JP2004069408A - 表面温度センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】表面温度センサ1は、被測定物に接触させ被測定物の温度を測定する接触板2を有し、この接触板2には熱電素子が設けられている。そして、その接触板2をガードするために円筒形のケーシング3が、接触板2を取り囲むような構造に作られている。かつ、その接触板2を取り囲む円筒形のケーシング3には、少なくとも一対の刳り貫き窓4を形成している。接触板2の接触部は、ケーシング3から少し外側へ飛び出している。また、ケーシング3の先端部分は、切り欠き部などが無く円周すべてで連結されており、接触板2をガードする構造になっている。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、被測定物に圧接させて表面温度を計側する表面温度センサに関し、特に表面温度センサのケーシングの構造に関する。
【0002】
【従来の技術】
表面温度計は、被測定物に接触させて温度を感知するセンサ部と、温度を指示する計測器部とから構成されているが、本発明はセンサ部に関する。従来、この種の表面温度センサとして、特開平7−198504号公報に記載されている技術がある。図4および図5は、特開平7―198504号公報に記載されている技術の代表図であり、これらの図を用いてその構造を説明する。図4の斜視図に示すように、棒状の表面温度センサ31の先端部にケーシング32が取り付けられており、ケーシング32は図5に示すような構造になっている。即ち、スリット41、42がついた帯状の金属でできた接触板34を横から見て四角になるように折り曲げ、取付部38でケーシング32に取り付けている。接触板34には、熱を電気に変換するための熱電素子39が設けられている。
【0003】
ケーシング32のスリット41がある第1変形部36を挟むところは切れ込み40があって、接触板34の第1変形部36を挟み込むように上下から接触板34を挟む構造になっている。接触板34の接触部35はケーシング32の先端より少し出ており、ケーシング32といっしょに被測定面に押し当てることにより、接触部35が被測定物に過度に押し付けられるのを防ぐような構造になっている。接触板34にはスリットがついた第1変形部36と第2変形部37とが有り、ここが少し変形することで、接触部35が被測定物に密着して、正確な温度を測ることができるようになっている。
【0004】
また、特開昭64−38619号公報にも、上記した特開平7−198504号公報に開示された表面温度センサとスリットがない点を除いて実質的に同じ構成の表面温度センサが記載されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特開平7−198504号公報や特開昭64−38619号公報に記載された表面温度センサには、次のような問題点があった。即ち、ケーシング32で接触部35をカバーして、過度の力が接触部にかからないようにしているが、ケーシング32の切れ込み40の部分は接触部35に対してなにもカバーが無く、この部分に被測定物の凹凸があると接触板34に過度の力が加わり、接触板34が変形すると言う問題が発生していた。接触板34が変形すると接触部35が被測定物に密着できず、正確な測定ができないと言う問題につながっていた。この正確な温度測定ができないということは、例えば被測定物が半導体装置である場合には、半導体装置の調整ができず、半導体装置製造の歩留まりを低下させるというような品質問題を発生するという重大な欠点となっていた。
【0006】
なお、特表平9−501229号公報には、熱電素子を備える屈曲する接触バネ板と、この接触バネ板を収容するハウジングとを有する表面温度プローブが記載されている。しかし、このハウジングも接触バネ板の側部に対向する部分には切れ込みが設けられており、ハウジングの先端部は完全には連結されていない。したがって、上記した特開平7−198504号公報の表面温度センサと同様の欠点がある。
【0007】
本発明の目的は、凹凸のある被測定物の温度測定においても接触板に過度の力が加わって変形するのを防止でき、正確に表面温度を測定可能な表面温度センサを提供することである。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明は、熱電素子を備え被測定物に接触させて温度を検出する接触板と、この接触板を収容するケーシングとを有する表面温度センサにおいて、前記ケーシングは前記接触板の先端部以外の外周を保護するように覆っていることを特徴とする。前記ケーシングは、円筒形状または四角筒形状をしている。前記ケーシングの側部には、一対の刳り貫き窓が設けられている。前記刳り貫き窓は、前記接触板の側部に対向する位置のケーシング壁に設けられており、その横幅は接触板の幅より大きいことが望ましい。前記接触板の被測定物に接触する先端部は、前記ケーシングの先端部より突出している。前記ケーシングの材料としては、軽量である程度硬度の有するステンレスが望ましい。
【0009】
【発明の実施の形態】
次ぎに本発明について図面を参照して詳細に説明する。図1は、本発明の第1の実施形態である表面温度センサを示す斜視図である。この図面を使って、本発明の表面温度センサの構造を説明する。表面温度センサ1は、被測定物に接触させ、被測定物の温度を測定する接触板2を有し、この接触板2には、図示していないが、熱電素子が設けられている。そして接触板2をガードするために円筒形のケーシング3が、接触板2を取り囲むような構造に作られている。かつ、その接触板2を取り囲む円筒形のケーシング3には、少なくとも一対の刳り貫き窓4を形成している。接触板2は、図2(a)に示すように、例えば8角形状に折り曲げられており、接触部2aはケーシング3から少し外側へ飛び出している。また、ケーシング3の先端部分は、切れ欠き部などが無く円周すべてで連結されており、接触板2をガードする構造になっている。
【0010】
さらに、刳り貫き窓4はケーシング3に少なくとも一対の対称位置に刳り貫いて、測定中も接触板2の付近の空気が外気と循環するようになっている。この刳り貫き窓4の大きさは、横方向は少なくとも接触板2の横幅よりは大きくなくてはいけない。縦方向は、接触板2の先端の残り寸法が、ケーシング3先端の強度を保てるように残し、できるだけ大きく開けたほうが良い。そして、このケーシング3は、軽量で、ある程度硬度があるステンレス等がよい。
【0011】
次ぎに、図2を用いて測定動作の説明をする。図2(a)は表面温度センサの接触板2の接触部2aと被測定物6が接触する前、図2(b)は接触した状態の表面温度センサと被測定物の断面図である。接触する前の図2(a)の状態では接触板2の接触部2aは、ケーシング3の先端から少し外にはみ出している。そして図2(b)の接触した状態では、接触板2は縦方向に押されて弾性変形し矢印で示した横方向に広がり、接触板2先端の接触部2aと被測定物6は密着し、被測定物の表面温度を測定する。このとき被測定物6は、ケーシング3の先端部5に突き当たるので、それ以上過度に接触板2を押し付けることはない。
【0012】
刳り貫き窓4は、接触板2の側部に対向する位置のケーシング壁を刳り貫いて設けられている。従って、刳り貫き窓4の大きさは接触板2が横に広がった場合に接触しないような大きさで無いといけない。また、この実施形態では接触板がケーシングのところまで横に広がるようになっているが、広がったときにケーシングの内側までしか広がらないようにしても良い。
【0013】
このように本実施形態の表面温度センサは、ケーシングの先端部分が全周にわたって繋がっており切れ込みのない構造なので、接触板をガードでき、接触板が過度に変形するのを防止できる。したがって、測定の際に被測定物に接触板が密着できるのでいつも正確に表面温度を測定できる。また、少なくとも一対の刳り貫き窓があるので、被測定物に接触している状態でも接触板周囲の空気が循環するので、過剰に温まったりせずに正確な温度を測定することができる。
【0014】
図3は、本発明の第2の実施形態を示す斜視図である。図1の実施形態では表面温度センサのケーシング3が円筒形状をしていたが、本実施形態の表面温度センサ11のケーシング13は、4角筒形状をしている。すなわち、接触板12と、これを取り囲む4角筒形のケーシング13を有し、ケーシング13には一対の刳り貫き窓14が設けられている。また、ケーシングの先端部は切れこみがなく全周にわたって繋がっている。このように本実施の形態の表面温度センサも、ケーシングの先端部分が全周にわたって繋がっており切れ込みのない構造なので、接触板をガードでき、接触板が過度に変形するのを防止できる。したがって、測定の際に被測定物に接触板が密着できるのでいつも正確に表面温度を測定できる。また、少なくとも一対の刳り貫き窓があるので、被測定物に接触している状態でも接触板周囲の空気が循環するので、過剰に温まったりせずに正確な温度を測定することができる。
【0015】
さらに丸型に対する利点としては次のことが考えられる。温度を測定する被測定物は4角に角張ったものが多く、普通被測定物の中央と四隅を測定することが多い。そのような場合に、丸よりも4角の方が周りの四隅の形状に合うので測定しやすい。中央の周りには障害物がないので、4角でも丸でも関係なく測定できる。
【0016】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように、本発明の表面温度センサは、ケーシングの先端部が全周のすべてで繋がっているので、接触板を良くガードでき接触板の変形を防止することができるため、測定の際に被測定物に接触板が密着できるのでいつも正確に表面温度を測定できるという効果がある。
【0017】
また、少なくとも一対の刳り貫き窓があるので、被測定物に接触している状態でも接触板周囲の空気が循環するので、過剰に温まったりせずに正確な温度を測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施形態を示す斜視図である。
【図2】(a)、(b)は本発明の第1の実施形態である表面温度センサで温度を測定する様子を示す断面図である。
【図3】本発明の第2の実施形態を示す斜視図である。
【図4】従来の表面温度センサを示す斜視図である。
【図5】図4に示す表面温度センサの先端部の断面斜視図である。
【符号の説明】
1、11、31 表面温度センサ
2、12、34 接触板
2a、35 接触部
3、13、32 ケーシング
4、14 刳り貫き窓
5 ケーシング先端部
6 被測定物
40 切れ込み
Claims (9)
- 熱電素子を備え被測定物に接触させて温度を検出する接触板と、この接触板を収容するケーシングとを有する表面温度センサにおいて、前記ケーシングは前記接触板の先端部以外の外周を保護するように覆っていることを特徴とする表面温度センサ。
- 前記ケーシングは、円筒形状をしていることを特徴とする請求項1記載の表面温度センサ。
- 前記ケーシングは、四角筒形状をしていることを特徴とする請求項1記載の表面温度センサ。
- 前記ケーシングには、一対の刳り貫き窓が設けられていることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の表面温度センサ。
- 前記刳り貫き窓は、前記接触板の側部に対向する位置のケーシング壁に設けられていることを特徴とする請求項4記載の表面温度センサ。
- 前記刳り貫き窓の横幅は、前記接触板の幅よりも大きいことを特徴とする請求項4または5記載の表面温度センサ。
- 前記ケーシングの先端部は、切れ込みがなく全周にわたって繋がっていることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の表面温度センサ。
- 前記接触板の被測定物に接触する先端部は、前記ケーシングの先端部より突出していることを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載の表面温度センサ。
- 前記ケーシングは、ステンレスで作られていることを特徴とする請求項1〜8のいずれかに記載の表面温度センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2002226984A JP2004069408A (ja) | 2002-08-05 | 2002-08-05 | 表面温度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2004069408A true JP2004069408A (ja) | 2004-03-04 |
Family
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JP2002226984A Pending JP2004069408A (ja) | 2002-08-05 | 2002-08-05 | 表面温度センサ |
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JP (1) | JP2004069408A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010533863A (ja) * | 2007-07-19 | 2010-10-28 | ラム リサーチ コーポレーション | 熱的に分離されたチップを有する温度プローブ |
-
2002
- 2002-08-05 JP JP2002226984A patent/JP2004069408A/ja active Pending
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