JP2004067548A - Method for stabilizing quaternary alkylhydroxyalkylammonium hydroxide aqueous solution - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、化学工業のみならず半導体工業においても極めて有用な第四級アルキルヒドロキシアルキルアンモニウムハイドロオキサイド水溶液、例えば（２−ヒドロキシエチル）トリメチルアンモニウムハイドロオキサイド水溶液（すなわちコリン水溶液）の安定化方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
第四級アルキルヒドロキシアルキルアンモニウムハイドロオキサイド水溶液、例えば（２−ヒドロキシエチル）トリメチルアンモニウムハイドロオキサイド水溶液、すなわちコリン水溶液は、医薬品、コバルトやフェロシアン化物の比色定量試薬あるいはカリウムの定量試薬、さらには合成中間体等として有用であるだけでなく、半導体の製造工程におけるシリコンウエハの洗浄、像露光したレジスト（例えば感光性キノンジアジド組成物層）の現像、リンス及びレジスト剥離等の薬品として大量に使用されている。
【０００３】
特に、最近の半導体工業における微細加工技術の進歩はめざましく、集積回路、特に超ＬＳＩの１チップ当たりの素子数は飛躍的に増加しており、かかる微細な加工技術が要求される超ＬＳＩ製造プロセスにおいて使用される第四級アルキルヒドロキシアルキルアンモニウムハイドロオキサイド水溶液については、たとえ僅かな不純物があってもそれが洗浄工程、現像工程あるいは剥離工程で悪影響を及ぼし、デバイスの劣化や不良化につながる場合が多いので、かかる不純物を可及的完全に除去した超高純度のものが要求されている。
【０００４】
しかしながら、この第四級アルキルヒドロキシアルキルアンモニウムハイドロオキサイド水溶液には、その濃度や温度が高くなるにつれて貯蔵中や輸送中経時的に着色するという傾向があり、着色すると単にその商品価値が低下するだけでなく、着色の原因物質が不純物として取り込まれ、これを半導体の製造工程で使用した場合に洗浄剤、現像剤あるいは剥離剤としての挙動に変化をきたし、製造される半導体に重大な悪影響を及ぼす。
このような第四級アルキルヒドロキシアルキルアンモニウムハイドロオキサイド水溶液の着色原因については、そのヒドロキシアルキル基が酸化され分解されてアルデヒドが生成し、このアルデヒドが重合してポリアルデヒドとなり、このポリアルデヒドが原因物質となって徐々に着色し黒化するものと考えられている。
【０００５】
従来においてはこのような問題を解決するため、第四級アルキルヒドロキシアルキルアンモニウムハイドロオキサイド水溶液中に、安定化濃度の水加ヒドラジンやセミカルバジドを添加している。
ヒドラジンは、第四級アルキルヒドロキシアルキルアンモニウムハイドロオキサイド水溶液中に存在する酸素と反応して水と窒素ガスとに分解するので、アルデヒドの生成を抑制することができ、また生成したアルデヒドと反応して、ヒドラゾンになることにより着色の原因となるポリアルデヒドの生成を防止することができるものと考えられている。
一方、セミカルバジドは、第四級アルキルヒドロキシアルキルアンモニウムハイドロオキサイド水溶液中に生成したアルデヒドと縮合反応し、セミカルバゾンを形成するため、着色原因物質であるポリアルデヒドの生成を防止することができるものと考えられている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、安定剤として安定化濃度の水加ヒドラジンを使用する方法においては、ヒドラジンが毒性物質であり、ヒドラジンの添加時における作業者および環境への影響が懸念される。また、ヒドラジンを添加した第四級アルキルヒドロキシアルキルアンモニウムハイドロオキサイド水溶液の使用時においても、作業者および環境への影響が問題視される。
【０００７】
一方、安定剤として安定化濃度のセミカルバジドを使用する方法においては、セミカルバジドそのものが水溶性に乏しいために実際には塩酸塩、硫酸塩、燐酸塩等の塩の形で使用され、このため第四級アルキルヒドロキシアルキルアンモニウムハイドロオキサイド水溶液中にこれらの酸イオンが存在し、超ＬＳＩの製造の際にこの酸イオンが悪影響を及すという問題が生じる。
【０００８】
従って本発明の課題は、作業者や環境等に悪影響を与えることなく、第四級アルキルヒドロキシアルキルアンモニウムハイドロオキサイド水溶液、例えば（２−ヒドロキシエチル）トリメチルアンモニウムハイドロオキサイド水溶液（コリン水溶液）を安定化し、半導体製造工程に悪影響を与える該水溶液の着色の問題を有効に回避する方法を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、下記一般式（１）：
【化４】
同一であっても異なっていてもよく、
Ｒ’は、炭素数２乃至４のアルカノール基を表す、
で表される第四級アルキルヒドロキシアルキルアンモニウムハイドロオキサイドの水溶液に、下記一般式（２）または一般式（３）：
【化５】
【化６】
炭素数が４以下の低級アルキル基を表す、
で表されるヒドラジン誘導体を添加することを特徴とする当該水溶液の安定化方法が提供される。
【００１０】
【発明の実施の形態】
本発明において、安定化すべき第四級アルキルヒドロキシアルキルアンモニウムハイドロオキサイド水溶液における第四級アルキルヒドロキシアルキルアンモニウムハイドロオキサイド濃度は、特に制限があるものではなく、どのような濃度の水溶液についても適用できるものであるが、本発明の効果が顕著に発揮されるのは、通常１０重量％以上、好ましくは３０重量％以上である。即ち、この濃度が希薄な水溶液では、その水溶液自体の着色の問題が少なくなく、安定化の技術的意義があまりないからである。
【００１１】
また、上記の第四級アルキルヒドロキシアルキルアンモニウムハイドロオキサイドは、一般式（１）：
［（Ｒ）３ＮＲ’］＋・ＯＨ− （１）
式中、Ｒは、炭素数１乃至４のアルキル基であって、複数のＲは互いに
同一であっても異なっていてもよく、
Ｒ’は、炭素数２乃至４のアルカノール基を表す、
で表され、基Ｒのアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基を例示することができ、基Ｒ’のアルカノール基としては、ヒドロキシエチル基、ヒドロキシプロピル基、ヒドロキシブチル基がある。
かかる一般式（１）で表される第四級アルキルヒドロキシアルキルアンモニウムハイドロオキサイドの具体例としては、コリン、即ち
（２−ヒドロキシエチル）トリメチルアンモニウムハイドロオキサイド
［（ＣＨ３）３ＮＣＨ２ＣＨ２ＯＨ］＋・ＯＨ−
が代表的であるが、これ以外にも、次の化合物を例示することができる。
（３−ヒドロキシプロピル）トリメチルアンモニウムハイドロオキサイド
［（ＣＨ３）３ＮＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＯＨ］＋・ＯＨ−
（４−ヒドロキシブチル）トリメチルアンモニウムハイドロオキサイド
［（ＣＨ３）３ＮＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＯＨ］＋・ＯＨ−
（２−ヒドロキシエチル）トリエチルアンモニウムハイドロオキサイド
［（ＣＨ３ＣＨ２）３ＮＣＨ２ＣＨ２ＯＨ］＋・ＯＨ−
（２−ヒドロキシエチル）トリプロピルアンモニウムハイドロオキサイド
［（ＣＨ３ＣＨ２ＣＨ２）３ＮＣＨ２ＣＨ２ＯＨ］＋・ＯＨ−
（２−ヒドロキシエチル）トリブチルアンモニウムハイドロオキサイド
［（Ｃ４Ｈ９）３ＮＣＨ２ＣＨ２ＯＨ］＋・ＯＨ−
【００１２】
本発明においては、上記の第四級アルキルヒドロキシアルキルアンモニウムハイドロオキサイドの水溶液に、一般式（２）または一般式（３）：
【化７】
【化８】
Ｒ１及びＲ２は同一でも異なっても良く、水素原子または
炭素数が４以下の低級アルキル基を表す、
で表されるヒドラジン誘導体を添加することにより、当該水溶液の安定化が図られる。
【００１３】
即ち、上記一般式（２）または（３）で表されるヒドラジン誘導体は、何れも毒性の問題がなく、作業者や環境に与える影響は極めて少ない。また、何れも易水溶性であり、塩の形にせず、そのまま前記水溶液に添加することができるため、セミカルバジドのように酸イオンの発生により、半導体製造工程に悪影響を及ぼすという問題も生じない。さらに、これらのヒドラジン誘導体は、アルデヒドと反応してヒドラゾン系化合物を生成するため、前述した第四級アルキルヒドロキシアルキルアンモニウムハイドロオキサイド水溶液で生じるアルデヒドが有効に捕捉され、着色原因物質であるポリアルデヒドの生成を防止することが可能となる。
【００１４】
本発明において、前記一般式（２）で表されるヒドラジン誘導体としては、１−アミノピロリジン（一般式（２）におけるｎ＝２）及び１−アミノピペリジン（一般式（２）におけるｎ＝３）があるが、特に好ましいのは１−アミノピロリジンである。
【００１５】
また一般式（３）において、基Ｒ１及びＲ２における低級アルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基などがある。
本発明において、一般式（３）で表されるヒドラジン誘導体としては、カルボジヒドラジド（Ｒ１及びＲ２が水素原子）が最も好適である。
【００１６】
上述した一般式（２）或いは（３）で示されるヒドラジン誘導体は、第四級アルキルヒドロキシアルキルアンモニウムハイドロオキサイド水溶液に、１．０重量％以下、好ましくは０．５重量％〜１．０重量％の量で添加されることが望ましい。即ち、必要以上の量を添加しても、格別の効果は生ぜず、経済的に不利となる。また、あまり少ないと、安定化効果（着色防止効果）が不満足となってしまう。
【００１７】
【実施例】
以下、実施例を挙げて本発明を具体的に説明するが、本発明はこれらの例によって何ら制限されるものではない。
【００１８】
（実施例１）
４７重量％濃度に調整された（２−ヒドロキシエチル）トリメチルアンモニウムハイドロオキサイド水溶液（４７％コリン水溶液）を、１００ｍｌビーカーに９９．５ｇ仕込み、これに１−アミノピロリジンを０．５ｇ添加し、均一になるまで撹拌した。
この安定化コリン水溶液は１−アミノピロリジンの０．５％添加物となる。この試料の入ったビーカーを大気中に放置し、放置日数の経過に伴う着色度合を、ＪＩＳ規格のハーゼン色相（ＡＰＨＡ）標準液と対比して調べ、その結果を表１に示した。
【００１９】
（実施例２）
１−アミノピロリジンの添加量を１．０ｇに変更し、安定化コリン水溶液を１−アミノピロリジンの１．０％添加物となるようにした以外は、実施例１と同様にして、着色度合の評価を行い、その結果を表２に示した。
【００２０】
（実施例３）
１−アミノピロリジンの代わりに０．５ｇのカルボジヒドラジドを添加して、安定化コリン水溶液をカルボジヒドラジドの０．５％添加物となるようにした以外は、実施例１と同様にして、着色度合の評価を行い、その結果を表１に示した。
【００２１】
（実施例４）
カルボジヒドラジドの添加量を１．０ｇに変更し、安定化コリン水溶液をカルボヒドラジドの１．０％添加物となるようにした以外は、実施例３と同様にして、着色度合の評価を行い、その結果を表２に示した。
【００２２】
（比較例１）
４７％コリン水溶液について、そのまま、着色度合を実施例１と同様にして評価し、その結果を表１及び表２に示した。
【００２３】
（比較例２）
１−アミノピロリジンの代わりに０．５ｇの水和ヒドラジンを添加して、安定化コリン水溶液を水和ヒドラジンの０．５％添加物となるようにした以外は、実施例１と同様にして、着色度合の評価を行い、その結果を表１に示した。
【００２４】
（比較例３）
１−アミノピロリジンの代わりに１．０ｇの水和ヒドラジンを添加して、安定化コリン水溶液を水和ヒドラジンの１．０％添加物となるようにした以外は、実施例１と同様にして、着色度合の評価を行い、その結果を表２に示した。
【００２５】
【表１】
【表２】
【発明の効果】
本発明によれば、第四級アルキルヒドロキシアルキルアンモニウムハイドロオキサイド水溶液、例えば、（２−ヒドロキシエチル）トリメチルアンモニウムハイドロオキサイド水溶液（コリン水溶液）の安定剤として、１−アミノピロリジン及びカルボジヒドラジドが有効であり、コリン水溶液に対する重量比で、０．５〜１．０％添加することにより、安定化コリン水溶液を得ることができる。また、その貯蔵安定性は従来の安定剤である水和ヒドラジン及びセミカルバジドに勝るとも劣らないものである。[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a method for stabilizing an aqueous quaternary alkylhydroxyalkylammonium hydroxide solution, for example, an aqueous solution of (2-hydroxyethyl) trimethylammonium hydroxide (that is, an aqueous solution of choline), which is extremely useful not only in the chemical industry but also in the semiconductor industry.
[0002]
[Prior art]
An aqueous quaternary alkylhydroxyalkylammonium hydroxide solution, for example, an aqueous solution of (2-hydroxyethyl) trimethylammonium hydroxide, that is, an aqueous solution of choline, is a pharmaceutical, a colorimetric reagent for cobalt or ferrocyanide or a reagent for determining potassium, and furthermore, is synthesized. In addition to being useful as an intermediate, it is used in large quantities as a chemical for cleaning silicon wafers in the semiconductor manufacturing process, developing an image-exposed resist (eg, a photosensitive quinonediazide composition layer), rinsing and stripping the resist. I have.
[0003]
In particular, recent advances in microfabrication technology in the semiconductor industry have been remarkable, and the number of elements per chip of integrated circuits, especially ultra-LSIs, has increased dramatically. Regarding the quaternary alkylhydroxyalkylammonium hydroxide aqueous solution used in the above, even if there is a slight impurity, it may have an adverse effect in the washing step, the developing step or the peeling step, leading to the deterioration or failure of the device. Because of the large number, there is a demand for ultra-high-purity ones from which such impurities are removed as completely as possible.
[0004]
However, this quaternary alkylhydroxyalkylammonium hydroxide aqueous solution tends to color over time during storage or transportation as the concentration or temperature increases, and the coloring merely lowers its commercial value. In addition, a coloring causative substance is taken in as an impurity, and when used in a semiconductor manufacturing process, its behavior as a cleaning agent, a developer or a release agent is changed, which has a serious adverse effect on the manufactured semiconductor.
Regarding the cause of coloring of such a quaternary alkylhydroxyalkylammonium hydroxide aqueous solution, the hydroxyalkyl group is oxidized and decomposed to form an aldehyde, and the aldehyde is polymerized into a polyaldehyde, and the polyaldehyde is a causative substance. It is considered that they gradually become colored and blackened.
[0005]
Conventionally, in order to solve such a problem, a hydrated hydrazine or semicarbazide having a stabilized concentration is added to an aqueous quaternary alkylhydroxyalkylammonium hydroxide solution.
Hydrazine reacts with oxygen present in the quaternary alkylhydroxyalkylammonium hydroxide aqueous solution and decomposes into water and nitrogen gas. It is believed that the formation of a polyaldehyde which causes coloring by becoming a hydrazone can be prevented.
On the other hand, semicarbazide is considered to be capable of preventing the formation of polyaldehyde which is a coloring-causing substance since it undergoes a condensation reaction with an aldehyde generated in a quaternary alkylhydroxyalkylammonium hydroxide aqueous solution to form a semicarbazone. ing.
[0006]
[Problems to be solved by the invention]
However, in the method using hydrated hydrazine at a stabilized concentration as a stabilizer, hydrazine is a toxic substance, and there is a concern that the addition of hydrazine may affect workers and the environment. Also, when using a quaternary alkylhydroxyalkylammonium hydroxide aqueous solution to which hydrazine is added, the effect on workers and the environment is regarded as a problem.
[0007]
On the other hand, in a method using semicarbazide at a stabilized concentration as a stabilizer, semicarbazide itself is actually used in the form of a salt such as hydrochloride, sulfate or phosphate because of poor water solubility. There is a problem that these acid ions are present in the aqueous solution of the quaternary alkylhydroxyalkylammonium hydroxide, and these acid ions have an adverse effect on the production of the VLSI.
[0008]
Therefore, an object of the present invention is to stabilize a quaternary alkylhydroxyalkylammonium hydroxide aqueous solution, for example, a (2-hydroxyethyl) trimethylammonium hydroxide aqueous solution (choline aqueous solution) without adversely affecting workers and the environment, It is an object of the present invention to provide a method for effectively avoiding the problem of coloring of an aqueous solution that adversely affects a semiconductor manufacturing process.
[0009]
[Means for Solving the Problems]
According to the present invention, the following general formula (1):
Embedded image
R ′ represents an alkanol group having 2 to 4 carbon atoms;
An aqueous solution of a quaternary alkylhydroxyalkylammonium hydroxide represented by the following formula (2) or (3):
Embedded image
Embedded image
A method for stabilizing the aqueous solution, comprising adding a hydrazine derivative represented by the formula:
[0010]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
In the present invention, the concentration of the quaternary alkylhydroxyalkylammonium hydroxide in the aqueous solution of the quaternary alkylhydroxyalkylammonium hydroxide to be stabilized is not particularly limited, and is applicable to any concentration of the aqueous solution. However, the effect of the present invention is remarkably exhibited at 10% by weight or more, preferably 30% by weight or more. That is, in the case of an aqueous solution having a low concentration, the problem of coloring of the aqueous solution itself is not small, and the technical significance of stabilization is not so large.
[0011]
The quaternary alkylhydroxyalkylammonium hydroxide has a general formula (1):
[(R) 3 NR ′] + · OH − (1)
In the formula, R is an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, and a plurality of Rs may be the same or different from each other;
R ′ represents an alkanol group having 2 to 4 carbon atoms;
And the alkyl group of the group R can be exemplified by a methyl group, an ethyl group, a propyl group, and a butyl group, and the alkanol group of the group R ′ is a hydroxyethyl group, a hydroxypropyl group, a hydroxybutyl group. There is.
Specific examples of the quaternary alkyl hydroxyalkyl ammonium hydroxide represented by the general formula (1), choline, i.e. (2-hydroxyethyl) trimethylammonium hydroxide [(CH 3) 3 NCH 2 CH 2 OH] + · OH −
Is typical, but the following compounds can also be exemplified.
(3-hydroxypropyl) trimethylammonium hydroxide [(CH 3) 3 NCH 2 CH 2 CH 2 OH] + · OH -
(4-hydroxybutyl) trimethylammonium hydroxide [(CH 3) 3 NCH 2 CH 2 CH 2 CH 2 OH] + · OH -
(2-hydroxyethyl) triethylammonium hydroxide [(CH 3 CH 2) 3 NCH 2 CH 2 OH] + · OH -
(2-hydroxyethyl) tripropylammonium hydroxide [(CH 3 CH 2 CH 2 ) 3 NCH 2 CH 2 OH] + · OH -
(2-Hydroxyethyl) tributylammonium hydroxide [(C 4 H 9 ) 3 NCH 2 CH 2 OH] + · OH −
[0012]
In the present invention, the aqueous solution of the above quaternary alkylhydroxyalkylammonium hydroxide is added to the general formula (2) or the general formula (3):
Embedded image
Embedded image
R 1 and R 2 may be the same or different and represent a hydrogen atom or a lower alkyl group having 4 or less carbon atoms;
By adding the hydrazine derivative represented by the formula, the aqueous solution is stabilized.
[0013]
That is, the hydrazine derivatives represented by the general formulas (2) and (3) have no toxicity problem, and have very little effect on workers and the environment. In addition, since each of them is easily water-soluble and can be added to the aqueous solution as it is without forming a salt, there is no problem that the generation of acid ions adversely affects the semiconductor manufacturing process unlike semicarbazide. Furthermore, since these hydrazine derivatives react with aldehydes to form hydrazone-based compounds, the aldehydes generated in the quaternary alkylhydroxyalkylammonium hydroxide aqueous solution described above are effectively captured, and the polyaldehyde, which is a coloring causative substance, Generation can be prevented.
[0014]
In the present invention, the hydrazine derivative represented by the general formula (2) includes 1-aminopyrrolidine (n = 2 in the general formula (2)) and 1-aminopiperidine (n = 3 in the general formula (2)) Among them, 1-aminopyrrolidine is particularly preferred.
[0015]
In the general formula (3), examples of the lower alkyl group in the groups R 1 and R 2 include a methyl group, an ethyl group, a propyl group, and a butyl group.
In the present invention, the hydrazine derivative represented by the general formula (3) is most preferably carbodihydrazide (R 1 and R 2 are hydrogen atoms).
[0016]
The hydrazine derivative represented by the above general formula (2) or (3) is used in an aqueous quaternary alkylhydroxyalkylammonium hydroxide solution in an amount of 1.0% by weight or less, preferably 0.5% by weight to 1.0% by weight. Is desirably added. That is, even if an excessive amount is added, no particular effect is produced, which is economically disadvantageous. If the amount is too small, the stabilizing effect (coloring preventing effect) becomes unsatisfactory.
[0017]
【Example】
Hereinafter, the present invention will be described specifically with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples.
[0018]
(Example 1)
99.5 g of a (2-hydroxyethyl) trimethylammonium hydroxide aqueous solution (47% choline aqueous solution) adjusted to a concentration of 47% by weight was charged into a 100 ml beaker, and 0.5 g of 1-aminopyrrolidine was added thereto, and the mixture was uniformly mixed. Stir until it is.
This stabilized choline aqueous solution is a 0.5% additive of 1-aminopyrrolidine. The beaker containing the sample was allowed to stand in the air, and the degree of coloration with the passage of the number of days was examined in comparison with a JIS standard Hazen hue (APHA) standard solution, and the results are shown in Table 1.
[0019]
(Example 2)
Except that the amount of 1-aminopyrrolidine added was changed to 1.0 g and the aqueous solution of stabilized choline was changed to be a 1.0% additive of 1-aminopyrrolidine, the same procedure as in Example 1 was carried out. The evaluation was performed, and the results are shown in Table 2.
[0020]
(Example 3)
In the same manner as in Example 1 except that 0.5 g of carbodihydrazide was added instead of 1-aminopyrrolidine so that the aqueous solution of stabilized choline was a 0.5% additive of carbodihydrazide. Was evaluated, and the results are shown in Table 1.
[0021]
(Example 4)
The degree of coloring was evaluated in the same manner as in Example 3, except that the amount of carbodihydrazide added was changed to 1.0 g, and the stabilized choline aqueous solution was changed to a 1.0% carbodihydrazide additive. The results are shown in Table 2.
[0022]
(Comparative Example 1)
The coloring degree of the 47% choline aqueous solution was evaluated as it was in the same manner as in Example 1, and the results are shown in Tables 1 and 2.
[0023]
(Comparative Example 2)
In the same manner as in Example 1 except that 0.5 g of hydrated hydrazine was added instead of 1-aminopyrrolidine to make the stabilized choline aqueous solution a 0.5% additive of hydrated hydrazine, The degree of coloring was evaluated, and the results are shown in Table 1.
[0024]
(Comparative Example 3)
In the same manner as in Example 1 except that 1.0 g of hydrated hydrazine was added instead of 1-aminopyrrolidine to make the stabilized choline aqueous solution a 1.0% additive of hydrated hydrazine, The degree of coloring was evaluated, and the results are shown in Table 2.
[0025]
[Table 1]
[Table 2]
【The invention's effect】
According to the present invention, 1-aminopyrrolidine and carbodihydrazide are effective as stabilizers for a quaternary alkylhydroxyalkylammonium hydroxide aqueous solution, for example, a (2-hydroxyethyl) trimethylammonium hydroxide aqueous solution (choline aqueous solution). By adding 0.5 to 1.0% by weight to the aqueous choline solution, a stabilized aqueous choline solution can be obtained. Moreover, its storage stability is not inferior to the conventional stabilizers hydrated hydrazine and semicarbazide.
Claims (6)
に同一であっても異なっていてもよく、
Ｒ’は、炭素数２乃至４のアルカノール基を表す、
で表される第四級アルキルヒドロキシアルキルアンモニウムハイドロオキサイドの水溶液に、下記一般式（２）または一般式（３）：
が４以下の低級アルキル基を表す、
で表されるヒドラジン誘導体を添加することを特徴とする当該水溶液の安定化方法。The following general formula (1):
R ′ represents an alkanol group having 2 to 4 carbon atoms;
An aqueous solution of a quaternary alkylhydroxyalkylammonium hydroxide represented by the following formula (2) or (3):
A method for stabilizing the aqueous solution, comprising adding a hydrazine derivative represented by the formula:
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