JP2004164727A

JP2004164727A - Method for manufacturing optical recording medium

Info

Publication number: JP2004164727A
Application number: JP2002327955A
Authority: JP
Inventors: Hidenobu Takahashi; 秀宜高橋
Original assignee: Sony Disc Technology Inc
Current assignee: Sony Music Solutions Inc
Priority date: 2002-11-12
Filing date: 2002-11-12
Publication date: 2004-06-10

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for removing a swell formed on a substrate outer peripheral part when an ultraviolet ray cured resin layer is formed on a substrate by spin-coating when forming the light transmissive layer of an optical recording medium. <P>SOLUTION: An ultraviolet ray curable resin is dripped from a coating nozzle 9 to the light transmissive layer forming surface of a disk substrate 1, and applied on the full surface of the disk substrate 1 by spin-coating. Air is blown through an air blower nozzle 10 from the backside of the disk substrate 1 to the outer peripheral part thereof, and then ultraviolet rays are emitted to form an ultraviolet ray cured resin. Thus, by setting the pressure at a spot more outside than the outer peripheral end of the disk substrate 1 as negative pressure and removing the swell of the outer peripheral part of the disk substrate 1 formed by the spin-coating, an ultraviolet ray cured resin layer suited to the formation of the light transmissive layer is formed. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、光学記録媒体、特に、スピンコートにより形成される光学記録層を有する光学記録媒体の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
光学記録媒体例えば光ディスクの大容量化は、光ピックアップで使用されるレーザ光の短波長化と、対物レンズの開口数ＮＡを大きくし、集光スポットのサイズを小さくすることで達成できる。
【０００３】
例えばＣＤ（ＣｏｍｐａｃｔＤｉｓｃ）では、レーザ光波長が７８０ｎｍ、開口数ＮＡが０．４５であり、６５０ＭＢ（メガバイト）の容量であった。ＤＶＤ−ＲＯＭ（ＤｉｇｉｔａｌＶｅｒｓａｔｉｌｅＤｉｓｃ−ＲＯＭ：ディスク多用途ディスク−読み出し専用メモリ）では、レーザ光波長が６５０ｎｍ、開口数ＮＡが０．６とされ、４．７ＧＢ（ギガバイト）の容量となっている。さらに、次世代の光ディスクシステムにおいては、１００μｍ（０．１ｍｍ）の光透過性の保護膜（カバー層）が形成された光ディスクを用いて、レーザ光波長を４５０ｎｍ以下、ＮＡを０．７８以上とすることによって、２２ＧＢ以上の大容量化が可能である。
【０００４】
さらなる大容量化を図るために、２層以上の光学記録層を設けた光ディスクが提案されており、例えば下記の特許文献１に記載されている。
【０００５】
【特許文献１】
特開平１１−１３６４３２号公報
【０００６】
図６は、片側から読み取る方式の２層光ディスクの一例を示すものである。図６Ａに示すように、光ディスクＤＣ１は、中心部にセンターホールＣＨ１が開口された略円盤形状をしており、ドライブ方向ＤＲに回転駆動される。情報を記録または再生するときには、光ディスクＤＣ１中の光学記録層に対して、例えば開口数ＮＡが０．８以上の対物レンズＯＬによって、青〜青紫色の領域のレーザ光ＬＴが照射される。
【０００７】
図６Ｂは、光ディスクＤＣ１のＢ−Ｂ線の断面図であり、図６Ｃは、図６Ｂの一部の拡大断面図である。参照符号２１は、厚さが約１．１ｍｍのポリカーボネートからなるディスク基板を示し、ディスク基板２１の一面上に凹部２１ｄが形成されている。凹部２１ｄを含む凹凸に沿って第１の光学記録層２２が形成されている。第１の光学記録層２２の上に中間層２３が形成されており、中間層２３の上に第２の光学記録層２４が形成されている。
【０００８】
第２の光学記録層２４の上に所定の膜厚の光透過性の保護層２５が形成されている。保護層２５の表面に凹部２５ｄが形成されるか、または中間層２３の表面に凹部２３ｄが形成されている。この凹部を含む微細な凹凸に沿って第２の光学記録層２４が形成されている。
【０００９】
図６Ｂに示すように、上述した光ディスクＤＣ１の第１の光学記録層２２または第２の光学記録層２４に対して、対物レンズＯＬを介されたレーザ光ＬＴが保護層２５の側から照射される。対物レンズＯＬの光ディスクからの距離を調整して、光学記録層２２と２４の何れか一方に焦点を合わせ、光学記録層２２および２４の一方に対して記録または再生がなされる。第２の光学記録層２４は、半透過性であり、光学記録層２４および中間層２３を介してレーザ光ＬＴが第１の光学記録層２２に照射される。光学記録層２２および２４の内で焦点が合わされた一方の記録層で反射された戻り光が受光素子で受光される。
【００１０】
図６Ｃに示すように、一例としてディスク基板２１の厚みが（ｔ１＝１．１ｍｍ）、中間層２３の厚みが（ｔ２＝２５μｍ）、保護層２５の厚みが（ｔ３＝７５μｍ）とされ、ディスク全体の厚みが１．２ｍｍとされている。
【００１１】
第１の光学記録層２２の凹部２１ｄに起因する微細な凹凸形状、並びに第２の光学記録層２４の凹部２３ｄおよび凹部２５ｄに起因する微細な凹凸形状は、ピットパターンを形成する。ピットは、記録データに応じて変調されたピット長を有する。ピットパターンは、読み出し専用ディスクの場合に形成されるものであり、光学記録層２２および２４は、アルミニウム等の金属膜で形成される。
【００１２】
書き込み可能な光ディスクの場合には、第１の光学記録層２２および第２の光学記録層２４は、上層側から例えば誘電体膜、相変化膜等の記録膜、誘電体膜および反射膜が順に積層された構成を有する。層構成、層数は、記録材料の種類や設計によって異なる。
【００１３】
書き込み可能な光ディスクの場合には、上述した微細な凹凸形状は、ランドおよびグルーブを形成する。例えばレーザ光ＬＴの入射側に近い部分がグルーブと定義され、入射側から遠い部分がランドと定義される。グルーブとランドが交互に形成され、ランドおよびグルーブの一方の記録層またはその両方の記録層に対して信号が記録される。ランドおよびグルーブは、トラッキングのために使用され、また、スピンドルモータの回転制御に使用され、さらに、ウォブルされたグルーブによってディスク上の位置を示すアドレス情報を記録するために使用される。記録可能なディスクでは、このアドレス情報を参照して所望の位置にデータを記録している。
【００１４】
従来の凹凸形状を転写する方法として、射出成形にてスタンパの形状を転写する方法が知られている。しかしながら、射出成形法では、２０〜３０μｍのような薄い中間層に凹凸を形成することが不可能である。他の多層光ディスクの製造方法の一例として、２Ｐ法が下記の特許文献２に記載されている。
【００１５】
【特許文献２】
特公平８−２３９４１号公報
【００１６】
この特許文献２に記載された製造方法では、射出成形によって凹凸形状を有するディスク基板を形成し、このディスク基板上に第１の反射層を形成し、次に、その表面に第２の凹凸形状を有する透明スタンパを用意し、透明スタンパのピット面上に放射線硬化型樹脂を充填し、次に、ディスク基板の第１の反射層を下に向けて樹脂を挟んで透明スタンパ上に密着させ、その状態で放射線を照射して樹脂を硬化させ、樹脂の硬化後に透明スタンパを剥離し、第２の凹凸形状上に第２の反射層を形成し、最後に第２の反射層の上に保護層を形成する。このように、放射線硬化型樹脂と透明スタンパを使用する製造方法は、２Ｐ（Ｐｈｏｔｏｐｏｌｙｍｅｒｉｚａｔｉｏｎ）法と称されるものである。
【００１７】
図６Ｃに示す構成に２Ｐ法を適用した場合では、ディスク基板２１が射出成形で形成され、その上に第１の光学記録層２２が形成され、透明スタンパ上に第２の光学記録層２４の凹凸形状が形成され、中間層２３が紫外線硬化樹脂から形成され、第２の光学記録層２４が中間層２３上に形成され、保護層２５が中間層２３の上に形成される。
【００１８】
ところで、記録および／または再生に、レーザ波長４００ｎｍ近傍、開口数０．８５程度などを用いる高密度の光学記録媒体の場合、記録および／または再生光を透過する光透過層の厚みには、高い精度が要求される。特に、このように高密度であり、且つ多層記録の光学記録媒体を作成する場合、光透過層である中間層２３の厚みは、例えば２５μｍ程度に薄く形成する必要があり、非常に高い精度が要求される。
【００１９】
しかしながら、上述した２Ｐ法では、ディスク基板２１とスタンパの平行度が保たれていない、ディスク基板２１の厚みが均一でない等の理由によって、中間層２３の膜厚を精度良く作成することが困難であるという問題がある。また、２Ｐ法は、ディスク基板２１に樹脂を充填してその上に樹脂スタンパを密着させる方法であり、スタンパを押圧する工程において泡抜きが難しく製造時間が長くなる問題がある。
【００２０】
光ディスクの光透過層を形成する方法として、光透過性を有するフィルムを光透過層の形成面に貼り付ける方法が知られている。しかしながら、この方法は、使用するフィルムが高価であることや、円形の基板形状にフィルムを打ち抜くために捨てる部分が多くなるなど、結果的に製造コストが高くなる問題があった。また、中間層２３を形成するときには、例えば２５μｍの厚みのフィルムを使用し、保護層２５を形成する時には、例えば７５μｍの厚みのフィルムを使用することになる。このように厚みが極めて薄いフィルムは、取り扱いが困難となり、均一に貼ることが難しい問題がある。また、フィルムの打ち抜き作業や取り扱いの難しさにより、工程が煩雑になるという問題がある。
【００２１】
上述した２Ｐ法その他の従来の製造方法の持つ問題点を解消することができる光学記録媒体の製造方法が先に本願出願人によって提案されている。この製造方法は、紫外線硬化樹脂層を硬化または半硬化させた後に、スタンパを紫外線硬化樹脂層に押し当てることによって、凹凸形状を転写する方法である。したがって、２Ｐ法と比較して困難な泡抜き工程が不要となり、製造が容易で製造時間を短縮でき、また、ディスク基板の厚みが不均一であっても、中間層の膜厚を精度良く制御でき、さらに、ディスク外周にあふれた紫外線硬化樹脂がバリ状に残ることがなく、後処理を不要とでき、よりさらに、樹脂スタンパを使用しないので、製造コストが上昇しない。また、凹凸形状を転写するためにフィルムを使用する方法と比較して、高価なフィルムを使用しないで良く、製造コストが高くならない。
【００２２】
この製造方法での紫外線硬化樹脂層は、例えばスピンコート法で形成される。スピンコート法での紫外線硬化樹脂層の形成は、光透過性を有する紫外線硬化樹脂を基板の紫外線硬化樹脂層形成面に滴下し、スピンコーターで基板を高速回転させることで、基板に滴下した紫外線硬化樹脂を全面に均一に拡げるものである。
【００２３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、スピンコーターにより基板に拡げられた紫外線硬化樹脂は、表面張力等の影響を受けるため、基板外周部での紫外線硬化樹脂の盛り上がりが生じる問題があった。図７は、中間層２３を形成する際、スピンコーターにより紫外線硬化樹脂をディスク基板２１に塗り拡げたときの一例の断面図である。図７に示すように、ディスク基板２１上にスピンコートされた中間層２３となる紫外線硬化樹脂層には、外周部において、盛り上がり２３ａが形成されてしまう。この盛り上がり２３ａは、紫外線硬化樹脂層の膜厚が厚いほど大きくなる傾向があり、紫外線硬化樹脂の粘度が高くなるほど大きくなるという傾向がある。
【００２４】
したがって、この発明の目的は、高密度多層構成の光ディスクにおける中間層等の高い精度が要求される光学記録媒体の光透過層をスピンコートで形成するときに生じる外周部での樹脂の盛り上がりを防止することができ、それにより、外周部まで信号領域を確保することができる光学記録媒体の製造方法を提供することにある。
【００２５】
【課題を解決するための手段】
上述した課題を解決するために、請求項１の発明は、
少なくとも２層の光学記録層を有する光学記録媒体の製造方法において、
一面に微細な第１の凹凸形状を有する基板を作成する第１の工程と、
基板の一方の面に第１の光学記録層を形成する第２の工程と、
第１の光学記録層の上に、紫外線硬化樹脂層をスピンコートにより形成するとともに、紫外線硬化樹脂層の外周部の盛り上がりを基板裏面側からエアを吹き付けることで、基板外周端より外側の空間を負圧にすることによって盛り上がりを除去する第３の工程と、
紫外線硬化樹脂層に紫外線を照射して硬化させる第４の工程と、
微細な凹凸形状を有するスタンパを硬化した紫外線硬化樹脂層の表面に押し当て、紫外線硬化樹脂層の表面に第２の凹凸形状を転写する第５の工程と、
紫外線硬化樹脂層の第２の凹凸形状の形成面に第２の光学記録層を形成する第６の工程と、
第２の光学記録層上に保護層を形成する第７の工程と
を有する光学記録媒体の製造方法である。
【００２６】
また、請求項５の発明は、
少なくとも２層の光学記録層を有する光学記録媒体の製造方法において、
一面に微細な第１の凹凸形状を有する基板を作成する第１の工程と、
基板の一方の面に第１の光学記録層を形成する第２の工程と、
第１の光学記録層の上に、紫外線硬化樹脂層をスピンコートにより形成するとともに、紫外線硬化樹脂層の外周部の盛り上がりを基板裏面側からエアを吹き付けることで、基板外周端より外側の空間を負圧にすることによって盛り上がりを除去する第３の工程と、
紫外線硬化樹脂層に紫外線を照射して半硬化させる第４の工程と、
微細な凹凸形状を有するスタンパを半硬化した紫外線硬化樹脂層の表面に押し当て、紫外線硬化樹脂層の表面に第２の凹凸形状を転写する第５の工程と、
紫外線硬化樹脂層の第２の凹凸形状の形成面に第２の光学記録層を形成する第６の工程と、
第２の光学記録層上に保護層を形成する第７の工程と
を有する光学記録媒体の製造方法である。
【００２７】
請求項９の発明は、
１層の光学記録層を有する光学記録媒体の製造方法において、
基板上に、紫外線硬化樹脂層をスピンコートにより形成するとともに、紫外線硬化樹脂層の外周部の盛り上がりを基板裏面側からエアを吹き付けることで、基板外周端より外側の空間を負圧にすることによって盛り上がりを除去する第１の工程と、
紫外線硬化樹脂層に紫外線を照射して硬化させる第２の工程と、
微細な凹凸形状を有するスタンパを硬化した紫外線硬化樹脂層の表面に押し当て、紫外線硬化樹脂層の表面に凹凸形状を転写する第３の工程と、
紫外線硬化樹脂層の凹凸形状の形成面に光学記録層を形成する第３の工程と
を有する光学記録媒体の製造方法である。
【００２８】
請求項１２の発明は、
１層の光学記録層を有する光学記録媒体の製造方法において、
基板上に、紫外線硬化樹脂層をスピンコートにより形成するとともに、紫外線硬化樹脂層の外周部の盛り上がりを基板裏面側からエアを吹き付けることで、基板外周端より外側の空間を負圧にすることによって盛り上がりを除去する第１の工程と、
紫外線硬化樹脂層に紫外線を照射して半硬化させる第２の工程と、
微細な凹凸形状を有するスタンパを半硬化した紫外線硬化樹脂層の表面に押し当て、紫外線硬化樹脂層の表面に凹凸形状を転写する第３の工程と、
紫外線硬化樹脂層の凹凸形状の形成面に光学記録層を形成する第３の工程と
を有する光学記録媒体の製造方法である。
【００２９】
この発明は、２Ｐ法と比較して困難な泡抜き工程が不要となり、製造が容易で製造時間を短縮でき、また、ディスク基板２１の厚みが不均一であっても、中間層２３の膜厚を精度良く制御でき、さらに、スピンコートによりディスク外周部に形成される紫外線硬化樹脂の盛り上がりを除去することができ、よりさらに、樹脂スタンパを使用しないので、製造コストが上昇しない。また、凹凸形状を転写するためにフィルムを使用する方法と比較して、高価なフィルムを使用しないで良く、製造コストが高くならない。
【００３０】
【発明の実施形態】
以下、この発明の一実施形態について説明する。最初に図１を参照してこの発明を適用できる片面２層光ディスクの一例について説明する。図１Ａに示すように、光ディスクＤＣは、中心部にセンターホールＣＨが開口された略円盤形状をしており、ドライブ方向ＤＲに回転駆動される。光ディスクＤＣは、例えば直径が１２０ｍｍのものである。情報を記録または再生するときには、光ディスクＤＣ中の光学記録層に対して、例えば開口数ＮＡが０．８以上の対物レンズＯＬによって、青〜青紫色の領域のレーザ光ＬＴが照射される。
【００３１】
図１Ｂは、光ディスクＤＣのＡ−Ａ線の断面図であり、図１Ｃは、図１Ｂの一部の拡大断面図である。参照符号１は、厚さが０．３ｍｍ以上（例えば１．１ｍｍ）のポリカーボネートからなるディスク基板を示し、ディスク基板１の一面上に凹部１ｄが形成されている。凹部１ｄを含む凹凸に沿って第１の光学記録層２が形成されている。第１の光学記録層２の上に中間層３が形成されている。中間層３の表面に凹部３ｄが形成されている。この凹部３ｄを含む微細な凹凸形状に沿って第２の光学記録層４が形成されている。
【００３２】
第２の光学記録層４の上に７０〜８０μｍ例えば７５μｍの膜厚の光透過性の保護層５として、紫外線硬化樹脂等の接着層５ａによって光透過性樹脂フィルム５ｂが貼り合わされている。中間層３の厚みが３０〜２０μｍ例えば２５μｍとされ、ディスク全体の厚みが１．２ｍｍとされている。なお、保護層５は、図６を参照して説明したように、紫外線硬化樹脂層のみで構成しても良い。
【００３３】
図１Ｂに示すように、上述した光ディスクＤＣの第１の光学記録層２または第２の光学記録層４に対して、対物レンズＯＬを介されたレーザ光ＬＴが保護層５の側から照射される。対物レンズＯＬの光ディスクからの距離を調整して、光学記録層２と４の何れか一方に焦点を合わせ、光学記録層２および４の一方に対して記録または再生がなされる。第２の光学記録層４は、半透過性であり、光学記録層４および中間層３を介してレーザ光ＬＴが第１の光学記録層２に照射される。再生時には、光学記録層２および４の焦点が合わされた一方の記録層で反射された戻り光が受光素子で受光される。
【００３４】
第１の光学記録層２の凹部１ｄを含む微細な凹凸形状、並びに第２の光学記録層４の凹部３ｄを含む微細な凹凸形状は、ピットパターンを形成する。ピットは、記録データに応じて変調されたピット長を有する。ピットパターンは、読み出し専用ディスクの場合に形成されるものであり、光学記録層２および４は、アルミニウム等の反射膜で形成される。
【００３５】
書き込み可能な光ディスクの場合には、上述した微細な凹凸形状は、ランドおよびグルーブを形成する。例えば光ピックアップからみて近い部分がグルーブと定義され、光ピックアップからみて遠い部分がランドと定義される。グルーブとランドが交互に形成され、ランドおよびグルーブの一方の記録層またはその両方の記録層に対して信号が記録される。ランドおよびグルーブは、トラッキングのために使用され、また、スピンドルモータの回転制御に使用され、さらに、ウォブルされたグルーブによってディスク上の位置を示すアドレス情報を記録するために使用される。記録可能なディスクでは、このアドレス情報を参照して所望の位置にデータを記録している。
【００３６】
書き込み可能な光ディスクの場合には、光学記録層２および４のそれぞれは、上層側から例えば誘電体膜、相変化膜等の記録膜、誘電体膜および反射膜が順に積層された構成を有する。層構成、層数は、記録材料の種類や設計によって異なる。
【００３７】
上述した２層の光学記録層を有する光ディスクに適用されるこの発明による製造方法の一実施形態について説明する。図２および図３は、２層の光学記録層を有する読み出し専用光ディスクの一例の製造工程における構成図である。図２Ａは、基板成形工程後の構成を示し、図２Ｂは、反射膜の成膜工程後の構成を示し、図２Ｃは、スピンコート工程後の構成を示し、図２Ｄは、紫外線照射工程における構成を示す。また、図３Ａは、スタンパ押圧工程前の構成を示し、図３Ｂは、スタンパ押圧工程後の構成を示し、図３Ｃは、半透過反射膜の成膜工程後の構成を示し、図３Ｄは、保護層（カバー層）形成工程後の構成を示す。
【００３８】
まず、基板成形工程において、ディスク基板１が射出成形法等により、中央部にセンターホール（図示せず）を有する略円盤形状に成形される。このとき、金型内に取り付けられたスタンパにより、ディスク基板１の一主面上に記録データに対応した微細な凹凸、すなわちピットとなる凹部１ｄが形成される。凹部１ｄによるピットは、記録データに応じて変調されたピット長を有しており、ピットおよび複数のピットからなるピットパターンは、所定の再生条件（レーザ波長４０５ｎｍ、対物レンズの開口数０．８５など）に対応した形状を有している。そして、図２Ａに示すようなディスク基板１が作成される。
【００３９】
ディスク基板１の成形後、図２Ｂに示すように、ディスク基板１の凹部１ｄを有する面上に反射膜が成膜され、第１の光学記録層２が形成される。反射膜の膜材としては、例えば、アルミニウム、銀、金またはこれらを含む合金が用いられる。この反射膜は、所望の反射率を備えるように、膜材、厚さなどが考慮されてディスク基板１の凹部１ｄを有する面上にスパッタリング、真空蒸着などにより成膜される。ここで所望の反射率とは、再生光を反射したときに、少なくとも、戻り光が光ディスク外部の受光素子で受光され、ピットの有無を検出することが可能な反射率である。
【００４０】
第１の光学記録層２を形成後、図２Ｃに示すように、第１の光学記録層２の上に中間層３となる紫外線硬化樹脂層が設けられる。紫外線硬化樹脂層は、後述するスピンコーティングシステムにより光透過性を有するエポキシ系、アクリレート系等の紫外線硬化樹脂をスピンコートすることで第１の光学記録層２の上に膜状に均一の厚みで塗布され形成される。
【００４１】
紫外線硬化樹脂のコーティング後、図２Ｄに示すように、コーティングされた紫外線硬化樹脂層に向けて紫外線ＵＶが照射され、紫外線硬化樹脂層が硬化される。
【００４２】
紫外線硬化樹脂層の硬化後、図３Ａに示すように、中間層３の紫外線硬化樹脂層へスタンパ６が所定の圧力、例えば１０００Ｎ／ｃｍ^２程度で押圧される。スタンパ６は、例えば金属で構成され、中間層３と接する面上に記録データに対応した微細な凹凸を有する。これにより中間層３の表面に、第２の光学記録層のピットとなる凹部３ｄが転写される。凹部３ｄによるピットは、記録データに応じて変調されたピット長を有しており、ピットおよび複数のピットからなるピットパターンは、所定の再生条件（レーザ波長４０５ｎｍ、対物レンズの開口数０．８５など）に対応した形状を有している。図３Ｂに示すように、スタンパ６を中間層３へ押圧後、スタンパ６と中間層３とが剥離される。
【００４３】
スタンパ６の剥離後、図３Ｃに示すように、中間層３の凹部３ｄを有する面上に半透過反射膜が成膜され、第２の光学記録層４が形成される。半透過反射膜の膜材としては、例えば、シリコンまたはシリコンを含む化合物が用いられる。この半透過反射膜は、所望の反射率を備えるように、膜材、厚さなどが考慮されて中間層３の凹部３ｄを有する面上にスパッタリング、真空蒸着などにより成膜される。ここで所望の反射率とは、再生光を反射したときに、少なくとも、戻り光が光ディスク外部の受光素子で受光され、ピットの有無を検出することが可能な反射率であり、且つ第１の光学記録層２の反射膜が上述した所望の反射率を得ることが可能な光透過性を有する反射率である。
【００４４】
第２の光学記録層４の形成後、図３Ｄに示すように、第２の光学記録層４の上に保護層５が形成される。保護層５は、第２の光学記録層４の上に光透過性を有する感圧性粘着剤や紫外線硬化樹脂等の接着剤を供給することで接着層５ａを設け、接着層５ａ上に光透過性樹脂フィルム５ｂを貼り合わせることで形成される。接着層５ａと光透過性樹脂フィルム５ｂが合わせて例えば７５μｍ程度の膜厚とされる。
【００４５】
以上のようにして図１に示す構成の片面２層光ディスクが製造される。この発明の一実施形態においては、第１の光学記録層２上にスピンコートによって紫外線硬化樹脂が均一に塗布され、紫外線を照射して硬化させて紫外線硬化樹脂層による中間層３を形成し、中間層３の表面にスタンパ６が押し当てることによって、スタンパ６の凹凸形状が中間層３に転写され、中間層３上に第２光学記録層４が形成される。
【００４６】
ここで、上述したスピンコーティングシステムについて説明する。図４は、この発明の一実施形態によるスピンコーティングシステムの一例の構成図である。なお、図４は、スピンテーブル７近辺の部分的なスピンコーティングシステムの側面の断面図である。図４に示すスピンコーティングシステムによる紫外線硬化樹脂層の形成について、以下に説明する。
【００４７】
スピンテーブル７は、コーティングを施す基板、ここでは、第１の光学記録層２を形成後のディスク基板１を載置するためのものである。スピンテーブル７は、ディスク基板１を載置するための平面７ａを上部に有し、下部から上部の平面に向かってすり鉢状に広がった側面７ｂを有する。平面７ａは、ディスク基板１を真空吸着するためバキューム通路８へ通ずる吸着孔を複数備え、ディスク基板１を固定した際にディスク基板１のディスク面とほぼ同じあるいはやや小さい平面形状を有する。また、スピンテーブル７は、図示しない回転駆動モータなどの動力により、ディスク基板１の載置面に対して垂直方向を軸として回転する。塗布ノズル９は、スピンテーブル７に載置されたディスク基板１に紫外線硬化樹脂を滴下するためのノズルであり、図示しない支持部に移動可能に支持されている。
【００４８】
エア吹き出しノズル１０は、エアを噴射するノズルであり、スピンテーブル７に載置されたディスク基板１の外周部にディスク基板１の裏面（スピンコートを施していない面）側からスピンテーブル７の側面７ｂに沿って流れるように、エアが噴射されるように配置されている。なお、エア吹き出しノズル１０は、図示しない支持部に、エアの吹き出し位置および角度が調節可能となるように支持されている。エア吹き出しノズル１０は、吹き出すエアの圧力、流量、吹き付け時間等の吹き出しに関する条件を調節することができる。これら条件を適切な値に調節することで、エアの吹き出しによりディスク基板１の外周部の紫外線硬化樹脂層の膜厚が薄くなり過ぎることを防止することができる。また、吹き出すエアの温度調節を可能とすることで、塗布する紫外線硬化樹脂の粘度が高い場合などに、吹き出しエアの温度を高くし、ディスク基板１外周部の紫外線硬化樹脂の温度を上昇させることができ、外周部の紫外線硬化樹脂の粘度が下がり、ディスク基板１の外周部における紫外線硬化樹脂の盛り上がりを除去しやすくすることができる。
【００４９】
図４には示していないが、このスピンコーティングシステムには、ディスク基板１の回転により外周方向に霧状に飛散した紫外線硬化樹脂を回収するためのチャンバ、スピンコーティングシステムでの作業の終了後に、ディスク基板１をスピンテーブル７から取り出すための取り出しロボットなどを備える。
【００５０】
このスピンコーティングシステムは、以下のように動作する。ディスク基板１がスピンテーブル７に載置される。このとき、ディスク基板１は、バキューム通路８からの吸引によりスピンテーブル７に固定される。このように、スピンテーブル７にディスク基板１が取り付けられ固定された後、図示しない回転駆動モータ等によりスピンテーブル８が回転される。次に、ディスク基板１のスピンコートを施す面の内周部に、紫外線硬化樹脂が滴下される。滴下された紫外線硬化樹脂は、遠心力によってディスク基板１の内周に沿って外側に向けて円環状に均一の厚みで塗布される。以上で、回転により塗布材料を延伸させるスピンコート法でのディスク基板１への紫外線硬化樹脂の塗布が完了する。
【００５１】
ディスク基板１へ滴下した紫外線硬化樹脂を延伸して全面に塗布した後、ディスク基板１、すなわちスピンテーブル７を低速回転させながら、エア吹き出しノズル１０からスピンテーブル７の側面７ｂに沿うようにディスク基板１の外周部へ向けてエアを吹き付ける。エアの吹き付け位置、角度およびスピンテーブル７の回転数などは、紫外線硬化樹脂の粘度、膜厚等の条件により決定される。図５は、エア吹き付けの様子を示した一例の図である。図５Ａは、エア吹き付け前の状態を示す図であり、図５Ｂは、エア吹き付け後の図である。
【００５２】
図５に示すように、ディスク基板１の裏面側からスピンテーブル７の側面７ｂに沿うようにディスク基板１の外周部に向けてエアを吹き付けることで、ディスク基板１の外周端の外側にエアの流れが図５Ａに示す実線矢印の方向に発生する。これにより、ディスク基板１の外周端付近に外側（図５Ａ中、破線矢印方向）を向いた気流が発生し、ディスク基板１の外周端から外側の空間がディスク基板１上の空間よりも負圧になる。この負圧によって、盛り上がりがディスク基板１の外側に引っ張られる力が働き、図５Ａに示すスピンコート法で形成されてしまうディスク基板１の外周端付近の盛り上がった紫外線硬化樹脂が、外周端より外側に吹き飛ばされるかまたは外周の縁に移動するなどにより、ディスク基板１の紫外線硬化樹脂層上から図５Ｂに示すように除去され、外周部においても均一な厚みとなる。
【００５３】
上述した動作では、紫外線硬化樹脂の延伸終了後に、基板外周部の樹脂の盛り上がりを除去しているが、紫外線硬化樹脂の延伸途中において、基板裏面側からエアを吹き付けても、上述した動作と同様の効果を得ることができる。
【００５４】
以下は、エアを吹き付けて光ディスクの中間層３を形成した場合とそうでない場合とで、実際に紫外線硬化樹脂層を形成し、その膜厚を比較した結果である。膜厚の比較のために、本願発明者は、エアの吹き付けをしないサンプルＡと、エアの吹き付けを行うサンプルＢおよびサンプルＣの３種類のディスクを作成した。サンプルＡのディスクの作成は、以下のように行った。まず、光ディスクの製造に用いられる直径１２０ｍｍのポリカーボネート基板の中間層形成面に、粘度６００ｍＰａ・ｓの紫外線硬化樹脂を平均膜厚が２５μｍとなるようにスピンコーターで塗布した。そして、塗布された紫外線硬化樹脂に紫外線を照射して硬化し、基板の中間層形成面に紫外線硬化樹脂層を形成した。
【００５５】
サンプルＡのディスクに形成された紫外線硬化樹脂層の外周部には、盛り上がりが全周に発生し、その盛り上がり量は、１５μｍ以上であった。
【００５６】
次に、本願発明者は、サンプルＢのディスクの作成を以下のように行った。まず、サンプルＡのディスクと同様に、光ディスクの製造に用いられる直径１２０ｍｍのポリカーボネート基板の中間層形成面に、粘度６００ｍＰａ・ｓの紫外線硬化樹脂を平均膜厚が２５μｍとなるようにスピンコーターで塗布した。その後、スピンテーブル７の回転を停止してディスク裏面側に配置されたエア吹き出しノズル１０から、０．６ＭＰａのエアをディスク外周部に吹き付けた。そして、塗布された紫外線硬化樹脂に紫外線を照射して硬化し、基板の中間層形成面に紫外線硬化樹脂層を形成した。
【００５７】
サンプルＢのディスクに形成されたエア吹き付け部の中間層外周部の盛り上がり量は、３μｍ以下となった。
【００５８】
次に、本願発明者は、サンプルＣのディスクの作成を以下のように行った。まず、光ディスクの製造に用いられる直径１２０ｍｍのポリカーボネート基板の中間層形成面に、粘度６００ｍＰａ・ｓの紫外線硬化樹脂を平均膜厚が２５μｍとなるようにスピンコーターで塗布した。このスピンコーターで紫外線硬化樹脂を塗布する過程、すなわち、スピンコーターで樹脂を延伸中において、ディスク裏面側に配置されたエア吹きだしノズル１０から、０．６ＭＰａのエアをディスク外周部に吹き付けた。スピンコートにより紫外線硬化樹脂をディスクの全面に塗布した後、ディスクを１０ｒｐｍで低速回転させ、ディスクが３回転する間、ディスク裏面側からエアをディスク外周部に吹き続けた。そして、塗布された紫外線硬化樹脂に紫外線を照射して硬化し、基板の中間層形成面に紫外線硬化樹脂層を形成した。
【００５９】
サンプルＣのディスクに形成された中間層外周部の盛り上がり量は、ほぼ全周において３μｍ以下となった。
【００６０】
したがって、スピンコートによるコーティングのみにより紫外線硬化樹脂層を形成するよりも、エアを吹き付けて紫外線硬化樹脂層を形成したときの方が、形成される紫外線硬化樹脂層の外周部に形成される盛り上がりを小さくすることができることがわかった。
【００６１】
以上説明したように、この発明の一実施形態によれば、スピンコート法によりディスク基板１の全面に紫外線硬化樹脂を塗布して紫外線硬化樹脂層を形成する場合に、紫外線硬化樹脂の塗布時、または塗布後にディスク基板１の外周部にディスク基板１の裏面側からエアを吹き付けることにより、外周部に形成される紫外線硬化樹脂による盛り上がりを防ぐことができる。したがって、ディスク外周部まで紫外線硬化樹脂層の膜厚を均一にすることができる。これにより、光ディスクの外周部を信号領域として確保することができる。
【００６２】
また、簡単な作業により材料を無駄にすることなく光透過層の形成を行うことができるため、フィルムの切断や接着等が必要な紫外線硬化フィルムを用いて光透過層を形成する方法よりもコストを低く抑えることができる。
【００６３】
この発明は、上述したこの発明の一実施形態に限定されるものでは無く、この発明の要旨を逸脱しない範囲内で様々な変形や応用が可能である。例えば、上述した一実施形態では、光ディスクＤＣの中間層３の製造方法として、紫外線硬化樹脂をスピンコート後、紫外線を照射して硬化してから、スタンパ６を中間層３に押圧して凹部１２ｄを形成したが、スピンコート後、紫外線硬化樹脂を半硬化とし、スタンパ６を中間層３に押圧して凹部１２ｄを形成してから、完全に硬化させても良い。この場合、スタンパ６は、中間層３に例えば１００〜２００Ｎ／ｃｍ^２程度の圧力で押圧する。
【００６４】
また、上述した一実施形態では、盛り上がりを除去するのに必要なスピンテーブル７やエア吹き出しノズル１０などをスピンコーティングシステムと一体化としたが、別の装置で構成しても良い。さらには、ディスク基板１を回転するのではなく、エア吹き出しノズル１０を回転しても良い。また、エア吹き出しノズル１０は、図４に示すような１箇所１点に向けて吹き出すものに限られたものではなく、複数配置したりしても良い。
【００６５】
また、上述した一実施形態では、スピンコート法による光透過層の形成として、光学記録層を２層有する光ディスクにおける中間層３を例にしたが、これに限らず、光学記録層を３層以上有する光ディスクにおける中間層や光学記録層を１層以上有する光ディスクにおける保護層の形成など、他のスピンコートによる薄膜状の光透過層の形成に適用することも可能である。また、上述した一実施形態では、片側から読み取りを行う光ディスクについて説明したが、両側から読み取りを行う光ディスクについて適用することも可能である。
【００６６】
また、上述した一実施形態では、光ディスクの製造方法として、読み出し専用光ディスクを例にしたが、書き込み可能光ディスクの製造方法に適用しても良い。その場合には、ディスク基板１および中間層３には、ピットでなくランドおよびグルーブが形成される。また、光学記録層２および４は、例えば反射膜、誘電体膜、記録膜、誘電体膜が順に成膜される。記録膜としては、相変化型の光学記録膜、光磁気記録膜、有機色素を含む記録膜等が使用される。記録膜として相変化膜を成膜した場合には、所定の初期化光が照射され、相変化膜が結晶化（初期化）される。
【００６７】
また、上述した一実施形態では、ディスク基板１の成形材料は、ポリカーボネートとしたが、アクリルまたはポリオレフィン系樹脂等のプラスチック材料でも良い。また、光透過性を有する必要がないため、ディスク基板１の成形材料は、例えばアルミニウム（Ａｌ）などの金属を用いることも可能である。
【００６８】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、この発明では、スピンコートにより塗布された紫外線硬化樹脂層を硬化する前に、基板裏側から基板の外周部にエアを吹き付けることにより、スピンコートで形成される基板外周部の紫外線硬化樹脂層の盛り上がりを除去することができ、外周部においても紫外線硬化樹脂層の膜厚を均一にすることができる。これにより、外周部まで良好な信号領域を確保することができる。
【００６９】
また、この発明では、紫外線硬化樹脂を硬化させてから凹凸形状を転写するので、２Ｐ法と比較して困難な泡抜き工程が不要となり、製造が容易で製造時間を短縮でき、また、ディスク基板１の厚みが不均一であっても、中間層３の膜厚を精度良く制御でき、さらに、樹脂スタンパを使用しないので、製造コストが上昇しない利点がある。また、第２の光記録層４の凹凸形状を転写するためにフィルムを使用する方法と比較して、高価なフィルムを使用しないで良く、製造コストが高くならない等の利点がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明を適用できる片側読み取り方式の２層光ディスクの一例を説明するための略線図および断面図である。
【図２】この発明の一実施形態に係る光ディスクの製造方法を説明するための略線図である。
【図３】この発明の一実施形態に係る光ディスクの製造方法を説明するための略線図である。
【図４】この発明の一実施形態によるスピンコーティングシステムの一例を示す略線図である。
【図５】この発明の一実施形態でのエア吹き付け前と後での違いを示す略線図である。
【図６】従来の片側から読み取る方式の２層光ディスクの一例を示す略線図である。
【図７】中間層の形成のためにスピンコートにより紫外線硬化樹脂が塗布されたディスク基板の一例を示す断面図である。
【符号の説明】
ＤＣ・・・光ディスク、１・・・ディスク基板、２・・・第１の光学記録層、３・・・中間層、４・・・第２の光学記録層、５・・・保護層、６・・・スタンパ、７・・・スピンテーブル、９・・・塗布ノズル、１０・・・エア吹き出しノズル[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a method for manufacturing an optical recording medium, particularly an optical recording medium having an optical recording layer formed by spin coating.
[0002]
[Prior art]
Increasing the capacity of an optical recording medium, for example, an optical disk, can be achieved by shortening the wavelength of laser light used in an optical pickup, increasing the numerical aperture NA of an objective lens, and decreasing the size of a focused spot.
[0003]
For example, a CD (Compact Disc) has a laser light wavelength of 780 nm, a numerical aperture NA of 0.45, and a capacity of 650 MB (megabytes). In a DVD-ROM (Digital Versatile Disc-ROM: versatile disk-read only memory), the laser beam wavelength is 650 nm, the numerical aperture NA is 0.6, and the capacity is 4.7 GB (gigabytes). Further, in the next-generation optical disk system, an optical disk having a 100 μm (0.1 mm) light-transmitting protective film (cover layer) formed thereon is used to set the laser light wavelength to 450 nm or less and the NA to 0.78 or more. By doing so, it is possible to increase the capacity to 22 GB or more.
[0004]
In order to further increase the capacity, an optical disk provided with two or more optical recording layers has been proposed, for example, as described in Patent Document 1 below.
[0005]
[Patent Document 1]
JP-A-11-136432
[0006]
FIG. 6 shows an example of a two-layer optical disc of a system reading from one side. As shown in FIG. 6A, the optical disc DC1 has a substantially disc shape with a center hole CH1 opened in the center, and is driven to rotate in the drive direction DR. When recording or reproducing information, the optical recording layer in the optical disc DC1 is irradiated with laser light LT in a blue to blue-violet region by, for example, an objective lens OL having a numerical aperture NA of 0.8 or more.
[0007]
FIG. 6B is a cross-sectional view taken along the line BB of the optical disc DC1, and FIG. 6C is an enlarged cross-sectional view of a part of FIG. 6B. Reference numeral 21 denotes a disk substrate made of polycarbonate having a thickness of about 1.1 mm, and a concave portion 21d is formed on one surface of the disk substrate 21. The first optical recording layer 22 is formed along irregularities including the concave portion 21d. An intermediate layer 23 is formed on the first optical recording layer 22, and a second optical recording layer 24 is formed on the intermediate layer 23.
[0008]
On the second optical recording layer 24, a light-transmitting protective layer 25 having a predetermined thickness is formed. The concave portion 25 d is formed on the surface of the protective layer 25, or the concave portion 23 d is formed on the surface of the intermediate layer 23. The second optical recording layer 24 is formed along the fine unevenness including the concave portion.
[0009]
As shown in FIG. 6B, the first optical recording layer 22 or the second optical recording layer 24 of the optical disc DC1 described above is irradiated with the laser beam LT passing through the objective lens OL from the protective layer 25 side. You. By adjusting the distance of the objective lens OL from the optical disc, one of the optical recording layers 22 and 24 is focused, and recording or reproduction is performed on one of the optical recording layers 22 and 24. The second optical recording layer 24 is semi-transparent, and the first optical recording layer 22 is irradiated with the laser beam LT via the optical recording layer 24 and the intermediate layer 23. Return light reflected by one of the optical recording layers 22 and 24 that has been focused is received by the light receiving element.
[0010]
As shown in FIG. 6C, as an example, the thickness of the disk substrate 21 is (t1 = 1.1 mm), the thickness of the intermediate layer 23 is (t2 = 25 μm), the thickness of the protective layer 25 is (t3 = 75 μm), The overall thickness is 1.2 mm.
[0011]
The fine irregularities caused by the concave portions 21d of the first optical recording layer 22 and the minute irregularities caused by the concave portions 23d and 25d of the second optical recording layer 24 form a pit pattern. The pit has a pit length modulated according to the recording data. The pit pattern is formed in the case of a read-only disc, and the optical recording layers 22 and 24 are formed of a metal film such as aluminum.
[0012]
In the case of a writable optical disk, the first optical recording layer 22 and the second optical recording layer 24 include, for example, a dielectric film, a recording film such as a phase change film, a dielectric film and a reflection film in order from the upper layer side. It has a stacked configuration. The layer configuration and the number of layers differ depending on the type and design of the recording material.
[0013]
In the case of a writable optical disk, the above-mentioned fine irregularities form lands and grooves. For example, a portion near the incident side of the laser light LT is defined as a groove, and a portion far from the incident side is defined as a land. Grooves and lands are alternately formed, and a signal is recorded on one of the recording layers of the lands and the grooves or on both recording layers. The land and the groove are used for tracking, used for controlling the rotation of a spindle motor, and used for recording address information indicating a position on the disk by the wobbled groove. In a recordable disc, data is recorded at a desired position with reference to the address information.
[0014]
As a conventional method for transferring a concavo-convex shape, a method for transferring the shape of a stamper by injection molding is known. However, with the injection molding method, it is impossible to form irregularities on a thin intermediate layer such as 20 to 30 μm. As an example of another method for manufacturing a multilayer optical disk, the 2P method is described in Patent Document 2 below.
[0015]
[Patent Document 2]
Japanese Patent Publication No. 8-23941
[0016]
In the manufacturing method described in Patent Document 2, a disk substrate having an uneven shape is formed by injection molding, a first reflective layer is formed on the disk substrate, and then a second uneven shape is formed on the surface thereof. Prepare a transparent stamper having the following, fill the pit surface of the transparent stamper with a radiation-curable resin, and then make the first reflective layer of the disk substrate face down and adhere to the transparent stamper with the resin interposed therebetween, In this state, the resin is irradiated with radiation to cure the resin, and after the resin is cured, the transparent stamper is peeled off, a second reflective layer is formed on the second uneven shape, and finally, protection is provided on the second reflective layer. Form a layer. As described above, the manufacturing method using the radiation-curable resin and the transparent stamper is called a 2P (Photopolymerization) method.
[0017]
When the 2P method is applied to the configuration shown in FIG. 6C, a disk substrate 21 is formed by injection molding, a first optical recording layer 22 is formed thereon, and a second optical recording layer 24 is formed on a transparent stamper. An uneven shape is formed, the intermediate layer 23 is formed from an ultraviolet curable resin, the second optical recording layer 24 is formed on the intermediate layer 23, and the protective layer 25 is formed on the intermediate layer 23.
[0018]
Meanwhile, in the case of a high-density optical recording medium using a laser wavelength of about 400 nm, a numerical aperture of about 0.85, or the like for recording and / or reproduction, the thickness of the light transmitting layer that transmits recording and / or reproduction light is high. Precision is required. In particular, when producing an optical recording medium having such high density and multilayer recording, the thickness of the intermediate layer 23 which is a light transmitting layer needs to be formed as thin as, for example, about 25 μm, and very high precision is obtained. Required.
[0019]
However, in the above-described 2P method, it is difficult to accurately form the film thickness of the intermediate layer 23 because the parallelism between the disk substrate 21 and the stamper is not maintained and the thickness of the disk substrate 21 is not uniform. There is a problem. Further, the 2P method is a method in which a resin is filled in the disk substrate 21 and a resin stamper is adhered thereon, and there is a problem that it is difficult to remove bubbles in a step of pressing the stamper and the manufacturing time is lengthened.
[0020]
As a method of forming a light transmitting layer of an optical disc, a method of attaching a film having light transmitting properties to a surface on which the light transmitting layer is formed is known. However, this method has a problem that the production cost is high because the film to be used is expensive and a lot of parts are discarded in order to punch the film into a circular substrate shape. When the intermediate layer 23 is formed, a film having a thickness of, for example, 25 μm is used, and when the protective layer 25 is formed, a film having a thickness of, for example, 75 μm is used. Such an extremely thin film has a problem that it is difficult to handle and it is difficult to apply the film uniformly. In addition, there is a problem that the process is complicated due to the difficulty in punching work and handling of the film.
[0021]
A method of manufacturing an optical recording medium capable of solving the problems of the 2P method and other conventional manufacturing methods described above has been previously proposed by the present applicant. This manufacturing method is a method of transferring an uneven shape by hardening or semi-hardening an ultraviolet curable resin layer and then pressing a stamper against the ultraviolet curable resin layer. Therefore, a bubble removal step, which is difficult as compared with the 2P method, is not required, and the production is easy and the production time can be shortened. Further, even if the thickness of the disk substrate is not uniform, the thickness of the intermediate layer can be accurately controlled. Further, the ultraviolet curable resin overflowing on the outer periphery of the disk does not remain in the form of burrs, so that post-processing is not required. Further, since no resin stamper is used, the manufacturing cost does not increase. Further, as compared with a method using a film to transfer the uneven shape, an expensive film does not have to be used, and the manufacturing cost does not increase.
[0022]
The ultraviolet curable resin layer in this manufacturing method is formed by, for example, a spin coating method. The UV-curable resin layer is formed by spin-coating by dropping a UV-curable resin having optical transparency onto the surface of the substrate on which the UV-curable resin layer is formed, and rotating the substrate at a high speed with a spin coater, so that the ultraviolet light is dropped onto the substrate. The cured resin is uniformly spread over the entire surface.
[0023]
[Problems to be solved by the invention]
However, since the ultraviolet curable resin spread on the substrate by the spin coater is affected by surface tension and the like, there is a problem that the ultraviolet curable resin swells on the outer peripheral portion of the substrate. FIG. 7 is a cross-sectional view of an example when an ultraviolet curable resin is spread over the disk substrate 21 by a spin coater when the intermediate layer 23 is formed. As shown in FIG. 7, a bulge 23a is formed at the outer peripheral portion of the ultraviolet curable resin layer serving as the intermediate layer 23 spin-coated on the disk substrate 21. The bulge 23a tends to increase as the thickness of the ultraviolet curable resin layer increases, and tends to increase as the viscosity of the ultraviolet curable resin increases.
[0024]
Accordingly, an object of the present invention is to prevent the resin from rising at the outer peripheral portion when a light transmitting layer of an optical recording medium requiring high precision such as an intermediate layer in an optical disc having a high-density multilayer structure is formed by spin coating. Accordingly, it is an object of the present invention to provide a method of manufacturing an optical recording medium capable of securing a signal area up to an outer peripheral portion.
[0025]
[Means for Solving the Problems]
In order to solve the above-mentioned problem, the invention of claim 1 is
In a method for producing an optical recording medium having at least two optical recording layers,
A first step of forming a substrate having a fine first uneven shape on one surface;
A second step of forming a first optical recording layer on one surface of the substrate;
On the first optical recording layer, an ultraviolet-curable resin layer is formed by spin coating, and the bulge of the outer peripheral portion of the ultraviolet-curable resin layer is blown with air from the back side of the substrate so that a space outside the outer peripheral edge of the substrate is formed. A third step of removing swelling by applying a negative pressure;
A fourth step of irradiating the ultraviolet-curable resin layer with ultraviolet rays to cure the same;
A fifth step of pressing a stamper having fine irregularities onto the surface of the cured ultraviolet curable resin layer and transferring the second irregularities onto the surface of the ultraviolet curable resin layer;
A sixth step of forming a second optical recording layer on the surface of the UV-curable resin layer on which the second uneven shape is formed;
A seventh step of forming a protective layer on the second optical recording layer;
Is a method for manufacturing an optical recording medium having:
[0026]
The invention of claim 5 is
In a method for producing an optical recording medium having at least two optical recording layers,
A first step of forming a substrate having a fine first uneven shape on one surface;
A second step of forming a first optical recording layer on one surface of the substrate;
On the first optical recording layer, an ultraviolet curable resin layer is formed by spin coating, and the bulge of the outer peripheral portion of the ultraviolet curable resin layer is blown with air from the back side of the substrate to make a space outside the outer peripheral end of the substrate. A third step of removing swelling by applying a negative pressure;
A fourth step of irradiating the ultraviolet-curable resin layer with ultraviolet rays and semi-curing;
A fifth step of pressing a stamper having fine irregularities onto the surface of the semi-cured ultraviolet-curable resin layer and transferring the second irregularities onto the surface of the ultraviolet-curable resin layer;
A sixth step of forming a second optical recording layer on the surface of the UV-curable resin layer on which the second uneven shape is formed;
A seventh step of forming a protective layer on the second optical recording layer;
Is a method for manufacturing an optical recording medium having:
[0027]
The invention of claim 9 is
In a method for producing an optical recording medium having one optical recording layer,
By forming an ultraviolet curable resin layer on the substrate by spin coating, and by blowing air from the back side of the substrate to the bulge of the outer peripheral portion of the ultraviolet curable resin layer, the space outside the outer peripheral edge of the substrate is made negative pressure. A first step of removing swelling;
A second step of irradiating the ultraviolet-curable resin layer with ultraviolet rays to cure the layer;
A third step of pressing a stamper having fine irregularities onto the surface of the cured ultraviolet curable resin layer and transferring the irregularities onto the surface of the ultraviolet curable resin layer;
A third step of forming an optical recording layer on the uneven surface of the ultraviolet curable resin layer;
Is a method for manufacturing an optical recording medium having:
[0028]
The invention of claim 12 is
In a method for producing an optical recording medium having one optical recording layer,
By forming an ultraviolet curable resin layer on the substrate by spin coating, and by blowing air from the back side of the substrate to the bulge of the outer peripheral portion of the ultraviolet curable resin layer, the space outside the outer peripheral edge of the substrate is made negative pressure. A first step of removing swelling;
A second step of irradiating the ultraviolet-curable resin layer with ultraviolet rays and semi-curing;
A third step of pressing a stamper having fine irregularities onto the surface of the UV-curable resin layer that has been semi-cured, and transferring the irregularities onto the surface of the UV-curable resin layer;
A third step of forming an optical recording layer on the uneven surface of the ultraviolet curable resin layer;
Is a method for manufacturing an optical recording medium having:
[0029]
The present invention eliminates the need for a difficult bubble removal step as compared with the 2P method, facilitates manufacturing and can reduce the manufacturing time, and even if the thickness of the disk substrate 21 is not uniform, the thickness of the intermediate layer 23 can be reduced. Can be controlled with high precision, the swelling of the ultraviolet curable resin formed on the outer peripheral portion of the disk by spin coating can be removed, and further, since no resin stamper is used, the manufacturing cost does not increase. Further, as compared with a method using a film to transfer the uneven shape, an expensive film does not have to be used, and the manufacturing cost does not increase.
[0030]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described. First, an example of a single-sided, dual-layer optical disc to which the present invention can be applied will be described with reference to FIG. As shown in FIG. 1A, the optical disc DC has a substantially disc shape with a center hole CH opened in the center, and is driven to rotate in the drive direction DR. The optical disc DC has a diameter of, for example, 120 mm. When information is recorded or reproduced, the optical recording layer in the optical disc DC is irradiated with laser light LT in a blue to blue-violet region by, for example, an objective lens OL having a numerical aperture NA of 0.8 or more.
[0031]
FIG. 1B is a cross-sectional view taken along line AA of the optical disc DC, and FIG. 1C is an enlarged cross-sectional view of a part of FIG. 1B. Reference numeral 1 denotes a disk substrate made of polycarbonate having a thickness of 0.3 mm or more (for example, 1.1 mm), and a concave portion 1 d is formed on one surface of the disk substrate 1. The first optical recording layer 2 is formed along the unevenness including the concave portion 1d. An intermediate layer 3 is formed on the first optical recording layer 2. A recess 3 d is formed on the surface of the intermediate layer 3. The second optical recording layer 4 is formed along the fine uneven shape including the concave portion 3d.
[0032]
A light-transmitting resin film 5b is attached on the second optical recording layer 4 as a light-transmitting protective layer 5 having a thickness of 70 to 80 μm, for example, 75 μm, by an adhesive layer 5a such as an ultraviolet curable resin. The thickness of the intermediate layer 3 is 30 to 20 μm, for example, 25 μm, and the thickness of the entire disc is 1.2 mm. In addition, as described with reference to FIG. 6, the protective layer 5 may be configured only with the ultraviolet curable resin layer.
[0033]
As shown in FIG. 1B, the first optical recording layer 2 or the second optical recording layer 4 of the above-described optical disc DC is irradiated with laser light LT passing through the objective lens OL from the protective layer 5 side. You. By adjusting the distance of the objective lens OL from the optical disk, one of the optical recording layers 2 and 4 is focused, and recording or reproduction is performed on one of the optical recording layers 2 and 4. The second optical recording layer 4 is semi-transmissive, and the first optical recording layer 2 is irradiated with laser light LT via the optical recording layer 4 and the intermediate layer 3. At the time of reproduction, return light reflected by one of the optical recording layers 2 and 4 on which the focal point is focused is received by the light receiving element.
[0034]
The fine concave-convex shape including the concave portion 1d of the first optical recording layer 2 and the fine concave-convex shape including the concave portion 3d of the second optical recording layer 4 form a pit pattern. The pit has a pit length modulated according to the recording data. The pit pattern is formed in the case of a read-only disc, and the optical recording layers 2 and 4 are formed of a reflective film of aluminum or the like.
[0035]
In the case of a writable optical disk, the above-mentioned fine irregularities form lands and grooves. For example, a portion closer to the optical pickup is defined as a groove, and a portion farther from the optical pickup is defined as a land. Grooves and lands are alternately formed, and a signal is recorded on one of the recording layers of the lands and the grooves or on both recording layers. The land and the groove are used for tracking, used for controlling the rotation of a spindle motor, and used for recording address information indicating a position on the disk by the wobbled groove. In a recordable disc, data is recorded at a desired position with reference to the address information.
[0036]
In the case of a writable optical disk, each of the optical recording layers 2 and 4 has a configuration in which, for example, a recording film such as a dielectric film and a phase change film, a dielectric film, and a reflection film are sequentially stacked from the upper layer side. The layer configuration and the number of layers differ depending on the type and design of the recording material.
[0037]
An embodiment of the manufacturing method according to the present invention applied to the optical disk having the two optical recording layers described above will be described. FIG. 2 and FIG. 3 are configuration diagrams in a manufacturing process of an example of a read-only optical disk having two optical recording layers. 2A shows a configuration after a substrate forming step, FIG. 2B shows a configuration after a reflective film forming step, FIG. 2C shows a configuration after a spin coating step, and FIG. 2D shows an ultraviolet irradiation step. The configuration is shown. 3A shows a configuration before the stamper pressing step, FIG. 3B shows a configuration after the stamper pressing step, FIG. 3C shows a configuration after the transflective film forming step, and FIG. The structure after the protective layer (cover layer) forming step is shown.
[0038]
First, in the substrate forming step, the disk substrate 1 is formed into a substantially disk shape having a center hole (not shown) at the center by an injection molding method or the like. At this time, fine irregularities corresponding to the recording data, that is, concave portions 1d serving as pits are formed on one main surface of the disk substrate 1 by the stamper mounted in the mold. The pit formed by the concave portion 1d has a pit length modulated in accordance with recording data, and a pit pattern composed of the pit and a plurality of pits is formed under a predetermined reproduction condition (laser wavelength 405 nm, numerical aperture of the objective lens 0.85). Etc.). Then, a disk substrate 1 as shown in FIG. 2A is created.
[0039]
After the formation of the disk substrate 1, as shown in FIG. 2B, a reflection film is formed on the surface of the disk substrate 1 having the concave portion 1d, and the first optical recording layer 2 is formed. As a film material of the reflection film, for example, aluminum, silver, gold or an alloy containing these is used. This reflective film is formed by sputtering, vacuum deposition, or the like on the surface of the disk substrate 1 having the concave portion 1d in consideration of the film material, thickness, and the like so as to have a desired reflectance. Here, the desired reflectivity is a reflectivity at which when the reproduction light is reflected, at least the return light is received by a light receiving element outside the optical disk and the presence or absence of a pit can be detected.
[0040]
After the formation of the first optical recording layer 2, as shown in FIG. 2C, an ultraviolet curable resin layer serving as the intermediate layer 3 is provided on the first optical recording layer 2. The ultraviolet curable resin layer is formed into a film-like uniform thickness on the first optical recording layer 2 by spin-coating an ultraviolet-curable resin such as an epoxy-based or acrylate-based resin having optical transparency by a spin coating system described later. Coated and formed.
[0041]
After the coating of the ultraviolet curable resin, as shown in FIG. 2D, the coated ultraviolet curable resin layer is irradiated with ultraviolet UV to cure the ultraviolet curable resin layer.
[0042]
After the curing of the ultraviolet curable resin layer, as shown in FIG. 3A, the stamper 6 applies a predetermined pressure, for example, 1000 N / cm, to the ultraviolet curable resin layer of the intermediate layer 3. ² Pressed in the degree. The stamper 6 is made of, for example, a metal, and has fine irregularities corresponding to recording data on a surface in contact with the intermediate layer 3. As a result, a concave portion 3 d serving as a pit of the second optical recording layer is transferred to the surface of the intermediate layer 3. The pit formed by the concave portion 3d has a pit length modulated according to the recording data, and a pit pattern composed of the pit and a plurality of pits is formed under a predetermined reproduction condition (laser wavelength 405 nm, numerical aperture 0.85 of the objective lens). Etc.). As shown in FIG. 3B, after pressing the stamper 6 against the intermediate layer 3, the stamper 6 and the intermediate layer 3 are separated.
[0043]
After the stamper 6 is peeled off, as shown in FIG. 3C, a semi-transmissive reflective film is formed on the surface of the intermediate layer 3 having the recess 3d, and the second optical recording layer 4 is formed. As the film material of the transflective film, for example, silicon or a compound containing silicon is used. This transflective film is formed by sputtering, vacuum deposition, or the like on the surface of the intermediate layer 3 having the concave portion 3d in consideration of the film material, thickness, and the like so as to have a desired reflectance. Here, the desired reflectance is a reflectance at which when the reproduction light is reflected, at least the return light is received by a light receiving element outside the optical disk and the presence or absence of a pit can be detected. The reflective film of the optical recording layer 2 has a light transmissivity capable of obtaining the above-described desired reflectivity.
[0044]
After the formation of the second optical recording layer 4, a protective layer 5 is formed on the second optical recording layer 4, as shown in FIG. 3D. The protective layer 5 is provided with an adhesive layer 5a by supplying an adhesive such as a pressure-sensitive adhesive having a light transmitting property or an ultraviolet curable resin onto the second optical recording layer 4, and a light transmitting layer is provided on the adhesive layer 5a. It is formed by bonding the conductive resin film 5b. The total thickness of the adhesive layer 5a and the light-transmitting resin film 5b is, for example, about 75 μm.
[0045]
As described above, the single-sided, dual-layer optical disk having the configuration shown in FIG. 1 is manufactured. In one embodiment of the present invention, an ultraviolet curable resin is uniformly applied on the first optical recording layer 2 by spin coating, and cured by irradiating ultraviolet rays to form an intermediate layer 3 of an ultraviolet curable resin layer, By pressing the stamper 6 against the surface of the intermediate layer 3, the uneven shape of the stamper 6 is transferred to the intermediate layer 3, and the second optical recording layer 4 is formed on the intermediate layer 3.
[0046]
Here, the spin coating system described above will be described. FIG. 4 is a configuration diagram of an example of a spin coating system according to an embodiment of the present invention. FIG. 4 is a side sectional view of a partial spin coating system near the spin table 7. The formation of the ultraviolet curable resin layer by the spin coating system shown in FIG. 4 will be described below.
[0047]
The spin table 7 is for mounting the substrate to be coated, in this case, the disk substrate 1 on which the first optical recording layer 2 has been formed. The spin table 7 has a flat surface 7a on which the disk substrate 1 is placed, and has a side surface 7b that is spread in a mortar shape from the lower surface toward the upper flat surface. The flat surface 7a is provided with a plurality of suction holes communicating with the vacuum passage 8 for vacuum suction of the disk substrate 1, and has a plane shape substantially the same as or slightly smaller than the disk surface of the disk substrate 1 when the disk substrate 1 is fixed. Further, the spin table 7 is rotated about a direction perpendicular to the mounting surface of the disk substrate 1 by the power of a rotary drive motor (not shown) or the like. The application nozzle 9 is a nozzle for dropping an ultraviolet curable resin onto the disk substrate 1 placed on the spin table 7, and is movably supported by a support (not shown).
[0048]
The air blowing nozzle 10 is a nozzle for injecting air, and is provided on an outer peripheral portion of the disk substrate 1 placed on the spin table 7 from the back surface (the surface not subjected to spin coating) of the disk substrate 1 to the side surface of the spin table 7. It is arranged so that air is injected so as to flow along 7b. The air blowing nozzle 10 is supported by a support (not shown) so that the position and angle of the air blowing can be adjusted. The air blowing nozzle 10 can adjust conditions related to blowing, such as the pressure, flow rate, and blowing time of the air to be blown. By adjusting these conditions to appropriate values, it is possible to prevent the thickness of the ultraviolet curable resin layer on the outer peripheral portion of the disk substrate 1 from becoming too thin due to the blowing of air. Further, by making the temperature of the blown air adjustable, the temperature of the blown air is increased and the temperature of the ultraviolet curable resin on the outer peripheral portion of the disk substrate 1 is increased when the viscosity of the ultraviolet curable resin to be applied is high. As a result, the viscosity of the ultraviolet curable resin on the outer peripheral portion is reduced, and the rise of the ultraviolet curable resin on the outer peripheral portion of the disk substrate 1 can be easily removed.
[0049]
Although not shown in FIG. 4, the spin coating system includes a chamber for collecting ultraviolet curable resin scattered in a mist state in the outer peripheral direction due to the rotation of the disk substrate 1, and after completion of the operation in the spin coating system, A take-out robot for taking out the disk substrate 1 from the spin table 7 is provided.
[0050]
This spin coating system operates as follows. The disk substrate 1 is placed on the spin table 7. At this time, the disk substrate 1 is fixed to the spin table 7 by suction from the vacuum passage 8. After the disk substrate 1 is attached and fixed to the spin table 7 in this manner, the spin table 8 is rotated by a rotation drive motor (not shown) or the like. Next, an ultraviolet curable resin is dropped on the inner peripheral portion of the surface of the disk substrate 1 on which spin coating is to be performed. The dropped ultraviolet curable resin is applied to the outside with a uniform thickness in an annular shape along the inner periphery of the disk substrate 1 by centrifugal force. Thus, the application of the ultraviolet curable resin to the disk substrate 1 by the spin coating method in which the application material is stretched by rotation is completed.
[0051]
After the ultraviolet curable resin dropped onto the disk substrate 1 is stretched and applied to the entire surface, the disk substrate 1, that is, the spin table 7 is rotated at a low speed, and the disk substrate is moved from the air blowing nozzle 10 along the side surface 7 b of the spin table 7. Air is blown toward the outer peripheral portion of No. 1. The position and angle at which air is blown, the number of rotations of the spin table 7, and the like are determined by conditions such as the viscosity and the film thickness of the ultraviolet curable resin. FIG. 5 is a diagram illustrating an example of a state of air blowing. FIG. 5A is a diagram showing a state before air blowing, and FIG. 5B is a diagram after air blowing.
[0052]
As shown in FIG. 5, air is blown from the rear surface side of the disk substrate 1 toward the outer peripheral portion of the disk substrate 1 along the side surface 7 b of the spin table 7, so that air is blown to the outside of the outer peripheral end of the disk substrate 1. Flow occurs in the direction of the solid arrow shown in FIG. 5A. As a result, an airflow directed outward (in the direction of the dashed arrow in FIG. 5A) is generated near the outer peripheral end of the disk substrate 1, and the space outside the outer peripheral end of the disk substrate 1 is more negatively pressured than the space on the disk substrate 1. become. Due to this negative pressure, a force acts to pull the bulge to the outside of the disk substrate 1, and the raised ultraviolet curable resin near the outer peripheral edge of the disk substrate 1 formed by the spin coating method shown in FIG. As shown in FIG. 5B, it is removed from the ultraviolet curable resin layer of the disk substrate 1 by being blown off or moving to the outer edge, and the outer peripheral portion also has a uniform thickness.
[0053]
In the above-described operation, after the extension of the ultraviolet curable resin is completed, the swelling of the resin on the outer peripheral portion of the substrate is removed. The effect of can be obtained.
[0054]
The following is the result of comparing the film thickness of the ultraviolet curable resin layer actually formed between the case where the intermediate layer 3 of the optical disk is formed by blowing air and the case where the intermediate layer 3 is not formed. For comparison of the film thickness, the inventor of the present application prepared three types of discs, Sample A without air blowing, Sample B and Sample C with air blowing. The disk of Sample A was prepared as follows. First, an ultraviolet curable resin having a viscosity of 600 mPa · s was applied to the intermediate layer forming surface of a polycarbonate substrate having a diameter of 120 mm used in the production of an optical disc by a spin coater so that the average film thickness became 25 μm. The applied UV-curable resin was cured by irradiating the UV-curable resin with ultraviolet light to form a UV-curable resin layer on the intermediate layer forming surface of the substrate.
[0055]
On the outer periphery of the ultraviolet curable resin layer formed on the disk of Sample A, a swell was generated over the entire circumference, and the swell amount was 15 μm or more.
[0056]
Next, the inventor of the present invention made a disk of Sample B as follows. First, similarly to the disk of sample A, an ultraviolet curable resin having a viscosity of 600 mPa · s is applied to the intermediate layer forming surface of a polycarbonate substrate having a diameter of 120 mm used for manufacturing an optical disk by a spin coater so that the average film thickness becomes 25 μm. did. Thereafter, the rotation of the spin table 7 was stopped, and 0.6 MPa air was blown to the outer peripheral portion of the disk from an air blowing nozzle 10 arranged on the back surface side of the disk. The applied UV-curable resin was cured by irradiating the UV-curable resin with ultraviolet light to form a UV-curable resin layer on the intermediate layer forming surface of the substrate.
[0057]
The bulge amount of the outer peripheral portion of the intermediate layer of the air spray portion formed on the disk of Sample B was 3 μm or less.
[0058]
Next, the inventor of the present application made a disk of Sample C as follows. First, an ultraviolet curable resin having a viscosity of 600 mPa · s was applied to the intermediate layer forming surface of a polycarbonate substrate having a diameter of 120 mm used in the production of an optical disc by a spin coater so that the average film thickness became 25 μm. During the process of applying the ultraviolet curable resin with the spin coater, that is, during stretching of the resin with the spin coater, 0.6 MPa air was blown to the outer peripheral portion of the disk from the air blowing nozzle 10 arranged on the back surface side of the disk. After applying an ultraviolet curable resin to the entire surface of the disk by spin coating, the disk was rotated at a low speed of 10 rpm, and air was continuously blown from the back surface of the disk to the outer peripheral portion of the disk during three rotations of the disk. The applied UV-curable resin was cured by irradiating the UV-curable resin with ultraviolet light to form a UV-curable resin layer on the intermediate layer forming surface of the substrate.
[0059]
The amount of protrusion of the outer peripheral portion of the intermediate layer formed on the disk of Sample C was 3 μm or less over almost the entire circumference.
[0060]
Therefore, when the ultraviolet curable resin layer is formed by blowing air, the bulge formed on the outer peripheral portion of the formed ultraviolet curable resin layer is more than the case where the ultraviolet curable resin layer is formed only by spin coating. It turns out that it can be made smaller.
[0061]
As described above, according to one embodiment of the present invention, when applying an ultraviolet curable resin to the entire surface of the disk substrate 1 by spin coating to form an ultraviolet curable resin layer, Alternatively, by blowing air from the back side of the disk substrate 1 to the outer peripheral portion of the disk substrate 1 after the application, it is possible to prevent the swelling due to the ultraviolet curable resin formed on the outer peripheral portion. Therefore, the thickness of the ultraviolet curable resin layer can be made uniform up to the outer peripheral portion of the disk. Thereby, the outer peripheral portion of the optical disk can be secured as a signal area.
[0062]
Further, since the light transmitting layer can be formed by a simple operation without wasting the material, the cost is lower than the method of forming the light transmitting layer using an ultraviolet curing film which requires cutting or bonding of the film. Can be kept low.
[0063]
The present invention is not limited to the embodiment of the present invention described above, and various modifications and applications are possible without departing from the gist of the present invention. For example, in the above-described embodiment, as a method of manufacturing the intermediate layer 3 of the optical disc DC, after spin-coating an ultraviolet-curable resin, irradiating with ultraviolet light and curing, the stamper 6 is pressed against the intermediate layer 3 to form the concave portion 12d. After the spin coating, the ultraviolet curable resin may be semi-cured, and the stamper 6 may be pressed against the intermediate layer 3 to form the concave portion 12d, and then completely cured. In this case, the stamper 6 is formed on the intermediate layer 3 by, for example, 100 to 200 N / cm. ² Press with a moderate pressure.
[0064]
Further, in the above-described embodiment, the spin table 7 and the air blowing nozzle 10 necessary for removing the swelling are integrated with the spin coating system, but may be constituted by another device. Further, instead of rotating the disk substrate 1, the air blowing nozzle 10 may be rotated. Further, the air blowing nozzle 10 is not limited to the one that blows out toward one point and one point as shown in FIG. 4, and a plurality of air blowing nozzles may be arranged.
[0065]
Further, in the above-described embodiment, the intermediate layer 3 in the optical disc having two optical recording layers has been described as an example of the formation of the light transmitting layer by the spin coating method. However, the present invention is not limited to this. It can be applied to the formation of a thin-film light transmitting layer by other spin coating, such as the formation of a protective layer in an optical disc having one or more intermediate layers or optical recording layers. Further, in the above-described embodiment, the optical disc that reads from one side has been described, but the present invention can also be applied to an optical disc that reads from both sides.
[0066]
Further, in the above-described embodiment, a read-only optical disk is described as an example of a method of manufacturing an optical disk, but the present invention may be applied to a method of manufacturing a writable optical disk. In that case, lands and grooves are formed on the disk substrate 1 and the intermediate layer 3 instead of pits. For the optical recording layers 2 and 4, for example, a reflective film, a dielectric film, a recording film, and a dielectric film are sequentially formed. As the recording film, a phase-change optical recording film, a magneto-optical recording film, a recording film containing an organic dye, or the like is used. When a phase change film is formed as a recording film, a predetermined initialization light is irradiated to crystallize (initialize) the phase change film.
[0067]
In the above-described embodiment, the molding material of the disk substrate 1 is polycarbonate. However, a plastic material such as acrylic or polyolefin resin may be used. Further, since it is not necessary to have light transmittance, the molding material of the disk substrate 1 may be a metal such as aluminum (Al).
[0068]
【The invention's effect】
As is clear from the above description, in the present invention, before the ultraviolet curable resin layer applied by spin coating is cured, air is blown from the back side of the substrate to the outer peripheral portion of the substrate, thereby forming the substrate formed by spin coating. The swelling of the ultraviolet curable resin layer at the outer peripheral portion can be removed, and the thickness of the ultraviolet curable resin layer can be made uniform even at the outer peripheral portion. Thereby, a good signal area can be secured up to the outer peripheral portion.
[0069]
Further, according to the present invention, since the uneven shape is transferred after the ultraviolet curable resin is cured, a bubble removing step, which is difficult as compared with the 2P method, is not required, and the production is easy and the production time can be reduced. Even if the thickness of the layer 1 is not uniform, the thickness of the intermediate layer 3 can be controlled with high precision, and further, since no resin stamper is used, there is an advantage that the manufacturing cost does not increase. Further, as compared with a method using a film to transfer the uneven shape of the second optical recording layer 4, there is an advantage that an expensive film does not have to be used and the manufacturing cost does not increase.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic diagram and a cross-sectional view illustrating an example of a double-sided optical disc of a one-side reading system to which the present invention can be applied.
FIG. 2 is a schematic diagram illustrating a method for manufacturing an optical disc according to an embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a schematic diagram illustrating a method for manufacturing an optical disc according to an embodiment of the present invention.
FIG. 4 is a schematic diagram illustrating an example of a spin coating system according to an embodiment of the present invention.
FIG. 5 is a schematic diagram showing a difference between before and after air blowing according to an embodiment of the present invention.
FIG. 6 is a schematic diagram showing an example of a conventional double-layer optical disc of a system reading from one side.
FIG. 7 is a cross-sectional view illustrating an example of a disk substrate on which an ultraviolet curable resin is applied by spin coating for forming an intermediate layer.
[Explanation of symbols]
DC: optical disk, 1: disk substrate, 2: first optical recording layer, 3: intermediate layer, 4: second optical recording layer, 5: protective layer, 6 ... Stamper, 7 ... Spin table, 9 ... Applying nozzle, 10 ... Air blowing nozzle

Claims

In a method for producing an optical recording medium having at least two optical recording layers,
A first step of forming a substrate having a fine first uneven shape on one surface;
A second step of forming a first optical recording layer on one surface of the substrate;
On the first optical recording layer, an ultraviolet curable resin layer is formed by spin coating, and the bulge of the outer peripheral portion of the ultraviolet curable resin layer is blown from the back side of the substrate, so that the outer peripheral edge of the substrate is A third step of removing the bulge by applying a negative pressure to the outer space;
A fourth step of irradiating the ultraviolet-curable resin layer with ultraviolet light to cure the ultraviolet-curable resin layer;
A fifth step of pressing a stamper having fine irregularities onto the surface of the cured ultraviolet-curable resin layer and transferring the second irregularities onto the surface of the ultraviolet-curable resin layer;
A sixth step of forming a second optical recording layer on the surface of the UV-curable resin layer on which the second irregularities are formed;
And a seventh step of forming a protective layer on the second optical recording layer.

In claim 1,
A method for manufacturing an optical recording medium, wherein the first optical recording layer is totally reflective and the second optical recording layer is semi-transmissive.

In claim 1,
A method for producing an optical recording medium wherein at least one of the pressure, flow rate, blowing time and temperature of the air is adjustable.

In claim 1,
A method for manufacturing an optical recording medium, wherein the rotation speed of the substrate is adjusted when the air is blown.

In a method for producing an optical recording medium having at least two optical recording layers,
A first step of forming a substrate having a fine first uneven shape on one surface;
A second step of forming a first optical recording layer on one surface of the substrate;
On the first optical recording layer, an ultraviolet curable resin layer is formed by spin coating, and the bulge of the outer peripheral portion of the ultraviolet curable resin layer is blown from the back side of the substrate, so that the outer peripheral edge of the substrate is A third step of removing the bulge by applying a negative pressure to the outer space;
A fourth step of irradiating the ultraviolet-curable resin layer with ultraviolet rays to perform semi-curing,
A fifth step of pressing a stamper having fine irregularities onto the surface of the semi-cured ultraviolet curable resin layer and transferring the second irregularities onto the surface of the ultraviolet curable resin layer;
A sixth step of forming a second optical recording layer on the surface of the UV-curable resin layer on which the second irregularities are formed;
And a seventh step of forming a protective layer on the second optical recording layer.

In claim 5,
A method for manufacturing an optical recording medium, wherein the first optical recording layer is totally reflective and the second optical recording layer is semi-transmissive.

In claim 5,
A method for producing an optical recording medium wherein at least one of the pressure, flow rate, blowing time and temperature of the air is adjustable.

In claim 5,
A method for manufacturing an optical recording medium, wherein the rotation speed of the substrate is adjusted when the air is blown.

In a method for producing an optical recording medium having one optical recording layer,
On the substrate, an ultraviolet curable resin layer is formed by spin coating, and the bulge of the outer peripheral portion of the ultraviolet curable resin layer is blown with air from the back side of the substrate, so that a space outside the outer peripheral edge of the substrate is negatively pressured. A first step of removing the swelling by performing
A second step of irradiating the ultraviolet curable resin layer with ultraviolet light to cure the ultraviolet light;
A third step of pressing a stamper having fine irregularities onto the surface of the cured ultraviolet-curable resin layer and transferring the irregularities onto the surface of the ultraviolet-curable resin layer,
A third step of forming an optical recording layer on the surface of the UV-curable resin layer on which the irregularities are formed.

In claim 9,
A method for producing an optical recording medium wherein at least one of the pressure, flow rate, blowing time and temperature of the air is adjustable.

In claim 9,
A method for manufacturing an optical recording medium, wherein the rotation speed of the substrate is adjusted when the air is blown.

In a method for producing an optical recording medium having one optical recording layer,
On the substrate, an ultraviolet curable resin layer is formed by spin coating, and the bulge of the outer peripheral portion of the ultraviolet curable resin layer is blown with air from the back side of the substrate, so that a space outside the outer peripheral edge of the substrate is negatively pressured. A first step of removing the swelling by performing
A second step of irradiating the ultraviolet-curable resin layer with ultraviolet rays to perform semi-curing;
A third step of pressing a stamper having fine irregularities onto the surface of the semi-cured ultraviolet-curable resin layer and transferring the irregularities onto the surface of the ultraviolet-curable resin layer;
A third step of forming an optical recording layer on the surface of the UV-curable resin layer on which the irregularities are formed.

In claim 12,
A method for producing an optical recording medium wherein at least one of the pressure, flow rate, blowing time and temperature of the air is adjustable.

In claim 12,
A method for manufacturing an optical recording medium, wherein the rotation speed of the substrate is adjusted when the air is blown.