JP2004106217A - Ink jet head and ink jet recorder equipped with the same - Google Patents

Ink jet head and ink jet recorder equipped with the same Download PDF

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JP2004106217A
JP2004106217A JP2002268514A JP2002268514A JP2004106217A JP 2004106217 A JP2004106217 A JP 2004106217A JP 2002268514 A JP2002268514 A JP 2002268514A JP 2002268514 A JP2002268514 A JP 2002268514A JP 2004106217 A JP2004106217 A JP 2004106217A
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain an ink jet head in which pressure variation in a common liquid chamber incident to pressure variation in a pressure chamber is reduced. <P>SOLUTION: The ink jet head comprises a plurality of pressure chambers 11 being filled with ink liquid, a common liquid chamber 13 communicating with the pressure chambers 11 and supplying ink thereto, a plurality of first actuators 12 formed on the pressure chambers 11 in order to eject ink liquid in the pressure chambers 11 from nozzle holes 15 by varying the volume of the pressure chambers 11, and second actuators 14 formed on the common liquid chamber 13 and displacing to cancel a pressure variation in the common liquid chamber 13 caused by displacement of the first actuators 12. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、インクジェットヘッドおよびそれを備えたインクジェット式記録装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
インクジェット式記録装置のインクジェットヘッドは、インク液を収容する圧力室の容積をアクチュエータの変位により変化させてノズル孔からインク滴を吐出し、これを記録媒体に着弾させることにより印刷を行っている。
【0003】
インクジェットヘッドは、図16(a)に示すように、区画壁10で区画されてインク液が充填される複数の圧力室11を備えており、それぞれの圧力室11に対応してアクチュエータ12が設けられている。また、インク滴が吐出されるノズル孔15、および圧力室11内へインク液を供給する共通液室13が圧力室11に連通して形成されている。
【0004】
アクチュエータ12は、圧電体膜16と、この圧電体膜16に電圧を印加して収縮・伸張させる上方の個別電極17および下方の振動板兼共通電極18とを備えており、圧電体膜16の圧電効果により圧力室11の容積を変化させてインク滴をノズル孔15から吐出させる。
【0005】
このような構成を有するインクジェットヘッドの電極17,18に電圧を印加してアクチュエータ12を変位させると(図16(b))、圧力室11内で発生した圧力波が共通液室13内へ伝播して共通液室13内の圧力が変動する。すると、図16(c)で示すように、共通液室13内の圧力変動が逆に圧力室11内に影響を与えてしまい、吐出の安定化を図ることができない。
【0006】
そこで、このような共通液室13内の圧力変動を緩和する技術として、たとえば特開2001−6304号公報で開示されたインクジェットヘッドがある。すなわち、当該公報に記載の技術は、共通液室の壁面を振動板として動作させるもので、これにより圧力室にて発生する圧力波を振動板の撓みによって吸収し、共通液室にて圧力変動を緩和している。
【0007】
ここで、インクジェットヘッドを高密度化していくと圧力室間ピッチが狭まるため、圧力室から共通液室への圧力波の伝播も大きくなる。
【0008】
そして、高密度化されたインクジェットヘッドに対して前述した従来の技術を適用して十分な効果を得るには、振動板を薄くするか振動板の面積を広くする必要がある。
【0009】
【特許文献1】
特開2001−6304号公報
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、振動板を薄くすると、部材としての強度が低下して組み立て難くなったり、ヘッドの剛性が低下する。また、振動板の面積を広くすると、ヘッドが大きくなってしまい、小型化の要請に反する。
【0011】
そこで、本発明は、圧力室の圧力変動に伴う共通液室の圧力変動を緩和することのできる技術を提供することを目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】
この課題を解決するために、本発明のインクジェットヘッドは、インク液が充填される複数の圧力室と、圧力室に連通して形成され、圧力室内へインク液を供給する共通液室と、圧力室上に形成され、圧力室の容積を変化させて当該圧力室内のインク液をノズル孔から吐出させる複数の第1のアクチュエータと、共通液室上に形成され、第1のアクチュエータの変位による共通液室内の圧力変動を打ち消すように変位する第2のアクチュエータとを有する構成としたものである。
【0013】
このように、共通液室上に第2のアクチュエータを形成し、圧力室上に形成された第1のアクチュエータの変位による共通液室に対する圧力変動を第2のアクチュエータの変位で能動的に打ち消しているので、圧力室の圧力変動に伴う共通液室の圧力変動を緩和することが可能になる。
【0014】
【発明の実施の形態】
本発明の請求項1に記載の発明は、インク液が充填される複数の圧力室と、圧力室に連通して形成され、圧力室内へインク液を供給する共通液室と、圧力室上に形成され、圧力室の容積を変化させて当該圧力室内のインク液をノズル孔から吐出させる複数の第1のアクチュエータと、共通液室上に形成され、第1のアクチュエータの変位による共通液室内の圧力変動を打ち消すように変位する第2のアクチュエータとを有するインクジェットヘッドであり、圧力室の圧力変動に伴う共通液室の圧力変動を緩和することが可能になるという作用を有する。
【0015】
本発明の請求項2に記載の発明は、請求項1記載の発明において、第2のアクチュエータは、それぞれの第1のアクチュエータに対向して延びる複数の主部と、これら主部相互間を連結する連結部とから構成されるインクジェットヘッドであり、圧力室の圧力変動に伴う共通液室の圧力変動を緩和することが可能になるという作用を有する。
【0016】
本発明の請求項3に記載の発明は、請求項1記載の発明において、第2のアクチュエータは、それぞれの第1のアクチュエータに対向して分割形成され、相互に独立した電圧が印加されるインクジェットヘッドであり、圧力室の圧力変動に伴う共通液室の圧力変動を緩和することが可能になるという作用を有する。
【0017】
本発明の請求項4に記載の発明は、請求項1〜3の何れか一項に記載の発明において、第2のアクチュエータは、共通液室上の第1のアクチュエータ側端とその反対側端から所定の長さだけ第1のアクチュエータ側寄りの位置との間に形成されているインクジェットヘッドであり、圧力室の圧力変動に伴う共通液室の圧力変動を緩和することが可能になるという作用を有する。
【0018】
本発明の請求項5に記載の発明は、請求項1〜4の何れか一項に記載のインクジェットヘッドを備えたインクジェット式記録装置であり、共通液室の圧力変動が緩和されることから、印字画像の高品質化を図ることが可能になるという作用を有する。
【0019】
以下、本発明の実施の形態について、図1から図15を用いて説明する。なお、これらの図面において同一の部材には同一の符号を付しており、また、重複した説明は省略されている。
【0020】
図1は本発明の一実施の形態であるインクジェットヘッドが用いられたインクジェット式記録装置の全体概略構成を示す斜視図、図2は本発明の一実施の形態であるインクジェットヘッドを示す平面図、図3は図2のA−A線に沿った断面図、図4は本発明の一実施の形態であるインクジェットヘッドの駆動機構を示すブロック図、図5は本発明の一実施の形態であるインクジェットヘッドにおける圧力室と共通液室との圧力変動の状態を示す説明図、図6は本発明の一実施の形態であるインクジェットヘッドにおける第1のアクチュエータへの印加電圧を示すグラフ、図7は本発明の一実施の形態であるインクジェットヘッドにおける第1のアクチュエータの変位量を示すグラフ、図8は本発明の一実施の形態であるインクジェットヘッドにおいて第1のアクチュエータのみに電圧を印加した場合における共通液室の圧力変動を示すグラフ、図9は本発明の一実施の形態であるインクジェットヘッドにおける第2のアクチュエータへの印加電圧を示すグラフ、図10は本発明の一実施の形態であるインクジェットヘッドにおいて第1のアクチュエータおよび第2のアクチュエータに電圧を印加した場合における共通液室の圧力変動を示すグラフ、図11は本発明の一実施の形態であるインクジェットヘッドにおいて第1のアクチュエータおよび第2のアクチュエータに電圧を印加した場合における第1のアクチュエータの変位量を示すグラフ、図12は本発明の他の実施の形態であるインクジェットヘッドを示す平面図、図13は本発明のさらに他の実施の形態であるインクジェットヘッドを示す平面図、図14は本発明のさらに他の実施の形態であるインクジェットヘッドを示す断面図、図15は図14のインクジェットヘッドにおける第2のアクチュエータの変位を示す説明図である。
【0021】
図1に示すインクジェット式記録装置40は、アクチュエータである強誘電体素子の圧電効果を利用して記録を行う本発明のインクジェットヘッド41を備え、このインクジェットヘッド41から吐出したインク滴を紙等の記録媒体42に着弾させて、記録媒体42に記録を行うものである。インクジェットヘッド41は、主走査方向Xに配置したキャリッジ軸43に設けられたキャリッジ44に搭載されていて、キャリッジ44がキャリッジ軸43に沿って往復動するのに応じて、主走査方向Xに往復動する。さらに、インクジェット式記録装置40は、記録媒体42をインクジェットヘッド41の幅方向(すなわち、主走査方向X)と略垂直方向の副走査方向Yに移動させる複数個のローラ(移動手段)45を備える。
【0022】
次に、インクジェットヘッド41の構造の一実施の形態について、図2および図3を用いて説明する。
【0023】
これらの図面に示すように、インクジェットヘッドは、区画壁10で区画されてインク液が充填される複数の圧力室11を備えており、それぞれの圧力室11に対応して第1のアクチュエータ(アクチュエータ)12が設けられている。そして、圧力室11に連通して、インク滴が吐出するノズル孔15が形成されている。
【0024】
また、圧力室11と隣接する位置には、インク液供給方向に並ぶ圧力室11内へインク液を供給する共通液室13が圧力室11に連通して形成されている。そして、共通液室13には第2のアクチュエータ14が形成されている。
【0025】
ここで、第1のアクチュエータ12および第2のアクチュエータ14は、圧電体膜16と、この圧電体膜16に電圧を印加して変位(収縮・伸張)させる上方の個別電極17及び下方の振動板兼共通電極18とを備えている。
【0026】
そして、第1のアクチュエータ12は、電極17,18への電圧印加による圧電体膜16の圧電効果により変位し、圧力室11の容積を変化させて圧力室11内のインク液をノズル孔15から吐出させる。
【0027】
また、第2のアクチュエータ14は、電極17,18への電圧印加により、このような第1のアクチュエータ12の変位により圧力室11内で発生した圧力波が共通液室13内へ伝播することにより生じる共通液室13内の圧力変動を打ち消すように変位する。
【0028】
なお、本実施の形態では共通電極と振動板とを一体とした構造(振動板が共通電極を兼ねている)となっているが、両者は別々に形成されていてもよい。その場合には、区画壁10の上に振動板を形成し、その上に共通電極が形成される。
【0029】
本実施の形態において、個別電極17は例えばPt(白金)で、圧電体膜16は例えばチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)で、振動板兼共通電極18は例えばCu(銅)で、それぞれ形成されている。また、個別電極17は例えば厚さ0.2μmに、圧電体膜16は例えば厚さ3μmに、振動板兼共通電極18は例えば厚さ5.5μmに、各々成膜されている。すなわち、第1のアクチュエータの膜構造と第2のアクチュエータの膜構造とを同一にしているので、両アクチュエータ12、14の特性を似たものとすることができ、両アクチュエータの制御を容易に行なうことができる。
【0030】
また、個別電極17、圧電体膜16、振動板兼共通電極18などの形成方法は、公知の各種の膜形成法、例えばスクリーン印刷の如き厚膜法やディッピング等の塗布法、スパッタリング法、CVD法、真空蒸着法、ゾルゲル法、メッキ等の薄膜形成法等が適宜採用され、さらにその形を形成するために、エッチング等による型抜きも可能であり得るが、それらに何等限定されるものではない。
【0031】
そして、第1のアクチュエータ12と、第2のアクチュエータ14とは、同一の工法で作製されていることが好ましく、さらに、同一の工程で作製されていることにより、両アクチュエータの膜構成及び特性がほぼ同一となるので、経年変化や温度変化等が、ほぼ同一になるので、制御等が行ないやすいので好ましいです。
【0032】
なお、本実施の形態に示す振動板兼共通電極18、圧電体膜16、個別電極17のそれぞれの膜間には、例えばそれぞれの膜の接合を良くするなどの目的で、これら以外の層を介在させてもよい。
【0033】
次に、本実施の形態のインクジェットヘッドの駆動機構について図4を用いて説明する。
【0034】
図示するように、第1の駆動波形発生回路19と第2の駆動波形発生回路20とが設けられている。
【0035】
第1の駆動波形発生回路19で生成された第1の駆動波形は選択回路21に入力され、選択回路21において制御信号により第1の駆動波形の印加される第1のアクチュエータ12が選択される。そして、選択された第1のアクチュエータ12に対して選択回路21から第1の駆動波形が印加される。
【0036】
また、第2の駆動波形生成回路20で生成された第2の駆動波形は第2のアクチュエータ14に印加される。そして、第2のアクチュエータ14に印加される第2の駆動波形は、第1の駆動波形の印加された第1のアクチュエータ12の変位による共通液室13内の圧力変動を打ち消すような波形となっている。
【0037】
すなわち、図5(a)に示すインクジェットヘッドにおいて第1のアクチュエータ12に電圧を印加すると、図5(b)に示すように圧電体膜16が変形して振動板兼共通電極18が撓んで圧力室11の圧力が上昇し、ノズル孔15からインク滴が吐出する。そして、このときの圧力室11の圧力変動は、圧力室11と連通している共通液室13へと伝播される。このままであれば、第1のアクチュエータ12の動作により共通液室13の圧力が上昇するが、前述のように、本願では共通液室13内の圧力変動を打ち消すように第2のアクチュエータ14を変位させるので、図5(c)に示すように、共通液室13内の圧力変動が緩和されることになる。
【0038】
ここで、第1のアクチュエータ12にたとえば図6に示す波形の電圧が印加されたとすると、この第1のアクチュエータ12の振動板は図7に示すように変位する。すると、図8に示すように、第1のアクチュエータ12の振動に伴う圧力室11の圧力が共通液室13へ伝わって圧力が上昇し、徐々に減衰していく。このとき、第2のアクチュエータ14にたとえば図9に示す波形の電圧を印加すると、図10に示すように共通液室13内の圧力変動を打ち消すことができる。なお、この場合における第1のアクチュエータ12の変位量は図11に示すようになる。
【0039】
このように、本実施の形態によれば、共通液室13上に第2のアクチュエータ14を形成し、圧力室11上に形成された第1のアクチュエータ12の変位による共通液室13に対する圧力変動を第2のアクチュエータ14の変位で能動的に打ち消しているので、圧力室11の圧力変動に伴う共通液室13の圧力変動を緩和することが可能になる。
【0040】
そして、このように第2のアクチュエータ14で共通液室13の圧力変動を能動的に吸収しているので、圧力変動の吸収効率がよく、且つ共通液室13が大型化することもない。
【0041】
また、第2のアクチュエータ14は第1のアクチュエータと同じ工程で、且つ同一の部材で形成できるので、コストが上昇することがない。
【0042】
さらに、第2のアクチュエータ14は個別制御の必要がなく、一体電極で同一波形で制御できるため、コスト上昇が抑制される。
【0043】
そして、このようなインクジェットヘッド41を備えたインクジェット式記録装置によれば、共通液室13の圧力変動が緩和されることから、インクジェットヘッド41を高密度化しても所期の吐出性能が確保され、印字画像の高品質化を図ることが可能になる。
【0044】
次に、インクジェットヘッド41の構造の他の実施の形態について説明する。
【0045】
前述の説明では、第2のアクチュエータ14は共通液室13上の全面に形成されているが(図2参照)、図12に示すように、それぞれの第1のアクチュエータ12に対向して延びる複数の主部14aと、これら主部14a相互間を連結する連結部14bとから構成される形状に形成してもよい。このようにすれば、共通液室13における圧力室11との連通部分という圧力変動の大きい部分に対して、第2のアクチュエータ14の変位力を効率的に作用させることができる。
【0046】
また、図13に示すように、第2のアクチュエータ14を、それぞれの第1のアクチュエータ12に対向して分割形成し、相互に独立した電圧を印加するようにしてもよい。このようにすれば、変位した第1のアクチュエータ12に対応した第2のアクチュエータ14のみを駆動することができる。
【0047】
なお、第2のアクチュエータ14を分割形成して相互に独立した電圧を印加する場合、図4において示す選択回路21と同様の選択回路を第2の駆動波形発生回路20と第2のアクチュエータ14との間に設けて、選択回路において選択した何れかの第2のアクチュエータ14に第2の駆動波形を印加するようにする。あるいは、第2の駆動波形発生回路そのものをそれぞれの第2のアクチュエータ14に対応して設けて第2の駆動波形を印加するようにする。
【0048】
さらに、図14に示すように、第2のアクチュエータ14の形成領域を、共通液室13上の第1のアクチュエータ12側端とその反対側端から所定の長さだけ第1のアクチュエータ12側寄りの位置との間としてもよい。このようにすれば、図15に示すように、圧力室11との連通部分という圧力変動の大きな箇所である圧力室11との連通部分で大きな変位を得ることができる。
【0049】
なお、第2のアクチュエータ14の形成領域をこのようにする場合、第2のアクチュエータ14は、図2に示すように上面を四角形としてもよく、図12に示すように主部14aと連結部14bとで形成してもよく、第1のアクチュエータ12に対向して分割形成してもよい。
【0050】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、共通液室上に第2のアクチュエータを形成し、圧力室上に形成された第1のアクチュエータの変位による共通液室に対する圧力変動を第2のアクチュエータの変位で能動的に打ち消しているので、圧力室の圧力変動に伴う共通液室の圧力変動を緩和することが可能になるという有効な効果が得られる。
【0051】
そして、このようなインクジェットヘッドを備えたインクジェット式記録装置によれば、共通液室の圧力変動が緩和されることから、インクジェットヘッドを高密度化しても所期の吐出性能が確保され、印字画像の高品質化を図ることが可能になるという有効な効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態であるインクジェットヘッドが用いられたインクジェット式記録装置の全体概略構成を示す斜視図
【図2】本発明の一実施の形態であるインクジェットヘッドを示す平面図
【図3】図2のA−A線に沿った断面図
【図4】本発明の一実施の形態であるインクジェットヘッドの駆動機構を示すブロック図
【図5】本発明の一実施の形態であるインクジェットヘッドにおける圧力室と共通液室との圧力変動の状態を示す説明図
【図6】本発明の一実施の形態であるインクジェットヘッドにおける第1のアクチュエータへの印加電圧を示すグラフ
【図7】本発明の一実施の形態であるインクジェットヘッドにおける第1のアクチュエータの変位量を示すグラフ
【図8】本発明の一実施の形態であるインクジェットヘッドにおいて第1のアクチュエータのみに電圧を印加した場合における共通液室の圧力変動を示すグラフ
【図9】本発明の一実施の形態であるインクジェットヘッドにおける第2のアクチュエータへの印加電圧を示すグラフ
【図10】本発明の一実施の形態であるインクジェットヘッドにおいて第1のアクチュエータおよび第2のアクチュエータに電圧を印加した場合における共通液室の圧力変動を示すグラフ
【図11】本発明の一実施の形態であるインクジェットヘッドにおいて第1のアクチュエータおよび第2のアクチュエータに電圧を印加した場合における第1のアクチュエータの変位量を示すグラフ
【図12】本発明の他の実施の形態であるインクジェットヘッドを示す平面図
【図13】本発明のさらに他の実施の形態であるインクジェットヘッドを示す平面図
【図14】本発明のさらに他の実施の形態であるインクジェットヘッドを示す断面図
【図15】図14のインクジェットヘッドにおける第2のアクチュエータの変位を示す説明図
【図16】従来のインクジェットヘッドにおけるアクチュエータの変位に伴うヘッドの振動状態を示す説明図
【符号の説明】
10 区画壁
11 圧力室
12 第1のアクチュエータ(アクチュエータ)
13 共通液室
14 第2のアクチュエータ
14a 主部
14b 連結部
15 ノズル孔
16 圧電体膜
17 個別電極
18 振動板兼共通電極
19 第1の駆動波形発生回路
20 第2の駆動波形発生回路
21 選択回路
40 インクジェット式記録装置
41 インクジェットヘッド
42 記録媒体
43 キャリッジ軸
44 キャリッジ
45 ローラ(移動手段)
[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to an ink jet head and an ink jet recording apparatus including the same.
[0002]
[Prior art]
The ink jet head of the ink jet type recording apparatus performs printing by changing the volume of a pressure chamber for accommodating an ink liquid by displacement of an actuator to eject ink droplets from nozzle holes and landing them on a recording medium.
[0003]
As shown in FIG. 16A, the inkjet head includes a plurality of pressure chambers 11 partitioned by partition walls 10 and filled with an ink liquid, and actuators 12 are provided corresponding to the respective pressure chambers 11. Have been. Further, a nozzle hole 15 from which ink droplets are ejected and a common liquid chamber 13 for supplying an ink liquid into the pressure chamber 11 are formed so as to communicate with the pressure chamber 11.
[0004]
The actuator 12 includes a piezoelectric film 16, an upper individual electrode 17 for applying a voltage to the piezoelectric film 16 to contract and expand, and a lower diaphragm / common electrode 18. The ink droplet is ejected from the nozzle hole 15 by changing the volume of the pressure chamber 11 by the piezoelectric effect.
[0005]
When a voltage is applied to the electrodes 17 and 18 of the ink jet head having such a configuration to displace the actuator 12 (FIG. 16B), the pressure wave generated in the pressure chamber 11 propagates into the common liquid chamber 13. As a result, the pressure in the common liquid chamber 13 fluctuates. Then, as shown in FIG. 16C, pressure fluctuation in the common liquid chamber 13 adversely affects the inside of the pressure chamber 11, so that the ejection cannot be stabilized.
[0006]
Thus, as a technique for alleviating such pressure fluctuation in the common liquid chamber 13, there is an ink jet head disclosed in, for example, JP-A-2001-6304. In other words, the technology described in this publication operates the wall surface of the common liquid chamber as a diaphragm, whereby the pressure wave generated in the pressure chamber is absorbed by the deflection of the diaphragm, and the pressure fluctuation occurs in the common liquid chamber. Is relaxing.
[0007]
Here, as the density of the ink jet head is increased, the pitch between the pressure chambers is reduced, so that the propagation of pressure waves from the pressure chambers to the common liquid chamber is also increased.
[0008]
In order to obtain a sufficient effect by applying the above-described conventional technology to a high-density inkjet head, it is necessary to reduce the thickness of the diaphragm or increase the area of the diaphragm.
[0009]
[Patent Document 1]
JP 2001-6304 A
[Problems to be solved by the invention]
However, when the diaphragm is made thin, the strength as a member is reduced, making it difficult to assemble, or the rigidity of the head is reduced. In addition, if the area of the diaphragm is increased, the size of the head is increased, which is against the demand for miniaturization.
[0011]
Therefore, an object of the present invention is to provide a technique capable of reducing the pressure fluctuation of the common liquid chamber accompanying the pressure fluctuation of the pressure chamber.
[0012]
[Means for Solving the Problems]
In order to solve this problem, an inkjet head according to the present invention includes a plurality of pressure chambers filled with an ink liquid, a common liquid chamber formed in communication with the pressure chamber, and supplying the ink liquid to the pressure chamber, A plurality of first actuators formed on a common chamber for changing the volume of the pressure chamber to discharge ink liquid in the pressure chamber from the nozzle holes; And a second actuator that is displaced so as to cancel the pressure fluctuation in the liquid chamber.
[0013]
As described above, the second actuator is formed on the common liquid chamber, and the pressure fluctuation on the common liquid chamber due to the displacement of the first actuator formed on the pressure chamber is actively canceled by the displacement of the second actuator. Therefore, it is possible to reduce the pressure fluctuation of the common liquid chamber due to the pressure fluctuation of the pressure chamber.
[0014]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
According to the first aspect of the present invention, a plurality of pressure chambers filled with an ink liquid, a common liquid chamber formed in communication with the pressure chamber and supplying the ink liquid to the pressure chamber, A plurality of first actuators formed on the common liquid chamber for changing the volume of the pressure chamber to discharge the ink liquid in the pressure chamber from the nozzle holes; and a plurality of first actuators formed on the common liquid chamber and displaced by the first actuator. An ink jet head having a second actuator that is displaced so as to cancel the pressure fluctuation, and has an effect that the pressure fluctuation in the common liquid chamber due to the pressure fluctuation in the pressure chamber can be reduced.
[0015]
According to a second aspect of the present invention, in the first aspect, the second actuator includes a plurality of main portions extending to face the respective first actuators, and connects the main portions to each other. And an ink jet head comprising a connecting portion that has a function of reducing pressure fluctuations of the common liquid chamber due to pressure fluctuations of the pressure chambers.
[0016]
According to a third aspect of the present invention, in the first aspect of the invention, the second actuator is divided and formed so as to face each of the first actuators, and mutually independent voltages are applied to the second actuator. It is a head and has an effect that it is possible to reduce the pressure fluctuation of the common liquid chamber due to the pressure fluctuation of the pressure chamber.
[0017]
According to a fourth aspect of the present invention, in the invention according to any one of the first to third aspects, the second actuator has a first actuator side end on the common liquid chamber and an opposite side end. An ink jet head formed between the first actuator and a position closer to the first actuator by a predetermined length, and the pressure fluctuation of the common liquid chamber accompanying the pressure fluctuation of the pressure chamber can be reduced. Having.
[0018]
According to a fifth aspect of the present invention, there is provided an inkjet recording apparatus including the inkjet head according to any one of the first to fourth aspects, wherein pressure fluctuation of the common liquid chamber is reduced. This has the effect that the quality of the printed image can be improved.
[0019]
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 15. In these drawings, the same members are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted.
[0020]
FIG. 1 is a perspective view showing an overall schematic configuration of an ink jet recording apparatus using an ink jet head according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a plan view showing an ink jet head according to an embodiment of the present invention, FIG. 3 is a cross-sectional view taken along line AA of FIG. 2, FIG. 4 is a block diagram showing a driving mechanism of an inkjet head according to an embodiment of the present invention, and FIG. 5 is an embodiment of the present invention. FIG. 6 is an explanatory diagram showing a state of pressure fluctuation between the pressure chamber and the common liquid chamber in the ink jet head, FIG. 6 is a graph showing a voltage applied to a first actuator in the ink jet head according to an embodiment of the present invention, and FIG. FIG. 8 is a graph showing a displacement amount of a first actuator in an ink jet head according to an embodiment of the present invention. FIG. 8 is an ink jet head according to an embodiment of the present invention. And FIG. 9 is a graph showing a voltage applied to a second actuator in an inkjet head according to an embodiment of the present invention when a voltage is applied only to the first actuator. FIG. 10 is a graph showing the pressure fluctuation of the common liquid chamber when voltage is applied to the first actuator and the second actuator in the ink jet head according to one embodiment of the present invention, and FIG. 11 is one embodiment of the present invention. FIG. 12 is a graph showing the amount of displacement of the first actuator when a voltage is applied to the first actuator and the second actuator in the inkjet head according to the embodiment. FIG. 12 shows an inkjet head according to another embodiment of the present invention. FIG. 13 is a plan view showing an ink jet printer according to still another embodiment of the present invention. Plan view illustrating the Toheddo, FIG. 14 is a cross-sectional view showing an ink jet head which is another embodiment, FIG. 15 is an explanatory view showing the displacement of the second actuator in the inkjet head of FIG. 14 of the present invention.
[0021]
An ink jet recording apparatus 40 shown in FIG. 1 includes an ink jet head 41 of the present invention which performs recording by utilizing a piezoelectric effect of a ferroelectric element which is an actuator. The recording is performed on the recording medium 42 by landing on the recording medium 42. The inkjet head 41 is mounted on a carriage 44 provided on a carriage shaft 43 arranged in the main scanning direction X, and reciprocates in the main scanning direction X as the carriage 44 reciprocates along the carriage shaft 43. Move. Further, the ink jet recording apparatus 40 includes a plurality of rollers (moving means) 45 for moving the recording medium 42 in the sub scanning direction Y substantially perpendicular to the width direction of the ink jet head 41 (that is, the main scanning direction X). .
[0022]
Next, an embodiment of the structure of the inkjet head 41 will be described with reference to FIGS.
[0023]
As shown in these drawings, the ink jet head includes a plurality of pressure chambers 11 which are partitioned by partition walls 10 and are filled with an ink liquid, and a first actuator (actuator) corresponding to each pressure chamber 11. ) 12 are provided. In addition, a nozzle hole 15 for discharging ink droplets is formed in communication with the pressure chamber 11.
[0024]
At a position adjacent to the pressure chamber 11, a common liquid chamber 13 for supplying the ink liquid into the pressure chamber 11 arranged in the ink liquid supply direction is formed so as to communicate with the pressure chamber 11. Further, a second actuator 14 is formed in the common liquid chamber 13.
[0025]
Here, the first actuator 12 and the second actuator 14 are composed of a piezoelectric film 16, an upper individual electrode 17 for applying a voltage to the piezoelectric film 16 and displacing (contracting / extending) and a lower diaphragm. And a common electrode 18.
[0026]
Then, the first actuator 12 is displaced by the piezoelectric effect of the piezoelectric film 16 by applying a voltage to the electrodes 17 and 18, changes the volume of the pressure chamber 11, and moves the ink liquid in the pressure chamber 11 from the nozzle hole 15. Discharge.
[0027]
Further, the second actuator 14 applies a voltage to the electrodes 17 and 18 so that the pressure wave generated in the pressure chamber 11 due to the displacement of the first actuator 12 propagates into the common liquid chamber 13. The displacement is performed so as to cancel the pressure fluctuation in the common liquid chamber 13 that occurs.
[0028]
In this embodiment, the common electrode and the diaphragm are integrated (the diaphragm also serves as the common electrode), but they may be formed separately. In that case, a diaphragm is formed on the partition wall 10, and a common electrode is formed thereon.
[0029]
In the present embodiment, the individual electrode 17 is formed of, for example, Pt (platinum), the piezoelectric film 16 is formed of, for example, lead zirconate titanate (PZT), and the diaphragm / common electrode 18 is formed of, for example, Cu (copper). ing. The individual electrode 17 is formed with a thickness of, for example, 0.2 μm, the piezoelectric film 16 is formed with a thickness of, for example, 3 μm, and the diaphragm / common electrode 18 is formed with a thickness of, for example, 5.5 μm. That is, since the film structure of the first actuator and the film structure of the second actuator are the same, the characteristics of both actuators 12 and 14 can be made similar, and control of both actuators can be easily performed. be able to.
[0030]
The individual electrodes 17, the piezoelectric film 16, the diaphragm / common electrode 18, and the like can be formed by various known film forming methods, for example, a thick film method such as screen printing, a coating method such as dipping, a sputtering method, and a CVD method. Method, a vacuum deposition method, a sol-gel method, a thin film forming method such as plating and the like are appropriately adopted, and in order to further form the shape, die cutting by etching or the like may be possible, but it is not limited to them at all. Absent.
[0031]
It is preferable that the first actuator 12 and the second actuator 14 are manufactured by the same method. Further, since the first actuator 12 and the second actuator 14 are manufactured by the same process, the film configurations and characteristics of both actuators are reduced. Since they are almost the same, changes over time and changes in temperature are almost the same.
[0032]
In addition, between the respective films of the diaphragm / common electrode 18, the piezoelectric film 16, and the individual electrode 17 shown in the present embodiment, other layers are provided for the purpose of, for example, improving the bonding of the respective films. It may be interposed.
[0033]
Next, a driving mechanism of the inkjet head according to the present embodiment will be described with reference to FIG.
[0034]
As shown, a first drive waveform generation circuit 19 and a second drive waveform generation circuit 20 are provided.
[0035]
The first drive waveform generated by the first drive waveform generation circuit 19 is input to the selection circuit 21, and the selection circuit 21 selects the first actuator 12 to which the first drive waveform is applied by a control signal. . Then, the first drive waveform is applied from the selection circuit 21 to the selected first actuator 12.
[0036]
The second drive waveform generated by the second drive waveform generation circuit 20 is applied to the second actuator 14. The second drive waveform applied to the second actuator 14 has a waveform that cancels the pressure fluctuation in the common liquid chamber 13 due to the displacement of the first actuator 12 to which the first drive waveform is applied. ing.
[0037]
That is, when a voltage is applied to the first actuator 12 in the ink jet head shown in FIG. 5A, the piezoelectric film 16 is deformed as shown in FIG. The pressure in the chamber 11 increases, and ink droplets are ejected from the nozzle holes 15. Then, the pressure fluctuation of the pressure chamber 11 at this time is propagated to the common liquid chamber 13 communicating with the pressure chamber 11. If this state is maintained, the pressure of the common liquid chamber 13 increases due to the operation of the first actuator 12, but as described above, in the present application, the second actuator 14 is displaced so as to cancel the pressure fluctuation in the common liquid chamber 13. Therefore, as shown in FIG. 5C, the pressure fluctuation in the common liquid chamber 13 is reduced.
[0038]
Here, assuming that a voltage having, for example, a waveform shown in FIG. 6 is applied to the first actuator 12, the diaphragm of the first actuator 12 is displaced as shown in FIG. Then, as shown in FIG. 8, the pressure in the pressure chamber 11 accompanying the vibration of the first actuator 12 is transmitted to the common liquid chamber 13, and the pressure rises and gradually decreases. At this time, when a voltage having, for example, the waveform shown in FIG. 9 is applied to the second actuator 14, the pressure fluctuation in the common liquid chamber 13 can be canceled as shown in FIG. The displacement of the first actuator 12 in this case is as shown in FIG.
[0039]
As described above, according to the present embodiment, the second actuator 14 is formed on the common liquid chamber 13, and the pressure fluctuation on the common liquid chamber 13 due to the displacement of the first actuator 12 formed on the pressure chamber 11. Is actively canceled by the displacement of the second actuator 14, so that the pressure fluctuation of the common liquid chamber 13 due to the pressure fluctuation of the pressure chamber 11 can be reduced.
[0040]
Since the pressure fluctuation of the common liquid chamber 13 is actively absorbed by the second actuator 14 in this manner, the efficiency of absorbing the pressure fluctuation is good, and the common liquid chamber 13 does not become large.
[0041]
Further, since the second actuator 14 can be formed in the same process and with the same member as the first actuator, the cost does not increase.
[0042]
Further, since the second actuator 14 does not need to be individually controlled and can be controlled with the same waveform using the integrated electrode, an increase in cost is suppressed.
[0043]
According to the ink jet type recording apparatus having such an ink jet head 41, since the pressure fluctuation of the common liquid chamber 13 is reduced, the expected ejection performance is secured even if the ink jet head 41 is increased in density. In addition, it is possible to improve the quality of a printed image.
[0044]
Next, another embodiment of the structure of the inkjet head 41 will be described.
[0045]
In the above description, the second actuators 14 are formed on the entire surface of the common liquid chamber 13 (see FIG. 2), but as shown in FIG. And a connecting portion 14b for connecting the main portions 14a to each other. In this way, the displacement force of the second actuator 14 can be efficiently applied to a portion of the common liquid chamber 13 that communicates with the pressure chamber 11 where the pressure fluctuation is large.
[0046]
Further, as shown in FIG. 13, the second actuators 14 may be divided and formed so as to face the respective first actuators 12 so as to apply mutually independent voltages. In this way, only the second actuator 14 corresponding to the displaced first actuator 12 can be driven.
[0047]
In the case where the second actuator 14 is divided and applied with mutually independent voltages, a selection circuit similar to the selection circuit 21 shown in FIG. 4 is replaced with the second drive waveform generation circuit 20 and the second actuator 14. The second drive waveform is applied to any one of the second actuators 14 selected by the selection circuit. Alternatively, the second drive waveform generating circuit itself is provided corresponding to each of the second actuators 14 to apply the second drive waveform.
[0048]
Further, as shown in FIG. 14, the formation region of the second actuator 14 is shifted from the end on the first actuator 12 side on the common liquid chamber 13 by a predetermined length from the end on the opposite side to the first actuator 12 side. May be between the positions. In this way, as shown in FIG. 15, a large displacement can be obtained at the communication portion with the pressure chamber 11 where the pressure fluctuation is large, which is the communication portion with the pressure chamber 11.
[0049]
When the formation area of the second actuator 14 is set as described above, the upper surface of the second actuator 14 may have a rectangular shape as shown in FIG. 2, and the main portion 14a and the connecting portion 14b as shown in FIG. And may be divided and formed so as to face the first actuator 12.
[0050]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, the second actuator is formed on the common liquid chamber, and the pressure fluctuation in the common liquid chamber due to the displacement of the first actuator formed on the pressure chamber is controlled by the second actuator. Since the displacement is actively canceled, an effective effect of reducing the pressure fluctuation of the common liquid chamber accompanying the pressure fluctuation of the pressure chamber can be obtained.
[0051]
According to the ink jet recording apparatus equipped with such an ink jet head, since the pressure fluctuation of the common liquid chamber is reduced, the expected ejection performance is ensured even if the density of the ink jet head is increased, and the printed image can be printed. This has an effective effect that it is possible to improve the quality of the device.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a perspective view showing an overall schematic configuration of an ink jet recording apparatus using an ink jet head according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a plan view showing an ink jet head according to an embodiment of the present invention. 3 is a cross-sectional view taken along the line AA of FIG. 2; FIG. 4 is a block diagram showing a driving mechanism of an inkjet head according to an embodiment of the present invention; FIG. 6 is an explanatory diagram showing a state of pressure fluctuation between a pressure chamber and a common liquid chamber in a certain inkjet head. FIG. 6 is a graph showing a voltage applied to a first actuator in an inkjet head according to an embodiment of the present invention. FIG. 8 is a graph showing the amount of displacement of a first actuator in an ink jet head according to an embodiment of the present invention. FIG. 8 is an ink jet head according to an embodiment of the present invention. FIG. 9 is a graph showing pressure fluctuation of the common liquid chamber when a voltage is applied only to the first actuator in FIG. 9; FIG. 10 is a graph showing a pressure fluctuation of a common liquid chamber when a voltage is applied to the first actuator and the second actuator in the ink jet head according to one embodiment of the present invention. FIG. 12 is a graph showing the amount of displacement of the first actuator when a voltage is applied to the first actuator and the second actuator in the inkjet head according to the embodiment. FIG. 12 shows an inkjet head according to another embodiment of the present invention. FIG. 13 is a plan view. FIG. 13 is an ink jet printer according to still another embodiment of the present invention. FIG. 14 is a cross-sectional view showing an inkjet head according to still another embodiment of the present invention. FIG. 15 is an explanatory view showing displacement of a second actuator in the inkjet head of FIG. Explanatory diagram showing a vibration state of a head of an inkjet head according to a displacement of an actuator.
10 partition wall 11 pressure chamber 12 first actuator (actuator)
13 Common liquid chamber 14 Second actuator 14a Main part 14b Connecting part 15 Nozzle hole 16 Piezoelectric film 17 Individual electrode 18 Vibrating plate / common electrode 19 First drive waveform generation circuit 20 Second drive waveform generation circuit 21 Selection circuit 40 inkjet recording device 41 inkjet head 42 recording medium 43 carriage shaft 44 carriage 45 roller (moving means)

Claims (5)

インクが充填される複数の圧力室と、
前記圧力室に連通して形成され、前記圧力室内へ前記インク液を供給する共通液室と、
前記圧力室上に形成され、前記圧力室の容積を変化させて当該圧力室内の前記インク液をノズル孔から吐出させる複数の第1のアクチュエータと、
前記共通液室上に形成され、前記第1のアクチュエータの変位による前記共通液室内の圧力変動を打ち消すように変位する第2のアクチュエータとを有することを特徴とするインクジェットヘッド。
A plurality of pressure chambers filled with ink;
A common liquid chamber formed in communication with the pressure chamber and supplying the ink liquid to the pressure chamber;
A plurality of first actuators formed on the pressure chamber and configured to change a volume of the pressure chamber and discharge the ink liquid in the pressure chamber from a nozzle hole;
An ink jet head comprising: a second actuator formed on the common liquid chamber and displaced so as to cancel a pressure change in the common liquid chamber due to a displacement of the first actuator.
前記第2のアクチュエータは、それぞれの前記第1のアクチュエータに対向して延びる複数の主部と、これら主部相互間を連結する連結部とから構成されることを特徴とする請求項1記載のインクジェットヘッド。2. The second actuator according to claim 1, wherein the second actuator includes a plurality of main portions extending to face the respective first actuators, and a connecting portion connecting the main portions to each other. 3. Ink jet head. 前記第2のアクチュエータは、それぞれの前記第1のアクチュエータに対向して分割形成され、相互に独立した電圧が印加されることを特徴とする請求項1記載のインクジェットヘッド。2. The ink-jet head according to claim 1, wherein the second actuators are separately formed so as to face the respective first actuators, and mutually independent voltages are applied. 前記第2のアクチュエータは、前記共通液室上の前記第1のアクチュエータ側端とその反対側端から所定の長さだけ前記第1のアクチュエータ側寄りの位置との間に形成されていることを特徴とする請求項1〜3の何れか一項に記載のインクジェットヘッド。The second actuator is formed between the first actuator side end on the common liquid chamber and a position closer to the first actuator side by a predetermined length from the opposite end. The inkjet head according to any one of claims 1 to 3, wherein 請求項1〜4の何れか一項に記載のインクジェットヘッドを備えたことを特徴とするインクジェット式記録装置。An ink jet recording apparatus comprising the ink jet head according to claim 1.
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