JP2004212152A - Leakage inspection device and pump used therefor - Google Patents

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JP2004212152A
JP2004212152A JP2002380708A JP2002380708A JP2004212152A JP 2004212152 A JP2004212152 A JP 2004212152A JP 2002380708 A JP2002380708 A JP 2002380708A JP 2002380708 A JP2002380708 A JP 2002380708A JP 2004212152 A JP2004212152 A JP 2004212152A
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Japan
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air
pressure
pump
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piston
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JP2002380708A
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Yoshio Yazawa
芳夫 矢沢
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Tamura Electric Works Ltd
Original Assignee
Tamura Electric Works Ltd
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Publication date
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent a leakage inspection device from making erroneous detection and, at the same time, from damaging or breaking objects to be inspected. <P>SOLUTION: The air discharged from a pump 2 is supplied to an object 9 to be inspected through an air flow passage switching solenoid valve 3 and an air supplying solenoid valve 6. The inside of the object 5 is inspected for air leakage by comparing the air pressures at points (b) and (a) in piping 10 with each other by means of a differential pressure gage 7. A flowmeter 5 which confirms air flows is provided in the piping 10. In addition, a pressure detecting switch 8 which stops the motor 25 of the pump 2 when the air pressure at the point (b) in the piping 10 reaches a preset value. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO&NCIPI

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、一部が開口し他は密閉された空間を有するチューブやペットボトル等の被検査物の亀裂や穴等を被検査物内に供給したエアの漏れによって検査するリーク検査装置に関し、特に外形が小さい被検査物の検査に適したリーク検査装置およびそれに使用するポンプに関する。
【０００２】
【従来の技術】
外形が小さい被検査物を検査する場合には、検査用の圧力計を被検査物の内部に装填することができない。また、外形が大きい被検査物でも被検査物の内部に検査用の圧力計を装填することは装填に手間がかかるために、簡易に検査するときには、被検査物の外側で被検査物の内部に供給したエアの圧力を計測するようにしている。すなわち、被検査物にエアを供給する直前の配管内のエアの圧力を圧力計で計測し、このエアの圧力を被検査物の内部のエアの圧力とみなすようにしている。この種のリーク検査装置としては、加圧用のエア源と被検査物であるワークとを接続する配管にワーク内の圧力を検知する圧力センサと、この圧力センサに対向するように圧力スイッチとが設けられ、ワークと配管ラインとがカッブラを介して接続されたものがある。（例えば、特許文献１参照。）
【０００３】
なお、本出願人は、本明細書に記載した先行技術文献情報で特定される先行文献以外には、本発明に密接に関連する先行技術文献を出願時までに発見するには至らなかった。
【０００４】
【特許文献１】
特開平１０−９６６７７号公報（段落「００１５」、図１）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上述した従来のリーク検査装置においては、圧力センサがワーク内に設けられたものではなく配管に設けられたものであるために、圧力スイッチが作動しない場合には、それがワークの気密性に不具合が生じているのか、カップラが正しく接続されていないのかの判断ができなかった。また、加圧用のエア源からワーク内に供給されたエアの圧力が所定値に達したことを検出する検出手段が備えられていないために、加圧エア源から余分なエアがワーク内に導入されることにより、ワークを破損や破壊してしまうといった問題もあった。
【０００６】
本発明は上記した従来の問題に鑑みなされたものであり、第１の目的は誤検出を防止することにある。また、第２の目的は被検査物の破損や破壊を防止することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
この目的を達成するために、請求項１に係る発明は、被検査物にエアを供給するポンプと、被検査物に供給され所定時間経過後のエアの圧力と、被検査物に供給された時点でのエアの圧力とを比較する差圧計とを備えたリーク検査装置において、前記ポンプと被検査物の間のエア流路に流量計を設けたものである。
したがって、差圧計によって被検査物内のエアの圧力が検出されるとともに、流量計によってワーク内にエアが導入されていることが確認できる。
【０００８】
また、請求項２に係る発明は、被検査物にエアを供給するポンプと、被検査物に供給され所定時間経過後のエアの圧力と、被検査物に供給された時点でのエアの圧力とを比較する差圧計とを備えたリーク検査装置において、前記ポンプをピストンポンプとし、前記被検査物に供給されたエアの圧力を測定し予め設定された設定圧力に達すると前記ポンプのピストンの作動を停止させる圧力検出手段を設けたものである。
したがって、被検査物内に所定の圧力のエアが供給されるとエアの供給が自動的に停止する。
【０００９】
また、請求項３に係る発明は、エアを吐出または吸入する開口を有するシリンダと、このシリンダ内を摺動自在で中空部を有するピストンと、このピストンに一体化され回転を規制されたナットと、このナットに螺合し前記ピストンの中空部内を進退するボールねじ棒と、このボールねじ棒を駆動するモータとによって構成したものである。
したがって、モータが正逆方向に回転することにより、ピストンがシリンダ内を進退し、シリンダの開口からエアが吐出または吸入される。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図に基づいて説明する。図１は本発明に係るリーク検査装置の回路図、図２は同じくポンプを示し、同図（ａ）は側断面図、同図（ｂ）は同図（ａ）におけるＩＩ（ｂ）−ＩＩ（ｂ） 線断面図である。
【００１１】
図１に示すように、全体を符号１で示すリーク検査装置は、被検査物９内にエアを供給するためのポンプ２と、このポンプ２を大気に開放する態様と配管１０に接続する態様とに切り替えるエア流路切替電磁弁３と、配管１０内をエアが通過していることを確認するための流量計５と、配管１０を遮断・開放するエア切替電磁弁６と、このエア供給電磁弁６を挟んで、被検査物９側の配管１０内のエアの圧力とエア切替電磁弁３側の配管１０内のエアの圧力とを比較する差圧計７と、被検査物９側の配管１０内のエアの圧力を検出し予め設定した圧力を検出するとポンプ２の駆動源であるモータ２５を停止させる圧力検出スイッチ８とによって概略構成されている。
【００１２】
図２に示すように、ポンプ２は、有底円筒状に形成されたシリンダ２２と、このシリンダ２２の中空部３０内を進退自在に摺動するピストン２３と、このピストン２３を進退させるボールねじ棒２４と、このボールねじ棒２４を回転させるステッピングモータ２５とによって概略構成されている。
【００１３】
シリンダ２２はブラケット２７を介して基台２１に固定されており、一端が開口し、他端の底部には配管１０に接続される通気口３１が設けられている。ピストン２３は有底円筒状に形成され、ボールねじ棒２４が進退する中空部３２が設けられており、底部３３の径はシリンダ２２の中空部３０の径よりも僅かに小さく形成されている。この底部３３の周面に形成した円環状の溝には、Ｏリング３４が装着されており、このＯリング３４によって、ピストン２３の底部３３とシリンダ２２の中空部３０との間の気密性が保持される。３５はピストン２３の外周部の一部に図中矢印Ｇ−Ｈ方向に延在するように設けた溝であって、基台２１に植設した回り止め用のピン２６が係入する。
【００１４】
ピストン２３の開口端には、ナット３７が固定されており、ナット３７にはボールねじ棒２４が螺合している。ステッピングモータ２５はブラケット３８を介して基台２１に固定されており、ステッピングモータ２５のモータ軸にボールねじ棒２４の基端部が軸着されている。
【００１５】
このような構成において、ステッピングモータ２５を正方向に駆動すると、ボールねじ棒２４がモータ軸と一体的に同図（ｂ）において反時計方向に回転するので、回り止め用のピン２６によって回転が規制されたピストン２３がナット３７と一体的に矢印Ｈ方向に移動する。したがって、ピストン２３の底部３３とシリンダ２２の中空部３０との間の空間が負圧状態になるため、通気口３１からエアが中空部３０内に吸入される。
【００１６】
一方、ステッピングモータ２５を逆方向に駆動すると、ボールねじ棒２４がモータ軸と一体的に同図（ｂ）において時計方向に回転するので、回り止め用のピン２６によって回転が規制されたピストン２３がナット３７と一体的に矢印Ｇ方向に移動する。したがって、ピストン２３の底部３３とシリンダ２２の中空部３０との間に滞留しているエアの圧力が上昇するため、中空部３０内のエアが通気口３１を通って配管１０に吐出される。
【００１７】
このように、ピストン２３にボールねじ棒２４を収容する中空部３２を設けたことによりポンプ１の小型化を図ることができる。また、ピストン２３の移動を、ボールねじ棒２４とステッピングモータ２５とによって行うようにしたために、ピストン２３の進退量を微量ずつ変化させることができるので、被検査物９に低圧（数１００ｐａ）のエアを供給することができる。さらに、ステッピングモータ２５は停止に要する時間が短いため、所定量のエアを正確に供給することができる。
【００１８】
図１において、エア流路切替電磁弁３は、２個のポートＰ，Ａを備えており、ポートＰが大気に開放され、ポートＡが閉じられた態様と、ポートＰがポートＡに接続される態様との２位置に切り替えられる電磁弁であって、ポートＡは配管１０に接続されている。
【００１９】
差圧計７は、流量計５とエア供給電磁弁６との間のａ点における配管１０内のエアの圧力と、エア供給電磁弁６と被検査物９との間のｂ点における配管１０内のエアの圧力とを比較できるように、配管１１を介して配管１０に接続されている。圧力検出スイッチ８は配管１２を介して流量計５と被検査物９との間のｂ点に接続されており、このｂ点における配管１０内のエアの圧力を検出し、予め設定した圧力に達したことを検出すると、信号線１３を介してポンプ２のモータ２５を停止させる信号を送出する。
【００２０】
次に、このような構成のリーク検査装置１を用いて、被検査物９のリークの可否を検査する方法を説明する。
エア流路切替電磁弁３を、図１に示すように、ポートＰを大気に開放した態様に切り替え、エア供給電磁弁６を配管１０のａ点とｂ点間とを遮断した態様に切り替える。この状態として、モータ２５を逆方向に駆動すると、ピストン２３が矢印Ｈ方向に移動するので、シリンダ２内には大気から通気口３１を通ってエアが吸入される。
【００２１】
次いで、エア流路切替電磁弁３を、ポートＰがポートＡに接続される態様に切り替え、エア供給電磁弁６を、ポートＰがポートＡに接続し配管１０のａ点とｂ点間とを開放した態様に切り替える。この状態にして、モータ２５を正方向に駆動すると、ピストン２３が矢印Ｇ方向に移動するので、シリンダ２内のエアが通気口３１を通って配管１０に吐出される。配管１０に吐出されたエアは、エア流路切替電磁弁３、流量計５およびエア供給電磁弁６を通って被検査物９に供給される。
【００２２】
ｂ点における配管１０内のエアの圧力、すなわち被検査物９に供給したエアの圧力が、圧力検出スイッチ８によって、予め設定した圧力に達したことが検出されると、ポンプ２のモータ２５が自動的に停止する。このように、被検査物９に供給したエアの圧力が、予め設定した圧力に達するとポンプ２からのエアの供給が停止するため、被検査物９に過剰なエアの供給が規制されるので、被検査物９の破損や破壊を防止することができるばかりではなく、検査の時間を短縮することができる。
【００２３】
ポンプ２からのエアの供給が停止されると同時に、エア流路切替電磁弁３が、ポートＰを大気に開放する態様に切り替えられるとともに、エア供給電磁弁６が、ａ点とｂ点との間を遮断する態様に切り替えられる。ここで、被検査物９に亀裂や穴が生じている場合には、被検査物９からエアが漏れるため、被検査物９にエアが供給され所定時間経過後のｂ点における配管１０内のエアの圧力が、ａ点における配管１０内のエアの圧力よりも低下するので、差圧計７によってこれが検出される。
【００２４】
ところで、仮に、ｂ点と被検査物９との間の配管１０において何らかの原因で詰まりが生じエアが被検査物９に供給されない場合がある。この場合でも、ｂ点までにはエアが供給され、かつｂ点における配管１０のエアの漏れがないので、差圧計７においては被検査物９におけるエアの漏れがないと誤判定してしまうおそれがある。この場合には、流量計５によって配管１０内をエアが通過していないことを確認することができるため、被検査物９の検査結果を誤判定するようなことがない。
【００２５】
被検査物９を検査している間に、モータ２５を逆方向に駆動し、ピストン２３を矢印Ｈ方向に移動させることにより、エア流路切替電磁弁３が、ポートＰを大気に開放する態様に切り替えられているので、シリンダ２内に大気から通気口３１を通ってエアが吸入される。したがって、１個目の被検査物９の検査が終了したら、次の検査の準備ができているために、連続して検査を行うことができる。
【００２６】
なお、本実施の形態においては、流量計５をエア流路切替電磁弁３とエア供給電磁弁６との間に設けたが、エア供給電磁弁６と被検査物９との間に設けてもよい。また、被検査物９内のエアの圧力を高くして検査する場合を説明したが、ピストン２３を矢印Ｈ方向に移動させるときに、エア流路切替電磁弁３を、ポートＡがポートＰに接続される態様に切り替えるようにすることにより、被検査物９内を真空状態にして検査することもできる。
【００２７】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項１に係る発明によれば、誤検出を防止することができる。
【００２８】
また、請求項２に係る発明によれば、被検査物の破損や破壊を防止することができるばかりではなく、検査の時間を短縮できる。
【００２９】
また、請求項３に係る発明によれば、小型化を図ることができるとともに、被検査物に低圧のエアを供給することができ、かつ所定量のエアを正確に供給することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るリーク検査装置の回路図である。
【図２】本発明に係るリーク検査装置におけるポンプを示し、同図（ａ）は側断面図、同図（ｂ）は同図（ａ）におけるＩＩ（ｂ）−ＩＩ（ｂ） 線断面図である。
【符号の説明】
１…リーク検査装置、２…ピストンポンプ、３…エア流路切替電磁弁、５…流量計、６…エア供給電磁弁、７…差圧計、８…圧力検出スイッチ、９…被検査物、１０…配管、１３…信号線、２２…シリンダ、２３…ピストン、２４…ボールねじ棒、２５…ステッピングモータ、２６…回り止めピン、３１…通気口、３２…中空部、３５…溝、３７…ナット。[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a leak inspection apparatus for inspecting a crack or a hole of an inspection object such as a tube or a plastic bottle having a partially open and otherwise closed space by leakage of air supplied into the inspection object, In particular, the present invention relates to a leak inspection device suitable for inspecting an object to be inspected having a small external shape and a pump used for the same.
[0002]
[Prior art]
When inspecting an object having a small external shape, a pressure gauge for inspection cannot be mounted inside the object. In addition, loading a pressure gauge for inspection on an object having a large external shape requires a lot of time and effort to load the inside of the object. The pressure of the air supplied to is measured. That is, the pressure of the air in the pipe just before supplying the air to the inspection object is measured by the pressure gauge, and the pressure of the air is regarded as the pressure of the air inside the inspection object. As this type of leak inspection device, a pressure sensor for detecting pressure in a work is provided in a pipe connecting an air source for pressurization and a work to be inspected, and a pressure switch is arranged to face the pressure sensor. In some cases, a work and a piping line are connected via a cobbler. (For example, refer to Patent Document 1.)
[0003]
The applicant has not found any prior art documents closely related to the present invention by the time of filing, except for the prior art documents specified by the prior art document information described in the present specification.
[0004]
[Patent Document 1]
JP-A-10-96677 (paragraph "0015", FIG. 1)
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
In the conventional leak inspection device described above, since the pressure sensor is provided not in the work but in the pipe, when the pressure switch does not operate, it is a problem in the airtightness of the work. Could not be determined as to whether or not the coupler was connected correctly. Also, since there is no detection means for detecting that the pressure of the air supplied into the work from the pressurized air source has reached a predetermined value, extra air is introduced into the work from the pressurized air source. As a result, there is a problem that the work is damaged or broken.
[0006]
The present invention has been made in view of the above-described conventional problems, and a first object is to prevent erroneous detection. A second object is to prevent the inspection object from being damaged or broken.
[0007]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve this object, the invention according to claim 1 includes a pump for supplying air to an inspection object, a pressure of air supplied to the inspection object after a predetermined time has elapsed, and a supply of air to the inspection object. In a leak inspection apparatus provided with a differential pressure gauge for comparing the pressure of air at a point in time, a flow meter is provided in an air flow path between the pump and the inspection object.
Therefore, the pressure of the air in the inspection object is detected by the differential pressure gauge, and it can be confirmed that the air is introduced into the work by the flow meter.
[0008]
The invention according to claim 2 is a pump that supplies air to the inspection object, a pressure of the air supplied to the inspection object after a predetermined time has elapsed, and a pressure of the air when the air is supplied to the inspection object. And a differential pressure gauge that compares the pressure of the air supplied to the object to be inspected and when the pressure reaches a preset set pressure, the piston of the pump is turned on. A pressure detecting means for stopping the operation is provided.
Therefore, when air of a predetermined pressure is supplied into the inspection object, the supply of air is automatically stopped.
[0009]
According to a third aspect of the present invention, there is provided a cylinder having an opening for discharging or sucking air, a piston having a hollow portion slidable in the cylinder, and a nut integrated with the piston and restricted in rotation. And a ball screw rod which is screwed into the nut and advances / retreats in the hollow portion of the piston, and a motor which drives the ball screw rod.
Therefore, when the motor rotates in the forward and reverse directions, the piston moves forward and backward in the cylinder, and air is discharged or sucked in from the opening of the cylinder.
[0010]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a circuit diagram of a leak inspection apparatus according to the present invention, FIG. 2 shows the same pump, FIG. 1 (a) is a side sectional view, and FIG. 1 (b) is II (b) -II in FIG. (B) It is a line sectional view.
[0011]
As shown in FIG. 1, a leak inspection apparatus generally indicated by reference numeral 1 includes a pump 2 for supplying air into a test object 9, a mode in which the pump 2 is opened to the atmosphere, and a mode in which the pump 2 is connected to a pipe 10. , An air flow switching solenoid valve 3 for confirming that air is passing through the pipe 10, an air switching solenoid valve 6 for shutting off and opening the pipe 10, and an air supply A differential pressure gauge 7 for comparing the air pressure in the pipe 10 on the inspection object 9 side with the air pressure in the pipe 10 on the air switching electromagnetic valve 3 side with the electromagnetic valve 6 interposed therebetween, and a differential pressure gauge 7 on the inspection object 9 side. A pressure detection switch 8 for detecting a pressure of air in the pipe 10 and stopping a motor 25 which is a drive source of the pump 2 when a preset pressure is detected.
[0012]
As shown in FIG. 2, the pump 2 includes a cylinder 22 having a bottomed cylindrical shape, a piston 23 that slides in a hollow portion 30 of the cylinder 22 so as to be able to advance and retreat, and a ball screw that advances and retreats the piston 23. It is schematically constituted by a rod 24 and a stepping motor 25 for rotating the ball screw rod 24.
[0013]
The cylinder 22 is fixed to the base 21 via a bracket 27, has one end open, and a vent 31 connected to the pipe 10 at the bottom at the other end. The piston 23 is formed in a cylindrical shape with a bottom, and has a hollow portion 32 in which the ball screw rod 24 advances and retreats. The diameter of the bottom portion 33 is slightly smaller than the diameter of the hollow portion 30 of the cylinder 22. An O-ring 34 is mounted in an annular groove formed on the peripheral surface of the bottom portion 33, and the O-ring 34 provides airtightness between the bottom portion 33 of the piston 23 and the hollow portion 30 of the cylinder 22. Will be retained. Reference numeral 35 denotes a groove provided in a part of the outer peripheral portion of the piston 23 so as to extend in the direction of the arrow GH in the figure, and a rotation preventing pin 26 implanted in the base 21 engages with the groove.
[0014]
A nut 37 is fixed to the open end of the piston 23, and the ball screw rod 24 is screwed to the nut 37. The stepping motor 25 is fixed to the base 21 via a bracket 38, and the base end of the ball screw rod 24 is mounted on the motor shaft of the stepping motor 25.
[0015]
In such a configuration, when the stepping motor 25 is driven in the forward direction, the ball screw rod 24 rotates counterclockwise integrally with the motor shaft in FIG. The restricted piston 23 moves together with the nut 37 in the arrow H direction. Therefore, the space between the bottom portion 33 of the piston 23 and the hollow portion 30 of the cylinder 22 is in a negative pressure state, so that air is sucked into the hollow portion 30 from the vent 31.
[0016]
On the other hand, when the stepping motor 25 is driven in the reverse direction, the ball screw rod 24 rotates clockwise in FIG. 2B integrally with the motor shaft, so that the rotation of the piston 23 is restricted by the detent pin 26. Moves integrally with the nut 37 in the direction of arrow G. Therefore, the pressure of the air remaining between the bottom portion 33 of the piston 23 and the hollow portion 30 of the cylinder 22 increases, so that the air in the hollow portion 30 is discharged to the pipe 10 through the vent 31.
[0017]
Thus, the provision of the hollow portion 32 for accommodating the ball screw rod 24 in the piston 23 allows the pump 1 to be downsized. In addition, since the movement of the piston 23 is performed by the ball screw rod 24 and the stepping motor 25, the amount of movement of the piston 23 can be changed by a small amount. Air can be supplied. Further, since the time required for the stepping motor 25 to stop is short, it is possible to accurately supply a predetermined amount of air.
[0018]
In FIG. 1, the air flow switching solenoid valve 3 is provided with two ports P and A, wherein the port P is open to the atmosphere and the port A is closed, and the port P is connected to the port A. The port A is connected to the pipe 10.
[0019]
The differential pressure gauge 7 is configured to measure the pressure of the air in the pipe 10 at a point a between the flow meter 5 and the air supply solenoid valve 6 and the pressure in the pipe 10 at a point b between the air supply solenoid valve 6 and the inspection object 9. Is connected to the pipe 10 via the pipe 11 so that the pressure of the air can be compared with the pressure of the air. The pressure detection switch 8 is connected to a point b between the flow meter 5 and the inspection object 9 via the pipe 12, detects a pressure of air in the pipe 10 at the point b, and reduces the pressure to a preset pressure. Upon detecting that the motor 25 has reached the position, a signal for stopping the motor 25 of the pump 2 is transmitted through the signal line 13.
[0020]
Next, a method of inspecting whether or not the inspection object 9 has a leak using the leak inspection apparatus 1 having such a configuration will be described.
As shown in FIG. 1, the air flow switching electromagnetic valve 3 is switched to a mode in which the port P is opened to the atmosphere, and the air supply electromagnetic valve 6 is switched to a mode in which the point a and the point b of the pipe 10 are shut off. In this state, when the motor 25 is driven in the reverse direction, the piston 23 moves in the direction of the arrow H, so that air is sucked into the cylinder 2 from the atmosphere through the vent 31.
[0021]
Next, the air flow switching solenoid valve 3 is switched to a mode in which the port P is connected to the port A, and the air supply solenoid valve 6 is connected between the port P and the port A so that the point between the point a and the point b of the pipe 10 is connected. Switch to open mode. In this state, when the motor 25 is driven in the forward direction, the piston 23 moves in the direction of arrow G, so that the air in the cylinder 2 is discharged to the pipe 10 through the vent 31. The air discharged into the pipe 10 is supplied to the inspection object 9 through the air flow path switching electromagnetic valve 3, the flow meter 5, and the air supply electromagnetic valve 6.
[0022]
When the pressure of the air in the pipe 10 at the point b, that is, the pressure of the air supplied to the object 9 is detected by the pressure detection switch 8 to reach a preset pressure, the motor 25 of the pump 2 is turned on. Stop automatically. As described above, when the pressure of the air supplied to the inspection object 9 reaches a preset pressure, the supply of air from the pump 2 is stopped, and the supply of excessive air to the inspection object 9 is regulated. In addition, not only can the inspection object 9 be prevented from being damaged or broken, but also the inspection time can be shortened.
[0023]
At the same time as the supply of air from the pump 2 is stopped, the air flow switching solenoid valve 3 is switched to a mode in which the port P is opened to the atmosphere, and the air supply solenoid valve 6 is switched between the points a and b. The mode is switched to a mode in which the gap is shut off. Here, if the inspection object 9 has a crack or a hole, air leaks from the inspection object 9, so that air is supplied to the inspection object 9, and the air in the pipe 10 at point b after a predetermined time has elapsed. Since the pressure of the air is lower than the pressure of the air in the pipe 10 at the point a, this is detected by the differential pressure gauge 7.
[0024]
Incidentally, if the pipe 10 between the point b and the inspection object 9 is clogged for some reason, air may not be supplied to the inspection object 9 in some cases. Even in this case, since air is supplied up to the point b and there is no air leakage in the pipe 10 at the point b, the differential pressure gauge 7 may erroneously determine that there is no air leakage in the inspection object 9. There is. In this case, it can be confirmed by the flow meter 5 that air does not pass through the inside of the pipe 10, so that the inspection result of the inspection object 9 is not erroneously determined.
[0025]
A mode in which the air flow switching solenoid valve 3 opens the port P to the atmosphere by driving the motor 25 in the reverse direction and moving the piston 23 in the direction of the arrow H while inspecting the inspection object 9. , Air is sucked into the cylinder 2 from the atmosphere through the vent 31. Therefore, when the inspection of the first inspection object 9 is completed, the inspection can be performed continuously because the next inspection is ready.
[0026]
In the present embodiment, the flow meter 5 is provided between the air flow switching solenoid valve 3 and the air supply solenoid valve 6, but is provided between the air supply solenoid valve 6 and the inspection object 9. Is also good. Further, the case where the inspection is performed by increasing the pressure of the air in the inspection object 9 has been described, but when the piston 23 is moved in the direction of the arrow H, the air flow switching solenoid valve 3 is connected to the port P by the port A. By switching to the connection mode, the inspection can be performed with the inside of the inspection object 9 in a vacuum state.
[0027]
【The invention's effect】
As described above, according to the first aspect of the present invention, erroneous detection can be prevented.
[0028]
According to the second aspect of the present invention, not only can the inspection object be prevented from being damaged or destroyed, but also the inspection time can be shortened.
[0029]
According to the third aspect of the invention, it is possible to reduce the size, to supply low-pressure air to the inspection object, and to accurately supply a predetermined amount of air.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a circuit diagram of a leak inspection device according to the present invention.
2A and 2B show a pump in the leak inspection apparatus according to the present invention, wherein FIG. 2A is a side sectional view, and FIG. 2B is a sectional view taken along line II (b) -II (b) in FIG. It is.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Leak inspection apparatus, 2 ... Piston pump, 3 ... Air flow switching electromagnetic valve, 5 ... Flow meter, 6 ... Air supply electromagnetic valve, 7 ... Differential pressure gauge, 8 ... Pressure detection switch, 9 ... Inspection object, 10 ... Piping, 13 ... Signal line, 22 ... Cylinder, 23 ... Piston, 24 ... Ball screw rod, 25 ... Stepping motor, 26 ... Detent pin, 31 ... Vent, 32 ... Hollow part, 35 ... Groove, 37 ... Nut .

Claims (3)

被検査物にエアを供給するポンプと、被検査物に供給され所定時間経過後のエアの圧力と、被検査物に供給された時点でのエアの圧力とを比較する差圧計とを備えたリーク検査装置において、前記ポンプと被検査物の間のエア流路に流量計を設けたことを特徴とするリーク検査装置。A pump for supplying air to the object to be inspected, and a differential pressure gauge for comparing the pressure of air supplied to the object to be inspected after a predetermined time has elapsed with the pressure of air supplied to the object to be inspected. In the leak inspection apparatus, a flow meter is provided in an air flow path between the pump and the inspection object. 被検査物にエアを供給するポンプと、被検査物に供給され所定時間経過後のエアの圧力と、被検査物に供給された時点でのエアの圧力とを比較する差圧計とを備えたリーク検査装置において、前記ポンプをピストンポンプとし、前記被検査物に供給されたエアの圧力を測定し予め設定された設定圧力に達すると前記ポンプのピストンの作動を停止させる圧力検出手段を設けたことを特徴とするリーク検査装置。A pump for supplying air to the object to be inspected, and a differential pressure gauge for comparing the pressure of air supplied to the object to be inspected after a predetermined time has elapsed with the pressure of air supplied to the object to be inspected. In the leak inspection device, the pump is a piston pump, and pressure detection means for measuring the pressure of the air supplied to the inspection object and stopping the operation of the piston of the pump when the pressure reaches a preset pressure is provided. A leak inspection device characterized by the above-mentioned. エアを吐出または吸入する通気口を有するシリンダと、このシリンダ内を摺動自在で中空部を有するピストンと、このピストンに一体化され回転を規制されたナットと、このナットに螺合し前記ピストンの中空部内を進退するボールねじ棒と、このボールねじ棒を駆動するモータとによって構成したことを特徴とするポンプ。A cylinder having a vent for discharging or sucking air, a piston having a hollow portion slidable in the cylinder, a nut integrated with the piston and restricted in rotation, and a piston screwed into the nut and screwed into the nut A pump comprising: a ball screw rod that advances and retreats in the hollow portion of the above; and a motor that drives the ball screw rod.
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