前記方法においては、排気管内を流通する排ガスの一部のみを等速吸引してサンプリングを行っているため定量下限が悪く、前記排気管内を流通する排ガスの状況（流量，流速，濃度等）によっては、前記排ガス中に実際に含まれる有害物質の濃度と、排ガスのサンプリング結果から算出した有害物質の濃度との間に誤差が生じる等して、排ガス中に含まれる有害物質の正確な濃度を測定・把握することが困難となるおそれがあった。
【０００６】
また、前記方法においては、一般の廃棄物焼却施設のように排気管内を流通する排ガスの流量が常に一定であれば特に問題は生じないが、真空加熱設備のように、真空加熱処理の開始当初は排ガスの流量が多く、時間の経過とともに排ガスの流量が減少するような場合には、前記排ガスの流量の減少に伴い、排気管から排ガスを等速吸引することが困難となる結果、排ガスのサンプリングを良好に行うことができないという問題があった。
【０００７】
本発明は、前記の課題に鑑み、真空加熱設備から排出される排ガス中に含まれる有害物質の濃度を正確に測定することが可能で、しかも、前記排ガスの流量が変化する場合であっても良好に排ガスのサンプリングを行うことが可能な真空加熱設備における排ガスのサンプリング方法及びその装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために、請求項１記載の発明は、ＰＣＢが混入した電気機器のケースや内部部品等を所定の真空状態下で加熱処理し、前記ケースや内部部品等からＰＣＢを蒸発・分離させて除去するようにした真空加熱設備において、前記真空加熱設備には、該真空加熱設備から排出される排ガスをサンプリングするサンプリング装置を配設し、前記サンプリング装置にて排ガス中に含まれるＰＣＢやダイオキシン類等の有害物質を全量捕集し、かつ、前記排ガスの全流量を計測するようにしたことを特徴とする。
【０００９】
請求項２記載の発明は、ＰＣＢが混入した電気機器のケースや内部部品等を所定の真空状態下で加熱処理し、前記ケースや内部部品等からＰＣＢを蒸発・分離させて除去するようにした真空加熱設備において、前記真空加熱設備には、該真空加熱設備から排出される排ガス中に含まれるＰＣＢやダイオキシン類等の有害物質を全量捕集するための捕集手段と、前記捕集手段を通過する排ガスの流量を計測するための流量計とを配設して構成したことを特徴とする。
【００１０】
請求項３記載の発明は、請求項２記載の真空加熱設備における排ガスのサンプリング装置において、前記真空加熱設備から排出される排ガスが流通する排気管を複数に分岐し、各排気管にそれぞれ捕集手段を配設するとともに、前記各捕集手段の後段には、それぞれ計測範囲の異なる流量計を配設して構成したことを特徴とする。
【００１１】
請求項４記載の発明は、請求項２記載の真空加熱設備における排ガスのサンプリング装置において、前記真空加熱設備から排出される排ガスが流通する排気管を複数に分岐し、各排気管にそれぞれ捕集手段を配設するとともに、前記各捕集手段のうち、ある捕集手段の後段には、小さな数値の流量を計測可能な流量計を、残りの捕集手段の後段には、前記流量計よりも大きな数値の流量を計測可能な流量計をそれぞれ配設して構成したことを特徴とする。
【００１２】
請求項５記載の発明は、請求項２記載の真空加熱設備における排ガスのサンプリング装置において、前記真空加熱設備から排出される排ガスが流通する排気管を複数に分岐し、前記複数に分岐した排気管のうち、ある排気管には、１個の捕集手段と小さな数値の流量を計測可能な１個の流量計とを配設するとともに、残りの排気管には、並列に接続した複数の捕集手段と前記流量計よりも大きな数値の流量を計測可能な１個の流量計とを配設して構成したことを特徴とする。
【００１３】
請求項６記載の発明は、請求項３ないし５記載の真空加熱設備における排ガスのサンプリング装置において、前記複数に分岐した各排気管にはそれぞれ切換弁を配設し、真空加熱設備から排出される排ガスの流量に対応して、前記排ガスが流通する排気管を切換えるように構成したことを特徴とする。
【００１４】
本発明は、真空加熱設備に、該真空加熱設備から排出される排ガスをサンプリングするためのサンプリング装置を配設し、前記サンプリング装置において、前記真空加熱設備から排出される排ガスの流量を計測するとともに、前記排ガス中に含まれるＰＣＢやダイオキシン類等の有害物質を全量捕集するようにしたので、前記有害物質の定量下限を上昇させることが可能となり、この結果、前記排ガス中に含まれる有害物質の濃度を正確に測定することができる。また、サンプリング装置は、真空加熱設備から排出される排ガスが流通する排気管を複数に分岐し、各排気管にそれぞれ捕集手段を配設するとともに、各捕集手段の後段には、それぞれ計測範囲の異なる流量計を配設して構成したので、真空加熱設備のように時間の経過とともに排ガスの流量が変化するような場合であっても、前記排ガスの流量に対応して、排ガスの流通経路（排気管）を切換えることにより、良好に排ガスのサンプリング作業を行うことが可能である。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図１ないし図４を参照しながら説明する。図１において、１は真空加熱設備の真空加熱炉を示し、その一方の側面（図１の左側）には、廃棄処理する変圧器等の電気機器のケース２とか、電気機器を構成する鉄心やコイル等の内部部品３を出し入れするための開口を開閉する開閉扉４を備え、かつ、他方の側面（図１の右側）からは、壁体を貫通して排気管５が外方に向けて導出されている。また、前記真空加熱炉１には、その内部を所定温度に加熱維持するための電熱ヒータ等からなる加熱源６が具備されている。
【００１６】
前記真空加熱炉１から導出した排気管５には、図１で示すように、冷却手段７と、排気手段８と、排気安全対策手段９と、サンプリング装置１０とが、それぞれ直列的に配管接続されている。
【００１７】
前記冷却手段７は、コンデンサ（凝縮器）等からなり、真空加熱炉１から排出される排ガス中に含まれるＰＣＢを冷却・凝縮して液化する。また、前記冷却手段７には、該冷却手段７において液化されたＰＣＢを排出するためのドレン７ａが設けられており、前記ＰＣＢはドレン７ａを介して図示しない密閉可能な回収容器に回収され、別途無害化処理が行われる。
【００１８】
また、前記排気手段８は、真空ポンプ等からなり、真空加熱炉１内から順次排気を行うことにより、前記真空加熱炉１内を所定圧力に調整・保持するとともに、前記真空加熱炉１内から排出されるＰＣＢやダイオキシン類等の有害物質を含む排ガスを冷却手段７内に流入させる。
【００１９】
更に、排気安全対策手段９は、例えば、ミストコレクター９ａと、活性炭等の吸着部材からなる吸着除去手段９ｂとを備えて構成されており、不測の事態により、多量のＰＣＢやダイオキシン類等の有害物質を含む排ガスが冷却手段７を通過した（即ち、冷却手段７においてＰＣＢやダイオキシン類等の有害物質が回収されなかった）場合に、前記排ガス中に含まれるＰＣＢやダイオキシン類等の有害物質を捕集・分離し、清浄化した空気を大気中に排出する。
【００２０】
なお、前記冷却手段７及び排気手段８の数はこれに限定することなく、真空加熱炉１の大きさ等に対応して、適宜変更可能であることはいうまでもない。
【００２１】
次に、サンプリング装置１０について説明する。前記サンプリング装置１０は、真空加熱炉１から排出される排ガスをサンプリングするための装置であり、本実施例においては、例えば、排気安全対策手段９の後段に配設されている（図１参照）。そして、前記サンプリング装置１０は、例えば、図１で示すように、排気安全対策手段９を介して排出される排ガスが流通する二股状の排気管５ａ，５ｂのうち、一方の排気管５ａ（図１の上側）に、第１の切換弁１１ａ，第１の捕集手段１２ａ，第１の流量計１３ａを直列状に配設するとともに、他方の排気管５ｂ（図１の下側）に、第２の切換弁１１ｂ，第２の捕集手段１２ｂ，第２の流量計１３ｂを直列状に配設することにより構成されている。
【００２２】
前記第１，第２の切換弁１１ａ，１１ｂは、排気安全対策手段９を介して排出される排ガスの流量に対応して、前記排ガスの流通経路を排気管５ａまたは排気管５ｂに切換えるためのものであり、前記第１，第２の切換弁１１ａ，１１ｂの切換動作は、例えば、排気安全対策手段９とサンプリング装置１０との間に配設した図示しない流量計による排ガスの流量計測データに基づいて、手動または自動により行われる。
【００２３】
また、前記第１，第２の捕集手段１２ａ，１２ｂとしては、例えば、柴田科学株式会社から販売されている環境測定用捕集部材で、商品名「シャトルチューブ」を使用することが可能であり、前記第１，第２の捕集手段１２ａ，１２ｂは、図２で示すように、例えば、ステンレス鋼等からなる中空円筒状のホルダー１４と、前記ホルダー１４内周面との間に所定間隔を設けた状態で収容される中空円筒状のガラスケース１５と、前記ガラスケース１５内周に密接した状態で収容される複数のポリウレタンフォーム１６とを備えて概略構成されている。そして、排気管５ａ，５ｂを流通する排ガスを、ガラスケース１５内にその一方端側（図２の左側）から流入させ、かつ、前記排ガスをガラスケース１５内に収容したポリウレタンフォーム１６を通過させてガラスケース１５の他方端側（図２の右側）から排出することにより、前記排ガス中に含まれる有害物質をポリウレタンフォーム１６にて全量捕集することができる。
【００２４】
更に、前記第１，第２の流量計１３ａ，１３ｂは、それぞれ計測範囲の異なる流量計からなり、第１の流量計１３ａには、例えば、極微量から所定流量Ｒｘまでの範囲の流量（即ち、比較的小さな数値の流量）を計測可能な流量計を使用し、第２の流量計１３ｂには、例えば、所定流量Ｒｘから最大流量Ｒｍまでの範囲の流量（即ち、比較的大きな数値の流量）を計測可能な流量計を使用する。これは、真空加熱炉１における真空加熱処理の開始当初は比較的排ガスの流量が多いものの、時間の経過とともに排ガスの流量が減少する（最終的に排ガスの流量は極微量となる）ことに対する方策であり、これにより真空加熱炉１から排出される排ガスの流量が変化しても、排気管５ａ，５ｂを流通する排ガス全体の流量を確実に計測することが可能となる。
【００２５】
次に、動作について説明する。はじめに、真空加熱炉１内に搬入するケース２や内部部品３等は、事前に変圧器等の電気機器を解体することによって得ることができる。即ち、前記変圧器等の電気機器は、ケース２内に充填されているＰＣＢ（あるいは、ＰＣＢ含有絶縁油等）をポンプ等を用いて抜き取った後、前記ケース２から内部部品（鉄心，コイル等）３を取出すとともに、前記内部部品３に取付けられている図示しないクランプや、ケース２に付設されている碍子等の部品を取外す。前記ケース２内から取出した内部部品３は鉄心，コイル等に分割した後、図示しない破砕手段等により所定の大きさに破砕し、例えば、専用のバケット１７に収容した状態で搬送台車１８に積載して真空加熱炉１内に搬入するとともに、ケース２等は、図１で示すように、必要に応じて内部部品３を積載した搬送台車１８に、載置板１８ａ等を介して乗載した状態で真空加熱炉１内に搬入する。
【００２６】
前記のようにして、真空加熱処理を行う電気機器のケース２や内部部品３等を真空加熱炉１内に収容したら、前記真空加熱炉１内を加熱源６にて所定温度（例えば、約２００℃）まで加熱するとともに、排気手段８を駆動して真空加熱炉１内を所定圧力（例えば、約６．７Ｐａ以下）まで減圧する。前記真空加熱炉１内の加熱・減圧処理によって、前記電気機器のケース２や内部部品３等に付着しているＰＣＢが蒸発・分離を開始し、順次真空加熱炉１内からダイオキシン類等とともに排気管５に排出される。前記ＰＣＢやダイオキシン類等の有害物質を含む排ガスは、排気手段８の駆動により真空加熱炉１内が所定の減圧下に維持されている関係上、排気管５内も一定の負圧状態下にあるため、良好に排気管５内に吸引・排気される。
【００２７】
前記排気管５に排出された排ガス中に含まれるＰＣＢは冷却手段７に流入し、該冷却手段７において大部分が冷却・凝縮されて液化する。前記液化したＰＣＢは、冷却手段７に設けたドレン７ａから密閉可能な回収容器（図示せず）に排出・回収される。この結果、真空加熱炉１内に収容したケース２，内部部品３等に付着（残存）しているＰＣＢを良好に除去することが可能となる。
【００２８】
なお、前記のように、真空加熱炉１から排出される排ガス中に含まれるＰＣＢは、冷却手段７において大部分が冷却・凝縮されて液化し、回収容器に回収されるが、不測の事態により、多量のＰＣＢやダイオキシン類等の有害物質（以下、単に有害物質と称する）を含む排ガスが冷却手段７を通過した（即ち、ＰＣＢが冷却手段７において回収されなかった）場合、前記排ガスは、排気管５を通って排気安全対策手段９に流入することにより、前記排気安全対策手段９に具備したミストコレクター９ａ及び吸着除去手段９ｂにて前記冷却手段７で回収されなかった有害物質が捕集・除去される結果、清浄化された状態で前記排気安全対策手段９から排出される。
【００２９】
以上のように、電気機器のケース２や内部部品３等に付着しているＰＣＢは、真空加熱炉１内において所定時間（約１５時間）真空加熱処理することにより、前記ケース２や内部部品３等から完全に除去することが可能となるため、前記ケース２や内部部品（鉄心，コイル等）３等は、有価物として安全に再利用可能に回収することができる。
【００３０】
次に、真空加熱炉１から排出される排ガス中に含まれる有害物質の濃度を測定するために、前記排ガスをサンプリング装置１０によりサンプリングする場合について説明する。はじめに、真空加熱処理の開始当初のように真空加熱炉１から排出される排ガスの流量が比較的多い場合は、図１で示す二股状の排気管５ａ，５ｂのうち、他方の排気管５ｂ（図１の下側）に配設した第２の切換弁１１ｂを開放し、かつ、一方の排気管５ａ（図１の上側）に配設した第１の切換弁１１ａを閉鎖することにより、排気安全対策手段９を介して排出される排ガスを、他方の排気管５ｂに配設した第２の捕集手段１２ｂ内に流入させる。
【００３１】
前記第２の捕集手段１２ｂ内に流入する排ガスは、全て第２の捕集手段１２ｂ内に具備したポリウレタンフォーム１６（図２参照）を通過して、前記第２の捕集手段１２ｂから排出される。従って、前記排ガス中に含まれる微量の有害物質は、前記ポリウレタンフォーム１６において全量が捕集される。また、前記第２の捕集手段１２ｂから排出される排ガスの流量は、第２の捕集手段１２ｂの後段に配設した第２の流量計１３ｂにより計測される。
【００３２】
一方、真空加熱処理の開始から時間が経過することに伴い、真空加熱炉１から排出される排ガスの流量が減少し（最終的に排ガスの流量は極微量となる）、前記第２の流量計１３ｂの計測範囲を下回った（所定流量Ｒｘ以下となった）場合は、これまでとは逆に、一方の排気管５ａ（図１の上側）に配設した第１の切換弁１１ａを開放し、かつ、他方の排気管５ｂ（図１の下側）に配設した第２の切換弁１１ａを閉鎖することにより、排気安全対策手段９を介して排出される排ガスを、一方の排気管５ａに配設した第１の捕集手段１２ａ内に流入させる。
【００３３】
前記第１の捕集手段１２ａ内に流入する排ガスは、全て第１の捕集手段１２ａ内に具備したポリウレタンフォーム１６（図２参照）を通過して、前記第１の捕集手段１２ａから排出される。従って、前記排ガス中に含まれる微量の有害物質は、前記ポリウレタンフォーム１６において全量が捕集される。また、前記第１の捕集手段１２ａから排出される排ガスの流量は、第１の捕集手段１２ａの後段に配設した第１の流量計１３ａにより計測される。
【００３４】
そして、真空加熱処理が終了したら、第１，第２の捕集手段１２ａ，１２ｂ内に具備したポリウレタンフォーム１６において捕集した有害物質の量と、第１，第２の流量計１３ａ，１３ｂにより計測した排ガスの流量から、前記排ガス中に含まれる有害物質の濃度を算出するようにすればよい。なお、この結果、万一有害物質の濃度が、真空加熱設備の周辺環境に悪影響を及ぼすような数値となっている場合には、冷却手段７の異常等を早期に発見する手掛かりとなるので、前記冷却手段７の異常等によって真空加熱設備の周辺環境に悪影響が及ぶのを確実に防ぐことが可能となる。
【００３５】
前記のように、本発明のサンプリング装置１０においては、真空加熱炉１から排出される排ガスに含まれる有害物質を、捕集手段１２ａ，１２ｂにおいて全て捕集するとともに、前記捕集手段１２ａ，１２ｂを通過する全ての排ガスの流量を、流量計１３ａ，１３ｂによって計測するようにしたので、排ガス中に含まれる有害物質の定量下限を上昇させることが可能となり、この結果、有害物質の濃度を正確に測定することができる。また、真空加熱炉１のように、排出される排ガスの流量が時間の経過とともに変化するような場合でも、切換弁１１ａ，１１ｂによって排ガスの流通経路（排気管５ａ，５ｂ）を切換えることにより、排気安全対策手段９を介して排出される全ての排ガス中に含まれる有害物質の捕集及び前記排ガスの流量の計測を行うことが可能となり、この結果、排ガスのサンプリング作業を良好に行うことができる。更に、本発明においては、排ガス中に含まれる有害物質を捕集手段１２ａ，１２ｂにおいて全量捕集するようにしたので、前記排ガス中に含まれる有害物質の総量を正確に測定することが可能である。
【００３６】
なお、本発明においては、排気安全対策手段９を介して排出される排ガスが流通する排気管５ａ，５ｂを二股状に形成した例について説明したが、これに限定することなく、図３で示すように、二股以上に分岐させるようにしてもよい（例えば、第２の流量計１２ｂにおいて計測することが可能な排ガスの最大流量よりも、真空加熱炉１から排出される排ガスの最大流量が上回っているような場合等に、排気管の分岐数を増加させて、各排気管５ｂ，５ｃ，・・・，５ｎにそれぞれ流量計１３ｂ，１３ｃ，・・・，１３ｎを配設することにより、前記各流量計１３ｂ，１３ｃ，・・・，１３ｎによる排ガス流量の計測範囲が、真空加熱炉１から排出される排ガスの最大流量を上回るようにし、前記各排気管５ｂ，５ｃ，・・・，５ｎを流通する排ガスの流量を各流量計１３ｂ，１３ｃ，・・・，１３ｎによって同時に計測するようにしてもよい。この場合、前記各流量計１３ｂ，１３ｃ，・・・，１３ｎにおける排ガスの流量の計測範囲は、同一であってもよいし異なっていてもよい）。
【００３７】
また、真空加熱炉１から排出される排ガスの流量を、１個の流量計によって排気開始から排気終了まで計測することが可能である場合（例えば、排ガスの最大流量が、第１の流量計１３ａにおける計測範囲（極微量から所定流量Ｒｘの範囲）よりも小さいような場合等）においては、排気管を複数に分岐することなく、前記排ガスのサンプリングを行うようにしてもよい。
【００３８】
更に、本発明において、捕集手段１２ａ，１２ｂは、各排気管５ａ，５ｂに対してそれぞれ１個ずつ配設するようにしているが、これに代えて、例えば、図４で示すように、他方の排気管５ｂに複数の捕集手段１２ｂ，１２ｃ，・・・，１２ｎを並列に配設するようにしてもよい（例えば、第２の捕集手段１２ｂを通過させることが可能な排ガスの最大流量よりも、真空加熱炉１から排出される排ガスの最大流量が上回っている場合等に、他方の排気管５ｂに対して複数個の捕集手段１２ｂ，１２ｃ，・・・，１２ｎを並列に配設することにより、前記各捕集手段１２ｂ，１２ｃ，・・・，１２ｎを通過させることが可能な排ガスの最大流量が、真空加熱炉１から排出される排ガスの最大流量を上回るようにし、前記各捕集手段１２ｂ，１２ｃ，・・・，１２ｎを通過する排ガス中に含まれる有害物質を全量捕集するようにしてもよい）。
【００３９】
このように、排気管の分岐数や、１つの排気管に対する捕集手段の配設数は、真空加熱炉１から排出される排ガスの最大流量、捕集手段における有害物質の捕集能力（捕集手段を通過させることが可能な排ガスの流量）、流量計により計測することが可能な排ガスの流量等の兼合いにより適宜決定すればよい。
【００４０】
なお、本発明においては、排気安全対策手段９の後段にサンプリング装置１０を配設して、排ガスのサンプリングを行うようにした例について説明したが、これに限定することなく、例えば、排気手段８の後段にサンプリング装置１０を配設して、排ガスのサンプリングを行うようにしてもよい。この場合、サンプリング装置１０によるサンプリング結果から算出される排ガス中に含まれる有害物質の濃度が、常に真空加熱設備の周辺環境に悪影響を及ぼさないような数値に維持されていれば、特別に排気安全対策手段９を設ける必要がなくなるため、真空加熱設備を簡素に構成することが可能となる。
【００４１】
また、本発明においては、真空加熱処理の終了後に排ガス中に含まれる有害物質の濃度を算出するようにした例について説明したが、これに限定することなく、例えば、切換弁１１ａ，１１ｂによって排ガスの流通経路（排気管５ａ，５ｂ）が切換えられる毎に、前記排ガス中に含まれる有害物質の濃度を算出するようにしてもよい（即ち、排ガスの流通経路が排気管５ｂから排気管５ａに切換えられたときは、排気管５ｂに配設した捕集手段１２ｂにおいて捕集した有害物質の量と、流量計１３ｂにより計測した排ガスの流量から、前記捕集手段１２ｂを通過した排ガス中に含まれる有害物質の濃度を算出し、逆に、排ガスの流通経路が排気管５ａから排気管５ｂに切換えられたときは、排気管５ａに配設した捕集手段１２ａにおいて捕集した有害物質の量と、流量計１３ａにより計測した排ガスの流量から、前記捕集手段１２ａを通過した排ガス中に含まれる有害物質の濃度を算出する）。
【００４２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明においては、真空加熱設備に、該真空加熱設備から排出される排ガスをサンプリングするためのサンプリング装置を配設し、前記サンプリング装置において、真空加熱設備から排出される排ガスの流量を計測するとともに、前記排ガス中に含まれる有害物質を全量捕集するようにしたので、有害物質の定量下限を上昇させることが可能となり、この結果、従来技術のように排ガスの一部のみをサンプリングして有害物質の濃度を算出する場合に比べ、有害物質の実際の濃度と算出した濃度との間に誤差が生じる等という問題の発生を確実に防いで、排ガス中に含まれる有害物質の濃度測定を正確に行うことができる。
【００４３】
また、前記サンプリング装置は、真空加熱設備から排出される排ガスが流通する排気管を複数に分岐し、各排気管にそれぞれ捕集手段を配設するとともに、各捕集手段の後段にそれぞれ計測範囲の異なる流量計を配設して構成したので、前記真空加熱設備から排出される排ガスの流量に対応して、前記排気管に配設した切換弁により排ガスの流通経路を切換えて、前記排ガスのサンプリングを行うことが可能となり、この結果、真空加熱設備のように排ガスの流量が時間の経過とともに変化する設備においても、良好に排ガスのサンプリング作業を行うことができる。
【００４４】
更に、本発明においては、複数に分岐した各排気管にそれぞれ配設した各捕集手段のうち、ある１個の捕集手段の後段には小さな数値の流量を計測可能な流量計を、残りの各捕集手段の後段には前記流量計よりも大きな数値の流量を計測可能な流量計をそれぞれ配設してサンプリング装置を構成したので、前記サンプリング装置を通過する排ガスの最大流量が、大きな数値の流量を計測可能な流量計単体における計測範囲を上回っているような場合でも、複数の大きな数値の流量を計測可能な流量計によって同時に排ガスの流量を計測することが可能となり、この結果、良好に排ガスのサンプリングを行うことができる。
【００４５】
また、本発明においては、複数に分岐した排気管のうち、ある１つの排気管には１個の捕集手段と小さな数値の流量を計測可能な配設するとともに、残りの排気管には並列に接続した複数の捕集手段と前記流量計よりも大きな数値の流量を計測可能な１個の流量計とを配設してサンプリング装置を構成したので、真空加熱設備から排出される排ガスの最大流量が、捕集手段単体における捕集能力（捕集手段を通過させることが可能な排ガスの最大流量）を上回っているような場合でも、排気管に対して並列に配設した複数の捕集手段に同時に排ガスを通過させることにより、排ガス中に含まれる有害物質を良好に全量捕集することが可能となり、大変利便である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のサンプリング装置を具備した真空加熱設備を概略的に示す概略構成図である。
【図２】本発明のサンプリング装置における捕集手段を概略的に示す要部切欠正面図である。
【図３】本発明におけるサンプリング装置の他の構成例を示す概略構成図である。
【図４】本発明におけるサンプリング装置の更に他の構成例を示す概略構成図である。
【符号の説明】
１ 真空加熱炉
５，５ａ，５ｂ 排気管
６ 加熱源
７ 冷却手段
８ 排気手段
９ 排気安全対策手段
１０ サンプリング装置
１１ａ，１１ｂ 切換弁
１２ａ，１２ｂ 捕集手段
１３ａ，１３ｂ 流量計[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention heats a case or an internal part of an electric device mixed with polychlorinated biphenyl (hereinafter, referred to as PCB) under a predetermined vacuum state, and evaporates and separates the PCB from the case and the internal part. The present invention relates to a method and an apparatus for sampling exhaust gas discharged from a vacuum heating facility in a vacuum heating facility to be removed.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, in a vacuum heating facility in which a case or an internal part of an electric device in which PCB is mixed is subjected to a heat treatment under a predetermined vacuum state, and the PCB is evaporated and separated from the case or the internal part to be removed. In order to prevent the surrounding environment from being adversely affected by exhaust gas discharged from the vacuum heating equipment (including harmful substances such as dioxins and PCBs generated by performing vacuum heat treatment on internal parts of electric equipment and the like), Exhaust gas is discharged in a clean state.
[0003]
When measuring the concentration of harmful substances contained in the exhaust gas discharged from the vacuum heating equipment, for example, when measuring the concentration of harmful substances contained in the exhaust gas discharged from general waste incineration facilities and It was performed in a similar manner. That is, the tip of an L-shaped suction pipe having a smaller diameter than the exhaust pipe is inserted into an exhaust pipe (flue or the like) through which the exhaust gas flows, in a state facing the flow direction of the exhaust gas, and the inside of the exhaust pipe is inserted. A part of the exhaust gas flowing through the exhaust gas is sucked at a constant speed using a suction pump or the like, and harmful substances contained in the exhaust gas are collected by a collection member or the like, and the flow rate of the sucked exhaust gas is measured by a flow meter. Thus, the concentration of the harmful substance in the sucked exhaust gas is calculated from the amount of the collected harmful substance and the flow rate of the exhaust gas. Thereafter, the total amount of the harmful substances in the exhaust gas flowing through the exhaust pipe is estimated from the correlation between the flow rate of the exhaust gas flowing through the exhaust pipe and the flow rate of the exhaust gas sucked from the exhaust pipe ( For example, see Patent Document 1).
[0004]
[Patent Document 1]
JP-A-2002-39923 (page 2, left column, line 42 to right column, line 48, FIG. 2)
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
However, in the above method, since only a part of the exhaust gas flowing through the exhaust pipe is sampled while being sampled at a constant speed, the lower limit of quantification is poor, and the state of the exhaust gas flowing through the exhaust pipe (flow rate, flow velocity, concentration, etc.) In some cases, an error occurs between the concentration of the harmful substance actually contained in the exhaust gas and the concentration of the harmful substance calculated from the sampling result of the exhaust gas. It may be difficult to measure and grasp the concentration.
[0006]
In addition, in the above method, there is no particular problem if the flow rate of the exhaust gas flowing through the exhaust pipe is always constant as in a general waste incineration facility. When the flow rate of the exhaust gas is large and the flow rate of the exhaust gas decreases over time, it becomes difficult to suck the exhaust gas at a constant speed from the exhaust pipe with the decrease in the flow rate of the exhaust gas. There was a problem that sampling could not be performed well.
[0007]
The present invention has been made in view of the above problems, and it is possible to accurately measure the concentration of harmful substances contained in exhaust gas discharged from a vacuum heating facility, and even when the flow rate of the exhaust gas changes. An object of the present invention is to provide a method and an apparatus for sampling exhaust gas in a vacuum heating facility capable of satisfactorily sampling the exhaust gas.
[0008]
[Means for Solving the Problems]
In order to solve the above-mentioned problem, the invention according to claim 1 heats a case or an internal component of an electric device in which a PCB is mixed under a predetermined vacuum state, and evaporates the PCB from the case or the internal component. In the vacuum heating equipment configured to be separated and removed, the vacuum heating equipment is provided with a sampling device for sampling the exhaust gas discharged from the vacuum heating device, and the PCB included in the exhaust gas is sampled by the sampling device. And collecting all harmful substances such as dioxins and dioxins, and measuring the total flow rate of the exhaust gas.
[0009]
According to the second aspect of the present invention, the case and the internal parts of the electric device in which the PCB is mixed are heated under a predetermined vacuum state, and the PCB is evaporated and separated from the case and the internal parts and removed. In the vacuum heating equipment, the vacuum heating equipment includes a collecting means for collecting all harmful substances such as PCBs and dioxins contained in the exhaust gas discharged from the vacuum heating equipment, and the collecting means. A flowmeter for measuring the flow rate of the passing exhaust gas is provided.
[0010]
According to a third aspect of the present invention, in the exhaust gas sampling apparatus in the vacuum heating facility according to the second aspect, an exhaust pipe through which the exhaust gas discharged from the vacuum heating facility flows is branched into a plurality of exhaust pipes, and each exhaust pipe collects the exhaust pipe. In addition to the arrangement of the means, a flow meter having a different measurement range is arranged at a stage subsequent to each of the collecting means.
[0011]
According to a fourth aspect of the present invention, in the exhaust gas sampling device for a vacuum heating facility according to the second aspect, an exhaust pipe through which the exhaust gas discharged from the vacuum heating facility flows is branched into a plurality of exhaust pipes, and each exhaust pipe collects the exhaust pipe. A means is provided, and a flow meter capable of measuring a flow rate of a small numerical value is provided at a stage subsequent to a certain collecting means of the respective collecting means, and the flow meter is provided at a stage subsequent to the remaining collecting means. And a flow meter capable of measuring a flow rate with a large numerical value.
[0012]
According to a fifth aspect of the present invention, in the exhaust gas sampling apparatus for a vacuum heating facility according to the second aspect, an exhaust pipe through which exhaust gas discharged from the vacuum heating facility flows is branched into a plurality of exhaust pipes. Among them, one exhaust pipe is provided with one collection means and one flow meter capable of measuring a small numerical flow rate, and the remaining exhaust pipe is provided with a plurality of parallel connected capture pipes. Collecting means and one flow meter capable of measuring a flow rate having a numerical value larger than that of the flow meter.
[0013]
According to a sixth aspect of the present invention, in the exhaust gas sampling apparatus in the vacuum heating facility according to any one of the third to fifth aspects, a switching valve is disposed in each of the plurality of branched exhaust pipes, and the exhaust pipe is discharged from the vacuum heating facility. The exhaust pipe through which the exhaust gas flows is switched according to the flow rate of the exhaust gas.
[0014]
The present invention provides, in a vacuum heating facility, a sampling device for sampling exhaust gas discharged from the vacuum heating facility, and the sampling device measures a flow rate of exhaust gas discharged from the vacuum heating facility. Since all the harmful substances such as PCBs and dioxins contained in the exhaust gas are collected, the lower limit of the quantification of the harmful substances can be increased, and as a result, the harmful substances contained in the exhaust gas can be increased. Can be accurately measured. In addition, the sampling device divides an exhaust pipe through which exhaust gas discharged from the vacuum heating equipment flows into a plurality of pipes, and arranges a collecting means in each of the exhaust pipes. Since the flowmeters having different ranges are disposed and configured, even in a case where the flow rate of the exhaust gas changes over time, such as in a vacuum heating facility, the flow rate of the exhaust gas corresponds to the flow rate of the exhaust gas. By switching the path (exhaust pipe), the exhaust gas sampling operation can be performed well.
[0015]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a vacuum heating furnace of a vacuum heating facility. On one side (the left side in FIG. 1), a case 2 of an electric device such as a transformer to be disposed of, or an iron core or the like constituting the electric device is provided. An opening / closing door 4 is provided for opening and closing an opening for taking in and out the internal components 3 such as coils, and the exhaust pipe 5 extends outward from the other side (the right side in FIG. 1) through the wall. Derived. Further, the vacuum heating furnace 1 is provided with a heating source 6 such as an electric heater for heating and maintaining the inside of the vacuum heating furnace 1 at a predetermined temperature.
[0016]
As shown in FIG. 1, a cooling unit 7, an exhaust unit 8, an exhaust safety measure 9, and a sampling device 10 are connected in series to an exhaust pipe 5 led out of the vacuum heating furnace 1, respectively. Have been.
[0017]
The cooling means 7 includes a condenser (condenser) and the like, and cools and condenses the PCB contained in the exhaust gas discharged from the vacuum heating furnace 1 to liquefy. The cooling means 7 is provided with a drain 7a for discharging the PCB liquefied in the cooling means 7, and the PCB is collected via a drain 7a in a not-shown sealable collection container, Detoxification processing is separately performed.
[0018]
The evacuation means 8 is composed of a vacuum pump or the like, and sequentially evacuates the inside of the vacuum heating furnace 1 to adjust and maintain the inside of the vacuum heating furnace 1 at a predetermined pressure, and to perform the evacuation from the inside of the vacuum heating furnace 1. The discharged exhaust gas containing harmful substances such as PCB and dioxins is caused to flow into the cooling means 7.
[0019]
Further, the exhaust safety measure 9 is provided with, for example, a mist collector 9a and an adsorbing and removing means 9b made of an adsorbing member such as activated carbon. When the exhaust gas containing the substance passes through the cooling means 7 (that is, no harmful substances such as PCB and dioxins are collected in the cooling means 7), the harmful substances such as PCB and dioxins contained in the exhaust gas are removed. The collected, separated and purified air is discharged into the atmosphere.
[0020]
It is needless to say that the number of the cooling means 7 and the exhaust means 8 is not limited to this, but can be changed appropriately according to the size of the vacuum heating furnace 1 and the like.
[0021]
Next, the sampling device 10 will be described. The sampling device 10 is a device for sampling the exhaust gas discharged from the vacuum heating furnace 1. In the present embodiment, the sampling device 10 is disposed, for example, after the exhaust safety measure 9 (see FIG. 1). . For example, as shown in FIG. 1, the sampling device 10 includes one of the forked exhaust pipes 5 a and 5 b through which exhaust gas discharged through the exhaust safety measure 9 flows. 1), a first switching valve 11a, a first collecting means 12a, and a first flow meter 13a are arranged in series, and the other exhaust pipe 5b (the lower side in FIG. 1) The second switching valve 11b, the second collecting means 12b, and the second flow meter 13b are arranged in series.
[0022]
The first and second switching valves 11a and 11b are for switching the flow path of the exhaust gas to the exhaust pipe 5a or the exhaust pipe 5b in accordance with the flow rate of the exhaust gas discharged through the exhaust safety measure 9. The switching operation of the first and second switching valves 11a and 11b is performed, for example, on the basis of exhaust gas flow rate measurement data by a flow meter (not shown) disposed between the exhaust safety measure 9 and the sampling device 10. On the basis of manual or automatic.
[0023]
Further, as the first and second collecting means 12a and 12b, for example, an environmental measurement collecting member sold by Shibata Scientific Co., Ltd., and a product name "shuttle tube" can be used. As shown in FIG. 2, the first and second collecting means 12a and 12b are provided between a hollow cylindrical holder 14 made of, for example, stainless steel or the like and an inner peripheral surface of the holder 14. It is schematically configured to include a hollow cylindrical glass case 15 housed in a state where a space is provided, and a plurality of polyurethane foams 16 housed in a state of being closely contacted with the inner periphery of the glass case 15. Then, the exhaust gas flowing through the exhaust pipes 5a and 5b flows into the glass case 15 from one end side (the left side in FIG. 2), and passes through the polyurethane foam 16 containing the exhaust gas in the glass case 15. By discharging the exhaust gas from the other end side (the right side in FIG. 2) of the glass case 15, the polyurethane foam 16 can collect all the harmful substances contained in the exhaust gas.
[0024]
Further, the first and second flowmeters 13a and 13b are respectively composed of flowmeters having different measurement ranges, and the first flowmeter 13a has a flow rate in a range from a trace amount to a predetermined flow rate Rx (ie, , A flow meter capable of measuring a relatively small numerical value is used, and the second flow meter 13b is provided with, for example, a flow rate in a range from a predetermined flow rate Rx to a maximum flow rate Rm (ie, a relatively large numerical flow rate). Use a flow meter that can measure). This is because, although the flow rate of the exhaust gas is relatively large at the beginning of the vacuum heating process in the vacuum heating furnace 1, the flow rate of the exhaust gas decreases with time (finally, the flow rate of the exhaust gas becomes extremely small). Therefore, even if the flow rate of the exhaust gas discharged from the vacuum heating furnace 1 changes, the flow rate of the entire exhaust gas flowing through the exhaust pipes 5a and 5b can be reliably measured.
[0025]
Next, the operation will be described. First, the case 2 and the internal components 3 to be carried into the vacuum heating furnace 1 can be obtained by disassembling an electric device such as a transformer in advance. That is, the electrical equipment such as the transformer extracts the PCB (or PCB-containing insulating oil or the like) filled in the case 2 using a pump or the like, and then removes internal components (iron core, coil, etc.) from the case 2. 3) At the same time, the parts such as the clamp (not shown) attached to the internal part 3 and the insulator attached to the case 2 are removed. The internal component 3 taken out of the case 2 is divided into an iron core, a coil, and the like, and then crushed to a predetermined size by crushing means (not shown) or the like. As shown in FIG. 1, the case 2 and the like were loaded on the transport cart 18 on which the internal components 3 were loaded via the loading plate 18 a and the like as needed, as shown in FIG. It is carried into the vacuum heating furnace 1 in the state.
[0026]
As described above, when the case 2 and the internal parts 3 of the electric equipment for performing the vacuum heating process are accommodated in the vacuum heating furnace 1, the inside of the vacuum heating furnace 1 is heated at a predetermined temperature (for example, about 200 C.), and the exhaust means 8 is driven to reduce the pressure in the vacuum heating furnace 1 to a predetermined pressure (for example, about 6.7 Pa or less). By the heating and decompression treatment in the vacuum heating furnace 1, the PCB attached to the case 2 and the internal parts 3 of the electric equipment starts to evaporate and separate, and is exhausted from the vacuum heating furnace 1 together with dioxins and the like. Discharged into tube 5. The exhaust gas containing harmful substances such as PCBs and dioxins is kept under a predetermined negative pressure in the exhaust pipe 5 because the inside of the vacuum heating furnace 1 is maintained at a predetermined reduced pressure by driving the exhaust means 8. Therefore, it is satisfactorily sucked and exhausted into the exhaust pipe 5.
[0027]
The PCB contained in the exhaust gas discharged to the exhaust pipe 5 flows into the cooling means 7, where the PCB is mostly cooled and condensed and liquefied. The liquefied PCB is discharged and collected from a drain 7a provided in the cooling means 7 to a sealable collection container (not shown). As a result, it is possible to satisfactorily remove the PCB adhering (remaining) to the case 2, the internal components 3, and the like housed in the vacuum heating furnace 1.
[0028]
As described above, most of the PCB contained in the exhaust gas discharged from the vacuum heating furnace 1 is cooled and condensed in the cooling means 7 to be liquefied, and collected in the collection container. When exhaust gas containing a large amount of harmful substances such as PCBs and dioxins (hereinafter simply referred to as harmful substances) passes through the cooling means 7 (that is, when the PCB is not recovered in the cooling means 7), By flowing into the exhaust safety measure means 9 through the exhaust pipe 5, the mist collector 9a and the adsorption removing means 9b provided in the exhaust safety measure means 9 collect harmful substances not collected by the cooling means 7. -As a result of being removed, the exhaust gas is discharged from the exhaust safety measure 9 in a purified state.
[0029]
As described above, the PCB adhering to the case 2 and the internal components 3 of the electric equipment is subjected to the vacuum heating treatment in the vacuum heating furnace 1 for a predetermined time (about 15 hours), thereby obtaining the case 2 and the internal components 3. The case 2 and the internal parts (iron core, coil, etc.) 3 can be safely and reusably collected as valuable resources.
[0030]
Next, a case where the exhaust gas is sampled by the sampling device 10 in order to measure the concentration of the harmful substance contained in the exhaust gas discharged from the vacuum heating furnace 1 will be described. First, when the flow rate of the exhaust gas discharged from the vacuum heating furnace 1 is relatively large as at the beginning of the vacuum heating process, the other of the forked exhaust pipes 5a and 5b shown in FIG. By opening the second switching valve 11b disposed on the lower side of FIG. 1 and closing the first switching valve 11a disposed on one of the exhaust pipes 5a (upper side of FIG. 1), the exhaust gas is exhausted. The exhaust gas discharged via the safety measure 9 is caused to flow into the second collection means 12b provided in the other exhaust pipe 5b.
[0031]
All the exhaust gas flowing into the second collecting means 12b passes through the polyurethane foam 16 (see FIG. 2) provided in the second collecting means 12b, and is discharged from the second collecting means 12b. Is done. Therefore, the trace amount of harmful substances contained in the exhaust gas is entirely collected by the polyurethane foam 16. Further, the flow rate of the exhaust gas discharged from the second collecting means 12b is measured by a second flow meter 13b provided at a stage subsequent to the second collecting means 12b.
[0032]
On the other hand, as time elapses from the start of the vacuum heating process, the flow rate of the exhaust gas discharged from the vacuum heating furnace 1 decreases (finally, the flow rate of the exhaust gas becomes extremely small). When the measured value falls below the measurement range of 13b (below the predetermined flow rate Rx), the first switching valve 11a disposed on one exhaust pipe 5a (upper side in FIG. 1) is opened, contrary to the conventional case. By closing the second switching valve 11a disposed on the other exhaust pipe 5b (lower side in FIG. 1), the exhaust gas discharged through the exhaust safety measure 9 is discharged. Into the first collecting means 12a disposed in the first collecting means.
[0033]
All the exhaust gas flowing into the first collecting means 12a passes through the polyurethane foam 16 (see FIG. 2) provided in the first collecting means 12a, and is discharged from the first collecting means 12a. Is done. Therefore, the trace amount of harmful substances contained in the exhaust gas is entirely collected by the polyurethane foam 16. Further, the flow rate of the exhaust gas discharged from the first collecting means 12a is measured by a first flow meter 13a provided at a stage subsequent to the first collecting means 12a.
[0034]
When the vacuum heating process is completed, the amount of harmful substances collected in the polyurethane foam 16 provided in the first and second collecting means 12a and 12b and the first and second flow meters 13a and 13b are determined. From the measured flow rate of the exhaust gas, the concentration of the harmful substance contained in the exhaust gas may be calculated. In addition, as a result, if the concentration of the harmful substance has a value that adversely affects the surrounding environment of the vacuum heating equipment, it becomes a clue to early detection of an abnormality or the like of the cooling means 7. It is possible to reliably prevent the surrounding environment of the vacuum heating equipment from being adversely affected by the abnormality of the cooling means 7 or the like.
[0035]
As described above, in the sampling device 10 of the present invention, all the harmful substances contained in the exhaust gas discharged from the vacuum heating furnace 1 are collected by the collection units 12a and 12b, and the collection units 12a and 12b are collected. Since the flow rates of all exhaust gases passing through the exhaust gas are measured by the flow meters 13a and 13b, it is possible to raise the lower limit of quantification of harmful substances contained in the exhaust gases. Can be measured. Further, even in the case where the flow rate of the discharged exhaust gas changes with the passage of time as in the case of the vacuum heating furnace 1, by switching the exhaust gas flow paths (exhaust pipes 5a and 5b) by the switching valves 11a and 11b, It becomes possible to collect harmful substances contained in all the exhaust gas discharged through the exhaust gas safety measure 9 and to measure the flow rate of the exhaust gas. As a result, it is possible to perform the sampling operation of the exhaust gas well. it can. Further, in the present invention, all the harmful substances contained in the exhaust gas are collected by the collection means 12a and 12b, so that the total amount of the harmful substances contained in the exhaust gas can be accurately measured. is there.
[0036]
In the present invention, an example in which the exhaust pipes 5a and 5b through which the exhaust gas discharged through the exhaust safety measure 9 flows is formed in a bifurcated shape. However, the present invention is not limited to this, and is shown in FIG. As described above, the flow may be branched into two or more branches (for example, the maximum flow rate of the exhaust gas discharged from the vacuum heating furnace 1 exceeds the maximum flow rate of the exhaust gas that can be measured by the second flow meter 12b). , Etc., the number of branches of the exhaust pipes is increased, and the flow meters 13b, 13c,..., 13n are arranged in the respective exhaust pipes 5b, 5c,. The measurement range of the exhaust gas flow rate by each of the flow meters 13b, 13c,..., 13n exceeds the maximum flow rate of the exhaust gas discharged from the vacuum heating furnace 1, and the exhaust pipes 5b, 5c,. Distribute 5n The flow rate of the exhaust gas may be measured simultaneously by each of the flow meters 13b, 13c, ..., 13n, in which case the measurement range of the flow rate of the exhaust gas in each of the flow meters 13b, 13c, ..., 13n is , May be the same or different).
[0037]
Further, when the flow rate of the exhaust gas discharged from the vacuum heating furnace 1 can be measured from the start to the end of the exhaust by one flow meter (for example, the maximum flow rate of the exhaust gas is the first flow meter 13a In a measurement range (a range from a trace amount to a predetermined flow rate Rx), the exhaust gas may be sampled without branching the exhaust pipe into a plurality.
[0038]
Further, in the present invention, one collecting means 12a, 12b is provided for each of the exhaust pipes 5a, 5b, but instead of this, for example, as shown in FIG. A plurality of collecting means 12b, 12c,..., 12n may be arranged in parallel in the other exhaust pipe 5b (for example, of exhaust gas that can pass through the second collecting means 12b). When the maximum flow rate of the exhaust gas discharged from the vacuum heating furnace 1 exceeds the maximum flow rate, for example, a plurality of collecting means 12b, 12c,. , So that the maximum flow rate of the exhaust gas that can pass through the collecting means 12b, 12c,..., 12n exceeds the maximum flow rate of the exhaust gas discharged from the vacuum heating furnace 1. , The collecting means 12b, 12 , ..., the harmful substances contained in the exhaust gas passing through the 12n may be the total amount collected).
[0039]
As described above, the number of branches of the exhaust pipe and the number of collecting means provided for one exhaust pipe are determined by the maximum flow rate of the exhaust gas discharged from the vacuum heating furnace 1 and the capacity of the collecting means for collecting harmful substances. The flow rate of the exhaust gas that can pass through the collecting means) and the flow rate of the exhaust gas that can be measured by the flow meter may be determined as appropriate.
[0040]
In the present invention, an example has been described in which the sampling device 10 is disposed downstream of the exhaust safety measure 9 to sample exhaust gas. However, the present invention is not limited to this. A sampling device 10 may be provided at a subsequent stage to sample the exhaust gas. In this case, if the concentration of harmful substances contained in the exhaust gas calculated from the result of sampling by the sampling device 10 is always maintained at a value that does not adversely affect the surrounding environment of the vacuum heating equipment, it is particularly safe to exhaust. Since it is not necessary to provide the countermeasure 9, the vacuum heating equipment can be simply configured.
[0041]
Further, in the present invention, the example has been described in which the concentration of the harmful substance contained in the exhaust gas is calculated after the end of the vacuum heat treatment. However, the present invention is not limited to this. For example, the switching valves 11a and 11b may be used to calculate the exhaust gas. Each time the flow path (exhaust pipes 5a and 5b) is switched, the concentration of the harmful substance contained in the exhaust gas may be calculated (that is, the flow path of the exhaust gas changes from the exhaust pipe 5b to the exhaust pipe 5a). When switched, the amount of harmful substances collected by the collecting means 12b disposed in the exhaust pipe 5b and the flow rate of the exhaust gas measured by the flow meter 13b are included in the exhaust gas passing through the collecting means 12b. Conversely, when the concentration of the harmful substances is calculated, when the exhaust gas circulation path is switched from the exhaust pipe 5a to the exhaust pipe 5b, the exhaust gas is collected by the collecting means 12a provided in the exhaust pipe 5a. And the amount of harmful substances from exhaust gas flow rate measured by the flow meter 13a, and calculates the concentration of harmful substances contained in exhaust gas that has passed through the collecting means 12a).
[0042]
【The invention's effect】
As described above, in the present invention, the vacuum heating equipment is provided with a sampling device for sampling the exhaust gas discharged from the vacuum heating equipment, and the exhaust gas discharged from the vacuum heating equipment is provided in the sampling device. In addition to measuring the flow rate of harmful substances contained in the exhaust gas, the lower limit of quantification of harmful substances can be increased. Compared to the case where only the concentration of harmful substances is calculated by sampling only harmful substances, it is possible to prevent the occurrence of problems such as errors between the actual concentration of harmful substances and the calculated concentration. It is possible to accurately measure the concentration of a substance.
[0043]
In addition, the sampling device branches an exhaust pipe through which exhaust gas discharged from the vacuum heating equipment flows into a plurality of exhaust pipes, arranges each of the exhaust pipes with a collecting unit, and measures a measuring range at a stage subsequent to each of the collecting units. The flow path of the exhaust gas is switched by a switching valve disposed in the exhaust pipe in accordance with the flow rate of the exhaust gas discharged from the vacuum heating equipment. Sampling can be performed. As a result, even in a facility such as a vacuum heating facility in which the flow rate of the exhaust gas changes over time, the sampling operation of the exhaust gas can be favorably performed.
[0044]
Further, in the present invention, a flow meter capable of measuring a small numerical flow rate is provided at a stage subsequent to a certain collecting means, among the respective collecting means provided in each of the plurality of branched exhaust pipes, In the subsequent stage of each collection means, a flow meter capable of measuring a flow rate of a numerical value larger than the flow meter is arranged to constitute a sampling device, so that the maximum flow rate of exhaust gas passing through the sampling device is large. Even when the flow rate of a numerical value can be measured is larger than the measurement range of a single flow meter alone, it is possible to measure the flow rate of exhaust gas at the same time by a flow meter capable of measuring the flow rate of a plurality of large numerical values. Exhaust gas sampling can be performed well.
[0045]
Further, in the present invention, among a plurality of branched exhaust pipes, one exhaust pipe is provided with one collecting means and a small numerical flow rate can be measured, and the remaining exhaust pipes are arranged in parallel. The sampling device is configured by arranging a plurality of collecting means connected to the weighing device and one flow meter capable of measuring a flow rate larger than the flow meter, so that the maximum amount of exhaust gas discharged from the vacuum heating equipment is increased. Even when the flow rate exceeds the collecting capacity of the collecting means alone (the maximum flow rate of the exhaust gas that can pass through the collecting means), a plurality of collecting means arranged in parallel to the exhaust pipe. By passing the exhaust gas through the means at the same time, it becomes possible to collect all the harmful substances contained in the exhaust gas satisfactorily, which is very convenient.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic configuration diagram schematically showing vacuum heating equipment provided with a sampling device of the present invention.
FIG. 2 is a partially cutaway front view schematically showing a collecting means in the sampling device of the present invention.
FIG. 3 is a schematic configuration diagram illustrating another configuration example of a sampling device according to the present invention.
FIG. 4 is a schematic configuration diagram showing still another configuration example of the sampling device according to the present invention.
[Explanation of symbols]
1 Vacuum heating furnace
5,5a, 5b exhaust pipe
6 heating source
7 Cooling means
8 Exhaust means
9 Exhaust safety measures
10 Sampling device
11a, 11b switching valve
12a, 12b Collection means
13a, 13b Flow meter
