JP2004087941A

JP2004087941A - Manufacturing method and apparatus for electro-optical device, and manufacturing method and apparatus for electronic apparatus

Info

Publication number: JP2004087941A
Application number: JP2002248874A
Authority: JP
Inventors: Yoshiyuki Okamoto; 岡本　佳之
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2002-08-28
Filing date: 2002-08-28
Publication date: 2004-03-18

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manufacturing method and apparatus for an electro-optical device, and a manufacturing method and apparatus for an electronic apparatus, wherein its IC chip and its electronic components are mounted efficiently on it within a short time. <P>SOLUTION: In the manufacturing apparatus for the electro-optical device, first and second light sources 10a, 10b for emitting respectively different color tones or different wavelengths from each other are provided. Also, there is provided a switching means 15 for projecting a light on the positioning mark of an IC chip 20 or a liquid crystal panel 21, in switching from between the first and second light sources 10a, 10b. Further, in the case of the image recognition of the positioning marks, every time the irradiated objects (the IC chip 20 and the liquid crystal panel 21) are altered, the light, capable of properly recognizing the image of each positioning mark, is irradiated on it in switching between the light sources 10a, 10b. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、ＩＣチップや電子部品の実装を短時間かつ効率的に行える電気光学装置の製造方法および製造装置、並びに、電子部品の製造方法および製造装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
電子部品を実装する場合、例えばＩＣチップを液晶パネルに実装する場合には、これらに位置決めマークを付してそれぞれ画像認識し、これにより取得した位置情報に基づいてＩＣチップと液晶パネルとの位置合わせを行う。また、この位置合わせでは、画像認識にあたって位置決めマークに光を照射するようにしている。ここで、位置決めマークは、例えばＩＣチップではシリコン部材の表面に付され、液晶パネルではガラス板の表面にＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ　Ｔｈｉｎ　Ｏｘｉｄｅ）で付されることになる。しかし、位置決めマークの見え易さは、付された部品の材質等により異なり、液晶パネルの位置決めマークは、ＩＣチップのそれよりも見え難い。このため、認識対象の材質に応じて照射する光の色調を変え、位置決めマークとその背景とのコントラストを最適化することにより、位置決めマークが見え易い状態を形成する必要があり、例えばＩＣチップに対しては青色光を照射し、液晶パネルに対しては白色光を照射することが好ましい。ここで、従来では、かかる色調の異なる光を照射するにあたり、単一の光源にカラーフィルタを着脱可能に設け、照射対象の材質に応じてカラーフィルタを着脱する構成を採っていた。具体的には、ＩＣチップに対しては青色のカラーフィルタを着けた状態で光を照射し、液晶パネルに対しては外した状態で光を照射するようにしていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、カラーフィルタを外した状態と着けた状態とでは、光源からの光量に差が生ずる。即ち、カラーフィルタを外した状態よりも着けた状態の方が暗くなり、位置合わせマークの視認性が低下するため、当該カラーフィルタを着けた状態では、前記光源を調整してその光量を増加させるようにする。一方、この状態からカラーフィルタを外すと、光量が多すぎてハレーションが生じてしまい、位置合わせマークが見え難くなるので、前記光源の光量を減少させる調整が必要となる。
【０００４】
しかしながら、ＩＣチップの実装工程では、ＩＣチップの位置決めマークと、液晶パネルの位置決めマークとを交互に画像認識するため、その都度、カラーフィルタを着脱し、それに伴い光量の増減調整を行う必要があるところ、ハロゲンランプ等の一般的な光源では、光量を調整してもすぐには明るさが切り替わらず、また、光量が安定するまでに時間がかかるという問題点がある。他方、位置マークがよく見えない状態のままでは、位置合わせの精度が低下してしまう。このようなことから、上記位置合わせには相当時間を要し、実装工程のサイクルタイムが遅くなるという問題点があった。
【０００５】
そこで、この発明は、上記に鑑みてなされたものであって、ＩＣチップや電子部品の実装を短時間かつ効率的に行える液晶表示装置の製造方法および製造装置、並びに、電子機器の製造方法および製造装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、この発明にかかる電気光学装置の製造方法は、ＩＣチップが有する第１位置決めマークに、第１光源からの光を照射して撮像し、前記ＩＣチップの位置情報を取得する第１位置情報取得ステップと、電気光学パネルが有する第２位置決めマークに、前記第１位置決めマークに照射した光とは異なる色調もしくは波長を有する光を第２光源から照射して撮像し、前記電気光学パネルの位置情報を取得する第２位置情報取得ステップと、取得した前記ＩＣチップおよび前記電気光学パネルの位置情報に基づいて、前記ＩＣチップと前記電気光学パネルとの位置合わせを行い、前記ＩＣチップを前記電気光学パネルに実装する実装ステップとを含むものである。
【０００７】
この発明では、ＩＣチップおよび電気光学パネルの位置決めマークを撮像するにあたり、それぞれの位置決めマークに、相互に異なる光源から、異なる色調もしくは波長を有する光を照射する。そして、これらの位置情報を取得し、この位置情報に基づいてＩＣチップを電気光学パネルに実装する。すると、単一の光源を用いて照射対象ごとにフィルタの着脱や光量調整を行いつつ撮像する場合と比較して、フィルタの着脱時間や光源が安定するまでの時間を省略できるので、画像認識に要する時間を短縮化して電気光学装置の製造工程を効率化できる。なお、各光源の光量およびその光の色調等は、各位置決めマークを画像認識し易いものとなるように、対応する照射対象（ＩＣチップおよび電気光学パネル）に応じて事前に調整する。また、第１位置情報取得ステップと、第２位置情報取得ステップとは、いずれを先に行ってもよく、交互に連続して行ってもよく、同時に行ってもよい。通常の生産ラインでは、両者を１セットとして、交互かつ連続して行われる。
【０００８】
また、この発明にかかる電気光学装置の製造方法は、上記電気光学装置の製造方法において、さらに、前記第１光源に接続されてこれらの光源が発する光を導く第１導光手段および前記第２光源に接続されてこれらの光源が発する光を導く第２導光手段と、導かれた光を前記第１位置決めマークもしくは前記第２位置決めマークに照射する照射部との接続を相互に切り替えることにより、前記第１位置決めマークに照射する光と前記第２位置決めマークに照射する光との切り替えを行う切替ステップを含むものである。
【０００９】
この発明では、光源からの光を導く導光手段の切り替えにより、照射する光の切り替えを行うので、例えば、光源自体を変位移動させて切り替える場合や、反射鏡等を用いた複雑な構造により切り替える場合と比較して、より簡易に照射する光を切り替えられる。なお、導光手段には、例えば、グラスファイバーが含まれる。
【００１０】
また、この発明にかかる電気光学装置の製造方法は、上記電気光学装置の製造方法において、前記切替ステップは、隣接して配置された前記第１導光手段および前記第２光導光手段の光の出口にて、前記照射部との接続を切り替える隣接切替ステップを含むものである。
【００１１】
この発明では、第１導光手段の光の出口と、第２導光手段の光の出口とを隣接させ、この隣接した部分にて照射部側との切替を行う。これにより、導光手段と照射部側との接続を、隣接した短い区間にて切り替えられるので、光源の切替時間を短縮化できる。なお、導光手段の光の出口とは、例えば、グラスファイバーであれば、その先端部をいう。
【００１２】
また、この発明にかかる電気光学装置の製造方法は、上記電気光学装置の製造方法において、前記切替ステップは、前記第１導光手段もしくは前記第２導光手段と、前記照射部との接続を、これらの導光手段間に設けた往復機構、回転機構その他の切替機構により、相互に切り替える相互切替ステップを含むものである。
【００１３】
この発明では、第１導光手段と第２導光手段との間に往復機構、回転機構その他の切替機構を設け、照射部と各導光手段との接続を、切替機構の往復運動、回転運動等により、相互に連続的に切り替える。これにより、光源の連続切替が可能となり、光源の切替時間を短縮化できる。
【００１４】
また、この発明にかかる電気光学装置の製造装置は、ＩＣチップを電気光学パネルに実装する工程にて、前記ＩＣチップが有する第１位置決めマーク、および前記電気光学パネルが有する第２位置決めマークを画像認識して位置合わせを行うにあたり、前記第１位置決めマークに照射される光を発する第１光源と、前記第１光源の光とは異なる色調もしくは波長の光であって前記第２位置決めマークに照射される光を発する第２光源と、前記第１位置決めマークもしくは前記第２位置決めマークに照射される光を、前記第１光源からの光と前記第２光源からの光との間で相互に切り替える切替手段とを含むものである。
【００１５】
この発明では、相互に異なる色調もしくは波長の光を発する第１光源および第２光源を設け、さらに、位置決めマークに照射する光を、第１光源からの光と第２光源からの光とでに相互に切り替える切替手段を設ける。そして、第１位置決めマークおよび第２位置決めマークの画像認識にあたり、照射対象（ＩＣチップおよび電子工学パネル）が変わるごとに光源を切り替え、各位置決めマークを適切に画像認識できる光を照射する。これにより、単一の光源を用いる場合と比較して、照射対象が変わるごとにカラーフィルタの脱着を行い光量を調整する作業が不要となるので、位置決めマ−クの画像認識に要する時間を短縮化して電子光学装置の製造工程を効率化できる。
【００１６】
なお、光源には、ハロゲンランプ、ＬＥＤその他の光源が含まれる。また、第１光源と第２光源との光の色調等を異ならせるのは、対応する位置決めマークを適切に画像認識できるようにするためである。したがって、各光源の光の色調等は、光の照射により、対応する位置決めマークのコントラストが、画像認識し得る程度に際立つように、当業者自明の範囲内で事前に調整する。また、これと併せて、光源の光量も事前に調整する。
【００１７】
また、この発明にかかる電気光学装置の製造装置は、ＩＣチップを電気光学パネルに実装する工程にて、前記ＩＣチップが有する第１位置決めマーク、および前記電気光学パネルが有する第２位置決めマークを画像認識して位置合わせを行うにあたり、前記第１位置決めマークに照射される光を発する第１光源と、前記第２位置決めマークに照射される光を発する第２光源と、前記第１位置決めマークもしくは前記第２位置決めマークに照射される光を、前記第１光源からの光と前記第２光源からの光との間で相互に切り替える切替手段とを含み、且つ、前記第１光源もしくは前記第２光源は、発する光の色調もしくは波長を、対応する前記第１位置決めマークもしくは前記第２位置決めマークを画像認識され得る光に調整する調整手段を有する。
【００１８】
この発明では、相互に異なる色調もしくは波長の光を発する第１光源および第２光源を設け、さらに、位置決めマークに照射する光を、第１光源からの光と第２光源からの光とでに相互に切り替える切替手段を設ける。特に、上記発明との比較では、照射される光によって対応する位置決めマークが適切に画像認識され得るように、第１光源および第２光源の少なくとも一方に、発する光の色調等を調整する調整手段を設ける。これにより、光源が、例えばハロゲンランプのような単色光のランプである場合にも、調整手段によりその色調等を調整して、各位置決めマークを画像認識し易い光を照射できる。なお、調整手段には、例えば、カラーフィルタが含まれる。
【００１９】
また、この発明にかかる電子機器の製造方法は、電子部品が有する第１位置決めマークに、第１光源からの光を照射して撮像し、前記電子部品の位置情報を取得する第１位置情報取得ステップと、基板が有する第２位置決めマークに、前記第１位置決めマークに照射した光とは異なる色調もしくは波長を有する第２光源からの光を照射して撮像し、前記基板の位置情報を取得する第２位置情報取得ステップと、取得した前記電子部品および前記基板の位置情報に基づいて、前記電子部品と前記基板との位置合わせを行い、前記電子部品を前記基板に実装する実装ステップとを含むものである。
【００２０】
この発明では、電子部品および基板の位置決めマークを撮像するにあたり、それぞれの位置決めマークに、相互に異なる光源から、異なる色調もしくは波長を有する光を照射する。そして、これらの位置情報を取得し、この位置情報に基づいて電子部品を基板に実装する。すると、単一の光源を用い照射対象ごとにフィルタの着脱や光量調整を行いつつ撮像する場合と比較して、フィルタの着脱時間や光源が安定するまでの時間を省略できるので、画像認識に要する時間を短縮化して電子機器の製造工程を効率化できる。
【００２１】
なお、各光源の光量およびその光の色調等は、各位置決めマークを画像認識し易いものとなるように、対応する照射対象（電子部品およびパネル）に応じて事前に調整する。また、第１位置情報取得ステップと、第２位置情報取得ステップとは、いずれを先に行ってもよく、交互に連続して行ってもよく、同時に行ってもよい。また、第１光源および第２光源は、それぞれ複数あってもよい。例えば、実装すべき電子部品が複数あり、且つ、各電子部品の位置決めマークを認識するに適切な色調が相互に異なる場合には、各電子部品ごとに複数設けた光源を用い、対応する各光源により光を照射してもよい。また、電子部品には、例えば、ＩＣチップ、回路素子が含まれ、基板には、液晶パネル、回路基板が含まれる。
【００２２】
また、この発明にかかる電子機器の製造装置は、電子部品をパネルに実装する工程にて、前記電子部品が有する第１位置決めマーク、および前記基板が有する第２位置決めマークを画像認識して位置合わせを行うにあたり、前記第１位置決めマークに照射される光を発する第１光源と、前記第１光源の光とは異なる色調もしくは波長の光であって前記第２位置決めマークに照射される光を発する第２光源と、前記第１位置決めマークもしくは前記第２位置決めマークに照射される光を、前記第１光源からの光と前記第２光源からの光との間で相互に切り替える切替手段とを含むものである。
【００２３】
この発明では、相互に異なる色調もしくは波長の光を発する第１光源および第２光源を設け、さらに、位置決めマークに照射する光を、第１光源からの光と第２光源からの光とでに相互に切り替える切替手段を設ける。そして、第１位置決めマークおよび第２位置決めマークの画像認識にあたり、照射対象（電子部品およびパネル）が変わるごとに光源を切り替え、各位置決めマークを適切に画像認識できる光を照射する。これにより、単一の光源を用いる場合と比較して、照射対象が変わるごとにカラーフィルタの脱着を行い光量を調整する作業が不要となるので、位置決めマ−クの画像認識に要する時間を短縮化して電子機器の製造工程を効率化できる。
【００２４】
なお、光源には、ハロゲンランプ、ＬＥＤその他の光源が含まれる。また、第１光源と第２光源との光の色調等を異ならせるのは、対応する位置決めマークを適切に画像認識できるようにするためである。したがって、各光源の光の色調等は、光の照射により、対応する位置決めマークのコントラストが、画像認識し得る程度に際立つように、当業者自明の範囲内で事前に調整する。また、これと併せて、光源の光量も事前に調整する。また、第１光源および第２光源は複数あってもよい。例えば、実装すべき電子部品が複数あり、且つ、各電子部品の位置決めマークを認識するに適切な色調が相互に異なる場合には、光源を各電子部品ごとに複数設け、切替手段により順次光源からの光を切り替えて照射する構成としてもよい。
【００２５】
【発明の実施の形態】
以下、この発明につき図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。また、以下に示す実施の形態の構成要素には、当業者が置換可能かつ容易なもの、或いは実質的同一のものが含まれる。
【００２６】
図１は、この発明の実施の形態にかかる液晶表示装置の製造装置の要部を示す構成図である。この製造装置１は、光源１０ａ、１０ｂと、グラスファイバー１２ａ、１２ｂと、切替装置１５と、照射部１９とを有する。光源１０ａ、１０ｂは、それぞれ内部にハロゲンランプ１１を備えている。一の光源１０ａは、ハロゲンランプ１１ａの色調を青色に変更するカラーフィルタ（図示省略）を内部に有する。一方、他の光源１０ｂは、このカラーフィルタを有さず、ハロゲンランプ１１ｂ本来の白色光を発する。光源１０ａ、１０ｂのハロゲンランプ１１ａ、１１ｂは、その光の照射対象に応じてその光の光量をそれぞれ事前に調整される。具体的には、光源１０ａ側の光量は、その光がＩＣチップの位置決めマークに照射されたときに、位置決めマークと背景とのコントラストが最適化され、適切に位置決めマークを画像認識できるように調整される。また、光源１０ｂ側の光量も、同様に液晶パネルの位置決めマークに合わせて調整される。なお、光量は、カラーフィルタを有する光源１０ａ側の方が光源１０ｂ側よりも大きい。
【００２７】
グラスファイバー１２ａ、１２ｂは、これらの光源１０ａ、１０ｂにそれぞれ接続されて延出し、その光の出口となる先端部１３ａ、１３ｂを隣接させている。グラスファイバー１２ａ、１２ｂは、光源１０ａ、１０ｂが発する光の導光路となる。切替装置１５は、シリンダ部１６の変位により左右に往復運動する接続部１７を備える。接続部１７は、グラスファイバー１２ａ、１２ｂの先端部１３ａ、１３ｂのいずれか一方と接続し、往復運動によりその接続を交互に切り替える。
【００２８】
接続部１７は、画像認識の対象がＩＣチップのときは、光源１０ａ側のグラスファイバー１２ａに接続し、液晶パネルのときは、光源１０ｂ側のグラスファイバー１２ｂに接続する。なお、接続の切り替えは、手動または自動により行われる。グラスファイバー１２は、この接続部１７を介してグラスファイバー１８に接続する。グラスファイバー１８は、照射部１９に接続し、接続部１７からの光を照射部１９に導く導光路となる。照射部１９は、光源１０からグラスファイバー１２，１８を介して導かれた光を、ＩＣチップ２０もしくは液晶パネル２１の位置決めマークに照射する。なお、位置決めマークは、回路パターン等を形成する工程にて付される一定形状のマークであり、パターンが形成される側の面側（能動面側）にそれぞれ付される。
【００２９】
図２は、ＩＣチップの実装工程を示すフローチャートであり、図３は、ＩＣチップの実装の様子を示す説明図である。ＩＣチップ２０の実装では、まず、光源１０ａからの光をＩＣチップ２０の位置決めマークａ、ａに照射し（ステップＳＴ１）、これらをＣＣＤカメラ等の撮像手段（図示省略）により撮像して画像認識する（ステップＳＴ２）。図３（ａ）に示すように、ＩＣチップ２０には、その両端付近に位置決めマークａ、ａが付され、照射部１９は、これらに対して一時に光を照射する。そして、認識した画像情報に基づいて、ＩＣチップ２０の位置情報を生成する（ステップＳＴ３）。次に、切替装置１５により、接続部１７の接続を光源１０ａ側から光源１０ｂ側に切り替える（ステップＳＴ４）。これにより、照射部１９から照射される光は、光源１０ａの青色光から、光源１０ｂの白色光に切り替わる。このとき、光源１０ａ、１０ｂのハロゲンランプ１１ａ、１１ｂは、いずれも常時灯った状態にあり且つ光量の調整も行わない。したがって、光の整定時間が長いハロゲンランプ１１でも、光源１０ａ、１０ｂを切り替えた後、直ちに安定した光を照射対象に照射できる。
【００３０】
接続を切り替えた後、光源１０ｂの光を液晶パネル２１の位置決めマークｂ、ｂに一時に照射し（ステップＳＴ５）、これらを撮像して画像認識する（ステップＳＴ６）。なお、図３（ｂ）に示すように、液晶パネル２１の位置決めマークｂ、ｂは、ＩＣチップ２０が実装される所定の箇所付近に付されている。次に、認識した画像情報に基づいて、液晶パネル２１の位置情報を生成する（ステップＳＴ７）。そして、この位置情報とＩＣチップ２０の位置情報とに基づいて、ＩＣチップ２０と液晶パネル２１との位置合わせを行い（ステップＳＴ８）、ＩＣチップ２０を液晶パネル２１に実装する（ステップＳＴ９）。なお、位置合わせは、位置決めマークａ、ａのセンターと、位置決めマークｂ、ｂのセンターとをそれぞれ取り、これらのセンターを合わせることにより行う（図３（ｃ）参照）。そして、切替装置１５により、接続を光源１０ｂ側から光源１０ａ側に切り替えて戻し（ステップＳＴ１０）、次のＩＣチップ２０の実装サイクルに入る。
【００３１】
この実施の形態では、色調の異なる光を発する複数の光源１０ａ、１０ｂを設け、これらの光源１０ａ、１０ｂとの接続を切り替えることにより、照射対象（ＩＣチップおよび液晶パネルの位置決めマーク）に照射する光を切り替える。これにより、単一の光源を用いて照射対象ごとにカラーフィルタを着脱し、さらに光量を調整する場合と比較して、より効率的かつ迅速に照射する光を切り替えられる。また、光源１０ａ、１０ｂからグラスファイバー１２ａ、１２ｂを引き出して、これらの先端部１３ａ、１３ｂを隣接させ、ここで光源の切替を行うこととしたので、簡易かつ高速に光源を切り替え得る。
【００３２】
なお、この実施の形態では、光源１０ａにカラーフィルタを設け、発する光を青色にしているが、これは色調を青色とした方が、元の白色光の場合よりもＩＣチップ２０の位置合わせマークａ、ａを画像認識し易いからである。また、光源１０ｂでは、カラーフィルタを設けていないが、これは液晶パネル２１の位置合わせマークｂ、ｂは、元の白色光により十分に画像認識できるからである。すなわち、カラーフィルタによる色調の調整は、照射対象の位置合わせマークが画像認識できるか否かの観点から行われる。また、位置合わせマークの視認性は、照射対象の材質等により影響を受ける。したがって、カラーフィルタの有無およびその色調は、この実施の形態に限定されず、その光源１０の照射対象の材質等を考慮し、当業者自明の範囲で適宜選択し決定することが好ましい。したがって、光源１０ａ、１０ｂの双方に異なる色調のカラーフィルタが設置される場合もある。
【００３３】
また、この実施の形態では、ハロゲンランプ１１を用いて光源１０を構成したが、これは、ハロゲンランプ１１が既存の製造装置に多く用いられ、且つ、照明として十分な光量を有する点で好ましい。しかし、これに限らず、ＬＥＤその他の要素を用いて光源を構成してもよい。また、この実施の形態では、図１に示すように、光源１０ａと光源１０ｂとは、別構成としているが、これに限らず、これらを一つの筐体内に収容してもよい（図示省略）。
【００３４】
また、この実施の形態では、切替装置１５をシリンダ機構により構成したが、これは、隣接させ若しくは並べて配置したグラスファイバー１２ａ、１２ｂの先端部１３ａ、１３ｂを、切替部１７の往復運動により高速かつ確実に切り替え得る点で好ましいからである。しかし、これに限らず、切替装置１５は、他の機構により構成してもよい。例えば図４に示すように、回転機構等を用い、照射部１９側のグラスファイバー１８を接続した切替部２５が、首振り往復運動を行い光源１０側のグラスファイバー１２ａ、１２ｂとの接続を切り替える構成としてもよいし、その他当業者自明の範囲で切替装置１５を構成してよい。
【００３５】
また、この実施の形態では、液晶パネル２１に実装される部品はＩＣチップ２０のみであり、したがって、光源１０は、ＩＣチップ２０用の光源１０ａ、および液晶パネル２１用の光源１０ｂのみが設置される。しかし、例えば、複数の電子部品を実装する場合であって、これらの電子部品に照射すべき光の色調もしくは波長がそれぞれ異なる場合もある。かかる場合には、図５に示すように、その色調の数に応じて適切なカラーフィルタを有する光源１０ａ、ｂ、ｃ・・・を設け、切替部１５の接続対象であるグラスファイバー１２ａ、ｂ、ｃ・・・を増加させた構成としてもよい。かかる場合には、グラスファイバー１２ａ、ｂ、ｃ・・・の先端部１３ａ、ｂ、ｃ・・・を近設して、切替部２６がこれらと順次接続できる構成とすることが好ましい。
【００３６】
また、上記実施の形態では、電気光学装置として、液晶装置に適用した場合について説明したが、本発明はこれに限定されず、エレクトロルミネッサンス装置、特に、有機エレクトロルミネッサンス装置、無機エレクトロルミネッサンス装置等や、プラズマディスプレイ装置、ＦＥＤ（フィールドエミッションディスプレイ）装置、ＬＥＤ（発光ダイオード）表示装置、電気遊動表示装置、薄型のブラウン管、液晶シャッター等を用いた小型テレビ、デジタルマイクロミラーデバイス（ＤＭＤ）を用いた装置などの各種の電気光学装置に適用できる。
【００３７】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明にかかる液晶表示装置の製造方法では、ＩＣチップおよび液晶パネルの位置決めマークを撮像するにあたり、それぞれの位置決めマークに、相互に異なる光源から、異なる色調もしくは波長を有する光を照射するので、単一の光源を用いて照射対象ごとにフィルタの着脱や光量調整を行いつつ撮像する場合と比較して、フィルタの着脱時間や光源が安定するまでの時間を省略できるので、画像認識に要する時間を短縮化して液晶表示装置の製造工程を効率化できる。
【００３８】
また、この発明にかかる液晶表示装置の製造方法によれば、光源からの光を導く導光手段の切り替えにより、照射する光の切り替えを行うので、例えば、光源自体を変位移動させて切り替える場合や、反射鏡等を用いた複雑な構造により切り替える場合と比較して、より簡易に照射する光を切り替えられる。
【００３９】
また、この発明にかかる液晶表示装置の製造方法によれば、第１導光手段の光の出口と、第２導光手段の光の出口とを隣接させ、この隣接した部分にて照射部側との切替を行うので、導光手段と照射部側との接続を、隣接した短い区間にて切り替えられる、これにより、光源の切替時間を短縮化できる。
【００４０】
また、この発明にかかる液晶表示装置の製造方法によれば、第１導光手段と第２導光手段との間に往復機構、回転機構その他の切替機構を設け、照射部と各導光手段との接続を、切替機構の往復運動、回転運動等により、相互に連続的に切り替えるので、光源の連続切替が可能となり、光源の切替時間を短縮化できる。
【００４１】
また、この発明にかかる液晶表示装置の製造装置では、相互に異なる色調もしくは波長の光を発する第１光源および第２光源を設け、置決めマークの画像認識にあたり、照射対象（ＩＣチップおよび液晶パネル）が変わるごとに光源を切り替え、各位置決めマークを適切に画像認識できる光を照射こことした。これにより、単一の光源を用いる場合と比較して、照射対象が変わるごとにカラーフィルタの脱着を行い光量を調整する作業が不要となるので、位置決めマ−クの画像認識に要する時間を短縮化して液晶表示装置の製造工程を効率化できる。
【００４２】
また、この発明にかかる液晶表示装置の製造装置によれば、さらに、照射される光によって対応する位置決めマークが適切に画像認識され得るように、第１光源および第２光源の少なくとも一方に、発する光の色調等を調整する調整手段を設けたので、光源が、例えばハロゲンランプのような単色光のランプである場合にも、調整手段によりその色調等を調整して、各位置決めマークを画像認識し易い光を照射できる。
【００４３】
また、この発明にかかる電子機器の製造方法では、電子部品およびパネルの位置決めマークを撮像するにあたり、それぞれの位置決めマークに、相互に異なる光源から、異なる色調もしくは波長を有する光を照射し、これらの位置情報を取得し、この位置情報に基づいて電子部品をパネルに実装するので、単一の光源を用い照射対象ごとにフィルタの着脱や光量調整を行いつつ撮像する場合と比較して、フィルタの着脱時間や光源が安定するまでの時間を省略でき、画像認識に要する時間を短縮化して電子機器の製造工程を効率化できる。
【００４４】
また、この発明にかかる電子機器の製造装置では、相互に異なる色調もしくは波長の光を発する第１光源および第２光源を設け、画像認識にあたり、照射対象（電子部品およびパネル）が変わるごとに光源を切り替え、各位置決めマークを適切に画像認識できる光を照射するので、単一の光源を用いる場合と比較して、照射対象が変わるごとにカラーフィルタの脱着を行い光量を調整する作業が不要となるので、位置決めマ−クの画像認識に要する時間を短縮化して電子機器の製造工程を効率化できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施の形態にかかる液晶表示装置の製造装置の要部を示す構成図である。
【図２】ＩＣチップの実装工程を示すフローチャートである。
【図３】ＩＣチップの実装の様子を示す説明図である。
【図４】図１に記載した液晶表示装置の製造装置にかかる切替部の変形例を示す構成図である。
【図５】図１に記載した液晶表示装置の製造装置にかかる切替部の変形例を示す構成図である。
【符号の説明】
１　液晶表示装置の製造装置
１０ａ、１０ｂ　光源
１２ａ、１２ｂ、１８　グラスファイバー
１５　切替手段
１７　切替部
１９　照射部
２０　ＩＣチップ
２１　液晶パネル
ａ、ｂ　位置決めマーク[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a method and an apparatus for manufacturing an electro-optical device capable of mounting an IC chip and an electronic component in a short time and efficiently, and a method and an apparatus for manufacturing an electronic component.
[0002]
[Prior art]
When electronic components are mounted, for example, when mounting an IC chip on a liquid crystal panel, a positioning mark is attached to each of them to recognize an image, and the positions of the IC chip and the liquid crystal panel are determined based on the obtained position information. Perform alignment. In this alignment, light is applied to the positioning mark for image recognition. Here, the positioning mark is, for example, attached to the surface of a silicon member in the case of an IC chip, and is attached to the surface of a glass plate in the case of a liquid crystal panel using ITO (Indium Thin Oxide). However, the visibility of the positioning mark differs depending on the material of the attached component and the like, and the positioning mark of the liquid crystal panel is less visible than that of the IC chip. Therefore, it is necessary to form a state in which the positioning mark is easy to see by changing the color tone of the light to be irradiated according to the material of the recognition target and optimizing the contrast between the positioning mark and its background. It is preferable to irradiate the liquid crystal panel with blue light and irradiate the liquid crystal panel with white light. Here, in the related art, when irradiating light having different color tones, a configuration is adopted in which a color filter is detachably provided on a single light source, and the color filter is attached and detached according to a material to be irradiated. Specifically, light is emitted to an IC chip with a blue color filter attached, and light is emitted to a liquid crystal panel with the filter removed.
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
By the way, there is a difference in the amount of light from the light source between the state where the color filter is removed and the state where the color filter is worn. That is, in the state in which the color filter is removed, the state of wearing is darker than the state in which the color filter is removed, and the visibility of the alignment mark is reduced. Therefore, in the state in which the color filter is worn, the light source is adjusted to increase the light amount. To do. On the other hand, if the color filter is removed from this state, the amount of light will be too large and halation will occur, making it difficult to see the alignment mark, and an adjustment to reduce the amount of light from the light source will be required.
[0004]
However, in the mounting process of the IC chip, since the image of the positioning mark of the IC chip and the positioning mark of the liquid crystal panel are alternately recognized, it is necessary to attach and detach a color filter each time and adjust the amount of light accordingly. However, with a general light source such as a halogen lamp, there is a problem that the brightness does not switch immediately even if the light amount is adjusted, and that it takes time until the light amount is stabilized. On the other hand, if the position mark remains unseen, the accuracy of the alignment will be reduced. For this reason, there has been a problem that the positioning requires a considerable time, and the cycle time of the mounting process becomes slow.
[0005]
In view of the above, the present invention has been made in view of the above, and has been made in consideration of the above circumstances, and a method and apparatus for manufacturing a liquid crystal display device capable of mounting IC chips and electronic components in a short time and efficiently is provided. An object is to provide a manufacturing apparatus.
[0006]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, a method of manufacturing an electro-optical device according to the present invention is directed to a method of irradiating a first positioning mark of an IC chip with light from a first light source to capture an image, and obtaining position information of the IC chip. Acquiring the first position information, and irradiating the second positioning mark of the electro-optical panel with light having a color tone or wavelength different from the light illuminating the first positioning mark from the second light source to image. A second position information obtaining step of obtaining position information of the electro-optical panel, and performing position alignment between the IC chip and the electro-optical panel based on the obtained position information of the IC chip and the electro-optical panel. And a mounting step of mounting the IC chip on the electro-optical panel.
[0007]
According to the present invention, when imaging the positioning marks of the IC chip and the electro-optical panel, the respective positioning marks are irradiated with light having different color tones or wavelengths from mutually different light sources. Then, the position information is obtained, and the IC chip is mounted on the electro-optical panel based on the position information. Then, compared to a case where a single light source is used to attach / detach a filter or adjust the light amount for each irradiation target and an image is taken, the time for attaching / detaching the filter and the time until the light source is stabilized can be omitted, so that image recognition can be performed. The required time can be shortened and the manufacturing process of the electro-optical device can be made more efficient. The light amount of each light source and the color tone of the light are adjusted in advance according to the corresponding irradiation target (IC chip and electro-optical panel) so that each positioning mark can be easily recognized as an image. Further, the first position information obtaining step and the second position information obtaining step may be performed first, may be performed alternately and continuously, or may be performed simultaneously. In a normal production line, both sets are performed alternately and continuously as one set.
[0008]
Further, the method for manufacturing an electro-optical device according to the present invention is the method for manufacturing an electro-optical device according to the above, further comprising: a first light guiding means connected to the first light source to guide light emitted from the light sources; By mutually switching the connection between a second light guide unit connected to the light source and guiding the light emitted from these light sources and an irradiation unit for irradiating the first positioning mark or the second positioning mark with the guided light. And a switching step of switching between light for irradiating the first positioning mark and light for irradiating the second positioning mark.
[0009]
In the present invention, the light to be irradiated is switched by switching the light guiding means for guiding the light from the light source. Therefore, for example, the switching is performed by displacing and moving the light source itself, or by a complicated structure using a reflecting mirror or the like. The irradiation light can be switched more easily than in the case. The light guide means includes, for example, glass fiber.
[0010]
Further, in the method of manufacturing an electro-optical device according to the present invention, in the method of manufacturing an electro-optical device, the switching step may include the step of changing the light of the first light guide and the second light guide arranged adjacent to each other. The method includes an adjacent switching step of switching a connection with the irradiation unit at an exit.
[0011]
In the present invention, the light outlet of the first light guide means and the light outlet of the second light guide means are made adjacent to each other, and the adjacent portion is switched to the irradiation unit side. Thereby, the connection between the light guide means and the irradiation unit side can be switched in an adjacent short section, so that the switching time of the light source can be shortened. The light exit of the light guide means, for example, the tip of glass fiber.
[0012]
In the method for manufacturing an electro-optical device according to the present invention, in the method for manufacturing an electro-optical device, the switching step includes connecting the first light guide unit or the second light guide unit to the irradiation unit. And a reciprocating mechanism, a rotating mechanism, and other switching mechanisms provided between these light guide means.
[0013]
In the present invention, a reciprocating mechanism, a rotating mechanism, and other switching mechanisms are provided between the first light guiding means and the second light guiding means, and the connection between the irradiation unit and each light guiding means is controlled by the reciprocating movement, rotation, and rotation of the switching mechanism. The two are switched continuously by exercise or the like. As a result, the light source can be continuously switched, and the light source switching time can be reduced.
[0014]
Further, in the electro-optical device manufacturing apparatus according to the present invention, in the step of mounting the IC chip on the electro-optical panel, the first positioning mark of the IC chip and the second positioning mark of the electro-optical panel are imaged. Upon recognizing and performing alignment, a first light source that emits light to irradiate the first positioning mark, and light having a different color tone or wavelength from the light of the first light source and irradiating the second positioning mark A second light source that emits light to be emitted, and light that irradiates the first positioning mark or the second positioning mark is switched between light from the first light source and light from the second light source. Switching means.
[0015]
In the present invention, the first light source and the second light source that emit light of different colors or wavelengths are provided, and further, the light that irradiates the positioning mark is combined with the light from the first light source and the light from the second light source. Switching means for switching between each other is provided. Then, in recognizing the images of the first positioning mark and the second positioning mark, the light source is switched every time the irradiation target (the IC chip and the electronic engineering panel) changes, and light that can appropriately recognize the image of each positioning mark is irradiated. As a result, as compared with the case where a single light source is used, it is not necessary to adjust the light amount by attaching and detaching the color filter every time the irradiation target changes, so that the time required for image recognition of the positioning mark is reduced. And the efficiency of the manufacturing process of the electron optical device can be increased.
[0016]
Note that the light source includes a halogen lamp, an LED, and other light sources. The color tone of the first light source and the second light source are made different so that the corresponding positioning mark can be appropriately image-recognized. Therefore, the color tone and the like of the light of each light source are adjusted in advance within a range obvious to those skilled in the art so that the contrast of the corresponding positioning mark becomes prominent to the extent that the image can be recognized by the irradiation of the light. At the same time, the light amount of the light source is adjusted in advance.
[0017]
Further, in the electro-optical device manufacturing apparatus according to the present invention, in the step of mounting the IC chip on the electro-optical panel, the first positioning mark of the IC chip and the second positioning mark of the electro-optical panel are imaged. In performing recognition and alignment, a first light source that emits light that irradiates the first positioning mark, a second light source that emits light that irradiates the second positioning mark, and the first positioning mark or the first Switching means for switching light emitted to the second positioning mark between light from the first light source and light from the second light source, and the first light source or the second light source Has adjusting means for adjusting the color tone or wavelength of the emitted light to the corresponding first positioning mark or the second positioning mark to light that can be image-recognized. That.
[0018]
In the present invention, the first light source and the second light source that emit light of different colors or wavelengths are provided, and further, the light that irradiates the positioning mark is combined with the light from the first light source and the light from the second light source. Switching means for switching between each other is provided. In particular, in comparison with the above invention, at least one of the first light source and the second light source adjusts the color tone or the like of the emitted light so that the corresponding positioning mark can be appropriately recognized by the irradiated light. Is provided. Thus, even when the light source is a monochromatic light lamp such as a halogen lamp, for example, it is possible to adjust the color tone and the like by the adjusting means and irradiate the respective positioning marks with light that facilitates image recognition. The adjusting means includes, for example, a color filter.
[0019]
Further, in the method of manufacturing an electronic device according to the present invention, the first positioning mark included in the electronic component is irradiated with light from the first light source to capture an image, and the first position information acquisition for acquiring the position information of the electronic component is performed. Step, irradiating the second positioning mark of the substrate with light from a second light source having a different color tone or wavelength from the light illuminating the first positioning mark, capturing an image, and acquiring position information of the substrate. A second position information obtaining step, and a mounting step of performing positioning of the electronic component and the substrate based on the obtained position information of the electronic component and the substrate, and mounting the electronic component on the substrate. It is a thing.
[0020]
According to the present invention, when imaging the positioning marks on the electronic component and the substrate, the positioning marks are irradiated with light having different colors or wavelengths from mutually different light sources. Then, the position information is obtained, and the electronic component is mounted on the board based on the position information. Then, compared to the case where a single light source is used to attach and detach a filter and adjust the amount of light for each irradiation target and an image is taken, the time for attaching and detaching the filter and the time until the light source is stabilized can be omitted, which is necessary for image recognition. The time can be shortened and the manufacturing process of the electronic device can be made more efficient.
[0021]
The light amount of each light source and the color tone of the light are adjusted in advance according to the corresponding irradiation target (electronic component and panel) so that each positioning mark can be easily recognized as an image. Further, the first position information obtaining step and the second position information obtaining step may be performed first, may be performed alternately and continuously, or may be performed simultaneously. Further, the first light source and the second light source may each be plural. For example, when there are a plurality of electronic components to be mounted and the colors suitable for recognizing the positioning marks of the respective electronic components are different from each other, a plurality of light sources provided for each of the electronic components are used, and the corresponding light sources are used. May be irradiated with light. The electronic component includes, for example, an IC chip and a circuit element, and the substrate includes a liquid crystal panel and a circuit board.
[0022]
Also, in the electronic device manufacturing apparatus according to the present invention, in the step of mounting the electronic component on the panel, the first positioning mark of the electronic component and the second positioning mark of the substrate are image-recognized and aligned. In performing the above, a first light source that emits light that irradiates the first positioning mark, and a light that has a different color tone or wavelength from the light of the first light source and emits light that irradiates the second positioning mark A second light source; and switching means for switching light emitted to the first positioning mark or the second positioning mark between light from the first light source and light from the second light source. It is a thing.
[0023]
In the present invention, the first light source and the second light source that emit light of different colors or wavelengths are provided, and further, the light that irradiates the positioning mark is combined with the light from the first light source and the light from the second light source. Switching means for switching between each other is provided. Then, when recognizing the images of the first positioning mark and the second positioning mark, the light source is switched every time the irradiation target (electronic component and panel) changes, and light that can appropriately recognize the image of each positioning mark is irradiated. As a result, as compared with the case where a single light source is used, it is not necessary to adjust the light amount by attaching and detaching the color filter every time the irradiation target changes, so that the time required for image recognition of the positioning mark is reduced. And the manufacturing process of the electronic device can be made more efficient.
[0024]
Note that the light source includes a halogen lamp, an LED, and other light sources. The color tone of the first light source and the second light source are made different so that the corresponding positioning mark can be appropriately image-recognized. Therefore, the color tone and the like of the light of each light source are adjusted in advance within a range obvious to those skilled in the art so that the contrast of the corresponding positioning mark becomes prominent to the extent that the image can be recognized by the irradiation of the light. At the same time, the light amount of the light source is adjusted in advance. Further, there may be a plurality of first light sources and a plurality of second light sources. For example, if there are a plurality of electronic components to be mounted, and if the colors suitable for recognizing the positioning marks of the respective electronic components are different from each other, a plurality of light sources are provided for each of the electronic components, and the light source is sequentially switched from the light source by the switching unit. It is good also as a structure which switches and irradiates light.
[0025]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings. It should be noted that the present invention is not limited by the embodiment. The components of the embodiments described below include components that can be easily replaced by those skilled in the art or components that are substantially the same.
[0026]
FIG. 1 is a configuration diagram illustrating a main part of an apparatus for manufacturing a liquid crystal display device according to an embodiment of the present invention. The manufacturing apparatus 1 includes light sources 10a and 10b, glass fibers 12a and 12b, a switching device 15, and an irradiation unit 19. Each of the light sources 10a and 10b includes a halogen lamp 11 therein. One light source 10a has therein a color filter (not shown) for changing the color tone of the halogen lamp 11a to blue. On the other hand, the other light source 10b does not have this color filter and emits the original white light of the halogen lamp 11b. The light amounts of the halogen lamps 11a and 11b of the light sources 10a and 10b are adjusted in advance according to the irradiation target of the light. Specifically, the amount of light on the side of the light source 10a is adjusted so that when the light is irradiated on the positioning mark of the IC chip, the contrast between the positioning mark and the background is optimized, and the image of the positioning mark can be appropriately recognized. Is done. In addition, the light amount on the light source 10b side is similarly adjusted in accordance with the positioning mark of the liquid crystal panel. The light amount is larger on the light source 10a side having the color filter than on the light source 10b side.
[0027]
The glass fibers 12a and 12b are connected to and extend from the light sources 10a and 10b, respectively, and the end portions 13a and 13b serving as the light outlets are adjacent to each other. The glass fibers 12a and 12b serve as light guide paths for light emitted from the light sources 10a and 10b. The switching device 15 includes a connecting portion 17 that reciprocates right and left by the displacement of the cylinder portion 16. The connecting portion 17 is connected to one of the tips 13a, 13b of the glass fibers 12a, 12b, and alternately switches the connection by reciprocating motion.
[0028]
The connection section 17 connects to the glass fiber 12a on the light source 10a side when the image recognition target is an IC chip, and connects to the glass fiber 12b on the light source 10b side when the image recognition target is an liquid crystal panel. The connection is switched manually or automatically. The glass fiber 12 is connected to the glass fiber 18 via the connection 17. The glass fiber 18 is connected to the irradiation unit 19 and serves as a light guide path for guiding light from the connection unit 17 to the irradiation unit 19. The irradiating unit 19 irradiates light guided from the light source 10 via the glass fibers 12 and 18 to a positioning mark of the IC chip 20 or the liquid crystal panel 21. The positioning mark is a mark of a fixed shape that is provided in a process of forming a circuit pattern or the like, and is provided on the surface side (active surface side) on which the pattern is formed.
[0029]
FIG. 2 is a flowchart showing a mounting process of the IC chip, and FIG. 3 is an explanatory diagram showing a state of mounting the IC chip. In mounting the IC chip 20, first, light from the light source 10a is irradiated onto the positioning marks a, a of the IC chip 20 (step ST1), and these are imaged by an image pickup means (not shown) such as a CCD camera to perform image recognition. (Step ST2). As shown in FIG. 3A, the IC chip 20 is provided with positioning marks a, a near both ends thereof, and the irradiation unit 19 irradiates the IC chip 20 with light at a time. Then, position information of the IC chip 20 is generated based on the recognized image information (step ST3). Next, the connection of the connection unit 17 is switched from the light source 10a side to the light source 10b side by the switching device 15 (step ST4). Accordingly, the light emitted from the irradiation unit 19 switches from the blue light of the light source 10a to the white light of the light source 10b. At this time, the halogen lamps 11a and 11b of the light sources 10a and 10b are always in a lit state and do not adjust the light amount. Therefore, even with the halogen lamp 11 having a long light settling time, stable light can be immediately irradiated to the irradiation target after the light sources 10a and 10b are switched.
[0030]
After the connection is switched, the light of the light source 10b is radiated to the positioning marks b, b of the liquid crystal panel 21 at a time (step ST5), and these are imaged to recognize the image (step ST6). Note that, as shown in FIG. 3B, the positioning marks b, b of the liquid crystal panel 21 are provided near a predetermined location where the IC chip 20 is mounted. Next, position information of the liquid crystal panel 21 is generated based on the recognized image information (step ST7). Then, based on this position information and the position information of the IC chip 20, the IC chip 20 and the liquid crystal panel 21 are aligned (step ST8), and the IC chip 20 is mounted on the liquid crystal panel 21 (step ST9). The alignment is performed by taking the centers of the positioning marks a, a and the centers of the positioning marks b, b, and aligning these centers (see FIG. 3C). Then, the connection is switched from the light source 10b side to the light source 10a side by the switching device 15 and returned (step ST10), and the mounting cycle of the next IC chip 20 is started.
[0031]
In this embodiment, a plurality of light sources 10a and 10b that emit light of different color tones are provided, and the connection to these light sources 10a and 10b is switched to irradiate an irradiation target (an IC chip and a positioning mark of a liquid crystal panel). Switch light. This makes it possible to switch the light to be irradiated more efficiently and quickly as compared with the case where a color filter is attached to and detached from each irradiation target using a single light source and the light amount is further adjusted. Further, since the glass fibers 12a, 12b are drawn out from the light sources 10a, 10b, and the tips 13a, 13b are adjacent to each other, and the light sources are switched here, the light sources can be switched easily and at high speed.
[0032]
In this embodiment, the light source 10a is provided with a color filter and the emitted light is blue. However, it is better to use a blue color tone than the original white light. This is because images a and a can be easily recognized. The light source 10b is not provided with a color filter, because the alignment marks b, b of the liquid crystal panel 21 can be sufficiently image-recognized by the original white light. That is, the adjustment of the color tone by the color filter is performed from the viewpoint of whether or not the alignment mark of the irradiation target can be image-recognized. Further, the visibility of the alignment mark is affected by the material to be irradiated and the like. Therefore, the presence or absence of a color filter and its color tone are not limited to this embodiment, but it is preferable to appropriately select and determine the color filter within a range obvious to those skilled in the art in consideration of the material to be irradiated by the light source 10 and the like. Therefore, color filters having different color tones may be installed in both of the light sources 10a and 10b.
[0033]
Further, in this embodiment, the light source 10 is configured using the halogen lamp 11, but this is preferable because the halogen lamp 11 is often used in an existing manufacturing apparatus and has a sufficient light amount as illumination. However, the present invention is not limited to this, and the light source may be configured using an LED or other elements. Further, in this embodiment, as shown in FIG. 1, the light source 10a and the light source 10b have different configurations. However, the present invention is not limited to this, and they may be housed in one housing (not shown). .
[0034]
Further, in this embodiment, the switching device 15 is constituted by a cylinder mechanism. This is because it is preferable in that the switching can be performed reliably. However, the present invention is not limited to this, and the switching device 15 may be configured by another mechanism. For example, as shown in FIG. 4, using a rotation mechanism or the like, a switching unit 25 connected to the glass fiber 18 on the irradiation unit 19 performs a reciprocating swing to switch the connection with the glass fibers 12 a and 12 b on the light source 10 side. The switching device 15 may be configured, or may be configured within a range obvious to those skilled in the art.
[0035]
Further, in this embodiment, only the IC chip 20 is mounted on the liquid crystal panel 21. Therefore, the light source 10 includes only the light source 10a for the IC chip 20 and the light source 10b for the liquid crystal panel 21. You. However, for example, when a plurality of electronic components are mounted, the color tone or wavelength of light to be applied to these electronic components may be different from each other. In such a case, as shown in FIG. 5, light sources 10a, b, c,... Having appropriate color filters are provided according to the number of colors, and the glass fibers 12a, b , C... May be increased. In such a case, it is preferable that the tip portions 13a, b, c,... Of the glass fibers 12a, b, c,.
[0036]
Further, in the above-described embodiment, the case where the present invention is applied to a liquid crystal device as an electro-optical device has been described. However, the present invention is not limited to this. Devices, plasma display devices, FED (field emission display) devices, LED (light emitting diode) display devices, electric floating display devices, thin TV sets, thin televisions using liquid crystal shutters, digital micromirror devices (DMD) It can be applied to various electro-optical devices such as used devices.
[0037]
【The invention's effect】
As described above, in the method of manufacturing the liquid crystal display device according to the present invention, when imaging the positioning marks of the IC chip and the liquid crystal panel, light having different colors or wavelengths from different light sources is used for each of the positioning marks. As compared with the case where imaging is performed by attaching and detaching a filter and adjusting the amount of light for each irradiation target using a single light source, the time for attaching and detaching the filter and the time until the light source is stabilized can be omitted. The time required for image recognition can be reduced, and the manufacturing process of the liquid crystal display device can be made more efficient.
[0038]
Further, according to the method of manufacturing a liquid crystal display device according to the present invention, the light to be irradiated is switched by switching the light guiding means for guiding the light from the light source. Irradiation light can be switched more easily than in the case of switching by a complicated structure using a reflecting mirror or the like.
[0039]
According to the method of manufacturing a liquid crystal display device according to the present invention, the light exit of the first light guide means and the light exit of the second light guide means are adjacent to each other, and the adjacent portion is closer to the irradiation unit side. Is switched, the connection between the light guide means and the irradiation unit side can be switched in an adjacent short section, whereby the switching time of the light source can be shortened.
[0040]
Further, according to the method of manufacturing a liquid crystal display device according to the present invention, a reciprocating mechanism, a rotating mechanism, and other switching mechanisms are provided between the first light guide and the second light guide, and the irradiation unit and each light guide are provided. Connection is continuously switched by the reciprocating motion, the rotational motion, and the like of the switching mechanism, so that the light source can be continuously switched, and the light source switching time can be reduced.
[0041]
Also, in the manufacturing apparatus for a liquid crystal display device according to the present invention, a first light source and a second light source that emit light of different colors or wavelengths are provided, and an object to be irradiated (IC chip and liquid crystal panel) is used for image recognition of the placement mark. The light source was switched every time the condition (1) was changed, and each positioning mark was irradiated with light capable of appropriately recognizing an image. As a result, as compared with the case where a single light source is used, it is not necessary to adjust the light amount by attaching and detaching the color filter every time the irradiation target changes, so that the time required for image recognition of the positioning mark is reduced. The manufacturing process of the liquid crystal display device can be made more efficient.
[0042]
Further, according to the apparatus for manufacturing a liquid crystal display device according to the present invention, the light is emitted to at least one of the first light source and the second light source so that the corresponding positioning mark can be appropriately recognized by the irradiated light. Since the adjusting means for adjusting the color tone of the light is provided, even when the light source is a monochromatic light lamp such as a halogen lamp, the adjusting means adjusts the color tone and the like to recognize each positioning mark by image recognition. Light that can be easily applied can be applied.
[0043]
Further, in the method for manufacturing an electronic device according to the present invention, when imaging the positioning marks of the electronic component and the panel, the respective positioning marks are irradiated with light having different color tones or wavelengths from mutually different light sources. Since the position information is acquired and the electronic components are mounted on the panel based on the position information, compared to the case where a single light source is used to attach and detach the filter and adjust the amount of light for each irradiation target and perform imaging, The time required for attaching / detaching and stabilizing the light source can be omitted, the time required for image recognition can be reduced, and the manufacturing process of the electronic device can be made more efficient.
[0044]
In the apparatus for manufacturing an electronic device according to the present invention, a first light source and a second light source that emit light of different colors or wavelengths are provided, and in image recognition, the light source is changed every time an irradiation target (electronic component and panel) changes. Switch, and irradiate light that can properly recognize the image of each positioning mark, eliminating the need to adjust the amount of light by attaching and detaching color filters each time the irradiation target changes, compared to using a single light source. Therefore, the time required for image recognition of the positioning mark can be shortened, and the manufacturing process of the electronic device can be made more efficient.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a configuration diagram showing a main part of an apparatus for manufacturing a liquid crystal display device according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a flowchart showing a mounting process of an IC chip.
FIG. 3 is an explanatory view showing a state of mounting an IC chip.
FIG. 4 is a configuration diagram illustrating a modification of a switching unit according to the manufacturing apparatus of the liquid crystal display device illustrated in FIG. 1;
FIG. 5 is a configuration diagram illustrating a modification of the switching unit according to the manufacturing apparatus of the liquid crystal display device illustrated in FIG. 1;
[Explanation of symbols]
1. Manufacturing equipment for liquid crystal display devices
10a, 10b light source
12a, 12b, 18 Glass fiber
15 Switching means
17 Switching unit
19 Irradiation unit
20 IC chip
21 LCD panel
a, b Positioning mark

Claims

A first position information acquisition step of irradiating the first positioning mark of the IC chip with light from a first light source to capture an image and acquiring position information of the IC chip;
The second positioning mark of the electro-optical panel is irradiated with light having a color tone or a wavelength different from the light irradiated on the first positioning mark from the second light source to capture an image, and the position information of the electro-optical panel is obtained. A second position information acquisition step;
Based on the acquired position information of the IC chip and the electro-optical panel, a mounting step of performing alignment between the IC chip and the electro-optical panel, and mounting the IC chip on the electro-optical panel;
A method for manufacturing an electro-optical device, comprising:

A first light guide connected to the first light source to guide light emitted by these light sources; and a second light guide connected to the second light source to guide light emitted by these light sources;
An irradiating unit that irradiates the guided light to the first positioning mark or the second positioning mark,
2. The method of manufacturing an electro-optical device according to claim 1, further comprising a switching step of switching between light irradiating the first positioning mark and light irradiating the second positioning mark by switching the connections of the two.

The said switching step includes the adjacent switching step which switches the connection with the said irradiation part at the light exit of the said 1st light guide means and the 2nd light guide means arrange | positioned adjacently. A method for manufacturing an electro-optical device.

In the switching step, the connection between the first light guide unit or the second light guide unit and the irradiating unit is performed by a reciprocating mechanism, a rotating mechanism, and other switching mechanisms provided between these light guiding units. The method for manufacturing an electro-optical device according to claim 2, further comprising a switching step of switching.

In the step of mounting the IC chip on the electro-optical panel, the first positioning mark is used for image recognition of the first positioning mark of the IC chip and the second positioning mark of the electro-optical panel to perform alignment. A first light source that emits light that is applied to
A second light source that emits light having a color tone or a wavelength different from that of the light of the first light source and applied to the second positioning mark;
Switching means for switching the light applied to the first positioning mark or the second positioning mark between light from the first light source and light from the second light source,
An electro-optical device manufacturing apparatus including:

In the step of mounting the IC chip on the electro-optical panel, the first positioning mark is used for image recognition of the first positioning mark of the IC chip and the second positioning mark of the electro-optical panel to perform alignment. A first light source that emits light that is applied to
A second light source that emits light that is applied to the second positioning mark;
Switching means for switching the light applied to the first positioning mark or the second positioning mark between light from the first light source and light from the second light source, and
Manufacture of an electro-optical device, wherein the first light source or the second light source has an adjusting unit that adjusts a color tone or a wavelength of emitted light to a corresponding light capable of recognizing the first positioning mark or the second positioning mark. apparatus.

A first position information acquiring step of irradiating a first positioning mark of the electronic component with light from a first light source to capture an image, and acquiring position information of the electronic component;
A second position for irradiating the second positioning mark of the substrate with light from a second light source having a color tone or a wavelength different from that of the light illuminating the first positioning mark, capturing an image, and acquiring position information of the substrate. Information acquisition step;
Based on the acquired position information of the electronic component and the board, the electronic component and the board are aligned, and a mounting step of mounting the electronic component on the board,
A method for manufacturing an electronic device including:

In the step of mounting the electronic component on the panel, the first positioning mark included in the electronic component and the second positioning mark included in the substrate are image-recognized and the first positioning mark is irradiated when performing alignment. A first light source that emits light,
A second light source that emits light having a color tone or a wavelength different from that of the light of the first light source and applied to the second positioning mark;
Switching means for switching the light applied to the first positioning mark or the second positioning mark between light from the first light source and light from the second light source,
Manufacturing equipment for electronic equipment including: