JP2004167979A - Molding die for substrate and stamper - Google Patents

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JP2004167979A
JP2004167979A JP2002339149A JP2002339149A JP2004167979A JP 2004167979 A JP2004167979 A JP 2004167979A JP 2002339149 A JP2002339149 A JP 2002339149A JP 2002339149 A JP2002339149 A JP 2002339149A JP 2004167979 A JP2004167979 A JP 2004167979A
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JP
Japan
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stamper
mold
substrate
fixed
outer peripheral
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JP2002339149A
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Japanese (ja)
Inventor
Shinsuke Kishi
信介 岸
Kazuhiro Miura
一浩 三浦
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Sony Music Solutions Inc
Original Assignee
Sony Disc Technology Inc
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To improve transcriptability in an outer periphery without heating a mold in a molding die for a substrate up to a high temperature. <P>SOLUTION: A machine comprising a fixed die 1 and a movable die 4 are set at the opposite sites to mold a main surface of a disk substrate by a stamper 10 installed in either of the fixed die 1 or the movable die 4 is structured in such a manner that a heat conduction at the site of the outer periphery of the stamper 10 is poorer than at the site of the center of the stamper 10. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
この発明は、基板成形用金型装置およびスタンパに関し、特に、良好な転写性を確保することができる基板成形用金型装置に適用して好適なものである。
【0002】
【従来の技術】
近年、再生専用光ディスク、光磁気ディスク、相変化型光ディスク等のように、光を用いて情報信号の書き込みや読み出しが行われているディスク状記録媒体(以下、光ディスクと称する)が普及している。この光ディスクに用いられるディスク基板は、射出成型方法により製造されるのが一般的である。この射出成形方法では、基板成形用金型装置のキャビティ内に溶融樹脂が射出注入され、この溶融樹脂の熱がスタンパを介して金型側に吸熱され、溶融樹脂が冷却固化することにより、ディスク基板が成形される。
【0003】
ところが、従来の射出成形方法では、大容量の記憶容量を有する光ディスク、例えばDVD−R(Digital Versatile Disc−Recordable)を製造する場合には、スタンパの外周部(例えば、半径50mm以上の領域)におけるグルーブやピットの形状を、ディスク基板に忠実に転写することが困難になるという問題があった。これは、ディスク基板の外周部を構成する樹脂の温度が、中心部を構成する樹脂の温度に比して低下してしまうため、すなわち、ディスク基板の外周部を構成する樹脂の流動性が、中心部を構成する樹脂の流動性に比して低下してしまうためである。
【0004】
そこで、金型を高温(例えば、120℃以上)に保持して、ディスク基板を成型する射出成型方法が提案されている。このように、金型を高温にすることにより、樹脂の流動性が高くなり、スタンパ外周部においてもグルーブやピットの形状をディスク基板に忠実に転写することができるようになる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、スタンパの転写性を確保するために金型を高温にすると、ディスク基板の不良が発生し易くなるという問題と、ディスク基板の生産性が低下してしまうという問題とが生じる。以下に、これらの問題点について具体的に示す。
【0006】
1)金型を十分冷却した後でないと、ディスク基板を金型から取り出すことができないため、サイクルタイムが長くなってしまう。
2)射出成形装置から取り出す際のディスク基板の温度が高いため、射出成形装置のエジェクタや取り出し機によってディスク基板の変形を招きやすい。
3)ディスク基板を金型から均一に離形することが困難であるため、ディスク基板の剥離不良が発生し易い。
4)射出成形装置から取り出す際のディスク基板の温度が高いため、ディスク基板を金型から離形する際にピットやグルーブの変形を招き易い。
5)冷却時にディスク基板が変形し易い。
6)金型の温度が高温であるため、スタンパ交換などの作業性が悪化してしまう。
7)総合的な歩留まりが低下してしまう。
8)スタンパを交換しなければならない離型不良の発生頻度が高くなってしまう。
【0007】
したがって、この発明の目的は、金型を高温にすることなく、外周部での転写性を向上させることができる基板成形用金型装置およびスタンパを提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上述の課題を解決するために、本願第1の発明は、互いに対向する固定側および可動側金型を備え、
固定側および可動側金型の一方に配置されたスタンパにより、ディスク基板の主面を成形するようにした基板成形用金型装置において、
スタンパの外周側の熱伝導が中心側の熱伝導に比して悪くされたことを特徴とする基板成形用金型装置である。
【0009】
本願第2の発明は、基板成形用金型装置に備えられた固定側および可動側金型の一方に配置され、ディスク基板の主面を成形するようにしたスタンパにおいて、
外周側の熱伝導が中心側の熱伝導に比して悪くされたことを特徴とするスタンパである。
【0010】
この発明によれば、スタンパの外周側の熱伝導が中心側の熱伝導に比して悪くなるように基板成形用金型装置が構成されているため、スタンパの外周部上に広がる樹脂の温度低下を防止することができる。すなわち、スタンパの外周部においても樹脂の流動性を保持することができる。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。なお、以下の実施形態においては、同一または対応する部分には同一の符号を用いて説明する。
【0012】
図1は、この発明の第1の実施形態による基板成形用金型装置の一例を示す断面図である。この基板成形用金型装置は、図1に示すように、固定側金型1と可動側金型4とから構成される。
【0013】
固定側金型1は、図示しない射出成形装置本体に対して固定された状態で設けられている。固定側金型1には、可動側金型4に対向するように、固定側ミラー1bが備えられている。この固定側ミラー1bには、可動側金型4に対向するように、スタンパ10を配置するための配置面1cが備えられている。なお、固定側ミラー1bは、金属から構成され、この金属として、例えば、熱伝導率25W/m・kのステンレス鋼が用いられる。
【0014】
また、固定側金型1には、溶融された樹脂材料の経路を備えたスプルーブッシュ2が嵌め込まれている。スプルーブッシュ2には、樹脂射出口2bが穿設されている。樹脂射出口2bは、キャビティ3の中心に位置して、図示しない射出成形ユニット側から供給される溶融されたポリカーボネート樹脂などの合成樹脂材料をキャビティ3内に射出する。
【0015】
可動側金型4は、固定側金型1に対して近接離間する方向(図に向かって左右方向)に移動可能に設けられている。可動側金型4には、固定側金型1と対向するように、可動側ミラー4bが備えられている。この可動側ミラー4bには、固定側ミラー1bの成形面を構成するスタンパ10に対向するように、成形面4cが備えられている。なお、可動側ミラー4bは、金属から構成され、この金属として、例えば、熱伝導率25W/m・kのステンレス鋼が用いられる。
【0016】
また、可動側金型4には、成形されたディスク基板に中心孔を打ち抜くためのセンターポンチ5と、このセンターポンチ5の内外周側にそれぞれ位置して、形成されたディスク基板をキャビティ3から取り外すための突き出し部材6aおよび6bが配設されている。
【0017】
外周リング7は円環状に形成されており、可動側ミラー4bと、この可動側ミラー4bの外周側に設けられたインタロックリング8との間の溝内に摺動自在に取り付けられている。固定側金型1と可動側金型4とが当接した状態で、固定側ミラー1bの成形面であるスタンパ10と、可動側ミラー4bの成形面4cと、外周リング7との間にはキャビティ3が形成される。1a,2a,4aおよび5aは、固定側ミラー1b、スプルーブッシュ2、可動側ミラー4bおよびセンターポンチ5の内部にそれぞれ形成された温調回路である。インタロックリング8には、キャビティ3に充填される樹脂材料から発生するガスを逃がすために、複数個のガス抜き用の孔9が形成されている。
【0018】
図2は、図1に示す領域10aにおける固定側ミラー1bの一例を示す拡大断面図である。図2に示すように、固定側ミラー1bの配置面1cは、スタンパ10の外周部と接する領域、例えば、スタンパ10の半径54〜60mmの範囲と接する領域に複数の凹部1dを有する。この凹部1dは、スタンパ10のディスク基板成形面とは反対側の面(以下、裏面と称する)と、固定側ミラー1bの配置面1cとの接触面積を減らすためのものであり、例えば、直径0.1mm以下の半球形状を有する。なお、配置面1cに形成される凹部1dは、切削加工、放電加工、エッチング処理またはレーザ加工により形成される。
【0019】
図3は、図1に示す領域10aにおける配置面1cの一例を示す平面図である。図3に示すように、複数の凹部1dは、スプルーブッシュ2を中心として同心円状に配置されている。
【0020】
この発明の第1の実施形態によれば以下の効果を得ることができる。
基板成形用金型装置が、互いに対向する固定側金型1および可動側金型4を備える。固定側金型1には、可動側金型4と対向する側に、スタンパ10を配置するための配置面1cが備えられている。この配置面1cのスタンパ10の外周部と接する領域には、接触面積を減らすための複数の凹部1dが備えられている。これにより、スタンパ10の外周側の熱伝導が中心側の熱伝導に比して悪くなるように固定側金型1を構成することができる。したがって、ディスク基板の外周部を構成する樹脂の温度低下を防止し、樹脂の流動性を保持することができる。よって、基板成形用金型装置を高温にすることなく、外周部での転写性を向上させることができる。
【0021】
また、従来のように、基板成形用金型装置を高温(例えば、120℃以上)にすることなく、スタンパ10の転写性を向上させることができるため、ディスク基板を基板成形用金型装置から取り出す際に基板成形用金型装置の冷却に要する時間を短縮することができる。したがって、サイクルタイムを短縮することができる。
【0022】
また、ディスク基板を基板成形用金型装置から離形する際にピットやグルーブに生じる変形を防止することができる。また、ディスク基板を均一に基板成形用金型装置から離形することが容易となるため、ディスク基板の剥離不良の発生率を低下することができる。また、冷却時のディスク基板の変形による不良発生率を低下することができる。また、スタンパの不良発生率を低下することができる。また、総合的な歩留まりを改善することができる。
【0023】
次に、この発明の第2の実施形態について説明する。図4は、この発明の第2の実施形態による基板成形用金型装置に備えられた固定側金型の拡大断面図を示す。固定側ミラー1bは、図4に示すように、スタンパ10の外周部近くに、例えば、スタンパ10の半径54〜60mmの範囲に対応した部分に、断熱層1eを備える。この断熱層1eは、例えば、スプルーブッシュ2を中心として円環形状に形成されている。また、断熱層1eは、例えば、熱伝導率0.03W/m・kの空気断熱層である。この発明の第2の実施形態によれば第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。
【0024】
次に、この発明の第3の実施形態について説明する。この第3の実施形態による固定側ミラー1bの配置面1cには、スタンパ10の外周部と接する領域、例えば、スタンパ10の半径54〜60mmの範囲と接する領域に薄膜が備えられている。この薄膜は、例えば円環形状を有し、固定側ミラー部1bを構成する材料より熱伝導率の低い材料を配置面1cに溶射等で塗布することにより形成される。この配置面1cに塗布される材料としては、例えば、熱伝導率1.2W/m・kを有するジルコニアが用いられる。この発明の第3の実施形態によれば第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。
【0025】
次に、この発明の第4の実施形態について説明する。上述の第1の実施形態では、固定側ミラー1bの配置面1cに複数の凹部が備えられている例について示したが、この第4の実施形態では、スタンパ10の裏面の外周部に複数の凹部が備えられている。この発明の第4の実施形態によれば第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。
【0026】
次に、この発明の第5の実施形態について説明する。上述の第3の実施形態では、固定側ミラー1bの配置面1cに、固定側ミラー部1bを構成する材料より熱伝導率の低い材料からなる薄膜が備えられている例について示したが、この発明の第5の実施形態では、スタンパ10の裏面の外周部に、固定側ミラー1bを構成する材料より熱伝導率の低い材料からなる薄膜が形成されている。この発明の第5の実施形態によれば第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。
【0027】
以上、この発明の実施形態について具体的に説明したが、この発明は、上述の実施形態に限定されるものではなく、この発明の技術的思想に基づく各種の変形が可能である。
【0028】
例えば、上述の実施形態において挙げた数値はあくまでも例に過ぎず、必要に応じてこれと異なる数値を用いてもよい。
【0029】
また、上述した第1、第2、第3、第4および第5の実施形態のうちの少なくとも2つを組み合わせるようにしてもよい。
【0030】
図5に、上述した第1の実施形態および第2の実施形態を組み合わせた場合を一例として示す。図4に示すように、凹部1dと断熱層1eとを固定側ミラー1bに形成することにより、スタンパ10の外周部上に広がる樹脂の温度の低下をさらに防止することができる。
【0031】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明によれば、スタンパの外周側の熱伝導が中心側の熱伝導に比して悪くなるように基板成形用金型装置が構成されているため、従来のように金型を高温にすることなく、スタンパの外周部上に広がる樹脂の流動性を保持することができる。すなわち、従来のように金型を高温にすることなく、外周部での転写性を改善することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の第1の実施形態による基板成形用金型装置の一例を示す断面図である。
【図2】この発明の第1の実施形態による固定側ミラーの断面図である。
【図3】この発明の第1の実施形態による固定側ミラーの平面図である。
【図4】この発明の第2の実施形態による固定側金型の断面図である。
【図5】この発明の第1のおよび第2の実施形態を組み合わせた変形例を説明するための固定側金型の断面図である。
【符号の説明】
1・・・固定側金型、1a,2a,4a,5a・・・温調回路、1b・・・固定側ミラー、1c・・・配置面、1d・・・凹部、1e・・・断熱層、2・・・スプルーブッシュ、3・・・キャビティ、4・・・可動側金型、4b・・・可動側ミラー、4c・・・成形面、5・・・センターポンチ、6a,6b・・・突き出し部材、7・・・摺動リング、8・・・インタロックリング、9・・・ガス抜き部、10・・・スタンパ
[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a substrate molding die apparatus and a stamper, and is particularly suitable for application to a substrate molding die apparatus that can ensure good transferability.
[0002]
[Prior art]
In recent years, disk-shaped recording media (hereinafter, referred to as optical disks) in which information signals are written and read using light, such as read-only optical disks, magneto-optical disks, and phase-change optical disks, have become widespread. . The disk substrate used for the optical disk is generally manufactured by an injection molding method. In this injection molding method, a molten resin is injected and injected into a cavity of a substrate molding die apparatus, and the heat of the molten resin is absorbed by a die through a stamper, and the molten resin is cooled and solidified, thereby forming a disk. A substrate is formed.
[0003]
However, in the conventional injection molding method, when manufacturing an optical disk having a large storage capacity, for example, a DVD-R (Digital Versatile Disc-Recordable), the outer peripheral portion of the stamper (for example, a region having a radius of 50 mm or more) is used. There has been a problem that it is difficult to faithfully transfer the shapes of the grooves and pits to the disk substrate. This is because the temperature of the resin forming the outer peripheral portion of the disk substrate is lower than the temperature of the resin forming the central portion, that is, the fluidity of the resin forming the outer peripheral portion of the disk substrate is This is because the fluidity of the resin constituting the central portion is reduced.
[0004]
Therefore, an injection molding method has been proposed in which a disk substrate is molded by holding a mold at a high temperature (for example, 120 ° C. or higher). As described above, by setting the temperature of the mold to a high temperature, the fluidity of the resin is increased, and the shape of the grooves and pits can be faithfully transferred to the disk substrate even at the outer periphery of the stamper.
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
However, when the mold is heated to a high temperature in order to secure the transferability of the stamper, there arises a problem that defects of the disk substrate are likely to occur and a problem that the productivity of the disk substrate is reduced. Hereinafter, these problems will be specifically described.
[0006]
1) Unless the mold is sufficiently cooled, the cycle time becomes longer because the disk substrate cannot be removed from the mold.
2) Since the temperature of the disk substrate at the time of removal from the injection molding apparatus is high, the disk substrate is likely to be deformed by the ejector or the removal machine of the injection molding apparatus.
3) Since it is difficult to uniformly release the disk substrate from the mold, defective peeling of the disk substrate is likely to occur.
4) Since the temperature of the disk substrate when taken out of the injection molding apparatus is high, pits and grooves are likely to be deformed when the disk substrate is released from the mold.
5) The disk substrate is easily deformed during cooling.
6) Since the temperature of the mold is high, workability such as stamper replacement is deteriorated.
7) The overall yield decreases.
8) The frequency of occurrence of mold release failures requiring replacement of the stamper increases.
[0007]
Accordingly, an object of the present invention is to provide a substrate molding die apparatus and a stamper that can improve transferability at the outer peripheral portion without raising the temperature of the die.
[0008]
[Means for Solving the Problems]
In order to solve the above-described problem, a first invention of the present application includes a fixed side and a movable side mold that face each other,
In a substrate molding die apparatus configured to mold a main surface of a disk substrate by a stamper disposed on one of a fixed side and a movable side mold,
This is a substrate molding die device, wherein heat conduction on the outer peripheral side of the stamper is deteriorated compared to heat conduction on the center side.
[0009]
The second invention of the present application is directed to a stamper which is arranged on one of a fixed side and a movable side mold provided in a substrate molding die apparatus and is configured to mold a main surface of a disk substrate.
A stamper characterized in that heat conduction on the outer peripheral side is worsened than heat conduction on the center side.
[0010]
According to the present invention, since the substrate molding die device is configured such that the heat conduction on the outer peripheral side of the stamper is worse than the heat conduction on the center side, the temperature of the resin spreading on the outer peripheral portion of the stamper is increased. The drop can be prevented. That is, the fluidity of the resin can be maintained even at the outer peripheral portion of the stamper.
[0011]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following embodiments, the same or corresponding portions will be described using the same reference numerals.
[0012]
FIG. 1 is a sectional view showing an example of a substrate molding die apparatus according to the first embodiment of the present invention. As shown in FIG. 1, the substrate molding die apparatus includes a fixed die 1 and a movable die 4.
[0013]
The fixed mold 1 is provided in a state fixed to an injection molding apparatus main body (not shown). The fixed mold 1 is provided with a fixed mirror 1 b so as to face the movable mold 4. The fixed mirror 1b is provided with an arrangement surface 1c on which the stamper 10 is arranged so as to face the movable mold 4. The fixed-side mirror 1b is made of a metal, for example, stainless steel having a thermal conductivity of 25 W / m · k is used as the metal.
[0014]
A sprue bush 2 having a path for the molten resin material is fitted into the fixed mold 1. The sprue bush 2 is provided with a resin injection port 2b. The resin injection port 2b is located at the center of the cavity 3, and injects a synthetic resin material such as a molten polycarbonate resin supplied from an injection molding unit (not shown) into the cavity 3.
[0015]
The movable mold 4 is provided so as to be movable in a direction approaching and separating from the fixed mold 1 (a left-right direction in the drawing). The movable mold 4 is provided with a movable mirror 4 b so as to face the fixed mold 1. The movable side mirror 4b is provided with a molding surface 4c so as to face the stamper 10 forming the molding surface of the fixed side mirror 1b. The movable mirror 4b is made of a metal, for example, stainless steel having a thermal conductivity of 25 W / m · k.
[0016]
In the movable mold 4, a center punch 5 for punching a center hole in the formed disk substrate, and the formed disk substrates located on the inner and outer peripheral sides of the center punch 5, respectively. Protruding members 6a and 6b for removal are provided.
[0017]
The outer peripheral ring 7 is formed in an annular shape, and is slidably mounted in a groove between the movable mirror 4b and an interlock ring 8 provided on the outer peripheral side of the movable mirror 4b. In a state where the fixed mold 1 and the movable mold 4 are in contact with each other, the stamper 10 as the molding surface of the fixed mirror 1b, the molding surface 4c of the movable mirror 4b, and the outer peripheral ring 7 A cavity 3 is formed. Reference numerals 1a, 2a, 4a and 5a denote temperature control circuits formed inside the fixed mirror 1b, the sprue bush 2, the movable mirror 4b and the center punch 5, respectively. In the interlock ring 8, a plurality of gas vent holes 9 are formed in order to release gas generated from the resin material filled in the cavity 3.
[0018]
FIG. 2 is an enlarged sectional view showing an example of the fixed-side mirror 1b in the area 10a shown in FIG. As shown in FIG. 2, the arrangement surface 1c of the fixed mirror 1b has a plurality of recesses 1d in a region in contact with the outer peripheral portion of the stamper 10, for example, in a region in contact with a range of a radius of 54 to 60 mm of the stamper 10. The recess 1d is for reducing the contact area between the surface of the stamper 10 opposite to the disk substrate forming surface (hereinafter referred to as the back surface) and the arrangement surface 1c of the fixed-side mirror 1b. It has a hemispherical shape of 0.1 mm or less. The concave portion 1d formed on the arrangement surface 1c is formed by cutting, electric discharge machining, etching, or laser machining.
[0019]
FIG. 3 is a plan view showing an example of the arrangement surface 1c in the region 10a shown in FIG. As shown in FIG. 3, the plurality of recesses 1d are arranged concentrically around the sprue bush 2.
[0020]
According to the first embodiment of the present invention, the following effects can be obtained.
The substrate molding apparatus includes a fixed mold 1 and a movable mold 4 that face each other. The stationary mold 1 is provided with an arrangement surface 1c for disposing the stamper 10 on the side facing the movable mold 4. A plurality of recesses 1d are provided in a region of the arrangement surface 1c in contact with the outer peripheral portion of the stamper 10 to reduce the contact area. Thus, the fixed mold 1 can be configured such that the heat conduction on the outer peripheral side of the stamper 10 is worse than the heat conduction on the center side. Therefore, it is possible to prevent the temperature of the resin constituting the outer peripheral portion of the disk substrate from lowering and to maintain the fluidity of the resin. Therefore, the transferability at the outer peripheral portion can be improved without raising the temperature of the substrate molding die apparatus.
[0021]
Further, since the transferability of the stamper 10 can be improved without increasing the temperature of the substrate molding die device (for example, to 120 ° C. or higher) as in the related art, the disk substrate can be moved from the substrate molding die device. It is possible to shorten the time required for cooling the substrate molding die device when taking out. Therefore, the cycle time can be reduced.
[0022]
Further, it is possible to prevent pits and grooves from being deformed when the disk substrate is released from the substrate molding die apparatus. Further, since it is easy to uniformly release the disk substrate from the substrate molding die apparatus, it is possible to reduce the rate of occurrence of defective peeling of the disk substrate. Further, the rate of occurrence of defects due to deformation of the disk substrate during cooling can be reduced. Further, the rate of occurrence of defects of the stamper can be reduced. Further, the overall yield can be improved.
[0023]
Next, a second embodiment of the present invention will be described. FIG. 4 is an enlarged sectional view of a fixed mold provided in a substrate molding mold apparatus according to a second embodiment of the present invention. As shown in FIG. 4, the fixed side mirror 1b includes a heat insulating layer 1e near the outer peripheral portion of the stamper 10, for example, at a portion corresponding to a range of a radius of 54 to 60 mm of the stamper 10. The heat insulating layer 1e is formed in an annular shape around the sprue bush 2, for example. The heat insulating layer 1e is, for example, an air heat insulating layer having a heat conductivity of 0.03 W / mk. According to the second embodiment of the present invention, the same effects as in the first embodiment can be obtained.
[0024]
Next, a third embodiment of the present invention will be described. On the arrangement surface 1c of the fixed-side mirror 1b according to the third embodiment, a thin film is provided in a region in contact with the outer peripheral portion of the stamper 10, for example, in a region in contact with a range of a radius of 54 to 60 mm of the stamper 10. This thin film has, for example, an annular shape and is formed by applying a material having a lower thermal conductivity than the material forming the fixed-side mirror portion 1b to the arrangement surface 1c by thermal spraying or the like. As a material applied to the arrangement surface 1c, for example, zirconia having a thermal conductivity of 1.2 W / mk is used. According to the third embodiment of the present invention, the same effects as in the first embodiment can be obtained.
[0025]
Next, a fourth embodiment of the present invention will be described. In the above-described first embodiment, an example in which a plurality of recesses are provided on the arrangement surface 1c of the fixed-side mirror 1b has been described. In the fourth embodiment, however, a plurality of recesses are provided on the outer peripheral portion of the back surface of the stamper 10. A recess is provided. According to the fourth embodiment of the present invention, the same effects as in the first embodiment can be obtained.
[0026]
Next, a fifth embodiment of the present invention will be described. In the above-described third embodiment, an example is shown in which the arrangement surface 1c of the fixed-side mirror 1b is provided with a thin film made of a material having a lower thermal conductivity than the material forming the fixed-side mirror portion 1b. In the fifth embodiment of the present invention, a thin film made of a material having a lower thermal conductivity than the material forming the fixed-side mirror 1b is formed on the outer peripheral portion of the back surface of the stamper 10. According to the fifth embodiment of the present invention, the same effects as in the first embodiment can be obtained.
[0027]
As described above, the embodiments of the present invention have been specifically described. However, the present invention is not limited to the above embodiments, and various modifications based on the technical idea of the present invention are possible.
[0028]
For example, the numerical values given in the above embodiment are merely examples, and different numerical values may be used as needed.
[0029]
Further, at least two of the first, second, third, fourth, and fifth embodiments described above may be combined.
[0030]
FIG. 5 shows an example in which the above-described first embodiment and second embodiment are combined. As shown in FIG. 4, by forming the concave portion 1 d and the heat insulating layer 1 e on the fixed mirror 1 b, it is possible to further prevent the temperature of the resin spreading on the outer peripheral portion of the stamper 10 from decreasing.
[0031]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, the mold apparatus for forming a substrate is configured such that the heat conduction on the outer peripheral side of the stamper is worse than the heat conduction on the center side. The fluidity of the resin spreading on the outer peripheral portion of the stamper can be maintained without raising the temperature of the mold. That is, the transferability at the outer peripheral portion can be improved without raising the temperature of the mold as in the related art.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a sectional view showing an example of a substrate molding die device according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a sectional view of a fixed-side mirror according to the first embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a plan view of a fixed-side mirror according to the first embodiment of the present invention.
FIG. 4 is a sectional view of a stationary mold according to a second embodiment of the present invention.
FIG. 5 is a sectional view of a fixed mold for explaining a modification in which the first and second embodiments of the present invention are combined.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Fixed side die, 1a, 2a, 4a, 5a ... Temperature control circuit, 1b ... Fixed side mirror, 1c ... Arrangement surface, 1d ... Depression, 1e ... Heat insulation layer , 2 ... sprue bush, 3 ... cavity, 4 ... movable side mold, 4b ... movable side mirror, 4c ... molding surface, 5 ... center punch, 6a, 6b ...・ Projecting member, 7 ・ ・ ・ Sliding ring, 8 ・ ・ ・ Interlock ring, 9 ・ ・ ・ Gas release part, 10 ・ ・ ・ Stamper

Claims (7)

互いに対向する固定側および可動側金型を備え、
固定側および可動側金型の一方に配置されたスタンパにより、ディスク基板の主面を成形するようにした基板成形用金型装置において、
スタンパの外周側の熱伝導が中心側の熱伝導に比して悪くされたことを特徴とする基板成形用金型装置。
With a fixed side and a movable side mold facing each other,
In a substrate molding die apparatus configured to mold a main surface of a disk substrate by a stamper disposed on one of a fixed side and a movable side mold,
A heat molding apparatus for molding a substrate, wherein heat conduction on the outer peripheral side of the stamper is worse than heat conduction on the center side.
上記固定側および可動側金型の一方が、上記スタンパの外周部と接する領域に複数の凹部を備えることを特徴とする請求項1記載の基板成形用金型装置。2. The substrate molding die apparatus according to claim 1, wherein one of the fixed side mold and the movable side mold has a plurality of concave portions in a region in contact with an outer peripheral portion of the stamper. 上記固定側および可動側金型の一方が断熱層を備え、
上記断熱層が、上記スタンパの外周部近くに位置することを特徴とする請求項1記載の基板成形用金型装置。
One of the fixed side and the movable side mold has a heat insulating layer,
2. The apparatus according to claim 1, wherein the heat insulating layer is located near an outer peripheral portion of the stamper.
上記固定側および可動側金型の一方が、上記スタンパの外周部と接する領域に薄膜を備え、
上記薄膜は、上記固定側あるいは可動側金型を構成する材料より熱伝導率の低い材料により構成されていることを特徴とする請求項1記載の基板成型用金型。
One of the fixed-side and movable-side molds includes a thin film in a region in contact with an outer peripheral portion of the stamper,
2. The substrate molding die according to claim 1, wherein the thin film is made of a material having a lower thermal conductivity than a material forming the fixed or movable die.
基板成形用金型装置に備えられた固定側および可動側金型の一方に配置され、ディスク基板の主面を成形するようにしたスタンパにおいて、外周側の熱伝導が中心側の熱伝導に比して悪くされたことを特徴とするスタンパ。In a stamper that is arranged on one of the fixed side and the movable side molds provided in the substrate molding die apparatus and that molds the main surface of the disk substrate, the heat conduction on the outer peripheral side is smaller than that on the center side. A stamper characterized by having been made worse. ディスク基板の主面を成形する成形面とは反対側の面の外周部に、複数の凹部を備えることを特徴とする請求項5記載のスタンパ。6. The stamper according to claim 5, wherein a plurality of recesses are provided on an outer peripheral portion of a surface opposite to a molding surface for molding a main surface of the disk substrate. ディスク基板の主面を成形する成形面とは反対側の面の外周部に、薄膜を備え、
上記薄膜は固定側あるいは可動側金型を構成する材料より熱伝導率の低い材料により構成されていることを特徴とする請求項5記載のスタンパ。
A thin film is provided on the outer peripheral portion of the surface opposite to the molding surface for molding the main surface of the disk substrate,
6. The stamper according to claim 5, wherein the thin film is made of a material having a lower thermal conductivity than a material forming the fixed or movable mold.
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