JP2004110053A - Method for manufacturing optical element - Google Patents
Method for manufacturing optical element Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004110053A JP2004110053A JP2003360299A JP2003360299A JP2004110053A JP 2004110053 A JP2004110053 A JP 2004110053A JP 2003360299 A JP2003360299 A JP 2003360299A JP 2003360299 A JP2003360299 A JP 2003360299A JP 2004110053 A JP2004110053 A JP 2004110053A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- optical element
- adhesive layer
- polarization
- thickness
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Polarising Elements (AREA)
- Projection Apparatus (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Transforming Electric Information Into Light Information (AREA)
- Video Image Reproduction Devices For Color Tv Systems (AREA)
Abstract
Description
この発明は、光学素子およびそのための製造方法、並びに、光学素子を備えた投写型表示装置に関する。 The present invention relates to an optical element, a manufacturing method therefor, and a projection display device including the optical element.
ランダムな偏光方向を有する光を、一方向の偏光方向を有する光に変換する光学素子(偏光変換素子)としては、特開平7−294906号公報に記載されたものが知られている。図1(A)は、このような光学素子の平面図であり、図1(B)はその斜視図である。この光学素子は、偏光分離膜36を有する線状の偏光ビームスプリッタ30と、反射膜46を有する線状のプリズム40とを交互に貼り合わせた偏光ビームスプリッタアレイ22を備えている。また、偏光ビームスプリッタアレイ22の出射面の一部には、λ/2位相差板24が選択的に設けられている。
As an optical element (polarization conversion element) that converts light having a random polarization direction into light having a single polarization direction, one described in JP-A-7-294906 is known. FIG. 1A is a plan view of such an optical element, and FIG. 1B is a perspective view thereof. This optical element includes a polarization
線状の偏光ビームスプリッタ30は、2つの直角プリズム32,34と、これらの直角プリズム32,34の斜面である境界面に形成された偏光分離膜36とを有している。この偏光ビームスプリッタ30を製造する際には、一方の直角プリズムの斜面上に偏光分離膜36を形成した後に、2つの直角プリズム32,34を光学接着剤で接着する。
The -linear
線状のプリズム40は、2つの直角プリズム42,44と、これらの直角プリズム42,44の斜面である境界面に形成された反射膜46とを有している。このプリズム40を製造する際には、一方の直角プリズムの斜面上に反射膜46を形成した後に、2つの直角プリズム42,44を光学接着剤で接着する。反射膜46は、アルミニウム膜等の金属膜で形成される。
The -
こうして準備された複数の線状偏光ビームスプリッタ30と、複数の線状プリズム40とを、光学接着剤で交互に貼り合わせることによって、偏光ビームスプリッタアレイ22が作成される。そして、λ/2位相差板24が、偏光ビームスプリッタ30の出射面に選択的に貼りつけられる。
偏光 The polarization
光入射面からは、s偏光成分とp偏光成分とを含む入射光が入射される。この入射光は、まず、偏光分離膜36によってs偏光とp偏光とに分離される。s偏光は、偏光分離膜36によってほぼ垂直に反射され、反射膜46によってさらに垂直に反射されて、プリズム40から出射される。一方、p偏光は、偏光分離膜36をそのまま透過し、λ/2位相差板24によってs偏光に変換されて出射される。従って、この光学素子に入射したランダムな偏光方向を有する光束は、すべてs偏光光束となって出射される。
入射 From the light incident surface, incident light containing an s-polarized component and a p-polarized component is incident. This incident light is first separated by the
図1に示す従来の光学素子では、4つの直角プリズム32,34,42,44がそれぞれ光学接着剤で貼り合わされている。従って、s偏光やp偏光は、光学素子に入射されてから出射されるまでの間に、プリズムの境界に形成されている光学接着剤層を何回も通過しなければならない。光学接着剤層は光をある程度吸収するので、光学接着剤層を通過するたびに光の強度が低下する。この結果、光の利用効率がかなり低下していまうという問題があった。
で は In the conventional optical element shown in FIG. 1, four right-
この発明は、従来技術における上述の課題を解決するためになされたものであり、光学素子における光の利用効率を高めることのできる技術を提供することを目的とする。 The present invention has been made in order to solve the above-mentioned problems in the conventional technology, and has as its object to provide a technology capable of increasing the efficiency of using light in an optical element.
上述の課題の少なくとも一部を解決するため、第1の発明は、光学素子であって、
光入射面と、前記光入射面にほぼ平行な光出射面とを有し、前記光入射面および光出射面と所定の角度をなすように形成されたほぼ平行な第1および第2の膜形成面と、前記第1の膜形成面上に形成された偏光分離膜と、前記第2の膜形成面上に形成された反射膜と、をそれぞれ備える複数の第1の透光性部材と、
前記複数の第1の透光性部材と交互に貼り合わされ、前記複数の第1の透光性部材の前記光入射面および光出射面とそれぞれ同一平面に形成された光入射面および光出射面をそれぞれ有する複数の第2の透光性部材と、
を備えることを特徴とする。
In order to solve at least a part of the problems described above, a first invention is an optical element,
First and second substantially parallel films having a light incident surface and a light exit surface substantially parallel to the light incident surface, and formed at a predetermined angle with the light incident surface and the light exit surface. A plurality of first light-transmissive members each including a forming surface, a polarization separating film formed on the first film forming surface, and a reflecting film formed on the second film forming surface; ,
A light incident surface and a light exit surface that are alternately bonded to the plurality of first light transmissive members and are respectively formed on the same plane as the light incident surface and the light exit surface of the plurality of first light transmissive members. A plurality of second translucent members each having
It is characterized by having.
第1の発明によれば、第1の透光性部材の光入射面から入射した光のうち、偏光分離膜で反射される偏光成分が、光学接着剤の層を通過せずに反射膜で反射され、その後、偏光ビームスプリッタから出射される。従って、この偏光成分が光学接着剤の層を通過する回数を低減することができるので、光の利用効率を高めることができる。 According to the first invention, of the light incident from the light incident surface of the first light transmitting member, the polarized light component reflected by the polarization separation film is reflected by the reflection film without passing through the optical adhesive layer. It is reflected and then exits the polarizing beam splitter. Therefore, the number of times that this polarized light component passes through the optical adhesive layer can be reduced, so that the light use efficiency can be increased.
上記第1の発明において、前記反射膜は誘電体多層膜で形成されていることが好ましい。 In the first invention, it is preferable that the reflection film is formed of a dielectric multilayer film.
誘電体多層膜で形成された反射膜では、アルミニウム膜などの金属製の反射膜に比べて特定の直線偏光成分の反射率を高めることができる。従って、光の利用効率をより一層高めることが可能である。 (4) In a reflective film formed of a dielectric multilayer film, the reflectance of a specific linearly polarized light component can be increased as compared with a reflective film made of a metal such as an aluminum film. Therefore, it is possible to further enhance the light use efficiency.
上記第1の発明において、さらに、前記第1の透光性部材の前記光出射面または前記第2の透光性部材の前記光出射面に対応して設けられた偏光方向変換手段を備えることが好ましい。 In the first aspect, the apparatus further includes a polarization direction conversion unit provided corresponding to the light exit surface of the first light transmissive member or the light exit surface of the second light transmissive member. Is preferred.
第1の透光性部材の出射面部分と第2の透光性部材の出射面部分からは、異なる偏光方向の直線偏光成分が出射される。従って、このうちのいずれか一方に偏光方向変換手段を設けることによって、光学素子から出射される光束を、すべて1つの直線偏光成分に変換することができる。 (4) The linearly polarized light components having different polarization directions are emitted from the light emitting surface of the first light transmitting member and the light emitting surface of the second light transmitting member. Therefore, by providing the polarization direction converting means in any one of them, it is possible to convert all the light beams emitted from the optical element into one linearly polarized light component.
上記第1の発明において、さらに、前記第2の透光性部材の前記光入射面に対応して設けられた遮光手段を有することが好ましい。 に お い て In the first invention, it is preferable that a light-shielding unit is further provided corresponding to the light incident surface of the second light-transmitting member.
仮に、第2の透光性部材の光入射面から光が入射されると、この光は、反射膜で反射された後に、偏光分離膜でs偏光とp偏光に分離される間に、何回も光学接着剤層を通過する。そこで、第2の透光性部材の光入射面に対応して遮光手段を設けることによってこのような光を遮光すれば、光学素子に入射した光が光学接着剤層を何回も通過することを防止できる。 If light is incident from the light incident surface of the second translucent member, the light is reflected by the reflection film and then separated by the polarization separation film into s-polarized light and p-polarized light. Time passes through the optical adhesive layer. Therefore, if such light is shielded by providing light shielding means corresponding to the light incident surface of the second translucent member, light incident on the optical element may pass through the optical adhesive layer many times. Can be prevented.
また、上記第1の発明において、
前記第1と第2の透光性部材の間の境界面に接着剤層をそれぞれ有しており、
前記偏光分離膜と前記反射膜の間隔が前記光学素子を通じてほぼ等しくなるように、前記第1と第2の透光性部材の厚みと前記接着剤層の厚みとのうちの少なくとも一部が設定されていることが好ましい。
Further, in the first invention,
An adhesive layer is provided on an interface between the first and second translucent members, respectively.
At least a part of the thickness of the first and second translucent members and the thickness of the adhesive layer is set so that the distance between the polarization splitting film and the reflection film is substantially equal through the optical element. It is preferred that
こうすれば、偏光分離膜と反射膜の間の間隔が等しくなるので、光学素子内における膜の位置精度が向上し、光の利用効率が向上する。 (4) Since the distance between the polarization splitting film and the reflection film becomes equal, the positional accuracy of the film in the optical element is improved, and the light use efficiency is improved.
また、上記第1の発明において、
前記第2の透光性部材の厚みが、前記第1の透光性部材の厚みよりも小さく設定されていることが好ましい。こうすれば、偏光分離膜と反射膜の間の間隔を等しくして、光学素子における光の利用効率を向上させることができる。
Further, in the first invention,
It is preferable that the thickness of the second translucent member is set smaller than the thickness of the first translucent member. In this case, the distance between the polarization separation film and the reflection film can be made equal, and the light use efficiency of the optical element can be improved.
前記第2の透光性部材の厚みは、前記第1の透光性部材の厚みの約80%ないし約90%の範囲であることが好ましい。 The thickness of the second light transmitting member is preferably in the range of about 80% to about 90% of the thickness of the first light transmitting member.
また、前記第1の透光性部材の厚みを、前記第2の透光性部材の厚みに前記接着剤層の厚みの2倍を加算した値にほぼ等しくなるようにすることが好ましい。 Preferably, the thickness of the first light-transmitting member is substantially equal to a value obtained by adding twice the thickness of the adhesive layer to the thickness of the second light-transmitting member.
また、前記光学素子は、前記光学素子の光入射面側に配列された複数の小レンズとともに使用される光学素子であり、
前記光学素子内の複数の前記偏光分離膜の相互の間隔が、前記複数の小レンズのピッチとほぼ対応するように設定されていることが好ましい。
Further, the optical element is an optical element used with a plurality of small lenses arranged on the light incident surface side of the optical element,
It is preferable that an interval between the plurality of polarization split films in the optical element is set so as to substantially correspond to a pitch of the plurality of small lenses.
こうすれば、複数の小レンズから出射される複数の光束が、それぞれ対応する偏光分離膜に入射するように構成することができるので、光の利用効率が向上する。 With this configuration, the plurality of light beams emitted from the plurality of small lenses can be configured to be incident on the corresponding polarization separation films, respectively, so that the light use efficiency is improved.
一例として、前記第1と第2の透光性部材の間の境界面に接着剤層をそれぞれ有しており、
前記複数の偏光分離膜の相互の間隔が前記複数の小レンズのレンズ光軸のピッチとほぼ対応するように、前記第1と第2の透光性部材の厚みと前記接着剤層の厚みとのうちの少なくとも一部が設定される。
As an example, each has an adhesive layer on a boundary surface between the first and second light-transmitting members,
The thickness of the first and second light-transmissive members and the thickness of the adhesive layer such that the interval between the plurality of polarization separation films substantially corresponds to the pitch of the lens optical axes of the plurality of small lenses. Is set at least in part.
あるいは、前記複数の小レンズは複数の異なるレンズ光軸ピッチを有しており、
前記複数の偏光分離膜の相互の間隔は、前記複数の異なるレンズ光軸ピッチとほぼ対応するように、前記第1と第2の透光性部材の厚みと前記接着剤層の厚みとのうちの少なくとも一部が設定されていることが好ましい。
Alternatively, the plurality of small lenses have a plurality of different lens optical axis pitches,
The distance between the plurality of polarized light separating films is substantially equal to the plurality of different lens optical axis pitches, and the distance between the thickness of the first and second translucent members and the thickness of the adhesive layer is selected. Is preferably set at least in part.
こうすれば、レンズ光軸のピッチが異なる場合にも、各小レンズから出射される光束が、それぞれ対応する偏光分離膜に入射するように構成することができるので、光の利用効率が向上する。 With this configuration, even when the pitch of the lens optical axes is different, the light beams emitted from the respective small lenses can be configured to be incident on the corresponding polarization separation films, so that the light use efficiency is improved. .
また、上記第1の発明において、前記光学素子は、前記光学素子の光入射面側に配列された複数の小レンズとともに使用される光学素子であり、
前記光学素子内の複数の前記偏光分離膜の相互の間隔が、前記複数の小レンズから出射される複数の光束のピッチとほぼ対応するように設定されていることが好ましい。
Further, in the first aspect, the optical element is an optical element used together with a plurality of small lenses arranged on a light incident surface side of the optical element,
It is preferable that an interval between the plurality of polarization split films in the optical element is set to substantially correspond to a pitch of a plurality of light beams emitted from the plurality of small lenses.
小レンズから出射される光束のピッチは、必ずしもレンズ光軸のピッチと一致するとは限らない。このような場合にも、各小レンズから出射される光束が、それぞれ対応する偏光分離膜に入射するように構成することができるので、光の利用効率が向上する。 ピ ッ チ The pitch of the light beam emitted from the small lens does not always match the pitch of the lens optical axis. Even in such a case, the light beams emitted from the respective small lenses can be configured to be incident on the corresponding polarization separation films, so that the light use efficiency is improved.
一例として、前記第1と第2の透光性部材の間の境界面に接着剤層をそれぞれ有しており、
前記複数の偏光分離膜の相互の間隔が前記複数の小レンズから出射される複数の光束のピッチとほぼ対応するように、前記第1と第2の透光性部材の厚みと前記接着剤層の厚みとのうちの少なくとも一部が設定される。
As an example, each has an adhesive layer on a boundary surface between the first and second light-transmitting members,
The thickness of the first and second translucent members and the thickness of the adhesive layer such that the interval between the plurality of polarization separation films substantially corresponds to the pitch of the plurality of light beams emitted from the plurality of small lenses. At least a part of the thickness is set.
第2の発明は、光学素子の製造方法であって、
(a)ほぼ平行な第1および第2の表面を有する第1の透光性板材の前記第1の表面上に偏光分離膜を形成する工程と、
(b)前記第1の透光性板材の前記第2の表面上に反射膜を形成する工程と、
(c)前記偏光分離膜および反射膜が形成された複数の前記第1の透光性板材と、2つのほぼ平行な表面を有する複数の第2の透光性板材とをそれぞれ交互に貼り合わせる工程と、
(d)前記交互に貼り合わされた透光性板材を、前記第1および第2の表面に対して所定の角度で切断してほぼ平行な光入射面と光出射面とを有する光学素子ブロックを生成する工程と、
を備えることを特徴とする。
A second invention is a method for manufacturing an optical element,
(A) forming a polarization splitting film on the first surface of a first light-transmitting plate having substantially parallel first and second surfaces;
(B) forming a reflective film on the second surface of the first translucent plate;
(C) The plurality of first light-transmitting plate members on which the polarization separation film and the reflection film are formed, and the plurality of second light-transmitting plate members having two substantially parallel surfaces are alternately bonded to each other. Process and
(D) cutting the translucent plate members alternately bonded to each other at a predetermined angle with respect to the first and second surfaces to form an optical element block having a light incidence surface and a light emission surface which are substantially parallel to each other; Generating,
It is characterized by having.
第2の発明によれば、第1の発明における光学素子を容易に形成することができる。従って、光の利用効率の高い光学素子を製造することができる。 According to the second aspect, the optical element according to the first aspect can be easily formed. Therefore, an optical element with high light use efficiency can be manufactured.
上記第2の発明において、さらに、
(e)前記光学素子ブロックの前記光入射面と前記光出射面とを研磨する工程、
を備えることが好ましい。
In the above second invention, further,
(E) polishing the light incident surface and the light exit surface of the optical element block;
It is preferable to provide
こうすれば、光学素子となる光学素子ブロックの光入射面と光出射面とを容易に研磨することができるので、光学素子を容易に製造することができる。 れ ば Thus, the light incident surface and the light exit surface of the optical element block serving as the optical element can be easily polished, so that the optical element can be easily manufactured.
上記第2の発明において、
前記工程(c)は、複数の前記第1の透光性板材と複数の前記第2の透光性板材とを光硬化性接着層を介して交互に積層し、光照射により貼り合わせる工程、
を備えることが好ましい。
In the second invention,
The step (c) is a step of alternately laminating a plurality of the first translucent plate members and a plurality of the second translucent plate members via a photocurable adhesive layer and bonding them by light irradiation;
It is preferable to provide
こうすれば、貼り合わされた板材に光を照射することによって光学接着剤を硬化させることができるので、光学素子の製造が容易である。 In this case, since the optical adhesive can be cured by irradiating the bonded plate material with light, it is easy to manufacture the optical element.
あるいは、前記工程(c)は、
(1)1枚の前記第1の透光性部材と、1枚の前記第2の透光性部材との間に光硬化性接着層を介して重ね合わせることによって積層体を形成する工程と、
(2)前記積層体に光を照射することによって前記光硬化性接着層を硬化させる工程と、
(3)前記積層体に、前記光硬化性接着層を介して前記第1の透光性部材と前記第2の透光性部材とを交互に重ねてゆき、この際、1枚の部材を重ねる度に前記積層体に光を照射することによって前記光硬化性接着層を硬化させる工程と、
を備えるようにしてもよい。
Alternatively, the step (c) comprises:
(1) forming a laminate by laminating one sheet of the first translucent member and one sheet of the second translucent member via a photocurable adhesive layer; ,
(2) curing the photocurable adhesive layer by irradiating the laminate with light;
(3) The first light-transmissive member and the second light-transmissive member are alternately stacked on the laminate via the photocurable adhesive layer. A step of curing the photocurable adhesive layer by irradiating the laminate with light each time it is stacked,
May be provided.
こうすれば、1枚の透光性部材を重ねる度に接着剤を硬化させるので、各透光性部材同士の位置関係を精度良く設定することができる。 In this case, the adhesive is cured each time one translucent member is stacked, so that the positional relationship between the translucent members can be accurately set.
あるいは、前記工程(c)は、
(1)1枚の前記第1の透光性部材と、1枚の前記第2の透光性部材との間に光硬化性接着層を介して重ね合わせることによって積層体を形成する工程と、
(2)前記積層体に光を照射することによって前記光硬化性接着層を硬化させる工程と、
(3)前記工程(1)および工程(2)で作成された複数の積層体を、前記光硬化性接着剤層を介して交互に重ねてゆき、この際、1つの積層体を重ねる度に光を照射することによって前記光硬化性接着層を硬化させる工程と、
を備えるようにしてもよい。
Alternatively, the step (c) comprises:
(1) forming a laminate by laminating one sheet of the first translucent member and one sheet of the second translucent member via a photocurable adhesive layer; ,
(2) curing the photocurable adhesive layer by irradiating the laminate with light;
(3) The plurality of laminates created in the steps (1) and (2) are alternately stacked via the photocurable adhesive layer. In this case, each time one laminate is stacked Curing the photocurable adhesive layer by irradiating light,
May be provided.
この方法によっても、1つの積層体を重ねる度に接着剤を硬化させるので、隣接する透光性部材同士の位置関係を精度良く設定することができる。 (4) According to this method, the adhesive is cured each time one laminated body is stacked, so that the positional relationship between the adjacent translucent members can be accurately set.
前記光の照射は、前記透光性部材の表面と平行でない方向から行うことが好ましい。 照射 The light irradiation is preferably performed from a direction that is not parallel to the surface of the translucent member.
こうすれば、光が接着剤に効率良く照射されるので、接着剤の硬化時間を短縮することができ、光学素子の製造のスループットを向上させることができる。 In this case, since the adhesive is efficiently irradiated with the light, the curing time of the adhesive can be shortened, and the throughput of manufacturing the optical element can be improved.
第3の発明は、投写型表示装置であって、上記のいずれかの光学素子と、
前記光学素子からの出射光を一種類の偏光光に変換する偏光変換手段と、
前記偏光変換手段からの出射光を、与えられた画像信号に基づいて変調する変調手段と、
前記変調手段により変調された光束を投写する投写光学系と、を備える。
A third invention is a projection display device, comprising: any one of the above optical elements;
Polarization conversion means for converting the light emitted from the optical element to one type of polarized light,
Modulation means for modulating the light emitted from the polarization conversion means based on a given image signal,
A projection optical system for projecting the light beam modulated by the modulation means.
第3の発明によれば、光の利用効率の高い光学素子を使用しているので、投写面上に投写される映像を明るくすることができる。 According to the third aspect, since the optical element having high light use efficiency is used, the image projected on the projection surface can be brightened.
A.第1実施例:
次に、本発明の実施の形態を実施例に基づき説明する。図2および図3は、この発明の第1実施例である偏光ビームスプリッタアレイを製造する主要な工程を示す工程断面図である。
A. First embodiment:
Next, embodiments of the present invention will be described based on examples. 2 and 3 are sectional views showing main steps of manufacturing the polarizing beam splitter array according to the first embodiment of the present invention.
図2(A)の工程では、それぞれ板状の複数の第1の透光性部材321と複数の第2の透光性部材322とが準備される。第1の透光性部材321のほぼ平行な2つの表面(膜形成面)のうちで、一方の表面上には偏光分離膜331が形成されている。また、他方の表面上には、反射膜332が形成されている。第2の透光性部材322の表面上には、これらの膜のいずれも形成されていない。
In the step of FIG. 2A, a plurality of plate-shaped first light-transmitting
第1と第2の透光性部材321,322としては、板ガラスが用いられる。ただし、ガラス以外の透光性の板状材料を用いることも可能である。また、第1と第2の透光性部材の一方を、他方とは異なる色を有する材料を用いるようにするようにしてもよい。こうすれば、偏光ビームスプリッタアレイとして完成した後に、2つの部材の区別をつけやすいという利点がある。たとえば一方の部材を、無色透明な板ガラスで形成し、他方を青色で透明な板ガラスで形成するようにしてもよい。なお、板ガラスとしては、磨き板ガラスやフロートガラスが好ましく、特に、磨き板ガラスが好ましい。
板 Sheet glass is used for the first and second
偏光分離膜331は、s偏光とp偏光のいずれか一方を選択的に透過させ、他方を選択的に反射する性質を有する膜である。通常は、このような性質を有する誘電体多層膜を積層することによって偏光分離膜331が形成される。
The
反射膜332は、誘電体多層膜を積層することによって形成される。もちろん、反射膜332を構成する誘電体多層膜は、偏光分離膜331を構成するものとは異なる組成および構成を有している。反射膜332としては、偏光分離膜331で反射された直線偏光成分(s偏光またはp偏光)のみを選択的に反射し、他の直線偏光成分は反射しないような誘電体多層膜で構成されたものが好ましい。
The
反射膜332は、アルミニウムを蒸着することによって形成するようにしてもよい。誘電体多層膜で反射膜332を形成した場合には、特定の直線偏光成分(たとえばs偏光)を約98%程度の反射率で反射することができる。一方、アルミニウム膜では、反射率は高々92%程度である。従って、誘電体多層膜で反射膜332を形成するようにすれば、偏光ビームスプリッタアレイから出射される光量を高めることができる。さらに、誘電体多層膜は、アルミニウム膜よりも光の吸収が少ないので、発熱も少ないという利点もある。なお、特定の直線偏光成分の反射率を向上させるには、反射膜332を構成する誘電体多層膜(通常は2種類の膜が交互に積層された構造である)を構成するそれぞれの膜の厚さ、あるいは膜の材料を最適化すれば良い。
The
図2(B)の工程では、第1と第2の透光性部材321,322が光学接着剤によって交互に貼り合わされる。この結果、光学接着剤層325が、偏光分離膜331と第2の透光性部材322との間、および、反射膜332と第2の透光性部材322との間にそれぞれ形成される。なお、図2および図3では、図示の便宜上、各層331,332,325の厚みが誇張されている。また、貼り合わされるガラスの枚数についても省略されている。
(2) In the step of FIG. 2B, the first and second
図3(A)の工程では、貼り合わされた透光性部材321,322の表面にほぼ垂直な方向から紫外線を照射することによって、光学接着剤層325を硬化させる。紫外線は、誘電体多層膜を通過する。この実施例では、偏光分離膜331と反射膜332が、それぞれ誘電体多層膜で形成されている。従って、図3(A)に示すように、透光性部材321,322の表面にほぼ垂直な方向から紫外線を照射することによって、複数の光学接着剤層325を同時に硬化させることができる。
(3) In the step of FIG. 3A, the optical
一方、反射膜332をアルミニウムの蒸着で形成した場合には、紫外線がアルミニウム膜で反射されてしまう。従って、この場合には、図3(A)に破線で示すように、紫外線を透光性部材321,322の表面にほぼ平行な方向から照射する。この時、紫外線を入射する側と反対側の部分では、紫外線による光学接着剤層325の照射効率が低下する。従って、光学接着剤層325が硬化するまでに比較的長い時間が必要になる。一方、反射膜332を誘電体多層膜で形成するようにすれば、透光性部材321,322の表面に平行でない方向から紫外線を照射できるので、比較的短時間で効率よく光学接着剤層325を硬化させることができる。
On the other hand, when the
図3(B)の工程では、こうして互いに接着された複数の透光性部材321,322を、その表面と所定の角度θをなす切断面(図中、破線で示す)でほぼ平行に切断することによって、光学素子ブロックが切り出される。θの値は、約45度とすることが好ましい。こうして切り出された光学素子ブロックの表面(切断面)を研磨することによって、偏光ビームスプリッタアレイを得ることができる。
In the step of FIG. 3B, the plurality of light-transmitting
図4は、こうして製造された偏光ビームスプリッタアレイ320を示す斜視図である。この図からわかるように、偏光ビームスプリッタアレイ320は、それぞれ断面が平行四辺形の柱状の第1と第2の透光性部材321,322が、交互に貼り合わされた形状を有している。
FIG. 4 is a perspective view showing the polarizing
図5(A)は、実施例による偏光ビームスプリッタアレイ320の出射面の一部に、λ/2位相差板381を選択的に設けた偏光変換素子を示す平面断面図である。また、図5(B)は、比較例の偏光変換素子を示す平面断面図である。実施例の偏光変換素子では、偏光ビームスプリッタアレイ320の出射面(図5では左側の面)のうちで、第2の透光性部材322の表面部分に、偏光方向変換手段としてのλ/2位相差板381が貼りつけられている。
FIG. 5A is a cross-sectional plan view showing a polarization conversion element in which a λ / 2
図5(B)に示す比較例の構成は、図5(A)の実施例の構成において、偏光分離膜331と、これに隣接する光学接着剤層325との位置関係が逆転している点が異なるだけである。比較例の偏光ビームスプリッタアレイ320aを製造する際には、まず、第1の透光性部材321の表面上に反射膜332を形成し、一方、第2の透光性部材322の表面上に偏光分離膜331を形成する。そして、これらの透光性部材321,322を光学接着剤層325で交互に貼り合わせる。
The configuration of the comparative example shown in FIG. 5B is different from the configuration of the example of FIG. 5A in that the positional relationship between the
図5(A)に示す実施例の偏光変換素子の入射面からは、s偏光成分とp偏光成分とを含むランダムな偏光方向を有する入射光が入射される。この入射光は、まず、偏光分離膜331によってs偏光とp偏光とに分離される。s偏光は、偏光分離膜331によってほぼ垂直に反射され、反射膜332によってさらに反射されて、出射面326から出射される。一方、p偏光は、偏光分離膜331をそのまま透過して、λ/2位相差板381によってs偏光に変換されて出射される。従って、偏光変換素子からは、s偏光のみが選択的に出射される。
(5) Incident light having a random polarization direction including an s-polarized light component and a p-polarized light component is incident from the incident surface of the polarization conversion element of the embodiment shown in FIG. This incident light is first separated by the
なお、λ/2位相差板381を、第1の透光性部材321の出射面部分に選択的に設けるようにすれば、偏光変換素子からp偏光のみを選択的に出射することができる。
If the λ / 2
図5(A)に示す実施例の偏光ビームスプリッタアレイ320では、偏光分離膜331を透過するp偏光は、偏光ビームスプリッタアレイ320の入射面から出射面までの間に光学接着剤層325を1回通過する。これは、図5(B)に示す比較例の偏光ビームスプリッタアレイ320aにおいても同様である。
In the polarization
また、実施例の偏光ビームスプリッタアレイ320では、偏光分離膜331で反射されるs偏光は、偏光ビームスプリッタアレイ320の入射面から出射面までの間に光学接着剤層325を1回も通過しない。これに対して、比較例の偏光ビームスプリッタアレイ320aでは、s偏光は、偏光ビームスプリッタアレイ320の入射面から出射面までの間に光学接着剤層325を2回通過する。光学接着剤層325はほぼ透明であるが、いくらか光を吸収する性質を有している。従って、光学接着剤層325を通過するたびに、光量は減少する。また、光学接着剤層325を通過する際には、偏光方向が若干変わる可能性もある。実施例の偏光ビームスプリッタアレイでは、s偏光が光学接着剤層325を通る回数が比較例に比べて少ないので、光の利用効率がより高い。
Further, in the polarization
ところで、比較例の偏光ビームスプリッタアレイ320aも、図1に示した従来の偏光ビームスプリッタアレイ22に比較すれば光学接着剤層が少ないので、光の利用効率は比較的高い。しかし、図5(A)に示す実施例では、この比較例よりもさらに光の利用効率が高いことがわかる。
By the way, the polarizing
図10は、実施例の偏光ビームスプリッタアレイ320をさらに拡大して詳細に示す断面図である。偏光分離膜331と反射膜332の厚みは数μmであり、透光性部材321,322の厚みt321 ,t322 や、光学接着剤層325の厚みtad1 ,tad2 に比べて無視できる。そこで、図10では偏光分離膜膜331を1本の破線で描き、反射膜332を1本の実線で描いている。なお、前述したように、偏光分離膜331と反射膜332は、第1の透光性部材321の両面に形成されている。光学接着剤層325の厚みtad1 ,tad2 は、層の位置に応じて異なる値に設定されていてもよいが、通常は、偏光ビームスプリッタ320の全体を通じて等しい値に設定されている。以下の説明では、光学接着剤層325の厚みtad1 ,tad2 が等しい値tadに設定されているものと仮定する。
FIG. 10 is a cross-sectional view showing the polarization
図10の下部に示すように、第2の透光性部材322の厚みt322 は、第1の透光性部材321の厚みt321 から光学接着剤層325の厚みtadの2倍を減算した値に等しい。この関係は、偏光ビームスプリッタアレイ320の光出射面326や光入射面327に沿った方向に測った場合の厚み(L321,L322,Lad)についても同様である。例えば、第1の透光性部材321の厚みt321 を3.17mmとした場合を考えると、光学接着剤層325の厚みtadは通常約0.01〜0.3mmの範囲内であるため、第2の透光性部材322の厚みt322 は3.15〜2.57mmの範囲となる。この例のように、第2の透光性部材322の厚みt322 は、第1の透光性部材321の厚みt321 の約80%〜約90%とすることが好ましい。具体的な実施例としては、t321 =3.17mm、tad=0.06mm、t322 =3.05mmに設定することができる。
As shown in the lower part of FIG. 10, the thickness t 322 of the second
このように、2種類の透光性部材321,322の厚みを予め調整しておくことによって、貼り合わせた後の偏光分離膜331と反射膜332との間の間隔を、偏光ビームスプリッタアレイ320の全体に渡ってほぼ均一にすることができる。
As described above, by adjusting the thicknesses of the two types of
なお、実際は透光性部材321,322の厚みt321 ,t322 や、光学接着剤層325の厚みtadに製造誤差が生じる場合がある。
Actually, manufacturing errors may occur in the thicknesses t 321 and t 322 of the
図11は、偏光ビームスプリッタアレイ320の光入射面側に、複数の小レンズ(集光レンズ)311がマトリクス状に配列された集光レンズアレイ310を設けた状態を示す断面図である。偏光ビームスプリッタアレイ320の光入射面には、偏光分離膜331へ入射して有効な偏光光に変換される光が入射する有効入射領域EA(偏光分離膜331に対応する光の入射面)と、反射膜332に入射して、無効な偏光光に変換される光が入射する無効入射領域UA(反射膜332に対応する光の入射面)とが、交互に配置されている。この有効入射領域EAおよび無効入射領域UAのx方向の大きさWp は、集光レンズ311のx方向の大きさWL の1/2に等しい。また、集光レンズ311の中心(レンズ光軸)311cは、有効入射領域EAのx方向の中心と等しくなるように配置されている。有効入射領域EAは、偏光分離膜331を、偏光ビームスプリッタ320の光入射面に投影した領域に相当する。従って、偏光分離膜331のx方向のピッチは、集光レンズ311のレンズ光軸311cのx方向のピッチに等しく設定されている。
FIG. 11 is a cross-sectional view showing a state in which a condensing
なお、図11の右端の集光レンズ311には、対応する偏光分離膜331や反射膜332が形成されていない。これは、端部の集光レンズ311を通過する光量が比較的少ないので、これらの膜を設けなくても光の利用効率にあまり影響がないためである。
In addition, the corresponding
図12は、偏光分離膜331のピッチを、集光レンズ311のレンズ光軸311cのピッチとは異なる値に設定し、また、2つの偏光ビームスプリッタアレイ320’を、システム光軸Lを中心として、偏光分離膜331、反射膜332が向かい合うように対向配置させた場合を示す説明図である。なお、図面ではシステム光軸より左側の部分が省略されている。
FIG. 12 shows that the pitch of the
図12の中段には、集光レンズアレイ310の各レンズLa〜Ldで集光され偏光ビームスプリッタアレイ320’の入射面を照射する光の光量分布が示されている。一般に、システム光軸(偏光ビームスプリッタアレイ320’の中心)に最も近いレンズLaで集光される光の光強度Iaが最も強くなり、光軸から遠いレンズで集光される光ほど弱くなり、図12では、4番目のレンズLdで集光される光の光強度Idが最も弱くなる。また、各レンズLa〜Ldで集光された光の光量分布は、あるレンズ位置(図12では3番目のレンズLcの位置)を境に、光軸に近いほどレンズ中心に対して光軸寄りの分布になり、光軸から遠いほど光軸の反対寄りの分布になる。図12では、レンズLcで集光された光の光量分布Pcがほぼレンズ中心に分布し、レンズLb、Laと光軸に近いほどその光量分布Pb、Paと次第にシステム光軸寄りの分布になっている。また、レンズLdで集光された光の光量分布Pdがシステム光軸の反対寄りになっている。このような場合に、偏光ビームスプリッタアレイ320’の有効入射領域EAの中心を一律にレンズ光軸中心と一致させると、上記のような光量分布のずれに起因する光の損失が発生する。特に、光源光軸付近において、レンズアレイから出射される光の光量分布と有効入射領域EAとのずれは、大きな光の損失となる。したがって、集光レンズアレイ310から出射される光の分布に合わせて、すなわち、集光レンズアレイ310から出射される光の光量分布のピーク間隔に合わせて偏光ビームスプリッタアレイ320’の各有効入射領域EAの中心を配列するするようにすることが好ましい。換言すれば、偏光分離膜331の間隔が、光量分布のピークの間隔に一致するように、透光性部材321,322の厚みt321 ,t322 と光学接着剤層325の厚みtad(図10)を調整することが好ましい。
The middle part of FIG. 12 shows a light amount distribution of light condensed by each of the lenses La to Ld of the condensing
なお、レンズアレイ310で集光される光をより有効に利用するためには、光軸に近いレンズで集光される光ほどより有効に利用できるようにすることが好ましい。特に、光源光軸付近の光量が大きく、また、光源光軸付近のレンズLaから出射される光の分布Paがレンズの中心光軸よりも光源光軸側に偏っているため、偏光ビームスプリッタアレイ320’の最も光源光軸側に近い有効入射領域EA1の中心を光の分布Paのピーク位置にほぼ合わせるようにすることが好ましい。
In order to more effectively use the light condensed by the
図12に示す構成は、集光レンズアレイ310の各集光レンズ311から出射される光の光強度や光量分布に、有効入射領域EA1〜EA4と無効入射領域UA1〜UA4の幅(すなわち偏光分離膜311の間隔)を対応させたものである。すなわち、偏光ビームスプリッタアレイ320’の有効入射領域EA(図中EA1〜EA4)および無効入射領域UA(図中UA1〜UA4)のx方向の幅Wp’は、集光レンズアレイ310の各レンズLa〜Ldのx方向の幅WL の1/2よりも大きい。
The configuration shown in FIG. 12 is different from the configuration shown in FIG. 12 in that the light intensity and the light amount distribution of the light emitted from each of the condensing
図12の例では、3列目のレンズLcの中心と、それに対応する有効入射領域EA3の中心とを等しくするように、偏光ビームスプリッタアレイ320’が配置されている。通常、各無効入射領域UAの幅は、有効入射領域EAの幅Wp'と等しいので、左側の2つの有効入射領域EA2,EA1は各レンズLb,Laの中心に対して次第にシステム光軸寄りとなる。また、一番右側の有効入射領域EA4はレンズLdの中心に対してシステム光軸の反対寄りとなる。この結果、各有効入射領域EA1〜EA4が、集光レンズアレイ310から出射される光の光量分布のピーク位置とほぼ一致する。特に、光軸に近い所定の数のレンズ、例えば、2〜3個のレンズは、光強度が強いので、これらのレンズで集光される光の光量分布と、それに対応する有効入射領域がほぼ一致することが好ましい。このような構成にすることで、より光の利用効率を高めることができる。なお、有効入射領域の幅をレンズの幅の1/2に対してどの程度大きくするか、および、どのレンズに対する有効入射領域を基準に配置するかは、レンズアレイの数や、各レンズに対応する光量分布の関係から実験的に容易に求められる。また、有効入射領域や無効入射領域の幅は、レンズの幅の1/2より大きくすることに限定する必要はなく、偏光ビームスプリッタアレイ320’の光の入射面を照射する実際の光量分布によって決定される。
で は In the example of FIG. 12, the polarizing beam splitter array 320 'is arranged so that the center of the lens Lc in the third row is equal to the center of the corresponding effective incident area EA3. Normally, the width of each invalid incident area UA is equal to the width Wp 'of the effective incident area EA. Therefore, the two effective incident areas EA2 and EA1 on the left are gradually shifted toward the system optical axis with respect to the centers of the lenses Lb and La. Become. The rightmost effective incident area EA4 is located opposite to the center of the lens Ld with respect to the system optical axis. As a result, each of the effective incident areas EA1 to EA4 substantially coincides with the peak position of the light amount distribution of the light emitted from the
上述した図11および図12の例では、集光レンズアレイ310の各小レンズ311が同じサイズを有しているものと仮定したが、小レンズのサイズが位置によって異なる場合もある。図13は、サイズの異なる複数種類の小レンズを有する集光レンズアレイ310’を示す平面図およびそのB−B断面図である。図13(A)において、破線の円は光源からの光量が比較的大きな領域を示している。
In the examples of FIGS. 11 and 12 described above, it is assumed that the
この集光レンズアレイ310’は、比較的大サイズの第1の小レンズ312がシステム光軸Lの周囲にマトリクス状に配列され、また、比較的小サイズの第2の小レンズ313が集光レンズアレイ310’の端部付近に略マトリクス状に配列されている。このような集光レンズアレイ310’に対して、前述した図11と同様な構成と効果を達成する場合には、偏光ビームスプリッタアレイの各有効入射領域の中心(すなわち、偏光分離膜のピッチ)が、それぞれ対応する小レンズ312、313のピッチに一致するように、透光性部材321,322の厚みt321 ,t322 と光学接着剤層325の厚みtad(図10)の少なくとも一部が調整される。あるいは、前述した図12と同様な構成と効果を達成する場合には、偏光ビームスプリッタアレイの各有効入射領域の中心(すなわち、偏光分離膜のピッチ)が、それぞれ対応する小レンズ312、313から出射される光束の光量分布のピッチに一致するように、透光性部材321,322の厚みt321 ,t322 と光学接着剤層325の厚みtadの少なくとも一部が調整される。
In the
B.第2実施例:
図14ないし図19は、第2実施例による偏光ビームスプリッタアレイの製造方法を示す説明図である。第2実施例では、図14に示すように、水平台402と、水平台402の上に立設された垂直壁404とを有する組立治具400を用いる。
B. Second embodiment:
14 to 19 are explanatory views showing a method for manufacturing a polarization beam splitter array according to the second embodiment. In the second embodiment, as shown in FIG. 14, an assembling
第2実施例においても、第1実施例と同様に、図2(A)に示す第1の透光性部材321(膜が形成された板ガラス)と、第2の透光性部材322(膜が形成されていない板ガラス)とが準備される。また、図14に示すダミーガラス324も準備される。このダミーガラス324は、偏光分離膜や反射膜が形成されていない平坦な板ガラスである。ダミーガラス324は、偏光ビームスプリッタの端部に設けられる部材であり、その厚みは第1や第2の透光性部材321,322の厚みとは異なる値に設定することができる。
In the second embodiment, as in the first embodiment, the first light-transmitting member 321 (sheet glass on which a film is formed) and the second light-transmitting member 322 (film) shown in FIG. ) Is prepared. Further, a
図14の状態にするには、まず、ダミーガラス324を水平台402の上に載置して、その上表面に光硬化性接着剤を塗布する。そして、その上に第1の透光性部材321が重ねられる。こうして、接着剤層を介して重ねられたダミーガラス324と第1の透光性部材321とを摺り合わせるようにしながら、接着剤層に含まれる気泡を追い出し、かつ、接着剤層の厚みを均一にする。この状態では、ダミーガラス324と第1の透光性部材321とは、表面張力により互いに吸着した状態になる。そして、図14に示すように、ダミーガラス324と第1の透光性部材321の側面を、垂直壁404に当接させる。また、このとき、当接する側面と垂直な側面では、ダミーガラス324と第1の透光性部材321とを、所定のズレ量ΔHだけずらしている。図15では、第1の透光性部材321の上方から紫外線(図中「UV」と記す)を照射して接着剤を硬化させる。こうして接着された板材を「第1の積層体」と呼ぶ。なお、紫外線は、透光性部材321の表面と平行でない方向から照射することが好ましい。こうすれば、接着剤層を紫外線で効率良く照射することができ、接着剤の硬化時間を短縮することができる。この結果、光学素子の製造のスループットを向上させることができる。
In order to obtain the state shown in FIG. 14, first, the
第1の積層体の上面に接着剤を塗布し、第2の透光性部材322を重ねる(図16)。この時、接着剤層を介して重ねられた第1と第2の透光性部材321,322を摺り合わせるようにしながら、接着剤層に含まれる気泡を追い出し、かつ、接着剤層の厚みを均一にする。また、第1の透光性部材321と第2の透光性部材322を、所定のズレ量ΔHだけずらしている。図17では、第2の透光性部材321の上方から紫外線を照射して接着剤を硬化させる。こうして、第2の積層体が得られる。
(4) An adhesive is applied to the upper surface of the first laminate, and the second light-
その後は、同様にして、接着剤層を介して1枚の透光性部材を積層する度に、紫外線を照射することによって、その接着剤層を硬化させることによって、図18に示す積層体が得られる。図19は、こうして得られた積層体を切断する様子を示している。積層体は、図18において、垂直壁404に当接していた側面を下にした状態で、切断台410の上に載置される。そして、平行な切断線328a,328bに沿って切断される。この後、切断面を平坦に研磨することによって、図4に示す第1実施例の偏光ビームスプリッタアレイと同様な素子が得られる。但し、第2実施例で作成される偏光ビームスプリッタアレイは、端部にダミーガラス324が設けられている。
Thereafter, similarly, each time one light-transmitting member is laminated via the adhesive layer, the laminated body shown in FIG. 18 is cured by irradiating ultraviolet rays to cure the adhesive layer. can get. FIG. 19 shows a state in which the obtained laminate is cut. The stacked body is placed on the cutting table 410 with the side that has been in contact with the
第2実施例では、接着剤層を介して1枚の透光性部材を積層する度に紫外線を照射することによって、その接着剤層を硬化させるようにしたので、透光性部材同士の位置関係を精度よく決定することができる。また、紫外線の照射では、1層の接着剤層のみを硬化させればよいので、硬化を確実に行うことができるという利点もある。なお、第1実施例の偏光ビームスプリッタアレイを、第2実施例の組立方法で組み立てることも可能である。 In the second embodiment, the adhesive layer is cured by irradiating ultraviolet rays each time one translucent member is laminated via the adhesive layer. The relationship can be determined accurately. In addition, since only one adhesive layer needs to be cured by ultraviolet irradiation, there is an advantage that the curing can be surely performed. Note that the polarizing beam splitter array of the first embodiment can be assembled by the assembling method of the second embodiment.
なお、第2実施例と同様な工程によって、1枚の第1の透光性部材321と、1枚の第2の透光性部材322とを貼り合わせることによって得られる積層体(「単位積層体」と呼ぶ)を予め複数作成しておき、これらの単位積層体を順次積層するようにしてもよい。すなわち、接着剤層を介して1つの単位積層体を積層し、接着剤層の気泡を追い出し、その後、紫外線を照射して接着剤層を硬化させるようにしてもよい。このような工程によっても、上記とほぼ同様な効果が得られる。
It should be noted that a laminate (“unit laminate”) obtained by bonding one sheet of the first light-transmitting
なお、第1実施例ないし第3実施例のいずれにおいても、透光性部材321,322の厚みの精度は、それぞれの表面を研磨する際に管理することができる。また、接着剤層の厚みは、接着剤の塗布量や、気泡の追い出し工程の際の圧力を部材表面にわたって均一にすることにより、均一にすることが可能である。
In any of the first to third embodiments, the accuracy of the thickness of the
C.偏光照明装置および映像表示装置の構成:
図6は、前述の実施例による偏光ビームスプリッタアレイを有する偏光照明装置1の要部を平面的にみた概略構成図である。この偏光照明装置1は、光源部10と、偏光発生装置20とを備えている。光源部10は、s偏光成分とp偏光成分とを含むランダムな偏光方向の光束を出射する。光源部10から出射された光束は、偏光発生装置20によって偏光方向がほぼ揃った一種類の直線偏光に変換されて、照明領域90を照明する。
C. Configuration of polarized illumination device and image display device:
FIG. 6 is a schematic configuration diagram of a main part of the polarized light illuminating device 1 having the polarized beam splitter array according to the above-described embodiment, as viewed in plan. The polarized light illumination device 1 includes a
光源部10は、光源ランプ101と、放物面リフレクター102とを備えている。光源ランプ101から放射された光は、放物面リフレクター102によって一方向に反射され、略平行な光束となって偏光発生装置20に入射する。光源部10の光源光軸Rは、システム光軸Lに対して一定の距離DだけX方向に平行にシフトした状態にある。ここで、システム光軸Lは、偏光ビームスプリッタアレイ320の光軸である。このように光源光軸Rをシフトさせる理由については後述する。
The
偏光発生装置20は、第1の光学要素200と、第2の光学要素300とを備えている。図7は、第1の光学要素200の外観を示す斜視図である。図7に示すように、第1の光学要素200は矩形状の輪郭を有する微小な光束分割レンズ201が縦横に複数配列された構成を有している。第1の光学要素200は、光源光軸R(図6)が第1の光学要素200の中心に一致するように配置されている。各光束分割レンズ201をZ方向から見た外形形状は、照明領域90の形状と相似形をなすように設定されている。本実施例では、X方向に長い横長の照明領域90を想定しているため、光束分割レンズ201のXY平面上における外形形状も横長である。
The
図6の第2の光学要素300は、集光レンズアレイ310と、偏光ビームスプリッタアレイ320と、選択位相差板380と、出射側レンズ390とを備えている。選択位相差板380は、図5で説明したように、λ/2位相差板381が第2の透光性部材322の出射面部分にのみ形成されており、第1の透光性部材321の出射面部分は無色透明となっている板状体である。なお、図6に示した偏光ビームスプリッタアレイでは、図4に示した構造のうち、両端の突出した部分を切断して略直方体形状としている。
The second
集光レンズアレイ310は、図7に示す第1の光学要素200とほぼ同様な構成を有している。すなわち、集光レンズアレイ310は、第1の光学要素200を構成する光束分割レンズ201と同数の集光レンズ311をマトリックス状に複数配列したものである。集光レンズアレイ310の中心も、光源光軸Rと一致するように配置されている。
The condensing
光源部10は、ランダムな偏光方向を有するほぼ平行な白色の光束を出射する。光源部10から出射されて第1の光学要素200に入射した光束は、それぞれの光束分割レンズ201によって中間光束202に分割される。中間光束202は、光束分割レンズ201と集光レンズ311の集光作用によって、システム光軸Lと垂直な平面内(図1ではXY平面)で収束する。中間光束202が収束する位置には、光束分割レンズ201の数と同数の光源像が形成される。なお、光源像が形成される位置は、偏光ビームスプリッタアレイ320内の偏光分離膜331の近傍である。
The
光源光軸Rがシステム光軸Lからずれているのは、光源像を偏光分離膜331の位置で結像させるためである。このずれ量Dは、偏光分離膜331のX方向の幅Wp(図6)の1/2に設定されている。前述したように、光源部10と、第1の光学要素200と、集光レンズアレイ310の中心は、光源光軸Rと一致しており、システム光軸LからD=Wp/2だけずれている。一方、図6から理解できるように、中間光束202を分離する偏光分離膜331の中心も、システム光軸LからWp/2だけずれている。従って、光源光軸Rを、システム光軸LからWp/2だけずらせることによって、偏光分離膜331のほぼ中央において光源ランプ101の光源像を結像させることができる。
The reason why the light source optical axis R is shifted from the system optical axis L is to form a light source image at the position of the
偏光ビームスプリッタアレイ320に入射された光束は、前述した図5(A)にも示したように、すべてs偏光に変換される。偏光ビームスプリッタアレイ320から出射された光束は、出射側レンズ390によって照明領域90を照明する。照明領域90は、多数の光束分割レンズ201で分割された多数の光束で照明されるので、照明領域90の全体をむらなく照明することができる。
(5) The light beam incident on the polarization
なお、第1の光学要素200に入射する光束の平行性が極めて良い場合には、第2の光学要素300から集光レンズアレイ310を省略することも可能である。
In the case where the parallelism of the light beam incident on the first
以上のように、図6に示す偏光照明装置1は、ランダムな偏光方向を有する白色の光束を特定の偏光方向の光束(s偏光またはp偏光)に変換する偏光発生部としての機能と、このような多数の偏光光束で照明領域90をむらなく照明する機能とを有している。この偏光照明装置1は、実施例による偏光ビームスプリッタアレイ320を使用しているので、従来よりも光の利用効率が高いという利点を有している。
As described above, the polarization illuminating device 1 shown in FIG. 6 functions as a polarization generation unit that converts a white light beam having a random polarization direction into a light beam having a specific polarization direction (s-polarized light or p-polarized light). The
図8は、図6に示す偏光照明装置1を備えた投写型表示装置800の要部を示す概略構成図である。この投写型表示装置800は、偏光照明装置1と、ダイクロイックミラー801,804と、反射ミラー802,807,809と、リレーレンズ806,808,810と、3枚の液晶パネル(液晶ライトバルブ)803,805,811と、クロスダイクロイックプリズム813と、投写レンズ814とを備えている。
FIG. 8 is a schematic configuration diagram showing a main part of a projection display device 800 including the polarized light illumination device 1 shown in FIG. This projection display device 800 includes a polarized light illumination device 1,
ダイクロイックミラー801,804は、白色光束を赤、青、緑の3色の色光に分離する色光分離手段としての機能を有する。3枚の液晶パネル803,805,811は、与えられた画像情報(画像信号)に従って、3色の色光をそれぞれ変調して画像を形成する光変調手段としての機能を有する。クロスダイクロイックプリズム813は、3色の色光を合成してカラー画像を形成する色光合成手段としての機能を有する。投写レンズ814は、合成されたカラー画像を表す光をスクリーン815上に投写する投写光学系としての機能を有する。
The dichroic mirrors 801 and 804 have a function as a color light separating unit that separates a white light beam into three color lights of red, blue and green. The three
青光緑光反射ダイクロイックミラー801は、偏光照明装置1から出射された白色光束の赤色光成分を透過させるとともに、青色光成分と緑色光成分とを反射する。透過した赤色光は、反射ミラー802で反射されて、赤光用液晶パネル803に達する。一方、第1のダイクロイックミラー801で反射された青色光と緑色光のうちで、緑色光は緑光反射ダイクロイックミラー804によって反射され、緑光用液晶パネル805に達する。一方、青色光は、第2のダイクロイックミラー804も透過する。
The blue light green light reflecting
この実施例では、青色光の光路長が3つの色光のうちで最も長くなる。そこで、青色光に対しては、ダイクロイックミラー804の後に、入射レンズ806と、リレーレンズ808と、出射レンズ810とを含むリレーレンズ系で構成された導光手段850が設けられている。すなわち、青色光は、緑光反射ダイクロイックミラー804を透過した後に、まず、入射レンズ806及び反射ミラー807を経て、リレーレンズ808に導かれる。さらに、反射ミラー809によって反射されて出射レンズ810に導かれ、青光用液晶パネル811に達する。なお、3枚の液晶パネル803,805,811は、図6における照明領域90に相当する。
で は In this embodiment, the optical path length of blue light is the longest of the three color lights. Therefore, for the blue light, after the
3つの液晶パネル803、805、811は、図示しない外部の制御回路から与えられた画像信号(画像情報)に従って、それぞれの色光を変調し、それぞれの色成分の画像情報を含む色光を生成する。変調された3つの色光は、クロスダイクロイックプリズム813に入射する。クロスダイクロイックプリズム813には、赤光を反射する誘電体多層膜と、青光を反射する誘電体多層膜とが十字状に形成されている。これらの誘電体多層膜によって3つの色光が合成されて、カラー映像を表す光が形成される。合成された光は、投写光学系である投写レンズ814によってスクリーン815上に投写され、映像が拡大されて表示される。
(3) The three
この投写型表示装置800では、光変調手段として、特定の偏光方向の光束(s偏光またはp偏光)を変調するタイプの液晶パネル803,805,811が用いられている。これらの液晶パネルには、入射側と出射側にそれぞれ偏光板(図示せず)が貼り付けられているのが普通である。従って、ランダムな偏光方向を有する光束で液晶パネルを照射すると、その光束のうちの約半分は、液晶パネルの偏光板で吸収されて熱に変わってしまう。この結果、光の利用効率が低く、また、偏光板が発熱するという問題が生じる。しかし、図8に示す投写型表示装置800では、偏光照明装置1によって、液晶パネル803,805,811を通過する特定の偏光方向の光束を生成しているので、液晶パネルの偏光板における光の吸収や発熱の問題が大幅に改善されている。また、この投写型表示装置800は、実施例による偏光ビームスプリッタアレイ320を使用しているので、投写型表示装置800全体の光の利用効率が、これによって高められているという利点もある。
In the projection display device 800,
なお、偏光ビームスプリッタアレイ320の反射膜332は、液晶パネル803,805,811の変調対象となる特定の偏光成分(例えばs偏光)のみを選択的に反射する性質を有する誘電体多層膜で形成することが好ましい。こうすれば、液晶パネル803,805,811における光の吸収や発熱の問題をさらに改善することができる。この結果、投写型表示装置80全体としての光の利用効率をさらに高めることができる。
The
以上のように、この実施例による偏光ビームスプリッタアレイを用いることによって、投写型表示装置における光の利用効率を従来に比べて高めることができる。従って、スクリーン815上に投写される映像をより明るくすることができる。
As described above, by using the polarizing beam splitter array according to this embodiment, the light use efficiency of the projection display device can be increased as compared with the related art. Therefore, the image projected on the
なお、この発明は上記の実施例や実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の態様において実施することが可能であり、例えば次のような変形も可能である。 The present invention is not limited to the above-described examples and embodiments, and can be carried out in various modes without departing from the gist of the present invention. For example, the following modifications are possible.
(1)本発明による偏光ビームスプリッタアレイは、図8に示す投写型表示装置に限らず、これ以外の種々の装置に適用することが可能である。例えば、カラー画像でなく、白黒画像を投写する投写型表示装置にも本発明による偏光ビームスプリッタアレイを適用することができる。この場合には、図8の装置において、液晶パネルが1枚で済み、また、光束を3色に分離する色光分離手段と、3色の光束を合成する色光合成手段とを省略できる。 (1) The polarizing beam splitter array according to the present invention is not limited to the projection display device shown in FIG. 8, but can be applied to various other devices. For example, the polarizing beam splitter array according to the present invention can be applied to a projection display device that projects a black and white image instead of a color image. In this case, in the apparatus of FIG. 8, only one liquid crystal panel is required, and the color light separating means for separating the light beam into three colors and the color light combining means for combining the light beams of three colors can be omitted.
(2)図5に示す実施例において、第2の透光性部材の入射面から光が入射しないような遮光手段を設けるようにしてもよい。図9(A)は、図5(A)に示す実施例の光学素子の前に、遮光プレート340を設けた状態を示す説明図である。この遮光プレート340には、光を遮断する遮光部341と、光を透過させる透光部342とが交互に形成されている。遮光プレート340は、例えば板ガラス等の透光性の板材の表面に、遮光部341として光の反射膜や吸収膜を形成することによって作成される。遮光部341は、入射面327を遮光するように、第2の透光性部材322の入射面327に対応して設けられている。
(2) In the embodiment shown in FIG. 5, a light blocking means for preventing light from entering from the incident surface of the second light transmitting member may be provided. FIG. 9A is an explanatory diagram showing a state in which a
図9(B)は、遮光プレート340が設けられていない場合に、第2の透光性部材322の入射面327に入射される光の光路を示している。入射面327に入射した光は、反射膜332aで反射された後に、その上方の分離膜331でs偏光とp偏光に分離される。p偏光は、λ/2位相差板381でs偏光に変換される。一方、s偏光は、上方の反射膜332bで反射されて出射面326から出射する。図9(B)からわかるように、入射面327から入射した光のs偏光成分は、上方の反射膜332bに至るまでの間に、最初の光学接着剤層325aを2回通過し、次の光学接着剤層325bを1回通過する。一方、p偏光成分は、λ/2位相差板381に至るまでの間に、2つの光学接着剤層325a,325bをそれぞれ2回通過する。このように、遮光プレート340を設けない場合には、第2の透光性部材322の入射面327に入射した光が、光学接着剤層325を何回も通過することになる。そこで、図9(A)のように、遮光プレート340を設けることによって、このような光を遮光することができる。
FIG. 9B illustrates an optical path of light incident on the
なお、遮光プレート340を偏光ビームスプリッタアレイ320と別個に設ける代わりに、第2の透光性部材322の入射面327の上に、アルミニウム製の反射膜等で遮光部341を形成するようにしてもよい。
Instead of providing the light-shielding
1…偏光照明装置
10…光源部
20…偏光発生装置
22…偏光ビームスプリッタアレイ
30…偏光ビームスプリッタ
32,34,42,44…直角プリズム
36…偏光分離膜
40…プリズム
46…反射膜
80…投写型表示装置
90…照明領域
101…光源ランプ
102…放物面リフレクター
200…第1の光学要素
201…光束分割レンズ
202…中間光束
300…第2の光学要素
310…集光レンズアレイ
311…集光レンズ
320…偏光ビームスプリッタアレイ
321…第1の透光性部材
322…第2の透光性部材
325…光学接着剤層
326…出射面
327…入射面
331…偏光分離膜
332…反射膜
340…遮光プレート
341…遮光部
342…透光部
380…選択位相差板
381…λ/2位相差板
390…出射側レンズ
800…投写型表示装置
801…青光緑光反射ダイクロイックミラー
802,807,809…反射ミラー
803,805,811…液晶パネル
804…緑光反射ダイクロイックミラー
806…入射レンズ
807…反射ミラー
808…リレーレンズ
809…反射ミラー
810…出射レンズ
813…クロスダイクロイックプリズム
814…投写レンズ
815…スクリーン
850…導光手段
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ...
Claims (20)
光入射面と、前記光入射面にほぼ平行な光出射面とを有し、前記光入射面および光出射面と所定の角度をなすように形成されたほぼ平行な第1および第2の膜形成面と、前記第1の膜形成面上に形成された偏光分離膜と、前記第2の膜形成面上に形成された反射膜と、をそれぞれ備える複数の第1の透光性部材と、
前記複数の第1の透光性部材と交互に貼り合わされ、前記複数の第1の透光性部材の前記光入射面および光出射面とそれぞれ同一平面に形成された光入射面および光出射面をそれぞれ有する複数の第2の透光性部材と、
を備えることを特徴とする光学素子。 An optical element,
First and second substantially parallel films having a light incident surface and a light exit surface substantially parallel to the light incident surface, and formed at a predetermined angle with the light incident surface and the light exit surface. A plurality of first light-transmissive members each including a forming surface, a polarization separating film formed on the first film forming surface, and a reflecting film formed on the second film forming surface; ,
A light incident surface and a light exit surface that are alternately bonded to the plurality of first light transmissive members and are respectively formed on the same plane as the light incident surface and the light exit surface of the plurality of first light transmissive members. A plurality of second translucent members each having
An optical element comprising:
前記反射膜は誘電体多層膜で形成されている、光学素子。 The optical element according to claim 1,
The optical element, wherein the reflection film is formed of a dielectric multilayer film.
前記第1の透光性部材の前記光出射面または前記第2の透光性部材の前記光出射面に対応して設けられた偏光方向変換手段を備える、光学素子。 The optical element according to claim 1 or 2, further comprising:
An optical element comprising: a polarization direction changing unit provided corresponding to the light exit surface of the first light transmissive member or the light exit surface of the second light transmissive member.
前記第2の透光性部材の前記光入射面に対応して設けられた遮光手段を有する、光学素子。 The optical element according to claim 1 or 2, further comprising:
An optical element having a light blocking means provided corresponding to the light incident surface of the second light transmitting member.
前記第1と第2の透光性部材の間の境界面に接着剤層をそれぞれ有しており、
前記偏光分離膜と前記反射膜の間隔が前記光学素子を通じてほぼ等しくなるように、前記第1と第2の透光性部材の厚みと前記接着剤層の厚みとのうちの少なくとも一部が設定されている、光学素子。 An optical element according to any one of claims 1 to 4, wherein
An adhesive layer is provided on an interface between the first and second translucent members, respectively.
At least a part of the thickness of the first and second translucent members and the thickness of the adhesive layer is set so that the distance between the polarization splitting film and the reflection film is substantially equal through the optical element. Optical element.
前記第2の透光性部材の厚みが、前記第1の透光性部材の厚みよりも小さく設定されている、光学素子。 The optical element according to claim 5, wherein
An optical element, wherein the thickness of the second light transmitting member is set smaller than the thickness of the first light transmitting member.
前記第2の透光性部材の厚みが、前記第1の透光性部材の厚みの約80%ないし約90%の範囲である、光学素子。 The optical element according to claim 6,
An optical element wherein the thickness of the second light transmissive member is in a range from about 80% to about 90% of the thickness of the first light transmissive member.
前記第1の透光性部材の厚みが、前記第2の透光性部材の厚みに前記接着剤層の厚みの2倍を加算した値にほぼ等しい、光学素子。 The optical element according to claim 5, wherein:
An optical element, wherein the thickness of the first light transmitting member is substantially equal to a value obtained by adding twice the thickness of the adhesive layer to the thickness of the second light transmitting member.
前記光学素子は、前記光学素子の光入射面側に配列された複数の小レンズとともに使用される光学素子であり、
前記光学素子内の複数の前記偏光分離膜の相互の間隔が、前記複数の小レンズのピッチとほぼ対応するように設定されている、光学素子。 An optical element according to any one of claims 1 to 4, wherein
The optical element is an optical element used with a plurality of small lenses arranged on the light incident surface side of the optical element,
An optical element, wherein an interval between the plurality of polarization split films in the optical element is set to substantially correspond to a pitch of the plurality of small lenses.
前記第1と第2の透光性部材の間の境界面に接着剤層をそれぞれ有しており、
前記複数の偏光分離膜の相互の間隔が前記複数の小レンズのレンズ光軸のピッチとほぼ対応するように、前記第1と第2の透光性部材の厚みと前記接着剤層の厚みとのうちの少なくとも一部が設定されている、光学素子。 The optical element according to claim 9,
An adhesive layer is provided on an interface between the first and second translucent members, respectively.
The thickness of the first and second light-transmissive members and the thickness of the adhesive layer such that the interval between the plurality of polarization separation films substantially corresponds to the pitch of the lens optical axes of the plurality of small lenses. An optical element, at least a part of which is set.
前記複数の小レンズは複数の異なるレンズ光軸ピッチを有しており、
前記複数の偏光分離膜の相互の間隔は、前記複数の異なるレンズ光軸ピッチとほぼ対応するように、前記第1と第2の透光性部材の厚みと前記接着剤層の厚みとのうちの少なくとも一部が設定されている、光学素子。 The optical element according to claim 10,
The plurality of small lenses have a plurality of different lens optical axis pitches,
The distance between the plurality of polarized light separating films is substantially equal to the plurality of different lens optical axis pitches, and the distance between the thickness of the first and second translucent members and the thickness of the adhesive layer is selected. An optical element, at least a part of which is set.
前記光学素子は、前記光学素子の光入射面側に配列された複数の小レンズとともに使用される光学素子であり、
前記光学素子内の複数の前記偏光分離膜の相互の間隔が、前記複数の小レンズから出射される複数の光束のピッチとほぼ対応するように設定されている、光学素子。 An optical element according to any one of claims 1 to 4, wherein
The optical element is an optical element used with a plurality of small lenses arranged on the light incident surface side of the optical element,
An optical element, wherein an interval between the plurality of polarization split films in the optical element is set to substantially correspond to a pitch of a plurality of light beams emitted from the plurality of small lenses.
前記第1と第2の透光性部材の間の境界面に接着剤層をそれぞれ有しており、
前記複数の偏光分離膜の相互の間隔が前記複数の小レンズから出射される複数の光束のピッチとほぼ対応するように、前記第1と第2の透光性部材の厚みと前記接着剤層の厚みとのうちの少なくとも一部が設定されている、光学素子。 The optical element according to claim 12, wherein
An adhesive layer is provided on an interface between the first and second translucent members, respectively.
The thickness of the first and second light-transmitting members and the thickness of the adhesive layer such that a mutual interval between the plurality of polarization separation films substantially corresponds to a pitch of a plurality of light beams emitted from the plurality of small lenses. An optical element, at least a part of which is set.
(a)ほぼ平行な第1および第2の表面を有する第1の透光性板材の前記第1の表面上に偏光分離膜を形成する工程と、
(b)前記第1の透光性板材の前記第2の表面上に反射膜を形成する工程と、
(c)前記偏光分離膜および反射膜が形成された複数の前記第1の透光性板材と、2つのほぼ平行な表面を有する複数の第2の透光性板材とをそれぞれ交互に貼り合わせる工程と、
(d)前記交互に貼り合わされた透光性板材を、前記第1および第2の表面に対して所定の角度で切断してほぼ平行な光入射面と光出射面とを有する光学素子ブロックを生成する工程と、
を有する光学素子の製造方法。 A method for manufacturing an optical element, comprising:
(A) forming a polarization splitting film on the first surface of a first light-transmitting plate having substantially parallel first and second surfaces;
(B) forming a reflective film on the second surface of the first translucent plate;
(C) The plurality of first light-transmitting plate members on which the polarization separation film and the reflection film are formed, and the plurality of second light-transmitting plate members having two substantially parallel surfaces are alternately bonded to each other. Process and
(D) cutting the translucent plate members alternately bonded to each other at a predetermined angle with respect to the first and second surfaces to form an optical element block having a light incidence surface and a light emission surface which are substantially parallel to each other; Generating,
A method for producing an optical element having:
(e)前記光学素子ブロックの前記光入射面と前記光出射面とを研磨する工程、
を備える光学素子の製造方法。 The method for manufacturing an optical element according to claim 14, further comprising:
(E) polishing the light incident surface and the light exit surface of the optical element block;
The manufacturing method of the optical element provided with.
前記工程(c)は、複数の前記第1の透光性板材と複数の前記第2の透光性板材とを光硬化性接着層を介して交互に積層し、光照射により貼り合わせる工程、
を備える光学素子の製造方法。 It is a manufacturing method of the optical element of Claim 14 or Claim 15, Comprising:
The step (c) is a step of alternately laminating a plurality of the first translucent plate members and a plurality of the second translucent plate members via a photocurable adhesive layer and bonding them by light irradiation;
The manufacturing method of the optical element provided with.
前記工程(c)は、
(1)1枚の前記第1の透光性部材と、1枚の前記第2の透光性部材との間に光硬化性接着層を介して重ね合わせることによって積層体を形成する工程と、
(2)前記積層体に光を照射することによって前記光硬化性接着層を硬化させる工程と、
(3)前記積層体に、前記光硬化性接着層を介して前記第1の透光性部材と前記第2の透光性部材とを交互に重ねてゆき、この際、1枚の部材を重ねる度に前記積層体に光を照射することによって前記光硬化性接着層を硬化させる工程と、
を備える光学素子の製造方法。 It is a manufacturing method of the optical element of Claim 14 or Claim 15, Comprising:
The step (c) comprises:
(1) forming a laminate by laminating one sheet of the first translucent member and one sheet of the second translucent member via a photocurable adhesive layer; ,
(2) curing the photocurable adhesive layer by irradiating the laminate with light;
(3) The first light-transmissive member and the second light-transmissive member are alternately stacked on the laminate via the photocurable adhesive layer. A step of curing the photocurable adhesive layer by irradiating the laminate with light each time it is stacked,
The manufacturing method of the optical element provided with.
前記工程(c)は、
(1)1枚の前記第1の透光性部材と、1枚の前記第2の透光性部材との間に光硬化性接着層を介して重ね合わせることによって積層体を形成する工程と、
(2)前記積層体に光を照射することによって前記光硬化性接着層を硬化させる工程と、
(3)前記工程(1)および工程(2)で作成された複数の積層体を、前記光硬化性接着剤層を介して交互に重ねてゆき、この際、1つの積層体を重ねる度に光を照射することによって前記光硬化性接着層を硬化させる工程と、
を備える光学素子の製造方法。 It is a manufacturing method of the optical element of Claim 14 or Claim 15, Comprising:
The step (c) comprises:
(1) forming a laminate by laminating one sheet of the first translucent member and one sheet of the second translucent member via a photocurable adhesive layer; ,
(2) curing the photocurable adhesive layer by irradiating the laminate with light;
(3) The plurality of laminates created in the steps (1) and (2) are alternately stacked via the photocurable adhesive layer. In this case, each time one laminate is stacked Curing the photocurable adhesive layer by irradiating light,
The manufacturing method of the optical element provided with.
前記光の照射を前記透光性部材の表面と平行でない方向から行う、
光学素子の製造方法。 A method for manufacturing an optical element according to any one of claims 16 to 18, wherein
The light irradiation is performed from a direction that is not parallel to the surface of the translucent member,
A method for manufacturing an optical element.
前記光学素子からの出射光を一種類の偏光光に変換する偏光変換手段と、
前記偏光変換手段からの出射光を、与えられた画像信号に基づいて変調する変調手段と、
前記変調手段により変調された光束を投写する投写光学系と、
を備える投写型表示装置。 An optical element according to any one of claims 1 to 13,
Polarization conversion means for converting the light emitted from the optical element to one type of polarized light,
Modulation means for modulating the light emitted from the polarization conversion means based on a given image signal,
A projection optical system that projects the light beam modulated by the modulation unit,
Projection display device comprising:
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003360299A JP2004110053A (en) | 1996-07-25 | 2003-10-21 | Method for manufacturing optical element |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21537796 | 1996-07-25 | ||
JP2003360299A JP2004110053A (en) | 1996-07-25 | 2003-10-21 | Method for manufacturing optical element |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000066380A Division JP3515471B2 (en) | 1996-07-25 | 2000-03-10 | Optical element manufacturing method |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004110053A true JP2004110053A (en) | 2004-04-08 |
Family
ID=16671297
Family Applications (5)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000066397A Pending JP2000298212A (en) | 1996-07-25 | 2000-03-10 | Optical device, production thereof and projection-type display device |
JP2000066380A Expired - Lifetime JP3515471B2 (en) | 1996-07-25 | 2000-03-10 | Optical element manufacturing method |
JP2002305749A Withdrawn JP2003215345A (en) | 1996-07-25 | 2002-10-21 | Polarization lighting device |
JP2002305787A Withdrawn JP2003202421A (en) | 1996-07-25 | 2002-10-21 | Manufacturing method for optical element |
JP2003360299A Pending JP2004110053A (en) | 1996-07-25 | 2003-10-21 | Method for manufacturing optical element |
Family Applications Before (4)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000066397A Pending JP2000298212A (en) | 1996-07-25 | 2000-03-10 | Optical device, production thereof and projection-type display device |
JP2000066380A Expired - Lifetime JP3515471B2 (en) | 1996-07-25 | 2000-03-10 | Optical element manufacturing method |
JP2002305749A Withdrawn JP2003215345A (en) | 1996-07-25 | 2002-10-21 | Polarization lighting device |
JP2002305787A Withdrawn JP2003202421A (en) | 1996-07-25 | 2002-10-21 | Manufacturing method for optical element |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (5) | JP2000298212A (en) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4946342B2 (en) * | 2005-11-24 | 2012-06-06 | セイコーエプソン株式会社 | Polarization conversion device and projector |
JP5022959B2 (en) * | 2008-03-24 | 2012-09-12 | 株式会社日立製作所 | Defect inspection system using catadioptric objective lens |
JP5195354B2 (en) | 2008-12-01 | 2013-05-08 | セイコーエプソン株式会社 | Optical element |
JP2011081300A (en) * | 2009-10-09 | 2011-04-21 | Pioneer Electronic Corp | Method for manufacturing reflection type plane-symmetric imaging element |
JP5541056B2 (en) | 2010-10-01 | 2014-07-09 | セイコーエプソン株式会社 | Polarization conversion element, polarization conversion unit, projection device, and method of manufacturing polarization conversion element |
JP5919622B2 (en) | 2011-01-21 | 2016-05-18 | セイコーエプソン株式会社 | Polarization conversion element, polarization conversion unit, and projection type image apparatus |
JP2012226121A (en) | 2011-04-20 | 2012-11-15 | Seiko Epson Corp | Polarization conversion element, polarization conversion unit, and projection device |
JP2012247705A (en) | 2011-05-30 | 2012-12-13 | Seiko Epson Corp | Polarization conversion element, polarization conversion unit, and projection type video device |
JP2012128456A (en) * | 2012-03-22 | 2012-07-05 | Pioneer Electronic Corp | Method of manufacturing reflective plane-symmetric imaging element |
JP5318242B2 (en) * | 2012-03-22 | 2013-10-16 | パイオニア株式会社 | Method for manufacturing a reflection-type plane-symmetric imaging element |
-
2000
- 2000-03-10 JP JP2000066397A patent/JP2000298212A/en active Pending
- 2000-03-10 JP JP2000066380A patent/JP3515471B2/en not_active Expired - Lifetime
-
2002
- 2002-10-21 JP JP2002305749A patent/JP2003215345A/en not_active Withdrawn
- 2002-10-21 JP JP2002305787A patent/JP2003202421A/en not_active Withdrawn
-
2003
- 2003-10-21 JP JP2003360299A patent/JP2004110053A/en active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2000298212A (en) | 2000-10-24 |
JP3515471B2 (en) | 2004-04-05 |
JP2003215345A (en) | 2003-07-30 |
JP2003202421A (en) | 2003-07-18 |
JP2000292619A (en) | 2000-10-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100523874B1 (en) | Optical element suitable for projection display apparatus | |
JP3298437B2 (en) | Optical element, polarized illumination device and projection display device | |
JP3832076B2 (en) | Polarized illumination device and projection display device | |
JP3633376B2 (en) | Method for manufacturing polarization separation device | |
KR20070083716A (en) | Polarization conversion element, polarization conversion optical system and image projecting apparatus | |
WO1998019211A1 (en) | Projection display and illuminating optical system therefor | |
JP3515471B2 (en) | Optical element manufacturing method | |
JP3486516B2 (en) | Optical element | |
JP2001021719A (en) | Polarization separation element, polarization converting element and projection type display device | |
JP2000284229A (en) | Optical element and projection type display device | |
JPH1039136A (en) | Optical element and projection type display device | |
JP3671643B2 (en) | Polarization separation element and method for manufacturing the same, polarization conversion element, and projection display device | |
JP2003156625A (en) | Projection type display device | |
KR100474524B1 (en) | Optical element for projection display device | |
JP3367501B2 (en) | Optical element manufacturing method | |
JPH10319349A (en) | Polarized light converting element and projecting device using the same | |
JP3298579B2 (en) | Polarized illumination device | |
JP3298580B2 (en) | Projection display device | |
JP2000305047A (en) | Optical element, polarized light illuminating device and projection display device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A132 Effective date: 20070911 |
|
A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20080527 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |