JP2004095986A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】アウターリードの間の樹脂バリによる寸法誤差が低減された半導体装置を提供すること。
【解決手段】リードフレーム20のアイランド21に搭載した半導体素子30を樹脂封止してなる半導体装置において、リードフレームは、半導体素子を覆う樹脂封止部40から延出する複数のアウターリード22と、アウターリードの間に位置する突片24とを備え、当該半導体装置は、半導体素子を樹脂封止した後に、アウターリードの間に流入した樹脂及び突片を除去してなる構成の半導体装置である。
【選択図】 図4
【解決手段】リードフレーム20のアイランド21に搭載した半導体素子30を樹脂封止してなる半導体装置において、リードフレームは、半導体素子を覆う樹脂封止部40から延出する複数のアウターリード22と、アウターリードの間に位置する突片24とを備え、当該半導体装置は、半導体素子を樹脂封止した後に、アウターリードの間に流入した樹脂及び突片を除去してなる構成の半導体装置である。
【選択図】 図4
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、リードフレームのアイランドに搭載した半導体素子を樹脂封止してなる半導体装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
リードフレームを用いてなる半導体装置としては、リードフレームのアイランドに半導体素子を搭載するとともに、リードフレームのアウターリードと半導体素子との間を金線にて配線し、更にモールド金型を用いて半導体素子を樹脂封止してなるものが知られている。リードフレームには複数のアウターリードが設けられ、半導体を覆う樹脂封止部からは複数のアウターリードが延出する構造となっている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、この種の半導体装置については、樹脂封止時にアウターリードの間に流入した樹脂が無用の樹脂バリとなるため、これに対処する構成が必要とされる。
【0004】
例えば特開平5−299551、特開平6−104364、特開平7−147366等に開示されたもののように、アウターリードを互いに連結するダムバー(タイバーともいう)を備えたリードフレームを用いることにより、アウターリードの間への樹脂の流入を阻止するものが知られている。但しその場合、ダムバーは樹脂封止後に切断するため、アウターリードにはその切断痕が残るという不都合がある。
【0005】
一方、ダムバーレスのリードフレームを用いてなる半導体装置としては、特開平7−58264等に開示されたもののように、金型にアウターリードの間に嵌合するダムブロックを設けたり、特開平6−334095、特開平10−284524等に開示されたもののように、アウターリードの間にダムバー代替部材を装着したりするものが知られている。但し金型にダムブロックを設ける場合は、アウターリードの位置や本数に応じて所定の金型をそれぞれ用意する必要があり、金型の汎用性が問題となる。また、ダムバー代替部材を装着する場合は、加工に要する工程及び部品点数が増加するという不都合がある。
【0006】
更に、特開平5−315515等に開示されたもののように、樹脂封止時にアウターリードの間に樹脂が流入するのを許容し、流入した樹脂をレーザービームで除去してなるものも知られている。但しアウターリードの間がある程度広い場合は、全ての樹脂をレーザービームにて焼失させるのはあまり効率のよい方法ではないと考えられる。
【0007】
一般に、アウターリードの間がある程度広い場合は、アウターリードの間に流入した樹脂はプレスにより打ち抜いて除去されている。しかしながら、プレスによる打ち抜きによれば、樹脂封止部が欠けたり、樹脂封止部の表面寸法が安定しない等の問題が顕著となるため、半導体装置の製造現場においては、こうした不都合を回避する構成が望まれている。
【0008】
本発明は、かかる事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、アウターリードの間の樹脂バリによる寸法誤差が低減された半導体装置を提供することである。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本願第1請求項に記載した発明は、リードフレームのアイランドに搭載した半導体素子を樹脂封止してなる半導体装置において、前記リードフレームは、前記半導体素子を覆う樹脂封止部から延出する複数のアウターリードと、前記アウターリードの間に位置する突片とを備え、当該半導体装置は、前記半導体素子を樹脂封止した後に、前記アウターリードの間に流入した樹脂及び前記突片を除去してなる構成の半導体装置である。このような構成によると、アウターリードの間の樹脂バリによる寸法誤差が低減される。
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の具体例を図面に基づいて詳細に説明する。図1及び図2に示す本例の半導体装置1は、図3及び図4に示すリードフレーム20のアイランド21に搭載した半導体素子30を樹脂封止してなるものである。半導体素子30は、樹脂封止部40に覆われている。
【0010】
本例のリードフレーム20は、所謂ダムバーレスのものであり、半導体素子30を搭載するアイランド21と、樹脂封止部40から延出する複数のアウターリード22と、アイランド21を支持する吊りリード23と、各アウターリード22の間にそれぞれ位置する複数の突片24とを備えている。このリードフレーム20は、所定のプレートをプレス成形して作成される。またリードフレーム20には、1個の半導体装置1に対応する構造パターン20aが所定のピッチで列設されている。
【0011】
半導体装置1の製造方法は、以下の通りである。まず、ウエハを切断してなるチップ、つまり半導体素子30をアイランド21に搭載し、半導体素子30とアウターリード22との間を金線(図示は省略)にて配線する。
【0012】
次に、モールド金型を用いてアイランド21に搭載された半導体素子30、金線、及びアウターリード22の基端部を樹脂封止する。ここで、アウターリード22の間(具体的にはアウターリード22と突片24との隙間)には樹脂が流入する。尚、図4中にはモールド金型の上型形状50を破線表示する。
【0013】
しかる後に、アウターリード22の間をプレスにより打ち抜き、かかる部位に流入した樹脂と突片24とを同時に除去する。アウターリード22の間における樹脂封止部40の表面からは、突片24の先端面が分離するので、打ち抜きに伴い樹脂封止部40の表面が欠けたりばらついたりする心配は少ない。このような構成によれば、樹脂封止部40の表面は極めてきれいに成形される。また、打ち抜き後には、アウターリード22の間のディフラッシュを行う。つまり、樹脂封止部40やアウターリード22に微妙に残ったフラッシュを削除する。フラッシュの量は、突片24を除去することにより極めて微量となっている。
【0014】
そして、リードフレーム20に半田メッキを施した後、アウターリード22及び吊りリード23を切断して半導体装置1を個片にする。個片とされた半導体装置1はそれぞれ、機能テスト、レーザ刻印、及びキャリアテープ入れが施されて製品となる。
【0015】
このように本例の半導体装置は、アウターリードの間に突片を設け、これを除去することにより樹脂バリを正確に取り除くものである。このような構成によれば、寸法精度が確実に向上された信頼性の高い半導体装置を得ることができる。
【0016】
【発明の効果】
本願発明は、リードフレームのアイランドに搭載した半導体素子を樹脂封止してなる半導体装置において、前記リードフレームは、前記半導体素子を覆う樹脂封止部から延出する複数のアウターリードと、前記アウターリードの間に位置する突片とを備え、当該半導体装置は、前記半導体素子を樹脂封止した後に、前記アウターリードの間に流入した樹脂及び前記突片を除去してなる構成の半導体装置であり、このような構成によると、アウターリードの間の樹脂バリによる寸法誤差を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の具体例に係り、半導体装置を示す上面図である。
【図2】本発明の具体例に係り、半導体装置を示す側面図である。
【図3】本発明の具体例に係り、リードフレームを示す正面図である。
【図4】本発明の具体例に係り、リードフレームの要部を示す正面図である。
【符号の説明】
1 半導体装置
20 リードフレーム
20a 1個の半導体装置に対応する構造パターン
21 アイランド
22 アウターリード
23 吊りリード
24 突片
30 半導体素子
40 樹脂封止部
50 モールド金型の上型形状
【発明の属する技術分野】
本発明は、リードフレームのアイランドに搭載した半導体素子を樹脂封止してなる半導体装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
リードフレームを用いてなる半導体装置としては、リードフレームのアイランドに半導体素子を搭載するとともに、リードフレームのアウターリードと半導体素子との間を金線にて配線し、更にモールド金型を用いて半導体素子を樹脂封止してなるものが知られている。リードフレームには複数のアウターリードが設けられ、半導体を覆う樹脂封止部からは複数のアウターリードが延出する構造となっている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、この種の半導体装置については、樹脂封止時にアウターリードの間に流入した樹脂が無用の樹脂バリとなるため、これに対処する構成が必要とされる。
【0004】
例えば特開平5−299551、特開平6−104364、特開平7−147366等に開示されたもののように、アウターリードを互いに連結するダムバー(タイバーともいう)を備えたリードフレームを用いることにより、アウターリードの間への樹脂の流入を阻止するものが知られている。但しその場合、ダムバーは樹脂封止後に切断するため、アウターリードにはその切断痕が残るという不都合がある。
【0005】
一方、ダムバーレスのリードフレームを用いてなる半導体装置としては、特開平7−58264等に開示されたもののように、金型にアウターリードの間に嵌合するダムブロックを設けたり、特開平6−334095、特開平10−284524等に開示されたもののように、アウターリードの間にダムバー代替部材を装着したりするものが知られている。但し金型にダムブロックを設ける場合は、アウターリードの位置や本数に応じて所定の金型をそれぞれ用意する必要があり、金型の汎用性が問題となる。また、ダムバー代替部材を装着する場合は、加工に要する工程及び部品点数が増加するという不都合がある。
【0006】
更に、特開平5−315515等に開示されたもののように、樹脂封止時にアウターリードの間に樹脂が流入するのを許容し、流入した樹脂をレーザービームで除去してなるものも知られている。但しアウターリードの間がある程度広い場合は、全ての樹脂をレーザービームにて焼失させるのはあまり効率のよい方法ではないと考えられる。
【0007】
一般に、アウターリードの間がある程度広い場合は、アウターリードの間に流入した樹脂はプレスにより打ち抜いて除去されている。しかしながら、プレスによる打ち抜きによれば、樹脂封止部が欠けたり、樹脂封止部の表面寸法が安定しない等の問題が顕著となるため、半導体装置の製造現場においては、こうした不都合を回避する構成が望まれている。
【0008】
本発明は、かかる事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、アウターリードの間の樹脂バリによる寸法誤差が低減された半導体装置を提供することである。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本願第1請求項に記載した発明は、リードフレームのアイランドに搭載した半導体素子を樹脂封止してなる半導体装置において、前記リードフレームは、前記半導体素子を覆う樹脂封止部から延出する複数のアウターリードと、前記アウターリードの間に位置する突片とを備え、当該半導体装置は、前記半導体素子を樹脂封止した後に、前記アウターリードの間に流入した樹脂及び前記突片を除去してなる構成の半導体装置である。このような構成によると、アウターリードの間の樹脂バリによる寸法誤差が低減される。
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の具体例を図面に基づいて詳細に説明する。図1及び図2に示す本例の半導体装置1は、図3及び図4に示すリードフレーム20のアイランド21に搭載した半導体素子30を樹脂封止してなるものである。半導体素子30は、樹脂封止部40に覆われている。
【0010】
本例のリードフレーム20は、所謂ダムバーレスのものであり、半導体素子30を搭載するアイランド21と、樹脂封止部40から延出する複数のアウターリード22と、アイランド21を支持する吊りリード23と、各アウターリード22の間にそれぞれ位置する複数の突片24とを備えている。このリードフレーム20は、所定のプレートをプレス成形して作成される。またリードフレーム20には、1個の半導体装置1に対応する構造パターン20aが所定のピッチで列設されている。
【0011】
半導体装置1の製造方法は、以下の通りである。まず、ウエハを切断してなるチップ、つまり半導体素子30をアイランド21に搭載し、半導体素子30とアウターリード22との間を金線(図示は省略)にて配線する。
【0012】
次に、モールド金型を用いてアイランド21に搭載された半導体素子30、金線、及びアウターリード22の基端部を樹脂封止する。ここで、アウターリード22の間(具体的にはアウターリード22と突片24との隙間)には樹脂が流入する。尚、図4中にはモールド金型の上型形状50を破線表示する。
【0013】
しかる後に、アウターリード22の間をプレスにより打ち抜き、かかる部位に流入した樹脂と突片24とを同時に除去する。アウターリード22の間における樹脂封止部40の表面からは、突片24の先端面が分離するので、打ち抜きに伴い樹脂封止部40の表面が欠けたりばらついたりする心配は少ない。このような構成によれば、樹脂封止部40の表面は極めてきれいに成形される。また、打ち抜き後には、アウターリード22の間のディフラッシュを行う。つまり、樹脂封止部40やアウターリード22に微妙に残ったフラッシュを削除する。フラッシュの量は、突片24を除去することにより極めて微量となっている。
【0014】
そして、リードフレーム20に半田メッキを施した後、アウターリード22及び吊りリード23を切断して半導体装置1を個片にする。個片とされた半導体装置1はそれぞれ、機能テスト、レーザ刻印、及びキャリアテープ入れが施されて製品となる。
【0015】
このように本例の半導体装置は、アウターリードの間に突片を設け、これを除去することにより樹脂バリを正確に取り除くものである。このような構成によれば、寸法精度が確実に向上された信頼性の高い半導体装置を得ることができる。
【0016】
【発明の効果】
本願発明は、リードフレームのアイランドに搭載した半導体素子を樹脂封止してなる半導体装置において、前記リードフレームは、前記半導体素子を覆う樹脂封止部から延出する複数のアウターリードと、前記アウターリードの間に位置する突片とを備え、当該半導体装置は、前記半導体素子を樹脂封止した後に、前記アウターリードの間に流入した樹脂及び前記突片を除去してなる構成の半導体装置であり、このような構成によると、アウターリードの間の樹脂バリによる寸法誤差を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の具体例に係り、半導体装置を示す上面図である。
【図2】本発明の具体例に係り、半導体装置を示す側面図である。
【図3】本発明の具体例に係り、リードフレームを示す正面図である。
【図4】本発明の具体例に係り、リードフレームの要部を示す正面図である。
【符号の説明】
1 半導体装置
20 リードフレーム
20a 1個の半導体装置に対応する構造パターン
21 アイランド
22 アウターリード
23 吊りリード
24 突片
30 半導体素子
40 樹脂封止部
50 モールド金型の上型形状
Claims (1)
- リードフレームのアイランドに搭載した半導体素子を樹脂封止してなる半導体装置において、
前記リードフレームは、前記半導体素子を覆う樹脂封止部から延出する複数のアウターリードと、前記アウターリードの間に位置する突片とを備え、
当該半導体装置は、前記半導体素子を樹脂封止した後に、前記アウターリードの間に流入した樹脂及び前記突片を除去してなることを特徴とする半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002257419A JP2004095986A (ja) | 2002-09-03 | 2002-09-03 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002257419A JP2004095986A (ja) | 2002-09-03 | 2002-09-03 | 半導体装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004095986A true JP2004095986A (ja) | 2004-03-25 |
Family
ID=32062323
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002257419A Pending JP2004095986A (ja) | 2002-09-03 | 2002-09-03 | 半導体装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004095986A (ja) |
-
2002
- 2002-09-03 JP JP2002257419A patent/JP2004095986A/ja active Pending
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040629 |
|
A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20041228 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050712 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20051206 |