JP2004133115A - 回折格子を用いた光合分波器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】平面内に直線状のグルーブ1が形成された回折格子2とスラブ状コア3を有する光導波路を含む光合分波器において、回折格子2が、スラブ状コア3の(Xin、Yin、0)[ただしXin>0、Yin>0]の点を含む微小領域から原点に向けて出射された波長λ1、λ2、・・・・、λmの光を分光し、各波長毎にスラブ状コア3の(Xout(λ1)、Yout(λ1)、0)、(Xout(λ2)、Yout(λ2)、0)、・・・・(Xout(λm)、Yout(λm)、0)[ただしYout(λ1)>0、Yout(λ2)>0、・・・・Yout(λm)>0]の各点を含む微小領域に集光するものである。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、波長多重の光信号を波長毎の光信号に分けたり、あるいはその逆に波長の異なる複数の光信号を1つの波長多重光信号にまとめるたりするのに用いられる光合分波器に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年のインターネットの普及に伴い、情報伝送需要が急激に増大している。このため、1本の光ファイバ内を複数の波長の光を通して信号を送る波長分割多重伝送(WDM)技術が広まっている。遠距離の通信では、1本のファイバに出来るだけ多くの情報を載せるため、使用する波長間隔を1nm以下に狭くして、多くの波長の光を使った高密度波長分割多重(DWDM)伝送が用いられている。この場合の各波長における波長変動は0.1nm以下が必須であり、0.01nm以下が求められている。一方、数km〜数10kmの通信に対しては、10nm程度の波長変動にも対応できるように波長波長間隔を20nm以上に広げた低密度波長分割多重(CWDM)伝送が広まりつつある。この場合には、レーザ等の温度調節器が不要になり、コストの低減が可能になる。このようなWDM伝送を実現するには、複数の波長の光信号をまとめる光合波器及び波長ごとに光信号を分ける分波器が必要になる。
【0003】
一般に光合分波器の波長選択素子として、光導波路、薄膜多層フィルタ、回折格子等が用いられている。光導波路を用いた光合分波器としては、例えばオプティカルファイバコンファレンス2001テクニカルダイジェスト、WB1−1(2001)に記載されているようなアレイ導波路回折格子(AWG)を用いた光合分波器がある。このようなAWGを用いた光合分波器は、分解能が高く波長間隔1nm以下のDWDM伝送にも対応できるが、導波路の大きな曲げ構造を必要とするためサイズを小さくできないという問題がある。
また、薄膜多層フィルタを用いた光合分波器としては、例えば特開平9−26521に開示されているような薄膜多層フィルタとコリメータレンズとファイバを組合せたものがある。この場合分解能を上げるには、高精度に膜厚が制御された100層前後の薄膜からなる高価で且つ量産性に乏しい薄膜多層フィルタを波長数分用いる必要があり、また、それらと高精度なレンズ及びそれらとファイバを高精度に位置合せするため、非常に高価な装置になってしまう。また、生産性も低いため、量産化が難しいという問題もある。
【0004】
一方、回折格子を用いた光合分波器としては、特開平8−129114、特開平9−23672、特開平9−243855に開示されているように回折格子とコリメータレンズとファイバを組合せたものがある。この場合もこの3つの部品を高精度に位置合わせする必要があるため、生産性が低く、高価になってしまう。この解決策として、APPLIED OPTICSのvol.21、p2195−p2198(1982)に記載されているように、回折格子の周期を一定でなく、場所により徐々に変えることにより、回折格子に集光性を付与し、コリメータレンズを不要にすることが提案されている。しかしこの文献で提案されているスラブ状コアにおける波長多重信号の入射位置と波長毎に分割した信号の出射位置との関係では、波長間隔30nmの信号を分離するのに回折格子から出射位置までで10mmの距離を必要としており、入出力用のコア部まで含めた光導波路基板全体としては13mm×20mmと大きくなっている。しかも入力用ファイバと出力用のファイバアレイが光導波路基板の異なる辺に接続する形態となっており、一括接続ができない。
また、この文献の回折格子のグルーブ断面形状は矩形であるが、この場合光の偏光状態により、回折効率が大きく変わるという問題があり、合分波特性の偏波依存性が大きく実用に適さない点も問題である。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、回折格子を用いた光合分波器であって、安価で、小型で、偏波依存性が小さい光合分波器を提供することである。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明は以下の光合分波器を提供するものである。
(1)平面内に直線状のグルーブが形成された回折格子とスラブ状コアを有する光導波路を含む光合分波器において、回折格子平面内で、かつグルーブ形成領域内の1点を原点とし、回折格子平面に垂直方向をx軸、回折格子平面内でグルーブに垂直方向をy軸、回折格子平面内でグルーブに平行方向をz軸とした場合、スラブ状コアがx−y平面を含むように形成されており、スラブ状コアの一部と接触または近接配置している回折格子が、スラブ状コアの(Xin、Yin、0)[ただしXin>0、Yin>0]の点を含む微小領域から原点に向けて出射された波長λ1、λ2、・・・・、λmの光を分光し、各波長毎にスラブ状コアの(Xout(λ1)、Yout(λ1)、0)、(Xout(λ2)、Yout(λ2)、0)、・・・・(Xout(λm)、Yout(λm)、0)[ただしYout(λ1)>0、Yout(λ2)>0、・・・・Yout(λm)>0]の各点を含む微小領域に集光することを特徴とする光合分波器。
【0007】
(2)原点と(Xin、Yin、0)とを結ぶ直線とx軸とがなす角度をθ、原点と(Xout(λi)、Yout(λi)、0)[ただしi=1,2,・・・,m]とを結ぶ直線とx軸とがなす角度をδiとした場合、θが10度以上で、δiの最小値δminが5度以上であることを特徴とする上記1記載の光合分波器。
(3)スラブ状コアの(Xout(λ1)、Yout(λ1)、0)、(Xout(λ2)、Yout(λ2)、0)、・・・・(Xout(λm)、Yout(λm)、0)、及び(Xin、Yin、0)の位置に入出力用の幅の狭いコアが接続しており、光導波路基板のある1箇所に全ての出力用コアの末端が近接して配置されていることを特徴とする上記1又は2記載の光合分波器。
【0008】
(4)回折格子が反射型の回折格子であり、Xout(λ1)>0、Xout(λ2)>0、・・・・Xout(λm)>0であり、入力用コアの末端が、出力用コアの末端に近接して配置されていることを特徴ととする上記3記載の光合分波器。
(5)回折格子の各グルーブ断面形状が左右非対称で、グルーブの最深部がグルーブの中心を通るx−z面に平行な面に対して、点(Xin、Yin、0)と同じ側にあることを特徴とする上記3又は4記載の光合分波器。
(6)回折格子が透過型の回折格子であり、かつそのグルーブ断面形状が左右対称の略サイン曲線状であり、Xout(λ1)<0、Xout(λ2)<0、・・・・Xout(λm)<0で、θ及びδminが40度以上であることを特徴とする上記2又は3記載の光合分波器。
【0009】
(7)回折格子の主たる受光部に含まれる各グルーブから適当な1点づつを選び、そのy座標値を順次並べた数列を{Gj}、j=1〜n、とした場合、数列{Gj}の各項の70%以上が式(1)で決まる数列{Hk}、k=k0〜(k0+n−1)、の各項と一致することを特徴とする上記1〜6のいずれか1項記載の光合分波器。
Hk = {−B−SQR(B×B−4×A×C)}÷2÷A −−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−(1)
注)関数SQR(x )は、xの平方根を表す
ここで、
A = Uk×Uk−{Yin−Yout(λi)}×{Yin−Yout(λi)} −−−−−−−−−−−−−−−−−−(2)
B = −{Yin+Yout(λi)}×Uk×Uk−{Xin×Xin+Yin×Yin−Xout(λi)×Xout(λi)−Yout(λi)×Yout(λi)}×{Yin−Yout(λi)} −−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−(3)
C = (Xin×Xin+Yin×Yin)×{Xout(λi)×Xout(λi)+Yout(λi)×Yout(λi)}−{Uk×Uk−Xin×Xin−Yin×Yin−Xout(λi)×Xout(λi)−Yout(λi)×Yout(λi)}×{Uk×Uk−Xin×Xin−Yin×Yin−Xout(λi)×Xout(λi)−Yout(λi)×Yout(λi)}÷4 −−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−(4)
Uk = SQR[{Xin+│Xout(λi)│}×{Xin+│Xout(λi)│}+{Yin−Yout(λi)}×{Yin−Yout(λi)}]+k×λi÷nslab −−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−(5)
kは整数、nslabはスラブ状コアの屈折率、λiはスラブ状コアの(Xin、Yin、0)[ただしXin>0、Yin>0]の位置から原点に向けて出射される光の中のある1波長である。
【0010】
(8)回折格子とスラブ状コアを含む光導波路基板に位置合わせマークが形成されていることを特徴とする上記1〜7のいずれか1項記載の光合分波器。
(9)回折格子の一部のグルーブ端近傍に、そのグルーブが何番目のグルーブであるかを識別できるマークが形成されていることを特徴とする上記1〜8のいずれか1項記載の光合分波器。
【0011】
【発明の実施の形態】
本発明は、平面内に直線状のグルーブが形成された回折格子とスラブ状コアを有する光導波路を含む光合分波器において、回折格子平面内で、かつグルーブ形成領域内の1点を原点とし、回折格子平面に垂直方向をx軸、回折格子平面内でグルーブに垂直方向をy軸、回折格子平面内でグルーブに平行方向をz軸とした場合、スラブ状コアがx−y平面を含むように形成されており、スラブ状コアの一部と接触または近接配置している回折格子が、スラブ状コアの(Xin、Yin、0)[ただしXin>0、Yin>0]の点を含む微小領域から原点に向けて出射された波長λ1、λ2、・・・・、λmの光を分光し、各波長毎にスラブ状コアの(Xout(λ1)、Yout(λ1)、0)、(Xout(λ2)、Yout(λ2)、0)、・・・・(Xout(λm)、Yout(λm)、0)[ただしYout(λ1)>0、Yout(λ2)>0、・・・・Yout(λm)>0]の各点を含む微小領域に集光することを特徴とする光合分波器である。出射光をこのような位置に集光することにより、回折格子での曲げ角度が大きくなり短い距離で波長毎の分離を大きくできるので、光合分波器のサイズを小さくできる。
【0012】
特に請求項2に記載したように、原点と(Xin、Yin、0)とを結ぶ直線とx軸とがなす角度をθ、原点と(Xout(λi)、Yout(λi)、0)[ただしi=1,2,・・・,m]とを結ぶ直線とx軸とがなす角度をδiとした場合、θが10度以上で、δiの最小値δminが5度以上である場合には、波長間隔20nmの波長多重信号を、原点と(Xin、Yin、0)との距離L、原点と(Xout(λi)、Yout(λi)、0)[ただしi=1,2,・・・,m]との距離Fiのすべてを8mm以下で分離可能にできる。
【0013】
また請求項3に記載したように、スラブ状コアの(Xout(λ1)、Yout(λ1)、0)、(Xout(λ2)、Yout(λ2)、0)、・・・・(Xout(λm)、Yout(λm)、0)、及び(Xin、Yin、0)の位置に入出力用の幅の狭いコアを接続し、光導波路基板のある1箇所に全ての出力用コアの末端が近接して配置することにより、出力用のファイバをひとつのファイバアレイにまとめて、出力用コアに一括接続することが可能になる。
回折格子には透過型と反射型があるが、反射型の場合には請求項4に記載したようにXout(λ1)>0、Xout(λ2)>0、・・・・Xout(λm)>0とすることにより、入力用コアの末端も出力用コアの末端に近接して配置できるようになるので、入出力ファイバ全てを一括して入出力用コアに接続することが可能になる。
【0014】
更に反射型の場合、請求項5に記載したように回折格子の各グルーブ断面形状を左右非対称で、グルーブの最深部がグルーブの中心を通るx−z面に平行な面に対して、点(Xin、Yin、0)と同じ側にあるようにすることにより、偏光状態による回折格子の回折効率変化を抑制することができ、偏波依存性の小さい光合分波器ができる。
【0015】
一方、透過型回折格子の場合は、請求項6に記載したようにグルーブ断面形状を左右対称にし、Xout(λ1)<0、Xout(λ2)<0、・・・・Xout(λm)<0で、θ及びδminが40度以上とすることにより、偏光状態による回折格子の回折効率変化を抑制することができ、偏波依存性の小さい光合分波器ができる。
【0016】
請求項1〜6の光合分波器を実現する回折格子の具体的なグルーブ配置としては、請求項7に記載したように、回折格子の主たる受光部に含まれるn本のグルーブから適当な1点づつを選び、そのy座標値を順次並べた数列を{Gj}、j=1〜n、とした場合、数列{Gj}の各項の70%以上が式(6)で決まる数列{Hk}、k=k0〜(k0+n−1)、の各項と一致するようにすればよい。
Hk = {−B−SQR(B×B−4×A×C)}÷2÷A −−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−(6)
注)関数SQR(x )は、xの平方根を表す
ここで、
A = Uk×Uk−{Yin−Yout(λi)}×{Yin−Yout(λi)} −−−−−−−−−−−−−−−−−−(7)
B = −{Yin+Yout(λi)}×Uk×Uk−{Xin×Xin+Yin×Yin−Xout(λi)×Xout(λi)−Yout(λi)×Yout(λi)}×{Yin−Yout(λi)} −−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−(8)
C = (Xin×Xin+Yin×Yin)×{Xout(λi)×Xout(λi)+Yout(λi)×Yout(λi)}−{Uk×Uk−Xin×Xin−Yin×Yin−Xout(λi)×Xout(λi)−Yout(λi)×Yout(λi)}×{Uk×Uk−Xin×Xin−Yin×Yin−Xout(λi)×Xout(λi)−Yout(λi)×Yout(λi)}÷4 −−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−(9)
Uk = SQR[{Xin+│Xout(λi)│}×{Xin+│Xout(λi)│}+{Yin−Yout(λi)}×{Yin−Yout(λi)}]+k×λi÷nslab −−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−(10)
kは整数、nslabはスラブ状コアの屈折率、λiはスラブ状コアの(Xin、Yin、0)[ただしXin>0、Yin>0]の位置から原点に向けて出射される光の中のある1波長である。
【0017】
請求項8に記載したように回折格子とスラブ状コアを含む光導波路基板に位置合わせマークを形成しておくことにより、実際に光信号の入出力を行わずに、回折格子をスラブ状コアに対して正確な位置に取り付けることが可能になる。
【0018】
請求項9に記載したように回折格子の一部のグルーブ端近傍に、そのグルーブが何番目のグルーブであるかを識別できるマークを形成することにより、請求項7に記載したようなグルーブ配置で作製した回折格子の検査を原子間力顕微鏡やレーザー顕微鏡などで行う場合、グルーブ配置の適否判定が容易になる。
【0019】
本発明の光合分波器は図1に示すように、平面内に直線状のグルーブ1が形成された回折格子2とスラブ状コア3を有する光導波路を含む光合分波器において、回折格子平面内で、かつグルーブ形成領域内の1点を原点とし、回折格子平面に垂直方向をx軸、回折格子平面内でグルーブに垂直方向をy軸、回折格子平面内でグルーブに平行方向をz軸とした場合、スラブ状コア3がx−y平面を含むように形成されており、スラブ状コア3の一部と接触または近接配置している回折格子2が、スラブ状コア3の(Xin、Yin、0)[ただしXin>0、Yin>0]の点を含む微小領域から原点に向けて出射された波長λ1、λ2、・・・・、λmの光を分光し、各波長毎にスラブ状コア3の(Xout(λ1)、Yout(λ1)、0)、(Xout(λ2)、Yout(λ2)、0)、・・・・(Xout(λm)、Yout(λm)、0)[ただしYout(λ1)>0、Yout(λ2)>0、・・・・Yout(λm)>0]の各点を含む微小領域に集光することを特徴とするものである。
【0020】
ここで、光合分波器のサイズを更に小型化するには、原点と(Xin、Yin、0)とを結ぶ直線とx軸とがなす角度をθ、原点と(Xout(λi)、Yout(λi)、0)[ただしi=1,2,・・・,m]とを結ぶ直線とx軸とがなす角度をδiとした場合、θが10度以上で、δiの最小値δminが5度以上であることが好ましく、θが15度以上で、δiの最小値δminが7度以上がより好ましい。θを10度以上で、δiの最小値δminを5度以上とすることにより波長間隔20nmの波長多重信号を、原点と(Xin、Yin、0)との距離L、原点と(Xout(λi)、Yout(λi)、0)[ただしi=1,2,・・・,m]との距離Fiのすべてを8mm以下で分離可能にできる。
【0021】
また回折格子は平面内に直線状のグルーブが形成されたものであれば、透過型でも反射型でもかまわない。なお、この回折格子は通常の回折格子と異なり波長分離機能以外に集光機能も合わせもつ必要があるので、各グルーブの幅は一定でなく、場所により少しづつ異なるという特徴を有する。
【0022】
反射型の場合、グルーブが形成された面が(Xin、Yin、0)に近くなるようにスラブ状コアと接触または近接配置させるのが望ましい。反対に配置した場合、スラブ状コアから出射した光が、グルーブ形成面で反射されて再びスラブ状コアに戻るまでに回折格子の厚みの2倍の距離を伝播する必要があり、その間にz軸方向に光が拡がるため、再度スラブ状コアに入射できる光の割合が極端に低下してしまう。反射型回折格子をスラブ状コアの一部と接触または近接させる方法としては、スラブ状コアを光導波路基板の端まで形成しておき、その端面に回折格子を固定するか、スラブ状コアの一部に穴を開けて回折格子を取付けるかすればよい。どちらの場合も、回折格子のグルーブ形成面とそれに対向するスラブ状コア端面との距離は、10μm以下が好ましく、5μm以下がより好ましい。また隙間はスラブ状コアとほぼ同等の屈折率を有し、かつ合分波しようとする波長範囲で高透明な材料で埋めるのが好ましい。
【0023】
透過型の場合は、グルーブ形成面を配置する方向はどちらでも良いが、スラブ状コアから出射した光が、回折格子を透過して反対側のスラブ状コアに入射するまでに回折格子の厚み分の距離を伝播する必要があり、その間にz軸方向に光が拡がるため、回折格子の厚みは200μm以下が好ましく、100μm以下がより好ましい。透過型回折格子をスラブ状コアの一部と接触または近接させる方法としては、スラブ状コアの一部に穴を開けて回折格子を取付けるか、回折格子の両面にスラブ状コアを光導波路基板の端まで形成したものを取り付けるかすればよい。どちらの場合も回折格子の両面の隙間は10μm以下が好ましく、5μm以下がより好ましい。また隙間はスラブ状コアとほぼ同等の屈折率を有し、かつ合分波しようとする波長範囲で高透明な材料で埋めるのが好ましい。
【0024】
スラブ状コアは、マルチモード用、シングルモード用のどちらでもよく、材料も特に限定されず石英でもポリマでもよく、用途に応じて適宜選択すればよい。
【0025】
本発明は、回折格子が、スラブ状コアの(Xin、Yin、0)[ただしXin>0、Yin>0]の点を含む微小領域から原点に向けて出射された波長λ1、λ2、・・・・、λmの光を分光し、各波長毎にスラブ状コアの(Xout(λ1)、Yout(λ1)、0)、(Xout(λ2)、Yout(λ2)、0)、・・・・(Xout(λm)、Yout(λm)、0)[ただしYout(λ1)>0、Yout(λ2)>0、・・・・Yout(λm)>0]の各点を含む微小領域に集光することを特徴としているが、(Xin、Yin、0)[ただしXin>0、Yin>0]の点を含む微小領域及び(Xout(λ1)、Yout(λ1)、0)、(Xout(λ2)、Yout(λ2)、0)、・・・・(Xout(λm)、Yout(λm)、0)[ただしYout(λ1)>0、Yout(λ2)>0、・・・・Yout(λm)>0]の各点を含む微小領域とは、厚み方向はスラブ状コアの膜厚を最大とし、幅方向は50μmを最大とする領域である。
【0026】
この微小領域を通して、合分波する光信号の入出力を行うことになるが、その方法としては、微小領域に直接ファイバや受発光素子を配置する方法と、図2に示すように幅の狭い入出力コア4をこの微小領域から光導波路基板5の端または、適当な場所まで設置し、その入出力コア4の末端にファイバや受発光素子を接続する方法とがある。入出力コア4の膜厚はスラブ状コア3と同じであり、入出力コア4の幅は、入出力信号のモード(シングルモードかマルチモード)に応じて適宜決めればよい。また出力コアの末端は、光導波路基板中にばらばらに配置せず1箇所にまとめて配置するのが好ましい。こうすることによりファイバアレイで一括接続が可能になり、自動接続が容易になる。この際、ファイバアレイの接続を容易にするため光導波路基板にV溝を形成しても良い。スラブ状コアとの接続部における入出力コアの引出し方向は、接続近傍での入出力コアの接線が(Xin、Yin、0)、(Xout(λ1)、Yout(λ1)、0)、(Xout(λ2)、Yout(λ2)、0)、・・・・(Xout(λm)、Yout(λm)、0)の各点と原点を結ぶ直線と平行になるようにするのが好ましい。
【0027】
更に回折格子が反射型の場合は、短い長さの入出力コア4で、入力コアの末端も含めた全ての入出力コアの末端を1箇所にまとめて配置できる。こうすることにより入出力用のファイバを接続する際、1つのファイバアレイで一括接続が可能になる。
これは本発明が前記のAPPLIED OPTICSのvol.21、p2195−p2198(1982)に記載されている光合分波器と比較して、(Xout(λ1)、Yout(λ1)、0)、(Xout(λ2)、Yout(λ2)、0)、・・・・(Xout(λm)、Yout(λm)、0)の各点を(Xin、Yin、0)により近づけて配置している効果である。すなわち入出力コア4は損失を一定値以下に抑制しようとすると曲げの最大曲率が制限されるので、(Xout(λ1)、Yout(λ1)、0)、(Xout(λ2)、Yout(λ2)、0)、・・・・(Xout(λm)、Yout(λm)、0)の各点と(Xin、Yin、0)との距離が離れれば離れるほど、入出力コア4の末端を充分近づけるのに必要な曲げ角度が大きくなり、長い距離が必要となる。
【0028】
スラブ状コア3及び入出力用コア4の上下にはコアより屈折率の低い上部クラッド及び下部クラッドを形成しても良い。この場合、上部クラッドと下部クラッドの屈折率は同じでも、異なっていても良い。
回折格子が反射型の場合、回折格子のグルーブ断面形状は、光合分波器の偏波依存性を小さくする観点から、図3に示すように左右非対称で、グルーブの最深部6がグルーブの中心を通るx−z面に平行な面7に対して、点(Xin、Yin、0)と同じ側にあることが好ましい。
また回折格子が透過型の場合、光合分波器の偏波依存性を小さくする観点から、Xout(λ1)<0、Xout(λ2)<0、・・・・Xout(λm)<0で、θ及びδminが40度以上となるようにし、且つグルーブ断面形状を左右対称の略サイン曲線状とすることが好ましい。
【0029】
反射型回折格子、透過型回折格子ともに、そのグルーブ配置は、回折格子の主たる受光部に含まれる各グルーブから適当な1点づつを選び、そのy座標値を順次並べた数列を{Gj}、j=1〜n、とした場合、数列{Gj}を式(11)で決まる数列{Hk}、k=k0〜(k0+n−1)、と一致するように配置することが好ましい。
Hk = {−B−SQR(B×B−4×A×C)}÷2÷A −−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−(11)
注)関数SQR(x )は、xの平方根を表す
ここで、
A = Uk×Uk−{Yin−Yout(λi)}×{Yin−Yout(λi)} −−−−−−−−−−−−−−−−−−(12)
B = −{Yin+Yout(λi)}×Uk×Uk−{Xin×Xin+Yin×Yin−Xout(λi)×Xout(λi)−Yout(λi)×Yout(λi)}×{Yin−Yout(λi)} −−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−(13)
C = (Xin×Xin+Yin×Yin)×{Xout(λi)×Xout(λi)+Yout(λi)×Yout(λi)}−{Uk×Uk−Xin×Xin−Yin×Yin−Xout(λi)×Xout(λi)−Yout(λi)×Yout(λi)}×{Uk×Uk−Xin×Xin−Yin×Yin−Xout(λi)×Xout(λi)−Yout(λi)×Yout(λi)}÷4 −−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−(14)
Uk = SQR[{Xin+│Xout(λi)│}×{Xin+│Xout(λi)│}+{Yin−Yout(λi)}×{Yin−Yout(λi)}]+k×λi÷nslab −−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−(15)
kは整数、nslabはスラブ状コアの屈折率、λiはスラブ状コアの(Xin、Yin、0)[ただしXin>0、Yin>0]の位置から原点に向けて出射される光の中のある1波長である。
【0030】
なお回折格子の主たる受光部は、図1に示すようにスラブ状コア3の(Xin、Yin、0)[ただしXin>0、Yin>0]の点を含む微小領域から原点に向けて出射された光がスラブ状コア3を伝播する際のx−y平面方向への広がり角度ψで決まる部分である。ここで、ψはスラブ状光導波路のコアの屈折率をncore、クラッドの屈折率をncladとした場合、式(16)で決まるものである。
sin(ψ)=SQR(ncore×ncore−nclad×nclad)÷ncore −−−−−−−−−−−−−−−−(16)
【0031】
本発明に用いる回折格子は、機械加工、電子線描画、グレースケールマスク露光、RIE(Riactive Ion Etching)、フォトリソグラフィなどの微細加工法を単独または組合わせて作製することができる。加工基材は、ガラス、金属、ポリマなど加工方法に応じて適宜選択すればよい。また、作製した回折格子をマスタパターンとして、これから転写したものを用いることもできる。
反射型回折格子の場合は、グルーブ表面に反射率の高いアルミニウム、銀、銀合金、誘電多層膜などを形成するのが好ましい。
【0032】
回折格子とスラブ状コアを含む光導波路基板を別々に作製してから一体化する場合、両者の位置合わせが必要となる。この位置合わせは、実際に使用する波長の信号を入力し、その出力信号をモニタしながら行ってもよいが、回折格子と光導波路基板に位置合わせマークを形成しておくことにより、光の入出力をしなくても正確に位置合わせすることが可能になる。位置合わせマークとしては、例えば半導体製造や液晶製造などのフォトリソプロセスなどで使われているマークなどが使用できる。
【0033】
また作製した回折格子のグルーブ配置が、設計通りできているかの確認を原子間力顕微鏡などで行う場合、測定分解能を上げるとグルーブ形成領域全体を観測できないため、何本目のグルーブがどの位置にあるのかの確認が非常に困難になる。そこでこれを解決するためあらかじめ、回折格子のグルーブ端近傍に、そのグルーブが何番目のグルーブであるかを識別できるマークを形成しておくのが好ましい。マークは原子間力顕微鏡など使用を予定しているグルーブ観測手段で確認できるものであれば、数字でも何でもよい。また、マークは全てのグルーブにつける必要はなく、適当な間隔で形成すれば良い。
【0034】
本発明の光合分波器を分波器として用いる場合は、スラブ状コアの(Xin、Yin、0)[ただしXin>0、Yin>0]の点を含む微小領域から波長λ1、λ2、・・・・、λmの波長多重信号を入力し、スラブ状コアの(Xout(λ1)、Yout(λ1)、0)、(Xout(λ2)、Yout(λ2)、0)、・・・・(Xout(λm)、Yout(λm)、0)[ただしYout(λ1)>0、Yout(λ2)>0、・・・・Yout(λm)>0]の各点を含む微小領域から各波長の信号を取り出せばよい。
また、合波器として用いる場合は、スラブ状コアの(Xout(λ1)、Yout(λ1)、0)、(Xout(λ2)、Yout(λ2)、0)、・・・・(Xout(λm)、Yout(λm)、0)[ただしYout(λ1)>0、Yout(λ2)>0、・・・・Yout(λm)>0]の各点を含む微小領域から波長λ1、λ2、・・・・、λmの各波長の信号を入力し、スラブ状コアの(Xin、Yin、0)[ただしXin>0、Yin>0]の点を含む微小領域から合波した信号を取り出せばよい。
【0035】
【実施例】
以下、実施例により本発明を説明する。
図4(a)のような構成で、波長λ1=1.27μm、λ2=1.29μm、λ3=1.31μm、λ4=1.33μm、の4波長の光多重信号を分波する光分波器を作製した。(b)は(a)のA−A’面における断面図、(c)は(a)のB−B’面における断面図である。 (Xin、Yin、0) =(5638.2, 2052.1, 0)であり、この点に入力用コア8が接続されている。また、(Xout(λ1)、Yout(λ1)、0)=(6327.5, 1010.6, 0)、(Xout(λ2)、Yout(λ2)、0)=(6112.5, 1026.9, 0)、(Xout(λ3)、Yout(λ3)、0)=(5908.8, 1041.9, 0)、(Xout(λ4)、Yout(λ4)、0)=(5715.6, 1055.7, 0)であり、これらの点に出力CH1用コア9、出力CH2用コア10、出力CH3用コア11、出力CH4用コア12が接続されている。なお、座標値の単位は全てμmである。また、θ=20度、δ1=9.07度、δ2=9.54度、δ3=10.00度、δ4=10.47度である。光導波路基板5としては、シリコン基板13上に形成した石英導波路を用いた。光導波路基板5のサイズは縦6mm×横13mmである。コアの屈折率はncore=1.5291、クラッドの屈折率はnclad=1.5227、下部クラッド14の膜厚は5.4μm、スラブ状コア3の膜厚は6.5μm、上部クラッド15の膜厚は22.5μmとした。また、入力用コア8の幅は6.5μm、出力CH1用コア9、出力CH2用コア10、出力CH3用コア11、出力CH4用コア12の幅は全て30μmである。また、スラブ状コア外のy=−1000μmの位置に位置合わせマーク16を形成した。
【0036】
一方、回折格子2は、石英ガラスに電子線描画とRIEでグルーブを形成し、その表面にアルミニウムをスパッタしたものを用いた。グルーブの断面形状は、深さ0.5μmの略三角形で、グルーブ配置は、石英ガラスのある1点を原点とした場合に、グルーブ最深部のy座標値が、式(11)〜(15)で、λi=1.31μm、k=210〜880として得られる数列{Hk}の各項の値と一致するようにした。グルーブの長さは約100μmである。また、グルーブ形成領域の外側のy=−1000μmの位置に位置合わせマークを形成した。図5に作製した回折格子2の断面形状を原子間力顕微鏡で測定した結果を示す。回折格子2を石英光導波路基板に取付ける場合、図5の右側に(Xin、Yin、0)が位置することになる。
【0037】
作製した回折格子を可動ブロックに固定し、石英光導波路基板に導波路基板側の位置合わせマーク16と回折格子側の位置合わせマークが一致するよう可動ブロックを移動した。導波路基板端と回折格子との距離は2μmとし、隙間をコアと屈折率がほぼ等しいマッチングオイルで充填した。
こうして得られた光分波器にファイバアレイを通して、波長可変レーザで波長1260〜1338nmのTM偏光を入力した場合のCH1からCH4の出力信号の損失値を図6に示す。
これから、設計通り波長λ1=1.27μm、λ2=1.29μm、λ3=1.31μm、λ4=1.33μm、の4波長が損失約5dBで分波できていることが分かる。なお、TE偏光を入力した場合も、図6とほぼ一致する分波特性が得られており、偏波依存性が小さいことも確認できた。
【0038】
【発明の効果】
本発明の光合分波器は、安価で、小型で、偏波依存性が小さく、波長分割多重伝送システムに用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の光合分波器の構成図である。
【図2】幅の狭い入出力コアを含む光合分波器の構成図である。
【図3】反射型回折格子のグルーブ断面図である。
【図4】実施例の光分波器の構成図である。
【図5】実施例で用いた回折格子の断面形状を原子間力顕微鏡で測定した結果を示す図面である。
【図6】実施例の光分波器の分波特性である。
【符号の説明】
1: グルーブ
2: 回折格子
3: スラブ状コア
4: 入出力コア
5: 光導波路基板
6: グルーブの最深部
7: グルーブの中心を通りxz平面に平行な平面
8: 入力用コア
9: 出力CH1用コア
10: 出力CH2用コア
11: 出力CH3用コア
12: 出力CH4用コア
13: シリコン基板
14: 下部クラッド
15: 上部クラッド
16: 位置合わせマーク
Claims (9)
- 平面内に直線状のグルーブが形成された回折格子とスラブ状コアを有する光導波路を含む光合分波器において、回折格子平面内で、かつグルーブ形成領域内の1点を原点とし、回折格子平面に垂直方向をx軸、回折格子平面内でグルーブに垂直方向をy軸、回折格子平面内でグルーブに平行方向をz軸とした場合、スラブ状コアがx−y平面を含むように形成されており、スラブ状コアの一部と接触または近接配置している回折格子が、スラブ状コアの(Xin、Yin、0)[ただしXin>0、Yin>0]の点を含む微小領域から原点に向けて出射された波長λ1、λ2、・・・・、λmの光を分光し、各波長毎にスラブ状コアの(Xout(λ1)、Yout(λ1)、0)、(Xout(λ2)、Yout(λ2)、0)、・・・・(Xout(λm)、Yout(λm)、0)[ただしYout(λ1)>0、Yout(λ2)>0、・・・・Yout(λm)>0]の各点を含む微小領域に集光することを特徴とする光合分波器。
- 原点と(Xin、Yin、0)とを結ぶ直線とx軸とがなす角度をθ、原点と(Xout(λi)、Yout(λi)、0)[ただしi=1,2,・・・,m]とを結ぶ直線とx軸とがなす角度をδiとした場合、θが10度以上で、δiの最小値δminが5度以上であることを特徴とする請求項1記載の光合分波器。
- スラブ状コアの(Xout(λ1)、Yout(λ1)、0)、(Xout(λ2)、Yout(λ2)、0)、・・・・(Xout(λm)、Yout(λm)、0)、及び(Xin、Yin、0)の位置に入出力用の幅の狭いコアが接続しており、光導波路基板のある1箇所に全ての出力用コアの末端が近接して配置されていることを特徴とする請求項1又は2記載の光合分波器。
- 回折格子が反射型の回折格子であり、Xout(λ1)>0、Xout(λ2)>0、・・・・Xout(λm)>0であり、入力用コアの末端が、出力用コアの末端に近接して配置されていることを特徴ととする請求項3記載の光合分波器。
- 回折格子の各グルーブ断面形状が左右非対称で、グルーブの最深部がグルーブの中心を通るx−z面に平行な面に対して、点(Xin、Yin、0)と同じ側にあることを特徴とする請求項3又は4記載の光合分波器。
- 回折格子が透過型の回折格子であり、かつそのグルーブ断面形状が左右対称の略サイン曲線状であり、Xout(λ1)<0、Xout(λ2)<0、・・・・Xout(λm)<0で、θ及びδminが40度以上であることを特徴とする請求項2又は3記載の光合分波器。
- 回折格子の主たる受光部に含まれる各グルーブから適当な1点づつを選び、そのy座標値を順次並べた数列を{Gj}、j=1〜n、とした場合、数列{Gj}の各項の70%以上が式(1)で決まる数列{Hk}、k=k0〜(k0+n−1)、の各項と一致することを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項記載の光合分波器。
Hk = {−B−SQR(B×B−4×A×C)}÷2÷A −−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−(1)
注)関数SQR(x )は、xの平方根を表す
ここで、
A = Uk×Uk−{Yin−Yout(λi)}×{Yin−Yout(λi)} −−−−−−−−−−−−−−−−−−(2)
B = −{Yin+Yout(λi)}×Uk×Uk−{Xin×Xin+Yin×Yin−Xout(λi)×Xout(λi)−Yout(λi)×Yout(λi)}×{Yin−Yout(λi)} −−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−(3)
C = (Xin×Xin+Yin×Yin)×{Xout(λi)×Xout(λi)+Yout(λi)×Yout(λi)}−{Uk×Uk−Xin×Xin−Yin×Yin−Xout(λi)×Xout(λi)−Yout(λi)×Yout(λi)}×{Uk×Uk−Xin×Xin−Yin×Yin−Xout(λi)×Xout(λi)−Yout(λi)×Yout(λi)}÷4 −−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−(4)
Uk = SQR[{Xin+│Xout(λi)│}×{Xin+│Xout(λi)│}+{Yin−Yout(λi)}×{Yin−Yout(λi)}]+k×λi÷nslab −−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−(5)
kは整数、nslabはスラブ状コアの屈折率、λiはスラブ状コアの(Xin、Yin、0)[ただしXin>0、Yin>0]の位置から原点に向けて出射される光の中のある1波長である。 - 回折格子とスラブ状コアを含む光導波路基板に位置合わせマークが形成されていることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項記載の光合分波器。
- 回折格子の一部のグルーブ端近傍に、そのグルーブが何番目のグルーブであるかを識別できるマークが形成されていることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項記載の光合分波器。
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JP2002296141A JP2004133115A (ja) | 2002-10-09 | 2002-10-09 | 回折格子を用いた光合分波器 |
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CN115421234A (zh) * | 2022-11-04 | 2022-12-02 | 北京驭光科技发展有限公司 | 衍射光波导及其光栅结构以及显示设备 |
-
2002
- 2002-10-09 JP JP2002296141A patent/JP2004133115A/ja active Pending
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