JP2004139735A - Magneto-optical recording medium - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a land and groove recording magneto-optical recording medium in which cross talk between adjacent land section and groove section is reduced and high density recording is made possible. <P>SOLUTION: In an optical recording medium which is capable of conducting land and groove recording, the land section and the groove section are constituted so that phase differences of the polarized components are made different. As the concrete means, the followings are considered, i.e., the land section is formed on a transparent substrate using the material having a refractive index that differs from the refractive index of the substrate, the land and the groove sections are formed using the material having a refractive index that is made different from the refractive index of the substrate, the sections are formed specifically using material having double refractivity and the thickness or the refractivity of the dielectric bodies is made different in the land section and the groove section. Having provided the above constitutions, signals recorded in the groove section or the land section are selectively read by phase controlling the phase differences, which are generated by mutual interference of the light beams being reflected from the land section and the groove section, using a phase compensating element. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

 本発明は、ランド&グルーブ記録を行える光磁気記録媒体に関する。 << The present invention relates to a magneto-optical recording medium capable of performing land & groove recording.

 現在、光ディスクは、音声信号や画像信号を再生できる記録媒体として使われている。特に、光磁気ディスクや相変化型ディスクは、書き換え可能な高密度記録媒体として、開発が盛んに行われている。螺旋状または同心円状に情報を記録する光ディスク記録媒体の記録密度を増大させるためには、トラックピッチの短縮と線記録密度の向上という2つの方法がある。いずれの場合も、記録再生に使用する半導体レーザーの短波長化によって実現される。しかし、青色や緑色といった短波長の半導体レーザーが室温で安定に連続発振し、しかもそれらが民生用として、安価で市場に出まわるまでには、今暫く時間がかかりそうである。そのような状況の中で、屈折率の温度分布を利用した光学的超解像法や、光磁気ディスクにおけるMSRのように、現行波長のレーザーを用いたままで記録密度を最大限に向上させる方法が模索されている。 光 デ ィ ス ク Currently, optical disks are used as recording media that can reproduce audio signals and image signals. In particular, magneto-optical disks and phase change disks are being actively developed as rewritable high-density recording media. There are two methods for increasing the recording density of an optical disk recording medium that records information spirally or concentrically, that is, shortening the track pitch and improving the linear recording density. In any case, this is realized by shortening the wavelength of the semiconductor laser used for recording and reproduction. However, it will take some time before semiconductor lasers of short wavelengths such as blue and green are stably continually oscillated at room temperature, and are commercially available at low cost for commercial use. In such a situation, a method for maximizing the recording density while using a laser of the current wavelength, such as an optical super-resolution method using a temperature distribution of a refractive index and an MSR in a magneto-optical disk. Is being sought.

 相変化型ディスクや光磁気ディスクのようなRAMディスクは、情報の書き込み時と再生時とで同じ波長の光を用いるのに対して、予め情報が記録されているROMディスクでは、短波長のガスレーザー等を用いてピットが形成されている。RAMディスク側からすれば、ROMディスクは、再生条件は同じであるものの、言わば未来に使用可能な光で情報を書いているようなものであり、情報を高密度に書き込むという点でRAMディスクは不利である。このため、次世代の家庭向け映像記録媒体として注目されているDVD規格においても、フルROMディスクの記録容量を、同じ大きさのRAMディスクでサポートするような案が出されていない状況である。 RAM disks such as phase-change disks and magneto-optical disks use light of the same wavelength when writing and reproducing information, whereas ROM disks in which information is recorded in advance use short-wavelength gas. Pits are formed using a laser or the like. From the viewpoint of the RAM disk, the ROM disk has the same reproduction conditions, but it is like writing information with light that can be used in the future. Disadvantageous. For this reason, even in the DVD standard, which has attracted attention as a next-generation video recording medium for home use, no proposal has been made to support the recording capacity of a full ROM disk with a RAM disk of the same size.

 ランド&グルーブ記録は、同じ線記録密度で同じトラックピッチならば、記録密度を2倍にできるため、高密度光記録媒体を開発する上で魅力的な技術である。特に、現在使用されているRAMディスクのほとんどは、予め溝が形成された基板において、ランドまたはグルーブのどちらか一方に記録を行っており、両方に記録できることが望まれる。例えば、相変化型ディスクのランド&グルーブ記録においては、特開平7−130006号公報にあるように、ランド部とグルーブ部とにおける記録感度を調整することによって記録密度を向上させる方法が提案されている。
特開平7−130006号公報
Land and groove recording is an attractive technique for developing a high-density optical recording medium because the recording density can be doubled if the recording density is the same and the track pitch is the same. In particular, most of currently used RAM disks record data on either a land or a groove on a substrate in which a groove is formed in advance, and it is desired that data can be recorded on both of them. For example, in land & groove recording of a phase change type disc, a method of improving recording density by adjusting recording sensitivity in a land portion and a groove portion has been proposed as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 7-130006. I have.
JP-A-7-130006

 トラックピッチを狭めていくことによって、再生時には隣接する領域のデータ信号が出力信号に混在してくるクロストークが問題となる。ランド記録またはグルーブ記録においては、ランド間またはグルーブ間にそれぞれグルーブまたはランドが存在し、情報が書き込まれている領域間に隔たりがあるため、クロストークが抑えられる。しかし、ランド&グルーブ記録においては、情報の記録領域が隣接しているため、クロストークの再生特性に与える影響が大きい。特開平5−62250号公報では、グルーブの深さを1/4波長の整数倍に規定し、光学的にクロストークを抑える手段を提供している。この方法を用いると、0次と1次の回折光が打ち消しあうために、トラッキングの手段としてプッシュプル法が使用できないという点と、記録媒体から反射されて光検出器に到達する光量が低減してしまうという点が問題である。本発明の課題はランド&グルーブ記録においてクロストークを低減した高密度記録可能な光磁気記録媒体を提供することにある。 (4) By reducing the track pitch, there is a problem of crosstalk in which data signals in adjacent areas are mixed in output signals during reproduction. In land recording or groove recording, a groove or land exists between lands or between grooves, and there is a gap between areas where information is written, so that crosstalk is suppressed. However, in the land & groove recording, since the information recording areas are adjacent to each other, the influence on the reproduction characteristics of crosstalk is large. Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-62250 provides a means for optically suppressing crosstalk by defining the depth of a groove to be an integral multiple of 1/4 wavelength. When this method is used, the zero-order and first-order diffracted lights cancel each other out, so that the push-pull method cannot be used as a tracking means, and the amount of light reflected from the recording medium and reaching the photodetector is reduced. This is a problem. An object of the present invention is to provide a magneto-optical recording medium capable of high-density recording with reduced crosstalk in land and groove recording.

 本発明の構成は、ほぼ平坦で幅がほぼ等しいランド部およびグルーブ部を有する基板上に、誘電体層、記録層および反射層を有する光磁気記録媒体において、偏光された入射光が前記ランド部およびグルーブ部の記録トラックに集光され、前記ランド部およびグルーブ部から反射した光が互いに干渉して、その偏光成分が位相差を生じるように前記ランド部およびグルーブ部が形成されてなることを特徴とする光磁気記録媒体である。 According to the structure of the present invention, in a magneto-optical recording medium having a dielectric layer, a recording layer, and a reflective layer on a substrate having land portions and groove portions which are substantially flat and have substantially the same width, polarized incident light is applied to the land portion. The light condensed on the recording track of the groove portion and reflected from the land portion and the groove portion interfere with each other, and the land portion and the groove portion are formed such that a polarization component thereof generates a phase difference. This is a characteristic magneto-optical recording medium.

 前記した光磁気記録媒体においてランド部とグルーブ部から反射した光が互いに干渉することで、反射した光の偏光成分が位相差を生じ、その位相差を位相補償手段により制御することにより、ランド部あるいはグルーブ部からの信号をC/N比が良好で、クロストークを抑制して検出することができる。 In the above-described magneto-optical recording medium, the light reflected from the land and the groove interferes with each other, so that a polarization component of the reflected light causes a phase difference, and the phase difference is controlled by a phase compensating means. Alternatively, the signal from the groove portion can be detected with a good C / N ratio and with suppressed crosstalk.

 また、前記ランド部、あるいは前記ランド部および前記グルーブ部は、前記基板とは異なる屈折率を有する光学的にほぼ透明な材料で前記基板上に形成されてなる構成とすることで、反射光の偏光成分に位相差を生じさせることが出来る。 In addition, the land portion, or the land portion and the groove portion are formed on the substrate with an optically substantially transparent material having a different refractive index from the substrate, so that reflected light A phase difference can be generated in the polarization component.

 前記ランド部、あるいは前記ランド部および前記グルーブ部は、前記基板とは異なり、且つ複屈折を有する光学的にほぼ透明な材料で前記基板上に形成されてなる構成とすることで、反射光の偏光成分に位相差を生じさせることが出来る。 The land portion, or the land portion and the groove portion are different from the substrate and are formed on the substrate with an optically substantially transparent material having birefringence, so that reflected light A phase difference can be generated in the polarization component.

 また、前記ランド部上とグルーブ上とで前記誘電体層の厚さが異なる構成にすることによっても反射光の偏光成分に位相差を生じさせることが出来る。 Also, a phase difference can be generated in the polarization component of the reflected light by using a configuration in which the thickness of the dielectric layer is different between the land portion and the groove.

 更には、光磁気記録媒体を構成する誘電体層の屈折率がランド部とグルーブ部とで異なる構成にすることによっても反射光の偏光成分に位相差を生じさせることが出来る。 Further, a phase difference can be generated in the polarization component of the reflected light by making the refractive index of the dielectric layer constituting the magneto-optical recording medium different between the land portion and the groove portion.

 なお、前記した光磁気記録媒体に記録した信号を検出する光情報検出装置は、磁気カー効果検出光学系に光学的な位相補償を行う手段を有することを特徴とするものである。 The optical information detecting device for detecting a signal recorded on the magneto-optical recording medium has a means for performing optical phase compensation in a magnetic Kerr effect detecting optical system.

 上述の光磁気記録媒体の読み出しに使用する光情報検出装置において、磁気カー効果を検出する光学系に光学的な位相補償を行う光学素子を配置する。更に詳しくは、光情報検出装置において、磁気カー効果検出系を2つ配置し、それぞれの検出系において異なる位相補償量を供する手段を有する構成とする。 光 In the optical information detecting device used for reading from the above-described magneto-optical recording medium, an optical element for performing optical phase compensation is arranged in an optical system for detecting the magnetic Kerr effect. More specifically, the optical information detection device has a configuration in which two magnetic Kerr effect detection systems are arranged, and each detection system has means for providing a different amount of phase compensation.

 光情報検出装置における光学的な位相補償を行う光学素子として電気光学素子や、光軸に対して傾けた配置とした1/2波長板を用いることが出来る。 (4) As an optical element for performing optical phase compensation in the optical information detecting device, an electro-optical element or a half-wave plate that is arranged to be inclined with respect to the optical axis can be used.

 以上詳細に説明したように、本発明による光磁気記録媒体を用いてランド&グルーブ記録を行うと、読み出し時の光の偏光成分の位相差がランド部とグルーブ部とで異なる。本発明の光磁気記録媒体と、本発明による光情報検出装置とを用いて情報の記録再生を行えば、ランド部とグルーブ部とのそれぞれについて、最適な位相補償を行うことができる。ランドまたはグルーブに対して位相補償条件を最適化することで、隣接するグルーブまたはランドからのクロストーク信号は、位相補償条件よりずれ、それにより信号振幅が減少する。この作用により、本発明に係わる光磁気記録媒体および光情報検出装置において、クロストークを低減する効果が得られる。 As described in detail above, when land and groove recording is performed using the magneto-optical recording medium according to the present invention, the phase difference of the polarization component of light at the time of reading differs between the land and the groove. If information is recorded / reproduced using the magneto-optical recording medium of the present invention and the optical information detecting device of the present invention, optimal phase compensation can be performed for each of the lands and the grooves. By optimizing the phase compensation condition for the land or groove, the crosstalk signal from the adjacent groove or land deviates from the phase compensation condition, thereby reducing the signal amplitude. By this effect, in the magneto-optical recording medium and the optical information detecting device according to the present invention, an effect of reducing crosstalk can be obtained.

 このクロストークの低減効果により、光磁気記録媒体のランド&グルーブ記録において、高密度記録が可能となる。本実施例で示したように、本発明に係る光磁気記録媒体および光検出装置を用いると、トラックピッチ1.4μmのランド&グルーブ記録で、最短マーク長0.48μmの1−7変調のランダム信号の記録再生を調べたところ、ジッター特性として10%以下の値が得られる。このことにより、ISO規格3.5インチ記録容量230MB光磁気ディスクとほぼ同じトラックピッチの光磁気ディスクを用いて、同じ3.5インチのISO規格640MBディスクの2倍以上の記録容量1.5GBが得られる効果があることがわかった。 (4) Due to this crosstalk reduction effect, high-density recording becomes possible in land and groove recording of a magneto-optical recording medium. As shown in this embodiment, when the magneto-optical recording medium and the photodetector according to the present invention are used, land and groove recording with a track pitch of 1.4 μm and 1-7 modulation random with a shortest mark length of 0.48 μm are performed. When the recording / reproduction of the signal was examined, a value of 10% or less was obtained as the jitter characteristic. Thus, using a magneto-optical disk having a track pitch substantially the same as that of the 3.5-inch ISO standard 230 MB recording magnetic disk, a recording capacity of 1.5 GB which is more than twice that of the same 3.5-inch ISO standard 640 MB disk. It turned out that there was an effect obtained.

 本発明に係わる技術は、光情報検出装置に使用する光の波長に依らず普遍的なものであるため、将来、緑や青色の半導体レーザーが光情報検出装置の光源として用いられても、上述の効果が得られる。 The technology according to the present invention is universal irrespective of the wavelength of light used in the optical information detecting device, and therefore, even if a green or blue semiconductor laser is used as a light source of the optical information detecting device in the future, The effect of is obtained.

 本発明の光磁気記録媒体において、ランド部とグルーブ部に偏光成分の位相差の違いを作り出す構造以外は、現行の光磁気記録媒体と同じ構成で製造できるため、生産コストを抑えることができる。 光 The magneto-optical recording medium of the present invention can be manufactured with the same configuration as the current magneto-optical recording medium, except for a structure that creates a difference in the phase difference of the polarization component between the land and the groove, so that the production cost can be reduced.

 なお、光情報検出装置においては、位相を補償する手段として、既存の光学素子を用いており、ドライブ装置製造における負担は小さい。位相補償を行う素子を有する磁気カー効果検出系を2つ用いることで、位相補償を含めた光学素子の調整は、製造時の初期調整で済む。また、位相補償手段として、電気光学素子を使用することで位相調整が電気的に自動で行える。上述のように、本発明に係る光情報検出装置では、製造、調整において、低コストで利便性が良いという効果が得られる。 In the optical information detecting device, an existing optical element is used as a means for compensating the phase, and the burden on manufacturing the drive device is small. By using two magnetic Kerr effect detection systems having an element for performing phase compensation, adjustment of the optical element including phase compensation can be an initial adjustment at the time of manufacturing. Further, by using an electro-optical element as the phase compensating means, the phase can be automatically and automatically adjusted. As described above, in the optical information detection device according to the present invention, there is obtained an advantage that manufacturing and adjustment are low cost and convenient.

 ポリカーボネート樹脂を常法により射出成形し、溝深さ約57nm、ランド幅とグルーブ幅との比率が1:1に溝が形成された基板を得ることが出来る。ポリカーボネート基板上に低粘度の紫外線硬化樹脂を約1μmの厚さでスピンコートし、紫外線を照射し硬化させる。ポリカーボネート基板の屈折率が一例として1.58であるのに対して、紫外線硬化樹脂の紫外線硬化後の屈折率は一例として1.47である。この紫外線硬化樹脂の上に、第1の誘電体層、磁気記録層、第2の誘電体層、反射層をスパッタリング法により成膜した。第1の誘電体層は、Siターゲットを用いてArとN2の混合ガス中で反応性スパッタリングで厚さ83nmを成膜する。混合ガス中に占めるN2の流量比は一例として20%である。このときの屈折率は2.04である。第1の誘電体層の上に、キュリー温度が約200℃のフェリ磁性を有し、保磁力が約8kOeと良好な垂直磁気異方性を示す遷移金属と希土類金属の合金薄膜からなる磁気記録層を約22nm成膜する。その上に、第1の誘電体層と同じ条件で、厚さ20nmの第2誘電体層を成膜し、さらにAlからなる厚み100nmの反射層6を成膜する。反射層の上に、紫外線硬化型樹脂を約10μm均一にスピンコートし紫外線を照射して保護層を形成する。 A polycarbonate resin is injection-molded by a conventional method to obtain a substrate in which a groove is formed with a groove depth of about 57 nm and a ratio of land width to groove width of 1: 1. A low-viscosity UV-curable resin is spin-coated on a polycarbonate substrate to a thickness of about 1 μm, and cured by irradiating UV rays. The refractive index of the polycarbonate substrate is, for example, 1.58, while the refractive index of the ultraviolet-curable resin after ultraviolet curing is, for example, 1.47. A first dielectric layer, a magnetic recording layer, a second dielectric layer, and a reflective layer were formed on the ultraviolet curable resin by a sputtering method. The first dielectric layer is formed to a thickness of 83 nm by reactive sputtering in a mixed gas of Ar and N 2 using a Si target. The flow ratio of N 2 in the mixed gas is, for example, 20%. The refractive index at this time is 2.04. Magnetic recording comprising, on the first dielectric layer, an alloy thin film of a transition metal and a rare-earth metal having ferrimagnetism having a Curie temperature of about 200 ° C. and a good coercive force of about 8 kOe and exhibiting good perpendicular magnetic anisotropy A layer is deposited to a thickness of about 22 nm. A 20-nm-thick second dielectric layer is formed thereon under the same conditions as the first dielectric layer, and a 100-nm-thick reflective layer 6 made of Al is formed thereon. On the reflective layer, a UV curable resin is spin-coated uniformly at about 10 μm and irradiated with UV rays to form a protective layer.

 発明の実施の一形態を述べたが、上記の場合、第一の紫外線硬化樹脂層のランドとグルーブでの厚さの違いにより、光の多重干渉条件の差があることで、ランド部とグルーブ部における偏光成分に位相差が生じる。 Although an embodiment of the present invention has been described, in the above case, a difference in the multiple interference condition of light due to a difference in thickness between the land and the groove of the first ultraviolet curable resin layer causes a difference between the land portion and the groove. A phase difference occurs in the polarization component in the portion.

 本発明の光磁気媒体に関して、他の形態についても実施例で詳述するがいずれも、光の干渉条件の違いによって、ランド部とグルーブ部における偏光成分に位相差が生じる。ランド部とグルーブ部とで、偏光成分に位相差が生じるため、光磁気信号を読み出す際の位相補償条件を、ランド部、グルーブ部について最適な条件に合わせることで、隣接するグルーブまたはランドからの光は位相補償条件からずれるため、クロストークを低減することができる。 光 Regarding the magneto-optical medium of the present invention, other embodiments will be described in detail in the examples, but in any case, a phase difference occurs between the polarization components in the land portion and the groove portion due to a difference in light interference conditions. Since a phase difference occurs in the polarization component between the land portion and the groove portion, the phase compensation condition for reading out the magneto-optical signal is adjusted to the optimum condition for the land portion and the groove portion, so that the phase difference from the adjacent groove or land can be reduced. Since light deviates from the phase compensation condition, crosstalk can be reduced.

 本発明の今一つの構成である前記光磁気記録媒体に記録した信号を検出する光情報検出装置について述べる。前記した装置は磁気カー効果検出光学系に光学的な位相差を与える手段を有することを特徴とする光情報検出装置である。特に、前記磁気カー効果検出光学系を2つ有し、該2つの磁気カー効果検出光学系がそれぞれにおいて異なる位相差を共する手段を有するものが望ましい。この光情報検出装置により、ランド部及びグルーブ部の位相補償条件を最適化する。更に、位相光学素子を配置した磁気カー効果検出光学系を2つ設け、一方の光学系をランド部の光磁気情報検出用に、もう一方の光学系をグルーブ部の光磁気情報検出用に割り当て、それぞれの光学系の位相補償条件を最適化することで、隣接するランド部とグルーブ部間のクロストークを低減できるうえに、最初に位相補償条件を設定しておけば、ランド部とグルーブ部とを交互に読み出しても位相補償条件を調節する必要がない。また、電気光学素子により位相補償を行うことにより、ランド部またはグルーブ部にアクセスした際の位相補償条件を光磁気信号を利用して、自動的に最適化することができる。更に詳しくは位相補償素子として1/2波長板を傾けて使用することにより、1/2波長付近の位相差を任意に調節できる。 A description will now be given of an optical information detection device for detecting a signal recorded on the magneto-optical recording medium, which is another configuration of the present invention. The above-described device is an optical information detecting device having means for giving an optical phase difference to a magnetic Kerr effect detecting optical system. In particular, it is desirable to have two magnetic Kerr effect detection optical systems, and the two magnetic Kerr effect detection optical systems each have means for sharing a different phase difference. With this optical information detection device, the phase compensation conditions of the land portion and the groove portion are optimized. Further, two magnetic Kerr effect detecting optical systems having phase optical elements are provided, and one optical system is allocated for detecting magneto-optical information in the land portion and the other optical system is allocated for detecting magneto-optical information in the groove portion. By optimizing the phase compensation conditions of each optical system, the crosstalk between adjacent lands and grooves can be reduced, and if the phase compensation conditions are set first, the lands and grooves can be reduced. It is not necessary to adjust the phase compensation condition even if the signals are read alternately. Further, by performing the phase compensation using the electro-optical element, the phase compensation condition when accessing the land or the groove can be automatically optimized using the magneto-optical signal. More specifically, by using a half-wave plate inclined as a phase compensation element, the phase difference around the half wavelength can be arbitrarily adjusted.

 上述のように本発明の第一の構成によりランド部とグルーブ部とで偏光成分に位相差がある光磁気記録媒体の情報を得て、本発明の第二の構成により位相補償素子を含んだ光情報検出装置を用いて読み出すことにより、隣接するランドとグルーブ間のクロストークを低減できる。 As described above, according to the first configuration of the present invention, information on a magneto-optical recording medium having a phase difference in polarization components between the land portion and the groove portion was obtained, and the phase compensating element was included according to the second configuration of the present invention. By performing reading using the optical information detection device, crosstalk between adjacent lands and grooves can be reduced.

 以下、図面を用いて本発明の実施例における光記録媒体および光情報検出装置について詳しく説明する。 Hereinafter, an optical recording medium and an optical information detecting device according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

 (ディスクA)図1は、本発明における実施例で使用した光磁気記録媒体(ディスクA)の断面を模式図で示したものである。厚み1.2mmのポリカーボネート基板1は、Ni製スタンパを用いて射出成形したものである。Niスタンパの作製においては、スピンコート法により厚さ約60nmのフォトレジストを、均一にコーティングした厚さ12mm、直径300mmの平坦性の良いガラス原盤を用いている。フォトレジストには、露光部分が現像されるポジ型を使用した。フォトレジストを希釈するのに使用した溶剤であるMIBKを蒸発させるために、上述のガラス原盤に90℃で30分間ベーキング処理を施した。原盤の露光には、波長4579nmの高出力Arレーザー光を使用した。ガラス原盤は回転角速度600rpm一定で回転させると共に、螺旋状に形成される溝のトラックピッチが1.4μmになるように、レーザー光に対して一定の速度で平行移動させた。 FIG. 1 is a schematic diagram showing a cross section of a magneto-optical recording medium (disk A) used in an embodiment of the present invention. The polycarbonate substrate 1 having a thickness of 1.2 mm is obtained by injection molding using a Ni stamper. In the production of the Ni stamper, a glass master having a flatness of 12 mm in thickness and 300 mm in diameter, which is uniformly coated with a photoresist having a thickness of about 60 nm by spin coating, is used. The photoresist used was a positive type in which exposed portions were developed. The above glass master was baked at 90 ° C. for 30 minutes in order to evaporate MIBK, a solvent used for diluting the photoresist. For exposure of the master, a high-output Ar laser beam having a wavelength of 4579 nm was used. The glass master was rotated at a constant rotational angular velocity of 600 rpm, and was translated at a constant speed with respect to the laser beam so that the track pitch of the spiral groove was 1.4 μm.

 角速度一定であるため、露光部分の線速度が半径位置によって異なるため、実効的な露光量(露光レーザーパワー/線速度)が外周部で小さくなってしまうことから、露光パワーは半径位置に比例するように設定した。露光は半径23mmから42mmまで行った。このようにして露光した原盤に、現像液をスピンコート法で流して現像を行った。現像時間を変化させて現像を行ったガラス原盤を数枚作製し、その溝形状をSTMを用いて測定し、溝形状においてランド幅とグルーブ幅との比率が1:1になる条件を決めた。上述のようにして、露光および現像を行ったガラス原盤上に、無電解メッキ法により厚み約70nmのNi層を成長させ、さらに電気鋳造法により厚み約300μmのNi層を作製し、裏面を研磨し、ガラス原盤から剥離し、洗浄したものをスタンパとして用いた。 Since the angular velocity is constant, the linear velocity of the exposed portion differs depending on the radial position, so that the effective exposure amount (exposure laser power / linear velocity) decreases at the outer peripheral portion, so that the exposure power is proportional to the radial position. Was set as follows. Exposure was performed from a radius of 23 mm to 42 mm. A developing solution was applied to the master thus exposed by spin coating to perform development. Several glass masters were developed by changing the development time, and their groove shapes were measured using STM. The conditions under which the ratio of land width to groove width in the groove shape was 1: 1 were determined. . As described above, a Ni layer having a thickness of about 70 nm is grown on the exposed and developed glass master by an electroless plating method, and a Ni layer having a thickness of about 300 μm is further formed by an electroforming method, and the back surface is polished. The glass substrate was peeled off and washed and used as a stamper.

 このスタンパを用いて、ポリカーボネート基板1を射出成形し、その溝形状をSTMで測定したところ、溝深さ約57nm、ランド幅とグルーブ幅との比率が1:1に溝が形成されていた。ポリカーボネート基板1上に低粘度の紫外線硬化樹脂2を約1μmの厚さでスピンコートし、紫外線を照射し硬化させた。この紫外線硬化樹脂の表面をSTMで調べたところ、ランドとグルーブに対応した約±10nmのなだらかな凹凸が確認されたが、ポリカーボネート基板1の切れの良い凹凸に較べると、図1の2に模式的に示したように上部はほぼ平らに近い形状といえる。 (4) Using this stamper, the polycarbonate substrate 1 was injection-molded and its groove shape was measured by STM. As a result, a groove was formed with a groove depth of about 57 nm and a ratio of land width to groove width of 1: 1. A low-viscosity ultraviolet-curable resin 2 was spin-coated on a polycarbonate substrate 1 to a thickness of about 1 μm, and cured by irradiating ultraviolet rays. When the surface of the ultraviolet curable resin was examined by STM, gentle unevenness of about ± 10 nm corresponding to the land and the groove was confirmed. However, when compared with the sharp unevenness of the polycarbonate substrate 1, a schematic diagram of FIG. It can be said that the upper portion is almost flat as shown in FIG.

 ポリカーボネート基板1の屈折率が1.58であったのに対して、紫外線硬化樹脂2の紫外線硬化後の屈折率は、1.47であった。この紫外線硬化樹脂の上に、第1の誘電体層3、磁気記録層4、第2の誘電体層5、反射層6をスパッタリング法により成膜した。第1の誘電体層3は、Siターゲットを用いてArとN2の混合ガス中で反応性スパッタリングで厚さ83nmを成膜した。混合ガス中に占めるN2の流量比は20%とした。このときの屈折率は2.04であった。第1の誘電体層の上に、キュリー温度が約200℃のフェリ磁性を有し、保磁力が約8kOeと良好な垂直磁気異方性を示す遷移金属と希土類金属の合金薄膜からなる磁気記録層4を約22nm成膜した。その上に、第1の誘電体層と同じ条件で、厚さ20nmの第2誘電体層5を成膜し、さらにAlからなる厚み100nmの反射層6を成膜した。反射層6の上に、紫外線硬化型樹脂を約10μm均一にスピンコートし紫外線を照射して保護層7を形成した。 While the refractive index of the polycarbonate substrate 1 was 1.58, the refractive index of the ultraviolet curable resin 2 after ultraviolet curing was 1.47. A first dielectric layer 3, a magnetic recording layer 4, a second dielectric layer 5, and a reflective layer 6 were formed on the ultraviolet curable resin by a sputtering method. The first dielectric layer 3 was formed to a thickness of 83 nm by reactive sputtering in a mixed gas of Ar and N 2 using a Si target. The flow rate ratio of N 2 in the mixed gas was 20%. The refractive index at this time was 2.04. Magnetic recording comprising, on the first dielectric layer, an alloy thin film of a transition metal and a rare-earth metal having ferrimagnetism having a Curie temperature of about 200 ° C. and a good coercive force of about 8 kOe and exhibiting good perpendicular magnetic anisotropy Layer 4 was deposited to a thickness of about 22 nm. A 20-nm-thick second dielectric layer 5 was formed thereon under the same conditions as the first dielectric layer, and a 100-nm-thick reflective layer 6 of Al was formed thereon. On the reflective layer 6, a UV curable resin was spin-coated uniformly at about 10 μm and irradiated with UV to form a protective layer.

 (ディスクB)図2は、本発明における実施例で使用した光磁気記録媒体(ディスクB)の断面を模式図で示したものである。厚み1.2mm、直径86mm、内径15mmの穴を有する屈折率1.52のソーダライムガラスからなるガラス基板8上に、ディスクAと同じ条件で、フォトレジストのコーティング、ベーキング処理、露光、現像を行った。フォトレジストの未露光部は、ランド部10としてガラス基板8上に残り、露光部はフォトレジストが取り去られ、ガラス面によりグルーブ部11が形成される。溝形状は、溝深さが55nm、ランド幅とグルーブ幅との比率がほぼ1:1であった。この上に、ディスクAと全く同じ条件で、第1誘電体層3、磁気記録層4、第2誘電体層5、反射層6、保護コート7を形成した。 FIG. 2 is a schematic diagram showing a cross section of a magneto-optical recording medium (disk B) used in the embodiment of the present invention. On a glass substrate 8 made of soda lime glass having a refractive index of 1.52 and a hole having a thickness of 1.2 mm, a diameter of 86 mm, and an inner diameter of 15 mm, a photoresist coating, baking treatment, exposure and development were performed under the same conditions as for the disk A. went. The unexposed portion of the photoresist remains on the glass substrate 8 as a land portion 10, the exposed portion is removed of the photoresist, and a groove portion 11 is formed by the glass surface. The groove shape had a groove depth of 55 nm and a ratio of land width to groove width of approximately 1: 1. A first dielectric layer 3, a magnetic recording layer 4, a second dielectric layer 5, a reflective layer 6, and a protective coat 7 were formed thereon under exactly the same conditions as for the disk A.

 (ディスクC)図3は、本発明における実施例で使用した光磁気記録媒体(ディスクC)の断面を模式図で示したものである。ディスクBで使用したものと同じ形状、同じ性質のガラス基板8上に、ディスクAで使用したものと同じ条件で作製したスタンパを用いて、2P法により溝を形成した。材料には、ポリカーボネートジアクリレートを主な成分とするオリゴマーを用いて、高パワーの紫外光で硬化させて、厚み約3μmのフォトポリマー層12を形成した。この上に、ディスクAと全く同じ条件で、第1誘電体層3、磁気記録層4、第2誘電体層5、反射層6、保護コート7を形成した。 FIG. 3 is a schematic diagram showing a cross section of a magneto-optical recording medium (disk C) used in an embodiment of the present invention. A groove was formed on a glass substrate 8 having the same shape and the same properties as those used for the disc B by a 2P method using a stamper manufactured under the same conditions as those used for the disc A. The photopolymer layer 12 having a thickness of about 3 μm was formed by using an oligomer having polycarbonate diacrylate as a main component and curing the material with high-power ultraviolet light. A first dielectric layer 3, a magnetic recording layer 4, a second dielectric layer 5, a reflective layer 6, and a protective coat 7 were formed thereon under exactly the same conditions as for the disk A.

 (ディスクD)図4は、本発明における実施例(ディスクD)で使用した光磁気記録媒体の断面を模式図で示したものである。ディスクAと同じ条件で作製したポリカーボネート基板上に、やはりディスクAと同じ条件で、第1の誘電体層を厚さ50nm成膜し、不活性ガスを用いてイオンエッチングを施した。イオンエッチング後のランドとグルーブ部を電子顕微鏡で断面を調べたところ、ランド部では、ほとんど誘電体層が無くなっていたのに対して、グルーブ部には、30nm程誘電体層が残っていた。この上に誘電体層をさらに70nm成膜し、ランド部誘電体層13とグルーブ部誘電体層14とで厚さの異なる構造にした。この上に、ディスクAと同じ条件で、磁気記録層4、第2誘電体層5、反射層6、保護層7を形成した。 FIG. 4 is a schematic diagram showing a cross section of the magneto-optical recording medium used in the embodiment (disk D) of the present invention. A first dielectric layer having a thickness of 50 nm was formed on the polycarbonate substrate manufactured under the same conditions as for the disk A under the same conditions as for the disk A, and ion-etched using an inert gas. A cross section of the land and the groove portion after the ion etching was examined by an electron microscope. As a result, almost no dielectric layer was present in the land portion, but a dielectric layer of about 30 nm remained in the groove portion. A dielectric layer was further formed thereon to a thickness of 70 nm, and the land dielectric layer 13 and the groove dielectric layer 14 had different thicknesses. On this, the magnetic recording layer 4, the second dielectric layer 5, the reflective layer 6, and the protective layer 7 were formed under the same conditions as for the disk A.

 (ディスクE)図5は、本発明における実施例に使用した光磁気記録媒体(ディスクE)の断面を模式図で示したものである。ディスクAと同じ条件で作製したポリカーボネート基板上に、樹脂を厚さ1μmになるようにスピンコートした。樹脂の水分を取り除くために、90℃で30分間ベーキングを行った。この基板を不活性ガス中で、ランド部の樹脂がなくなるまでエッチングを行った。この状態で、ディスクAと同じ条件で厚さ80nmの誘電体層を成膜した後、グルーブ部の樹脂と誘電体層を有機溶剤を用いて除去した。この上に、ArとN2の混合ガス中に占めるN2の流量比を8%として誘電体層の成膜をさらに130nm行った。このときの屈折率は2.30であった。次に不活性ガスによるイオンエッチングを行い、ランド部の誘電体層約130nmをほとんど取り除いた。上述の工程により、グルーブ部では低屈折率誘電体層15、ランド部では高屈折率誘電体層16がほぼ同じ膜厚約80nmで形成された。この上に、ディスクAと同じ条件で磁気記録層4、第2誘電体層5、反射層6、保護層7を形成した。 (Disk E) FIG. 5 is a schematic diagram showing a cross section of a magneto-optical recording medium (disk E) used in the embodiment of the present invention. A resin was spin-coated on a polycarbonate substrate manufactured under the same conditions as for the disk A to a thickness of 1 μm. Baking was performed at 90 ° C. for 30 minutes to remove the water content of the resin. This substrate was etched in an inert gas until the resin in the land portion disappeared. In this state, a dielectric layer having a thickness of 80 nm was formed under the same conditions as for the disk A, and then the resin and the dielectric layer in the groove portions were removed using an organic solvent. On this was further performed 130nm the deposition of the dielectric layer the flow ratio of N 2 occupying the mixed gas of Ar and N 2 as 8%. At this time, the refractive index was 2.30. Next, ion etching with an inert gas was performed to remove almost all of the dielectric layer of about 130 nm in the land portion. By the above-described steps, the low-refractive-index dielectric layer 15 was formed in the groove portion, and the high-refractive-index dielectric layer 16 was formed in the land portion with approximately the same film thickness of about 80 nm. On this, a magnetic recording layer 4, a second dielectric layer 5, a reflective layer 6, and a protective layer 7 were formed under the same conditions as for the disk A.

 図6は本発明の実施例で使用した、光情報検出装置の1例を模式図で示したものである。スピンドルモータ18により回転する光磁気ディスク17に、半導体レーザー19より出射した光が、コリメータレンズ20により平行光となり偏光ビームスプリッター21(以下PBSという)を介して、対物レンズ22により集光される。本発明の実施例では、波長680nmの半導体レーザー19とNAが0.55の対物レンズ22を使用している。光磁気ディスク17により反射された光は、PBS21、PBS24、シルンドリカルレンズ25を介して、収束レンズ26により、4分割光検出器27に集光される。この4分割光検出器27の信号は、非点収差法によるフォーカスサーボ信号と、プッシュプル法によるトラッキングサーボ信号として利用し、対物レンズの動きを制御して、フォーカシングおよびトラッキングを行う。ランド部およびグルーブ部へのトラッキングの切り替えは、プッシュプル信号のゼロクロス位置での信号の傾きの正負を利用する。PBS24を通過した光は、1/2波長板28を介して、収束レンズ30、31によりそれぞれ光検出器32、33上に集光される。この光検出器32、33の差信号より、光磁気信号を読み出す。 FIG. 6 is a schematic diagram showing an example of the optical information detecting device used in the embodiment of the present invention. The light emitted from the semiconductor laser 19 is converted into parallel light by a collimator lens 20 and condensed by an objective lens 22 via a polarizing beam splitter 21 (hereinafter referred to as PBS) on a magneto-optical disk 17 rotated by a spindle motor 18. In the embodiment of the present invention, the semiconductor laser 19 having a wavelength of 680 nm and the objective lens 22 having an NA of 0.55 are used. The light reflected by the magneto-optical disk 17 passes through the PBS 21, the PBS 24, and the cylindrical lens 25, and is condensed on the quadrant photodetector 27 by the converging lens 26. The signals of the quadrant photodetector 27 are used as a focus servo signal by an astigmatism method and a tracking servo signal by a push-pull method to control the movement of the objective lens to perform focusing and tracking. The switching of tracking to the land and groove portions utilizes the positive or negative of the signal slope at the zero cross position of the push-pull signal. The light passing through the PBS 24 is condensed on the photodetectors 32 and 33 by the converging lenses 30 and 31 via the half-wave plate 28. A magneto-optical signal is read from the difference signal between the photo detectors 32 and 33.

 図7には、本発明で使用した光情報検出装置のもう1つの例を示す。PBS24までは、上述図6の光情報検出装置と同じ構造であるが、光磁気信号を読み出す光学系として、ハーフミラープリズム34により光は、2つに分けられ、それぞれ1/2波長板35、36を介した後に、ウォランストンプリズム37を通過し、その際に偏光方向に依存してそれぞれの光は2つの方向に分けられ、収束レンズ38、39により、それぞれ2分割ダイオード40、41上に集光される。この装置では、ランド部とグルーブ部の偏光成分の位相補償を、別々に行えるという利点がある。また、ウォランストンプリズム37を用いることで、PBSに較べて消光比が高いために、再生信号のノイズを小さくできる。また、装置を小型化できる。 FIG. 7 shows another example of the optical information detecting device used in the present invention. The structure up to the PBS 24 is the same as that of the optical information detecting device of FIG. 6 described above. However, as an optical system for reading out a magneto-optical signal, the light is divided into two by a half mirror prism 34, and a half-wave plate 35, After passing through 36, the light passes through a Wollaston prism 37. At this time, each light beam is split into two directions depending on the polarization direction. Is collected. This device has an advantage that the phase compensation of the polarization components of the land portion and the groove portion can be performed separately. Further, by using the Wollaston prism 37, the extinction ratio is higher than that of PBS, so that the noise of the reproduced signal can be reduced. Further, the size of the device can be reduced.

 図6の光検出装置において、1/2波長板28の代わりにバビネソレイユ板を用いたものを装置Aとする。図7の光検装置で、1/2波長板35、36の代わりにバビネソレイユ板を2つ配置したものを装置Bとする。図6の1/2波長板28の代わりに、電気光学素子を配置したものを装置Cとする。図7において、1/2波長板35、36をそれぞれ別個に光軸に対して斜めに配置したものを装置Dとする。 (6) In the photodetector shown in FIG. 6, a device using a Babinet Soleil plate instead of the half-wave plate 28 is referred to as a device A. The optical inspection apparatus shown in FIG. 7 in which two Babinet Soleil plates are arranged instead of the half-wave plates 35 and 36 is referred to as a device B. A device C in which an electro-optical element is arranged instead of the half-wave plate 28 in FIG. In FIG. 7, a device D is a device in which the half-wave plates 35 and 36 are separately arranged obliquely with respect to the optical axis.

 ディスクAのランド部およびグルーブ部のそれぞれに光を集光した時の反射率は、ランド部68%に対して、グルーブ部62%であった。ディスクAは本発明の請求項2に係わるものである。図2にその構造を示したディスクBも、その構成から本発明の請求項2に係わるものである。ディスクCにおいては、ポリカーボネートジアクリレートに高パワーの紫外光を照射させて硬化させているため、分子の配向に起因した複屈折が確認できた。ディスクCは、本発明の請求項3に係わるものである。図4にその構造を示したディスクDは、その構成より本発明の請求項4に係るものである。図5にその構造を示したディスクEは、その構成より本発明の請求項5に係るものである。 反射 When the light was condensed on each of the land portion and the groove portion of the disk A, the reflectivity was 62% for the land portion and 62% for the groove portion. The disk A is according to claim 2 of the present invention. The disk B whose structure is shown in FIG. 2 also relates to claim 2 of the present invention from the configuration. In the disk C, the polycarbonate diacrylate was cured by irradiating high-power ultraviolet light to the polycarbonate diacrylate, so that birefringence due to molecular orientation was confirmed. The disk C is according to claim 3 of the present invention. The disk D whose structure is shown in FIG. 4 is related to claim 4 of the present invention because of its structure. The disk E whose structure is shown in FIG. 5 is related to claim 5 of the present invention because of its structure.

 光情報検出装置については、その構成より装置A〜Dがそれぞれ本発明の請求項6〜9に係るものである。 Regarding the optical information detecting device, the devices A to D are according to claims 6 to 9 of the present invention, respectively, due to the configuration.

 上述のディスクA〜Eについて装置AからDを用いて、クロストークを調べた。クロストーク量は、5つの隣接するランドまたはグルーブ領域のデータを一定の磁界とレーザー光を用いて消去し、次に、中心のランドまたはグルーブにマーク長2.0μmのマークを磁界変調方式で記録し、そのキャリアレベルCCを測定した後に、隣接する両側のランドまたはグルーブを再生し、そのキャリアレベルを測定した値のうち高い方の値をCMAXとし、クロストークCCR=CMAX−CCを求めた。クロストーク量をランドとグルーブについてそれぞれ測定し、符号も含めて値の大きい方を表1に示している。 Crosstalk was examined for the above-described disks A to E using the devices A to D. The crosstalk amount is determined by erasing data of five adjacent lands or groove areas using a constant magnetic field and laser light, and then recording a mark having a mark length of 2.0 μm on the center land or groove by a magnetic field modulation method. After measuring the carrier level C C , the adjacent lands or grooves are reproduced, and the higher value of the measured carrier levels is set as C MAX , and the crosstalk C CR = C MAX −C Asked for C. The crosstalk amount was measured for each of the land and the groove, and the larger one including the sign is shown in Table 1.

 CCの書き込み記録パワーは、CCの書き込みパワー依存性を測定して、その値が飽和するパワーPSに設定した。また、再生、パワーは、すべて0.74mW一定で行った。本実施例では示していないが、光磁気記録媒体の書き込みパワー感度を高パワー側へシフトさせることによって、再生パワーを大きくすることができるため、記録特性が向上する。ディスクの回転数は、測定半径位置での線速度が5m/secとなるように設定した。装置Aおよび装置Cにおいては、トラッキングをかけたランド部またはグルーブ部に対して、バビネソレイユ板または電気光学素子を調節して、2μmマークに対応する1.25MHzのC/Nが最大になるようにした状態で、隣接するグルーブ部またはランド部にトラッキングしてキャリアレベルを測定しクロストークを求めた。装置Cで電気光学素子を用いた時には、キャリアレベル信号をフィードバックさせて、自動的に位相補償できるような構造を設けた。 Writing recording power C C measures the writing power dependency of the C C, was set to a power P S whose value is saturated. Reproduction and power were all performed at a constant 0.74 mW. Although not shown in this embodiment, by shifting the write power sensitivity of the magneto-optical recording medium to a higher power side, the reproducing power can be increased, and the recording characteristics are improved. The rotation speed of the disk was set so that the linear velocity at the measurement radius position was 5 m / sec. In the apparatus A and the apparatus C, the Babinet Soleil plate or the electro-optical element is adjusted with respect to the tracked land or groove so that the 1.25 MHz C / N corresponding to the 2 μm mark is maximized. In this state, tracking was performed on an adjacent groove portion or land portion to measure a carrier level, and crosstalk was obtained. When an electro-optical element is used in the device C, a structure is provided in which a carrier level signal is fed back to automatically compensate for phase.

 装置BおよびDにおいては、2分割光検出器40に集光される光学系をランド部に、2分割光検出器41に集光される光学系をグルーブ部に割り振り、それぞれの光学系で、バビネソレイユ板または1/2波長板を調節して位相補償条件を最適化してクロストークの測定を行った。

Figure 2004139735
In the devices B and D, the optical system focused on the two-divided photodetector 40 is allocated to the land portion, and the optical system focused on the two-divided photodetector 41 is allocated to the groove portion. The Babinet Soleil plate or the half-wave plate was adjusted to optimize the phase compensation conditions, and the crosstalk was measured.
Figure 2004139735

 図8には、クロストークが他と較べて最も小さかったディスクBについて、装置Aを用いて、クロストークの書き込みパワーを調べた結果を示す。書き込みパワーが4.6〜5.9mWの範囲でクロストークが−30dB以下の条件を満たしていることがわかる。さらに同じディスク、同じ装置でC/Nのマーク長依存性を調べたところ、マーク長0.5μmでも46dBのC/Nが得られた。そこで、最短マーク長0.55μmの1−7変調方式のランダム信号についてジッター値の書き込みパワー依存性を調べた結果を図9に示す。読み出しレーザーパワーは、上述のクロストーク測定と同じ0.74mWで行った。信号はまずグルーブに書き込んだ後にランドに書き込んでいる。 FIG. 8 shows the result of examining the write power of crosstalk using the apparatus A for the disc B having the smallest crosstalk as compared with the others. It can be seen that the crosstalk satisfies the condition of -30 dB or less when the write power is in the range of 4.6 to 5.9 mW. Furthermore, when the mark length dependence of the C / N was examined using the same disk and the same apparatus, a C / N of 46 dB was obtained even with a mark length of 0.5 μm. FIG. 9 shows the result of examining the write power dependency of the jitter value for a 1-7 modulation type random signal having the shortest mark length of 0.55 μm. The reading laser power was set at 0.74 mW, which is the same as the crosstalk measurement described above. The signal is first written to the groove and then to the land.

 クロスイレーズの影響でグルーブ部分のジッター値が高いものの、書き込みパワーが4.5〜6.5mWの範囲で10%以下のジッター値が得られた。更に、最短マーク長を0.48μmにして測定したところ、ジッターのパワーマージンは狭いものの10%以下のジッター値が得られた。 (4) Although the jitter value in the groove portion was high due to the influence of cross erase, a jitter value of 10% or less was obtained when the write power was in the range of 4.5 to 6.5 mW. Furthermore, when the measurement was performed with the shortest mark length set to 0.48 μm, a jitter value of 10% or less was obtained although the power margin of the jitter was narrow.

本発明の実施例におけるディスクAの基板の断面を示す模式図である。FIG. 3 is a schematic diagram showing a cross section of a substrate of a disk A in an example of the present invention. 本発明の実施例におけるディスクBの基板の断面を示す模式図である。FIG. 3 is a schematic diagram showing a cross section of a substrate of a disk B in an example of the present invention. 本発明の実施例におけるディスクCの基板の断面を示す模式図である。FIG. 3 is a schematic diagram showing a cross section of a substrate of a disk C in an example of the present invention. 本発明の実施例におけるディスクDの基板の断面を示す模式図である。FIG. 3 is a schematic diagram illustrating a cross section of a substrate of a disk D according to an embodiment of the present invention. 本発明の実施例におけるディスクEの基板の断面を示す模式図である。FIG. 3 is a schematic diagram illustrating a cross section of a substrate of a disk E according to an embodiment of the present invention. 本発明の実施例における光検出装置(装置A,C)の構造を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the structure of the photodetector (apparatus A, C) in the Example of this invention. 本発明の実施例における光検出装置(装置B,D)の構造を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the structure of the photodetector (device B, D) in the Example of this invention. 本発明の実施例におけるクロストークの書き込みパワー依存性(ディスクB,装置A)を示すグラフである。4 is a graph showing the write power dependency (disk B, device A) of crosstalk in the example of the present invention. 本発明の実施例におけるジッター特性の書き込みパワー依存性を示すグラフである。5 is a graph showing the write power dependence of jitter characteristics in an example of the present invention.

符号の説明Explanation of reference numerals

  1.ポリカーボネート基板
  2.紫外線硬化樹脂
  3.第1誘電体層
  4.磁気記録層
  5.第2誘電体層
  6.反射層
  7.保護層
  8.ガラス基板
  9.フォトレジスト
  10.ランド部
  11.グルーブ部
  12.フォトポリマー
  13.ランド部誘電体層
  14.グルーブ部誘電体層
  15.低屈折率誘電体層
  16.高屈折率誘電体層
  17.光磁気ディスク
  18.スピンドルモータ
  19.半導体レーザー
  20.コリメータレンズ
  21.偏光ビームスプリッター(PBS)
  22.対物レンズ
  23.浮上磁気ヘッド
  24.PBS
  26.収束レンズ
  27.4分割光検出器
  28.1/2波長板
  29.PBS
  30.収束レンズ
  31.収束レンズ
  32.光検出器
  33.光検出器
  34.ハーフミラープリズム
  35.1/2波長板
  36.1/2波長板
  37.ウォランストンプリズム
  38.収束レンズ
  39.収束レンズ
  40.2分割光検出器
  41.2分割光検出器
1. 1. Polycarbonate substrate UV curable resin 3. First dielectric layer 4. Magnetic recording layer 5. Second dielectric layer 6. Reflective layer 7. Protective layer 8. Glass substrate 9. Photoresist 10. Land section 11. Groove section 12. Photopolymer 13. Land part dielectric layer 14. 14. Groove portion dielectric layer Low refractive index dielectric layer 16. High refractive index dielectric layer 17. Magneto-optical disk 18. Spindle motor 19. Semiconductor laser 20. Collimator lens 21. Polarizing beam splitter (PBS)
22. Objective lens 23. Flying magnetic head 24. PBS
26. Convergent lens 27.4 split photodetector 28.1 / 2 wavelength plate 29. PBS
30. Convergent lens 31. Convergent lens 32. Photodetector 33. Photodetector 34. Half mirror prism 35.1 / 2 wavelength plate 36.1 / 2 wavelength plate 37. Wollaston prism 38. Convergent lens Convergent lens 40.2 split photodetector 41.2 split photodetector

Claims (5)

 ほぼ平坦で幅がほぼ等しいランド部およびグルーブ部を有する基板上に、誘電体層、記録層および反射層を有する光磁気記録媒体において、
 偏光された入射光が前記ランド部およびグルーブ部の記録トラックに集光され、前記ランド部およびグルーブ部から反射した光が互いに干渉して、その偏光成分が位相差を生じるように前記ランド部およびグルーブ部が形成されてなることを特徴とする光磁気記録媒体。
On a magneto-optical recording medium having a dielectric layer, a recording layer and a reflective layer on a substrate having land portions and groove portions having substantially flat and substantially equal widths,
The polarized incident light is condensed on the recording tracks of the lands and grooves, and the lights reflected from the lands and grooves interfere with each other, so that the lands and the grooves have a phase difference in their polarization components. A magneto-optical recording medium comprising a groove portion.
 前記ランド部、あるいは前記ランド部および前記グルーブ部は、
 前記基板とは異なる屈折率を有する光学的にほぼ透明な材料で前記基板上に形成されてなる請求項1に記載の光磁気記録媒体。
The land portion, or the land portion and the groove portion,
2. The magneto-optical recording medium according to claim 1, wherein the magneto-optical recording medium is formed on the substrate with an optically transparent material having a refractive index different from that of the substrate.
 前記ランド部、あるいは前記ランド部および前記グルーブ部は、
 前記基板とは異なり、且つ複屈折を有する光学的にほぼ透明な材料で前記基板上に形成されてなる請求項1に記載の光磁気記録媒体。
The land portion, or the land portion and the groove portion,
2. The magneto-optical recording medium according to claim 1, wherein the magneto-optical recording medium is formed on the substrate with an optically transparent material having a birefringence different from the substrate.
 前記ランド部上とグルーブ部上とで前記誘電体層の厚さが異なるものである請求項1に記載の光磁気記録媒体。 2. The magneto-optical recording medium according to claim 1, wherein the thickness of the dielectric layer is different between the land portion and the groove portion.  前記ランド部上とグルーブ部上とのそれぞれの前記誘電体層の屈折率が異なるものである請求項1に記載の光磁気記録媒体。
2. The magneto-optical recording medium according to claim 1, wherein the refractive index of the dielectric layer on the land portion is different from that of the dielectric layer on the groove portion.
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