JP2004093616A - 光部品の光軸調整方法 - Google Patents

光部品の光軸調整方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2004093616A
JP2004093616A JP2002250752A JP2002250752A JP2004093616A JP 2004093616 A JP2004093616 A JP 2004093616A JP 2002250752 A JP2002250752 A JP 2002250752A JP 2002250752 A JP2002250752 A JP 2002250752A JP 2004093616 A JP2004093616 A JP 2004093616A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
axis
coordinates
optical
light
coordinate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2002250752A
Other languages
English (en)
Inventor
Shinsuke Terada
寺田 真介
Shinichiro Iizuka
飯塚 晋一郎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Furukawa Electric Co Ltd
Original Assignee
Furukawa Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Furukawa Electric Co Ltd filed Critical Furukawa Electric Co Ltd
Priority to JP2002250752A priority Critical patent/JP2004093616A/ja
Publication of JP2004093616A publication Critical patent/JP2004093616A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Optical Couplings Of Light Guides (AREA)

Abstract

【課題】ステップ毎に取得する最大受光量が、ステップを経るにつれて順次大きい値を示し、α座標およびY座標の変位量並びにβ座標およびX座標の変位量を同時に調整することができる光部品の光軸調整方法を提供する。
【解決手段】発光部品26と受光部品28の何れか一方の光部品を移動させながら、前記受光部品28の受光量の最大値を得る光軸調整方法において、前記光部品をX軸およびY軸方向に移動させ、前記受光量が最大となる第1座標を得る第1ステップと、前記X軸および前記Y軸周りの回転方向のα軸およびβ軸に関して移動させて、最大となる受光量を得る第2ステップとを備え、前記第2ステップでは、αβ座標に関して、前記第1座標を中心とする周領域にて、受光量の最大が得られる第3座標を求め、前記第1座標から前記第3座標を通過する半直線上にて受光量が最大となる第4座標を探索することを特徴とする光部品の光軸調整方法。
【選択図】   図1

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、発光部品と受光部品との間を光学的に接続する光部品の光軸調整方法に関する。
【0002】
【関連する背景技術】
発光部品と受光部品との間を光学的に接続する際には、それぞれの光軸を調整して互いに合わせることが必要である。例えば、発光部品としての半導体レーザ素子から出射した光をレンズでコリメート光にしたものを、受光部品としてのコリメータで受光して最大光量を得る必要がある。このためには、半導体レーザ素子とコリメータの光軸方向に垂直な平面上の2軸(X軸およびY軸)と、これら2軸周りの回転方向の2軸(α軸およびβ軸)の合計4軸に関して光軸を調整する必要がある。
【0003】
従来、このような光部品の光軸調整方法としては、次のようなものがある。先ず、X、Y両軸に関して粗調心を行って、ある程度パワーが得られる点を見つける。次いで、この粗調心で得た点を起点として、初期のα、β両軸に関して微調心を行って最大光量が得られるX、Y座標を見つける。次に、先ずα座標をステップ送りで移動させ、そのステップ毎にX、Y座標を微調心する。これにより、α軸上の各座標点における受光量を比較し、その受光量が最大となるα座標に移動させる。これと同様の操作をβ軸についても行い、受光量が最大となるβ座標に移動させる。このような操作により、最終的にα、β、XおよびYの4軸に関する最大受光量を得るものである。
【0004】
また、従来の他の光部品の光軸合わせ方法としては、各軸に対する光パワー分布を2次関数に近似して最大光量点を見つける方法がある。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
上述した2つの従来の光部品の光軸合わせ方法のうち前者においては、α、βの移動に伴ってX、Yのピーク位置がずれる問題があった。すなわち、各軸が独立でなく相関関係にあることから、所望の光軸調整に到るまでの各調整ステップの繰り返し回数が多くなった。したがって、光軸合わせに掛かるタクトが非常に長くなった。
【0006】
また、上述の後者の光軸合わせ方法においては、実際の光パワー分布と2次関数の近似曲線とに差が出てしまう問題があった。例えば、光パワーがピークからある程度離れる位置では光パワー分布はガウス分布に近くなり、2次関数の近似曲線における光パワーの極大点と実際の光パワーのピークを与える点とは位置が大きく異なることがあった。また、光パワーが比較的小さく、なだらかな光パワー分布を示す場合、光パワーのピーク近傍は2次関数で比較的近似し易いものの、ノイズ等の影響を受けてその近似から外れ易かった。すなわち、このノイズ等の影響のために、2次関数の近似曲線で算出される極大座標と実際のピークの座標に差が出てしまうことがあった。
【0007】
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、効率よく且つ確実に調心位置の探索を行うことができる、発光部品と受光部品よりなる光部品の光軸調整方法を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の光部品の光軸調整方法は、光を出射する発光部品と前記出射光を受光する受光部品のいずれか一方の光部品を移動させながら、前記受光部品の受光量を測定し、該測定受光量の最大値が得られる前記光部品の目標光軸位置を特定する光部品の光軸調整方法において、前記光部品の光軸を横断するXY面に関し、前記XY面を規定するX軸およびY軸の方向に前記光部品をそれぞれ移動させ、前記受光量が最大となる前記光部品の第1座標を得る第1ステップと、前記X軸および前記Y軸周りの前記光部品の回転角α及び回転角βにより規定されるαβ座標に関し、前記αβ座標のα軸およびβ軸にそれぞれ前記光部品を移動させながら、前記第1座標での受光量以上の範囲にて、受光量が最大となる前記光部品の第2座標を得る第2ステップとを備え、前記第2ステップでは、前記αβ座標に関して、前記第1座標での初期座標を中心とする周領域にて、前記初期座標での受光量よりも大きな受光量が得られる第3座標を求めた後、前記初期座標から前記第3座標を通過する半直線上にて受光量が最大となる第4座標を前記目標光軸位置として探索すること(請求項1)。
【0009】
さらに、前記光部品は、前記X軸および前記Y軸回りの回転中心から離間した光入射点又は光出射点としての光結合点を有し、前記第2ステップは、前記X軸および前記Y軸回りに前記光部品が回転されたとき、前記光結合点の変位に起因する前記第4座標と前記目標光軸位置との間のずれを補償するプロセスを含む(請求項2)。
【0010】
また、前記第2ステップの後に、前記光軸方向に前記光部品を移動させながら、受光量が最大となる光部品の位置を探索する第3ステップをさらに含む(請求項3)。
さらに、前記第2ステップは、前記αβ座標でみて、前記周領域を通過する1つの円周ライン、スパイラルラインおよび櫛歯状ラインの何れかに沿って前記光部品の光軸を移動させる(請求項4)。
【0011】
そして、前記第2ステップは、前記第4座標を新たな初期座標として新たな第5座標を探索するプロセスをさらに含む(請求項5)。
このような光軸調整方法によれば、ステップ毎に取得される最大受光量が、ステップを経るにつれて順次大きい値を示し、α座標およびY座標の変位量並びにβ座標およびX座標の変位量を同時に調整し、効率的且つ確実に調心位置を探索することが可能となる。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る実施形態を図1〜図6を参照して説明する。
図1は、発光部品と受光部品との光軸調整を行う調心装置の概略構成図である。図1における調心装置1は位置決めステージ10を備えている。この位置決めステージ10はXステージ12、Yステージ14およびZステージ16を含み、これらステージは下側からZ,Y,Xの順序で配置されている。さらに位置決めステージ10はXステージ12上にβステージ20およびαステージ18を順次備えており、αステージ18に可動台22が設けられている。Xステージ12、Yステージ14およびZステージ16は、図1中に示したX軸、Y軸およびZ軸方向に可動台22をそれぞれ移動させることができる。ここで、X軸およびY軸は水平面および垂直面内にあり、そして、Z軸はX軸と同一の水平面内にあって、X軸と直交している。
【0013】
βステージ20はXZ面内にてY軸回りに可動台22を回転させることができ、そして、αステージ18はYZ面内にてX軸回りに可動台22を回転させることができる。
ここで、可動台22は、αステージ18およびβステージ20の回転中心に配置されている。
【0014】
可動台22の近傍には固定台24が配置されており、この固定台24は可動台22からZ軸方向に離間している。
固定台24には発光部品としての発光モジュール26が載置されており、この発光モジュール26は半導体レーザ素子からのレーザ光をレンズによりコリメート光として可動体22に向けて出射する。すなわち、発光モジュール26はその光軸がZ軸方向に沿うようにして固定台24に載置されている。
【0015】
一方、可動台22には受光モジュール28が固定台24に向けて載置され、この受光モジュール28は発光モジュール26からのコリメート光を受光する受光素子を含んでいる。すなわち、受光モジュール28はその光軸がZ軸方向に沿うようにして可動台22に載置されている。
受光モジュール28からは光ファイバ30が延び、この光ファイバ30はパワーメータ32に接続されている。したがって、受光モジュール28にて受け取られたコリメート光は光ファイバ30を通じてパワーメータ32に伝搬され、これにより、パワーメータ32は発光モジュール26から受光モジュール28に入射するコリメート光の受光量を測定することができる。
【0016】
さらに、パワーメータ32はコントローラ34の入力ポートに電気的に接続され、そして、コントローラ34の出力ポートは前述した位置決めステージ10に電気的に接続されている。コントローラ34は、パワーメータ32にて測定した受光量の結果に基づき、位置決めステージ10の動作を制御する。
具体的には、コントローラ34は図2に示す調心ルーチンに従い、位置決めステージ10の動作を制御し、発光モジュール26の光軸に対する受光モジュール28の光軸調整を実行する。
【0017】
光軸調整を実行するに際し、発光モジュール26および受光モジュール28は前述したように固定台24および可動台22にそれぞれ載置されるが、この初期の載置状態では、これら発光モジュール26および受光モジュール28の光軸は互いにずれている。
先ず、調心ルーチンでは、コントローラ34は、発光モジュール26の光軸に対し、受光モジュール28の光軸の粗調心を行う(ステップS1)。具体的には、このステップS1では、パワーメータ32にて測定した受光モジュール28の受光量を読み込みながら、位置決めステージ10のXYZステージ12〜16を介して受光モジュール28をその初期点からスパイラル状に変位させ、受光量が発光モジュール26の全発光量の約1%になる粗調心座標に受光モジュール28を位置付ける。ここで、粗調心座標を(X0,Y0,Z0)とする。
【0018】
上述したスパイラル調心法による粗調心が終了すると、Xステージ12、Yステージ14およびZステージ16を順次移動させ、X軸、Y軸およびZ軸に関し、受光モジュール28の光軸を調心する。
即ち、次のステップS2では、コントローラ34は前記受光量を読み込みながら、初期点から粗調心座標に向かう探索方向にXステージ12を介して受光モジュール28を移動させ、受光量が最大となるX軸位置X1を取得する。
【0019】
次に、コントローラ34は前記探索方向にYステージ14を移動させ、受光量が最大となるY軸位置Y1を取得する(ステップS3)。ここで、このとき得られた受光量をPa、そして、X軸位置X1、Y軸位置Y1およびZ軸位置Z0の3点にて規定される平面をXY1平面とする。
この後、コントローラ34はZステージ16をパラメータにより決定されるステップ量(例えばZ1)だけ動作させ、この状態で、ステップS3での場合と同様に、Xステージ12およびYステージ14を順次移動させ、受光量が最大となるX軸位置X2、Y軸位置Y2を取得する(ステップS4)。ここで、このとき得られた受光量をPb、そして、X軸位置X2、Y軸位置Y2およびZ軸位置Z1の3点にて規定される平面をXY2平面とする。
【0020】
ここで、光の直進性を考慮すると、XY1平面上の座標(X1,Y1)とXY2平面上での座標(X2,Y2)との間を結ぶ直線の近傍に受光モジュール28の受光量が最大となる座標が存在すると仮定できるから、コントローラ34はXYZステージ12〜16を同時に動作させ、受光モジュール28を前記直線上にて移動させながら、受光量が最大となる座標(Xm,Ym,Zm)を取得する(ステップS5)。具体的には、このステップS5では、前記受光量Pa,Pbが比較され、受光量が小さい方の座標から受光量が大きい方の座標に向かい、受光モジュール28が所定の速度で移動され、この移動は受光量のピークを検出した後、このピークから現時点の受光量がパラメータにて決定される所定の割合以下になった時点で終了する。
【0021】
ここで、X軸位置Xm、Y軸位置YmおよびZ軸位置Zmの3点にて規定される平面をXYm平面とする。
なお、上述したXYZ軸に関する調心において、各軸の分解能は、Xステージ12、Yステージ14およびZステージ16の移動速度や、コントローラ34を含むパワーメータ24と位置決めステージ10との間の通信ラインにおける通信速度によって決定される。
【0022】
この後、コントローラ34は、受光モジュール28を前述したX軸およびY軸回りに関して調心するが、ここでの調心について説明するにあたり、X軸回りの回転角αおよびY軸回りの回転角βを図3に示すような直交座標系のαβ座標にて表し、そして、このαβ座標にて、受光モジュール28の光軸が前記座標(Xm,Ym,Zm)にあるときの回転角α,βの初期値をそれぞれα0,β0とする。
【0023】
ステップS6では、コントローラ34は、αβ座標において、初期座標(α0,β0)を中心とした円周を設定する。なお、この円周の半径rは所定のパラメータにより決定される。そして、コントローラ34は、αステージ18およびβステージ20を介して受光モジュール28を前記円周上にて所定のステップ毎に移動させ、円周上にて受光量が最大となる座標(αn,βn)を取得する。
【0024】
具体的には、コントローラ34は先ず、円周上の任意の座標(α1,β1)に受光モジュール28の光軸を位置付け、この時点での受光量P1を取得する。
次に、受光モジュール28の光軸は所定のパラメータで与えられる角度θだけ、円周上を反時計回りに移動されて、次の座標(α2,β2)に位置付けられ、コントローラ34はこの時点での受光量P2を取得する。このとき、P1<P2であれば、受光モジュール28の光軸は同一の角度θだけさらに円周上を移動され、コントローラ34はその座標(α3,β3)での受光量P3を取得する。このような円周上の移動は、n+1番目の座標(αn+1,βn+1)での受光量Pn+1がn番目の座標(αn,βn)での受光量Pnより小さくなるまで、すなわち、Pn>Pn+1となるまで繰り返される。ここで、n番目の座標(αn,βn)における受光量Pnを円周上の最大受光量とする。
【0025】
一方、受光量P1と受光量P2の比較において、P1>P2であれば、コントローラ34は受光モジュール28の光軸を円周上にて座標(α1,β1)から時計回りに同一の角度ずつ移動させ、そして、取得した受光量の比較から円周上での最大受光量Pn´となる座標を決定する。
ここで、円周上での最大受光量の座標探索には、例えば、2点探索法や、αステージ18およびβステージ20が円弧補間機能を有していれば、この円弧補間法を使用することができる。
【0026】
さらに、ステップ6においてαβ座標上で最大受光量の座標を探索する方法の変形例を、図4および図5に示す。図4は、αβ座標でみて受光モジュール28の光軸を櫛歯状ラインに沿って移動させる方法を示し、図5は、αβ座標でみて受光ジュール28の光軸をスパイラル状ラインに沿って移動させる方法を示す。これらの移動方法を用いても、図3で示した円周上での移動探索の場合と略同様の効果が得られる。
【0027】
ここで、初期座標(α0,β0)から座標(αn,βn)を通過して延びる半直線上に最大受光量が得られる座標が存在すると仮定できるから、コントローラ34は、αステージ18およびβステージ20を介し、初期座標(α0,β0)から座標(αn,βn)に向けて受光モジュール28の光軸を前記直線上にて移動させ、受光量の最大値が得られる座標(αk,βk)を探索する。
【0028】
図6に示されるように、受光モジュール28がX軸回りに回転されるとき、受光モジュール28の光結合点が描く移動軌跡Tと受光モジュール28の回転中心Cとの間には距離ΔZが存在する。それ故、αβ座標にて、受光量の最大値を示す座標(αk,βk)を求めたとしても、この座標(αk,βk)をXY座標系での座標(Xk,Yk)に変換してみたとき、光モジュール28の光結合点は前記距離ΔZに起因してY軸方向に変位しているので、座標(Xk,Yk)にて必ずしも最大受光量が得られることはなく、座標(Xk,Yk)での受光量と最大受光量との間には偏差が存在する。
【0029】
そこで、上述の偏差を補正するために、αβ座標でみて受光モジュール28の光軸が初期座標(α0,β0)から座標(αk,βk)に移動されたときのα軸方向の光軸の変位量および受光モジュール28における光結合点のY軸方向の変位量について考察する。
図6に示されるようにα軸方向の光軸の変位角がΔα(=|α0−αk|、単位は「°」)であって、そして、受光モジュール28の光結合点が移動軌跡T上をT0〜T1に変位し、この際のY軸方向の変位量がΔYであるとすると、実際上、変位角Δαは微小であることから、変位量ΔYは移動軌跡T上でのT0〜T1の円弧長に近似した値となる。よって、変位量ΔYは次式から算出することができる。
ΔY ≒ ΔαxΔZxπ/180                     (式1)
【0030】
ここで、距離ΔZは、可動台22に受光モジュール28が載置されたときに決定される定数であるから、変位量ΔYは変位角Δαに比例し、Δα∝ΔYの関係が得られる。
一方、受光モジュール28がY軸回りに回転される場合にも、距離ΔZに起因して、受光モジュール28の光結合点はX軸方向に変位量ΔXだけ変位し、この変位量ΔXは同様に、次式から算出することができる。
ΔX ≒ ΔβxΔZxπ/180                     (式2)
【0031】
ここで、Δβはβ軸方向の受光モジュール28の光軸の変位角を示す。したがって、変位量ΔXもまた変位角Δβに比例し、Δβ∝ΔXの関係が得られる。
次に、上述の偏差を実際に補正するため、コントローラ34は、座標(α0,β0)に対応した座標(Xm,Ym)から座標(αn,βn)に対応した座標(Xn,Yn)を通過する半直線を決定する。そして、コントローラ34は、αステージ18、βステージ20、Xステージ12およびYステージ14を同時に動作させ、前記半直線上にて受光モジュール28を所定のピッチ毎に移動させ、受光量が最大となる座標(Xq,Yq)および座標(αq,βq)を探索する(ステップS7)。
【0032】
ここでも、前述したステップS5での場合と同様に、現在の受光量が受光量のピークから所定量低下した時点で、座標の探索を終了する。
この後、コントローラ34は、位置決めステージ10を動作させ、受光モジュール28を座標(Xq,Yq)および座標(αq,βq)にて決定される位置に位置付ける。
【0033】
さらに、本実施形態の変形例として、上述のステップS1〜ステップS7の光軸調整で終了せずに、ステップS7に続けてステップS6およびステップS7を複数回(少なくとも1回以上)繰り返す光軸調整方法がある。すなわち、先ず、ステップS6と同様の探索により、コントローラ34は上述のステップS7で得られた座標(αq,βq)を中心とした半径r2の円周上にて受光量が最大となる座標(αn2,βn2)を取得する(ステップS8)。なお、この円周の半径r2は所定のパラメータにより決定される。
【0034】
次に、ステップS7と同様の探索により、座標(αq,βq)に対応した座標(Xq,Yq)から座標(αn2,βn2)に対応した座標(Xn2,Yn2)を通過する半直線を決定する。そして、コントローラ34は、αステージ18、βステージ20、Xステージ12およびYステージ14を同時に動作させ、前記半直線上にて受光モジュール28を所定のピッチ毎に移動させ、受光量が最大となる座標(Xq2,Yq2)および座標(αq2,βq2)を取得する(ステップS9)。
【0035】
ここで、ステップS8およびステップS9をt−1回繰り返し、t−1回目の座標(Xqt,Yqt)および座標(αqt,βqt)において取得される受光量Ptが所定の受光量より大きくなるまで繰り返される。この受光量Ptの取得をもって、光軸調整を終了し、コントローラ34は、受光モジュール28を座標(Xqt,Yqt)および座標(αqt,βqt)にて決定される位置に位置付ける。
【0036】
さらに、本実施形態の他の変形例として、粗調心(ステップS1)の後、先ず、上述のステップS6およびS7と略同様に行い、続いて、ステップS4、S2、S3およびS5と略同様に行う光軸調整方法がある。
すなわち、先ず、粗調心座標(X0,Y0,Z0)に対応するαβ座標(α0′,β0′)を中心とした半径r3の円周上にて受光量が最大となる座標(αu1,βu1)を取得する(ステップS6′)。なお、この円周の半径r3は所定のパラメータにより決定される。
【0037】
次に、座標(α0′,β0′)に対応した座標(X0,Y0)から座標(αu1,βu1)に対応した座標(Xu1,Yu1)を通過する半直線を決定する。そして、コントローラ34は、αステージ18、βステージ20、Xステージ12およびYステージ14を同時に動作させ、前記半直線上にて受光モジュール28を所定のピッチ毎に移動させ、受光量が最大となる座標(Xu2,Yu2)および座標(αu2,βu2)を取得する(ステップS7′)。
【0038】
この後、コントローラ34はZステージ16をパラメータにより決定されるステップ量(例えばZ1′)だけ動作させ、この状態で、Xステージ12およびYステージ14を順次移動させ、受光量が最大となるX軸位置X2′、Y軸位置Y2′を取得する(ステップS4′)。ここで、X軸位置X2′、Y軸位置Y2′およびZ軸位置Z1′の3点にて規定される平面をXY2′平面とする。
【0039】
次に、コントローラ34は初期点から座標(X2′,Y2′,Z1′)に向かう探索方向にXステージ12を移動させ、受光量が最大となるX軸位置X1′を取得する(ステップS2′)。
次に、コントローラ34は前記探索方向にYステージ14を移動させ、受光量が最大となるY軸位置Y1′を取得する(ステップS3′)。ここで、X軸位置X1′、Y軸位置Y1′およびZ軸位置Z0の3点にて規定される平面をXY1′平面とする。
【0040】
次に、XY1′平面上の座標(X1′,Y1′)とXY2′平面上での座標(X2′,Y2′)との間を結ぶ直線上で、コントローラ34はXYZステージ12〜16を同時に動作させ、受光モジュール28を前記直線上にて移動させながら、受光量が最大となる座標(Xm′,Ym′,Zm′)を取得する(ステップS5′)。これをもって、光軸調整を終了し、コントローラ34は、受光モジュール28を座標(Xm′,Ym′,Zm′)にて決定される位置に位置付ける。
【0041】
尚、本発明は上述した実施形態に限定されるものではない。例えば、受光モジュールを固定して発光モジュールを移動させる場合にも同様に適用できる。また、発光モジュールと受光モジュールの間にレンズ等の他の光部品を介する場合にも適用できる。さらに、本実施形態の光軸調整方法は、コリメート光以外の集光光あるいは拡がり光にも適用できる。
【0042】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明の光部品の光軸調整方法(請求項1〜5)によれば、ステップ毎に取得される受光量の最大値が、ステップを経るにつれて順次大きくなり、α座標およびY座標の変位量並びにβ座標およびX座標の変位量を同時に調整することができるため、効率的且つ確実に調心位置が探索できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】発光部品と受光部品との光軸調整を行う調心装置の概略構成図である。
【図2】図1に示す調心装置により本発明の実施形態に係る発光部品と受光部品との光軸調整を行う手順を示すフローチャートである。
【図3】αβ座標平面上で、初期座標(α0,β0)を中心として所定のパラメータで与えられる半径rの円周上で受光部品2を所定のステップで移動させて光軸調整を行う方法を示す概念図である。
【図4】αβ座標平面上で、初期座標(α0,β0)を中心として所定のパラメータで与えられる半径rの円周上であって、所定の櫛歯状に走査することに伴う前記円周と前記櫛歯状走査の交点を順次移動して光軸調整を行う方法を示す概念図である。
【図5】αβ座標平面上で、初期座標(α0,β0)を出発点として前記αβ座標平面上で螺旋状に移動して光軸調整を行う方法を示す概念図である。
【図6】Δα、ΔY、αβ座標平面の回転中心および光結合点の概略の関係を示す概念図である。
【符号の説明】
1 調心装置
10 位置決めステージ
12 Xステージ
14 Yステージ
16 Zステージ
18 αステージ
20 βステージ
22 可動台
24 固定台
26 発光モジュール
28 受光モジュール
30 光ファイバ
32 パワーメータ
34 コントローラ

Claims (5)

  1. 光を出射する発光部品と前記出射光を受光する受光部品のいずれか一方の光部品を移動させながら、前記受光部品の受光量を測定し、該測定受光量の最大値が得られる前記光部品の目標光軸位置を特定する光部品の光軸調整方法において、
    前記光部品の光軸を横断するXY面に関し、前記XY面を規定するX軸およびY軸の方向に前記光部品をそれぞれ移動させ、前記受光量が最大となる前記光部品の第1座標を得る第1ステップと、
    前記X軸および前記Y軸周りの前記光部品の回転角α及び回転角βにより規定されるαβ座標に関し、前記αβ座標のα軸およびβ軸にそれぞれ前記光部品を移動させながら、前記第1座標での受光量以上の範囲にて、受光量が最大となる前記光部品の第2座標を得る第2ステップとを備え、
    前記第2ステップでは、
    前記αβ座標に関して、前記第1座標での初期座標を中心とする周領域にて、前記初期座標での受光量よりも大きな受光量が得られる第3座標を求めた後、前記初期座標から前記第3座標を通過する半直線上にて受光量が最大となる第4座標を前記目標光軸位置として探索することを特徴とする光部品の光軸調整方法。
  2. 前記光部品は、前記X軸および前記Y軸回りの回転中心から離間した光入射点又は光出射点としての光結合点を有し、
    前記第2ステップは、前記X軸および前記Y軸回りに前記光部品が回転されたとき、前記光結合点の変位に起因する前記第4座標と前記目標光軸位置との間のずれを補償するプロセスを含むことを特徴とする請求項1の光部品の光軸調整方法。
  3. 前記第2ステップの後に、前記光軸方向に前記光部品を移動させながら、受光量が最大となる光部品の位置を探索する第3ステップをさらに含む請求項1記載の光部品の光軸調整方法。
  4. 前記第2ステップは、前記αβ座標でみて、前記周領域を通過する1つの円周ライン、スパイラルラインおよび櫛歯状ラインの何れかに沿って前記光部品の光軸を移動させることを特徴とする請求項1記載の光部品の光軸調整方法。
  5. 前記第2ステップは、前記第4座標を新たな初期座標として新たな第5座標を探索するプロセスをさらに含むことを特徴とする請求項1記載の光部品の光軸調整方法。
JP2002250752A 2002-08-29 2002-08-29 光部品の光軸調整方法 Pending JP2004093616A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002250752A JP2004093616A (ja) 2002-08-29 2002-08-29 光部品の光軸調整方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002250752A JP2004093616A (ja) 2002-08-29 2002-08-29 光部品の光軸調整方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2004093616A true JP2004093616A (ja) 2004-03-25

Family

ID=32057503

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2002250752A Pending JP2004093616A (ja) 2002-08-29 2002-08-29 光部品の光軸調整方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2004093616A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013210560A (ja) * 2012-03-30 2013-10-10 Sumitomo Electric Device Innovations Inc 光軸調整方法
KR102210348B1 (ko) * 2019-07-25 2021-02-01 (주)지엘테크 초점위치와 광축의 조정이 가능한 반사계
CN115236801A (zh) * 2022-09-08 2022-10-25 成都光创联科技有限公司 一种光器件耦合控制方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013210560A (ja) * 2012-03-30 2013-10-10 Sumitomo Electric Device Innovations Inc 光軸調整方法
KR102210348B1 (ko) * 2019-07-25 2021-02-01 (주)지엘테크 초점위치와 광축의 조정이 가능한 반사계
CN115236801A (zh) * 2022-09-08 2022-10-25 成都光创联科技有限公司 一种光器件耦合控制方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN111650543A (zh) 一种基于金刚石nv色心的微波近场矢量测量方法
TW200927348A (en) Laser processing apparatus
CN103926548B (zh) 一种快速测量射电望远镜反射面精度的方法
US20180304409A1 (en) Laser processing method
CN106092515B (zh) 一种用法布里-珀罗标准具测量焦距和转角的方法
JP2004093616A (ja) 光部品の光軸調整方法
Chiche et al. Radio-Morphing: a fast, efficient and accurate tool to compute the radio signals from air-showers
Bogdanov et al. Electron-beam lithography for photonic waveguide fabrication: Measurement of the effect of field stitching errors on optical performance and evaluation of a new compensation method
US6576902B2 (en) Correction method of scanning electron microscope
CN209488672U (zh) 大幅面图像获取设备
CN105388706B (zh) 自参考干涉对准系统
CN109791281A (zh) 光束扫描装置、图案描绘装置、及图案描绘装置的精度检查方法
Liu et al. A five degrees-of-freedom errors measurement system for rotary axis with reference laser for reference axis alignment
DuMond et al. A Precision Two Crystal X‐Ray Spectrometer of Wide Applicability with Worm Wheel Drive; an Improved Precise Method of Equalizing the Spacing of Worm Wheel Teeth
Geraldes et al. New sensor and non-contact geometrical survey for the vibrating wire technique
CN105674913A (zh) 一种长程光学表面面形检测系统
CN112254938B (zh) 一种离轴抛物镜光轴检测装置及检测方法
CN109804314A (zh) 光束扫描装置及图案描绘装置
Hakli et al. Dual reflector feed system for hologram-based compact antenna test range
JP3198187B2 (ja) 荷電粒子ビーム露光装置の調整方法
JP2726538B2 (ja) 電子顕微鏡
RU2269795C1 (ru) Способ однопозиционного измерения координат источника лазерного излучения и устройство для его реализации
JPH11281721A (ja) 電磁場測定方法
JP2005134169A (ja) 電磁界測定方法および測定装置、ならびに半導体装置
CN109791280A (zh) 光束扫描装置及图案描绘装置